KR102607142B1 - Ultrapure water storage tank apparatus with UV transmission irradiation type pure sterilization function - Google Patents
Ultrapure water storage tank apparatus with UV transmission irradiation type pure sterilization function Download PDFInfo
- Publication number
- KR102607142B1 KR102607142B1 KR1020230074583A KR20230074583A KR102607142B1 KR 102607142 B1 KR102607142 B1 KR 102607142B1 KR 1020230074583 A KR1020230074583 A KR 1020230074583A KR 20230074583 A KR20230074583 A KR 20230074583A KR 102607142 B1 KR102607142 B1 KR 102607142B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- ultrapure water
- water storage
- storage tank
- tank
- seating
- Prior art date
Links
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 187
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 title claims abstract description 187
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 133
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 title claims abstract description 19
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title abstract description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 claims 1
- 239000008400 supply water Substances 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 3
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005374 membrane filtration Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
- C02F1/32—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultraviolet light
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/34—Treatment of water, waste water, or sewage with mechanical oscillations
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
- C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2201/00—Apparatus for treatment of water, waste water or sewage
- C02F2201/32—Details relating to UV-irradiation devices
- C02F2201/326—Lamp control systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
개시된 초순수 저장탱크 장치는 초순수가 저장되는 초순수 저장탱크; 상기 초순수 저장탱크가 안착되는 탱크 안착부; 상기 초순수 저장탱크의 저수위 감지를 위해 상기 탱크 안착부에 설치되어 상기 초순수 저장탱크의 무게를 측정하는 압력센서; 상기 초순수 저장탱크 내에 저장된 초순수에 UV를 외부에서 투과식으로 조사하여 살균하는 UV 살균 모듈; 및 상기 초순수 저장탱크에 진동을 인가하는 진동인가모듈을 포함하며, 상기 초순수 저장탱크는 탱크 바디와, 상기 탱크 바디에 형성된 홀에 결합되며 리세스를 내측에 한정하는 UV 투과관을 포함하며, 상기 UV 살균 모듈은 상기 초순수 저장탱크가 상기 탱크 안착부에 안착될 때 상기 리세스 내로 삽입되는 UV 램프를 포함한다.The disclosed ultrapure water storage tank device includes an ultrapure water storage tank in which ultrapure water is stored; A tank mounting portion on which the ultrapure water storage tank is mounted; A pressure sensor installed on the tank seating portion to detect the low water level of the ultrapure water storage tank and measures the weight of the ultrapure water storage tank; A UV sterilization module that sterilizes ultrapure water stored in the ultrapure water storage tank by transmitting UV from the outside to sterilize it; and a vibration application module that applies vibration to the ultrapure water storage tank, wherein the ultrapure water storage tank includes a tank body and a UV transmission tube that is coupled to a hole formed in the tank body and defines a recess on the inside. The UV sterilization module includes a UV lamp that is inserted into the recess when the ultrapure water storage tank is seated on the tank seating portion.
Description
본 발명은 초순수 저장탱크 장치에 관한 것으로서, 초순수를 일정 기간 이상 오염되지 않도록 그리고 수질을 유지하도록 보관하고, 개개의 사람이 쉽게 운반이 쉽도록 구성되며, 탱크 하부에 구비된 UV 투과관을 통해 UV를 투과식으로 조사하여, 초순수 저장탱크 초순수를 살균할 수 있도록 구성된 초순수 저장탱크 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an ultrapure water storage tank device, which stores ultrapure water so that it is not contaminated for a certain period of time and maintains water quality, is configured to be easily transported by individual people, and transmits UV rays through a UV transmission tube provided at the bottom of the tank. It relates to an ultrapure water storage tank device configured to sterilize ultrapure water in an ultrapure water storage tank by irradiating in a transparent manner.
초순수(Ultrapure Water)는 말 그대로 순수한 물의 성분만을 함유하는 수질을 나타내는 순수 물을 의미한다. 통상, 초순수는 이온 교환, 막여과, 증류 등의 공정을 조합하여 만들어지며, 반도체 제조, 원자력 발전, 생물공학 등에서 사용할 수 있을 정도의 순도와 품질이 요구된다. 초순수는 전기전도도, 고형물, 균수, 유기물, 용존물 등의 오염물질이 극히 낮은 편으로 수돗물에 있는 불순물이 100ppm 정도인 것이 일반적인 데 반해, 초순수 속의 불순물은 10ppb 이하인 것이 일반적이다.Ultrapure water literally means pure water, which refers to water quality that contains only pure water components. Typically, ultrapure water is produced by combining processes such as ion exchange, membrane filtration, and distillation, and requires a level of purity and quality that can be used in semiconductor manufacturing, nuclear power generation, biotechnology, etc. Ultrapure water has extremely low electrical conductivity and contaminants such as solids, bacteria, organic matter, and dissolved substances. While the impurities in tap water are generally around 100ppm, the impurities in ultrapure water are generally 10ppb or less.
초순수를 일반 용기로 보관할 경우, 시간이 지나면서 미생물이 증식하게 되어, 초순수의 수질을 유지하기 어렵다. 더 나아가, 일반 용기에 저장된 초순수는, 미생물 발생 후 일정 시간이 지나면, 증식된 미생물이 저장용기의 내부 벽면에 바이오 필름을 형성하게 될 정도로 심각하게 오염된다.If ultrapure water is stored in a regular container, microorganisms will proliferate over time, making it difficult to maintain the quality of ultrapure water. Furthermore, ultrapure water stored in a general container becomes seriously contaminated to the extent that the proliferated microorganisms form a biofilm on the inner wall of the storage container after a certain period of time after the occurrence of microorganisms.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 초순수를 일정 기간 이상 오염되지 않도록 그리고 수질을 유지하도록 보관하고, 개개의 사람이 쉽게 운반이 쉽도록 구성되며, UV를 투과식으로 조사하여 살균하는, 초순수 저장탱크 장치를 제공하는 것이다.The problem that the present invention aims to solve is an ultrapure water storage tank device that stores ultrapure water so that it is not contaminated for a certain period of time and maintains water quality, is designed to be easily transported by each person, and sterilizes by irradiating UV in a transparent manner. is to provide.
