KR102634022B1 - Installation method of dry cooling coil module - Google Patents

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KR102634022B1
KR102634022B1 KR1020230024115A KR20230024115A KR102634022B1 KR 102634022 B1 KR102634022 B1 KR 102634022B1 KR 1020230024115 A KR1020230024115 A KR 1020230024115A KR 20230024115 A KR20230024115 A KR 20230024115A KR 102634022 B1 KR102634022 B1 KR 102634022B1
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cooling coil
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coil module
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KR1020230024115A
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김성우
신재욱
이현선
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주식회사 엘엔에스이엔지
(주)영우에스엔씨
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Abstract

본 발명은 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 관한 것으로, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 설치하는 방법에서, 상기 드라이 쿨링 코일을 조립하여 모듈화하는 모듈화 단계; 상기 드라이 쿨링 코일 모듈에 적어도 하나 이상의 결속끈을 결속하는 결속단계; 및 상기 결속끈을 크레인에 고정한 다음, 상기 크레인을 통해 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 이동시켜 풍도 구간에 설치된 지지용 구조물에 안착시키는 이동단계를 포함한다.The present invention relates to a method of installing a dry cooling coil module. In the method of installing a dry cooling coil for recooling the air for internal circulation in an air temperature section of a process room producing semiconductor or flat panel display elements, the dry cooling coil is A modularization step of assembling and modularizing; A binding step of binding at least one binding string to the dry cooling coil module; And a moving step of fixing the binding strap to a crane, then moving the dry cooling coil module through the crane and seating it on a support structure installed in the wind direction section.

Description

드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법{INSTALLATION METHOD OF DRY COOLING COIL MODULE}Installation method of dry cooling coil module {INSTALLATION METHOD OF DRY COOLING COIL MODULE}

본 발명은 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일 모듈을 크레인을 통해 쉽고 간편하게 설치할 수 있는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of installing a dry cooling coil module that can be easily and conveniently installed using a crane to re-cool the air for internal circulation in the ventilation section of a process room that produces semiconductor or flat panel display elements.

일반적으로, 고도의 청정도와 정밀도가 요구되는 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(FAB)의 내부는 외부에서 청정도와 온습도가 제어된 공기가 급기/배기덕트를 통해 공급 및 배출된다. 그리고 급기덕트를 통해 공급된 공기의 일부는 외부로 배출 또는 누출되어 손실이 발생하나, 나머지 일부는 공정실 내부에서 순환 되어 재사용되게 된다. 이렇게 재사용되는 공기는 공정실 내부의 생산 장비에서 발생하는 열이나 작업자의 체온 등에 의해 가열되기 때문에 공정실 내부 온도를 일정하게 유지시키기 위해 다시 냉각시키게 된다. 이를 위해, 공정실의 내벽과 외벽 사이에 공기가 순환될 수 있는 풍도가 마련되고, 풍도에는 반도체 또는 평판 디스플레이 소자의 제조에 따라 가열된 공정실의 공기를 재냉각시키도록 냉수가 흐르는 동관 및 동관의 주변에 열교환을 위 한 방열핀으로 구성된 드라이 쿨링 코일(DCC)이 설치된다. 즉, 공정실 내부에서 풍도를 통해 순환되는 공기는 드라이 쿨링 코일을 통과하면서 재냉각된다.Generally, air with controlled cleanliness and temperature and humidity is supplied and discharged from the outside of a process room (FAB) that produces semiconductors or flat panel display devices that require high levels of cleanliness and precision through supply/exhaust ducts. And while some of the air supplied through the air supply duct is discharged or leaked to the outside and is lost, the remaining part is circulated inside the process room and reused. Since the reused air is heated by heat generated from production equipment inside the process room or the body temperature of workers, it is cooled again to maintain a constant temperature inside the process room. For this purpose, an airflow through which air can circulate is provided between the inner and outer walls of the process room, and the airflow includes copper tubes and copper pipes through which cold water flows to re-cool the air in the process room heated by the manufacture of semiconductor or flat panel display elements. A dry cooling coil (DCC) consisting of heat dissipation fins for heat exchange is installed around the . In other words, the air circulating through the wind tunnel inside the process room is re-cooled as it passes through the dry cooling coil.

이러한 풍도에는 드라이 쿨링 코일을 견고하게 고정 지지할 수 있도록 각형 파이프 또는 디귿자 단면 형강 또는 에이치빔 등으로 드라이 쿨링 코일 지지용 구조물을 먼저 설치하고, 그 구조물에 드라이 쿨링 코일을 견고하게 고정하며, 드라이 쿨링 코일의 내부를 순환하는 냉수를 공급 및 배출하기 위한 냉수 배관과 이를 지지하기 위한 구조물 및 외부에서 제어된 공기를 공급하는 급기/배기덕트와 그 구조물 등이 같이 설치하게 된다.In this trend, a dry cooling coil support structure is first installed using square pipes, diagonal cross-sectional steel, or H-beams to firmly support the dry cooling coil, and the dry cooling coil is firmly fixed to the structure. Cold water piping for supplying and discharging cold water circulating inside the coil, a structure to support it, and supply/exhaust ducts and structures for supplying controlled air from the outside are installed together.

그러나, 종래의 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치공정에서 풍도는 공기의 순환을 위해 공정실의 상층부와 하층부가 개방되도록 건축용 철골구조물(일반적으로 에이 치빔)으로만 구성됨에 따라 작업과정에서 구조물의 낙하, 작업자의 추락 등의 안전사고가 발생할 수 있는 매우 위험한 공간으로, 작업시 안전사고가 발생하지 않도록 주의를 기울임과 동시에 안전하게 작업할 수 있는 방안을 마련해야 하는 번거로운 문제점이 있다.However, in the installation process of a conventional dry cooling coil module, the wind is only composed of an architectural steel structure (generally H beam) so that the upper and lower layers of the process room are opened for air circulation, so the structure may fall during the work process, and workers may It is a very dangerous space where safety accidents such as falls can occur, and there is the cumbersome problem of having to pay attention to prevent safety accidents from occurring while working and at the same time come up with a plan to work safely.

또한, 종래의 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치공정은 드라이 쿨링 코일 모듈의 이동을 용이하게 하기 위해 바퀴를 설치하여 사용하고 있으나, 풍도 구간에 설치하기 위해서는 드라이 쿨링 코일 모듈에 결합된 바퀴를 제거하기 위해 기계식 리프트잭, 유압식 리프트잭을 이용하여 드라이 쿨링 코일 모듈을 일정 높이로 띄운 다음, 바퀴를 제거한 후, 다시 드라이 쿨링 코일 모듈을 하강시키는 번거로운 공정이 발생되는 문제점이 있다.In addition, the installation process of the conventional dry cooling coil module uses wheels by installing them to facilitate the movement of the dry cooling coil module. However, in order to install it in the Pungdo section, a mechanical method is used to remove the wheels attached to the dry cooling coil module. There is a problem in that the cumbersome process of lifting the dry cooling coil module to a certain height using a lift jack or a hydraulic lift jack, then removing the wheels, and then lowering the dry cooling coil module again occurs.

한편, 전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.Meanwhile, the above-mentioned background technology is technical information that the inventor possessed for deriving the present invention or acquired in the process of deriving the present invention, and cannot necessarily be said to be known technology disclosed to the general public before filing the application for the present invention. .

한국등록특허 제10-2019611호Korean Patent No. 10-2019611

본 발명은, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일 모듈을 크레인을 통해 쉽고 간편하게 설치할 수 있도록 함으로써, 작업성을 개선시켜 줄 수 있는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법을 제공한다.The present invention provides a dry cooling coil module that can easily and conveniently install, using a crane, a dry cooling coil module that re-cools the air for internal circulation in the ventilation section of a process room producing semiconductors or flat panel display elements, thereby improving workability. Provides a method of installing a cooling coil module.

본 발명의 다른 목적은, 드라이 쿨링 코일 모듈에 묻어 있는 먼지나 기타 이물질을 제거함으로써, 청결한 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치가 가능하고, 공정실 내에서 드라이 쿨링 코일 모듈에 의한 먼지나 이물질이 날리는 것을 방지할 수 있는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법을 제공한다.Another object of the present invention is to remove dust or other foreign substances attached to the dry cooling coil module, thereby enabling the installation of a clean dry cooling coil module and preventing dust or foreign substances from being blown by the dry cooling coil module in the process room. Provides a method of installing a dry cooling coil module.

본 발명의 다른 목적은, 드라이 쿨링 코일 모듈의 위치를 정밀하게 조절하여 풍도 구간의 원하는 위치에 설치할 수 있고, 다수개의 드라이 쿨링 코일 모듈 간에 어긋남 없이 반듯하게 배열하여 설치할 수 있는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법을 제공한다.Another object of the present invention is to install a dry cooling coil module that can be installed at a desired location in the winding section by precisely adjusting the position of the dry cooling coil module, and can be installed in a straight arrangement without misalignment between a plurality of dry cooling coil modules. Provides a method.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem of the present invention is not limited to the technical problem mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 설치하는 방법에서, 상기 드라이 쿨링 코일을 조립하여 모듈화하는 모듈화 단계; 상기 드라이 쿨링 코일 모듈에 적어도 하나 이상의 결속끈을 결속하는 결속단계; 및 상기 결속끈을 크레인에 고정한 다음, 상기 크레인을 통해 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 이동시켜 풍도 구간에 설치된 지지용 구조물에 안착시키는 이동단계를 포함한다.A method of installing a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is a method of installing a dry cooling coil for re-cooling the air for internal circulation in an air temperature section of a process room that produces semiconductor or flat panel display elements, wherein the dry cooling coil A modularization step of assembling and modularizing cooling coils; A binding step of binding at least one binding string to the dry cooling coil module; And a moving step of fixing the binding strap to a crane, then moving the dry cooling coil module through the crane and seating it on a support structure installed in the wind direction section.

그리고, 상기 모듈화 단계와 결속단계의 사이 또는, 상기 결속단계와 상기 이동단계의 사이에는, 상기 지지용 구조물의 상면에 상기 드라이 쿨링 코일을 지지하기 위한 복수개의 설치용 구조물을 교차되게 설치하는 구조물 설치단계; 및 상기 설치용 구조물의 상면에 상기 드라이 쿨링 코일 모듈의 이동을 가이드하기 위한 가이드레일을 교차되게 설치하는 가이드레일 설치단계 중 적어도 어느 하나 이상의 단계가 더 포함될 수 있다.And, between the modularization step and the binding step, or between the binding step and the moving step, a structure installation step of cross-installing a plurality of installation structures for supporting the dry cooling coil on the upper surface of the support structure. ; And at least one step of installing guide rails to crossly install guide rails for guiding the movement of the dry cooling coil module on the upper surface of the installation structure may be further included.

또한, 상기 드라이 쿨링 코일 모듈은, 하부프레임; 상기 하부프레임의 상면 일측과 타측에 각각 배치되는 한 쌍의 지지프레임; 상기 지지프레임에 각각 경사지게 설치되며, 복수개의 드라이 쿨링 코일이 경사각에 대응되는 각도로 설치되는 경사프레임; 및 상기 경사프레임의 사이에 배치되고, 상기 지지프레임의 상면에 설치되는 점검로를 포함한다.Additionally, the dry cooling coil module includes a lower frame; A pair of support frames respectively disposed on one side and the other side of the upper surface of the lower frame; Inclined frames are installed at an angle to each of the support frames, and a plurality of dry cooling coils are installed at an angle corresponding to the inclination angle; and an inspection path disposed between the inclined frames and installed on the upper surface of the support frame.

그리고, 상기 결속끈은, 일측과 타측이 어느 하나의 지지프레임의 일측과 다른 하나의 지지프레임의 타측에 각각 결속되고, 중앙부분이 상기 크레인의 후크에 걸려 고정되는 제1 결속끈유닛; 및 상기 제1 결속끈유닛과 교차되면서 일측과 타측이 어느 하나의 지지프레임의 타측과 다른 하나의 지지프레임의 일측에 각각 결속되며, 중앙부분이 상기 크레임의 후크에 걸려 고정되는 제2 결속끈유닛을 포함한다.In addition, the binding strap includes: a first binding strap unit whose one side and the other side are respectively tied to one side of one support frame and the other side of the other support frame, and whose central portion is fixed to the hook of the crane; and a second binding string unit, where one side and the other side are tied to the other side of one support frame and one side of the other support frame while intersecting the first binding string unit, and the central portion is fixed by being caught by a hook of the frame. Includes.

또한, 상기 지지프레임은, 상기 하부프레임의 일측과 타측 2개의 모서리 부분에 각각 결합되고, 상측에 상기 경사프레임의 상측이 결합되는 한 쌍의 제1 수직부; 상기 제1 수직부와 각각 이격 배치된 상태로 상기 하부프레임의 상면에 결합되고, 상기 제1 수직부보다 짧은 길이를 갖도록 형성되어 상측에 상기 경사프레임의 중앙부분이 결합되는 한 쌍의 제2 수직부; 및 상기 제1 수직부의 중앙부분과 상기 제2 수직부의 상측을 각각 연결하는 수평부를 포함한다.In addition, the support frame includes a pair of first vertical portions respectively coupled to two corner portions of one side and the other side of the lower frame and coupled to the upper side of the inclined frame on the upper side; A pair of second vertical parts coupled to the upper surface of the lower frame while spaced apart from the first vertical part, formed to have a shorter length than the first vertical part, and coupled to the central part of the inclined frame on the upper side. wealth; and a horizontal portion connecting a central portion of the first vertical portion and an upper side of the second vertical portion, respectively.

