KR102587708B1 - 유기발광 표시장치, 그를 포함한 헤드 장착형 디스플레이 및 그의 제조방법 - Google Patents

유기발광 표시장치, 그를 포함한 헤드 장착형 디스플레이 및 그의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치는 기판 상에 배치된 애노드 전극, 및 애노드 전극 사이에 배치된 부도체막을 구비하고, 애노드 전극과 부도체막은 금속 산화물을 포함하며, 단차 없이 평탄하게 구비된다. 따라서, 본 발명의 실시예는 비발광 영역들이 격자 패턴으로 보여지는 것을 방지할 수 있는 유기발광 표시장치, 그를 포함한 헤드 장착형 디스플레이 및 그의 제조방법을 제공할 수 있다.

Description

유기발광 표시장치, 그를 포함한 헤드 장착형 디스플레이 및 그의 제조방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE, HEAD MOUNTED DISPLAY INCLUDING THE SAME AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명의 실시예는 유기발광 표시장치, 그를 포함한 헤드 장착형 디스플레이 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 영상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 따라, 최근에는 액정 표시장치(LCD: Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시장치(PDP: Plasma Display Panel), 유기발광 표시장치(OLED: Organic Light Emitting Display)와 같은 여러가지 표시장치가 활용되고 있다.
표시장치들 중에서 유기발광 표시장치는 자체발광형으로서, 액정 표시장치(LCD)에 비해 시야각, 대조비 등이 우수하며, 별도의 백라이트가 필요하지 않아 경량 박형이 가능하며, 소비전력이 유리한 장점이 있다. 또한, 유기발광 표시장치는 직류저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 특히 제조비용이 저렴한 장점이 있다.
유기발광 표시장치는 애노드 전극들, 애노드 전극들을 구획하는 뱅크, 및 애노드 전극들 상에 형성되는 정공 수송층(hole transporting layer), 유기 발광층(organic light emitting layer), 전자 수송층(electron transporting layer), 및 전자 수송층 상에 형성되는 캐소드 전극을 포함한다. 여기서, 애노드 전극에 고전위 전압이 인가되고 캐소드 전극에 저전위 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 유기 발광층으로 이동되며, 유기 발광층에서 서로 결합하여 발광하게 된다.
한편, 최근에는 유기발광 표시장치를 포함한 헤드 장착형 디스플레이(head mounted display)가 개발되고 있다. 헤드 장착형 디스플레이(Head Mounted Display, HMD)는 안경이나 헬멧 형태로 착용하여 사용자의 눈 앞에 가까운 거리에 초점이 형성되는 가상현실(Virtual Reality, VR)의 안경형 모니터 장치이다.
그러나, 헤드 장착형 디스플레이와 같이 시청거리가 가까운 디스플레이 장치의 경우, 도 1에서처럼 비발광영역들의 격자 패턴이 사용자에게 인지될 수 있다.
본 발명의 실시예는 뱅크를 삭제함으로써, 비발광 영역들이 격자 패턴으로 보여지는 것을 방지할 수 있는 유기발광 표시장치, 그를 포함한 헤드 장착형 디스플레이 및 그의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치는 기판, 상기 기판 상에 배치된 애노드 전극, 상기 애노드 전극 사이에 배치된 부도체막, 상기 애노드 전극과 상기 부도체막 상에 배치된 발광층, 및 상기 발광층 상에 배치된 캐소드 전극을 구비한다. 이 경우, 애노드 전극과 부도체막은 금속 산화물을 포함하며, 단차 없이 평탄하게 구비된다.
본 발명의 실시예에 따른 헤드 장착형 디스플레이는 금속 산화물을 포함하며, 단차 없이 구비된 애노드 전극과 부도체막이 구비된 유기발광 표시장치, 상기 유기발광 표시장치를 수납하는 디스플레이 수납 케이스, 및 상기 수납 케이스의 일 측에 배치되고, 상기 유기발광 표시장치의 영상이 제공되는 좌안 렌즈와 우안 렌즈를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법은 기판 상에 애노드 전극 및 상기 애노드 전극 사이에 배치되는 부도체막을 구비하는 단계, 상기 애노드 전극과 상기 부도체막 상에 발광층을 구비하는 단계, 및 상기 발광층 상에 캐소드 전극을 구비하는 단계를 포함하고, 상기 애노드 전극과 상기 부도체막은 금속 산화물을 포함하며, 단차 없이 평탄하게 구비된다.
본 발명의 실시예는 애노드 전극과 부도체막이 금속 산화물을 포함하고, 단차 없이 평탄하게 구비되기 때문에, 애노드 전극의 끝단에 누설 전류가 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 뱅크를 삭제할 수 있으며, 서로 이웃한 애노드 전극들 사이의 거리를 줄일 수 있다. 그 결과, 본 발명의 실시예는 비발광 영역들이 격자 패턴으로 보여지는 것을 방지할 수 있으며, 유기발광 표시장치의 해상도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 서로 이웃한 애노드 전극들 사이의 거리를 줄일 수 있기 때문에, 뱅크가 구비되는 종래와 비교하여 표시패널의 개구율을 증가시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 유기발광 표시패널의 셀 갭을 줄임으로써, 이웃한 화소 영역 간에 발생되는 혼색 불량을 방지할 수 있으며, 유기발광 표시패널의 두께를 슬림화 할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 애노드 콘택홀과 드레인 콘택홀이 서로 중첩되지 않기 때문에, 애노드 콘택홀에 의해 노출된 드레인 전극의 상면이 평탄한 면을 가질 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 애노드 콘택홀과 드레인 콘택홀이 서로 중첩된 종래와 비교하여, 드레인 전극 상에 구비되는 애노드 전극, 발광층 및 캐소드 전극 각각이 단락 되지 않고 균일한 두께를 갖도록 구비될 수 있다. 그 결과, 본 발명의 실시예는 애노드 전극과 캐소드 전극의 접촉불량(short)을 방지할 수 있으며, 유기발광 표시장치의 수명이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
위에서 언급된 본 발명의 효과 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 헤드 장착형 디스플레이로 표시된 영상의 격자 패턴을 보여주는 일 예시도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치를 보여주는 일 예시도면이다.
도 3은 도 2의 표시영역의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 3의 I-I'의 제1 예를 보여주는 단면도이다.
도 5는 도 4의 A 영역을 상세하게 보여주는 확대도이다.
도 6은 도 3의 I-I'의 제2 예를 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 6의 B 영역을 상세하게 보여주는 확대도이다.
도 8은 도 3의 I-I'의 제3 예를 보여주는 단면도이다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 실시예에 따른 헤드 장착형 디스플레이를 보여주는 예시도면들이다.
도 10은 도 9의 디스플레이 수납 케이스의 일 예를 보여주는 예시도면이다.
도 11은 도 9의 디스플레이 수납 케이스의 일 예를 보여주는 예시도면이다.
도 12는 도 4에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다.
도 13a 내지 13e는 도 12의 일 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 14a 내지 14c는 도 12의 다른 예에 따른 S101 단계를 설명하기 위한 유기발광 표시장치의 단면도들이다.
도 15a 내지 도 15c는 도 6의 유기발광 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 16a 내지 도 16d는 도 8의 일 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 17a 내지 도 17d는 도 8의 다른 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제 1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. "적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다. "상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우 뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.
이하에서는 본 발명에 따른 유기발광 표시장치, 그를 포함한 헤드 장착형 디스플레이 및 그의 제조방법의 바람직한 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치를 보여주는 일 예시도면이다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치는 유기발광 표시패널(100), 게이트 구동부(200), 디스플레이 드라이버(display driver, 310), 및 연성필름(330)을 포함한다.
유기발광 표시패널(100)은 기판(110)과 대향기판(180)을 포함한다. 기판(110)은 박막 트랜지스터 기판일 수 있다. 대향기판(180)은 컬러필터 기판일 수 있다. 기판(110)은 대향기판(180)보다 크게 형성될 수 있으며, 이로 인해 기판(110)의 일부는 대향기판(180)에 의해 덮이지 않고 노출될 수 있다.