본 발명의 일측면에 따른 초순수 저장탱크 장치는, 초순수가 저장되는 초순수 저장탱크; 상기 초순수 저장탱크가 안착되는 탱크 안착부; 상기 초순수 저장탱크의 저수위 감지를 위해 상기 탱크 안착부에 설치되어 상기 초순수 저장탱크의 무게를 측정하는 압력센서; 상기 초순수 저장탱크 내에 저장된 초순수에 UV를 외부에서 투과식으로 조사하여 살균하는 UV 살균 모듈; 및 상기 초순수 저장탱크에 진동을 인가하는 진동인가모듈을 포함하며, 상기 초순수 저장탱크는 탱크 바디와, 상기 탱크 바디에 형성된 홀에 결합되며 리세스를 내측에 한정하는 UV 투과관을 포함하며, 상기 UV 살균 모듈은 상기 초순수 저장탱크가 상기 탱크 안착부에 안착될 때 상기 리세스 내로 삽입되는 UV 램프를 포함한다.An ultrapure water storage tank device according to one aspect of the present invention includes an ultrapure water storage tank in which ultrapure water is stored; A tank mounting portion on which the ultrapure water storage tank is mounted; A pressure sensor installed on the tank seating portion to detect the low water level of the ultrapure water storage tank and measures the weight of the ultrapure water storage tank; A UV sterilization module that sterilizes ultrapure water stored in the ultrapure water storage tank by transmitting UV from the outside to sterilize it; and a vibration application module that applies vibration to the ultrapure water storage tank, wherein the ultrapure water storage tank includes a tank body and a UV transmission tube that is coupled to a hole formed in the tank body and defines a recess on the inside. The UV sterilization module includes a UV lamp that is inserted into the recess when the ultrapure water storage tank is seated on the tank seating portion.
상기 탱크 바디의 하부에는 배출 밸브가 설치되고, 상기 탱크 바디의 상부에는 상기 배출 밸브를 통해 초순수가 배출될 때 유입되는 공기 중의 불순물 및 CO2를 차단하는 에어벤트 필터 및 공기 배출 버튼을 구비한 필터 마개와, 손잡이가 설치되고, 상기 탱크 안착부는 안착 바닥부와, 상기 안착 바닥부의 둘레에 수직으로 형성되어 안착되는 상기 초순수 저장탱크의 주변을 둘러싸는 측벽부를 포함하고, 상기 측벽부에 상기 진동인가모듈이 설치되며, 상기 탱크 안착부의 내부에는 상기 초순수 저장탱크의 안착을 감지하는 센서가 설치되며, 제어부는 상기 센서가 상기 초순수 저장탱크의 안착을 감지하면 상기 UV 살균모듈의 UV 램프와 상기 진동인가모듈의 진동자를 구동시키며, 상기 탱크 안착부의 내부 바닥에는 상기 초순수 저장탱크를 정확한 안착 위치로 가이드하는 안착 가이드부가 형성된다.A discharge valve is installed at the bottom of the tank body, and at the top of the tank body is an air vent filter that blocks impurities and CO2 in the air when ultrapure water is discharged through the discharge valve, and a filter stopper equipped with an air discharge button. A handle is installed, the tank seating portion includes a seating bottom portion, and a side wall portion surrounding the periphery of the ultrapure water storage tank that is formed and seated perpendicularly around the seating bottom portion, and the vibration applying module is placed on the side wall portion. is installed, and a sensor for detecting the seating of the ultrapure water storage tank is installed inside the tank seating portion. When the sensor detects the seating of the ultrapure water storage tank, the control unit activates the UV lamp of the UV sterilization module and the vibration application module. A vibrator is driven, and a seating guide portion is formed on the inner bottom of the tank seating portion to guide the ultrapure water storage tank to an accurate seating position.
본 발명에 따른 초순수 저장탱크 장치는 초순수를 일정 기간 이상 오염되지 않도록 그리고 수질을 유지하도록 보관하고, 개개의 사람이 쉽게 운반이 쉽도록 구성되며, UV를 투과식으로 조사하여 살균할 수 있다는 장점을 갖는다.The ultrapure water storage tank device according to the present invention stores ultrapure water so that it is not contaminated for a certain period of time and maintains water quality, is configured to be easily transported by each person, and has the advantage of being able to sterilize by irradiating UV in a transparent manner. have
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치를 설명하기 위한 도면들이고,
도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치를 설명하기 위한 도면들이고,
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치를 설명하기 위한 도면이며,
도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치를 설명하기 위한 도면들이며,
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치를 설명하기 위한 도면이다.1 and 2 are drawings for explaining an ultrapure water storage tank device according to an embodiment of the present invention,
3 and 4 are drawings for explaining an ultrapure water storage tank device according to another embodiment of the present invention,
Figure 5 is a diagram for explaining an ultrapure water storage tank device according to another embodiment of the present invention;
Figures 6 and 7 are drawings for explaining an ultrapure water storage tank device according to another embodiment of the present invention;
Figure 8 is a diagram for explaining an ultrapure water storage tank device according to another embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the attached drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice the present invention. The invention may be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.
본 발명을 설명함에 있어서, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의를 위해 과장되거나 단순화되어 나타날 수 있다. In explaining the present invention, the size or shape of components shown in the drawings may be exaggerated or simplified for clarity and convenience of explanation.
또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들은 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Additionally, terms specifically defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may vary depending on the intention or custom of the user or operator. These terms should be interpreted as meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention based on the content throughout this specification.
본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 본 발명의 기술적 사상과 관계없는 부분의 설명은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly explain the present invention, descriptions of parts unrelated to the technical idea of the present invention have been omitted, and identical or similar components are assigned the same reference numerals throughout the specification.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.Additionally, in various embodiments, components having the same configuration will be described using the same symbols only in the representative embodiment, and in other embodiments, only components that are different from the representative embodiment will be described.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하는 것을 의미할 수 있다. Throughout the specification, when a part is said to be “connected” to another part, this includes not only “directly connected” but also “indirectly connected” through another member. Additionally, when a part "includes" a certain component, this may mean that it further includes other components rather than excluding other components, unless specifically stated to the contrary.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예예 따른 초순수 저장탱크 장치를 설명하기 위한 도면들이다.1 and 2 are diagrams for explaining an ultrapure water storage tank device according to an embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치는, 초순수가 저장되는 초순수 저장탱크(100)와, 상기 초순수 저장탱크(100)가 안착되는 탱크 안착부(200)와, 상기 초순수 저장탱크(100)의 저수위 감지를 위해 상기 탱크 안착부(200)에 설치되어 상기 초순수 저장탱크(100)의 무게를 측정하는 압력센서(300)와, 상기 초순수 저장탱크(100) 내에 저장된 초순수에 UV를 조사하여 살균하는 UV 살균 모듈(400)과, 상기 초순수 저장탱크(100)에 진동을 인가하는 복수의 진동인가모듈(500)을 포함한다.Referring to Figures 1 and 2, the ultrapure water storage tank device according to this embodiment includes an ultrapure water storage tank 100 in which ultrapure water is stored, a tank seating portion 200 on which the ultrapure water storage tank 100 is mounted, A pressure sensor 300 installed on the tank seating portion 200 to detect the low water level of the ultrapure water storage tank 100 and measures the weight of the ultrapure water storage tank 100, and a pressure sensor 300 stored in the ultrapure water storage tank 100. It includes a UV sterilization module 400 that sterilizes ultrapure water by irradiating UV light, and a plurality of vibration application modules 500 that apply vibration to the ultrapure water storage tank 100.
