KR102666692B1

KR102666692B1 - 처리 시스템 및 처리 방법

Info

Publication number: KR102666692B1
Application number: KR1020200070379A
Authority: KR
Inventors: 료타 아오이; 겐이치 고바야시
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2019-06-21
Filing date: 2020-06-10
Publication date: 2024-05-17
Also published as: JP7316850B2; JP2021002233A; KR20200145697A; US11550875B2; US20200401654A1

Abstract

[과제] 데이터 확인 작업을 효율화하는 처리 시스템 및 처리 방법을 제공한다.
[해결수단] 처리 시스템은, 대상 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를, 상기 대상 장치가 실행하는 처리의 각 처리 구분에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 행하는 제1 통계 연산부와, 비교 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를, 상기 비교 장치가 실행하는 상기 처리의 각 처리 구분에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 행하는 제2 통계 연산부와, 상기 제1 통계 연산부에 의한 통계 연산의 결과와, 상기 제2 통계 연산부에 의한 통계 연산의 결과의 차분값을, 상기 처리 구분마다 산출하는 차분값 산출부와, 상기 처리 구분마다의 차분값을 표시하는 표시 제어부를 갖는다.

Description

처리 시스템 및 처리 방법{PROCESSING SYSTEM AND PROCESSING METHOD}

본 발명은 처리 시스템 및 처리 방법에 관한 것이다.

종래부터, 기판 처리 장치 등의 각종 처리 장치에 있어서는, 부팅 시에, 범용 방법에 따른 처리를 실행시켜, 장치 내의 센서로부터 출력되는 데이터를 확인하는 "데이터 확인 작업"을 행함으로써, 대상 장치의 동작을 검증하고 있다.

한편, 기판 처리 장치 등과 같이 장치 내의 센서수가 많고(예컨대, 1500개), 데이터의 샘플링 주기가 짧은 처리 장치의 경우(예컨대, 0.1초 주기), 범용 방법에 따른 처리를 실행시켰을 때의 데이터점수가 방대해진다.

특허문헌 1: 일본 특허 공표 제2010-505209호 공보

본 개시는 데이터 확인 작업을 효율화하는 처리 시스템 및 처리 방법을 제공한다.

일양태에 따르면, 처리 시스템은,

대상 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를, 상기 대상 장치가 실행하는 처리의 각 처리 구분에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 행하는 제1 통계 연산부와,

비교 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를, 상기 비교 장치가 실행하는 상기 처리의 각 처리 구분에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 행하는 제2 통계 연산부와,

상기 제1 통계 연산부에 의한 통계 연산의 결과와, 상기 제2 통계 연산부에 의한 통계 연산의 결과의 차분값을, 상기 처리 구분마다 산출하는 차분값 산출부와,

상기 처리 구분마다의 차분값을 표시하는 표시 제어부를 갖는다.

본 개시에 따르면, 데이터 확인 작업을 효율화하는 처리 시스템 및 처리 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 대상 장치의 부팅 시의 작업 개요를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 해석 장치의 하드웨어 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3은 해석 장치의 기능 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4는 해석 장치에 의한 통계 연산 처리의 구체예를 나타내는 제1 도이다.
도 5는 해석 장치에 의한 통계 연산 처리의 구체예를 나타내는 제2 도이다.
도 6은 해석 장치에 의한 차분값 산출 처리의 구체예를 나타내는 도면이다.
도 7은 비교 결과 표시 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 8은 비교 결과 표시 화면에 있어서의 그래프 표시예를 나타내는 제1 도이다.
도 9는 데이터 확인 처리의 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도 10은 비교 결과 표시 화면에 있어서의 그래프 표시예를 나타내는 제2 도이다.

각 실시형태에 대해서 첨부된 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙임으로써 중복하는 설명을 생략한다.

[제1 실시형태]

<대상 장치의 부팅 시의 작업 개요>

먼저, 대상 장치가 기판 처리 장치(웨이퍼 등의 기판을 처리하는 처리 장치)인 경우의 부팅 시의 작업 개요에 대해서 설명한다. 도 1은 대상 장치의 부팅 시의 작업 개요를 설명하기위한 도면이다. 도 1에 나타내는 바와 같이 대상 장치가 기판 처리 장치인 경우의 부팅 시의 작업에는, 예컨대, 하드웨어 조정 작업과, 데이터 확인 작업이 포함된다.

이 중, 하드웨어 조정 작업에 있어서는, 먼저, 대상 장치(110)에 해석 장치(120)를 접속하고, 대상 장치(110)에 대하여, 미리 정해진 파라미터를 설정한다. 이에 의해, 대상 장치(110)에서는, 자동 검사를 실행하고, 자동 검사 결과 로그를 생성한다. 또한, 해석 장치(120)에서는, 대상 장치(110)에 의해 생성된 자동 검사 결과 로그를 취득한다.

여기서, 해석 장치(120)는, 사전에 비교 장치(111)와 접속되어, 비교 장치(111)에 대하여, 미리 정해진 파라미터를 설정함으로써, 비교 장치(111)로부터 자동 검사 결과 로그를 취득하고 있는 것으로 한다. 또한, 비교 장치(111)란, 대상 장치(110)와 동종의 기판 처리 장치로서, 올바르게 동작하는 것이 검증된 장치를 가리킨다.

대상 장치(110)에 의해 생성된 자동 검사 결과 로그를 해석 장치(120)가 취득하면, 작업자(130)는, 비교 장치(111)로부터 사전에 취득한 자동 검사 결과 로그와 비교함으로써, 차분의 유무를 판정한다. 또한, 작업자(130)는, 차분이 있다고 판정한 경우에, 대상 장치(110)에 대하여 하드웨어 등의 조정을 행한다.

작업자(130)에 의한 하드웨어 등의 조정이 완료하면, 해석 장치(120)에서는, 대상 장치(110)에 대하여 재차 파라미터를 설정하고, 대상 장치(110)가 자동 검사를 실행함으로써 생성한 자동 검사 결과 로그를 취득한다.

하드웨어 조정 작업에서는, 비교 장치(111)로부터 취득한 자동 검사 결과 로그와의 차분이 없어질 때까지, 상기 공정(하드웨어 등의 조정, 파라미터의 설정, 자동 검사의 실행)을 반복하고, 차분이 없어졌다고 판정하면, 데이터 확인 작업으로 이행한다.

데이터 확인 작업에서는, 먼저, 대상 장치(110)에 해석 장치(120)를 접속함으로써, 본 실시형태에 따른 처리 시스템(100)을 형성한 뒤에, 대상 장치(110)에, 범용 방법에 따른 처리를 실행시킨다.

