KR102612638B1 - 에어 히터 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은 열선의 표면에 특수 절연 코팅층을 형성함에 의해 열선에서 균일한 열이 발생되게 하여 열선의 단락을 방지하여 수명을 연장시키고, 열풍이 토출되는 토출구와 일직선상을 이루게 열풍이동로가 형성되어 열풍의 토출 성능을 향상시켜 가열 대상물에 이물질이 유입되지 않으며, 공기를 효율적으로 가열할 수 있는 에어 히터를 제공한다.
이러한 본 발명은, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지고, 선단 중심부에는 토출구가 구비되는 외부 관; 상기 외부 관의 내부에 설치되며, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지는 복수 개의 내부 관; 및 상기 내부 관의 내부에 석영관이 삽입 설치되고, 상기 석영관의 중심부에 위치되게 설치되어 고열을 발생하는 히터;를 포함하고, 상기 히터가 내부에 설치되는 복수 개의 내부 관이 원주 방향을 따라 일정 간격으로 상기 외부 관의 내부에 설치됨에 의해 상기 외부 관의 중심부에는 상기 외부 관의 선단 중심부에 구비되는 토출구와 일직선상을 이루게 열풍이동로;가 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

에어 히터{air heater}
본 발명은 에어 히터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 열선의 표면에 특수 절연 코팅층을 형성하여 이물질의 흡착에 의한 열선의 융착단선을 방지하여 수명을 연장시키고, 열선간 혼촉시에도 합성 단선되는 것을 방지할 수 있는 에어 히터에 관한 것이다.
일반적으로 에어 히터는 열풍으로 가열 대상물을 가열시키는 장치로서, 다양한 분야에서 사용되고 있다. 종래의 에어 히터는 유리관 내에 나선형으로 감긴 열선이 삽입되고, 유리관 내에 공기를 통과시키는 방식으로 공기를 가열하였다. 즉, 에어 히터는 반도체 장치 제조, 바이오장치, 공정, 제약업체 에어가열, 상업적인 음식물 가공, 장비 제조, 및 기타 다른 제조 산업, 특히 액체 또는 가스가 제한된 가열 또는 냉각으로 특정온도에서 수송될 필요가 있거나, 증발성 재료의 고화를 막고 이러한 재료가 파이프, 튜브, 밸브 몸체 및 다른 콘딧의 내부 표면상에 증발성 재료의 고화의 결과로서 침착되는 것을 방지할 필요가 있는 공정 또는 제조에서 파이프, 튜브, 밸브 몸체 및 2차원 또는 3차원 곡률을 가지는 다른 콘딧을 가열하거나 단열시키는 산업분야에서 많이 활용되고 있다.
그리고 기판 웨이퍼 또는 반도체 칩은 오염되어서 사용할 수 없을 정도로 쓸모없게 된다. 염화암모늄 가스가 제조 시스템을 오염시키거나 고화되어 막히지 않도록 하기 위해서, 슈퍼 에어히터는 염화암모늄 가스가 효과적, 효율적으로 집전될 수 있는 영역에 도달될 때까지 냉각, 승화, 고화 또는, 응축되지 않도록 에어히터로 고온의 에어를 공급한다.
따라서 반도체 장비 제조, 바이오장치 공정, 제약업체 제조공정에 에어가열 시키기 위해 슈퍼 에어히터가 활용되고 있으며, 점차적으로 증가추세에 있다.
특히, 에어 히터의 일예로 한국공개실용신안공보 제20-2012-0002039호(공개일: 2012년 3월 20일) "심실링머신용 에어 히터"에는 도 1에 도시된 것과 같이, 원통형 스테인레스 케이스(130)의 공기주입구(131)로 공기가 주입되면, 나선형 세라믹 보빈(110)에 부착된 나선 구조의 열선(120)을 통하여 가열된 공기가 배출되는 구조의 에어 히터가 개시되어 있다.
하지만 이러한 구조의 에어 히터를 사용하는 경우, 가열에 사용된 니크롬선 등의 열선은 금속의 특성 상 파티클이 떨어져 공기에 섞이게 된다. 따라서, 종래의 에어 히터를 고순도의 정제를 필요로 하는 반도체, LED 등의 분야에 적용할 경우에는 제품에 이물질이 섞여 제품의 수율이 떨어지는 등의 문제가 발생한다.