본 실시예에서, 상기 진동인가모듈(500)은 상기 초순수 저장탱크(100)의 외부면에 접하도록 상기 탱크 안착부(200)에 설치되어 상기 초순수 저장탱크(100)에 진동을 인가하는 진동자(520)와, 상기 초순수 저장탱크(100)가 상기 탱크 안착부(200)에 안착되는 것을 감지하는 제1 안착 감지 센서(540)와, 상기 제1 안착 감지 센서(540)가 상기 초순수 저장탱크(100)가 상기 탱크 안착부(200)에 안착되는 것을 감지하면 상기 진동자(520)를 구동시키는 제1 제어부(560)를 포함한다.In this embodiment, the vibration application module 500 is installed on the tank seating portion 200 so as to contact the outer surface of the ultrapure water storage tank 100 and includes a vibrator ( 520), a first seating detection sensor 540 that detects that the ultrapure water storage tank 100 is seated on the tank seating portion 200, and the first seating detection sensor 540 detects the ultrapure water storage tank ( It includes a first control unit 560 that drives the vibrator 520 when it detects that the tank 100 is seated on the tank seating unit 200.
본 실시예에서, 상기 UV 살균 모듈(400)은 UV 램프(420)와, 상기 초순수 저장탱크(100)가 상기 탱크 안착부(200)에 안착되는 것을 감지하는 제2 안착 감지 센서(440)와, 상기 제2 안착 감지 센서(440)가 상기 초순수 저장탱크(100)가 상기 탱크 안착부(200)에 안착되는 것을 감지하면 UV 램프(420)를 구동시키는 제2 제어부(460)를 포함한다.In this embodiment, the UV sterilization module 400 includes a UV lamp 420, a second seating detection sensor 440 that detects that the ultrapure water storage tank 100 is seated on the tank seating portion 200, and , When the second seating detection sensor 440 detects that the ultrapure water storage tank 100 is seated on the tank seating unit 200, it includes a second control unit 460 that drives the UV lamp 420.
본 실시예에서, 진동인가모듈(500)과 UV 살균 모듈(400) 각각이 초순수 저장탱크(100)의 안착을 감지하는 안착 감지 센서(540, 440)와 이 안착 감지 센서의 신호를 받아 진동자(520) 또는 UV 램프(420)의 구동을 제어하는 제어부(560, 460)를 각각 포함하여, UV 램프(420)와 진동자(520)의 개별 제어가 가능하다.In this embodiment, the vibration applying module 500 and the UV sterilization module 400 each receive a seating detection sensor 540, 440 that detects the seating of the ultrapure water storage tank 100, and a vibrator ( 520) or control units 560 and 460 that control the operation of the UV lamp 420, respectively, allowing individual control of the UV lamp 420 and the vibrator 520.
또한, 본 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치는, 초순수 저장탱크(100)의 일측 입구를 막도록 분리 가능하게 결합되고, 초순수가 배출 밸브(700)를 통해 배출될 때 공기의 유입을 허용하는 공기 유입 통로 및 그 공기 유입 통로에 설치되어, 유입 공기 중의 먼지, CO2 또는 O2 등의 불순물 유입을 차단하는 에어벤트 필터를 구비한 필터 마개(600)를 더 포함한다. 또한, 상기 필터 마개(600)는 사용자에 의해 눌려질 때 초순수 저장탱크(100) 내 공기를 외부로 빼내는 공기 배출 버튼을 더 포함한다. 이 공기 배출 버튼을 누름으로써 초순수 저장탱크(100) 내 압력을 낮추어 CO2 등의 용존량을 낮쳐줄 수 있다.In addition, the ultrapure water storage tank device according to the present embodiment is detachably coupled to block one inlet of the ultrapure water storage tank 100, and has an air storage tank that allows the introduction of air when the ultrapure water is discharged through the discharge valve 700. It further includes a filter stopper 600 installed in the inflow passage and the air inlet passage and having an air vent filter to block the inflow of impurities such as dust, CO2, or O2 in the inflow air. In addition, the filter stopper 600 further includes an air discharge button that releases the air in the ultrapure water storage tank 100 to the outside when pressed by the user. By pressing this air discharge button, the pressure in the ultrapure water storage tank 100 can be lowered, thereby lowering the dissolved amount of CO2, etc.
상기 초순수 저장탱크(100)는 바닥에서 일정 높이 수직으로 연장된 리세스를 포함한다. 상기 초순수 저장탱크(100)를 탱크 안착부(200)에 안착시키는 것만으로도 UV 램프(420)가 리세스에 수직으로 끼워질 수 있다.The ultrapure water storage tank 100 includes a recess extending vertically from the bottom to a certain height. The UV lamp 420 can be vertically inserted into the recess simply by seating the ultrapure water storage tank 100 on the tank mounting portion 200.