그리고, 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 상기 풍도 구간에 설치하기 전에 상기 드라이 쿨링 코일에 묻어 있는 이물질을 제거하는 이물질 제거부를 더 포함하고, 상기 이물질 제거부는, 상기 지지프레임의 내부에 형성된 빈 공간에 각각 배치되며, 양측면에 상기 각각의 수평부 상면과 양측면을 동시에 감싼 상태로 슬라이딩되는 슬라이더가 각각 형성되어 상기 드라이 쿨링 코일 모듈에 대해 전진 또는 후진될 수 있는 전,후진 이동판; 상기 전,후진 이동판의 일면에 서로 일정간격 이격되도록 배치되는 복수개의 코일스프링; 상기 코일스프링에 각각 결합되어 상기 드라이 쿨링 코일에 각각 충돌되어 이물질 제거에 필요한 진동을 발생시킬 수 있으며, 충격감소를 위해 실리콘 또는 고무재질로 형성되는 충돌부; 상기 전,후진 이동판과 마주하도록 배치되는 수평유닛 및 상기 수평유닛을 일정높이로 지지하는 한 쌍의 수직유닛을 포함하고, 이동대차에 의해 위치이동 가능한 회동가이드부; 상기 수평유닛에 장착되는 회전링을 포함하여 상기 전,후진 이동판에 대해 가까워지거나 멀어지는 방향으로 그네운동하고, 후면에 고리가 형성된 회동판; 상기 회동판의 전면에 적어도 하나 이상으로 결합되고, 상기 회동판이 전진될 시 상기 전,후진 이동판의 타면을 타격하며, 상기 전,후진 이동판이 후진될 시 탄성적으로 지지하는 판스프링; 상기 고리를 파지하는 전자식 집게부; 및 상기 이동대차에 상,하 방향으로 회동가능하게 힌지 결합되며, 전자식 집게부가 상기 고리를 파지한 후 잡아 당기도록 상기 전자식 집게부를 상기 고리에 대해 전진 또는 후진시키는 구동실린더를 포함한다.And, before installing the dry cooling coil module in the air temperature section, it further includes a foreign matter removal unit that removes foreign matter attached to the dry cooling coil, and the foreign matter removal units are each disposed in an empty space formed inside the support frame. Forward and backward moving plates are formed on both sides with sliders that slide while simultaneously covering the upper surface and both sides of each horizontal portion, and can move forward or backward with respect to the dry cooling coil module; a plurality of coil springs disposed on one side of the forward and backward moving plates to be spaced apart from each other at a predetermined distance; Collision parts that are each coupled to the coil spring and can collide with the dry cooling coil to generate vibration necessary to remove foreign substances, and are made of silicone or rubber to reduce shock; A rotation guide unit comprising a horizontal unit arranged to face the forward and backward moving plates and a pair of vertical units supporting the horizontal unit at a certain height, the position of which can be moved by a moving cart; a rotating plate including a rotating ring mounted on the horizontal unit, swinging in a direction toward or away from the forward and backward moving plate, and having a ring formed on the rear side; At least one leaf spring is coupled to the front of the rotating plate, strikes the other surface of the forward and backward moving plates when the rotating plate moves forward, and elastically supports the forward and backward moving plates when they move backwards; An electronic clamp for holding the ring; and a driving cylinder that is hinged to the mobile cart to be rotatable in the up and down directions and moves the electronic tongs forward or backward with respect to the ring so that the electronic tongs grasp the ring and then pull it.

또한, 상기 크레인에 의해 부양되어 있는 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 상기 가이드레일의 상부측에 위치시키기 위한 정밀위치조절부를 더 포함하고, 상기 정밀위치조절부는, 어느 하나의 지지프레임을 구성하는 한 쌍의 제1 수직부에 각각 장착되되, 상기 제1 수직부의 전면과 측면 및 후면을 동시에 감싸도록 'ㄷ'자 단면 형상으로 형성되는 한 쌍의 감쌈부; 상면이 개방되고 내부에 승강공간이 수직길이 방향을 따라 형성되며, 수직방향을 따라 수평방향으로 관통되며 상기 승강공간과 연결되는 높낮이 조절홀이 일정간격으로 형성된 제1 서포트유닛 및 상기 감쌈부에 결합되고, 상기 제1 서포트유닛의 승강공간을 따라 승강되면서 상기 감쌈부의 높낮이를 가변시키고, 하측에는 그 승강 높이에 따라 상기 높낮이 조절홀 중 어느 하나와 수평선상에 위치되는 연결홀이 형성된 제2 서포트유닛을 포함하는 한 쌍의 서포트; 어느 하나의 높낮이 조절홀 및 상기 연결홀에 공동으로 삽입되어 상기 제2 서포트유닛을 고정시키는 한 쌍의 고정핀; 상기 공정실 바닥면에 배치되고, 지면을 따라 이동하는 바퀴를 포함하고, 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 가이드레일의 상부측에 위치시키는 작업을 수행할 시 상기 공정실의 바닥면에 위치되는 이동대차; 상기 이동대차에 탑재되되, 일정영역이 상기 이동대차의 외측으로 돌출되는 한 쌍의 전,후진 실린더; 및 상기 전,후진 실린더에 각각 교차되는 형태로 탑재되고, 상기 전,후진 실린더에 의해 상기 제1 수직부에 대해 전진 또는 후진되며, 상기 감쌈부가 상기 제1 수직부를 감싼 상태에서 상기 서포트를 각각 좌측 또는 우측으로 이동시켜 상기 하부 프레임을 상기 가이드레일의 상부측에 위치시키는 좌,우 이동실린더를 포함한다.In addition, it further includes a precise positioning unit for positioning the dry cooling coil module lifted by the crane on the upper side of the guide rail, and the precise positioning unit is a pair of units constituting one of the support frames. A pair of wrapping parts each mounted on the first vertical part and formed in a 'ㄷ'-shaped cross-sectional shape to simultaneously surround the front, side, and rear of the first vertical part; The upper surface is open and a lifting space is formed inside along the vertical length direction, and the first support unit and the wrapping part are connected to the wrapping unit and have height adjustment holes formed at regular intervals that penetrate in the horizontal direction along the vertical direction and are connected to the lifting space. A second support unit is raised and lowered along the lifting space of the first support unit to change the height of the wrapping part, and has a connection hole located on the horizontal line with one of the height adjustment holes according to the lifting height at the lower side of the second support unit. A pair of supports including; a pair of fixing pins jointly inserted into one of the height adjustment holes and the connection hole to secure the second support unit; a mobile cart placed on the floor of the process room, including wheels that move along the ground, and positioned on the floor of the process room when performing the task of positioning the dry cooling coil module on the upper side of the guide rail; A pair of forward and backward cylinders mounted on the mobile cart and having a certain area protruding to the outside of the mobile cart; and are mounted on the forward and backward cylinders in an alternating form, respectively, and are advanced or backward with respect to the first vertical portion by the forward and backward cylinders, and the support is positioned on the left side while the wrapping portion surrounds the first vertical portion. Alternatively, it includes a left and right moving cylinder that moves to the right to position the lower frame on the upper side of the guide rail.

상술한 본 발명의 일측면에 따르면, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일 모듈을 크레인을 통해 쉽고 간편하게 설치할 수 있도록 함으로써, 드라이 쿨링 코일 모듈 설치에 투입되는 작업자 수를 줄이고, 작업성을 개선 및 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to one aspect of the present invention described above, the dry cooling coil module for re-cooling the air for internal circulation can be easily and conveniently installed using a crane in the ventilation section of the process room that produces semiconductor or flat panel display elements, thereby enabling the dry cooling coil to be installed easily and conveniently using a crane. It has the effect of reducing the number of workers involved in module installation and improving and enhancing workability.

그리고, 드라이 쿨링 코일 모듈에 묻어 있는 먼지나 기타 이물질을 제거함으로써, 청결한 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치가 가능하고, 공정실 내에서 드라이 쿨링 코일 모듈에 의한 먼지나 이물질이 날리는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, by removing dust or other foreign substances on the dry cooling coil module, it is possible to install a clean dry cooling coil module, and it has the effect of preventing dust or foreign substances from being blown by the dry cooling coil module in the process room. there is.

또한, 드라이 쿨링 코일 모듈의 위치를 정밀하게 조절하여 풍도 구간의 원하는 위치에 설치할 수 있고, 다수개의 드라이 쿨링 코일 모듈 간에 어긋남 없이 반듯하게 배열하여 설치할 수 있는 효과가 있다.In addition, the position of the dry cooling coil module can be precisely adjusted to install it at a desired location in the wind direction section, and multiple dry cooling coil modules can be installed in a straight arrangement without misalignment.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 이하에서 설명할 내용으로부터 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 다양한 효과들이 포함될 수 있다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and various effects may be included within the scope apparent to those skilled in the art from the contents described below.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에서 크레인을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈을 풍도 구간에 설치하는 과정을 도시한 평면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 결속끈이 드라이 쿨링 코일 모듈에 결속된 예를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 가이드레일이 설치용 구조물에 결합된 상태를 도시한 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 가이드레일이 클램프를 통해 설치용 구조물에 결합된 상태를 도시한 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 이물질 제거부의 전,후진 이동판을 도시한 정면도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 이물질 제거부를 도시한 측면도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 이물질 제거부를 도시한 정면도.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 이물질 제거부의 작동을 도시한 측면도.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 정밀위치조절부를 도시한 측면도.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 드라이 쿨링 코일 모듈이 가이드레일에 수용된 상태를 도시한 측면도.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 정밀위치조절부를 도시한 평면도.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 정밀위치조절부의 사용예를 도시한 도.
1 to 3 are plan views showing the process of installing a dry cooling coil module in a winding section using a crane in the method of installing a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a perspective view showing an example in which a binding string applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is bound to the dry cooling coil module.
Figure 5 is a perspective view showing a state in which a guide rail applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is coupled to an installation structure.
Figure 6 is a perspective view showing a state in which a guide rail applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is coupled to an installation structure through a clamp.
Figure 7 is a front view showing the forward and backward moving plates of the foreign matter removal unit applied to the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is a side view showing a foreign matter removal unit applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention.
Figure 9 is a front view showing a foreign matter removal unit applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention.
Figure 10 is a side view showing the operation of the foreign matter removal unit applied to the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention.
Figure 11 is a side view showing a precision position control unit applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention.
Figure 12 is a side view showing a state in which a dry cooling coil module applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is accommodated in a guide rail.
Figure 13 is a plan view showing a precision position control unit applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention.
Figure 14 is a diagram showing an example of the use of a precision position control unit applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.The detailed description of the present invention described below refers to the accompanying drawings, which show by way of example specific embodiments in which the present invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different from one another but are not necessarily mutually exclusive. For example, specific shapes, structures and characteristics described herein may be implemented in one embodiment without departing from the spirit and scope of the invention. Additionally, it should be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the detailed description that follows is not intended to be taken in a limiting sense, and the scope of the invention is limited only by the appended claims, together with all equivalents to what those claims assert, if properly described. Similar reference numbers in the drawings refer to identical or similar functions across various aspects.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에서 크레인을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈을 풍도 구간에 설치하는 과정을 도시한 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 결속끈이 드라이 쿨링 코일 모듈에 결속된 예를 도시한 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 가이드레일이 설치용 구조물에 결합된 상태를 도시한 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 가이드레일이 클램프를 통해 설치용 구조물에 결합된 상태를 도시한 사시도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 이물질 제거부의 전,후진 이동판을 도시한 정면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 이물질 제거부를 도시한 측면도이며, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 이물질 제거부를 도시한 정면도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 이물질 제거부의 작동을 도시한 측면도이며, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 정밀위치조절부를 도시한 측면도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 드라이 쿨링 코일 모듈이 가이드레일에 수용된 상태를 도시한 측면도이며, 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 정밀위치조절부를 도시한 평면도이고, 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 적용된 정밀위치조절부의 사용예를 도시한 도이다.Figures 1 to 3 are plan views showing a process of installing a dry cooling coil module in a winding section using a crane in the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention, and Figure 4 is an embodiment of the present invention. It is a perspective view showing an example in which a binding string applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an example is bound to a dry cooling coil module, and Figure 5 is a guide applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention. It is a perspective view showing a state in which a rail is coupled to an installation structure, and Figure 6 is a perspective view showing a state in which a guide rail applied to the installation method of a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is coupled to an installation structure through a clamp. 7 is a front view showing the forward and backward moving plates of the foreign matter removal unit applied to the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention, and Figure 8 is a front view showing the dry cooling according to an embodiment of the present invention. It is a side view showing a foreign matter removal unit applied to the installation method of the coil module, Figure 9 is a front view showing the foreign matter removal unit applied to the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention, and Figure 10 is an embodiment of the present invention. It is a side view showing the operation of the foreign matter removal unit applied to the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment, and Figure 11 shows the precision positioning unit applied to the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention. It is a side view, and Figure 12 is a side view showing a state in which the dry cooling coil module applied to the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is accommodated in the guide rail, and Figure 13 is a side view according to an embodiment of the present invention. It is a plan view showing the precision position control unit applied to the installation method of the dry cooling coil module, and Figure 14 is a diagram showing an example of the use of the precision position control unit applied to the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 쉽고 간편하게 설치할 수 있는 기술이다.The method of installing a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention includes a dry cooling coil module ( 10) It is a technology that can be installed easily and conveniently.

이를 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은, 상기 드라이 쿨링 코일(11)을 조립하여 모듈화하는 모듈화 단계와, 상기 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에 적어도 하나 이상의 결속끈(20)을 결속하는 결속단계와, 구조물 설치단계와, 가이드레일 설치단계와, 상기 결속끈(20)을 크레인(30)에 고정한 다음, 상기 크레인(30)을 통해 상기 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 풍도(2) 구간에 설치된 지지용 구조물(3)로 이동시키는 이동단계 중 적어도 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.To this end, the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention includes a modularization step of assembling and modularizing the dry cooling coil 11, and at least one binding string ( 20), a structure installation step, a guide rail installation step, and the binding strap 20 is fixed to the crane 30, and then the dry cooling coil module 10 is connected to the crane 30 through the crane 30. It may include at least one of the moving steps of moving to the support structure (3) installed in the wind tunnel (2) section.

모듈화 단계는 드라이 쿨링 코일(11)을 조립하여 모듈화하는 것으로, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은, 하부프레임(12)의 상면 양측에 한 쌍의 지지프레임(13)을 각각 설치하고, 각각의 지지프레임(13)에 복수개의 드라이 쿨링 코일(11)이 설치된 경사프레임(14)을 설치한 다음, 경사프레임(14)의 사이에 작업자가 왔다 갔다하면서 모든 드라이 쿨링 코일(11)들을 점검하도록 하기 위한 점검로(15)를 설치함으로써 일체로 모듈화 된다.The modularization step is to modularize the dry cooling coil 11 by assembling it. The dry cooling coil module 10 is provided by installing a pair of support frames 13 on both sides of the upper surface of the lower frame 12, and supporting each After installing the inclined frame 14 on which a plurality of dry cooling coils 11 are installed on the frame 13, an operator moves back and forth between the inclined frames 14 to inspect all the dry cooling coils 11. By installing the inspection route (15), it is modularized into one piece.

즉, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 상기와 같이 여러 개의 독립된 단위 개체로 모듈화 된 후 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 하나씩 순차적으로 설치되어 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 것이다.In other words, the dry cooling coil module 10 is modularized into several independent units as described above and then sequentially installed one by one in the wind direction 2 section of the process room 1 for producing semiconductor or flat panel display elements for internal circulation. This re-cools the air.

이를 위해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 하부프레임(12)과, 지지프레임(13)과, 경사프레임(14) 및 점검로(15)를 포함할 수 있다.To this end, the dry cooling coil module 10 may include a lower frame 12, a support frame 13, an inclined frame 14, and an inspection path 15.

하부프레임(12)은 대략 직사각형 틀 형상으로 형성될 수 있다.The lower frame 12 may be formed into a substantially rectangular frame shape.

하부프레임(12)의 내부공간에는 복수개의 보강바(121)가 설치될 수 있다.A plurality of reinforcing bars 121 may be installed in the inner space of the lower frame 12.

보강바(121)는 하부프레임(12)이 휘어지거나 변형되는 것을 방지한다.The reinforcing bar 121 prevents the lower frame 12 from being bent or deformed.

보강바(121)는 하부프레임(12)의 휨, 변형을 보다 효율적으로 방지하기 위해 서로 가로, 세로 방향으로 교차되는 형태로 하부프레임(12)의 내부공간에 설치될 수도 있다.The reinforcing bars 121 may be installed in the internal space of the lower frame 12 in a form that crosses each other in the horizontal and vertical directions in order to more effectively prevent bending and deformation of the lower frame 12.

