KR102607429B1 - 매니퓰레이터 보정 제어장치 및 장치 제어방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 매니퓰레이터 보정 제어장치 및 장치 제어방법에 관한 것으로서, 매니퓰레이터의 단부와 일단이 결합하고 기 결정된 작업을 수행하는 수행부와 타단이 결합하는 매니퓰레이터 보정 제어장치에 있어서. 일단부에 형성된 개구에 제1실링플레이트가 수밀이 유지되도록 연결되고, 타단부에 형성된 개구에 제2실링플레이트가 수밀이 유지되도록 연결되는 관형의 바디; 바디의 내부에 배치되고, 수행부의 인입 또는 인출을 제어하는 구동부 및 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 전장; 및 전장에 전원을 인가하고 제어부에 제어명령을 전달하는 조작부;를 포함하는, 매니퓰레이터 보정 제어장치가 제공된다.

Description

매니퓰레이터 보정 제어장치 및 장치 제어방법{MANIPULATOR CORRECTION CONTROL APPARATUS AND AND COCTROL METHOD FOR THE SMAE}
본 발명은 매니퓰레이터 보정 제어장치 및 장치 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 매니퓰레이터의 경우 하나 이상의 관절이 마련되어 아암(arm)을 명령대로 제어하며 가동함으로써 산업현장에서 물건을 이동시키거나, 가공부를 통해 가공을 수행하는 것을 의미한다. 이러한 매니퓰레이터는 다관절을 가동시키는 과정에서 기계마찰이나 자중에 의한 무게에 의해 사용자의 명령에 따른 위치로 이동되지 못하고 소정의 오차가 발생할 수 있으며, 이러한 오차는 정밀도가 요구되는 반도체 제조과정 등에는 부적절할 수 있다. 따라서, 종래의 매니퓰레이터 제어 기술을 통한 부정확한 시스템으로부터 발생할 수 있는 오차를 보상하기 위해 매니퓰레이터 단부에 마련된 파지부 또는 수행부 등의 위치를 보상할 수 있는 수단이 요구된다. 또한, 오차가 없는 경우에도 매니퓰레이터의 관절을 제어하는 구동부에 의존하여 최단부에 마련된 수행부의 정밀한 제어를 기대하는 것은 다소 어려울 수 있음. 따라서,이러한 발생가능한 문제점들을 개선할 수 있는 수단이 요구되는 것이 현실이다.
대한민국 공개특허공보 제 10-2021-0065791 호 (2021. 06. 04)
본 발명의 일 실시예는 실린더를 통해 보정 작업을 수행하므로 보다 정확하고 안정적인 제어가 가능한 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예는 실린더를 통해 수행되는 위치보정 작업은 보정 과정 중에도 실시간으로 모니터링이 가능하며, 필요한 경우 언제든지 수정이 가능하여 제어 작업의 유연성을 높일 수 있는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 매니퓰레이터 보정 제어장치 및 장치 제어방법에 관한 것으로서, 매니퓰레이터의 단부와 일단이 결합하고 기 결정된 작업을 수행하는 수행부와 타단이 결합하는 매니퓰레이터 보정 제어장치에 있어서. 일단부에 형성된 개구에 제1실링플레이트가 수밀이 유지되도록 연결되고, 타단부에 형성된 개구에 제2실링플레이트가 수밀이 유지되도록 연결되는 관형의 바디; 바디의 내부에 배치되고, 수행부의 인입 또는 인출을 제어하는 구동부 및 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 전장; 및 전장에 전원을 인가하고 제어부에 제어명령을 전달하는 조작부;를 포함하는, 매니퓰레이터 보정 제어장치가 제공된다.
그리고, 바디는 매니퓰레이터와 플랜지를 통해 연결이 이루어지고, 플랜지는 제1실링플레이트에 연결된 제1플랜지 및 제2실링플레이트에 연결된 제2플랜지를 포함할 수 있다.
또한, 전장의 구동은 매니퓰레이터의 정지상태에서 실시될 수 있다.
또한, 전장은, 수행부의 위치를 감지하는 감지부를 더 포함할 수 있다.
또한, 구동부의 인출 또는 인입되는 거리는 조작부로부터 전달되는 제어명령에 따른 산술값과 감지부가 감지한 실제위치 간의 차이를 보상하는 거리일 수 있다.
조작부로부터 제어명령이 입력되는 명령입력 단계; 제어명령에 의해 매니퓰레이트가 구동되는 매니퓰레이터 공정 단계; 제어명령에 의해 매니퓰레이터의 일단에 결합된 헤드부가 구동되는 헤드부 공정 단계;가 순차적으로 실시되는, 매니퓰레이터 보정 제어방법이 제공된다.
