KR102573825B1 - 이비알 장치 - Google Patents

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KR102573825B1
KR102573825B1 KR1020230062175A KR20230062175A KR102573825B1 KR 102573825 B1 KR102573825 B1 KR 102573825B1 KR 1020230062175 A KR1020230062175 A KR 1020230062175A KR 20230062175 A KR20230062175 A KR 20230062175A KR 102573825 B1 KR102573825 B1 KR 102573825B1
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김정욱
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주식회사 기술공작소바다
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
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Abstract

본 발명에 따른 이비알 장치는, 상측이 개구된 하우징개구면(11)이 형성되고, 내부에 웨이퍼(W)가 배치되는 하우징(10); 포토레지스트 코팅 처리된 웨이퍼(W)의 가장자리에 용제를 낙하시키는 용제공급장치(20); 상기 하우징(10)의 일측에 배치되고, 상기 용제공급장치(20)를 이동시키는 암이동장치(100);를 포함하고, 상기 용제공급장치(20)는, 용제가 저장되는 용제탱크(21); 용제가 토출되는 노즐(22); 상기 용제탱크(21) 및 노즐(22)을 연결하는 용제호스(23); 상기 용제호스(23)에 배치되는 밸브어셈블리(24);를 포함하고, 상기 암이동장치(100)에 배치되고, 상기 노즐(22)을 고정시키는 클램프(200)를 더 포함한다.
본 발명에 따른 이비알장치는 용제가 토출되는 노즐을 클램프를 통해 견고하게 고정할 수 있는 장점이 있다.

Description

이비알 장치{Edge Bead Removal apparatus}
본 발명은 EBR 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 기판인 웨이퍼 상에 박막의 증착 및 패터닝 등을 수차례 반복 수행함으로써 제조된다. 이때, 이러한 박막의 증착 및 패터닝을 위해 필수적으로 이용되는 것이 포토리소그래피(Photolithography) 공정이다.
상기 포토리소그래피 공정은 감광막(Photo resist)의 도포, 노광, 현상 등의 과정을 거쳐 패터닝을 위한 소정의 마스크를 형성하는 공정이다. 이때, 상기 감광막은 일반적으로 스핀 코팅법을 이용하여 기판인 웨이퍼 전면에 도포된다.
상기 스핀 코팅법은 웨이퍼를 매우 빠른 속도로 회전시킨 상태에서 소정의 노즐을 통해 웨이퍼 상에 감광액을 분사하여 감광막을 도포하는 방법이다.
그런데 상기 스핀 코팅법을 이용한 감광막의 도포시에는 웨이퍼의 회전으로 인해 웨이퍼 에지 부분에 감광막이 쏠리게 되어 두꺼워지는 부분이 생기게 된다. 이 부분을 보통 에지비드(Edge Bead)라 하는데, 이러한 에지비드는 그대로 방치할 경우, 후속 공정에서 오염원, 즉 파티클의 소스로 작용할 수 있다.
따라서 상기 에지비드는 후속 공정이 진행되기에 앞서 제거되어야 한다.
일반적으로 상기 에지비드를 제거하기 위한 방법으로는 EBR(Edge Bead Removal) 또는 WEE(Wafer Edge Exposure) 방법이 가장 많이 사용된다.
전자인 EBR의 경우 회전 상태의 웨이퍼 에지부에 시너(thinner)를 분사하여 에지비드를 제거하는 방법이고, 후자인 WEE의 경우에는 웨이퍼 에지부에 자외선빔(ultraviolet beam)을 조사하여 현상함으로써 에지비드를 제거하는 방법이다.
종래의 EBR 설비는 크게 웨이퍼(W)를 지지한 상태로 상기 웨이퍼(W)를 회전시키는 웨이퍼 회전척과, 웨이퍼(W)의 에지부에 형성된 에지비드를 제거하기 위한 시너(thinner)를 분사하는 시너 분사 노즐로 구성된다.
이러한 구성을 갖는 종래의 EBR 설비를 통한 EBR 공정에 대해 간략히 살펴보면, 먼저, 상기 웨이퍼 이면 지지부(32) 및 웨이퍼 측면 지지부(34)를 통해 웨이퍼(W)의 이면 및 측면을 지지한 상태로 상기 웨이퍼(W)를 소정 방향, 소정 속도로 회전시킨다.
그 다음, 시너 분사 노즐을 통해 웨이퍼(W)의 에지부에 시너(thinner)를 고속으로 분사한다. 이에 따라 웨이퍼(W)의 에지부에 형성된 에지비드는 상기 시너에 의해 용해되어 제거된다.
그런데 종래 기술에 따른 EBR 설비의 경우, 분사노즐이 견고하게 고정되지 않을 경우 시너가 낙하되는 부분에 오차가 발생되어 불량을 유발하는 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허 10-2006-0133411호 대한민국 등록특허 10-0717445호 대한민국 등록특허 10-2269900호 대한민국 등록특허 10-1886750호
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 시너를 낙하시키는 분사노즐의 위치를 견고하게 유지시킬 수 있는 EBR 장치을 제공하는데 목적이 있다.
