KR102640931B1 - 기질 검지 - Google Patents
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Abstract
본 개시는, 스캐너 내의 기질의 표면을 검출하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다.
Description
본 개시는, 일반적으로, 기질(substrate)을 검출하는 것에 관한 것이지만, 보다 구체적으로는, 스캐너(scanner) 내의 슬라이드(slide) 표면을 검출하는 것에 관한 것이다.
피커(picker) 또는 피킹(picking) 시스템은, 웰(well), 웰 플레이트(well plate), 슬라이드(slide), 튜브(tube) 등과 같은 기질 내의 또는 기질 상의 현탁액(suspension)으로부터 표적 분석 물질(target analyte)을 분리시키거나, 기질로부터 현탁액, 용액 또는 시약과 같은 유체를 인출하기(draw) 위해 사용될 수 있다. 그 결과, 의사들(practitioners), 연구자들, 및 현탁액들을 사용하여 작업하는 사람들은, 기질 표면을 보다 효율적이고 정확하게 검출하는 시스템들 및 방법들을 계속해서 찾고 있다.
도 1은, 일예의 스캐너를 도시한다.
도 2a 및 도 2b는, 도 1의 스캐너의 서브시스템을 도시한다.
도 3은, 기질 상의 3 개의 상이한 위치들(locations)에서 얻어진 제2 출력을 도시한다.
도 4a는, 중첩된 제1 출력 및 제2 출력을 도시한다.
도 4b는, 도 4a의 제1 출력과 제2 출력 간의 차이를 도시한다.
도 5a 및 5b는, 출력들을 도시한다.
도 2a 및 도 2b는, 도 1의 스캐너의 서브시스템을 도시한다.
도 3은, 기질 상의 3 개의 상이한 위치들(locations)에서 얻어진 제2 출력을 도시한다.
도 4a는, 중첩된 제1 출력 및 제2 출력을 도시한다.
도 4b는, 도 4a의 제1 출력과 제2 출력 간의 차이를 도시한다.
도 5a 및 5b는, 출력들을 도시한다.
본 개시는, 스캐너 내의 기질의 표면을 검출하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다.
스캐너 및 서브시스템의 일반적인 설명
도 1은, 커버가 제거된 상태로 스캐너(100)의 등각도를 도시한다. 스캐너(100)는 피커 팁(picker tip)(104)을 갖는 피커(102)를 포함한다. 피커(100)는 샘플의 나머지로부터 표적 분석물질 또는 표적 재료를 분리시키기 위한 디바이스이다.
피커(102)는, 조악한(coarse) z-모터(116) 및 정밀한(fine) z-모터(114) 중 적어도 하나를 포함할 수 있는 z-피커 모터 시스템에 의해 z-축을 따라 구동될 수 있다.
스캐너(100)는, 또한, 버피 코트(buffy coat)와 같은 샘플, 또는 시약과 같은 유체를 포함하는 기질(도시되지 않음)을 유지 및 지지하기 위한 슬라이드 홀더(slide holder)(106)를 포함한다. 스캐너(100)는, 또한, 제1 대물 렌즈(first objective)(110) 및 편향 검출기(108)를 포함하는 터릿(turret)(112)을 포함할 수 있으며, 이 터릿(112)은 제1 대물 렌즈(110) 및 편향 검출기(108)를 기질 아래로 가져오도록 (이들이 이렇게 되는 것이 바람직할 때) 회전한다. 터릿(112)은 하나 초과의 대물 렌즈를 포함할 수 있으며, (이들이 이렇게 되는 것이 바람직할 때) 각각의 대물 렌즈는 상이한 배율 레벨들(magnification levels)을 갖는다. 편향 검출기(108)는 촉각(tactile)(즉, 터치 또는 압력 센서), 용량성(capacitive), 광학, 어쿠스틱(즉, 음향(sound)) 등일 수 있다. z-축 터릿 모터(118)는 z-축을 따라, 예를 들어, 기질 또는 슬라이드 홀더(106)를 향해 또는 기질 또는 슬라이드 홀더(106)로부터 멀리 터릿(112)을 구동한다.