따라서, 본 기술분야에서는 이물질을 발생시키지 않는 에어 히터가 요구되고 있는 실정이다.
국내 공개실용신안 제20-2012-0002039호.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 열선의 표면에 특수 절연 코팅층을 형성함에 의해 열선에서 균일한 열이 발생되게 하여 열선의 단락을 방지하여 수명을 연장시키고, 열풍이 토출되는 토출구와 일직선상을 이루게 열풍이동로가 형성되어 열풍의 토출 성능을 향상시켜 가열 대상물에 이물질이 유입되지 않으며, 공기를 효율적으로 가열할 수 있는 에어 히터를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예는 에어 히터로서, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지고, 선단 중심부에는 토출구가 구비되는 외부 관; 상기 외부 관의 내부에 설치되며, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지는 복수 개의 내부 관; 및 상기 내부 관의 내부에 석영관이 삽입 설치되고, 상기 석영관의 중심부에 위치되게 설치되어 고열을 발생하는 히터;를 포함하고, 상기 히터가 내부에 설치되는 복수 개의 내부 관이 원주 방향을 따라 일정 간격으로 상기 외부 관의 내부에 설치됨에 의해 상기 외부 관의 중심부에는 상기 외부 관의 선단 중심부에 구비되는 토출구와 일직선상을 이루게 열풍이동로;가 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예는 에어 히터로서, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지고, 선단 중심에는 토출구가 구비되는 외부 관과, 상기 외부 관의 후단부에 끼움 고정되도록 설치되는 결합용 플레이트와, 결합용 플레이트의 단부에 직각을 이루게 고정 설치되는 지지대 플레이트로 이루어지는 외부 몸체; 상기 외부 몸체에 구비되는 외부 관의 내부에서 원주 방향을 따라 일정 간격으로 설치되고, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지는 복수 개의 내부 관들과, 상기 내부 관들이 끼움 결합될 수 있는 끼움홀이 원주 방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 중심부에는 열풍이동구멍이 형성되어 상기 내부 관의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 설치되고, 상기 외부 관의 내부에 삽입되어 지지될 수 있도록 상기 외부 관의 내경에 대응하는 외경으로 이루어지는 내부관 고정 플레이트로 이루어지는 내부 몸체; 및 상기 내부 몸체에 구비되는 내부 관의 내부에 석영관이 삽입 설치되고, 상기 석영관의 중심부에 위치되게 설치되어 고열을 발생하는 히터;를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 내부 관이 원주 방향을 따라 일정 간격으로 상기 외부 관의 내부에 설치됨에 의해 상기 외부 관의 중심부에는 상기 외부 관의 선단 중심부에 구비되는 토출구와 일직선상을 이루게 열풍이동로;가 형성되는 것이 바람직하다.
상기 내부관 고정 플레이트는, 전산볼트를 설치하여 고정시키되, 상기 전산볼트와 내부관 고정 플레이트 및 내부 관의 접촉 부위에는 스폿 용접하여 고정시킨 것이 바람직하다.
상기 내부 몸체의 일단에는, 상기 내부관 고정 플레이트의 일측에 설치되도록 상기 내부관 고정 플레이트와 동일한 형상으로 이루어지는 내열 실리콘 패드와, 상기 내열 실리콘 패드의 일측에 설치되며, 상기 내부관 고정 플레이트와 동일한 형상으로 이루어지는 운모 플레이트가 더 설치되는 것이 바람직하다.
상기 내부 관은 원주 방향을 따라 6개의 내부 관이 설치되고, 6개의 히터가 상기 내부 관에 각각 삽입 설치되는 것이 바람직하다.
상기 히터는: 중심부에 삽입공이 형성되고, 외주면에는 나선부가 형성된 세라믹 텝보빈; 상기 세라믹 텝보빈의 외부에 권선된 열선; 및 상기 열선의 선단에 용접 후 연결되도록 세라믹 텝보빈의 삽입공에 삽입 설치되는 니켈선;을 포함하는 발열용 열선 스토퍼로 이루어지고, 상기 발열용 열선 스토퍼가 상기 내부 관에 각각 삽입 설치되는 것이 바람직하다.
