KR102654207B1 - 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스측정 장치 - Google Patents
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Abstract
본 출원 발명은 극한환경에서 동작할 수 있는 비분산적외선 가스측정 장치에 관한 것으로 -20℃ ~ 50 ℃ 사이에서 사용가능하며, 가연성 또는 폭발성 가스를 최수 7개 이상 동시에 측정할 수 있는 가스측정 장치를 제공하고자 하는 것이다. 상기 측정 대상가스는 CH4 (Methane), C2H4 (Ethylene), C2H6 (Ethane), C2H6O (Ethanol), C3H8 (Propane), C4H10 (Butane), C6H6 (Benzene)를 포함하며, 측정 전에 최소폭발한계농도(LEL)과 최대폭발한계농도(UEL)를 측정함으로써 측정자의 안전을 최우선으로 보장하는 가스측정장치를 제공하고자 한다. 이를 위하여서는 기존의 단일광을 이용하여 최대 4 채널까지 측정 가능한 비분산적외선 가스 측정 셀을 2개 이상 사용하여야 하는 문제가 있다. 본 출원 발명은 이를 해결하고자, 비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및 상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및 상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및 상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 검출기1과 검출기2에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며, 상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 2개의 다른 반사면을 가진 두면 거울을 통하여 위쪽과 아래쪽으로 각도를 가지고 반사되어, 각각 검출기1과 검출기2로 입사되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 2개의 서로 다른 검출기1과 검출기2로 가스의 종류와 농도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
본 출원 발명은 상기와 같은 발명의 구성에 의하여 하나의 측정용 화이트셀 내부에 하나의 선 광원과 경사가 다른 두면 거울을 이용하여 상기 화이트셀을 상하로 가상의 측정 공간을 분리하여 멀티채널 구성함으로서 2 배 이상의 많은 가스의 종류를 측정할 수 있는 비분산적외선 가스측정 장치를 제공한다.
본 출원 발명은 상기와 같은 발명의 구성에 의하여 하나의 측정용 화이트셀 내부에 하나의 선 광원과 경사가 다른 두면 거울을 이용하여 상기 화이트셀을 상하로 가상의 측정 공간을 분리하여 멀티채널 구성함으로서 2 배 이상의 많은 가스의 종류를 측정할 수 있는 비분산적외선 가스측정 장치를 제공한다.
Description
본 출원 발명은 비분산적외선 방식의 가스 측정 기술에 관한 것이다. 더욱 자세하게는 기존의 비분산적외선 가스 측정방식의 구조를 개선하여 기존의 멀티 디텍터 방식의 NDIR 가스 측정장치의 측정 채널을 확장하고자 하는 기술이다.
본 발명의 출원 이전의 선행기술로 비분산 적외선 가스 센서에 관한 기술이 개시되어 있다. 이 기술은 검출 대상 가스가 유동할 수 있는 내부 공간이 형성된 빈 튜브 형상으로 형성되는 광도파관과, 상기 광도파관의 일단부 또는 상기 일단부의 인근에 설치되고, 상기 광도파관의 상기 내부 공간으로 적외선을 발산하는 발광부와, 상기 광도파관의 타단부 또는 상기 타단부의 인근에 설치되고, 상기 발광부에서 발산되어 상기 광도파관의 상기 검출 대상 가스가 유동하는 상기 내부 공간을 통과한 상기 적외선을 검출하는 검출부 및 상기 광도파관의 상기 내부 공간에서 상기 검출부의 인근에 설치되고, 상기 적외선의 파장 중 상기 검출 대상 가스가 흡수하는 영역대의 파장만을 투과시키는 광학 필터를 포함하고, 상기 광도파관은, 상기 내부 공간의 내벽면에 의해 반복적으로 반사되어 굴절을 반복하면서 상기 내부 공간을 통과하는 상기 적외선이 상기 광학 필터에 입사되는 입사각을 제어할 수 있는 기술이 개시되어 있다.
또 다른 선행기술로 멀티 가스 누출 경보기용 플라스틱 사출 가스셀에 관한 발명이 개시되어 있다. 이 기술은 플라스틱 사출물로 NDIR 방식의 가스측정용 가스셀을 만들고 필드미러와 오브젝트 미러의 고정을 쉽게 하면서도, 외부 환경의 변화에 따라 상기 가스 셀의 뒤틀림 변화에도 불구하고, 상기 필드 미러와 오브젝트 미러의 상대적인 위치나 거리의 변화가 최소화되도록 하며, 금속 가스셀의 경우 상기 금속을 가열함으로써 가스셀 내부의 측정환경 조건을 일정하게 유지하였으나 플라스틱 사출 가스셀은 열전도율이 낮아 외부의 가열에 의하여 가스셀 전체가 동일한 온도를 유지하며 습기를 제거할 수 없기 때문에 별도의 가스를 이용하여 퍼징하고 측정가스의 수분을 제공하는 기술이 개시되어 있다.
또 다른 선행기술로 다중 대기 오염 동시측정 장치에서 가스의 종류를 측정하기 위하여 측정하고자 하는 가스를 필터에 구비한 상관필터를 사용한 구성이 개시되어 있다.
또 다른 선행기술로 멀티 가스 누출 경보기용 플라스틱 사출 가스셀에 관한 발명이 개시되어 있다. 이 기술은 플라스틱 사출물로 NDIR 방식의 가스측정용 가스셀을 만들고 필드미러와 오브젝트 미러의 고정을 쉽게 하면서도, 외부 환경의 변화에 따라 상기 가스 셀의 뒤틀림 변화에도 불구하고, 상기 필드 미러와 오브젝트 미러의 상대적인 위치나 거리의 변화가 최소화되도록 하며, 금속 가스셀의 경우 상기 금속을 가열함으로써 가스셀 내부의 측정환경 조건을 일정하게 유지하였으나 플라스틱 사출 가스셀은 열전도율이 낮아 외부의 가열에 의하여 가스셀 전체가 동일한 온도를 유지하며 습기를 제거할 수 없기 때문에 별도의 가스를 이용하여 퍼징하고 측정가스의 수분을 제공하는 기술이 개시되어 있다.
