KR102609087B1 - Organic light emitting diode display device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기발광소자에 관한 것으로, 특히 마스크공정이 감소된 탑-게이트 타입의 박막트랜지스터를 포함하는 유기발광소자에 관한 것이다.
본 발명은 탑-게이트 타입의 박막트랜지스터를 형성하는데 4개의 마스크 공정만을 필요로 하여, 컬러필터와 뱅크를 형성하기 위한 4개의 마스크 공정을 포함하여 총 8개의 마스크 공정만으로 유기발광소자를 형성할 수 있다.
이를 통해, 12개의 마스크 공정을 필요로 했던 기존의 유기발광소자의 제조공정에 비해 4개의 마스크 공정을 삭제할 수 있어, 공정비용을 절감할 수 있으며, 공정시간을 단축할 수 있어, 생산성을 포함하여 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.
The present invention relates to an organic light emitting device, and particularly to an organic light emitting device including a top-gate type thin film transistor with a reduced mask process.
The present invention requires only four mask processes to form a top-gate type thin film transistor, so that an organic light emitting device can be formed with only a total of eight mask processes, including four mask processes for forming color filters and banks. there is.
Through this, compared to the existing organic light emitting device manufacturing process that required 12 mask processes, 4 mask processes can be eliminated, reducing process costs and shortening process time, improving productivity and productivity. The efficiency of the process can be improved.

Description

유기발광소자{Organic light emitting diode display device}Organic light emitting diode display device}

본 발명은 유기발광소자에 관한 것으로, 특히 마스크공정이 감소된 탑-게이트 타입의 박막트랜지스터를 포함하는 유기발광소자에 관한 것이다. The present invention relates to an organic light emitting device, and particularly to an organic light emitting device including a top-gate type thin film transistor with a reduced mask process.

근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 여러 가지 다양한 평판표시장치가 개발되어 각광받고 있다. In recent years, as society has entered a full-fledged information age, the display field, which processes and displays large amounts of information, has developed rapidly, and in response to this, various flat panel display devices have been developed and are in the spotlight.

이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device : PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device : FED), 전기발광표시장치(Electroluminescence Display device : ELD), 유기발광소자(organic light emitting diodes : OLED) 등을 들 수 있는데, 이들 평판표시장치는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 보여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.Specific examples of such flat panel displays include Liquid Crystal Display device (LCD), Plasma Display Panel device (PDP), Field Emission Display device (FED), and electroluminescent display device. (Electroluminescence Display device: ELD), organic light emitting diodes (OLED), etc. These flat panel displays show excellent performance in terms of thinness, weight, and low power consumption, compared to the existing cathode ray tube (CRT). ) is rapidly replacing.

위와 같은 평판표시장치 중에서, 유기발광소자는 자발광소자로서, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 백라이트를 필요로 하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다. Among the above flat panel displays, organic light emitting devices are self-luminous devices and do not require backlights used in liquid crystal displays, which are non-light emitting devices, so they can be lightweight and thin.

그리고, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다. In addition, it has an excellent viewing angle and contrast ratio compared to liquid crystal displays, is advantageous in terms of power consumption, can be driven at low direct current voltage, has a fast response speed, is strong against external shocks because the internal components are solid, and has a wide operating temperature range. It has advantages.

특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다. In particular, because the manufacturing process is simple, it has the advantage of significantly reducing production costs compared to existing liquid crystal displays.

도 1은 일반적인 유기발광소자의 하나의 화소에 대한 회로도이다. 1 is a circuit diagram of one pixel of a general organic light emitting device.

도시한 바와 같이, 유기발광소자의 하나의 화소영역(P)에는 제 1 방향으로 게이트배선(GL)이 형성되어 있고, 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 배치되어 화소영역(P)을 정의하는 데이터배선(DL)이 형성되어 있으며, 각각의 화소영역(P)에는 스위칭박막트랜지스터(Tsw)와 구동박막트랜지스터(Tdr), 스토리지캐패시터(Cst), 그리고 발광다이오드(E)가 형성된다. As shown, a gate wiring (GL) is formed in a first direction in one pixel area (P) of the organic light emitting device, and is disposed in a second direction crossing the first direction to define the pixel area (P). A data line (DL) is formed in each pixel area (P), and a switching thin film transistor (Tsw), a driving thin film transistor (Tdr), a storage capacitor (Cst), and a light emitting diode (E) are formed in each pixel area (P).

데이터배선(DL)과 게이트배선(GL)이 교차하는 부분에는 스위칭박막트랜지스터(Tsw)가 형성되어 있으며, 각 화소영역(P) 내부에는 스위칭박막트랜지스터(Tsw)와 전기적으로 연결된 구동박막트랜지스터(Tdr)가 형성되어 있다. A switching thin film transistor (Tsw) is formed at the intersection of the data wire (DL) and the gate wire (GL), and inside each pixel area (P), a driving thin film transistor (Tdr) is electrically connected to the switching thin film transistor (Tsw). ) is formed.

이때, 구동박막트랜지스터(Tdr)와 스토리지캐패시터(Cst)는 스위칭박막트랜지스터(Tsw)와 고전위전압(VDD) 사이에 연결되며, 발광다이오드(E)는 구동박막트랜지스터(Tdr)와 저전위전압(VSS) 사이에 연결된다. At this time, the driving thin film transistor (Tdr) and the storage capacitor (Cst) are connected between the switching thin film transistor (Tsw) and the high potential voltage (VDD), and the light emitting diode (E) is connected between the driving thin film transistor (Tdr) and the low potential voltage (VDD). VSS).

따라서, 게이트배선(GL)을 통해 신호가 인가되면 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 온(on) 되고, 데이터배선(DL)의 신호가 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트전극에 전달되어 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 되므로 유기발광다이오드(E)를 통해 빛이 출력된다. Therefore, when a signal is applied through the gate wire (GL), the switching thin film transistor (STr) is turned on, and the signal of the data wire (DL) is transmitted to the gate electrode of the driving thin film transistor (DTr), and the driving thin film transistor ( Since DTr) is on, light is output through the organic light emitting diode (E).

이때, 구동박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 상태가 되면, 전원배선(PL)으로부터 발광다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 발광다이오드(E)는 그레이 스케일(gray scale)을 구현할 수 있게 되며, 스토리지커패시터(StgC)는 스위칭박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 되었을 때, 구동박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전압을 일정하게 유지시키는 역할을 함으로써 스위칭박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 상태가 되더라도 다음 프레임(frame)까지 발광다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있게 된다.At this time, when the driving thin film transistor (DTr) is in the on state, the level of the current flowing from the power wiring (PL) to the light emitting diode (E) is determined, and this causes the light emitting diode (E) to display in gray scale. can be implemented, and the storage capacitor (StgC) plays a role in maintaining the gate voltage of the driving thin film transistor (DTr) constant when the switching thin film transistor (STr) is turned off. Even if it is turned off, the level of current flowing through the light emitting diode (E) can be maintained constant until the next frame.

도 2는 일반적인 탑-게이트 타입의 박막트랜지스터를 구비한 유기발광소자를 개략적으로 도시한 단면도이다. Figure 2 is a cross-sectional view schematically showing an organic light emitting device equipped with a general top-gate type thin film transistor.

도시한 바와 같이, 일반적인 유기발광소자(1)는 기판(10) 상에 차광패턴(13), 버퍼층(11), 반도체층(14), 층간절연막(16), 게이트전극(17), 게이트절연막(15), 소스 및 드레인전극(18a, 18b), 보호층(21), 컬러필터층(23), 평탄화막(25), 제 1 전극(26), 뱅크(29), 유기발광층(27), 제 2 전극(28)이 구비된다. As shown, a typical organic light emitting device 1 includes a light blocking pattern 13, a buffer layer 11, a semiconductor layer 14, an interlayer insulating film 16, a gate electrode 17, and a gate insulating film on a substrate 10. (15), source and drain electrodes (18a, 18b), protective layer (21), color filter layer (23), planarization film (25), first electrode (26), bank (29), organic light emitting layer (27), A second electrode 28 is provided.

먼저, 기판(10) 상에 제 1 마스크를 이용하여 차광패턴(13)이 형성되어 있으며, 차광패턴(13) 상부로 전면에 버퍼층(11)이 형성되어 있다. First, a light-shielding pattern 13 is formed on the substrate 10 using a first mask, and a buffer layer 11 is formed on the entire surface above the light-shielding pattern 13.

버퍼층(11) 상부로는 비정질실리콘층을 증착하고, 비정질실리콘층을 다결정실리콘으로 결정화시킨 후, 제 2 마스크를 이용하여 다결정실리콘층을 소정의 패턴으로 패터닝한다. An amorphous silicon layer is deposited on the buffer layer 11, the amorphous silicon layer is crystallized into polycrystalline silicon, and then the polycrystalline silicon layer is patterned into a predetermined pattern using a second mask.

그 후, 제 2 마스크를 이용하여 패터닝된 다결정실리콘층을 액티브영역(14a)과, 액티브영역(14a)의 양측으로 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(14b, 14c)으로 이루어지는 반도체층(14)을 형성한다. Thereafter, the polycrystalline silicon layer patterned using the second mask is formed into a semiconductor layer ( 14) is formed.

다음으로, 버퍼층(11) 및 반도체층(14) 상에 게이트절연막(15)과 게이트전극(17)으로 사용될 도전물질을 증착한 후, 제 3 마스크를 이용하여 반도체층(14)의 액티브영역(14a)에 대응하여 게이트전극(17)을 소정 패턴으로 패터닝한다. Next, after depositing a conductive material to be used as the gate insulating film 15 and the gate electrode 17 on the buffer layer 11 and the semiconductor layer 14, the active area ( In response to 14a), the gate electrode 17 is patterned into a predetermined pattern.

이때, 도면에 나타내지 않았지만 일방향으로 연장하는 게이트배선(도 1의 GL)이 같이 형성된다. At this time, although not shown in the drawing, a gate wiring (GL in FIG. 1) extending in one direction is formed.

