KR102661512B1 - 정전 척 필터 박스 및 마운팅 브라켓 - Google Patents

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Abstract

페데스탈 리프트와 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 장치 및 방법. RF 필터 박스는 RF 필터 박스의 외측 메이팅 표면 상의 콘택트 블록 및 적어도 하나의 정렬 피처를 갖는다. 콘택트 블록은 자기-정렬 전기 커넥터들을 포함하고, 정렬 피처는 콘택트 블록이 페데스탈 리프트의 브라켓에 마운팅될 때 자기-정렬 전기 커넥터들과 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들이 자동으로 메이팅하도록, 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들과 자기-정렬 전기 커넥터들을 정렬하기 위해 구성된다.

Description

정전 척 필터 박스 및 마운팅 브라켓
관련 출원에 대한 교차 참조
본 출원은 2018년 5월 17일에 출원된 미국 특허 출원 번호 제 15/982,972 호의 우선권의 이익을 주장하고, 이는 모든 목적들을 위해 참조로서 본 명세서에 인용된다.
본 개시는 반도체 프로세싱을 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 개시는 다른 신호들로부터 RF 신호들을 필터링하기 위한 정전 척 필터 박스 및 마운팅 브라켓에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼들과 같은 기판들을 프로세싱하기 위해 사용되는 반도체 프로세싱 시스템들은, 통상적으로 반도체 프로세싱 동안 웨이퍼를 홀딩하기 위한, 척과 같은 기판 지지부를 포함한다. 척의 일 타입은 웨이퍼를 플래튼 (platen) 에 홀딩하기 위해 웨이퍼와 플래튼 사이에 정전기력을 생성하도록 전압으로 바이어싱되는 (biased) 전극들을 갖는 플래튼을 포함하는, 정전 척 (electrostatic chuck; ESC) 이다. 통상적으로, DC 신호들이 ESC의 클램핑 (clamping) 및 디클램핑 (de-clamping) 기능들을 제어하기 위해 전압 전력 공급부들을 제어하도록 사용된다.
무선 주파수 (Radio Frequency; RF) 필터 박스는 (ESC 클램핑 전압으로부터) 민감한 DC 신호들 및 (ESC 가열기로부터) AC 신호들과 같은, 다른 신호들로부터 RF 신호들을 필터링하는 전기기계 어셈블리이다. 통상적으로, RF 필터 박스는 ESC 페데스탈 리프트와 전기적으로 커플링되고, 전기 접속 각각을 개별적으로 형성하기 위해 수동 커넥터들을 사용한다. RF 필터 박스는 페데스탈 리프트에 먼저 마운팅되어야 한다. 나중에 이들 수동 전기 접속들에 대한 액세스를 얻기 위해 RF 필터 박스 상의 패널들이 제거될 수 있다. 이들 전기 접속들을 수동으로 형성하는 것은 연결 와이어들의 조작을 필요로 하고, 어려울 수 있으며 항상 일관되지 않을 수도 있다. 와이어들의 일관된 배치는 필터링 회로들의 성능에 중요하다. 따라서, 자동 전기 및 기계 접속들을 형성하기 위한 신뢰할 수 있고 일관된 방식을 제공하는 ESC RF 필터 박스에 대한 수요가 있다.
일 실시예에 따라, 복수의 전기 접속들을 형성하도록 페데스탈 리프트의 브라켓 상에 마운팅하기 위한 정전 척 RF 필터 박스가 제공된다. RF 필터 박스는 적어도 하나의 콘택트 블록 및 적어도 하나의 정렬 피처를 포함한다. 콘택트 블록은 RF 필터 박스의 메이팅 (mating) 표면 상에 복수의 자기-정렬 (self-aligning) 전기 커넥터들을 포함한다. 메이팅 표면은 RF 필터 박스의 외측 표면이다. 정렬 피처는 RF 필터 박스의 메이팅 표면 상에 있고, 콘택트 블록이 페데스탈 리프트의 브라켓에 마운팅될 때 자기-정렬 전기 커넥터들과 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터가 자동으로 메이팅하도록, 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들과 자기-정렬 전기 커넥터들을 정렬하기 위해 구성된다.