그리고, 하부프레임(12)을 구성하는 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)의 저면에는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 이동을 용이하게 하기 위한 복수개의 바퀴(미도시)가 일정간격으로 결합될 수 있다.In addition, on the bottom of the first member 12a and the second member 12b constituting the lower frame 12, a plurality of wheels (not shown) are installed at regular intervals to facilitate movement of the dry cooling coil module 10. can be combined.

바퀴는 볼트나 피스를 통해 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)의 저면에 각각 결합된다. 이로 인해 바퀴는 선택적으로 분리될 수 있다.The wheels are respectively coupled to the bottom surfaces of the first member 12a and the second member 12b through bolts or pieces. This allows the wheels to be selectively separated.

이때, 본 발명에서는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 크레인(30)을 통해 부양시킨 상태에서 이동하게 됨으로, 바퀴는 생략될 수도 있다.At this time, in the present invention, since the dry cooling coil module 10 is moved while lifted by the crane 30, wheels may be omitted.

지지프레임(13)은 2개 한 쌍으로 구성되어 하부프레임(12)의 상면 일측과 타측에 각각 결합될 수 있다.The support frame 13 is composed of two pairs and can be coupled to one upper side and the other side of the lower frame 12, respectively.

지지프레임(13)은 제1 수직부(131)와, 제2 수직부(132)와, 수평부(133) 및 부가 수평부(134)를 포함할 수 있다.The support frame 13 may include a first vertical portion 131, a second vertical portion 132, a horizontal portion 133, and an additional horizontal portion 134.

이때, 제1 수직부(131)와, 제2 수직부(132)와, 수평부(133) 및 부가 수평부(134)로 인해 지지프레임(13)의 내부에 빈 공간이 형성된다.At this time, an empty space is formed inside the support frame 13 due to the first vertical part 131, the second vertical part 132, the horizontal part 133, and the additional horizontal part 134.

제1 수직부(131)는 2개 한 쌍으로 구성되어 하부프레임(12)의 일측과 타측 상면 모서리 부분에 각각 수직결합된다.The first vertical portion 131 is composed of a pair and is vertically coupled to the upper edge portion of one side and the other side of the lower frame 12, respectively.

그리고, 제1 수직부(131)의 상측에는 경사프레임(14)임의 상측이 결합된다.And, the upper side of the inclined frame 14 is coupled to the upper side of the first vertical portion 131.

제2 수직부(132)는 2개 한 쌍으로 구성되어 제1 수직부(131)와 각각 이격 배치된 상태로 하부프레임(12)이 상면에 수직 결합된다.The second vertical portions 132 are composed of two pairs and are vertically coupled to the upper surface of the lower frame 12 while being spaced apart from the first vertical portions 131.

제2 수직부(132)는 경사프레임(14)을 기울어진 형태로 배치되도록 제1 수직부(131)보다 짧은 길이를 갖도록 형성된다.The second vertical portion 132 is formed to have a shorter length than the first vertical portion 131 so that the inclined frame 14 is disposed in an inclined form.

따라서, 제2 수직부(132)의 상측에는 경사프레임(14)의 중앙부분이 결합된다.Accordingly, the central portion of the inclined frame 14 is coupled to the upper side of the second vertical portion 132.

수평부(133)는 제1 수직부(131)의 대략 중앙부분과 제2 수직부(132)의 상측을 연결한다.The horizontal portion 133 connects the approximately central portion of the first vertical portion 131 and the upper side of the second vertical portion 132.

부가 수평부(134)는 제2 수직부(132) 및 제2 수직부(132)의 상측을 연결한다.The additional horizontal part 134 connects the second vertical part 132 and the upper side of the second vertical part 132.

수평부(133)는 제1 수직부(131) 및 제2 수직부(132)를 보강하고, 부가 수평부(134)는 제2 수직부(132)를 보강한다.The horizontal portion 133 reinforces the first vertical portion 131 and the second vertical portion 132, and the additional horizontal portion 134 reinforces the second vertical portion 132.

즉, 수평부(133)가 제1 수직부(131) 및 제2 수직부(132)를 보강하고, 부가 수평부(134)가 제2 수직부(132)를 보강함으로 인해, 제1 수직부(131) 및 제2 수직부(132)가 드라이 쿨링 코일(11) 및 경사프레임(14)의 하중을 안정적으로 지지하도록 할 수 있다.That is, the horizontal part 133 reinforces the first vertical part 131 and the second vertical part 132, and the additional horizontal part 134 reinforces the second vertical part 132, so that the first vertical part 132 (131) and the second vertical portion 132 can stably support the load of the dry cooling coil 11 and the inclined frame 14.

경사프레임(14)은 대략 사각틀 형상으로 형성될 수 있다.The inclined frame 14 may be formed in a substantially rectangular frame shape.

경사프레임(14)은 2개 한 쌍으로 구성되어 지지프레임(13)에 각각 설치된다.The inclined frames 14 are composed of two pairs and are respectively installed on the support frame 13.

경사프레임(14)은 상측이 제1 수직부(131)의 상측에 결합되고, 중앙부분은 제2 수직부(132)의 상측에 결합되며, 하측은 하부프레임(12)의 상측에 결합된다.The upper side of the inclined frame 14 is coupled to the upper side of the first vertical portion 131, the central portion is coupled to the upper side of the second vertical portion 132, and the lower side is coupled to the upper side of the lower frame 12.

드라이 쿨링 코일(11)은 복수개로 적용되며, 각각의 경사프레임(14) 내부공간에 수직, 수평방향으로 연쇄적으로 설치될 수 있다.The dry cooling coils 11 are applied in plural numbers and can be installed in series in the vertical and horizontal directions in the inner space of each inclined frame 14.

드라이 쿨링 코일(11)은 반도체 또는 평판 디스플레이 소자의 제조에 따라 가열된 공정실(1)의 공기를 재냉각시키도록 냉수가 흐르는 동관 및 동관의 주변에 열교환을 위해 적용되는 방열핀으로 구성될 수 있다.The dry cooling coil 11 may be composed of a copper tube through which cold water flows to re-cool the air in the process room 1 heated according to the manufacture of a semiconductor or flat panel display device, and a heat dissipation fin applied for heat exchange around the copper tube. .

이러한 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 설치될 시 단위 개체로 모듈 화된 다수의 개체를 서로 인접되도록 하나씩 순차적으로 배치하여 결속하게 된다.When this dry cooling coil module 10 is installed in the air flow section 2 of the process room 1, a plurality of modularized units are sequentially arranged and bound one by one so that they are adjacent to each other.

즉, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 풍도(2) 구간에서 각각 단위 개체로 모듈화된 적어도 2 내지 4개의 세트를 하나로 결속하고, 이 모듈 결속체에 하나의 냉수 배관을 설치하게 된다.That is, the dry cooling coil module 10 binds together at least 2 to 4 sets, each modularized as a unit, in the wind power (2) section, and one cold water pipe is installed in this module assembly.

이러한 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 공정실(1)의 풍도(2) 구간에서 단위 개체로 모듈화된 적어도 2 내지 4개의 세트가 하나로 결속되고, 이 모듈 결속체에 하나의 냉수 배관이 설치된다.This dry cooling coil module 10 is a set of at least 2 to 4 modules assembled as a unit in the air flow section 2 of the process room 1, and a cold water pipe is installed in this module assembly.

즉, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 이상 설명한 구조를 통해 공정실(1)의 내부 순환용 공기를 재냉각시키도록 동작되는 것이다.That is, the dry cooling coil module 10 is operated to re-cool the air for internal circulation in the process room 1 through the structure described above.

도면에 도시되지는 않았으나, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에는 냉수 배관을 지지하기 위한 각종 구조물 및 외부에서 제어된 공기를 공급하는 급기/배기덕트와 그 구조물 등이 함께 설치된다.Although not shown in the drawing, the dry cooling coil module 10 is installed with various structures for supporting cold water pipes and supply/exhaust ducts and structures for supplying controlled air from the outside.

한편, 전술한 드라이 쿨링 코일 모듈(10) 모듈화가 완료되면, 공정실(1)의 풍도(2) 구간으로 이동시키기 위해, 드라이 쿨링 코일(11)에 적어도 하나 이상의 결속끈(20)을 결속하는 결속단계가 수행된다.Meanwhile, when the modularization of the dry cooling coil module 10 described above is completed, at least one binding string 20 is tied to the dry cooling coil 11 in order to move it to the wind power section 2 of the process room 1. The binding step is performed.

결속끈(20)은 제1 결속끈유닛(21) 및 제2 결속끈유닛(22)을 포함할 수 있다.The binding string 20 may include a first binding string unit 21 and a second binding string unit 22.

제1 결속끈유닛(21)은 일측이 어느 하나의 제1 수직부(131)에 결속되고, 타측이 다른 하나의 제1 수직부(131)에 결속된다.One side of the first binding string unit 21 is bound to one first vertical portion 131, and the other side is bound to the other first vertical portion 131.

이때, 제1 결속끈유닛(21)은 서로 대각선상에 위치된 제1 수직부(131)들에 결속될 수 있다.At this time, the first binding string unit 21 may be bound to the first vertical portions 131 located diagonally from each other.

제1 결속끈유닛(21)은 중앙부분이 크레인(30)에 마련된 후크(31)에 걸려 고정된다.The first binding string unit 21 is fixed by hanging its central portion on a hook 31 provided on the crane 30.

이때, 제1 결속끈유닛(21)의 중앙부분을 한바퀴 이상 돌려서 고리(21a)를 형성한 다음, 이 고리(21a)를 후크(31)에 걸어 고정하면 된다.At this time, the central part of the first binding string unit 21 can be turned one or more times to form a ring 21a, and then the ring 21a can be hung on the hook 31 and fixed.

제2 결속끈유닛(22)은 대략 중앙부분이 제1 결속끈유닛(21)의 대략 중앙부분에 교차되며, 그 일측이 어느 하나의 제1 수직부(131)에 결속되고, 타측이 다른 하나의 제1 수직부(131)에 결속된다.The second binding string unit 22 has a central portion that intersects approximately the central portion of the first binding string unit 21, one side of which is bound to one of the first vertical portions 131, and the other side to the other one. It is bound to the first vertical portion 131 of.

이때, 제2 결속끈유닛(22)은 서로 대각선상에 위치된 제1 수직부(131)들에 결속될 수 있다.At this time, the second binding string unit 22 may be bound to the first vertical portions 131 located diagonally from each other.

즉, 제1 결속끈유닛(21) 및 제2 결속끈유닛(22)은 X자 형태로 교차된 상태로 서로 다른 제1 수직부(131)에 각각 결속되는 것이다.That is, the first binding string unit 21 and the second binding string unit 22 are each tied to different first vertical portions 131 in a crossed state in an X shape.

그리고, 제2 결속끈유닛(22)은 중앙부분이 후크(31)에 걸려 고정된다.And, the second binding string unit 22 is fixed by hanging its central portion on the hook 31.

이때, 제2 결속끈유닛(22)의 중앙부분을 한바퀴 이상 돌려서 고리(22a)를 형성한 다음, 이 고리(22a)를 제1 결속끈유닛(21)의 고리(21a)와 함께 후크(31)에 걸어 고정하면 된다.At this time, the central part of the second binding string unit 22 is turned one or more times to form a ring (22a), and then this ring (22a) is connected to the hook (31) together with the ring (21a) of the first binding string unit (21). ) and secure it.

일 예로, 제1 결속끈유닛(21) 및 제2 결속끈유닛(22)은 각각의 제1 수직부(131)에 묶음 방식으로 결속될 수 있다.As an example, the first binding string unit 21 and the second binding string unit 22 may be tied to each first vertical portion 131 in a bundling manner.

다른 일 예로, 각각의 제1 수직부(131)에는, 일단이 제1 수직부(131)에 고정되는 수평부(133) 및 수평부(133)의 일단에 연결되는 수직부를 포함하여 대략 "ㅓ"자 단면 형상으로 형성되는 권취편이 형성될 수 있다.As another example, each first vertical portion 131 includes a horizontal portion 133, one end of which is fixed to the first vertical portion 131, and a vertical portion connected to one end of the horizontal portion 133, approximately “ㅓ “A winding piece formed in a ruler cross-sectional shape may be formed.

따라서, 제1 결속끈유닛(21) 및 제2 결속끈유닛(22)은 권취편의 수평부(133)에 여러 번 권취되는 방식으로 고정될 수 있다.Accordingly, the first binding string unit 21 and the second binding string unit 22 can be fixed to the horizontal portion 133 of the winding piece by being wound several times.

이때, 도면에는 제1 결속끈유닛(21) 및 제2 결속끈유닛(22)이 1개씩 적용된 예를 도시하였으나, 제1 결속끈유닛(21) 및 제2 결속끈유닛(22)은 드라이 쿨링 코일(11)을 안정저으로 지지할 수 있도록 2개 이상으로 적용될 수도 있다.At this time, the drawing shows an example in which the first binding string unit 21 and the second binding string unit 22 are applied one by one, but the first binding string unit 21 and the second binding string unit 22 are dry cooling. It may be applied in two or more pieces to support the coil 11 as a stabilizer.

이와 같이 결속단계가 완성되면, 이동단계가 수행된다.Once the binding step is completed in this way, the moving step is performed.

즉, 제1 결속끈유닛(21) 및 제2 결속끈유닛(22)의 중앙부분을 크레인(30)에 고정한 다음, 작업자가 크레인(30)을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 풍도(2) 구간으로 이동한 후, 풍도(2) 구간의 바닥면에 설치된 지지용 구조물(3)로 이동시키게 된다.That is, the central portion of the first binding strap unit 21 and the second binding strap unit 22 is fixed to the crane 30, and then the operator installs the dry cooling coil module 10 through the crane 30 at wind speed (2). ) section, and then moved to the support structure (3) installed on the floor of the wind tunnel (2) section.

이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 크레인(30)을 통해 첫번째 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 전진시켜 풍도(2) 구간에 위치시킨 다음, 크레인(30)을 통해 첫번째 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 풍도(2) 구간의 우측으로 끝부분에 위치되도록 이동시킨 후, 동일한 크레인(30)으로 두번째 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 첫번째 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 일측에 위치시킨 후, 동일한 크레인(30)으로 세번째 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 두번째 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 일측에 위치시킬 수 있다.At this time, the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is to advance the first dry cooling coil module 10 through the crane 30, as shown in FIGS. 1 to 3, to increase windage (2). After being placed in the section, the first dry cooling coil module (10) is moved to the right end of the section (2) using the crane 30, and then the second dry cooling coil module (10) is moved using the same crane (30). After placing 10) on one side of the first dry cooling coil module 10, the third dry cooling coil module 10 can be placed on one side of the second dry cooling coil module 10 using the same crane 30.

즉, 하나의 크레인(30)으로 복수개의 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 순차적으로 이동시켜 풍도(2) 구간에 나란하게 배치하는 것이 가능하다.That is, it is possible to sequentially move a plurality of dry cooling coil modules 10 with a single crane 30 and arrange them side by side in the wind direction 2 section.

