KR102619674B1 - 케미컬 샘플링 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

케미컬 샘플링 장치 및 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치는, 샘플 용기를 내외부로 반입 및 반출가능하도록 도어를 구비한 챔버; 챔버 내부로 반입된 샘플 용기의 캡을 개폐하는 캡 개폐 유닛; 샘플 용기에 케미컬을 주입하는 케미컬 주입 유닛; 챔버 내부로 세정액을 분사하는 세정액 분사 유닛; 및 세정액 분사 유닛에 의해 챔버 내부로 분사된 세정액을 배수하는 드레인 유닛을 포함한다. 본 발명에 의하면, 샘플 용기를 챔버 안에 반입한 다음, 세정액 분사 유닛을 이용하여 세정액 분사 단계를 수행함으로써, 케미컬의 샘플링 전에 챔버 내부나 샘플 용기의 외면에 묻은 금속 파티클 등 이물질을 제거하여 샘플링시의 케미컬 오염을 방지할 수 있다.

Description

케미컬 샘플링 장치 및 방법{CHEMICAL SAMPLING APPRATUS AND METHOD}

본 발명은 케미컬 샘플링 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 금속 파티클 등 이물질이 샘플 용기에 혼입되지 않도록 할 수 있는 케미컬 샘플링 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 공장이나 화학약품 공장 등과 같이 다양한 케미컬(chemical)을 사용하는 케미컬 사용처에는 케미컬을 이송하는 배관, 케미컬을 저장하는 저장탱크 등과 같이 케미컬의 이송, 저장, 관리, 처리를 위한 다양한 시설들이 마련되어 있다. 이러한 케미컬 사용처에서는 케미컬을 사용 가능한 상태로 관리하기 위해, 케미컬을 수용하고 있는 각각의 시설이나 배관으로부터 주기적으로 케미컬을 샘플링하는 작업과 샘플링된 케미컬을 검사하는 작업이 이루어지고 있다.

그런데, 케미컬은 인체에 유해한 물질을 포함하고 있으므로, 근래 자동으로 케미컬을 샘플링하는 장치가 개발되고 있다(예컨대 특허문헌 1). 이러한 케미컬 샘플링 장치는, 로봇 암 등의 용기 반송 유닛에 의해 챔버 외부로부터 내부로 샘플 용기를 반입하고, 캡 개폐 유닛에 의해 샘플 용기의 상부에 체결되어 있는 캡을 분리한 후 샘플 용기로 케미컬을 공급(주입)하며, 이후, 캡 개폐 유닛에 의해 샘플 용기에 캡을 다시 체결한 후, 용기 반송 유닛에 의해 챔버 외부로 반출하도록 구성된다.

여기서, 캡 개폐 유닛이나 용기 반송 유닛은 금속으로 제작될 수 있으며, 캡 캐폐 과정이나 용기의 운반 과정에서 미세한 금속 파티클이 발생할 수 있다. 또한, 챔버 외부에서 챔버 내부로 샘플 용기를 반입하는 과정에서 챔버 외부의 먼지 등의 이물질이 챔버 내부로 혼입되거나 샘플 용기의 외부 표면에 묻어 챔버 내부로 혼입될 수 있다.

이렇게 챔버 내에 발생 또는 혼입된 금속 파티클 등 이물질은 케미컬의 샘플링 과정에서 샘플 용기 안으로 혼입될 수 있다. 이와 같이 샘플 용기 안으로 혼입된 금속 파티클 등 이물질은 샘플링한 케미컬을 오염시킴으로써 샘플링한 케미컬의 검사 신뢰도를 떨어뜨리므로, 샘플링 장치는 샘플링 과정에서 금속 파티클 등 이물질이 케미컬에 혼입되지 않도록 하여야 한다.

공개특허 제10-2004-0071853호 공보

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 케미컬의 샘플링 과정에서 금속 파티클 등 이물질이 샘플 용기에 혼입되지 않도록 할 수 있는 케미컬 샘플링 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 샘플 용기를 내외부로 반입 및 반출가능하도록 도어를 구비한 챔버; 상기 챔버 내부로 반입된 상기 샘플 용기의 캡을 개폐하는 캡 개폐 유닛; 상기 샘플 용기에 케미컬을 주입하는 케미컬 주입 유닛; 상기 챔버 내부로 세정액을 분사하는 세정액 분사 유닛; 및 상기 세정액 분사 유닛에 의해 상기 챔버 내부로 분사된 세정액을 배수하는 드레인 유닛을 포함하는 케미컬 샘플링 장치가 제공된다.

실시예에 따르면, 케미컬 샘플링 장치는 상기 챔버의 바닥면에 배치된 자성체를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 자성체는 전자석으로 이루어질 수 있다.

또한, 실시예에 따르면, 케미컬 샘플링 장치는 상기 챔버 내부로 반입된 상기 샘플 용기를 향해 청정 기체를 분사하는 기체 노즐을 더 포함할 수 있다.

또한, 실시예에 따르면, 케미컬 샘플링 장치는 상기 챔버 내부의 정전기를 제거하는 이오나이저를 더 포함할 수 있다.

또한, 실시예에 따르면, 케미컬 샘플링 장치는 상기 챔버 내외부로 상기 샘플 용기를 반입 및 반출하는 용기 반송 유닛을 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 용기 반송 유닛은 상기 챔버 외부에 배치될 수 있다.

또한, 실시예에 따르면, 상기 캡 개폐 유닛의 구동부는 상기 챔버 외부에 배치될 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 전술한 케미컬 샘플링 장치를 이용하여 상기 샘플 용기에 케미컬을 샘플링하는 방법으로서, 상기 샘플 용기를 상기 챔버 내부로 반입하고 상기 도어를 닫는 용기 반입 단계; 상기 반입 단계 이후에, 상기 세정액 분사 유닛을 이용하여 상기 챔버 내부로 세정액을 분사하는 세정액 분사 단계; 상기 세정액 분사 단계 이후에, 상기 캡 개폐 유닛을 이용하여 상기 샘플 용기의 캡을 분리하는 캡 분리 단계; 상기 캡 분리 단계 이후에, 상기 샘플 용기에 상기 케미컬 주입 유닛을 이용하여 케미컬을 주입하는 케미컬 주입 단계; 상기 케미컬 주입 단계 이후에, 상기 캡 개폐 유닛을 이용하여 상기 샘플 용기에 상기 캡을 체결하는 캡 체결 단계; 및 상기 캡 체결 단계 이후에, 상기 샘플 용기를 상기 챔버 외부로 반출하는 용기 반출 단계를 포함하는 케미컬 샘플링 방법이 제공된다.