구체적으로는, 먼저, 해석 장치(120)가, 대상 장치(110)에, BKM(Best known Method) 레시피를 설정하고, 대상 장치(110)가, 설정된 BKM 레시피를 실행한다. 이때, 해석 장치(120)에서는, BKM 레시피의 실행 중에 대상 장치(110) 내의 각 센서가 출력한 센서 데이터를 취득한다.

계속해서, 작업자(130)는, 대상 장치(110)가 BKM 레시피를 실행함으로써 생성한 대상물을 검사한다. 이때, 대상물이, 미리 정해진 조건을 만족하고 있으면, 데이터 확인 작업은 종료가 된다. 한편, 대상물이 미리 정해진 조건을 만족하고 있지 않은 경우에는, 작업자(130)는, 해석 장치(120)가 취득한 센서 데이터를 확인한다.

여기서, 해석 장치(120)는, 사전에 비교 장치(111)와 접속되어, 비교 장치(111)에 BKM 레시피를 실행시켰을 때의 센서 데이터를 취득하고 있는 것으로 한다.

이 때문에, 작업자(130)는, 대상 장치(110)로부터 취득한 센서 데이터를 확인할 때, 비교 장치(111)로부터 사전에 취득하고 있는 센서 데이터와 비교하면서 행한다.

여기서, 본 실시형태에 따른 해석 장치(120)에서는, 작업자(130)에 의한 상기 데이터 확인 작업을 효율화하기 위해, 먼저, 각 센서 데이터[대상 장치(110) 및 비교 장치(111)의 각 센서 데이터]를, BKM 레시피에 있어서 규정된 처리 구분(스텝)에 따라 나눈다.

계속해서, 본 실시형태에 따른 해석 장치(120)에서는, 처리 구분에 따라 나눈 각 센서 데이터에 대해서 통계 연산을 행함으로써, 각 센서 데이터를 처리 구분마다 서머라이즈한다.

계속해서, 본 실시형태에 따른 해석 장치(120)에서는, 처리 구분마다 서머라이즈한 각 센서 데이터에 대해서, 처리 구분마다, 대상 장치(110)와 비교 장치(111) 사이에서 차분값을 산출하고, 산출한 차분값을 그래프 표시한다.

이와 같이, 본 실시형태에 따른 해석 장치(120)에서는, 센서 데이터를 처리 구분 단위로 서머라이즈한다. 이에 의해, 작업자(130)는, 방대한 데이터점수를 포함하는 센서 데이터를 전점 확인할 필요가 없어져, 센서 데이터 전체를 부감하면서, 확인해야 하는 센서 데이터를 가늠할 수 있다.

또한, 본 실시형태에 따른 해석 장치(120)에서는, 대상 장치(110)의 센서 데이터와 비교 장치(111)의 센서 데이터를, 처리 구분이라고 하는 의미가 있는 단위끼리로 비교한다. 이에 의해, 작업자(130)는, 확인해야 하는 센서 데이터를 가늠할 때의 정확도를 높일 수 있다.

이 결과, 본 실시형태에 따른 해석 장치(120)에 따르면, 데이터 확인 작업을, 효율화할 수 있다.

<해석 장치의 하드웨어 구성>

다음에, 해석 장치(120)의 하드웨어 구성에 대해서 설명한다. 도 2는 해석 장치의 하드웨어 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 도 2에 나타내는 바와 같이 해석 장치(120)는, CPU(Central Processing Unit)(201), ROM(Read Only Memory)(202), RAM(Random Access Memory)(203)을 갖는다. CPU(201), ROM(202), RAM(203)은, 소위 컴퓨터를 형성한다.

또한, 해석 장치(120)는, 보조 기억부(204), 표시부(205), 입력부(206), 네트워크 I/F(Interface)부(207), 접속부(208)를 갖는다. 또한, 해석 장치(120)의 각 하드웨어는, 버스(209)를 통해 서로 접속되어 있다.

CPU(201)는, 보조 기억부(204)에 인스톨되어 있는 각종 프로그램(예컨대, 후술하는 해석 프로그램 등)을 실행하는 디바이스이다. ROM(202)은, 불휘발성 메모리이다. ROM(202)은, 보조 기억부(204)에 인스톨되어 있는 각종 프로그램을 CPU(201)가 실행하기 위해 필요한 각종 프로그램이나 데이터 등을 저장하는, 주기억 디바이스로서 기능한다. 구체적으로는, ROM(202)은 BIOS(Basic Input/Output System)나 EFI(Extensible Firmware Interface) 등의 부트 프로그램 등을 저장한다.

RAM(203)은, DRAM(Dynamic Random Access Memory)이나 SRAM(Static Random Access Memory) 등의 휘발성 메모리이다. RAM(203)은, 보조 기억부(204)에 인스톨되어 있는 각종 프로그램이 CPU(201)에 의해 실행될 때에 전개되는 작업 영역을 제공하는, 주기억 디바이스로서 기능한다.

보조 기억부(204)는, 각종 프로그램이나, 각종 프로그램이 실행될 때에 이용되는 정보를 저장하는 보조 기억 디바이스이다. 후술하는 데이터 저장부는, 보조 기억부(204)에 있어서 실현된다.

표시부(205)는, 예컨대, 해석 장치(120)에 의해 산출된 차분값을 그래프 표시하기 위한 화면(예컨대, 후술하는 비교 결과 표시 화면)을 표시하는, 표시 디바이스이다. 입력부(206)는, 해석 장치(120)에 대하여, 작업자(130)가 각종 지시를 입력하기 위한 입력 디바이스이다.

네트워크 I/F부(207)는, 도시하지 않는 외부 네트워크와 접속하는 통신 디바이스이다. 접속부(208)는, 대상 장치(110)나 비교 장치(111) 등의 기판 처리 장치에 접속하는 접속 디바이스이다.

<해석 장치의 기능 구성>

다음에, 해석 장치(120)의 기능 구성에 대해서 설명한다(또한, 이하에서는, 데이터 확인 작업에 있어서 실행되는 기능에 대해서 설명한다). 도 3은 해석 장치의 기능 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 도 3에 나타내는 바와 같이 해석 장치(120)는, 해석 프로그램을 실행함으로써, 대상 장치 센서 데이터 취득부(301), 제1 통계 연산부(302), 비교 장치 센서 데이터 취득부(311), 제2 통계 연산부(312), 차분값 산출부(321), 표시 제어부(322)로서 기능한다.

또한, 도 3에 나타내는 데이터 저장부(300)에는,

·대상 장치(110)에 의한 BKM 레시피의 실행 중에, 대상 장치(110) 내의 각 센서가 출력한 센서 데이터(제1 센서 데이터)와,

·비교 장치(111)에 의한 BKM 레시피의 실행 중에, 비교 장치(111) 내의 각 센서가 출력한 센서 데이터(제2 센서 데이터),

가 저장되어 있는 것으로 한다.

