KR102666976B1 - 히팅블록모듈 - Google Patents

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KR102666976B1 KR1020240005916A KR20240005916A KR102666976B1 KR 102666976 B1 KR102666976 B1 KR 102666976B1 KR 1020240005916 A KR1020240005916 A KR 1020240005916A KR 20240005916 A KR20240005916 A KR 20240005916A KR 102666976 B1 KR102666976 B1 KR 102666976B1
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Abstract

본 발명은 히팅블록모듈이 개시된다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈은 직선 형상이며 양측으로 분할되어 있고, 상호 결합되어 유체가 이동하는 튜브를 외부에서 감싸는 제 1 블록바디 및 제 2 블록바디; 상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 외면에는 만입홈이 각각 형성되어 있고, 상기 만입홈에 각각 결합되는 제 1 히터 및 제 2 히터; 상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디에 결합되어 상기 제 1 히터 및 제 2 히터를 외부로부터 보호하는 제 1 블록커버 및 제 2 블록커버; 상기 제 1 히터 및 상기 제 2 히터의 온도를 감지하는 온도센서; 및 상기 제 1 히터 및 상기 제 2 히터의 과열을 방지하기 위해 전류 공급을 차단 가능한 과열방지부재; 를 포함한다.

Description

히팅블록모듈 {Heating Block Module}
본 발명은 히팅블록모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 시공이 편리하며 튜브(파이프)를 효율적이고 안정적으로 가열할 수 있는 히팅블록모듈에 관한 것이다.
반도체 증착 공정에는 화학 기상 증착(chemical vapor deposition: CVD)방법, 원자층 증착(atomic layer deposition: ALD)방법 등을 주로 사용하는데 이때 액체 전달 시스템(Liquid delivery system: LDS)에서 액체(프리커서)재료를 기화부까지 이송시키고 기화기에서 기화된 가스를 공정 프로세스 챔버까지 이송하게 된다.
일반적으로, 반도체 제조 공정에 투입되는 유체(기체나 액체)는 튜브(금속관, 배관)를 통해 이송된다. 이송 과정 중 튜브의 온도가 낮아지면 유체가 액화되거나 고형화되어 튜브 내부에 부착되거나 퇴적될 수 있다. 이는 튜브를 막아 공정 손실이나 제품 불량을 초래할 수 있다. 이러한 문제를 방지하기 위해 일반적으로 튜브 외부에 히터를 설치하여 튜브를 가열하게 된다.
유체가 이송되는 튜브를 가열하기 위해 기존에는 히팅자켓을 주로 사용하는데 히팅자켓은 히터 열선을 직물 내부에 설치하여 제작하고 히팅자켓을 사용하여 가열하는 방식이 널리 사용된다. 하지만 히팅자켓은 직물의 열전도성이 낮아 온도 효율과 보온성이 떨어지며, 온도가 균일하지 않아 이송되는 공정 유체가 액화되거나 고형화되어 튜브 내부에 부착되거나 퇴적되는 문제로 인해 반도체 공정 손실이나 제품의 불량 원인이 된다.
대한민국 등록특허공보 제10-2481034호에는 반도체설비의 직선파이프용 히팅모듈이 개시되어 있다.
종래기술은 히팅자켓 대신에 분할되어 있는 전도부로 파이프를 감싸게 되어 길이방향으로 밀착 배치되는 돌출단을 상호 고정하는 구성을 통해 자중에 의한 처짐이 억제되도록 구성되어 있다.
그러나, 종래기술은 길이방향으로만 이용될 수 있고, 절곡 부위에는 이용할 수 없는 문제가 있으며 이용과 관리에 문제가 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-2481034호
본 발명의 일 실시 예는 상기 종래 기술의 문제점을 극복하기 위하여 파이프의 절곡 부위나 곡선 부위에도 적용 가능하여 이용과 관리가 편리한 히팅블록모듈을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 직선 형상이며 양측으로 분할되어 있고, 상호 결합되어 유체가 이동하는 튜브를 외부에서 감싸는 제 1 블록바디 및 제 2 블록바디; 상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 외면에는 만입홈이 각각 형성되어 있고, 상기 만입홈에 각각 결합되는 제 1 히터 및 제 2 히터; 상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디에 결합되어 상기 제 1 히터 및 제 2 히터를 외부로부터 보호하는 제 1 블록커버 및 제 2 블록커버; 상기 제 1 히터 및 상기 제 2 히터의 온도를 감지하는 온도센서; 및 상기 제 1 히터 및 상기 제 2 히터의 과열을 방지하기 위해 전류 공급을 차단 가능한 과열방지부재; 를 포함한다.