실시예에 따르면, 상기 세정액 분사 단계에서는, 상기 샘플 용기가 세정액에 의해 잠기도록 세정액을 분사할 수 있다.

또한, 케미컬 샘플링 방법은, 상기 세정액 분사 단계와 동시 또는 이후에, 상기 드레인 유닛을 이용하여 상기 챔버 내부로 분사된 세정액을 배수하는 세정액 배수 단계를 더 포함할 수 있다.

또한, 케미컬 샘플링 장치가, 챔버의 바닥면에 배치된 전자석으로 이루어진 자성체를 더 포함하는 경우, 상기 세정액 배수 단계는, 상기 세정액 분사 단계의 이후에 상기 자성체의 자성을 제거한 상태에서 수행할 수 있다.

또한, 케미컬 샘플링 장치가, 상기 챔버 내부로 반입된 상기 샘플 용기를 향해 청정 기체를 분사하는 기체 노즐을 더 포함하는 경우, 케미컬 샘플링 방법은, 상기 세정액 분사 단계 이후에, 상기 기체 노즐을 이용하여 청정 기체를 분사하여 상기 샘플 용기의 외면에 부착된 세정액을 상기 챔버의 바닥면으로 떨어뜨리는 단계를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 케미컬 샘플링 장치가, 상기 챔버 내부의 정전기를 제거하는 이오나이저를 더 포함하는 경우, 케미컬 샘플링 방법은, 상기 용기 반입 단계 이후에, 상기 이오나이저를 이용하여 상기 챔버 내부의 정전기를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 의하면, 샘플 용기를 챔버 안에 반입한 다음, 세정액 분사 유닛을 이용하여 세정액 분사 단계를 수행함으로써, 케미컬의 샘플링 전에 챔버 내부나 샘플 용기의 외면에 묻은 금속 파티클 등 이물질을 제거하여 샘플링시의 케미컬 오염을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치의 개략적인 사시도이다.
도 2 내지 도 6은 도 1에 도시된 케미컬 샘플링 장치를 이용하여 샘플 용기에 케미컬을 샘플링하는 과정을 도시한 정면도들이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 상세히 설명하기로 한다. 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과하고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도면에서 각 구성요소 또는 그 구성요소를 이루는 특정 부분의 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 따라서, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그러한 설명은 생략하도록 한다.

본 명세서에서 사용되는 '결합', '연결', '체결' 또는 '장착' 등의 용어는, 하나의 부재와 다른 부재가 직접 결합, 연결, 체결 또는 장착되는 경우뿐만 아니라 하나의 부재가 중간부재를 개재하여 다른 부재에 간접적으로 결합, 연결, 체결 또는 장착되는 경우도 포함한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치의 개략적인 사시도이고, 도 2 내지 도 6은 도 1의 케미컬 샘플링 장치를 이용하여 샘플 용기에 케미컬을 샘플링하는 과정을 도시한 정면도들이다. 다만, 도 2 내지 도 6에서는 이해의 편의를 위해 챔버(10)의 정면 외벽과 도어(11), 챔버(10) 외부에 배치된 용기 반송 유닛(80)을 생략하였다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치는 챔버(10), 캡 개폐 유닛(20), 케미컬 주입 유닛(30), 세정액 분사 유닛(40) 및 드레인 유닛(50)을 포함한다.

챔버(10)는 케미컬이 샘플링되는, 즉 내부에 안착된 샘플 용기(1)에 케미컬이 공급(주입)되는 공간을 한정한다. 챔버(10)는 샘플 용기(1)를 내외부로 반입 및 반출가능하도록 도어(11)를 구비할 수 있다. 도어(11)는 여닫이 또는 미닫이 구조로 이루어질 수 있으며, 자동 또는 수동으로 개폐할 수 있다. 또한, 도어(11)는 닫았을 때 챔버(10)의 내외부 공간을 차단하며 밀폐가능하게 구성될 수 있다.

챔버(10)를 구성하는 외벽과 도어(11)는, 적어도 챔버(10)의 내부 공간에 노출되는 내면이, 금속 파티클을 발생시키지 않도록 비금속(예컨대 합성수지) 재료로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 도어(11)가 자동 도어로 이루어지고 도어를 개폐하기 위한 구동부(12)를 이루는 부품이 금속제로 이루어지는 경우, 이러한 금속제 부품을 포함한 구동부(12)는 챔버(10) 외부에 배치되는 것이, 챔버(10) 내부에 금속 파티클을 발생시키지 않는다는 점에서, 또한 후술하는 세정액 분사 유닛(40)에 의해 분사되는 세정액에 직접 접촉하지 않는다는 점에서 바람직하다.

캡 개폐 유닛(20)은 챔버(10) 내부로 반입되어 용기 탑재대(15)에 안착된 샘플 용기(1)의 캡(2)을 개폐하는 유닛으로서, 용기 탑재대(15)의 상방에 배치될 수 있다. 캡 개폐 유닛(20)은 캡을 파지하는 캡 그리퍼(21)와, 캡 그리퍼(21)를 승강 및 회전 구동하는 구동부(23,24)와, 이들을 장착 고정하는 브라켓(25) 및 프레임(26)을 포함할 수 있다.