유기발광 표시패널(100)의 표시영역(DA)에는 게이트 라인들, 데이터 라인들 및 발광영역들이 형성된다. 게이트 라인들과 데이터 라인들은 서로 교차하게 형성된다. 예를 들어, 게이트 라인들은 제1 방향(Y축 방향)으로 형성되고, 데이터 라인들은 제2 방향(X축 방향)으로 형성될 수 있다. 발광영역들은 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차영역들에 형성된다. 표시영역(DA)의 발광영역들은 영상을 표시한다. 표시영역(DA)에 대한 자세한 설명은 도 3 내지 도 8을 결부하여 후술한다.
게이트 구동부(200)는 디스플레이 드라이버(310)로부터 입력되는 게이트 제어신호에 따라 게이트 라인들에 게이트 신호들을 공급한다. 게이트 구동부(200)는 유기발광 표시패널(100)의 표시영역(DA)의 일 측 바깥쪽의 비표시영역(NDA)에 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성되거나, 구동 칩으로 제작되어 연성필름에 실장되고 TAB(tape automated bonding) 방식으로 유기발광 표시패널(100)의 표시영역(DA)의 일 측 바깥쪽의 비표시영역(NDA)에 부착될 수도 있다.
디스플레이 드라이버(310)는 외부의 시스템 보드로부터 디지털 비디오 데이터와 타이밍 신호를 입력받는다. 디스플레이 드라이버(310)는 타이밍 신호에 기초하여 게이트 구동부(200)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 제어신호와 데이터 라인들에 데이터 전압들의 공급을 제어하기 위한 소스 제어신호를 발생한다. 디스플레이 드라이버(310)는 게이트 제어신호를 게이트 구동부(200)에 공급한다.
디스플레이 드라이버(310)는 소스 제어신호에 따라 디지털 비디오 데이터를 아날로그 데이터전압들로 변환하여 데이터 라인들에 공급한다. 디스플레이 드라이버(310)가 구동 칩으로 제작되는 경우, COF(chip on film) 또는 COP(chip on plastic) 방식으로 연성필름(330)에 실장될 수 있다.
기판(110)의 크기는 대향기판(180)의 크기보다 크기 때문에, 기판(110)의 일부는 대향기판(180)에 의해 덮이지 않고 노출될 수 있다. 대향기판(180)에 의해 덮이지 않고 노출된 기판(110)의 일부에는 패드들이 형성될 수 있다. 패드들은 데이터 라인들과 접속된 데이터 패드들과 게이트 구동부(200)에 접속된 게이트 패드들을 포함한다. 연성필름(330)에는 패드들과 디스플레이 드라이버(310)를 연결하는 도전성 배선들이 형성될 수 있다. 연성필름(330)은 이방성 도전 필름(antisotropic conducting film)을 이용하여 패드들 상에 부착되며, 이로 인해 패드들과 연성필름(330)의 도전성 배선들이 연결될 수 있다.
도 3은 도 2의 표시영역의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 표시영역(DA)은 발광영역들(RE, GE, BE)과 비발광영역(NEA)을 포함한다.
발광영역들(RE, GE, BE)은 발광층으로부터 소정의 빛을 발광한다. 발광영역들(RE, GE, BE)은 적색 광을 발광하는 적색 발광 영역(RE), 녹색 광을 발광하는 녹색 발광 영역(GE) 및 청색 광을 발광하는 청색 발광 영역(BE)을 포함할 수 있다. 이 경우, 적색 발광 영역(RE), 녹색 발광 영역(GE) 및 청색 발광 영역(BE)은 하나의 화소로 기능한다. 비발광영역(NEA)은 발광영역들(GE, RE, BE) 각각의 테두리에 마련되어, 발광영역들(GE, RE, BE)을 구획한다. 본 발명의 실시예에 따른 비발광영역(NEA)에는 부도체막이 배치될 수 있다. 즉, 발광영역들(RE, GE, BE)은 부도체막에 의해 구획될 수 있다.
본 발명의 실시예는 부도체막이 발광영역들(RE, GE, BE)을 구획하기 때문에, 뱅크가 구비되는 종래와 비교하여 유기발광 표시패널의 개구율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 뱅크가 구비되는 종래와 비교하여 유기발광 표시패널의 셀 갭을 줄일 수 있는 효과가 있다. 상술한 본 발명에 따른 유기발광 표시패널은 도 4 내지 도 7의 실시예들을 참조하여 상세하게 후술된다.
도 4는 도 3의 I-I'의 제1 예를 보여주는 단면도이다. 도 5는 도 4의 A 영역을 상세하게 보여주는 확대도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제1 예에 따른 유기발광 표시패널(100)은 기판(110), 투명접착층(170) 및 대향기판(180)을 포함한다. 기판(110) 상에는 박막 트랜지스터(120), 패시베이션막(130), 평탄화막(140), 유기발광소자(160) 및 봉지막(155)이 마련된다.
기판(110)은 유리기판 또는 플라스틱 기판일 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 TAC(triacetyl cellulose) 또는 DAC(diacetyl cellulose) 등과 같은 셀룰로오스 수지, 노르보르넨 유도체(Norbornene derivatives) 등의 COP(cyclo olefin polymer), COC(cyclo olefin copolymer), PMMA(poly(methylmethacrylate) 등의 아크릴 수지, PC(polycarbonate), PE(polyethylene) 또는 PP(polypropylene) 등의 폴리올레핀(polyolefin), PVA(polyvinyl alcohol), PES(poly ether sulfone), PEEK(polyetheretherketone), PEI(polyetherimide), PEN(polyethylenenaphthalate), PET(polyethyleneterephthalate) 등의 폴리에스테르(polyester), PI(polyimide), PSF(polysulfone), 또는 불소 수지(fluoride resin) 등을 포함하는 시트 또는 필름일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
박막 트랜지스터(120)는 반도체층(121), 게이트 절연막(122), 게이트 전극(123), 층간 절연막(124), 소스 전극(125) 및 드레인 전극(126)을 포함한다. 도 4에서는 게이트 전극(123)이 반도체층(121)의 상부에 위치하는 상부 게이트(탑 게이트, top gate) 방식으로 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않음에 주의하여야 한다. 즉, 박막 트랜지스터(120)들은 게이트 전극(123)이 반도체층(121)의 하부에 위치하는 하부 게이트(보텀 게이트, bottom gate) 방식 또는 게이트 전극(123)이 반도체층(121)의 상부와 하부에 모두 위치하는 더블 게이트(double gate) 방식으로 형성될 수 있다.
반도체층(121)은 기판(110)상에 마련된다. 반도체층(121)은 게이트 전극(123)과 중첩되도록 배치된다. 반도체층(121)은 소스 전극(125) 측에 위치한 일단 영역, 드레인 전극(126) 측에 위치한 타단 영역 및 일단 영역과 타단 영역 사이에 위치한 중심 영역으로 구성될 수 있다. 중심 영역은 도펀트가 도핑되지 않은 반도체 물질로 이루어지고, 일단 영역과 타단 영역은 도펀트가 도핑된 반도체 물질로 이루어질 수 있다.
기판(110)과 반도체층(121) 사이에는 버퍼막(미도시)이 추가로 구비될 수 있다. 버퍼막은 반도체층(121)을 보호하고 반도체층(121)의 계면 접착력을 높이는 기능을 한다. 버퍼막은 복수의 무기막들을 포함할 수 있다.
