KR102658195B1 - Apparatus for supplying gas - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 가스 공급 장치는 가스 용기가 수용되는 수용부를 가지는 본체 및 상기 본체에 이동 가능하게 설치되는 체결용 로봇을 포함하며, 상기 체결용 로봇은 상기 본체에 이동 가능하게 설치되는 바디와, 상기 가스 용기에 대향 배치되도록 상기 바디에 설치되는 작업모듈과, 상기 작업모듈의 상부에 배치되는 비젼 센서 모듈과, 상기 작업모듈에 가해지는 반력을 감지하는 힘 센서 모듈 및 상기 비젼 센서 모듈과 상기 힘 센서 모듈에 연결되는 제어부를 구비하며, 상기 비젼 센서 모듈은 상기 작업모듈에 설치되는 티칭 글랜드와 상기 가스 용기에 설치되는 티칭 엔드캡의 위치를 감지하고, 상기 힘 센서 모듈은 상기 작업모듈에 가해지는 반력을 감지하며, 상기 제어부는 상기 비젼 센서 모듈과, 상기 힘 센서 모듈에 의해 송출된 신호에 따라 상기 티칭 글랜드와 상기 티칭 엔드캡의 정렬을 수행할 수 있다.A gas supply device according to an embodiment of the present invention includes a main body having a receiving portion in which a gas container is accommodated, and a fastening robot movably installed in the main body, wherein the fastening robot is a body movably installed in the main body. and a work module installed on the body to face the gas container, a vision sensor module disposed on top of the work module, a force sensor module that detects a reaction force applied to the work module, and the vision sensor module. It has a control unit connected to the force sensor module, and the vision sensor module detects the positions of the teaching gland installed in the work module and the teaching end cap installed in the gas container, and the force sensor module is connected to the work module. , and the control unit may perform alignment of the teaching gland and the teaching end cap according to signals transmitted by the vision sensor module and the force sensor module.

Description

가스 공급 장치{Apparatus for supplying gas}Apparatus for supplying gas}

본 발명은 가스 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas supply device.

일반적으로 반도체 제조공정에 사용되는 가스는 가스가 저장된 가스 용기로부터 가스배관을 거쳐 제조 설비로 공급된다. 가스가 소진되어 가스 용기를 교체하는 경우 가스 용기와 가스배관의 연결/분리, 가스배관 연결부의 개스킷 교체 및 가스 용기에 구비되는 밸브의 개폐로 이루어지는 일련의 교체작업이 발생하는데 (이하 가스 용기 교체작업이라 함), 상기 작업에서 공정가스는 인화성, 부식성 및 유독성 등의 성질을 가지고 있어 가스 유출 또는 잔여물과 접촉 시 작업자와 환경에 큰 피해를 가져올 수 있으므로 작업 시 상당한 주의와 안전 대책이 요구된다.In general, gas used in the semiconductor manufacturing process is supplied from the gas container in which the gas is stored to the manufacturing facility through a gas pipe. When the gas container is replaced when the gas is exhausted, a series of replacement tasks occur, including connecting/disconnecting the gas container and the gas pipe, replacing the gasket at the gas pipe connection, and opening and closing the valve provided in the gas container (hereinafter referred to as gas container replacement work). ), the process gas in the above work has properties such as flammability, corrosiveness, and toxicity, and can cause great damage to workers and the environment when in contact with gas leaks or residues, so considerable caution and safety measures are required during work.

한편, 각 가스 용기에 구비되는 가스배관 연결부와 가스배관과의 연결을 위해 가스 용기의 가스 배관 연결부와 가스 공급 장치의 체결 모듈 간의 정렬이 필요하며, 이러한 가스 용기의 가스 배관 연결부와 가스 공급 장치의 체결 모듈 간의 정렬의 정확도를 향상시킬 수 있는 기술 개발이 필요한 실정이다.Meanwhile, in order to connect the gas pipe connection provided in each gas container with the gas pipe, alignment between the gas pipe connection of the gas container and the fastening module of the gas supply device is required, and the connection between the gas pipe connection of the gas container and the gas supply device is required. There is a need to develop technology that can improve the accuracy of alignment between fastening modules.