캡 그리퍼(21)는 회전축(22)을 따라 회전가능하게 구성되고, 반경방향으로 벌려지고 오므려지는 복수 개의 핑거(21a)를 구비할 수 있다. 이 경우, 복수 개의 핑거(21a)로 캡(2)의 외주면을 파지하고 캡 그리퍼(21)를 회전시켜 샘플 용기(1)로부터 캡(2)을 분리한 다음, 분리된 캡(2)을 핑거(21a)로 파지하여 보유하고 있을 수 있다.

또는, 캡 그리퍼(21)는 캡(2)이 삽입되는 소켓 형태로 구현될 수도 있다. 즉, 소켓의 내주면에 캡(2)의 외주면에 형성된 돌기와 홈 패턴에 대응되는 요철 패턴을 형성하고, 캡 그리퍼(21)가 캡(2)의 상방에서 하강하면 캡(2)이 소켓의 내부로 삽입되어 맞물리게 되고, 소켓이 회전하면 맞물린 캡(2)도 회전하면서 샘플 용기(1)로부터 캡(2)이 분리되거나 샘플 용기(1)에 캡(2)이 장착될 수 있다. 이 경우, 캡 그리퍼(21)의 내부 저면에는 에어 흡입홀이 형성되어 샘플 용기(1)로부터 분리된 캡(2)을 흡착하여 보유하고 있을 수 있다.

캡 개폐 유닛(20)의 구동부는, 캡 그리퍼(21)를 회전시키는 모터(24)와, 브라켓(25)을 개재하여 프레임(26)에 승강가능하게 고정된 캡 그리퍼(21) 및 모터(24)를 승강시키는 공압 또는 유압 실린더(23)를 포함할 수 있다. 이러한 구동부(23,24)에 의해 캡 그리퍼(21)로 캡(2)을 파지한 상태에서 캡 그리퍼(21)를 회전시키면서 서서히 상승시킴으로써 샘플 용기(1)로부터 캡(2)을 분리할 수 있고, 캡 그리퍼(21)를 반대방향으로 회전시키면서 서서히 하강시킴으로써 샘플 용기(1)에 캡(2)을 체결할 수 있다.

한편, 본 실시예에서 샘플 용기(1)의 캡(2)은 샘플 용기(1)와 나사결합 방식으로 분리/체결되는데, 캡 그리퍼(21)에 의한 캡(2)의 회전시 샘플 용기(1)가 따라 돌지 않도록 할 필요가 있다. 이에 본 실시예에서는 샘플 용기(1)의 기본 형상을 원기둥이 아닌 각기둥의 형상으로 형성하고, 용기 탑재대(15)도 그에 대응되는 각형으로 할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 용기 탑재대(15)에 샘플 용기(1)를 고정하는 클램프와 같은 별도의 고정수단이 없어도 용기 탑재대(15)에 샘플 용기(1)를 안착시키기만 하면 샘플 용기(1)의 회전을 방지할 수 있다.

또는, 용기 탑재대(15)에 역사다리꼴과 같이 상광하협(上廣下狹)의 단면 형상을 가지는 가이드 돌기(15a)를 마련하고, 샘플 용기(1)의 저면에는 그에 대응되는 형태의 가이드 홈(1a)을 마련하여, 가이드 홈(1a)에 가이드 돌기(15a)가 삽입되도록 샘플 용기(1)를 밀어 용기 탑재대(15)에 탑재하면 샘플 용기(1)의 회전을 방지할 수 있다. 특히, 가이드 돌기(15a)와 가이드 홈(1a)에 의한 고정구조는, 상세히는 후술하지만 샘플 용기(1)가 잠길 정도로 세정액을 다량으로 공급하는 실시예의 경우에, 세정액보다 가벼운 빈 샘플 용기(1)가 떠오르지 않도록 붙잡는 기능을 수행할 수 있다.

다만, 샘플 용기(1)와 캡(2)의 분리/체결 방식은 상기의 나사결합 방식(즉, 회전식)으로 한정되지 않고, 샘플 용기(1) 및 캡(2)의 형상도 상술한 바와 다를 수 있다. 이 경우, 캡 그리퍼(21)와 구동부(23,24)를 포함한 캡 개폐 유닛(20)의 구성도 그에 맞춰 변경될 수 있다.

한편, 적어도 캡 그리퍼(21)를 포함하여 캡 개폐 유닛(20)은 되도록 금속 파티클을 발생시키지 않도록 비금속(예컨대 합성수지) 재료로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 모터(24)나 공압 또는 유압 실린더(23) 등 불가피하게 금속제 부품을 포함하는 구동부는 챔버(10) 외부에 배치되는 것이, 챔버(10) 내부에 금속 파티클을 발생시키지 않는다는 점에서, 또한 후술하는 세정액 분사 유닛(40)에 의해 분사되는 세정액에 직접 접촉하지 않는다는 점에서 바람직하다. 또한, 샘플 용기(1) 및 캡(2)도 비금속(예컨대 합성수지) 재료로 이루어지는 것이 바람직하다.

케미컬 주입 유닛(30)은 챔버(10) 내의 용기 탑재대(15)에 안착되고, 캡(2)이 분리된 샘플 용기(1)에 케미컬을 주입하는 유닛으로서, 캡 개폐 유닛(20)의 측방에 배치될 수 있다. 케미컬 주입 유닛(30)은 케미컬을 수용하고 있는 시설이나 배관과 연결되어 케미컬을 공급받아 샘플 용기(1)에 주입하는 케미컬 노즐(31)과, 샘플 용기(1)에 케미컬을 주입하지 않을 때에 케미컬 노즐(31)이 대기하는 잔액 받이(32)와, 샘플 용기(1)와 잔액 받이(32) 사이에서 케미컬 노즐(31)을 이동시키는 구동부(33,34)와, 이들을 장착 고정하는 브라켓(35) 및 프레임(36)을 포함할 수 있다.