또 다른 선행기술로 다중 대기 오염 동시측정 장치에서 가스의 종류를 측정하기 위하여 측정하고자 하는 가스를 필터에 구비한 상관필터를 사용한 구성이 개시되어 있다.
본 출원 발명은 극한환경에서 동작할 수 있는 비분산적외선 가스측정 장치에 관한 것으로 -20℃ ~ 50 ℃ 사이에서 사용가능하며, 가연성 또는 폭발성 가스를 최수 7개 이상 동시에 측정할 수 있는 가스측정 장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기 측정 대상가스는 CH4 (Methane), C2H4 (Ethylene), C2H6 (Ethane), C2H6O (Ethanol), C3H8 (Propane), C4H10 (Butane), C6H6 (Benzene)를 포함하며, 측정 전에 최소폭발한계농도(LEL)과 최대폭발한계농도(UEL)를 측정함으로써 측정자의 안전을 최우선으로 보장하는 가스측정 장치를 제공하고자 한다. 이를 위하여서는 기존의 단일광을 이용하여 최대 4채널까지 측정 가능한 비분산적외선 가스 측정 셀을 2개 이상 사용하여야 하는 문제가 있다. 본 출원 발명은 이러한 문제를 해결하고자 하는 것이다.
상기 측정 대상가스는 CH4 (Methane), C2H4 (Ethylene), C2H6 (Ethane), C2H6O (Ethanol), C3H8 (Propane), C4H10 (Butane), C6H6 (Benzene)를 포함하며, 측정 전에 최소폭발한계농도(LEL)과 최대폭발한계농도(UEL)를 측정함으로써 측정자의 안전을 최우선으로 보장하는 가스측정 장치를 제공하고자 한다. 이를 위하여서는 기존의 단일광을 이용하여 최대 4채널까지 측정 가능한 비분산적외선 가스 측정 셀을 2개 이상 사용하여야 하는 문제가 있다. 본 출원 발명은 이러한 문제를 해결하고자 하는 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 발명의 구성은 다음과 같다.
비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 검출기1과 검출기2에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 2개의 다른 반사면을 가진 두면 거울을 통하여 위쪽과 아래쪽으로 각도를 가지고 반사되어, 각각 검출기1과 검출기2로 입사되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 2개의 서로 다른 검출기1과 검출기2로 가스의 종류와 농도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 검출기1 및 검출기2는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 1 내지 4개의 필터를 각각의 검출기1 및/ 또는 검출기2에 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 상기 두면 거울의 폭과 그 길이가 같은 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
본 출원 발명의 또 다른 실시예로
비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 복수개의 검출부에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 상기 복수개의 검출부의 개수만큼의 서로 다른 반사면의 기울기를 구비한 거울을 통하여 복수개의 광경로를 형성하여 반사되며, 복수개의 광경로의 끝에는 각각의 검출기가 구비되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 복수개의 서로 다른 검출기로 복수개의 가스의 종류와 농도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 복수개의 검출기는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 각각의 검출기에 1 내지 4개의 필터를 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 복수개의 면을 구비한 거울의 폭과 그 길이가 같은 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 검출기1과 검출기2에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 2개의 다른 반사면을 가진 두면 거울을 통하여 위쪽과 아래쪽으로 각도를 가지고 반사되어, 각각 검출기1과 검출기2로 입사되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 2개의 서로 다른 검출기1과 검출기2로 가스의 종류와 농도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 검출기1 및 검출기2는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 1 내지 4개의 필터를 각각의 검출기1 및/ 또는 검출기2에 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 상기 두면 거울의 폭과 그 길이가 같은 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
본 출원 발명의 또 다른 실시예로
비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 복수개의 검출부에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 상기 복수개의 검출부의 개수만큼의 서로 다른 반사면의 기울기를 구비한 거울을 통하여 복수개의 광경로를 형성하여 반사되며, 복수개의 광경로의 끝에는 각각의 검출기가 구비되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 복수개의 서로 다른 검출기로 복수개의 가스의 종류와 농도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 복수개의 검출기는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 각각의 검출기에 1 내지 4개의 필터를 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 복수개의 면을 구비한 거울의 폭과 그 길이가 같은 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
본 출원 발명은 상기와 같은 발명의 구성에 의하여 하나의 측정용 화이트셀 내부에 하나의 선 광원과 경사가 다른 두면 거울을 이용하여 상기 화이트셀을 상하로 가상의 측정 공간을 분리하여 멀티채널 구성함으로서 2 배 이상의 많은 가스의 종류를 측정할 수 있는 비분산적외선 가스측정 장치를 제공한다.
도 1은 본 발명의 출원 이전의 NDIR 가스 측정장치의 일 실시예를 도시하고 있다.
도 2는 본 발명의 두 면 거울과 선광원을 구비하여 측정가능 공간을 가상으로 2개로 나눈 NDIR 가스측정 장치를 도시하고 있다.
도 3은 본 발명의 화이트 셀 공간을 가상으로 나누어 가스 디텍터를 2개 이상 사용할 수 있도록 하는 두면 거을을 도시하고 있다.
도 4는 본 발명의 두 면 거울과 선광원을 구비하여 측정가능 공간을 가상으로 2개로 나눈 NDIR 가스측정 장치의 화이트셀과 화이트셀 내부에 실리콘 코팅을한 실시예를 도시하고 있다.
도 5는 본 발명의 NDIR 가스 측정장치의 측정용 공기가 유입되어 측정하는 화이트셀 외부에 외부에서 유입되는 측정용 공기의 온도에 관계 없이 측정 공기의 온도를 조절하기 위한 온도조절 재킷을 더 구비한 구성을 도시하고 있다.
도 6은 본 발명의 NDIR 가스 측정장치은 가연성 또는 폭발성 가스의 농도를 측정하고자 하는 것으로 가연성 또는 폭발성 가스가 측정된 경우 이를 배출하지 않고 처리하는 처리부를 도시하고 있다.
도 7은 본 발명의 NDIR 가스 측정장치은 가연성 또는 폭발성 가스의 농도를 측정하고자 하는 것으로 공기를 유입하여 상기 NDIR 가스측정 장치 내부에서 측정하기 전의 폭발 가능성을 확인하기 위한 가스 센서를 외부에 더 구비한 실시예를 도시하고 있다.