또한, 상기 초순수 저장탱크(100)는 바닥면에 홀, 바람직하게는 나사홀을 구비하는 탱크 바디(120)와, 상기 홀에 결합되는 결합부, 바람직하게는 나사 결합부를 하부에 구비하며, 상기 리세스를 내측에 한정하는 UV 투과관(140)을 포함한다. 상기 UV 투과관(140)의 하단은 열려 있고 상기 UV 투과관(140)의 상단과 측면을 막혀 있어서 그 내측으로 UV 램프(420)의 삽입을 허용하는 리세스를 한정한다. 상기 UV 투과관(140)의 UV 투과성이 좋은 재료, UV 투과성 재료, 바람직하게는 석영 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 UV 투과관(140)과 상기 탱크 바디(120) 사이의 결합 부위에는 UV에 취약하지 않는 성질을 갖는 수밀용 씰링재가 설치된다.In addition, the ultrapure water storage tank 100 includes a tank body 120 having a hole, preferably a screw hole, on the bottom, and a coupling part, preferably a screw coupling part, coupled to the hole at the bottom, and a UV transmission tube 140 defining the recess on the inside. The bottom of the UV transmission tube 140 is open and the top and sides of the UV transmission tube 140 are closed, defining a recess inside which allows insertion of the UV lamp 420. The UV transmission tube 140 is preferably made of a material with good UV transparency, a UV transmission material, preferably quartz. A watertight sealing material having properties that are not vulnerable to UV is installed at the joint portion between the UV transmission tube 140 and the tank body 120.
상기 탱크 바디(120)의 상부면에는 손잡이(122)가 형성된다. 또한, 상기 탱크 바디(120)의 상부면에는 전술한 상기 필터 마개(600)가 설치된다. 또한, 상기 탱크 바디(120)의 하부에는 배출 밸브(700)가 설치된다.A handle 122 is formed on the upper surface of the tank body 120. In addition, the above-described filter stopper 600 is installed on the upper surface of the tank body 120. Additionally, a discharge valve 700 is installed at the lower part of the tank body 120.
탱크 안착부(200)는 실제로 초순수 저장탱크(100)가 안착되는 안착 바닥부(201)와, 상기 안착 바닥부(201)의 둘레에 수직으로 형성되어 안착되는 초순수 저장탱크(200)의 주변을 둘러싸는 측벽부(202)를 포함한다 The tank seating portion 200 is formed vertically around the seating bottom 201 and the seating bottom 201, on which the ultrapure water storage tank 100 is actually seated, and surrounds the periphery of the ultrapure water storage tank 200, which is seated. Includes a surrounding side wall portion 202
UV 살균 모듈(400)은 제2 안착 감지 센서(440) 및 제2 제어부(460)가 포함될 수 있는 베이스부와 상기 베이스부에 수직으로 결합된 UV 램프(420)를 포함한다. 상기 UV 램프(420)는 상기 리세스 내에 수직으로 삽입되도록 봉 또는 바 형태를 가지며, 본 실시예에서는, 리세스 내에서 길게 연장되는 PCB(421)와 상기 PCB 상에 길게 어레이된 다수의 UV 엘이디(422)와 상기 PCB(421)와 상기 다수의 UV LED(422)를 봉지하는 UV 투과성 재질의 엔벨롭(423)을 포함한다.The UV sterilization module 400 includes a base portion that may include a second seating detection sensor 440 and a second control unit 460, and a UV lamp 420 vertically coupled to the base portion. The UV lamp 420 has a rod or bar shape to be vertically inserted into the recess, and in this embodiment, a PCB 421 extending long within the recess and a plurality of UV LEDs arranged long on the PCB. It includes (422) and an envelope (423) made of a UV-transmissive material that encapsulates the PCB (421) and the plurality of UV LEDs (422).
한편, 상기 탱크 안착부(200)의 내부 바닥에는 상기 초순수 저장탱크(100)를 정확한 안착 위치로 가이드하는 안착 가이드부(910)가 형성되는 것이 바람직하다. 상기 안착 가이드부(910)에 의해 상기 초순수 저장탱크(100)가 안착되면, 저수위 감지를 위한 압력센서(300)와 초순수 저장탱크(100)의 안착을 감지하는 센서들이 초순수 저장탱크(100)와 모두 접촉된 상태가 된다.Meanwhile, it is preferable that a seating guide portion 910 is formed on the inner bottom of the tank seating portion 200 to guide the ultrapure water storage tank 100 to an accurate seating position. When the ultra-pure water storage tank 100 is seated by the seating guide unit 910, the pressure sensor 300 for detecting the low water level and the sensors for detecting the seating of the ultra-pure water storage tank 100 are connected to the ultra-pure water storage tank 100. Everyone is in contact.
본 실시예에서, 상기 진동 인가 모듈(500)은 상기 탱크 안착부(200)의 마주하는 측벽(202)에 결합된 한 쌍의 진동자(520)가 상기 초순수 저장탱크(100)의 양 측면에 접한다. 이때, 상기 진동자(520)와 접하는 부분은 탱크 바디(120)이며, 탱크 바디(120)는 UV에 취약하지 않으면서도 진동자(520)에 의해 잘 진동할 수 있도록 탄성을 갖는 플라스틱 재료인, 폴리에틸렌, 폴리카보네이트, 폴리우레탄, 아크릴로니트릴 부타디엔 스티렌, 폴리부틸렌 테레프탈테이트, 폴리플로필렌 재료 등으로 형성되는 것이 바람직하다. 진동자(520)가 탱크 바디(120)를 진동시켜줌으로써, 초순수 저장 탱크(100) 내부의 초순수도 진동하며, 이에 따라 초순수 저장 탱크(100) 내부의 바이오 필름 발생을 최소화시켜줄 수 있다.In this embodiment, the vibration applying module 500 has a pair of vibrators 520 coupled to the opposing side walls 202 of the tank seating portion 200 and contacts both sides of the ultrapure water storage tank 100. . At this time, the part in contact with the vibrator 520 is the tank body 120, and the tank body 120 is polyethylene, a plastic material that is not vulnerable to UV and has elasticity so that it can be easily vibrated by the vibrator 520. It is preferably made of polycarbonate, polyurethane, acrylonitrile butadiene styrene, polybutylene terephthalate, polypropylene materials, etc. As the vibrator 520 vibrates the tank body 120, the ultrapure water inside the ultrapure water storage tank 100 also vibrates, thereby minimizing the generation of biofilm inside the ultrapure water storage tank 100.
저수위 감지용 압력센서(300)에 의해 초순수가 미리 정해진 저수위에 도달하면 사용자가 알 수 있도록 알람을 제공할 수 있다. 또한, 저수위 감지용 압력센서(300)에 의해 측정된 초순수의 수위가 미도시된 디스플레이부을 통해 예컨대 그래프 형태 또는 수치로 표시될 수 있다.An alarm can be provided so that the user can be notified when ultrapure water reaches a predetermined low water level using the pressure sensor 300 for low water level detection. Additionally, the water level of ultrapure water measured by the pressure sensor 300 for low water level detection may be displayed, for example, in the form of a graph or as a number through a display unit (not shown).