종래에는 드라이 쿨링 코일 모듈에 바퀴를 설치하여, 작업자가 풍도(2) 구간으로 직접 이동시켰으나, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 크기가 크고 무겁기 때문에 여러 명의 작업자가 동원되어야 하고, 그 이동 또한 용이하지 못했으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은 드라이 쿨링 코일 모듈(10)과 크레인(30)의 후크(31)에 결속끈(20)을 간편하고 안전하게 결속한 다음, 크레인(30)으로 간편하게 이동시키는 방식이기 때문에 여러 명의 작업자 필요 없이 최소한의 작업자 만으로도 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 쉽고 간편하며 신속하게 이동시킬 수 있는 장점을 제공할 수 있다.Conventionally, wheels were installed on the dry cooling coil module and workers moved it directly to the Pungdo (2) section. However, the dry cooling coil module (10) is large and heavy, so several workers must be mobilized, and its movement is also not easy. However, the installation method of the dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is to simply and safely tie the dry cooling coil module 10 and the binding string 20 to the hook 31 of the crane 30, then Since it is a method of easily moving with a crane 30, it can provide the advantage of being able to move the dry cooling coil module 10 easily, simply, and quickly with a minimum number of workers without the need for multiple workers.

아울러, 크레인(30)으로 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 이동시키기 때문에, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 이동하는 과정에서 작업자가 부상을 당하는 사고가 발생되는 것을 방지할 수 있으며, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 신속하게 이동시켜 풍도(2)구간에 용이하게 설치할 수 있음에 따라 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 설치하기 위한 소요시간을 현저히 단축할 수 있는 등 작업성의 편의성을 향상시킬 수도 있다.In addition, since the dry cooling coil module 10 is moved using the crane 30, it is possible to prevent accidents in which workers are injured in the process of moving the dry cooling coil module 10, and the dry cooling coil module Since (10) can be quickly moved and easily installed in the wind direction (2) section, the time required to install the dry cooling coil module (10) can be significantly shortened, thereby improving the convenience of workability.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은 모듈화 단계와 결속단계의 사이 또는, 결속단계와 상기 이동단계의 사이에는, 드라이 쿨링 코일(11)을 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 설치하기 위해, 풍도(2) 구간에 설치된 지지용 구조물(3)의 상면에 드라이 쿨링 코일(11)을 지지하기 위한 복수개의 설치용 구조물(40)을 교차되게 설치하는 구조물 설치단계 및 설치용 구조물(40)의 상면에 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 이동을 가이드하기 위한 가이드레일(50)을 교차되게 설치하는 가이드레일(50) 설치단계 중 적어도 어느 하나 이상의 단계가 더 포함될 수 있다.Meanwhile, the method of installing a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention is to install the dry cooling coil 11 in the process room 1 between the modularization step and the binding step, or between the binding step and the moving step. In order to install in the wind direction (2) section, a structure is installed to crossly install a plurality of installation structures (40) to support the dry cooling coil (11) on the upper surface of the support structure (3) installed in the wind direction (2) section. At least one or more steps among the steps of installing the guide rails 50 to crossly install the guide rails 50 for guiding the movement of the dry cooling coil module 10 on the upper surface of the installation structure 40 may be further included. there is.

가이드레일(50)은 2개 한 쌍으로 구성되어 설치용 구조물(40)에 서로 연결되게 조립된다.The guide rails 50 are composed of two pairs and are assembled to be connected to each other on the installation structure 40.

가이드레일(50)은 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)의 간격 또는 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)에 결합된 바퀴(미도시)의 간격과 대응되는 간격으로 평행하게 배치된다.The guide rail 50 has a gap corresponding to the gap between the first member 12a and the second member 12b or the gap between the wheels (not shown) coupled to the first member 12a and the second member 12b. are placed parallelly.

가이드레일(50)은 설치용 구조물(40)에 연결되도록 조립될 수 있다.The guide rail 50 may be assembled to be connected to the installation structure 40.

가이드레일(50)은 설치용 구조물(40)의 상면에 안착된 상태에서 외측에 돌출되는 돌출편(51)과 대략 "ㄷ"자 단면 형상으로 형성되는 클램프(C)에 의해 설치용 구조물(40)에 견고하게 고정된다.The guide rail 50 is attached to the installation structure 40 by a protruding piece 51 that protrudes outward while being seated on the upper surface of the installation structure 40 and a clamp C that is formed in an approximately “ㄷ” cross-sectional shape. It is firmly fixed.

도면에 도시되지는 않았으나, 풍도(2)는 공정실(1)에 마련된 내벽과 외벽 사이에 공기가 순환될 수 있는 공간으로 마련된다.Although not shown in the drawing, the air vent (2) is provided as a space where air can circulate between the inner and outer walls of the process room (1).

이를 위해, 풍도(2)는 공기의 순환을 위해 공정실(1)의 상층부와 하층부가 개방되는 구조로 형성되고, 지지용 구조물(3)이 일정간격을 두고 배치되도록 설치된다.For this purpose, the wind tunnel 2 is formed in a structure in which the upper and lower layers of the process room 1 are opened for air circulation, and the support structures 3 are installed at regular intervals.

이와 같이 가이드레일(50)을 설치용 구조물(40)의 상면에 결합한 다음에는, 크레인(30)에 의해 부양되어 있는 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)의 저면에 결합되어 있는 바퀴(미도시)를 분리한 후, 크레인(30)을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 가이드레일(50)에 안착시킨다.After the guide rail 50 is coupled to the upper surface of the installation structure 40 in this way, the wheels ( After separating (not shown), the dry cooling coil module 10 is seated on the guide rail 50 through the crane 30.

이때, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 크레인(30)에 의해서 공정실(1)에서 풍도(2) 구간에 설치된 가이드레일(50)에 수직 방향으로 하강되어 바로 안착된다.At this time, the dry cooling coil module 10 is lowered in the vertical direction and immediately seated on the guide rail 50 installed in the section of wind tunnel 2 from the process room 1 by the crane 30.

즉, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 크레인(30)에 의해 가이드레일(50)에 원활하게 안착될 수 있다.That is, the dry cooling coil module 10 can be smoothly seated on the guide rail 50 by the crane 30.

이때, 도 12에 도시된 바와 같이 가이드레일(50)은 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)보다 짧게 형성된다.At this time, as shown in FIG. 12, the guide rail 50 is formed shorter than the first member 12a and the second member 12b.

따라서, 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)의 전,후측 엣지영역(121a,121b)은 가이드레일(50)의 전측과 후측으로 돌출된다.Accordingly, the front and rear edge areas 121a and 121b of the first member 12a and the second member 12b protrude toward the front and rear sides of the guide rail 50.

그리고, 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)는 엣지영역(121a,121b) 사이 영역만 가이드레일(50)의 내부에 수용된다.And, the first member 12a and the second member 12b are accommodated inside the guide rail 50 only in the area between the edge areas 121a and 121b.

종래에는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 풍도(2) 구간에 위치시킨 다음, 기계식 리프트잭과 유압식 리프트잭을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 일정 높이로 뛰운 이후에, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 저면에 설치된 바퀴(미도시)들을 제거한 다음, 기계식 리프트잭과 유압식 리프트잭을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 하강시켜 안내레일에 안착시켰으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은 바퀴(미도시)를 제거하기 위해 기계식 리프트잭과 유압식 리프트잭을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 상승시켰다가 하강시키는 공정이 발생되지 않기 때문에 설치시간을 현저히 단축할 수 있고, 작업자의 수고도 덜어줄 수 있다.In the past, the dry cooling coil module 10 was placed in the Pungdo (2) section, and then the dry cooling coil module 10 was jumped to a certain height through a mechanical lift jack and a hydraulic lift jack, and then the dry cooling coil module 10 ) were removed, and then the dry cooling coil module 10 was lowered through a mechanical lift jack and a hydraulic lift jack and placed on the guide rail. However, the dry cooling coil module 10 according to an embodiment of the present invention was lowered and seated on the guide rail. The module installation method can significantly shorten the installation time because the process of raising and lowering the dry cooling coil module 10 through a mechanical lift jack and a hydraulic lift jack to remove the wheel (not shown) does not occur. , it can also reduce the labor of workers.

나아가, 크레인(30)을 사용하는 경우, 바퀴를 생략할 수 있기 때문에 바퀴의 설치 및 제거 공정이 발생되지 아니하도록 할 수 있다.Furthermore, when using the crane 30, the wheels can be omitted, so that the installation and removal process of the wheels does not occur.

부가적으로, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)를 가이드레일(50)에 각각 안착한 다음에는 공지된 볼트 및 너트를 통해 고정함으로써, 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 안정적으로 고정시키면 된다.Additionally, the first member 12a and the second member 12b of the dry cooling coil module 10 are each seated on the guide rail 50 and then fixed using known bolts and nuts to secure the first member 12a and the second member 12b of the dry cooling coil module 10. The dry cooling coil module 10 can be stably fixed in the windage (2) section of ).

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은, 이물질 제거부(60)로 드라이 쿨링 코일(11)에 묻어 있는 이물질을 제거하는 이물질 제거단계를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the method of installing a dry cooling coil module according to an embodiment of the present invention may further include a foreign matter removal step of removing foreign matter stuck on the dry cooling coil 11 using the foreign matter removal unit 60.

이물질 제거단계는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 풍도(2) 구간에 설치하기 전에 수행될 수 있다.The foreign matter removal step may be performed before installing the dry cooling coil module 10 in the wind direction (2) section.

일 예로, 이물질 제거단계는 공정실(1)의 바닥이나 실외 지면에 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 배치한 이후에 수행될 수 있다.For example, the foreign matter removal step may be performed after the dry cooling coil module 10 is placed on the floor of the process room 1 or the outdoor ground.

즉, 이물질 제거단계는 공정실(1) 근처 아무곳에서나 수행될 수 있다.That is, the foreign matter removal step can be performed anywhere near the process room 1.

다른 일 예로, 이물질 제거단계는 모듈화 단계 이후에 수행될 수도 있다.As another example, the foreign matter removal step may be performed after the modularization step.

그리고, 이물질 제거단계는 결속끈(20)으로 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 결속하기 전에 수행될 수 있다.Additionally, the foreign matter removal step may be performed before binding the dry cooling coil module 10 with the binding string 20.

도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 이물질 제거부(60)는 전,후진 이동판(61)과, 코일스프링(62)과, 충돌부(63)와, 회동가이드부(64)와, 회동판(65)과, 판스프링(66)과, 집게부 및 구동실린더(68)를 포함한다.As shown in FIGS. 7 to 10, the foreign matter removal unit 60 includes a forward and backward moving plate 61, a coil spring 62, a collision unit 63, a rotation guide unit 64, It includes a rotating plate 65, a leaf spring 66, a tong part, and a driving cylinder 68.

2개 한 쌍으로 구성되어 전,후진 이동판(61)은 각각의 지지프레임(13) 내부에 형성된 빈 공간에 각각 배치된다.The forward and backward moving plates 61, which are composed of two pairs, are respectively disposed in empty spaces formed inside each support frame 13.

전,후진 이동판(61)은 대략 사각판 형상으로 형성될 수 있다.The forward and backward moving plates 61 may be formed in a substantially square plate shape.

전,후진 이동판(61)은 경사프레임(14)보다 짧은 길이를 갖도록 형성될 수 있다.The forward and backward moving plates 61 may be formed to have a shorter length than the inclined frame 14.

전,후진 이동판(61)의 폭 길이는 경사프레임(14)의 폭길이와 동일하거나 또는 약 80%~90%의 폭 길이를 갖도록 형성될 수 있다. The width of the forward and backward moving plates 61 may be the same as that of the inclined frame 14 or may be formed to have a width of about 80% to 90%.

전,후진 이동판(61)의 양측면에는 대략 'ㄷ'자 단면 형상으로 형성되어 양측에 위치한 수평부(133) 상면과 양측면을 동시에 감싼 상태로 슬라이딩되는 슬라이더(611)가 각각 형성된다. 이로 인해 전,후진 이동판(61)은 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에 대해 전진 또는 후진될 수 있다.On both sides of the forward and backward moving plates 61, sliders 611 are formed, which are formed in a roughly 'ㄷ' cross-sectional shape and slide while simultaneously covering the upper and both sides of the horizontal portion 133 located on both sides. Because of this, the forward and backward moving plate 61 can move forward or backward with respect to the dry cooling coil module 10.

코일스프링(62)은 복수개로 적용되어 전,후진 이동판(61)의 일면, 즉 드라이 쿨링 코일 모듈(10)과 마주하는 면에 서로 일정간격 이격되도록 배치된다.The coil springs 62 are applied in plural numbers and are arranged at a certain distance from each other on one side of the forward and backward moving plate 61, that is, the side facing the dry cooling coil module 10.

코일스프링(62)은 전,후진 이동판(61)의 일면에 수직, 수평방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다.The coil springs 62 may be arranged to be spaced apart from each other in the vertical and horizontal directions on one surface of the forward and backward moving plates 61.

드라이 쿨링 코일(11)은 경사 프레임에 의해 경사지게 배치됨으로, 코일스프링(62)은 모든 충돌부(63)들이 서로 다른 길이를 갖도록 형성된다.Since the dry cooling coil 11 is disposed inclinedly by an inclined frame, the coil spring 62 is formed so that all impact parts 63 have different lengths.

수평부(133)보다 높은 위치에 배치된 코일스프링(62)들에 비해 수평부(133)보다 낮은 위치에 배치된 코일스프링(62)들의 길이가 길게 형성된다.Compared to the coil springs 62 disposed at a higher position than the horizontal portion 133, the length of the coil springs 62 disposed at a lower position than the horizontal portion 133 is formed to be longer.

그리고, 수평부(133)보다 낮은 위치에 배치된 코일스프링(62)들은 처짐방지판(69)에 지지되어 하 방향으로 처지지 아니한다.In addition, the coil springs 62 disposed at a lower position than the horizontal portion 133 are supported by the sagging prevention plate 69 and do not sag downward.

충돌부(63)는 코일스프링(62)에 각각 결합되어 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에 각각 충돌될 수 있다.The collision portions 63 may be respectively coupled to the coil springs 62 and collide with the dry cooling coil module 10, respectively.

이때, 충돌부(63)는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 경사각에 대응되게 직삼각형 형상으로 형성될 수 있다.At this time, the collision portion 63 may be formed in a right triangle shape to correspond to the inclination angle of the dry cooling coil module 10.

그리고, 충돌부(63)는 그 경사면(631)이 드라이 쿨링 코일 모듈(10)과 마주하도록 코일스프링(62)에 결합된다.And, the collision part 63 is coupled to the coil spring 62 so that its inclined surface 631 faces the dry cooling coil module 10.

처짐방지부에 지지된 코일스프링(62)에 결합된 충돌부(63)는 드라이 쿨링 코일(11)에 충돌될 시 코일스프링(62)을 압축시키면서 처짐방지부를 따라 후진된다.When the collision part 63 coupled to the coil spring 62 supported by the sagging prevention part collides with the dry cooling coil 11, it compresses the coil spring 62 and moves backwards along the sagging prevention part.