슬라이드 모터(120)는, 슬라이드 홀더(106)를 그리고 슬라이드 홀더에서 기질(도시되지 않음)을, 수평 또는 직각으로, 이동시킴으로써 이동하도록 활성화될 수 있다. 피커(102)는, 조악한 z-모터(116) 및 정밀한 z-모터(114)를 포함할 수 있는 z-피커 모터 시스템에 연결될 수 있다. 정밀한 z-모터(114)는, 진동-유도(vibration-inducing) 컴포넌트(즉, 보이스 코일, 초음파 트랜스듀서 등)일 수 있고, 대략 1 내지 20 ㎛ 스텝들로 이동하는 구동 컴포넌트, 또는 진동을 유도하고 피커 팁(104)(즉, 압전 모터 등)을 구동하기 위한 그 조합일 수 있다.
도 2a 및 도 2b는, 도 1에 도시된 피킹 및 이미징 시스템의 서브시스템(200)을 도시한다. 도 2a는 서브시스템(200)의 정면도를 도시하고, 도 2b는 서브시스템(200)의 등각도를 도시한다. 서브시스템(200)은 센서(202) 및 표적 플레이트(204)를 포함하는 포지션 검출기(position detector)를 포함한다. 센서(202)는, 기계적(스위치), 전기적(선형 엔코더(linear encoder)), 용량성, 광학(레이저), 어쿠스틱, 유도성(선형 가변 차동 변압기(linear variable differential transformer)) 등일 수 있다. 서브시스템(200)은, 또한, 피커 팁(208)을 포함하는 피커(102)를 포함하고; 그리고 또한 기질을 지지하는 슬라이드 홀더(106)를 포함할 수 있다. 슬라이드 홀더(106)는 센서(202)로부터 고정된 z-거리에 있을 수 있고, 표적 플레이트(204)는 피커 팁(208)으로부터 고정된 z-거리에 있을 수 있다. 피커 팁(208) 및 표적 플레이트(204)는, 각기, 슬라이드 홀더(106) 및 센서(202)에 대해 z-축을 따라 이동 가능할 수 있다. 더욱이, 표적 플레이트(204)는, 직접식(즉, 피커(102)의 컴포넌트에 장착되는 것) 이든 간접식(즉, 피커(102)에 부착된 플레이트 또는 브래킷에 장착되는 것)이든, 피커(102)에 고정식으로 부착될 수 있다. 서브시스템(200)은, 또한, 센서(202) 및 슬라이드 홀더(106) 중 적어도 하나로부터 고정된 z-거리에 있을 수 있는 기준 플레이트(reference plate)(220)를 포함할 수 있다 서브시스템(200)은, 또한, z-피커 모터 시스템을 포함하며, 여기서, 표적 플레이트(204) 및 피커(102)는 z-피커 모터 시스템에 의해 z-축을 따라 구동된다. z-피커 모터 시스템은, 조악한 z-모터(116) 및 정밀한 z-모터(114) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 정밀한 z-모터(114)는 압전 모터일 수 있다. 정밀한 z-모터(114)는 대략 0.001 내지 500 ㎛의 이동 범위(travel range)를 가지며, 조악한 z-모터(116)는 대략 1 내지 50 mm의 이동 범위를 갖는다. 게다가, z-피커 모터 시스템은 피커(102)로 하여금 z-축을 따라 발진하는 것을 유발하는 진동-유도 컴포넌트를 포함할 수 있다. 진동-유도 컴포넌트는 보이스 코일, 초음파 변환기, 또는 압전 모터일 수 있다. 피커(102)는 대략 10 ㎑ 이하(less than or equal to)의 주파수로 발진할 수 있고, 대략 1 내지 20 ㎛의 진폭을 가질 수 있다.