본 발명은 분사노즐의 위치를 자동으로 조정할 수 있는 EBR 장치을 제공하는데 목적이 있다.
본 발명은 상측이 개구된 하우징개구면(11)이 형성되고, 내부에 웨이퍼(W)가 배치되는 하우징(10); 포토레지스트 코팅 처리된 웨이퍼(W)의 가장자리에 용제를 낙하시키는 용제공급장치(20); 상기 하우징(10)의 일측에 배치되고, 상기 용제공급장치(20)를 이동시키는 암이동장치(100);를 포함하고, 상기 용제공급장치(20)는, 용제가 저장되는 용제탱크(21); 용제가 토출되는 노즐(22); 상기 용제탱크(21) 및 노즐(22)을 연결하는 용제호스(23); 상기 용제호스(23)에 배치되는 밸브어셈블리(24);를 포함하고, 상기 암이동장치(100)에 배치되고, 상기 노즐(22)을 고정시키는 클램프(200)를 더 포함하는 이비알 장치를 제공한다.
상기 클램프(200)는, 상기 암이동장치(100)에 조립되는 클램프암(210); 상기 클램프암(210) 및 노즐(22)을 결합시키는 클램프어셈블리(220);를 포함할 수 있다.
상기 암이동장치(100)는, 인가된 전원에 의해 일측방향 또는 타측방향으로 회전되는 암모터(110)와, 상기 암모터(110)의 모터축과 조립되고, 상기 암모터(110)의 회전력을 변환시키는 기어박스(120)와, 상기 기어박스(120)와 조립되어 일측방향 또는 타측방향으로 회전되는 제 1 타이밍벨트(130)와, 상기 기어박스(120)에 조립되고, 상기 기어박스(120)로 부터 구동력을 제공받고, 상기 제 1 타이밍벨트(130)와 치합되는 제 1 타이밍기어와, 상기 제 1 타이밍벨트(130)와 치합되고, 상기 제 1 타이밍기어의 반대편에 배치되는 제 2 타이밍기어(132)와, 상기 제 2 타이밍기어(132)를 통해 전달받은 구동력에 의해 회전되는 제 2 타이밍벨트(140)와, 상기 제 2 타이밍벨트(140)에 결합되어 이동되는 암바디(150)와, 상기 제 2 타이밍기어(132)로 부터 구동력을 전달받고, 상기 제 2 타이밍벨트(140)와 치합되어 상기 제 2 타이밍벨트(140)에 구동력을 전달하는 제 1 바디기어(141)와, 상기 제 2 타이밍벨트(140)와 치합되고, 상기 제 1 바디기어(141)의 반대편에 배치되는 제 2 바디기어와, 상기 암바디(150)에 조립되고, 상하 방향으로 스트로크를 발생시키는 에어실린더(160)와, 상기 에어실린더(160)에 조립되어 상하 방향으로 이동되는 실린더암(180)을 포함할 수 있다.
상기 클램프암(210)은 상기 실린더암(180)에 고정되는 제 1 클램프암부(211)와, 상기 제 1 클램프암부(211)에서 하측으로 절곡되게 형성되는 제 2 클램프암부(212)를 포함하고, 상기 클램프어셈블리(220)는, 상기 제 2 클램프암부(212)의 일측 외주면에 밀착되는 제 1 클램프바디(230)와, 상기 제 2 클램프암부(212)의 타측 외주면에 밀착되는 제 2 클램프바디(240)와, 상기 제 1 클램프바디(230) 및 제 2 클램프바디(240)를 체결결합시키는 제 1 클램프체결부재(250)와, 상기 노즐(22)의 일측 외주면에 밀착되고, 상기 제 1 클램프바디(230)와 조립되는 제 1 회전바디(260)와, 상기 노즐(22)의 타측 외주면에 밀착되는 제 2 회전바디(270)와, 상기 제 1 회전바디(260) 및 제 2 회전바디(270)를 체결결합시키는 제 2 클램프체결부재(280)와, 상기 제 1 클램프바디(230) 및 제 1 회전바디(260)를 체결결합시키는 제 3 클램프체결부재(290)를 포함할 수 있다.
상기 제 3 클램프체결부재(290)는, 상기 제 1 회전바디(260) 및 제 1 클램프바디(230)를 관통하게 배치되는 제 3-1 클램프부재(291); 상기 제 1 클램프바디(230)에 배치되고, 상기 제 3-1 클램프부재(291)와 체결결합되는 제 3-2 클램프부재(292);를 포함하고, 상기 제 1 클램프바디(230)의 저면에서 상측으로 오목하게 제 1-3 바디홈(235)이 형성되고, 상기 제 1-3 바디홈(235)이 사각형, 육각형 또는 팔각형 형상으로 형성되고, 상기 제 1-3 바디홈(235)에 삽입된 상기 제 3-2 클램프부재(292)가 수평 방향 회전에 대하여 상기 제 1-3 바디홈(235)과 상호 걸림을 형성할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 이비알장치는 용제가 토출되는 노즐을 클램프를 통해 견고하게 고정할 수 있는 장점이 있다.