상기 히터는: 상기 내부 관에 삽입되는 발열용 열선 스토퍼들을 적어도 2개 이상 결선하여 하나의 히터로 구성하고, 하나의 히터로 구성된 히터를 병렬로 연결하도록 구성되는 것이 바람직하다.
상기 열선의 표면에는 절연 코팅층이 형성되는 것이 바람직하다.
상기 열풍이동로에는 온도측정 센서가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 열풍이동로에는 히터에서 발생되는 고열에 의해 가열되는 공기를 압축할 수 있는 열풍압축부;가 설치되고, 상기 열풍압축부는: 원주 방향으로 일정 간격을 이루게 설치되는 내부 관에 외주면이 접촉되게 설치되며, 내부에는 나선형 압축챔버가 관통되게 형성된 원통형 고정자; 및 상기 원통형 고정자의 나선형 압축챔버에 회전 가능하게 삽입 설치되도록 외주면에는 나선형 압축돌부가 형성된 원통형 회전자;를 포함하며, 상기 원통형 회전자의 회전시 가열된 압축공기가 발생되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 에어 히터에 의하면, 반도체 스폿 솔더링(Spot soldering)과 솔라셀 솔더링, 반도체 기판 웨이퍼 또는 반도체 칩 솔더링과 공정과 제품 생산에 요구되는 에어 히터를 제공할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 특수 절연 코팅층이 형성되어 반도체 기판웨이퍼와 반도체 칩의 반도체 산업, 바이오산업, 제약산업 뿐만 아니라, 모든 클린 공정시스템에 최선의 가열솔류션을 제공할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 특수 절연 코팅층이 형성되어 에어히터 기능과 모든 공정의 제어시스템이나 Flow System, 전기 설비 등 모든 시스템에 대한 제조공정에 활용될 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 특수 절연 코팅층이 형성되어 반도체, 바이오산업, 제약산업 분야와 같은 클린 조건의 모든 공정에서 크기와 효율성 향상으로 제품과 공정 효율성에 크게 기여할 수 있는 효과가 있다.
특히, 본 발명은 제품의 놀라운 내구성, 뛰어난 소형화, 무게 및 경제성이 요구되는 모든 산업 공정에 적용 가능한 효과가 있다.
따라서, 본 발명의 에어 히터의 활용 분야는, 반도체 전자부품의 자동 솔더링, Solar Cell(태양전지) Soldering, 제약 산업의 성형과 열코킹의 자동화, 비닐포장기의 씰링, BGA(Ball grid array) 리페어 또는 Soldering, 자동차도어의 패널의 내장 융착, 세라믹 기판 유리 기판의 솔더링, 소형부품이나 마킹(Marking)후 건조의 자동화, 바이오산업의 도체 예열과 열코킹, 코일의 자동융착, 액정 패널의 백라이트의 건조 및 코킹에 활용 가능한 효과가 있다.
도 1은 종래의 에어 히터를 나타낸 도면이고,
도 2는 에어 히터가 적용되는 분야를 나타낸 도면이고,
도 3 내지 도 4는 본 발명에 따른 에어 히터의 사시도이고,
도 5 내지 도 6은 본 발명에 따른 에어 히터의 구조를 보인 분리 사시도이고,
도 7은 본 발명에 따른 에어 히터에서 원주 방향으로 설치되는 내부 관들에 의해 에어 이동로가 형성된 상태를 나타낸 도면이고,
도 8 내지 도 9는 본 발명에 따른 에어 히터에 적용되는 히터를 나타낸 도면이고,
도 10은 도 9표시의 히터에서 일 부위를 확대한 도면이고,
도 11 내지 도 12은 본 발명의 히터에 절연 코팅층이 형성되어, 종래의 히터와 성능을 비교한 도면이고,
도 13 내지 도 14은 본 발명에 따른 에어 히터에 열풍압축부가 적용된 예시도이다.
이하에서는, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하기로 한다.
본 발명의 설명에 앞서, 이하의 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니된다.
또한, 본 발명의 개념에 따른 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본 명세서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시예들을 특정한 개시 형태에 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경물, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 본 발명의 구성들은 직접적인 접촉이나 연결뿐만 아니라 구성과 구성 사이에 다른 구성을 통해 접촉이나 연결된 것도 같은 범위로 해석하도록 한다.