상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 길이 방향을 기준으로 제 1 단부에는 돌출부가 형성되어 있고, 상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 상기 제 1 단부의 반대측 제 2 단부에는 상기 돌출부가 삽입되는 크기의 오목부가 형성되어 있다.
상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디는 측면을 기준으로 직선 형상 또는 직각 형상이며, 복수개 중 하나의 상기 히팅블록모듈의 돌출부가 복수개 중 다른 하나의 상기 히팅블록모듈의 오목부에 삽입된다.
상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 길이 방향을 기준으로 제 1 단부에는 상기 돌출부에 직각 방향으로 복수개의 보조 돌출부가 형성되어 있고, 상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 상기 제 1 단부의 반대측 제 2 단부에는 상기 돌출부가 삽입되는 크기의 오목부에 직각 방향으로 복수개의 보조 오목부가 형성되어 있다.
본 발명에 따른 히팅블록모듈은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 작업자의 숙련도에 관계없이 시공 편의성이 향상될 수 있다.
둘째, 시공 편의성으로 시공 비용이 절감될 수 있다.
셋째, 기설치된 배관에도 용이하게 설치될 수 있다.
넷째, 배관의 균일한 가열이 가능하다.
다섯째, 배관 형태에 따라 시공시에 적용이 편리하다.
여섯째, 배관의 길이나 방향에 따라 적절하게 적용 가능하여 자제 관리 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 결합 과정을 나타내는 모식도이다.
도 3 (a) 및 도 3 (b)는 각각 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈을 다른 각도에서 나타내는 사시도이다.
도 4 (a) 내지 도 4 (e)는 각각 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 정면도, 좌측면도, 우측면도, 평면도 및 배면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 직선방향 연결 과정을 나타내는 모식도이다.
도 6은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 결합 단면도를 나타내는 모식도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 분해 사시도이다.
도 8 (a) 및 도 8 (b)는 각각 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅블록모듈을 다른 각도에서 도시한 사시도이다.
도 9 (a) 내지 도 9 (e)는 각각 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 정면도, 좌측면도, 우측면도, 평면도 및 배면도이다.
도 10 (a)는 본 발명의 다른 예에 따른 히팅블록모듈의 내부 구조가 직각인 예를 나타내는 모식도이고, 도 10 (b)는 본 발명의 다른 예에 따른 히팅블록모듈의 내부 구조가 밴딩 형태의 예를 나타내는 모식도이다.
도 11 (a) 내지 도 11 (d)는 각각 본 발명에 따른 히팅블록모듈의 연결 예를 나타내는 모식도이다.
도 12는 본 발명의 다른 예에 따른 히팅블록모듈의 변형 예를 나타내는 모식도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 결합 과정을 나타내는 모식도이며, 도 3 (a) 및 도 3 (b)는 각각 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈을 다른 각도에서 나타내는 사시도이고, 도 4 (a) 내지 도 4 (e)는 각각 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 정면도, 좌측면도, 우측면도, 평면도 및 배면도이다.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈(100)은 측면을 기준으로 직선 형상의 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112), 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122), 제 1 블록커버(131) 및 제 2 블록커버(132), 온도센서(140) 및 과열방지부재(150)를 포함하여 구성되어 있다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)는 측면을 기준으로 직선 형상이며 양측으로 분할되어 있고, 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)가 상호 결합되는 내면은 유체가 이동하고 단면이 원형이며 관 형상의 튜브(10)를 외부에서 감싸도록 원형을 이루게 된다.