게이트전극(17)을 형성한 후, 게이트전극(17) 상에 층간절연막(16)을 증착하고, 그 후 제 4 마스크를 이용하여 소스 및 드레인전극(18a, 18b)과 반도체층(14)을 전기적으로 접속시키기 위한 소스 및 드레인콘택홀(19)을 패터닝한다.After forming the gate electrode 17, an interlayer insulating film 16 is deposited on the gate electrode 17, and then the source and drain electrodes 18a and 18b and the semiconductor layer 14 are formed using a fourth mask. Source and drain contact holes 19 for electrical connection are patterned.

소스 및 드레인콘택홀(19)을 형성한 후, 층간절연막(16) 상에 소스 및 드레인전극 물질을 증착하고 제 5 마스크를 이용하여 소스 및 드레인전극(18a, 18b)을 소정 패턴으로 패터닝한다.After forming the source and drain contact holes 19, source and drain electrode materials are deposited on the interlayer insulating film 16, and the source and drain electrodes 18a and 18b are patterned into a predetermined pattern using a fifth mask.

이때, 소스 및 드레인전극(18a, 18b)과 이들 전극(18a, 18b)과 접촉하는 소스 및 드레인영역(14b, 14c)을 포함하는 반도체층(14)과 반도체층(14) 상부에 형성된 게이트절연막(15) 및 게이트전극(17)은 구동박막트랜지스터(DTr)를 이루게 된다. At this time, a semiconductor layer 14 including source and drain electrodes 18a and 18b and source and drain regions 14b and 14c in contact with these electrodes 18a and 18b, and a gate insulating film formed on the semiconductor layer 14. (15) and the gate electrode 17 form a driving thin film transistor (DTr).

소스 및 드레인전극(18a, 18b)을 형성한 후, 소스 및 드레인전극(18a, 18b) 및 층간절연막(16) 상에 보호층(21)을 형성하고, 소스 및 드레인전극(18a, 18b) 중 어느 하나의 전극과 발광다이오드의 양극(anode)전극인 제 1 전극(26)을 전기적으로 접속시키기 위한 제 1 드레인콘택홀(22)을 제 6 마스크를 이용하여 패터닝한다.After forming the source and drain electrodes 18a and 18b, a protective layer 21 is formed on the source and drain electrodes 18a and 18b and the interlayer insulating film 16, and a protective layer 21 is formed on the source and drain electrodes 18a and 18b. A first drain contact hole 22 for electrically connecting one electrode to the first electrode 26, which is the anode electrode of the light emitting diode, is patterned using a sixth mask.

제 1 드레인콘택홀(22)을 형성한 후, 보호층(21) 상부로 각 화소영역(P) 별로 제 7 내지 제 9 마스크를 사용하여 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터층(23)을 패터닝한다. After forming the first drain contact hole 22, red (R), green (G), and blue (B) colors are applied to the upper part of the protective layer 21 using the 7th to 9th masks for each pixel region (P). The color filter layer 23 is patterned.

적, 녹, 청색의 컬러필터층(23) 상부로 평탄화층(25)을 형성한 후, 제 1 드레인콘택홀(22)을 통해 드레인전극(18b)을 노출하는 제 2 드레인콘택홀(24)을 제 10 마스크를 이용하여 패터닝한다. After forming the planarization layer 25 on the red, green, and blue color filter layer 23, a second drain contact hole 24 is formed to expose the drain electrode 18b through the first drain contact hole 22. Patterning is performed using the 10th mask.

평탄화층(25) 상부로 도전물질을 증착하고, 제 11 마스크를 이용하여 도전물질을 패터닝하여, 발광다이오드(E)를 구성하는 일 구성요소로서 양극(anode)을 이루는 제 1 전극(26)을 형성한다. A conductive material is deposited on the planarization layer 25, and the conductive material is patterned using an 11th mask to form a first electrode 26 that forms an anode as a component of the light emitting diode (E). form

제 1 전극(26)은 제 1 및 제 2 드레인콘택홀(22, 24)을 통해 드레인전극(18b)과 전기적으로 연결된다. The first electrode 26 is electrically connected to the drain electrode 18b through the first and second drain contact holes 22 and 24.

제 1 전극(26)을 형성한 후, 평탄화층(25)과 제 1 전극(26) 상부로 제 12 마스크를 이용하여 뱅크(29)를 형성한다. After forming the first electrode 26, a bank 29 is formed on the planarization layer 25 and the first electrode 26 using a twelfth mask.

이후, 제 1 전극(26) 상부로 유기발광층(27)을 쉐도우마스크를 이용하여 증착하고, 그 다음으로 유기발광층(27) 상부로 발광다이오드(E)의 음극(cathode)을 이루는 제 2 전극(28)을 증착한다. Afterwards, the organic light-emitting layer 27 is deposited on the first electrode 26 using a shadow mask, and then a second electrode forming the cathode of the light-emitting diode E is deposited on the organic light-emitting layer 27. 28) is deposited.

이후, 제 2 전극(28) 상부로 얇은 박막필름 형태인 보호필름(30)을 통해 인캡슐레이션함으로써, 유기발광소자(1)를 완성하게 된다. Thereafter, the organic light emitting device 1 is completed by encapsulating the upper part of the second electrode 28 through a protective film 30 in the form of a thin film.

한편, 이러한 탑-게이트 타입의 구동박막트랜지스터(DTr)를 포함하는 유기발광소자(1)는 소정의 패턴을 형성하기 위하여 적어도 12개의 마스크 공정을 필요로 하게 되는데, 1회의 마스크 공정은 노광 마스크를 이용한 노광, 현상 및 세정 공정을 진행하여야 하므로, 마스크 공정 수가 증가 할수록 생산성이 저하되는 문제가 발생하게 되고, 공정비용을 상승시키게 된다. Meanwhile, the organic light emitting device 1 including this top-gate type driving thin film transistor (DTr) requires at least 12 mask processes to form a predetermined pattern, and one mask process requires an exposure mask. Since exposure, development, and cleaning processes must be performed, as the number of mask processes increases, productivity decreases and process costs increase.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 탑-게이트 타입의 박막트랜지스터를 포함하는 유기발광소자의 제조공정을 단순화하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다. The present invention is intended to solve the above problems, and its first purpose is to simplify the manufacturing process of an organic light emitting device including a top-gate type thin film transistor.

이를 통해, 공정비용을 절감하고, 공정의 효율성을 향상시키는 것을 제 2 목적으로 한다. Through this, the second purpose is to reduce process costs and improve process efficiency.

전술한 바와 같이 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 차광패턴을 컬러필터로 형성하고, 산화물반도체층의 제 3 영역이 발광다이오드의 제 1 전극을 이루도록 형성하고, 제 1 소스전극을 포함하는 구동영역과, 게이트 배선 및 데이터배선 상부로 뱅크를 위치시키는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the object as described above, the present invention forms a light-shielding pattern as a color filter, the third region of the oxide semiconductor layer is formed to form the first electrode of the light emitting diode, and the driving region includes the first source electrode. And, the bank is located above the gate wiring and data wiring.

이를 통해, 본원발명은 탑-게이트 타입의 박막트랜지스터를 형성하는데 4개의 마스크 공정만을 필요로 하여, 컬러필터와 뱅크를 형성하기 위한 4개의 마스크 공정을 포함하여 총 8개의 마스크 공정만으로 유기발광소자를 형성할 수 있어, 12개의 마스크 공정을 필요로 했던 기존의 유기발광소자의 제조공정에 비해 4개의 마스크 공정을 삭제할 수 있어, 공정비용을 절감할 수 있으며, 공정시간을 단축할 수 있어, 생산성을 포함하여 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. Through this, the present invention requires only four mask processes to form a top-gate type thin film transistor, making an organic light emitting device possible with a total of eight mask processes, including four mask processes for forming a color filter and a bank. Compared to the existing organic light emitting device manufacturing process that required 12 mask processes, 4 mask processes can be eliminated, reducing process costs and shortening process time, increasing productivity. Including, the efficiency of the process can be improved.

위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 탑-게이트 타입의 박막트랜지스터를 형성하는데 4개의 마스크 공정만을 필요로 하여, 컬러필터와 뱅크를 형성하기 위한 4개의 마스크 공정을 포함하여 총 8개의 마스크 공정만으로 유기발광소자를 형성함으로써, 12개의 마스크 공정을 필요로 했던 기존의 유기발광소자의 제조공정에 비해 4개의 마스크 공정을 삭제할 수 있어, 공정비용을 절감할 수 있는 효과가 있으며, 공정시간을 단축할 수 있는 효과가 있어, 생산성을 포함하여 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. As described above, forming a top-gate type thin film transistor according to the present invention requires only four mask processes, and a total of eight mask processes, including four mask processes for forming the color filter and bank, are required. By forming an organic light emitting device, four mask processes can be eliminated compared to the existing organic light emitting device manufacturing process that required 12 mask processes, which has the effect of reducing process costs and shortening the process time. There is an effect that can improve the efficiency of the process, including productivity.

도 1은 일반적인 유기발광소자의 하나의 화소에 대한 회로도.
도 2는 일반적인 탑-게이트 타입의 박막트랜지스터를 구비한 유기발광소자를 개략적으로 도시한 단면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자의 하나의 화소영역에 대한 회로도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자의 화소영역의 일부를 개략적으로 도시한 평면도.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 자른 단면도.
1 is a circuit diagram of one pixel of a general organic light emitting device.
Figure 2 is a cross-sectional view schematically showing an organic light emitting device equipped with a general top-gate type thin film transistor.
Figure 3 is a circuit diagram of one pixel area of an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a plan view schematically showing a portion of the pixel area of an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a cross-sectional view taken along line V-V of Figure 4.