본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 가스 용기의 가스 배관 연결부와 가스 공급 장치의 체결 모듈 간의 정렬의 정확도를 향상시킬 수 있는 가스 공급 장치를 제공하는 것이다.One of the technical tasks to be achieved by the technical idea of the present invention is to provide a gas supply device that can improve the accuracy of alignment between the gas pipe connection portion of the gas container and the fastening module of the gas supply device.

예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치는 가스 용기가 수용되는 수용부를 가지는 본체 및 상기 본체에 이동 가능하게 설치되는 체결용 로봇을 포함하며, 상기 체결용 로봇은 상기 본체에 이동 가능하게 설치되는 바디와, 상기 가스 용기에 대향 배치되도록 상기 바디에 설치되는 작업모듈과, 상기 작업모듈의 상부에 배치되는 비젼 센서 모듈과, 상기 작업모듈에 가해지는 반력을 감지하는 힘 센서 모듈 및 상기 비젼 센서 모듈과 상기 힘 센서 모듈에 연결되는 제어부를 구비하며, 상기 비젼 센서 모듈은 상기 작업모듈에 설치되는 티칭 글랜드와 상기 가스 용기에 설치되는 티칭 엔드캡의 위치를 감지하고, 상기 힘 센서 모듈은 상기 작업모듈에 가해지는 반력을 감지하며, 상기 제어부는 상기 비젼 센서 모듈과, 상기 힘 센서 모듈에 의해 송출된 신호에 따라 상기 티칭 글랜드와 상기 티칭 엔드캡의 정렬을 수행할 수 있다.A gas supply device according to an exemplary embodiment includes a main body having a receiving portion in which a gas container is accommodated, and a fastening robot movably installed in the main body, wherein the fastening robot includes a body movably installed in the main body; , a work module installed on the body to face the gas container, a vision sensor module disposed on top of the work module, a force sensor module that detects a reaction force applied to the work module, the vision sensor module, and the It has a control unit connected to the force sensor module, wherein the vision sensor module detects the positions of the teaching gland installed on the work module and the teaching end cap installed on the gas container, and the force sensor module is connected to the work module. Sensing the applied reaction force, the control unit may perform alignment of the teaching gland and the teaching end cap according to signals transmitted by the vision sensor module and the force sensor module.

가스 용기의 가스 배관 연결부와 가스 공급 장치의 체결 모듈 간의 정렬의 정확도를 향상시킬 수 있는 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.A gas supply device that can improve the accuracy of alignment between the gas pipe connection of the gas container and the fastening module of the gas supply device can be provided.

본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.The various and beneficial advantages and effects of the present invention are not limited to the above-described content, and may be more easily understood through description of specific embodiments of the present invention.

도 1은 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치를 나타내는 개략 사시도이다.
도 2는 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치를 나타내는 측면도이다.
도 3은 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치의 체결용 로봇에 연결되는 주행 모듈 및 가이드부를 설명하기 위한 설명도이다.
도 4는 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치의 체결용 로봇을 나타내는 사시도이다.
도 5는 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치의 체결용 로봇에 구비되는 작업 모듈을 나타내는 사시도이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 티칭 엔드캡과 가스 용기의 배관 연결부의 정렬 방법을 설명하기 위한 설명도이다.Figure 1 is a schematic perspective view showing a gas supply device according to an exemplary embodiment.
Figure 2 is a side view showing a gas supply device according to an exemplary embodiment.
Figure 3 is an explanatory diagram for explaining a traveling module and a guide unit connected to a robot for fastening a gas supply device according to an exemplary embodiment.
Figure 4 is a perspective view showing a robot for fastening a gas supply device according to an exemplary embodiment.
Figure 5 is a perspective view showing a work module provided in a robot for fastening a gas supply device according to an exemplary embodiment.
Figures 6 to 9 are explanatory diagrams for explaining a method of aligning a teaching end cap and a piping connection portion of a gas container according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings.