z-피커 모터 시스템, 센서(202), 및 표적 플레이트(204)는 폐쇄 피드백 루프(closed feedback loop)를 형성할 수 있으며, 이에 의해, 포지션 검출기는 센서(202)와 표적 플레이트(204) 사이의 거리에 의해 판정되는 전압 출력을 제공한다. 포지션 검출기의 전압 출력은, 증폭기에 의해 증폭되고, 그리고 그 다음에, z-피킹 모터 시스템에 제2 출력 전압 및 피드백을 제공하는 제어기 보드(controller board)로 입력된다. 그 다음에, z-피커 모터 시스템은, 제어기 보드로부터의 제2 전압 출력에 기초하여, 센서(202)와 표적 플레이트(204) 사이의 거리를 소망하는 거리로 조절할 수 있다. 거리 및 제2 출력 전압 관계는 이미 교정되어 있을 수 있어서, 제2 출력은 공지된 거리 - 이에 의해 표적 플레이트(204)를 센서(202)를 향해서 또는 센서(202)로부터 멀리 구동시킴 -와 관련되며, 그리고 제2 출력 전압을 판정하는 것은 소망하는 거리를 제공한다. 예를 들어, 제2 출력 전압이 1.0V 일 때, 표적 플레이트(204) 및 센서(202)는 서로 1 mm 멀리 있을 수 있다. 그러나, 소망하는 거리가 2 ㎛이고, 그리고 표적 플레이트(204) 및 센서(202)가 서로 2 ㎛ 멀리 있을 때 제2 전압 출력이 3.1 V인 것으로 알려진 경우에는, 표적 플레이트(204)는, 제2 전압 출력이 3.1 V가 될 때까지 센서(202)를 향해 구동될 수 있다.
피커(102)는 x-y 커넥터 플레이트(210)에 의한 것과 같이 x-y 스테이지(208)에 연결될 수 있다. x-y 스테이지(208)는 x-축 모터(216), y-축 모터(214), 및 베이스 플레이트(226)에 연결될 수 있다. 베이스 플레이트(226)는 적어도 하나의 포스트(post)(218)에 의해 기준 플레이트(220)에 연결될 수 있다. 기준 플레이트(220)는 고정식(stationary)이며, 점 또는 평면(이에 대해서, x-축, y-축 및 z-축의 이동이 참조될 수 있음)으로서 작용한다. 기준 플레이트(220)는, 피커(102)의 이동 및 제어에 대한 진동의 영향(피커(102)가 외부에 있는지 또는 내부에 있는지의 여부에 따라)을 방지하기 위해 스캐너 내의 진동 플레이트들(도시되지 않음) 상에 장착될 수 있다. 센서(202)는 센서 마운트(206)에 의해 베이스 플레이트(226)에 연결될 수 있다.
조악한 z-모터(116)는 커플링(228)에 의해 피커(102)에 연결될 수 있다. 커플링(228)은, 또한, 조악한 z-스테이지 캐리지(carriage)(224)에 연결될 수 있다. 조악한 z-스테이지 베이스(222)는 조악한 z-스테이지 캐리지(224)를 위한 가이드로서 작용할 수 있고, 그리고 또한 슬라이드 홀더(106)에 대해 조악한 z-모터(116)의 가장 먼 이동을 제한하기 위해 정지부(stop)(212)를 포함할 수 있다.
예시적 방법 I
기질을 위치시키기 위한 방법은, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)를 유지 포지션으로부터 슬라이드 홀더(106)를 향해 그리고 적어도 부분적으로 슬라이드 홀더(106)를 지나게 구동하는 단계를 포함한다. 대안으로, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)는 기질에 닿거나 기질을 지나가지 않고 유지 포지션으로부터 기질을 향해 구동되어, 유지 포지션이 기질 위에 있도록 할 수 있다. 구동 단계 동안, 제1 출력은 포지션 검출기에 의해 얻어진다. 그 다음에, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)는 유지 포지션으로 복귀되거나 후퇴된다. 그 다음에, 기질(도시되지 않음)이 슬라이드 홀더(106) 내로 삽입된다. 그 다음에, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)는, 피커 팁이 적어도 기질에 닿을 때까지, 유지 포지션으로부터 기질을 향해 재-구동된다. 재-구동 단계 동안, 제2 출력이 포지션 검출기에 의해 얻어진다.
