KR102607689B1 - Rotation device for battery electrode material surface treatment process system - Google Patents
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Abstract
본 발명의 목적은 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치를 제공하고자 하는 것으로, 본 발명의 구성은 내부가 진공압으로 조성되는 공정실(30)에 타깃 물질(4)이 채워져 있는 도가니(40)가 투입되어 히터에 의해 가열하여 타깃 물질(4)에 코팅 공정이 이루어지도록 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치로서, 상기 공정실(30)에 회전 가능하게 지지된 회전축(62); 상기 회전축(62)의 내부에 구비된 가스 주입구(63); 상기 회전축(62)의 외주면에 내측단이 결합되어 상기 회전축(62)을 중심으로 방사 방향으로 배치된 복수개의 회전 블레이드(64); 상기 회전 블레이드(64)의 내부에 구비되어 상기 가스 주입구(63)와 연통되고 동시에 상기 회전 블레이드(64)의 외부로 연통된 가스 분사구(68);을 포함하여 구성되고, 상기 가스 분사구(68)를 통해 일정 압력으로 나오는 공정 가스에 의해 상기 타깃 물질(4)을 상기 도가니(40)의 바닥에서 위로 부상시키고 하강되도록 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 효과는 도가니 내부에서 회전 블레이드가 계속해서 회전하여 도가니의 아래에서부터 타깃 물질을 계속 떠오르게 하면서 공정 가스를 공급함으로써 분말 형상의 타깃 물질의 표면에 탄소가 고르게 코팅되도록 하므로, 탄소 코팅이 타깃 물질 전체에 고르게 코팅되지 못하였던 문제를 해결한다는 것이다.The purpose of the present invention is to provide a rotating device for a battery electrode surface treatment process system. The configuration of the present invention is to provide a crucible (40) filled with a target material (4) in a process chamber (30) whose interior is created by vacuum pressure. ) is input and heated by a heater to perform a coating process on the target material (4). A rotating device for a surface treatment process system for battery electrodes, comprising: a rotating shaft (62) rotatably supported in the process chamber (30); A gas inlet 63 provided inside the rotating shaft 62; a plurality of rotating blades (64) whose inner ends are coupled to the outer peripheral surface of the rotating shaft (62) and arranged in a radial direction about the rotating shaft (62); A gas injection port 68 is provided inside the rotating blade 64 and communicates with the gas injection port 63 and simultaneously communicates with the outside of the rotating blade 64, and the gas injection port 68 The target material 4 is levitated upward from the bottom of the crucible 40 by the process gas coming out at a certain pressure and is allowed to fall.
The effect of the present invention is that carbon is evenly coated on the surface of the powder-like target material by supplying process gas while the rotating blade continues to rotate inside the crucible to keep the target material floating from the bottom of the crucible, so that the carbon coating is applied to the target material. This solves the problem of not being able to coat the entire surface evenly.
Description
본 발명은 진공 상태의 공정실에서 고온의 열처리 장치를 이용하여 공정 가스를 공급하여 전극제의 표면에 화학, 물리적인 증착을 위한 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템에서 탄소와 같은 코팅 성분이 코팅 대상물인 타깃 물질에 고르고 원활하게 코팅될 수 있도록 하는 새로운 구성의 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치에 관한 것이다.The present invention is a battery electrode surface treatment process system for chemical and physical deposition on the surface of the electrode by supplying process gas using a high-temperature heat treatment device in a vacuum process room, where a coating component such as carbon is the coating target. This relates to a rotating device for a new battery electrode surface treatment process system that enables even and smooth coating of target materials.
친환경 전기차 및 기타 전기적인 배터리의 사용이 점차 늘어가는 시대에 들어서며 극복해야 할 몇 가지 기술 중에 배터리 원재료에 전기를 충전함에 있어 그 충전밀도의 향상으로 배터리의 수명 및 성능의 대폭적인 향상이 필수적인 문제로 대두 되고 있다.As we enter an era where the use of eco-friendly electric vehicles and other electric batteries is gradually increasing, among the several technologies that must be overcome is the essential problem of significantly improving the life and performance of the battery by improving the charging density when charging battery raw materials with electricity. It is emerging.
전지원재료인 Si, SiNx, Ni 등 원재료에 전기충전 성능을 개선하기 위하여 에틸렌, 아세틸렌, 메탄들의 물질들을 열분해 및 열 반응을 통하여 원재료 표면에 탄소성분의 박막을 형성시켜 주기 위한 공정 장치에 대한 필요성이 대두되고 있다.In order to improve the electric charging performance of raw materials such as Si, SiNx, and Ni, which are battery raw materials, there is a need for a processing device to form a thin film of carbon on the surface of the raw materials through thermal decomposition and thermal reaction of materials such as ethylene, acetylene, and methane. It is emerging.
그런데, 현재까지 원재료 표면에 탄소성분의 박막을 형성시켜주기 위한 코팅 대상물인 타깃 물질에 고르고 원활하게 코팅될 수 있도록 하는 기술이 미비하여, 배터리 전극과 같은 원재료 표면에 탄소성분의 박막을 형성시켜 주기 위한 공정이 제대로 이루어지지 못하고 있는 실정이다.However, to date, there is a lack of technology to evenly and smoothly coat the target material, which is the coating object for forming a thin film of carbon components on the surface of a raw material, making it difficult to form a thin film of carbon components on the surface of raw materials such as battery electrodes. The process for this is not being carried out properly.
본 발명의 목적은 진공 상태의 공정실에서 고온의 열처리 장치를 이용하여 공정 가스를 공급하여 전극제의 표면에 화학, 물리적인 증착을 위한 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템에서 탄소와 같은 코팅 성분이 코팅 대상물인 타깃 물질에 고르고 원활하게 코팅될 수 있도록 함으로써 배터리 전극과 같은 원재료의 표면에 타깃 물질의 코팅에 의한 탄소성분의 박막을 원활하게 형성시켜 줄 수 있도록 하는 새로운 구성의 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치를 제공하고자 하는 것이다.The purpose of the present invention is to supply a process gas using a high-temperature heat treatment device in a vacuum process room to coat the surface of the electrode with a coating component such as carbon in a battery electrode surface treatment process system for chemical and physical deposition. A new battery electrode surface treatment process system that allows the target material to be coated evenly and smoothly, thereby smoothly forming a thin film of carbon by coating the target material on the surface of raw materials such as battery electrodes. The aim is to provide a rotating device.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 내부가 진공압으로 조성되는 공정실에 타깃 물질이 채워져 있는 도가니가 투입되어 히터에 의해 가열하여 타깃 물질에 코팅 공정이 이루어지도록 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치로서, 상기 공정실에 회전 가능하게 지지된 회전축; 상기 회전축의 내부에 구비된 가스 주입구; 상기 회전축의 외주면에 내측단이 결합되어 상기 회전축을 중심으로 방사 방향으로 배치된 복수개의 회전 블레이드; 상기 회전 블레이드의 내부에 구비되어 상기 가스 주입구와 연통되고 동시에 상기 회전 블레이드의 외부로 연통된 가스 분사구;를 포함하여 구성되고, 상기 가스 분사구를 통해 일정 압력으로 나오는 공정 가스에 의해 상기 타깃 물질을 상기 도가니의 바닥에서 위로 부상시키고 하강되도록 하는 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치가 제공된다.According to the present invention to solve the above problems, a crucible filled with a target material is placed in a process room with a vacuum pressure inside and heated by a heater to perform a coating process on the target material. A rotating device for a process system, comprising: a rotating shaft rotatably supported in the process room; a gas inlet provided inside the rotating shaft; a plurality of rotating blades whose inner ends are coupled to the outer peripheral surface of the rotating shaft and arranged in a radial direction about the rotating shaft; It is configured to include a gas injection port provided inside the rotating blade and communicating with the gas inlet and simultaneously communicating with the outside of the rotating blade, wherein the target material is injected into the target material by a process gas coming out at a certain pressure through the gas injection hole. A rotating device for a battery electrode surface treatment process system is provided, which is characterized in that it floats upward and descends from the bottom of a crucible.
상기 공정 가스는 탄화수소이며, 상기 탄화수소가 공급되어 수소는 분해되고 탄소가 상기 코팅 성분이 되어, 상기 타깃 물질의 표면에 상기 탄소가 고르게 증착되도록 구성된 것을 특징으로 한다.The process gas is hydrocarbon, and the hydrocarbon is supplied to decompose hydrogen and carbon becomes the coating component, so that the carbon is evenly deposited on the surface of the target material.
상기 회전 블레이드는 상기 타깃 물질이 타고 올라오도록 경사진 면으로 형성된 제1측면부와, 상기 제1측면부와 반대되는 면인 제2측면부를 구비하고, 상기 회전 블레이드의 내부에는 상기 가스 분사구와 상기 가스 주입구에 연통된 블레이드측 연결 가스 분사구가 더 형성되며, 상기 가스 주입구와 상기 연결 가스 분사구(66CP)와 상기 가스 분사구를 통과하여 공정 가스가 상기 회전 블레이드의 상기 제2측면부로 일정 압력으로 분사되어 상기 타깃 물질을 상기 도가니의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 제2측면부와 마주하는 공간은 공정 가스의 분사 압력을 저해하지 않도록 빈 공간부로 형성되어 상기 타깃 물질과 공정 가스가 잘 섞여서 상기 타깃 물질에 코팅 물질이 고르게 코팅되도록 구성된 것을 특징으로 한다.The rotating blade has a first side portion formed as an inclined surface so that the target material rides up, and a second side portion that is opposite to the first side portion, and the inside of the rotating blade has the gas injection port and the gas inlet port. A connected gas injection port on the blade side is further formed, and the process gas passes through the gas injection port, the connection gas injection port 66CP, and the gas injection port and is injected at a constant pressure into the second side portion of the rotating blade to produce the target material. is allowed to float upward from the bottom of the crucible, and the space facing the second side portion is formed as an empty space so as not to impede the injection pressure of the process gas, so that the target material and the process gas are well mixed so that the coating material is applied to the target material. It is characterized by being configured to be evenly coated.
상기 가스 분사구는 블레이드측 연결 가스 분사구의 중심부를 기준으로 복수개로 배치된 복수개의 분기 가스 분사구를 포함하여 구성되며, 복수개의 분기 가스 분사구의 기단부가 상기 블레이드측 연결 가스 분사구와 연통되고 복수개의 상기 분기 가스 분사구의 선단부는 회전 블레이드의 제2측면부로 연통되도록 구성된 것을 특징으로 한다.The gas injection port is configured to include a plurality of branch gas injection ports arranged in plural numbers based on the center of the blade-side connection gas injection port, and the proximal ends of the plurality of branch gas injection ports communicate with the blade-side connection gas injection port, and the plurality of branch gas injection ports are connected to each other. The front end of the gas injection port is characterized in that it is configured to communicate with the second side portion of the rotating blade.
상기 회전 블레이드는 상기 제2측면부의 상부에서 연장된 차단편을 더 구비하여, 상기 회전 블레이드의 상기 제1측면부를 상기 타깃 물질이 타고 올라와서 상기 타깃 물질을 상기 도가니의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 회전 블레이드의 상기 제1측면부로 타고 올라온 상기 타깃 물질이 상기 차단편을 지나 하강하게 되며, 상기 차단편은 상기 제2측면부와 마주하는 공간이 공정 가스의 분사 압력이 저해되지 않도록 상기 제2측면부와 마주하는 공간을 더 확실하게 빈 공간부로 형성되도록 하며, 상기 차단편을 지나 하강한 상기 타깃 물질은 상기 제2측면부와 마주하는 빈 공간으로 하강하여 공정 가스와 잘 섞여서 상기 타깃 물질에 코팅 물질이 더 확실하게 고르게 코팅되는 것을 특징으로 한다.The rotating blade further includes a blocking piece extending from an upper portion of the second side portion, so that the target material rides up the first side portion of the rotating blade and causes the target material to float upward from the bottom of the crucible, The target material that has climbed onto the first side of the rotary blade passes through the blocking piece and descends, and the blocking piece forms a space facing the second side so that the injection pressure of the process gas is not hindered. The space facing is more clearly formed as an empty space, and the target material that has descended past the blocking piece descends into the empty space facing the second side portion and is well mixed with the process gas to form a coating material on the target material. It is characterized by more reliable and even coating.
상기 회전 블레이드는 상기 제1측면부와 상기 제2측면부에 이어져서 상기 도가니의 바닥부와 마주하는 블레이드 저면부를 구비하고, 상기 블레이드 저면부는 상기 제1측면부의 하단부에 선단부가 이어짐과 동시에 상기 제1측면부 쪽을 향하여 일정 각도 상향 경사진 제1블레이드 저면부와, 상기 제1블레이드 저면부에 연결되어 상향 경사지도록 연장되되, 상기 제1블레이드 저면부보다 경사 각도가 더 큰 제2블레이드 저면부와, 상기 제2블레이드 저면부에 이어진 제3블레이드 저면부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The rotating blade has a blade bottom portion connected to the first side portion and the second side portion and facing the bottom of the crucible, and the blade bottom portion has a tip portion connected to the lower end of the first side portion and the first side portion. A first blade bottom portion inclined upward at a predetermined angle toward the side, a second blade bottom portion connected to the first blade bottom portion and extending to be inclined upward, and having a greater inclination angle than the first blade bottom portion, It is characterized in that it includes a third blade bottom portion connected to the second blade bottom portion.
상기 제1측면부의 하단부와 상기 제1블레이드 저면부가 이어지는 부분은 곡면부로 구성되고, 상기 회전 블레이드의 상기 제2측면부의 상부에서 연장된 차단편의 끝단부는 곡면부로 구성되고, 상기 제2측면부의 하단부와 상기 제3블레이드 저면부가 이어지는 부분도 곡면부로 구성된 것을 특징으로 한다.The portion where the lower end of the first side portion and the bottom portion of the first blade are connected are composed of a curved portion, and the end of the blocking piece extending from the upper part of the second side portion of the rotating blade is composed of a curved portion, and the lower end of the second side portion and The portion connected to the bottom of the third blade is also characterized in that it is composed of a curved portion.
복수개의 상기 회전 블레이드의 선단부에는 회전링이 결합되고, 상기 회전링에는 복수개의 절개홀이 구비된 것을 특징으로 한다.A rotating ring is coupled to the tip of the plurality of rotating blades, and the rotating ring is provided with a plurality of cutting holes.
복수개의 상기 회전 블레이드의 선단부에는 회전링이 결합되고, 상기 회전링의 내부에는 이너 가스 분사구가 구비되고, 상기 이너 가스 분사구는 상기 회전축의 상기 가스 주입구와 상기 회전 블레이드의 상기 가스 분사구에 연통되고, 상기 회전링은 상기 회전 블레이드의 선단부와 마주하는 내측면에 복수개의 링부 가스 분사구를 구비하도록 구성되고, 상기 회전링의 내측면에는 상기 링부 가스 분사구와 마주하는 링부 차단편이 더 구비된 것을 특징으로 한다.A rotating ring is coupled to the tip of the plurality of rotating blades, and an inner gas injection port is provided inside the rotating ring, and the inner gas injection port communicates with the gas injection port of the rotating shaft and the gas injection port of the rotating blade, The rotating ring is configured to have a plurality of ring gas injection ports on an inner surface facing the tip of the rotating blade, and the inner surface of the rotating ring is further provided with a ring portion blocking piece facing the ring gas injection port. .