이러한 충돌부(63)는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에 전달되는 충격을 감소하도록 실리콘 또는 고무재질로 형성된다.This collision portion 63 is made of silicon or rubber material to reduce the impact transmitted to the dry cooling coil module 10.

회동가이드부(64)는 후술되는 회동판(65)을 전,후진 이동판(61)에 대해 전진 또는 후진시키는 구성이다.The rotation guide unit 64 is configured to move the rotation plate 65, which will be described later, forward or backward with respect to the forward and backward movement plate 61.

회동가이드부(64)는 전,후진 이동판(61)과 소정간격 이격되도록 배치되는 것으로, 수평유닛(641) 및 수평유닛(641)을 일정높이로 지지하는 한 쌍의 수직유닛(642)을 포함한다.The rotation guide unit 64 is arranged to be spaced apart from the forward and backward moving plates 61 at a predetermined distance, and includes a horizontal unit 641 and a pair of vertical units 642 that support the horizontal unit 641 at a certain height. Includes.

수평유닛(641)은 회동판(65)이 회동되어 그네운동할 수 있도록 원형 단면 형상으로 형성된다.The horizontal unit 641 is formed in a circular cross-sectional shape so that the rotating plate 65 can rotate and swing.

수직유닛(642)은 그 상측이 수평유닛(641)의 저면 양측 가장자리에 결합된다.The upper side of the vertical unit 642 is coupled to both edges of the bottom of the horizontal unit 641.

그리고, 수직유닛(642)은 저면에 플랜지(643)가 형성되어 이동대차(70)의 상면에 볼팅결합 된다.And, the vertical unit 642 has a flange 643 formed on the bottom and is bolted to the top of the mobile cart 70.

이동대차(70)는 지면을 따라 구름이동하는 복수개의 바퀴(71)를 포함한다.The mobile cart 70 includes a plurality of wheels 71 that roll along the ground.

그리고, 이동대차(70)의 상면 가장자리에는 작업자가 파지하는 손잡이(72)가 형성된다.Additionally, a handle 72 for the operator to grip is formed on the upper edge of the mobile cart 70.

따라서, 지지프레임(13)에 전,후진 이동판(61)을 셋팅한 다음에는, 손잡이(72)를 파지한 다음 이동대차(70)를 이동시켜 회동가이드부(64)를 전,후진 이동판(61)의 전방에 위치시키면 된다.Therefore, after setting the forward and backward moving plate 61 on the support frame 13, hold the handle 72 and then move the moving cart 70 to move the rotation guide portion 64 to the forward and backward moving plate. Just place it in front of (61).

이동대차(70)에는 구동실린더(68)에 유압을 공급하는 유압탱크가 탑재된다.The mobile truck 70 is equipped with a hydraulic tank that supplies hydraulic pressure to the driving cylinder 68.

회동판(65)은 상측에 수평유닛(641)의 둘레면을 감싸는 형태로 장착되는 적어도 2개 이상의 회전링(651)을 포함하여, 전,후진 이동판(61)에 대해 가까워지거나 멀어지는 방향으로 그네운동 할 수 있다.The rotating plate 65 includes at least two rotating rings 651 mounted on the upper side in a form surrounding the circumferential surface of the horizontal unit 641, and moves in a direction closer to or farther away from the forward and backward moving plate 61. You can do swing exercise.

회동판(65)은 대략 사각판 형상으로 형성될 수 있으며, 후면에 고리(652)가 형성된다.The rotating plate 65 may be formed in a substantially square plate shape, and a ring 652 is formed on the rear side.

판스프링(66)은 회동판(65)의 전면, 즉 전,후진 이동판(61)과 마주하는 면에 적어도 하나 이상으로 결합된다.At least one leaf spring 66 is coupled to the front of the rotating plate 65, that is, the surface facing the forward and backward moving plates 61.

판스프링(66)은 대략 'ㄷ'자 단면 형상으로 형성되어 전,후진 이동판(61)을 탄성적으로 지지한다.The leaf spring 66 is formed in a roughly 'ㄷ' cross-sectional shape and elastically supports the forward and backward moving plates 61.

이때, 판스프링(66)은 코일형상의 스프링으로 대체될 수 있다.At this time, the leaf spring 66 can be replaced with a coil-shaped spring.

판스프링(66)은 회동판(65)이 그네 운동에 의해 전진될 시 전,후진 이동판(61)의 타면을 타격한다.The leaf spring 66 strikes the other surface of the forward and backward moving plate 61 when the rotating plate 65 moves forward by the swing movement.

판스프링(66) 중 회동판(65)을 타격하는 영역에는 고무 또는 실리콘 재질로 형성되는 완충부(661)가 장착될 수 있다.A buffer portion 661 made of rubber or silicon may be installed in the area of the leaf spring 66 that hits the rotating plate 65.

완충부(661)는 저면이 개방되고 내부에 빈 공간이 형성된 다각블록 형상으로 형성되어 판스프링(66) 중 회동판(65)을 타격하는 영역에 장착될 수 있다.The buffer portion 661 is formed in the shape of a polygonal block with an open bottom and an empty space inside, and can be mounted on the area that strikes the rotating plate 65 of the leaf spring 66.

이러한 완충부(661)를 통해 전,후진 이동판(61)에 가해지는 충격을 완충할 수 있다.The shock applied to the forward and backward moving plates 61 can be cushioned through this buffer portion 661.

그리고, 판스프링(66)은 코일스프링(62)의 탄성력으로 후진되는 전,후진 이동판(61)을 탄성적으로 지지한다.And, the leaf spring 66 elastically supports the forward and backward moving plates 61 that are moved backward by the elastic force of the coil spring 62.

이를 위해, 회동판(65)의 양측에는 자석 또는 전자석으로 형성되는 복수개의 홀딩부(653)가 일정간격으로 결합되고, 한 쌍의 수직유닛(642)에는 홀딩부(653)와 대응되는 위치마다 금속재질 또는 홀딩부(653)와 반대 극성을 갖는 자석으로 형성되는 부착유닛(644)이 결합될 수 있다.For this purpose, a plurality of holding units 653 formed of magnets or electromagnets are coupled at regular intervals on both sides of the rotating plate 65, and a pair of vertical units 642 are provided at each position corresponding to the holding units 653. An attachment unit 644 made of a metal material or a magnet with an opposite polarity to the holding portion 653 may be coupled.

즉, 회동판(65)은 최초 수직유닛(642)의 사이 영역에 배치된 상태에서 후술되는 전자식 집게부(67) 및 구동실린더(68)에 의해 전,후진 이동판(61)과 멀어지는 방향으로 회동되었다가 자중에 의해 전,후진 이동판(61)과 가까워지는 방향으로 회동되는데, 회동판(65)은 전,후진 이동판(61)과 가까워지는 방향으로 회동되다가 홀딩부(653)가 부착유닛(644)에 부착됨으로 인해 정지하게 되고, 이로 인해 판스프링(66)이 정지된 상태로 전,후진 이동판(61)을 탄성적으로 지지하게 되는 것이다.That is, the rotating plate 65 is disposed in the area between the first vertical units 642 and is moved in a direction away from the forward and backward moving plate 61 by the electronic gripper 67 and the driving cylinder 68, which will be described later. It is rotated and then rotated in a direction closer to the forward and backward moving plate 61 by its own weight. The rotating plate 65 is rotated in a direction closer to the forward and backward moving plate 61 and then the holding part 653 is attached. As it is attached to the unit 644, it stops, and as a result, the leaf spring 66 elastically supports the forward and backward moving plate 61 in a stopped state.

이때, 판스프링(66)은 코일형상의 코일스프링(62)으로 적용될 수 있으며, 이 경우 완충부(661)는 중공을 갖는 원 형상으로 형성되어 코일스프링(62)의 끝단에 장착될 수 있다.At this time, the leaf spring 66 may be applied as a coil-shaped coil spring 62, and in this case, the buffer portion 661 may be formed in a hollow circular shape and mounted on the end of the coil spring 62.

따라서, 완충부(661)에는 후진되는 전,후진 이동판(61)이 충돌하게 된다.Accordingly, the forward and backward moving plates 61 collide with the buffer portion 661.

전자식 집게부(67)는 회동판(65)의 후방에서 고리(652)를 파지하도록 마련된다.The electronic clamp unit 67 is provided to hold the ring 652 at the rear of the rotating plate 65.

전자식 집게부(67)는 공지의 인형뽑기용 집게와 동일한 구조로 이루어져, 집게 유닛(671)들이 오므려져 고리(652)를 파지하거나 또는, 집게 유닛(671)이 서로 벌어져 고리(652)를 놓는 기능을 수행한다.The electronic clamp unit 67 has the same structure as the known claw claw tongs, and the clamp units 671 are retracted to hold the ring 652, or the clamp units 671 are spread apart to place the ring 652. performs its function.

전자식 집게부(67)의 집게 유닛(671)들은 각각 공압실린더(미도시)에 의해 작동하여 오므려지거나 또는 서로 벌어지게 된다.The clamp units 671 of the electronic clamp unit 67 are each operated by a pneumatic cylinder (not shown) to close or spread apart.

이러한 전자식 집게부(67)는 인형뽑기용 집게 등과 같이 다양한 기술분야에서 상용화된 기술이므로 구체적인 설명은 생략한다.Since this electronic tongs 67 is a technology that has been commercialized in various technical fields such as claw tongs, a detailed description will be omitted.

구동실린더(68)는 이동대차(70)의 상면에 상,하 방향으로 회동가능하게 힌지 결합된다.The driving cylinder 68 is hinged to the upper surface of the mobile cart 70 so as to be rotatable in the up and down directions.

구동실린더(68)는 유압실린더로 형성될 수 있다.The driving cylinder 68 may be formed as a hydraulic cylinder.

구동실린더(68)는 전자식 집게부(67)가 고리(652)를 파지한 후 잡아 당기도록, 전자식 집게부(67)를 고리(652)에 대해 전진 또는 후진시킨다.The driving cylinder 68 advances or retracts the electromagnetic tongs 67 with respect to the ring 652 so that the electromagnetic tongs 67 grips and pulls the ring 652.

구동실린더(68)는 전술한 바와 같이, 이동대차(70)의 상면에 힌지 결합됨으로, 전자식 집게가 그네운동하는 회동판(65)에 결합된 고리(652)를 소정거리로 당기도록 작동할 수 있다.As described above, the driving cylinder 68 is hinged to the upper surface of the mobile cart 70, so that the electronic tongs can operate to pull the ring 652 coupled to the rotating plate 65 to a predetermined distance. there is.

즉, 구동실린더(68)는 피스톤이 후진되어 전자식 집게부(67)를 후진시킬 때, 힌지를 기준으로 상 방향으로 회동되어 회동판(65)을 전,후진 이동판(61)과 멀어지는 방향으로 회동시킬 수 있다.That is, when the piston moves backward and the electronic gripper 67 moves backward, the driving cylinder 68 rotates upward with respect to the hinge to move the rotating plate 65 in a direction away from the forward and backward moving plate 61. It can be rotated.

이때, 집게부는 집게유닛만 외부로 노출되도록 사각박스 형상의 포켓(미도시)에 수납될 수 있으며, 포켓과 구동실린더(68)의 피스톤은 힌지결합되는 형태로 구현될 수도 있다.At this time, the clamp unit may be stored in a rectangular box-shaped pocket (not shown) so that only the clamp unit is exposed to the outside, and the pocket and the piston of the driving cylinder 68 may be implemented in a hinged manner.

이와 같은 경우에 구동실린더(68) 및 전자식 집게부(67)가 회동되면서 회동판(65)을 일정 거리 및 각도로 회동시킬 수 있다.In this case, the driving cylinder 68 and the electromagnetic gripper 67 are rotated so that the rotating plate 65 can be rotated at a certain distance and angle.

이때, 구동실린더(68)는 이동대차(70)의 상면에 수평형태로 설치된 상태를 기준으로 상 방향으로 약 30도 내지 90도 정도 회동될 수 있다.At this time, the driving cylinder 68 may be rotated upward by approximately 30 to 90 degrees based on the horizontal installation on the upper surface of the mobile cart 70.

이를 위해 이동대차(70)에는 상 방향으로 회동된 구동실린더(68)를 지지하는 지지대(73)가 설치될 수 있다.For this purpose, a support 73 may be installed on the mobile cart 70 to support the driving cylinder 68 rotated upward.

즉, 지지대(73)를 통해 구동실린더(68)의 상 방향 회동각도를 제한할 수 있다.That is, the upward rotation angle of the driving cylinder 68 can be limited through the support 73.

다음으로, 이상 설명한 이물질 제거부(60)의 작동에 대해 설명한다.Next, the operation of the foreign matter removal unit 60 described above will be described.

먼저, 드라이 쿨링 코일(11)을 조립하여 모듈화 한 다음 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 지면에 안착한다.First, the dry cooling coil 11 is assembled and modularized, and then the dry cooling coil module 10 is seated on the ground.

이후, 지지프레임(13)의 내부 빈 공간에 코일스프링(62) 및 충돌부(63)가 일정간격으로 결합된 전,후진 이동판(61)을 위치시키면서 전,후진 이동판(61)의 양측에 형성된 슬라이더(611)를 2개의 수평부(133)에 각각 장착한다.Thereafter, the forward and backward moving plates 61, in which the coil springs 62 and the collision parts 63 are combined at regular intervals, are placed in the empty space inside the support frame 13, and the forward and backward moving plates 61 are moved on both sides. The sliders 611 formed in are mounted on each of the two horizontal portions 133.

이때, 슬라이더(611)는 수평부(133)의 상면과 양측면을 감싸는 상태로 장착된다.At this time, the slider 611 is mounted to surround the top and both sides of the horizontal portion 133.

이후에, 이동대차(70)를 통해 회동가이드부(64)를 옮겨서 전,후진 이동판(61)의 전방에 위치시킨다.Afterwards, the rotation guide part 64 is moved through the mobile cart 70 and placed in front of the forward and backward moving plate 61.

이로 인해, 회동가이드부(64) 및 회동판(65)은 전,후진 이동판(61)이 마주하게 된다.Due to this, the forward and backward moving plates 61 of the rotation guide portion 64 and the rotation plate 65 face each other.

이후, 구동실린더(68) 및 전자식 집게부(67)를 통해 회동판(65)을 전,후진 이동판(61)과 멀어지는 방향으로 회동시킨다.Thereafter, the rotating plate 65 is rotated in a direction away from the forward/backward moving plate 61 through the driving cylinder 68 and the electronic clamp unit 67.

일 예로, 구동실린더(68) 및 전자식 집게부(67)는 송신부(미도시) 원리로 무선 제어될 수 있다.As an example, the driving cylinder 68 and the electronic clamp unit 67 may be wirelessly controlled using the principle of a transmitter (not shown).

송신부는 조이스틱이나 리모콘으로 형성될 수 있다.The transmitting unit can be formed as a joystick or remote control.