케미컬 노즐(31)은 지면에 대해 수직한 축에 대해 경사진 부분을 포함하는 노즐관(31a)과 노즐 팁(31b)을 포함할 수 있다. 노즐 팁(31b)은 기본적으로 지면에 대해 수직하게 연장되고, 노즐 팁(31b)의 선단부는 샘플 용기(1)에 케미컬을 주입할 때 케미컬이 튀지 않고 샘플 용기(1)의 내면을 따라 흘러내릴 수 있도록 경사지게 형성될 수 있다(도 1의 A 부분 확대단면 참조). 또한, 노즐 팁(31b)의 주위에는, 노즐 팁(31b)이 잔액 받이(32)의 개구부(32a)에 기밀하게 수용될 수 있도록 고무나 실리콘 수지와 같이 유연한 재질의 패킹(31c)이 부가되어 있을 수 있다.

잔액 받이(32)는 샘플 용기(1)에 케미컬을 주입하기 전 또는 주입한 후에 케미컬 노즐(31)이 대기하는 곳으로서, 케미컬 노즐(31)로부터 낙하하는 잔류 케미컬을 받아 수용하는 용기의 형태로 이루어져 용기 탑재대(15)의 측방에 배치될 수 있다. 잔액 받이(32)의 상부에는 노즐 팁(31b)이 삽입되는 개구부(32a)가 형성되어 있고, 잔액 받이(32)의 하부에는 케미컬을 챔버(10) 밖으로 드레인하기 위한 드레인관(32b)이 연결될 수 있다.

케미컬 주입 유닛(30)의 구동부(33,34)는, 케미컬 노즐(31)을 지면에 수직한 축을 중심으로 소정 각도 회동시키는 모터(34)와, 브라켓(35)을 개재하여 프레임(36)에 승강가능하게 고정된 케미컬 노즐(31) 및 모터(34)를 승강시키는 공압 또는 유압 실린더(33)를 포함할 수 있다. 이러한 구동부(33,34)에 의해 잔액 받이(32)에 수용된 케미컬 노즐(31)을 약간 상승시켜 잔액 받이(32)에서 케미컬 노즐(31)을 빼낸 다음, 케미컬 노즐(31)을 회동시켜 노즐 팁(31b)이 샘플 용기(1)의 상방에 위치하게 한 후, 케미컬 노즐(31)을 약간 하강시켜 노즐 팁(31b)이 샘플 용기(1) 안으로 삽입되도록 할 수 있다.

한편, 적어도 케미컬 노즐(31)과 잔액 받이(32)를 포함하여 케미컬 주입 유닛(30)은 되도록 금속 파티클을 발생시키지 않도록 비금속(예컨대 합성수지) 재료로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 모터(34)나 공압 또는 유압 실린더(33) 등 불가피하게 금속제 부품을 포함하는 구동부는 챔버(10) 외부에 배치되는 것이, 챔버(10) 내부에 금속 파티클을 발생시키지 않는다는 점에서, 또한 후술하는 세정액 분사 유닛(40)에 의해 분사되는 세정액에 직접 접촉하지 않는다는 점에서 바람직하다.

세정액 분사 유닛(40)은 챔버(10) 내부로 순수(DI Water)와 같은 세정액을 분사하는 유닛으로서, 챔버(10) 내부의 상방에 배치될 수 있다. 세정액 분사 유닛(40)은 챔버(10) 외부의 세정액 탱크로부터 펌프를 개재하여 세정액을 공급받아 챔버(10) 내부의 상방으로부터 하방으로 분사하는 세정액 노즐(41)로 구현될 수 있다.

세정액 노즐(41)에 의해 분사된 세정액은 챔버(10) 내부의 공기 중에 부유하고 있거나 샘플 용기(1)의 외면에 묻은 금속 파티클이나 먼지 등의 이물질을 포획하여 챔버(10) 바닥으로 떨어지게 된다. 분사되는 세정액에 의한 이물질의 포획 효율을 높이기 위해, 세정액 노즐(41)은 세정액을 되도록 넓게 안개와 같이 분사할 수 있도록 구성될 수 있다. 또는, 상세히는 후술하지만 샘플 용기(1)가 잠길 정도로 세정액을 다량으로 공급하는 경우에는, 세정액 노즐(41)이 다량의 세정액을 신속히 공급할 수 있도록 구성될 수 있다. 어느 경우든 세정액 노즐(41)은 복수 개로 구비되는 것이 바람직하다.

드레인 유닛(50)은 세정액 분사 유닛(40)에 의해 챔버(10) 내부로 분사된 세정액을 배수하는 유닛으로서 챔버(10)의 하부에 마련될 수 있다. 드레인 유닛(50)은 챔버(10) 바닥의 배수구(13)에 연결된 배수관(51)과, 배수관(51)을 개폐하는 드레인 밸브(52)와, 필요하다면 펌프(도시 생략)를 포함할 수 있다.

한편, 세정액의 원활한 배수를 위해 챔버(10) 바닥면은 배수구(13)를 향해 소정의 각도로 경사지게 형성될 수 있다.

본 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치는 챔버(10)의 바닥면에 배치된 자성체(14)를 더 포함할 수 있다. 자성체(14)는 세정액 분사 유닛(40)에 의해 분사된 세정액에 포획된 이물질 중 특히 금속 파티클이 더욱 효율적으로 챔버(10)의 바닥면에 포집될 수 있도록 한다. 자성체(14)는 판상 또는 시트상으로 이루어질 수 있다. 또한, 자성체(14)는 영구자석으로 구현될 수 있으나, 전자석으로 구현되는 것이 더 바람직하다. 자성체(14)가 전자석으로 구현되는 경우, 세정액 분사 유닛(40)에 의해 세정액을 분사하는 동안 자성을 띠게 하여 세정액에 포획된 금속 파티클을 자성체(14)로 포집하고, 드레인 유닛(50)에 의해 세정액을 배수할 때는 자성을 제거하여 금속 파티클을 세정액과 함께 쉽게 배수할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치는 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)에 안착된 샘플 용기(1)를 향해 청정 기체를 분사하는 기체 노즐(60)을 더 포함할 수 있다. 기체 노즐(60)은, 세정액 분사 유닛(40)에 의해 분사되어 이물질을 포획하고 캡(2) 상면 등 샘플 용기(1)의 외면에 고이거나 부착된 세정액을 챔버(10)의 바닥면으로 떨어뜨릴 수 있다. 또한, 기체 노즐(60)은 샘플 용기(1)뿐만 아니라 케미컬 노즐(31)과 잔액 받이(32) 등 챔버(10) 내부에 배치된 구성요소들에도 청정 기체를 분사하여 이러한 구성요소들의 외면에 고이거나 부착된 세정액을 챔버(10)의 바닥면으로 떨어뜨릴 수 있다. 기체 노즐(60)은 챔버(10) 내부의 상방에 배치되며, 기체 노즐(60)의 선단부 팁은 챔버(10) 내부에 배치된 구성요소들을 향하도록 구성될 수 있고, 복수 개로 구비될 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치는 챔버(10) 내부의 정전기를 제거하는 이오나이저(70)를 더 포함할 수 있다. 이오나이저(70)는 챔버(10) 내에 반입된 샘플 용기(1)와 이물질이 서로 다른 극성으로 대전된 상태를 해소하여, 샘플 용기(1)에 이물질이 잘 부착되지 않도록 함으로써, 이어서 세정액 분사 유닛(40)에 의해 분사된 세정액이 이물질을 쉽게 포획하여 제거할 수 있게 한다.

