KR102612722B1 - Organic Light Emitting Device and Method of manufacturing the same - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims abstract description 62
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 54
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 167
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium(II) oxide Chemical compound [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K50/858—Arrangements for extracting light from the devices comprising refractive means, e.g. lenses
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
- H10K50/8445—Encapsulations multilayered coatings having a repetitive structure, e.g. having multiple organic-inorganic bilayers
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/86—Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
Abstract
본 발명은 기판; 상기 기판 상에 구비된 발광부; 상기 발광부 상에 구비된 수분 침투를 방지하는 봉지층; 상기 봉지층 상에 구비된 배리어층; 및 상기 배리어층 상에 구비된 편광층을 포함하고, 원자층 증착법으로 증착된 상기 배리어층 및 상기 편광층은 서로 굴절률이 상이한 것을 포함하는 유기 발광 소자 및 그들의 제조 방법을 제공한다.The present invention relates to a substrate; a light emitting unit provided on the substrate; an encapsulation layer provided on the light emitting unit to prevent moisture from penetrating; A barrier layer provided on the encapsulation layer; and a polarizing layer provided on the barrier layer, wherein the barrier layer and the polarizing layer deposited by atomic layer deposition have different refractive indices.
Description
본 발명은 유기 발광 소자에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 발광부의 상면에 형성되는 배리어층 및 편광층에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting device, and more specifically, to a barrier layer and a polarizing layer formed on the upper surface of a light emitting unit.
유기 발광 소자는 전자(electron)를 주입하는 음극(cathode)과 정공(hole)을 주입하는 양극(anode) 사이에 유기 발광층이 형성된 구조를 가지며, 음극에서 발생된 전자 및 양극에서 발생된 정공이 유기 발광층 내로 주입되면 주입된 전자 및 정공이 결합하여 액시톤(exciton)이 생성되고, 생성된 액시톤이 여기상태(excited state)에서 기저상태(ground state)로 떨어지면서 발광을 한다. Organic light-emitting devices have a structure in which an organic light-emitting layer is formed between a cathode that injects electrons and an anode that injects holes, and the electrons generated from the cathode and the holes generated from the anode are used as organic light-emitting devices. When injected into the light-emitting layer, the injected electrons and holes combine to generate exciton, and the generated exciton falls from the excited state to the ground state and emits light.
이와 같은 유기 발광 소자의 경우 상기 유기 발광층으로 외부의 수분이 침투하게 되면 상기 유기 발광층이 열화되어 수명이 단축되는 문제가 있다. 따라서, 상기 유기 발광층의 상면에 봉지층(encapsulation)과 같은 절연막을 형성하여 상기 유기 발광층으로 수분이 침투하는 것을 방지한다. In the case of such an organic light-emitting device, if external moisture penetrates into the organic light-emitting layer, the organic light-emitting layer is deteriorated and its lifespan is shortened. Therefore, an insulating film such as an encapsulation layer is formed on the upper surface of the organic light-emitting layer to prevent moisture from penetrating into the organic light-emitting layer.
이하 도면을 참조로 종래의 유기 발광 소자에 대해서 설명하기로 한다. Hereinafter, a conventional organic light emitting device will be described with reference to the drawings.
도 1은 종래의 유기 발광 소자의 개략적인 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view of a conventional organic light-emitting device.
도 1에서 알 수 있듯이, 종래의 유기 발광 소자는 기판(10), 발광부(20), 봉지층(30), 및 보호 필름(40)을 포함하여 이루어진다. As can be seen in FIG. 1, a conventional organic light emitting device includes a
상기 발광부(20)는 상기 기판(10) 상에 형성되어 있다. 구체적으로 도시하지는 않았지만, 상기 발광부(20)는 양극(anode), 음극(cathode), 및 상기 양극과 음극 사이에 구비된 유기 발광층을 포함하여 이루어진다. The
상기 봉지층(30)은 상기 발광부(20) 상에 형성되어 상기 발광부(20) 내의 유기 발광층으로 수분이 침투하는 것을 방지한다. 이와 같은 봉지층(30)은 실리콘 질화물과 같은 무기 절연막으로 이루어진다. The
상기 보호 필름(40)은 상기 봉지층(30) 상에 형성되어 상기 유기 발광 소자를 보호한다. The protective film 40 is formed on the
이와 같은 종래의 유기 발광 소자의 경우 반사광이 생성되거나 광 내부 추출효과가 감소하여 광효율이 떨어지는 문제가 발생할 수 있다. 따라서 광효율을 향상시키기 위해서 반사광의 생성을 줄이는 등 다양한 노력이 지속되어 왔다.In the case of such conventional organic light emitting devices, a problem may occur where reflected light is generated or the internal light extraction effect is reduced, resulting in lower light efficiency. Therefore, various efforts have been made to improve light efficiency, such as reducing the generation of reflected light.