도 1은 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치를 나타내는 개략 사시도이고, 도 2는 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치를 나타내는 측면도이다.FIG. 1 is a schematic perspective view showing a gas supply device according to an exemplary embodiment, and FIG. 2 is a side view showing a gas supply device according to an exemplary embodiment.

도 1 및 도 2를 참조하면, 가스 공급 장치(100)는 일예로서, 본체(120) 및 체결용 로봇(200)를 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2 , as an example, the gas supply device 100 may be configured to include a main body 120 and a fastening robot 200.

본체(120)는 복수개의 가스 용기(10)가 수용되는 수용부(122)를 구비한다. 수용부(122)는 일측을 향하여 개방되어 있으며, 수용부(122)에는 복수개의 가스 용기(10)의 고정을 위한 고정부재(124)가 배치될 수 있다. 그리고, 본체(120)에는 가스 용기(10)의 하단부를 가열하기 위한 히팅부재(126)를 구비할 수 있다. 한편, 본체(120)의 상단부에는 체결용 로봇(200)의 주행을 안내하는 가이드부(128)를 구비할 수 있다.The main body 120 has a receiving portion 122 in which a plurality of gas containers 10 are accommodated. The receiving portion 122 is open toward one side, and a fixing member 124 for fixing a plurality of gas containers 10 may be disposed in the receiving portion 122. Additionally, the main body 120 may be provided with a heating member 126 for heating the lower end of the gas container 10. Meanwhile, the upper part of the main body 120 may be provided with a guide part 128 that guides the movement of the fastening robot 200.

체결용 로봇(200)은 상기한 본체(120)의 가이드부(128)를 따라 본체(120)의 길이 방향, 폭 방향 및 높이 방향, 즉 도 1의 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 체결용 로봇(200)의 자세한 사항을 후술하기로 한다.The fastening robot 200 moves along the guide portion 128 of the main body 120 in the longitudinal, width, and height directions of the main body 120, that is, in the X-, Y-, and Z-axis directions of FIG. 1. Possibly can be installed. Details of the fastening robot 200 will be described later.

도 3은 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치의 체결용 로봇에 연결되는 주행 모듈 및 가이드부를 설명하기 위한 설명도이고, 도 4는 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치의 체결용 로봇을 나타내는 사시도이고, 도 5는 예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치의 체결용 로봇에 구비되는 작업 모듈을 나타내는 사시도이다.FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a traveling module and a guide unit connected to a robot for fastening a gas supply device according to an exemplary embodiment, and FIG. 4 is a perspective view showing a robot for fastening a gas supply device according to an exemplary embodiment. , and FIG. 5 is a perspective view showing a work module provided in a robot for fastening a gas supply device according to an exemplary embodiment.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 체결용 로봇(200)은 바디(210), 작업모듈(230), 비젼 센서 모듈(240) 및 힘 센서 모듈(250)를 포함한다.3 to 5, the fastening robot 200 includes a body 210, a work module 230, a vision sensor module 240, and a force sensor module 250.