둘째, 본 발명에 따른 이비알장치는 암이동장치를 통해 노즐을 수평이동 및 수직이동시켜 웨이퍼의 가장자리로 정확하게 위치시킬 수 있는 장점이 있다.
셋째, 본 발명에 따른 이비알장치는 제 1 회전바디 및 제 2 회전바디를 통해 메인노즐관을 고정시킨 후, 상기 제 1 회전바디를 제 1 클램프바디에 대해 회전시켜 고정할 수 있기 때문에, 상기 메인노즐관의 위치를 보다 정밀하게 조정할 수 있는 장점이 있다.
넷째, 본 발명에 따른 이비알장치는 진동억재부재를 통해 노즐에 발생되는 진동을 효과적으로 억제 및 해소할 수 있는 특징이 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이비알장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 용제공급장치가 도시된 개략도이다.
도 3은 도 1에 도시된 암이동장치의 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 클램프의 사시도이다.
도 5는 1에 도시된 클램프의 평면도이다.
도 6은 도 5의 정면도이다.
도 7은 도 5의 A-A를 따라 절단된 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 클램프의 평면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 B-B를 따라 절단된 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 클램프의 단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. "및/또는"이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명을 설명함에 있어 전체적인 이해를 용이하게 하기 위하여 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이비알장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 용제공급장치가 도시된 개략도이고, 도 3은 도 1에 도시된 암이동장치의 사시도이고, 도 4는 도 1에 도시된 클램프의 사시도이고, 도 5는 1에 도시된 클램프의 평면도이고, 도 6은 도 5의 정면도이고, 도 7은 도 5의 A-A를 따라 절단된 단면도이다.
본 실시예에 따른 이비알 장치는, 포토레지스트 코팅 처리 종료 후, 스핀 척(15) 위에서 진공 흡착시킨 웨이퍼(W)를 고속 회전시켜 Process Station Recipe로 지정 설정한 위치에 암이동장치를 이동시킨다.
본 실시예에 따른 이비알 장치는 상측이 개구된 하우징개구면(11)이 형성되고, 내부에 웨이퍼(W)가 배치되는 하우징(10)과, 상기 포토레지스트 코팅 처리된 웨이퍼(W)의 가장자리에 용제(Thinner 등)를 낙하시키는 용제공급장치(20)와, 상기 하우징(10)의 일측에 배치되고, 상기 용제공급장치(20)를 이동시키는 암이동장치(100)를 포함한다.
상기 하우징(10)의 내측에 스핀척(15) 및 상기 스핀척(15)을 회전시키는 모터(미도시)가 배치된다. 상기 웨이퍼(W)가 상기 스핀척에 진공 흡착된 상태로 회전될 수 있다.
상기 하우징(10)은 원통형태로 형성되고, 상기 하우징개구면(11)이 상기 하우징(10)의 상측면을 형성한다.
상기 용제공급장치(20)는, 신너(thinner)와 같은 용제를 공급하기 위한 것으로서, 용제탱크(21)와, 용제가 토출되는 노즐(22)과, 상기 용제탱크(21) 및 노즐(22)을 연결하는 용제호스(23)와, 상기 용제호스(23)에 배치되는 밸브어셈블리(24)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 용제탱크(21)가 4개가 구비되고, 상기 용제호스(23)는 4개의 용제탱크(21)로 부터 용제를 공급받는다.
상기 노즐(22)의 하단에서 용제가 방울 형태로 드랍된다.
의도치 않게 용제가 드랍되는 것을 방지하기 위해, 상기 밸브어셈블리(24)는 suck back 기능을 포함한다. 상기 suck back 기능은 용제를 토출 반대 방향으로 흡입하여 상기 노즐(22)에 음압을 형성시킨다.
상기 암이동장치(100)는, 노즐(22)을 상하 이동 또는 수평 이동시킨다.