또 다른 실시예에 따르면, 페데스탈 리프트와 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하기 위한 방법이 제공된다. 정전 척 RF 필터 박스가 제공된다. 필터 박스는 적어도 하나의 콘택트 블록 및 적어도 하나의 정렬 피처를 포함한다. 콘택트 블록은 RF 필터 박스의 외측 메이팅 표면 상의 복수의 자기-정렬 전기 커넥터들을 포함하고, 정렬 피처는 RF 필터 박스의 외측 메이팅 표면 상에 있다. 정렬 피처는 콘택트 블록이 페데스탈 리프트의 브라켓에 마운팅될 때 자기-정렬 전기 커넥터들과 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들이 자동으로 메이팅하도록, 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들과 자기-정렬 전기 커넥터들을 정렬하기 위해 구성된다. RF 필터 박스의 외측 메이팅 표면은 이어서 페데스탈 리프트의 마운팅 브라켓 상의 대응하는 정렬 피처를 인게이지하기 (engage) 위해 적어도 하나의 정렬 피처를 사용함으로써 페데스탈 리프트의 마운팅 브라켓의 메이팅 표면에 대고 (against) 위치된다. 이어서 RF 필터 박스를 페데스탈 리프트와 전기적으로 커플링하기 위해 RF 필터 박스는 페데스탈 리프트의 마운팅 브라켓에 고정되고, RF 필터 박스 상의 복수의 전기 커넥터들과 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들은 RF 필터 박스가 페데스탈 리프트에 마운팅될 때 자동으로 메이팅된다.
본 개시는 유사한 참조 번호들이 유사한 엘리먼트들을 참조하는 첨부한 도면들의 도면들에, 제한이 아니라 예로서 예시된다.
도 1은 일 실시예에 따른 RF 필터 박스의 전면의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 RF 필터 박스의 분해도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 RF 필터 박스의 후면의 사시도이다.
도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 RF 필터 박스의 하단 측면의 사시도이다.
도 5a는 RF 필터 박스의 마운팅 브라켓 내의 콘택트 블록 및 전기 소켓들의 일 실시예의 상세도이다.
도 5b는 도 5a에 도시된 전기 소켓들 중 하나 및 대응하는 핀의 상세도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 페데스탈 리프트 상의 마운팅 브라켓의 메이팅 측면의 사시도이다.
도 7a는 일 실시예에 따른 RF 신호들을 위한 콘택트 블록들과 전기 소켓들 및 핀들의 상세한 분해도이다.
도 7b는 도 7a에 도시된 RF 신호들을 위한 콘택트 블록들과 전기 소켓들 및 핀들의 상세한 사시도이다.
도 8a는 일 실시예에 따른 AC 신호들을 위한 콘택트 블록들과 전기 소켓들 및 핀들의 상세한 분해도이다.
도 8b는 도 8a에 도시된 AC 신호들을 위한 콘택트 블록들과 전기 소켓들 및 핀들의 상세한 사시도이다.
도 9는 일 실시예에 따른 페데스탈 리프트와 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법의 플로우차트이다.
본 발명은 첨부한 도면들에 예시된 바와 같이 개시의 몇몇의 바람직한 실시예들을 참조하여 이제 상세히 기술될 것이다. 이하의 기술에서, 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해 수많은 구체적 상세들이 제시된다. 그러나, 본 발명이 이들 구체적인 상세들의 일부 또는 전부 없이 실시될 수도 있다는 것이 당업자들에게 명백할 것이다. 다른 예들에서, 공지된 프로세스 단계들 및/또는 구조체들은 본 발명을 불필요하게 모호하게 하지 않기 위해 상세히 기술되지 않았다.