대상 장치 센서 데이터 취득부(301)는, 데이터 저장부(300)로부터, 제1 센서 데이터를 읽어내어, 제1 통계 연산부(302)에 통지한다.

제1 통계 연산부(302)는, BKM 레시피에 있어서 규정된 각 처리 구분(각 스텝)을 대상 장치(110)가 실행하였을 때의 처리 구간 정보인 제1 처리 구간 정보를, 대상 장치(110)로부터 취득한다. 또한, 처리 구간 정보란, 각 처리 구분을 실행하였을 때의 실행 개시 타이밍과 실행 완료 타이밍을 나타내는 정보이다.

또한, 제1 통계 연산부(302)는, 취득한 제1 처리 구간 정보를 이용함으로써, 제1 센서 데이터를 처리 구분에 따라 나눈다. 또한, 제1 통계 연산부(302)는, 처리 구분마다 통계 연산[최소값, 최대값, 평균값, 표준 편차(3σ)의 연산]을 행함으로써, 제1 센서 데이터를 서머라이즈하여, 제1 서머리 데이터를 생성한다. 이와 같이, 처리 구분 단위로 서머라이즈함으로써, 제1 통계 연산부(302)에 의하면, 방대한 센서 데이터를 전점 확인할 필요가 없어진다.

비교 장치 센서 데이터 취득부(311)는, 데이터 저장부(300)로부터, 제2 센서 데이터를 읽어내어, 제2 통계 연산부(312)에 통지한다.

제2 통계 연산부(312)는, BKM 레시피에 있어서 규정된 각 처리 구분(각 스텝)을 비교 장치(111)가 실행하였을 때의 처리 구간 정보인 제2 처리 구간 정보를, 비교 장치(111)로부터 취득한다.

또한, 동일한 BKM 레시피를 실행한 경우라도, 각 처리 구분을 실행하는 데 요하는 처리 시간은 동일하다고는 한정되지 않고, 각 처리 구분을 실행하였을 때의 실행 개시 타이밍 및 실행 완료 타이밍은, 대상 장치(110)와 비교 장치(111)에서 달라진다. 예컨대, 다음 처리 구분으로 이행하기 위한 조건이, (기준이 되는 시간이 아니라)기준이 되는 온도나 압력 등에 의해 정의되어 있던 경우에는, 다음 처리 구분으로 이행하는 타이밍은, 대상 장치(110)와 비교 장치(111)에서, 완전히 동일해지지는 않기 때문이다. 이 때문에, 제2 통계 연산부(312)에서는, 비교 장치(111)로부터, 제1 처리 구간 정보와는 다른 제2 처리 구간 정보를 취득한다.

또한, 제2 통계 연산부(312)는, 취득한 제2 처리 구간 정보를 이용함으로써, 제2 센서 데이터를 처리 구분에 따라 나눈다. 또한, 제2 통계 연산부(312)는, 처리 구분마다 통계 연산[최소값, 최대값, 평균값, 표준 편차(3σ)의 연산]을 행함으로써, 제2 센서 데이터를 서머라이즈하여, 제2 서머리 데이터를 생성한다.

차분값 산출부(321)는, 제1 통계 연산부(302)에 의한 통계 연산의 결과와, 제2 통계 연산부(312)에 의한 통계 연산의 결과의 차분값을, 처리 구분마다 산출한다. 이와 같이, 처리 구분마다 차분값을 산출함으로써, 차분값 산출부(321)에 의하면, 처리 구분이라는 의미가 있는 단위끼리로 서머리 데이터를 비교하는 것이 가능해진다.

표시 제어부(322)는, 차분값 산출부(321)에 의해 산출된 처리 구분마다의 차분값을, 그래프 표시한다. 이에 의해, 작업자(130)는, 센서 데이터 전체를 부감하면서, 확인해야 하는 센서 데이터를 가늠할 수 있다.

또한, 표시 제어부(322)는, 처리 구분마다의 차분값을 그래프 표시하는 데 있어서, 작업자(130)로부터, 선택된 미리 정해진 처리 구분(스텝)의 선택(스텝 선택 지시)을 접수한다. 이에 의해, 표시 제어부(322)에서는, 미리 정해진 처리 구분에 대한 차분값을 산출하여, 그래프 표시할 수 있다(확인이 불필요한 처리 구분에 대한 차분값은 그래프 표시로부터 배제할 수 있다).

또한, 표시 제어부(322)는, 처리 구분마다의 차분값을 그래프 표시하는 데 있어서, 작업자(130)로부터, 미리 정해진 센서의 선택(센서 선택 지시)을 접수한다. 이에 의해, 표시 제어부(322)에서는, 미리 정해진 센서에 대한 처리 구분마다의 차분값을 산출하여, 그래프 표시할 수 있다(확인이 불필요한 센서에 대한 차분값은 그래프 표시로부터 배제할 수 있다).

또한, 표시 제어부(322)는, 처리 구분마다의 차분값을 그래프 표시하는 데 있어서, 작업자(130)로부터, 통계 연산의 종류(서머리)의 선택(서머리 선택 지시)을 접수한다. 이에 의해, 표시 제어부(322)에서는, 최소값, 최대값, 평균값, 3σ 중 어느 하나의 통계 연산의 결과에 대한 차분값을 산출하여, 그래프 표시할 수 있다.

또한, 표시 제어부(322)는, 처리 구분마다의 차분값을 산출하여, 그래프 표시한 후에, 작업자(130)로부터, 상세 표시 지시를 접수한다. 표시 제어부(322)에서는, 상세 표시 지시를 접수하면, 상기 처리 구분에 있어서의 센서 데이터(통계 연산이 행해지기 전의 제1 센서 데이터)를, 제1 통계 연산부(302)로부터 읽어내어 표시한다. 이에 의해, 작업자(130)는, 예컨대, 그래프 표시된 차분값 중에서, 가늠한 차분값에 대해서 드릴 다운하여, 상세한 센서 데이터를 확인할 수 있다.

<해석 장치에 의한 처리의 구체예>

다음에, 해석 장치(120)에 의한 처리[여기서는, 해석 장치(120)에 의한 통계 연산 처리, 차분값 산출 처리, 표시 처리]의 구체예에 대해서 설명한다.

(1) 통계 연산 처리의 구체예

(1-1) 제1 센서 데이터에 대한 통계 연산 처리

먼저, 해석 장치(120)에 의한, 제1 센서 데이터에 대한 통계 연산 처리의 구체예에 대해서 설명한다. 도 4는 해석 장치에 의한 통계 연산 처리의 구체예를 나타내는 제1 도이다.