즉, 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)는 결합된 경우 외부의 수직 단면 형상이 사각형을 이루게 되고, 내부의 수직 단면 형상이 원형을 이루게 된다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)에는 제 1 블록커버(131) 및 제 2 블록커버(132)가 볼트 체결되는 복수개의 체결 구멍이 상호 이격 형성되어 있다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 길이 방향을 기준으로 제 1 단부에는 돌출부(111-1, 112-1)가 형성되어 있다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 제 1 단부의 반대측 제 2 단부에는 돌출부가 삽입되는 크기의 오목부(111-2, 112-2)가 형성되어 있다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)에 각각 형성되어 있는 오목부(111-2, 112-2)와 돌출부(111-1, 112-1)는 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)가 결합되면 튜브(10)가 삽입 관통되는 구조가 되게 내면이 원형 형상을 이루는 구멍이 천공되어 있다.
제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)는 측면을 기준으로 직선의 봉 형상이며, 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 외면에는 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)의 외형에 대응되는 형상의 만입홈(111-3)이 각각 형성되어 있고, 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)가 만입홈에 각각 삽입 결합된다.
제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)는 일단부가 상방으로 연장되어 있다.
제 1 블록커버(131) 및 제 2 블록커버(132)는 폭에 비해 길이의 비가 긴 판 형상으로 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)에 각각 결합되어 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)를 외부로부터 보호하며 노출을 방지하게 된다.
온도센서(140)는 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)의 발열에 의해 튜브(10)의 온도를 감지한다.
과열방지부재(150)는 공급되는 전류를 차단 가능하다. 과열방지부재(150)는 제 1 블록바디(111) 또는 제 2 블록바디(112)의 상부에 결합되어 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)의 과열이 발생되는 경우에 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)에 공급되는 전류를 차단하여 화재 발생을 방지한다.
과열방지부재(150)는 하나의 예를 들어 바이메탈(Bimetal)일 수 있다. 바이메탈(Bimetal)은 서로 다른 성질(주로 열팽창률)을 가진 두 금속을 붙여서 만든 부재이다.
바이메탈(Bimetal)은 열팽창 정도가 서로 달라 과열시에 하나의 금속이 보다 팽창하고, 열팽창 정도가 적은 금속 쪽으로 휘어지면서 전류가 차단된다. 
본 발명에 따르면 히팅블록모듈(100)의 온도센서(140)로부터 전송되는 신호를 수신하여 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
제어부는 데이터를 연산 처리하는 마이크로컨트롤러 및 데이터를 저장하는 메모리를 포함하여 구성되어 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 직선방향 연결 과정을 나타내는 모식도이고, 도 6은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 결합 단면도를 나타내는 모식도이다.
도 5 및 도 6을 도 1 내지 도 4와 함께 참조하여 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈(100)의 작동 관계를 설명하면, 튜브(10)를 사이에 두고 양측에서 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)가 상호 결합된다.
제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)는 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 외면에 형성되어 있는 만입홈에 각각 삽입된다.
제 1 블록커버(131) 및 제 2 블록커버(132)는 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)가 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 외면에 형성되어 있는 만입홈에 각각 삽입되어 있는 상태에서 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)에 각각 볼트 체결되어 결합된다.
또한, 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112) 사이에는 온도센서(140)가 구비되어 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)의 발열에 의한 튜브(10)의 온도를 감지하게 된다.
온도센서(140)는 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)가 설정된 온도 범위를 초과하면 과열 감지 신호를 제어부에 송신한다.
과열방지부재(150)는 제 1 블록바디(111) 또는 제 2 블록바디(112)의 상부에 결합되어 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)의 과열을 감지하게 된다.
과열방지부재(150)는 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)에 공급되는 전류를 차단하게 된다.
즉, 과열방지부재(150)는 하나의 예를 들어 바이메탈부재로서 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)에 공급되는 전류를 차단하여 과열을 방지하게 된다.
본 발명에 따른 복수개의 히팅블록모듈(100)은 길이 방향으로 상호 결합되되, 도 6을 참조하면, 복수개의 히팅블록모듈(100)이 상호 연결되는 경우에 복수개 중 하나의 히팅블록모듈(100)의 돌출부(112-1)가 복수개 중 다른 하나의 히팅블록모듈(100)의 오목부(112-2)에 삽입되어 결합된다.