또한, 탱크 안착부(200)의 측벽(202) 일측에는 초순수 저장탱크(100)의 내부를 관찰할 수 있도록 관찰창(204)이 형성될 수 있다.Additionally, an observation window 204 may be formed on one side of the side wall 202 of the tank seating portion 200 to enable observation of the interior of the ultrapure water storage tank 100.
도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치를 설명하기 위한 도면들이다.Figures 3 and 4 are diagrams for explaining an ultrapure water storage tank device according to another embodiment of the present invention.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치는, 앞선 실시예와 마찬가지로, 초순수가 저장되는 초순수 저장탱크(100)와, 상기 초순수 저장탱크(100)가 안착되는 탱크 안착부(200)와, 상기 초순수 저장탱크(100)의 저수위 감지를 위해 상기 탱크 안착부(200)에 설치되어 상기 초순수 저장탱크(100)의 무게를 측정하는 압력센서(300)와, 상기 초순수 저장탱크(100) 내에 저장된 초순수에 UV를 조사하여 살균하는 UV 살균 모듈(400)과, 상기 초순수 저장탱크(100)의 상기 초순수 저장탱크(100)에 진동을 인가하는 복수의 진동인가모듈(500)을 포함한다.Referring to FIGS. 3 and 4, the ultrapure water storage tank device according to the present embodiment, like the previous embodiment, includes an ultrapure water storage tank 100 in which ultrapure water is stored, and a tank in which the ultrapure water storage tank 100 is seated. unit 200, a pressure sensor 300 installed on the tank seating unit 200 to detect the low water level of the ultrapure water storage tank 100 and measure the weight of the ultrapure water storage tank 100, and storage of the ultrapure water. A UV sterilization module 400 that sterilizes the ultrapure water stored in the tank 100 by irradiating UV, and a plurality of vibration application modules 500 that apply vibration to the ultrapure water storage tank 100 of the ultrapure water storage tank 100. Includes.
본 실시예에서, UV 살균 모듈(400)은 초순수 저장탱크(100)의 입구를 개폐하는 마개부(410)와, 상기 마개부(410)의 하부에 결합되어 아래로 수직 연장되며, 상기 마개부(410)가 상기 입구를 막도록 결합될 때, 상기 초순수 저장탱크(100) 내부로 도입되는 바형 또는 봉형의 UV 램프(420)를 포함한다. 상기 마개부(410) 부근 및/또는 상기 초순수 저장탱크(100)의 입구에는 UV 램프(420)가 초순수 저장탱크(100)에 삽입되는 것을 감지하는 센서(S)를 구비하며, 이 센서의 감지에 의해, UV 살균모듈(400)의 UV 램프(420)가 자동으로 동작하여, UV를 초순수 저장탱크(100) 내 초순수에 조사할 수 있다.In this embodiment, the UV sterilization module 400 is coupled to a stopper 410 that opens and closes the inlet of the ultrapure water storage tank 100 and a lower part of the stopper 410 and extends vertically downward, and the stopper 410 is coupled to the lower part of the stopper 410. When 410 is coupled to block the inlet, it includes a bar-shaped or rod-shaped UV lamp 420 that is introduced into the ultrapure water storage tank 100. A sensor (S) is provided near the stopper 410 and/or at the entrance of the ultrapure water storage tank 100 to detect that the UV lamp 420 is inserted into the ultrapure water storage tank 100, and the sensor detects this. By this, the UV lamp 420 of the UV sterilization module 400 operates automatically, and UV can be irradiated to the ultrapure water in the ultrapure water storage tank 100.
나머지 구성은 앞선 실시예와 동일하며 따라서 추가적인 설명을 생략하기로 한다.The remaining configuration is the same as the previous embodiment, so further description will be omitted.
도 5는 본 발명의 또 따른 실시예를 설명하기 위한 도면이다.Figure 5 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치는, 초순수가 저장되는 초순수 저장탱크(100)와, 상기 초순수 저장탱크(100)가 안착되는 탱크 안착부(200)와, 상기 초순수 저장탱크(100)의 저수위 감지를 위해 상기 탱크 안착부(200)에 설치되어 상기 초순수 저장탱크(100)의 무게를 측정하는 압력센서(300)와, 상기 초순수 저장탱크(100) 내에 저장된 초순수에 UV를 조사하여 살균하는 UV 살균 모듈(400)와, 상기 초순수 저장탱크(100)에 진동을 인가하는 복수의 진동인가모듈(500)과, 상기 초순수 저장탱크(100)가 상기 탱크 안착부(200)에 안착되는 것을 감지하도록 탱크 안착부(440) 내에 설치되는 탱크 안착 감지 센서(440)와, 탱크 안착 감지 센서(440)에 의해 초순수 저장탱크(100)의 안착이 가지면, 진동인가모듈(500)의 진동자(520)를 작동시켜 초순수 저장탱크(100)를 진동시키는 동시에 상기 UV 램프(420)를 작동시켜 초순수 저장탱크(100) 내 초순수에 UV를 조사하는 제어부(1000)를 포함한다. 이때, 상기 제어부(1000)가 탱크 안착 감지 센서(440)의 감지 신호를 기초로 UV 램프(420)와 진동자(520)를 동시에 작동시켜 효율성을 높일 수 있다. 상기 제어부(1000)는 탱크 안착부(200)의 측벽에 설치되는 것이 바람직하다. Referring to FIG. 5, the ultrapure water storage tank device according to this embodiment includes an ultrapure water storage tank 100 in which ultrapure water is stored, a tank mounting portion 200 on which the ultrapure water storage tank 100 is seated, and the ultrapure water storage tank 100. A pressure sensor 300 is installed on the tank seating portion 200 to detect the low water level of the tank 100 and measures the weight of the ultrapure water storage tank 100, and a UV sensor is applied to the ultrapure water stored in the ultrapure water storage tank 100. A UV sterilization module 400 that irradiates and sterilizes, a plurality of vibration application modules 500 that apply vibration to the ultrapure water storage tank 100, and the ultrapure water storage tank 100 is connected to the tank seating portion 200. When the ultrapure water storage tank 100 is seated by the tank seating detection sensor 440 and the tank seating detection sensor 440 installed in the tank seating portion 440 to detect seating, the vibration application module 500 It includes a control unit 1000 that operates the vibrator 520 to vibrate the ultrapure water storage tank 100 and simultaneously operates the UV lamp 420 to irradiate UV to the ultrapure water in the ultrapure water storage tank 100. At this time, the control unit 1000 can increase efficiency by simultaneously operating the UV lamp 420 and the vibrator 520 based on the detection signal from the tank seating detection sensor 440. The control unit 1000 is preferably installed on the side wall of the tank seating unit 200.
