KR102637209B1 - 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템 - Google Patents

Abstract

하우징, 상기 하우징의 내부에 배치되는 팬, 상기 팬의 하측에 배치되어 상기 팬에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터, 상기 필터의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징의 하측에 결합되고, 상기 필터의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도를 형성하는 필터 프레임 및 상기 필터 프레임에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부를 포함하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템을 개시한다.

Description

하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템{HYBRID FAN FILTER UNIT MODULE SYSTEM}

본 발명은 클린룸의 에너지 절감 요구를 충족하고, 천정 상부의 환류 정체구간을 해소할 수 있으며, 운영자에게 유지 보수 편의성을 제공할 수 있는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 클린룸은 먼지가 전혀 없으며 외부와 차단 또는 격리된 공간으로서, 초고밀도집적회로 제조시설이나 유전자 조작 등과 같이 세포 속의 미소한 유전자를 다루는 곳에서와 같이 환경 조건이 품질에 큰 영향을 끼치는 분야에 광범위하게 적용된다.

클린룸의 청정도는 공조 시스템에 의해 크게 좌우된다. 현재, 클린룸의 공조 시스템은 팬 필터 유닛 방식이 주로 사용되는데, 이러한 팬 필터 유닛은 공기 조화기 용량 범위 내에서 클린룸의 확장이 비교적 편리하고, 국부적인 고청정도를 형성할 수 있는 장점이 있다.

이러한 팬 필터 유닛의 일 예가 등록특허공보 제10-1256586호(2013.04.15.)에 개시되어 있다. 등록특허공보 제10-1256586호에 개시된 팬 필터 유닛은 자가 환류형 팬 필터 유닛으로서, 하부가 개방된 내부 공간을 갖는 커버부재(110), 상기 커버부재의 내부에 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리(120)와 필터 어셈블리(130) 및 직류 하방 토출형 에어 블레이드(140)를 포함하며, 상기 에어 블레이드에 LED 램프 어셈블리(150)가 설치되는 특징이 있다.

그러나, 이러한 팬 필터 유닛은 보통 클린룸의 천장에 설치되는데, 하단에 LED 램프 등 조명이 설치되는 경우가 있어서 팬 필터 유닛 상부에 대한 유지 보수가 어렵고, 팬 필터 유닛 자체의 자가환류 기능이 부재하여 천정 주변에 환류 정체구간이 발생하고, 클린룸 내 순환풍량이 조절되지 않는 문제점이 있다.

따라서, 클린룸 내부에 설치된 팬 필터 유닛의 유지 보수가 용이하여 사용자 편의성을 제고할 수 있고, 초기 셋업 시간을 단축시킬 수 있으며, 클린룸 내 순환풍량을 조절하여 저감시킬 수 있는 기술에 대한 필요성이 증대되고 있다.

본 발명의 일 목적은, 팬 필터 유닛 자체에 자가환류 기능을 부여하여 클린룸 내의 환류량을 조절하고, 순환풍량을 저감시킬 수 있는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 일 목적은, 팬 필터 유닛 상측에서 접근하여 조명의 유지보수가 가능하여 사용자의 편의성을 증대시킬 수 있는 조명 일체형 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 일 목적은 자가환류 기능에 의해 기외정압 별 고정 풍속제어가 가능한 팬 필터 유닛을 제공하는 것이다.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 팬 필터 유닛은 하우징; 상기 하우징의 내부에 배치되는 팬; 상기 팬의 하측에 배치되어 상기 팬에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터; 상기 필터의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징의 하측에 결합되고, 상기 필터의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도를 형성하는 필터 프레임; 및 상기 필터 프레임에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부를 포함하는 것으로 구성될 수 있다.

상기 필터 프레임은, 상기 필터에 가깝게 배치되는 내측벽; 및 상기 내측벽의 외측에 배치되어 상기 하우징보다 더 큰 둘레를 형성하는 외측벽을 포함하고, 상기 자가 환류 풍도는 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성될 수 있다.

상기 자가 환류 풍도는 상기 필터의 양측에 각각 형성되고, 각각의 상기 자가 환류 풍도는 상기 필터의 양 측 변을 따라 선형으로 형성될 수 있다.

상기 필터 프레임은, 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성되어 상기 자가 환류 풍도의 상부 또는 하부를 덮고, 상기 자가 환류 풍도의 연장 방향을 따라 서로 이격된 위치에 형성되는 복수의 환풍홀을 구비하는 상부 커버; 및 상기 상부 커버의 상측 또는 하측에 배치되어 상기 자가 환류 풍도의 연장 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 형성되고, 상기 상부 커버에 형성되는 복수의 환풍홀에 대응위치에 형성되는 복수의 환류량 조절홀을 구비하는 환류량 조절 커버를 포함할 수 있다.

상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은 상기 환류량 조절 커버에 결합되어 상기 환류량 조절 커버의 슬라이딩 이동을 조절하는 노브를 더 포함하고, 상기 상부 커버에는 상기 노브의 이동 가능 범위를 설정하는 장공이 형성되고, 상기 상부 커버에 형성되는 복수의 환풍홀의 개구율은 상기 환류량 조절 커버의 슬라이딩 이동에 따른 상기 복수의 환풍홀과 상기 복수의 환류량 조절홀 간 오버랩 비율에 따라 결정될 수 있다.

상기 조명부는, 상기 필터 프레임의 내측에 설치되며, 측 방향으로 발광하는 광원을 구비하는 조명 PCB 모듈; 및 상기 자가 환류 풍도와 나란하게 선형으로 형성되며, 상기 광원으로부터 측 방향으로 조사되는 빛을 상기 필터의 하측으로 조사되도록 가이드 하는 도광판을 포함할 수 있다.

상기 조명 PCB 모듈이 설치되기 전 상기 도광판의 일측 단부는 상기 자가 환류 풍도에 노출되고, 상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 내측벽에 결합되면 상기 광원이 상기 도광판에 접촉될 수 있다.