본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 봉지층 상에서 발광부에서 생성된 빛이 봉지층에서 반사되는 반사광을 줄여 광효율을 향상시킬 수 있는 유기 발광 소자 및 그의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention was designed to solve the above-described conventional problems, and the present invention provides an organic light-emitting device that can improve light efficiency by reducing the reflected light generated by the light emitting unit on the encapsulation layer and a method of manufacturing the same. The purpose is to provide
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 기판; 상기 기판 상에 구비된 발광부; 상기 발광부 상에 구비된 수분 침투를 방지하는 봉지층; 상기 봉지층 상에 구비된 배리어층; 및 상기 배리어층 상에 구비된 편광층을 포함하고, 원자층 증착법으로 증착된 상기 배리어층 및 상기 편광층은 서로 굴절률이 상이한 것을 포함하는 유기 발광 소자를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a substrate; a light emitting unit provided on the substrate; an encapsulation layer provided on the light emitting unit to prevent moisture from penetrating; A barrier layer provided on the encapsulation layer; and a polarizing layer provided on the barrier layer, wherein the barrier layer and the polarizing layer deposited by atomic layer deposition have different refractive indices.
상기 배리어층 및 상기 편광층은 서로 교차하며 복수회 반복하여 증착되는 것을 포함할 수 있다.The barrier layer and the polarization layer may cross each other and be repeatedly deposited multiple times.
상기 배리어층 및 상기 편광층은 산화 지르코늄(ZrO2), 산화 알루미늄(Al2O3), 산화 하프늄(HfO2) 산화티타늄(TiO2) 산화아연(ZnO), 산화 인듐(In2O3) 산화 갈륨(Ga2O3) 산화 실리콘(SiO2) 질화 실리콘(SiNx) 중 어느 하나로 증착되는 것을 포함할 수 있다.The barrier layer and the polarizing layer include zirconium oxide (ZrO 2 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), hafnium oxide (HfO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), zinc oxide (ZnO), and indium oxide (In 2 O 3 ). It may include deposition of any one of gallium oxide (Ga 2 O 3 ), silicon oxide (SiO 2 ), and silicon nitride (SiN x ).
상기 배리어층 및 상기 편광층은 결정구조가 동일한 물질인 것을 포함할 수 있다. The barrier layer and the polarizing layer may include materials with the same crystal structure.
상기 배리어층은 인듐과 티타늄을 포함하는 산화물을 포함하고, 상기 편광층은 티타늄을 포함하는 산화물을 포함할 수 있다.The barrier layer may include an oxide containing indium and titanium, and the polarizing layer may include an oxide containing titanium.
본 발명은 또한, 기판; 상기 기판 상에 구비된 발광부; 상기 발광부 상에 구비된 수분 침투를 방지하는 봉지층; 및 상기 봉지층은 원자층 증착법(ALD)으로 증착된 제 1 봉지층 및 제 2 봉지층을 포함하고 상기 제 1 봉지층의 굴절률과 상기 제 2 봉지층의 굴절률은 서로 상이한 것을 포함할 수 있다. The present invention also provides a substrate; a light emitting unit provided on the substrate; an encapsulation layer provided on the light emitting unit to prevent moisture from penetrating; And the encapsulation layer may include a first encapsulation layer and a second encapsulation layer deposited by atomic layer deposition (ALD), and the refractive index of the first encapsulation layer may be different from the refractive index of the second encapsulation layer.
상기 봉지층은 제 3 봉지층을 더 포함할 수 있다.The encapsulation layer may further include a third encapsulation layer.