도 4에 있어서, 대상 장치 센서 데이터(410)는, 대상 장치 센서 데이터 취득부(301)가 데이터 저장부(300)로부터 읽어낸 제1 센서 데이터를 포함하는 데이터 구조의 일례이다. 도 4에 나타내는 바와 같이 대상 장치 센서 데이터(410)는, 정보의 항목으로서, "센서 식별자"와 "제1 센서 데이터"를 갖는다.

"센서 식별자"에는, 대상 장치(110) 내의 각 센서를 식별하는 식별자가 저장된다. "제1 센서 데이터"에는, 대상 장치(110) 내의 각 센서가 출력한 제1 센서 데이터가 저장된다.

또한, 도 4에 있어서, BKM 레시피(420)는, 데이터 확인 작업 시에 대상 장치(110)에 설정되는 레시피의 일례이다. 도 4에 나타내는 바와 같이 BKM 레시피(420)는, 정보의 항목으로서, "가스종"과 "스텝"을 갖는다.

"가스종"에는, 대상 장치(110)의 처리 공간에 공급되는 가스의 종류가 저장된다. "스텝"에는, 또한, 스텝명을 나타내는 "I", "II", "III", ··· 등이 포함되고, 각각의 스텝명에 대응하는 위치에, 어느 하나의 가스종의 가스가 공급되는 것을 나타내는 굵은 화살표가 저장된다.

도 4의 예에 의하면, 스텝명="I"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)에 있어서, 처리 공간에는 가스종="가스 A"가 공급된다. 또한, 스텝명="II"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)에 있어서, 처리 공간에는 가스종="가스 C"가 공급된다. 또한, 스텝명="III"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)에 있어서, 처리 공간에는 가스종="가스 B"가 공급된다.

전술한 바와 같이, 제1 통계 연산부(302)에서는, 각각의 처리 구분(스텝)이 실행되었을 때의 제1 처리 구간 정보(실행 개시 타이밍, 실행 완료 타이밍)를, 대상 장치(110)로부터 취득한다. 도 4에 있어서, 처리 시간을 나타내는 시간축 상의 가는 화살표(421)의 좌단 및 우단은, 스텝명="I"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)의 실행 개시 타이밍 및 실행 완료 타이밍을 나타내고 있다. 또한, 처리 시간을 나타내는 시간축 상의 가는 화살표(421)의 길이는, 스텝명="I"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)을 실행하는 데 요하는 처리 시간을 나타내고 있다.

마찬가지로, 도 4에 있어서, 처리 시간을 나타내는 시간축 상의 가는 화살표(422)의 좌단 및 우단은, 스텝명="II"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)의 실행 개시 타이밍 및 실행 완료 타이밍을 나타내고 있다. 또한, 가는 화살표(422)의 길이는, 스텝명="II"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)을 실행하는 데 요하는 처리 시간을 나타내고 있다.

마찬가지로, 도 4에 있어서, 처리 시간을 나타내는 시간축 상의 가는 화살표(423)의 좌단 및 우단은, 스텝명="III"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)의 실행 개시 타이밍 및 실행 완료 타이밍을 나타내고 있다. 또한, 가는 화살표(423)의 길이는, 스텝명="III"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)을 실행하는 데 요하는 처리 시간을 나타내고 있다.

전술한 바와 같이, 제1 통계 연산부(302)는, 대상 장치 센서 데이터(410)의 "제1 센서 데이터"를, 제1 처리 구간 정보를 이용함으로써, 처리 구분(스텝)에 따라 나눈다. 도 4의 대상 장치 센서 데이터(430)는, 대상 장치 센서 데이터(410)의 "제1 센서 데이터"를, 제1 처리 구간 정보를 이용함으로써, 처리 구분에 따라 나눈 것을 나타내고 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 제1 통계 연산부(302)에서는, 처리 구분에 따라 나눈 "제1 센서 데이터"에 대해서, 처리 구분마다 통계 연산을 행한다. 도 4에 있어서, 대상 장치 통계 연산 결과(440)는, 제1 통계 연산부(302)가 통계 연산을 행함으로써 생성한 제1 서머리 데이터를 포함하는 데이터 구조의 일례이다.

대상 장치 통계 연산 결과(440)에 있어서, "제1 서머리 데이터"에 포함되는 "서머리1_1"은,

·센서 식별자="센서 1"에 대응된 제1 센서 데이터, 또한,

·스텝명="I"에 의해 특정되는 처리 구분에 따라 나뉘어진 제1 센서 데이터,

에 대해서(부호 431 참조), 통계 연산한 결과이다.

도 4의 예는, 부호 431로 나타내는 제1 센서 데이터에 대해서 통계 연산한 결과로서,

·최소값(Min="Min1_1"),

·최대값(Max="Max1_1"),

·평균값(Avg="Avg1_1"),

·3σ(="3σ1_1"),

를 포함하는 "서머리1_1"이 생성된 것을 나타내고 있다(부호 441 참조).

(1-2) 제2 센서 데이터에 대한 통계 연산 처리

다음에, 해석 장치(120)에 의한, 제2 센서 데이터에 대한 통계 연산 처리의 구체예에 대해서 설명한다. 도 5는 해석 장치에 의한 통계 연산 처리의 구체예를 나타내는 제2 도이다. 또한, 여기서는, 도 4에서 나타낸 통계 연산 처리의 구체예와의 상위점을 중심으로 설명한다.

도 5에 있어서, 비교 장치 센서 데이터(510)는, 제1 센서 데이터 대신에 제2 센서 데이터가 저장되어 있는 점을 제외하면, 대상 장치 센서 데이터(410)와 동일한 데이터 구조이다. 또한, 도 5에 있어서, BKM 레시피(520)는, 도 4에 나타내는 BKM 레시피(420)와 동일한 레시피이다.

한편, 도 5에 나타내는 바와 같이 제2 통계 연산부(312)의 경우, 비교 장치(111)로부터 제2 처리 구간 정보를 취득한다. 도 5에 있어서, 처리 시간을 나타내는 시간축 상의 가는 화살표(521)의 좌단 및 우단은, 스텝명="I"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)의 실행 개시 타이밍 및 실행 완료 타이밍을 나타내고 있다. 또한, 가는 화살표(521)의 길이는, 스텝명="I"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)을 실행하는 데 요하는 처리 시간을 나타내고 있다.