상기 회전링의 저면에는 가이드 포크가 구비되고, 상기 가이드 포크는 위에서 아래로 갈수록 양면 사이의 폭이 점점 줄어들어서 상기 가이드 포크가 역삼각 형상으로 구성되며, 상기 회전 블레이드와 상기 회전링이 회전하면서 하강하여 상기 회전 블레이드와 상기 회전링이 도가니의 내부에 채워진 타깃 물질을 파고 들어가는데, 상기 회전링의 저면에는 역삼형 형상의 상기 가이드 포크가 구비되어 있어서, 상기 가이드 포크도 상기 회전링과 함께 회전하면서 하강하여 상기 타깃 물질 속으로 상기 회전링이 더 원활하게 파고 들어가도록 하는 것을 특징으로 한다.A guide fork is provided on the bottom of the rotary ring, and the width between the two sides of the guide fork gradually decreases from top to bottom, so that the guide fork has an inverted triangle shape, and the rotary blade and the rotary ring rotate and descend. Thus, the rotating blade and the rotating ring dig into the target material filled inside the crucible, and the guide fork of an inverted triangle shape is provided on the bottom of the rotating ring, so that the guide fork also rotates with the rotating ring and descends. This is characterized in that the rotating ring penetrates more smoothly into the target material.
상기 회전 블레이드는 상기 회전축을 중심으로 할 때에 곡선형 블레이드 형상으로 구성되고, 상기 회전 블레이드는 상기 타깃 물질이 타고 올라오도록 경사진 면으로 형성된 제1측면부와, 상기 제1측면부와 반대되는 면인 제2측면부를 구비하고, 상기 회전 블레이드의 내부에는 상기 가스 분사구와 상기 회전축의 상기 가스 주입구에 연통되어 곡선형 통로 형상으로 이루어진 블레이드측 연결 가스 분사구가 더 형성되며, 상기 가스 주입구와 상기 블레이드측 연결 가스 분사구와 상기 가스 분사구를 통과하여 공정 가스가 상기 회전 블레이드의 상기 제2측면부로 일정 압력으로 분사되어 상기 타깃 물질을 상기 도가니의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 제2측면부와 마주하는 공간은 타깃 물질이 하강하여 공정 가스와 잘 혼합되는 빈 공간부로 형성되며, 상기 회전 블레이드가 곡선형 블레이드 형상으로 구성되어, 상기 회전축과 상기 회전 블레이드가 회전할 때에 상기 도가니 내부의 상기 타깃 물질이 상기 도가니의 외곽부 쪽으로 쏠리는 현상이 방지되도록 구성된 것을 특징으로 한다.The rotating blade is configured to have a curved blade shape when centered around the rotating shaft, and the rotating blade has a first side portion formed as an inclined surface so that the target material rides up, and a second side portion that is opposite to the first side portion. It has a side portion, and a blade-side connection gas injection port is further formed in the interior of the rotating blade in communication with the gas injection port and the gas injection port of the rotating shaft and has a curved passage shape, and the gas injection port and the blade-side connecting gas injection port are further formed. And passing through the gas injection hole, the process gas is injected at a certain pressure to the second side part of the rotating blade to cause the target material to float from the bottom to the top of the crucible, and the space facing the second side part is the target material. It is formed as an empty space that descends and mixes well with the process gas, and the rotating blade is configured in a curved blade shape, so that when the rotating shaft and the rotating blade rotate, the target material inside the crucible moves toward the outer portion of the crucible. It is characterized by being configured to prevent tilting.
상기 회전 블레이드에 상기 가스 분사구가 복수개로 구비되고, 복수개의 상기 가스 분사구들의 직경은 상기 회전 블레이드의 내측단에서 외측단으로 갈수록 점점 더 커지도록 구성되거나 상기 회전 블레이드의 내측단에서 외측단으로 갈수록 복수개의 상기 가스 분사구들 사이의 간격이 점점 더 좁아지도록 구성된 것을 특징으로 한다.The rotating blade is provided with a plurality of gas injection holes, and the diameter of the plurality of gas injection holes is configured to gradually increase from the inner end to the outer end of the rotating blade, or is configured to be plural as it goes from the inner end to the outer end of the rotating blade. It is characterized in that the gap between the gas nozzles is configured to become increasingly narrow.
본 발명은 배터리의 전극과 같은 원재료의 표면에 코팅되기 위한 타깃 물질의 표면에 탄소 코팅 증착 및 개질 공정을 매우 효율적으로 수행할 수 있도록 한다. 본 발명의 회전장치에서 회전 블레이드가 도가니 내부에서 계속해서 회전하여 도가니의 아래에서부터 타깃 물질을 계속 떠오르게 하면서 공정 가스를 공급함으로써 분말 형상의 타깃 물질의 표면에 탄소가 고르게 코팅되도록 하므로, 탄소 코팅이 타깃 물질 전체에 고르게 코팅되지 못하였던 문제를 해결한다는 것이다.배터리의 전극과 같은 원재료의 표면에 코팅되기 위한 타깃 물질의 표면에 탄소 코팅 증착 및 개질 공정을 매우 효율적으로 수행할 수 있고, 시스템의 안정성을 향상시키고 유지 보수의 원활함으로 인하여 시스템의 활용도를 높일 수 있다.The present invention makes it possible to very efficiently perform carbon coating deposition and modification processes on the surface of a target material for coating on the surface of a raw material such as an electrode of a battery. In the rotary device of the present invention, the rotating blade continues to rotate inside the crucible to continuously float the target material from the bottom of the crucible while supplying process gas so that carbon is evenly coated on the surface of the target material in powder form, so that the carbon coating is applied to the target. It solves the problem of not being able to coat the entire material evenly. The carbon coating deposition and modification process can be performed very efficiently on the surface of the target material to be coated on the surface of the raw material such as the electrode of the battery, and the stability of the system can be improved. The usability of the system can be increased by improving and smoothing maintenance.
도 1은 본 발명의 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치의 주요부인 회전 블레이드가 도가니 내부에 채워져 있는 타깃 물질로 파고 들어간 상태를 보여주는 단면도,
도 2은 도 1에 도시된 회전 블레이드가 도가니 내부에 채워져 있는 타깃 물질로 진입하기 이전의 상태를 확대하여 보여주는 단면도,
도 3는 도 2에 도시된 타깃 물질 내부로 회전 블레이드가 들어간 상태를 확대하여 보여주는 단면도,
도 4는 본 발명의 주요부인 회전 블레이드에 회전링이 결합된 상태를 보여주는 사시도,
도 5은 도 4의 반절단 사시도,
도 6은 본 발명의 주요부인 회전 블레이드와 회전축과 회전링의 변형된 실시예를 보여주는 평단면도,
도 7은 도 6에 도시된 회전링의 다른 실시예를 보여주는 평단면도,
도 8은 본 발명의 주요부인 회전축과 회전 블레이드와 회전링의 변형된 실시예의 내부 구조를 확대하여 보여주는 단면도,
도 9은 본 발명의 또 다른 실시예의 평단면도,
도 10은 본 발명의 주요부인 회전 블레이드의 구조를 확대하여 보여주는 단면도,
도 11는 도 10에 도시된 회전 블레이드의 다른 실시예를 확대하여 보여주는 단면도,
도 12는 본 발명의 주요부인 회전 블레이드의 변형된 실시예를 보여주는 단면도,
도 13은 본 발명의 주요부인 회전 블레이드의 또 다른 변형된 실시예를 보여주는 단면도,
도 14는 본 발명의 주요부인 회전 블레이드의 선단부에 결합된 회전링에 가이드 포크가 구비된 실시예를 보여주는 단면도,
도 15는 도 14에 도시된 회전 블레이드와 회전링 및 가이드 포크가 도가니 내부의 타깃 물질 속으로 파고 들어간 상태를 보여주는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a state in which the rotating blade, which is the main part of the rotating device of the battery electrode surface treatment process system of the present invention, is dug into the target material filled inside the crucible;
Figure 2 is an enlarged cross-sectional view showing the state before the rotating blade shown in Figure 1 enters the target material filled inside the crucible;
Figure 3 is an enlarged cross-sectional view showing the state in which the rotating blade enters the target material shown in Figure 2;
Figure 4 is a perspective view showing a state in which the rotating ring is coupled to the rotating blade, which is the main part of the present invention;
Figure 5 is a half-cut perspective view of Figure 4;
Figure 6 is a plan cross-sectional view showing a modified embodiment of the rotating blade, rotating shaft, and rotating ring, which are the main parts of the present invention;
Figure 7 is a plan cross-sectional view showing another embodiment of the rotating ring shown in Figure 6;
Figure 8 is an enlarged cross-sectional view showing the internal structure of a modified embodiment of the main parts of the present invention, the rotating shaft, the rotating blade, and the rotating ring;
9 is a plan cross-sectional view of another embodiment of the present invention;
Figure 10 is an enlarged cross-sectional view showing the structure of the rotating blade, which is the main part of the present invention;
Figure 11 is an enlarged cross-sectional view showing another embodiment of the rotating blade shown in Figure 10;
Figure 12 is a cross-sectional view showing a modified embodiment of the rotating blade, which is the main part of the present invention;
Figure 13 is a cross-sectional view showing another modified embodiment of the rotating blade, which is the main part of the present invention;
Figure 14 is a cross-sectional view showing an embodiment in which a guide fork is provided on a rotating ring coupled to the tip of a rotating blade, which is the main part of the present invention;
FIG. 15 is a cross-sectional view showing a state in which the rotating blade, rotating ring, and guide fork shown in FIG. 14 are dug into the target material inside the crucible.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 상기 본 발명의 목적과 특징 및 장점은 첨부도면 및 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 더욱 쉽게 이해될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. The purpose, features, and advantages of the present invention can be more easily understood by referring to the accompanying drawings and the following detailed description. Additionally, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 예를 들어, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.Additionally, when describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only used to distinguish the component from other components, and the nature, sequence, or order of the component is not limited by the term. For example, when a component is described as being "connected," "coupled," or "connected" to another component, that component may be connected or connected directly to that other component, but there is no connection between each component. It will be understood that another component may be “connected,” “coupled,” or “connected.”
도 1은 본 발명의 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치의 주요부인 회전 블레이드가 도가니 내부에 채워져 있는 타깃 물질로 파고 들어간 상태를 보여주는 단면도, 도 2은 도 1에 도시된 회전 블레이드가 도가니 내부에 채워져 있는 타깃 물질로 진입하기 이전의 상태를 확대하여 보여주는 단면도, 도 3는 도 2에 도시된 타깃 물질 내부로 회전 블레이드가 들어간 상태를 확대하여 보여주는 단면도, 도 4는 본 발명의 주요부인 회전 블레이드에 회전링이 결합된 상태를 보여주는 사시도, 도 5은 도 4의 반절단 사시도, 도 6은 본 발명의 주요부인 회전 블레이드와 회전축과 회전링의 변형된 실시예를 보여주는 평단면도, 도 7은 도 6에 도시된 회전링의 다른 실시예를 보여주는 평단면도, 도 8은 본 발명의 주요부인 회전축과 회전 블레이드와 회전링의 변형된 실시예의 내부 구조를 확대하여 보여주는 단면도, 도 9은 본 발명의 또 다른 실시예의 평단면도, 도 10은 본 발명의 주요부인 회전 블레이드의 구조를 확대하여 보여주는 단면도, 도 11는 도 10에 도시된 회전 블레이드의 다른 실시예를 확대하여 보여주는 단면도, 도 12는 본 발명의 주요부인 회전 블레이드의 변형된 실시예를 보여주는 단면도, 도 13은 본 발명의 주요부인 회전 블레이드의 또 다른 변형된 실시예를 보여주는 단면도, 도 14는 본 발명의 주요부인 회전 블레이드의 선단부에 결합된 회전링에 가이드 포크가 구비된 실시예를 보여주는 단면도, 도 15는 도 14에 도시된 회전 블레이드와 회전링 및 가이드 포크가 도가니 내부의 타깃 물질 속으로 파고 들어간 상태를 보여주는 단면도이다.Figure 1 is a cross-sectional view showing a state in which the rotating blade, which is the main part of the rotating device of the battery electrode surface treatment process system of the present invention, is dug into the target material filled inside the crucible, and Figure 2 shows the rotating blade shown in Figure 1 inside the crucible. Figure 3 is an enlarged cross-sectional view showing the state before entering the target material filled in, Figure 3 is an enlarged cross-sectional view showing the state in which the rotating blade entered the target material shown in Figure 2, and Figure 4 is the rotating blade, which is the main part of the present invention. A perspective view showing a state in which the rotating ring is coupled to, Figure 5 is a half-cut perspective view of Figure 4, Figure 6 is a flat cross-sectional view showing a modified embodiment of the rotating blade, rotating shaft, and rotating ring, which are the main parts of the present invention, and Figure 7 is a drawing. Figure 8 is a cross-sectional view showing another embodiment of the rotating ring shown in Figure 6, Figure 8 is an enlarged cross-sectional view showing the internal structure of a modified embodiment of the rotating shaft, rotating blade, and rotating ring, which are the main parts of the present invention, and Figure 9 is another example of the present invention. Figure 10 is an enlarged cross-sectional view of another embodiment of the rotary blade shown in Figure 10, Figure 10 is an enlarged cross-sectional view of another embodiment of the rotary blade shown in Figure 10, and Figure 12 is an enlarged cross-sectional view of another embodiment of the rotary blade shown in Figure 10. A cross-sectional view showing a modified embodiment of the main part of the rotary blade, Figure 13 is a cross-sectional view showing another modified embodiment of the main part of the rotary blade of the present invention, Figure 14 is a rotating blade coupled to the tip of the main part of the rotary blade of the present invention. FIG. 15 is a cross-sectional view showing an embodiment in which a ring is provided with a guide fork. FIG. 15 is a cross-sectional view showing a state in which the rotating blade, rotating ring, and guide fork shown in FIG. 14 are dug into the target material inside the crucible.