도 1 내지 도 9를 참조하면, RF 필터 박스 (100) 의 실시예들이 기술된다. RF 필터 박스 (100) 는 전기 접속들을 형성하기 위해 ESC의 페데스탈 리프트 (610) 의 브라켓 상에 마운팅하기 위한 전기기계 어셈블리이다. 일부 실시예들에 따르면, 페데스탈 리프트 (610) 는 이동할 수 있다. RF 필터 박스 (100) 는 (ESC 클램핑으로부터) 민감한 DC 신호들 및 (ESC의 가열기로부터) AC 신호들과 같은, 다른 신호들로부터 RF 신호들을 필터링한다. 본 명세서에 보다 상세히 기술된 바와 같이, 일 실시예에 따라, RF 필터 박스 (100) 의 기계적 부분은 맞춤 콘택트 블록들 내에 세팅되는 소켓들을 채용한다. 이들 소켓들은 이어서 RF 신호들, AC 신호들, 및 DC 신호들에 대한 자동 전기 접속을 형성하기 위해 페데스탈 리프트 어셈블리의 마운팅 브라켓 상에 위치된 핀들에 메이팅된다 (mated). 이하에 보다 상세히 논의된 바와 같이, RF 필터 박스 (100) 상의 정렬 핀들은 메이팅 구성을 형성하는 것을 돕도록 사용될 수 있고 신뢰할 수 있다. 전기 접속들의 정확하고 반복 가능한 배치는 RF 신호들, AC 신호들, 및 DC 신호들의 무결성 및 신뢰성을 보장한다.
도 1 내지 도 4는 ESC 페데스탈 리프트 마운팅 브라켓 (도 6) 에 마운팅되도록 구성되는 RF 필터 박스 (100) 의 일 실시예를 도시한다. 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, RF 필터 (100) 는 와이어들 및 다른 컴포넌트들이 하우징되는 인클로저 (110) 를 갖는다. 인클로저 (110) 는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 전면 상의 인클로저 커버 (120) 로 폐쇄된다. 도 3에 도시된 바와 같이, RF 필터 박스 (100) 의 후면 상에, 필터 박스 마운팅 브라켓 (112) 이 있다. 마운팅 브라켓 (112) 은 RF 필터 박스 (100) 로 하여금 페데스탈 리프트 (610) 의 마운팅 브라켓 (600) (도 6) 에 마운팅되게 한다. RF 필터 박스 (100) 의 외측 표면은 인클로저 (110), 인클로저 커버 (120), 및 마운팅 브라켓 (112) 을 포함한다. 예시된 실시예에서, RF 필터 박스 (100) 는 ESC/고 주파수 (HF) 필터 팬 (fan) 어셈블리 (130), 저 주파수 (LF) 필터 팬 어셈블리 (140), 및 팬 센싱 어셈블리 (150) 를 포함하는, 몇 개의 팬 어셈블리들을 또한 포함한다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 가열기 라인들로부터 AC 신호들을 수신하기 위해 RF 필터 박스 상에 AC 커넥터 (160) 가 제공된다. 도 2는 RF 필터 박스 (100) 의 분해도이고, ESC DC PCBA (Printed Circuit Board Assembly) (162), 저 주파수 입력을 위한 저 주파수 RF PCBA (164), 및 고 주파수 입력을 위한 고 주파수 RF PCBA (166) 를 포함하는, RF 필터 박스 (100) 내의 컴포넌트들을 도시한다. 도 4는 AC 커넥터 (160), RF 커넥터 (168), 및 DC 커넥터 (169) 를 갖는 RF 필터 박스 (100) 의 저면도를 도시한다.