바디(210)의 상단부에는 주행모듈(220)이 구비되며, 바디(210)는 주행모듈(220)의 이동에 의해 이동될 수 있다. 일예로서, 주행모듈(220)은 바디(210)와 함께 본체(120, 도 1 참조)의 가이드부(128)를 따라 이동된다. 한편, 가이드부(128)는 본체(120)의 상단부에 배치되는 제1 가이드레일(128a)를 구비하며, 도 3의 X축 방향으로 배치될 수 있다. 그리고, 가이드부(128)는 제1 가이드 레일(128a)의 하부에 배치되는 제2 가이드 레일(128b)를 구비할 수 있으며, 제2 가이드 레일(128b)는 도 3의 Y축 방향으로 배치될 수 있다. 나아가, 가이드부(128)는 제3 가이드 레일(128c)를 구비할 수 있으며, 제3 가이드 레일(128c)는 제2 가이드 레일(128b)의 하부에 배치될 수 있다. 한편, 제3 가이드 레일(128c)은 도 3의 Z축 방향으로 배치될 수 있다. 한편, 주행모듈(220)은 제3 가이드 레일(128c)에 연결되며 주행 모듈(220)의 이동을 위해 주행모듈(220)에는 주행 구동부(미도시, 예를 들어 엑츄에이터), 주행 바퀴(미도시) 및 보조 바퀴(미도시)를 포함할 수 있다. 한편, 바디(210)에는 가스 용기(10)에 대향 배치되도록 작업모듈(230)이 설치된다.A travel module 220 is provided at the upper end of the body 210, and the body 210 can be moved by moving the travel module 220. As an example, the traveling module 220 moves along the guide portion 128 of the main body 120 (see FIG. 1) together with the body 210. Meanwhile, the guide unit 128 includes a first guide rail 128a disposed at the upper end of the main body 120, and may be disposed in the X-axis direction of FIG. 3. In addition, the guide unit 128 may include a second guide rail 128b disposed below the first guide rail 128a, and the second guide rail 128b may be disposed in the Y-axis direction of FIG. 3. You can. Furthermore, the guide unit 128 may be provided with a third guide rail 128c, and the third guide rail 128c may be disposed below the second guide rail 128b. Meanwhile, the third guide rail 128c may be arranged in the Z-axis direction of FIG. 3. Meanwhile, the driving module 220 is connected to the third guide rail 128c, and in order to move the driving module 220, the driving module 220 includes a driving driver (not shown, for example, an actuator) and a driving wheel (not shown). ) and auxiliary wheels (not shown) may be included. Meanwhile, a work module 230 is installed on the body 210 to face the gas container 10.

작업모듈(230)은 케이스(232), 엔드캡 하우징(234), 커넥터 하우징(236) 및 배관 커넥터(238)를 구비할 수 있다.The work module 230 may include a case 232, an end cap housing 234, a connector housing 236, and a piping connector 238.

케이스(232)는 내부 공간을 가지며, 일면에 엔드캡 하우징(234), 커넥터 하우징(236)이 회전 가능하게 설치된다. 한편, 케이스(232)의 내부 공간에는 동력 전달부(미도시)로부터 전달받은 동력을 엔드캡 하우징(234), 커넥터 하우징(236)로 전달하기 위한 동력전달부재(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 케이스(232)에는 가스 용기(10)에 연결되는 배관 커넥터(238)가 관통되도록 설치될 수 있다. 한편, 배관 커넥터(238)의 일단은 커넥터 하우징(236)으로부터 돌출되도록 배치될 수 있다.The case 232 has an internal space, and an end cap housing 234 and a connector housing 236 are rotatably installed on one side. Meanwhile, a power transmission member (not shown) may be provided in the inner space of the case 232 to transmit power received from the power transmission unit (not shown) to the end cap housing 234 and the connector housing 236. . Additionally, a piping connector 238 connected to the gas container 10 may be installed to penetrate the case 232. Meanwhile, one end of the pipe connector 238 may be arranged to protrude from the connector housing 236.

엔드캡 하우징(234)은 케이스(232)의 일단부에 회전 가능하게 설치된다. 한편, 엔드캡 하우징(234)은 회전하여 가스 용기(10)의 엔드캡(미도시)을 제거하거나 설치하는 역할을 수행한다. 이를 위해, 엔드캡 하우징(234)은 동력전달부에 연결되어 회전될 수 있다.The end cap housing 234 is rotatably installed on one end of the case 232. Meanwhile, the end cap housing 234 rotates to remove or install the end cap (not shown) of the gas container 10. To this end, the end cap housing 234 may be connected to the power transmission unit and rotated.