또한, 복수개 중 다른 하나의 히팅블록모듈(100)의 돌출부(112-1)가 복수개 중 또 다른 하나의 히팅블록모듈(100)의 오목부(112-2)에 삽입되어 복수개의 히팅블록모듈(100)이 연속 결합될 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 분해 사시도이고, 도 8 (a) 및 도 8 (b)는 각각 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅블록모듈을 다른 각도에서 도시한 사시도이며, 도 9 (a) 내지 도 9 (e)는 각각 본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅블록모듈의 정면도, 좌측면도, 우측면도, 평면도 및 배면도이고, 도 10 (a)는 본 발명의 다른 예에 따른 히팅블록모듈의 내부 구조가 직각인 예를 나타내는 모식도이고, 도 10 (b)는 본 발명의 다른 예에 따른 히팅블록모듈의 내부 구조가 밴딩 형태의 예를 나타내는 모식도이다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 히팅블록모듈(200)은 측면을 기준으로 직각 형상(엘보우 형상)의 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112), 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122), 제 1 블록커버(131) 및 제 2 블록커버(132), 온도센서(140) 및 과열방지부재(150)를 포함하여 구성되어 있다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)는 측면을 기준으로 직각 형상이며 양측으로 분할되어 있고, 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)가 상호 결합되는 내면은 유체가 이동하는 단면이 원형이며 관 형상의 튜브(10)를 외부에서 감싸게 된다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 길이 방향을 기준으로 제 1 단부에는 돌출부(111-1, 112-1)가 각각 형성되어 있다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 제 1 단부의 반대측 제 2 단부에는 돌출부가 삽입되는 크기의 오목부(111-2, 112-2)가 형성되어 있다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)는 절곡되는 절곡 부위의 튜브가 90도 직각형인 경우에 내부는 직각을 이루고, 튜브가 90도 벤딩형인 경우에 내부는 라운드 형상을 이루게 된다.
제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)는 측면을 기준으로 직각의 봉 형상이며, 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 외면에는 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)의 외형에 대응되는 형상의 만입홈(111-3)이 각각 형성되어 있고, 제 1 히터(121) 및 제 2 히터(122)가 만입홈에 각각 결합된다.
제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)가 직각을 이루는 구조 이외의 다른 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.
도 11 (a) 내지 도 11 (d)는 각각 본 발명에 따른 히팅블록모듈의 연결 예를 나타내는 모식도이다.
도 11을 도 7 내지 도 10과 함께 참조하면, 도 11 (a)는 직선 형상인 복수개의 히팅블록모듈(100)이 연결을 위해 2개 조합되어 있다.
도 11 (b)는 직각 형상인 복수개의 히팅블록모듈(100)이 연결을 위해 2개 조합되어 있다.
도 11 (c)는 직각 형상인 복수개의 히팅블록모듈(200)이 연결을 위해 2개 조합되어 있다. 여기서 튜브(10)의 배관은 측면과 평면을 기준으로 2개의 히팅블록모듈(200)이 상호 직각을 이루며 결합되어 있다.
도 11 (d)는 직각 형상인 복수개의 히팅블록모듈(100)과 직각 형상인 복수개의 히팅블록모듈(200)이 조합되어 있다. 여기서, 직선 및 직각 형상인 복수개의 히팅블록모듈(200)이 튜브(10)의 길이와 방향에 따라 상호 결합되어 있다.
도 12는 본 발명의 다른 예에 따른 히팅블록모듈의 변형 예를 나타내는 모식도이다.
도 12를 도 1 내지 도 11과 함께 참조하면, 본 발명에 따른 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 길이 방향을 기준으로 제 1 단부에는 돌출부(111-1, 112-1)에 직각 방향으로 복수개의 보조 돌출부(111-5)가 형성되어 있고, 제 1 블록바디(111) 및 제 2 블록바디(112)의 제 1 단부의 반대측 제 2 단부에는 돌출부(111-1, 112-1)가 삽입되는 크기의 오목부(111-2, 112-2)에 직각 방향으로 복수개의 보조 오목부(111-6)가 형성되어 있다.