RF 필터 박스 (100) 를 페데스탈 리프트 (610) 와 전기적으로 접속시키기 위해, RF 필터 (100) 의 후면 (메이팅 표면) 상의 마운팅 브라켓 (112) 은 페데스탈 리프트 (610) 상의 마운팅 브라켓 (600) (도 6) 과 정렬되고 마운팅 브라켓 (600) 에 마운팅되도록 구성된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 정렬을 돕는 피처들은 마운팅 브라켓 (112) 의 메이팅 표면 상에 제공된다. 이들 정렬 피처들은 AC 가열기 라인들을 위한 자기-정렬 (self-aligning) AC 커넥터 (170), RF 입력들을 위한 자기-정렬 RF 커넥터 (172), 마운팅 키웨이 홀 (174), 마운팅 정렬 핀 (176), 및 브라켓 마운팅 홀들 (178) 을 포함한다.
예시된 실시예에서, 키웨이 삽입부 (604) 가 RF 필터 박스 (100) 의 마운팅 브라켓 (112) 상의 키웨이 홀 (174) 내에 삽입되고 키웨이 홀 (174) 과 잠금되도록 제공된다. 이 실시예에서, 홀 (606) 은 또한 도 3에 도시된 바와 같이, RF 필터 박스 (100) 의 마운팅 브라켓 (112) 상의 대응하는 정렬 핀 (176) 을 수용하기 위해, RF 필터 박스 (100) 의 메이팅 표면 상에 제공된다. 다른 실시예들에서, 마운팅 브라켓 (112) 의 메이팅 표면은 정렬 핀, 홀, 키웨이 삽입부, 및 키웨이 홀 중 하나일 수도 있는, 하나의 정렬 피처만을 가질 수도 있다. 임의의 적합한 정렬 피처가 2 개의 마운팅 브라켓들 (112, 600) 을 정렬하도록 사용될 수도 있다는 것이 이해될 것이다. 다른 실시예들에 따르면, 마운팅 브라켓 (112) 의 메이팅 표면은 임의의 수의 이러한 정렬 피처들을 가질 수도 있다. 정렬 피처들은 통상적으로 다른 메이팅 표면 상의 대응하는 압입 (indentation) 또는 홀 (마운팅 브라켓 (600)) 과 메이팅되도록 구성된 하나의 메이팅 표면 (마운팅 브라켓 (112)) 상에 핀 또는 돌출부를 갖는, 임의의 조합으로 제공될 수 있다. 이들 정렬 피처들은 단순한 원형 또는 원통형 형상에서 키웨이 홀 등과 같은, 보다 복잡한 형상까지의 범위의 임의의 형상일 수 있다.
마운팅 브라켓들 (112, 600) 이 정렬되고 이들의 메이팅 표면들이 함께 푸시될 때 자기-정렬 전기 커넥터들 (171) 과 페데스탈 리프트 (610) 의 마운팅 브라켓 (600) 상의 대응하는 전기 커넥터들 (601) 이 자동으로 메이팅하도록, 이러한 정렬 피처들은 페데스탈 리프트 (610) 의 마운팅 브라켓 (600) 상의 대응하는 전기 커넥터들 (601) 과 마운팅 브라켓 (112) 상의 자기-정렬 전기 커넥터들 (171) 을 정렬하는 것을 돕도록 구성된다는 것이 이해될 것이다. 이들 정렬 피처들은 가능한 한 자동이고 반복 가능하게 RF 필터 박스 (100) 와 ESC 페데스탈 리프트 (610) 사이에 전기 접속 및 기계 접속을 형성한다. 정렬 피처들은 연결 와이어들의 수동 조작할 필요 없이 전기 커플링을 허용한다. 연결 와이어들의 일관된 배치는 필터링 회로들의 성능에 중요하다.
키웨이 홀 (174) 은 페데스탈 리프트 마운팅 브라켓 (600) 상의 대응하는 키웨이 삽입부 (604) 를 수용하고 이와 잠금되도록 구성된다. 유사하게, RF 필터 박스 (100) 의 장착 브라켓 (112) 상의 핀 (176) 은 페데스탈 리프트 (610) 의 마운팅 브라켓 (600) 의 대응하는 홀 (606) 내에 삽입되도록 구성된다. 이들 정렬 피처들에 더하여, 마운팅 브라켓 (112) 은 또한 자기-정렬 AC 커넥터 (170) 및 자기-정렬 RF 커넥터 (172) 를 구비한다.