본원발명은 게이트배선 및 데이터배선이 서로 교차하여 적(R), 녹(G), 청(B)색의 화소영역이 정의되며, 각 화소영역 별로 구동영역과 발광영역이 정의된 기판과, 상기 기판 상부의 상기 구동영역에 대응하여 위치하며, 중앙부의 제 1 영역과 상기 제 1 영역의 양측으로 위치하는 제 2 및 제 3 영역을 포함하는 제 1 산화물반도체층과, 상기 제 3 영역으로부터 상기 발광영역으로 연장되는 제 1 전극과, 상기 구동영역에 대응하여 상기 제 1 산화물반도체층의 상기 제 1 및 제 2 영역 상에 위치하는 게이트절연막과, 상기 게이트절연막 상의 상기 제 1 영역에 대응하여 위치하는 제 1 게이트전극과, 상기 구동영역에 대응하여 상기 제 1 게이트전극 상부로 위치하며, 상기 제 2 영역을 노출하는 제 1 반도체콘택홀을 갖는 층간절연막과, 상기 제 1 반도체콘택홀을 통해 상기 제 2 영역과 접촉하는 제 1 소스전극과, 상기 발광영역에 대응하여 상기 제 1 전극 상부로 위치하는 유기발광층과, 상기 제 1 소스전극을 포함하는 상기 구동영역과, 상기 게이트 배선 및 상기데이터배선 상부로 위치하는 뱅크(bank)와, 상기 뱅크와 상기 유기발광층 상부로 위치하는 제 2 전극을 포함하는 유기발광소자를 제공한다. The present invention includes a substrate in which red (R), green (G), and blue (B) pixel areas are defined by crossing gate wires and data wires, and a driving area and a light emitting area are defined for each pixel area; A first oxide semiconductor layer located corresponding to the driving region on the upper part of the substrate and including a first region in the center and second and third regions located on both sides of the first region, and the light emission from the third region a first electrode extending into the region, a gate insulating film positioned on the first and second regions of the first oxide semiconductor layer corresponding to the driving region, and a gate insulating film positioned corresponding to the first region on the gate insulating film. an interlayer insulating film having a first gate electrode, a first semiconductor contact hole located above the first gate electrode corresponding to the driving region and exposing the second region, and the first semiconductor contact hole through the first semiconductor contact hole. A first source electrode in contact with region 2, an organic light-emitting layer located above the first electrode corresponding to the light-emitting area, the driving area including the first source electrode, and upper portions of the gate wire and the data wire. An organic light emitting device is provided including a bank located at and a second electrode located above the bank and the organic light emitting layer.

이때, 상기 기판 상의 상기 구동영역에 대응하여 차광패턴이 위치하며, 상기 기판 상의 상기 발광영역에 대응하여, 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터가 위치하며, 상기 차광패턴은 상기 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터 중 적어도 2개가 중첩되어 이루며, 상기 차광패턴과 상기 적, 녹, 청색의 컬러필터 상부로 평탄화층이 위치하며, 상기 제 1 산화물반도체층은 상기 평탄화층 상부로 위치한다. At this time, a light-shielding pattern is located corresponding to the driving area on the substrate, and color filters of red (R), green (G), and blue (B) are located corresponding to the light-emitting area on the substrate, The light blocking pattern is formed by overlapping at least two of the red (R), green (G), and blue (B) color filters, and a planarization layer is located above the light blocking pattern and the red, green, and blue color filters, , the first oxide semiconductor layer is located above the planarization layer.

그리고, 상기 제 3 영역은 도체화되며, 상기 차광패턴은 상기 구동영역의 일측으로 위치하는 스위칭영역에 대응하여 위치하며, 상기 스위칭영역의 상기 차광패턴의 상부의 상기 게이트절연막 하부로 위치하는 제 2 산화물반도체층과, 상기 게이트절연막 상부로 위치하며, 상기 제 2 산화물반도체층과 중첩하는 제 2 게이트전극과, 상기 층간절연막 상부로 위치하며, 상기 제 2 산화물반도체층의 양측과 각각 접촉하는 제 2 소스전극 및 제 1 드레인전극과, 상기 제 1 드레인전극으로부터 연장되어, 상기 제 1 게이트전극과 연결되는 연장부를 포함하고, 상기 연장부는 상기 제 1 산화물반도체층의 제 2 영역과 중첩하여 스토리지캐패시터를 구성한다. In addition, the third area is conductive, the light blocking pattern is located corresponding to a switching area located on one side of the driving area, and a second area is located below the gate insulating film above the light blocking pattern of the switching area. An oxide semiconductor layer, a second gate electrode located above the gate insulating layer and overlapping the second oxide semiconductor layer, and a second electrode located above the interlayer insulating layer and in contact with both sides of the second oxide semiconductor layer, respectively. It includes a source electrode, a first drain electrode, and an extension part extending from the first drain electrode and connected to the first gate electrode, wherein the extension part overlaps a second region of the first oxide semiconductor layer to form a storage capacitor. Compose.

이때, 상기 데이터배선과 평행하게 위치하는 파워배선을 포함하며, 상기 제 2 게이트전극은 상기 게이트배선에 연결되고, 상기 제 2 소스전극은 상기 데이터배선에 연결되며, 상기 제 1 소스전극은 상기 파워배선에 연결되며, 상기 제 1 산화물반도체층, 상기 제 1 게이트전극, 상기 제 1 소스전극은 구동박막트랜지스터를 구성하고, 상기 제 2 산화물반도체층, 상기 제 2 게이트전극, 상기 제 2 소스전극과 상기 제 1 드레인전극은 스위칭박막트랜지스터를 구성하고, 상기 게이트배선과 평행하게 위치하는 기준배선과, 상기 게이트배선과 상기 제 1 산화물반도체층 및 상기 기준배선에 전기적으로 연결되어 상기 구동박막트랜지스터의 문턱전압을 조절하는 기준박막트랜지스터를 더욱 포함한다. At this time, it includes a power wire located parallel to the data wire, wherein the second gate electrode is connected to the gate wire, the second source electrode is connected to the data wire, and the first source electrode is connected to the power wire. It is connected to a wiring, and the first oxide semiconductor layer, the first gate electrode, and the first source electrode constitute a driving thin film transistor, and the second oxide semiconductor layer, the second gate electrode, and the second source electrode The first drain electrode constitutes a switching thin film transistor and is electrically connected to a reference wiring located parallel to the gate wiring, the gate wiring, the first oxide semiconductor layer, and the reference wiring to form a threshold of the driving thin film transistor. It further includes a reference thin film transistor that adjusts the voltage.

그리고, 상기 뱅크는 상기 스위칭영역 상부로 위치한다. And, the bank is located above the switching area.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자의 하나의 화소영역에 대한 회로도이다. Figure 3 is a circuit diagram of one pixel area of an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자는 스위칭박막트랜지스터(Tsw)와, 구동박막트랜지스터(Tdr)와, 기준박막트랜지스터(Tr)와, 스토리지캐패시터(Cst)와, 발광다이오드(E)를 포함한다.As shown, the organic light emitting device according to an embodiment of the present invention includes a switching thin film transistor (Tsw), a driving thin film transistor (Tdr), a reference thin film transistor (Tr), a storage capacitor (Cst), and a light emitting diode ( Includes E).

이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 제 1 방향으로 게이트배선(GL)이 형성되어 있고, 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 배치되어 화소영역(P)을 정의하며 데이터배선(DL)이 형성되어 있다. Looking at this in more detail, a gate line (GL) is formed in a first direction, and is arranged in a second direction crossing the first direction to define a pixel area (P) and a data line (DL) is formed.

또한, 데이터배선(DL)과 이격하며 구동박막트랜지스터(Tdr)에 고전위전압을 인가하기 위한 파워배선(VDD)과, 기준박막트랜지스터(Tr)에 기준 전압을 인가하기 위한 기준배선(RL)이 형성된다.In addition, it is separated from the data line (DL) and includes a power line (VDD) for applying a high potential voltage to the driving thin film transistor (Tdr) and a reference line (RL) for applying a reference voltage to the reference thin film transistor (Tr). is formed

스위칭박막트랜지스터(Tsw)와, 구동박막트랜지스터(Tdr)와, 기준박막트랜지스터(Tr)와, 스토리지캐패시터(Cst)와, 발광다이오드(E)는 각각의 화소영역(P)에 형성된다. A switching thin film transistor (Tsw), a driving thin film transistor (Tdr), a reference thin film transistor (Tr), a storage capacitor (Cst), and a light emitting diode (E) are formed in each pixel area (P).

스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 게이트전극 및 소스전극은 각각 게이트배선(GL) 및 데이터배선(DL)에 연결되어 각각 게이트신호 및 데이터신호를 공급받고, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 게이트전극은 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 드레인전극에 연결되어 데이터신호를 공급받는다. The gate electrode and source electrode of the switching thin film transistor (Tsw) are respectively connected to the gate wire (GL) and the data wire (DL) to receive gate signals and data signals, respectively, and the gate electrode of the driving thin film transistor (Tdr) is connected to the switching thin film transistor (Tdr). It is connected to the drain electrode of the transistor (Tsw) and receives a data signal.

여기서, 본 발명의 실시예에 따른 구동박막트랜지스터(Tdr)는 별도의 드레인전극이 생략되고, 산화물반도체층이 바로 발광다이오드(E)의 양극을 이루는 제 1 전극이 되며, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 소스전극은 파워배선(VDD)에 연결된다. 발광다이오드(E)의 음극을 이루는 제 2 전극은 저전위전압(VSS)에 연결된다. Here, the driving thin film transistor (Tdr) according to an embodiment of the present invention omits a separate drain electrode, and the oxide semiconductor layer becomes the first electrode forming the anode of the light emitting diode (E), and the driving thin film transistor (Tdr) The source electrode of is connected to the power wiring (VDD). The second electrode forming the cathode of the light emitting diode (E) is connected to the low potential voltage (VSS).

그리고, 기준박막트랜지스터(Tr) 또한 별도의 드레인전극이 생략되고, 기준박막트랜지스터(Tr)의 산화물반도체층은 구동박막트랜지스터(Tdr)의 산화물반도체층과 연결되며, 기준박막트랜지스터(Tr)의 게이트전극은 게이트배선(GL)에 연결되고, 기준박막트랜지스터(Tr)의 소스전극은 기준배선(RL)에 연결된다. In addition, the reference thin film transistor (Tr) also omits a separate drain electrode, the oxide semiconductor layer of the reference thin film transistor (Tr) is connected to the oxide semiconductor layer of the driving thin film transistor (Tdr), and the gate of the reference thin film transistor (Tr) The electrode is connected to the gate wiring (GL), and the source electrode of the reference thin film transistor (Tr) is connected to the reference wiring (RL).