커넥터 하우징(236)은 엔드캡 하우징(234)에 이웃하여 배치되도록 케이스(232)의 일면에 회전 가능하게 설치될 수 있다. 한편, 커넥터 하우징(236)은 회전하여 배관 커넥터(238)를 가스 용기에 결합하는 역할을 수행한다. 또한, 커넥터 하우징(236)도 동력 전달부에 연결되어 회전될 수 있다. 한편, 커넥터 하우징(236)에는 후술할 티칭 엔드캡(30, 도 5 참조)과 가스 용기(10)의 배관 연결부(20, 도 5 참조)의 정렬 시 티칭 엔드캡(20)이 커넥터 하우징(236)에 설치될 수 있다.The connector housing 236 may be rotatably installed on one surface of the case 232 so as to be disposed adjacent to the end cap housing 234. Meanwhile, the connector housing 236 rotates to couple the piping connector 238 to the gas container. Additionally, the connector housing 236 may also be connected to the power transmission unit and rotated. Meanwhile, in the connector housing 236, when aligning the teaching end cap 30 (see FIG. 5), which will be described later, and the piping connection portion 20 (see FIG. 5) of the gas container 10, the teaching end cap 20 is attached to the connector housing 236. ) can be installed.

비젼 센서 모듈(240)은 작업모듈(230)의 케이스(232)의 상부에 배치될 수 있다. 한편, 비젼 센서 모듈(240)은 티칭 엔드캡(20)의 상대적인 위치를 인식하는 역할을 수행한다. 일예로서, 비젼 센서 모듈(240)은 도 5 내지 도 8에 도시된 티칭 엔드캡(20) 중심의 y-z평면 상의 상대 위치를 인식하며, 티칭 엔드캡(20)의 y-z평면 상 상대 위치를 인식하는 역할을 수행한다. The vision sensor module 240 may be placed on the upper part of the case 232 of the work module 230. Meanwhile, the vision sensor module 240 serves to recognize the relative position of the teaching end cap 20. As an example, the vision sensor module 240 recognizes the relative position on the y-z plane of the center of the teaching end cap 20 shown in FIGS. 5 to 8, and recognizes the relative position of the teaching end cap 20 on the y-z plane. perform its role.

힘 센서 모듈(250)은 주행모듈(220)과 작업모듈(230) 사이에 배치되도록 바디(210)에 설치될 수 있다. 한편, 힘 센서 모듈(250)은 체결용 로봇(200)에 가해지는 힘을 감지하는 역할을 수행한다. 예를 들어, 힘 센서 모듈(250)은 x축 방향으로 체결용 로봇(200)이 이동되어 티칭 엔드캡(20)에 힘이 가해지도록 하였을 때 티칭 엔드캡(20)의 중심 반대 방향으로 티칭 엔드캡(20)에 가해지는 반력을 감지하는 역할을 수행한다.The force sensor module 250 may be installed on the body 210 to be disposed between the travel module 220 and the work module 230. Meanwhile, the force sensor module 250 serves to detect the force applied to the fastening robot 200. For example, when the fastening robot 200 is moved in the x-axis direction and force is applied to the teaching end cap 20, the force sensor module 250 moves the teaching end in the direction opposite to the center of the teaching end cap 20. It serves to detect the reaction force applied to the cap 20.

제어부(260)는 비젼 센서 모듈(240)과, 힘 센서 모듈(250)에 연결되어 비젼 센서 모듈(240)과, 힘 센서 모듈(250)의 신호에 따라 티칭 엔드캡(20)과 티칭 글랜드(30)의 정렬 여부를 판단한다. The control unit 260 is connected to the vision sensor module 240 and the force sensor module 250 and controls the teaching end cap 20 and the teaching gland according to signals from the vision sensor module 240 and the force sensor module 250. Determine whether (30) is aligned.

이와 같이, 비젼 센서 모듈(240)과, 힘 센서 모듈(250)을 통해 티칭 엔드캡(20)과 티칭 글랜드(30)의 정렬을 수행함으로써, 보다 정확하게 정렬이 수행될 수 있다. 나아가, 비젼 센서 모듈(240)과, 힘 센서 모듈(250)을 통해 티칭 엔드캡(20)과 티칭 글랜드(30)의 정렬을 수행하여 정렬을 수행하는 정렬 소요 시간을 단축시킬 수 있다.In this way, by aligning the teaching end cap 20 and the teaching gland 30 through the vision sensor module 240 and the force sensor module 250, alignment can be performed more accurately. Furthermore, the time required for alignment can be shortened by aligning the teaching end cap 20 and the teaching gland 30 through the vision sensor module 240 and the force sensor module 250.