본 발명은 내부가 진공압으로 조성되는 공정실(30)에 타깃 물질이 채워져 있는 도가니(40)가 투입되어 히터에 의해 가열하여 타깃 물질(4)에 코팅 공정이 이루어지도록 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치이다. 본 발명의 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치는 공정실(30)에 회전 가능하게 지지된 회전축(62)과, 상기 회전축(62)의 내부에 구비된 가스 주입구(63)와, 상기 회전축(62)의 외주면에 내측단이 결합되어 회전축(62)을 중심으로 방사 방향으로 배치된 복수개의 회전 블레이드(64)와, 상기 회전 블레이드(64)의 내부에 구비되어 가스 주입구(63)와 연통되고 동시에 회전 블레이드(64)의 외부로 연통된 가스 분사구(68)를 포함한다.The present invention is a surface treatment for battery electrodes in which a crucible (40) filled with a target material is placed in a process chamber (30) whose interior is created under vacuum pressure and heated by a heater to perform a coating process on the target material (4). It is a rotating device in the process system. The rotating device of the battery electrode surface treatment process system of the present invention includes a rotating shaft 62 rotatably supported in the process chamber 30, a gas inlet 63 provided inside the rotating shaft 62, and the rotating shaft. A plurality of rotating blades (64), the inner end of which is coupled to the outer peripheral surface of (62) and arranged in a radial direction about the rotating shaft (62), are provided inside the rotating blades (64) and communicate with the gas inlet (63). and at the same time includes a gas injection port 68 communicating with the outside of the rotating blade 64.
상기 회전축(62)은 내부에 가스 주입구(63)가 구비된 상부 회전축(62US)이 내부에 가스 주입구(63)가 형성된 하부 회전축(62LS)에 볼트와 같은 연결수단으로 서로 연결되도록 구성될 수 있다.The rotating shaft 62 may be configured such that an upper rotating shaft 62US, which has a gas inlet 63 therein, is connected to a lower rotating shaft 62LS, which has a gas inlet 63 therein, using a connecting means such as a bolt. .
상기 가스 분사구(68)를 통해 일정 압력으로 나오는 공정 가스에 의해 상기 도가니(40) 내부의 상기 타깃 물질(4)이 상기 도가니(40) 바닥에서 위쪽으로 부상시키고 하강하도록 하여 기분사된 공정 가스에서 분해된 코팅 성분이 타깃 물질의 전체면에 고르게 증착되도록 한다. 본 발명에서는 도가니(40) 내의 타깃 물질(4)의 가려진 부분을 회전장치에 의해 노출시켜서 공정 가스에서 분해된 코팅 성분이 타깃 물질(4)의 전체면에 고르게 증착되도록 한다. 상기 도가니(40) 내의 타깃 물질(4)을 회전장치에 의해 도가니(40)의 바닥에서 위로 부상시켜서 상기 공정 가스에서 분해된 코팅 성분이 타깃 물질(4)의 전체면에 고르게 증착되도록 한다. 도가니(40) 내의 타깃 물질의 가려진 부분이라 함은 일정 높이로 도가니(40)에 쌓여있는 분말 형태의 타깃 물질에서 안에 들어가 있어서 타깃 물질의 상층면으로 드러나 있지 않은 부분으로서, 도가니(40) 내의 타깃 물질의 가려진 부분을 회전장치(60)에 의해 노출되도록 부상시킨 다음에 하강하도록 하여서 타깃 물질(4) 전체면에 공정 가스에서 분리한 코팅 물질이 고르게 코팅되도록 한다. 상기 원재료 표면은 배터리의 극판과 같은 원재료를 의미하며, 본 발명은 원재료 표면(예를 들어, 이차전지의 극판의 표면)에 탄소성분의 박막을 형성시켜 주기 위한 공정 시스템의 회전장치이다.The target material 4 inside the crucible 40 is caused to float upward and descend from the bottom of the crucible 40 by the process gas coming out at a certain pressure through the gas injection hole 68, so that it is removed from the previously evaporated process gas. Ensure that the decomposed coating components are evenly deposited on the entire surface of the target material. In the present invention, the hidden portion of the target material 4 in the crucible 40 is exposed by a rotating device so that the coating component decomposed in the process gas is evenly deposited on the entire surface of the target material 4. The target material 4 in the crucible 40 is levitated upward from the bottom of the crucible 40 by a rotating device so that the coating component decomposed in the process gas is evenly deposited on the entire surface of the target material 4. The hidden part of the target material in the crucible 40 refers to a part of the target material in powder form piled up in the crucible 40 at a certain height and is not exposed to the upper surface of the target material. The covered part of the material is levitated to be exposed by the rotating device 60 and then lowered so that the entire surface of the target material 4 is evenly coated with the coating material separated from the process gas. The raw material surface refers to a raw material such as an electrode plate of a battery, and the present invention is a rotating device of a process system for forming a thin film of a carbon component on the surface of the raw material (for example, the surface of the electrode plate of a secondary battery).
상기 공정 가스는 탄화수소로서, 상기 탄화수소가 공급되어 수소는 분해되고 탄소가 코팅 성분이 되어, 타깃 물질의 표면에 탄소가 고르게 증착되도록 구성된다. 본 발명의 회전장치는 공정실(30)의 진공으로 형성된 내부에서 분말 형상의 타깃 물질을 부상시키고 탄화수소를 공급하고 동시에 히터로 가열시켜서 탄화수소에서 분리된 탄소는 타깃 물질의 전체면에 고르게 증착되어 코팅되도록 한다. 공정실(30) 내부에 있는 수소는 공정실(30)의 외부로 연장된 배기구를 통해서 공정실(30) 외부로 빠지게 된다.The process gas is hydrocarbon, and when the hydrocarbon is supplied, hydrogen is decomposed and carbon becomes a coating component, so that carbon is evenly deposited on the surface of the target material. The rotating device of the present invention levitates a target material in the form of a powder inside a vacuum formed in the process chamber 30, supplies hydrocarbon, and simultaneously heats it with a heater, so that the carbon separated from the hydrocarbon is evenly deposited and coated on the entire surface of the target material. Make it possible. Hydrogen inside the process room 30 escapes to the outside of the process room 30 through an exhaust port extending to the outside of the process room 30.
본 발명의 회전장치는 가스 분사구(68)를 구비(구체적으로, 회전 블레이드(64)에 가스 분사구(68)을 구비)하여 공정 가스를 공급함으로써 도가니(40)에 적층된 분말상의 타깃 물질(4)(원재료 물질) 전체에 고르게 공정 가스를 공급하여 타깃 물질 표면에 공정 가스에서 코팅 물질(주로 탄화수소에서 분해된 탄소)가 균일하게 증착되도록 한다.The rotating device of the present invention is provided with a gas injection port 68 (specifically, the gas injection port 68 is provided on the rotating blade 64) to supply process gas to produce the powdery target material 4 stacked on the crucible 40. ) Supply the process gas evenly throughout the (raw material) to ensure that the coating material (mainly carbon decomposed from hydrocarbon) is uniformly deposited from the process gas on the surface of the target material.
본 발명의 회전장치는 공정 조건과 증착 물질의 균일도를 향상시킬 수 있도록 회전 하강되면서 타깃 물질 속으로 파고들어감으로써 타깃 물질을 지속으로 움직여서 틈을 만들어 주어 공정 가스를 그러한 틈으로 공급되도록 하여 코팅 물질(주로, 탄소)가 타깃 물질의 표면에 고르게 증착 코팅되도록 한다.The rotating device of the present invention penetrates into the target material while rotating down to improve the process conditions and uniformity of the deposition material, continuously moving the target material to create a gap, and supplying the process gas into the gap to form a coating material ( Mainly, carbon) is evenly deposited and coated on the surface of the target material.
본 발명의 회전장치는 공정실(30)에 회전 가능하게 지지된 회전축(62)과, 상기 회전축(62)의 내부에 구비된 가스 주입구(63)와, 상기 회전축(62)의 외주면에 내측단이 결합되어 상기 회전축(62)을 중심으로 방사 방향으로 배치된 복수개의 회전 블레이드(64)와, 상기 회전 블레이드(64)의 내부에 구비되어 가스 주입구(63)와 연통되고 동시에 회전 블레이드(64)의 외부로 연통된 가스 분사구(68)를 포함한다.The rotating device of the present invention includes a rotating shaft 62 rotatably supported in the process chamber 30, a gas inlet 63 provided inside the rotating shaft 62, and an inner end on the outer peripheral surface of the rotating shaft 62. This is combined with a plurality of rotating blades 64 arranged in a radial direction about the rotating shaft 62, and a plurality of rotating blades 64 provided inside the rotating blades 64 and communicating with the gas inlet 63 and simultaneously rotating blades 64. It includes a gas injection port 68 communicating to the outside of.
상기 가스 분사구(68)를 통해 일정 압력으로 나오는 공정 가스에 의해 도가니(40) 내부의 타깃 물질(4)이 도가니(40) 바닥에서 위쪽으로 부상하게 된다. 본 발명에서 타깃 물질(4)은 배터리 원재료(예를 들어, 이차전지의 극판 등) 표면에 코팅되기 위한 분말상의 코팅 물질을 의미한다.The target material 4 inside the crucible 40 floats upward from the bottom of the crucible 40 by the process gas coming out at a certain pressure through the gas injection hole 68. In the present invention, the target material 4 refers to a powdery coating material to be coated on the surface of a battery raw material (for example, an electrode plate of a secondary battery, etc.).
상기 회전축(62)은 공정실(30)과 진공 용기(20)의 외부로 연장된다. 회전축(62)은 회전 구동 장치와 상승 하강 장치에 의해 회전 및 상승 하강할 수 있도록 구성된다. 상기 상승 하강 장치는 외부의 서포트 프레임이나 진공 용기(20)의 외부에 지지되어 설치된 실린더로 구성될 수 있고, 상기 회전 구동 장치는 실린더의 실린더 로드에 장착된 모터로 구성될 수 있으며, 상기 모터의 모터축에 상기 회전축(62)이 장착되어, 상기 실린더의 실린더 로드가 신축하고 상기 모터의 모터축이 회전함에 따라 상기 회전축(62)이 회전하면서 동시에 상승 하강될 수 있게 된다.The rotation axis 62 extends outside the process chamber 30 and the vacuum vessel 20. The rotation shaft 62 is configured to rotate and rise and fall by means of a rotation drive device and a raising and lowering device. The raising and lowering device may be composed of an external support frame or a cylinder supported and installed on the outside of the vacuum container 20, and the rotation drive device may be composed of a motor mounted on the cylinder rod of the cylinder, and the motor may be configured to The rotation shaft 62 is mounted on the motor shaft, so that the rotation shaft 62 rotates and rises and falls simultaneously as the cylinder rod of the cylinder expands and contracts and the motor shaft of the motor rotates.
상기 회전축(62)의 내부에는 가스 주입구(63)가 구비된다. 가스 주입구(63)는 회전축(62)의 길이 방향으로 연장된 홀이다. 회전축(62)의 가스 주입구(63)에는 연결관 등에 의해 외부의 공정 가스 주입장치가 연결되어, 공정 가스 주입장치에서부터 회전축(62)의 가스 주입구(63)로 공정 가스가 주입되도록 구성된다. 이때, 회전축(62)의 외주면에 베어링 등의 상대 회전 수단을 매개로 중공 커플러가 결합되고, 상기 중공 커플러는 브라켓과 같은 지지수단에 의해 상기 진공 용기(20)나 외부의 프레임에 고정되고, 상기 중공 커플러 내부의 중공에 연결관 등에 의해 상기 공정 가스 주입장치가 연결되어, 상기 공정 가스 주입장치에서부터 중공 커플러 내부의 중공을 거쳐서 회전축(62) 내부의 가스 주입구(63)로 공정 가스가 주입되도록 할 수 있다. 회전축(62)은 회전하면서 하강하면서도 공정 가스 주입장치에서부터 공정 가스를 내부의 가스 주입구(63)로 공급받을 수 있도록 구성된다. 상기 회전축(62)에 복수개의 회전 블레이드(64)가 연결되어, 회전축(62)의 회전에 의해 복수개의 회전 블레이드(64)도 회전될 수 있다. 회전축(62)의 외주면에 복수개의 회전 블레이드(64)가 연결되어 있어서, 상기 회전장치를 위에서 볼 때에 복수개의 회전 블레이드(64)가 회전축(62)의 외주면에 풍차처럼 연결된 구조가 된다.A gas inlet 63 is provided inside the rotating shaft 62. The gas inlet 63 is a hole extending in the longitudinal direction of the rotation shaft 62. An external process gas injection device is connected to the gas inlet 63 of the rotating shaft 62 through a connection pipe or the like, so that the process gas is injected from the process gas injection device to the gas inlet 63 of the rotating shaft 62. At this time, a hollow coupler is coupled to the outer peripheral surface of the rotating shaft 62 via a relative rotation means such as a bearing, and the hollow coupler is fixed to the vacuum container 20 or an external frame by a supporting means such as a bracket. The process gas injection device is connected to the hollow inside the hollow coupler by a connector, etc., so that the process gas is injected from the process gas injection device to the gas injection port 63 inside the rotating shaft 62 through the hollow inside the hollow coupler. You can. The rotating shaft 62 is configured to receive process gas from the process gas injection device to the internal gas inlet 63 while rotating and descending. A plurality of rotary blades 64 are connected to the rotary shaft 62, and the plurality of rotary blades 64 can also be rotated by rotation of the rotary shaft 62. A plurality of rotating blades 64 are connected to the outer peripheral surface of the rotating shaft 62, so that when the rotating device is viewed from above, a plurality of rotating blades 64 are connected to the outer peripheral surface of the rotating shaft 62 like a windmill.
상기 회전 블레이드(64)는 제1측면부(65)와 제2측면부(66)와 블레이드 저면부(67)를 구비한다. 회전 블레이드(64)는 회전축(62)에서 바깥쪽으로 일정 길이 연장된 바아 형상으로 구성된다. 상기 회전 블레이드(64)의 제1측면부(65)는 타깃 물질(4)이 타고 올라오도록 경사진 면으로 형성된다. 회전 블레이드(64)를 전단부와 후단부 사이를 잘라낸 종단면도로 볼 때에 제1측면부(65)는 아래에서부터 위쪽으로 상향 경사지게 형성된다. 상기 회전장치의 회전에 의해 회전 블레이드(64)가 회전한다고 할 때에 제1측면부(65)는 회전 블레이드(64)의 회전 방향으로 하향 경사도록 형성된 것이라 할 수 있다.The rotating blade 64 has a first side portion 65, a second side portion 66, and a blade bottom portion 67. The rotating blade 64 has a bar shape extending outward from the rotating shaft 62 by a certain length. The first side portion 65 of the rotating blade 64 is formed as an inclined surface so that the target material 4 rides up. When the rotating blade 64 is viewed in longitudinal cross-section cut between the front end and the rear end, the first side portion 65 is formed to slope upward from bottom to top. When the rotary blade 64 is rotated by the rotation of the rotary device, the first side portion 65 can be said to be formed to slope downward in the rotation direction of the rotary blade 64.