마찬가지로, 도 5에 있어서, 처리 시간을 나타내는 시간축 상의 가는 화살표(522)의 좌단 및 우단은, 스텝명="II"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)의 실행 개시 타이밍 및 실행 완료 타이밍을 나타내고 있다. 또한, 가는 화살표(522)의 길이는, 스텝명="II"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)을 실행하는 데 요하는 처리 시간을 나타내고 있다.

마찬가지로, 도 5에 있어서, 처리 시간을 나타내는 시간축 상의 가는 화살표(523)의 좌단 및 우단은, 스텝명="III"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)의 실행 개시 타이밍 및 실행 완료 타이밍을 나타내고 있다. 또한, 가는 화살표(523)의 길이는, 스텝명="III"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)을 실행하는 데 요하는 처리 시간을 나타내고 있다.

여기서, 도 5의 예는, 대상 장치(110)와 비교 장치(111) 사이에서, 스텝명="I", "III"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)에 대해서는, 처리 시간이 동일한 것을 나타내고 있다. 한편, 스텝명="II"에 의해 특정되는 처리 구분(스텝)에 대해서는 처리 시간이 다른 것을 나타내고 있다.

전술한 바와 같이, 제2 통계 연산부(312)는, 비교 장치 센서 데이터(510)의 "제2 센서 데이터"를, 제2 처리 구간 정보를 이용함으로써, 처리 구분(스텝)에 따라 나눈다. 도 5의 비교 장치 센서 데이터(530)는, 비교 장치 센서 데이터(510)의 "제2 센서 데이터"를, 제2 처리 구간 정보를 이용함으로써, 처리 구분에 따라 나눈 것을 나타내고 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 제2 통계 연산부(312)에서는, 처리 구분에 따라 나눈 "제2 센서 데이터"에 대해서, 처리 구분마다 통계 연산을 행한다. 도 5에 있어서, 비교 장치 통계 연산 결과(540)는, 제2 통계 연산부(312)가 통계 연산을 행함으로써 생성한 제2 서머리 데이터를 포함하는 데이터 구조의 일례이다.

비교 장치 통계 연산 결과(540)에 있어서, "제2 서머리 데이터"에 포함되는 "서머리1_1"은,

·센서 식별자="센서 1"에 대응된 제2 센서 데이터, 또한,

·스텝명="I"에 의해 특정되는 처리 구분에 따라 나뉘어진 제2 센서 데이터,

에 대해서(부호 531 참조), 통계 연산한 결과이다.

도 5의 예는, 부호 531로 나타내는 제2 센서 데이터에 대해서 통계 연산한 결과로서,

·최소값(Min="Min1_1"),

·최대값(Max="Max1_1"),

·평균값(Avg="Avg1_1"),

·3σ(="3σ1_1"),

를 포함하는 "서머리1_1"이 생성된 것을 나타내고 있다(부호 541 참조).

(2) 차분값 산출 처리의 구체예

다음에, 해석 장치(120)에 의한 차분값 산출 처리의 구체예에 대해서 설명한다. 도 6은 해석 장치에 의한 차분값 산출 처리의 구체예를 나타내는 도면이다.

도 6에 나타내는 바와 같이 제1 통계 연산부(302)에 의해 생성된 대상 장치 통계 연산 결과(440) 및 제2 통계 연산부(312)에 의해 생성된 비교 장치 통계 연산 결과(540)는, 차분값 산출부(321)에 있어서 차분 처리된다. 도 6에 있어서, 차분값 산출 결과(610)는, 대상 장치 통계 연산 결과(440) 및 비교 장치 통계 연산 결과(540)가, 차분값 산출부(321)에 있어서 차분 처리됨으로써 산출된 차분값을 포함하는 데이터 구조의 일례이다.

차분값 산출 결과(610)에 있어서, "차분1_1"은,

·센서 식별자="센서 1"의 제1 센서 데이터 중, 스텝명="I"에 의해 특정되는 처리 구분에 따라 나뉘어진 제1 센서 데이터를 통계 연산한 결과와,

·센서 식별자="센서 1"의 제2 센서 데이터 중, 스텝명="I"에 의해 특정되는 처리 구분에 따라 나뉘어진 제2 센서 데이터를 통계 연산한 결과,

에 기초하여 산출한 차분값이다.

도 6에 나타내는 바와 같이 "차분1_1"에는, 차분값으로서,

·최소값의 차분값((대상 장치의 Min1_1)-(비교 장치의 Min1_1)),

·최대값의 차분값((대상 장치의 Max1_1)-(비교 장치의 Max1_1)),

·평균값의 차분값((대상 장치의 Avg1_1)-(비교 장치의 Avg1_1)),

·3σ의 차분값((대상 장치의 3σ1_1)-(비교 장치의 3σ1_1)),

이 포함된다(부호 611 참조).

(3) 표시 처리의 구체예

다음에, 해석 장치(120)에 의한 표시 처리의 구체예에 대해서, 비교 결과 표시 화면을 참조하면서 설명한다. 도 7은 비교 결과 표시 화면의 일례를 나타내는 도면이다.

도 7에 나타내는 바와 같이 비교 결과 표시 화면(700)에는, 작업자(130)로부터의 지시를 접수하는 접수란이 표시된다. 접수란은, 차분값을 산출하는 산출 대상이나, 산출한 차분값 중 그래프 표시하는 표시 대상의 선택을 접수한다.

구체적으로는, 비교 결과 표시 화면(700)에는, BKM 레시피(420)에 있어서 규정된 각 처리 구분(각 스텝) 중에서, 작업자(130)에 의해 선택된 처리 구분(스텝)을 접수하는(스텝 선택 지시를 접수하는) 접수란(701)이 표시된다.

또한, 비교 결과 표시 화면(700)에는, 대상 장치(110) 내의 각 센서 중에서, 작업자(130)에 의해 선택된 센서를 접수하는(센서 선택 지시를 접수하는) 접수란(702)이 표시된다.

또한, 비교 결과 표시 화면(700)에는, 통계 연산의 종류(서머리) 중에서, 작업자(130)에 의해 선택된 통계 연산의 종류를 접수하는(서머리 선택 지시를 접수하는) 접수란(703)이 표시된다.

또한, 도 7에 나타내는 바와 같이 비교 결과 표시 화면(700)에는, 처리 구분마다의 차분값을 그래프 표시하는 그래프 표시란(704)이 표시된다. 도 7에 나타내는 바와 같이 그래프 표시란(704)에 있어서, 횡축에는, BKM 레시피(420)에 있어서 규정된 각 처리 구분(각 스텝)을 특정하는 스텝명이 배치된다. 또한, 그래프 표시란(704)에 있어서, 좌측의 종축에는, 차분값이 배치된다. 또한, 그래프 표시란(704)에 있어서, 우측의 종축에는, 처리 시간 및 시간차가 배치된다.