도 6 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 티칭 엔드캡과 가스 용기의 배관 연결부의 정렬 방법을 설명하기 위한 설명도이다.Figures 6 to 9 are explanatory diagrams for explaining a method of aligning a teaching end cap and a piping connection portion of a gas container according to an embodiment of the present invention.

먼저, 비젼 센서 모듈(240, 도 3 참조)을 사용하여 도 6에 도시된 티칭 엔드캡(20)의 중심이 y-z평면 상에서 위치하는 상대 위치를 인식한다. First, the relative position of the center of the teaching end cap 20 shown in FIG. 6 on the y-z plane is recognized using the vision sensor module 240 (see FIG. 3).

이후, 비젼 센서 모듈(240)에 대한 티칭 엔드캡(20)의 y-z평면 상 상대 위치를 이용하여 제어부(260)가 체결용 로봇(200)을 이동하여 티칭 글랜드(30)와 티칭 엔드캡(20)에 대한 1차 정렬을 수행한다. 여기서, 티칭 엔드캡(20)에 대하여 살펴보면, 티칭 엔드캡(20)은 가스 용기(10)에 결합되는 연결부(22)와, 연결부(22)에 결합되며 경사면(24a)을 가지는 경사부(24)를 구비할 수 있다.Thereafter, the control unit 260 moves the fastening robot 200 using the relative position of the teaching end cap 20 with respect to the vision sensor module 240 on the y-z plane to connect the teaching gland 30 and the teaching end cap ( 20), perform the first sorting. Here, looking at the teaching end cap 20, the teaching end cap 20 includes a connection portion 22 coupled to the gas container 10, and an inclined portion 24 coupled to the connection portion 22 and having an inclined surface 24a. ) can be provided.

1차 정렬을 수행한 후 도 7에 도시된 바와 같이, 제어부(260)는 체결용 로봇(200)의 이동을 통해 티칭 글랜드(30)를 x축 방향으로 이동시켜 티칭 엔드캡(20)의 경사부(24)와 접촉시킨다.After performing the first alignment, as shown in FIG. 7, the control unit 260 moves the teaching gland 30 in the x-axis direction through the movement of the fastening robot 200 to align the teaching end cap 20. It is brought into contact with the inclined portion (24).

이와 같이, x축 방향으로 체결용 로봇(200)을 이동시켜 티칭 엔드캡(20)에 힘을 가하면 경사부(24)의 형상으로 인해 티칭 엔드캡(20)의 중심 반대 방향으로 티칭 엔드캡(20)에 반력이 가해진다.In this way, when the fastening robot 200 is moved in the x-axis direction and force is applied to the teaching end cap 20, the teaching end cap (200) is moved in the direction opposite to the center of the teaching end cap 20 due to the shape of the inclined portion 24. 20) A reaction force is applied.

이와 같이, 가해지는 힘의 방향을 힘 센서 모듈(240)로 측정한 후 제어부(260)는 티칭 엔드캡(20) 중심 방향으로 티칭 글랜드(30)를 일정 거리 이동시킨다.In this way, after measuring the direction of the applied force with the force sensor module 240, the control unit 260 moves the teaching gland 30 a certain distance toward the center of the teaching end cap 20.

이후, 제어부(260)는 x축 방향으로 체결용 로봇(200)의 이동과, 티칭 글랜드(30)의 이동을 반복적으로 수행하여 도 8에 도시된 바와 같이 티칭 글랜드(30)를 경사부(24)의 중심으로 정렬시키면 도 9에 도시된 바와 같이 티칭 글랜드(30)에 가해지는 반력의 방향이 -x축과 일치할 때 정렬이 완료되었다고 제어부(260)가 판단한다.Thereafter, the control unit 260 repeatedly performs movement of the fastening robot 200 and movement of the teaching gland 30 in the x-axis direction to move the teaching gland 30 to the inclined portion as shown in FIG. 8. When aligned to the center of (24), the control unit 260 determines that alignment is complete when the direction of the reaction force applied to the teaching gland 30 coincides with the -x axis, as shown in FIG. 9.