첨부된 도 3 내지 도 4는 본 발명에 따른 에어 히터의 사시도이고, 도 5 내지 도 6은 본 발명에 따른 에어 히터의 구조를 보인 분리 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 에어 히터에서 원주 방향으로 설치되는 내부 관들에 의해 에어 이동로가 형성된 상태를 나타낸 도면이고, 도 8 내지 도 9는 본 발명에 따른 에어 히터에 적용되는 히터를 나타낸 도면이고, 도 10은 도 9표시의 히터에서 일 부위를 확대한 도면이고, 도 11 내지 도 12은 본 발명의 히터에 절연 코팅층이 형성되어, 종래의 히터와 성능을 비교한 도면이고, 도 13 내지 도 14은 본 발명에 따른 에어 히터에 열풍압축부가 적용된 예시도이다.
이들 도면에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 에어 히터의 일 실시예는, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지고, 선단 중심부에는 토출구(213)가 구비되는 외부 관(212)과 상기 외부 관(212)의 내부에 설치되며, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지는 복수 개의 내부 관(222) 및 상기 내부 관(222)의 내부에 석영관(232)이 삽입 설치되고, 상기 석영관(232)의 중심부에 위치되게 설치되어 고열을 발생하는 히터(230)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
특히, 본 발명에 따른 에어 히터의 일 실시예는, 상기 히터(230)가 내부에 설치되는 복수 개의 내부 관(222)이 원주 방향을 따라 일정 간격으로 상기 외부 관(212)의 내부에 설치됨에 의해 상기 외부 관(212)의 중심부에는 상기 외부 관(212)의 선단 중심부에 구비되는 토출구(213)와 일직선상을 이루게 열풍이동로(202)가 형성되는 것이 특징이다.
이와 같이, 본 발명에 따른 에어 히터의 일 실시예는, 열풍이 토출되는 토출구(213)와 일직선상을 이루게 열풍이동로(202)가 형성되므로, 열풍의 토출 성능을 향상시켜 이물질을 발생시키지 않게 하는 특징을 갖는다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 에어 히터의 다른 실시예는, 외부 몸체(210)와 내부 몸체(220) 및 히터(230)를 포함하는 것이 바람직하다.
도시된 바와 같이, 상기 외부 몸체(210)는 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지고, 선단 중심에는 토출구(213)가 구비되는 외부 관(212)과, 상기 외부 관(212)의 후단부에 끼움 고정되도록 설치되는 결합용 플레이트(214)와, 결합용 플레이트(214)의 단부에 직각을 이루게 고정 설치되는 지지대 플레이트(216)로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 토출구(213)는 외부 관(212)의 직경 보다 작게 형성되는 것이 바람직하다, 따라서, 상기 외부 관(212)의 선단에 토출구(213)를 형성하기 위해서는 상기 외부 관(212)의 선단에 테이퍼면을 이루게 형성되는 것이 바람직하며, 토출구(213)의 외측으로 상기 내부 관(222)이 원주 방향을 이루게 배치 설치되는 것이 바람직하다.
따라서, 토출구(213)와 일직선상을 이루게 열풍이동로(202)의 형성이 가능하다.
도시된 바와 같이, 상기 내부 몸체(220)는 상기 외부 몸체(210)에 구비되는 외부 관(212)의 내부에서 원주 방향을 따라 일정 간격으로 설치되고, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지는 복수 개의 내부 관(222)들과, 상기 내부 관(222)들이 끼움 결합될 수 있는 끼움홀(224a)이 원주 방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 중심부에는 열풍이동구멍(224b)이 형성되어 상기 내부 관(222)의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 설치되고, 상기 외부 관(212)의 내부에 삽입되어 지지될 수 있도록 상기 외부 관(212)의 내경에 대응하는 외경으로 이루어지는 내부관 고정 플레이트(224)로 이루어지는 것이 바람직하다.
이때, 상기 내부관 고정 플레이트(224)는 전산볼트(226)를 설치하여 고정시키는 것이 바람직하고, 상기 전산볼트(226)와 내부관 고정 플레이트(224) 및 내부 관(222)의 접촉 부위에는 스폿 용접하여 고정시킨 것이 바람직하다.
또한, 상기 내부 몸체(220)의 일단에는 상기 내부관 고정 플레이트(224)의 일측에 설치되도록 상기 내부관 고정 플레이트(224)와 동일한 형상으로 이루어지는 내열 실리콘 패드(228)와, 상기 내열 실리콘 패드(228)의 일측에 설치되며, 상기 내부관 고정 플레이트(224)와 동일한 형상으로 이루어지는 운모 플레이트(229)가 설치되는 것이 바람직하다.
도시된 바와 같이, 상기 히터(230)는 상기 내부 몸체(220)에 구비되는 내부 관(222)의 내부에 석영관(232)이 삽입 설치되고, 상기 석영관(232)의 중심부에 위치되게 설치되어 고열을 발생시키는 것이 바람직하다.
이러한 히터(230)는 중심부에 삽입공이 형성되고, 외주면에는 나선부가 형성된 세라믹 텝보빈(234)과, 상기 세라믹 텝보빈(234)의 외부에 권선된 열선(236)과, 상기 열선(236)의 선단에 용접 후 연결되도록 세라믹 텝보빈(234)의 삽입공에 삽입 설치되는 니켈선(238)을 포함하는 발열용 열선 스토퍼(233)로 이루어지는 것이 바람직하다.
이때, 상기 발열용 열선 스토퍼(233)는 상기 내부 관(222)에 각각 삽입 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 히터(230)는 상기 내부 관(222)에 삽입되는 발열용 열선 스토퍼(233)들을 적어도 2개 이상 결선하여 하나의 히터로 구성하고, 하나의 히터로 구성된 히터를 병렬로 연결하도록 구성되는 것이 바람직하다.
일 예로, 상기 내부 관(222)은 원주 방향을 따라 6개의 내부 관이 설치되고, 6개의 히터가 상기 내부 관(222)에 각각 삽입 설치되는 것이 바람직하며, 3개의 히터를 결선하여 하나의 히터를 구성하고, 2개의 히터를 병렬 연결하는 것이 바람직하다.
특히, 상기 열선(236)의 표면에는 절연 코팅층이 형성된 것이 바람직하며, 절연 코팅층을 형성하지 않은 일반적 열선과 다른 특징을 갖는다. 즉, 첨부된 도 11 내지 도 12표시와 같이, 일반적인 열선 스토퍼를 사용시에는 강한 공압을 공급하여 고온열풍을 발생시 열팽창으로 늘어나 탭 보빈을 탈착하여 열선간 혼촉시 합선(Short) 현상으로 융착 단선되어 불량이 되는 문제점이 있다.
그러나, 본 발명과 같이 열선에 절연 코팅(절연증착)이 형성되어 있는 열선은 합선 융착 단선 현상을 회피할 수 있어 불량율을 현저히 낮출 수 있고, 사용 중 공압공급시 외부 불순물 유입 흡착, 혼촉에 의한 합선 단락 현상도 방지되어 히타 수명이 연장될 수 있다.
또한, 상기 열풍이동로(202)에는 온도측정 센서가 설치되는 것이 바람직하다.
본 발명은 전선 간 혼촉을 방지하기 위해 니켈 연결선에 절연용 세라믹 부싱이 끼움 설치될 수 있다.
한편, 상기 열풍이동로(202)에는 히터(230)에서 발생되는 고열에 의해 가열되는 공기를 압축할 수 있는 열풍압축부(240)가 설치되는 것이 바람직하다.
이러한 열풍압축부(240)는 원주 방향으로 일정 간격을 이루게 설치되는 내부 관(222)에 외주면이 접촉되게 설치되며, 내부에는 나선형 압축챔버(243)가 관통되게 형성된 원통형 고정자(242)와, 상기 원통형 고정자(242)의 나선형 압축챔버(243)에 회전 가능하게 삽입 설치되도록 외주면에는 나선형 압축돌부(245)가 형성된 원통형 회전자(244)로 이루어지는 것이 바람직하다.
이러한 열풍압축부(240)는 상기 원통형 회전자(244)의 회전시 가열된 압축공기가 발생되는 것을 특징으로 한다.
특히, 본 발명에 따른 에어 히터의 다른 실시예는, 상기 내부 관(222)이 원주 방향을 따라 일정 간격으로 상기 외부 관(212)의 내부에 설치됨에 의해 상기 외부 관(212)의 중심부에는 상기 외부 관(212)의 선단 중심부에 구비되는 토출구(213)와 일직선상을 이루게 열풍이동로(202)가 형성되는 것을 특징이다.
본 발명에 따른 에어 히터에서 토출되는 에어 토출 온도는 600℃ 이상이며, 에어 공급 풍압은 0.3MPa 이상이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 열선의 표면에 특수 절연 코팅층을 형성하여 이물질의 흡착에 의한 열선의 융착단선을 방지하여 수명을 연장시키고, 열선간 혼촉시에도 합성 단선되는 것을 방지할 수 있는 특징을 갖는다.
이상에서와 같은 기술적 구성에 의해 본 발명의 기술적 과제가 달성되는 것이며, 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나 여기에 한정되지 않고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능한 것임은 물론이다.
210 - 외부 몸체 212 - 외부 관
220 - 내부 몸체 222 - 내부 관
230 - 히터 240 - 열풍압축부

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 에어 히터에 있어서,
    양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지고, 선단 중심에는 토출구(213)가 구비되는 외부 관(212)과, 상기 외부 관(212)의 후단부에 끼움 고정되도록 설치되는 결합용 플레이트(214)와, 결합용 플레이트(214)의 단부에 직각을 이루게 고정 설치되는 지지대 플레이트(216)로 이루어지는 외부 몸체(210);
    상기 외부 몸체(210)에 구비되는 외부 관(212)의 내부에서 원주 방향을 따라 일정 간격으로 설치되고, 양단이 개구된 원통 형상으로 이루어지는 복수 개의 내부 관(222)들과, 상기 내부 관(222)들이 끼움 결합될 수 있는 끼움홀(224a)이 원주 방향을 따라 일정 간격으로 형성되며, 중심부에는 열풍이동구멍(224b)이 형성되어 상기 내부 관의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 설치되고, 상기 외부 관(212)의 내부에 삽입되어 지지될 수 있도록 상기 외부 관(212)의 내경에 대응하는 외경으로 이루어지는 내부관 고정 플레이트(224)로 이루어지는 내부 몸체(220); 및
    상기 내부 몸체(220)에 구비되는 내부 관(222)의 내부에 석영관(232)이 삽입 설치되고, 상기 석영관(232)의 중심부에 위치되게 설치되어 고열을 발생하는 히터(230);를 포함하고,
    상기 내부관 고정 플레이트(224)는, 전산볼트(226)를 설치하여 고정시키되, 상기 전산볼트(226)와 내부관 고정 플레이트(224) 및 내부 관(222)의 접촉 부위에는 스폿 용접하여 고정시킨 것을 특징으로 하는 에어 히터.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제2항에 있어서,
    상기 내부 몸체(220)의 일단에는, 상기 내부관 고정 플레이트(224)의 일측에 설치되도록 상기 내부관 고정 플레이트(224)와 동일한 형상으로 이루어지는 내열 실리콘 패드(228)와, 상기 내열 실리콘 패드(228)의 일측에 설치되며, 상기 내부관 고정 플레이트(224)와 동일한 형상으로 이루어지는 운모 플레이트(229)가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 에어 히터.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 내부 관(222)은 원주 방향을 따라 6개의 내부 관(222)이 설치되고, 6개의 히터(230)가 상기 내부 관(222)에 각각 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 에어 히터.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 히터(230)는:
    중심부에 삽입공이 형성되고, 외주면에는 나선부가 형성된 세라믹 텝보빈(234);
    상기 세라믹 텝보빈(234)의 외부에 권선된 열선(236); 및
    상기 열선(236)의 선단에 용접 후 연결되도록 세라믹 텝보빈(234)의 삽입공에 삽입 설치되는 니켈선(238);을 포함하는 발열용 열선 스토퍼(233)로 이루어지고,
    상기 발열용 열선 스토퍼(233)가 상기 내부 관(222)에 각각 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 에어 히터.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 히터(230)는:
    상기 내부 관(222)에 삽입되는 발열용 열선 스토퍼(233)들을 적어도 2개 이상 결선하여 하나의 히터로 구성하고, 하나의 히터로 구성된 히터를 병렬로 연결하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 에어 히터.
  9. 삭제
  10. 삭제
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