도 2는 본 발명의 두 면 거울과 선광원을 구비하여 측정가능 공간을 가상으로 2개로 나눈 NDIR 가스측정 장치를 도시하고 있다.
도 3은 본 발명의 화이트 셀 공간을 가상으로 나누어 가스 디텍터를 2개 이상 사용할 수 있도록 하는 두면 거을을 도시하고 있다.
도 4는 본 발명의 두 면 거울과 선광원을 구비하여 측정가능 공간을 가상으로 2개로 나눈 NDIR 가스측정 장치의 화이트셀과 화이트셀 내부에 실리콘 코팅을한 실시예를 도시하고 있다.
도 5는 본 발명의 NDIR 가스 측정장치의 측정용 공기가 유입되어 측정하는 화이트셀 외부에 외부에서 유입되는 측정용 공기의 온도에 관계 없이 측정 공기의 온도를 조절하기 위한 온도조절 재킷을 더 구비한 구성을 도시하고 있다.
도 6은 본 발명의 NDIR 가스 측정장치은 가연성 또는 폭발성 가스의 농도를 측정하고자 하는 것으로 가연성 또는 폭발성 가스가 측정된 경우 이를 배출하지 않고 처리하는 처리부를 도시하고 있다.
도 7은 본 발명의 NDIR 가스 측정장치은 가연성 또는 폭발성 가스의 농도를 측정하고자 하는 것으로 공기를 유입하여 상기 NDIR 가스측정 장치 내부에서 측정하기 전의 폭발 가능성을 확인하기 위한 가스 센서를 외부에 더 구비한 실시예를 도시하고 있다.
본 출원 발명의 작용효과를 도면을 활용하여 설명하면 다음과 같다.
우선 가스 측정 기술에 관하여 알아보면, 가스 센서는 가스의 농도(concentration)를 측정하는 센서이다. 가스가 존재하는지 유무만 측정하는 과거의 기술도 있으나, 최근에는 기술의 발전으로 가스의 농도를 측정한다. 가스의 농도는 공기 중에 측정 대상 가스가 차지하는 비율을 의미한다. 보통 단위로 ppm, %, %LEL 등이 사용된다.
가스의 측정원리는 보통 3가지 방식으로 분류한다. 광학식, 접촉식 및 복합식으로 나눈다. 비분산적외선 가스 측정방법이 대표적인 광학식 측정방법이며, 가스분자의 화학반응이 일어나지 않는 비접촉식과 가스분자와 반응물질 간에 직접 접촉되어 측정하는 접촉식이 있으며, 복합식은 상기 어느 2가지 방법을 함께 사용하는 것이다.
위에서 살펴본 것과 같이 가스 센서는 측정방식에 따라 접촉식, 복합식 및 광학식 센서가 있다. 접촉식 센서로는 전기화학식, 반도체식, 고체 전해질식이 있고, 광 이온화방식, 전반사식은 복합식으로 분류한다. 비분산 적외선 방식과 광 음향방식이 광학식 가스센서 이다.
많이 쓰이는 접촉식과 광학식에 따른 센서의 장단점은 다음 표와 같다.
좀더 상세히 가스 농도 측정 기술별 원리와 특징을 살펴보면 다음과 같다. 접촉식 센서는 반도체식 센서와 전기화학식 센서가 대표적이다. 접촉식센서의 대표적인 반도체식 가스센서는 감지 물질 반도체 표면에 가스가 접촉했을 때 일어나는 전기전도도의 변화를 이용하는 것으로 대기 중에서 가열하여 사용하고 고온에서 안정한 금속 산화물이 주로 사용된다. 금속 산화물은 반도체의 성질을 나타내는 것이 많고, 이중 금속원자가 과잉 (산소 결핍)인 경우에는 n형 반도체, 금속원자가 결핍인 경우에는 p형 반도체가 된다. 이러한 금속 산화물 반도체 중 전기전도도가 크고 융점이 높아서 사용온도 영역에서 열적으로 안정한 성질을 가진 물질이 감지 센서 소재로 사용된다. 또한 검출회로의 구성이 간단하고 가격이 저렴한 장점이 있으나, 표면의 금속산화물 반도체에 의해서 전기전도도가 변하기 때문에 여러 종류의 가스에 영향을 많이 받고 습도에도 반응하여 정확한 가스농도 측정에는 단점이 있다. 그럼에도 반도체 공정으로 소형화와 대량 생산이 가능하기 때문에 정확도가 크게 중요하지 않는 분야에 많이 사용되고 있다. 많이 사용되는 반도체 방식 센서는 온습도 센서가 있으며, 가스측정에는 휘발성 유기화합물(VOCs), 일산화탄소, 수소계 등을 측정할 때 많이 사용된다.
또 다른 접촉식 센서인 전기화학식 센서는 내장된 전극의 작용에 의해 측정 대상 가스가 산화 또는 환원 반응을 일으킬 때 발생하는 전류를 측정함으로써 가스의 농도를 검지한다. 내부에 보통 3개의 전극이 있으며 산화(환원) 반응이 일어나는 검지 전극(working electrode)과 이와 동시에 환원(산화) 반응이 일어나는 대항전극(counter electrode), 그리고 산화환원 반응과 함께 변화하는 전위를 감지하고 전위를 일정하게 유지하기 위한 참조 전극(Reference electrode)이다. 사용자는 센서 외부로 노출된 3개의 전극을 회로에 연결하여 사용한다. 사용자가 전기화학식의 정상작동 또는 성능평가를 위해서는 산소가 필요하기 때문에 공기 중에서 실시해야 한다. 통상 산업분야에서 사용하는 전기화학식 센서의 사용은 2년 정도이나 생활 속에서 사용하는 센서는 대기 중에 해당가스가 거의 없기 때문에 수명이 길게는 5년 이상까지도 사용 가능하다. 장점으로는 빠른 응답시간, 안정성, 낮은 농도도 감지 가능하고, 재현성이 우수하다. 반면 접촉식 센서의 단점인 다른 가스에 대한 반응성, 그리고 고농도에 노출 시 수명이 빨리 단축된다는 단점은 원리상 나타나는 현상이다. 주로 일산화탄소, 산소, 황화수소, 암모니아가스 등의 측정에 사용한다.