접촉 후에, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)가, 임계값에 도달될 때까지, 초과이동한다(overtravel). 기질(도시되지 않음)은, 제1 출력과 제2 출력 사이의 차이, 예를 들어, 차이가 임계값(예를 들어, 250 ADC 카운트들) 이상(equal to or greater than)인 지점 또는 제1 및 제2 출력들이 동일하지 않은 지점을 계산함으로써 위치될 수 있다. 제1 및 제2 출력들은 플롯화되고, 메모리에, 또는 후속 비교, 분석 및/또는 사용을 위해 데이터를 보유하는 임의의 적절한 방식으로, 저장될 수 있다. 제1 및 제2 출력들은 전압, 전류 등일 수 있다.
상기 서브시스템이 z-축을 따라 구동되는 것으로 논의되고 있지만, 서브시스템은 배향 또는 적절한 레이아웃을 기반으로 하는지의 여부에 따라, x-축, y-축, 또는 z-축 중 하나를 따라 구동될 수 있다. 예를 들어, 서브시스템이 z-축을 따라 구동할 때, 유지 포지션은 슬라이드 홀더(106)의 위 또는 아래일 수 있다.
도 3은 기질 상의 3 개의 상이한 위치들에서 얻어진 제2 출력을 도시한다. 선(302)은, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)가 최고 강성(stiffest)을 갖는 기질의 일 부분(이는 중간 섹션일 수 있음)에 닿을 때의 제2 출력을 도시한다. 선(304)은 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)가 중간 강성(medium stiffness)을 갖는 기질의 일 부분에 닿을 때의 제2 출력을 도시한다. 선(306)은 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)가 중간 강성(medium stiffness)을 갖는 기질의 일 부분에 닿을 때의 제2 출력을 도시한다. 제공된 예에서, 선들(302, 304, 306)에서의 파단 지점들의 이동은 기질의 기울기(slope)로 인한 것일 수 있다.
도 4a는, 중첩된 제1 출력(402) 및 제2 출력(404)을 도시한다. 제2 출력(404)이 제1 출력으로부터 분리되는 지점은, 기질이 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)에 의해 닿게되는 곳이다. 도 4b는, 제1 출력(402)과 제2 출력(404) 간의 차이를 도시한다. 이 경우에, 감지 알고리즘은 초과 이동 중에, 차이가 임계값(예를 들어, 250 ADC 카운트들)을 초과할 때 완료된다. 이동 및 로깅(logging) 데이터도 중단된다.
예시적 방법 II
기질을 위치시키기 위한 방법은, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)를 유지 포지션으로부터 슬라이드 홀더(106)를 향해 구동시키는 단계를 포함한다. 구동 단계 동안, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)는, 예를 들어, 제1 포지션으로부터 제2 포지션으로 단차식으로(in steps) 이동된다. 공지된 출력은, 제1 포지션으로부터 제2 포지션으로의 피커(102)의 이동에 기초하여 판정된다. 그 다음에, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)는 제2 포지션으로부터 제3 포지션으로 이동되도록 명령을 받는다. 그러나, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)는, 제2 포지션으로부터 제3 포지션으로의 이동시 전체 거리를 이동하지는 않는다.
도 5a는, 예상되는 출력(점선)과 중첩된 실제 출력(502)을 도시한다. 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)는 제1 포지션(504)으로부터 제2 포지션(506)으로 이동한다. 그 다음에, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)는 제2 포지션(506)으로부터 제3 포지션(510)으로 이동하도록 명령을 받는다. 피커(102)가 제3 포지션(510)으로 이동하도록 명령을 받을 때, 포지션 검출기로부터 얻어진 값들은 점선을 따를 것으로 예상되며, 이에 의해 제3 포지션(510)의 값이 되게 된다. 그러나, 이동 중에, 피커(102)는 기질에 닿으며, 따라서, 출력이 예상되는 값으로부터 벗어난다. 접촉 후에, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)가, 임계값에 도달될 때까지, 초과이동한다(overtravel). 기질(도시되지 않음)은, 실제 출력과 예상되는 출력 사이의 차이, 예를 들어, 차이가 임계값(예를 들어, 250 ADC 카운트들) 이상인 지점 또는 실제 및 예상되는 출력들이 동일하지 않은 지점을 계산함으로써 위치될 수 있다.