송신부에는 전자식 집게부(67)의 집게 유닛(671)을 오므리기 위한 제1 버튼과, 집게 유닛(671)을 벌리기 위한 제2 버튼과, 구동실린더(68)에 유압을 공급하여 피스톤을 전진시키는 제3 버튼 및 구동실린더(68)에서 유압을 회수하기 위한 제4 버튼이 각각 형성될 수 있다.The transmitting unit includes a first button for retracting the clamp unit 671 of the electronic clamp unit 67, a second button for opening the clamp unit 671, and a button for supplying hydraulic pressure to the driving cylinder 68 to advance the piston. A third button and a fourth button for recovering hydraulic pressure from the driving cylinder 68 may be formed, respectively.

따라서, 제3 버튼을 눌러서 피스톤을 전진시켜 전자식 집게부(67)가 고리(652)에 위치되도록 한 다음, 제1 버튼을 눌러서 집게 유닛(671)이 고리(652)를 파지하도록 한 후, 제4 버튼을 눌러서 집게 유닛(671)이 회동판(65)을 전,후진 이동판(61)과 멀어지는 방향으로 회동되도록 한 다음, 제2 버튼을 눌러서 집게 유닛(671)이 고리(652)를 놓도록 하면 회동판(65)이 자중에 의해 전,후진 이동판(61)과 가까워지는 방향으로 회동된다.Accordingly, by pressing the third button to advance the piston so that the electronic clamp unit 67 is positioned on the ring 652, and then by pressing the first button so that the clamp unit 671 grips the ring 652, 4 Press the button so that the clamp unit 671 rotates the rotating plate 65 in a direction away from the forward and backward moving plate 61, and then press the second button so that the clamp unit 671 releases the hook 652. If so, the rotating plate 65 is rotated in a direction closer to the forward and backward moving plate 61 by its own weight.

이때, 구동실린더(68)는 이동대차(70)에 힌지결합됨으로 인해 상 방향으로 소정각도 회동되지만 전자식 집게부(67)가 고리(652)를 놓으면 자중에 의해 하 방향으로 회동되어 원상태로 복원된다.At this time, the driving cylinder 68 is hinged to the mobile cart 70 and is rotated upward at a predetermined angle, but when the electronic clamp unit 67 releases the ring 652, it is rotated downward by its own weight and is restored to its original state. .

그리고, 구동실린더(68)가 원상태로 복원되지 않을 경우, 작업자가 구동실린더(68)를 하 방향으로 눌러서 이동대차(70)의 상면에 안착시키면 된다.And, if the driving cylinder 68 is not restored to its original state, the operator can press the driving cylinder 68 downward to seat it on the upper surface of the mobile cart 70.

계속해서, 회동판(65)이 자중에 의해 전,후진 이동판(61)과 가까워지는 방향으로 회동될 시 판스프링(66)이 전,후진 이동판(61)을 타격하고, 전,후진 이동판(61)은 드라이 쿨링 코일(11) 방향에 대해 전진된다. 이로 인해 충돌부(63)가 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에 충돌되어 진동을 발생시킨다. 이러한 진동에 의해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에 붙어 있는 먼지와 같은 이물질이 털려져 제거된다.Subsequently, when the rotating plate 65 is rotated in a direction closer to the forward and backward moving plate 61 by its own weight, the leaf spring 66 strikes the forward and backward moving plate 61 and moves forward and backward. The plate 61 is advanced relative to the direction of the dry cooling coil 11. As a result, the collision portion 63 collides with the dry cooling coil module 10 and generates vibration. Due to this vibration, foreign substances such as dust attached to the dry cooling coil module 10 are shaken off and removed.

이때, 회동판(65)은 홀딩부(653)가 부착유닛(644)에 부착됨으로 인해 고정된 상태를 유지하고, 충돌부(63)가 드라이 쿨링 코일(11)에 충돌됨으로 인해 코일스프링(62)이 압축되었다가 팽창되어 전,후진 이동판(61)이 고정된 상태의 회동판(65) 방향으로 후진되어 판스프링(66)에 충돌된다.At this time, the rotating plate 65 maintains a fixed state due to the holding part 653 being attached to the attachment unit 644, and the coil spring 62 due to the collision part 63 colliding with the dry cooling coil 11. ) is compressed and then expanded, so that the forward and backward moving plate 61 moves backward in the direction of the fixed rotating plate 65 and collides with the leaf spring 66.

따라서, 판스프링(66)은 압축되었다가 팽창되면서 전,후진 이동판(61)을 드라이 쿨링 코일(11) 방향으로 튕겨낸다. 이로 인해 충돌부(63)가 다시 드라이 쿨링 코일(11)에 충돌되어 이물질을 털어낸다.Accordingly, the leaf spring 66 is compressed and expanded to bounce the forward and backward moving plate 61 in the direction of the dry cooling coil 11. As a result, the collision portion 63 collides with the dry cooling coil 11 again to shake off foreign substances.

즉, 판스프링(66)과 코일스프링(62)의 압축 팽창 작용에 의해 전,후진 이동판(61)이 반복적으로 전진 및 후진되어 충돌부(63)가 드라이 쿨링 코일(11)에 반복적으로 충돌되어, 이물질 제거부(60)를 통해 이물질 제거 공정이 반복적으로 수행되는 것이다.That is, the forward and backward moving plate 61 repeatedly moves forward and backward due to the compression and expansion action of the leaf spring 66 and the coil spring 62, so that the collision portion 63 repeatedly collides with the dry cooling coil 11. Thus, the foreign matter removal process is repeatedly performed through the foreign matter removal unit 60.

그리고, 드라이 쿨링 코일(11)에서 털려져 낙하된 이물질은 빗자루나 진공청소기로 제거하면 된다.Additionally, foreign matter that has fallen from the dry cooling coil 11 can be removed with a broom or vacuum cleaner.

부가적으로, 판스프링(66)과 코일스프링(62)의 압축, 팽창 작용이 약해져 전,후진 이동판(61)의 전,후진 거리가 줄어들고, 이로 인해 충돌부(63)가 드라이 쿨링 코일(11)에 충돌되지 아니할 경우, 작업자는 다시 송신부를 통해 구동실린더(68) 및 전자식 집게부(67)를 제어하여 이물질 제거작업을 추가로 수행하면 된다.Additionally, the compression and expansion actions of the leaf spring 66 and the coil spring 62 are weakened, so the forward and backward distances of the forward and backward moving plates 61 are reduced, and this causes the collision portion 63 to be replaced with a dry cooling coil ( If it does not collide with 11), the operator can control the driving cylinder 68 and the electronic clamp unit 67 again through the transmitter to perform additional foreign matter removal work.

즉, 전술한 바와 같이 제3 버튼과, 제1 버튼과, 제4 버튼 및 제2 버튼을 순차적으로 눌러서 회동판(65)을 그네 운동시킴으로써, 판스프링(66)이 전,후진 이동판(61)을 타격하고, 충돌부(63)가 드라이 쿨링 코일 모듈에 반복적으로 충돌되도록 하면 되는 것이다.That is, as described above, by sequentially pressing the third button, the first button, the fourth button, and the second button to swing the rotating plate 65, the leaf spring 66 moves the forward and backward moving plate 61. ) and cause the collision part 63 to collide repeatedly with the dry cooling coil module.

이때, 전,후진 이동판(61)은 소정의 무게를 갖도록 형성되어 충돌부(63)가 드라이 쿨링 코일 모듈에 이물질 제거에 필요한 충격 및 진동력을 충분히 부여할 수 있다.At this time, the forward and backward moving plates 61 are formed to have a predetermined weight so that the collision portion 63 can sufficiently provide the impact and vibration force necessary to remove foreign substances to the dry cooling coil module.

한편, 전술한 전자식 집게부(67)와, 구동실린더(68)와, 홀딩부(653) 및 부착유닛(644)은 생략될 수 있다. 이와 같은 경우, 작업자가 회동판(65)을 전,후진 이동판(61)과 멀어지는 방향으로 회동시킨 다음 손을 놓으면 회동판(65)이 자중에 의해 전,후진 이동판(61) 방향으로 회동되어 판스프링(66)이 전,후진 이동판(61)을 타격할 수 있다.Meanwhile, the above-described electronic gripper 67, driving cylinder 68, holding part 653, and attachment unit 644 may be omitted. In this case, when the worker rotates the rotating plate 65 in a direction away from the forward and backward moving plate 61 and then releases his/her hand, the rotating plate 65 rotates in the direction of the forward and backward moving plate 61 by its own weight. This allows the leaf spring 66 to hit the forward and backward moving plates 61.

그리고, 작업자는 추가로 회동판(65)이 수직유닛(642)의 사이에 위치한 상태를 유지하도록 회동판(65)을 잡고 있으면 된다. 이로 인해 전,후진 이동판(61)이 후진될 시 판스프링(66)에 튕겨져 다시 드라이 쿨링 코일(11) 방향으로 전진된다.Additionally, the operator only needs to hold the rotating plate 65 to maintain the rotating plate 65 positioned between the vertical units 642. As a result, when the forward/backward moving plate 61 moves backward, it is bounced by the leaf spring 66 and moves forward again toward the dry cooling coil 11.

한편, 정밀위치조절부(80)는 풍도(2)구간의 바닥에 위치된 상태에서 지지프레임(13)에 연결설치되어, 크레인(30)에 의해 부양되어 있는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)를 가이드레일(50)의 상부측에 정확하게 위치시키기 위한 구성이다.Meanwhile, the precision position control unit 80 is connected to the support frame 13 while located at the bottom of the airway section 2, and is used to control the dry cooling coil module 10 suspended by the crane 30. This is a configuration for accurately positioning the first member 12a and the second member 12b on the upper side of the guide rail 50.

이를 위해 정밀위치조절부(80)는 도 12 내지 도 14에 도시된 바와 같이, 감쌈부(81)와, 서포트(82)와, 고정핀(83)과, 이동대차(84)와, 전,후진 실린더(85) 및 좌,우 이동실린더(86)를 포함한다.For this purpose, as shown in FIGS. 12 to 14, the precise positioning unit 80 includes a wrapping unit 81, a support 82, a fixing pin 83, a mobile cart 84, a front, It includes a reverse cylinder (85) and left and right moving cylinders (86).

2개 한 쌍으로 구성되어 감쌈부(81)는 어느 하나의 지지프레임(13)을 구성하는 한 쌍의 제1 수직부(131)에 각각 장착된다.Consisting of two pairs, the wrapping parts 81 are each mounted on a pair of first vertical parts 131 constituting one support frame 13.

감쌈부(81)는 각각의 제1 수직부(131) 전면과 측면 및 후면을 동시에 감싸도록 대략 'ㄷ'자 단면 형상으로 형성될 수 있다.The wrapping portion 81 may be formed in an approximately 'ㄷ' shaped cross-sectional shape to simultaneously surround the front, side, and rear of each first vertical portion 131.

서포트(82)는 2개 한 쌍으로 구성되어, 감쌈부(81)를 각각 승강시킨다.The supports 82 are composed of a pair and each raises and lowers the wrapping portion 81.

이를 위해 서포트(82)는 제1 서포트유닛(821) 및 제2 서포트유닛(822)을 포함한다.For this purpose, the support 82 includes a first support unit 821 and a second support unit 822.

제1 서포트유닛(821)은 중공을 갖는 파이프 형상으로 형성될 수 있다.The first support unit 821 may be formed in the shape of a hollow pipe.

제1 서포트유닛(821)은 상면이 개방되고 내부에 승강공간이 수직길이방향을 따라 형성된다.The first support unit 821 has an open upper surface and a lifting space is formed inside along the vertical longitudinal direction.

제1 서포트유닛(821)의 수직길이 방향을 따라서는 복수개의 높낮이 조절홀(821a)이 일정간격으로 형성된다.A plurality of height adjustment holes 821a are formed at regular intervals along the vertical length direction of the first support unit 821.

높낮이 조절홀(821a)은 제1 서포트유닛(821)을 수평방향으로 관통하는 형태로 형성된다. 그리고, 각각의 높낮이 조절홀(821a)은 승강공간과 연결된다.The height adjustment hole 821a is formed to penetrate the first support unit 821 in the horizontal direction. And, each height adjustment hole 821a is connected to the lifting space.

제2 서포트유닛(822)은 상면이 감쌈부(81)의 저면에 결합된다.The upper surface of the second support unit 822 is coupled to the lower surface of the wrapping unit 81.

제2 서포트유닛(822)은 일정영역이 제1 서포트유닛(821)의 승강공간에 수용되며, 나머지 영역은 제1 서포트유닛(821)의 상측으로 돌출된다.A certain area of the second support unit 822 is accommodated in the lifting space of the first support unit 821, and the remaining area protrudes upward from the first support unit 821.

제2 서포트유닛(822)은 제1 서포트유닛(821)의 승강공간을 따라 승강되면서 감쌈부(81)의 높낮이를 가변시킬 수 있다.The second support unit 822 can change the height of the wrapping unit 81 while being raised and lowered along the lifting space of the first support unit 821.

즉, 제2 서포트유닛(822)을 상승 또는 하강시켜 감쌈부(81)를 제1 수직부(131)의 높이에 대응되게 위치시킬 수 있다.That is, the wrapping part 81 can be positioned to correspond to the height of the first vertical part 131 by raising or lowering the second support unit 822.

제2 서포트유닛(822)의 하측에는 복수개의 높낮이 조절홀(821a) 중 어느 하나와 수평선상에 위치되는 연결홀(822a)이 형성된다.On the lower side of the second support unit 822, one of a plurality of height adjustment holes 821a and a connection hole 822a located on a horizontal line are formed.

즉, 연결홀(822a)은 제2 서포트유닛(822)의 승강 높이에 따라 어느 하나의 높낮이 조절홀(821a)과 수평선상에 위치된다.That is, the connection hole 822a is located on a horizontal line with one of the height adjustment holes 821a according to the lifting height of the second support unit 822.

고정핀(83)은 제2 서포트유닛(822)를 상승 또는 하강시켜 감쌈부(81)를 제1 수직부(131)에 위치시킨 후 어느 하나의 높낮이 조절홀(821a) 및 연결홀(822a)에 공동으로 삽입되어 높낮이 조절된 제2 서포트유닛(822)을 고정시킨다.The fixing pin 83 raises or lowers the second support unit 822 to position the wrapping part 81 on the first vertical part 131, and then connects the height adjustment hole 821a and the connection hole 822a. The second support unit 822, which is jointly inserted and adjusted in height, is fixed.

이동대차(84)는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 가이드레일(50)의 상부측에 위치시키는 작업을 수행할 시 공정실(1)의 바닥면에 위치된다.The mobile truck 84 is located on the floor of the process room 1 when performing the task of positioning the dry cooling coil module 10 on the upper side of the guide rail 50.

이동대차(84)는 지면을 따라 구름이동하는 복수개의 바퀴(841)를 포함할 수 있다.The mobile cart 84 may include a plurality of wheels 841 that roll along the ground.

그리고, 이동대차(84)의 상면 가장자리에는 작업자가 파지하는 손잡이(842)가 형성된다.Additionally, a handle 842 for the operator to grip is formed on the upper edge of the mobile cart 84.