또한, 본 실시예에 따른 케미컬 샘플링 장치는 챔버(10) 내외부로 샘플 용기(1)를 반입 및 반출하는 용기 반송 유닛(80)을 더 포함할 수 있다. 용기 반송 유닛(80)은 샘플 용기(1)의 외주면을 파지하는 용기 그리퍼(81)와, 용기 그리퍼(81)를 챔버(10) 내외부로 이동시키는 구동부(82)를 포함할 수 있다.

용기 그리퍼(81)는 샘플 용기(1)의 외주면을 감싸며 오므려지거나 벌어짐으로써 샘플 용기(1)를 파지하거나 파지했던 샘플 용기(1)를 놓을 수 있다. 용기 반송 유닛(80)의 구동부(82)는 용기 그리퍼(81)를 직선 왕복 구동하는 공압 또는 유압 실린더로 구현될 수 있다. 이에 의해, 다축 직교 로봇이나 다축 로봇 암과 같이 복잡한 시스템을 사용하지 않고 구동부를 단순화할 수 있다.

한편, 적어도 용기 그리퍼(81)를 포함하여 용기 반송 유닛(80)은 되도록 금속 파티클을 발생시키지 않도록 비금속(예컨대 합성수지) 재료로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 용기 반송 유닛(80)은 챔버(10) 외부에 배치되고, 용기 그리퍼(81)만이 챔버(10) 내외부를 출입하도록 구성될 수 있다. 이에 의해, 용기 반송 유닛(80)에서 발생할 수 있는 금속 파티클 등 이물질이 챔버(10) 내부로 들어가는 것을 최소화할 수 있고, 용기 반송 유닛(80)이 전술한 세정액 분사 유닛(40)에 의해 분사되는 세정액에 직접 접촉하지 않도록 할 수 있다.

이와 같이, 챔버(10) 외부에 배치된 용기 반송 유닛(80)을 이용하고 용기 그리퍼(81)를 직선 왕복 구동하는 단순한 구동에 의해 샘플 용기(1)를 챔버(10) 내외부로 반입 및 반출하기 위해, 다음과 같은 구성들이 추가될 수 있다.

먼저, 도어(11)는, 용기 그리퍼(81)에 의해 파지된 샘플 용기(1)가 열린 도어(11)를 통해 출입할 때 걸리지 않도록, 문턱의 높이가 용기 그리퍼(81)에 의해 파지된 샘플 용기(1)의 저면보다 낮도록 구성될 수 있다.

또한, 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)는 샘플 용기(1)가 반출 및 반입될 때 걸리지 않도록 샘플 용기(1)가 출입하는 방향으로 개방된(즉, 측벽이 없는) 구조로 이루어질 수 있다.

또한, 챔버(10) 외부에는 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)와 대응되는 용기 탑재대(85)가 마련될 수 있다. 챔버(10) 외부의 용기 탑재대(85)는, 용기 그리퍼(81)가 대기하는 위치에 마련되고, 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)와 동일한 높이와 동일한 평면 형상(예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이 정사각형의 평면 형상)을 가지고 일직선 상에 배치되며, 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)와 대향하는 방향이 개방된 형태로 이루어질 수 있다.

다만, 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)에 전술한 상광하협의 가이드 돌기(15a)가 형성되어 있는 경우, 챔버(10) 외부의 용기 탑재대(85)에는 이러한 가이드 돌기가 형성되어 있지 않거나, 가이드 돌기를 형성하더라도 가이드 홈(1a)을 갖는 샘플 용기(1)를 위에서 내려서 탑재가능하도록 가이드 돌기(15a)의 하부 폭 이하의 상하 동일한 폭을 갖는 가이드 돌기를 형성한다.

또한, 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)에 전술한 가이드 돌기(15a)가 마련되어 있는 경우, 작업자는 챔버(10) 외부의 용기 탑재대(85)에 샘플 용기(1)를 올려놓을 때 샘플 용기(1) 저면의 가이드 홈(1a)의 방향이 가이드 돌기(15a)와 일치하도록 하여야 한다. 이때, 샘플 용기(1)의 저면 형상과 용기 탑재대(15,85)의 평면 형상이 정사각형인 경우, 샘플 용기(1) 저면의 가이드 홈(1a)을 십자형으로 형성하면, 샘플 용기(1)를 챔버(10) 외부의 용기 탑재대(85)에 올려놓기만 하면 가이드 홈(1a)과 가이드 돌기(15a)의 방향이 일치하게 된다.

이와 같은 구성에 의해, 작업자는 샘플 용기(1)를 챔버(10) 외부의 용기 탑재대(85)에 올려놓기만 하면 자동적으로 정렬이 이루어지고, 용기 반송 유닛(80)은 용기 그리퍼(81)로 샘플 용기(1)의 외주면을 파지한 후, 용기 그리퍼(81)를 챔버(10) 내부로 직선 구동함으로써 샘플 용기(1)를 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)에 안착시킬 수 있다.