복합식 센서의 한 종류인 광이온화(PID Photoionization detector) 센서는 VOCs를 측정할 때 많이 사용된다. 반도체방식의 측정 정확성이 많이 떨어지기 때문이다. PID 원리는 자외선(UV) 빛을 가스분자에 조사하여 양이온과 음이온으로 이온화시키고 이를 전극으로 집전시켜 가스농도에 비례한 전류를 감지하는 기술로 광 조사와 화학적 반응을 동반한다. 현재 PID 센서를 장착한 측정기로 VOCs를 ppm 이하 ppb 농도 까지 측정하는 기술이 있다. 또한, PID 측정방식은 습도에 간섭이 적고 감도가 우수한 장점이 있다.
본 출원 발명의 대상이 되는 가스 측정방법인 광학식 가스 센서 중 대표적인 것이 비분산적외선 방식의 NDIR 가스센서이다. 비분산적외선(NDIR Non-Dispersive Infrared)식은 여러 종류의 가스 측정 원리 중에서 비접촉식의 대표적 방식으로 가장 정확성과 신뢰성, 안정성, 긴 수명 등의 장점을 많이 가지고 있다. 하지만 광학계 부품의 고가로 인해 타 방식에 비해 상대적으로 가격이 높았다. 따라서 NDIR식은 기존에는 주로 고가의 분석기에 사용되어 왔으나 지속적으로 광학센서의 사용량이 크게 늘어나면서 광학계 부품들의 가격이 낮아져 일상생활 속에서도 사용할 수 있게 되었다. 예로서 가장 대중화된 NDIR 이산화탄소센서의 경우는 전기화학식이나 반도체식에 비해서도 가격의 차이가 없어졌다. 이로 인해 시장에서 이산화탄소 센서는 거의 90%이상을 NDIR식을 사용하고 있다.
본 출원 발명은 상기 NDIR 가스센서를 -20℃ ~ 50℃ 환경에서 사용할 수 있는 기술을 제공하고자 하는 것이다. 또한, 가연성 또는 폭발성 가스를 측정 대상으로 하기 때문에 측정 중 NDIR 가스 측정기 내부에서 폭발이 있을 수 있어 이를 미리 측정하여 위험을 확인할 필요가 있다.
이는 외부의 측정 환경이 -20 ℃ ~ 50℃이지만 측정을 위하여서는 화이트 셀 내부의 온도를 30~40℃로 일정하게 유지하고 있기 때문이다. 따라서, 측정을 위하여 화이트셀 내부에 공기를 흡입하게되면 외부에서는 최소폭발한계 이하의 공기였으나, 측정을 위하여 화이트 셀 내부에서 온도를 제어하는 과정에서 폭발 가능한 상태로 변화될 수 있기 때문이다.
도 1은 본 발명의 출원 이전의 NDIR 가스 측정 장치의 일실시 예를 도시하고 있다. 광원과 측정결과를 보정하기 위한 광을 측정하기 위한 광분배기 상기 광분배기에서 나온 광의 세기를 측정하는 광원 세기 측정부, 상기 광분배기에서 화이트셀로 나온 광이 측정 공기를 통과하여 가스의 종류를 측정하는 필터를 구비한 가스 디텍터로 입사되도록 하는 거울을 구비한 구성을 도시하고 있다.
상기 가스 디텍터는 1개에서 4개의 각기 다른 파장의 광파장 통과 필터를 구비하여 상기 광파장 필터를 통과한 광의 해당 파장의 광의 세기가 감소되는 정도에 따라 해당 광파장의 크기를 감소시키는 가스가 있는 것으로 판단하며, 그 감소된 정도를 계산하면 해당 가스의 농도를 측정할 수 있다.
도 2는 본 발명의 두 면 거울과 선광원을 구비하여 측정가능 공간을 가상으로 2개로 나눈 NDIR 가스측정 장치를 도시하고 있다. 본 출원 발명은 기존의 1개의 광원에 1개의 가스 디텍터를 구비하는 구성을 개선하여, 하나의 선광원과 두 개의 면이 서로다른 각도를 유지하는 거울을 이용하여 하나의 화이트셀을 왼쪽과 오른쪽을 가상으로 나누어 2개의 가스 디텍터를 사용할 수 있는 비분산적외선 측정 기술을 제공하고자 한다. 기존의 기술과 동일하지만, 가스 디텍터의 반대쪽에 각도를 다르게 구성한 두면 거울을 설치하여 수평으로 길게 구성된 선 광원을 서로 다른 2개의 반사각을 구성함으로써 2 개의 서로 다른 가스 디텍터를 사용하여 더 많은 광 경로를 생성할 수 있는 기술을 제공한다.
도 3은 본 발명의 화이트 셀 공간을 가상으로 나누어 가스 디텍터를 2개 이상 사용할 수 있도록 하는 두면 거울을 도시하고 있다. 평면거울 2개를 서로 인접하여 설계된 각도로 구비함으로써 가스 농도측정을 위하여 광이 조사되는 화이트셀 내부의 광환경을 가상으로 2분화함으로써 더 많은 가스 디텍터의 설치가 가능하다. 상기 가스 디텍터는 1 개의 필터가 구비된 1 채널일 수 있으나, 2개, 4개의 필터를 구비한 2채널, 4채널일 수도 있다. 화이트 셀의 크기에 따라 상기 두면 거울은 삼면 거울 및 4면 거울로 만들어 가스 디텍터를 3개 또는 4개로 구성할 수 있음은 물론이다. 이러한 구성은 1개의 수평으로 구성된 선행 광원을 사용함으로써 가능하며, 하나의 광원을 사용하기 때문에 1개의 광원 보정을 위한 보정용 광측정부만 있으면 가능하다.
