KR102661738B1 - Opening and closing device for Heater Built-in throttle valve - Google Patents
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Abstract
본 발명은 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치는, 상기 히터 내장형 스로틀밸브의 도어의 중심축에 연결된 샤프트(11); 일측면 상부에 통공(12a)이 형성되며, 상기 샤프트(11)를 회동시키는 회동하우징(12); 상기 회동하우징(12)의 일측면에 고정구비된 회동디스크(13); 및 상기 샤프트(11)내에 베어링이 게재되어 삽입된 히터부(14);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 개폐장치에서는 샤프트가 회동하더라도 히터부는 고정상태로 유지되므로, 히터의 전원케이블이나 센서케이블이 당겨지거나 꼬이는 문제가 발생하지 않게 되고, 결과적으로 구동에 따른 케이블 단락이 발생하지 않게되는 효과 및 케이블의 사용 수명이 획기적으로 늘어나 100만회 이상 유지되는 효과가 있다.The present invention provides an opening and closing device for a throttle valve with a built-in heater according to the present invention, including a shaft 11 connected to the central axis of the door of the throttle valve with a built-in heater; A rotating housing (12) having a through hole (12a) formed in the upper part of one side and rotating the shaft (11); a rotating disk (13) fixed to one side of the rotating housing (12); and a heater unit 14 inserted with a bearing placed within the shaft 11. In the switchgear according to the present invention, the heater part remains fixed even if the shaft rotates, so the problem of the heater's power cable or sensor cable being pulled or twisted does not occur, and as a result, cable short-circuiting due to driving does not occur. The usable life of the cable is dramatically increased and can be maintained for more than 1 million cycles.
Description
본 발명은 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 챔버의 진공정도를 조절할 수 있는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐동작을 제어하는 개폐장치의 디스크히터의 케이블 수명을 획기적으로 늘릴수 있는 구성을 가진 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to an opening and closing device for a throttle valve with a built-in heater, and more specifically, to a device that can dramatically increase the cable life of the disk heater of the switch that controls the opening and closing operation of the throttle valve with a built-in heater that can control the vacuum degree of the chamber. It relates to the opening and closing device of a heater-embedded throttle valve with a configuration.
일반적으로, 히터 내장형 스로틀밸브는 진공 장비에서 활용되는 것으로 히터 내장형 스로틀밸브는 공정챔버 내부를 유량을 제어하여 진공도를 조절을 위해 사용된다.Generally, a throttle valve with a built-in heater is used in vacuum equipment. The throttle valve with a built-in heater is used to control the flow rate inside the process chamber and adjust the degree of vacuum.
종래에 히터 내장형 스로틀밸브가 사용되는 진공시스템 구조는, 반도체나 기타 공정을 위한 부품을 저장하는 챔버가 있고, 그 챔버에 공기를 빼주는 진공펌프를 결합한다. 진공펌프와 공정 챔버를 서로 연통시키는 것이 히터 내장형 스로틀밸브이다. 히터 내장형 스로틀밸브는 공정챔버 내부를 유량을 제어하여 진공도를 조절하기 위해 사용하는 것이다.The vacuum system structure that conventionally uses a throttle valve with a built-in heater has a chamber that stores components for semiconductors or other processes, and combines a vacuum pump that removes air from the chamber. The heater-embedded throttle valve communicates between the vacuum pump and the process chamber. The heater-embedded throttle valve is used to control the vacuum level by controlling the flow rate inside the process chamber.
이때, 챔버 진공도를 조절하기 위하여 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐동작이 이루어지고, 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐동작은 Disk의 90도 회전 제어에 따라 이루어진다.At this time, the opening and closing operation of the throttle valve with a built-in heater is performed to control the chamber vacuum, and the opening and closing operation of the throttle valve with a built-in heater is performed according to the 90-degree rotation control of the disk.
이와 같은 종래의 제어장치에는 체결된 샤프트와 샤프트를 회동시키는 회동디스크 및 샤프트내에 고정된 히터가 있으나, 샤프트가 회동함에 따라 히터도 회동하게 되므로, 가동횟수에 따라 히터와 연결된 전원케이블 또는 센서케이블이 당겨지거나 꼬이는 횟수가 증가하게 되고, 결국 대략 10,000 횟수를 넘기지 못하고 단락이 발생하게 되는 문제점이 있다.Such a conventional control device includes a coupled shaft, a rotating disk that rotates the shaft, and a heater fixed within the shaft. However, as the shaft rotates, the heater also rotates, so the power cable or sensor cable connected to the heater varies depending on the number of operations. There is a problem in that the number of times it is pulled or twisted increases, and eventually a short circuit occurs before approximately 10,000 times.
따라서 이와 같은 문제점을 해결해줄 수 있는 구조가 필요하였다.Therefore, a structure that could solve this problem was needed.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐동작을 제어하는 개폐장치의 디스크히터의 케이블 수명을 100만회 이상 획기적으로 늘릴수 있는 구성을 가진 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치를 제공하는 것이다.The present invention was created to solve the above-mentioned problems, and the purpose of the present invention is to provide a heater with a configuration that can dramatically increase the cable life of the disk heater of the switch device that controls the opening and closing operation of the heater-embedded throttle valve by more than 1 million cycles. It provides an opening and closing device for a built-in throttle valve.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치는,In order to achieve the above object, the opening and closing device of the heater-embedded throttle valve according to the present invention,
상기 히터 내장형 스로틀밸브의 중심축에 연결된 샤프트(11);A shaft (11) connected to the central axis of the heater-embedded throttle valve;
일측면 상부에 통공(12a)이 형성되며, 상기 샤프트(11)를 회동시키는 회동하우징(12);A rotating housing (12) having a through hole (12a) formed in the upper part of one side and rotating the shaft (11);
상기 회동하우징(12)의 일측면에 고정구비된 회동디스크(13); 및 A rotating disk (13) fixed to one side of the rotating housing (12); and
상기 샤프트(11)내에 베어링이 게재되어 삽입된 히터부(14);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it is configured to include a heater unit (14) inserted with a bearing placed within the shaft (11).
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,In addition, in the opening and closing device of the heater-embedded throttle valve according to the present invention,
상기 샤프트(11)는 중공으로 상부가 개방되어 있으며, 상부 측면은 상기 회동하우징(12)에 고정결합되는 것을 특징으로 한다.The shaft 11 is hollow and has an open top, and its upper side is fixedly coupled to the rotating housing 12.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,In addition, in the opening and closing device of the heater-embedded throttle valve according to the present invention,
상기 회동하우징(12)은, 하부 또는 상하부가 개방된 중공의 형상이며, 개방된 하부는 상기 샤프트(11)와 고정결합되고, 일측면 상부에는 소정 폭의 통공(12a)이 원주를 따라 형성되며, 상기 통공(12a)의 하부에 회동디스크(13)가 고정구비되는 것을 특징으로 한다.The rotating housing 12 has a hollow shape with the lower or upper and lower parts open, the open lower part is fixedly coupled to the shaft 11, and a through hole 12a of a predetermined width is formed along the circumference at the upper part of one side. , Characterized in that a rotating disk 13 is fixed to the lower part of the through hole 12a.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,In addition, in the opening and closing device of the heater-embedded throttle valve according to the present invention,
상기 회동디스크(13)는 90도 각도 범위내에서 회동하는 것을 반복하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.The rotating disk 13 is characterized in that it is configured to repeat rotation within a 90-degree angle range.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,In addition, in the opening and closing device of the heater-embedded throttle valve according to the present invention,
상기 히터부(14)는 직선 봉형상의 히터몸체(14a)와 절곡된 형상의 히터상부(14b)로 구성되며, 상기 히터몸체(14a)는 샤프트(11)내에 베어링(11a)이 게재되어 삽입되고, 상기 히터상부(14b)의 절곡된 부분은 회동하우징(12)의 통공(12a)을 통해 외부로 돌출되어, 상기 샤프트(11)의 회동에 대해 회동없이 고정위치를 유지하는 것을 특징으로 한다.The heater unit 14 is composed of a straight rod-shaped heater body 14a and a bent heater upper part 14b. The heater body 14a is inserted with a bearing 11a placed within the shaft 11. , the bent portion of the heater upper part 14b protrudes outward through the through hole 12a of the rotating housing 12, and maintains a fixed position without rotating with respect to the rotation of the shaft 11.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,In addition, in the opening and closing device of the heater-embedded throttle valve according to the present invention,
상기 히터상부(14b)의 내부에는 히터 케이블과 센서케이블(C) 연장선이 구비되고, 상기 히터 케이블과 센서케이블(C) 연장선은 전원 및 센서 인입부(34)에 인입되는 것을 특징으로 한다.A heater cable and a sensor cable (C) extension line are provided inside the heater upper part (14b), and the heater cable and sensor cable (C) extension line are inserted into the power and sensor inlet (34).
본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치는, 샤프트가 회동하더라도 히터부는 고정상태로 유지되므로, 히터의 전원케이블이나 센서케이블이 당겨지거나 꼬이는 문제가 발생하지 않게 되고, 결과적으로 구동에 따른 케이블 단락이 발생하지 않게되는 효과가 있다. In the opening and closing device of the throttle valve with a built-in heater according to the present invention, the heater part remains fixed even if the shaft rotates, so the problem of the heater's power cable or sensor cable being pulled or twisted does not occur, and as a result, the cable short circuit due to driving. This has the effect of preventing this from occurring.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치의 디스크 케이블의 사용 수명이 획기적으로 늘어나 100만회 이상 유지되는 효과가 있다.In addition, the service life of the disk cable of the opening and closing device of the heater-embedded throttle valve according to the present invention is dramatically increased and is maintained for more than 1 million cycles.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치의 대략 사시도.
도 2는 도 1의 측단면도 및 확대도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 히터부의 예시도.
도 4의 (a),(b)는 도 1의 작동상태를 나타내는 도면.1 is a schematic perspective view of an opening and closing device for a heater-embedded throttle valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a side cross-sectional view and an enlarged view of Figure 1.
Figure 3 is an exemplary diagram of a heater unit according to an embodiment of the present invention.
Figures 4 (a) and (b) are diagrams showing the operating state of Figure 1.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below. This example is provided to explain the present invention in more detail to those skilled in the art. Therefore, the shape of each element shown in the drawing may be exaggerated to emphasize a clearer description.
도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치(10)는, 히터 내장형 스로틀밸브(20)의 디스크(21)의 중심축에 연결된 샤프트(11), 일측면 상부에 통공(12a)이 형성되며, 내재된 샤프트(11)를 회동시키는 회동하우징(12), 회동하우징(12)의 일측면에 고정구비된 회동디스크(13), 샤프트(11)내에 베어링이 게재되어 삽입된 히터부(14)를 포함하여 구성된다.As shown in Figures 1 and 4, the opening and closing device 10 of the heater-embedded throttle valve according to an embodiment of the present invention includes a shaft ( 11), a through hole 12a is formed in the upper part of one side, a rotating housing 12 that rotates the inherent shaft 11, a rotating disk 13 fixed to one side of the rotating housing 12, and a shaft ( 11) and includes a heater unit 14 inserted with a bearing placed therein.
히터 내장형 스로틀밸브(20)는 원형 디스크(21)가 중심축(미도시)을 중심으로 개폐되도록 구성된다.The heater-embedded throttle valve 20 is configured to open and close the circular disk 21 around a central axis (not shown).
샤프트(11)는 중공으로 상부가 개방되어 있으며, 히터 내장형 스로틀밸브(20)의 디스크(21)와 연동되도록 도어의 중심축에 연결되고, 상부 측면은 회동하우징(12)에 고정되어 있고, 히터 내장형 스로틀밸브(20)의 디스크가 90도 각도 범위내에서 회동하며 개폐동작이 이루어지도록 한다.The shaft 11 is hollow and open at the top, and is connected to the central axis of the door so as to be interlocked with the disk 21 of the heater-embedded throttle valve 20. The upper side is fixed to the rotating housing 12, and the heater The disk of the built-in throttle valve (20) rotates within a 90-degree angle range to perform opening and closing operations.
회동하우징(12)은, 하부 또는 상하부가 개방된 중공의 형상을 가지며, 개방된 하부 내측면은 샤프트(11)와 고정결합되고, 지지대(31) 및 보조플레이트(32)의 관통홀에 상대적인 회동이 가능하도록 끼움결합된다. The rotating housing 12 has a hollow shape with the lower or upper and lower parts open, and the open lower inner surface is fixedly coupled to the shaft 11, and rotates relative to the through hole of the support 31 and the auxiliary plate 32. It is fitted to make this possible.
또한, 회동하우징(12)의 일측면 상부에는 소정 폭의 통공(12a)이 원주를 따라 형성되며, 통공(12a)의 하부에는 회동디스크(13)가 고정구비되어 있다.In addition, a through hole 12a of a predetermined width is formed along the circumference of the upper side of one side of the rotating housing 12, and a rotating disk 13 is fixed to the lower part of the through hole 12a.
회동디스크(13)의 회동에 따라 회동하우징(12)에 내재된 샤프트(11)는 회동하게 된다.As the rotation disk 13 rotates, the shaft 11 embedded in the rotation housing 12 rotates.
회동디스크(13)는 보조플레이트(32)위에서 90도 각도 범위내에서 회동하는 것을 반복할 수 있도록 구성된 것으로, 보조플레이트(32)에는 회동디스크(13)의 회동각도를 제어하는 스토퍼(33)가 구비될 수 있다. 이때, 회동디스크(13)는 중심각이 90도인 1/4 원판 형태로 구성될 수 있고, 그에 따라 스토퍼(33)는 180도 각도에 서로 마주보도록 배치될 수 있다.The rotation disk 13 is configured to repeatedly rotate within a 90-degree angle range on the auxiliary plate 32, and the auxiliary plate 32 has a stopper 33 that controls the rotation angle of the rotation disk 13. It can be provided. At this time, the rotating disk 13 may be configured in the form of a 1/4 disk with a central angle of 90 degrees, and accordingly, the stoppers 33 may be arranged to face each other at an angle of 180 degrees.
히터부(14)는 직선 봉형상의 히터몸체(14a)와 90도 각도로 절곡된 형상의 히터상부(14b)로 구성되며, 히터몸체(14a)는 샤프트(11)내에 베어링(11a)이 게재되어 삽입되고, 히터상부(14b)의 절곡된 부분은 회동하우징(12)의 통공(12a)을 통해 외부로 돌출된다. 히터몸체(14a)내에는 히터(H)가 구비된다.The heater unit 14 is composed of a straight rod-shaped heater body 14a and a heater upper part 14b bent at a 90-degree angle, and the heater body 14a has a bearing 11a installed in the shaft 11. It is inserted, and the bent portion of the heater upper part 14b protrudes outward through the hole 12a of the rotatable housing 12. A heater (H) is provided within the heater body (14a).
여기서, 히터상부(14b)의 내부에는 히터 전원케이블과 센서케이블(C) 연장선이 구비됨으로써 외부충격에 강하게 보강된다. 이는 히터 전원케이블과 센서케이블(C)의 연결 용접을 히터부의 내부에서 진행하므로 가능하게 되는 것이다.Here, the heater power cable and the sensor cable (C) extension line are provided inside the heater upper part 14b, thereby providing strong reinforcement against external shock. This is possible because the connection welding of the heater power cable and the sensor cable (C) is performed inside the heater unit.
이와 같은 히터부(14)의 구성에 의해 샤프트가 회동하더라도 히터부(14)는 고정상태로 유지되므로, 히터의 전원케이블이나 센서케이블이 당겨지거나 꼬이는 문제가 발생하지 않게 되고, 결과적으로 구동에 따른 케이블 단락이 발생하지 않게된다. Due to this configuration of the heater unit 14, the heater unit 14 is maintained in a fixed state even when the shaft rotates, so the problem of the heater power cable or sensor cable being pulled or twisted does not occur, and as a result, the heater unit 14 is maintained in a fixed state even when the shaft rotates. Cable short circuits do not occur.
이와 같은 구성에서 사용 수명이 획기적으로 늘어나 100만회 이상 유지되는 것을 확인하였다.In this configuration, it was confirmed that the service life was dramatically increased and maintained for more than 1 million cycles.
보조플레이트(32)에는 전원 및 센서 인입부(34)가 구비되어 히터부(14)의 히터의 전원케이블과 센서케이블(C)이 인입된다.The auxiliary plate 32 is provided with a power and sensor inlet section 34 through which the heater power cable and sensor cable C of the heater unit 14 are inserted.
비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정이나 변형이 가능할 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허 청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the present invention has been described in relation to the above-mentioned preferred embodiments, various other modifications and variations may be made without departing from the gist and scope of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered from an illustrative rather than a restrictive perspective. The scope of the present invention is indicated in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the equivalent scope should be construed as being included in the present invention.