다만, 용기 반송 유닛(80)은, 예컨대 다축 로봇 암과 같이, 다른 구성과 구조를 가질 수 있다. 이 경우, 용기 탑재대(15,85) 등 다른 구성도 그에 맞춰 변경될 수 있다. 나아가, 별도의 용기 반송 유닛 없이 작업자가 직접 수동으로 샘플 용기(1)를 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)로 반입 및 반출할 수도 있다.

한편, 이상에서 용기 반송 유닛(80), 캡 개폐 유닛(20)의 구동부(23,34), 케미컬 주입 유닛(30)의 구동부(33,34), 도어(11) 구동부(12)는 단순히 챔버(10) 외부에 배치되는 것으로 설명했지만, 챔버(10) 외부에 배치되는 이들 구성요소들은 챔버(10)와 연결되고 외기와는 차단된 별도의 챔버 내부에 배치될 수 있다.

또한, 도시하지는 않았지만, 케미컬 샘플링 장치는, 캡 개폐 동작 등 적어도 일부의 동작이 자동으로 수행되도록 구성되는 경우, 각 동작을 수행하는 유닛 또는 부품을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.

또한, 케미컬 샘플링 장치는, 도어(11)나 캡(2)의 개폐 여부, 샘플 용기(1)의 존부나 안착 여부, 샘플링된 케미컬의 양, 케미컬의 누출 여부 등 다양한 상황을 감지하는 다양한 센서를 포함할 수 있다.

이어서, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 실시예의 케미컬 샘플링 장치의 동작과 함께 본 발명의 다른 측면에 따른 케미컬 샘플링 방법에 대해 설명한다.

본 발명의 실시예에 따른 케미컬 샘플링 방법은, 크게 용기 반입 단계, 세정액 분사 단계, 캡 분리 단계, 케미컬 주입 단계, 캡 체결 단계 및 용기 반출 단계를 포함한다.

용기 반입 단계는, 샘플 용기(1)를 챔버(10) 내부로 반입하고 도어(11)를 닫는 단계로서, 본 실시예에서는 전술한 용기 반송 유닛(80)에 의해 수행되지만, 작업자에 의해 수동으로 이루어질 수도 있다.

구체적으로, 용기 반송 유닛(80)의 용기 그리퍼(81)가 대기 위치(도 1에 도시된 상태의 위치)에 위치한 상태에서, 작업자 또는 별도의 로봇 등에 의해 챔버(10) 외부의 용기 탑재대(85)에 샘플 용기(1)가 탑재되면, 용기 그리퍼(81)는 샘플 용기(1)의 외주면을 파지하고, 도어 구동부(12)는 챔버(10)의 도어(11)를 연다. 이어서, 용기 그리퍼(81)는 샘플 용기(1)를 파지한 채로 전진하여 열린 도어(11)를 통과하고 챔버(10) 내부의 용기 탑재대(15)에 샘플 용기(1)를 안착시킨다. 이어서, 용기 그리퍼(81) 는 샘플 용기(1)의 파지를 풀고 챔버(10) 외부로 후퇴하여 대기 위치로 복귀한다. 이어서, 도어 구동부(12)는 챔버(10)의 도어(11)를 닫아 챔버(10)를 밀폐함으로써, 용기 반입 단계가 완료되고 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같은 상태가 된다.

이어서, 세정액 분사 단계가 수행되는데, 세정액 분사 단계 이전에 이오나이저(70)를 이용하여 챔버(10) 내부의 정전기를 제거하는 단계를 수행할 수 있다. 이 경우, 샘플 용기(1)와 이물질 간의 정전기가 제거되어 샘플 용기(1)에 이물질이 잘 부착되지 않도록 함으로써, 다음 단계에서 세정액이 이물질을 쉽게 포획하여 제거할 수 있다.

세정액 분사 단계는, 도 3에 도시된 바와 같이, 세정액 분사 유닛(40)의 세정액 노즐(41)을 이용하여 챔버(10) 내부로 세정액을 분사하는 단계이다. 세정액 노즐(41)에 의해 분사된 세정액은 챔버(10) 내부의 공기 중에 부유하고 있거나 샘플 용기(1)의 외면에 묻은 금속 파티클이나 먼지 등의 이물질을 포획하여 챔버(10) 바닥으로 떨어지게 된다.

이때, 전술한 바와 같이 챔버(10)의 바닥면에 자성체(14)를 배치할 수 있고, 이 경우 자성체(14)에 의해 금속 파티클을 더욱 효율적으로 포집할 수 있다. 자성체(14)가 전자석으로 이루어진 경우, 자성체(14)에 자성을 부여한(전자석의 전원을 켠) 상태에서 세정액 분사 단계를 수행한다.

한편, 세정액 분사 단계에서 분사하는 세정액의 양은, 챔버(10) 내부의 공기 중에 부유하고 있거나 샘플 용기(1)의 외면에 묻은 이물질을 포획하거나 씻어낼 수 있는 정도이면 족하나, 더욱 완전한 이물질 제거를 위해 샘플 용기(1)가 세정액에 의해 잠길 정도로 분사할 수도 있다. 이때, 전술한 가이드 돌기(15a)와 가이드 홈(1a)에 의해 가벼운 샘플 용기(1)가 세정액 위로 떠오르지 않고 세정액에 잠긴 상태를 유지할 수 있다.

이와 같이 분사되어 챔버(10) 바닥에 떨어진 세정액은 드레인 유닛(50)을 이용하여 배수하여야 하는데, 이 세정액 배수 단계는 드레인 밸브(52)를 연 채로 세정액 분사 단계를 행함으로써 세정액 분사 단계와 동시에 수행될 수 있다. 또한, 세정액 배수 단계는 후속 단계에 지장을 주지 않는 한, 즉 캡 분리 단계, 케미컬 주입 단계, 캡 체결 단계 또는 용기 반출 단계와 병행하여 수행될 수 있으며, 나아가 용기 반출 단계 이후에 수행될 수도 있다.