스토리지캐패시터(Cst)의 제 1 스토리지 전극은 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 드레인전극 및 구동박막트랜지스터(Tdr)의 게이트전극에 전기적으로 연결되며, 스토리지캐패시터(Cst)의 제 2 스토리지 전극은 구동박막트랜지스터(Tdr)의 산화물반도체층과 전기적으로 연결된다.The first storage electrode of the storage capacitor (Cst) is electrically connected to the drain electrode of the switching thin film transistor (Tsw) and the gate electrode of the driving thin film transistor (Tdr), and the second storage electrode of the storage capacitor (Cst) is connected to the driving thin film transistor. It is electrically connected to the oxide semiconductor layer of (Tdr).

스위칭박막트랜지스터(Tsw)는 게이트신호에 따라 스위칭 되어 데이터신호를 구동박막트랜지스터(Tdr)의 게이트전극으로 공급하고, 구동박막트랜지스터(Tdr)는 데이터신호에 따라 스위칭 되어 발광다이오드(E)의 전류를 제어한다. The switching thin film transistor (Tsw) switches according to the gate signal and supplies the data signal to the gate electrode of the driving thin film transistor (Tdr), and the driving thin film transistor (Tdr) switches according to the data signal to supply the current of the light emitting diode (E). Control.

이때, 스토리지캐패시터(Cst)는 데이터신호에 대응되는 전하를 일 프레임(frame) 동안 유지하여 발광다이오드(E)를 흐르는 전류의 양을 일정하게 하고 발광다이오드(E)가 표시하는 계조를 일정하게 유지시키는 역할을 한다.At this time, the storage capacitor (Cst) maintains the charge corresponding to the data signal for one frame to keep the amount of current flowing through the light emitting diode (E) constant and the gray level displayed by the light emitting diode (E) constant. It plays a role.

따라서, 게이트배선(GL)을 통해 게이트신호가 인가되면 스위칭박막트랜지스터(Tsw)가 온(on) 되고, 데이터배선(DL)의 신호가 구동 박막트랜지스터(Tdr)의 게이트전극으로 전달되어 구동박막트랜지스터(Tdr)가 스위칭되며, 구동박막트랜지스터(Tdr)에 연결된 발광다이오드(E)로부터 빛이 출력된다. Therefore, when the gate signal is applied through the gate wire (GL), the switching thin film transistor (Tsw) is turned on, and the signal of the data wire (DL) is transmitted to the gate electrode of the driving thin film transistor (Tdr). (Tdr) is switched, and light is output from the light emitting diode (E) connected to the driving thin film transistor (Tdr).

이 때, 구동박막트랜지스터(Tdr)가 온(on) 상태가 되면, 발광다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 발광다이오드(E)는 그레이 스케일(gray scale)을 구현할 수 있게 된다.At this time, when the driving thin film transistor (Tdr) is in the on state, the level of the current flowing through the light emitting diode (E) is determined, and as a result, the light emitting diode (E) can implement gray scale. .

또한, 스토리지캐패시터(Cst)는 스위칭박막트랜지스터(Tsw)가 오프(off) 되었을 때, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 게이트전압을 일정하게 유지시키는 역할을 한다. 따라서, 스위칭박막트랜지스터(Tsw)가 오프(off) 상태가 되더라도 다음 프레임(frame)까지 발광다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지시킬 수 있게 된다.Additionally, the storage capacitor (Cst) serves to keep the gate voltage of the driving thin film transistor (Tdr) constant when the switching thin film transistor (Tsw) is turned off. Therefore, even if the switching thin film transistor (Tsw) is turned off, the level of current flowing through the light emitting diode (E) can be maintained constant until the next frame.

이 때, 기준박막트랜지스터(Tr)를 온(on)시키게 되면, 기준박막트랜지스터(Tr)와 구동박막트랜지스터(Tdr)의 산화물반도체층이 서로 연결되어 있어, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 특성 편차를 감소시킬 수 있게 된다. At this time, when the reference thin film transistor (Tr) is turned on, the oxide semiconductor layers of the reference thin film transistor (Tr) and the driving thin film transistor (Tdr) are connected to each other, thereby reducing the characteristic deviation of the driving thin film transistor (Tdr). can be reduced.

여기서, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자는 탑-게이트 타입의 박막트랜지스터를 형성하는데 4개의 마스크 공정만을 필요로 하여, 컬러필터와 뱅크를 형성하기 위한 4개의 마스크 공정을 포함하여 총 8개의 마스크 공정만으로 유기발광소자를 형성할 수 있다. Here, the organic light emitting device according to an embodiment of the present invention requires only four mask processes to form a top-gate type thin film transistor, and a total of eight processes are required, including four mask processes to form a color filter and a bank. Organic light emitting devices can be formed using only a mask process.

이는, 12개의 마스크 공정을 필요로 했던 기존의 유기발광소자의 제조공정에 비해 4개의 마스크 공정을 삭제할 수 있어, 공정비용을 절감할 수 있으며, 공정시간을 단축할 수 있어, 생산성을 포함하여 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. Compared to the existing organic light emitting device manufacturing process that required 12 mask processes, this can eliminate 4 mask processes, thereby reducing process costs and shortening process time, improving process efficiency, including productivity. efficiency can be improved.

이에 대해 도 4 내지 도 5를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. Let's look at this in more detail with reference to Figures 4 and 5.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자의 화소영역의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이다.Figure 4 is a plan view schematically showing a portion of the pixel area of an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.

이때 설명의 편의를 위해 스위칭 및 구동박막트랜지스터(Tsw, Tdr)와 기준박막트랜지스터(Tr)가 형성되는 영역을 비발광영역(DA), 그리고 발광다이오드(도 3의 E)가 형성되는 영역을 발광영역(LA)이라 정의한다.At this time, for convenience of explanation, the area where the switching and driving thin film transistors (Tsw, Tdr) and the reference thin film transistor (Tr) are formed is called the non-emission area (DA), and the area where the light emitting diode (E in FIG. 3) is formed is called the light emitting area. It is defined as area (LA).

도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자(100)는, 게이트배선(GL)과 데이터배선(DL)이 교차하여 화소영역(P)을 정의하고 있다. 또한, 파워배선(VDD)이 데이터배선(DL)과 평행하게 이격하여 게이트배선(GL)과 교차하고 있으며, 기준배선(RL)이 게이트배선(GL)과 평행하게 이격하여 데이터배선(DL) 및 파워배선(VDD)과 교차하고 있다.As shown, in the organic light emitting device 100 according to an embodiment of the present invention, a gate line (GL) and a data line (DL) intersect to define a pixel area (P). In addition, the power wire (VDD) is spaced in parallel with the data wire (DL) and intersects the gate wire (GL), and the reference wire (RL) is spaced parallel to the gate wire (GL) and intersects the data wire (DL) and the data wire (DL). It intersects with the power wiring (VDD).

각 화소영역(P)의 비발광영역(DA)에는 스위칭박막트랜지스터(Tsw)와, 구동박막트랜지스터(Tdr)와, 기준박막트랜지스터(Tr)와, 스토리지캐패시터(Cst)와, 발광다이오드(도 3의 E)가 형성된다.The non-emission area (DA) of each pixel area (P) includes a switching thin film transistor (Tsw), a driving thin film transistor (Tdr), a reference thin film transistor (Tr), a storage capacitor (Cst), and a light emitting diode (Figure 3). E) is formed.

구동박막트랜지스터(Tdr)는 제 1 산화물반도체층(108)과, 제 1 게이트전극(115)과, 제 1 소스전극(118)을 포함하고, 스위칭박막트랜지스터(Tsw)는 제 2 산화물반도체층(109)과, 제 2 게이트전극(117)과, 제 2 소스전극(121)과, 제 1 드레인전극(123)을 포함한다.The driving thin film transistor (Tdr) includes a first oxide semiconductor layer 108, a first gate electrode 115, and a first source electrode 118, and the switching thin film transistor (Tsw) includes a second oxide semiconductor layer ( 109), a second gate electrode 117, a second source electrode 121, and a first drain electrode 123.

이때, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 소스전극(118)은 제 1 반도체층콘택홀(119)을 통해 제 1 산화물반도체층(108)의 제 2 영역(108b, 도 5 참조)과 연결되며, 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 제 2 소스전극(121)과 제 1 드레인전극(123)은 제 2 및 제 3 반도체층콘택홀(125)을 통해 제 2 산화물반도체층(109)의 제 2 영역(109b, 도 5 참조)과 제 3 영역(109c, 도 5 참조)에 각각 연결된다. At this time, the first source electrode 118 of the driving thin film transistor (Tdr) is connected to the second region 108b (see FIG. 5) of the first oxide semiconductor layer 108 through the first semiconductor layer contact hole 119. , the second source electrode 121 and the first drain electrode 123 of the switching thin film transistor (Tsw) are connected to the second region of the second oxide semiconductor layer 109 through the second and third semiconductor layer contact holes 125. (109b, see FIG. 5) and the third area (109c, see FIG. 5), respectively.

기준박막트랜지스터(Tr)는 제 3 산화물반도체층(133)과, 제 3 게이트전극(131)과, 제 3 소스전극(135)을 포함한다. The reference thin film transistor (Tr) includes a third oxide semiconductor layer 133, a third gate electrode 131, and a third source electrode 135.

스위칭박막트랜지스터(Tsw)는 게이트배선(GL)과 데이터배선(DL)에 전기적으로 연결되며, 이들의 교차 지점에 위치한다. 즉, 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 제 2 게이트전극(117)은 게이트배선(GL)에 연결되고, 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 제 2 소스전극(121) 데이터배선(DL)에 연결된다.The switching thin film transistor (Tsw) is electrically connected to the gate line (GL) and the data line (DL) and is located at their intersection point. That is, the second gate electrode 117 of the switching thin film transistor (Tsw) is connected to the gate wire (GL), and the second source electrode 121 of the switching thin film transistor (Tsw) is connected to the data wire (DL).

구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 게이트전극(115)은 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 제 1 드레인전극(123)에 전기적으로 연결된다. The first gate electrode 115 of the driving thin film transistor (Tdr) is electrically connected to the first drain electrode 123 of the switching thin film transistor (Tsw).

즉, 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 제 1 드레인전극(123)으로부터 연장되는 연장부(123a)와 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 게이트전극(115)이 게이트콘택홀(132)을 통해 접촉함으로써, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 게이트전극(115)은 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 제 1 드레인전극(123)에 전기적으로 연결된다. That is, the extension portion 123a extending from the first drain electrode 123 of the switching thin film transistor (Tsw) and the first gate electrode 115 of the driving thin film transistor (Tdr) contact through the gate contact hole 132. , the first gate electrode 115 of the driving thin film transistor (Tdr) is electrically connected to the first drain electrode 123 of the switching thin film transistor (Tsw).