10: 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치
11: 샤프트 12 회동하우징
12a: 통공 13: 회동디스크
14: 히터부 14a: 히터몸체
14b: 히터상부
20: 히터 내장형 스로틀밸브 21: 디스크
31: 지지대 32: 보조플레이트
33: 스토퍼 34: 전원 및 센서 인입부
H: 히터 C: 전원 케이블과 센서케이블10: Opening and closing device of heater built-in throttle valve
11: Shaft 12 rotating housing
12a: Aperture 13: Rotating disk
14: heater unit 14a: heater body
14b: Upper part of heater
20: Heater built-in throttle valve 21: Disk
31: support 32: auxiliary plate
33: Stopper 34: Power and sensor inlet
H: Heater C: Power cable and sensor cable
Claims (6)
상기 히터 내장형 스로틀밸브의 디스크의 중심축에 연결된 샤프트(11);
일측면 상부에 통공(12a)이 형성되며, 상기 샤프트(11)를 회동시키는 회동하우징(12);
상기 회동하우징(12)의 일측면에 고정구비된 회동디스크(13); 및
상기 샤프트(11)내에 베어링이 게재되어 삽입된 히터부(14);를 포함하여 구성되며,
상기 회동하우징(12)은, 하부 또는 상하부가 개방된 중공의 형상이며, 개방된 하부는 상기 샤프트(11)와 고정결합되고, 일측면 상부에는 소정 폭의 통공(12a)이 원주를 따라 형성되며, 상기 통공(12a)의 하부에 회동디스크(13)가 고정구비되는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
In the opening and closing device of the heater-embedded throttle valve,
A shaft (11) connected to the central axis of the disk of the heater-embedded throttle valve;
A rotating housing (12) having a through hole (12a) formed in the upper part of one side and rotating the shaft (11);
a rotating disk (13) fixed to one side of the rotating housing (12); and
It is configured to include a heater unit 14 with a bearing placed and inserted into the shaft 11,
The rotating housing 12 has a hollow shape with the lower or upper and lower parts open, the open lower part is fixedly coupled to the shaft 11, and a through hole 12a of a predetermined width is formed along the circumference at the upper part of one side. , An opening and closing device for a heater-embedded throttle valve, characterized in that a rotating disk (13) is fixed to the lower part of the through hole (12a).
상기 샤프트(11)는 중공으로 상부가 개방되어 있으며, 상부 측면은 상기 회동하우징(12)에 고정되는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
According to claim 1,
The shaft (11) is hollow and has an open top, and the upper side is fixed to the rotating housing (12).
상기 회동디스크(13)는 90도 각도 범위내에서 회동하는 것을 반복하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
According to claim 1,
An opening and closing device for a heater-embedded throttle valve, characterized in that the rotating disk (13) is configured to repeat rotation within a 90-degree angle range.
상기 히터부(14)는 직선 봉형상의 히터몸체(14a)와 절곡된 형상의 히터상부(14b)로 구성되며, 상기 히터몸체(14a)는 샤프트(11)내에 베어링(11a)이 게재되어 삽입되고, 상기 히터상부(14b)의 절곡된 부분은 회동하우징(12)의 통공(12a)을 통해 외부로 돌출되어, 상기 샤프트(11)의 회동에 대해 회동없이 고정위치를 유지하는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
According to claim 1,
The heater unit 14 is composed of a straight rod-shaped heater body 14a and a bent heater upper part 14b. The heater body 14a is inserted with a bearing 11a placed within the shaft 11. , the bent portion of the heater upper part 14b protrudes to the outside through the hole 12a of the rotating housing 12, and maintains a fixed position without rotation with respect to the rotation of the shaft 11. Opening and closing device of the built-in throttle valve.
상기 히터상부(14b)의 내부에는 히터 케이블과 센서케이블(C) 연장선이 구비되고, 상기 히터 케이블과 센서케이블(C) 연장선은 전원 및 센서 인입부(34)에 인입되는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.According to clause 5,
A heater cable and a sensor cable (C) extension are provided inside the heater upper part (14b), and the heater cable and sensor cable (C) extension are inserted into the power and sensor inlet (34). Throttle valve opening and closing device.
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| KR1020220064138A KR102661738B1 (en) | 2022-05-25 | 2022-05-25 | Opening and closing device for Heater Built-in throttle valve |
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| KR1020220064138A KR102661738B1 (en) | 2022-05-25 | 2022-05-25 | Opening and closing device for Heater Built-in throttle valve |
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- 2022-05-25 KR KR1020220064138A patent/KR102661738B1/en active IP Right Grant
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