따라서, 크레인(30)으로 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 설치용 구조물(40)의 상면에 안착된 한 쌍의 가이드레일(50)의 상부측에 위치시킨 다음, 작업자는 손잡이(842)를 통해 이동대차(84)를 공정실(1)의 바닥면으로 이동시키면 된다.Therefore, the dry cooling coil module 10 is placed on the upper side of the pair of guide rails 50 mounted on the upper surface of the installation structure 40 using the crane 30, and then the operator moves it through the handle 842. Simply move the cart 84 to the floor of the process room 1.

이동대차(84)의 손잡이(842)의 중앙부분에는 후술되는 전,후진 실린더(85) 및 좌,우 이동실린더(86)의 작동을 제어하기 위한 제어판넬(843)이 설치될 수 있다.A control panel 843 may be installed in the central portion of the handle 842 of the mobile cart 84 to control the operation of the forward and backward cylinders 85 and the left and right moving cylinders 86, which will be described later.

제어판넬(843)에는 전,후진 실린더(85)의 피스톤을 전진 시키는 전진 버튼과, 피스톤을 후진시키는 후진 버튼과, 좌,우 이동실린더(86)의 피스톤을 좌측 방향으로 이동시키는 좌측 이동 버튼 및 좌,우 이동실린더(86)의 피스톤을 우측 방향으로 이동시키는 우측 이동 버튼이 각각 마련된다.The control panel 843 includes a forward button that advances the piston of the forward and backward cylinders (85), a reverse button that moves the piston backward, a left movement button that moves the piston of the left and right moving cylinders (86) to the left, and A right movement button is provided to move the pistons of the left and right movement cylinders 86 in the right direction.

전,후진 실린더(85)는 2개 한 쌍으로 구성되며, 이동대차(84)에 서로 일정간격 이격되도록 탑재된다.The forward and backward cylinders (85) are composed of two pairs and are mounted on the mobile cart (84) at a certain distance from each other.

전,후진 실린더(85)의 일정영역은 이동대차(84)의 외측으로 돌출되어 좌,우 이동 실린더를 이동대차(84)의 상측에 위치시키거나 또는 이동대차(84)에서 이탈시킬 수 있다.Certain areas of the forward and backward cylinders 85 protrude to the outside of the mobile cart 84, so that the left and right moving cylinders can be positioned on the upper side of the mobile cart 84 or separated from the mobile cart 84.

이러한 전,후진 실린더(85)는 로드레스 실린더 또는 리니어 실린더로 형성될 수 있다.These forward and backward cylinders 85 may be formed as rodless cylinders or linear cylinders.

좌,우 이동실린더(86)는 전,후진 실린더(85)에 의해 전진될 시 지지프레임(13)의 제1 수직부(131)와 가까워지며, 감쌈부(81)를 제1 수직부(131) 방향으로 이동시킬 수 있다.When the left and right moving cylinders 86 are advanced by the forward and backward cylinders 85, they come close to the first vertical part 131 of the support frame 13, and the wrapping part 81 is moved to the first vertical part 131. ) can be moved in the direction.

좌,우 이동실린더(86)는 2개 한 쌍으로 구성되어, 전,후진 실린더(85)의 피스톤에 각각 탑재된다.The left and right moving cylinders (86) are composed of a pair and are mounted on the pistons of the forward and backward cylinders (85), respectively.

좌,우 이동실린더(86)는 전,후진 실린더(85)에 교차되는 형태로 탑재된다.The left and right moving cylinders (86) are mounted in an alternating form on the forward and backward cylinders (85).

따라서, 전,후진 실린더(85)와 좌,우 이동실린더(86)를 평면에서 바라본 형상은 대략 열십자 형상을 이룬다.Accordingly, the shape of the forward and backward cylinders 85 and the left and right moving cylinders 86 when viewed from a plane is roughly criss-cross shaped.

좌,우 이동실린더(86)는 전,후진 실린더(85)에 의해 제1 수직부(131)에 대해 전진 또는 후진된다.The left and right moving cylinders 86 move forward or backward with respect to the first vertical portion 131 by the forward and backward cylinders 85.

좌,우 이동실린더(86)는 로드레스 실린더 또는 리니어 실린더로 형성되어, 감쌈부(81)를 각각 좌,우 방향으로 이동시켜 제1 수직부(131)를 감싸도록 할 수 있다.The left and right moving cylinders 86 are formed as rodless cylinders or linear cylinders, and can move the wrapping part 81 in the left and right directions, respectively, to surround the first vertical part 131.

이 상태에서 좌,우 이동실린더(86)는 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)를 가이드레일(50)의 상부측에 각각 위치시키도록 서포트(82)를 각각 좌,우 방향으로 이동시킨다.In this state, the left and right moving cylinders 86 move the support 82 in the left and right directions, respectively, to position the first member 12a and the second member 12b on the upper side of the guide rail 50. Move it.

이때, 좌,우 이동실린더(86)의 피스톤의 상면에는 수평판(861)이 탑재되고, 제1 서포트유닛(821)은 수평판(861)의 상면 끝부분에 고정된다.At this time, a horizontal plate 861 is mounted on the upper surface of the piston of the left and right moving cylinders 86, and the first support unit 821 is fixed to the end of the upper surface of the horizontal plate 861.

제1 서포트유닛(821)이 수평판(861)의 끝부분에 편심되게 고정됨으로, 크레인(30)을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 하강시킬 때, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)이 좌,우 이동실린더(86)에 접촉되는 것을 방지할 수 있다.Since the first support unit 821 is eccentrically fixed to the end of the horizontal plate 861, when the dry cooling coil module 10 is lowered through the crane 30, the dry cooling coil module 10 moves to the left, It is possible to prevent contact with the right moving cylinder (86).

다음으로, 이상 설명한 정밀위치조절부(80)의 작동에 대해 설명한다.Next, the operation of the precision position control unit 80 described above will be described.

먼저, 크래인을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 가이드레일(50)의 상부측에 위치시킨다.First, the dry cooling coil module 10 is placed on the upper side of the guide rail 50 through a crane.

이때, 결속끈(20)에 매달려 있는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 전,후,좌,우 등으로 방향으로 흔들릴 수 있다. 이로 인해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)이 흔들림을 멈출때까지 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)를 한 쌍의 가이드레일(50) 상부측에 정확히 위치시킬 수 없다.At this time, the dry cooling coil module 10 hanging on the binding string 20 may be shaken in directions such as forward, backward, left, and right. Because of this, the first member 12a and the second member 12b cannot be accurately positioned on the upper side of the pair of guide rails 50 until the dry cooling coil module 10 stops shaking.

따라서, 제어패널을 통해 한 쌍의 전,후진 실린더(85)를 조작하여 좌,우 이동실린더(86)를 각각 전진시켜, 한 쌍의 감쌈부(81)를 한 쌍의 제1 수직부(131) 일측에 각각 배치시킨다.Therefore, by manipulating the pair of forward and backward cylinders 85 through the control panel to advance the left and right moving cylinders 86, respectively, the pair of wrapping parts 81 are moved to the pair of first vertical parts 131. ) Place each on one side.

이때, 전술한 바와 같이 좌,우 이동실린더(86)는 전,후진 실린더(85)에 의해 전진될 시 이동대차(84)의 전방측으로 소정거리 돌출된다.At this time, as described above, when the left and right moving cylinders 86 are advanced by the forward and backward cylinders 85, they protrude a predetermined distance toward the front of the moving bogie 84.

이후, 제어패널을 통해 한 쌍의 좌,우 이동실린더(86)를 조작하여 감쌈부(81)가 서로 가까워지는 방향으로 이동하도록 함으로써, 제1 수직부(131)를 각각 감싸도록 한다.Thereafter, the pair of left and right moving cylinders 86 are operated through the control panel to move the wrapping parts 81 in a direction closer to each other, thereby wrapping the first vertical part 131, respectively.

이때, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 흔들림이 심할 경우 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 양측에서 작업자가 제1 수직부(131)나 하부프레임(12)을 잡아서 흔들림을 감소시키면 된다.At this time, if the shaking of the dry cooling coil module 10 is severe, the worker can hold the first vertical part 131 or the lower frame 12 on both sides of the dry cooling coil module 10 to reduce the shaking.

이후에, 제어패널을 통해 좌,우 이동실린더(86)를 조작하여 제1 수직부(131)를 감싸고 있는 감쌈부(81)를 가이드레일(50)의 위치에 대응되는 방향으로 이동시켜 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)가 가이드레일(50)과 수직선상에 위치되도록 하면 된다.Afterwards, the left and right moving cylinders 86 are operated through the control panel to move the wrapping part 81 surrounding the first vertical part 131 in the direction corresponding to the position of the guide rail 50 to move the first vertical part 131 to the first position. The member 12a and the second member 12b may be positioned perpendicular to the guide rail 50.

도 에 도시된 바와 같이, 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)가 가이드레일(50)의 좌측으로 벗어난 경우, 좌측에 위치된 좌,우 이동실린더(86)를 통해 좌측에 위치된 서포트(82)를 우측으로 소정거리 이동시킴과 아울러 우측에 위치된 좌,우 이동실린더(86)를 통해 우측에 위치된 서포트(82)를 우측으로 소정거리 이동시키면, 좌측에 위치된 감쌈부(81)가 좌측에 위치된 제1 수직부(131)를 우측으로 이동시키게 되어 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)가 한 쌍의 가이드레일(50)과 각각 수직선상에 위치되게 된다.As shown in FIG. , when the first member 12a and the second member 12b deviate to the left side of the guide rail 50, they are moved to the left side through the left and right moving cylinders 86 located on the left side. When the support 82 is moved a predetermined distance to the right and the support 82 located on the right is moved a predetermined distance to the right through the left and right moving cylinders 86 located on the right, the wrapping unit located on the left ( 81) moves the first vertical portion 131 located on the left to the right, so that the first member 12a and the second member 12b are positioned on a vertical line with the pair of guide rails 50. .

이때, 우측에 위치된 감쌈부(81)는 우측에 위치된 제1 수직부(131)를 감싼 상태로 우측으로 이동하게 됨으로, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)이 우측 방향으로 흔들리는 것을 방지할 수 있다.At this time, the wrapping portion 81 located on the right moves to the right while wrapping the first vertical portion 131 located on the right, thereby preventing the dry cooling coil module 10 from shaking to the right. .

계속해서, 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)가 한 쌍의 가이드레일(50)과 각각 수직선상에 위치되면, 크래인을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 하강시킴으로써, 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)를 한 쌍의 가이드레일(50)에 각각 수용시키면 된다.Subsequently, when the first member 12a and the second member 12b are positioned on a vertical line with the pair of guide rails 50, the dry cooling coil module 10 is lowered through a crane, thereby lowering the first member 12a and the second member 12b. (12a) and the second member (12b) can be accommodated in a pair of guide rails (50), respectively.

부가적으로, 정밀위치조절부(80)를 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 흔들림을 방지하면서 위치를 조절한 후, 크레인(30)을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 하강시키는 과정에서 위치가 조절된 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에 흔들림이 발생되지 않는다면 좌,우 이동실린더(86)를 통해 감쌈부(81)를 이동시켜 제1 수직부(131)에서 이탈시킨 다음, 전,후진 실린더(85)를 통해 감쌈부(81)와, 서포트(82)와, 좌,우 이동실린더(86)를 후진시킨 후, 이동대차(84)를 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에 대해 후진 시킨 다음, 크레인(30)을 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 가이드레일(50)에 안착해도 된다.Additionally, after adjusting the position of the dry cooling coil module 10 while preventing it from shaking through the precision position control unit 80, the position is adjusted in the process of lowering the dry cooling coil module 10 through the crane 30. If no shaking occurs in the adjusted dry cooling coil module 10, move the wrapping part 81 through the left and right moving cylinders 86 to separate it from the first vertical part 131, and then move the forward and backward cylinders. After moving the wrapping part 81, the support 82, and the left and right moving cylinders 86 backward through (85), the moving truck 84 is moved backward with respect to the dry cooling coil module 10, The dry cooling coil module 10 may be seated on the guide rail 50 via the crane 30.

한편, 도면에 도시되지는 않았으나 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)가 가이드레일(50)의 우측으로 벗어난 경우, 우측에 위치된 좌,우 이동실린더(86)를 통해 우측에 위치된 서포트(82)를 좌측으로 소정거리 이동시킴과 아울러 좌측에 위치된 좌,우 이동실린더(86)를 통해 좌측에 위치된 서포트(82)를 좌측으로 소정거리 이동시키면, 우측에 위치된 감쌈부(81)가 우측에 위치된 제1 수직부(131)를 좌측으로 이동시키게 되어 제1 부재(12a) 및 제2 부재(12b)가 한 쌍의 가이드레일(50)과 수직선상에 위치되도록 할 수 있다.Meanwhile, although not shown in the drawing, when the first member 12a and the second member 12b deviate to the right side of the guide rail 50, they are positioned on the right side through the left and right moving cylinders 86 located on the right side. When the support 82 located on the left is moved a predetermined distance to the left and the support 82 located on the left is moved a predetermined distance to the left through the left and right moving cylinders 86 located on the left, the wrapping portion located on the right (81) moves the first vertical portion 131 located on the right to the left so that the first member 12a and the second member 12b are positioned on a vertical line with the pair of guide rails 50. You can.

그리고, 좌측에 위치된 감쌈부(81)는 좌측에 위치된 제1 수직부(131)를 감싼 상태로 좌측으로 이동하게 됨으로, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)이 좌측 방향으로 흔들리는 것을 방지할 수 있다.In addition, the wrapping portion 81 located on the left moves to the left while wrapping the first vertical portion 131 located on the left, thereby preventing the dry cooling coil module 10 from shaking in the left direction. .

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈 설치방법에서 가이드레일 설치단계 즉, 가이드레일(50)은 생략될 수 있고, 이로 인해 드라이 쿨링 코일 모듈은 설치용 구조물(40)의 상면에 바로 안착될 수 있다.Meanwhile, in the dry cooling coil module installation method according to an embodiment of the present invention, the guide rail installation step, that is, the guide rail 50, can be omitted, and as a result, the dry cooling coil module is installed directly on the upper surface of the installation structure 40. It can be settled.

이와 같은 경우에도 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 설치용 구조물(40)의 안착함에 있어서, 정밀위치조절부(80)를 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 흔들림을 방지하면서 위치를 조절하여 설치용 구조물(40)의 상면 전체 영역 중 원하는 영역에 안착할 수 있다.Even in this case, when seating the dry cooling coil module 10 on the installation structure 40, the position is adjusted while preventing shaking of the dry cooling coil module 10 through the precision position control unit 80, so that the installation structure ( It can be seated in a desired area among the entire upper surface area of 40).

그리고, 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈 설치방법에서 설치용 구조물 설치단계, 즉, 설치용 구조물(40)도 함께 생략될 수 있으며, 이로 인해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 지지용 구조물(3)의 상면에 바로 안착될 수 있다.In addition, in the dry cooling coil module installation method according to an embodiment of the present invention, the installation structure installation step, that is, the installation structure 40, can also be omitted, and as a result, the dry cooling coil module 10 is a support structure ( 3) It can be placed directly on the upper surface.

이와 같은 경우에도 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 지지용 구조물(3))의 안착함에 있어서, 정밀위치조절부(80)를 통해 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 흔들림을 방지하면서 위치를 조절하여 지지용 구조물(3)의 상면 전체 영역 중 원하는 영역에 안착할 수 있다.Even in this case, when seating the dry cooling coil module 10 on the support structure (3), the position of the dry cooling coil module 10 is adjusted to prevent shaking through the precision position control unit 80. It can be seated in a desired area among the entire upper surface area of the dragon structure (3).

상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above-described embodiments are for illustrative purposes, and those skilled in the art will recognize that the above-described embodiments can be easily modified into other specific forms without changing the technical idea or essential features of the above-described embodiments. You will understand. Therefore, the above-described embodiments should be understood in all respects as illustrative and not restrictive. For example, each component described as unitary may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may also be implemented in a combined form.

본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The scope sought to be protected through this specification is indicated by the patent claims described later rather than the detailed description above, and should be interpreted to include the meaning and scope of the claims and all changes or modified forms derived from the equivalent concept. .

10 : 드라이 쿨링 코일 모듈 11 : 드라이 쿨링 코일
12 : 하부프레임 12a : 제1 부재
12b : 제2 부재 121 : 보강바
13 : 지지프레임 131 : 제1 수직부
132 : 제2 수직부 133 : 수평부
134 : 부가 수평부 14 : 경사프레임
15 : 점검로 20 : 결속끈
21 : 제1 결속끈유닛 21a,22a,652 : 고리
22 : 제2 결속끈유닛 30 : 크레인
31 : 후크 40 : 설치용 구조물
50 : 가이드레일 51 : 돌출편
60 : 이물질 제거부 61 : 전,후진 이동판
611 : 슬라이더 62 : 코일스프링
63 : 충돌부 631 : 경사면
64 : 회동가이드부 641 : 수평유닛
642 : 수직유닛 643 : 플랜지
644 : 부착유닛 65 : 회동판
651 : 회전링 653 : 홀딩부
66 : 판스프링 661 : 완충부
67 : 전자식 집게부 671 : 집게 유닛
68 : 구동실린더 69 : 처짐방지판
70,84 : 이동대차 71,841 : 바퀴
72 : 842 : 손잡이 73 : 지지대
80 : 정밀위치조절부 81 : 감쌈부
82 : 서포트 821 : 제1 서포트유닛
821a : 높낮이 조절홀 822 : 제2 서포트유닛
822a : 연결홀 83 : 고정핀
843 : 제어판넬 85 : 전,후진 실린더
86 : 좌,우 이동실린더 861 : 수평판
10: Dry cooling coil module 11: Dry cooling coil
12: lower frame 12a: first member
12b: second member 121: reinforcing bar
13: Support frame 131: First vertical portion
132: second vertical part 133: horizontal part
134: Additional horizontal part 14: Inclined frame
15: Inspection path 20: Binding string
21: first binding string unit 21a, 22a, 652: ring
22: second binding string unit 30: crane
31: Hook 40: Installation structure
50: Guide rail 51: Projection piece
60: Foreign matter removal unit 61: Forward and backward moving plate
611: Slider 62: Coil spring
63: collision part 631: slope
64: rotation guide unit 641: horizontal unit
642: Vertical unit 643: Flange
644: Attachment unit 65: Rotating plate
651: Rotating ring 653: Holding part
66: leaf spring 661: buffer part
67: Electronic clamp unit 671: Clamp unit
68: Drive cylinder 69: Anti-sag plate
70,84: Mobile truck 71,841: Wheels
72: 842: handle 73: support
80: Precision position control unit 81: Wrapping unit
82: support 821: first support unit
821a: Height adjustment hole 822: Second support unit
822a: Connection hole 83: Fixing pin
843: Control panel 85: Forward and reverse cylinders
86: Left, right moving cylinder 861: Horizontal plate

Claims (3)

반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 설치하는 방법에서,
상기 드라이 쿨링 코일을 조립하여 모듈화하는 모듈화 단계;
상기 드라이 쿨링 코일 모듈에 적어도 하나 이상의 결속끈을 결속하는 결속단계; 및
상기 결속끈을 크레인에 고정한 다음, 상기 크레인을 통해 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 이동시켜 풍도 구간에 설치된 지지용 구조물에 안착시키는 이동단계를 포함하고,
상기 모듈화 단계와 결속단계의 사이 또는, 상기 결속단계와 상기 이동단계의 사이에는, 상기 지지용 구조물의 상면에 상기 드라이 쿨링 코일을 지지하기 위한 복수개의 설치용 구조물을 교차되게 설치하는 구조물 설치단계; 및 상기 설치용 구조물의 상면에 상기 드라이 쿨링 코일 모듈의 이동을 가이드하기 위한 가이드레일을 교차되게 설치하는 가이드레일 설치단계가 더 포함되고,
상기 드라이 쿨링 코일 모듈은,
하부프레임;
상기 하부프레임의 상면 일측과 타측에 각각 배치되는 한 쌍의 지지프레임;
상기 지지프레임에 각각 경사지게 설치되며, 복수개의 드라이 쿨링 코일이 경사각에 대응되는 각도로 설치되는 경사프레임; 및
상기 경사프레임의 사이에 배치되고, 상기 지지프레임의 상면에 설치되는 점검로를 포함하며,
상기 결속끈은,
일측과 타측이 어느 하나의 지지프레임의 일측과 다른 하나의 지지프레임의 타측에 각각 결속되고, 중앙부분이 상기 크레인의 후크에 걸려 고정되는 제1 결속끈유닛; 및
상기 제1 결속끈유닛과 교차되면서 일측과 타측이 어느 하나의 지지프레임의 타측과 다른 하나의 지지프레임의 일측에 각각 결속되며, 중앙부분이 상기 크레인의 후크에 걸려 고정되는 제2 결속끈유닛을 포함하고,
상기 지지프레임은,
상기 하부프레임의 일측과 타측 2개의 모서리 부분에 각각 결합되고, 상측에 상기 경사프레임의 상측이 결합되는 한 쌍의 제1 수직부;
상기 제1 수직부와 각각 이격 배치된 상태로 상기 하부프레임의 상면에 결합되고, 상기 제1 수직부보다 짧은 길이를 갖도록 형성되어 상측에 상기 경사프레임의 중앙부분이 결합되는 한 쌍의 제2 수직부; 및
상기 제1 수직부의 중앙부분과 상기 제2 수직부의 상측을 각각 연결하는 수평부를 포함하고,
상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 상기 풍도 구간에 설치하기 전에 상기 드라이 쿨링 코일에 묻어 있는 이물질을 제거하는 이물질 제거부; 및
상기 크레인에 의해 부양되어 있는 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 상기 가이드레일의 상부측에 위치시키기 위한 정밀위치조절부를 포함하며,
상기 이물질 제거부는,
상기 지지프레임의 내부에 형성된 빈 공간에 각각 배치되며, 양측면에 상기 각각의 수평부 상면과 양측면을 동시에 감싼 상태로 슬라이딩되는 슬라이더가 각각 형성되어 상기 드라이 쿨링 코일 모듈에 대해 전진 또는 후진될 수 있는 전,후진 이동판;
상기 전,후진 이동판의 일면에 서로 일정간격 이격되도록 배치되는 복수개의 코일스프링;
상기 코일스프링에 각각 결합되어 상기 드라이 쿨링 코일에 각각 충돌되어 이물질 제거에 필요한 진동을 발생시킬 수 있으며, 충격감소를 위해 실리콘 또는 고무재질로 형성되는 충돌부;
상기 전,후진 이동판과 마주하도록 배치되는 수평유닛 및 상기 수평유닛을 일정높이로 지지하는 한 쌍의 수직유닛을 포함하고, 이동대차에 의해 위치이동 가능한 회동가이드부;
상기 수평유닛에 장착되는 회전링을 포함하여 상기 전,후진 이동판에 대해 가까워지거나 멀어지는 방향으로 그네운동하고, 후면에 고리가 형성된 회동판;
상기 회동판의 전면에 적어도 하나 이상으로 결합되고, 상기 회동판이 전진될 시 상기 전,후진 이동판의 타면을 타격하며, 상기 전,후진 이동판이 후진될 시 탄성적으로 지지하는 판스프링;
상기 고리를 파지하는 전자식 집게부; 및
상기 이동대차에 상,하 방향으로 회동가능하게 힌지 결합되며, 전자식 집게부가 상기 고리를 파지한 후 잡아 당기도록 상기 전자식 집게부를 상기 고리에 대해 전진 또는 후진시키는 구동실린더를 포함하고,
상기 정밀위치조절부는,
어느 하나의 지지프레임을 구성하는 한 쌍의 제1 수직부에 각각 장착되되, 상기 제1 수직부의 전면과 측면 및 후면을 동시에 감싸도록 'ㄷ'자 단면 형상으로 형성되는 한 쌍의 감쌈부;
상면이 개방되고 내부에 승강공간이 수직길이 방향을 따라 형성되며, 수직방향을 따라 수평방향으로 관통되며 상기 승강공간과 연결되는 높낮이 조절홀이 일정간격으로 형성된 제1 서포트유닛 및 상기 감쌈부에 결합되고, 상기 제1 서포트유닛의 승강공간을 따라 승강되면서 상기 감쌈부의 높낮이를 가변시키고, 하측에는 그 승강 높이에 따라 상기 높낮이 조절홀 중 어느 하나와 수평선상에 위치되는 연결홀이 형성된 제2 서포트유닛을 포함하는 한 쌍의 서포트;
어느 하나의 높낮이 조절홀 및 상기 연결홀에 공동으로 삽입되어 상기 제2 서포트유닛을 고정시키는 한 쌍의 고정핀;
상기 공정실 바닥면에 배치되고, 지면을 따라 이동하는 바퀴를 포함하고, 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 가이드레일의 상부측에 위치시키는 작업을 수행할 시 상기 공정실의 바닥면에 위치되는 이동대차;
상기 이동대차에 탑재되되, 일정영역이 상기 이동대차의 외측으로 돌출되는 한 쌍의 전,후진 실린더; 및
상기 전,후진 실린더에 각각 교차되는 형태로 탑재되고, 상기 전,후진 실린더에 의해 상기 제1 수직부에 대해 전진 또는 후진되며, 상기 감쌈부가 상기 제1 수직부를 감싼 상태에서 상기 서포트를 각각 좌측 또는 우측으로 이동시켜 상기 하부 프레임을 상기 가이드레일의 상부측에 위치시키는 좌,우 이동실린더를 포함하는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법.
In a method of installing a dry cooling coil to re-cool the air for internal circulation in the ventilation section of a process room producing semiconductor or flat panel display elements,
A modularization step of assembling and modularizing the dry cooling coil;
A binding step of binding at least one binding string to the dry cooling coil module; and
A moving step of fixing the binding strap to a crane, then moving the dry cooling coil module through the crane and seating it on a support structure installed in the wind direction section,
Between the modularization step and the binding step, or between the binding step and the moving step, a structure installation step of installing a plurality of installation structures for supporting the dry cooling coil on the upper surface of the support structure to cross each other; And a guide rail installation step of cross-installing guide rails for guiding the movement of the dry cooling coil module on the upper surface of the installation structure,
The dry cooling coil module,
subframe;
A pair of support frames respectively disposed on one side and the other side of the upper surface of the lower frame;
Inclined frames are installed at an angle to each of the support frames, and a plurality of dry cooling coils are installed at an angle corresponding to the inclination angle; and
It is disposed between the inclined frames and includes an inspection path installed on the upper surface of the support frame,
The binding string is,
A first binding string unit, one side and the other side of which are respectively tied to one side of one support frame and the other side of the other support frame, and the central part of which is fixed to the hook of the crane; and
A second binding strap unit is intersected by the first binding strap unit, where one side and the other side are tied to the other side of one support frame and one side of the other support frame, respectively, and the central part is fixed to the hook of the crane. Contains,
The support frame is,
a pair of first vertical portions respectively coupled to two corner portions of one side and the other side of the lower frame, and coupled to the upper side of the inclined frame on the upper side;
A pair of second vertical parts coupled to the upper surface of the lower frame while spaced apart from the first vertical part, formed to have a shorter length than the first vertical part, and coupled to the central part of the inclined frame on the upper side. wealth; and
It includes a horizontal portion connecting the central portion of the first vertical portion and the upper side of the second vertical portion, respectively,
a foreign matter removal unit that removes foreign matter from the dry cooling coil before installing the dry cooling coil module in the air flow section; and
It includes a precise positioning unit for positioning the dry cooling coil module lifted by the crane on the upper side of the guide rail,
The foreign matter removal unit,
Each is disposed in an empty space formed inside the support frame, and sliders are formed on both sides to slide while simultaneously covering the upper surface and both sides of each horizontal portion, so that the dry cooling coil module can be moved forward or backward. ,Reverse moving plate;
a plurality of coil springs disposed on one side of the forward and backward moving plates to be spaced apart from each other at a predetermined distance;
Collision parts that are each coupled to the coil spring and can collide with the dry cooling coil to generate vibration necessary to remove foreign substances, and are made of silicone or rubber to reduce shock;
A rotation guide unit comprising a horizontal unit arranged to face the forward and backward moving plates and a pair of vertical units supporting the horizontal unit at a certain height, the position of which can be moved by a moving cart;
a rotating plate including a rotating ring mounted on the horizontal unit, swinging in a direction toward or away from the forward and backward moving plate, and having a ring formed on the rear side;
At least one leaf spring is coupled to the front of the rotating plate, strikes the other surface of the forward and backward moving plates when the rotating plate moves forward, and elastically supports the forward and backward moving plates when they move backwards;
An electronic clamp for holding the ring; and
It is hinged to the mobile cart so as to be rotatable in the up and down directions, and includes a driving cylinder that moves the electronic tongs forward or backward with respect to the ring so that the electronic tongs grasp the ring and then pull it,
The precision position control unit,
A pair of wrapping parts each mounted on a pair of first vertical parts constituting one support frame and formed in a 'ㄷ'-shaped cross-sectional shape to simultaneously surround the front, side, and rear of the first vertical part;
The upper surface is open and a lifting space is formed inside along the vertical length direction, and the first support unit and the wrapping part are connected to the wrapping unit and have height adjustment holes formed at regular intervals that penetrate in the horizontal direction along the vertical direction and are connected to the lifting space. A second support unit is raised and lowered along the lifting space of the first support unit to change the height of the wrapping part, and has a connection hole located on the horizontal line with one of the height adjustment holes according to the lifting height at the lower side of the second support unit. A pair of supports including;
a pair of fixing pins jointly inserted into one of the height adjustment holes and the connection hole to secure the second support unit;
a mobile cart placed on the floor of the process room, including wheels that move along the ground, and positioned on the floor of the process room when performing the task of positioning the dry cooling coil module on the upper side of the guide rail;
A pair of forward and backward cylinders mounted on the mobile trolley and having a certain area protruding to the outside of the mobile trolley; and
It is mounted on the forward and backward cylinders in an alternating form, and moves forward or backward with respect to the first vertical portion by the forward and backward cylinders, and in a state where the wrapping portion surrounds the first vertical portion, the support is moved to the left or right, respectively. A method of installing a dry cooling coil module including left and right moving cylinders that move the lower frame to the right and position it on the upper side of the guide rail.
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