KR102618832B1 - Copper-tin alloy layer forming method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 (A) 구리 기재 상에 주석 도금층을 형성하는 단계; (B) 상기 주석 도금층을 열처리하여 구리-주석 합금층을 형성하는 단계; (C) 상기 구리-주석 합금층을 유기술폰산을 포함하는 주석 박리액에 침지하여 순수 주석층을 선택적으로 박리하는 단계; 및 (D) 상기 구리-주석 합금층 상에 실란층을 형성하는 단계;를 포함하는 구리-주석 합금층 형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 조도가 낮고 박리강도가 우수한 구리-주석 합금층을 형성할 수 있다.The present invention includes the steps of (A) forming a tin plating layer on a copper substrate; (B) heat treating the tin plating layer to form a copper-tin alloy layer; (C) immersing the copper-tin alloy layer in a tin stripping solution containing organosulfonic acid to selectively peel off the pure tin layer; and (D) forming a silane layer on the copper-tin alloy layer. According to the present invention, a copper-tin alloy layer with low roughness and excellent peel strength is formed. can be formed.

Description

구리-주석 합금층의 형성방법{COPPER-TIN ALLOY LAYER FORMING METHOD}Method of forming copper-tin alloy layer {COPPER-TIN ALLOY LAYER FORMING METHOD}

본 발명은, 구리-주석 합금층의 형성방법에 관한 것으로, 특히, 열처리를 통해 박리강도가 우수한 구리-주석 합금층을 형성하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of forming a copper-tin alloy layer, and in particular, to a method of forming a copper-tin alloy layer with excellent peel strength through heat treatment.

Copper foil Oxide 기술은 MLB(multi layer board) 형성 시 내층 기판과의 접착력 향상을 위해 동박 표면을 산화시켜 조도를 형성하는 기술로, 전통적으로 미세한 산화 구리 입자를 형성시키는 Brown oxidation, Black oxidation 기술이 있다. 기존 공정은 표면 거칠기를 증가시킴으로써 물리적 결합력을 높여 적층하였으나, 거친 표면으로 인해 전송 신호 손실이 증가하여 고주파 PCB에는 적용하기 어려운 한계가 있다.Copper foil oxide technology is a technology that forms roughness by oxidizing the surface of copper foil to improve adhesion to the inner layer substrate when forming MLB (multi layer board). Traditionally, there are brown oxidation and black oxidation technologies that form fine copper oxide particles. . The existing process increases the physical bonding force by increasing the surface roughness, but the rough surface increases transmission signal loss, making it difficult to apply to high-frequency PCBs.

또한, Oxide 층에 유기물 및 이물이 잔존하는 경우 적층 성형 시 프리프레그(Prepreg) 접착층과 동박(Copper foil)의 접착력 부족으로 동박이 완전히 접착되지 못하고 들뜸이 발생되는 Delamination 불량이 주요 이슈가 되고 있다. In addition, when organic substances and foreign substances remain in the oxide layer, delamination defects in which copper foil is not completely adhered and lifting occurs due to insufficient adhesion between the prepreg adhesive layer and copper foil during lamination molding have become a major issue.

이에, 동박 상에 주석 합금층을 형성한 후 실란 커플링제 등을 통해 화학적 커플링층을 형성하여 주석 합금층과 레진을 화학적으로 접착하고자 하는 연구가 진행되었으며, 이 경우 주석 박리액을 사용하거나 다양한 박리방법을 통해 주석 합금층을 형성하고 있다.Accordingly, research was conducted to chemically bond the tin alloy layer and resin by forming a tin alloy layer on copper foil and then forming a chemical coupling layer using a silane coupling agent, etc. In this case, tin stripper was used or various peeling methods were used. A tin alloy layer is formed through this method.

이와 관련하여, 일본공개특허 제 2008-184675 호는 주석층이 형성되어 있는 기재를 강염기에 전처리한 후 황산 또는 질산과 같은 무기산으로 이루어진 박리액을 통해 주석 표면층을 형성하는 방법에 대하여 제시하고 있고, 일본공개특허 제 2012-052205 호는 주석 합금층을 간단하고 저비용으로 박리할 수 있는 박리방법으로서 과산화수소수를 포함하는 알칼리 수용액 박리액을 처리하고, 이를 회수하여 재처리하는 방법에 대하여 제시하고 있다.In this regard, Japanese Patent Laid-Open No. 2008-184675 proposes a method of forming a tin surface layer through a stripper consisting of an inorganic acid such as sulfuric acid or nitric acid after pre-treating a substrate on which a tin layer is formed with a strong base, Japanese Patent Laid-Open No. 2012-052205 proposes a method of treating a tin alloy layer with an aqueous alkaline solution stripping solution containing hydrogen peroxide as a simple and low-cost stripping method, and recovering and reprocessing the stripping solution.

그러나 박리액을 이용한 구리-주석 합금층 형성방법에 있어서 조도를 최소화하면서 동시에 박리강도를 향상시킬 수 있는 새로운 구리-주석 합금층의 제조방법이 요구된다.However, in the method of forming a copper-tin alloy layer using a stripper, a new method of manufacturing a copper-tin alloy layer that can minimize roughness and improve peeling strength at the same time is required.

일본공개특허 제 2008-184675 호(2008.08.14 공개)Japanese Patent Publication No. 2008-184675 (published on August 14, 2008) 일본공개특허 제 2012-052205 호(2012.03.15 공개)Japanese Patent Publication No. 2012-052205 (published on March 15, 2012)

본 발명의 구리-주석 합금층 형성방법은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, (A) 구리 기재 상에 주석 도금층을 형성하는 단계; (B) 상기 주석 도금층을 열처리하여 구리-주석 합금층을 형성하는 단계; (C) 상기 구리-주석 합금층을 유기술폰산을 포함하는 주석 박리액에 침지하여 순수 주석층을 선택적으로 박리하는 단계; 및 (D) 상기 구리-주석 합금층 상에 실란층을 형성하는 단계;를 포함하는 구리-주석 합금층 형성방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The method of forming a copper-tin alloy layer of the present invention was devised to solve the above problems, comprising the steps of (A) forming a tin plating layer on a copper substrate; (B) heat treating the tin plating layer to form a copper-tin alloy layer; (C) immersing the copper-tin alloy layer in a tin stripping solution containing organosulfonic acid to selectively peel off the pure tin layer; and (D) forming a silane layer on the copper-tin alloy layer.