도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치를 설명하기 위한 도면들이다.Figures 6 and 7 are diagrams for explaining an ultrapure water storage tank device according to another embodiment of the present invention.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치는 초순수가 저장되는 다수의 초순수 저장탱크(100)와, 상기 다수의 초순수 저장탱크(100)가 안착 가이드(910)에 의해 정 위치로 그리고 일렬로 안착되는 기다란 탱크 안착부(200)와, 상기 다수의 초순수 저장탱크(100)의 저수위 감지를 위해 상기 탱크 안착부(200)에 설치되어, 각 초순수 저장탱크(100)의 무게를 측정하는 다수의 압력센서(300)와, 상기 다수의 초순수 저장탱크(100) 내에 저장된 초순수에 UV를 조사하여 살균하는 다수의 UV 살균 모듈(400)과, 상기 다수의 초순수 저장탱크(100)의 진동을 인가하는 다수의 진동인가모듈(500)을 포함한다.Referring to FIGS. 6 and 7, the ultrapure water storage tank device according to the present embodiment includes a plurality of ultrapure water storage tanks 100 in which ultrapure water is stored, and the plurality of ultrapure water storage tanks 100 are positioned by a seating guide 910. A long tank seating part 200 that is seated in a fixed position and in a row, and is installed on the tank seating part 200 to detect the low water level of the plurality of ultrapure water storage tanks 100, so that each ultrapure water storage tank 100 A plurality of pressure sensors 300 that measure the weight, a plurality of UV sterilization modules 400 that sterilize the ultrapure water stored in the plurality of ultrapure water storage tanks 100 by irradiating UV, and the plurality of ultrapure water storage tanks 100 ) includes a plurality of vibration application modules 500 that apply vibration.
일렬 배열로 탱크 안착부(200)에 안착된 다수의 초순수 저장탱크(100) 각각은 바닥에서 일정 높이 수직으로 연장된 리세스를 포함한다. 상기 초순수 저장탱크(100)를 탱크 안착부(200)에 안착시키는 것만으로도 UV 살균모듈(400)의 UV 램프가 리세스에 수직으로 끼워질 수 있다.Each of the plurality of ultrapure water storage tanks 100 arranged in a row and seated on the tank mounting portion 200 includes a recess extending vertically from the bottom to a certain height. The UV lamp of the UV sterilization module 400 can be vertically inserted into the recess simply by seating the ultrapure water storage tank 100 on the tank seating portion 200.
또한, 상기 초순수 저장탱크(100)는 바닥면에 홀, 바람직하게는 나사홀을 구비하는 탱크 바디와, 상기 홀에 결합되는 결합부, 바람직하게는 나사 결합부를 하부에 구비하며, 상기 리세스를 내측에 한정하는 UV 투과관을 포함한다. 상기 UV 투과관의 하단은 열려 있고 상기 UV 투과관의 상단과 측면을 막혀 있어서 그 내측으로 UV 램프의 삽입을 허용하는 리세스를 한정한다. 상기 UV 투과관은 UV 투과성이 좋은 재료, UV 투과성 재료, 바람직하게는 석영 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 UV 투과관과 상기 탱크 바디(100) 사이의 결합 부위에는 UV에 취약하지 않는 성질을 갖는 수밀용 씰링재가 설치된다.In addition, the ultrapure water storage tank 100 has a tank body having a hole, preferably a screw hole, on the bottom, and a coupling part, preferably a screw coupling part, coupled to the hole at the bottom, and the recess is provided at the bottom. It contains a UV-transmitting tube confined to the inner side. The bottom of the UV transmission tube is open and the top and sides of the UV transmission tube are closed, defining a recess therein allowing insertion of a UV lamp. The UV transmission tube is preferably made of a material with good UV transparency, a UV transmission material, preferably quartz. A watertight sealing material having properties that are not vulnerable to UV is installed at the joint portion between the UV transmission tube and the tank body 100.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치를 설명하기 위한 도면이다.Figure 8 is a diagram for explaining an ultrapure water storage tank device according to another embodiment of the present invention.
본 실시예에 따른 초순수 저장탱크 장치는 앞선 실시예와 마찬가지로 초순수가 저장되며 일열로 배열되며, 상부에 원터치 커플러(190)가 설치되는 다수의 초순수 저장탱크(100)와, 상기 다수의 초순수 저장탱크(100)가 안착 가이드(910)에 의해 정 위치로 그리고 일렬로 안착되는 기다란 탱크 안착부(200)와, 상기 다수의 초순수 저장탱크(100)의 저수위 감지를 위해 상기 탱크 안착부(200)에 설치되어, 각 초순수 저장탱크(100)의 무게를 측정하는 다수의 압력센서(300)와, 상기 다수의 초순수 저장탱크(100) 내에 저장된 초순수에 UV를 조사하여 살균하는 다수의 UV 살균 모듈(400)과, 상기 다수의 초순수 저장탱크(100)의 진동을 인가하는 다수의 진동인가모듈(500)와, 초순수 공급원(미도시됨)과 연결되고 상기 다수의 초순수 저장캥크(100)의 일렬 배열 방향과 같은 방향으로 연장된 메인 초순수 공급라인(2000)과, 상기 메인 초순수 공급라인(2000)으로부터 분리되어 상기 다수의 초순수 저장탱크(100) 각각의 원터치 커플러(190)에 원터치식으로 분리가능하게 접속되는 다수의 분기 초순수 공급라인(2100)과, 상기 다수의 분기 초순수 공급라인(2100) 각각에 설치되며, 제어부의 제어에 따라 개폐되는 온/오프 밸브(2200)를 포함한다. The ultrapure water storage tank device according to the present embodiment includes a plurality of ultrapure water storage tanks 100 in which ultrapure water is stored and arranged in a row, with a one-touch coupler 190 installed at the top, as in the previous embodiment, and the plurality of ultrapure water storage tanks (100) has a long tank seating portion 200 that is seated in a fixed position and in a row by a seating guide 910, and is attached to the tank seating portion 200 to detect the low water level of the plurality of ultrapure water storage tanks 100. A plurality of pressure sensors 300 are installed to measure the weight of each ultrapure water storage tank 100, and a plurality of UV sterilization modules 400 to sterilize the ultrapure water stored in the plurality of ultrapure water storage tanks 100 by irradiating UV. ) and a plurality of vibration application modules 500 for applying vibration of the plurality of ultrapure water storage tanks 100, connected to an ultrapure water supply source (not shown), and a direction in which the plurality of ultrapure water storage tanks 100 are arranged in a row. A main ultrapure water supply line (2000) extending in the same direction as and separated from the main ultrapure water supply line (2000) and detachably connected to the one-touch coupler (190) of each of the plurality of ultrapure water storage tanks (100) in a one-touch manner. It includes a plurality of branch ultrapure water supply lines 2100 and an on/off valve 2200 that is installed in each of the plurality of branch ultrapure water supply lines 2100 and is opened and closed under the control of a control unit.