게이트 절연막(122)은 반도체층(121) 상에 마련된다. 게이트 절연막(122)은 반도체층(121)과 게이트 전극(123)을 절연시키는 기능을 한다. 게이트 절연막(122)은 반도체층(121)을 덮으며 표시영역(DA) 전면에 형성된다. 게이트 절연막(122)은 무기절연물질 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
게이트 전극(123)은 게이트 절연막(122) 상에 마련된다. 게이트 전극(123)은 게이트 절연막(122)을 사이에 두고, 반도체층(121)과 중첩된다. 게이트 전극(123)은 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
층간 절연막(124)은 게이트 전극(123) 상에 마련된다. 층간 절연막(124)은 게이트 전극(123)을 포함한 표시 영역(DA) 전면에 마련된다. 층간 절연막(124)은 게이트 절연막(122)과 동일한 무기절연물질로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
소스 전극(125) 및 드레인 전극(126)은 층간 절연막(124)상에서 서로 이격되어 배치된다. 소스 전극(125)은 층간 절연막(124)과 게이트 절연막(122)을 관통하여 반도체층(121)을 노출시키는 소스 콘택홀(CNT1)을 통해 반도체층(121)의 일단 영역에 접속된다. 드레인 전극(126)은 층간 절연막(124)과 게이트 절연막(122)을 관통하여 반도체층(121)을 노출시키는 드레인 콘택홀(CNT2)을 통해 반도체층(121)의 타단 영역에 접속된다. 이 경우, 소스 콘택홀(CNT1) 및 드레인 콘택홀(CNT2)은 평탄화막(140) 아래에 배치될 수 있다. 이에 따라, 소스 콘택홀(CNT1) 및 드레인 콘택홀(CNT2)은 후술되는 애노드 콘택홀(CNT3)과 중첩되지 않도록 구비될 수 있다.
소스 전극(125) 및 드레인 전극(126)은 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있지만, 이에 한정되지 않는다.
패시베이션막(130)은 박막 트랜지스터(120) 상에 마련된다. 패시베이션막(130)은 박막 트랜지스터(120)를 보호하는 기능을 수행한다. 패시베이션막(130)은 예를 들어, 무기절연물질 SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
평탄화막(140)은 패시베이션막(130) 상에 마련된다. 평탄화막(140)은 패시베이션막(130)의 상면 및 측면들 모두를 덮도록 구비될 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않으며, 평탄화막(140)은 패시베이션막(130)의 상면만을 덮도록 구비될 수도 있다. 평탄화막(140)은 박막 트랜지스터(120)가 마련되어 있는 기판(110)의 상부를 평탄하게 해주는 기능을 수행한다. 평탄화막(140)은 유기절연물질 예를 들어, 아크릴계 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 폴리이미드계 수지(polyimides resin)등으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
패시베이션막(130)과 평탄화막(140)에는 박막 트랜지스터(120)의 드레인 전극(126)을 노출시키는 애노드 콘택홀(CNT3)이 구비되어 있다. 애노드 콘택홀(CNT3)은 반도체층(121), 게이트 절연막(122), 층간 절연막(124), 및 드레인 전극(126)과 중첩되는 위치에 마련된다. 또한, 애노드 콘택홀(CNT3)은 드레인 콘택홀(CNT2)과 중첩되지 않도록 구비된다. 이에 따라, 애노드 콘택홀(CNT3)에 의해 노출되는 드레인 전극(126)의 상면은 평탄한 면을 가질 수 있다. 애노드 콘택홀(CNT3) 상에는 애노드 전극(161)이 구비된다.
유기발광소자(160)는 평탄화막(140)상에 마련된다. 유기발광소자(160)는 애노드 전극(161), 발광층(167), 및 캐소드 전극(169)를 포함한다.
애노드 전극(161)은 평탄화막(140)상에 마련된다. 애노드 전극(161)은 유기발광 표시패널(100)의 발광영역들(RE, GE, BE)에 배치된다. 애노드 전극(161)은 평탄화막(140)을 관통하여 드레인 전극(126)을 노출시키는 애노드 콘택홀(CNT3)을 통해 드레인 전극(126)에 접속된다. 이 경우, 드레인 전극(126)의 상면이 평탄하기 때문에, 드레인 전극(126) 상에 구비되는 애노드 전극(161)은 단락되지 않고, 균일한 표면을 갖도록 구비될 수 있다.
서로 이웃하는 애노드 전극(161)들 사이에는 부도체막(162)이 구비될 수 있다. 부도체막(162)은 애노드 전극(161)들을 구획한다. 애노드 전극(161)과 부도체막(162)은 금속 산화물을 포함한다. 애노드 전극(161)과 부도체막(162)을 구성하는 금속 산화물은 예를 들어, IGZO(indium gallium zinc oxide), IGO(indium gallium oxide), ITZO(indium tin zinc oxide), ZON(zinc oxinitride), IZO(indium zinc oxide) 또는 IXZO(X= Ti, Ta, Hf, Zr) 일 수 있다. 애노드 전극(161)과 부도체막(162)은 상술한 바와 같은 물질들 중 어느 하나를 평탄화막(140) 상에 도포한 후 불순물을 주입하여, 도체화 또는 부도체화 시킴으로서 구비될 수 있다.
부도체막(162)은 애노드 전극(161)으로부터 연장되어 유기발광 표시패널(100)의 비발광영역(NEA)에 배치될 수 있다. 애노드 전극(161)과 부도체막(162)은 서로 접촉되어 있다. 이 경우, 애노드 전극(161)과 부도체막(162) 사이의 경계부(BA)에는 단차가 발생되지 않을 수 있다. 즉, 애노드 전극(161)과 부도체막(162)은 단차 없이 평탄하게 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예는 애노드 전극(161)과 부도체막(162)이 단차 없이 평탄하게 구비되기 때문에, 애노드 전극(161)의 끝단부에 누설 전류(current leakage)가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 뱅크를 삭제할 수 있다.
애노드 전극(161) 아래에는 보조 애노드 전극(163)이 추가로 구비될 수 있다. 보조 애노드 전극(163)은 애노드 전극(161)과 동일한 폭을 갖도록 구비될 수 있다. 이 경우, 보조 애노드 전극(163)의 측면(163a)은 부도체막(162)에 의해 덮인다. 보조 애노드 전극(163)은 반사효율이 우수한 금속물질 예를 들어, 알루미늄(Al), 은(Ag), APC(Ag;Pb;Cu) 등을 포함하는 적어도 하나 이상의 층으로 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예는 보조 애노드 전극(163)의 측면(163a)이 부도체막(162)에 의해 덮이기 때문에, 뱅크를 구비하지 않으면서 보조 애노드 전극(163)의 측면(163a)에 누설 전류(current leakage)가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상술한 애노드 전극(161)과 부도체막(162)을 제조하는 방법은 도 12 내지 도 17을 이용하여 후술된다.
발광층(167)은 애노드 전극(161)과 부도체막(162) 상에 구비된다. 이 경우, 애노드 콘택홀(CNT3)에 구비된 애노드 전극(161) 상부에도 발광층(167)이 구비된다. 발광층(167)은 정공 수송층(hole transporting layer), 유기 발광층(organic light emitting layer), 및 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 나아가, 발광층(167)에는 발광층의 발광 효율 및/또는 수명 등을 향상시키기 위한 적어도 하나 이상의 기능층이 더 포함될 수도 있다.
발광층(167)은 백색 광을 발광하는 백색 발광층만을 포함할 수 있으며, 이 경우 백색 발광층은 표시영역(DA)의 전면(全面)에 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다.
캐소드 전극(169)은 발광층(167)을 덮도록 발광층(167) 상에 마련된다. 이 경우, 애노드 콘택홀(CNT3) 상에 구비된 발광층(167) 상에도 캐소드 전극(169)이 마련될 수 있다. 애노드 전극(161)과 캐소드 전극(169)에 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 유기 발광층으로 이동하게 되며, 유기 발광층에서 서로 결합하여 발광하게 된다.
본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치는 상부 발광(top emission) 방식으로 구현될 수 있다. 상부 발광 방식에서는 발광층(167)의 빛이 대향기판(180) 방향으로 발광하므로, 박막 트랜지스터(120)들이 애노드 전극(161)과 부도체막(162) 아래에 넓게 마련될 수 있다. 즉, 상부 발광 방식은 하부 발광(bottom emssion) 방식에 비해 박막 트랜지스터(120)들의 설계 영역이 넓다는 장점이 있다. 나아가, 상부 발광 방식에서는 발광층(167)의 빛이 대향기판(180) 방향으로 발광하므로, 캐소드 전극(169)은 빛을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질로 형성되거나, 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)과 같은 반투명 금속물질로 형성될 수 있다.
봉지막(155)은 캐소드 전극(169) 상에 마련된다. 봉지막(155)은 발광층(167)과 캐소드 전극(169)에 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지하는 기능을 한다. 이를 위해, 봉지막(155)은 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막을 포함할 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 캐소드 전극(169) 상에 봉지막(155)이 구비되지 않을 수도 있다. 이 경우, 투명접착층(170)이 봉지막(155)을 대신하여, 발광층(167)과 캐소드 전극(169)에 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지하고, 기판(110)의 상부를 평탄하게 해주는 기능을 수행한다.
투명접착층(170)은 기판(110)과 대향기판(180) 사이에 마련된다. 기판(110)과 대향기판(180)은 투명접착층(170)에 의해 합착된다. 투명접착층(170)은 투명한 접착 레진일 수 있다.
대향기판(180)에는 컬러필터(CF: Color Filter)들이 구비된다. 컬러필터들(RC, GC, BC)은 기판(110)과 마주보는 대향기판(180)의 일면에 마련된다. 컬러필터들(RC, GC, BC)은 유기발광 표시패널(100)에서 컬러를 구현하기 위해 사용된다. 유기발광소자(160)로부터 발광되는 빛은 컬러필터들(RC, GC, BC)을 통과하여 상부로 발광된다.
대향기판(180) 상에는 편광판(185)이 추가로 부착될 수 있다. 편광판(185)은 외부광이 기판(110)의 캐소드 전극(169)과 애노드 전극(161)에 의해 사용자에게 반사되는 것을 방지하기 위한 것이다. 즉, 본 발명의 실시예는 대향기판(180) 상에 편광판(185)을 부착함으로써, 외부광으로 인해 발광영역들(RE, GE, BE)이 표시하는 영상의 시인성이 낮아지는 것을 방지할 수 있다.
추가적으로, 대향기판(180)에는 블랙 매트릭스(Black Matrix)가 구비될 수 있다. 블랙 매트릭스(Black Matrix)는 컬러필터들(RC, GC, BC)들 사이에 위치된다. 블랙 매트릭스(Black Matrix)는 컬러필터들(RC, GC, BC)의 빛을 구분하거나, 차단하는 기능을 수행한다. 블랙 매트릭스(Black Matrix)는 유기발광 표시패널(100)의 비발광영역(NEA)에 배치된다. 즉, 블랙 매트릭스(Black Matrix)는 부도체막(162)과 마주보도록 배치된다. 이 경우, 블랙 매트릭스의 폭은 부도체막(162)의 폭과 동일하거나 작을 수 있다.
또한, 대향기판(180)에는 컬러필터들(RC, GC, BC)과 투명접착층(170) 사이에는 대향기판(180)을 평탄화시키기 위한 오버코팅층이 구비될 수 있다. 또한, 오버코팅층 상에는 기판(110) 및 대향기판(180) 사이의 셀갭(Cell gap)을 일정하게 유지시켜주기 위한 컬럼 스페이서가 형성될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 투명접착층(170)이 오버코팅층 및 컬럼 스페이서를 대신하여, 기판(110) 및 대향기판(180) 사이의 셀갭(Cell gap)을 유지시키는 기능을 수행할 수 있다.
종래의 유기발광 표시장치는 뱅크의 폭과 두께로 인하여 애노드 전극들 사이의 거리를 줄이는데 한계가 있으며, 표시패널의 셀 갭을 줄이는데 한계가 있다. 이에 따라, 종래의 유기발광 표시장치가 고해상도를 요구하는 디스플레이 장치에 적용되는 경우, 뱅크에 의해 비발광 영역들이 격자 패턴으로 보여지는 불량이 발생될 수 있다. 이를 방지하기 위하여 뱅크를 삭제하는 경우, 애노드 전극의 끝단부에 전류가 집중되어 소자의 수명이 줄어드는 문제점이 발생될 수 있다.
그러나, 본 발명의 제1 예는 애노드 전극(161) 사이에 부도체막(162)을 구비하고, 애노드 전극(161)과 부도체막(162)을 단차 없이 평탄하게 구비하기 때문에, 애노드 전극(161)의 끝단부에 누설 전류(leakage current)가 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제1 예는 뱅크를 삭제할 수 있으며, 서로 이웃한 애노드 전극(161) 사이의 거리를 줄일 수 있다. 그 결과, 본 발명의 제1 예는 비발광 영역들이 격자 패턴으로 보여지는 불량을 방지할 수 있으며, 유기발광 표시장치의 해상도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 제1 예는 서로 이웃한 애노드 전극(161)들 사이의 거리를 줄일 수 있기 때문에, 뱅크가 구비되는 종래와 비교하여 표시패널의 개구율을 증가시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 제1 예는 유기발광 표시패널의 셀 갭을 줄임으로써, 이웃한 화소 영역 간에 발생되는 혼색 불량을 방지할 수 있으며, 유기발광 표시패널의 두께를 슬림화 할 수 있다.
또한, 본 발명의 제1 예는 애노드 콘택홀(CNT3)과 드레인 콘택홀(CNT2)이 서로 중첩되지 않기 때문에, 애노드 콘택홀(CNT3)에 의해 노출된 드레인 전극(126)의 상면이 평탄한 면을 가질 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제1 예는 애노드 콘택홀(CNT3)과 드레인 콘택홀(CNT2)이 서로 중첩된 종래와 비교하여, 드레인 전극(126) 상에 구비되는 애노드 전극(161), 발광층(183) 및 캐소드 전극(185) 각각이 단락 되지 않고 균일한 두께를 갖도록 구비될 수 있다. 그 결과, 본 발명의 제1 예는 애노드 전극(161)과 캐소드 전극(169)의 접촉불량(short)을 방지할 수 있으며, 유기발광 표시장치의 수명이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
도 6은 도 3의 I-I'의 제2 예를 보여주는 단면도이다. 도 7은 도 6의 B 영역을 상세하게 보여주는 확대도이다. 본 발명의 제2 예에 따른 유기발광 표시장치는 애노드 콘택홀(CNT3) 상에 애노드 전극(161)과 부도체막(162)이 구비되는 것을 제외하고는 도 4 및 도 5를 참조로 설명된 본 발명의 제1 예와 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 각각의 구성의 재료 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략된다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 예에 따른 애노드 전극(161)은 평탄화막(140)을 관통하여 드레인 전극(126)을 노출시키는 애노드 콘택홀(CNT3)을 통해 드레인 전극(126)에 접속된다. 부도체막(162)은 서로 이웃하는 애노드 전극(161)들을 구획한다. 이 경우, 애노드 콘택홀(CNT3) 상에는 애노드 전극(161)과 부도체막(162)이 모두 구비될 수 있다.
구체적으로, 제2 예에 따른 애노드 전극(161)은 제1 전극부(161a) 및 제2 전극부(161b)를 포함한다. 제1 전극부(161a)는 발광영역(GE)에 구비된다. 제2 전극부(161b)는 제1 전극부(161a)로부터 연장되어, 비발광영역(NEA)에 구비된다. 제2 전극부(161b)는 애노드 콘택홀(CNT3) 상에 배치되며, 애노드 콘택홀(CNT3)을 통해 드레인 전극(126)에 접속된다. 제2 전극부(161b)는 제1 전극부(161a) 보다 얇게 구비된다. 이에 따라, 제1 전극부(161a)와 제2 전극부(161b) 사이에는 단차(X)가 발생될 수 있다.
제2 예에 따른 부도체막(162)은 제1 부도체막(162a) 및 제2 부도체막(162b)을 포함한다. 제1 부도체막(162a) 및 제2 부도체막(162b)은 비발광영역(NEA)에 배치된다. 제1 부도체막(162a)은 평탄화막(140) 상에 구비되며, 평탄화막(140)과 접촉된다. 제2 부도체막(162b)은 제1 부도체막(162a)으로부터 연장되어, 애노드 콘택홀(CNT) 상에 배치된다. 제2 부도체막(162b)은 제2 전극부(161b) 상에 구비된다. 제2 부도체막(162b)은 제2 전극부(161b)와 중첩된다. 제2 부도체막(162b)은 제1 전극부(161a)의 일측면(161c)을 덮는다. 제2 부도체막(162b)은 제1 부도체막(162b)보다 얇게 형성된다. 이 경우, 제2 부도체막(162b)의 두께는 제1 전극부(161a) 및 제2 전극부(161b) 사이의 단차(X)와 동일할 수 있다. 이에 따라, 애노드 전극(161)의 상면과 부도체막(162)의 상면은 단차 없이 평탄하게 구비될 수 있다.
발광층(167)은 애노드 전극(161)과 부도체막(162) 상에 마련되고, 캐소드 전극(169)은 발광층(167)을 덮도록 발광층(167) 상에 마련된다. 이에 따라, 애노드 콘택홀(CNT3) 상부에는 애노드 전극(161), 부도체막(162), 발광층(167) 및 캐소드 전극(169)이 순차적으로 배치된다.
본 발명의 제2 예는 본 발명의 제1 예에 따른 유기발광 표시장치와 동일한 효과를 제공한다. 즉, 본 발명의 제2 예는 제2 부도체막(162b)의 두께가 제1 전극부(161a)와 제2 전극부(161b) 사이의 단차(X)와 동일하고, 제2 부도체막(162b)이 제1 전극부(161a)의 일측면(161c)을 덮기 때문에, 애노드 전극(161)과 부도체막(162)이 단차 없이 평탄하게 구비될 수 있다. 그 결과, 본 발명의 제2 예는 뱅크를 삭제하면서 애노드 전극(161)의 끝단부에 누설 전류가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 예는 애노드 콘택홀(CNT3) 상부에 애노드 전극(161), 부도체막(162), 캐소드 전극(169)이 순차적으로 구비되기 때문에, 애노드 전극(161)과 캐소드 전극(169) 사이에 부도체막(162)이 구비되지 않은 본 발명의 제1 예와 비교하여, 애노드 전극(161)과 캐소드 전극(169)의 접촉불량(short)을 더 효과적으로 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제2 예는 유기발광 표시장치의 수명이 저하되는 것을 더 효과적으로 방지할 수 있다.
도 8은 도 3의 I-I'의 제3 예를 보여주는 단면도이다. 본 발명의 제3 예에 따른 유기발광 표시장치는 애노드 콘택홀(CNT3) 상에 쇼트 방지 부재(157)가 추가로 구비되는 것을 것을 제외하고는 도 4 및 도 5를 참조로 설명된 본 발명의 제1 예와 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 각각의 구성의 재료 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략된다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 제3 예에 따른 애노드 전극(161) 상에는 쇼트 방지 부재(157)가 구비된다. 쇼트 방지 부재(157)는 애노드 전극(161)과 캐소드 전극(169)의 접촉에 의해 발생되는 접촉불량(short)을 방지한다. 이를 위해, 쇼트 방지 부재(157)는 애노드 콘택홀(CNT3)과 대응되는 위치에 구비된다. 쇼트 방지 부재(157)는 애노드 콘택홀(CNT3)을 덮도록 구비된다. 쇼트 방지 부재(157)는 애노드 콘택홀(CNT3)에 충진된다.
일 예에 따른 쇼트 방지 부재(157)는 애노드 콘택홀(CNT3)에 가득 채워질 수 있다. 쇼트 방지 부재(157)가 애노드 콘택홀(CNT3)의 가득 채워지는 경우, 쇼트 방지 부재(157)는 애노드 콘택홀(CNT3)을 덮으며 볼록하게 구비될 수 있다. 또는, 쇼트 방지 부재(157)의 상면과 애노드 전극(161)의 상면은 단차 없이 평탄하게 구비될 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않으며, 쇼트 방지 부재(157)는 애노드 콘택홀(CNT3)의 일부에만 충진될 수도 있다. 쇼트 방지 부재(157)가 애노드 콘택홀(CNT3)의 일부에만 충진되는 경우, 쇼트 방지 부재(157)의 상면은 애노드 전극(161)의 상면보다 낮은 위치에 구비될 수 있다.
쇼트 방지 부재(157)는 유기절연물질 예를 들어, 아크릴계 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 폴리이미드계 수지(polyimides resin)등으로 이루어질 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않으며, 쇼트 방지 부재(157)는 무기절연물질 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride)으로 이루어 질 수도 있다.
부도체막(162)은 애노드 전극(161)들 사이에 구비된다. 애노드 전극(161)과 부도체막(162)은 단차 없이 평탄하게 구비될 수 있다. 발광층(167)은 애노드 전극(161)과 부도체막(162) 상에 마련되고, 캐소드 전극(169)은 발광층(167) 상에 마련된다. 이 경우, 발광층(167)과 캐소드 전극(169)은 애노드 콘택홀(CNT3) 상에 구비된 쇼트 방지 부재(157)를 덮도록 구비될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제3 예에 따른 애노드 콘택홀(CNT3) 상에는 애노드 전극(161), 쇼트 방지 부재(157), 발광층(167) 및 캐소드 전극(169)이 순차적으로 배치될 수 있다.
본 발명의 제3 예는 본 발명의 제1 예에 따른 유기발광 표시장치와 동일한 효과를 제공한다. 또한, 본 발명의 제3 예는 애노드 전극(161)과 캐소드 전극(169) 사이에 쇼트 방지 부지(157)가 구비되기 때문에, 쇼트 방지 부지(157)가 구비되지 않은 제1 예와 비교하여 애노드 전극(161)과 캐소드 전극(169)의 접촉불량(short)을 추가로 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제3 예는 유기발광 표시장치의 수명이 저하되는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 실시예에 따른 헤드 장착형 디스플레이를 보여주는 예시도면들이다. 도 9a 및 도 9b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 헤드 장착형 디스플레이(HMD)는 디스플레이 수납 케이스(10), 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b), 및 헤드 장착 밴드(30)를 포함한다.
디스플레이 수납 케이스(10)는 디스플레이 장치를 수납하며, 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b)에 디스플레이 장치의 영상을 제공한다. 디스플레이 장치는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치일 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치는 도 2 내지 도 8를 결부하여 앞에서 상세하게 설명하였다.
디스플레이 수납 케이스(10)는 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b)에 동일한 영상을 제공하도록 설계될 수 있다. 또는, 좌안 렌즈(20a)에는 좌안 영상이 표시되고 우안 렌즈(20b)에는 우안 영상이 표시되도록 설계될 수 있다.
디스플레이 수납 케이스(10) 내에는 도 10와 같이 좌안 렌즈(20a) 앞에 배치되는 좌안용 유기발광 표시장치(12)와 우안 렌즈(20b) 앞에 배치되는 우안용 유기발광 표시장치(11)가 수납될 수 있다. 도 10에는 디스플레이 수납 케이스(10)를 위에서 바라봤을 때의 단면도가 나타나 있다. 좌안용 유기발광 표시장치(12)는 좌안 영상을 표시하고, 우안용 유기발광 표시장치(11)는 우안 영상을 표시할 수 있다. 이로 인해, 좌안용 유기발광 표시장치(12)에 표시되는 좌안 영상은 좌안 렌즈(20a)를 통해 사용자의 좌안(40)에 보여진다. 또한, 우안용 유기발광 표시장치(11)에 표시되는 우안 영상은 우안 렌즈(20b)를 통해 사용자의 우안(50)에 보여질 수 있다.
디스플레이 수납 케이스(10) 내에는 도 11과 같이 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b) 앞에 배치되는 거울 반사판(13)과 거울 반사판(13) 상에 배치되는 유기발광 표시장치(14)가 수납될 수 있다. 도 11에는 디스플레이 수납 케이스(10)를 옆에서 바라봤을 때의 단면도가 나타나 있다. 유기발광 표시장치(14)는 거울 반사판(13) 방향으로 영상을 표시하고, 거울 반사판(13)은 유기발광 표시장치(14)의 영상을 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b) 방향으로 전반사한다. 이로 인해, 유기발광 표시장치(14)에 표시되는 영상은 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b)에 제공될 수 있다. 도 11에서는 설명의 편의를 위해 좌안 렌즈(20a)와 사용자의 좌안(40)만을 도시하였다.
디스플레이 수납 케이스(10)의 일 측면에는 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b)가 배치된다. 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b)는 디스플레이 수납 케이스(10)를 들여다볼 수 있도록 형성된다. 좌안 렌즈(20a)에는 사용자의 좌안이 위치되고, 우안 렌즈(20b)에는 사용자의 우안이 위치될 수 있다.
좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b) 각각은 볼록 렌즈일 수 있다. 이 경우, 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b)로 인하여 디스플레이 수납 케이스(10)에 표시되는 영상은 사용자에게 확대되어 보일 수 있다. 또는, 좌안 렌즈(20a)와 우안 렌즈(20b) 각각은 디스플레이 수납 케이스(10)에 표시되는 영상을 확대 또는 축소를 위한 기능을 갖지 않을 수도 있다.
헤드 장착 밴드(30)는 디스플레이 수납 케이스(10)에 고정된다. 헤드 장착 밴드(30)는 사용자의 머리 상면과 양 측면들을 둘러쌀 수 있도록 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 헤드 장착 밴드(30)는 사용자의 머리에 헤드 장착형 디스플레이를 고정하기 위한 것으로, 안경테 형태 또는 헬멧 형태로 형성될 수도 있다.
한편, 종래 헤드 장착형 디스플레이와 같이 시청거리가 가까운 디스플레이 장치의 경우, 도 1에서 처럼 비발광 영역들의 격자 패턴이 사용자에게 인지될 수 있다.
하지만, 본 발명의 실시예에 따른 헤드 장착형 디스플레이는 뱅크가 삭제되기 때문에, 서로 이웃한 애노드 전극들 사이의 거리를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 헤드 장착형 디스플레이는 유기발광 표시장치의 비발광 영역들이 격자 형태로 보여지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 헤드 장착형 디스플레이는 뱅크가 삭제됨에 따라 유기발광 표시패널의 셀 갭을 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 헤드 장착형 디스플레이는 이웃한 화소 영역 간에 발생되는 혼색 불량이 방지될 수 있다.
본 발명의 실시예에서는 헤드 장착형 디스플레이를 일 예로하여 본 발명이 설명되었으나, 상술한 유기발광 표시장치는 모바일 디스플레이 장치 등 고해상도를 요구하는 다양한 디스플레이 장치에 적용될 수 있다.
도 12는 도 4에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다. 도 13a 내지 13e는 도 12의 일 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 이하에서는, 도 12 및 도 13a 내지 도 13e를 결부하여 일 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법을 설명한다.
첫 번째로, 도 13a와 같이, 기판(110) 상에 박막 트랜지스터(120), 패시베이션막(130) 및 평탄화막(140)을 순차적으로 형성한다. 다음, 패시베이션막(130)과 평탄화막(140)에 박막 트랜지스터(120)의 드레인 전극(126)을 노출시키는 애노드 콘택홀(CNT3)을 형성한다. 다음, 애노드 콘택홀(CNT3)을 통해 드레인 전극(126)에 접속되도록, 보조 애노드 전극(163)을 형성한다. 다음, 평탄화막(140) 및 보조 애노드 전극(163) 상에 도전성을 가지는 금속 산화물(164)을 도포한다. 다음, 도전성을 가지는 금속 산화물(164) 상에 포토 레지스트(154)를 도포한다.
본 발명의 실시예에 따른 도전성을 가지는 금속 산화물(164)은 예를 들어, IGZO(indium gallium zinc oxide), IGO(indium gallium oxide), ITZO(indium tin zinc oxide), ZON(zinc oxinitride), IZO(indium zinc oxide) 또는 IXZO(X= Ti, Ta, Hf, Zr) 일 수 있다. 도전성을 가지는 금속 산화물(164)은 상술한 물질들에 포함되는 산화물들의 조성비를 조절함으로써 얻어질 수 있다. 예를 들어, 금속 산화물(164)로 IGZO가 이용되는 경우, 산화 갈륨(gallium oxide: Ga2O3)보다 산화 인듐(induium oxide: In2O3) 및 산화 아연(zinc oxide: ZnO)의 함유량이 높아 도전성을 가지는 IGZO가 사용될 수 있다.
두 번째로, 도 13b와 같이, 포토 마스크를 이용하여 포토 레지스트 패턴(154a)을 형성하고, 포토 레지스트 패턴(154a)을 마스크로 이용하여, 금속 산화물(164)에 불순물을 주입한다. 이 경우, 포토 레지스트 패턴(154a)이 구비된 영역에 배치된 금속 산화물(164)에는 불순물이 주입되지 않으며, 포토 레지스트 패턴(154a)이 구비되지 않은 영역에 배치된 금속 산화물(164)에는 불순물이 주입된다. 금속 산화물(164)에 불순물을 주입시키는 방법으로는 이온 주입법(Ion implantation)이 이용될 수 있다. 이 경우, 불순물로는 산소이온(O2 ion)이 사용될 수 있다. 산소이온(O2 ion)이 도전성을 가지는 금속 산화물(164)에 주입되는 경우, 금속 산화물(164)에 산소 농도가 증가하게 된다. 이에 따라, 금속 산화물(164)은 절연성을 가질 수 있다.
세 번째로, 도 13c와 같이, 포토 레지스트 패턴(154)을 제거한다. 이 경우, 불순물이 주입되지 않아 도전성을 가지는 금속 산화물(164)이 애노드 전극(161)으로 이용될 수 있다. 또한, 불순물이 주입되어 절연성을 가지는 금속 산화물(164)이 부도체막(162)으로 이용될 수 있다. 애노드 전극(161)은 기판(110) 상의 발광영역들(RE, GE, BE)에 배치되며, 부도체막(162)은 비발광영역(NEA)에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에서는 포토 레지스트를 마스크로 이용하여 애노드 전극(161)과 부도체막(162)이 구비되었으나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 포토 레지스트를 대신하여 실리콘 산화막(silicon oxide) 등과 같은 무기 절연막을 마스크로 이용하여 애노드 전극(161)과 부도체막(162)이 구비될 수도 있다. (도12의 S101)
네 번째로, 도 13d와 같이, 애노드 전극(161)과 부도체막(162) 상에 발광층(167) 및 캐소드 전극(169)을 순차적으로 형성한다. 다음, 캐소드 전극(169) 상에 봉지막(155)을 형성한다. (도12의 S102, S103)
마지막으로, 도 13e와 같이, 대향기판(180)에 컬러필터들(RC, GC, BC)을 형성하고, 투명접착층(170)을 이용하여 대향기판(180)과 기판(110)을 합착한다.
도 14a 내지 14c는 도 12의 다른 예에 따른 S101 단계를 설명하기 위한 유기발광 표시장치의 단면도들이다. 본 발명의 다른 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법은 도 12의 S101 단계를 제외하고는 본 발명의 일 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법과 동일하다. 따라서, 이하에서는 도 12, 도 14a 내지 도 14c를 결부하여 다른 예에 따른 S101 단계를 설명한다.
첫 번째로, 도 14a와 같이, 기판(110) 상에 박막 트랜지스터(120), 패시베이션막(130), 평탄화막(140), 및 보조 애노드 전극(163)을 형성한다. 다음, 평탄화막(140)과 보조 애노드 전극(163) 상에 도전성을 가지지 않는 금속 산화물(165) 및 포토 레지스트(154)를 도포한다. 즉, 본 발명의 다른 예는 절연성을 가지는 금속 산화물(165)이 평탄화막(140) 상에 도포될 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따른 절연성을 가지는 금속 산화물(165)은 예를 들어, IGZO(indium gallium zinc oxide), IGO(indium gallium oxide), ITZO(indium tin zinc oxide), ZON(zinc oxinitride), IZO(indium zinc oxide) 또는 IXZO(X= Ti, Ta, Hf, Zr) 일 수 있다. 절연성을 가지는 금속 산화물(165)은 상술한 물질들에 포함되는 산화물들의 조성비를 조절함으로써 얻어질 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 다른 예에 따른 금속 산화물(165)로 IGZO가 이용되는 경우, 산화 인듐(Induium oxide: In2O3) 및 산화 아연(Zinc oxide: ZnO)보다 산화 갈륨(Gallium oxide: Ga2O3)의 함유량이 높아 절연성을 가지는 IGZO가 사용될 수 있다.
두 번째로, 도 14b와 같이, 포토 마스크를 이용하여 포토 레지스트 패턴(154a)을 형성한다. 이 경우, 발광영역들(RE, GE, BE)에 배치된 포토 레지스트는 제거되고, 비발광영역(NEA)에 배치된 포토 레지스트가 남겨진다. 다음, 포토 레지스트 패턴(154a)을 마스크로 이용하여, 금속 산화물(165)에 불순물을 주입한다. 이 경우, 포토 레지스트 패턴(154a)이 구비된 비발광영역(NEA)에 배치된 금속 산화물(165)에는 불순물이 주입되지 않는다. 그러나, 포토 레지스트 패턴(154a)이 구비되지 않은 발광영역들(RE, GE, BE)에 배치된 금속 산화물(165)에는 불순물이 주입된다.
본 발명의 다른 예에 따른 불순물로는 수소이온(H2 ion)이 사용될 수 있다. 수소이온(H2 ion)이 절연성을 가지는 금속 산화물(165)에 주입되는 경우, 금속 산화물(165)에 포함된 산소와 결합된다. 그 결과, 금속 산화물(165)의 산소 농도가 줄어들게 되어, 도전성을 가지는 금속 산화물(165)이 구비될 수 있다.
세 번째로, 도 14c와 같이, 포토 레지스트 패턴(154a)을 제거한다. 이 경우, 불순물이 주입되지 않아 절연성을 가지는 금속 산화물(165)이 부도체막(162)으로 이용될 수 있다. 또한, 불순물이 주입되어 도전성을 가지는 금속 산화물(165)이 애노드 전극(161)으로 이용될 수 있다.
도 15a 내지 도 15c는 도 6의 유기발광 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 도 6의 유기발광 표시장치의 제조방법은 애노드 전극과 부도체막을 형성하는 단계를 제외하고는 도 12 및 도 13을 참조로 설명한 유기발광 표시장치의 제조방법과 동일하다. 따라서, 이하에서는 도 15a 내지 도 15c를 결부하여 도 6의 애노드 전극과 부도체 막을 형성하는 단계를 설명한다.
첫 번째로, 도 15a와 같이, 기판(110) 상에 박막 트랜지스터(120), 패시베이션막(130), 평탄화막(140) 및 보조 애노드 전극(163)을 순차적으로 형성한다. 다음, 평탄화막(140) 및 보조 애노드 전극(163) 상에 도전성을 가지는 금속 산화물(164) 및 포토 레지스트(154)를 도포한다.
두 번째로, 도 15b와 같이, 하프톤 마스크(half tone mask)를 이용하여 포토 레지스트 패턴(154a)을 형성한다. 이 경우, 비발광영역(NEA)에 배치된 포토 레지스트 중 보조 애노드 전극(163)이 마련되지 않은 제1 영역(A1)에 구비된 포토 레지스트는 모두 제거된다. 또한, 비발광영역(NEA)에 배치된 포토 레지스트 중 보조 애노드 전극(163)이 마련된 제2 영역(A2) 상에 구비된 포토 레지스트는 일부 남겨진다. 또한, 발광영역들(GE, BE)에 배치된 포토 레지스트는 모두 남겨진다.
다음, 포토 레지스트 패턴(154a)을 마스크로 이용하여, 금속 산화물(165)에 불순물을 주입한다. 이 경우, 발광영역들(GE, BE)에 배치된 금속 산화물(165)에는 불순물이 주입되지 않으며, 비발광영역(NEA)에 배치된 금속 산화물(165)에는 불순물이 주입된다. 특히, 비발광영역(NEA)의 제2 영역(A2)에서는 포토 레지스트 패턴이 얇게 형성되기 때문에, 금속 산화물(165)의 상부에만 불순물이 주입된다. 이에 따라, 제2 영역(A2)에 배치된 금속 산화물(165)의 상부는 절연성을 가지며, 하부는 도전성을 가질 수 있다.
세 번째로, 도 15c와 같이, 포토 레지스트 패턴(154a)을 제거한다. 이 경우, 불순물이 주입되지 않아 도전성을 가지는 금속 산화물(164)이 제1 전극부(161a)로 이용될 수 있다. 제1 전극부(161a)는 기판(110) 상의 발광영역들(RE, GE, BE)에 배치될 수 있다. 또한, 비발광영역(NEA)의 제2 영역(A2)에 절연성을 가지는 제2 부도체막(162b)과 도전성을 가지는 제2 전극부(161b)가 구비될 수 있다. 여기서, 제2 영역(A2)은 애노드 콘택홀(CNT3)과 중첩되는 영역일 수 있다. 또한, 불순물이 주입되어 절연성을 가지는 금속 산화물(164)이 제1 부도체막(162a)으로 이용될 수 있다. 제1 부도체막(162b)은 비발광영역(NEA)의 제1 영역(A1)에 배치될 수 있다.
도 16a 내지 도 16d는 도 8의 일 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 도 8의 일 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법은 쇼트 방지 부재(157)가 추가로 구비되는 것을 제외하고는 도 12 및 도 13을 참조로 설명한 유기발광 표시장치의 제조방법과 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 각각의 구성의 재료 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략된다.
첫 번째로, 도 16a와 같이, 평탄화막(140) 및 보조 애노드 전극(163) 상에 도전성을 가지는 금속 산화물(164)을 도포한다. 다음, 도전성을 가지는 금속 산화물(164) 상에 포토 레지스트(154)를 도포한다.
두 번째로, 도 16b와 같이, 포토 마스크를 이용하여 포토 레지스트 패턴(154a)을 형성한다. 다음, 포토 레지스트 패턴(154a)을 마스크로 이용하여, 금속 산화물(164)에 불순물을 주입한다.
세 번째로, 도 16c와 같이, 포토 레지스트 패턴(154a)을 제거하여, 애노드 전극(161)과 부도체막(162)을 형성한다. 이 경우, 애노드 콘택홀(CNT3)과 대응되도록 배치된 포토 레지스트 패턴은 제거하지 않는다. 본 발명의 일 예에 따르면, 제거되지 않은 포토 레지스트 패턴이 애노드 전극(161)과 캐소드 전극(169)의 접촉에 의해 발생되는 접촉불량(short)을 방지하기 위한 쇼트 방지 부재(157)로 이용된다. 이에 따라, 쇼트 방지 부재(157)는 애노드 콘택홀(CNT3)에 충진되어, 애노드 콘택홀(CNT3)을 덮도록 구비될 수 있다.
마지막으로, 도 16d와 같이, 애노드 전극(161), 부도체막(162), 쇼트 방지 부재(157) 상에 발광층(167), 캐소드 전극(169), 봉지막(155)을 순차적으로 형성한다. 다음, 대향기판(180)에 컬러필터들을 형성하고, 투명접착층(170)을 이용하여 대향기판(180)과 기판(110)을 합착한다.
도 17a 내지 도 17d는 도 8의 다른 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 도 8의 다른 예에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법은 쇼트 방지 부재(157)가 추가로 구비되는 것을 제외하고는 도 12 및 도 14를 참조로 설명한 유기발광 표시장치의 제조방법과 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 각각의 구성의 재료 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략된다.
첫 번째로, 도 17a와 같이, 평탄화막(140) 및 보조 애노드 전극(163) 상에 절연성을 가지는 금속 산화물(165)을 도포한다. 다음, 절연성을 가지는 금속 산화물(165) 상에 포토 레지스트(154)를 도포한다.
두 번째로, 도 17b와 같이, 포토 마스크를 이용하여 포토 레지스트 패턴(154a)을 형성한다. 다음, 포토 레지스트 패턴(154a)을 마스크로 이용하여, 금속 산화물(165)에 불순물을 주입한다.
세 번째로, 도 17c와 같이, 포토 레지스트 패턴(154a)을 모두 제거하여, 애노드 전극(161)과 부도체막(162)을 형성하고, 애노드 콘택홀(CNT3)과 대응되는 위치에 구비된 애노드 전극(161) 상에 쇼트 방지 부재(157)를 형성한다.
마지막으로, 도 17d와 같이, 애노드 전극(161), 부도체막(162), 쇼트 방지 부재(157) 상에 발광층(167), 캐소드 전극(169), 봉지막(155)을 순차적으로 형성하고, 투명접착층(170)을 이용하여 대향기판(180)과 기판(110)을 합착한다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사항을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 유기발광 표시패널 110 : 기판
120 : 박막 트랜지스터 130 : 패시베이션막
140 : 평탄화막 155 : 봉지막
160 : 유기발광소자 161 : 애노드 전극
162 : 부도체막 167 : 발광층
169 : 캐소드 전극 170 : 투명접착층
180 : 대향기판 185 : 편광판
200 : 게이트 구동부 310 : 디스플레이 드라이버
330 : 연성필름 DA : 표시영역
NDA : 비표시영역 RE, GE, BE : 발광영역들
NEA : 비발광영역 RC, GC, BC : 컬러필터들

Claims (19)

  1. 기판;
    상기 기판 위에 배치된 드레인 전극;
    상기 드레인 전극과 연결된 애노드 전극;
    상기 애노드 전극 주변에 배치된 부도체막;
    상기 애노드 전극과 상기 부도체막 상에 배치된 발광층; 및
    상기 발광층 상에 배치된 캐소드 전극을 포함하고,
    상기 애노드 전극과 상기 부도체막은 금속 산화물을 포함하며,
    상기 애노드 전극은,
    제1 전극부; 및
    상기 제1 전극부로부터 연장되어 상기 드레인 전극과 접속되는 제2 전극부를 포함하고,
    상기 부도체막의 일부는 상기 제2 전극부 상에 구성된 유기발광 표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 애노드 전극 아래에 구비된 보조 애노드 전극을 더 포함하고,
    상기 부도체막은 상기 보조 애노드 전극의 측면을 덮는 유기발광 표시장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판과 상기 드레인 전극 사이에 배치된 반도체층;
    상기 반도체층과 상기 드레인 전극 사이에 구비된 복수의 절연막들; 및
    상기 드레인 전극 상에 구비된 평탄화막을 더 포함하고,
    상기 드레인 전극은 상기 복수의 절연막들을 관통하여 상기 반도체층을 노출시키는 드레인 콘택홀을 통해 상기 반도체층과 접속되고,
    상기 애노드 전극은 상기 평탄화막을 관통하여 상기 드레인 전극을 노출시키는 애노드 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 접속되며,
    상기 드레인 콘택홀과 상기 애노드 콘택홀은 서로 중첩되지 않는 유기발광 표시장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 애노드 콘택홀에 의해 노출된 드레인 전극 상에는 상기 애노드 전극, 상기 발광층 및 상기 캐소드 전극이 순차적으로 배치된 유기발광 표시장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 애노드 콘택홀에 의해 노출된 드레인 전극 상에는 상기 애노드 전극, 상기 부도체막, 상기 발광층 및 상기 캐소드 전극이 순차적으로 배치된 유기발광 표시장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2 전극부는 상기 애노드 콘택홀 상에 배치된 유기발광 표시장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 부도체막은 상기 평탄화막과 접촉하는 제1 부도체막 및 상기 제1 부도체막으로부터 연장되어 상기 제2 전극부 상에 구비되는 제2 부도체막을 포함하고,
    상기 제2 부도체막이 상기 애노드 콘택홀 상에 배치되는 유기발광 표시장치.
  8. 제 3 항에 있어서,
    상기 애노드 전극과 상기 발광층 사이에 구비되는 쇼트 방지 부재를 더 포함하고,
    상기 쇼트 방지 부재는 상기 애노드 콘택홀을 덮는 유기발광 표시장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 유기발광 표시장치;
    상기 유기발광 표시장치를 수납하는 디스플레이 수납 케이스; 및
    상기 수납 케이스의 일 측에 배치되고, 상기 유기발광 표시장치의 영상이 제공되는 좌안 렌즈와 우안 렌즈를 포함하는 헤드 장착형 디스플레이.
  10. 기판 상에 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 구성하는 단계;
    상기 드레인 전극과 연결되는 애노드 전극 및 상기 애노드 전극의 주변에 배치되는 부도체막을 구성하는 단계;
    상기 애노드 전극과 상기 부도체막 상에 발광층을 구성하는 단계; 및
    상기 발광층 상에 캐소드 전극을 구성하는 단계를 포함하고,
    상기 애노드 전극과 상기 부도체막은 금속 산화물을 포함하며,
    상기 애노드 전극은 제1 전극부 및 상기 제1 전극부로부터 연장되어 상기 드레인 전극과 접속되는 제2 전극부를 포함하고, 상기 부도체막의 일부는 상기 제2 전극부 상에 구성된 유기발광 표시장치의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 기판 상에 애노드 전극 및 상기 부도체막을 구성하는 단계는,
    상기 기판 상에 도전성을 가지는 금속 산화물을 형성하고, 상기 금속 산화물 상에 포토 레지스트를 도포하는 단계;
    상기 포토 레지스트를 패터닝하여 포토 레지스트 패턴을 형성하고, 상기 포토 레지스트 패턴에 의해 가려지지 않는 금속 산화물에 불순물을 주입하는 단계;
    상기 포토 레지스트 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 유기발광 표시장치의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 포토 레지스트 패턴에 의해 가려져 불순물이 주입되지 않는 금속 산화물은 상기 애노드 전극을 구성하고,
    상기 불순물이 주입되는 금속 산화물은 상기 부도체막을 구성하는 유기발광 표시장치의 제조방법.
  13. 기판;
    상기 기판 상에 배치된 애노드 전극;
    상기 애노드 전극의 주변에 배치된 부도체막;
    상기 애노드 전극과 상기 부도체막 상에 배치된 발광층;
    상기 애노드 전극과 상기 발광층 사이에 구비된 쇼트 방지 부재; 및
    상기 발광층 상에 배치된 캐소드 전극을 포함하고,
    상기 애노드 전극과 상기 부도체막은 금속 산화물을 포함하는 유기발광 표시장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 애노드 전극 아래에 구비된 보조 애노드 전극을 더 포함하고,
    상기 부도체막은 상기 보조 애노드 전극의 측면을 덮는 유기발광 표시장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 기판 상에 구비된 반도체층;
    상기 반도체층 상에 구비된 복수의 절연막들;
    상기 복수의 절연막들 상에 구비된 드레인 전극; 및
    상기 드레인 전극 상에 구비된 평탄화막을 더 포함하고,
    상기 드레인 전극은 상기 복수의 절연막들을 관통하는 드레인 콘택홀을 통해 상기 반도체층과 접속되고,
    상기 애노드 전극은 상기 평탄화막을 관통하는 애노드 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 접속되며,
    상기 드레인 콘택홀과 상기 애노드 콘택홀은 서로 중첩되지 않는 유기발광 표시장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 애노드 전극은 제1 전극부 및 상기 제1 전극부로부터 연장되어 상기 드레인 전극과 접속되는 제2 전극부를 포함하고,
    상기 제2 전극부는 상기 애노드 콘택홀 상에 배치된 유기발광 표시장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 부도체막은 상기 평탄화막과 접촉하는 제1 부도체막 및 상기 제1 부도체막으로부터 연장되어 상기 제2 전극부 상에 구비되는 제2 부도체막을 포함하고,
    상기 제2 부도체막이 상기 애노드 콘택홀 상에 배치되는 유기발광 표시장치.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 쇼트 방지 부재는 상기 애노드 콘택홀을 덮는 유기발광 표시장치.
  19. 제 13 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 기재된 유기발광 표시장치;
    상기 유기발광 표시장치를 수납하는 디스플레이 수납 케이스; 및
    상기 수납 케이스의 일 측에 배치되고, 상기 유기발광 표시장치의 영상이 제공되는 좌안 렌즈와 우안 렌즈를 포함하는 헤드 장착형 디스플레이.
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