다시 말해, 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 제 1 드레인전극(123)의 연장부(123a)와 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 게이트전극(115)가 서로 접촉하게 된다. In other words, the extension portion 123a of the first drain electrode 123 of the switching thin film transistor (Tsw) and the first gate electrode 115 of the driving thin film transistor (Tdr) come into contact with each other.

또한, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 소스전극(118)은 파워배선(VDD)에 연결되고, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 산화물반도체층(108)은 기준박막트랜지스터(Tr)의 제 3 산화물반도체층(133)과 연결된다. In addition, the first source electrode 118 of the driving thin film transistor (Tdr) is connected to the power wiring (VDD), and the first oxide semiconductor layer 108 of the driving thin film transistor (Tdr) is connected to the first source electrode 118 of the reference thin film transistor (Tr). 3 Connected to the oxide semiconductor layer 133.

여기서, 구동박막트랜지스터(Tdr)와 기준박막트랜지스터(Tr)가 산화물반도체층(108, 133)을 공유하는 것으로 보여지고 있으나, 이와 달리 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 산화물반도체층(108)과 기준박막트랜지스터(Tr)의 제 3 산화물반도체층(133)은 서로 이격되며 형성되고 서로 전기적으로 연결될 수 있다.Here, the driving thin film transistor (Tdr) and the reference thin film transistor (Tr) are seen to share the oxide semiconductor layers (108, 133), but unlike this, the first oxide semiconductor layer (108) of the driving thin film transistor (Tdr) The third oxide semiconductor layers 133 of the reference thin film transistor (Tr) may be formed to be spaced apart from each other and electrically connected to each other.

기준박막트랜지스터(Tr)의 제 3 게이트전극(131)은 게이터배선(GL)에 연결되고, 기준박막트랜지스터(Tr)의 제 3 소스전극(135)은 기준배선(RL)에 연결된다.The third gate electrode 131 of the reference thin film transistor (Tr) is connected to the gate wire (GL), and the third source electrode 135 of the reference thin film transistor (Tr) is connected to the reference wire (RL).

여기서, 기준박막트랜지스터(Tr)와 기준배선(RL)은 생략 가능하다. Here, the reference thin film transistor (Tr) and the reference wiring (RL) can be omitted.

스토리지캐패시터(Cst)는 제 1 산화물반도체층(108)의 제 2 영역(108b)과 제 3 산화물반도체층(133) 중 도체화된 영역으로 이루어지는 제 1 스토리지 전극과, 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 제 1 드레인전극(123)으로부터 연장되는 연장부(123a)로 이루어지는 제 2 스토리지 전극, 제 1 및 제 2 스토리지 전극 사이에 위치하는 층간절연막(113, 도 5 참조)을 유전체층으로 포함한다. The storage capacitor (Cst) includes a first storage electrode made of a conductive region of the second region 108b of the first oxide semiconductor layer 108 and the third oxide semiconductor layer 133, and a switching thin film transistor (Tsw). It includes a second storage electrode consisting of an extension portion 123a extending from the first drain electrode 123, and an interlayer insulating film 113 (see FIG. 5) located between the first and second storage electrodes as a dielectric layer.

이러한 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자(100)는 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 산화물반도체층(108)로부터 연장되는 제 1 전극(128, 도 5 참조)과, 제 1 전극(128, 도 5 참조) 상부로 유기발광층(129, 도 5 참조)과 제 2 전극(130, 도 5 참조)이 위치하여, 발광다이오드(도 3의 E)를 포함하는 유기발광소자(100)를 이루게 된다. The organic light emitting device 100 according to an embodiment of the present invention includes a first electrode 128 (see FIG. 5) extending from the first oxide semiconductor layer 108 of the driving thin film transistor (Tdr), and a first electrode 128. , see FIG. 5), an organic light emitting layer (129, see FIG. 5) and a second electrode (130, see FIG. 5) are located at the top, forming an organic light emitting device 100 including a light emitting diode (E in FIG. 3). do.

여기서, 제 1 산화물반도체층(108)으로부터 연장되는 제 1 전극(128, 도 5 참조)은 발광다이오드(도 3의 E)를 구성하는 일 구성요소로서 양극(anode)을 이루게 되며, 제 2 전극(130, 도 5 참조)은 음극(cathode)을 이루게 된다. Here, the first electrode 128 (see FIG. 5) extending from the first oxide semiconductor layer 108 is a component of the light emitting diode (E in FIG. 3) and forms an anode, and the second electrode (130, see FIG. 5) forms a cathode.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자(100)는 유기발광층(129, 도 5 참조)에서 발광된 빛은 제 1 전극(128, 도 5 참조)을 향해 방출되는 하부 발광방식(bottom emission type)으로 구동된다. Meanwhile, the organic light emitting device 100 according to an embodiment of the present invention uses a bottom emission method in which light emitted from the organic light emitting layer 129 (see FIG. 5) is emitted toward the first electrode 128 (see FIG. 5). type).

이때, 각 화소영역(P)의 발광영역(LA)에 대응하는 기판(110, 도 5 참조) 상부로는 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터(105)가 각각 위치하여, 본 발명의 유기발광소자(100)는 각 화소영역(P) 별로 R, G, B 컬러를 발하게 되어, 풀컬러를 구현하게 된다. At this time, red (R), green (G), and blue (B) color filters 105 are placed on the upper part of the substrate 110 (see FIG. 5) corresponding to the light emitting area (LA) of each pixel area (P). When positioned respectively, the organic light emitting devices 100 of the present invention emit R, G, and B colors for each pixel area (P), thereby realizing full color.

그리고, 화소영역(P)의 비발광영역(DA)에 대응하는 기판(110, 도 5 참조) 상부로는 차광패턴(103)이 위치하는데, 차광패턴(103) 상부로 구동박막트랜지스터(Tdf), 스위칭박막트랜지스터(Tsw)와 기준박막트랜지스터(Tr) 그리고 스토리지캐패시터(Cst)가 위치하게 된다. In addition, a light blocking pattern 103 is located on the top of the substrate 110 (see FIG. 5) corresponding to the non-emission area (DA) of the pixel area (P), and a driving thin film transistor (Tdf) is placed on top of the light blocking pattern 103. , a switching thin film transistor (Tsw), a reference thin film transistor (Tr), and a storage capacitor (Cst) are located.

본 발명의 실시예에 따른 차광패턴(103)은 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터(105) 중 적어도 2색의 컬러필터가 서로 중첩되어 형성된다. The light blocking pattern 103 according to an embodiment of the present invention is formed by overlapping color filters of at least two colors among red (R), green (G), and blue (B) color filters 105.

이러한, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자(100)는 8마스크 공정을 통해 형성 가능한데, 먼저 차광패턴(103)을 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터(105)를 형성하는 과정에서 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터(105) 중 적어도 2개의 컬러필터를 중첩하여 형성함으로써, 차광패턴(103)을 형성하기 위한 별도의 하나의 마스크 공정을 생략할 수 있다. The organic light-emitting device 100 according to an embodiment of the present invention can be formed through an 8-mask process. First, the light-shielding pattern 103 is formed using red (R), green (G), and blue (B) color filters ( In the process of forming 105), at least two of the red (R), green (G), and blue (B) color filters 105 are overlapped to form a separate light blocking pattern 103. One mask process can be omitted.

또한, 기판(110, 도 5 참조) 상부로 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터(105)와 차광패턴(103)을 형성하고 이의 상부로 평탄화층(107, 도 5 참조)을 형성함으로써, 기존의 평탄화층(도 2의 25)과 같이 제 2 드레인콘택홀(도 2의 24)을 형성하지 않아도 되므로, 이를 통해서도 하나의 마스크 공정을 생략할 수 있다. In addition, a red (R), green (G), and blue (B) color filter 105 and a light blocking pattern 103 are formed on the substrate 110 (see FIG. 5), and a planarization layer 107, By forming (see FIG. 5), there is no need to form a second drain contact hole (24 in FIG. 2) like the existing planarization layer (25 in FIG. 2), and thus one mask process can be omitted.

또한, 발광다이오드(도 3의 E)의 제 1 전극(128, 도 5 참조)을 제 1 산화물반도체층(108)으로부터 연장된 연장부로 이루어지도록 함으로써, 제 1 전극(128, 도 5 참조)을 형성하기 위한 하나의 마스크 공정을 생략할 수 있다. In addition, the first electrode 128 (see FIG. 5) of the light emitting diode (E in FIG. 3) is made of an extension extending from the first oxide semiconductor layer 108, so that the first electrode 128 (see FIG. 5) is One mask process for forming can be omitted.

또한, 스위칭박막트랜지스터(Tsw) 및 구동박막트랜지스터(Tdr) 그리고 기준박막트랜지스터(Tr)와 각 게이트 및 데이터배선(GL, DL) 상부로 각 화소영역(P) 별 경계부에 뱅크(127, 도 5 참조)를 형성함으로써, 별도의 제 1 드레인콘택홀(도 2의 22)을 갖는 보호층(도 2의 21)을 생략할 수 있어, 이를 통해서도 하나의 마스크 공정을 생략할 수 있다. In addition, a bank 127 (FIG. 5) is formed at the boundary of each pixel area (P) above the switching thin film transistor (Tsw), driving thin film transistor (Tdr), reference thin film transistor (Tr), and each gate and data wire (GL, DL). By forming the protective layer (21 in FIG. 2) with a separate first drain contact hole (22 in FIG. 2), it is possible to omit one mask process.

이에 대해 도 5의 단면도를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. Let's take a closer look at this with reference to the cross-sectional view of FIG. 5.

도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 자른 단면도이다. Figure 5 is a cross-sectional view taken along line V-V of Figure 4.

이때 설명의 편의를 위해 스위칭 및 구동박막트랜지스터가 형성되는 영역을 비발광영역(DA), 그리고 발광다이오드(도 3의 E)가 형성되는 영역을 발광영역(LA)이라 정의한다.At this time, for convenience of explanation, the area where the switching and driving thin film transistor is formed is defined as the non-emission area (DA), and the area where the light emitting diode (E in FIG. 3) is formed is defined as the light emitting area (LA).