그리고, 매니퓰레이터 공정 단계는, 매니퓰레이터 구동 시작 단계 및 매니퓰레이터 구동 완료 단계를 순차적으로 실시하며, 매니퓰레이터 구동 완료 단계부터는 매니퓰레이터의 가동이 정지될 수 있다.
또한, 헤드부 공정 단계는, 헤드부의 일단부에 연결된 수행부의 실제위치와 제어명령에 따라 매니퓰레이터가 가동된 이후 수행부의 산술위치 간의 차이를 감지부가 감지하는 보상거리 감지 단계; 실제위치를 산술위치로 보상될 수 있는 값을 제어부가 명령하는 제어부 명령 단계; 제어부의 명령에 의해 구동부가 가동되는 구동부 가동 단계; 및 감지부로부터 실제위치가 산술위치에 보상되는 것을 감지하는 보상거리 확인 단계;를 순차적으로 실시할 수 있다.
또한, 보상거리 확인단계에서 감지부에 산술위치에 실제 위치가 보상되지 않는 경우 지속적으로 보상값을 제어부에 의해 구동부가 전달받을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 실린더를 통해 보정 작업을 수행하므로 보다 정확하고 안정적인 제어가 가능한 제어장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 실린더를 통해 수행되는 위치보정 작업은 보정 과정 중에도 실시간으로 모니터링이 가능하며, 필요한 경우 언제든지 수정이 가능하여 제어 작업의 유연성을 높일 수 있는 제어장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 매니퓰레이터 보정 제어장치의 사시도를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어장치의 구성 간 제어로직을 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어장치의 구동순서를 나타낸 순서도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
이하에서는 본 발명의 매니퓰레이터 보정 제어장치(100)(이하, 제어장치(100))에 관한 것으로서, 매니퓰레이터와 연결되어 파지부나 레이저 조사부 등의 작업을 수행하는 임의의 수행부와 연결되는 헤드부에 대하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 헤드부를 통해 기대할 수 있는 효과 중 하나로서 헤드부 내부에 위치한 실린더(102)를 통해 수행되는 위치보정 작업이 보다 정확하게 실시될 수 있다는 것이다. 이는 매니퓰레이트 제어 시스템에서 핵심적인 역할을 하는 위치보정 작업의 정확도를 보장하며, 작업효율을 증대시켜 제어를 통한 작업의 품질을 대폭 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 매니퓰레이터 보정 제어장치(100)(이하, 제어장치(100))의 사시도를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예의 제어장치(100)는 매니퓰레이터의 단부와 일단이 결합하고 기 결정된 작업을 수행하는 수행부와 타단이 결합된다. 바디(103), 전장 및 조작부(110)를 포함하는 제어장치(100)는 구체적으로 관형의 바디(103)가 일단부에 형성된 개구에 제1실링플레이트(104a)가 수밀이 유지되도록 연결되고 타단부에 형성된 개구에 제2실링플레이트(104b)가 수밀이 유지되도록 연결될 수 있다. 수밀은 각 실링플레이트의 외주면에 실링부가 개입되는 방식이 적용될 수 있으며, 미도시된 실링부는 도 2에 표시된 각 플레이트의 외주연에 형성된 홈에 안착될 수 있다.
그리고 전장은 수행부의 인입 또는 인출을 제어하는 구동부(140) 및 구동부(140)를 제어하는 제어부(130)를 포함할 수 있으며, 조작부(110)는 전장에 전원을 인가하고 제어부(130)에 제어명령을 전달할 수 있다. 전장 및 제어로직은 이하에서 구체적으로 설명하기로 한다.
전술한 제어장치(100)는 매니퓰레이터와 결합될 수 있는데 결합부는 바디(103)의 외주측과 바디(103)의 연장단부 측일 수 있다. 구체적으로 바디(103)는 매니퓰레이터와 플랜지를 통해 연결이 이루어질 수 있는데, 상기 플랜지는 제1실링플레이트(104a)에 연결된 제1플랜지(105) 및 바디(103)의 외주연에 연결된 제2플랜지(106)를 포함할 수 있다. 즉, 제1플랜지(105) 또는 제2플랜지(106)를 통해 매니플레이트와 제어장치(100)가 연결될 수 있다. 이는 제어장치(100)와 연결된 수행부의 기 결정된 작업수행 타입이나 매니퓰레이터의 가동범위 등에 따라 결정될 수 있다. 미도시되었으나, 수행부는 유니버셜조인트 및 볼조인트 등과 같이 전방향으로 가동될 수 있는 조인트와 직접 또는 간접적으로 연결될 수도 있다.