상기 암이동장치(100)는, 인가된 전원에 의해 일측방향(예를 들어 시계방향) 또는 타측방향(예를 들어 반시계방향)으로 회전되는 암모터(110)와, 상기 암모터(110)의 모터축과 조립되고, 상기 암모터(110)의 회전력을 변환시키는 기어박스(120)와, 상기 기어박스(120)와 조립되어 일측방향 또는 타측방향으로 회전되는 제 1 타이밍벨트(130)와, 상기 기어박스(120)에 조립되고, 상기 기어박스(120)로 부터 구동력을 제공받고, 상기 제 1 타이밍벨트(130)와 치합되는 제 1 타이밍기어(미도시)와, 상기 제 1 타이밍벨트(130)와 치합되고, 상기 제 1 타이밍기어의 반대편에 배치되는 제 2 타이밍기어(132)와, 상기 제 2 타이밍기어(132)를 통해 전달받은 구동력에 의해 회전되는 제 2 타이밍벨트(140)와, 상기 제 2 타이밍벨트(140)에 결합되어 이동되는 암바디(150)와, 상기 제 2 타이밍기어(132)로 부터 구동력을 전달받고, 상기 제 2 타이밍벨트(140)와 치합되어 상기 제 2 타이밍벨트(140)에 구동력을 전달하는 제 1 바디기어(141)와, 상기 제 2 타이밍벨트(140)와 치합되고, 상기 제 1 바디기어(141)의 반대편에 배치되는 제 2 바디기어(미도시)와, 상기 암바디(150)에 조립되고, 상하 방향으로 스트로크를 발생시키는 에어실린더(160)와, 상기 에어실린더(160)에 조립되어 상하 방향으로 이동되는 실린더암(180)을 포함한다.
본 실시예에 따른 이비알장치는 상기 실린더암(180)에 배치되고, 상기 노즐(22)을 고정시키는 클램프(200)를 더 포함한다.
상기 제 1 타이밍벨트(130)의 내측 일단에 상기 제 1 타이밍기어가 배치되고, 내측 타단에 상기 제 2 타이밍기어(132)가 배치된다.
상기 제 1 타이밍벨트(130)의 내주면에 치형이 형성된다.
상기 제 1 타이밍기어 및 제 2 타이밍기어(132)는 피니언기어 형태일 수 있다.
상기 제 2 타이밍기어(132) 및 제 1 바디기어(141)가 하나의 기어축을 통해 결합되고, 상기 제 2 타이밍기어(132) 및 제 1 바디기어(141) 사이에 서포트바디(135)가 더 배치될 수 있다. 상기 기어축이 상기 서포트바디(135)를 관통하게 배치되고, 베어링 또는 저널을 통해 지지될 수 있다.
상기 제 2 타이밍벨트(140)가 좌우 방향으로 길게 연장되게 배치된다.
상기 제 2 타이밍벨트(140)의 내측 일단에 상기 제 1 바디기어(141)가 배치되고, 내측 타단에 상기 제 2 바디기어가 배치된다.
상기 제 2 타이밍벨트(140)의 내주면에 치형이 형성되고, 상기 제 1 바디기어(141) 및 제 2 바디기어와 치합된다. 본 실시예에서 상기 제 1 바디기어(141) 및 제 2 바디기어가 피니언기어 형태로 제작된다.
상기 제 2 타이밍벨트(140)는 상기 제 1 바디기어(141) 및 제 2 바디기어의 상측을 감싸게 배치되어 순환되는 제 2 어퍼타이밍벨트(143)와, 상기 제 1 바디기어(141) 및 제 2 바디기어의 하측을 감싸게 배치되어 순환되는 제 2 로어타이밍벨트(144)를 포함한다.
상기 암바디(150)가 상기 제 2 타이밍벨트(140)에 결합되어 좌우 방향으로 이동된다.
상기 암바디(150)의 이동을 안내하기 위해 상기 제 2 로어타이밍벨트(144) 하부에 가이드플레이트(16)가 배치된다.
상기 암바디(150)는, 상기 가이드플레이트(16)에 거치되는 제 1 암바디부(151)와, 상기 제 1 암바디부(151)에서 상측으로 수직하게 절곡되어 형성되는 제 2 암바디부(152)와, 상기 제 2 암바디부(152)에서 수평하게 절곡되고, 상기 제 1 암바디부(151)와 대향되어 상기 제 2 어퍼타이밍벨트(143)의 상측에 배치되는 제 3 암바디부(153)와, 상기 제 3 암바디부(153)에서 수직하게 상측으로 절곡되어 형성되는 제 4 암바디부(154)와, 상기 제 4 암바디부(154)에서 수평하게 절곡되고, 상기 제 3 암바디부(153)와 대향되게 배치되는 제 5 암바디부(155)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 암바디(150)는 상기 제 1 암바디부(151)의 저면에 결합되고, 상기 가이드플레이트(16)의 가장자리를 감싸게 배치되는 암바디가이드(156)를 더 포함한다.
상기 암바디가이드(156) 및 가이드플레이트(16) 중 적어도 어느 하나에 베어링이 배치된다. 상기 암바디가이드(156) 및 가이드플레이트(16)가 엘엠가이드를 통해 연결될 수 있다.
상기 암바디가이드(156)는 상기 제 1 암바디부(151)의 상측면에 거치되는 제 1 바디가이드부(156a)와, 상기 제 1 바디가이드부(156a)의 가장자리에서 하측으로 절곡된 제 2 가이드부(156b)를 포함한다.
상기 제 1 암바디부(151), 제 2 암바디부(152), 제 3 암바디부(153), 제 4 암바디부(154) 및 제 5 암바디부(155)가 지그재그 형태로 배치되기 때문에 설치면적을 최소화할 수 있다.
상기 암이동장치(100)는 상기 제 1 암바디부(151) 또는 암바디가이드(156)에 체결결합되고, 상기 제 2 로어타이밍벨트(144)와 치합되는 암치합부재(170)를 더 포함한다.
상기 암치합부재(170)는 상기 제 1 암바디부(151) 또는 암바디가이드(156) 중 적어도 어느 하나에 체결결합되는 제 1 치합바디부(171)와, 상기 제 1 치합바디부(171)에서 수평하게 절곡되고, 상기 제 1 암바디부(151)의 상측면에 밀착되는 제 2 치합바디부(미도시)와, 상기 제 2 치합바디부에서 상측으로 절곡되고, 상기 제 2 로어타이밍벨트(144) 및 제 2 어퍼타이밍벨트(143)의 높이 중간까지 연장되는 제 3 치합바디부(미도시)와,상기 제 3 치합바디부에서 상기 제 2 로어타이밍벨트(144) 상측으로 수평하게 절곡되는 제 4 치합바디부(174)와, 상기 제 4 치합바디부(174)의 저면에 배치되고, 상기 제 2 로어타이밍벨트(144)의 치형과 치합되는 치합바디치형(미도시)을 포함한다.
상기 암치합부재(170)의 위치를 조정한 후, 체결부재를 통해 상기 제 1 치합바디부(171)를 고정할 수 있고, 위치 변경 시 상기 체결부재를 해제한 후 상기 제 1 치합바디부(171)의 위치를 수정할 수 있다.
상기 제 5 암바디부(155)에 상기 에어실린더(160)가 배치된다.
상기 에어실린더(160)에 상기 실린더암(180)이 조립되고, 상기 에어실린더(160)의 작동에 의해 상기 실린더암(180)이 상하 방향으로 이동되어 위치될 수 있다.
상기 암이동장치(100)를 통해 하우징(10) 외부에 위치해 있던 상기 노즐(22)을 상기 하우징개구면(11) 상측으로 이동시킬 수 있고, 상기 에어실린더(160)의 작동을 통해 상기 노즐(22)을 상기 하우징개구면(11)을 통해 상기 하우징(10) 내부로 이동시킬 수 있다.
상기 노즐(22)이 상기 하우징(10) 내부로 이동된 후, 상기 용제공급장치(20)를 작동시켜 용제를 웨이퍼(W) 가장자리에 낙하시킬 수 있다.
상기 실린더암(180)은 상기 에어실린더(160)에 고정되는 제 1 실린더암부(181)와, 상기 제 1 실린더암부(181)에서 상측으로 절곡되어 연장된 제 2 실린더암부(182)와, 상기 제 2 실린더암부(182)의 상단에서 수평방향으로 절곡되어 연장된 제 3 실린더암부(183)를 포함한다.
탑뷰로 볼 때, 상기 제 1 실린더암부(181), 제 2 실린더암부(182) 및 제 3 실린더암부(183)가 일렬로 배치되고, 상기 제 1 실린더암부(181), 제 2 실린더암부(182) 및 제 3 실린더암부(183) 순으로 상기 에어실린더(160)와 멀어지게 배치된다.
상기 제 3 실린더암부(183)에 상기 클램프(200)가 조립된다.
상기 암바디(150), 에어실린더(160) 및 실린더암(180)을 커버하는 암하우징(190)이 더 배치될 수 있다.
상기 제 3 실린더암부(183)가 상기 암하우징(190) 외부로 돌출되게 배치된다.
상기 클램프(200)는 상기 제 3 실린더암부(183)에 조립되고, 상기 제 3 실린더암부(183)의 길이 방향으로 길게 연장되게 배치되는 클램프암(210)과, 상기 클램프암(210) 및 노즐(22)을 결합시키는 클램프어셈블리(220)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 노즐(22)은 상기 용제호스(23)와 연결되는 메인노즐관(22a)과, 메인노즐관(22a)보다 작은 직경으로 형성되고, 용제가 토출되는 미세노즐관(22b)을 포함한다.
상기 메인노즐관(22a) 및 미세노즐관(22b)이 모두 같은 재질의 금속으로 형성된다.
본 실시예에서 상기 클램프어셈블리(220)는 상기 메인노즐관(22a)을 고정시킨다.
상기 클램프암(210)은 상기 제 3 실린더암부(183)에 고정되는 제 1 클램프암부(211)와, 상기 제 1 클램프암부(211)에서 하측으로 절곡되게 형성되는 제 2 클램프암부(212)를 포함한다.
상기 제 1 클램프암부(211) 및 제 2 클램프암부(212)가 견고한 금속재질로 형성된다.
상기 클램프어셈블리(220)는, 상기 제 2 클램프암부(212)의 일측 외주면에 밀착되는 제 1 클램프바디(230)와, 상기 제 2 클램프암부(212)의 타측 외주면에 밀착되는 제 2 클램프바디(240)와, 상기 제 1 클램프바디(230) 및 제 2 클램프바디(240)를 체결결합시키는 제 1 클램프체결부재(250)와, 상기 노즐(22)의 일측 외주면에 밀착되고, 상기 제 1 클램프바디(230)와 조립되는 제 1 회전바디(260)와, 상기 노즐(22)의 타측 외주면에 밀착되는 제 2 회전바디(270)와, 상기 제 1 회전바디(260) 및 제 2 회전바디(270)를 체결결합시키는 제 2 클램프체결부재(280)와, 상기 제 1 클램프바디(230) 및 제 1 회전바디(260)를 체결결합시키는 제 3 클램프체결부재(290)를 포함한다.
상기 제 1 클램프바디(230)가 상기 제 2 클램프바디(240) 보다 넓은 면적으로 형성된다.
상기 제 1 클램프바디(230)의 상측면에 제 1 암홈(238)이 형성되고, 상기 제 2 클램프바디(240)의 하측면에 제 2 암홈(248)이 형성된다. 상기 제 1 암홈(238) 및 제 2 암홈(248)이 서로 마주보게 배치된다.
상기 제 1 암홈(238) 및 제 2 암홈(248) 사이에 상기 제 2 클램프암부(212)가 삽입되어 끼움고정된다. 본 실시예에서 상기 제 1 암홈(238) 및 제 2 암홈(248)이 반원통의 일부 형상으로 된다.
상기 제 2 클램프바디(240)는, 상기 제 1-1 클램프부재(251)가 관통되는 제 2-1 바디관통홀(243)과, 상기 제 1-2 클램프부재(252)가 관통되는 제 2-2 바디관통홀(244)을 포함한다.
상기 제 2-1 바디관통홀(243)의 하측에 상기 제 1-1 바디관통홀(233)이 일렬 배치되고, 상기 제 2-2 바디관통홀(244)의 하측에 상기 제 1-2 바디관통홀(234)이 일렬 배치된다.
상기 제 1 클램프바디(230)의 좌우 중간에 상기 제 1 암홈(238)이 배치되고, 상기 제 2 클램프바디(240)의 좌우 중간에 상기 제 2 암홈(248)이 배치된다.
본 실시예에서 상기 제 1 클램프체결부재(250)는 상기 제 2 클램프암부(212)의 좌측에 배치되는 제 1-1 클램프부재(251)와, 상기 제 2 클램프암부(212)의 우측에 배치되는 제 1-2 클램프부재(252)를 포함한다.
상기 제 1-1 클램프부재(251) 및 제 1-2 클램프부재(252)가 상기 제 2 클램프바디(240)를 관통하여 상기 제 1 클램프바디(230)에 체결 결합된다.
본 실시예에서 상기 제 1 클램프바디(230)의 저면에 상기 제 1-1 클램프부재(251)와 체결결합되는 제 1-1 조임부재(253)와, 상기 제 1-2 클램프부재(252)와 체결결합되는 제 1-2 조임부재(254)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 제 1-1 클램프부재(251) 및 제 1-2 클램프부재(252)는 볼트이고, 상기 제 1-1 조임부재(253) 및 제 1-2 조임부재(254)는 너트이다.
상기 제 1 클램프바디(230)는 상기 제 1-1 클램프부재(251)가 관통되는 제 1-1 바디관통홀(233)과, 상기 제 1-2 클램프부재(252)가 관통되는 제 1-2 바디관통홀(234)과, 저면에서 상측으로 오목하게 형성되고, 상기 제 1-1 바디관통홀(233)과 연통되며, 상기 제 1-1 조임부재(253)가 삽입되는 제 1-1 바디홈(231)과, 저면에서 상측으로 오목하게 형성되고, 상기 제 1-2 바디관통홀(234)과 연통되며, 상기 제 1-2 조임부재(254)가 삽입되는 제 1-2 바디홈(232)을 포함한다.
상기 제 1-1 바디홈(231)에 상기 제 1-1 조임부재(253)이 삽입되고, 상기 제 1-2 바디홈(232)에 상기 제 1-2 조임부재(254)가 삽입된다.
본 실시예에서 상기 제 1-1 조임부재(253) 및 제 1-2 조임부재(254)는 사각형, 육각형 또는 팔각형 형상이고, 상기 제 1-1 바디홈(231) 및 제 1-2 바디홈(232)도 이에 대응하여 사각형, 육각형 또는 팔각형 형상으로 형성된다.
그래서 상기 제 1-1 조임부재(253) 및 제 1-2 조임부재(254)가 상기 제 1-1 바디홈(231) 및 제 1-2 바디홈(232)에 삽입된 경우, 회전이 제한되고, 이를 통해 상기 제 1 클램프바디(230) 및 제 2 클램프바디(240)의 이격을 억제할 수 있다.
상기 제 1 회전바디(260)는 길게 연장되게 형성되고, 일단이 상기 제 1 클램프바디(230)에 고정된다.
상기 제 1 회전바디(260)는 상기 제 2 클램프체결부재(280)가 관통되는 제 1-1 회전바디홀(261) 및 제 1-2 회전바디홀(262)과, 상기 제 3 클램프체결부재(290)가 관통되는 제 1-3 회전바디홀(263)을 포함한다.
상기 제 1-1 회전바디홀(261) 및 제 1-2 회전바디홀(262) 및 제 1-3 회전바디홀(263)은 동일한 형상으로 형성된다.
상기 제 2 회전바디(270)는 상기 제 2 클램프체결부재(280)가 관통되는 제 2-1 회전바디홀(271) 및 제 2-2 회전바디홀(272)을 포함한다.
상기 제 1-1 회전바디홀(261) 및 제 2-1 회전바디홀(271)이 상하 방향으로 일렬 배치되고, 상기 제 1-2 회전바디홀(262) 및 제 2-2 회전바디홀(272)이 상하 방향으로 일렬 배치된다.
본 실시예에서 상기 제 2 회전바디(270)가 상기 제 1 회전바디(260)의 하부에 배치되고, 상기 제 2 회전바디(270)가 상기 제 1 클램프바디(230)와 동일 평면상에 배치된다.
본 실시예에서 상기 제 1 클램프바디(230)의 상측에 상기 제 1-1 회전바디홀(261)이 배치되고, 상기 제 1 클램프바디(230)에 상기 제 1-1 회전바디홀(261)에 대응되는 제 1 클램프바디홀(236)이 형성된다.
상기 제 1-1 회전바디홀(261) 및 제 1 클램프바디홀(236)이 상하 방향으로 일렬 배치된다.
본 실시예에서 상기 제 3 클램프체결부재(290)는 상기 제 1-1 회전바디홀(261) 및 제 1 클램프바디홀(236)를 관통하게 배치되는 제 3-1 클램프부재(291)와, 상기 제 1 클램프바디(230)에 배치되고, 상기 제 3-1 클램프부재(291)와 체결결합되는 제 3-2 클램프부재(292)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 제 3-1 클램프부재(291)는 볼트이고, 상기 제 3-2 클램프부재(292)는 너트이다.
상기 제 1 클램프바디(230)의 저면에서 상측으로 오목하게 제 1-3 바디홈(235)이 형성된다.
상기 제 1-3 바디홈(235)이 상기 제 1 클램프바디홀(236)과 연결되고, 상기 제 1-3 바디홈(235)이 상기 제 1 클램프바디홀(236) 보다 넓은 면적으로 형성된다.
탑뷰로 볼 때, 상기 제 1-3 바디홈(235)의 내측에 상기 제 1 클램프바디홀(236)이 배치된다.
상기 제 1-3 바디홈(235)은 사각형, 육각형 또는 팔각형 형상으로 형성되고, 이에 대응하여 상기 3-2 클램프부재(292)이 사각형, 육각형 또는 팔각형 형상으로 형성된다.
상기 제 2 클램프체결부재(280)는, 상기 제 1-1 회전바디홀(261) 및 제 2-1 회전바디홀(271)을 관통하게 배치되는 제 2-1 클램프부재(281)와, 상기 제 2-1 회전바디홀(271) 및 제 2-2 회전바디홀(272)를 관통하게 배치되는 제 2-2 클램프부재(282)와, 상기 제 2-1 클램프부재(281)와 체결결합되는 제 2-1 조임부재(283)와, 상기 제 2-2 클램프부재(282)와 체결결합되는 제 2-2 조임부재(284)를 포함한다.
상기 제 2-1 클램프부재(281) 및 제 2-2 클램프부재(282)는 볼트 형상이다.
본 실시예에서 상기 제 2 회전바디(270)는 상기 제 2-1 회전바디홀(271)과 연통되며, 상기 제 2-1 조임부재(283)가 삽입되는 제 2-1 바디홈(273)과, 상기 제 2-2 회전바디홀(272)과 연통되며, 상기 제 2-2 조임부재(284)가 삽입되는 제 2-2 바디홈(274)를 더 포함한다.
상기 제 2-1 조임부재(283) 및 제 2-2 조임부재(284)는 사각형, 육각형 또는 팔각형 형상의 너트이고, 이에 대응하여 상기 제 2-1 바디홈(273) 및 제 2-2 바디홈(274)이 사각형, 육각형 또는 팔각형 형상으로 형성된다.