도 4는 본 발명의 두 면 거울과 선광원을 구비하여 측정가능 공간을 가상으로 2개로 나눈 NDIR 가스측정 장치의 화이트셀과 화이트셀 내부에 실리콘 코팅을 한 실시예를 도시하고 있다. 화이트 셀은 금속으로 구성되는 것이 일반적이지만, 강도와 변형이 적은 엔지니어링 플라스틱 또는 플라스틱 수지로 구성될 수 있다. 이렇게 구성되는 경우 측정대상 가스가 시간에 따라 화이트 셀 내부에 침착하거나, 결합하여 남는 경우가 발생한다. 이러한 경우 이를 사용할 수 없기 때문에 가스와 반응성이 적은 실리콘을 상기 화이트셀 내부에 코팅함으로써 상기 화트셀에 가스가 침착되는 경우 이를 세척하여 살 수 있다.
도 5는 본 발명의 NDIR 가스 측정장치의 측정용 공기가 유입되어 측정하는 화이트셀 외부에 외부에서 유입되는 측정용 공기의 온도에 관계없이 측정 공기의 온도를 조절하기 위한 온도조절 재킷을 더 구비한 구성을 도시하고 있다. 본 출원 발명의 측정대상이 되는 가스는 가연성 또는 폭발성 가스이고, 측정환경은 -20℃ ~ 50℃의 환경이다. 측정대상 가스의 온도를 일정하게 전처리하여 측정하여야 만이 정확한 측정이 가능하다 이를 위하여 측정가스의 농도를 측정하는 상기 화이트셀 온도를 일정하게 유지할 필요가 있다 이를 위하여 상기 화이트셀 외부에는 온도유지를 위한 화이트셀 재킷을 구비한다. 상기 화이트셀 재킷은 측정에 필요한 30 ~ 40℃ 온도 이하의 경우에는 상기 화이트셀 재킷을 가열하여 측정 온도를 맞추며, 40℃ 이상의 온도인 경우에는 화이트셀 재킷을 냉각시킴으로써 온도를 맞춘다. 이를 위하여 상기 화이트셀 재킷은 열정도성이 높은 재질로 구성되며, 온도조절을 위하여 펠티어 소재로 구성된다. 상기 펠티어 소재는 전극의 극성을 바꾸어 줌으로써 가열과 냉각이 가능하다. 이를 이용하여 가열과 냉각을 조절할 수 있다.
도 6은 본 발명의 NDIR 가스 측정 장치는 가연성 또는 폭발성 가스의 농도를 측정하고자 하는 것으로 가연성 또는 폭발성 가스가 측정된 경우 이를 배출하지 않고 처리하는 처리부를 도시하고 있다. 측정 가스 중에 가연성 또는 폭발성 가스가 일정농도 이상 측정되면, 배출하지 않고, 공기 압축기에 의하여 압축된 후 일정량이 모아지면, 버너를 1200℃로 가열한 후 상기 공기 압축기에 압축된 공기를 상기 버너에 공급하여 연소 후 배출한다.
도 7은 본 발명의 NDIR 가스 측정 장치는 가연성 또는 폭발성 가스의 농도를 측정하고자 하는 것으로 공기를 유입하여 상기 NDIR 가스측정 장치 내부에서 측정하기 전의 폭발 가능성을 확인하기 위한 가스 센서를 외부에 더 구비한 실시 예를 도시하고 있다. 본 출원 발명의 가연성 및/ 또는 폭발성 가스가 NDIR 가스측정 장치의 공기 유입구에 외부 측정환경을 측정하기 위한 온도, 습도 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 구비하여 측정환경의 폭발 위험성을 우선 점검하고, 측정을 위하여 화이트 셀에 상기 측정공기가 유입되었을 때 NDIR 측정기 내부에서 폭발가능성이 있는지 2차 확인하기 위한 구성이다.
상기와 같은 발명의 작용효과를 나타내기 위한 발명의 구성은 다음과 같다.
비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 검출기1과 검출기2에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 2개의 다른 반사면을 가진 두면 거울을 통하여 위쪽과 아래쪽으로 각도를 가지고 반사되어, 각각 검출기1과 검출기2로 입사되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 2개의 서로 다른 검출기1과 검출기2로 가스의 종류와 농도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 검출기1 및 검출기2는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 1 내지 4개의 필터를 각각의 검출기1 및/ 또는 검출기2에 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 상기 두면 거울의 폭과 그 길이가 같은 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
본 출원 발명의 또 다른 실시예로
비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 복수개의 검출부에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 상기 복수개의 검출부의 개수만큼의 서로 다른 반사면의 기울기를 구비한 거울을 통하여 복수개의 광경로를 형성하여 반사되며, 복수개의 광경로의 끝에는 각각의 검출기가 구비되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 복수개의 서로 다른 검출기로 복수개의 가스의 종류와 농도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 복수개의 검출기는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 각각의 검출기에 1 내지 4개의 필터를 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 복수개의 면을 구비한 거울의 폭과 그 길이가 같은 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
우선 가스 측정 기술에 관하여 알아보면, 가스 센서는 가스의 농도(concentration)를 측정하는 센서이다. 가스가 존재하는지 유무만 측정하는 과거의 기술도 있으나, 최근에는 기술의 발전으로 가스의 농도를 측정한다. 가스의 농도는 공기 중에 측정 대상 가스가 차지하는 비율을 의미한다. 보통 단위로 ppm, %, %LEL 등이 사용된다.
가스의 측정원리는 보통 3가지 방식으로 분류한다. 광학식, 접촉식 및 복합식으로 나눈다. 비분산적외선 가스 측정방법이 대표적인 광학식 측정방법이며, 가스분자의 화학반응이 일어나지 않는 비접촉식과 가스분자와 반응물질 간에 직접 접촉되어 측정하는 접촉식이 있으며, 복합식은 상기 어느 2가지 방법을 함께 사용하는 것이다.
위에서 살펴본 것과 같이 가스 센서는 측정방식에 따라 접촉식, 복합식 및 광학식 센서가 있다. 접촉식 센서로는 전기화학식, 반도체식, 고체 전해질식이 있고, 광 이온화방식, 전반사식은 복합식으로 분류한다. 비분산 적외선 방식과 광 음향방식이 광학식 가스센서 이다.
많이 쓰이는 접촉식과 광학식에 따른 센서의 장단점은 다음 표와 같다.