자기-정렬 AC 커넥터 (170) 및 자기-정렬 RF 커넥터 (172) 각각은 그 안에 마운팅된 전기 커넥터들 (171) 을 갖는 콘택트 블록 (173) 을 포함한다. 예시된 실시예에서, 전기 커넥터들 (171) 은 콘택트 블록들 (173) 에 마운팅된 소켓들이고, RF 필터 박스 (100) 가 이동할 수 있는 페데스탈 리프트 어셈블리에 마운팅됨에 따라 페데스탈 리프트 마운팅 브라켓 (600) 상의 핀들 (601) 에 자동 전기 접속을 허용한다. 다른 실시예들에서, 마운팅 브라켓 상의 전기 커넥터들 (171) 은 핀들일 수 있지만 페데스탈 리프트 마운팅 브라켓 (600) 상의 전기 커넥터들 (601) 은 전기 소켓들일 수 있다는 것이 이해될 것이다.
전기 소켓 (171) 각각은 RF 필터 박스 (100) 와 ESC 페데스탈 리프트 (610) 사이에 전기 접속들을 형성하기 위해 페데스탈 리프트 마운팅 브라켓 (600) 상의 대응하는 핀 (601) 을 수용하도록 구성된다. 적합한 푸시-풀 소켓-핀 (push-pull socket-pin) 커넥터는 California, Camarillo 소재의 ODU USA, Inc. 로부터 상업적으로 입수 가능하다. 도 5a 및 도 5b는 이러한 푸시-풀 소켓-핀 커넥터들의 상세도이다. 도 5a는 콘택트 블록들 (173) 내에 세팅된 다수의 전기 소켓들 (171) 을 도시한다. 도 5b에 도시된 바와 같이, 소켓 (171) 은 핀 (601) 이 소켓 (171) 내에 삽입될 때 핀 (601) 과 콘택트하기 위해 소켓 (171) 의 내측 표면을 라이닝하는 (lining) 스프링와이어들 (175) 을 갖는다.
마운팅 브라켓 (112) 상의 콘택트 블록들 (173) 은 절연 재료로 형성된다. 일 실시예에 따르면, 콘택트 블록들 (173) 은 SABIC (Saudi Basic Industries Corporation) 에 의해 제작된 비정질 열가소성 폴리에테르이미드 (PEI) 수지의 일 타입인, Ultem 1000 (UL94 V0) 으로 형성된다. Ultem 1000은 높은 유전 강도 및 내열성을 갖는다. 절연 콘택트 블록들 (173) 은 전압 절연을 위한 전기적 특성들을 갖고, 콘택트 블록들 (173) 은 전기적 절연을 위한 분리를 제공하는 동안 근접한 핀 대 핀 정렬을 허용하도록 설계될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
예시된 실시예에서, 자기-정렬 AC 커넥터 (170) 및 자기-정렬 RF 커넥터 (172) 는 RF 필터 박스 (100) 와 페데스탈 리프트 어셈블리 사이에 3 개의 RF 신호들 및 4 개의 AC 신호들의 자동 전기 접속을 허용한다. 다른 실시예들에서, 상이한 수의 RF 신호들 및 AC 신호들이 있을 수도 있다는 것이 이해될 것이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 페데스탈 리프트 (610) 상의 마운팅 브라켓 (600) 은 RF 필터 박스 (100) 의 마운팅 브라켓 (112) (메이팅 표면) 과 메이팅하도록 구성된다. RF 필터 박스 (100) 의 마운팅 브라켓 (112) 은 RF 필터 박스 (100) 의 마운팅 브라켓 (112) 의 브라켓 마운팅 홀들 (178) 및 페데스탈 리프트 마운팅 브라켓 (600) 의 대응하는 브라켓 마운팅 홀들 (608) 을 통해 스레드된 (threaded) 스크루들 (미도시) 을 사용하여 페데스탈 리프트 (610) 상의 마운팅 브라켓 (600) 에 고정될 수 있다.