또한, 바디(103)의 일측에는 제1실링플레이트(104a)가 마련되어 제1플랜지(105)가 구성될 수 있고, 반대편인 제2실링플레이트(104b)에는 일지점에 관통구가 마련되어 바디(103) 내에 내장된 전장 중 실린더(102)가 인입 및 인출될 수 있도록 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어장치(100)의 단면도이다.
도 2를 참조하면, 매니퓰레이터의 단부인 아암(10)(Arm)과 플랜지 결합이 제1플랜지(105) 또는 제2플랜지(106)를 통해 선택적으로 이루어지고, 매니퓰레이터의 가동 후 바디(103)의 전장이 구동됨으로써 수행부가 기 결정된 작업을 수행할 수 있도록 위치보정이 될 수 있다. 이러한 위치보정은 사용자가 목적하는 위치 또는 주변 장치 들과의 연동에 의해 산출된 위치로 수행부가 이동되기 위해 기 입력된 위치로 매니퓰레이터를 통해 이동되고, 매니퓰레이터의 이동에 의한 오차발생을 헤드부에서 보정할 수 있다. 여기서 보정은 실린더(102)의 인출 및 인입을 통해서만 이루어질 수 있다. 바람직하게는 전방향으로 가동되는 조인트를 통해 각도의 보정 후 실린더(102)의 인출 및 인입이 이루어질 수 있다.
이러한 구동을 위해 바디(103) 내부에 수용된 전장의 구동은 매니퓰레이터의 정지상태에서 실시될 수 있다. 즉, 수행부의 위치보정을 위해 제어장치(100)가 구동되는 시점은 매니퓰레이터의 가동이 완료된 시점 이후가 될 수 있다. 인입 및 인출을 수행하기 위해 실린더(102)는 모터부(101)와 연결될 수 있고, 모터부(101)에 전원이 인가됨으로써 실린더(102)의 인출 및 인입 여부와 인출 및 인입 정도를 결정할 수 있다. 실린더(102)의 인입 및 인출은 제어장치(100)의 크기 및 형상 정보가 기 입력된 상태일 수 있고, 수행부의 크기 및 형상 정보도 기 입력된 상태일 수 있다. 따라서, 조작부(110)에 의해 조작되는 과정에서 수행부 및 제어장치(100)의 크기 및 형상을 고려하여 매니퓰레이터의 가동범위가 결정될 수 있도록 한다.
또한, 전장은 수행부의 위치를 감지하는 감지부(120)를 더 포함할 수 있다. 전술한 가동을 수행하기 위해 수행부의 위치를 감지하는 감지부(120)가 바디(103)와 연결될 수 있다. 상기 감지부(120)는 매니퓰레이터의 오차와 무관하게 바디(103)에 장착되어 수행부의 위치를 감지하므로, 감지부(120)와 수행부의 상대적 거리는 매니퓰레이터가 가동됨으로써 발생할 수 있는 오차와 무관하며 감지부(120)는 실제 수행부의 위치를 감지할 수 있다. 가동을 위해 조작부(110) 등에 의해 입력된 가동정보와 가동정보에 따은 산술적 수행부의 위치는 실제 수행부의 위치와 다를 수 있으므로, 감지부(120)는 이를 감지하여 전장의 구동에 의해 보상거리만큼 이동될 수 있도록 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어장치(100)의 구성 간 제어로직을 나타낸 개략도이다.
도 3을 참조하면, 앞서 설명한 바와 같이 구동부(140)의 인출 또는 인입되는 거리는 조작부(110)로부터 전달되는 제어명령에 따른 산술값과 감지부(120)가 감지한 실제위치 간의 차이를 보상하는 거리일 수 있다.
본 발명의 제어장치(100)가 매니퓰레이터의 가동과 연동되어 구동하는 일반적인 로직은 이하와 같다. 조작부(110)에 의해 수행부의 위치를 변경하고자 하는 가동정보를 입력하면, 매니퓰레이트의 적어도 하나 이상의 관절이 회동하며, 입력된 정보에 따라 가동되고, 가동이 완료된 후에 조작부(110)는 감지부(120)로 입력된 가동정보를 전달함으로써 실제 수행부의 위치와 비교될 수 있도록 한다. 이때 입력된 정보와 실제 수행부의 위치 간 차이가 있는 경우에 제어부(130)(본 발명에서 일 실시예인 모터부(101))는 구동부(140)(본 발명에서 일 실시예인 실린더(102))를 구동시킬 수 있다. 구동부(140)가 인출 또는 인입이 되어 수행부의 위치가 변경되는 경우에 수행부의 위치를 감지부(120)가 감지하여 조작부(110)로 전달함으로써 실제 수행부의 위치와 입력한 가동정보가 동일한 것으로 확인될 수 있다. 이러한 공정을 통해 구동될 수 있다. 물론, 매니퓰레이터의 가동에 의해 수행부가 사용자가 목적한 위치로 이동된 경우에는 감지부(120)에 제어부(130) 및 구동부(140)가 구동되지 않을 수 있다. 즉, 이는 매니퓰레이터가 다양한 요인에 의해 오차가 발생하는 경우 이를 보상하기 위한 것이므로, 본 발명의 매니퓰레이터의 제어에 있서 개입되는 실시예를 설명하기 위해 일반적인 경우를 예시로 한 것에 불과하다.