상기 제2측면부(66)는 제1측면부(65)와 반대되는 면이다. 제2측면부(66)는 수직 방향으로 배치된다. 회전 블레이드(64)를 전단부와 후단부 사이를 잘라낸 종단면도로 볼 때에 제1측면부(65)는 아래에서부터 위쪽으로 상향 경사지게 형성되고, 제2측면부(66)는 수직 방향으로 배치된다. 제1측면부(65)의 상단부에 제2측면부(66)의 상단부가 연결된다.The second side portion 66 is opposite to the first side portion 65. The second side portion 66 is arranged in a vertical direction. When the rotating blade 64 is viewed in a longitudinal cross-sectional view cut between the front end and the rear end, the first side portion 65 is formed to slope upward from bottom to top, and the second side portion 66 is arranged in a vertical direction. The upper end of the second side part 66 is connected to the upper end of the first side part 65.
상기 회전 블레이드(64)에는 복수개의 가스 분사구(68)가 구비된다. 상기 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66)에 복수개의 가스 분사구(68)가 구비되어, 회전 블레이드(64)에 복수개의 가스 분사구(68)가 형성된 구조가 된다. 또한, 회전 블레이드(64)의 내부에는 가스 분사구(68)와 회전축(62)의 가스 주입구(63)에 연통된 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)가 더 형성된다. 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)는 회전 블레이드(64)의 기단부에서 선단부 쪽으로 연장된 홀 구조이며, 블레이트측 연결 가스 분사구(68IC)에 복수개의 가스 분사구(68)가 연결되어, 상기 회전축(62)의 가스 주입구(63)와 회전 블레이드(64)의 가스 분사구(68)가 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)를 통해서 서로 연통된 구조를 취한다.The rotating blade 64 is provided with a plurality of gas injection holes 68. A plurality of gas injection ports 68 are provided on the second side portion 66 of the rotary blade 64, resulting in a structure in which a plurality of gas injection ports 68 are formed on the rotary blade 64. In addition, a blade-side connection gas injection port 68IC is further formed inside the rotating blade 64, which communicates with the gas injection port 68 and the gas injection port 63 of the rotating shaft 62. The blade-side connection gas injection port 68IC has a hole structure extending from the base end of the rotating blade 64 toward the tip, and a plurality of gas injection ports 68 are connected to the blade-side connection gas injection port 68IC, and the rotation shaft 62 )'s gas injection port 63 and the gas injection port 68 of the rotating blade 64 have a structure in which they communicate with each other through the blade-side connection gas injection port 68IC.
상기 회전축(62)의 내부에는 가스 주입구(63)와 연통되면서 동시에 각각의 회전 블레이드(64) 내부의 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)에 연통된 축부 연결 가스 주입구(62SP)가 구비되어, 상기 회전축(62) 내부의 가스 주입구(63)와 회전 블레이드(64)의 복수개의 가스 분사구(68)가 상기 축부 연결 가스 주입구(62SP)와 상기 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)를 통해서 서로 연통된 구조가 된다. Inside the rotating shaft 62, a shaft connection gas inlet 62SP is provided, which is in communication with the gas inlet 63 and at the same time communicates with the blade-side connection gas injection hole 68IC inside each rotating blade 64. (62) A structure in which the internal gas injection port 63 and the plurality of gas injection ports 68 of the rotating blade 64 communicate with each other through the shaft connection gas injection port 62SP and the blade side connection gas injection port 68IC. do.
상기 가스 주입구(63)와 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)와 가스 분사구(68)를 통과하여 공정 가스가 상기 회전 블레이드(64)의 상기 제2측면부(66)로 일정 압력으로 분사되어 타깃 물질(4)을 상기 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간은 공정 가스의 분사 압력을 저해하지 않도록 빈 공간부로 형성되어 상기 타깃 물질(4)과 공정 가스가 잘 섞여서 상기 타깃 물질(4)에 코팅 물질이 고르게 코팅되도록 구성된다. 공정 가스의 분사 압력을 저해하지 않도록 빈 공간부로 형성된다는 것은 배압이 형성되지 않도록 빈 공간부로 형성된다는 것을 의미한다. 상기 회전축(62)의 가스 주입구(63)와 축부 연결 가스 주입구(62IC)와 회전 블레이드(64) 내부의 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)와 가스 분사구(68)를 통과하여 공정 가스가 상기 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66)로 일정 압력으로 분사되어 타깃 물질(4)을 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되도록 하면서 동시에 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간은 타깃 물질(4)이 하강되어 공정 가스와 잘 섞이도록 하는 빈 공간부로 형성되는 것이다. 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간은 공정 가스의 분사 압력을 저해하지 않도록 빈 공간부로 형성되어 상기 타깃 물질(4)과 공정 가스가 잘 섞여서 상기 타깃 물질(4)에 코팅 물질이 고르게 코팅되도록 구성된다. 상기 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간부로 타깃 물질(4)이 하강할 때에 공정 가스가 분사되는 압력으로 인하여 타깃 물질(4)이 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66)로 연통된 가스 분사구(68)를 막는 것이 방지되고 동시에 타깃 물질(4)이 가스 분사구(68)를 통해서 기분사된 공정 가스와 잘 섞이도록 구성된다.The process gas passes through the gas inlet 63, the blade-side connection gas injection port 68IC, and the gas injection port 68, and is injected at a certain pressure into the second side portion 66 of the rotating blade 64 to target the target material ( 4) is levitated from the bottom to the top of the crucible 40, and the space facing the second side part 66 is formed as an empty space so as not to impede the injection pressure of the process gas, so that the target material 4 and the process The gas is well mixed so that the coating material is evenly coated on the target material 4. Being formed as an empty space so as not to impede the injection pressure of the process gas means that it is formed as an empty space so that back pressure is not formed. The process gas passes through the gas inlet 63 of the rotary shaft 62, the shaft connection gas inlet 62IC, the blade side connection gas injection port 68IC inside the rotary blade 64, and the gas injection port 68, and then passes through the rotary blade 64. It is sprayed at a certain pressure to the second side portion 66 of (64) so that the target material (4) floats upward from the bottom of the crucible (40), and at the same time, the space facing the second side portion (66) is filled with the target material (4). ) is lowered to form an empty space that mixes well with the process gas. The space facing the second side portion 66 is formed as an empty space so as not to impede the injection pressure of the process gas, so that the target material 4 and the process gas are well mixed and the coating material is evenly coated on the target material 4. It is structured as possible. When the target material 4 descends into the empty space facing the second side portion 66, the target material 4 communicates with the second side portion 66 of the rotating blade 64 due to the pressure of the process gas being sprayed. Blocking of the gas injection port 68 is prevented, and at the same time, the target material 4 is well mixed with the process gas injected through the gas injection port 68.
한편, 상기 가스 분사구(68)는 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)의 중심부를 기준으로 복수개로 배치된 복수개의 분기 가스 분사구(68DP)를 포함하여 구성되며, 복수개의 분기 가스 분tk구의 기단부가 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)와 연통되고 복수개의 분기 가스 분사구(68DP)의 선단부는 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66)로 연통된다. 복수개의 분기 가스 분사구(68DP)로 이루어진 가스 분사구(68)가 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66)의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 배치되도록 구성된다. 회전 블레이드(64)를 전단부와 후단부 사이를 잘라낸 종단면도로 볼 때 복수개의 분기 가스 분사구(68DP)가 회전 블레이드(64) 내부의 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)와 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66) 쪽으로 연통되도록 구성된다. 회전 블레이드(64)를 전단부와 후단부 사이를 잘라낸 종단면도로 볼 때 복수개의 분기 가스 분사구(68DP)가 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)의 일부분에 연통되어 배치된 구조가 된다.Meanwhile, the gas injection port 68 includes a plurality of branch gas injection ports 68DP arranged in plural numbers based on the center of the blade-side connection gas injection port 68IC, and the proximal ends of the plurality of branch gas injection ports tk are formed on the blade side. It communicates with the side connection gas injection port 68IC, and the tip of the plurality of branch gas injection ports 68DP communicates with the second side portion 66 of the rotating blade 64. The gas injection port 68 consisting of a plurality of branch gas injection ports 68DP is configured to be arranged at regular intervals along the longitudinal direction of the second side portion 66 of the rotating blade 64. When the rotary blade 64 is viewed in a longitudinal cross-sectional view cut between the front end and the rear end, a plurality of branch gas nozzles 68DP are connected to the blade side connection gas nozzle 68IC inside the rotary blade 64 and the second portion of the rotary blade 64. It is configured to communicate toward the second side portion (66). When the rotating blade 64 is viewed in a longitudinal cross-sectional view cut between the front end and the rear end, a plurality of branch gas injection ports 68DP are arranged in communication with a portion of the blade-side connection gas injection port 68IC.
한편, 상기 회전 블레이드(64)는 제2측면부(66)의 상부에서 연장된 차단편(67BP)을 더 구비한다. 차단편(67BP)은 제2측면부(66)의 상단부와 인접한 위치에서 제2측면부(66)에서 더 돌출되도록 연장된 차양판 구조이다.Meanwhile, the rotating blade 64 further includes a blocking piece 67BP extending from the top of the second side portion 66. The blocking piece 67BP is a sunshade structure that extends to protrude further from the second side portion 66 at a position adjacent to the upper end of the second side portion 66.
상기 회전 블레이드(64)의 제1측면부(65)를 타깃 물질(4)이 타고 올라와서 상기 타깃 물질(4)을 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 회전 블레이드(64)의 제1측면부(65)로 타고 올라온 타깃 물질(4)이 차단편(67BP)에 의해 차단되어 제2측면부(66)와 마주하는 공간에 타깃 물질(4)이 유입되는 경우를 더 확실하게 방지하여 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간을 더 확실하게 빈 공간부로 형성되도록 한다. 회전 블레이드(64)의 제1측면부(65)를 타깃 물질(4)이 타고 올라와서 부상될 때에 제2측면부(66)와 마주하는 공간은 타깃 물질(4)이 하강하여 공정 가스와 잘 섞이도록 하는 빈 공간부로 형성되는데, 상기 차단편(67BP)으로 인하여 회전 블레이드(64)에서 제2측면부(66)와 마주하는 공간을 더 확실하게 빈 공간부로 형성되도록 하고, 상기 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간으로는 상기 차단편(67BP)을 지나온 타깃 물질(4)이 하강하여 기분사된 공정 가스와 더욱 잘 혼합될 수 있게 된다.The target material 4 rides up the first side portion 65 of the rotating blade 64, causing the target material 4 to float upward from the bottom of the crucible 40, and the first side of the rotating blade 64 The target material 4 that has climbed onto the first side portion 65 is blocked by the blocking piece 67BP to more reliably prevent the target material 4 from flowing into the space facing the second side portion 66. The space facing the second side portion 66 is more clearly formed as an empty space. When the target material 4 rises on the first side 65 of the rotating blade 64, the space facing the second side 66 allows the target material 4 to descend and mix well with the process gas. It is formed as an empty space, and due to the blocking piece 67BP, the space facing the second side portion 66 on the rotating blade 64 is more clearly formed as an empty space, and the second side portion 66 and The target material 4 that has passed through the blocking piece 67BP falls into the facing empty space and can be better mixed with the previously injected process gas.
상기 회전 블레이드(64)는 제1측면부(65)와 제2측면부(66)에 이어진 블레이드 저면부(67)를 구비한다. 블레이드 저면부(67)는 제1블레이드 저면부(67A)와 제2블레이드 저면부(67B)와 제3블레이드 저면부(67C)를 포함한다.The rotating blade 64 has a blade bottom portion 67 connected to the first side portion 65 and the second side portion 66. The blade bottom portion 67 includes a first blade bottom portion 67A, a second blade bottom portion 67B, and a third blade bottom portion 67C.
상기 제1블레이드 저면부(67A)는 제1측면부(65)의 하단부에 선단부가 이어짐과 동시에 상기 제1측면부(65) 쪽을 향하여 일정 각도 상향 경사지도록 구성된다.The first blade bottom portion 67A is configured to have its tip connected to the lower end of the first side portion 65 and to be inclined upward at a certain angle toward the first side portion 65.
상기 제2블레이드 저면부(67B)는 제1블레이드 저면부(67A)에 연결되어 제1측면부(65) 쪽을 향하여 상향 경사지도록 연장된다. 제2블레이드 저면부(67B)의 선단부가 제1블레이드 저면부(67A)의 기단부에 연결된다. 상기 제2블레이드 저면부(67B)가 경사 각도는 제1블레이드 저면부(67A)의 경사 각도보다 더 크다.The second blade bottom portion 67B is connected to the first blade bottom portion 67A and extends to be inclined upward toward the first side portion 65. The tip of the second blade bottom portion 67B is connected to the proximal end of the first blade bottom portion 67A. The inclination angle of the second blade bottom portion 67B is greater than the inclination angle of the first blade bottom portion 67A.
상기 제3블레이드 저면부(67C)는 제2블레이드 저면부(67B)에 이어진다. 제2블레이드 저면부(67B)의 기단부에 제3블레이드 저면부(67C)의 선단부가 이어진다. 제3블레이드 저면부(67C)의 기단부는 상기 제2측면부(66)의 하단부에 이어진다. 이때, 상기 제3블레이드 저면부(67C)의 경사 각도는 제2블레이드 저면부(67B)의 경사 각도보다는 더 작다.The third blade bottom portion 67C is connected to the second blade bottom portion 67B. The tip of the third blade bottom portion 67C is connected to the proximal end of the second blade bottom portion 67B. The proximal end of the third blade bottom portion 67C is connected to the lower end of the second side portion 66. At this time, the inclination angle of the third blade bottom portion 67C is smaller than the inclination angle of the second blade bottom portion 67B.
상기 제3블레이드 저면부(67C)의 선단부와 기단부 사이의 폭는 제1블레이드 저면부(67A)의 선단부와 기단부 사이의 거리에 비하여 더 크고 제2블레이드 저면부(67B)의 선단부와 기단부 사이의 거리에 비하여도 더 크다.The width between the tip and the proximal end of the third blade bottom portion 67C is greater than the distance between the tip and the proximal end of the first blade bottom portion 67A and the distance between the proximal end and the proximal end of the second blade bottom portion 67B. It is even bigger compared to .
상기 회전 블레이드(64)를 전단부와 후단부 사이를 잘라낸 종단면도로 볼 때 제1블레이드 저면부(67A)가 제1측면부(65) 쪽을 향하여 상향 경사지고, 제2블레이드 저면부(67B)도 제1측면부(65) 쪽을 향하여 상향 경사지고, 제3블레이드 저면부(67C)도 제1측면부(65) 쪽을 향하여 상향 경사지도록 구성되는 한편, 상기 제3블레이드 저면부(67C)의 선단부와 기단부 사이의 폭이 가장 크다.When the rotating blade 64 is viewed in a longitudinal cross-sectional view cut between the front end and the rear end, the first blade bottom portion 67A is inclined upward toward the first side portion 65, and the second blade bottom portion 67B is also inclined. It is inclined upward toward the first side portion 65, and the third blade bottom portion 67C is also configured to be inclined upward toward the first side portion 65, while the tip portion of the third blade bottom portion 67C The width between the bases is the largest.