이때, 상기 원터치 커플러(190)는 상기 분기 초순수 공급라인(2100)이 접속될 때 자동으로 개방되고 상기 분치 초순수 공급라인(2100)이 분리되면 자동으로 닫히도록 구성된다. At this time, the one-touch coupler 190 is configured to automatically open when the branch ultrapure water supply line 2100 is connected and automatically close when the branch ultrapure water supply line 2100 is disconnected.
또한, 상기 제어부는 초순수 저장탱크(100)의 무게를 감지하는 압력센서(300)의 신호를 기초로 상기 초순수 저장탱크(100) 내 초순수 수위를 계산하여 저수위에 도달하면 상기 온/오프 밸브(2200)를 열어 초순수가 초순수 저장탱크(100) 내로 공급되도록 해준다. 압력센서(300)가 초순수 저장탱크(100) 내 수위가 미리 설정된 최고 수위에 도달하면 온/오프 밸브(2200)를 닫아 해당 초순수 저장탱크(100) 내로의 초순수 공급을 정지한다. 상기 분기 초순수 공급라인(2100)과 상기 메인 초순수 공급라인(2000) 사이의 지점에는 수밀식 조인트(2150)이 설치되어, 분기 초순수 공급라인(2100)을 전후 방향으로 회전시킬 수 수 있도록 구성된다. 이는 초순수 저장탱크(100)를 탱크 안착부(200)로부터 쉽게 분리할 수 있도록 해준다. 수밀식 조인트(2150)를 제어부의 제어에 따라 자동 회전 가능하게 구성하고, 압력센서에 의한 무게 측정값이 일정 수치 이하가 되면, 수밀식 조인트(2150)이 자동으로 회전하도록 할 수 있다.In addition, the control unit calculates the ultrapure water level in the ultrapure water storage tank 100 based on the signal from the pressure sensor 300 that detects the weight of the ultrapure water storage tank 100, and when the low water level is reached, the on/off valve 2200 ) is opened to allow ultrapure water to be supplied into the ultrapure water storage tank (100). When the water level in the ultrapure water storage tank 100 reaches the preset highest water level, the pressure sensor 300 closes the on/off valve 2200 to stop the supply of ultrapure water into the ultrapure water storage tank 100. A watertight joint 2150 is installed at a point between the branch ultrapure water supply line 2100 and the main ultrapure water supply line 2000, so that the branch ultrapure water supply line 2100 can be rotated back and forth. This allows the ultrapure water storage tank 100 to be easily separated from the tank seating portion 200. The watertight joint 2150 can be configured to automatically rotate under the control of the controller, and when the weight measured by the pressure sensor falls below a certain value, the watertight joint 2150 can be rotated automatically.
본 발명은 전술한 실시예에 의해 한정되지 않고 다양하게 변형되어 실시될 수 있다.The present invention is not limited to the above-described embodiments and can be implemented with various modifications.
100: 초순수 저장탱크 200: 탱크 안착부
300: 압력센서 400: UV 살균모듈
500: 진동인가모듈 120: 탱크 바디
140: UV 투과관100: Ultrapure water storage tank 200: Tank seating portion
300: Pressure sensor 400: UV sterilization module
500: Vibration application module 120: Tank body
140: UV transmission tube
Claims (2)
다수의 안착 가이드(910)가 내부에 설치되며, 상기 다수의 안착 가이드(910)에 의해 상기 다수의 초순수 저장탱크(100)가 정위치로 그리고 일렬로 안착되는 기다란 탱크 안착부(200);
상기 다수의 초순수 저장탱크(100)의 저수위 감지를 위해 상기 탱크 안착부(200)에 설치되어, 각 초순수 저장탱크(100)의 무게를 측정하는 다수의 압력센서(300);
상기 다수의 초순수 저장탱크(100)내에 저장된 초순수에 UV를 조사하여 살균하는 다수의 UV 살균 모듈(400);
초순수 공급원과 연결되고 상기 다수의 초순수 저장캥크(100)의 일렬 배열 방향과 같은 방향으로 연장된 메인 초순수 공급라인(2000);
상기 메인 초순수 공급라인(2000)으로부터 분기되어 상기 다수의 초순수 저장탱크(100) 각각의 원터치 커플러(190)에 원터치식으로 분리가능하게 접속되는 다수의 분기 초순수 공급라인(2100);
상기 다수의 분기 초순수 공급라인(2100) 각각에 설치되며, 제어부의 제어에 따라 개폐되는 온/오프 밸브(2200); 및
상기 분기 초순수 공급라인(2100)과 상기 메인 초순수 공급라인(2000) 사이의 지점에 설치된 다수의 수밀식 조인트(2150)를 포함하며,
상기 초순수 저장탱크(100)를 상기 탱크 안착부(200)로부터 분리할 때, 상기 수밀식 조인트(2150)는 상기 분기 초순수 공급라인(2100)이 전후 방향으로 회전되는 것을 허용하는 것을 특징으로 하는 초순수 저장탱크 장치.