상기 조명 PCB 모듈은 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 광원과 상기 도광판의 상호 대면 부위를 보호하는 보호 커버를 포함하고, 상기 내측벽에는 보호 커버 안착부가 상기 자가 환류 풍도를 향해 돌출되고, 상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 보호 커버의 적어도 일부가 상기 보호 커버 안착부에 안착될 수 있다.

상기 보호 커버는, 상기 보호 커버 안착부에 안착되도록 상기 보호 커버 안착부보다 높은 위치에서 돌출되는 상부 연결부; 및 상기 도광판의 상측에 안착되도록 상기 상부 연결부보다 낮은 위치에서 돌출되는 하부 연결부를 포함할 수 있다.

상기 필터 프레임의 하부에는 하측을 향해 개방된 구조로서, 상기 도광판을 수용하여 고정하는 장착부가 형성될 수 있다.

상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은, 상기 필터의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서를 구비하며, 상기 팬 필터 유닛을 제어하도록 상기 하우징 내에 설치되는 제어 모듈 및 상기 차압 측정 센서의 차압 측정을 가능하게 하도록 상기 차압 측정 센서와 상기 필터의 하류측 공기가 흐르는 영역에 연결되는 차압 측정 연결부를 더 포함하고, 상기 팬은 각 팬 필터 유닛의 차압 측정 센서에 의해 측정되는 상기 필터의 상류측과 하류측의 차압에 근거하여 제어될 수 있다.

상술한 해결수단을 통해 얻게 되는 본 발명의 효과는 다음과 같다.

본 발명은 팬 필터 유닛의 필터 프레임의 일측에 형성된 자가 환류 풍도를 통해, 팬 필터 유닛 자체에 자가환류 기능과 조절 기능을 부여하여 클린룸 내의 환류량을 필요에 따라 조절하고, 클린룸 내 순환풍량을 저감시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 내측벽과 외측벽 구조로 이루어진 필터 프레임에 설치되어 빛을 조사하는 조명부 구조를 통해, 팬 필터 유닛 상부에서 조명의 유지보수를 가능하게 하여 클린룸의 내부 청정도 유지를 용이하게 하는 등 사용자의 편의성을 증대시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 필터 프레임의 자가 환류 기능에 의해 기외정압 별 고정 풍속제어가 가능하여 기외정압 저감 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명은 클린룸 내의 팬 필터 유닛과 조명을 동시에 설치할 수 있어서 조명공사의 초기 셋업 기간을 단축할 수 있다.

도 1a와 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 전체적인 모습을 서로 다른 방향에서 바라본 모습을 나타낸 사시도.
도 2는 도 1a와 도 1b에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 각 구성요소들을 분해한 상태의 모습을 나타낸 분해 사시도.
도 3은 도 1a와 도 1b에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 기준선 A-A를 따르는 단면도.
도 4는 도 3에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템에 자가 환류 풍도 및 조명 PCB 모듈이 형성된 필터 프레임 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도.
도 5는 도 4에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 필터 프레임 상부 커버 및 노브 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도.
도 6은 본 발명에서 제공하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 구동에 따른 클린룸내 풍속 상태(b)와 종래 팬 필터 유닛의 구동에 따른 클린룸내 풍속 상태(a)를 비교하여 나타낸 개념도.

이하, 본 발명에 따른 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)에 대해 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

이하의 설명에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

도 1a와 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 전체적인 모습을 서로 다른 방향에서 바라본 모습을 나타낸 사시도다.

이들 도면을 참조하면, 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 하우징(110), 상기 하우징(110)에 의해 감싸이는 팬 유닛(120), 상기 팬 유닛(120)의 하측에 배치되어 상기 팬 유닛(120)에 구비되는 팬(혹은 팬 모터 조립체, 도 2 참조)에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터(130)를 포함한다.

이러한 팬 필터 유닛 자체에 자가 환류 기능과 조명 기능이 부여될 수 있도록, 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 상기 필터(130)의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징(110)의 하측에 결합되고, 상기 필터(130)의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도(FD)를 형성하는 필터 프레임(140), 및 상기 필터 프레임(140)에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부(160)를 포함한다.

즉, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 필터 프레임(140)의 일측에 형성된 자가 환류 풍도(FD)를 통해, 팬 필터 유닛 자체에 자가환류 기능을 부여하여 필터(130) 상류측과 하류측 사이를 순환하는 리턴 풍도를 생성함으로써, 클린룸 내의 환류량을 조절하고, 천정 상부의 정체 구간을 해소함으로써 클린룸 내의 순환풍량을 저감시킬 수 있다.

또한, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 상기 필터 프레임(140)에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부(160)를 포함하므로, 클린룸 내의 팬 필터 유닛과 조명을 동시에 설치할 수 있어서 조명공사의 초기 셋업 기간을 단축할 수 있다.

이하에서는 위와 같은 효과를 구현하는 본 발명의 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 세부 구성에 대하여 도 1a, 도 1b, 도 2 그리고 도 3을 참조하여 설명한다.

도 2는 도 1a와 도 1b에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 각 구성요소들을 분해한 상태의 모습을 나타낸 분해 사시도다. 도 3은 도 1a와 도 1b에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 기준선 A-A를 따르는 단면도다.

하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 전체적으로 육면체에 가까운 형상을 갖는다. 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 육면체의 상면과 측면을 형성하는 하우징(110)을 포함한다. 여기서 상면이나 측면과 같은 방향에 대한 기준은 설명의 편의를 위해 도면을 참조하여 정한 것일 뿐, 절대적인 방향을 의미하는 것은 아니다. 그리고 하우징(110)의 하부에는 필터(130)와 필터 프레임(140)이 결합된다.

하우징(110)은 메인 바디(111)와 측벽(112, 113)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 메인 바디(111)는 상기 육면체의 서로 마주보는 두 측면과 상면을 형성하는 디귿자(ㄷ) 형상의 구성이다. 그리고 측벽(112, 113)은 상기 메인 바디(111)에 의해 형성되지 않는 나머지 두 측면을 형성하는 구성이다. 측벽(112, 113)은 서로 이격된 위치에서 서로 마주보도록 배치되며, 메인 바디(111)에 결합되거나 메인 바디(111)로부터 분리 가능한 구조로 형성된다.