본 발명은 또한 상기한 명확한 목적 이외에 이러한 목적 및 본 명세서의 전반적인 기술로부터 이 분야의 통상인에 의해 용이하게 도출될 수 있는 다른 목적을 달성함을 그 목적으로 할 수 있다.In addition to the clear objectives described above, the present invention may also aim to achieve other objectives that can be easily derived by a person skilled in the art from this objective and the overall description of the present specification.

본 발명의 구리-주석 합금층 형성방법은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, In order to achieve the above-described purpose, the method of forming a copper-tin alloy layer of the present invention,

(A) 구리 기재 상에 주석 도금층을 형성하는 단계; (A) forming a tin plating layer on a copper substrate;

(B) 상기 주석 도금층을 열처리하여 구리-주석 합금층을 형성하는 단계;(B) heat treating the tin plating layer to form a copper-tin alloy layer;

(C) 상기 구리-주석 합금층을 유기술폰산을 포함하는 주석 박리액에 침지하여 순수 주석층을 선택적으로 박리하는 단계; 및(C) immersing the copper-tin alloy layer in a tin stripping solution containing organosulfonic acid to selectively peel off the pure tin layer; and

(D) 상기 구리-주석 합금층 상에 실란층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.(D) forming a silane layer on the copper-tin alloy layer.

또한, 상기 주석 도금층을 형성하기 전에 상기 구리 기재를 전처리하는 공정을 더 포함하고, 상기 전처리는, 침적 탈지 공정, 1 차 수세 공정, 산세 공정, 및 2 차 수세 공정을 포함할 수 있다.In addition, a process of pre-treating the copper substrate before forming the tin plating layer may be further included, and the pre-treatment may include an immersion degreasing process, a primary water washing process, an acid washing process, and a secondary water washing process.

그리고, 상기 침적 탈지 공정은 산탈지제에 25 내지 35 ℃에서 0.5 내지 10 분, 0.5 내지 5 분, 1 내지 8 분, 또는 1 내지 5 분 동안 침적시키는 것일 수 있다.Additionally, the immersion degreasing process may involve immersing the acid in an acid degreaser at 25 to 35°C for 0.5 to 10 minutes, 0.5 to 5 minutes, 1 to 8 minutes, or 1 to 5 minutes.

그리고, 상기 산탈지제는 황산을 포함할 수 있다.Additionally, the acid degreasing agent may include sulfuric acid.

그리고, 상기 산세 공정은 산성 용액에 20 내지 30 ℃에서 30 내지 90 초 동안 처리하는 것일 수 있다.Additionally, the pickling process may involve treatment in an acidic solution at 20 to 30° C. for 30 to 90 seconds.

그리고, 상기 산성 용액은 5 내지 20 %(w/w), 5 내지 15 %(w/w), 또는 8 내지 12 %(w/w) 황산 용액일 수 있다.Additionally, the acidic solution may be a 5 to 20% (w/w), 5 to 15% (w/w), or 8 to 12% (w/w) sulfuric acid solution.

또한, 상기 열처리는 90 내지 130 ℃, 100 내지 120 ℃, 또는 105 내지 115 ℃에서 처리하는 것일 수 있다.Additionally, the heat treatment may be performed at 90 to 130°C, 100 to 120°C, or 105 to 115°C.

그리고, 상기 열처리는 30 내지 150 초, 40 내지 120 초, 또는 50 내지 100 초 동안 처리하는 것일 수 있다.Additionally, the heat treatment may be performed for 30 to 150 seconds, 40 to 120 seconds, or 50 to 100 seconds.

그리고, 상기 열처리 전 상기 주석 도금층을 수세하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the step of washing the tin plating layer with water before the heat treatment may be further included.

또한, 상기 단계 C는 구리-주석 합금층을 주석 박리액에 10 내지 120 초, 20 내지 105 초, 또는 30 내지 90 초 동안 침지하는 것일 수 있다.Additionally, step C may involve immersing the copper-tin alloy layer in a tin stripper for 10 to 120 seconds, 20 to 105 seconds, or 30 to 90 seconds.

그리고, 상기 단계 C는 20 내지 40 ℃, 25 내지 35 ℃, 또는 28 내지 32 ℃에서 수행하는 것일 수 있다.And, step C may be performed at 20 to 40 °C, 25 to 35 °C, or 28 to 32 °C.

그리고, 상기 주석 박리액은 유기술폰산 10 내지 50 g/L, 15 내지 40 g/L, 또는 20 내지 30 g/L를 포함할 수 있다.Additionally, the tin stripper may contain 10 to 50 g/L, 15 to 40 g/L, or 20 to 30 g/L of organosulfonic acid.

그리고, 상기 유기술폰산은 RSO3H로 표시되고, 상기 R은 탄소수 1 내지 6, 1 내지 3, 또는 1 내지 2인 포화 탄화수소일 수 있다.In addition, the organosulfonic acid is represented by RSO 3 H, and R may be a saturated hydrocarbon having 1 to 6 carbon atoms, 1 to 3 carbon atoms, or 1 to 2 carbon atoms.

또한, 상기 주석 박리액은 산화제를 포함할 수 있다.Additionally, the tin stripper may contain an oxidizing agent.

그리고, 상기 산화제는 니트로기를 갖는 방향족 화합물일 수 있다.Additionally, the oxidizing agent may be an aromatic compound having a nitro group.

그리고, 상기 주석 박리액은 유기술폰산 100 중량부 및 산화제 0.5 내지 10 중량부, 2 내지 8중량부, 또는 4 내지 6 중량부를 포함할 수 있다.In addition, the tin stripping solution may include 100 parts by weight of organosulfonic acid and 0.5 to 10 parts by weight, 2 to 8 parts by weight, or 4 to 6 parts by weight of an oxidizing agent.

또한, 상기 단계 D는 아민계 실란 커플링제를 도포하여 실란층을 형성하는 것일 수 있다.Additionally, step D may involve forming a silane layer by applying an amine-based silane coupling agent.

그리고, 상기 아민계 실란 커플링제는 N-(3-트리메톡시실릴)프로필-1,2-에탄디아민(N-(3-(Trimethoxysilyl)propyl-1,2-ethanediamine))을 포함할 수 있다.In addition, the amine-based silane coupling agent may include N-(3-(Trimethoxysilyl)propyl-1,2-ethanediamine). .

그리고, 상기 단계 D는 15 내지 50 ℃, 20 내지 40 ℃, 또는 25 내지 35 ℃에서 수행할 수 있다.And, step D may be performed at 15 to 50 °C, 20 to 40 °C, or 25 to 35 °C.

그리고, 상기 단계 D는 20 내지 60 초, 25 내지 50 초, 또는 25 내지 40 초 동안 수행할 수 있다.And, step D may be performed for 20 to 60 seconds, 25 to 50 seconds, or 25 to 40 seconds.

그리고, 상기 실란층을 형성하기 전 수세 공정을 더 포함할 수 있다.Additionally, a water washing process may be further included before forming the silane layer.

또한, 상기 단계 D 이후, (E) 60 내지 120 ℃에서 열처리 하는 2 차 열처리 단계;를 더 포함할 수 있다.In addition, after step D, (E) a secondary heat treatment step of heat treatment at 60 to 120 ° C. may be further included.

그리고, 상기 단계 E는 80 내지 100 ℃, 또는 85 내지 95 ℃에서 수행할 수 있다.And, step E may be performed at 80 to 100 °C, or 85 to 95 °C.

그리고, 상기 단계 E는 1 내지 20 분, 1 내지 10 분, 또는 1 내지 5 분 동안 수행할 수 있다.And, step E may be performed for 1 to 20 minutes, 1 to 10 minutes, or 1 to 5 minutes.

본 발명에 따른 구리-주석 합금층 형성방법에 따르면 조도가 낮고 박리강도가 우수한 구리-주석 합금층을 형성할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면 주석 도금 후 생성된 합금층 외에 남은 순수 주석층 만을 구리의 부식 없이 효과적으로 제거할 수 있어 IMC층의 증가에 의한 커켄달 보이드(Kirkendall void) 형성을 억제하고 수지층과의 부착력을 최대화시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면 두께가 얇고 두께 편차가 적은 균일한 IMC층을 형성할 수 있다.According to the method for forming a copper-tin alloy layer according to the present invention, a copper-tin alloy layer with low roughness and excellent peel strength can be formed. In addition, according to the present invention, only the pure tin layer remaining in addition to the alloy layer created after tin plating can be effectively removed without corrosion of copper, thereby suppressing the formation of Kirkendall voids due to an increase in the IMC layer and improving the adhesion with the resin layer. can be maximized. Additionally, according to the present invention, it is possible to form a uniform IMC layer that is thin and has little thickness variation.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

다만, 아래는 특정 실시예들을 예시하여 상세히 설명하는 것일 뿐, 본 발명은 다양하게 변경될 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있기 때문에, 예시된 특정 실시예들에 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 본 발명은 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.However, the following is only a detailed description of specific embodiments, and since the present invention can be changed in various ways and have various forms, the present invention is not limited to the specific embodiments exemplified. The present invention should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention.

또한, 하기의 설명에서는 구체적인 구성요소 등과 같은 많은 특정사항들이 설명되어 있는데, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐 이러한 특정 사항들 없이도 본 발명이 실시될 수 있음은 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다 할 것이다. 그리고, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In addition, in the following description, many specific details, such as specific components, are provided, but this is provided to facilitate a more general understanding of the present invention, and it is known in the art that the present invention can be practiced without these specific details. It will be self-evident to those who have the knowledge. Additionally, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.

그리고, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Additionally, the terms used in this application are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the present invention. Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as generally understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and unless explicitly defined in the present application, should not be interpreted in an ideal or excessively formal sense. No.

본 출원에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In this application, singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, '포함하다', '함유하다' 또는 '가지다' 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 구성요소(또는 구성성분) 등이 존재함을 지칭하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 구성요소 등이 존재하지 않거나 부가될 수 없음을 의미하는 것은 아니다.In the present application, terms such as 'include', 'contain', or 'have' are intended to refer to the presence of features, components (or components), etc. described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features or This does not mean that components, etc. do not exist or cannot be added.

본 발명의 구리-주석 합금층 형성방법은 표면 조도가 낮고 박리강도가 우수한 구리-주석 합금층을 형성할 수 있는 방법으로서, 합금층의 표면을 고르게 하여 고주파 범위에서 전송 손실을 저감시킬 수 있으므로 고주파 PCB에 적용하기 용이한 구리-주석 합금층을 제조할 수 있다. 구체적으로 본 발명의 구리-주석 합금층의 형성방법은, (A) 구리 기재 상에 주석 도금층을 형성하는 단계; (B) 상기 주석 도금층을 열처리하여 구리-주석 합금층을 형성하는 단계; (C) 상기 구리-주석 합금층을 유기술폰산을 포함하는 주석 박리액에 침지하여 순수 주석층을 선택적으로 박리하는 단계; 및 (D) 상기 구리-주석 합금층 상에 실란층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 각 단계 사이에는 수세 과정이 포함될 수 있으며, 이하 각 단계별로 상세히 설명한다.The method of forming a copper-tin alloy layer of the present invention is a method that can form a copper-tin alloy layer with low surface roughness and excellent peel strength. It can reduce transmission loss in the high frequency range by evening the surface of the alloy layer, thereby reducing high frequency A copper-tin alloy layer that is easy to apply to PCB can be manufactured. Specifically, the method of forming a copper-tin alloy layer of the present invention includes (A) forming a tin plating layer on a copper substrate; (B) heat treating the tin plating layer to form a copper-tin alloy layer; (C) immersing the copper-tin alloy layer in a tin stripping solution containing organosulfonic acid to selectively peel off the pure tin layer; and (D) forming a silane layer on the copper-tin alloy layer. A washing process may be included between each step, and each step will be described in detail below.

먼저, 단계 A는 구리 기재 상에 주석 도금층을 형성하는 단계로서, 동박에 커플링제가 잘 부착될 수 있는 합금층을 형성하기 위하여 주석층을 형성하는 것이다. 단계 A는 구리 기재 상에 침적 주석 도금을 하는 단계로서, 공지의 방법을 이용할 수 있다. 주석 도금 시 구리 기재 상에 구리-주석 합금층과 주석층이 형성될 수 있다. First, Step A is a step of forming a tin plating layer on a copper substrate. The tin layer is formed to form an alloy layer to which the coupling agent can be well attached to the copper foil. Step A is a step of immersion tin plating on a copper substrate, and a known method can be used. During tin plating, a copper-tin alloy layer and a tin layer may be formed on the copper substrate.

또한, 상기 주석 도금층을 형성하기 전에 상기 구리 기재를 전처리하는 공정을 더 포함할 수 있고, 상기 전처리는 침적 탈지 공정, 1 차 수세 공정, 산세 공정, 및 2 차 수세 공정을 포함할 수 있다.In addition, a process of pre-treating the copper substrate before forming the tin plating layer may be further included, and the pre-treatment may include an immersion degreasing process, a primary water washing process, an acid washing process, and a secondary water washing process.

상기 침적 탈지 공정은 산탈지제에 20 내지 40 ℃, 25 내지 35 ℃, 또는 28 내지 32 ℃에서 0.5 내지 10 분, 1 내지 8 분, 또는 1 내지 5 분 동안 침적시킬 수 있다. 이때 상기 산탈지제는 황산을 포함할 수 있다. The immersion degreasing process may be performed by immersing the acid degreaser at 20 to 40°C, 25 to 35°C, or 28 to 32°C for 0.5 to 10 minutes, 1 to 8 minutes, or 1 to 5 minutes. At this time, the acid degreasing agent may include sulfuric acid.

상기 산세 공정은 구리 산화층을 제거하기 위한 것으로, 황산 등 산성 용액에 20 내지 30 ℃, 22 내지 28 ℃, 또는 24 내지 26 ℃에서 10 내지 120 초, 30 내지 90 초, 또는 50 내지 70 초 동안 처리하는 것일 수 있다. 상기 산세 공정에 있어서 산성 용액은 5 내지 20 %(w/w), 5 내지 15 %(w/w), 또는 8 내지 12 %(w/w) 황산 용액일 수 있다.The pickling process is to remove the copper oxide layer, and is treated in an acidic solution such as sulfuric acid at 20 to 30 ℃, 22 to 28 ℃, or 24 to 26 ℃ for 10 to 120 seconds, 30 to 90 seconds, or 50 to 70 seconds. It may be. In the pickling process, the acidic solution may be a 5 to 20% (w/w), 5 to 15% (w/w), or 8 to 12% (w/w) sulfuric acid solution.

다음으로, 단계 B는 상기 주석 도금층을 열처리(1 차 열처리)하여 구리-주석 합금층을 형성하는 단계로서, 주석층 생성 후 열 공정을 통하여 합금층을 견고화시키며 소정의 두께를 확보하고 조도를 최대한 고르게 제어하기 위한 것이다. 상기 열처리는 자연순환식 드라이 오븐(Dry oven)을 통해 건조 처리하는 것일 수 있다.Next, step B is a step of forming a copper-tin alloy layer by heat treating (primary heat treatment) the tin plating layer. After creating the tin layer, the alloy layer is strengthened through a heat process, a predetermined thickness is secured, and roughness is maintained. This is to control it as evenly as possible. The heat treatment may be drying through a natural circulation dry oven.

상기 열처리는 90 내지 130 ℃, 100 내지 120 ℃, 또는 105 내지 115 ℃에서 처리할 수 있고, 30 내지 150 초, 40 내지 120 초, 또는 50 내지 100 초 동안 처리하는 것일 수 있으며, 특히 상기 범위 내에서 열처리 할 경우 우수한 박리강도를 갖는 구리-주석 합금층을 형성할 수 있다. 열처리 온도 및 시간이 상기 범위 미만일 경우 박리강도가 저하되고 적절한 두께의 합금층이 생성되지 않아 주석 층 박리 시 구리층이 쉽게 관찰될 수 있다. 반면에 열처리 온도 및 시간이 상기 범위를 초과할 경우에도 박리강도가 낮아지게 된다. 상기 열처리 전에는 상기 주석 도금층을 수세하는 단계를 더 포함할 수 있다.The heat treatment may be performed at 90 to 130°C, 100 to 120°C, or 105 to 115°C, and may be performed for 30 to 150 seconds, 40 to 120 seconds, or 50 to 100 seconds, especially within the above range. When heat treated, a copper-tin alloy layer with excellent peel strength can be formed. If the heat treatment temperature and time are below the above range, the peeling strength decreases and an alloy layer of an appropriate thickness is not created, so the copper layer can be easily observed when the tin layer is peeled off. On the other hand, even when the heat treatment temperature and time exceed the above range, the peel strength is lowered. Before the heat treatment, the step of washing the tin plating layer with water may be further included.

다음으로, 상기 단계 C는 상기 구리-주석 합금층을 유기술폰산을 포함하는 주석 박리액에 침지하여 순수 주석층을 선택적으로 박리하는 단계로서, 구리 기재층 또는 합금층을 박리하지 않고 과량의 순수 주석만을 박리하는 것이다. 본 발명에 따르면 형성된 과량의 주석층을 제거하여 얇은 두께의 구리-주석 합금층을 형성할 수 있다.Next, step C is a step of selectively peeling off the pure tin layer by immersing the copper-tin alloy layer in a tin stripping solution containing organosulfonic acid, in which excess pure tin is removed without peeling off the copper base layer or alloy layer. It is to peel off the bay. According to the present invention, a thin copper-tin alloy layer can be formed by removing the excess tin layer formed.

본 발명은 본 발명의 구리-주석 합금층 형성방법에 따라 형성된 구리-주석 합금층의 평균 두께가 0.2 ㎛ 이하, 0.1 ㎛ 이하, 또는 0.05 ㎛ 이하이고, 0.001 ㎛ 이상, 0.01 ㎛ 이상, 또는 0.02 ㎛ 이상이며, 두께 편차는 ±0.009 ㎛ 이내, ±0.006 ㎛ 이내, 또는 ±0.005 ㎛ 이내인 것일 수 있다. 이러한 관점에서 단계 C는 구리-주석 합금층을 주석 박리액에 10 내지 120 초, 20 내지 105 초, 또는 30 내지 90 초 동안 침지하는 것일 수 있고, 20 내지 40 ℃, 25 내지 35 ℃, 또는 28 내지 32 ℃에서 수행할 수 있다. 박리액 처리시간이 상기 범위 미만인 경우 박리가 충분히 이루어지지 않아 두께가 두껍고, 두께 편차도 커지게 된다. 반면에 처리시간이 상기 범위를 초과할 경우에도 목표하는 두께와 두께 편차를 만족하지 못한다.The present invention relates to an average thickness of the copper-tin alloy layer formed according to the method for forming a copper-tin alloy layer of the present invention is 0.2 ㎛ or less, 0.1 ㎛ or less, or 0.05 ㎛ or less, and 0.001 ㎛ or more, 0.01 ㎛ or more, or 0.02 ㎛ or more, and the thickness deviation may be within ±0.009 ㎛, ±0.006 ㎛, or ±0.005 ㎛. In this respect, step C may be immersing the copper-tin alloy layer in a tin stripper for 10 to 120 seconds, 20 to 105 seconds, or 30 to 90 seconds, at 20 to 40 ° C., 25 to 35 ° C., or 28 ° C. It can be carried out at 32°C. If the stripper treatment time is less than the above range, peeling is not sufficiently performed, resulting in thicker thickness and greater thickness variation. On the other hand, even if the processing time exceeds the above range, the target thickness and thickness deviation are not satisfied.

상기 단계 C에서 주석 박리액은 유기술폰산을 포함하는 것으로, 상기 유기술폰산은 RSO3H로 표시되고, 상기 R은 탄소수 1 내지 6, 1 내지 3, 또는 1 내지 2인 포화 탄화수소일 수 있으며, 예컨대 상기 유기술폰산은 메탄술폰산 또는 프로판술폰산일 수 있다.In step C, the tin stripper contains an organosulfonic acid, which is represented by RSO 3 H, and R may be a saturated hydrocarbon having 1 to 6 carbon atoms, 1 to 3, or 1 to 2 carbon atoms, for example The organosulfonic acid may be methanesulfonic acid or propanesulfonic acid.

상기 주석 박리액은 무기산을 포함하지 않는 것을 특징으로 할 수 있다. 상기 무기산이란 황산, 질산 등을 말하는 것일 수 있다. 종래 황산 또는 질산으로 이루어진 박리액의 경우 박리속도가 너무 빠르거나 느려 두께 조절이 어렵고, 균일한 표면을 형성하기 어려운 점이 있었다. 본 발명은 상기 문제를 해결하여 무기산으로 이루어진 박리액을 대체할 수 있다.The tin stripping liquid may be characterized in that it does not contain an inorganic acid. The inorganic acid may refer to sulfuric acid, nitric acid, etc. In the case of conventional stripping solutions made of sulfuric acid or nitric acid, the peeling speed was too fast or slow, making it difficult to control the thickness and forming a uniform surface. The present invention can solve the above problems and replace the stripping solution made of inorganic acid.

또한, 상기 주석 박리액은 상기 유기술폰산 10 내지 50 g/L, 15 내지 40 g/L, 또는 20 내지 30 g/L를 포함할 수 있다. 유기술폰산의 농도가 상기 범위를 초과할 경우 박리 속도가 지나치게 빠르고 표면 산화 발생이 쉽게 일어날 수 있다. 반면에 유기술폰산의 농도가 상기 범위 미만인 경우 박리 속도가 너무 느려 두께 조절에 비효율적일 수 있다. 또한, 박리 속도가 느려질 경우 산화제(oxidizer)의 농도가 높아질 수 있으며 이 경우 표면 산화 발생이 잦아지고 박리 속도의 제어가 어려울 수 있다.Additionally, the tin stripper may contain 10 to 50 g/L, 15 to 40 g/L, or 20 to 30 g/L of the organosulfonic acid. If the concentration of organosulfonic acid exceeds the above range, the peeling speed is too fast and surface oxidation may easily occur. On the other hand, if the concentration of organosulfonic acid is less than the above range, the peeling speed may be too slow, making thickness control ineffective. Additionally, if the peeling speed is slow, the concentration of the oxidizer may increase, in which case surface oxidation may occur frequently and control of the peeling speed may be difficult.

상기 주석 박리액은 산화제를 더 포함할 수 있고, 이를 통해 박리속도를 향상시키거나 얼룩 발생을 억제하고 균일한 두께를 형성할 수 있다. 상기 산화제는 니트로기를 갖는 방향족 화합물일 수 있고, SO3H, SO3M, 또는 SO3X 작용기를 갖는 니트로벤젠 화합물일 수 있다. 여기서 상기 M은 Na, K 등 알칼리금속일 수 있고, X는 Cl, Br, I 등 할로겐일 수 있다.The tin stripping solution may further include an oxidizing agent, through which the peeling speed can be improved, the occurrence of stains can be suppressed, and a uniform thickness can be formed. The oxidizing agent may be an aromatic compound having a nitro group, or a nitrobenzene compound having a SO 3 H, SO 3 M, or SO 3 X functional group. Here, M may be an alkali metal such as Na or K, and X may be a halogen such as Cl, Br, or I.

상기 산화제가 술폰산(SO3H) 작용기를 갖는 경우 아미노니트로벤젠술폰산일 수 있고, 예컨대 2-아미노-5-니트로벤젠술폰산(2-Amino-5-nitrobenzenesulfonic acid)일 수 있다.If the oxidizing agent has a sulfonic acid (SO 3 H) functional group, it may be aminonitrobenzenesulfonic acid, for example, 2-Amino-5-nitrobenzenesulfonic acid.

상기 산화제가 술폰산염(SO3M) 작용기를 갖는 경우 o-니트로벤젠술폰산염, m-니트로벤젠술폰산염, p-니트로벤젠술폰산염일 수 있고, 나트륨염, 칼륨염 등 알칼리금속염일 수 있으며, 바람직하게는 m-니트로벤젠술폰산나트륨염일 수 있다.When the oxidizing agent has a sulfonate (SO 3 M) functional group, it may be o-nitrobenzenesulfonate, m-nitrobenzenesulfonate, p-nitrobenzenesulfonate, or an alkali metal salt such as sodium salt or potassium salt, and is preferred. It may be sodium salt of m-nitrobenzenesulfonate.

상기 산화제가 술포닐 할라이드(SO3X)작용기를 갖는 경우 니트로벤젠술포닐할라이드일 수 있고, 예컨대 4-니트로벤젠술포닐클로라이드(4-Nitrobenzenesulfonyl chloride)일 수 있다.If the oxidizing agent has a sulfonyl halide (SO 3

또한, 산화제는 유기술폰산 100 중량부에 대하여 0.5 내지 10 중량부, 2 내지 8중량부, 또는 4 내지 6 중량부를 포함할 수 있다. 산화제 함량이 상기 범위 미만인 경우 주석층 박리가 원활이 이루어지지 않고 두께편차가 커질 수 있다. 반면에 산화제 함량이 상기 범위를 초과할 경우 박리 속도를 제어하기가 어렵고 산화 발생이 잦아질 수 있다.Additionally, the oxidizing agent may include 0.5 to 10 parts by weight, 2 to 8 parts by weight, or 4 to 6 parts by weight based on 100 parts by weight of organosulfonic acid. If the oxidizing agent content is less than the above range, the tin layer may not be peeled off smoothly and the thickness deviation may increase. On the other hand, if the oxidizing agent content exceeds the above range, it is difficult to control the peeling speed and oxidation may occur frequently.

다음으로, 상기 단계 D는 상기 구리-주석 합금층 상에 실란층을 형성하는 단계로서, 구리 기재와 수지층이 접합하기 위한 실란 커플링층을 형성하는 단계이다. 상기 실란층을 형성하기 전에 수세 공정이 있을 수 있다. 또한 상기 단계 D는 아민계 실란 커플링제를 도포하여 실란층을 형성할 수 있고, 상기 아민계 실란 커플링제는 아민기를 1 또는 2 이상 갖는 실란 화합물일 수 있다. 예컨대 상기 아민계 실란 커플링제는 N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-트리에톡시실릴-N-(1,3-디메틸-부틸리덴)-프로필아민, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란, 또는 N-(3-트리메톡시실릴)프로필-1,2-에탄디아민이거나 이들 중 하나 이상을 포함할 수 있다.Next, Step D is a step of forming a silane layer on the copper-tin alloy layer, and is a step of forming a silane coupling layer for bonding the copper substrate and the resin layer. There may be a water washing process before forming the silane layer. Additionally, in Step D, a silane layer may be formed by applying an amine-based silane coupling agent, and the amine-based silane coupling agent may be a silane compound having one or two or more amine groups. For example, the amine-based silane coupling agent is N-2-(aminoethyl)-3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2-(aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane, and 3-aminopropyltrime. Toxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N-(1,3-dimethyl-butylidene)-propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, or It may be N-(3-trimethoxysilyl)propyl-1,2-ethanediamine or may include one or more of these.

그리고, 상기 단계 D는 15 내지 50 ℃, 20 내지 40 ℃, 또는 25 내지 35 ℃에서 20 내지 60 초, 25 내지 50 초, 또는 25 내지 40 초 동안 수행할 수 있다. 실란층 형성 시 온도 또는 시간이 상기 범위 미만인 경우 실란 화합물이 표면에 불균일하게 분포되어 밀착력이 저하될 수 있고, 반면에 온도 또는 시간이 상기 범위를 초과할 경우 온도가 높아지면 용액 내 실란 화합물이 뭉치는 현상이 발생할 수 있다.And, step D may be performed at 15 to 50 °C, 20 to 40 °C, or 25 to 35 °C for 20 to 60 seconds, 25 to 50 seconds, or 25 to 40 seconds. If the temperature or time when forming the silane layer is below the above range, the silane compound may be unevenly distributed on the surface, which may reduce adhesion. On the other hand, if the temperature or time exceeds the above range, the silane compound in the solution may clump together as the temperature rises. This phenomenon may occur.

또한, 본 발명의 구리-주석 합금층 형성방법은 상기 단계 D 이후, (E) 2 차 열처리 단계;를 더 포함할 수 있다. 단계 E는 상기 단계 B의 1 차 열처리 이후의 2 차 열처리하는 단계로서 본 발명은 두 단계의 열처리 공정을 거쳐 박리강도가 우수하고 조도가 낮은 주석 합금층을 형성할 수 있다. 또한 상기 2 차 열처리를 통해 합금층에 함유된 수분을 최소화할 수 있다. 상기 2 차 열처리는 베이킹 단계로서 자연순환식 드라이 오븐(Dry oven)을 통해 처리하는 것일 수 있다.In addition, the method of forming a copper-tin alloy layer of the present invention may further include (E) a secondary heat treatment step after step D. Step E is a secondary heat treatment step after the primary heat treatment in Step B. The present invention can form a tin alloy layer with excellent peel strength and low roughness through a two-step heat treatment process. Additionally, the moisture contained in the alloy layer can be minimized through the secondary heat treatment. The secondary heat treatment is a baking step and may be performed through a natural circulation dry oven.

상기 2 차 열처리 단계는 60 내지 120 ℃, 80 내지 100 ℃, 또는 85 내지 95 ℃에서 1 내지 20 분, 1 내지 10 분, 또는 1 내지 5 분 동안 수행할 수 있다. 2 차 열처리 온도 및 시간이 상기 범위 미만인 경우 박리강도가 저하되며 반대로 상기 범위를 초과할 경우 생산성이 저하될 수 있다.The secondary heat treatment step may be performed at 60 to 120°C, 80 to 100°C, or 85 to 95°C for 1 to 20 minutes, 1 to 10 minutes, or 1 to 5 minutes. If the secondary heat treatment temperature and time are less than the above range, the peel strength may decrease, and conversely, if it exceeds the above range, productivity may decrease.

본 발명의 구리-주석 합금층은 실란층 위로 수지층을 올려 적층하기 위한 구리-주석 합금층일 수 있으며, 결과적으로 구리 기재, 구리-주석 합금층, 실란 커플링층, 및 수지층이 순차적으로 적층된 적층체를 제조할 수 있다.The copper-tin alloy layer of the present invention may be a copper-tin alloy layer for stacking a resin layer on top of the silane layer, and as a result, the copper substrate, copper-tin alloy layer, silane coupling layer, and resin layer are sequentially laminated. Laminates can be manufactured.

본 발명의 구리-주석 합금층 형성방법에 따라 형성된 구리-주석 합금층의 표층은 구리:주석 비율(원소비율)이 93:7 내지 98:2, 93.7:6.3 내지 97:3, 또는 94:6 내지 95:5일 수 있다.The surface layer of the copper-tin alloy layer formed according to the copper-tin alloy layer forming method of the present invention has a copper:tin ratio (element ratio) of 93:7 to 98:2, 93.7:6.3 to 97:3, or 94:6. It may be from 95:5.

이하, 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.

[실시예][Example]

실시예 1-1 내지 1-9: 구리-주석 합금층의 제조Examples 1-1 to 1-9: Preparation of copper-tin alloy layer

HVLP 동박 20 x 20 cm2를 황산을 포함하는 산탈지제로 30 ℃에서 3 분 동안 처리하고, 수세한 다음, 10 % 황산 용액으로 1 분 동안 처리하고 수세하였다. 이후, 주석을 치환 도금(HoplaStan ET-40 30 ℃, 50 초)한 후 하기 표 1과 같이 90 ℃, 100 ℃, 또는 110 ℃에서 1 분, 1 분 30 초, 또는 2 분 동안 1 차 열처리하였다(실시예 1-1 내지 1-9). 이를 메탄술폰산을 포함하는 박리액에 각각 침지하여 1 분 15 초 동안 박리를 진행한 후 아민 실란 커플링제를 도포하여 30 ℃에서 30 초 간 처리하였으며, 90 ℃에서 2 분 동안 2 차 열처리를 하여 구리-주석 합금층을 형성하였다.A 20 x 20 cm 2 HVLP copper foil was treated with an acid degreaser containing sulfuric acid at 30°C for 3 minutes, washed with water, then treated with a 10% sulfuric acid solution for 1 minute and washed with water. Afterwards, tin was subjected to substitution plating (HoplaStan ET-40 at 30°C, 50 seconds) and then subjected to primary heat treatment at 90°C, 100°C, or 110°C for 1 minute, 1 minute and 30 seconds, or 2 minutes as shown in Table 1 below. (Examples 1-1 to 1-9). These were each immersed in a stripping solution containing methanesulfonic acid and peeled for 1 minute and 15 seconds, then an amine silane coupling agent was applied and treated at 30°C for 30 seconds, followed by secondary heat treatment at 90°C for 2 minutes to remove the copper. -A tin alloy layer was formed.

비교예 1-1: 구리-주석 합금층의 제조Comparative Example 1-1: Preparation of copper-tin alloy layer

상기 실시예 1-1과 동일하게 구리-주석 합금층을 형성하되, 하기 표 1과 같이 1 차 열처리를 하지 않고 구리-주석 합금층을 형성하였다.A copper-tin alloy layer was formed in the same manner as in Example 1-1, but without primary heat treatment as shown in Table 1 below.

비교예 1-2: 구리-주석 합금층의 제조Comparative Example 1-2: Preparation of copper-tin alloy layer

상기 실시예 1-1과 동일하게 구리-주석 합금층을 형성하되, 하기 표 1과 같이 1 차 열처리를 60 ℃에서 1 분 동안 수행한 후 구리-주석 합금층을 형성하였다.A copper-tin alloy layer was formed in the same manner as in Example 1-1, but after primary heat treatment was performed at 60° C. for 1 minute, as shown in Table 1 below, the copper-tin alloy layer was formed.

시험예 1: 박리강도 측정Test Example 1: Peel strength measurement

상기 실시예 1-1 내지 1-9 및 비교예 1-1 내지 1-2에 따라 제조된 구리-주석 합금층에 대하여 박리강도를 측정한 결과 하기 표 1과 같았으며, 1 차 열처리를 하지 않은 비교예 1-1 및 60 ℃에서 처리한 비교예 1-2에 비하여 실시예 1-1 내지 1-9의 경우 박리강도가 현저히 향상되는 것을 확인하였다.The results of measuring the peeling strength of the copper-tin alloy layers prepared according to Examples 1-1 to 1-9 and Comparative Examples 1-1 to 1-2 were as shown in Table 1 below, and the results were as follows. It was confirmed that the peel strength was significantly improved in Examples 1-1 to 1-9 compared to Comparative Example 1-1 and Comparative Example 1-2 treated at 60°C.

1차 열처리 온도First heat treatment temperature 1차 열처리 시간1st heat treatment time Peel Strength
(단위: N, Avg.)
Peel Strength
(Unit: N, Avg.)
비교예 1-1Comparative Example 1-1 -- 0.2830.283 비교예 1-2Comparative Example 1-2 60℃60℃ 1분1 min 0.3170.317 실시예 1-1Example 1-1 90℃90℃ 1분1 min 0.3330.333 실시예 1-2Example 1-2 1분30초1 minute 30 seconds 0.3500.350 실시예 1-3Example 1-3 2분2 minutes 0.3530.353 실시예 1-4Example 1-4 100℃100℃ 1분1 min 0.4500.450 실시예 1-5Examples 1-5 1분30초1 minute 30 seconds 0.5000.500 실시예 1-6Example 1-6 2분2 minutes 0.4000.400 실시예 1-7Example 1-7 110℃110℃ 1분1 min 0.5170.517 실시예 1-8Examples 1-8 1분30초1 minute 30 seconds 0.5330.533 실시예 1-9Example 1-9 2분2 minutes 0.4330.433

실시예 2-1 내지 2-5: 구리-주석 합금층의 제조Examples 2-1 to 2-5: Preparation of copper-tin alloy layer

상기 실시예 1-1과 동일하게 구리-주석 합금층을 형성하되, 하기 표 3과 같이 2 차 열처리를 60 ℃, 80 ℃ 또는 90 ℃에서 1 분 또는 2 분 동안 수행한 후 구리-주석 합금층을 형성하였다.A copper-tin alloy layer was formed in the same manner as in Example 1-1, but after secondary heat treatment was performed at 60°C, 80°C, or 90°C for 1 or 2 minutes as shown in Table 3 below, the copper-tin alloy layer was formed. was formed.

비교예 2-1: 구리-주석 합금층의 제조Comparative Example 2-1: Preparation of copper-tin alloy layer

상기 실시예 1-1과 동일하게 구리-주석 합금층을 형성하되, 2 차 열처리를 하지 않고 구리-주석 합금층을 형성하였다.A copper-tin alloy layer was formed in the same manner as in Example 1-1, but without secondary heat treatment.

시험예 2: 박리강도 측정Test Example 2: Peel strength measurement

상기 실시예 2-1 내지 2-5 및 비교예 2-1에 따라 제조된 구리-주석 합금층에 대하여 박리강도(Peel Strength)를 하기 표 2와 같은 조건에서 측정을 실시하였다.The peel strength of the copper-tin alloy layer prepared according to Examples 2-1 to 2-5 and Comparative Example 2-1 was measured under the conditions shown in Table 2 below.

시험명test name 항목item 조건condition 인장력 TestTensile Test Test 종류Test type 인장력 시험tensile strength test Test SpeedTest Speed 5.08cm/min5.08cm/min 인장 길이tensile length Test 파손 시 까지Test until damaged 시험 장비testing equipment 만능복합시험기(LLOYD/LS5)Universal complex tester (LLOYD/LS5)

그 결과 하기 표 3과 같았으며, 2 차 열처리를 하지 않은 비교예 2-1에 비하여 2 차 열처리를 실시한 실시예 2-1 내지 2-5의 경우 박리강도가 현저히 향상되는 것을 확인하였다. The results were as shown in Table 3 below, and it was confirmed that the peel strength was significantly improved in Examples 2-1 to 2-5 in which secondary heat treatment was performed compared to Comparative Example 2-1 in which secondary heat treatment was not performed.

2차 열처리 온도Secondary heat treatment temperature 2차 열처리 시간Secondary heat treatment time Peel Strength
(단위: N, Avg.)
Peel Strength
(Unit: N, Avg.)
비교예 2-1Comparative Example 2-1 -- 0.1이하(측정불가)Less than 0.1 (not measurable) 실시예 2-1Example 2-1 60℃60℃ 1분1 min 0.1400.140 실시예 2-2Example 2-2 80℃80℃ 1분1 min 0.1800.180 실시예 2-3Example 2-3 2분2 minutes 0.2250.225 실시예 2-4Example 2-4 90℃90℃ 1분1 min 0.2330.233 실시예 2-5Example 2-5 2분2 minutes 0.2830.283

시험예 3: 조도 측정Test Example 3: Illuminance measurement

상기 실시예 1-8에 대하여 1 차 열처리 이후 박리 전후 조도와 상기 비교예 1-1에 대하여 박리 전후 조도를 측정한 결과 하기 표 4와 같았으며, 1 차 열처리를 실시한 경우 그렇지 않은 경우에 비해 조도가 저감되어 고른 표면이 형성되었음을 알 수 있다.The results of measuring the roughness before and after peeling after the first heat treatment for Example 1-8 and the roughness before and after peeling for Comparative Example 1-1 were as shown in Table 4 below. When the first heat treatment was performed, the roughness was higher than when the first heat treatment was not performed. It can be seen that was reduced and an even surface was formed.

Ra(㎛)Ra(㎛) 동박copper foil 0.460.46 비교예 1-1Comparative Example 1-1 박리 전Before peeling 0.440.44 박리 후After peeling 0.460.46 실시예 1-8Examples 1-8 박리 전Before peeling 0.430.43 박리 후After peeling 0.440.44

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본원 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능함은 물론이다. 따라서, 본 발명의 범위는 위의 실시예에 국한해서 해석되어서는 안되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 할 것이다.In the above, preferred embodiments of the present invention have been described, but the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and various modifications can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention. Of course it is possible. Accordingly, the scope of the present invention should not be construed as limited to the above embodiments, but should be determined by the claims described below as well as equivalents to these claims.

Claims (7)

(A) 구리 기재 상에 주석 도금층을 형성하는 단계;
(B) 상기 주석 도금층을 1차 열처리하여 구리-주석 합금층을 형성하는 단계;
(C) 상기 구리-주석 합금층을 유기술폰산을 포함하는 주석 박리액에 침지하여 순수 주석층을 선택적으로 박리하는 단계;
(D) 상기 구리-주석 합금층 상에 실란층을 형성하는 단계; 및
(E) 상기 D단계 후 열처리 하는 2 차 열처리 단계; 를 포함하고,
상기 (B) 단계는, 90℃내지 130℃에서 30초 내지 150초 동안 열처리되고,
상기 (E) 단계는, 60℃내지 120 ℃에서 2분 내지 20분 동안 열처리되고,
상기 (B) 단계의 1차 열처리 수행에 의해 형성된 상기 구리-주석 합금층은 상기 (A) 단계에 의해 형성된 상기 주석 도금층에 비해 조도가 저감된, 구리-주석 합금층 형성방법.
(A) forming a tin plating layer on a copper substrate;
(B) performing a primary heat treatment on the tin plating layer to form a copper-tin alloy layer;
(C) immersing the copper-tin alloy layer in a tin stripping solution containing organosulfonic acid to selectively peel off the pure tin layer;
(D) forming a silane layer on the copper-tin alloy layer; and
(E) a secondary heat treatment step of heat treatment after step D; Including,
In step (B), heat treatment is performed at 90°C to 130°C for 30 seconds to 150 seconds,
In step (E), heat treatment is performed at 60°C to 120°C for 2 to 20 minutes,
The copper-tin alloy layer formed by performing the first heat treatment in step (B) has reduced roughness compared to the tin plating layer formed by step (A).
청구항 1에 있어서,
상기 주석 도금층을 형성하기 전에 상기 구리 기재를 전처리하는 공정을 더 포함하고, 상기 전처리는, 침적 탈지 공정, 1 차 수세 공정, 산세 공정, 및 2 차 수세 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 구리-주석 합금층 형성방법.
In claim 1,
Further comprising a process of pre-treating the copper substrate before forming the tin plating layer, wherein the pre-treatment includes an immersion degreasing process, a first water washing process, an pickling process, and a second water washing process. Tin alloy layer formation method.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 단계 C는 구리-주석 합금층을 주석 박리액에 10 내지 120 초 동안 침지하는 것을 특징으로 하는, 구리-주석 합금층 형성방법.
In claim 1,
Step C is a method of forming a copper-tin alloy layer, characterized in that immersing the copper-tin alloy layer in a tin stripper for 10 to 120 seconds.
청구항 1에 있어서,
상기 주석 박리액은 산화제를 포함하는 것을 특징으로 하는, 구리-주석 합금층 형성방법.
In claim 1,
A method of forming a copper-tin alloy layer, wherein the tin stripping liquid contains an oxidizing agent.
청구항 1에 있어서,
상기 단계 D는 아민계 실란 커플링제를 도포하여 실란층을 형성하는 것을 특징으로 하는, 구리-주석 합금층 형성방법.
In claim 1,
Step D is a method of forming a copper-tin alloy layer, characterized in that a silane layer is formed by applying an amine-based silane coupling agent.
삭제delete
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