또한, 상기 제1측면부(65)의 하단부와 제1블레이드 저면부(67A)가 이어지는 부분은 곡면부(CP)로 구성되고, 상기 제1측면부(65)의 상단부와 제2측면부(66)가 이어지는 부분은 곡면부(CP)로 구성되고, 상기 제2측면부(66)의 하단부와 제3블레이드 저면부(67C)가 이어지는 부분도 곡면부(CP)로 구성된다.In addition, the portion where the lower end of the first side portion 65 and the first blade bottom portion 67A are connected is composed of a curved portion CP, and the upper end of the first side portion 65 and the second side portion 66 are The connected portion is composed of a curved portion (CP), and the portion where the lower end of the second side portion 66 and the third blade bottom portion 67C are connected is also composed of a curved portion (CP).
또한, 복수개의 회전 블레이드(64)의 선단부에는 회전링(69)이 결합되고, 상기 회전링(69)에는 복수개의 절개홀(69CH)이 구비된다. 복수개의 절개홀(69CH)은 회전링(69)의 양면으로 연통된다. 회전링(69)을 따라 복수개의 절개홀(69CH)이 일정 간격으로 배치된다.In addition, a rotary ring 69 is coupled to the distal ends of the plurality of rotary blades 64, and the rotary ring 69 is provided with a plurality of cut holes 69CH. A plurality of cut holes (69CH) communicate with both sides of the rotating ring (69). A plurality of cut holes (69CH) are arranged at regular intervals along the rotating ring (69).
한편, 본 발명에서는 복수개의 회전 블레이드(64)의 선단부에는 회전링(69R)이 결합되고, 상기 회전링(69R)의 내부에는 이너 가스 분사구(69IP)가 구비되고, 상기 이너 가스 분사구(69IP)는 가스 주입구(63)와 가스 분사구(68)에 연통된다. 회전축(62) 내부의 가스 주입구(63)와 회전 블레이드(64)의 가스 분사구(68)에 회전링(69R) 내부의 이너 가스 분사구(69IP)가 연통된다.Meanwhile, in the present invention, a rotating ring (69R) is coupled to the tip of the plurality of rotating blades (64), and an inner gas injection port (69IP) is provided inside the rotating ring (69R), and the inner gas injection port (69IP) is connected to the gas injection port 63 and the gas injection port 68. The gas injection port 63 inside the rotating shaft 62 and the inner gas injection port 69IP inside the rotating ring 69R communicate with the gas injection port 68 of the rotating blade 64.
상기 회전링(69R)은 회전 블레이드(64)의 선단부와 마주하는 내측면에 복수개의 링부 가스 분사구(69RP)를 구비한다. 복수개의 링부 가스 분사구(69RP)는 회전링(69R)을 따라 일정 간격으로 배치된다.The rotating ring 69R is provided with a plurality of ring gas injection holes 69RP on the inner surface facing the tip of the rotating blade 64. A plurality of ring gas injection nozzles (69RP) are arranged at regular intervals along the rotating ring (69R).
상기한 구성의 본 발명에 의하면, 상기 공정실(30)의 내부를 진공 상태로 만든 상태에서 공정 가스로서 탄화수소를 공급하여 회전축(62)의 가스 공급구와 회전 블레이드(64)의 가스 배출구를 통해서 공정 가스를 분사하는데, 공정실(30)이 진공인 상태라서 공정 가스인 탄화수소가 수소와 탄소로 분리되고, 동시에 상기 공정실(30)은 히터에 의해 가열되어 공정실(30) 내부에 열이 올라있는 상태가 되기 때문에, 탄화수소에서 분해된 탄소가 타깃 물질(4)의 표면에 코팅된다. 분말상의 타깃 물질(4)의 표면에 탄소가 코팅된다. 탄소가 코팅을 위한 분말 형상의 타깃 물질(4)의 표면에 들러붙어서 타깃 물질(4)을 탄소로 코팅하게 된다. 탄소는 타깃 물질(4)에 들러붙고 수소는 대기로 배출한다. 다시 말해, 탄화수소가 공정실(30) 내부의 진공 상태에서 수소와 탄소로 분해되고, 탄소는 히터의 열에 의해 분말상의 타깃 물질(4)의 표면에 고르게 들러붙어서 코팅된다. 타깃 물질(4)의 표면이 탄소로 고르게 코팅되는 것이다.According to the present invention of the above-mentioned configuration, hydrocarbons are supplied as process gas in a vacuum state inside the process chamber 30, and the process is carried out through the gas supply port of the rotating shaft 62 and the gas outlet of the rotating blade 64. When spraying gas, the process chamber 30 is in a vacuum state, so the hydrocarbon, which is the process gas, is separated into hydrogen and carbon, and at the same time, the process chamber 30 is heated by a heater, causing heat to rise inside the process chamber 30. Because it is in a state, carbon decomposed from hydrocarbon is coated on the surface of the target material 4. Carbon is coated on the surface of the powdery target material 4. Carbon adheres to the surface of the powder-shaped target material 4 for coating, thereby coating the target material 4 with carbon. Carbon sticks to the target material (4) and hydrogen is emitted into the atmosphere. In other words, hydrocarbons are decomposed into hydrogen and carbon in a vacuum state inside the process chamber 30, and the carbon is evenly adhered to and coated on the surface of the powdery target material 4 by the heat of the heater. The surface of the target material 4 is evenly coated with carbon.
이때, 본 발명에서는 도가니(40)에 채워져 있는 타깃 물질(4) 위에서부터 회전 블레이드(64)가 회전 하강하여서 타깃 물질 안으로 들어가면서 타깃 물질을 한곳에 머물러 있도록 하지 않고 계속해서 움직임(도가니(40)의 바닥에서 위로 부상하는 움직임)을 주어서 공정 가스의 투입공간을 만들어 주면서 공정이 진행되기 때문에, 공정 가스인 탄화수소에서 분해된 탄소가 타깃 물질 모두의 표면에 빠짐없이 코팅되도록 할 수 있다.At this time, in the present invention, the rotating blade 64 rotates and descends from above the target material 4 filled in the crucible 40 and enters the target material, and continues to move without keeping the target material in one place (at the bottom of the crucible 40). Since the process proceeds by creating a space for the process gas to be introduced by providing a movement to rise upward, the carbon decomposed from the hydrocarbon, which is the process gas, can be coated on all surfaces of the target materials without exception.
본 발명에서는 회전축(62)과 회전 블레이드(64)가 회전하면서 하강하는데, 상기 회전 블레이드(64)는 상향 경사진 제1측면과 공정 가스가 일정 압력으로 분사되어 나오는 가스 분사구(68)가 연통된 제2측면을 구비하고, 상기 제2측면은 회전장치의 회전 방향(즉, 회전 블레이드(64)의 회전 방향) 쪽으로 상향 경사진 면으로 구성되어 있어서, 상기 회전 블레이드(64)가 회전하면서 상기 제1측면이 타깃 물질 속으로 파고 들어가면서 하강하고, 이러한 회전 블레이드(64)가 타깃 물질 속으로 회전하여 파고 들어가면서 하강하는 과정에서 타깃 물질이 상기 제1측면을 타고 올라와서 도가니(40)의 바닥에서 위쪽으로 부상하기 때문에, 상기 회전 블레이드(64)의 제2측면으로 분사되는 일정 압력의 공정 가스가 타깃 물질(4) 전체에 고르게 분사되고, 상기 도가니(40)가 담긴 공정실(30)의 내부는 진공 상태이고 히터에 의해 가열되어 있어서, 상기 공정 가스인 탄화수소가 공정실(30) 내부의 진공 환경에서 탄소와 수소로 분해되어 수소는 배기구를 통해서 공정실(30)과 진공 용기(20) 밖으로 배출되고 탄소는 모든 타깃 물질에 빠짐없이 코팅(증착 코팅)될 수 있게 된다.In the present invention, the rotating shaft 62 and the rotating blade 64 rotate and descend, and the rotating blade 64 has an upwardly inclined first side and a gas injection port 68 through which the process gas is injected at a constant pressure. It has a second side, and the second side is composed of a surface inclined upward toward the rotation direction of the rotation device (i.e., the rotation direction of the rotation blade 64), so that the rotation blade 64 rotates. One side descends while digging into the target material, and in the process of the rotating blade 64 rotating and digging into the target material and descending, the target material rises up the first side and rises from the bottom of the crucible 40. Because it rises, the process gas at a certain pressure sprayed onto the second side of the rotating blade 64 is sprayed evenly over the entire target material 4, and the inside of the process chamber 30 containing the crucible 40 is It is in a vacuum state and heated by a heater, so the hydrocarbon, which is the process gas, is decomposed into carbon and hydrogen in the vacuum environment inside the process chamber 30, and the hydrogen is discharged out of the process chamber 30 and the vacuum container 20 through the exhaust port. And carbon can be coated (deposition coating) on all target materials.
따라서, 본 발명은 배터리의 전극과 같은 원재료의 표면에 코팅되기 위한 타깃 물질의 표면에 탄소 코팅 증착 및 개질 공정을 매우 효율적으로 수행할 수 있도록 한다.Therefore, the present invention makes it possible to very efficiently perform carbon coating deposition and modification processes on the surface of a target material to be coated on the surface of a raw material such as an electrode of a battery.
또한, 본 발명의 회전장치가 도가니(40) 내부에서 계속해서 회전하여 도가니(40)의 아래에서부터 타깃 물질을 계속 떠오르게 하면서 공정 가스를 공급함으로써 분말 형상의 타깃 물질의 표면에 탄소가 고르게 코팅되도록 하므로, 탄소 코팅이 타깃 물질 전체에 고르게 코팅되지 못하였던 문제를 해결하는 효과가 있다. 상기 회전장치가 회전하여 회전 블레이드(64)에 의해 도가니(40)의 밑에서부터 계속해서 타깃 물질이 떠올랐다가 떨어지는 과정을 반복하여 공정 가스에 도가니(40)에 채워져 있는 타깃 물질 모두를 노출시키기 때문에, 도가니(40)에 채워진 모든 타깃 물질에 고르게 탄소 코팅이 이루어지도록 하는 것이다.In addition, the rotating device of the present invention continues to rotate inside the crucible 40 to keep the target material floating from the bottom of the crucible 40 while supplying process gas to ensure that carbon is evenly coated on the surface of the powder-like target material. , it has the effect of solving the problem that the carbon coating was not coated evenly over the entire target material. Because the rotating device rotates and repeats the process of continuously rising and falling the target material from the bottom of the crucible 40 by the rotating blade 64, exposing all of the target material filled in the crucible 40 to the process gas. This is to ensure that all target materials filled in the crucible 40 are evenly coated with carbon.
또한, 본 발명에서는 회전축(62)의 가스 주입구(63)와 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)와 회전 블레이드(64)의 가스 분사구(68)를 통과하여 공정 가스가 상기 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66)로 일정 압력으로 분사되어 타깃 물질(4)을 상기 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되는 힘을 가하고 동시에 경사진 제1측면부(65)로는 타깃 물질(4)이 타고 올라오면서 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되도록 하여 공정 가스가 도가니(40)에 채워져 있는 모든 타깃 물질(4)에 공급되어 타깃 물질(4)이 모두 탄소로 코팅되도록 하는 한편, 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간은 빈 공간부로 형성되고, 상기 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간부에는 이미 공정 가스가 일정 압력으로 분사되고 있기 때문에, 타깃 물질(4)이 상기 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간부로 하강할 때에 타깃 물질(4)에 의해 회전 블레이드(64)의 가스 분사구(68)가 막히는 경우를 방지하여, 회전 블레이드(64)의 가스 분사구(68)가 타깃 물질(4)에 의해 막히는 경우를 방지함으로 인하여 공정 가스가 제대로 공급이 안되어서 코팅 공정이 제대로 이루어지지 못하는 경우를 방지하게 되며, 이에 더하여 상기 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간부로 기분사된 공정 가스와 타깃 물질(4)이 잘 혼합되어서 타깃 물질(4)의 표면 전체에 고르게 코팅 물질(예를 들어, 탄화수소에서 분해된 탄소)이 코팅될 수 있게 된다.In addition, in the present invention, the process gas passes through the gas inlet 63 of the rotating shaft 62, the blade-side connection gas injection port 68IC, and the gas injection port 68 of the rotating blade 64. It is sprayed at a certain pressure to the second side portion (66), applying a force to levitate the target material (4) from the bottom of the crucible (40) upward, and at the same time, the target material (4) rises to the inclined first side portion (65). The crucible 40 is levitated from the bottom to the top so that the process gas is supplied to all target materials 4 filled in the crucible 40 so that all target materials 4 are coated with carbon, while the second side portion 66 ) is formed as an empty space, and since the process gas is already injected at a certain pressure into the empty space facing the second side portion 66, the target material 4 is formed in the empty space portion facing the second side portion 66. ) to prevent the gas injection port 68 of the rotating blade 64 from being blocked by the target material 4 when descending into the empty space facing the target material (4), so that the gas injection port 68 of the rotating blade 64 is blocked by the target material (4) By preventing clogging due to 4), it prevents the coating process from being performed properly due to poor supply of process gas, and in addition, the process that is carried out in the empty space facing the second side portion 66 The gas and the target material 4 are well mixed so that the coating material (for example, carbon decomposed from hydrocarbon) can be evenly coated on the entire surface of the target material 4.
한편, 본 발명에서 회전 블레이드(64)에 구비된 가스 분사구(68)는 회전 블레이드(64) 내부의 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)의 중심부를 기준으로 복수개로 배치된 복수개의 분기 가스 분사구(68DP)를 포함하도록 구성되어, 복수개의 분기 가스 분사구(68DP)를 통해서 여러 군데에서 퍼지는 방식으로 공정 가스가 분사되면서 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간은 타깃 물질(4)이 하강하여 기분사된 공정 가스와 잘 혼합되는 빈 공간부로 더 확실하게 형성되기 때문에, 타깃 물질에 의해 회전 블레이드(64)의 가스 분사구(68)가 막히는 경우를 더 확실하게 방지하며, 회전 블레이드(64)의 가스 분사구(68)가 타깃 물질에 의해 막히는 경우를 더 확실하게 방지함으로 인하여 공정 가스가 제대로 공급이 안되어서 코팅 공정이 제대로 이루어지지 못하는 경우를 더 확실하게 방지하게 된다. 아울러, 상기 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간부로 하강하는 타깃 물질(4)이 기분사된 공정 가스와 잘 혼합되어 타깃 물질(4)의 전체면에 고르게 코팅 물질(상기한 탄소 등)이 코팅될 수 있게 된다.Meanwhile, in the present invention, the gas injection port 68 provided on the rotating blade 64 includes a plurality of branch gas injection ports 68DP arranged in plural numbers based on the center of the blade-side connection gas injection port 68IC inside the rotating blade 64. ), and the process gas is injected in a manner that spreads in several places through a plurality of branch gas injection ports (68DP), and the target material 4 is lowered into the space facing the second side portion 66, thereby causing the target material 4 to be discharged. Since it is more reliably formed as an empty space that mixes well with the process gas, it more reliably prevents the gas nozzle 68 of the rotary blade 64 from being blocked by the target material, and the gas nozzle of the rotary blade 64 By more reliably preventing cases where (68) is blocked by the target material, it is possible to more reliably prevent cases in which the coating process is not carried out properly due to poor supply of process gas. In addition, the target material 4 descending into the empty space facing the second side portion 66 is well mixed with the uninjected process gas and evenly coats the entire surface of the target material 4 with a material (such as the carbon described above). This coating can be done.