예시된 실시예에서, 페데스탈 리프트 마운팅 브라켓 (600) 상의 콘택트 블록들 (673) 및 전기 핀들 (601) 은 2 개의 마운팅 브라켓들 (112, 600) 이 정렬될 때 RF 필터 박스 (100) 상의 마운팅 브라켓 (112) 상의 대응하는 콘택트 블록들 (173) 및 소켓들 (171) 과 메이팅하도록 위치된다. 상기 논의된 바와 같이, 마운팅 브라켓들 상의 정렬 피처들은 정렬을 돕고, 전기 소켓들 (171) 은 마운팅 브라켓들 (112, 600) 이 정렬된 후 함께 푸시될 때 대응하는 핀들 (601) 과 자동으로 전기적으로 커플링되도록 구성된다.
이 실시예에서, 마운팅 브라켓 (600) 은 또한 접지 평면 및 금속 벽들로부터 전기적 접속들을 절연시키기 위해 스냅-인 (snap-in) 유전체 마운팅 플레이트 (602) 를 구비한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 콘택트 블록들 (673) 은 마운팅 플레이트 (602) 에 마운팅된다. 일 실시예에 따르면, 마운팅 플레이트 (602) 는 Ultem으로 형성되고, 나일론 패스너들은 마운팅 브라켓 (600) 에 마운팅 장착 플레이트 (602) 를 홀딩한다.
도 7a 및 도 7b는 RF 신호들을 위한 콘택트 블록들과 전기 소켓들 및 핀들의 일 실시예의 상세도들이고, 도 8a 및 도 8b는 AC 신호들을 위한 콘택트 블록들과 전기 소켓들 및 핀들의 일 실시예의 상세도들이다. 도 7b 및 도 8b는 메이팅된 위치의 콘택트 블록들 및 전기 커넥터들을 도시한다. 도 7a 내지 도 8b에 도시된 바와 같이, 이 실시예에서, 전기 소켓들 (171) 은 콘택트 블록 (173) 에 마운팅된다.
유사하게, 핀들 (601) 은 콘택트 블록 (673) 에 마운팅된다. 이 실시예에서, 콘택트 블록 (673) 은 핀들 (601) 로 하여금 설치 후에도 교체될 수 있게 하도록 두 부분들 (673A, 673B) 을 포함한다. 즉, 콘택트 블록 (673) 의 후방 부분은 페데스탈 리프트 (610) 의 마운팅 블록 (600) 상에 설치되고, 핀들 (601) 은 후방 부분 (673B) 내로 삽입된다. 핀들 (601) 이 제자리에 위치된 후에 전방 부분 (673A) 이 후방 부분 (673B) 에 부착된다. 따라서, 핀 (601) 이 교체되어야 한다면, 전방 부분 (673A) 은 페데스탈 리프트 마운팅 블록 (600) 으로부터 전체 어셈블리를 제거하지 않고 제거될 수 있다.
콘택트 블록들 (173, 673) 은 나일론과 같은, 절연 재료로 형성된 패스너들에 의해 마운팅 브라켓들 (112, 600) 에 패스닝된다. 도 7a 내지 도 8b에 도시된 바와 같이, 콘택트 블록들 (173, 673) 은 나일론 스탠드오프 (standoff) (177A), 나일론 워셔 (177B) 및 나일론 캡 스크루 (177C) 를 포함하는 복수의 패스너들에 의해 마운팅 블록들 (112, 600) 에 패스닝된다. 콘택트 블록들 (173, 673) 의 자기-정렬은 메이팅 측면의 위치 차이들을 설명하기 위해 어느 정도 플로팅을 허용한다는 것을 이해할 것이다. 약간 확대된 홀들 및 스탠드오프들 (177A) 은 콘택트 블록들 (173, 673) 이 플로팅하게 한다.