이에 따라, 돌출부(111-1, 112-1) 또는 복수개의 보조 돌출부(111-5) 중 하나가 오목부(111-2, 112-2) 또는 복수개의 보조 오목부(111-6) 중 하나에 결합될 수 있다.
돌출부(111-1, 112-1) 또는 복수개의 보조 돌출부(111-5), 오목부(111-2, 112-2) 및 복수개의 보조 오목부(111-6)는 튜브(10)가 관통하는 구멍이 각각 천공되어 있다.
이에 따라, 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 히팅블록모듈(100)이 복수개가 이용되어 직각 방향의 튜브를 감싸게 되어 균일하게 가열할 수 있다.
본 발명에 따르면 결합되는 돌출부(111-1, 112-1) 또는 복수개의 보조 돌출부(111-5) 중 하나와 오목부(111-2, 112-2) 또는 복수개의 보조 오목부(111-6) 중 하나를 제외한 나머지 오목부 또는 볼록부의 구멍을 밀폐하기 위해 고무링을 포함하는 통상의 캡 구조물이 오목부 또는 볼록부의 구멍에 삽입 결합되어 밀폐를 수행할 수 있다.
즉, 보조 돌출부(111-5)와 보조 오목부(111-6)는 히팅블록모듈(200)의 양측면과 하면에 각각 형성될 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 히팅블록모듈은 작업자의 숙련도에 관계없이 시공 편의성이 향상될 수 있고, 시공 비용이 절감될 수 있다.
또한, 기설치된 배관에도 용이하게 설치될 수 있으며, 배관의 균일한 가열이 가능하다.
또한, 배관 형태에 따라 시공시에 적용이 편리하고, 배관의 길이나 방향에 따라 적절하게 적용 가능하여 자제 관리 효율성을 향상시킬 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 여러 가지 실시 가능한 예 중에서 당 업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 실시 예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 제시된 실시 예에만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 부가 및 변경이 가능함은 물론, 균등한 타의 실시 예가 가능함을 밝혀둔다.
10: 튜브
100, 200: 히팅블록모듈
111: 제 1 블록바디
111-1, 112-1: 돌출부
112: 제 2 블록바디
111-2, 112-2: 오목부
111-3: 만입홈
111-5: 보조 돌출부
111-6: 보조 오목부
121: 제 1 히터
122: 제 2 히터
131: 제 1 블록커버
132: 제 2 블록커버
140: 온도센서
150: 과열방지부재

Claims (4)

  1. 양측으로 분할되어 있고, 상호 결합되어 유체가 이동하는 튜브를 외부에서 감싸는 제 1 블록바디 및 제 2 블록바디;
    상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 외면에는 만입홈이 각각 형성되어 있고, 상기 만입홈에 각각 결합되는 제 1 히터 및 제 2 히터;
    상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디에 결합되어 상기 제 1 히터 및 제 2 히터를 외부로부터 보호하는 제 1 블록커버 및 제 2 블록커버;
    상기 제 1 히터 및 상기 제 2 히터의 온도를 감지하는 온도센서; 및
    상기 제 1 히터 및 상기 제 2 히터의 과열을 방지하기 위해 전류 공급을 차단 가능한 과열방지부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    히팅블록모듈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 길이 방향을 기준으로 제 1 단부에는 돌출부가 형성되어 있고,
    상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 상기 제 1 단부의 반대측 제 2 단부에는 상기 돌출부가 삽입되는 크기의 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    히팅블록모듈.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디는 측면을 기준으로 직선 형상 또는 직각 형상이며,
    복수개 중 하나의 상기 히팅블록모듈의 돌출부가 복수개 중 다른 하나의 상기 히팅블록모듈의 오목부에 삽입되는 것을 특징으로 하는
    히팅블록모듈.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 길이 방향을 기준으로 제 1 단부에는 상기 돌출부에 직각 방향으로 복수개의 보조 돌출부가 형성되어 있고,
    상기 제 1 블록바디 및 상기 제 2 블록바디의 상기 제 1 단부의 반대측 제 2 단부에는 상기 돌출부가 삽입되는 크기의 오목부에 직각 방향으로 복수개의 보조 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    히팅블록모듈.
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