좀더 상세히 가스 농도 측정 기술별 원리와 특징을 살펴보면 다음과 같다. 접촉식 센서는 반도체식 센서와 전기화학식 센서가 대표적이다. 접촉식센서의 대표적인 반도체식 가스센서는 감지 물질 반도체 표면에 가스가 접촉했을 때 일어나는 전기전도도의 변화를 이용하는 것으로 대기 중에서 가열하여 사용하고 고온에서 안정한 금속 산화물이 주로 사용된다. 금속 산화물은 반도체의 성질을 나타내는 것이 많고, 이중 금속원자가 과잉 (산소 결핍)인 경우에는 n형 반도체, 금속원자가 결핍인 경우에는 p형 반도체가 된다. 이러한 금속 산화물 반도체 중 전기전도도가 크고 융점이 높아서 사용온도 영역에서 열적으로 안정한 성질을 가진 물질이 감지 센서 소재로 사용된다. 또한 검출회로의 구성이 간단하고 가격이 저렴한 장점이 있으나, 표면의 금속산화물 반도체에 의해서 전기전도도가 변하기 때문에 여러 종류의 가스에 영향을 많이 받고 습도에도 반응하여 정확한 가스농도 측정에는 단점이 있다. 그럼에도 반도체 공정으로 소형화와 대량 생산이 가능하기 때문에 정확도가 크게 중요하지 않는 분야에 많이 사용되고 있다. 많이 사용되는 반도체 방식 센서는 온습도 센서가 있으며, 가스측정에는 휘발성 유기화합물(VOCs), 일산화탄소, 수소계 등을 측정할 때 많이 사용된다.
또 다른 접촉식 센서인 전기화학식 센서는 내장된 전극의 작용에 의해 측정 대상 가스가 산화 또는 환원 반응을 일으킬 때 발생하는 전류를 측정함으로써 가스의 농도를 검지한다. 내부에 보통 3개의 전극이 있으며 산화(환원) 반응이 일어나는 검지 전극(working electrode)과 이와 동시에 환원(산화) 반응이 일어나는 대항전극(counter electrode), 그리고 산화환원 반응과 함께 변화하는 전위를 감지하고 전위를 일정하게 유지하기 위한 참조 전극(Reference electrode)이다. 사용자는 센서 외부로 노출된 3개의 전극을 회로에 연결하여 사용한다. 사용자가 전기화학식의 정상작동 또는 성능평가를 위해서는 산소가 필요하기 때문에 공기 중에서 실시해야 한다. 통상 산업분야에서 사용하는 전기화학식 센서의 사용은 2년 정도이나 생활 속에서 사용하는 센서는 대기 중에 해당가스가 거의 없기 때문에 수명이 길게는 5년 이상까지도 사용 가능하다. 장점으로는 빠른 응답시간, 안정성, 낮은 농도도 감지 가능하고, 재현성이 우수하다. 반면 접촉식 센서의 단점인 다른 가스에 대한 반응성, 그리고 고농도에 노출 시 수명이 빨리 단축된다는 단점은 원리상 나타나는 현상이다. 주로 일산화탄소, 산소, 황화수소, 암모니아가스 등의 측정에 사용한다.
복합식 센서의 한 종류인 광이온화(PID Photoionization detector) 센서는 VOCs를 측정할 때 많이 사용된다. 반도체방식의 측정 정확성이 많이 떨어지기 때문이다. PID 원리는 자외선(UV) 빛을 가스분자에 조사하여 양이온과 음이온으로 이온화시키고 이를 전극으로 집전시켜 가스농도에 비례한 전류를 감지하는 기술로 광 조사와 화학적 반응을 동반한다. 현재 PID 센서를 장착한 측정기로 VOCs를 ppm 이하 ppb 농도 까지 측정하는 기술이 있다. 또한, PID 측정방식은 습도에 간섭이 적고 감도가 우수한 장점이 있다.
본 출원 발명의 대상이 되는 가스 측정방법인 광학식 가스 센서 중 대표적인 것이 비분산적외선 방식의 NDIR 가스센서이다. 비분산적외선(NDIR Non-Dispersive Infrared)식은 여러 종류의 가스 측정 원리 중에서 비접촉식의 대표적 방식으로 가장 정확성과 신뢰성, 안정성, 긴 수명 등의 장점을 많이 가지고 있다. 하지만 광학계 부품의 고가로 인해 타 방식에 비해 상대적으로 가격이 높았다. 따라서 NDIR식은 기존에는 주로 고가의 분석기에 사용되어 왔으나 지속적으로 광학센서의 사용량이 크게 늘어나면서 광학계 부품들의 가격이 낮아져 일상생활 속에서도 사용할 수 있게 되었다. 예로서 가장 대중화된 NDIR 이산화탄소센서의 경우는 전기화학식이나 반도체식에 비해서도 가격의 차이가 없어졌다. 이로 인해 시장에서 이산화탄소 센서는 거의 90%이상을 NDIR식을 사용하고 있다.
본 출원 발명은 상기 NDIR 가스센서를 -20℃ ~ 50℃ 환경에서 사용할 수 있는 기술을 제공하고자 하는 것이다. 또한, 가연성 또는 폭발성 가스를 측정 대상으로 하기 때문에 측정 중 NDIR 가스 측정기 내부에서 폭발이 있을 수 있어 이를 미리 측정하여 위험을 확인할 필요가 있다.
이는 외부의 측정 환경이 -20 ℃ ~ 50℃이지만 측정을 위하여서는 화이트 셀 내부의 온도를 30~40℃로 일정하게 유지하고 있기 때문이다. 따라서, 측정을 위하여 화이트셀 내부에 공기를 흡입하게되면 외부에서는 최소폭발한계 이하의 공기였으나, 측정을 위하여 화이트 셀 내부에서 온도를 제어하는 과정에서 폭발 가능한 상태로 변화될 수 있기 때문이다.
도 1은 본 발명의 출원 이전의 NDIR 가스 측정 장치의 일실시 예를 도시하고 있다. 광원과 측정결과를 보정하기 위한 광을 측정하기 위한 광분배기 상기 광분배기에서 나온 광의 세기를 측정하는 광원 세기 측정부, 상기 광분배기에서 화이트셀로 나온 광이 측정 공기를 통과하여 가스의 종류를 측정하는 필터를 구비한 가스 디텍터로 입사되도록 하는 거울을 구비한 구성을 도시하고 있다.