도 9는 페데스탈 리프트와 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법 (900) 의 플로우차트이다. 단계 (910) 에서, ESC RF 필터 박스가 제공된다. RF 필터 박스는 RF 필터 박스의 외측 메이팅 표면 상에 적어도 하나의 콘택트 블록 및 적어도 하나의 정렬 피처를 포함한다. 콘택트 블록(들)은 RF 필터 박스의 외측 메이팅 표면 상의 복수의 자기-정렬 전기 커넥터들을 포함하고, 적어도 하나의 정렬 피처는 콘택트 블록이 페데스탈 리프트의 브라켓에 마운팅될 때 자기-정렬 전기 커넥터들과 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들이 자동으로 메이팅하도록, 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들과 자기-정렬 전기 커넥터들을 정렬하기 위해 구성된다. 단계 (920) 에서, RF 필터 박스의 외측 메이팅 표면은 페데스탈 리프트의 마운팅 브라켓 상의 대응하는 정렬 피처를 인게이지하기 위해 적어도 하나의 정렬 피처를 사용함으로써 페데스탈 리프트의 마운팅 브라켓의 메이팅 표면에 대고 위치된다. 단계 (930) 에서, RF 필터 박스는 페데스탈 리프트와 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하도록 페데스탈 리프트의 마운팅 브라켓에 고정되고, RF 필터 박스 상의 복수의 전기 커넥터들과 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들은 RF 필터 박스가 페데스탈 리프트의 마운팅 브라켓에 고정될 때 자동으로 메이팅한다.

Claims (27)

  1. 복수의 전기 접속들을 형성하기 위해 페데스탈 리프트의 브라켓 상에 마운팅하기 위한 정전 척 RF 필터 박스에 있어서,
    RF 필터 박스의 메이팅 (mating) 표면 상의 복수의 자기-정렬 (self-aligning) 전기 커넥터들을 포함하는 적어도 하나의 콘택트 블록으로서, 상기 메이팅 표면은 상기 RF 필터 박스의 외측 표면인, 상기 적어도 하나의 콘택트 블록; 및
    상기 RF 필터 박스의 상기 메이팅 표면 상의 적어도 하나의 정렬 피처로서, 상기 적어도 하나의 정렬 피처는 상기 콘택트 블록이 상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓에 마운팅될 때 상기 자기-정렬 전기 커넥터들과 상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터가 자동으로 메이팅하도록, 상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓 상의 상기 대응하는 전기 커넥터들과 상기 자기-정렬 전기 커넥터들을 정렬하기 위해 구성되는, 상기 적어도 하나의 정렬 피처를 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    적어도 2 개의 콘택트 블록들을 포함하고, 제 1 콘택트 블록은 RF 신호들을 필터링하도록 구성되고, 제 2 콘택트 블록은 AC 신호들을 필터링하도록 구성되는, 정전 척 RF 필터 박스.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 콘택트 블록은 적어도 3 개의 RF 신호들을 필터링하도록 구성되고, 상기 제 2 콘택트 블록은 적어도 4 개의 AC 신호들을 필터링하도록 구성되는, 정전 척 RF 필터 박스.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 RF 필터 박스는 저 주파수 RF 신호들 및 고 주파수 RF 신호들을 필터링하는, 정전 척 RF 필터 박스.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 RF 필터 박스는 AC 가열기 신호들을 필터링하는, 정전 척 RF 필터 박스.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 RF 필터 박스는 DC 클램핑 전압을 필터링하는, 정전 척 RF 필터 박스.
  7. 제 1 항에 있어서,
    적어도 하나의 팬 (fan) 어셈블리를 더 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 메이팅 표면 상에 적어도 2 개의 정렬 피처들을 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 적어도 2 개의 정렬 피처들은 정렬 핀 및 키웨이 홀 (keyway hole) 을 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 적어도 2 개의 정렬 피처들은 적어도 2 개의 정렬 핀들을 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 적어도 2 개의 정렬 피처들은 적어도 2 개의 키웨이 홀들을 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 페데스탈 리프트는 이동 가능한, 정전 척 RF 필터 박스.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 콘택트 블록은 절연 재료로 형성되는, 정전 척 RF 필터 박스.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 콘택트 블록은 절연 재료로 형성된 패스너들 (fasteners) 에 의해 상기 RF 필터 박스의 인클로저 (enclosure) 에 패스닝되는, 정전 척 RF 필터 박스.