이후, 티칭 글랜드(30)의 상대 위치를 보상하여 체결용 로봇(200)과 가스 용기(10)의 정렬을 수행하는 방식으로 오토 티칭을 종료한다. 이후, 작업자는 티칭 글랜드(30)와 티칭 엔드캡(20)을 작업모듈(230)과 가스 용기(10)로부터 제거한다.Afterwards, auto teaching is completed by compensating for the relative position of the teaching gland 30 and aligning the fastening robot 200 and the gas container 10. Afterwards, the operator removes the teaching gland 30 and the teaching end cap 20 from the work module 230 and the gas container 10.

상기한 바와 같이, 비젼 센서 모듈(240)과, 힘 센서 모듈(250)을 통해 티칭 엔드캡(20)과 티칭 글랜드(30)의 정렬을 수행함으로써, 보다 정확하게 정렬이 수행될 수 있다. 나아가, 비젼 센서 모듈(240)과, 힘 센서 모듈(250)을 통해 티칭 엔드캡(20)과 티칭 글랜드(30)의 정렬을 수행하여 정렬을 수행하는 정렬 소요 시간을 단축시킬 수 있다.As described above, by aligning the teaching end cap 20 and the teaching gland 30 through the vision sensor module 240 and the force sensor module 250, alignment can be performed more accurately. Furthermore, the time required for alignment can be shortened by aligning the teaching end cap 20 and the teaching gland 30 through the vision sensor module 240 and the force sensor module 250.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible without departing from the technical spirit of the present invention as set forth in the claims. This will be self-evident to those with ordinary knowledge in the field.

100 : 가스 공급 장치
120 : 본체
200 : 체결용 로봇
210 : 바디
220 : 주행모듈
230 : 작업모듈
240 : 비젼 센서 모듈
250 : 힘 센서 모듈
260 : 제어부100: gas supply device
120: main body
200: Fastening robot
210: body
220: Driving module
230: work module
240: Vision sensor module
250: Force sensor module
260: control unit

Claims (10)

가스 용기가 수용되는 수용부를 가지는 본체; 및
상기 본체에 이동 가능하게 설치되는 체결용 로봇;
을 포함하며,
상기 체결용 로봇은
상기 본체에 이동 가능하게 설치되는 바디;
상기 가스 용기에 대향 배치되도록 상기 바디에 설치되는 작업모듈;
상기 작업모듈의 상부에 배치되는 비젼 센서 모듈;
상기 작업모듈에 가해지는 반력을 감지하는 힘 센서 모듈; 및
상기 비젼 센서 모듈과 상기 힘 센서 모듈에 연결되는 제어부;
를 구비하며,
상기 비젼 센서 모듈은 상기 작업모듈에 설치되는 티칭 글랜드와 상기 가스 용기에 설치되는 티칭 엔드캡의 위치를 감지하고,
상기 힘 센서 모듈은 상기 작업모듈에 가해지는 반력을 감지하며,
상기 제어부는 상기 비젼 센서 모듈과, 상기 힘 센서 모듈에 의해 송출된 신호에 따라 상기 티칭 글랜드와 상기 티칭 엔드캡의 정렬을 수행하며,
상기 티칭 엔드캡은 상기 가스 용기에 결합되는 연결부와, 상기 연결부에 결합되며 경사면을 가지는 경사부를 구비하는 가스 공급 장치.
A main body having a receiving portion in which a gas container is accommodated; and
A fastening robot movably installed in the main body;
Includes,
The fastening robot is
a body movably installed on the main body;
a work module installed on the body to face the gas container;
A vision sensor module disposed on top of the work module;
A force sensor module that detects a reaction force applied to the work module; and
A control unit connected to the vision sensor module and the force sensor module;
Equipped with
The vision sensor module detects the positions of the teaching gland installed on the work module and the teaching end cap installed on the gas container,
The force sensor module detects the reaction force applied to the work module,
The control unit aligns the teaching gland and the teaching end cap according to signals transmitted by the vision sensor module and the force sensor module,
The teaching end cap is a gas supply device including a connection portion coupled to the gas container, and an inclined portion coupled to the connection portion and having an inclined surface.
 제1항에 있어서,
상기 작업모듈은
상기 바디에 연결되는 케이스;
상기 케이스의 일면으로 돌출 배치되는 엔드캡 하우징;
상기 엔드캡 하우징에 이웃하여 배치되며 상기 케이스의 일면으로 돌출되는 커넥터 하우징; 및
상기 케이스의 타면으로 돌출되도록 배치되는 배관 커넥터;
를 구비하는 가스 공급 장치.
According to paragraph 1,
The work module is
A case connected to the body;
an end cap housing protruding from one side of the case;
a connector housing disposed adjacent to the end cap housing and protruding from one side of the case; and
a piping connector disposed to protrude from the other side of the case;
A gas supply device having a.
 제2항에 있어서,
상기 티칭 글랜드와 상기 티칭 엔드캡의 정렬 시 상기 티칭 글랜드는 상기 커넥터 하우징에 설치되며,
상기 티칭 엔드캡은 상기 가스 용기의 배관 연결부에 설치되는 가스 공급 장치.
According to paragraph 2,
When aligning the teaching gland and the teaching end cap, the teaching gland is installed in the connector housing,
The teaching end cap is a gas supply device installed at the piping connection part of the gas container.
 제1항에 있어서,
상기 비젼 센서 모듈은 상기 가스 용기에 설치되는 티칭 엔드캡의 중심의 y-z 평면 상의 상대 위치를 인식하는 가스 공급 장치.
According to paragraph 1,
The vision sensor module is a gas supply device that recognizes the relative position on the yz plane of the center of the teaching end cap installed in the gas container.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 힘 센서 모듈은 상기 경사면에 상기 티칭 글랜드가 접촉되는 경우 상기 티칭 글랜드에 가해지는 반력의 크기 및 방향을 감지하는 가스 공급 장치.
According to paragraph 1,
The force sensor module is a gas supply device that detects the magnitude and direction of the reaction force applied to the teaching gland when the teaching gland contacts the inclined surface.
 제6항에 있어서,
상기 제어부는 상기 티칭 글랜드에 가해지는 반력의 방향이 상기 티칭 글랜드 길이 방향과 평행하게 인식되는 경우 상기 티칭 글랜드와 상기 티칭 엔드캡의 정렬을 완료하는 가스 공급 장치.
According to clause 6,
The control unit is a gas supply device that completes alignment of the teaching gland and the teaching end cap when the direction of the reaction force applied to the teaching gland is recognized to be parallel to the longitudinal direction of the teaching gland.
 제7항에 있어서,
상기 티칭 글랜드와 상기 티칭 엔드캡의 정렬이 완료된 경우 상기 티칭 글랜드와 상기 티칭 엔드캡이 제거되는 가스 공급 장치.
In clause 7,
A gas supply device in which the teaching gland and the teaching end cap are removed when alignment of the teaching gland and the teaching end cap is completed.
 제1항에 있어서,
상기 체결용 로봇은 상기 본체의 가이드부를 따라 이동 가능하게 설치되는 주행 모듈을 더 구비하는 가스 공급 장치.
According to paragraph 1,
The gas supply device wherein the fastening robot further includes a traveling module that is movably installed along a guide portion of the main body.
 제9항에 있어서,
상기 주행 모듈은 상기 본체에 구비되는 가이드부를 따라 이동되는 가스 공급 장치.
According to clause 9,
The travel module is a gas supply device that moves along a guide provided in the main body.
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