다만, 전술한 바와 같이 샘플 용기(1)가 세정액에 의해 잠길 정도로 세정액을 분사하는 경우에는, 세정액 배수 단계는 세정액 분사 단계가 완료된 후 캡 분리 단계 이전에 수행해야 하고, 세정액의 수위가 적어도 샘플 용기(1)의 캡(2) 이하로 내려왔을 때 캡 분리 단계를 수행할 수 있다.

한편, 전술한 바와 같이 챔버(10) 바닥에 전자석으로 이루어진 자성체(14)를 배치한 경우에는, 자성체(14)의 자성을 제거한(전자석의 전원을 끈) 상태에서 세정액 배수 단계를 수행함으로써, 자성체(14)에 포집되었던 금속 파티클을 세정액과 함께 쉽게 배수할 수 있다.

세정액 분사 단계의 이후에는 캡 분리 단계가 수행되는데, 캡 분리 단계 이전에 청정 기체 분사 단계를 더 수행할 수 있다. 이 단계에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 기체 노즐(60)을 이용하여 샘플 용기(1)나 잔액 받이(32) 등의 외면에 청정 기체를 분사함으로써, 샘플 용기(1)나 잔액 받이(32) 등의 외면에 고이거나 부착된 세정액을 챔버(10)의 바닥면으로 떨어뜨릴 수 있다.

한편, 세정액 분사 단계에서 전술한 바와 같이 샘플 용기(1)가 세정액에 의해 잠길 정도로 세정액을 분사하는 경우에는, 청정 기체 분사 단계는 세정액 배수 단계를 수행한 후 수행할 수 있다.

캡 분리 단계는 캡 개폐 유닛(20)을 이용하여 샘플 용기(1)의 캡(2)을 분리하는 단계이다. 구체적으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 공압 또는 유압 실린더(23; 도 1 참조)를 이용하여 브라켓(25) 및 브라켓(25)에 고정된 모터(24)와 캡 그리퍼(21)를 하강시켜 핑거(21a)에 의해 샘플 용기(1)의 캡(2)을 파지한 다음, 모터(24)를 이용하여 캡 그리퍼(21)를 회전시켜 캡(2)을 분리한다. 이어서, 분리된 캡(2)을 핑거(21a)로 파지한 채로 다시 공압 또는 유압 실린더(23)를 이용하여 브라켓(25) 및 브라켓(25)에 고정된 모터(24)와 캡 그리퍼(21)를 상승시킴으로써 캡 분리 단계가 완료된다.

캡 분리 단계의 이후에 케미컬 주입 단계가 수행된다. 케미컬 주입 단계는, 캡(2)이 분리되어 입구가 개방된 샘플 용기(1)에 케미컬 주입 유닛(30)을 이용하여 케미컬을 주입함으로써 케미컬을 샘플링하는 단계이다. 구체적으로, 공압 또는 유압 실린더(33; 도 1 참조)를 이용하여 케미컬 노즐(31)을 약간 상승시켜 잔액 받이(32)에서 케미컬 노즐(31)을 빼낸 다음, 모터(34)를 이용하여 케미컬 노즐(31)을 회동시켜 노즐 팁(31b)이 샘플 용기(1)의 상방에 위치하게 한 후, 공압 또는 유압 실린더(33)를 이용하여 케미컬 노즐(31)을 약간 하강시켜 노즐 팁(31b)이 샘플 용기(1) 안으로 삽입한다(도 6 참조). 이어서, 케미컬을 수용하고 있는 시설이나 배관과 연결된 노즐관(31a)으로 케미컬을 공급하여 샘플 용기(1) 안으로 주입한다. 소정 시간 동안 또는 소정량의 케미컬의 주입이 이루어지면, 케미컬 노즐(31)을 샘플 용기(1)에서 빼내서 다시 잔액 받이(32)의 개구부(32a)에 삽입함으로써 케미컬 주입 단계가 완료된다.

케미컬 주입 단계 이후에, 캡 개폐 유닛(20)을 이용하여 케미컬이 주입된 샘플 용기(1)에 캡(2)을 다시 체결하는 캡 체결 단계가 수행된다. 캡 체결 단계는 도 5를 참조하여 설명한 캡 분리 단계와 역순으로 수행하면 되므로, 상세한 설명을 생략한다.

캡 체결 단계 이후에, 케미컬이 주입된 샘플 용기(1)를 챔버(10) 외부로 반출하는 용기 반출 단계가 수행된다. 용기 반출 단계는 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 용기 반입 단계와 역순으로 수행하면 되므로, 상세한 설명은 생략한다.

이상과 같이, 본 발명의 실시예에서는 샘플 용기(1)를 챔버(10) 안에 반입한 다음, 세정액 분사 유닛(40)을 이용하여 세정액 분사 단계를 수행하므로, 케미컬의 샘플링 직전에 챔버(10) 내부나 샘플 용기(1)의 외면에 묻은 금속 파티클 등 이물질을 제거하여 샘플링시의 케미컬 오염을 방지할 수 있다.

한편, 전술한 실시예에서는 하나의 샘플 용기(1)에 한 번씩 케미컬을 주입하는 구성을 예로 들어 설명하였지만, 복수 개의 샘플 용기에 대해 한꺼번에 케미컬을 주입할 수도 있다.

또한, 전술한 실시예에서는 특정한 구조와 방식의 용기 탑재대(15,85), 캡 개폐 유닛(20) 및 케미컬 주입 유닛(30)을 예로 들어 설명했지만, 다른 구조와 방식의 용기 탑재대, 캡 개폐 유닛 및/또는 케미컬 주입 유닛을 사용할 수도 있음은 물론이다.