  15. 페데스탈 리프트와 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법에 있어서,
    정전 척 RF 필터 박스를 제공하는 단계로서, 상기 정전 척 RF 필터 박스는,
    상기 RF 필터 박스의 외측 메이팅 표면 상의 복수의 자기-정렬 전기 커넥터들을 포함하는 적어도 하나의 콘택트 블록; 및
    상기 RF 필터 박스의 상기 외측 메이팅 표면 상의 적어도 하나의 정렬 피처를 포함하고, 상기 적어도 하나의 정렬 피처는 상기 콘택트 블록이 상기 페데스탈 리프트의 브라켓에 마운팅될 때 상기 자기-정렬 전기 커넥터들과 상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들이 자동으로 메이팅하도록, 상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓 상의 상기 대응하는 전기 커넥터들과 상기 자기-정렬 전기 커넥터들을 정렬하기 위해 구성되는, 상기 정전 척 RF 필터 박스를 제공하는 단계;
    상기 페데스탈 리프트의 상기 마운팅 브라켓 상의 대응하는 정렬 피처를 인게이지하기 (engage) 위해 상기 적어도 하나의 정렬 피처를 사용함으로써 상기 페데스탈 리프트의 마운팅 브라켓의 메이팅 표면에 대고 (against) 상기 RF 필터 박스의 상기 외측 메이팅 표면을 위치시키는 단계; 및
    상기 RF 필터 박스와 상기 페데스탈 리프트를 전기적으로 커플링하기 위해 상기 페데스탈 리프트의 상기 마운팅 브라켓에 상기 RF 필터 박스를 고정하는 단계를 포함하고, 상기 RF 필터 박스 상의 상기 복수의 전기 커넥터들 및 상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓 상의 상기 대응하는 전기 커넥터들은 상기 RF 필터 박스가 상기 페데스탈 리프트의 상기 마운팅 브라켓에 고정될 때 자동으로 메이팅하는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 RF 필터 박스는 적어도 2 개의 콘택트 블록들을 포함하고, 제 1 콘택트 블록은 RF 신호들을 필터링하도록 구성되고, 제 2 콘택트 블록은 AC 신호들을 필터링하도록 구성되는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 콘택트 블록은 적어도 3 개의 RF 신호들을 필터링하도록 구성되고, 상기 제 2 콘택트 블록은 적어도 4 개의 AC 신호들을 필터링하도록 구성되는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 RF 필터 박스는 저 주파수 RF 신호들 및 고 주파수 RF 신호들을 필터링하는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 RF 필터 박스는 AC 가열기 신호들을 필터링하는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
  20. 제 15 항에 있어서,
    상기 RF 필터 박스는 DC 클램핑 전압을 필터링하는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
  21. 제 15 항에 있어서,
    상기 RF 필터 박스는 상기 메이팅 표면 상에 적어도 2 개의 정렬 피처들을 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓 상의 키웨이 홀과 상기 메이팅 표면 상의 정렬 핀을 정렬하는 단계; 및
    상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓 상의 정렬 핀과 상기 메이팅 표면 상의 키웨이 홀을 정렬하는 단계를 더 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓 상의 2 개의 대응하는 키웨이 홀들과 적어도 2 개의 정렬 핀들을 정렬하는 단계를 더 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
  24. 제 21 항에 있어서,
    상기 페데스탈 리프트의 상기 브라켓 상의 2 개의 대응하는 정렬 핀들과 적어도 2 개의 키웨이 홀들을 정렬하는 단계를 더 포함하는, 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 방법.
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