제1 측벽(112)과 제2 측벽(113)은 전체적으로 평판에 가까운 형상을 가지나, 제1 측벽(112)의 하단과 제2 측벽(113)의 하단은 후술하게 될 필터 프레임(140)에 안착되기 위한 형상을 갖는다. 예컨대 제1 측벽(112)의 하단과 제2 측벽(113)의 하단은 외측으로 돌출되어 제1 측벽(112)과 제2 측벽(113)은 니은자(ㄴ) 형상을 가질 수 있다.

다만, 하우징(110)의 위와 같은 구성은 필요에 따라 변경될 수 있다. 일 예로 하우징(110)은 메인 바디(111)와 두 측벽(112, 113)을 따로 구비하지 않고, 하나의 부재로 이루어질 수도 있다.

상기 메인 바디(111)와 측벽(112, 113)으로 이루어진 하우징(110)과 하측의 필터 프레임(140) 사이에는, 공기 누설 방지를 위한 밀봉 패킹(117)이 배치될 수 있다. 밀봉 패킹(117)은 가스켓으로 이름할 수도 있다. 밀봉 패킹(117)은 탄성 소재, 예를 들어 고무 등의 소재로 형성될 수 있다. 또한, 밀봉 패킹(117)은 하우징(110)과 필터 프레임(140)의 접촉 부위를 따라 선형(곡선형)으로 형성되거나, 직사각형 내지 정사각형의 폐곡선 형상으로 형성될 수 있다.

워킹 커버(116)는 하우징(110)의 상면에 배치된다. 워킹 커버(116)는 일 방향에서 팬 유닛(120)의 일 측과 타 측에 각각 배치된다. 워킹 커버(116)는 선형으로 연장될 수 있다.

밀봉 패킹(117)은 상기 팬(혹은 팬 모터 조립체, 121)에 의해 하우징(110) 내부로 유입되는 공기가 필터(130)를 통하지 않고 외부로 누출되는 것을 방지한다. 또한, 밀봉 패킹(117)은 자가 환류 풍도(FD)를 통해 환류하는 공기가 하우징(110)과 필터 프레임(140)의 틈으로 유입되는 것을 방지한다.

상기 하우징(110)의 내측에는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 전반적인 동작을 제어하는 제어 모듈(190)이 설치된다. 예컨대 제어 모듈(190)은 팬(121)의 모터를 제어하고, 조명부(160)의 On/Off와 조도를 조절하며, 기외정압에 따라 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 풍속을 제어하는 AVC(Active Velocity Control) 기능을 수행한다.

팬 유닛(120)은 하우징(110)에 의해 형성되는 영역에 안착된다. 하우징(110)의 상면은 개구되어 있으며, 팬 유닛(120)은 하우징(110)의 상측으로 노출된다. 팬 유닛(120)의 팬(121)이 동작하면 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100) 상측의 공기가 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 내측으로 유입되며, 필터(130)를 통과하여 클린룸으로 공급된다.

상기 팬(121)은 그릴(126)이 장착된 풍도 가이드(127)가 상측에 배치될 수 있고, 팬(121)에 의해 유입되는 공기를 측면에서 가이드 하는 윈드밀 플레이트(122)를 구비할 수 있다. 윈드밀 플레이트(122)는 플레이트 지지부(123)에 의해 상기 하우징(110)에 고정될 수 있다.

하우징(110)의 하부에는 필터(130)가 설치된다. 필터(130)는 공기 중의 입자(PM)를 여과하는 파티클 필터를 의미하며, 납작한 육면체에 해당하는 형상을 가질 수 있다. 필터(130)는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)을 통해 클린룸으로 공급되는 공기로부터 입자상 물질을 여과하도록 형성된다.

필터 프레임(140)은 필터(130)의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징(110)의 하측에 결합되고, 상기 필터(130)의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도(FD)를 형성한다. 여기서 필터(130)의 둘레란 도면을 기준으로 측방향에서의 둘레를 가리킨다. 이를테면 필터 프레임(140)은 필터(130)를 측방향에서 감싸는 구조로 형성된다.

도 2와 도 3을 참조하면, 상기 필터 프레임(140)은 구체적으로 내측벽(141)과 외측벽(142)을 포함한다. 내측벽(141)은 필터(130)에 상대적으로 가깝게 배치되어 필터(130)를 감싼다. 내측벽(141)은 필터(130)의 측면에 해당하는 부분을 감싸도록 형성될 수 있으며, 필터(130)의 측면을 마주보도록 배치될 수 있다. 외측벽(142)은 상기 내측벽(141)의 외측에 배치되어 상기 내측벽(141)을 감싸도록 형성된다. 외측벽(142)은 내측벽(141)으로부터 이격된 위치에 배치될 수 있으며, 상기 하우징(110)보다 더 큰 필터 프레임(140)의 둘레를 형성할 수 있다.

자가 환류 풍도(FD)는 상기 내측벽(141)과 상기 외측벽(142) 사이에 형성될 수 있다. 자가 환류 풍도(FD)는 필터(130)의 일 측과 타 측에 각각 형성될 수 있으며, 여기서 필터(130)의 일 측과 타 측이란 필터(130)를 기준으로 서로 반대쪽을 의미한다. 자가 환류 풍도(FD)는 필터(130)의 양 측 변을 따라 선형으로 형성될 수 있다.

도면에 도시된 바와 달리 자가 환류 풍도(FD)는 필요에 따라 필터(130)의 4방에 각각 형성되는 것도 가능하다. 이 경우 각각의 자가 환류 풍도(FD)는 필터(130)의 4방 측 변을 따라 선형으로 형성될 수 있으며, 하나의 정사각형 또는 직사각형 형상으로 형성될 수 있다.

필터 프레임(140)은 내측벽(141)과 상기 외측벽(142) 사이에 형성되는 공간을 통해 자가 환류 풍도(FD)를 형성하며, 상기 외측벽(142)이 상기 하우징(110)보다 더 큰 둘레를 형성하면서 자가 환류 풍도(FD)를 형성하므로, 이러한 풍도(FD)는 결국 필터(130)를 통과하지 않는 별도의 풍도관으로 형성되어 필터(130)의 하류측 공기를 상류측으로 환류시키는 작용을 한다.