그리고, 스위칭박막트랜지스터(Tsw)가 형성되는 영역을 스위칭영역(SWA)이라 정의하고, 구동박막트랜지스터(Tdr)가 형성되는 영역을 구동영역(DRA)이라 정의하도록 하겠다. Additionally, the area where the switching thin film transistor (Tsw) is formed will be defined as the switching area (SWA), and the area where the driving thin film transistor (Tdr) will be formed will be defined as the driving area (DRA).

도시한 바와 같이, 유기발광소자(100)는 구동박막트랜지스터(DTr)와 스위칭박막트랜지스터(Tsw), 발광다이오드(E)가 형성된 기판(110)이 보호필름(140)에 의해 인캡슐레이션(encapsulation)된다. As shown, the organic light emitting device 100 is formed by encapsulating a substrate 110 on which a driving thin film transistor (DTr), a switching thin film transistor (Tsw), and a light emitting diode (E) are formed by a protective film 140. )do.

즉, 투명한 기판(110) 상에 각 화소영역(P) 내의 비발광영역(DA)에 대응하여 빛의 투과를 차단하는 차광패턴(103)이 형성되어 있다. That is, a light-shielding pattern 103 is formed on the transparent substrate 110 to block the transmission of light corresponding to the non-emission area (DA) in each pixel area (P).

차광패턴(103)은 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터(105) 중 적어도 2개의 컬러필터가 서로 중첩되어 이루어진다. The light blocking pattern 103 is formed by overlapping at least two color filters 105 of red (R), green (G), and blue (B).

이때, 각 화소영역(P) 내의 발광영역(LA)에 대응하여, 각 화소영역(P) 별로 적(R), 녹(G), 청색(B) 컬러필터(105)가 순차 반복하는 형태의 컬러필터층이 형성되어 있다. At this time, in response to the light emitting area (LA) within each pixel area (P), the red (R), green (G), and blue (B) color filters 105 are sequentially repeated for each pixel area (P). A color filter layer is formed.

이러한 차광패턴(103)과 컬러필터(105) 상부로 평탄화층(107)이 형성된다. A planarization layer 107 is formed on the light blocking pattern 103 and the color filter 105.

평탄화층(107)은 컬러필터(105)의 형성에 따른 단차를 보상하기 위한 것으로 절연 특성을 가진 아크릴계 에폭시와 같은 투명한 수지를 이용하여 형성된다.The planarization layer 107 is to compensate for the level difference caused by the formation of the color filter 105 and is formed using a transparent resin such as acrylic epoxy with insulating properties.

또한, 평탄화층(107) 상부로는 비발광영역(DA)의 구동영역(DRA)에 대응하여 제 1 산화물반도체층(108)이 형성되는데, 제 1 산화물반도체층(108)은 그 중앙부의 제 1 영역(108a)과, 제 1 영역(108a)의 양측으로 제 2 및 제 3 영역(108b, 108c)으로 나뉘어 정의되는데, 제 1 영역(108a)은 제 1 게이트전극(115)과 중첩하여 구동박막트랜지스터(Tdr)의 채널(channel)을 이루게 된다. In addition, a first oxide semiconductor layer 108 is formed on the planarization layer 107 corresponding to the driving area (DRA) of the non-emission area (DA), and the first oxide semiconductor layer 108 is It is defined by being divided into area 1 (108a) and second and third areas (108b, 108c) on both sides of the first area (108a). The first area (108a) overlaps the first gate electrode (115) and is driven. It forms the channel of the thin film transistor (Tdr).

그리고, 제 2 및 제 3 영역(108b, 108c)은 산화물반도체 물질이 환원되어 도체 특성을 갖는다.Additionally, the second and third regions 108b and 108c have conductor properties due to reduced oxide semiconductor material.

그리고, 비발광영역(DA)의 스위칭영역(SWA)에 대응하여 제 2 산화물반도체층(109)이 형성되는데, 제 2 산화물반도체층(109) 또한 그 중앙부의 제 1 영역(109a)과, 제 1 영역(109a)의 양측으로 제 2 및 3 영역(109b, 109c)으로 나뉘어 정의된다. In addition, a second oxide semiconductor layer 109 is formed corresponding to the switching area (SWA) of the non-emission area (DA), and the second oxide semiconductor layer 109 also includes a first area 109a in the center, and a first area 109a in the center thereof. Area 1 (109a) is divided into second and third areas (109b, 109c) on both sides.

이때, 제 2 산화물반도체층(109)의 제 2 및 제 3 영역(109b, 109c) 또한 산화물반도체 물질이 환원되어 도체 특성을 갖는다. At this time, the oxide semiconductor material in the second and third regions 109b and 109c of the second oxide semiconductor layer 109 is also reduced and has conductive properties.

특히, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자(100)는 제 1 산화물반도체층(108)의 제 3 영역(108c)이 발광다이오드(E)가 형성되는 발광영역(LA)까지 연장되어 형성되는 것을 특징으로 한다. In particular, the organic light emitting device 100 according to an embodiment of the present invention is formed so that the third region 108c of the first oxide semiconductor layer 108 extends to the light emitting area LA where the light emitting diode E is formed. It is characterized by

발광영역(LA)까지 연장된 제 1 산화물반도체층(108)의 제 3 영역(108c)은 발광다이오드(E)의 양극(anode)을 이루는 제 1 전극(128)의 역할을 하게 된다.The third region 108c of the first oxide semiconductor layer 108 extending to the light emitting area LA serves as the first electrode 128 forming the anode of the light emitting diode E.

그리고, 스위칭영역(SWA) 및 구동영역(DRA)의 제 1 및 제 2 산화물반도체층(108, 109) 상부로는 게이트절연막(111)이 형성되며, 게이트절연막(111) 상부로는 제 1 및 제 2 산화물반도체층(108, 109)의 각 제 1 영역(108a, 109a)에 대응하여 각각 제 1 및 제 2 게이트전극(115, 117)이 형성되고, 도면에 나타내지 않았지만 일방향으로 연장하는 게이트배선(도 4의 GL)이 형성된다. In addition, a gate insulating film 111 is formed on the first and second oxide semiconductor layers 108 and 109 of the switching area (SWA) and driving area (DRA), and the first and second oxide semiconductor layers 111 are formed on the gate insulating film 111. First and second gate electrodes 115 and 117 are formed respectively corresponding to the first regions 108a and 109a of the second oxide semiconductor layers 108 and 109, and although not shown in the drawing, a gate wiring extending in one direction. (GL in Figure 4) is formed.

이때, 게이트절연막(111)은 제 2 산화물반도체층(109)과 제 1 산화물반도체층(108)의 제 1 및 제 2 영역(108a, 108b) 상부만을 덮도록 형성되고, 발광영역(LA)으로 연장된 제 1 산화물반도체층(108)의 제 3 영역(108c) 상부는 노출하게 된다. At this time, the gate insulating film 111 is formed to cover only the upper portions of the first and second regions 108a and 108b of the second oxide semiconductor layer 109 and the first oxide semiconductor layer 108, and is formed as the light emitting area LA. The upper portion of the third region 108c of the extended first oxide semiconductor layer 108 is exposed.

그리고 제 1 및 제 2 게이트전극(115, 117)과 게이트배선(도 4의 GL) 상부로 층간절연막(113)이 형성되는데, 층간절연막(113)과 그 하부의 게이트절연막(111)은 제 1 산화물반도체층(108)의 제 2 영역(108b)을 노출시키는 제 1 반도체층콘택홀(119)과, 제 2 산화물반도체층(109)의 제 2 및 제 3 영역(109b, 109c)을 노출시키는 제 2 및 제 3 반도체층콘택홀(125)을 포함한다. And an interlayer insulating film 113 is formed on the first and second gate electrodes 115 and 117 and the gate wiring (GL in FIG. 4), and the interlayer insulating film 113 and the gate insulating film 111 below it are the first and second gate electrodes 115 and 117, respectively. A first semiconductor layer contact hole 119 exposing the second region 108b of the oxide semiconductor layer 108, and exposing the second and third regions 109b and 109c of the second oxide semiconductor layer 109. It includes second and third semiconductor layer contact holes 125.

이때, 층간절연막(113) 또한 제 2 산화물반도체층(109)과 제 1 산화물반도체층(108)의 제 1 및 제 2 영역(108a, 108b) 상부만을 덮도록 형성되어, 발광영역(LA)의 제 1 산화물반도체층(108)의 제 3 영역(108c)을 노출하게 된다. At this time, the interlayer insulating film 113 is also formed to cover only the upper portions of the first and second regions 108a and 108b of the second oxide semiconductor layer 109 and the first oxide semiconductor layer 108, so as to cover the light emitting area LA. The third region 108c of the first oxide semiconductor layer 108 is exposed.

다음으로, 제 1 내지 제 3 반도체층콘택홀(119, 125)을 포함하는 층간절연막(113) 상부로 구동영역(DRA)에 대응하여 제 1 반도체층콘택홀(119)을 통해 노출된 제 1 산화물반도체층(108)의 제 2 영역(108b)과 접촉하는 제 1 소스전극(118)이 형성된다. Next, the first layer exposed through the first semiconductor layer contact hole 119 corresponding to the driving area DRA on the upper part of the interlayer insulating film 113 including the first to third semiconductor layer contact holes 119 and 125. A first source electrode 118 is formed in contact with the second region 108b of the oxide semiconductor layer 108.

이때, 제 1 소스전극(118)과, 제 1 소스전극(118)과 접촉하는 제 2 영역(108b)을 포함하는 제 1 산화물반도체층(108)과, 제 1 산화물반도체층(108) 상부로 형성되는 게이트절연막(111) 및 제 1 게이트전극(115)은 구동박막트랜지스터(Tdr)를 이루게 된다. At this time, the first oxide semiconductor layer 108 including the first source electrode 118 and the second region 108b in contact with the first source electrode 118, and the upper portion of the first oxide semiconductor layer 108. The gate insulating film 111 and the first gate electrode 115 formed form a driving thin film transistor (Tdr).