상기 가스 디텍터는 1개에서 4개의 각기 다른 파장의 광파장 통과 필터를 구비하여 상기 광파장 필터를 통과한 광의 해당 파장의 광의 세기가 감소되는 정도에 따라 해당 광파장의 크기를 감소시키는 가스가 있는 것으로 판단하며, 그 감소된 정도를 계산하면 해당 가스의 농도를 측정할 수 있다.
도 2는 본 발명의 두 면 거울과 선광원을 구비하여 측정가능 공간을 가상으로 2개로 나눈 NDIR 가스측정 장치를 도시하고 있다. 본 출원 발명은 기존의 1개의 광원에 1개의 가스 디텍터를 구비하는 구성을 개선하여, 하나의 선광원과 두 개의 면이 서로다른 각도를 유지하는 거울을 이용하여 하나의 화이트셀을 왼쪽과 오른쪽을 가상으로 나누어 2개의 가스 디텍터를 사용할 수 있는 비분산적외선 측정 기술을 제공하고자 한다. 기존의 기술과 동일하지만, 가스 디텍터의 반대쪽에 각도를 다르게 구성한 두면 거울을 설치하여 수평으로 길게 구성된 선 광원을 서로 다른 2개의 반사각을 구성함으로써 2 개의 서로 다른 가스 디텍터를 사용하여 더 많은 광 경로를 생성할 수 있는 기술을 제공한다.
도 3은 본 발명의 화이트 셀 공간을 가상으로 나누어 가스 디텍터를 2개 이상 사용할 수 있도록 하는 두면 거울을 도시하고 있다. 평면거울 2개를 서로 인접하여 설계된 각도로 구비함으로써 가스 농도측정을 위하여 광이 조사되는 화이트셀 내부의 광환경을 가상으로 2분화함으로써 더 많은 가스 디텍터의 설치가 가능하다. 상기 가스 디텍터는 1 개의 필터가 구비된 1 채널일 수 있으나, 2개, 4개의 필터를 구비한 2채널, 4채널일 수도 있다. 화이트 셀의 크기에 따라 상기 두면 거울은 삼면 거울 및 4면 거울로 만들어 가스 디텍터를 3개 또는 4개로 구성할 수 있음은 물론이다. 이러한 구성은 1개의 수평으로 구성된 선행 광원을 사용함으로써 가능하며, 하나의 광원을 사용하기 때문에 1개의 광원 보정을 위한 보정용 광측정부만 있으면 가능하다.
도 4는 본 발명의 두 면 거울과 선광원을 구비하여 측정가능 공간을 가상으로 2개로 나눈 NDIR 가스측정 장치의 화이트셀과 화이트셀 내부에 실리콘 코팅을 한 실시예를 도시하고 있다. 화이트 셀은 금속으로 구성되는 것이 일반적이지만, 강도와 변형이 적은 엔지니어링 플라스틱 또는 플라스틱 수지로 구성될 수 있다. 이렇게 구성되는 경우 측정대상 가스가 시간에 따라 화이트 셀 내부에 침착하거나, 결합하여 남는 경우가 발생한다. 이러한 경우 이를 사용할 수 없기 때문에 가스와 반응성이 적은 실리콘을 상기 화이트셀 내부에 코팅함으로써 상기 화트셀에 가스가 침착되는 경우 이를 세척하여 살 수 있다.
도 5는 본 발명의 NDIR 가스 측정장치의 측정용 공기가 유입되어 측정하는 화이트셀 외부에 외부에서 유입되는 측정용 공기의 온도에 관계없이 측정 공기의 온도를 조절하기 위한 온도조절 재킷을 더 구비한 구성을 도시하고 있다. 본 출원 발명의 측정대상이 되는 가스는 가연성 또는 폭발성 가스이고, 측정환경은 -20℃ ~ 50℃의 환경이다. 측정대상 가스의 온도를 일정하게 전처리하여 측정하여야 만이 정확한 측정이 가능하다 이를 위하여 측정가스의 농도를 측정하는 상기 화이트셀 온도를 일정하게 유지할 필요가 있다 이를 위하여 상기 화이트셀 외부에는 온도유지를 위한 화이트셀 재킷을 구비한다. 상기 화이트셀 재킷은 측정에 필요한 30 ~ 40℃ 온도 이하의 경우에는 상기 화이트셀 재킷을 가열하여 측정 온도를 맞추며, 40℃ 이상의 온도인 경우에는 화이트셀 재킷을 냉각시킴으로써 온도를 맞춘다. 이를 위하여 상기 화이트셀 재킷은 열정도성이 높은 재질로 구성되며, 온도조절을 위하여 펠티어 소재로 구성된다. 상기 펠티어 소재는 전극의 극성을 바꾸어 줌으로써 가열과 냉각이 가능하다. 이를 이용하여 가열과 냉각을 조절할 수 있다.
도 6은 본 발명의 NDIR 가스 측정 장치는 가연성 또는 폭발성 가스의 농도를 측정하고자 하는 것으로 가연성 또는 폭발성 가스가 측정된 경우 이를 배출하지 않고 처리하는 처리부를 도시하고 있다. 측정 가스 중에 가연성 또는 폭발성 가스가 일정농도 이상 측정되면, 배출하지 않고, 공기 압축기에 의하여 압축된 후 일정량이 모아지면, 버너를 1200℃로 가열한 후 상기 공기 압축기에 압축된 공기를 상기 버너에 공급하여 연소 후 배출한다.
도 7은 본 발명의 NDIR 가스 측정 장치는 가연성 또는 폭발성 가스의 농도를 측정하고자 하는 것으로 공기를 유입하여 상기 NDIR 가스측정 장치 내부에서 측정하기 전의 폭발 가능성을 확인하기 위한 가스 센서를 외부에 더 구비한 실시 예를 도시하고 있다. 본 출원 발명의 가연성 및/ 또는 폭발성 가스가 NDIR 가스측정 장치의 공기 유입구에 외부 측정환경을 측정하기 위한 온도, 습도 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 구비하여 측정환경의 폭발 위험성을 우선 점검하고, 측정을 위하여 화이트 셀에 상기 측정공기가 유입되었을 때 NDIR 측정기 내부에서 폭발가능성이 있는지 2차 확인하기 위한 구성이다.
상기와 같은 발명의 작용효과를 나타내기 위한 발명의 구성은 다음과 같다.
비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 검출기1과 검출기2에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 2개의 다른 반사면을 가진 두면 거울을 통하여 위쪽과 아래쪽으로 각도를 가지고 반사되어, 각각 검출기1과 검출기2로 입사되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 2개의 서로 다른 검출기1과 검출기2로 가스의 종류와 농도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 검출기1 및 검출기2는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 1 내지 4개의 필터를 각각의 검출기1 및/ 또는 검출기2에 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 상기 두면 거울의 폭과 그 길이가 같은 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
본 출원 발명의 또 다른 실시예로
비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 복수개의 검출부에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 상기 복수개의 검출부의 개수만큼의 서로 다른 반사면의 기울기를 구비한 거울을 통하여 복수개의 광경로를 형성하여 반사되며, 복수개의 광경로의 끝에는 각각의 검출기가 구비되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 복수개의 서로 다른 검출기로 복수개의 가스의 종류와 농도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 복수개의 검출기는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 각각의 검출기에 1 내지 4개의 필터를 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 복수개의 면을 구비한 거울의 폭과 그 길이가 같은 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
또한, 상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치를 제공한다.
100 : 극한환경 측정용 비분산적외선 측정장치
110 : 적외선 선광원
120 : 광분배기
130 : 보정용 광측정부
140 : 두면 거울
150 : 검출기1(1 내지 4 ch.)
160 : 검출기2(1 내지 4 ch.)
200 : 화이트셀
210 : 실리콘 코팅
250 : 화이트셀 재킷
260 : 공기 유입구
261 : 온도센서
262 : 습도센서
263 : 토탈 폭발성가스농도 측정기(가스선택성 없음)
270 : 공기 배출구
300 : 공기 압축기
400 : 버너
Path1 : 검출기1용 광경로
Path2 : 검출기2용 광경로
110 : 적외선 선광원
120 : 광분배기
130 : 보정용 광측정부
140 : 두면 거울
150 : 검출기1(1 내지 4 ch.)
160 : 검출기2(1 내지 4 ch.)
200 : 화이트셀
210 : 실리콘 코팅
250 : 화이트셀 재킷
260 : 공기 유입구
261 : 온도센서
262 : 습도센서
263 : 토탈 폭발성가스농도 측정기(가스선택성 없음)
270 : 공기 배출구
300 : 공기 압축기
400 : 버너
Path1 : 검출기1용 광경로
Path2 : 검출기2용 광경로
Claims (14)
- 비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 검출기1과 검출기2에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 2개의 다른 반사면을 가진 두면 거울을 통하여 위쪽과 아래쪽으로 각도를 가지고 반사되어, 각각 검출기1과 검출기2로 입사되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 2개의 서로 다른 검출기1과 검출기2로 가스의 종류와 농도 측정이 가능하며,
상기 검출기1 및 검출기2는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 1 내지 4개의 필터를 각각의 검출기1 및 검출기2에 구비하고,
상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 상기 두면 거울의 폭과 그 길이가 같으며,
상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치. - 삭제
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- 제1항에 있어서,
상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치. - 제5항에 있어서,
상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치. - 제6항에 있어서,
상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치. - 비분산적외선측정을 위한 화이트셀; 및
상기 화이트셀의 일측에 구비되어 상기 화이트셀에 가스농도측정을 위한 적외선 광을 발생시키는 적외선 선형광; 및
상기 적외선 선형광을 나누어 화이트 셀과 보정용 광측정부로 보내는 광분배기; 및
상기 광분배기에서 나온 광은 보정용 광 측정부에서 측정되어, 상기 화이트셀로 보내진 광이 측정대상 가스를 통과하여 복수개의 검출부에서 측정된 광 강도를 보정하여 상기 적외선 선형광의 강도가 변화되어도 정확한 측정이 가능하며,
상기 광분배기에서 나온 광중 화이트셀로 보내진 광은 상기 복수개의 검출부의 개수만큼의 서로 다른 반사면의 기울기를 구비한 거울을 통하여 복수개의 광경로를 형성하여 반사되며, 복수개의 광경로의 끝에는 각각의 검출기가 구비되도록 함으로써 하나의 적외선 선광원과 하나의 보정용 광측정부 및 하나의 화이트셀을 구비하고 있으나, 복수개의 서로 다른 검출기로 복수개의 가스의 종류와 농도 측정이 가능하며,
상기 복수개의 검출기는 여러 종류의 가스를 측정하기 위하여 각각의 검출기에 1 내지 4개의 필터를 구비하고,
상기 적외선 선광원은 광원의 폭이 복수개의 면을 구비한 거울의 폭과 그 길이가 같으며,
상기 화이트셀의 내부에는 실리콘 코팅되어 가스가 흡착된 경우 실리콘 코팅을 제거하고 다시 코팅하여 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치. - 삭제
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- 제8항에 있어서,
상기 화이트셀의 외부에는 상기 화이트셀의 온도를 조절하기 위한 화이트셀 재킷을 외부에 더 구비한 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치. - 제12항에 있어서,
상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여 측정환경의 발화 및 폭발 가능성을 측정한 후 폭발 가능성이 80% 이상인 경우 이를 경고하고 측정 중지하고 측정위치를 이동할 것을 알리는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치. - 제13항에 있어서,
상기 화이트셀의 공기 유입구에는 온도센서, 습도센서 및 토탈 폭발성가스농도 측정기를 더 구비하여, 측정 가스를 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치에 흡인하여 가연성 및 폭발가스를 측정할 때 폭발가능성이 있는지를 계산하여 폭발가능성이 있는 경우 이를 경고하고 측정하지 않는 것을 특징으로 하는 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스 측정 장치.
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| KR1020230120104A KR102654207B1 (ko) | 2023-09-11 | 2023-09-11 | 극한환경 측정용 멀티채널 비분산적외선 가스측정 장치 |
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2023
- 2023-09-11 KR KR1020230120104A patent/KR102654207B1/ko active
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