외측벽(142)이 하우징(110)보다 더 큰 필터 프레임(140)의 둘레를 형성함에 따라 자가 환류 풍도(FD)를 통해 환류되는 공기는 하우징(110)의 측면을 마주하는 영역을 따라 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 하류측에서 다시 상류측으로 환류된다.

이러한 자가 환류 풍도(FD) 구조는 필터(130)의 크기에 비례하여 사이즈가 용이하게 조절되어 설치될 수 있고, 적절한 세기로 팬(121)을 구동하는 경우에도 필터(130)의 양측에서 원활하게 자가 환류를 생성할 수 있도록 하며, 전체적인 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 크기와 구조를 콤팩트하게 설계 적용할 수 있도록 하는 장점이 있다.

한편, 필터 프레임(140)의 하측에는 공기 유입홀(171)이 형성된 하부 커버(170)가 구비될 수 있다. 이러한 하부 커버(170)에는 조명부(160)의 적어도 일부를 지지할 수 있도록 조명부(160)가 설치된 측에 지지부(172)가 형성될 수 있다. 지지부(172)의 구조에 대하여는 도 4를 참조하여 다시 후술한다.

상기 조명부(160)의 구조나 종류는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어, 패널상에 LED 칩이 다수 배치된 LED 모듈을 포함할 수 있다. 또한, 이러한 LED 모듈이 후술하는 자가 환류 풍도(FD) 등에 배치되었을 경우, LED 모듈의 손상이나 변형을 방지할 수 있도록, 보호 커버(162)가 결합된 광원 조립체 형태의 조명부(160)로도 구현될 수 있다.

도 4는 도 3의 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 자가 환류 풍도 및 조명 PCB 모듈이 형성된 필터 프레임 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도이며, 도 5는 도 4에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 필터 프레임 상부 커버 및 노브 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도다.

자가 환류 풍도(FD)를 형성하는 내측벽(141)과 외측벽(142)은 각각 2개의 패널이 서로 마주보는 구조로 형성될 수 있다. 이 때 내측벽(141)에 포함되는 2개의 패널을 각각 제1 내측벽(141a)과 제2 내측벽(141c)으로 이름할 수 있고, 외측벽(142)에 포함되는 2개의 패널을 각각 제1 외측벽(141a)과 제2 외측벽(142c)으로 이름할 수 있다.

제1 내측벽(141a)은 자가 환류 풍도(FD) 쪽으로 배치되고, 제2 내측벽(141c)은 필터(130) 쪽으로 배치된다. 제1 내측벽(141a)과 제2 내측벽(141c)은 필터(130)의 측 방향을 기준으로 서로 이격된 위치에서 서로를 마주보도록 배치된다. 제1 내측벽(141a)과 제2 내측벽(141c)은 상하에서 서로 연결될 수 있다.

마찬가지로 제1 외측벽(142a)은 자가 환류 풍도(FD) 쪽으로 배치되고, 제2 외측벽(142c)은 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 외측 방향으로 배치된다. 제1 외측벽(142a)과 제2 외측벽(142c)은 필터(130)의 측 방향을 기준으로 서로 이격된 위치에서 서로를 마주보도록 배치된다. 제1 외측벽(142a)과 제2 외측벽(142c)은 상하에서 서로 연결될 수 있다.

자가 환류 풍도(FD)의 형성에 실질적으로 기여하는 부분은 제1 내측벽(141a)과 제1 외측벽(142a)이다. 앞서 설명된 하부 커버(170)는 외측벽(142)의 하단 혹은 제1 외측벽(142a)의 하단에서 내측으로 돌출 및/또는 연장되는 부분에 해당할 수 있다. 이 경우 하부 커버(170)와 외측벽(142)은 단일 부재로 형성될 수 있다.

이러한 이중 패널 구조의 내측벽(141)과 외측벽(142)에는 필터 프레임(140)의 상부 커버(151)의 양 단부(151b, 151c)를 안착시켜 지지할 수 있도록, 상부 커버 안착부(141b 142b)가 각각 형성될 수 있다. 상부 커버 안착부의 구별을 위해 제1 과 제2 라는 서수가 부기될 수 있다.

내측벽(141)에 형성되는 제1 상부 커버 안착부(141b)는 제1 내측벽(141a)과 제2 내측벽(141c)의 사이에서 단차를 형성하여 구성될 수 있다. 제1 상부 커버 안착부(141b)의 단차는 자가 환류 풍도(FD)의 연장 방향을 따라 연장될 수 있으며, 상기 상부 커버(151)의 높이와 실질적으로 동일할 수 있다. 상부 커버(151)의 높이는 위치 별로 일정하지 않을 수 있기 때문에, 여기서 상부 커버(151)의 높이란 상기 제1 상부 커버 안착부(141b)에 안착되는 부분의 높이를 가리킨다.

외측벽(142)에 형성되는 제2 상부 커버 안착부(142b)는 제1 외측벽(142a)에서 내측으로 돌출되어 형성될 수 있다. 제2 상부 커버 안착부(142b)가 돌출되는 위치는 제1 외측벽(142a)의 상단과 하단 사이이며, 이에 따라 제2 상부 커버 안착부(142b)와, 제1 외측벽(142a)의 상단 사이에도 단차가 형성된다. 이 단차 또한 상부 커버(151)의 높이와 실질적으로 동일할 수 있으며, 상부 커버(151)의 높이의 의미에 대한 설명은 앞서 설명으로 갈음한다.

위에서 설명된 두 상부 커버 안착부(141b, 142b)의 형상은 서로 바뀔 수 있으며, 하나의 구조로 통일될 수도 있다. 필터 프레임(140)은 상부 커버(151)를 포함한다. 상기 상부 커버(151)는 내측벽(141)과 상기 외측벽(142)의 사이에 형성되어 상기 자가 환류 풍도(FD)의 상부를 덮는다. 상부 커버(151)는 자가 환류 풍도(FD)를 따라 선형으로 연장되는 구조를 갖는다.