또한, 기판 처리 장치의 경우, 동일한 처리 구분(스텝)이라도, 처리 시간이 긴 경우와 짧은 경우에서는, 통계 연산의 결과에 차이가 생긴다. 이 때문에, 표시 제어부(322)에서는, 통계 연산의 결과에 기초한 차분값을 그래프 표시하는 데 있어서, 각 처리 구분의 처리 시간도 함께 표시한다. 이에 의해, 작업자(130)는 통계 연산의 결과에 기초한 차분값을 확인할 때, 처리 시간을 가미할 수 있다.

또한, 표시 제어부(322)에서는, BKM 레시피(420)에 있어서 규정된 각 처리 구분 중, 동일한 처리 구분에 관해서, 대상 장치(110)가 실행한 경우에 필요한 처리 시간과, 비교 장치(111)가 실행한 경우에 필요한 처리 시간의 시간차를 표시한다. 이에 의해, 작업자(130)는 통계 연산의 결과에 기초한 차분값을 확인할 때, 처리 시간의 시간차를 가미하여 확인할 수 있다.

다음에, 비교 결과 표시 화면(700)에 있어서의 그래프 표시예에 대해서 설명한다. 도 8은 비교 결과 표시 화면에 있어서의 그래프 표시예를 나타내는 제1 도이다.

도 8의 비교 결과 표시 화면(700)의 그래프 표시란(704)에 있어서, 예컨대, 꺽은선 그래프(811)는, 미리 정해진 센서 식별자를 갖는 센서의 각 처리 구분에 있어서의 평균값의 차분값을 나타내고 있다. 또한, 꺽은선 그래프(811) 상의 각 동그라미표는, 각각의 처리 구분에 있어서의 차분값을 나타내고 있다.

또한, 그래프 표시란(704)에 있어서, 예컨대, 막대 그래프(812)는, 미리 정해진 처리 구분을 실행하였을 때에, 대상 장치(110)가 필요한 처리 시간을 표시하고 있고, 막대 그래프(813)는, 미리 정해진 처리 구분을 실행하였을 때에, 비교 장치(111)가 필요한 처리 시간을 나타내고 있다.

또한, 그래프 표시란(704)에 있어서, 예컨대, 막대 그래프(814)는, 미리 정해진 처리 구분을 실행하였을 때에, 대상 장치(110)가 필요한 처리 시간과 비교 장치(111)가 필요한 처리 시간의 시간차를 나타내고 있다.

또한, 도 8에 나타내는 바와 같이 스텝 일람 표시란(801)에는, BKM 레시피(420)의 "스텝"에 포함되는 스텝명이, 실행 순서에 따라 표시된다. 도 8의 예에서는, 접수란(701)에 있어서, "전부"가 선택되어 있기 때문에, 스텝 일람 표시란(801)에는, BKM 레시피(420)의 "스텝"에 포함되는 모든 스텝명이 표시된다. 만약, 접수란(701)에 있어서, "주요"가 선택되어 있던 경우에는, 스텝 일람 표시란(801)에는, BKM 레시피(420)의 "스텝"에 포함되는 스텝명 중, 미리 정해진 주요인 스텝의 스텝명이 표시된다.

또한, 도 8에 나타내는 바와 같이 센서 일람 표시란(802)에는, 대상 장치(110) 내의 각 센서를 식별하는 식별자가 표시된다. 도 8의 예에서는, 접수란(702)에 있어서, "전부"가 선택되어 있기 때문에, 센서 일람 표시란(802)에는, 대상 장치(110) 내의 각 센서를 식별하는 식별자가 전부 표시된다. 만약, 접수란(702)에 있어서, "주요"가 선택되어 있던 경우에는, 센서 일람 표시란(802)에는, 대상 장치(110) 내의 각 센서 중, 미리 정해진 주요인 센서를 식별하는 식별자가 표시된다.

또한, 센서 일람 표시란(802)에 표시되는 식별자는, 차분값의 누적값에 따른 순서에 따라 배열되는 것으로 한다. 차분값의 누적값이란, 각각의 센서에 대해서, 각 처리 구분에 있어서의 차분값을 누적한 값이다. 접수란(701)에 있어서, "전부"가 선택되어 있는 경우, 차분값의 누적값은, 모든 처리 구분에 대한 차분값을 누적한 값이 된다. 한편, 접수란(701)에 있어서, "주요"가 선택되어 있는 경우, 차분값의 누적값은, 미리 정해진 주요인 처리 구분에 대한 차분값을 누적한 값이 된다.

또한, 그래프 표시란(704)에는, 센서 일람 표시란(802)에 배열된 식별자 중, 상위 m개(m은 임의의 정수)의 식별자에 의해 식별되는 센서에 대응하는 꺽은선 그래프만이 표시되도록 구성하여도 좋다.

또한, 그래프 표시란(704)에 표시된 꺽은선 그래프에 있어서, 각 처리 구분의 차분값을 나타내는 각 동그라미표는, 대응하는 센서의, 대응하는 처리 구분으로 나뉘어진 제1 센서 데이터(통계 연산하기 전의 제1 센서 데이터)와 대응되어 있다.

이 때문에, 꺽은선 그래프 상의 동그라미표를 선택하면, 선택된 동그라미표에 대응된 제1 센서 데이터[예컨대, 제1 센서 데이터(820)]가 표시된다. 이와 같이, 작업자(130)는, 그래프 표시란(704)의 꺽은선 그래프 상의 동그라미표로 나타내는 차분값 중에서, 가늠한 차분값에 대해서 드릴 다운하여, 상세한 제1 센서 데이터를 확인할 수 있다.

<데이터 확인 처리>

다음에, 해석 장치(120)에 의한 데이터 확인 처리의 상세에 대해서 설명한다. 도 9는 데이터 확인 처리의 흐름을 나타내는 흐름도이다.

스텝 S901에 있어서, 해석 장치(120)는, 대상 장치(110)에 BKM 레시피(420)를 설정한다.

스텝 S902에 있어서, 대상 장치(110)는, BKM 레시피(420)를 실행한다.

스텝 S903에 있어서, 해석 장치(120)는, BKM 레시피(420)의 실행 중에 대상 장치(110)로부터 출력된, 제1 센서 데이터를 취득한다.

스텝 S904에 있어서, 해석 장치(120)는, 대상 장치(110)가 BKM 레시피(420)를 실행하였을 때의 제1 처리 구간 정보를 이용함으로써, 대상 장치(110)의 제1 센서 데이터를 처리 구분에 따라 나눈다.