특히, 본 발명에서 회전 블레이드(64)는 제2측면부(66)의 상부에서 연장된 차단편(67BP)을 더 구비하여, 회전 블레이드(64)의 제1측면부(65)를 타깃 물질이 타고 올라와서 상기 타깃 물질을 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 회전 블레이드(64)의 제1측면부(65)로 타고 올라온 타깃 물질(4)이 차단편(67BP)을 타고 지나와서 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간부에 타깃 물질(4)이 하강하여 기분사된 공정 가스와 잘 혼합되기 때문에, 상기 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간부로 하강하여 기분사된 공정 가스와 섞이는 타깃 물질(4)에 의해 회전 블레이드(64)의 가스 분사구(68)가 막히는 경우를 완전히 방지할 수 있으며, 회전 블레이드(64)의 가스 분사구(68)가 타깃 물질(4)에 의해 막히는 경우를 더욱 확실하게 방지함으로 인하여 공정 가스가 제대로 공급이 안되어서 코팅 공정이 제대로 이루어지지 못하는 경우를 더욱 확실하게 방지하게 된다. 이에 더하여서 차단편(67BP)을 타고 지나와서 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간부에 타깃 물질(4)이 하강하여 기분사된 공정 가스와 잘 혼합되기 때문에, 타깃 물질(4)에 코팅 물질을 더욱 고르게 코팅할 수 있게 된다.In particular, in the present invention, the rotating blade 64 further includes a blocking piece 67BP extending from the top of the second side portion 66, so that the target material climbs the first side portion 65 of the rotating blade 64. The target material is made to float upward from the bottom of the crucible 40, and the target material 4, which has climbed up the first side portion 65 of the rotating blade 64, passes along the blocking piece 67BP and flows into the second crucible 40. Since the target material 4 descends into the empty space facing the side part 66 and mixes well with the previously injected process gas, it falls into the empty space facing the second side part 66 of the rotating blade 64. Thus, it is possible to completely prevent the gas injection port 68 of the rotating blade 64 from being blocked by the target material 4 mixed with the uninjected process gas, and the gas injection port 68 of the rotating blade 64 is blocked by the target material 4. By more reliably preventing clogging by (4), it is possible to more reliably prevent cases in which the coating process is not carried out properly due to poor supply of process gas. In addition, since the target material 4 passes through the blocking piece 67BP and descends into the empty space facing the second side portion 66 and mixes well with the unpasteurized process gas, the target material 4 The coating material can be coated more evenly.
또한, 상기 회전 블레이드(64)는 제1측면과 제2측면에 이어지는 블레이드 저면부(67)를 구비하고, 상기 블레이드 저면부(67)는 제1블레이드 저면부(67A)와 제2블레이드 저면부(67B)와 제3블레이드 저면부(67C)로 구성되고, 상기 제1블레이드 저면부(67A)는 제1측면부(65) 쪽을 향하여 상향 경사지고, 제2블레이드 저면부(67B)도 제1측면부(65) 쪽을 향하여 상향 경사지고, 제3블레이드 저면부(67C)도 제1측면부(65) 쪽을 향하여 상향 경사지도록 구성되어 있어서, 상기 회전 블레이드(64)가 회전하면서 도가니(40) 내의 타깃 물질을 도가니(40)의 아래에서부터 위로 부상시키는 과정에서 상기 경사진 제1블레이드 저면부(67A)와 제2블레이드 저면부(67B)와 제3블레이드 저면부(67C)로 인하여 회전 블레이드(64)의 저면부와 도가니(40)의 바닥 사이에 타깃 물질이 끼어서 제대로 도가니(40) 위로 부상되지 못하는 경우를 방지하기 때문에 타깃 물질에 대한 탄소 코팅 능력을 더 향상시키고 코팅 공정을 더 원활하게 수행할 수 있도록 하며, 상기 회전 블레이드(64)의 저면부와 도가니(40)의 바닥 사이에 타깃 물질이 끼어서 부서지는 경우도 방지되므로 타깃 물질이 소손되어 코팅 공정이 제대로 이루어지지 못하는 경우도 방지하는 효과가 있다.In addition, the rotating blade 64 has a blade bottom portion 67 connected to the first side and the second side, and the blade bottom portion 67 includes the first blade bottom portion 67A and the second blade bottom portion. It is composed of a third blade bottom portion 67B and a third blade bottom portion 67C, wherein the first blade bottom portion 67A is inclined upward toward the first side portion 65, and the second blade bottom portion 67B is also inclined toward the first blade bottom portion 67C. It is inclined upward toward the side portion 65, and the third blade bottom portion 67C is also configured to be inclined upward toward the first side portion 65, so that the rotating blade 64 rotates and moves within the crucible 40. In the process of levitating the target material from the bottom of the crucible 40 upward, the rotating blade 64 is rotated due to the inclined first blade bottom portion 67A, second blade bottom portion 67B, and third blade bottom portion 67C. ) to prevent the target material from being caught between the bottom of the crucible (40) and the bottom of the crucible (40), preventing it from rising properly onto the crucible (40), thereby further improving the carbon coating ability for the target material and performing the coating process more smoothly. In addition, it prevents the target material from being caught between the bottom of the rotating blade 64 and the bottom of the crucible 40 and being broken, thereby preventing the coating process from being performed properly due to the target material being burned. there is.
또한, 본 발명에서 회전 블레이드(64)의 제1측면부(65)의 하단부와 제1블레이드 저면부(67A)가 이어지는 부분은 곡면부(CP)로 구성되고, 상기 제1측면부(65)의 상단부와 제2측면부(66)가 이어지는 부분은 곡면부(CP)로 구성되고, 상기 제2측면부(66)의 하단부와 제3블레이드 저면부(67C)가 이어지는 부분도 곡면부(CP)로 구성되어, 상기 제1측면부(65)의 하단부와 제1블레이드 저면부(67A)가 이어지는 부분이 날카롭게 도가니(40)의 바닥을 파고 들어가거나 스크래치를 내는 경우가 방지되고 타깃 물질이 회전 블레이드(64)의 경사진 제1측면을 타고 부상하는 과정에서 타깃 물질이 부서지는 경우도 방지하는 효과가 있고, 상기 제1측면부(65)의 상단부와 제2측면부(66)가 이어지는 부분의 곡면부(CP)와 상기 제2측면부(66)의 하단부와 제3블레이드 저면부(67C)가 이어지는 곡면부(CP)로 인하여 타깃 물질이 회전 블레이드(64)의 경사진 제1측면을 타고 부상하는 과정과 회전 블레이드(64)의 제3블레이드 저면부(67C)와 도가니(40)니의 바닥에서 도가니(40) 위쪽으로 부상하는 과정에서 타깃 물질이 부서지는 경우도 방지하는 효과가 있다.In addition, in the present invention, the portion where the lower end of the first side portion 65 of the rotating blade 64 and the first blade bottom portion 67A are connected is composed of a curved portion CP, and the upper portion of the first side portion 65 The portion where the second side portion 66 is connected is composed of a curved portion (CP), and the portion where the lower end of the second side portion 66 and the third blade bottom portion 67C are connected is also composed of a curved portion (CP). , the portion where the lower end of the first side portion 65 and the first blade bottom portion 67A are connected is prevented from sharply digging into or scratching the bottom of the crucible 40, and the target material is prevented from forming on the rotating blade 64. It has the effect of preventing the target material from being broken in the process of floating on the inclined first side, and the curved portion (CP) of the portion where the upper end of the first side portion 65 and the second side portion 66 are connected Due to the curved portion (CP) connected to the lower end of the second side portion 66 and the third blade bottom portion 67C, the target material rises along the inclined first side of the rotating blade 64 and the rotating blade ( It is also effective in preventing the target material from being broken in the process of floating from the bottom of the third blade 67C of 64) and the bottom of the crucible 40 to the top of the crucible 40.
또한, 본 발명에서 복수개의 회전 블레이드(64)의 선단부에는 회전링(69)이 결합되고, 상기 회전링(69)에는 복수개의 절개홀(69CH)이 구비되고, 복수개의 절개홀(69CH)은 회전링(69)의 양면으로 연통되도록 구성되어, 상기 회전축(62)과 함께 상기 회전링(69)에 의해 복수개의 회전 블레이드(64)를 내측단과 외측단에서 견고하게 잡아서 지지하는 구조가 되기 때문에, 회전 블레이드(64)의 회전시에 부하 저항으로 인하여 회전 블레이드(64)의 위치가 틀어지거나 약한 강도로 인하여 회전 블레이드(64)가 회전축(62)에서 분리되는 경우도 방지하는 효과가 있으며, 나아가 회전 블레이드(64)의 회전 작동이 견고하게 이루어지도록 함으로써 도가니(40)에서 타깃 물질을 부상시키는 작동을 보다 안정적으로 수행할 수 있게 된다.In addition, in the present invention, a rotating ring 69 is coupled to the tip of the plurality of rotating blades 64, and the rotating ring 69 is provided with a plurality of cutting holes 69CH, and the plurality of cutting holes 69CH are Because it is configured to communicate with both sides of the rotary ring 69, the plurality of rotary blades 64 are firmly held and supported at the inner and outer ends by the rotary ring 69 together with the rotary shaft 62. This has the effect of preventing the position of the rotary blade 64 from being misaligned due to load resistance when the rotary blade 64 rotates or from the rotary blade 64 being separated from the rotary shaft 62 due to weak strength. By ensuring that the rotational operation of the rotating blade 64 is performed firmly, the operation of levitating the target material in the crucible 40 can be performed more stably.
또한, 상기 회전링(69)에는 복수개의 절개홀(69CH)이 구비되고, 복수개의 절개홀(69CH)은 회전링(69)의 양면으로 연통되도록 구성되어 있어서, 상기 절개홀(69CH)들로 인하여 회전링(69)이 회전하면서 도가니(40) 내의 타깃 물질 속으로 보다 원활하게 파고 들어가게 되므로, 도가니(40)의 바닥에서 위로 타깃 물질을 부상시키는 작용에 있어서 보다 확실하고 원활한 작업이 가능하다.In addition, the rotary ring 69 is provided with a plurality of cut holes (69CH), and the plurality of cut holes (69CH) are configured to communicate with both sides of the rotary ring 69, so that the cut holes (69CH) As a result, the rotating ring 69 rotates and penetrates more smoothly into the target material in the crucible 40, making it possible to work more reliably and smoothly in levitating the target material from the bottom of the crucible 40 to the top.
또한, 본 발명에서는 복수개의 회전 블레이드(64)의 선단부에는 회전링(69R)이 결합되고, 상기 회전링(69R)의 내부에는 이너 가스 분사구(69IP)가 구비되고, 상기 이너 가스 분사구(69IP)는 가스 주입구(63)와 가스 분사구(68)에 연통되고, 상기 회전링(69R)은 회전 블레이드(64)의 선단부와 마주하는 내측면에 복수개의 링부 가스 분사구(69RP)를 구비하여, 복수개의 링부 가스 분사구(69RP)를 통해서도 공정 가스가 일정 압력으로 분사되면서 도가니(40)의 바닥에서 타깃 물질(4)을 더욱 확실하게 위로 부상시킬 수 있으며, 이로 인하여 공정 가스가 타깃 물질 모두에 도달되어 타깃 물질 모두에 탄소 코팅이 더욱 확실하게 이루어지도록 할 수 있다. 상기 회전링(69R)은 복수개의 회전 블레이드(64)의 강도를 보강하면서도 공정 가스가 타깃 물질 모두에 더 확실하게 도달되어 타깃 물질의 코팅 작업이 더 원활하게 이루어지도록 하는 것이다.In addition, in the present invention, a rotating ring (69R) is coupled to the tip of the plurality of rotating blades (64), and an inner gas injection port (69IP) is provided inside the rotating ring (69R), and the inner gas injection port (69IP) is in communication with the gas injection port 63 and the gas injection port 68, and the rotating ring 69R is provided with a plurality of ring gas injection ports 69RP on the inner surface facing the tip of the rotating blade 64. As the process gas is injected at a constant pressure through the ring gas injection port (69RP), the target material (4) can be more reliably floated upward from the bottom of the crucible (40). As a result, the process gas reaches all of the target materials and becomes the target. Carbon coating can be achieved more reliably on all materials. The rotating ring 69R reinforces the strength of the plurality of rotating blades 64 and allows the process gas to more reliably reach all target materials so that the coating operation of the target material can be performed more smoothly.
한편, 상기 회전링(69R)의 내측면에는 상기 링부 가스 분사구(69RP)와 마주하는 링부 쉴드편(69RB)이 더 구비된다. 링부 쉴드편(69RB)이 회전링(69R)의 링부 가스 분사구(69RP)를 바로 앞에서 막고 있으며, 상기 링부 가스 분사구(69RP)에서 나온 일정 압력의 공정 가스가 링부 쉴드편(69RB)에 부딪혔다가 링부 쉴드편(69RB)과 회전링(69R)의 내측면 사이의 스페이스를 통과하여 나오게 되고, 상기 링부 쉴드편(69RB)은 분말 형태의 타깃 물질(4)이 링부 가스 분사구(69RP) 쪽으로 들어와서 막는 것을 방지하게 된다.Meanwhile, a ring portion shield piece (69RB) facing the ring portion gas injection port (69RP) is further provided on the inner surface of the rotating ring (69R). The ring shield piece (69RB) blocks the ring gas injection port (69RP) of the rotating ring (69R) right in front, and the process gas at a certain pressure coming out of the ring gas injection port (69RP) hits the ring shield piece (69RB) and then hits the ring portion shield portion (69RB). It comes out through the space between the shield piece (69RB) and the inner surface of the rotating ring (69R), and the ring portion shield piece (69RB) blocks the target material (4) in powder form from entering the ring portion gas injection port (69RP). prevents it from happening.
또한, 상기 회전링(69R)에서 도가니(40)의 바닥과 마주하는 링부 저면부가 상향 경사진 면으로 형성되어, 상기 회전링(69)의 경사진 링부 저면부와 도가니(40)의 바닥 사이로 타깃 물질(4)이 보다 원활하게 도가니(40) 위로 부상하는 효과가 있고, 상기 회전링(69)의 경사진 링부 저면부와 도가니(40)의 바닥 사이에 타깃 물질(4)이 끼이거나 타깃 물질이 갈려서 부서지는 경우도 방지할 수 있다.In addition, the bottom of the ring portion facing the bottom of the crucible 40 in the rotary ring 69R is formed as an upwardly inclined surface, and the target is formed between the bottom of the inclined ring portion of the rotary ring 69 and the bottom of the crucible 40. The material 4 has the effect of floating above the crucible 40 more smoothly, and the target material 4 is caught between the bottom of the inclined ring portion of the rotating ring 69 and the bottom of the crucible 40. It can also prevent teeth from grinding and breaking.
한편, 본 발명에서 회전 블레이드(64)는 회전축(62)을 중심으로 할 때에 곡선형 블레이드 형상으로 구성되고, 상기 회전 블레이드(64)는 타깃 물질이 타고 올라오도록 경사진 면으로 형성된 제1측면부(65)와, 상기 제1측면부(65)와 반대되는 면인 제2측면부(66)를 구비하고, 상기 회전 블레이드(64)의 내부에는 가스 분사구(68)와 가스 주입구(63)에 연통되어 곡선형 통로 형상으로 이루어진 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)가 더 형성된다.Meanwhile, in the present invention, the rotating blade 64 is configured in a curved blade shape when centered on the rotating axis 62, and the rotating blade 64 has a first side portion formed with an inclined surface so that the target material rides up. 65) and a second side part 66, which is the opposite side of the first side part 65, and is connected to a gas injection port 68 and a gas injection port 63 inside the rotary blade 64, so that it has a curved shape. A blade-side connecting gas injection port 68IC in the shape of a passage is further formed.
상기 회전 블레이드(64)가 곡선형 블레이드 형상으로 구성된 경우에도 회전축(62) 내부의 가스 주입구(63)와 회전축(62) 내부의 축부 연결 가스 주입구(62SP)와 상기 회전 블레이드(64) 내부의 연결 가스 분사구(66CP)와 가스 분사구(68)를 통과하여 공정 가스가 상기 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66)로 일정 압력으로 분사되어 타깃 물질(4)을 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간은 타깃 물질(4)이 하강하여 공정 가스와 잘 혼합되도록 하는 빈 공간부로 형성된다.Even when the rotating blade 64 is configured in a curved blade shape, the gas inlet 63 inside the rotating shaft 62 is connected to the shaft portion inside the rotating shaft 62, and the gas inlet 62SP is connected to the inside of the rotating blade 64. The process gas passes through the gas injection port 66CP and the gas injection port 68 and is injected at a certain pressure to the second side portion 66 of the rotating blade 64 to inject the target material 4 from the bottom to the top of the crucible 40. It floats, and the space facing the second side portion 66 is formed as an empty space that allows the target material 4 to descend and mix well with the process gas.
상기 회전 블레이드(64)가 곡선형 블레이드 형상으로 구성되어, 상기 회전축(62)과 회전 블레이드(64)가 회전(즉, 회전장치가 회전할 할 때)에 도가니(40) 내부의 타깃 물질이 도가니(40)의 외곽부 쪽으로 쏠리는 현상이 방지된다.The rotating blade 64 is configured in a curved blade shape, so that the target material inside the crucible 40 is crucibled when the rotating shaft 62 and the rotating blade 64 rotate (that is, when the rotating device rotates). The phenomenon of leaning towards the outer part of (40) is prevented.
또한, 본 발명에서는 회전 블레이드(64)에 가스 분사구(68)가 복수개로 구비되고, 복수개의 가스 분사구(68)들의 직경은 회전 블레이드(64)의 내측단에서 외측단으로 갈수록 점점 더 커지도록 구성되거나 회전 블레이드(64)의 내측단에서 외측단으로 갈수록 복수개의 가스 분사구(68)들 사이의 간격이 점점 더 좁아지도록 구성된다.In addition, in the present invention, the rotating blade 64 is provided with a plurality of gas injection holes 68, and the diameter of the plurality of gas injection holes 68 is configured to gradually increase from the inner end to the outer end of the rotating blade 64. Alternatively, the gap between the plurality of gas injection holes 68 becomes increasingly narrow as it moves from the inner end to the outer end of the rotating blade 64.
상기 회전 블레이드(64)의 내측단에서 외측단으로 갈수록 회전 블레이드(64)가 부상시킬 타깃 물질의 양은 점점 더 많아지기 때문에, 복수개의 가스 분사구(68)들의 직경은 회전 블레이드(64)의 내측단에서 외측단으로 갈수록 점점 더 커지도록 구성되는 경우에는 회전 블레이드(64)의 내측단에서 외측단으로 갈수록 복수개의 가스 분사구(68)들에서 분사되는 공정 가스 공급량과 공급 압력이 더 커지기 때문에 도가니(40) 내에 있는 모든 타깃 물질(4)에 고르게 공정 가스가 도달하면서 모든 타깃 물질(4)에 고르게 탄소 코팅이 이루어질 수 있도록 하는 효과를 가지게 된다.Since the amount of target material to be levitated by the rotating blade 64 increases as it moves from the inner end to the outer end of the rotating blade 64, the diameter of the plurality of gas injection holes 68 is adjusted to the inner end of the rotating blade 64. In the case where it is configured to become increasingly larger from the inner end to the outer end of the rotating blade 64, the supply amount and supply pressure of the process gas injected from the plurality of gas injection holes 68 increase, so that the crucible 40 ) has the effect of ensuring that all target materials (4) are evenly coated with carbon as the process gas reaches all target materials (4) evenly.
또한, 회전 블레이드(64)의 내측단에서 외측단으로 갈수록 복수개의 가스 분사구(68)들 사이의 간격이 점점 더 좁아지도록 구성된 경우에는 회전 블레이드(64)의 내측단에서 외측단으로 갈수록 갯수가 점점 더 많아지는 가스 분사구(68)들을 통해서 공정 가스 공급량과 공급 압력이 더 커지기 때문에 도가니(40) 내에 있는 모든 타깃 물질(4)에 고르게 공정 가스가 도달하면서 모든 타깃 물질(4)에 고르게 탄소 코팅(코팅 물질의 코팅)이 이루어질 수 있도록 하는 효과를 가진다.In addition, when the gap between the plurality of gas injection holes 68 is configured to gradually become narrower from the inner end to the outer end of the rotating blade 64, the number gradually decreases from the inner end to the outer end of the rotating blade 64. Since the process gas supply amount and supply pressure become larger through the increasing number of gas nozzles 68, the process gas reaches all target materials 4 in the crucible 40 evenly, and all target materials 4 are evenly coated with carbon ( It has the effect of allowing coating of the coating material to occur.
상기 회전링(69R)의 저면에는 가이드 포크(69GS)가 구비되고, 상기 가이드 포크(69GS)는 위에서 아래로 갈수록 양면 사이의 폭이 점점 줄어들어서 상기 가이드 포크(69GS)가 역삼각 형상으로 구성된다. 상기 가이드 포크(69GS)는 상하 방향 중심선을 기준으로 좌우 양쪽에 가이드 경사면(69GSF)을 구비하고, 상기 가이드 경사면(69GSF)은 가이드 포크(69GS)의 상하 방향 중심선 쪽으로 하향 경사지게 형성되어, 상기 가이드 포크(69GS)는 위에서 아래로 갈수록 양면 사이의 폭이 점점 줄어들어서 상기 가이드 포크(69GS)가 역삼각 형상으로 구성된다. 상기 회전링(69R)을 종단면으로 볼 때에 가이드 포크(69GS)는 하단부가 뾰족한 역삼각 돌편 형상으로 구성된 것이다. 상기 가이드 포크(69GS)는 회전링(69R)의 저면 전체면을 따라 연장된 폐루프 돌편 형상으로 구성된다. 바람직하게, 상기 가이드 포크(69GS)에는 일정 간격으로 가이드 절개홀이 구비되고, 상기 가이드 절개홀은 가이드 포크(69GS)의 양면으로 연통되도록 구성된다. 상기 가이드 포크(69GS)에 형성된 절개홀들로 인하여 가이드 포크(69GS)가 회전하면서 도가니(40) 내의 타깃 물질(4) 속으로 보다 원활하게 파고 들어가게 되므로, 도가니(40)의 바닥에서 위로 타깃 물질(4)을 부상시키는 작용에 있어서 보다 확실하고 원활한 작업이 가능하다. 도 14와 도 15에 표시된 도면부호 67A는 회전 블레이드(64)의 제1블레이드 저면부(67A)의 끝단을 나타낸다.A guide fork (69GS) is provided on the bottom of the rotating ring (69R), and the width between the two sides of the guide fork (69GS) gradually decreases from top to bottom, so that the guide fork (69GS) has an inverted triangle shape. . The guide fork (69GS) is provided with guide inclined surfaces (69GSF) on both left and right sides based on the vertical center line, and the guide inclined surfaces (69GSF) are formed to be inclined downward toward the vertical center line of the guide fork (69GS). (69GS) The width between the two sides gradually decreases from top to bottom, so that the guide fork (69GS) has an inverted triangle shape. When the rotary ring 69R is viewed in longitudinal section, the guide fork 69GS is shaped like an inverted triangular stone piece with a sharp lower end. The guide fork (69GS) has a closed-loop protrusion shape extending along the entire bottom surface of the rotating ring (69R). Preferably, the guide fork 69GS is provided with guide cut holes at regular intervals, and the guide cut holes are configured to communicate with both sides of the guide fork 69GS. Due to the incision holes formed in the guide fork (69GS), the guide fork (69GS) rotates and penetrates more smoothly into the target material (4) in the crucible (40), so that the target material (40) flows upward from the bottom of the crucible (40). (4) More reliable and smooth work is possible in the lifting action. Reference numeral 67A shown in FIGS. 14 and 15 indicates the end of the first blade bottom portion 67A of the rotating blade 64.
따라서, 상기 회전 블레이드(64)와 회전링(69R)이 회전하면서 하강하여 회전 블레이드(64)와 회전링(69R)이 도가니(40)의 내부에 채워진 타깃 물질(4)을 파고 들어가는데, 상기 회전링(69R)의 저면에는 양면 사이의 폭이 점점 줄어드는 역삼각 형상의 가이드 포크(69GS)가 구비(하단부가 뾰족한 가이드 포크(69GS)가 구비)되어 있어서, 상기 가이드 포크(69GS)도 회전링(69R)과 함께 회전하면서 하강하여 타깃 물질(4) 속으로 더 원활하게 파고 들어가면서 상기 가이드 포크(69GS)도 상기 회전링(69R)과 함께 회전하면서 하강하여 타깃 물질(4) 속으로 파고 들어가고 상기 회전링(69R)도 더 원활하게 도가니(40) 내부에 채워져 있는 타깃 물질 속으로 파고 들어갈 수 있도록 한다. 이처럼 가이드 포크(69GS)에 의해 회전장치(60)에서 특히 회전링(69R) 부분이 보다 원활하게 타깃 물질 속으로 더 원활하게 파고들어가도록 함으로써 회전 블레이드(64)가 타깃 물질(4)을 더 원활하게 부상시켜서 다시 제2측면부(66) 앞의 빈 공간으로 하강하도록 하기 때문에, 보다 더 원활하게 공정 가스에 타깃 물질(4)이 접촉되면서 타깃 물질(4)의 표면 전체에 보다 원활하게 코팅 작업(탄소와 같은 코팅 물질의 코팅 작업)이 이루어지도록 한다.Accordingly, the rotating blade 64 and the rotating ring 69R rotate and descend so that the rotating blade 64 and the rotating ring 69R penetrate the target material 4 filled inside the crucible 40. The bottom of the ring 69R is provided with an inverted triangular guide fork 69GS in which the width between the two sides gradually decreases (a guide fork 69GS with a sharp lower end is provided), so that the guide fork 69GS also has a rotating ring ( As it rotates and descends with 69R) and digs more smoothly into the target material (4), the guide fork (69GS) also rotates and descends with the rotation ring (69R) and digs into the target material (4) and the rotation. The ring 69R also allows it to penetrate more smoothly into the target material filled inside the crucible 40. In this way, the guide fork (69GS) allows the rotating device (60), especially the rotating ring (69R) portion, to penetrate more smoothly into the target material, thereby allowing the rotating blade (64) to move the target material (4) more smoothly. Since the target material 4 is levitated and then lowered into the empty space in front of the second side portion 66, the target material 4 comes into contact with the process gas more smoothly and the entire surface of the target material 4 is coated more smoothly ( Coating of coating materials such as carbon) is carried out.
이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재할 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as “include,” “comprise,” or “have,” as used above, unless specifically stated to the contrary, mean that the corresponding component may be present, and do not exclude other components. It should be interpreted as being able to include other components. All terms, including technical or scientific terms, unless otherwise defined, have the same meaning as generally understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. Commonly used terms, such as terms defined in a dictionary, should be interpreted as consistent with the contextual meaning of the related technology, and should not be interpreted in an idealized or overly formal sense unless explicitly defined in the present invention.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely an illustrative explanation of the technical idea of the present invention, and various modifications and variations will be possible to those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but are for illustrative purposes, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted in accordance with the claims below, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of rights of the present invention.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Therefore, the embodiments described above are provided to fully inform those skilled in the art of the present invention of the scope of the invention, and should be understood as illustrative in all respects and not restrictive. The invention is defined only by the scope of the claims.
20. 진공 용기 22. 배기구
40. 도가니 62. 회전축
62SP. 축부 연결 가스 주입구 63. 가스 주입구
64. 회전 블레이드 65. 제1측면부
66. 제2측면부 67. 블레이드 저면부
67A. 제1블레이드 저면부 67B. 제2블레이드 저면부
67C. 제3블레이드 저면부 CR. 곡면부
67BP. 차단편 68. 가스 분사구
68IC. 블레이드측 연결 가스 분사구 68DP. 분기 가스 분사구
69,69R. 회전링 69CH. 절개홀
69IP. 이너 가스 분사구 69RP. 링부 가스 분사구
69RRP 링부 차단편 20. Vacuum container 22. Exhaust port
40. Crucible 62. Rotating axis
62 SP. Shaft connection gas inlet 63. Gas inlet
64. Rotating blade 65. First side part
66. Second side part 67. Blade bottom part
67A. First blade bottom portion 67B. Bottom part of second blade
67C. 3rd blade bottom CR. curved part
67 BP. Blocking piece 68. Gas nozzle
68IC. Blade side connection gas nozzle 68DP. branch gas nozzle
69,69R. Rotating ring 69CH. cut hole
69IP. Inner gas nozzle 69RP. Ring gas nozzle
69RRP ring blocking piece
Claims (12)
상기 공정실(30)에 회전 가능하게 지지된 회전축(62);
상기 회전축(62)의 내부에 구비된 가스 주입구(63);
상기 회전축(62)의 외주면에 내측단이 결합되어 상기 회전축(62)을 중심으로 방사 방향으로 배치된 복수개의 회전 블레이드(64);
상기 회전 블레이드(64)의 내부에 구비되어 상기 가스 주입구(63)와 연통되고 동시에 상기 회전 블레이드(64)의 외부로 연통된 가스 분사구(68);을 포함하여 구성되고,
상기 가스 분사구(68)를 통해 일정 압력으로 나오는 공정 가스에 의해 상기 타깃 물질(4)을 상기 도가니(40)의 바닥에서 위로 부상시키거나 하강되고,
상기 회전 블레이드(64)는 상기 타깃 물질(4)이 타고 올라오도록 경사진 면으로 형성된 제1측면부(65)와, 상기 제1측면부(65)와 반대되는 면인 제2측면부(66)를 구비하고,
상기 회전 블레이드(64)의 내부에는 상기 가스 분사구(68)와 상기 가스 주입구(63)에 연통된 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)가 더 형성되며,
상기 가스 주입구(63)와 상기 연결 가스 분사구(66CP)와 상기 가스 분사구(68)를 통과하여 공정 가스가 상기 회전 블레이드(64)의 상기 제2측면부(66)로 일정 압력으로 분사되어 상기 타깃 물질(4)을 상기 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간은 공정 가스의 분사 압력을 저해하지 않도록 빈 공간부로 형성되어 상기 타깃 물질(4)과 공정 가스가 잘 섞여서 상기 타깃 물질(4)에 코팅 물질이 고르게 코팅되도록 구성되며,
상기 가스 분사구(68)는 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)의 중심부를 기준으로 복수개로 배치된 복수개의 분기 가스 분사구(68DP)를 포함하여 구성되며, 복수개의 분기 가스 분사구(68DP)의 기단부가 상기 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)와 연통되고 복수개의 상기 분기 가스 분사구(68DP)의 선단부는 회전 블레이드(64)의 제2측면부(66)로 연통되도록 구성된 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.
Surface treatment of battery electrode material in which a crucible (40) filled with the target material (4) is placed in the process room (30), the interior of which is created under vacuum pressure, and heated by a heater to perform a coating process on the target material (4). As a rotating device in a process system,
A rotating shaft 62 rotatably supported in the process room 30;
A gas inlet 63 provided inside the rotating shaft 62;
a plurality of rotating blades (64) whose inner ends are coupled to the outer peripheral surface of the rotating shaft (62) and arranged in a radial direction about the rotating shaft (62);
A gas injection port 68 is provided inside the rotating blade 64 and communicates with the gas inlet 63, and at the same time communicates with the outside of the rotating blade 64,
The target material 4 is levitated upward or lowered from the bottom of the crucible 40 by the process gas coming out at a certain pressure through the gas injection hole 68,
The rotating blade 64 has a first side portion 65 formed as an inclined surface so that the target material 4 rides up, and a second side portion 66 that is opposite to the first side portion 65. ,
Inside the rotating blade 64, a blade-side connection gas injection port 68IC is further formed in communication with the gas injection port 68 and the gas injection port 63,
The process gas passes through the gas inlet 63, the connecting gas injection port 66CP, and the gas injection port 68 and is injected at a constant pressure into the second side portion 66 of the rotating blade 64 to produce the target material. (4) is floated upward from the bottom of the crucible 40, and the space facing the second side part 66 is formed as an empty space so as not to impede the injection pressure of the process gas, so that the target material 4 and The process gas is well mixed so that the coating material is evenly coated on the target material (4),
The gas injection port 68 includes a plurality of branch gas injection ports 68DP arranged with respect to the center of the blade-side connection gas injection port 68IC, and the proximal ends of the plurality of branch gas injection ports 68DP are A battery electrode surface treatment process system, characterized in that it communicates with a blade-side connecting gas injection port (68IC) and the tip of the plurality of branch gas injection ports (68DP) is configured to communicate with the second side portion 66 of the rotating blade 64. rotation device.
상기 공정 가스는 탄화수소이며, 상기 탄화수소가 공급되어 수소는 분해되고 탄소가 상기 코팅 성분이 되어, 상기 타깃 물질(4)의 표면에 상기 탄소가 고르게 증착되도록 구성된 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.
According to paragraph 1,
The process gas is hydrocarbon, and the hydrocarbon is supplied so that hydrogen is decomposed and carbon becomes the coating component, and the carbon is evenly deposited on the surface of the target material (4). A surface treatment process for an electrode material for a battery, characterized in that Rotating device of the system.
상기 회전 블레이드(64)는 상기 제2측면부(66)의 상부에서 연장된 차단편(67BP)을 더 구비하여, 상기 회전 블레이드(64)의 상기 제1측면부(65)를 상기 타깃 물질(4)이 타고 올라와서 상기 타깃 물질(4)을 상기 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 회전 블레이드(64)의 상기 제1측면부(65)로 타고 올라온 상기 타깃 물질(4)이 상기 차단편(67BP)을 지나 하강하게 되며, 상기 차단편(67BP)은 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간이 공정 가스의 분사 압력이 저해되지 않도록 더 확실하게 빈 공간부로 형성되도록 하며, 상기 차단편(67BP)을 지나 하강한 상기 타깃 물질(4)은 상기 제2측면부(66)와 마주하는 빈 공간으로 하강하여 공정 가스와 잘 섞여서 상기 타깃 물질(4)에 코팅 물질이 더 확실하게 고르게 코팅되는 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.
According to paragraph 1,
The rotary blade 64 further includes a blocking piece 67BP extending from an upper part of the second side portion 66, and the first side portion 65 of the rotary blade 64 is applied to the target material 4. This rides up to cause the target material (4) to float upward from the bottom of the crucible (40), and the target material (4) that rides up to the first side portion (65) of the rotating blade (64) is blocked. It descends after passing through the piece 67BP, and the blocking piece 67BP ensures that the space facing the second side portion 66 is more clearly formed as an empty space so that the injection pressure of the process gas is not hindered, and the blocking piece 67BP The target material 4, which descends after passing through the piece 67BP, descends into the empty space facing the second side portion 66 and mixes well with the process gas to coat the target material 4 more evenly with the coating material. A rotating device for a battery electrode surface treatment process system, characterized in that:
상기 회전 블레이드(64)는 상기 제1측면부(65)와 상기 제2측면부(66)에 이어져서 상기 도가니(40)의 바닥부와 마주하는 블레이드 저면부(67)를 구비하고, 상기 블레이드 저면부(67)는 상기 제1측면부(65)의 하단부에 선단부가 이어짐과 동시에 상기 제1측면부(65) 쪽을 향하여 일정 각도 상향 경사진 제1블레이드 저면부(67A)와, 상기 제1블레이드 저면부(67A)에 연결되어 상향 경사지도록 연장되되, 상기 제1블레이드 저면부(67A)보다 경사 각도가 더 큰 제2블레이드 저면부(67B)와, 상기 제2블레이드 저면부(67B)에 이어진 제3블레이드 저면부(67C)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.
According to paragraph 1,
The rotating blade 64 has a blade bottom portion 67 connected to the first side portion 65 and the second side portion 66 and facing the bottom of the crucible 40, and the blade bottom portion (67) includes a first blade bottom portion (67A) whose tip is connected to the lower end of the first side portion (65) and is inclined upward at a certain angle toward the first side portion (65); and a first blade bottom portion (67A). A second blade bottom portion (67B) connected to (67A) and extending to be inclined upwardly and having a larger inclination angle than the first blade bottom portion (67A), and a third blade connected to the second blade bottom portion (67B). A rotating device for a battery electrode surface treatment process system comprising a blade bottom portion (67C).
상기 제1측면부(65)의 하단부와 상기 제1블레이드 저면부(67A)가 이어지는 부분은 곡면부(CR)로 구성되고, 상기 회전 블레이드(64)의 상기 제2측면부(66)의 상부에서 연장된 차단편(67BP)의 끝단부는 곡면부(CR)로 구성되고, 상기 제2측면부(66)의 하단부와 상기 제3블레이드 저면부(67C)가 이어지는 부분도 곡면부(CR)로 구성된 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.
According to clause 6,
The portion where the lower end of the first side portion 65 and the first blade bottom portion 67A are connected is composed of a curved portion CR, and extends from the upper part of the second side portion 66 of the rotating blade 64. The end of the blocking piece 67BP is composed of a curved portion (CR), and the portion connecting the lower end of the second side portion 66 and the third blade bottom portion 67C is also composed of a curved portion (CR). A rotating device for a battery electrode surface treatment process system.
복수개의 상기 회전 블레이드(64)의 선단부에는 회전링(69)이 결합되고, 상기 회전링(69)에는 복수개의 절개홀(69CH)이 구비된 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.
According to paragraph 1,
A rotating ring 69 is coupled to the tip of the plurality of rotating blades 64, and the rotating ring 69 is provided with a plurality of cutting holes 69CH. Device.
복수개의 상기 회전 블레이드(64)의 선단부에는 회전링(69R)이 결합되고, 상기 회전링(69R)의 내부에는 이너 가스 분사구(69IP)가 구비되고, 상기 이너 가스 분사구(69IP)는 상기 회전축(62)의 상기 가스 주입구(63)와 상기 회전 블레이드(64)의 상기 가스 분사구(68)에 연통되고, 상기 회전링(69R)은 상기 회전 블레이드(64)의 선단부와 마주하는 내측면에 복수개의 링부 가스 분사구(69RP)를 구비하도록 구성되고, 상기 회전링(69R)의 내측면에는 상기 링부 가스 분사구(69RP)와 마주하는 링부 차단편(69RB)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.
According to paragraph 1,
A rotating ring (69R) is coupled to the tip of the plurality of rotating blades (64), and an inner gas injection port (69IP) is provided inside the rotating ring (69R), and the inner gas injection port (69IP) is connected to the rotating shaft ( The gas inlet 63 of 62) is in communication with the gas injection port 68 of the rotary blade 64, and the rotary ring 69R has a plurality of rings on the inner surface facing the distal end of the rotary blade 64. A battery electrode surface configured to have a ring gas injection port (69RP), and further provided with a ring portion blocking piece (69RB) on the inner surface of the rotating ring (69R) facing the ring gas injection port (69RP). Rotating device in treatment process system.
상기 회전링(69R)의 저면에는 가이드 포크(69GS)가 구비되고, 상기 가이드 포크(69GS)는 위에서 아래로 갈수록 양면 사이의 폭이 점점 줄어들어서 상기 가이드 포크(69GS)가 역삼각 형상으로 구성되며, 상기 회전 블레이드(64)와 상기 회전링(69R)이 회전하면서 하강하여 상기 회전 블레이드(64)와 상기 회전링(69R)이 도가니(40)의 내부에 채워진 타깃 물질(4)을 파고 들어가는데, 상기 회전링(69R)의 저면에는 역삼형 형상의 상기 가이드 포크(69GS)가 구비되어 있어서, 상기 가이드 포크(69GS)도 상기 회전링(69R)과 함께 회전하면서 하강하여 상기 타깃 물질(4) 속으로 상기 회전링(69R)이 더 원활하게 파고 들어가도록 하는 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.
According to clause 9,
A guide fork (69GS) is provided on the bottom of the rotating ring (69R), and the width between the two sides of the guide fork (69GS) gradually decreases from top to bottom, so that the guide fork (69GS) has an inverted triangle shape. , the rotating blade 64 and the rotating ring 69R rotate and descend so that the rotating blade 64 and the rotating ring 69R dig into the target material 4 filled inside the crucible 40, The guide fork (69GS) of an inverted triangle shape is provided on the bottom of the rotary ring (69R), so that the guide fork (69GS) also rotates with the rotary ring (69R) and descends into the target material (4). A rotating device for a battery electrode surface treatment process system, characterized in that the rotating ring (69R) penetrates more smoothly.
상기 회전 블레이드(64)는 상기 회전축(62)을 중심으로 할 때에 곡선형 블레이드 형상으로 구성되고, 상기 회전 블레이드(64)는 상기 타깃 물질(4)이 타고 올라오도록 경사진 면으로 형성된 제1측면부(65)와, 상기 제1측면부(65)와 반대되는 면인 제2측면부(66)를 구비하고,
상기 회전 블레이드(64)의 내부에는 상기 가스 분사구(68)와 상기 회전축(62)의 상기 가스 주입구(63)에 연통되어 곡선형 통로 형상으로 이루어진 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)가 더 형성되며,
상기 가스 주입구(63)와 상기 블레이드측 연결 가스 분사구(68IC)와 상기 가스 분사구(68)를 통과하여 공정 가스가 상기 회전 블레이드(64)의 상기 제2측면부(66)로 일정 압력으로 분사되어 상기 타깃 물질(4)을 상기 도가니(40)의 아래에서 위로 부상되도록 하고, 상기 제2측면부(66)와 마주하는 공간은 타깃 물질(4)이 하강하여 공정 가스와 잘 혼합되는 빈 공간부로 형성되며,
상기 회전 블레이드(64)가 곡선형 블레이드 형상으로 구성되어, 상기 회전축(62)과 상기 회전 블레이드(64)가 회전할 때에 상기 도가니(40) 내부의 상기 타깃 물질(4)이 상기 도가니(40)의 외곽부 쪽으로 쏠리는 현상이 방지되도록 구성된 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.
According to paragraph 1,
The rotating blade 64 is configured to have a curved blade shape when centered around the rotating shaft 62, and the rotating blade 64 has a first side portion formed with an inclined surface so that the target material 4 rides up. (65) and a second side portion (66) that is opposite to the first side portion (65),
Inside the rotating blade 64, a blade-side connecting gas injection port 68IC is further formed in a curved passage shape and communicates with the gas injection port 68 and the gas injection port 63 of the rotating shaft 62,
The process gas passes through the gas inlet 63, the blade-side connecting gas injection port 68IC, and the gas injection port 68, and is injected at a certain pressure to the second side portion 66 of the rotating blade 64. The target material 4 is allowed to float upward from the bottom of the crucible 40, and the space facing the second side part 66 is formed as an empty space where the target material 4 descends and mixes well with the process gas. ,
The rotating blade 64 is configured in a curved blade shape, so that when the rotating shaft 62 and the rotating blade 64 rotate, the target material 4 inside the crucible 40 is moved to the crucible 40. A rotating device for a battery electrode surface treatment process system, characterized in that it is configured to prevent the phenomenon of being tilted toward the outer portion of the.
상기 회전 블레이드(64)에 상기 가스 분사구(68)가 복수개로 구비되고, 복수개의 상기 가스 분사구(68)들의 직경은 상기 회전 블레이드(64)의 내측단에서 외측단으로 갈수록 점점 더 커지도록 구성되거나 상기 회전 블레이드(64)의 내측단에서 외측단으로 갈수록 복수개의 상기 가스 분사구(68)들 사이의 간격이 점점 더 좁아지도록 구성된 것을 특징으로 하는 전지용 전극제 표면처리 공정 시스템의 회전장치.According to paragraph 1,
The rotating blade 64 is provided with a plurality of gas injection holes 68, and the diameter of the plurality of gas injection holes 68 is configured to gradually increase from the inner end to the outer end of the rotating blade 64. A rotating device for a battery electrode surface treatment process system, characterized in that the gap between the plurality of gas injection holes (68) becomes increasingly narrow from the inner end to the outer end of the rotating blade (64).
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2021
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