이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

1: 샘플 용기 2: 캡
10: 챔버 11: 도어
12: 도어 구동부 13: 배수구
14: 자성체 15: 용기 탑재대
20: 캡 개폐 유닛 21: 캡 그리퍼
22: 회전축 23, 33: 공압 또는 유압 실린더
24, 34: 모터 25, 35: 브라켓
26, 36: 프레임 30: 케미컬 주입 유닛
31: 케미컬 노즐 32: 잔액 받이
40: 세정액 분사 유닛 41: 세정액 노즐
50: 드레인 유닛 51: 배수관
52: 드레인 밸브 60: 기체 노즐
70: 이오나이저 80: 용기 반송 유닛
81: 용기 그리퍼 82: 공압 또는 유압 실린더

Claims (14)

1. 샘플 용기를 내외부로 반입 및 반출가능하도록 도어를 구비한 챔버;
   상기 챔버 내부의 상방에서 하방으로 세정액을 분사하여 캡이 체결된 샘플 용기를 세정할 수 있도록 구성된 세정액 분사 유닛;
   상기 세정액 분사 유닛에 의해 세정된 상기 샘플 용기로부터 캡을 개폐할 수 있도록 구성된 캡 개폐 유닛;
   상기 캡이 분리된 상태에서 상기 샘플 용기 내부로 케미컬을 주입할 수 있도록 구성된 케미컬 주입 유닛;
   상기 세정액 분사 유닛에 의해 상기 챔버 내부로 분사된 세정액을 배수할 수 있도록 구성된 드레인 유닛; 및
   상기 챔버의 바닥면에 배치된 자성체를 구비하고,
   상기 세정액 분사 유닛은, 상기 챔버 내부의 공기 중에 부유하고 있거나 상기 샘플 용기의 외면에 묻은 금속 파티클이나 먼지 등의 이물질을 포획하여 상기 챔버 바닥으로 떨어지게 하기 위해, 상기 챔버 내부의 상방에 배치되도록 상기 챔버의 천장을 관통하여 상기 천장에 가깝게 위치되고, 상기 챔버 외부의 세정액 탱크로부터 펌프를 개재하여 세정액을 공급받아 상기 챔버 내부의 상방으로부터 하방으로 세정액을 각각 분사할 수 있는 다수의 세정액 노즐들을 포함하는, 케미컬 샘플링 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 자성체가 전자석으로 이루어진, 케미컬 샘플링 장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 챔버 내부로 반입된 상기 샘플 용기를 향해 청정 기체를 분사하는 기체 노즐을 더 구비하는, 케미컬 샘플링 장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 챔버 내부의 정전기를 제거하는 이오나이저를 더 포함하는, 케미컬 샘플링 장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 챔버 내외부로 상기 샘플 용기를 반입 및 반출하는 용기 반송 유닛을 더 구비하는, 케미컬 샘플링 장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 용기 반송 유닛이 상기 챔버의 외부에 배치된, 케미컬 샘플링 장치.
8. 제1항에 있어서,
   상기 캡 개폐 유닛의 구동부가 상기 챔버 외부에 배치된, 케미컬 샘플링 장치.
9. 제1항에 기재된 케미컬 샘플링 장치를 이용하여 상기 샘플 용기에 케미컬을 샘플링하는 방법으로서,
   상기 샘플 용기를 상기 챔버 내부로 반입하고 상기 도어를 닫는 용기 반입 단계;
   상기 챔버 내부의 상방에 배치되도록 상기 챔버의 천장을 관통하여 상기 천장에 가깝게 위치되고, 상기 챔버 외부의 세정액 탱크로부터 펌프를 개재하여 세정액을 공급받아 상기 챔버 내부의 상방으로부터 하방으로 세정액을 각각 분사할 수 있는 다수의 세정액 노즐들을 포함하는 세정액 분사 유닛을 이용하여, 상기 반입 단계 이후에, 캡이 체결된 상태의 상기 샘플 용기에 세정액을 분사하는 세정액 분사 단계;
   상기 세정액 분사 단계 이후에, 상기 캡 개폐 유닛을 이용하여 상기 샘플 용기로부터 캡을 분리하는 캡 분리 단계;
   상기 캡 분리 단계 이후에, 상기 샘플 용기에 상기 케미컬 주입 유닛을 이용하여 케미컬을 주입하는 케미컬 주입 단계;
   상기 케미컬 주입 단계 이후에, 상기 캡 개폐 유닛을 이용하여 상기 샘플 용기에 상기 캡을 체결하는 캡 체결 단계; 및
   상기 캡 체결 단계 이후에, 상기 샘플 용기를 상기 챔버 외부로 반출하는 용기 반출 단계를 포함하고,
   상기 케미컬 샘플링 장치는, 챔버의 바닥면에 배치된 전자석으로 이루어진 자성체를 더 포함하고,
   상기 세정액 배수 단계는, 상기 세정액 분사 단계의 이후에 상기 자성체의 자성을 제거한 상태에서 수행되는, 케미컬 샘플링 방법.
10. 제9항에 있어서,
    상기 세정액 분사 단계에서는, 상기 샘플 용기가 세정액에 의해 잠기도록 세정액을 분사하는 케미컬 샘플링 방법.
11. 제9항에 있어서,
    상기 세정액 분사 단계와 동시 또는 이후에, 상기 드레인 유닛을 이용하여 상기 챔버 내부로 분사된 세정액을 배수하는 세정액 배수 단계를 더 포함하는 케미컬 샘플링 방법.
12. 삭제
13. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 케미컬 샘플링 장치가, 상기 챔버 내부로 반입된 상기 샘플 용기를 향해 청정 기체를 분사하는 기체 노즐을 더 포함하고,
    상기 세정액 분사 단계 이후에, 상기 기체 노즐을 이용하여 청정 기체를 분사하여 상기 샘플 용기의 외면에 부착된 세정액을 상기 챔버의 바닥면으로 떨어뜨리는 단계를 더 포함하는 케미컬 샘플링 방법.
14. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 케미컬 샘플링 장치가, 상기 챔버 내부의 정전기를 제거하는 이오나이저를 더 포함하고,
    상기 용기 반입 단계 이후에, 상기 이오나이저를 이용하여 상기 챔버 내부의 정전기를 제거하는 단계를 더 포함하는 케미컬 샘플링 방법.
    

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