A plurality of ultrapure water storages, each of which includes a tank body 120, a discharge valve 700 is coupled to the lower part of the tank body 120, and a one-touch coupler 190 is installed on the upper part of the tank body 120. Tank (100);
A long tank seating portion 200 in which a plurality of seating guides 910 are installed, and the plurality of ultrapure water storage tanks 100 are seated in a correct position and in a row by the plurality of seating guides 910;
A plurality of pressure sensors 300 installed on the tank seating portion 200 to detect the low water level of the plurality of ultrapure water storage tanks 100 and measuring the weight of each ultrapure water storage tank 100;
A plurality of UV sterilization modules (400) that sterilize ultrapure water stored in the plurality of ultrapure water storage tanks (100) by irradiating UV light;
A main ultrapure water supply line (2000) connected to an ultrapure water supply source and extending in the same direction as the row arrangement direction of the plurality of ultrapure water storage tanks (100);
A plurality of branch ultrapure water supply lines (2100) branched from the main ultrapure water supply line (2000) and detachably connected to one-touch couplers (190) of each of the plurality of ultrapure water storage tanks (100) in a one-touch manner;
An on/off valve (2200) installed in each of the plurality of branch ultrapure water supply lines (2100) and opened and closed under the control of a control unit; and
It includes a plurality of watertight joints (2150) installed at a point between the branch ultrapure water supply line (2100) and the main ultrapure water supply line (2000),
When separating the ultrapure water storage tank 100 from the tank seating portion 200, the watertight joint 2150 allows the branch ultrapure water supply line 2100 to rotate in the forward and backward directions. Storage tank device.
상기 제어부는 상기 압력센서(300)의 신호를 기초로 상기 초순수 저장탱크(100) 내 초순수 수위를 계산하여 미리 설정된 최저 수위에 도달하면 상기 온/오프 밸브(2200)를 열어 초순수가 초순수 저장탱크(100) 내로 공급되도록 해주고, 상기 압력센서(300)가 상기 초순수 저장탱크(100) 내 수위가 미리 설정된 최고 수위에 도달하면 상기 온/오프 밸브(2200)를 닫아 해당 초순수 저장탱크(100) 내로의 초순수 공급을 정지하는 것을 특징으로 하는 초순수 저장탱크 장치.According to paragraph 1,
The control unit calculates the ultrapure water level in the ultrapure water storage tank 100 based on the signal from the pressure sensor 300, and opens the on/off valve 2200 when the preset minimum water level is reached to allow ultrapure water to flow into the ultrapure water storage tank ( 100), and when the water level in the ultrapure water storage tank 100 reaches the preset highest water level, the pressure sensor 300 closes the on/off valve 2200 to supply water into the ultrapure water storage tank 100. An ultrapure water storage tank device characterized by stopping the supply of ultrapure water.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230074583A KR102607142B1 (en) | 2023-06-12 | 2023-06-12 | Ultrapure water storage tank apparatus with UV transmission irradiation type pure sterilization function |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230074583A KR102607142B1 (en) | 2023-06-12 | 2023-06-12 | Ultrapure water storage tank apparatus with UV transmission irradiation type pure sterilization function |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102607142B1 true KR102607142B1 (en) | 2023-11-29 |
Family
ID=88969179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020230074583A KR102607142B1 (en) | 2023-06-12 | 2023-06-12 | Ultrapure water storage tank apparatus with UV transmission irradiation type pure sterilization function |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102607142B1 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR970025805U (en) | 1995-11-22 | 1997-06-20 | Ultra Pure Water Storage Tank | |
| KR100985918B1 (en) * | 2009-07-24 | 2010-10-08 | 주식회사 선도 | Sealing type purifier and purifying method providing cold and hot water enriched electrolyzed hydrogen without foreign contaminants and microorganisms |
| KR20140010528A (en) * | 2012-07-13 | 2014-01-27 | 주식회사 엘에스텍 | Humidifier with sterilizing device using light equally irradiating device |
| JP2016153116A (en) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Water feeder and lid |
| KR20220063597A (en) * | 2020-11-10 | 2022-05-17 | 이현숙 | Ultra-pure water manufacturing system |
-
2023
- 2023-06-12 KR KR1020230074583A patent/KR102607142B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR970025805U (en) | 1995-11-22 | 1997-06-20 | Ultra Pure Water Storage Tank | |
| KR100985918B1 (en) * | 2009-07-24 | 2010-10-08 | 주식회사 선도 | Sealing type purifier and purifying method providing cold and hot water enriched electrolyzed hydrogen without foreign contaminants and microorganisms |
| KR20140010528A (en) * | 2012-07-13 | 2014-01-27 | 주식회사 엘에스텍 | Humidifier with sterilizing device using light equally irradiating device |
| JP2016153116A (en) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Water feeder and lid |
| KR20220063597A (en) * | 2020-11-10 | 2022-05-17 | 이현숙 | Ultra-pure water manufacturing system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2005059091A1 (en) | Device for cell culture | |
| US5195509A (en) | Disinfectant system for a lithotripsy apparatus | |
| KR102607142B1 (en) | Ultrapure water storage tank apparatus with UV transmission irradiation type pure sterilization function | |
| KR102607141B1 (en) | Ultrapure water storage tank apparatus | |
| JP2009083868A (en) | Drinking water server | |
| WO2020046878A1 (en) | System and method of metastable state mixing | |
| JP6924185B2 (en) | Sample preparation device | |
| US10046988B2 (en) | RO installation for flushing solutions | |
| KR20190020659A (en) | Ultraviolet sterilization apparatus, ultraviolet sterilization method and ultrapure water production system | |
| KR100682554B1 (en) | Apparatus for discharging natural water safely | |
| KR102159622B1 (en) | Water filter for cold and hot water purifier with sterilization function | |
| CN203833668U (en) | Circulation water tank with ultraviolet sterilization function | |
| KR102277628B1 (en) | Buoyancy water quality meter | |
| CN114857350A (en) | Sterilizing water tap | |
| CN213284517U (en) | Steam sterilization device | |
| CN211689094U (en) | Cell culture box | |
| US20170021308A1 (en) | Control of an ro installation for flushing solutions | |
| CN112520668A (en) | Automatic quantitative liquid feeding device for toilet cleaner | |
| CN105473511B (en) | Ultraviolet lamp | |
| CN214829166U (en) | Ultraviolet sterilization purifies play water installation | |
| JP2007155371A (en) | Optical measuring instrument | |
| CN213598595U (en) | Tank bottom diaphragm valve with sterilization function | |
| JPH07102841B2 (en) | Liquid filling device and method for cleaning / sterilizing flow body in liquid filling device | |
| JP2018205026A (en) | Circuit and method for detecting disconnection of ultraviolet led, water collection dispenser, and pure water production device | |
| CN217868514U (en) | Drinking water supply device and drinking water supply system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |