KR102602180B1 - 비소화규소 나노시트 및 이의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전소자용 비소화규소 나노시트 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 비소화규소 나노시트는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 가지므로, 가시광선-근적외선을 효율적으로 수집하기에 충분하며, 태양광을 이용한 물분해에 적합하고, 양자구속효과에 의해 밴드갭이 크게 증가하여 전도성 반도체 소재로 활용될 수 있다. 또한, 본 발명의 비소화규소 나노시트 제조방법은 촉매를 사용하지 않음으로써 불순물 없는 순수한 결정상이며, 비교적 낮은 온도에서 저비용 공정으로 수행될 수 있다.
Description
본 발명은 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전소자용 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 고체는 결정구조에 따라 0차원(0D), 1차원(1D), 2차원(2D), 3차원(3D)으로 구분되며, 같은 원소로 이루어진 물질이라도 차원이 달라지면 원자들 사이의 결합특성이 달라지므로, 기계적 강도나 전기전도도 등의 물성이 변하게 된다. 물질의 형태를 벌크 결정에서 2차원으로 줄이면 양자구속효과(quantum confinement effect)가 나타나면서 밴드갭(band gap)이 증가하거나 전기적 특성이 크게 변한다.
그 중, 그래핀(graphene)은 탄소 원자들이 한 층으로 이루어진 2차원 구조의 대표적인 물질로서, 기계적 굽힘 및 늘림에 대한 강도가 우수하고, 다이아몬드보다 단단하며, 높은 캐리어 이동도(105 cm2/Vs)를 갖는다. 또한, 상기 그래핀(graphene)은 입사되는 빛의 대부분을 투과하는 특성을 가지고 있어, 투명전극 소재로 이용되며, 밴드갭이 콘 형태를 갖는 준금속과 비슷한 특성을 보여준다. 따라서, 플렉서블 태양전지, 플렉서블 디스플레이에 적용하기 위한 연구가 진행되고 있으나, 실제적으로는 밴드갭이 없기 때문에 전계효과트랜지스터(field effect transistor, FET)와 같은 소자에 응용되기 쉽지 않다는 문제를 가지고 있다.
이를 해결하기 위하여, 그래핀처럼 원자층이 반데르발스 힘에 의해 쌓이는 새로운 2차원 소재를 찾기 위한 연구가 많이 진행되고 있다.
최근 2차원 구조를 갖는 전이금속 다이칼코겐(transition metal dichalcogenides, TMD) 화합물로 MoS2, MoSe2, WS2, WSe2 등이 있으며, 이들은 큰 밴드갭 에너지로 인해 많은 관심을 끌고 있다. 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 단분자층은 3차원 결정에 비해 훨씬 큰 밴드갭 에너지를 갖는다. 즉, 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 3차원 결정은 밴드갭이 1.1 eV인데 반하여 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 단분자층은 1.9 eV으로 0.8 eV 정도 더 크다.
또한, 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 단분자층은 광흡수 및 광방출 특성이 크게 증가하게 되는 밴드갭 구조를 가지므로, 붉은색 파장을 내는 뛰어난 광흡수, 발광 소재로서 주목받고 있다.
그리고, 2차원 구조를 갖는 V족 단일원소로 이루어진 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene)도 많은 관심을 받고 있다. 상기 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene)이 단분자층으로 되면, 밴드갭 에너지 값이 0.35 eV에서 1.7 eV로 증가하고, 캐리어 이동도가 104 cm2/Vs까지 증가하므로, 우수한 전도성 소재로서 기대를 모으고 있다. 그러나 상기 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene) 단분자층은 수분, 산소 및 열에 약한 문제가 있어, 이에 대한 보완방법이 개발 중에 있다.
상기 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene) 단분자층의 수분, 산소 및 열에 약한 문제가 해결된다면, 가격이 저렴한 고성능 전자장치를 설계할 수 있는 큰 기회를 제공할 수 있을 것이다.
이외에도 V족 As, Sb도 2차원 소재로 개발하고 있으며, IV족으로 Si, Ge도 2차원 소재로 규소 기판을 사용한 화학기상증착법으로 2차원 소재 합성에 성공한 바 있다.
그리고, 2차원 V족의 불안정성을 보완하면서, 어려운 합성법을 적용하여 얻을 수 있는 IV족 대신에 IV족과 V족을 결합시킨 이성분 화합물 반도체가 관심을 끌고 있다. 즉, 상기 IV족과 V족을 결합시킨 이성분 화합물 반도체는 산소, 수분에 대해서도 안정적이며, 상기 IV족과 V족을 결합시킨 이성분 화합물 반도체 단일층의 밴드갭이 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 단분자층 또는 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene)을 포함하는 V족보다 높다는 특징을 가지고 있어, 기존의 2차원 소재의 단점을 보완할 수 있을 것으로 기대되고 있다.
또한, 최근 이론 계산으로부터 2차원 IV-V족 MX 화합물(M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi)이 제안되었다. 즉, SiP, SiAs, GeP, GeAs, SnP 등을 2차원 층상구조로 예측하였다. 상기 이론 계산에 따르면 상기 MX 화합물(M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi) 3차원 결정의 밴드갭은 1 eV 미만인 반면, MX 화합물 (M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi)이 단분자층이 되면, 밴드갭이 2 내지 3 eV 영역대로 상승한다. 이에 따라, 가시광선을 효율적으로 수집하기에 충분하며, 태양광을 이용한 물분해에 적합한 밴드갭 위치를 가지고 있다고 예측하고 있다. 또한, MX 화합물 (M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi) 단분자층은 캐리어 이동도가 104 cm2/Vs까지 증가하는 우수한 전도성 반도체 소재로 평가되고 있다.
또한, 지금까지 2차원 물질 중 V족이 포함된 물질들은 결정성장방법으로 촉매를 이용한 고온 용융성장법을 사용하였다. 이때, 반응 촉매 물질로는 Bi, Pb, I2 등을 섞어 합성한다. 따라서, 촉매를 사용하여 합성된 결정은 상기 촉매 성분이 불순물로 남아 도핑이 되거나 결정으로 같이 석출되어, 이들에 대한 정제과정이 필요하고, 합성된 결정의 물성이 저하되는 단점이 있다.
본 발명은 비소화규소 나노시트 및 이의 제조방법으로, 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전소자용 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트를 제공하며, 이러한 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트를 촉매를 사용하지 않음으로써 불순물 없는 순수한 결정상으로 저렴하게 생산할 수 있는 단순하고 경제적인 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전소자용 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트를 포함한다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 상기 밴드갭은 1.37 eV 내지 3.0 eV 일 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 규소(Si)와 비소(As)의 몰비가 1:5 내지 5:1 일 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 규소(Si)와 비소(As)가 상기 나노시트에 균일하게 분포될 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 일 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 29.0 °내지 31.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 12.0 °내지 14.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 25.0 °내지 27.0 °에서 나타날 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 격자상수 a는 15.979 Å이고, 격자상수 b는 3.668 Å이고, 격자상수 c는 9.529 Å이고, 격자상수 β는 106 °일 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 단결정(single crystal) 일 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간거리(L)는 1 내지 5 Å 일 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 (112) 면간거리 d112는 2.7 Å 일 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 두께는 0.8 nm 내지 200 nm 일 수 있다.