예시적 방법 III
도 5b는, 기질을 위치시키기 위한 방법(520)이 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)를 유지 포지션으로부터 슬라이드 홀더(106)를 향해 그리고 적어도 부분적으로 슬라이드 홀더(106)를 지나게 구동하는 단계를 포함하는 것을 도시한다. 구동 단계 동안, 2차 도함수들 등과 같은 수학적 연산들이 연산 출력(computational output)을 얻기하기 위해 포지션 검출기에 의해 얻어진 적어도 하나의 출력 값에 대해 수행된다. 연산 출력은 실질적으로 안정적이다. 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)가 기질과 접촉하자마자, 스파이크(spike)(522)가 적어도 하나의 접촉 값의 수학적 연산 동안 획득된다. 접촉 후에, 그리고 적어도 일부 초과이동 동안, 연산 초과이동이 수학적 연산에 의해 얻어지며, 이는 예를 들어, 구동 단계 동안의 연산 출력으로 또는 구동 단계 동안의 스파이크(522) 및 연산 출력 양자 모두와 상이한 값으로, 다시, 실질적으로 안정화된다.
초과이동은, 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)가 기질과 접촉한 이후에조차 피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)의 연속적인 구동이다. 초과이동은 적어도 2 개의 구동 및 접촉 단계들 이후에 수행되는 단계일 수 있다. 적어도 접촉 단계 이후에, 초과이동은 대략 3 ㎛, 5 ㎛, 7 ㎛ 또는 10 ㎛와 같은 거리들을 포함하여 대략 1 ㎛ 내지 대략 1 ㎜의 범위일 수 있다.
표적 분석물질이 수집될 수 있고, 그리고 일단 수집되면, 표적 분석물질은 임의의 적절한 분석 방법 또는 기술을 사용하여 분석될 수 있지만, 보다 구체적으로는, 세포 내 또는 세포 외 단백질 표지(protein labeling)를 포함하는 세포 내 분석; 단백질 또는 핵산 마이크로어레이들을 포함하지만 이것으로 제한되지 않는 핵산 분석; FISH; 또는 bDNA 분석을 사용하여 분석될 수 있다. 이러한 기술들은 분석 이전에 표적 분석물질의 분리, 투과화(permeabilization) 및 고정을 요구한다. 표지될(labeled) 수 있는 세포 내 단백질들 중 일부는, 시토케라틴(cytokeratin)(“CK”), 액틴(actin), Arp2/3, 코로닌(coronin), 디스트로핀(dystrophin), FtsZ, 미오신(myosin), 스펙트린(spectrin), 튜불린(tubulin), 콜라겐(collagen), 카텝신(cathepsin) D, ALDH, PBGD, Akt1, Akt2, c-myc, 카스파제들(caspases), 서바이빈(survivin), p27kip, FOXC2, BRAF, 포스포-Akt1 및 2, 포스포-Erkl/2, Erkl/2, P38 MAPK, 비멘틴(Vimentin), ER, PgR, PI3K, pFAK, KRAS, ALKH1, 트위스트(Twist)1, 스네일(Snail)1, ZEB1, 슬러그(Slug), Ki-67, M30, MAGEA3, 인산화 수용체 키나아제들(phosphorylated receptor kinases), 변형된 히스톤들(modified histones), 염색질 관련(chromatin-associated) 단백질들, 및 MAGE를 포함하지만, 이것으로 제한되지 않는다. 고정, 투과화 또는 표지하기 위해서, 고정제들(예를 들어, 포름알데히드, 포르말린, 메탄올, 아세톤, 파라포름알데히드, 또는 글루타르알데히드), 세제들(예를 들어, 사포닌, 폴리옥시에틸렌, 디지토닌, 옥틸 β-글구코사이드, 옥틸 β-티오글루코사이드, l-S-옥틸-P-D-티오글루코피라노사이드, 폴리소르베이트-20, CHAPS, CHAPSO, (1,1,3,3-테트라메틸부틸)페닐-폴리에틸렌 글리콜 또는 옥틸페놀 에틸렌 옥사이드) 또는 표지제들(예를 들어, 형광 표지 항체들, Pap 염색, Giemsa 염색, 또는 헤마톡실린 및 에오신 염색)이 사용될 수 있다.
본원에 설명되고 논의된 방법 및 시스템은, 혈액, 골수(bone marrow), 낭포성 액체(cystic fluid), 복수 액체(ascites fluid), 대변, 정액, 뇌척수액(cerebrospinal fluid), 유두추출액(nipple aspirate fluid), 타액, 양수(amniotic fluid), 질 분비물들, 점막 분비물들, 방수(aqueous humor), 유리액(vitreous humor), 토사물, 및 임의의 다른 생리학적 액체 또는 반고형물과 같은 임의의 적절한 현탁액 또는 생물학적 시료와 함께 사용될 수 있음이 이해되어야 한다. 또한, 표적 분석물질은 세포(cell), 예를 들어, 난자 또는 순환 종양 세포(circulating tumor cell)("CTC"), 태아 세포(fetal cell)(즉, 세포영양막(trophoblast), 유핵 적혈구 세포, 태아 백혈구 세포, 태아 적혈구 세포 등), 순환 내피 세포(circulating endothelial cell), 면역 세포(즉, 원시(naive) 또는 기억 B 세포들 또는 원시 또는 기억 T 세포들), 소포체(vesicle), 리포좀, 단백질, 핵산, 생물학적 분자, 봉입된 막을 갖는 자연적으로 발생하거나 또는 인위적으로 준비되는 현미경적 유닛, 기생충, 미생물, 또는 염증 세포일 수 있음이 이해되어야 한다.
전술한 설명은, 설명의 목적으로, 본 개시의 완전한 이해를 제공하기 위해서 특정 명명법을 사용했다. 그러나, 본원에 설명된 시스템들 및 방법들을 실시하기 위해 특정 상세들이 요구되지 않는다는 것은 당업자에게 명백할 것이다. 특정 실시예들에 대한 전술한 설명들은 예시 및 설명의 목적들로 예들로서 제시된다. 이들은, 본 개시를 설명된 정확한 형태들로 총망라하거나 제한하려는 의도는 아니다. 상기 교시들의 관점에서 많은 수정들 및 변형들이 가능하다. 본 개시의 원리들 및 실제 응용들을 가장 잘 설명하고, 이에 의해 당업자가 본 개시 및 고려된 특정 용도에 적합한 다양한 수정들을 갖는 다양한 실시예들을 가장 잘 활용할 수 있도록 실시예들이 도시되고 설명된다. 본 개시의 범주는 다음의 특허청구범위들 및 그 등가물에 의해 규정되는 것으로 의도된다.
Claims (20)
- 기질(substrate)을 위치시키기 위한 방법으로서,
피커 팁(104)을 포함하는 피커(102)를 기질을 향해 구동하는 단계;
상기 구동하는 단계 동안 적어도 하나의 출력 값을 제공하는 단계 ― 상기 출력 값은 포지션 검출기에 의해 제공되는 출력 전압 또는 출력 전류임 ― ;
기준 구동(reference drive)을 수행하는 단계 ― 상기 피커(102)는 기질을 지나게 구동됨 ― , 및 상기 기준 구동 단계 동안 적어도 하나의 기준 출력 값 또는 기준 출력 값들의 범위를 획득하는 단계 ― 상기 기준 출력 값은 포지션 검출기에 의해 제공되는 출력 전압 또는 출력 전류임 ― ;
기질을 상기 피커 팁과 접촉시키는 단계;
상기 접촉시키는 단계 동안 접촉 출력 값을 제공하는 단계 ― 상기 접촉 출력 값은 포지션 검출기에 의해 제공되는 출력 전압 또는 출력 전류임 ― ;
상기 피커 팁과 함께 기질을 초과이동시키는(overtraveling) 단계 ― 초과이동은 피커 팁을 포함하는 피커가 기질과 접촉한 이후에 피커 팁을 포함하는 피커의 연속적인 구동임 ― ;
상기 초과이동시키는 단계 동안 적어도 하나의 초과이동 출력 값을 제공하는 단계 ― 상기 초과이동 출력 값은 포지션 검출기에 의해 제공되는 출력 전압 또는 출력 전류임 ― ; 및
상기 적어도 하나의 기준 출력 값 또는 기준 출력 값들의 범위와 상기 적어도 하나의 초과이동 출력 값 사이의 차이를 계산함으로써 기질을 위치시키는 단계를 포함하고,
기질의 위치는 상기 차이가 임계값 이상인 지점에 있고,
상기 적어도 하나의 출력 값은 상기 구동하는 단계 동안 상기 피커 팁과 기질 사이의 거리의 변화로 인한 것이며,
상기 접촉 출력 값은 상기 접촉시키는 단계 동안 상기 피커 팁과 기질 사이의 거리의 예상보다 작은 변화로 인한 것인,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 초과이동은 1 ㎛ 내지 1 ㎜의 범위인,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제2 항에 있어서,