상부 커버(151)는 상기 자가 환류 풍도(FD)의 연장 방향을 따라 서로 이격된 위치에 형성되는 복수의 환풍홀(151a)을 구비한다. 환풍홀(151a)은 환류량 조절을 위한 구성이다.

상기 상부 커버(151)에는 환류량 조절 커버(152)가 더 구비될 수 있는데, 환류량 조절 커버(152)는 상부 커버(151)의 상측 또는 하측에 설치된다. 환류량 조절 커버(152)는 상부 커버(151)에 대응되는 형상을 가질 수 있으며, 예컨대 자가 환류 풍도(FD)를 따라 선형으로 연장되는 구조를 가질 수 있다.

환류량 조절 커버(152)는 상기 자가 환류 풍도(FD)의 연장 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 형성된다. 그리고 환류량 조절 커버(152)는 상기 상부 커버(151)에 형성되는 복수의 환풍홀(151a)의 대응위치에 형성되는 복수의 환류량 조절홀(152a)을 구비한다.

도 4에 도시된 환류량 조절 커버(152)의 경우, 상부 커버(151)의 하측에 배치되어 자가 환류 풍도(FD)의 연장 방향을 따라 슬라이딩 가능하게 형성되어 있다.

여기서, 상기 상부 커버(151)에 형성되는 복수의 환풍홀(151a)의 개구율은 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동에 따른 상기 복수의 환풍홀(151a)과 상기 복수의 환류량 조절홀(152a) 간 오버랩 비율에 따라 결정될 수 있다. 개구율의 조절은 자동 또는 수동으로 이루어질 수 있다.

예컨대 개구율 조절을 수동으로 조작하고자 하는 경우, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 상기 환류량 조절 커버(152)에 결합되어 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동을 조절하는 노브(153)를 더 포함하고, 상기 상부 커버(151)에는 상기 노브(153)의 이동 가능 범위를 설정하는 장공(156)이 형성될 수 있다.

즉, 상기 필터 프레임(140)은 복수의 환풍홀(151a)이 형성된 상부 커버(151)와 상기 복수의 환풍홀(151a)의 대응위치에 형성되는 복수의 환류량 조절홀(152a)을 구비하는 환류량 조절 커버(152)를 포함하고, 상기 상부 커버(151)에 형성되는 복수의 환풍홀(151a)의 개구율이 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동에 따른 상기 복수의 환풍홀(151a)과 상기 복수의 환류량 조절홀(152a) 사이의 오버랩 비율에 따라 결정되도록 형성됨으로써, 상기 자가 환류 풍도(FD)의 환류량을 편리하게 조절할 수 있다.

더욱이, 필터 프레임(140)은 환류량 조절 커버(152)에 결합되어 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동을 조절하는 노브(153)를 더 포함하고, 상기 상부 커버(151)에는 상기 노브(153)의 이동 가능 범위를 설정하는 장공(156)이 형성되도록 이루어진다. 따라서, 사용자가 수동으로 상기 노브(153)를 잡고, 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동시켜 상기 복수의 환풍홀(151a)의 개구율을 조절함으로써, 상기 자가 환류 풍도(FD)의 환류량을 더욱 편리하게 조절할 수 있다.

개구율 조절은 반드시 상부 커버(151)를 통해 이루어져야 하는 것은 아니고, 하부 커버(170)에서 이루어지는 것도 가능하다. 이 경우, 환류량 조절 커버(152)는 하부 커버(170)의 상측 또는 하측에 위치하게 된다. 이와 같이 개구율 조절은 상부 커버(151)나 하부 커버(170) 중 어느 하나에서 이루어질 수 있으므로 이 명세서에서 상부 커버(151)와 하부 커버(170)를 구분하지 않고, 단순히 커버라고만 한다면 이는 상부 커버(151)와 하부 커버(170) 중 어느 하나를 가리키는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 필터 프레임(140)의 내측에는 조명부(160)가 설치된다. 여기서 필터 프레임(140)의 내측이란 자가 환류 풍도(FD)를 가리킨다.

조명부(160)는 조명 PCB 모듈(161)과 도광판(165a), 확산판(165b)을 포함한다.

조명 PCB 모듈(161)이란, 광원 실장 PCB(163), 전원 공급부(164), 보호 커버(162)의 결합체를 가리킨다. 조명 PCB 모듈(161)은 필터 프레임(140)의 내측에 설치된다.

광원 실장 PCB(163)는 광원이 실장되어 있는 PCB를 가리키는 것으로, 광원은 LED일 수 있다. 광원 실장 PCB(163)는 보호 커버(162)에 설치되며, 광원은 측 방향으로 발광한다. 여기서 측 방향이란 도 4를 기준으로 수평 방향을 가리키며, 필터 프레임(140)의 하부에서 필터(130)의 하측을 향하는 방향에 해당한다.

전원 공급부(164)는 광원이 발광할 수 있도록 전기적 전원을 공급하는 구성으로 보호 커버(162)에 설치된다. 전원 공급부(164)의 설치 위치는 보호 커버(162)에서 광원의 반대쪽일 수 있으며, 이에 따라 전원 공급부(164)는 자가 환류 풍도(FD)에 노출될 수 있다.

도광판(165a)은 광원에서 조사되는 빛을 가이드 하는 구성이고, 확산판(165b)은 상기 도광판(165a)에 의해 가이드되는 빛을 확산시키는 구성이다. 도광판(165a)과 확산판(165b)을 통합하여 광학판(165)으로 이름할 수 있다. 도광판(165a)과 확산판(165b)은 자가 환류 풍도(FD)와 나란하게 선형으로 형성된다. 확산판(165b)은 도광판(165a)의 하측에 배치된다.

도광판(165a)의 일 단은 필터 프레임(140)의 내측에서 광원과 마주한다. 광원으로부터 측 방향으로 조사되는 빛은 도광판(165a)으로 입사되고, 빛은 도광판(165a)에 의해 필터의 하측으로 조사되도록 가이드 된다. 확산판(165b)은 도광판(165a)에 의해 가이드 된 빛을 확산시켜 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 하측으로 밝게 조명한다.

조명 PCB 모듈(161)이 설치되기 전 도광판(165a)의 일측 단부는 자가 환류 풍도(FD)에 노출되어 있다. 조명 PCB 모듈(161)이 상기 자가 환류 풍도(FD) 내에서 상기 필터 프레임(140)의 내측벽(141)을 향해 접근하여 상기 내측벽(141)에 결합되면 상기 광원이 상기 도광판(165a)과 자연스럽게 마주하게 된다. 자가 환류 풍도(FD) 내에서 광원과 도광판(165a)은 서로 자연스럽게 마주볼 수 있는 높이에 형성된다.

다만, 여기서 마주하는 높이란 완전한 수평 방향에 한정되는 개념은 아니다. 마주하는 높이란 광원에서 측방향으로 발광되는 빛이 도광판(165a)에 입사될 수 있는 높이라고 이해되어야 한다.

보호 커버(162)는 자가 환류 풍도(FD) 내에서 광원과 도광판(165a)의 상호 대면 부위를 보호한다. 예컨대 내측벽(141)에는 보호 커버 안착부(141d)가 자가 환류 풍도(FD)를 향해 돌출된다. 상기 보호 커버 안착부(141d)는 내측벽(141)의 상단과 하단 사이에서 자가 환류 풍도(FD) 쪽으로 돌출되며, 자가 환류 풍도(FD)를 따라 선형으로 연장될 수 있다.

조명 PCB 모듈(161)이 자가 환류 풍도(FD) 내에서 필터 프레임(140)의 내측벽(141)을 향해 측방향으로 접근하면, 보호 커버(162)의 적어도 일부가 보호 커버 안착부(141d)에 안착된다. 광원과 도광판(165a)이 서로 자연스럽게 마주보는 높이에 위치할 수 있도록 하는 기구적 설정은 보호 커버(162)가 보호 커버 안착부(141d)에 안착되는 구조를 통해 구현될 수 있다.

여기서 보호 커버(162)의 적어도 일부란 보호 커버(162)의 상부 연결부(162a)를 가리킨다. 보호 커버(162)는 결합 위치 설정과 고정을 위해 내측벽(141)쪽으로 돌출되는 상부 연결부(162a)와 하부 연결부(162b)를 포함하는데, 상부 연결부(162a)는 보호 커버 안착부(141d)에 안착되고, 하부 연결부(162b)는 도광판(165a)의 상측에 안착된다.

상부 연결부(162a)는 보호 커버 안착부(141d)에 안착되기 위해 보호 커버 안착부(141d)보다 높은 위치에서 돌출된다. 상부 연결부(162a)는 보호 커버 안착부(141d)와 마찬가지로 자가 환류 풍도(FD)를 따라 선형 연장될 수 있다. 보호 커버(162)가 보호 커버 안착부(141d)에 안착된 상태에서 볼트 등의 체결부재(미도시)가 보호 커버와 보호 커버 안착부(141d)를 관통하도록 설치되면, 보호 커버(162)의 고정이 이루어진다.

하부 연결부(162b)는 상부 연결부(162a)보다 낮은 위치에서 돌출되어 도광판(165a)의 상측에 안착된다. 하부 연결부(162b)는 도광판(165a)의 상면에 직접 안착될 수도 있으나, 도광판(165a)과 하부 연결부(184)의 사이에 평평한 형태의 다른 부재가 위치할 수도 있다.

하부 연결부(162b)는 사선 방향으로 하향 돌출될 수 있다. 광원은 보호 커버(162)의 하단과 보호 커버(162)의 하부 연결부(162b)의 사이에 위치할 수 있으며 보호 커버(162)의 하단은 광원의 수용을 위해 절곡되어 있을 수 있다. 광원의 위치와 하부 연결부(162b)의 구조는 하부 연결부(162b)에 탄성력을 부여할 수 있으며, 하부 연결부(162b)로 하여금 도광판(165a)의 상부를 적당히 가압하여 텐션을 유지할 수 있도록 한다. 또한, 이는 도광판(165a)과 광원 간의 대면 위치를 설정할 수 있게 한다.

조명부(160)의 이와 같은 설치 및 분리 가능 구조는 필터 프레임(140)의 내측벽(141)과 외측벽(142) 사이에 형성되는 자가 환류 풍도(FD) 공간을 통해 사용자가 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100) 상부에서 조명부(160) 편리한 유지보수가 가능하게 하여 사용자의 편의성을 증대시킬 수 있다.

이러한, 조명 PCB 모듈(161)의 설치 및 고정 구조는 상기와 같은 구성에 특별히 한정되지 않으며, 다양한 변형이 적용될 수 있다.

내측벽(141)의 하단에는 하부가 개방된 구조로서, 도광판(165a) 및/또는 확산판(161b)을 고정하는 장착부(141e)가 형성될 수 있다. 장착부(141e)는 하부가 개방되어 있되, 나머지 부분은 도광판(165a)과 확산판(161b)을 감싼다.

장착부(141e)는 내측벽(141)과 외측벽(142)에 의해 형성될 수 있다. 예컨대 도 4에 도시된 바와 같이 내측벽(141)은 도광판(165a)의 상부를 덮고, 도광판(165a)과 확산판(161b)의 일 측 측면을 감싸며, 일 측 하부를 지지한다. 외측벽(142)은 도광판(165a)의 타 측 하부를 지지한다. 도광판(165a)과 확산판(161b)의 하측에서 내측벽(141)과 외측벽(142)이 서로 이격되어 있어 장착부(141e)가 하측으로 개방된 구조를 갖는다.

도광판(165a)의 일 단은 내측벽(141)과 외측벽(142) 사이에 측 방향으로 개구되는 틈을 통해 필터 프레임(140)의 내측으로 삽입된다. 그리고 삽입된 도광판(165a)의 일 단에 앞서 설명된 광원이 마주하게 된다.

이러한 장착부(141e)는 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)이 필터 프레임(140)에 조명부(160)를 장착한 상태에서도 콤팩트한 구조를 유지하면서 하측으로 효과적으로 빛을 조사할 수 있도록 하며, 도광판(165a)과 확산판(161b)을 상기 필터 프레임(140)에 편리하고 안정적으로 장착할 수 있도록 하는 장점이 있다.

도 6은 본 발명에서 제공하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 구동에 따른 클린룸내 풍속 상태(b)와 종래 팬 필터 유닛의 구동에 따른 클린룸내 풍속 상태(a)를 비교하여 나타낸 개념도다.

상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 앞서 설명한 바와 같이 필터 프레임(140)의 일측에 형성된 자가 환류 풍도(FD)를 통해, 팬 필터 유닛의 필터(130) 상류측과 하류측 사이를 순환하는 리턴 풍도를 생성하여 클린룸 내의 환류량을 조절하고, 순환풍량을 저감시킬 수 있다.

이와 관련하여, 도 6의 (a)를 참조하면, 클린룸 상부에서 기외정압이 존 별로 상이한 것을 알 수 있는데, 기외정압 별로 필터 정압이 다르게 운전되며, 이로 인해 종래에는 클린룸 내 다수의 팬 필터 유닛의 간 풍속의 불균형이 발생하게 된다. 특히 기외정압이 낮은 존에서 팬 필터 유닛의 팬이 과도하게 빠른 속도로 운용됨에 따라 에너지 낭비가 발생하게 되는 문제가 있었다.

그러나, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)을 클린룸에 적용한 경우, 이러한 문제를 해결할 수 있다. 이를 위해서는 먼저 제어 모듈(190)에 구비되는 정압 측정 센서 또는 차압 측정 센서를 상기 필터(130)의 하류측 공기가 흐르는 영역에 차압 측정 연결부로 연결하여 정압 또는 차압을 측정할 수 있어야 한다.

즉, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 상기 필터(130)의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서를 제어 모듈(190)에 구비할 수 있다. 차압 측정 센서는 1지점과 2지점의 차압을 측정하도록 형성되며, 예컨대 1지점은 필터(130)의 상류측 영역, 2지점은 필터(130)의 하류측 영역에 해당한다.

또한, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 차압 측정 센서의 차압 측정을 가능하게 하도록 차압 측정 연결부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 차압 측정 연결부는 상기 차압 측정 센서의 2지점 측정부와, 상기 필터(130)의 하류측 공기가 흐르는 영역에 연결된다. 여기서, 상기 차압 측정 연결부의 소재나 구조 등은 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 피팅과 호스로 형성될 수 있다. 피팅은 하우징(110)에 설치될 수 있으며, 차압 측정 연결부는 하우징(110)이나 필터 프레임(140)의 적어도 일부를 관통할 수 있다.

상기 팬(121)은 각 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 차압 측정 센서에 의해 측정되는 상기 필터(130)의 상류측과 하류측의 차압에 근거하여 제어될 수 있다. 특히 클린룸에 복수의 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)이 설치되는 경우, 각각의 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 각각의 제어 모듈(190)에 구비되는 차압 측정 센서에 의해 측정되는 차압에 근거하여 서로 독립적으로 제어된다. 이러한 제어는 팬(121)의 회전 속도(RPM)가 일정하게 고정되는 기존의 제어 방식과 구분된다.

이와 관련하여 도 6을 참조하여 보다 자세히 설명하면, 클린룸의 기외정압은 존(Zone) 별로 다양하게 분포(-9 mmAq, -12 mmAq, -15 mmAq, -18 mmAq, -21 mmAq) 할 수 있다. 종래(a)에는 각 팬 필터 유닛에 구비되는 팬의 회전 속도를 970 RPM으로 일괄적으로 적용하였는데, 이 경우 존 별로 불균일한 상태가 초래되어 에너지 낭비 또는 클린룸 내 기류와 환경 개선에 한계가 있었다.

그러나, 본 발명(b)에서와 같이 각 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 차압 측정 센서에서 측정되는 차압에 근거하여, 팬(121)의 RPM을 제어할 경우 각 존 별로 팬(121)의 회전 속도를 910, 940, 970, 980, 990 등으로 독립 제어될 수 있다. 이 경우 차압의 크기에 따라 팬(121)의 회전속도를 감소시켜 에너지 절감 모드를 적용할 수도 있고, 팬(121)의 회전속도를 증가시켜 클린룸 내부의 압력과 풍속을 일정하게 유지시킴으로써, 기류 및 환경을 효과적으로 개선할 수 있다.

이러한 제어는 차압에 근거하여 팬(121)의 회전속도가 능동 제어된다는 점에서 AVC(Active Velocity Control) 기능으로 이름할 수 있다.

이러한 구성을 전제로, 도 6의 (b)를 참조하면 기외정압에 관계없이, 필터의 상류측과 하류측 차압에 근거하여 자동으로 팬의 풍속을 제어하고, 이를 통해 기외정압의 갭을 상쇄하도록 이루어진다. 이러한 제어 방식에 의하면 존 별로 기외정압이 서로 다르게 설정되더라도 각 팬 필터 유닛은 각 차압 측정 센서에 의해 측정되는 차압에 의해 각 팬의 풍속이 제어되며, 이를 통해 클린룸 내 팬 필터 유닛간 풍속의 균형이 이루어지고, 소비전력 및 환경 개선을 기대할 수 있게 된다.

이상에서 설명된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.

100: 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템
110: 하우징
120: 팬 유닛
130: 필터
140: 필터 프레임
141: 내측벽
142: 외측벽
151: 상부커버
152: 환류량 조절 커버
153: 노브
161: 조명 PCB 모듈
162: 보호커버
170: 하부커버
190: 팬 제어 모듈

Claims (11)

1. 하우징;
   상기 하우징의 내부에 배치되는 팬;
   상기 팬의 하측에 배치되어 상기 팬에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터;
   상기 필터의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징의 하측에 결합되고, 상기 필터의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도를 형성하는 필터 프레임; 및
   상기 필터 프레임에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부;
   를 포함하고,
   상기 필터 프레임은,
   상기 필터에 가깝게 배치되는 내측벽; 및
   상기 내측벽의 외측에 배치되어 상기 하우징보다 더 큰 둘레를 형성하는 외측벽을 포함하고,
   상기 자가 환류 풍도는 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성되며, 상기 필터의 측 변을 따라 선형으로 형성되고,
   상기 조명부는,
   상기 필터 프레임의 내측에 설치되며, 측 방향으로 발광하는 광원을 구비하는 조명 PCB 모듈; 및
   상기 자가 환류 풍도와 나란하게 선형으로 형성되며, 상기 필터의 하측 영역으로 돌출되어 외부로 노출되고, 상기 광원으로부터 측 방향으로 조사되는 빛을 상기 필터의 하측으로 조사되도록 가이드 하는 도광판;
   을 포함하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
   
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 자가 환류 풍도는 상기 필터의 양측에 각각 형성되고, 각각의 상기 자가 환류 풍도는 상기 필터의 양 측 변을 따라 선형으로 형성되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 필터 프레임은,
   상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성되어 상기 자가 환류 풍도의 상부 또는 하부를 덮고, 상기 자가 환류 풍도의 연장 방향을 따라 서로 이격된 위치에 형성되는 복수의 환풍홀을 구비하는 커버; 및
   상기 커버의 상측 또는 하측에 배치되어 상기 자가 환류 풍도의 연장 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 형성되고, 상기 커버에 형성되는 복수의 환풍홀에 대응위치에 형성되는 복수의 환류량 조절홀을 구비하는 환류량 조절 커버;
   를 포함하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은 상기 환류량 조절 커버에 결합되어 상기 환류량 조절 커버의 슬라이딩 이동을 조절하는 노브를 더 포함하고,
   상기 커버에는 상기 노브의 이동 가능 범위를 설정하는 장공이 형성되고,
   상기 커버에 형성되는 복수의 환풍홀의 개구율은 상기 환류량 조절 커버의 슬라이딩 이동에 따른 상기 복수의 환풍홀과 상기 복수의 환류량 조절홀 간 오버랩 비율에 따라 결정되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
   
6. 삭제
7. 제1항에 있어서,
   상기 조명 PCB 모듈이 설치되기 전 상기 도광판의 일측 단부는 상기 자가 환류 풍도에 노출되고,
   상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 내측벽에 결합되면 상기 광원이 상기 도광판에 접촉되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
   
8. 하우징;
   상기 하우징의 내부에 배치되는 팬;
   상기 팬의 하측에 배치되어 상기 팬에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터;
   상기 필터의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징의 하측에 결합되고, 상기 필터의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도를 형성하는 필터 프레임; 및
   상기 필터 프레임에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부;
   를 포함하고,
   상기 조명부는,
   상기 필터 프레임의 내측에 설치되며, 측 방향으로 발광하는 광원을 구비하는 조명 PCB 모듈; 및
   상기 자가 환류 풍도와 나란하게 선형으로 형성되며, 상기 광원으로부터 측 방향으로 조사되는 빛을 상기 필터의 하측으로 조사되도록 가이드 하는 도광판;
   을 포함하며,
   상기 조명 PCB 모듈이 설치되기 전 상기 도광판의 일측 단부는 상기 자가 환류 풍도에 노출되고,
   상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 내측벽에 결합되면 상기 광원이 상기 도광판에 접촉되며,
   상기 조명 PCB 모듈은 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 광원과 상기 도광판의 상호 대면 부위를 보호하는 보호 커버를 포함하고,
   상기 내측벽에는 보호 커버 안착부가 상기 자가 환류 풍도를 향해 돌출되고,
   상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 보호 커버의 적어도 일부가 상기 보호 커버 안착부에 안착되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
   
9. 하우징;
   상기 하우징의 내부에 배치되는 팬;
   상기 팬의 하측에 배치되어 상기 팬에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터;
   상기 필터의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징의 하측에 결합되고, 상기 필터의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도를 형성하는 필터 프레임; 및
   상기 필터 프레임에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부;
   를 포함하고,
   상기 조명부는,
   상기 필터 프레임의 내측에 설치되며, 측 방향으로 발광하는 광원을 구비하는 조명 PCB 모듈; 및
   상기 자가 환류 풍도와 나란하게 선형으로 형성되며, 상기 광원으로부터 측 방향으로 조사되는 빛을 상기 필터의 하측으로 조사되도록 가이드 하는 도광판;
   을 포함하며,
   상기 조명 PCB 모듈이 설치되기 전 상기 도광판의 일측 단부는 상기 자가 환류 풍도에 노출되고,
   상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 내측벽에 결합되면 상기 광원이 상기 도광판에 접촉되며,
   상기 조명 PCB 모듈은 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 광원과 상기 도광판의 상호 대면 부위를 보호하는 보호 커버를 포함하고,
   상기 내측벽에는 보호 커버 안착부가 상기 자가 환류 풍도를 향해 돌출되고,
   상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 보호 커버의 적어도 일부가 상기 보호 커버 안착부에 안착되며,
   상기 보호 커버는,
   상기 보호 커버 안착부에 안착되도록 상기 보호 커버 안착부보다 높은 위치에서 돌출되는 상부 연결부; 및
   상기 도광판의 상측에 안착되도록 상기 상부 연결부보다 낮은 위치에서 돌출되는 하부 연결부를 포함하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
   
10. 제1항에 있어서,
    상기 필터 프레임의 하부에는 하측을 향해 개방된 구조로서, 상기 도광판을 수용하여 고정하는 장착부가 형성되
    상기 장착부는 상기 필터 프레임의 내측벽에 설치되고 하부가 개방되어 있으며, 나머지 부분은 상기 도광판을 감싸는 구조로 형성되어 있는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
    
11. 제1항에 있어서,
    상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은,
    상기 필터의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서를 구비하며, 상기 팬 필터 유닛을 제어하도록 상기 하우징 내에 설치되는 제어 모듈; 및
    상기 차압 측정 센서의 차압 측정을 가능하게 하도록 상기 차압 측정 센서와 상기 필터의 하류측 공기가 흐르는 영역에 연결되는 차압 측정 연결부;
    를 더 포함하고,
    상기 팬은 각 팬 필터 유닛의 차압 측정 센서에 의해 측정되는 상기 필터의 상류측과 하류측의 차압에 근거하여 제어되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.