스텝 S905에 있어서, 해석 장치(120)는, 제1 센서 데이터에 대해서 처리 구분마다 통계 연산 처리를 행하여, 제1 서머리 데이터를 산출한다.

스텝 S911에 있어서, 해석 장치(120)는, BKM 레시피(420)의 실행 중에 비교 장치(111)로부터 출력된, 제2 센서 데이터를 취득한다.

스텝 S912에 있어서, 해석 장치(120)는, 비교 장치(111)가 BKM 레시피(420)를 실행하였을 때의 제2 처리 구간 정보를 이용함으로써, 비교 장치(111)의 제2 센서 데이터를 처리 구분에 따라 나눈다.

스텝 S913에 있어서, 해석 장치(120)는, 제2 센서 데이터에 대해서 처리 구분마다 통계 연산 처리를 행하여, 제2 서머리 데이터를 산출한다.

스텝 S921에 있어서, 해석 장치(120)는, 비교 결과 표시 화면을 표시한다. 스텝 S922에 있어서, 해석 장치(120)는, 어느 하나의 선택 지시(스텝 선택 지시, 센서 선택 지시, 서머리 선택 지시)를 접수하였는지의 여부를 판정한다.

스텝 S922에 있어서 어떤 선택 지시도 접수하지 않았다고 판정한 경우에는(스텝 S922에 있어서 No의 경우에는), 스텝 S923으로 진행한다. 스텝 S923에 있어서, 해석 장치(120)는, 디폴트의 지시(스텝 선택 지시="전부", 센서 선택 지시="전부", 서머리 선택 지시="평균값")에 기초하여, 모든 센서, 모든 처리 구분에 대해서, 평균값의 차분값을 산출하여, 그래프 표시한다.

한편, 스텝 S922에 있어서 어느 하나의 선택 지시를 접수하였다고 판정한 경우에는(스텝 S922에 있어서 Yes의 경우에는), 스텝 S924로 진행한다. 스텝 S924에 있어서, 해석 장치(120)는, 접수한 선택 지시에 따른 센서, 처리 구분에 대해서 차분값을 산출하여, 그래프 표시한다.

스텝 S925에 있어서, 해석 장치(120)는, 상세 표시 지시를 접수하였는지의 여부를 판정한다. 스텝 S925에 있어서, 상세 표시 지시를 접수하였다고 판정한 경우에는(스텝 S925에 있어서 Yes의 경우에는), 스텝 S926으로 진행한다.

스텝 S926에 있어서, 해석 장치(120)는, 상세 표시 지시에 있어서 선택된 차분값에 대응하는 제1 센서 데이터를 읽어내어, 표시한다.

한편, 스텝 S925에 있어서, 상세 표시 지시를 접수하지 않았다고 판정한 경우에는(스텝 S925에 있어서 No의 경우에는), 스텝 S927로 진행한다.

스텝 S927에 있어서, 해석 장치(120)는, 데이터 확인 처리를 종료할지의 여부를 판정한다. 스텝 S927에 있어서, 데이터 확인 처리를 종료하지 않는다고 판정한 경우에는(스텝 S927에 있어서 No의 경우에는), 스텝 S922로 되돌아간다. 한편, 스텝 S927에 있어서 데이터 확인 처리를 종료한다고 판정한 경우에는(스텝 S927에 있어서, Yes의 경우에는), 데이터 확인 처리를 종료한다.

<요약>

이상의 설명으로부터 분명한 바와 같이, 제1 실시형태에 따른 해석 장치(120)는,

·대상 장치 내의 각 센서로부터 출력되는 센서 데이터를, 상기 대상 장치가 실행하는 처리(BKM 레시피)의 처리 구분(스텝)에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 행한다.

·비교 장치의 각 센서로부터 출력되는 센서 데이터를, 상기 비교 장치가 실행하는 처리(BKM 레시피)의 처리 구분(스텝)에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 한다.

·통계 연산의 결과의 차분값을, 처리 구분마다 산출하여, 비교 결과 표시 화면에 표시한다.

이와 같이, 센서 데이터를 처리 구분 단위로 서머라이즈하기 위해, 작업자는, 방대한 데이터점수를 포함하는 센서 데이터를 전점 확인할 필요가 없어져, 센서 데이터 전체를 부감하면서, 확인해야 하는 센서 데이터를 가늠할 수 있다.

또한, 대상 장치의 센서 데이터와 비교 장치의 센서 데이터를, 처리 구분이라는 의미가 있는 단위끼리로 비교하기 때문에, 확인해야 하는 센서 데이터를 가늠할 때의 정확도를 높일 수 있다.

이 결과, 본 실시형태에 따른 해석 장치(120)에 의하면, 대상 장치(110) 내의 각 센서가 출력한 센서 데이터를 작업자가 확인할 때의 데이터 확인 작업을, 효율화할 수 있다.

[제2 실시형태]

상기 제1 실시형태에서는, 그래프 표시란(704)에 그래프 표시하는 데 있어서, 횡축에, 스텝명을 배치하고, 종축에, 차분값을 배치하였다. 그러나, 그래프 표시란(704)에 그래프 표시할 때의 표시 방법은 이것에 한정되지 않는다. 이하, 제2 실시형태에 대해서, 상기 제1 실시형태와의 상위점을 중심으로 설명한다.

도 10은 비교 결과 표시 화면에 있어서의 그래프 표시예를 나타내는 제2 도이다. 도 8에 나타내는 비교 결과 표시 화면(700)과의 상위점은, 도 10에 나타내는 비교 결과 표시 화면(1000)의 경우, 그래프 표시란(704)에, 히트맵 형식으로 차분값이 표시되어 있는 점이다.

구체적으로는, 도 10의 그래프 표시란(704)에 있어서, 횡축에는, BKM 레시피(420)에 있어서 규정된 각 처리 구분(각 스텝)을 특정하는 스텝명이 배치된다. 또한, 그래프 표시란(704)에 있어서, 종축에는, 센서를 식별하는 식별자가 배치된다. 또한, 스텝명과 식별자에 기초하여 특정되는 영역에는, 차분값에 따른 색(또는 농담)이 표시된다.

이와 같이, 히트맵 형식으로 차분값을 가시화함으로써, 작업자(130)는, 어떤 센서의 어떤 처리 구분에 있어서, 차분값이 큰지를, 용이하게 파악할 수 있다. 이 때문에, 작업자(130)는, 센서 데이터 전체를 부감하면서, 확인해야 하는 센서 데이터를 가늠할 수 있다. 이 결과, 제2 실시형태에 따르면, 데이터를 확인하는 데이터 확인 작업을, 효율화할 수 있다.