상기 초과이동의 범위는 3 ㎛, 5 ㎛, 7 ㎛ 또는 10 ㎛인,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제1 항에 있어서,
센서(202)가 기질에 대해 고정되고, 표적 플레이트(204)가 상기 피커(102)에 고정적으로 부착된,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제4 항에 있어서,
상기 센서(202)는 유도성, 기계적, 용량성, 광학, 또는 어쿠스틱인,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 기준 출력 값 또는 기준 출력 값들의 범위와 상기 적어도 하나의 출력 값이 동일하지 않은 지점을 결정함으로써 기질을 위치시키는 단계를 더 포함하는,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제6 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 기준 출력 값 또는 기준 출력 값들의 범위와 상기 적어도 하나의 출력 값이 동일하지 않은 값이 상기 접촉 출력 값에 대응하는,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제1 항에 있어서,
출력 기울기를 얻기 위해 상기 적어도 하나의 출력 값에 대해 수학적 연산을 수행하는 단계; 및
접촉 기울기를 얻기 위해 상기 적어도 하나의 접촉 출력 값에 대해 수학적 연산을 수행하는 단계를 더 포함하고,
상기 출력 기울기와 상기 접촉 기울기 사이의 변화는 상기 피커 팁(104)이 기질에 접촉하는 지점을 나타내는,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제1 항에 있어서,
기준 구동을 수행하는 단계 ― 상기 피커(102)는 기질 위에서 구동됨 ― ; 및
상기 기준 구동 단계 동안 적어도 하나의 기준 출력 값 또는 기준 출력 값들의 범위를 획득하는 단계를 더 포함하고, 상기 기준 출력 값은 포지션 검출기에 의해 제공되는 출력 전압 또는 출력 전류인,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 구동하는 단계 및 상기 기준 구동을 수행하는 단계는 x-축, y-축, 또는 z-축 중 하나를 따라 수행되는,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제4 항에 있어서,
상기 센서(202)는 엔코더인,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 구동하는 단계는 상기 피커(102)를 제1 포지션에서 제2 포지션으로 이동시키는 단계를 포함하는,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제12 항에 있어서,
상기 접촉시키는 단계 이전에 상기 피커(102)가 상기 제2 포지션에서 제3 포지션으로 이동하도록 명령하는 단계를 더 포함하고,
상기 피커는 기질과 접촉하는 상기 피커 팁으로 인해 상기 제2 포지션으로부터 상기 제3 포지션으로 전체 거리를 이동하지 않는,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제13 항에 있어서,
상기 제1 포지션과 상기 제2 포지션의 차이는 상기 제2 포지션과 상기 제3 포지션의 차이와 같은,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제13 항에 있어서,
상기 제3 포지션에서의 예상된 출력 값은 상기 제1 포지션으로부터 상기 제2 포지션으로의 상기 피커의 이동에 기초하여 공지된(known) 출력 값인,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제1 항에 있어서,
상기 접촉시키는 단계 이후에 상기 피커(102)를 설정된 양만큼 후퇴시키는(withdrawing) 단계를 더 포함하는,
기질을 위치시키기 위한 방법. - 제16 항에 있어서,
상기 후퇴시키는 단계는 유지 포지션으로서 기록되는(recorded),
기질을 위치시키기 위한 방법. - 삭제
- 삭제
- 삭제
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