본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트 제조방법은
규소(Si) 분말과 비소(As) 분말을 몰비(Si:As) 1:5 내지 5:1로 혼합하여 반응물을 준비하는 단계;
상기 반응물을 석영 앰플에 넣고 진공상태로 밀봉하는 단계;
온도 조절되는 전기로 안에 상기 반응물이 들어있는 석영 앰플을 넣고 반응온도 1000 내지 1300 ℃, 반응시간 6 내지 24 시간의 1 단계 반응 및 반응온도 1100 내지 1400 ℃, 반응시간 6 내지 24 시간의 2 단계 반응의 연속 반응으로 고온용융하여 결정을 성장시키는 방법으로 합성하여 비소화규소 결정을 수득하는 단계;
상기 비소화규소 결정을 유기용매에 넣고, 2 내지 10 ℃의 온도에서 초음파장치를 사용하여 단속적으로 1 내지 5 시간 동안 초음파처리하여 나노시트로 박리하는 단계; 및
박리 끝난 용액을 원심분리하여 상층의 액체를 수집한 후, 상기 액체의 유기용매를 증발시켜 비소화규소 나노시트 분말을 수득하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.
본 발명의 비소화규소 나노시트는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 가지므로, 가시광선을 효율적으로 수집하기에 충분하며, 태양광을 이용한 물분해에 적합하다.
또한, 본 발명의 비소화규소 나노시트는 양자구속효과로 인해 밴드갭이 크게 증가하여 전도성 반도체 소재로 활용될 수 있다.
그리고, 본 발명의 비소화규소 나노시트는 순수한 결정상으로 제조될 수 있어, 광전류 등의 데이터가 비등방성으로 측정되고, 이에 따라 캐리어 이동도 및 양자 효과 등이 극대화될 수 있다.
또한, 본 발명의 비소화규소 나노시트는 상온 또는 고온의 고습 조건에서도 물성변화가 없다.
그리고, 본 발명의 비소화규소 나노시트는 게르마늄과 인의 두 성분만으로 구성되므로 환경오염을 유발하지 않는다.
또한, 본 발명의 비소화규소 나노시트의 제조방법은 비교적 낮은 온도에서 저비용 공정으로 수행될 수 있다.
도 1a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 원료물질인 비소화규소 화합물 반도체 결정을 합성하는 용융성장법에 대한 모식도이고, 도 1b는 상기 용융성장법 반응조건에 대한 그래프이다.
도 2는 본 발명의 실시예를 따르는 용융성장법으로 합성된 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리 사진이다.
도 3a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리를 기계박리법으로 박리하여 비소화규소 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지이고, 도 3b는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리를 액상박리법으로 박리하여 비소화규소 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지이다.
도 4는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 결정 및 비소화규소 나노시트의 X-선 회절(XRD, X-Ray Diffraction) 패턴이다.
도 5a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이고, 도 5b 및 도 5c는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 투과전자현미경(TEM, transmission electron microscope) 이미지이고, 도 5는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy) 원소 맵핑 결과 및 원소 함량 분석 결과이고, 도 5e는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 볼 & 스틱(ball and stick) 모형을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 결정 및 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 측정한 흡수 모드에서의 확산 반사 스펙트럼이다.
도 7a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 구성을 비소화규소 결정구조를 이용하여 구성한 모식도이다.
도 7b는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이다.
도 7c는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극에서 상기 도 7a의 모식도의 Y 방향에서 광전류(Photocurrent)를 측정한 그래프이다.
도 7d는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극에서 상기 도 7a의 모식도의 X 방향에서 광전류(Photocurrent)를 측정한 그래프이다.
도 7e는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 원자현미경(Atomic Force Microscope, AFM) 이미지이다.
도 7f는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 높이를 원자현미경(Atomic Force Microscope, AFM)으로 측정한 그래프이다.
도 2는 본 발명의 실시예를 따르는 용융성장법으로 합성된 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리 사진이다.
도 3a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리를 기계박리법으로 박리하여 비소화규소 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지이고, 도 3b는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리를 액상박리법으로 박리하여 비소화규소 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지이다.
도 4는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 결정 및 비소화규소 나노시트의 X-선 회절(XRD, X-Ray Diffraction) 패턴이다.
도 5a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이고, 도 5b 및 도 5c는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 투과전자현미경(TEM, transmission electron microscope) 이미지이고, 도 5는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy) 원소 맵핑 결과 및 원소 함량 분석 결과이고, 도 5e는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 볼 & 스틱(ball and stick) 모형을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 결정 및 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 측정한 흡수 모드에서의 확산 반사 스펙트럼이다.
도 7a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 구성을 비소화규소 결정구조를 이용하여 구성한 모식도이다.
도 7b는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이다.
도 7c는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극에서 상기 도 7a의 모식도의 Y 방향에서 광전류(Photocurrent)를 측정한 그래프이다.
도 7d는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극에서 상기 도 7a의 모식도의 X 방향에서 광전류(Photocurrent)를 측정한 그래프이다.
도 7e는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 원자현미경(Atomic Force Microscope, AFM) 이미지이다.
도 7f는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 높이를 원자현미경(Atomic Force Microscope, AFM)으로 측정한 그래프이다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 이들 실시예는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이므로, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되는 것으로 해석되지는 않는다.
본 명세서에서 사용되는 "포함하는"과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 문구 또는 문장에서 특별히 다르게 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 사용되는 "바람직한" 및 "바람직하게"는 소정 환경 하에서 소정의 이점을 제공할 수 있는 본 발명의 실시 형태를 지칭한다. 그러나, 동일한 환경 또는 다른 환경 하에서, 다른 실시 형태가 또한 바람직할 수 있다. 추가로, 하나 이상의 바람직한 실시 형태의 언급은 다른 실시 형태가 유용하지 않다는 것을 의미하지 않으며, 본 발명의 범주로부터 다른 실시 형태를 배제하고자 하는 것은 아니다.
이하, 본 발명의 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트에 대해 구체적으로 설명한다.
본 발명의 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전소자용 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트를 포함한다.
고체는 결정구조에 따라 0차원(0D), 1차원(1D), 2차원(2D), 3차원(3D)으로 구분되며, 같은 원소로 이루어진 물질이라도 차원이 달라지면 원자들 사이의 결합특성이 달라지므로, 기계적 강도나 전기전도도 등의 물성이 변하게 된다.
특히, 물질의 형태를 벌크 결정에서 2차원으로 줄이면 양자구속효과(quantum confinement effect)가 나타나면서 밴드갭(band gap)이 증가하거나 전기적 특성이 크게 변한다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 나타낼 수 있다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 상기 밴드갭은 1.37 eV 내지 3.0 eV 일 수 있다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 상기 밴드갭은 파장으로 환산하면 400 nm 내지 900 nm 일 수 있다.
또한, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 상기 밴드갭은 바람직하게는 1.4 eV 내지 2.8 eV 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1.5 eV 내지 2.6 eV 일 수 있고, 보다 더 바람직하게는 1.6 eV 내지 2.4 eV 일 수 있다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide)은 벌크 결정일 때 0.5 내지 1.36 eV(파장 환산시 910 nm 내지 2500 nm)의 밴드갭에서 다수층(단일층, 이중층, 삼중층 등을 포함하는 다중층)으로 구성된 나노시트가 되었을 때 1.37 eV 내지 3.0 eV(파장 환산시 400 nm 내지 900 nm)로 밴드갭의 변화를 유도할 수 있다.
여기서, 2차원 IV-V족 MX 화합물(M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi)의 한 종류인 비소화규소(Silicon-Arsenide)은 다수층(단일층, 이중층, 삼중층 등을 포함하는 다중층)으로 구성된 나노시트가 되면 밴드갭이 상승한다. 이에 따라, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 가시광선을 효율적으로 수집하기에 충분하며, 태양광을 이용한 물분해에 적합한 밴드갭을 가지고 있다. 또한, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 양자구속효과가 증가하여 밴드갭이 매우 크게 증가하는 우수한 전도성 반도체 소재이다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 규소(Si)와 비소(As)의 몰비가 1:5 내지 5:1 일 수 있다.
또한, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 규소(Si)와 비소(As)의 몰비가 바람직하게는 1:3 내지 3:1 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1:1 일 수 있다.
규소(Si)와 비소(As)의 몰비가 상기 범위내 포함될 때 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 양자구속효과로 인해 가시광선-근적외선 내의 밴드갭을 가지므로 가시광선-근적외선을 효율적으로 수집할 수 있다.
또한, 규소(Si)와 비소(As)의 몰비가 상기 범위내 포함되지 않을 때 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 가시광선-근적외선 밖의 밴드갭을 가지므로 가시광선-근적외선을 효율적으로 수집할 수 없다.
여기서, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 규소(Si)와 비소(As)의 몰비가 1:5 내지 5:1 인 것은 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy) 스펙트럼 분석하여 확인할 수 있다.
그리고, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 규소(Si)와 비소(As)가 상기 나노시트에 균일하게 분포될 수 있다.
여기서, 상기 규소(Si)와 상기 비소(As)가 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트에 균일하게 분포되어 있음을 확인하는 방법은 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy)으로 상기 규소(Si)와 상기 비소(As) 맵핑을 수행하는 것이다.
상기 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy)으로 상기 규소(Si)와 상기 비소(As) 맵핑하여 얻은 이미지에서 상기 규소(Si)와 상기 비소(As) 원소가 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트에 골고루 분포될 수 있다.
또한, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.
여기서, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 29.0 °내지 31.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 12.0 °내지 14.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 25.0 °내지 27.0 °에서 나타날 수 있다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 일 수 있다.
그리고, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 격자상수 a는 15.979 Å이고, 격자상수 b는 3.668 Å이고, 격자상수 c는 9.529 Å이고, 격자상수 β는 106 °일 수 있다.
또한, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 단결정(single crystal) 일 수 있다.
여기서, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트가 단결정(single crystal)인 것은 투과전자현미경(TEM)의 FFT(Fast Fourier Transform) 이미지와 SAED(Selected Area Electron Diffraction) 패턴에서 전자빔이 단결정에 의해 회절되어 점 형상으로 분리되어 보이는 것으로부터 확인할 수 있다.
그리고, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간거리(L)는 1 내지 5 Å 일 수 있다.
또한, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간거리(L)는 바람직하게는 1 내지 4 Å 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1 내지 3 Å 일 수 있다.
그리고, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 (112) 면간거리 d112는 2.7 Å 일 수 있다.
그리고, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 두께는 0.8 nm 내지 200 nm 일 수 있다. 여기서, 상기 비소화규소 나노시트는 일정하게 형성되어 상기 비소화규소 나노시트의 두께가 수 Å에서 수백 ㎛의 벌크 크기까지 증가될 수 있다.
또한, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 두께는 바람직하게는 0.8 nm 내지 150 nm 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1 nm 내지 100 nm 일 수 있고, 보다 더 바람직하게는 1 nm 내지 50 nm 일 수 있다.
이하, 본 발명의 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트 제조방법을 구체적으로 설명한다.
본 발명의 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트 제조방법은
규소(Si) 분말과 비소(As) 분말을 몰비(Si:As) 1:5 내지 5:1로 혼합하여 반응물을 준비하는 단계;
상기 반응물을 석영 앰플에 넣고 진공상태로 밀봉하는 단계;
온도 조절되는 전기로 안에 상기 반응물이 들어있는 석영 앰플을 넣고 반응온도 1000 내지 1300 ℃, 반응시간 6 내지 24 시간의 1 단계 반응 및 반응온도 1100 내지 1400 ℃, 반응시간 6 내지 24 시간의 2 단계 반응의 연속 반응으로 고온용융하여 결정을 성장시키는 방법으로 합성하여 비소화규소 결정을 수득하는 단계;
상기 비소화규소 결정을 유기용매에 넣고, 2 내지 10 ℃의 온도에서 초음파장치를 사용하여 단속적으로 1 내지 5 시간 동안 초음파처리하여 나노시트로 박리하는 단계; 및
박리 끝난 용액을 원심분리하여 상층의 액체를 수집한 후, 상기 액체의 유기용매를 증발시켜 비소화규소 나노시트 분말을 수득하는 단계를 포함한다.
일 실시예로써, 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리를 기계적 방법으로 박리하여 비소화규소 나노시트를 제조하는 과정으로서, 용융성장법으로 합성된 상기 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리인 벌크 결정(bulk crystal)을 막자사발 또는 볼밀 등의 분쇄 장치를 이용하여 작은 결정으로 분쇄하기 위해 갈아준다.
상기 작은 결정으로 분쇄된 상기 비소화규소 결정을 유기용매에 첨가하여 비소화규소 결정이 분산된 용액을 준비한다. 그런 다음, 분산 용액이 담긴 반응기를 일반 초음파 장치(Hwashin 605, 40 kHz, 350 W)에서 1 내지 3 시간 동안 초음파 처리한다. 그 후, 진폭 20 %에서 작동하는 고밀도 프로브 초음파 장치(Sonics VCX-130; 20 kHz, a maximum power output of 130 W)에 배치한다. 상기 용액이 담긴 반응기를 온도 조절기가 있는 서큘레이터에 연결한 냉수통(water jacket)에 놓고, 반응기 온도를 2 내지 10 ℃로 유지한다. 상기 고밀도 프로브 초음파 장치의 초음파 팁은 과도한 가열을 방지하기 위하여 10 초 동안 반응시키고 2 초 동안 휴식기를 갖는 방식으로 1 내지 3 시간 동안 고밀도 프로브 초음파 장치를 이용하여 상기 비소화규소 결정을 박리한다. 박리가 끝나면 10 분 내지 1 시간 동안 3000 내지 15000 rpm으로 원심 분리하여 박리된 비소화규소 나노시트가 들어있는 상층 액체를 수집한다. 상기 상층 액체에서 유기용매를 증발시킨 후 비소화규소 나노시트를 파우더 형태로 수득한다.
여기서, 상기 비소화규소 결정 합성할 때 상기 규소(Si) 분말과 상기 비소(As) 분말 외 다른 물질은 사용하지 않을 수 있다.
또한, 상기 비소화규소 결정 합성할 때, Bi, Pb, I2 등의 반응 촉매를 사용하지 않을 수 있다.
따라서, 상기 비소화규소 결정 합성 후, 상기 촉매 성분이 불순물로 남아 도핑이 되거나 결정으로 같이 석출되지 않을 수 있고, 이들에 대한 정제과정이 필요하지 않을 수 있으며, 고온에서 진공상태로 반응할 수 있고, 이물질이 없을 수 있으므로 합성된 비소화규소 결정의 물성도 저하되지 않을 수 있다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 결정의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.
또한, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 결정의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 29.0 °내지 31.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 12.0 °내지 14.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 25.0 °내지 27.0 °에서 나타날 수 있다.
상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 결정의 격자상수 a는 15.979 Å이고, 격자상수 b는 3.668 Å이고, 격자상수 c는 9.529 Å이고, 격자상수 β는 106 °일 수 있다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.
또한, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 29.0 °내지 31.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 12.0 °내지 14.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 25.0 °내지 27.0 °에서 나타날 수 있다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 일 수 있다.
상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 격자상수 a는 15.979 Å이고, 격자상수 b는 3.668 Å이고, 격자상수 c는 9.529 Å이고, 격자상수 β는 106 °일 수 있다.
상기 비소화규소 결정의 결정상과 비소화규소 나노시트의 결정상은 단사정계로 동일한 결정상을 나타낼 수 있다.
그리고, 상기 비소화규소 결정 및 상기 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 측정하기 위하여 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인을 사용하여, 상기 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 비소화규소 벌크 박막 또는 비소화규소 나노시트를 형성한 후, 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 비소화규소 벌크 박막 또는 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 측정할 수 있다.
먼저, 상기 비소화규소 결정이 분산된 분산액을 기공크기 10 내지 50 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 감압필터하고 건조하여 양극 알루미나 표면에 비소화규소(SiAs) 벌크 박막을 형성할 수 있다.
그런 다음 UV-Vis-NIR spectrometer(Agilent Cary 5000)로 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 비소화규소(SiAs) 벌크 박막의 밴드갭을 측정할 수 있다.
여기서, 상기 비소화규소 벌크 박막의 밴드갭은 0.5 내지 1.38 eV(빛 파장으로 환산시 890 내지 2480 nm)로 가시광선-근적외선 영역대가 아닐 수 있다.
또한, 상기 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 측정하기 위하여 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인을 사용할 수 있다.
먼저, 상기 박리된 비소화규소 나노시트가 들어있는 상층 액체를 기공크기 10 내지 50 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 감압필터하고 건조하여 양극 알루미나 표면에 비소화규소(SiAs) 나노시트를 형성할 수 있다.
그런 다음 UV-Vis-NIR spectrometer(Agilent Cary 5000)로 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 비소화규소(SiAs) 나노시트의 밴드갭을 측정할 수 있다.
여기서, 상기 비소화규소 나노시트의 밴드갭은 1.37 eV 내지 3.0 eV(파장 환산시 400 nm 내지 900 nm)로 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 나타낼 수 있다.
도 1a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 원료물질인 비소화규소 화합물 반도체 결정을 합성하는 용융성장법에 대한 모식도이고, 도 1b는 상기 용융성장법 반응조건에 대한 그래프이다.
도 1a 및 도 1b와 같이, 상기 비소화규소 결정 합성할 때, 상기 규소(Si) 분말과 상기 비소(As) 분말을 몰비(Si:As) 1:5 내지 5:1로 혼합한 후, 석영 앰플에 넣고, 진공상태로 밀봉하여, 온도 조절되는 전기로 안에 상기 반응물이 들어있는 석영 앰플을 넣고, 반응온도 1000 내지 1400 ℃, 반응시간 12 내지 64시간 동안 고온에서 용융하여 결정을 성장시키는 방법(고온 용융성장법)을 사용하므로, 상기 합성된 비소화규소 결정은 불순물 없이 순수한 상태로 합성될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예를 따르는 용융성장법으로 합성된 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리 사진이다.
도 2와 같이, 상기 비소화규소 화합물 결정은 은백색 또는 은회색의 결정 덩어리 형상으로 얻어질 수 있다.
또한, 상기 고온 용융성장법으로 합성된 상기 비소화규소 결정은 단일상의 결정으로 성장할 수 있다.
이때, 상기 비소화규소 결정의 단일상의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.
상기 합성된 비소화규소 결정을 다양한 기계적 박리법, 즉 스카치 테입법, 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS) 스탬프법, 또는 용매를 사용한 초음파 분쇄법을 포함한 기계적 박리법 중 어느 하나 이상의 방법으로 박리하여 0.8 nm 내지 200 nm 두께의 나노시트를 얻을 수 있다.
그러나, 상기 비소화규소 결정을 박리하여 상기 비소화규소 나노시트를 형성하는 방법은 상기 기계적 박리법에 한정되지 않는다.
도 3a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리를 기계박리법으로 박리하여 비소화규소 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지이고, 도 3b는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리를 액상박리법으로 박리하여 비소화규소 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지이다.
도 3a와 같이, 상기 기계박리법으로 상기 비소화규소 화합물 반도체 결정을 스카치 테이프와 같은 테이프에 몇 번 두들겨 상기 비소화규소 화합물 반도체 결정을 테이프에 묻힌 후 다른 테이프 면으로 떼고 붙임을 반복하여 수 나노 두께의 시트를 얻을 수 있다.
도 3b와 같이, 상기 액상박리법으로 상기 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리인 벌크 결정(bulk crystal)을 막자사발 또는 볼밀 등을 이용하여 작은 결정으로 분쇄하기 위해 갈아준 다음(grinding) 유기용매에 섞어 프로브 타입 초음파 장치를 이용하여 박리한 후, 원심분리하여 박리안 된 덩어리와 분리된 상층액을 떠내고 필터를 이용해 필터링을 하여 수 나노 두께의 나노시트를 얻을 수 있다.
또한, 상기 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리인 벌크 결정(bulk crystal)을 막자사발 또는 볼밀 등을 이용하여 작은 결정으로 분쇄하기 위해 갈아준 다음(grinding) 상기 스카치 테입법, 폴리디메틸실록산 (Poly (dimethylsiloxane), PDMS) 스탬프법, 또는 용매를 사용한 초음파 분쇄법을 포함한 기계적 박리법 중 어느 하나 이상의 방법으로 박리하여 상기 비소화규소 나노시트를 형성할 수 있다.
그러나, 상기 비소화규소 결정을 박리하여 상기 비소화규소 나노시트를 형성하는 방법은 상기 박리법에 한정되지 않는다.
일 실시예로, 액체상 박리법인 용매를 사용한 초음파 분쇄법은 하기와 같다.
상기 작은 결정으로 분쇄된 상기 비소화규소 결정을 유기용매에 첨가한 다음 고밀도 프로브 초음파 장치를 이용하여 2 내지 10 ℃의 저온에서 3 내지 20 초 동안 초음파 반응시키고, 2 내지 5초간 휴식기를 갖는 방법으로 1 내지 5 시간 초음파 처리하여 박리시킬 수 있다. 박리가 끝나면 용액을 10 분 내지 1 시간 동안 2000 내지 5000 rpm으로 원심분리하여 박리된 비소화규소 나노시트가 들어있는 상층에 떠있는 액체를 수집할 수 있다. 상기 상층에 떠있는 액체에서 유기용매를 증발시킨 후 장축 1 내지 100 ㎛, 두께 0.8 내지 200 nm의 상기 비소화규소 나노시트를 파우더 형태로 수득할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 X-선 회절(XRD, X-Ray Diffraction) 패턴이다.
도 4와 같이, 상기 비소화규소 나노시트의 단일상의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.
여기서, 상기 비소화규소 결정 및 상기 비소화규소 나노시트 모두 동일한 단사정계 결정상을 가질 수 있다.
상기 비소화규소 결정의 결정상이 단사정계이면 박리가 용이하게 수행되었을 때 상기 비소화규소 나노시트의 결정상도 동일하게 단사정계일 수 있다.
또한, 상기 박리된 비소화규소 나노시트의 결정상이 단사정계이면 상기 비소화규소 결정의 결정상도 동일하게 단사정계일 수 있다.
여기서, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 29.0 °내지 31.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 12.0 °내지 14.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 25.0 °내지 27.0 °에서 나타날 수 있다.
도 4의 하부 계산값은 VESTA 프로그램 (http://jp-minerals.org /vesta/en/)을 사용하여 비소화규소(SiAs)의 계산된 XRD 패턴을 생성한 것이고, 도 4의 상부 측정값은 비소화규소 결정의 XRD 패턴과 비소화규소 나노시트의 XRD 패턴이다. 비소화규소(SiAs)의 계산된 XRD 패턴의 격자상수(a = 15.979 Å, b = 3.668 Å, c = 9.529 Å, β = 106 °)는 합성한 비소화규소 나노시트의 측정된 XRD 패턴의 격자상수(a = 15.979 Å, b = 3.668 Å, c = 9.529 Å, β = 106 °)와 일치하는 것을 확인할 수 있다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 일 수 있다.
여기서, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 격자상수 a는 15.979 Å이고, 격자상수 b는 3.668 Å이고, 격자상수 c는 9.529 Å이고, 격자상수 β는 106 °일 수 있다.
도 5a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이고, 도 5b 및 도 5c는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 투과전자현미경(TEM, transmission electron microscope) 이미지이고, 도 5는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy) 원소 맵핑 결과 및 원소 함량 분석 결과이고, 도 5e는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트의 볼 & 스틱(ball and stick) 모형을 나타낸 도면이다.
도 5a의 주사전자현미경(SEM) 이미지로부터 상기 비소화규소 나노시트는 얇은 판이 층층이 쌓여 있는 구조로 이루어진 것을 확인할 수 있다.
여기서, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 두께는 0.8 nm 내지 200 nm 일 수 있다. 그리고, 상기 비소화규소 나노시트는 일정하게 형성되어 상기 비소화규소 나노시트의 두께가 수 Å에서 수백 ㎛의 벌크 크기까지 증가될 수 있다.
또한, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 두께는 바람직하게는 0.8 nm 내지 150 nm 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1 nm 내지 100 nm 일 수 있고, 보다 더 바람직하게는 1 nm 내지 50 nm 일 수 있다.
그리고, 도 5b 및 도 5c의 투과전자현미경(TEM) 이미지 및 SAED점패턴으로부터 상기 비소화규소 나노시트는 단결정이고, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간거리(L)는 1 내지 5 Å이며, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 (112) 면간거리 d112는 2.7 Å임을 확인할 수 있다. 또한, 상기 비소화규소 나노시트의 기저면의 방향인 에서 봤을 때 상기 비소화규소 나노시트의 긴 쪽이 (020) 방향, 그에 수직한 방향이 (204) 방향으로 확인할 수 있다.
또한, 도 5d의 EDX 원소 맵핑 결과로부터, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 규소(Si) 원소와 비소(As) 원소가 상기 비소화규소 나노시트에 골고루 분산되어 있음을 확인할 수 있다. 그리고, 상기 EDX 원소 함량 분석 결과로부터 상기 규소(Si) 원소와 상기 비소(As) 원소는 몰비(Si:As)가 1:1로 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트를 구성함을 확인할 수 있다.
그리고, 도 5e의 볼 & 스틱 모형으로부터 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 결정구조가 비등방성임을 확인할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 결정 및 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 측정한 흡수 모드에서의 확산 반사 스펙트럼이다.
도 6과 같이, 상기 비소화규소 결정의 밴드갭은 1.35 eV(파장 환산시 918 nm)이고, 상기 비소화규소 나노시트의 밴드갭은 2.21 eV(파장 환산시 560.5 nm)이다.
벌크 결정에서 수 나노(nm) 정도로 두께가 얇아졌을 경우 1300 nm의 장파장에서 400 nm까지 반사율의 변화를 관찰함으로써 벌크 결정일 때보다 밴드갭이 커졌음을 확인할 수 있다.
상기 비소화규소 벌크 결정 및 상기 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 측정하기 위하여 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인을 사용할 수 있다.
먼저, 상기 비소화규소 벌크 결정이 분산된 분산액을 기공크기 20 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 다음 감압필터 후 건조하여 양극 알루미나 표면에 비소화규소(SiAs) 벌크 박막을 형성할 수 있다.
그런 다음, UV-Vis-NIR spectrometer(Agilent Cary 5000)로 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 비소화규소(SiAs) 결정의 밴드갭을 측정할 수 있다.
여기서, 상기 비소화규소 결정의 밴드갭은 밴드갭은 1.35 eV(파장 환산시 918 nm)로 가시광선-근적외선 영역대가 아닐 수 있다.
또한, 상기 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 측정하기 위하여 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인을 사용할 수 있다.
먼저, 상기 박리된 비소화규소 나노시트가 들어있는 상층 액체를 기공크기 20 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 다음 감압필터 후 건조하여 양극 알루미나 표면에 비소화규소(SiAs) 나노시트를 형성할 수 있다.
그런 다음, UV-Vis-NIR spectrometer(Agilent Cary 5000)로 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 비소화규소(SiAs) 나노시트의 밴드갭을 측정할 수 있다.
여기서, 상기 비소화규소 박막의 밴드갭은 2.21 eV(파장 환산시 560.5 nm)로, 가시광선 영역대의 밴드갭을 나타낼 수 있다.
도 7a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 구성을 비소화규소 결정구조를 이용하여 구성한 모식도이다.
상기 전극은 일 실시예로 이산화규소(SiO2)와 같은 부도체 위에 소스(source)와 드레인(drain)으로 구성된 2전극 구조이고, 상기 소스-드레인 2 전극 제작은 광 리소그라피(Photo-Lithography) 또는 전자빔 리소그라피(E-beam Lithography)로 제작할 수 있다.
상기 비소화규소 나노시트를 사용한 소스-드레인 2 전극의 용도는 전도성 및 비전도성 반도체 소재, 양자 컴퓨터 소재, 휴대 단말기, 광검출 소자, 및 전동기 중 어느 하나 이상에 적용될 수 있다. 그러나, 상기 비소화규소 나노시트를 사용한 소스-드레인 2 전극의 용도는 상기 열거한 용도에 한정되지 않는다.
여기서, 상기 소스-드레인 2 전극은 8개의 개별 전극으로 구성될 수 있고, 상기 8개의 개별 전극의 배치는 비소화규소 결정의 기저면(basal plane) 방향에서 봤을 때의 모식도로서 베스타 프로그램(Vesta program)을 이용해 결정구조를 전개하여 얻을 수 있다.
상기 8개의 개별 전극의 배치는 비소화규소 결정의 기저면(basal plane) 방향에서 사방 8개의 방향으로 배치할 수 있다. 그리고, 상기 소스-드레인 2 전극은 스카치 테이프 스탬프법(Polydimethylsiloxane, PDMS)으로 상기 비소화규소 나노시트를 플라스틱 필름 또는 절연 기판에 옮긴 후 전자빔 석판기술(E-beam lithography) 방법을 이용하여 제조할 수 있다.
여기서, 상기 플라스틱 필름은 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 폴리에스터(폴리에텔렌테레프탈레이트, PET), 폴리아마이드(나일론, PA), 폴리염화비닐(PVC), 에틸렌 비닐아세테이트 공중합체(EVA), 폴리스티렌(PS), 폴리카본네이트(PC), 폴리비닐알콜(PVAC), 폴리우레탄(PU), 이오노머(Ionomer), 불소수지(PTFE), 및 아크릴수지 중에서 선택된 적어도 어느 하나 이상일 수 있다. 그러나, 상기 플라스틱 필름은 상기 열거한 플라스틱 종류에 한정되지 않는다.
여기서, 상기 플라스틱 필름은 전기절연성 필름일 수 있다.
또한, 상기 플라스틱 필름은 전기전도성 필름일 수 있다.
그리고, 상기 절연 기판은 유리 기판 또는 전기전도를 유발하는 알칼리 성분이 거의 없는 순도 99.9 % 이상의 이산화규소(SiO2)로 제조된 석영(quartz) 기판일 수 있다. 그러나, 상기 절연 기판은 상기 열거한 절연 기판 종류에 한정되지 않는다.
도 7b는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이다.
도 7b는 도 7a의 모식도를 바탕으로 비소화규소 나노시트를 사용한 전극을 형성하여 측정한 SEM 장비(SEM: Hitachi, S4800, EBL: TESCAN, MIRA3)로 측정한 이미지로서 사방 8개의 방향으로 개별 전극이 배치됨을 확인할 수 있다.
여기서, 도 7a의 X축, Y축 방향을 기준으로 나타낸 전극의 모식도와 도 5b의 X축, Y축 방향을 기준으로 측정한 SEM 이미지는 서로 대응될 수 있다.
그리고, 상기 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 SEM 장비(SEM: Hitachi, S4800, EBL: TESCAN, MIRA3)로 전극의 이미지를 측정할 수 있다.
도 7c는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극에서 상기 도 7a의 모식도의 Y 방향에서 광전류(Photocurrent)를 측정한 그래프이다.
여기서, 상기 광전류는 상기 도 7a의 모식도에 표시한 개별 전극에 투입되는 빛의 전력밀도(power density, W/m2)에 따라 광전류(Photocurrent)가 증가되었다. 그리고, 광전류 측정 장비로는 광전류 측정기(Agilent E5270)가 사용될 수 있다.
상기 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 밴드갭은 1.37 eV 내지 3.0 eV 로서 반도체 특성을 나타낸다.
도 7c는 Y축 방향인 1번 전극을 전압이 낮은 소스, 6번 전극을 전압이 높은 드레인으로 하여 측정한 광전류 데이터로서, 투입되는 빛의 전력밀도(power density, W/m2)에 따라 광전류(Photocurrent)가 많이 증가할 수 있다.
도 7d는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극에서 상기 도 7a의 모식도의 X 방향에서 광전류(Photocurrent)를 측정한 그래프이다.
도 7d는 X축 방향인 3번 전극을 전압이 낮은 소스, 9번 전극을 전압이 높은 드레인으로 하여 측정한 광전류 데이터로서, 투입되는 빛의 전력밀도(power density, W/m2)에 따라 광전류(Photocurrent)가 조금 증가할 수 있다.
도 7c 및 도 7d에서 보여지는 것과 같이, 비소화규소 나노시트의 비등방성(Anisotropic) 성질 중 하나인 광전류(Photocurrent) 차이를 보여주고 있고, 상기 광전류가 많이 증가 또는 조금 증가하는 비등방성으로 차이를 나타내는 것은 비소화규소 나노시트를 순수한 결정상으로 제조하였기 때문이다. 그리고, 상기 비등방성은 결정상에 의존하는 캐리어 이동도 및 양자 효과에 영향을 미칠 수 있다. 따라서, 상기 순수한 결정상의 비소화 나노시트는 캐리어 이동도 및 양자 효과 등이 극대화될 수 있다.
여기서, 비소화규소 나노시트는 순수한 결정상으로 제조될 수 있어, 광전류 등의 데이터가 비등방성으로 측정되고, 이에 따라 캐리어 이동도 및 양자 효과 등이 극대화될 수 있다.
도 7e는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 원자현미경(Atomic Force Microscope, AFM) 이미지이다.
도 7f는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 높이를 원자현미경(Atomic Force Microscope, AFM)으로 측정한 그래프이다.
도 7e 및 도 7f는 원자현미경(AFM; Park system, XE-100)의 고저 높이 윤곽선 측정법(height profiling)로서, 비접촉 모드(Non-contact mode)에서 전극 이미지와 전극 높이를 측정한 결과, 실제 전극의 높이가 15 nm 내지 50 nm 정도의 얇은 나노 시트임을 확인할 수 있다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되는 것으로 해석되지는 않는다.
<실시예>
<실시예 1> 비소화규소(Silicon-Arsenide, SiAs) 결정 제조
도 1a 및 도 1b와 같이, 규소 분말(순도 99.999%, 제조사: 알파에이서)과 비소 분말(순도 99.9%, 제조사: 알파에이서)을 1:1 몰비(Si:As; 0.27 g: 0.73 g)로 혼합한 후 석영 앰플에 넣고 진공상태로 밀봉하였다. 상기 석영 앰플의 외경은 1 cm, 길이는 2 내지 3 cm이고, 벽 두께는 2 mm이였다. 혼합 분말 시료가 들어간 상기 석영 앰플을 온도 조절이 가능한 전기로 내부에 놓고, 용융성장법(melt-growth method)으로 합성하였다. 상기 용융성장법 합성 조건을 하기 표 1에 기재하였다. 여기서, 상기 용융성장법 합성 시 반응온도 1250 ℃까지 12 시간에 걸쳐 승온 조건 102 ℃/hr에 따라 천천히 승온시킨 후, 1250 ℃에서 12 시간 동안 반응시켰다. 그런 다음, 연속적으로 반응온도 1200 ℃에서 11 시간 동안 반응시킨 후, 24시간에 걸쳐 상온까지 천천히 식혀주어 도 2와 같은 은백색 또는 은회색의 비소화규소(Silicon-Arsenide, SiAs) 결정을 수득하였다.
| 화학식 | Si 분말: As 분말 함량 | 승온조건 | 반응온도(℃) | 반응시간(hr) | 냉각시간(hr) |
| SiAs | 0.27 g: 0.73 g | 102 ℃/hr | 1250 | 12 | 24 |
| 1200 | 11 |
<실시예 2> 비소화규소(Silicon-Arsenide, SiAs) 나노시트 제조
도 3b의 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리를 액상박리법으로 박리하여 비소화규소 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지와 같이, 실시예 1에서 용융성장법으로 합성된 상기 비소화규소 화합물 반도체 결정 덩어리인 벌크 결정(bulk crystal)을 막자사발을 이용하여 작은 결정으로 분쇄하기 위해 갈아주었다(grinding).
상기 작은 결정으로 분쇄된 상기 비소화규소 결정 20 mg을 유기용매인 10 mL의 NMP(N-methyl-2-pyrrolidone, Sigma-Aldrich, anhydrous, 99.5%)에 첨가하여 비소화규소 결정이 분산된 용액을 준비하였다. 그런 다음, 용액이 담긴 반응기를 일반 초음파 장치(Hwashin 605, 40 kHz, 350 W)에서 2 시간 동안 초음파 처리하였다. 그런 다음, 진폭 20 %에서 작동하는 고밀도 프로브 초음파 장치(Sonics VCX-130; 20 kHz, a maximum power output of 130 W)에 배치하였다. 상기 용액이 담긴 반응기를 온도 조절기가 있는 서큘레이터에 연결한 냉수통(water jacket)에 놓고, 반응기 온도를 4 ℃로 유지하였다. 상기 고밀도 프로브 초음파 장치의 초음파 팁은 과도한 가열을 방지하기 위하여 10 초 동안 반응시키고 2 초 동안 휴식기를 갖는 방식으로 2 시간 동안 고밀도 프로브 초음파 장치를 이용하여 상기 비소화규소 결정을 박리하였다. 박리가 끝나면 20 분 동안 3000 rpm으로 원심 분리하여 박리된 비소화규소 나노시트가 들어있는 상층 액체를 수집하였다. 상기 상층 액체에서 유기용매를 증발시킨 후 장축 2 내지 10 ㎛, 두께 1 내지 30 nm의 비소화규소 나노시트를 파우더 형태로 수득하였다.
<실시예 3> 양극 알루미나 표면에 비소화규소(SiAs) 벌크 박막 형성
상기 실시예 1에서 제조한 비소화규소 결정이 분산된 분산액을 기공크기 20 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide (AAO)) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 감압필터를 진행한 뒤 건조하여 양극 알루미나 표면에 비소화규소(SiAs) 벌크 박막을 형성하였다.
<실시예 4> 양극 알루미나 표면에 비소화규소(SiAs) 나노시트 형성
상기 실시예 2의 박리된 비소화규소 나노시트가 들어있는 상층 액체를 기공크기 20 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide (AAO)) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 감압필터 후 건조하여 양극 알루미나 표면에 비소화규소(SiAs) 나노시트를 형성하였다.
<비교예 1> 비소화규소-규소 혼합물질 제조
용융성장법 합성 시 반응온도 500 ℃로 합성하는 것을 제외하고, 실시예 1과 같은 방법으로 합성하여 비소화규소-규소 혼합물질을 제조하였다. 상기 비소화규소-규소 혼합물질은 파우더 상태이거나 결정화가 이루어지지 않았다.
<비교예 2> 비소화규소-규소 혼합 박막 제조
상기 비교예 1의 비소화규소-규소 혼합물질을 사용하는 것을 제외하고, 실시예 2와 같은 방법으로 박리하여 비소화규소-규소 혼합 박막을 수득하였다. 상기 비소화규소-규소 혼합 박막은 바스라지는 형태로 수득되었다.
<제조예> 소스-드레인 2 전극 제조
상기 실시예 2에서 제조한 비소화규소 나노시트를 사용하여 소스-드레인 2 전극을 8개의 개별 전극으로 구성하였고, 상기 8개의 개별 전극의 배치는 비소화규소 결정을 기저면(basal plane) 방향에서 보았을 때 사방 8개의 방향으로 배치되어, 물리적인 개별 전극의 배치가 결정 구조와 연관되도록 배치하였다.
상기 소스-드레인 2전극은 이산화규소(SiO2) 부도체 위에 소스(source)와 드레인(drain)으로 구성된 2전극 구조로 제조되었다.
상기 비소화규소 나노시트를 사용한 소스-드레인 2전극의 구성 방법은 스카치 테이프 스탬프법(Polydimethylsiloxane, PDMS)을 이용해 상기 비소화규소 나노시트를 플라스틱 기판에 옮긴 후 전자빔 석판기술(E-beam lithography) 방법을 이용해서 전극을 제조하였다.
<실험예>
합성한 비소화규소 결정 및 상기 비소화규소 결정을 박리하여 얻은 비소화규소 나노시트의 밴드갭, 형태 및 결정상을 관찰하고 격자 구조를 분석하기 위해 UV-Vis-NIR spectrometer(Agilent Cary 5000), SEM(Hitachi S-4700), 포항 방사성 가속기 XRD(9B beam line of the Pohang Light Source (PLS), 또는 Cu Kα radiation(λ = 1.54056 Å)를 사용하는 실험실용 XRD(Rigaku D/MAX-2500 V/PC), TEM(FEI TECNAI G2 200kV), High-Voltage TEM HVEM(Jeol JEM ARM 1300S, 1.25 MV) 등의 장비를 이용하였다.
<실험예 1> 비소화규소 나노시트의 X-선 회절(XRD) 패턴 측정
상기 실시예 1에서 제조한 비소화규소 결정 및 상기 실시예 2에서 제조한 비소화규소 나노시트의 X-선 회절(XRD) 패턴을 측정하였다.
도 4는 실시예 1에서 제조한 비소화규소 결정 및 상기 실시예 2에서 제조한 비소화규소 나노시트의 XRD 회절 패턴이다. 도 4의 실시예 1의 비소화규소 결정 및 실시예 2의 비소화규소 나노시트의 X-선 회절(XRD, X-Ray Diffraction) 패턴을 얻기 위하여, 포항 방사성 가속기 XRD(9B beam line of the Pohang Light Source (PLS), 또는 Cu Kα radiation(λ = 1.54056 Å)를 사용하는 실험실용 XRD(Rigaku D/MAX-2500 V/PC)를 사용하였다.
도 4의 하부 계산값은 VESTA 프로그램(http://jp-minerals.org /vesta/en/)을 사용하여 비소화규소(SiAs)의 계산된 XRD 패턴을 생성한 것이고, 도 4의 상부 측정값은 상기 실시예 1에서 얻은 비소화규소 결정의 XRD 패턴과 상기 실시예 2에서 얻은 비소화규소 나노시트의 XRD 패턴으로 모두 동일한 XRD 패턴임을 확인하였다. 비소화규소(SiAs)의 계산된 XRD 패턴의 격자상수(a = 15.979 Å, b = 3.668 Å, c = 9.529 Å, β = 106 °)는 합성한 비소화규소 나노시트의 측정된 XRD 패턴의 격자상수(a = 15.979 Å, b = 3.668 Å, c = 9.529 Å, β = 106 °)와 일치하는 것을 확인할 수 있었다.
상기 XRD 분석으로부터, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 결정의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 이였다.
여기서, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 실시예 1에서 제조된 비소화규소(Silicon-Arsenide) 결정의 Cu k∝ 파장 (=1.54056 nm)에서 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 29.9 °에서 나타나고, 피크의 회절각2θ는 12.8 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 25.9 °에서 나타났다.
그리고, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 실시예 1에서 제조된 비소화규소(Silicon-Arsenide) 결정의 격자상수 a는 15.979 Å이고, 격자상수 b는 3.668 Å이고, 격자상수 c는 9.529 Å이고, 격자상수 β는 106 °이였다.
또한, 상기 XRD 분석으로부터, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 이였다.
여기서, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 실시예 2에서 제조된 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 Cu k∝ 파장 (λ = 1.54056 nm)에서 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 29.9 °에서 나타나고, 피크의 회절각2θ는 12.8 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 25.9 °에서 나타났다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 이였다.
그리고, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 실시예 2에서 제조된 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 격자상수 a는 15.979 Å이고, 격자상수 b는 3.668 Å이고, 격자상수 c는 9.529 Å이고, 격자상수 β는 106 °이였다.
상기 실시예 1에서 제조된 비소화규소 결정의 결정상과 상기 실시예 2에서 제조된 비소화규소 나노시트의 결정상은 단사정계로 동일한 결정상을 나타내었다.
<실험예 2> 비소화규소 나노시트의 SEM 이미지 측정
상기 실시예 2에서 제조된 비소화규소 나노시트의 형태를 알기 위하여 주사전자현미경(SEM, 장비: Hitachi S-4700)으로 측정하였다.
도 5a의 주사전자현미경(SEM) 이미지로부터 상기 실시예 2에서 제조된 비소화규소 나노시트는 얇은 판이 겹겹이 쌓여 있는 구조로 이루어진 것을 확인할 수 있었다.
상기 얇은 판이 겹겹이 쌓여 있는 구조의 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 전체 두께는 2 ㎛ 내지 9 ㎛ 이였다.
<실험예 3> 비소화규소 나노시트의 TEM 이미지 측정
상기 실시예 2에서 제조된 비소화규소 나노시트의 형태를 알기 위하여 투과전자현미경(TEM, 장비: TEM(FEI TECNAI G2 200kV) 및 High-Voltage TEM HVEM(Jeol JEM ARM 1300S, 1.25 MV))으로 측정하였다.
도 5b 및 도 5c의 투과전자현미경(TEM) 이미지 및 SAED 점패턴으로부터 상기 비소화규소 나노시트는 단결정임을 확인할 수 있었다.
여기서, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트가 단결정(single crystal)인 것은 투과전자현미경(TEM)의 FFT(Fast Fourier Transform) 이미지와 SAED(Selected Area Electron Diffraction) 패턴에서 전자빔이 단결정에 의해 회절되어 점 형상으로 분리되어 보이는 것으로부터 확인할 수 있었다.
또한, 상기 비소화규소 나노시트 각각의 단분자층은 반데르발스 상호작용으로 단분자층이 쌓이며 2 Å 간격으로 떨어진 층상구조 또는 시트구조를 이루었다.
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간거리(L)는 2 Å 이였다.
그리고, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 (112) 면간거리 d112는 2.7 Å이라는 것을 확인할 수 있었다.
상기 격자 분해능 투과전자현미경과 고속 퓨리에 변환 (Fast-Fourier Transform, FFT) 분석 결과 정대축에서 [102] 방향은 [010] 방향에 수직이며 d112는 2.7 Å 라는 것을 확인하였다.
또한, 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 두께는 2 nm 내지 20 nm 이였다.
<실험예 4> 비소화규소 나노시트의 규소 원소와 비소 원소 분포 및 조성비율 측정
비소화규소 나노시트의 규소 원소와 비소 원소 분포 및 조성비율을 측정하기 위하여 HAADF (High-angle annular dark field) STEM (scanning transmission electron microscopy) 이미지, EDX 맵핑 이미지 및 EDX 원소 함량 분석하였다.
도 5d는 HAADF (High-angle annular dark field) STEM (scanning transmission electron microscopy) 이미지 및 EDX 맵핑 이미지로 규소(Si) 원소와 비소(As) 원소가 상기 비소화규소 나노시트 전체에 균일하게 분포한 것을 확인할 수 있었다.
또한, 상기 EDX 원소 함량 분석 결과로부터 상기 규소(Si) 원소와 비소(As) 원소는 몰비(Si:As)가 1:1로 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트를 구성함을 확인할 수 있었다. 상기 EDX 스펙트럼 분석 결과 규소(Si) 원소와 비소(As) 원소의 비율이 1:1 임을 확인할 수 있었다.
<실험예 5> 비소화규소 결정 및 비소화규소 나노시트의 밴드갭 측정
도 6은 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 결정 및 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 측정한 흡수 모드에서의 확산 반사 스펙트럼이다.
상기 실시예 3에서 제조한 양극 알루미나 표면에 형성된 비소화규소 결정 및 상기 실시예 4에서 제조한 양극 알루미나 표면에 형성된 비소화규소 나노시트의 밴드갭을 흡수모두에서 확산 반사 스펙트럼(측정장비: UV-Vis-NIR spectrometer; Agilent Cary 5000)으로 측정하였다.
도 6과 같이, 상기 실시예 3의 비소화규소 결정의 밴드갭은 1.35 eV(파장 환산시 918 nm)이고, 상기 실시예 4의 비소화규소 나노시트의 밴드갭은 2.21 eV(파장 환산시 560.5 nm)이였다.
여기서, 상기 실시예 4의 비소화규소 나노시트의 밴드갭은 2.21 eV(파장 환산시 560.5 nm)으로 가시광선 영역대의 밴드갭을 나타내었다.
<실험예 6> 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 물성 및 평가
도 7a는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 소스-드레인 2 전극의 구성을 비소화규소 결정구조를 이용하여 구성한 모식도이다.
여기서, 상기 제조예에서 제조한 소스-드레인 2 전극을 8개의 개별 전극으로 구성하였고, 상기 8개의 개별 전극의 배치는 비소화규소 결정의 기저면(basal plane) 방향에서 사방 8개의 방향으로 배치하였다. 그리고, 상기 소스-드레인 2 전극은 스카치 테이프 스탬프법(Polydimethylsiloxane, PDMS)으로 상기 비소화규소 나노시트를 플라스틱 기판에 옮긴 후 전자빔 리소그라피(E-beam lithography) 방법을 이용하여 제조하였다.
도 7b는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이다.
도 7b는 도 7a의 모식도에 따라 비소화규소 나노시트를 사용한 전극을 형성하여 측정한 SEM 이미지이다.
여기서, 도 7a의 X축, Y축 방향을 기준으로 나타낸 소스-드레인 2 전극의 모식도와 도 7b의 X축, Y축 방향을 기준으로 측정한 SEM 이미지는 서로 대응되었다.
그리고, 상기 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 SEM 장비(SEM: Hitachi, S4800, EBL: TESCAN, MIRA3)로 전극의 이미지로서 사방 8개의 방향으로 개별 전극이 배치됨을 확인할 수 있었다.
도 7c는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극에서 상기 도 7a의 모식도의 Y 방향에서 광전류(Photocurrent)를 측정한 그래프이다.
여기서, 상기 광전류는 상기 도 5a의 모식도에 표시한 개별 전극에 투입되는 빛의 전력밀도(power density, W/m2)에 따라 광전류(Photocurrent)가 증가되었다. 그리고, 광전류 측정 장비로는 광전류 측정기(Agilent E5270)가 사용되었다.
상기 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 밴드갭은 1.37 eV 내지 2.21 eV 로서 반도체 특성을 나타냈다.
도 7c는 Y축 방향인 1번 전극을 전압이 낮은 소스, 6번 전극을 전압이 높은 드레인으로 하여 측정한 광전류 데이터로서, 투입되는 빛의 전력밀도(power density, W/m2)에 따라 광전류(Photocurrent)가 많이 증가하였다.
도 7d는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극에서 상기 도 7a의 모식도의 X 방향에서 광전류(Photocurrent)를 측정한 그래프이다.
도 7d는 X축 방향인 3번 전극을 전압이 낮은 소스, 9번 전극을 전압이 높은 드레인으로 하여 측정한 광전류 데이터로서, 투입되는 빛의 전력밀도(power density, W/m2)에 따라 광전류(Photocurrent)가 조금 증가하였다.
도 7c 및 도 7d에서 보여지는 것과 같이, 비소화규소 나노시트의 비등방성(Anisotropic) 성질 중 하나인 광전류(Photocurrent) 차이를 보여주고 있고, 상기 광전류가 많이 증가 또는 조금 증가하는 비등방성으로 차이를 나타내는 것은 비소화규소 나노시트를 순수한 결정상으로 제조하였기 때문이다. 그리고, 상기 비등방성은 결정상에 의존하는 캐리어 이동도 및 양자 효과에 영향을 미칠 수 있었다. 따라서, 상기 순수한 결정상의 비소화 나노시트는 캐리어 이동도 및 양자 효과 등이 극대화될 수 있었다.
여기서, 비소화규소 나노시트는 순수한 결정상으로 제조될 수 있어, 광전류 등의 데이터가 비등방성으로 측정되고, 이에 따라 캐리어 이동도 및 양자 효과 등이 극대화될 수 있었다.
도 7e는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 원자현미경(Atomic Force Microscope, AFM) 이미지이다.
도 7f는 본 발명의 실시예를 따르는 비소화규소 나노시트를 사용한 전극의 높이를 원자현미경(Atomic Force Microscope, AFM)으로 측정한 그래프이다.
도 7e 및 도 7f는 원자현미경(AFM; Park system, XE-100)의 고저 높이 윤곽선 측정법(height profiling)로서, 비접촉 모드(Non-contact mode)에서 전극 이미지와 전극 높이를 측정한 결과, 실제 전극의 높이가 18.7 nm의 얇은 나노 시트임을 확인할 수 있었다.
이상으로 본 발명 내용의 특정한 부분을 상세히 기술하였는 바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서, 이러한 구체적 기술은 단지 바람직한 실시 양태일 뿐이며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백할 것이다. 따라서 본 발명의 실질적인 범위는 첨부된 청구항들과 그것들의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.
Claims (17)
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- 규소(Si) 분말과 비소(As) 분말을 몰비(Si:As) 1:5 내지 5:1로 혼합하여 반응물을 준비하는 단계;
상기 반응물을 석영 앰플에 넣고 진공상태로 밀봉하는 단계;
온도 조절되는 전기로 안에 상기 반응물이 들어있는 석영 앰플을 넣고 반응온도 1000 내지 1300 ℃, 반응시간 6 내지 24 시간의 1 단계 반응 및 반응온도 1100 내지 1400 ℃, 반응시간 6 내지 24 시간의 2 단계 반응의 연속 반응으로 고온용융하여 결정을 성장시키는 방법으로 합성하여 비소화규소 결정을 수득하는 단계;
상기 비소화규소 결정을 유기용매에 넣고, 2 내지 10 ℃의 온도에서 초음파장치를 사용하여 단속적으로 1 내지 5 시간 동안 초음파처리하여 나노시트로 박리하는 단계; 및
박리 끝난 용액을 원심분리하여 상층의 액체를 수집한 후, 상기 액체의 유기용매를 증발시켜 비소화규소 나노시트 분말을 수득하는 단계를 포함하는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전자소자용 비소화규소 나노시트 제조방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 결정의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상인 것인
비소화규소 나노시트 제조방법.
- 제 13 항에 있어서,
상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상인 것인
비소화규소 나노시트 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,
상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 결정의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 29.0 °내지 31.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 12.0 °내지 14.0 °에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 25.0 °내지 27.0 °에서 나타나는 것인
비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,
상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 비소화규소(Silicon-Arsenide) 나노시트의 격자상수 a는 15.979 Å 이고, 격자상수 b는 3.668 Å 이고, 격자상수 c는 9.529 Å 이고, 격자상수 β는 106 °인 것을 특징으로 하는
비소화규소 나노시트 제조방법.
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|---|
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Also Published As
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