본 발명은 또한, 기판 상에 발광부를 형성하는 공정; 상기 발광부 상에 수분 침투를 방지하는 봉지층을 형성하는 공정; 상기 봉지층 상에 배리어층을 형성하는 공정; 및 상기 배리어층 상에 편광층을 형성하는 공정을 포함하고 상기 배리어층과 상기 편광층은 원자층 증착법으로 형성하는 공정을 포함하는 유기 발광 소자의 제조방법을 제공한다.The present invention also includes a process of forming a light emitting unit on a substrate; A process of forming an encapsulation layer to prevent moisture penetration on the light emitting part; A process of forming a barrier layer on the encapsulation layer; and forming a polarizing layer on the barrier layer, and forming the barrier layer and the polarizing layer by atomic layer deposition.
본 발명은 또한, 기판 상에 발광부를 형성하는 공정; 상기 발광부 상에 수분 침투를 방지하는 봉지층을 형성하는 공정; 및 상기 봉지층은 제 1 봉지층 및 제 2 봉지층을 포함하고, 상기 제 1 봉지층 및 제 2 봉지층을 원자층 증착법으로 형성하는 공정을 포함하여 이루어진 유기 발광 소자의 제조방법을 제공한다.The present invention also includes a process of forming a light emitting unit on a substrate; A process of forming an encapsulation layer to prevent moisture penetration on the light emitting part; and the encapsulation layer includes a first encapsulation layer and a second encapsulation layer, and a process of forming the first encapsulation layer and the second encapsulation layer by atomic layer deposition.
이상과 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다. According to the present invention as described above, the following effects are achieved.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 발광층 상에 봉지층, 배리어층 및 편광층이 구비되고, 상기 배리어층 및 상기 편광층의 굴절률이 서로 다르게 형성됨으로써 반사광을 줄여 광효율을 향상시킬 수 있다.According to one embodiment of the present invention, an encapsulation layer, a barrier layer, and a polarizing layer are provided on the light emitting layer, and the barrier layer and the polarizing layer have different refractive indices, thereby reducing reflected light and improving light efficiency.
특히, 상기 배리어층이 인듐과 티타늄을 포함하는 산화물로 형성되고 상기 편광층이 티타늄을 포함하는 산화물로 형성되어 광 내부 추출 효과가 향상될 수 있고, 원자층 증착법을 이용해 상기 배리어층과 상기 편광층을 교차증착하는 경우 광효율 및 배리어(barrier) 기능이 향상될 수 있다.In particular, the barrier layer is formed of an oxide containing indium and titanium, and the polarizing layer is formed of an oxide containing titanium, so that the light internal extraction effect can be improved, and the barrier layer and the polarizing layer are formed using an atomic layer deposition method. When cross-deposited, light efficiency and barrier function can be improved.
도 1은 종래의 유기 발광 소자의 개략적인 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자의 개략적인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 소자의 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 소자의 개략적인 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 광추출 결과를 보여주는 그래프이다.
도 5b은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 광추출 결과를 보여주는 그래프이다.1 is a schematic cross-sectional view of a conventional organic light-emitting device.
Figure 2 is a schematic cross-sectional view of an organic light-emitting device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a schematic cross-sectional view of an organic light-emitting device according to another embodiment of the present invention.
Figure 4 is a schematic cross-sectional view of an organic light-emitting device according to another embodiment of the present invention.
Figure 5a is a graph showing the light extraction results of an organic light-emitting device according to an embodiment of the present invention.
Figure 5b is a graph showing the light extraction results of an organic light-emitting device according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and will be implemented in various different forms. These embodiments only serve to ensure that the disclosure of the present invention is complete and that common knowledge in the technical field to which the present invention pertains is not limited. It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.The shape, size, ratio, angle, number, etc. shown in the drawings for explaining embodiments of the present invention are illustrative, and the present invention is not limited to the details shown. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. Additionally, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of related known technologies may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. When 'includes', 'has', 'consists of', etc. mentioned in this specification are used, other parts may be added unless 'only' is used. In cases where a component is expressed in the singular, the plural is included unless specifically stated otherwise.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.When interpreting a component, it is interpreted to include the margin of error even if there is no separate explicit description.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.In the case of a description of a positional relationship, for example, if the positional relationship of two parts is described as 'on top', 'on the top', 'on the bottom', 'next to', etc., 'immediately' Alternatively, there may be one or more other parts placed between the two parts, unless 'directly' is used.
시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.In the case of a description of a temporal relationship, for example, if a temporal relationship is described as 'after', 'successfully after', 'after', 'before', etc., 'immediately' or 'directly' Unless used, non-consecutive cases may also be included.
제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.Although first, second, etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms. These terms are merely used to distinguish one component from another. Accordingly, the first component mentioned below may also be the second component within the technical spirit of the present invention.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다. Each feature of the various embodiments of the present invention can be combined or combined with each other, partially or entirely, and various technological interconnections and operations are possible, and each embodiment can be implemented independently of each other or together in a related relationship. It may be possible.
이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자의 개략적인 단면도이다. Figure 2 is a schematic cross-sectional view of an organic light-emitting device according to an embodiment of the present invention.
도 2에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자는 기판(100), 발광부(200), 봉지층(300), 배리어층(500), 편광층(600) 및 보호 필름(400)을 포함하여 이루어진다. As can be seen in Figure 2, the organic light emitting device according to an embodiment of the present invention includes a
상기 기판(100)은 유리 또는 투명한 플라스틱으로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. The
상기 발광부(200)는 상기 기판(100) 상에 형성되어 있다. 구체적으로 도시하지는 않았지만, 상기 발광부(200)는 양극(anode), 음극(cathode), 및 상기 양극과 음극 사이에 구비된 유기 발광층을 포함하여 이루어진다. 상기 유기 발광층은 상기 양극 상에 차례로 형성된 정공 주입층(Hole Injecting Layer), 정공 수송층(Hole Transporting Layer), 발광층(Emitting layer), 전자 수송층(Electron Transporting Layer), 및 전자 주입층(Electron Injecting Layer)을 포함하여 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 발광부(200)는 상기 양극(anode)과 연결되는 박막 트랜지스터를 추가로 포함할 수 있으며, 이 경우 상기 박막 트랜지스터의 온/오프(on/off)에 의해 상기 발광부(200)에서의 발광이 조절될 수 있다. The
상기 봉지층(300)(Encapsulation layer)은 상기 발광부(200) 상에 형성되어 상기 발광부(200) 내의 유기 발광층으로 수분이 침투하는 것을 방지한다. The
상기 봉지층(300)은 실리콘 질화물과 같은 무기 절연물로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 상기 발광부(200) 내의 유기 발광층으로 수분이 침투하는 것을 방지할 수 있는 당업계에 공지된 다양한 물질로 이루어질 수 있다. 상기 봉지층(300)은 화학적 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition: CVD)이나 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition)으로 형성할 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. The
배리어층(500)은 상기 봉지층(300) 상에 형성될 수 있다. 편광층(600)은 상기 배리어층(500) 상에 형성될 수 있다. 상기 배리어층(500)과 상기 편광층(600)은 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition)에 의해서 상기 봉지층(300) 상에 형성될 수 있다. 상기 배리어층(500)과 상기 편광층(600)은 산화 지르코늄(ZrO2), 산화 알루미늄(Al2O3), 산화 하프늄(HfO2) 산화티타늄(TiO2) 산화아연(ZnO), 산화 인듐(In2O3) 산화 갈륨(Ga2O3) 산화 실리콘(SiO2) 질화 실리콘(SiNx) 중 어느 하나로 증착될 수 있다. A
상기 표는 상기 배리어층(500)과 상기 편광층(600)으로 형성될 수 있는 물질의 굴절률을 나타낸 것으로 상기 물질 중 어느 하나로 상기 배리어층(500)과 상기 편광층(600)을 형성할 수 있다. 반드시 어느 하나의 물질만을 선택하는 것이 아니라 복수의 물질의 조합으로 형성할 수도 있다.The table shows the refractive index of materials that can be formed as the
상기 편광층(600)은 상기 배리어층(500)은 서로 다른 굴절률을 가지며 형성될 수 있다. 상기 편광층(600)과 상기 배리어층(500)이 서로 다른 굴절률을 가지는 경우에 상기 발광부(200)에서 생성된 빛이 상기 봉지층(300)을 통과하고 상기 편광층(600) 및 상기 배리어층(500)을 통과하면서 서로 다른 굴절률로 인해 빛이 진행하는 방향이 바뀌며 빛의 진행경로가 길어져서 광효율이 향상될 수 있다. 또한, 상기 편광층(600) 및 상기 배리어층(500)이 서로 다른 굴절률을 가지는 물질로 형성되어 반사광이 감소될 수 있고, 이에 따라서 유기 발광 소자의 광효율이 향상될 수 있다. The polarization layer 600 and the
상기 편광층(600)과 상기 배리어층(500)은 서로 교차하며 복수회 반복하여 증착될 수 있다. 원자층 증착법으로 상기 편광층(600)과 상기 배리어층(500)을 서로 교차하며 복수회 반복하여 증착하는 경우 서로 다른 굴절률로 인하여 빛의 진행경로는 더 길어지고, 반사되는 빛의 양도 감소하여 광효율이 향상될 수 있다.The polarization layer 600 and the
특히 상기 배리어층(500)은 인듐과 티타늄을 포함하는 산화물로 이루어질 수 있고, 상기 편광층(600)은 티타늄을 포함하는 산화물로 이루어질 수 있다. 이 경우에 광 내부 추출 효과가 향상(intercoupling)되어 광효율이 향상될 수 있다.In particular, the
상기 배리어층(500)과 상기 편광층(600)은 서로 동일한 결정구조를 가지며 형성될 수 있다. 상기 배리어층(500)과 상기 편광층(600)이 서로 동일한 결정구조를 가지는 경우에 원자층증착시 각 층이 박리현상 없이 결합력이 커져서 증착을 용이하게 할 수 있다.The
상기 보호 필름(400)은 상기 편광층(600) 상에 형성되어 있다. 상기 보호 필름(400)은 유기 발광 소자의 기계적 강도를 증진시키고 그 표면에 스크래치 등이 발생하는 것을 방지하는 역할을 하는 것으로서, 상기 보호 필름(400)은 유리 또는 플라스틱으로 이루어질 수도 있고 경우에 따라서 금속 물질로 이루어질 수 있다. 한편, 도시하지는 않았지만, 상기 편광층(600)과 상기 보호 필름(400) 사이에 접착층이 추가로 형성될 수 있고 충진제층이 추가로 형성될 수도 있다. The
이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 발광부(200) 위에 상기 봉지층(300), 상기 배리어층(500) 및 상기 편광층(600)이 구비되고, 상기 배리어층(500) 및 상기 편광층(600)의 굴절률이 서로 다르게 형성됨으로써 광효율을 향상시킬 수 있다.As such, according to an embodiment of the present invention, the
특히, 상기 배리어층(500)이 인듐과 티타늄을 포함하는 산화물로 형성되고 상기 편광층(600)이 티타늄을 포함하는 산화물로 형성되어 광 내부 추출 효과가 향상될 수 있고, 원자층증착법을 이용해 상기 배리어층(500)과 상기 편광층(600)을 교차증착하는 경우 광효율 및 배리어(barrier) 기능이 향상될 수 있다.In particular, the
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 소자의 개략적인 단면도로서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 이하에서는 상이한 구성에 대해서만 설명하기로 한다.Figure 3 is a schematic cross-sectional view of an organic light-emitting device according to another embodiment of the present invention. The same reference numerals are assigned to the same components, and only the different components will be described below.
도 3에서 알 수 있듯이, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 봉지층(300)은 원자층 증착법으로 증착된 제 1 봉지층(310) 및 제 2 봉지층(320)을 포함하고 상기 제 1 봉지층(310)의 굴절률과 상기 제 2 봉지층(320)의 굴절률은 서로 상이하도록 형성될 수 있다. 상기 봉지층(300)을 서로 다른 굴절률을 가지는 복수의 층으로 형성하는 경우 상술한 것과 마찬가지로 빛의 진행경로가 길어지고, 반사되는 빛의 양도 감소하여 광효율이 향상될 수 있다. As can be seen in FIG. 3, according to another embodiment of the present invention, the
도 4를 참조하여 설명하면, 상기 봉지층(300)은 상기 제 1 봉지층(310) 및 상기 제 2 봉지층(320) 상에 제 3 봉지층(330)이 형성될 수 있다. 상기 제 3 봉지층(330)은 상기 제 2 봉지층(320)의 굴절률과 다른 굴절률을 가지도록 형성될 수 있다. 이는 단지 3개의 층으로 한정하는 것이 아니고, 복수의 봉지층으로 상기 봉지층을 구성하여도 빛의 진행경로가 길어지고, 반사되는 빛의 양도 감소하여 광효율이 향상될 수 있다.Referring to FIG. 4 , the
도 5a 및 도 5b를 참조하여 설명하면, 상기 배리어층(500)은 인듐과 티타늄을 포함하는 산화물로 형성하고, 상기 편광층(600)은 티타늄을 포함하는 산화물로 형성하였을 때와 상기 편광층(600)이 형성되지 않았을 때, 즉 굴절률이 다른 층이 형성되지 않고 동일한 굴절률을 가지는 층으로만 형성되었을 때를 비교한 그래프이다. 본 그래프 상에서는 산화 티타늄(TiO)이 형성되었을 때와 산화티타늄(TiO)이 형성되지 않았을 때를 비교하여 설명하였지만 이에 한정되지 아니하고, 동일한 굴절률을 가지는 층만으로 형성되었을 때와 서로 다른 굴절률을 가지는 층으로 형성되어 있는 경우를 비교한 것으로 해석할 수 있다.5A and 5B, the
도 5a는 세로축이 휘도(luminance)를 나타내고, 도 5b는 세로축이 광효율을 나타내며 가로축은 모두 광전류 밀도를 나타낸다. 도 5a 및 도 5b에서 확인할 수 있듯이, 서로 다른 굴절률을 가지는 층으로 형성되는 경우에 휘도와 광효율이 향상되는 것을 확인할 수 있다. In FIG. 5A, the vertical axis represents luminance, and in FIG. 5B, the vertical axis represents light efficiency, and the horizontal axes both represent photocurrent density. As can be seen in FIGS. 5A and 5B, it can be seen that luminance and light efficiency are improved when formed of layers having different refractive indices.
본 발명에서 형성되는 유기 발광 소자는 기판(100) 상에 발광부(200)를 형성하는 공정; 상기 발광부(200) 상에 수분 침투를 방지하는 봉지층을 형성하는 공정; 상기 봉지층(300) 상에 배리어층(500)을 형성하는 공정; 및 상기 배리어층(500) 상에 편광층(600)을 형성하는 공정을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 배리어층(500) 및 상기 편광층(600)은 원자층 증착법으로 형성될 수 있고, 상기 배리어층(500)과 상기 편광층(600)이 원자층 증착법으로 증착되는 경우 얇은 두께로 박막을 형성할 수 있고, 얇은 두께의 박막을 복수회 교대로 증착할 수 있어 빛의 진행경로를 더욱 길게 형성하여 광효율이 향상될 수 있다.The organic light-emitting device formed in the present invention includes a process of forming a light-emitting
또한, 본 발명에서 형성되는 유기 발광 소자는 기판(100) 상에 발광부(200)를 형성하는 공정; 상기 발광부(200) 상에 수분 침투를 방지하는 봉지층(300)을 형성하는 공정; 및 상기 봉지층(300)은 제 1 봉지층(310) 및 제 2 봉지층(320)을 포함하고, 상기 제 1 봉지층(310) 및 제 2 봉지층(320)을 원자층 증착법으로 형성하는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.In addition, the organic light-emitting device formed in the present invention includes a process of forming a light-emitting
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구 범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention. . Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but are for illustrative purposes, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of protection of the present invention should be interpreted in accordance with the claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of rights of the present invention.
100: 기판 200: 발광부
300: 봉지층 310: 제1 봉지층
320: 제2 봉지층 400: 보호 필름
500: 배리어층 600: 편광층100: substrate 200: light emitting unit
300: Encapsulation layer 310: First encapsulation layer
320: second encapsulation layer 400: protective film
500: barrier layer 600: polarizing layer
Claims (9)
상기 유기 발광 소자는,
상기 봉지층 상에 구비된 배리어층; 및
상기 배리어층 상에 구비된 편광층을 포함하고,
상기 배리어층 및 상기 편광층 각각은 원자층 증착법으로 증착된 산화물로 이루어지고, 상기 배리어층을 이루는 산화물과 상기 편광층을 이루는 산화물은 서로 굴절률이 상이하고,
상기 배리어층과 상기 편광층은 서로 접하도록 구비되고 결정구조가 동일한 물질을 포함하는 유기 발광 소자.
In an organic light-emitting device comprising a light-emitting portion provided on a substrate and an encapsulation layer provided on the light-emitting portion to prevent moisture penetration,
The organic light emitting device,
A barrier layer provided on the encapsulation layer; and
It includes a polarizing layer provided on the barrier layer,
Each of the barrier layer and the polarizing layer is made of an oxide deposited by atomic layer deposition, and the oxide forming the barrier layer and the oxide forming the polarizing layer have different refractive indices,
The barrier layer and the polarizing layer are provided in contact with each other and include a material having the same crystal structure.
상기 배리어층 및 상기 편광층은 서로 교차하며 복수회 반복하여 증착되는 것을 포함하는 유기 발광 소자.
According to paragraph 1,
An organic light emitting device comprising the barrier layer and the polarizing layer crossing each other and being repeatedly deposited multiple times.
상기 배리어층 및 상기 편광층은 산화 지르코늄(ZrO2), 산화 알루미늄(Al2O3), 산화 하프늄(HfO2) 산화티타늄(TiO2) 산화아연(ZnO), 산화 인듐(In2O3) 산화 갈륨(Ga2O3) 산화 실리콘(SiO2) 질화 실리콘(SiNx) 중 어느 하나로 증착되는 것을 포함하는 유기 발광 소자.
According to paragraph 1,
The barrier layer and the polarizing layer include zirconium oxide (ZrO 2 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), hafnium oxide (HfO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), zinc oxide (ZnO), and indium oxide (In 2 O 3 ). An organic light-emitting device comprising deposition of any one of gallium oxide (Ga 2 O 3 ), silicon oxide (SiO 2 ), and silicon nitride (SiN x ).
상기 배리어층은 인듐과 티타늄을 포함하는 산화물을 포함하고, 상기 편광층은 티타늄을 포함하는 산화물을 포함하는 유기 발광 소자.
According to paragraph 1,
The barrier layer includes an oxide containing indium and titanium, and the polarizing layer includes an oxide containing titanium.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160147409A KR102612722B1 (en) | 2016-11-07 | 2016-11-07 | Organic Light Emitting Device and Method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160147409A KR102612722B1 (en) | 2016-11-07 | 2016-11-07 | Organic Light Emitting Device and Method of manufacturing the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20180050863A KR20180050863A (en) | 2018-05-16 |
| KR102612722B1 true KR102612722B1 (en) | 2023-12-12 |
Family
ID=62452195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020160147409A KR102612722B1 (en) | 2016-11-07 | 2016-11-07 | Organic Light Emitting Device and Method of manufacturing the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102612722B1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102342285B1 (en) * | 2019-08-05 | 2021-12-22 | 한양대학교 산학협력단 | Encapsulation structure and method of fabricating of the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100704377B1 (en) * | 2005-12-07 | 2007-04-09 | 한국전자통신연구원 | A plat panel display device and the manufacturing method thereof |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7670758B2 (en) * | 2004-04-15 | 2010-03-02 | Api Nanofabrication And Research Corporation | Optical films and methods of making the same |
| KR101308480B1 (en) * | 2011-06-14 | 2013-09-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | Plastic organic light emitting display panel and method of fabricating the same |
| KR101596449B1 (en) * | 2014-04-15 | 2016-02-22 | 주식회사 포스코 | Thin film encapsulation unit and method of manufacturing the same |
-
2016
- 2016-11-07 KR KR1020160147409A patent/KR102612722B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100704377B1 (en) * | 2005-12-07 | 2007-04-09 | 한국전자통신연구원 | A plat panel display device and the manufacturing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20180050863A (en) | 2018-05-16 |
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