이러한 동작 메커니즘은 아래의 도 4를 통해 개시한 순서도에 따를 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어장치(100)의 구동순서를 나타낸 순서도이다.
도 4를 참조하면, 조작부(110)로부터 제어명령이 입력되는 명령입력 단계(S00), 제어명령에 의해 매니퓰레이트가 구동되는 매니퓰레이터 공정 단계(S1), 제어명령에 의해 매니퓰레이터의 일단에 결합된 헤드부가 구동되는 헤드부 공정 단계(S2)가 순차적으로 실시되는, 매니퓰레이터 보정 제어방법이 제공된다. 명령입력 단계(S00)는 사용자가 입력한 가동정보 또는 본 발명의 제어장치(100)가 연결된 매니퓰레이트가 포함된 전체공정을 구성하는 라인과 연동되어 기 산출된 가동정보가 입력되는 것을 의미한다. 가동정보는 매니퓰레이터의 관절 및 구조에 관한 정보를 조작부(110)나 그 외의 구성에 기 입력되어 있을 수 있다. 물론, 매니퓰레이터 뿐만 아니라, 제정장치 및 수행부의 크기 및 형태도 입력되어, 가동되는데 있어서 간섭이 발생하지 않도록 가동궤적이 형성될 수 있다.
즉, 입력되거나 산출된 가동정보에 따라 매니퓰레이터가 가동되는 매니퓰레이터 공정 단계(S1) 이후에 헤드부 공정 단계(S2)가 수행될 수 있다. 상기 헤드부는 본 설명에서 제어장치(100) 및 수행부를 통칭하는 것으로 매니퓰레이트의 단부 측에 직간접적으로 연결된 구성을 의미한다.
여기서, 매니퓰레이터 공정 단계(S1)는 매니퓰레이터 구동 시작 단계(S11) 및 매니퓰레이터 구동 완료 단계(S12)로 구체적으로 구분될 수 있으며 각 단계는 순차적으로 실시될 수 있다. 또한, 전술한 바와 같이 매니퓰레이터 공정 단계(S1)가 수행되고 나며, 매니퓰레이터의 가동은 정지된 상태로 헤드부 공정단계가 수행될 수 있다.
나아가, 헤드부 공정 단계(S2)는 보상거리 감지 단계(S21), 제어부 명령 단계(S22), 구동부 가동 단계(S23) 및 보상거리 확인 단계(S24)를 포함할 수 있다. 이 단계들은 순차적으로 실시되는 것이 기본이나 감지부(120)에 의해 재감지가 요구되는 경우 등의 상황에서는 반복적으로 수행되거나 일부 순서는 역행할 수도 있다.
베드부 공정 단계는 구체적으로 헤드부의 일단부에 연결된 수행부의 -실제위치와 제어명령에 따라 매니퓰레이터가 가동된 이후 수행부의 산술위치 간의 차이를 감지부(120)가 감지하는 보상거리 감지 단계(S21), 실제위치가 산술위치로 보상될 수 있는 값을 제어부(130)가 명령하는 제어부 명령 단계(S22), 제어부(130)의 명령에 의해 구동부(140)가 가동되는 구동부 가동 단계(S23) 및 감지부(120)로부터 실제위치가 산술위치에 보상되는 것을 감지하는 보상거리 확인 단계(S24)를 순차적으로 실시할 수 있다.
나아가, 보상거리 확인단계에서 감지부(120)로부터 감지된 산술위치에 실제 위치가 보상되지 않는 경우 지속적으로 보상값을 제어부(130)에 의해 구동부(140)가 전달받을 수 있다. 즉, 공정의 반복 수행이 실시될 수 있다.
이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10 : 아암
11 : 제어부
12 : 구동부
20 : 수행부
100 : 제어장치
101 : 모터부
102 : 실린더
103 : 바디
104a : 제1실링플레이트
104b : 제2실링플레이트
105 : 제1플랜지
106 : 제2플랜지
110 : 조작부
120 : 감지부
130 : 제어부
140 : 구동부
S00 : 명령입력
S1 : 매니퓰레이터 공정
S11 : 구동 시작
S12 : 구동 완료
S2 : 헤드부 공정
S21 : 보상거리 감지
S22 : 제어부 명령
S23 : 구동부 가동
S24 : 보상거리 확인

Claims (9)

  1. 매니퓰레이터의 단부와 일단이 결합하고 기 결정된 작업을 수행하는 수행부와 타단이 결합하는 매니퓰레이터 보정 제어장치에 있어서.
    일단부에 형성된 개구에 제1실링플레이트가 수밀이 유지되도록 연결되고, 타단부에 형성된 개구에 제2실링플레이트가 수밀이 유지되도록 연결되는 관형의 바디;
    상기 바디의 내부에 배치되고, 상기 수행부의 인입 또는 인출을 제어하는 구동부 및 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 전장; 및
    상기 전장에 전원을 인가하고 상기 제어부에 제어명령을 전달하는 조작부;를 포함하되,
    상기 헤드부의 일단부에 연결된 수행부의 실제위치와 상기 제어명령에 따라 상기 매니퓰레이터가 가동된 이후 상기 수행부의 산술위치 간의 차이를 감지부가 감지하는 보상거리 감지 단계;
    상기 수행부가 상기 실제위치로부터 상기 산술위치로 보상이동될 수 있는 값을 제어부가 명령하는 제어부 명령 단계;
    상기 제어부의 명령에 의해 구동부가 가동되는 구동부 가동 단계; 및
    상기 수행부가 보상이동됨으로써 산술위치에 상기 수행부의 상기 실제위치가 위치되었는지 확인하는 보상거리를 확인하는 단계;를 순차적으로 실시하는, 매니퓰레이터 보정 제어장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 바디는 상기 매니퓰레이터와 플랜지를 통해 연결이 이루어지고,
    상기 플랜지는 상기 제1실링플레이트에 연결된 제1플랜지 및 상기 바디에 연결된 제2플랜지를 포함하는, 매니퓰레이터 보정 제어장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 전장의 구동은 상기 매니퓰레이터의 정지상태에서 실시되는, 매니퓰레이터 보정 제어장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 전장은,
    상기 수행부의 위치를 감지하는 감지부를 더 포함하는, 매니퓰레이터 보정 제어장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 구동부의 인출 또는 인입되는 거리는 상기 조작부로부터 전달되는 상기 제어명령에 따른 상기 산술위치 상기 감지부가 감지한 상기 실제위치 간의 차이를 보상하는 거리인, 매니퓰레이터 보정 제어장치.
  6. 조작부로부터 제어명령이 입력되는 명령입력 단계;
    상기 제어명령에 의해 매니퓰레이트가 구동되는 매니퓰레이터 공정 단계;
    상기 제어명령에 의해 상기 매니퓰레이터의 일단에 결합된 헤드부가 구동되는 상기 헤드부 공정 단계;가 순차적으로 실시되되,
    상기 헤드부 공정 단계는,
    상기 헤드부의 일단부에 연결된 수행부의 실제위치와 상기 제어명령에 따라 상기 매니퓰레이터가 가동된 이후 상기 수행부의 산술위치 간의 차이를 감지부가 감지하는 보상거리 감지 단계;
    상기 수행부가 상기 실제위치로부터 상기 산술위치로 보상이동될 수 있는 값을 제어부가 명령하는 제어부 명령 단계;
    상기 제어부의 명령에 의해 구동부가 가동되는 구동부 가동 단계; 및
    상기 수행부가 보상이동됨으로써 산술위치에 상기 수행부의 상기 실제위치가 위치되었는지 확인하는 보상거리를 확인하는 단계;를 순차적으로 실시하는, 매니퓰레이터 보정 제어방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 매니퓰레이터 공정 단계는,
    상기 매니퓰레이터 구동 시작 단계 및 상기 매니퓰레이터 구동 완료 단계를 순차적으로 실시하며, 상기 매니퓰레이터 구동 완료 단계부터는 매니퓰레이터의 가동이 정지되는, 매니퓰레이터 보정 제어방법.
  8. 삭제
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 보상거리 확인단계에서 상기 감지부에 상기 산술위치에 상기 실제 위치가 보상되지 않는 경우 지속적으로 보상값을 상기 제어부에 의해 상기 구동부가 전달받는, 매니퓰레이터 보정 제어방법.
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