[제3 실시형태]

상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 통계 연산으로서, 최소값, 최대값, 평균값, 표준 편차를 산출하는 것으로서 설명하였지만, 통계 연산은 이들에 한정되지 않고, 다른 통계 연산을 행하여도 좋다.

또한, 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 센서 데이터를 통계 연산하는 것으로서 설명하였지만, 예컨대, 센서 데이터를 정규화한 뒤에 통계 연산을 행하여도 좋다.

또한, 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 해석 장치(120)가 대상 장치(110)와는 별개체로서 구성되는 것으로서 설명하였지만, 해석 장치(120)는, 대상 장치(110)와 일체적으로 구성되어도 좋다.

또한, 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 해석 장치(120)가, 대상 장치 센서 데이터 취득부(301), 제1 통계 연산부(302), 비교 장치 센서 데이터 취득부(311), 제2 통계 연산부(312), 차분값 산출부(321), 표시 제어부(322)를 갖는 것으로서 설명하였다. 그러나, 해석 장치(120)가 갖는 각 부 중 일부의 기능은, 대상 장치(110) 등에 있어서 실현되어도 좋다. 즉, 해석 장치(120)가 갖는 각 부의 기능은, 처리 시스템(100) 내의 어떤 장치에 있어서 실현되어도 좋다.

예컨대, 대상 장치 센서 데이터 취득부(301), 제1 통계 연산부(302)는, 대상 장치(110)에 있어서 실현되고, 비교 장치 센서 데이터 취득부(311), 제2 통계 연산부(312)는, 비교 장치(111)에 있어서 실현되어도 좋다. 이 경우, 해석 장치(120)에서는, 대상 장치(110)로부터 제1 서머리 데이터를 취득하고, 비교 장치(111)로부터 제2 서머리 데이터를 취득함으로써, 차분값 산출부(321), 표시 제어부(322)를 실행한다.

또한, 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 대상 장치 및 비교 장치가, 웨이퍼 등의 기판을 처리하는 기판 처리 장치라고 하여 설명하였지만, 대상 장치 및 비교 장치는, 기판 처리 장치 이외의 처리 장치여도 좋다.

또한, 상기 실시형태에 예를 든 구성 등에, 그 외의 요소와의 조합 등, 여기서 나타낸 구성에 본 발명이 한정되는 것이 아니다. 이들 점에 관해서는, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 변경하는 것이 가능하고, 그 응용 형태에 따라 적절하게 정할 수 있다.

Claims

처리 시스템으로서,
대상 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를, 상기 대상 장치가 실행하는 BKM(Best known Method) 레시피로서, 처리 구분마다 다른 처리 내용이 규정된 BKM 레시피의 각 처리 구분에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 행하는 제1 통계 연산부와,
비교 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를, 상기 비교 장치가 실행하는 BKM 레시피로서, 상기 대상 장치가 실행하는 BKM 레시피와 동일한 BKM 레시피의 각 처리 구분에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 행하는 제2 통계 연산부와,
상기 제1 통계 연산부에 의한 통계 연산의 결과와 상기 제2 통계 연산부에 의한 통계 연산의 결과의 차분값을, 상기 처리 구분마다 산출하는 차분값 산출부와,
상기 각 센서의 식별자를 제1 축에 배치하고, 상기 각 처리 구분을 제2 축에 배치한 히트맵에서, 상기 각 센서의 식별자와 상기 각 처리 구분에 기초하여 특정되는 각각의 영역을, 각각의 상기 차분값에 따른 표시 태양(態樣)으로 표시하는 표시 제어부
를 포함하는, 처리 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제1 통계 연산부는, 상기 처리 구분을 상기 대상 장치가 실행하였을 때의 실행 개시 타이밍과 실행 완료 타이밍에 따라, 상기 대상 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를 나누고,
상기 제2 통계 연산부는, 상기 처리 구분을 상기 비교 장치가 실행하였을 때의 실행 개시 타이밍과 실행 완료 타이밍에 따라, 상기 비교 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를 나누는 것인, 처리 시스템.
제2항에 있어서,
상기 제1 통계 연산부는, 각 처리 구분에 따라 나눈 데이터에 대해서, 처리 구분마다 최소값, 최대값, 평균값, 표준 편차 중 어느 하나의 통계 연산을 행하고,
상기 제2 통계 연산부는, 각 처리 구분에 따라 나눈 데이터에 대해서, 처리 구분마다 최소값, 최대값, 평균값, 표준 편차 중 어느 하나의 통계 연산을 행하는 것인, 처리 시스템.
제1항에 있어서,
상기 표시 제어부는, 어느 하나의 영역이 선택된 경우에, 상기 대상 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터 중 선택된 영역에 대응하는 센서의, 대응하는 처리 구분으로 나뉘어진 데이터를 표시하는 것인, 처리 시스템.
제3항에 있어서,
상기 표시 제어부는, 상기 처리 구분마다의 차분값 중 선택된 센서로부터 출력되는 데이터에 기초하여 산출된 차분값, 또는 선택된 처리 구분에 따라 나눈 데이터에 기초하여 산출된 차분값, 또는 선택된 통계 연산이 행해진 데이터에 기초하여 산출된 차분값 중 어느 하나의 차분값에 따른 표시 태양으로 표시하는 것인, 처리 시스템.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 대상 장치 및 상기 비교 장치는, 기판을 처리하는 기판 처리 장치인 것인, 처리 시스템.
처리 방법으로서,
제1 통계 연산부에 의해, 대상 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를, 상기 대상 장치가 실행하는 BKM 레시피로서, 처리 구분마다 다른 처리 내용이 규정된 BKM 레시피의 각 처리 구분에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 행하는 제1 통계 연산 공정과,
제2 통계 연산부에 의해, 비교 장치의 각 센서로부터 출력되는 데이터를, 상기 비교 장치가 실행하는 BKM 레시피로서, 상기 대상 장치가 실행하는 BKM 레시피와 동일한 BKM 레시피의 각 처리 구분에 따라 나누어, 처리 구분마다 통계 연산을 행하는 제2 통계 연산 공정과,
차분값 산출부에 의해, 상기 제1 통계 연산 공정에 있어서의 통계 연산의 결과와 상기 제2 통계 연산 공정에 있어서의 통계 연산의 결과의 차분값을, 상기 처리 구분마다 산출하는 차분값 산출 공정과,
표시 제어부에 의해, 상기 각 센서의 식별자를 제1 축에 배치하고, 상기 각 처리 구분을 제2 축에 배치한 히트맵에서, 상기 각 센서의 식별자와 상기 각 처리 구분에 기초하여 특정되는 각각의 영역을, 각각의 상기 차분값에 따른 표시 태양으로 표시하는 표시 제어 공정
을 포함하는, 처리 방법.
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