그리고, 스위칭영역(SWA)에 대응하여 층간절연막(113) 상부로 제 2 및 제 3 반도체층콘택홀(125)을 통해 노출된 제 2 산화물반도체층(109)의 제 2 및 제 3 영역(109b, 109c)과 각각 접촉하는 제 2 소스전극(121) 및 제 1 드레인전극(123)이 형성된다. In addition, the second and third regions 109b of the second oxide semiconductor layer 109 are exposed through the second and third semiconductor layer contact holes 125 on the interlayer insulating film 113 corresponding to the switching area SWA. , 109c), and a second source electrode 121 and a first drain electrode 123 are formed, respectively.

이때, 제 2 소스전극(121)과 제 1 드레인전극(123), 그리고 제 2 산화물반도체층(109)과, 제 2 산화물반도체층(109) 상부로 형성되는 게이트절연막(111) 및 제 2 게이트전극(117)은 스위칭박막트랜지스터(Tsw)를 이루게 된다. At this time, the second source electrode 121 and the first drain electrode 123, the second oxide semiconductor layer 109, the gate insulating film 111 formed on the second oxide semiconductor layer 109, and the second gate The electrode 117 forms a switching thin film transistor (Tsw).

여기서, 도면상에 도시하지는 않았지만, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 게이트전극(115)은 스위칭박막트랜지스터(Tsw)의 제 1 드레인전극(123)과 연결되며, 구동박막트랜지스터(Tdr)의 제 1 소스전극(118)은 파워배선(도 4의 VDD)에 연결된다. Here, although not shown in the drawing, the first gate electrode 115 of the driving thin film transistor (Tdr) is connected to the first drain electrode 123 of the switching thin film transistor (Tsw), and the first gate electrode 115 of the driving thin film transistor (Tdr) is connected to the first drain electrode 123 of the switching thin film transistor (Tsw). 1 The source electrode 118 is connected to the power wiring (VDD in FIG. 4).

또한, 층간절연막(113) 상부에는 게이트배선(도 4의 GL)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터배선(도 4의 DL)이 형성되어 있다. In addition, a data line (DL in FIG. 4) that intersects the gate line (GL in FIG. 4) and defines the pixel area (P) is formed on the interlayer insulating film 113.

그리고, 구동영역(DRA)의 제 1 소스전극(118)과 스위칭영역(SWA)의 제 2 소스전극(121) 및 제 1 드레인전극(123) 상부로 각 화소영역(P) 별 경계부로 하여 유기물질로 이루어지는 뱅크(127)가 위치한다. 도 5에서와 같이, 구동영역(DRA)에는 제 1 산화물반도체층(108)의 제 3 영역(108c)에 접속되는 드레인전극이 형성되지 않고, 뱅크(127)는 제 1 게이트 전극(115)의 측면에 위치하는 층간절연막(113)과 직접 접촉한다.And, an organic layer is formed on the first source electrode 118 of the driving area (DRA) and the second source electrode 121 and the first drain electrode 123 of the switching area (SWA) as a boundary for each pixel area (P). A bank 127 made of material is located. As shown in FIG. 5, the drain electrode connected to the third region 108c of the first oxide semiconductor layer 108 is not formed in the driving area DRA, and the bank 127 is connected to the first gate electrode 115. It is in direct contact with the interlayer insulating film 113 located on the side.

뱅크(127)는 화소영역(P)을 정의하기 위해 스위칭박막트랜지스터(Tsw), 구동박막트랜지스터(Tdr), 그리고 게이트배선(도 4의 GL) 및 데이터배선(도 4의 DL)들이 형성된 영역 상에 형성되어, 뱅크(127)에 의해 노출되는 영역이 실질적으로 빛을 발광하게 되는 발광영역(LA)이 된다. The bank 127 is located on an area where a switching thin film transistor (Tsw), a driving thin film transistor (Tdr), and gate wires (GL in FIG. 4) and data wires (DL in FIG. 4) are formed to define the pixel area (P). is formed, and the area exposed by the bank 127 becomes a light emitting area LA that substantially emits light.

그리고, 발광영역(LA)의 제 1 산화물반도체층(108)의 제 3 영역(108c)을 포함하는 기판(101)의 전면으로 발광다이오드(E)의 유기발광층(129)을 형성한다. Then, the organic light emitting layer 129 of the light emitting diode (E) is formed on the entire surface of the substrate 101 including the third region 108c of the first oxide semiconductor layer 108 in the light emitting area LA.

여기서, 유기발광층(129)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층(hole transport layer), 발광층(emitting material layer), 전자수송층(electron transport layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층으로 구성될 수도 있다. Here, the organic light-emitting layer 129 may be composed of a single layer made of a light-emitting material, and may include a hole injection layer, a hole transport layer, an emitting material layer, and an electron layer to increase light-emitting efficiency. It may be composed of multiple layers of an electron transport layer and an electron injection layer.

그리고, 구동영역(DRA) 및 스위칭영역(SWA) 상에 형성된 뱅크(127)와 발광영역(LA) 상에 형성된 유기발광층(129) 상부의 기판(110)의 전면에는 음극(cathode)을 이루는 제 2 전극(130)이 형성된다. And, on the front surface of the substrate 110 above the bank 127 formed on the driving area (DRA) and the switching area (SWA) and the organic light emitting layer 129 formed on the light emitting area (LA), a cathode forming Two electrodes 130 are formed.

여기서, 발광영역(LA)까지 연장된 제 1 산화물반도체층(108)의 제 3 영역(108c)으로 이루어지는 제 1 전극(128)과 유기발광층(129) 그리고 제 2 전극(130)은 발광다이오드(E)를 이루게 된다. 도 4 및 도 5에서 보여지는 바와 같이 제 1 전극(128)의 일측 가장자리는 파워배선(VDD)과 중첩한다.Here, the first electrode 128, the organic light emitting layer 129, and the second electrode 130 consisting of the third region 108c of the first oxide semiconductor layer 108 extending to the light emitting area LA are light emitting diodes ( E) is achieved. As shown in FIGS. 4 and 5, one edge of the first electrode 128 overlaps the power line VDD.

따라서, 제 1 전극(128)과 제 2 전극(130)으로 소정의 전압이 인가되면, 제 1 전극(128)으로부터 주입된 정공과 제 2 전극(130)으로부터 제공된 전자가 유기발광층(129)으로 수송되어 엑시톤(exciton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다. Therefore, when a predetermined voltage is applied to the first electrode 128 and the second electrode 130, holes injected from the first electrode 128 and electrons provided from the second electrode 130 are transferred to the organic light emitting layer 129. It is transported to form excitons, and when these excitons transition from the excited state to the ground state, light is generated and emitted in the form of visible light.

이때, 발광된 빛은 투명한 제 1 전극(128)을 통과하여 외부로 나가게 되므로, 유기발광소자(100)는 임의의 화상을 구현하게 된다. At this time, since the emitted light passes through the transparent first electrode 128 and goes out, the organic light emitting device 100 implements an arbitrary image.

이러한 스위칭 및 구동박막트랜지스터(Tsw, Tdr)와 발광다이오드(E) 상부에는 얇은 박막필름 형태인 보호필름(140)이 형성되어, 유기발광소자(100)는 보호필름(140)을 통해 인캡슐레이션(encapsulation)되는데, 보호필름(140)은 외부 산소 및 수분이 유기발광소자(100) 내부로 침투하는 것을 방지하기 위하여, 무기보호필름을 적어도 2장 적층하여 사용하는데, 이때 2장의 무기보호필름 사이에는 무기보호필름의 내충격성을 보완하기 위한 유기보호필름이 개재되는 것이 바람직하다.A protective film 140 in the form of a thin film is formed on the switching and driving thin film transistors (Tsw, Tdr) and the light emitting diode (E), and the organic light emitting device 100 is encapsulated through the protective film 140. (encapsulation), the protective film 140 is used by stacking at least two inorganic protective films to prevent external oxygen and moisture from penetrating into the organic light emitting device 100. At this time, there is a gap between the two inorganic protective films. It is desirable to include an organic protective film to supplement the impact resistance of the inorganic protective film.

이러한, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자(100)는 차광패턴(103)을 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터(105)를 형성하는 과정에서 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터(105) 중 적어도 2개의 컬러필터를 중첩하여 형성함으로써, 차광패턴(103)을 형성하기 위한 별도의 하나의 마스크 공정을 생략할 수 있다. The organic light-emitting device 100 according to an embodiment of the present invention uses the light-shielding pattern 103 to form a red (R), green (G), and blue (B) color filter 105. By overlapping and forming at least two of the color filters 105 of R), green (G), and blue (B), a separate mask process for forming the light blocking pattern 103 can be omitted. there is.

또한, 기판(110) 상부로 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터(105)와 차광패턴(103)을 형성하고 이의 상부로 평탄화층(107)을 형성함으로써, 기존의 평탄화층(도 2의 25)과 같이 제 2 드레인콘택홀(도 2의 24)을 형성하지 않아도 되므로, 이를 통해 하나의 마스크 공정을 생략할 수 있다. In addition, by forming a red (R), green (G), and blue (B) color filter 105 and a light blocking pattern 103 on the upper part of the substrate 110, and forming a planarization layer 107 on the upper part, Since there is no need to form a second drain contact hole (24 in FIG. 2) like the existing planarization layer (25 in FIG. 2), one mask process can be omitted.

또한, 발광다이오드(E)의 제 1 전극(128)을 제 1 산화물반도체층(108)으로부터 연장된 연장부로 이루어지도록 함으로써, 발광다이오드(E)의 제 1 전극(128)을 형성하기 위한 하나의 마스크 공정을 생략할 수 있다. In addition, the first electrode 128 of the light emitting diode (E) is made of an extension extending from the first oxide semiconductor layer 108, thereby forming a single electrode 128 of the light emitting diode (E). The mask process can be omitted.

또한, 스위칭박막트랜지스터(Tsw) 및 구동박막트랜지스터(Tdr) 그리고 기준박막트랜지스터(Tr)와 각 게이트 및 데이터배선(GL, DL) 상부로 각 화소영역(P) 별 경계부에 뱅크(127)를 형성함으로써, 별도의 제 1 드레인콘택홀(도 2의 22)을 갖는 보호층(도 2의 21)을 생략할 수 있어, 이를 통해서도 하나의 마스크 공정을 생략할 수 있다. In addition, a bank 127 is formed at the boundary of each pixel area (P) above the switching thin film transistor (Tsw), driving thin film transistor (Tdr), reference thin film transistor (Tr), and each gate and data wire (GL, DL). By doing so, the protective layer (21 in FIG. 2) having a separate first drain contact hole (22 in FIG. 2) can be omitted, and thus one mask process can be omitted.

이를 통해, 공정비용을 절감할 수 있으며, 공정시간을 단축할 수 있어, 생산성을 포함하여 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. Through this, process costs can be reduced, process time can be shortened, and process efficiency, including productivity, can be improved.

본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.The present invention is not limited to the above embodiments, and can be implemented with various changes without departing from the spirit of the present invention.

100 : 유기발광소자
103 : 차광패턴, 105 : 컬러필터, 107 : 평탄화층
108 : 제 1 산화물반도체층(108a, 108b, 108c : 제 1 내지 제 3 영역)
109 : 제 2 산화물반도체층(109a, 109b, 109c : 제 1 내지 제 3 영역)
110 : 기판
111 : 게이트절연막, 113 : 층간절연막, 115 : 제 1 게이트전극
117 : 제 2 게이트전극, 118 : 제 1 소스전극
119 : 제 1 반도체층콘택홀
121 : 제 2 소스전극, 123 : 제 1 드레인전극, 125 : 제 2 및 제 3 반도체층콘택홀
127 : 뱅크
128 : 제 1 전극, 129 : 유기발광층, 130 : 제 2 전극(E : 발광다이오드)
140 : 보호필름
P : 화소영역, DA : 비발광영역, LA : 발광영역
DRA : 구동영역, SWA : 스위칭영역
100: Organic light emitting device
103: light blocking pattern, 105: color filter, 107: flattening layer
108: first oxide semiconductor layer (108a, 108b, 108c: first to third regions)
109: second oxide semiconductor layer (109a, 109b, 109c: first to third regions)
110: substrate
111: gate insulating film, 113: interlayer insulating film, 115: first gate electrode
117: second gate electrode, 118: first source electrode
119: first semiconductor layer contact hole
121: second source electrode, 123: first drain electrode, 125: second and third semiconductor layer contact holes
127: bank
128: first electrode, 129: organic light emitting layer, 130: second electrode (E: light emitting diode)
140: protective film
P: Pixel area, DA: Non-emissive area, LA: Emitting area
DRA: driving area, SWA: switching area

Claims (10)

게이트배선 및 데이터배선이 서로 교차하여 적(R), 녹(G), 청(B)색의 화소영역이 정의되며, 각 화소영역 별로 구동영역과 발광영역이 정의된 기판과;
상기 기판 상부의 상기 구동영역에 대응하여 위치하며, 중앙부의 제 1 영역과 상기 제 1 영역의 양측으로 위치하는 제 2 및 제 3 영역을 포함하는 제 1 산화물반도체층과;
상기 제 3 영역으로부터 상기 발광영역으로 연장되는 제 1 전극과;
상기 구동영역에서, 상기 기판과 상기 제 1 산화물반도체층 사이에 위치하는 차광패턴과;
상기 발광영역에서, 상기 적(R), 녹(G), 청(B)색의 화소영역 각각에 대응되며 상기 기판과 상기 제 1 전극 사이에 위치하는 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터와;
상기 구동영역에 대응하여 상기 제 1 산화물반도체층의 상기 제 1 및 제 2 영역 상에 위치하는 게이트절연막과;
상기 게이트절연막 상의 상기 제 1 영역에 대응하여 위치하는 제 1 게이트전극과;
상기 구동영역에 대응하여 상기 제 1 게이트전극 상부로 위치하며, 상기 제 2 영역을 노출하는 제 1 반도체콘택홀을 갖는 층간절연막과;
상기 층간절연막 상에 위치하며 상기 데이터배선과 평행하게 위치하는 파워배선과;
상기 층간절연막 상에 위치하며 상기 파워배선으로부터 연장되고 상기 제 1 반도체콘택홀을 통해 상기 제 2 영역과 접촉하는 제 1 소스전극과;
상기 발광영역에 대응하여 상기 제 1 전극 상부로 위치하는 유기발광층과;
상기 제 1 소스전극을 포함하는 상기 구동영역과, 상기 게이트 배선 및 상기데이터배선 상부로 위치하는 뱅크(bank)와;
상기 뱅크와 상기 유기발광층 상부로 위치하는 제 2 전극을 포함하고,
상기 차광패턴은 상기 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터 중 적어도 2개가 중첩되어 이루어지며,
상기 차광패턴과 상기 컬러필터를 덮는 평탄화층이 상기 기판 상부로 형성되고, 상기 제 1 산화물반도체층과 상기 제 1 전극은 상기 평탄화층 상에 위치하며,
상기 제 1 전극의 일측 가장자리는 상기 파워배선과 중첩하고,
상기 유기발광층으로부터의 빛은 상기 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터를 통과하여 적색, 청색 및 청색 컬러가 표시되는 유기발광소자.

A substrate where gate wires and data wires intersect to define red (R), green (G), and blue (B) pixel areas, and a driving area and a light emitting area are defined for each pixel area;
a first oxide semiconductor layer located corresponding to the driving region on the upper part of the substrate and including a first region in the center and second and third regions located on both sides of the first region;
a first electrode extending from the third area to the light emitting area;
a light-shielding pattern located between the substrate and the first oxide semiconductor layer in the driving area;
In the light emitting area, red (R), green (G), and blue pixel areas correspond to each of the red (R), green (G), and blue (B) color pixel areas and are located between the substrate and the first electrode. (B) a color filter;
a gate insulating film positioned on the first and second regions of the first oxide semiconductor layer corresponding to the driving region;
a first gate electrode positioned corresponding to the first region on the gate insulating film;
an interlayer insulating film located above the first gate electrode corresponding to the driving area and having a first semiconductor contact hole exposing the second area;
a power wire located on the interlayer insulating film and parallel to the data wire;
a first source electrode located on the interlayer insulating film, extending from the power wiring, and contacting the second region through the first semiconductor contact hole;
an organic light-emitting layer located above the first electrode corresponding to the light-emitting area;
the driving area including the first source electrode, and a bank located above the gate wire and the data wire;
It includes a second electrode located above the bank and the organic light-emitting layer,
The light blocking pattern is formed by overlapping at least two of the red (R), green (G), and blue (B) color filters,
A planarization layer covering the light-shielding pattern and the color filter is formed on the upper part of the substrate, and the first oxide semiconductor layer and the first electrode are located on the planarization layer,
One edge of the first electrode overlaps the power wiring,
An organic light emitting device in which light from the organic light emitting layer passes through the red (R), green (G), and blue (B) color filters and displays red, blue, and blue colors.

삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제 3 영역은 도체화된 유기발광소자.
According to claim 1,
The third region is a conductive organic light emitting device.
제 1 항에 있어서,
상기 차광패턴은 상기 구동영역의 일측으로 위치하는 스위칭영역에 대응하여 위치하며, 상기 스위칭영역의 상기 차광패턴의 상부의 상기 게이트절연막 하부로 위치하는 제 2 산화물반도체층과;
상기 게이트절연막 상부로 위치하며, 상기 제 2 산화물반도체층과 중첩하는 제 2 게이트전극과;
상기 층간절연막 상부로 위치하며, 상기 제 2 산화물반도체층의 양측과 각각 접촉하는 제 2 소스전극 및 제 1 드레인전극과;
상기 제 1 드레인전극으로부터 연장되어, 상기 제 1 게이트전극과 연결되는 연장부를 포함하고,
상기 연장부는 상기 제 1 산화물반도체층의 제 2 영역과 중첩하여 스토리지캐패시터를 구성하는 유기발광소자.
According to claim 1,
The light blocking pattern is located corresponding to a switching area located on one side of the driving area, and a second oxide semiconductor layer located below the gate insulating film on top of the light blocking pattern in the switching area;
a second gate electrode located above the gate insulating film and overlapping the second oxide semiconductor layer;
a second source electrode and a first drain electrode located above the interlayer insulating film and in contact with both sides of the second oxide semiconductor layer, respectively;
It includes an extension portion extending from the first drain electrode and connected to the first gate electrode,
The extended portion overlaps the second region of the first oxide semiconductor layer to form a storage capacitor.
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 게이트전극은 상기 게이트배선에 연결되고, 상기 제 2 소스전극은 상기 데이터배선에 연결되는 유기발광소자.
According to claim 6,
An organic light emitting device wherein the second gate electrode is connected to the gate wire, and the second source electrode is connected to the data wire.
제 6 항에 있어서,
상기 제 1 산화물반도체층, 상기 제 1 게이트전극, 상기 제 1 소스전극은 구동박막트랜지스터를 구성하고,
상기 제 2 산화물반도체층, 상기 제 2 게이트전극, 상기 제 2 소스전극과 상기 제 1 드레인전극은 스위칭박막트랜지스터를 구성하고,
상기 게이트배선과 평행하게 위치하는 기준배선과, 상기 게이트배선과 상기 제 1 산화물반도체층 및 상기 기준배선에 전기적으로 연결되어 상기 구동박막트랜지스터의 문턱전압을 조절하는 기준박막트랜지스터를 더욱 포함하는 유기발광소자.
According to claim 6,
The first oxide semiconductor layer, the first gate electrode, and the first source electrode constitute a driving thin film transistor,
The second oxide semiconductor layer, the second gate electrode, the second source electrode, and the first drain electrode constitute a switching thin film transistor,
The organic light emitting device further includes a reference line positioned parallel to the gate line, and a reference thin film transistor electrically connected to the gate line, the first oxide semiconductor layer, and the reference line to adjust the threshold voltage of the driving thin film transistor. device.
제 6 항에 있어서,
상기 뱅크는 상기 스위칭영역 상부로 위치하는 유기발광소자.
According to claim 6,
The bank is an organic light emitting device located above the switching area.
제 1 항에 있어서,
상기 뱅크는 상기 제 1 게이트 전극의 측면에 위치하는 상기 층간절연막과 직접 접촉하는 유기발광소자.
According to claim 1,
The bank is an organic light emitting device in direct contact with the interlayer insulating film located on a side of the first gate electrode.
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