상기 제 2-1 조임부재(283) 및 제 2-2 조임부재(284)가 상기 제 2-1 바디홈(273) 및 제 2-2 바디홈(274)에 삽입된 상태에서 회전이 억제되기 때문에, 체결결합이 느슨해지는 것을 억제할 수 있다.
상기 제 1 회전바디(260) 및 제 2 회전바디(270) 사이에 상기 메인노즐관(22a)이 끼워져 고정된다. 상기 제 1 회전바디(260) 및 제 2 회전바디(270)가 밀착되어 상기 메인노즐관(22a)이 과도하게 압착되는 것을 방지하기 위해, 상기 제 1 회전바디(260)에 상기 메인노즐관(22a)의 일측이 삽입되는 제 1 노즐홈(265)이 형성되고, 상기 제 2 회전바디(270)에 상기 메인노즐관(22a)의 타측이 삽입되는 제 2 노즐홈(275)이 형성된다.
상기 제 1 노즐홈(265) 및 제 2 노즐홈(275)이 반원통의 일부 형상으로 된다.
상기 메인노즐관(22a)은 상기 제 2-1 클램프부재(281) 및 제 2 클램프부재(282) 중간에 배치되고, 상기 제 2-1 클램프부재(281) 및 제 2 클램프부재(282)의 체결력을 통해 균일한 압력을 제공받을 수 있다.
또한, 상기 제 1 회전바디(260) 및 제 2 회전바디(270)가 밀착되어 상기 메인노즐관(22a)이 과도하게 압착되는 것을 방지하기 위해, 상기 제 1 회전바디(260) 및 제 2 회전바디(270) 사이에 제 1 이격부재(221) 및 제 2 이격부재(222)가 배치된다.
상기 제 1 이격부재(221) 및 제 2 이격부재(222)는 상기 제 1 회전바디(260) 및 제 2 회전바디(270) 보다 무른 금속재질로 형성된다.
상기 제 2-1 클램프부재(281)가 상기 제 1 이격부재(221)를 관통하게 배치되고, 상기 제 2-2 클램프부재(282)가 상기 제 2 이격부재(222)를 관통하게 배치된다.
본 실시예에 따른 클램프(200)는 상기 제 1 회전바디(260) 및 제 2 회전바디(270)를 통해 상기 메인노즐관(22a)을 고정시킨 후, 상기 제 1 회전바디(260)를 상기 제 1 클램프바디(230)에 대해 회전시켜 고정할 수 있기 때문에, 상기 메인노즐관(22a)의 위치를 보다 정밀하게 조정할 수 있는 특징이 있다.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 클램프의 평면도이고, 도 9는 도 8에 도시된 B-B를 따라 절단된 단면도이다.
본 실시예에 따른 클램프(200)는, 상기 노즐(22)의 진동을 억제하는 진동억제부재(300)를 더 포함한다. 상기 진동억제부재(300)는 탄성재질로 형성된다.
상기 암이동장치(100)에 의해 상기 노즐(22)이 이동된 후 정지될 경우, 관성에 의해 상기 노즐(22)에 진동이 발생될 수 있고, 상기 진동에 의해 용제의 낙하 위치가 변경될 수 있다. 상기 진동을 억제하기 위해 상기 암바디(150)을 저속으로 이동시킬 경우 생산수율이 저하될 수 있다.
상기 암이동장치(100)가 상기 암바디(150)를 고속으로 이동시킨 후 정지시키더라도 본 실시예에 따른 상기 진동억제부재(300)를 통해 상기 노즐(22)에 발생되는 진동을 억제할 수 있다.
상기 진동억제부재(300)는 상기 제 1-1 클램프부재(251)를 통해 상기 제 2 클램프바디(240)에 고정되는 제 1 고정부(310)와, 상기 제 1 고정부(310)에서 연장되는 연장부(320)와, 상기 연장부(320)에서 길이 방향으로 더 연장되고, 상기 노즐(22)을 감싸게 배치되는 제 2 고정부(330)를 포함한다.
상기 제 1 고정부(310)는 링형상으로 형성되고, 상기 제 1-1 클램프부재(251)가 상기 제 1 고정부(310)의 중심을 관통한다.
상기 제 1-1 클램프부재(251)가 상기 제 1 고정부(310)를 상기 제 2 클램프바디(240)의 상측면에 가압하여 고정하기 때문에, 상기 진동억제부재(300)가 견고한 조립상태를 유지할 수 있다.
또한, 상기 제 1 클램프바디(230) 및 제 2 클램프바디(240)의 조립 시, 상기 진동억제부재(300)도 함께 조립할 수 있기 때문에, 조립편의성을 향상시키고 진동억제부재(300)의 설치를 위한 별도의 구성이 요구되지 않는 장점이 있다.
본 실시예에서 상기 진동억제부재(300)는 상기 제 2 고정부(330)가 상기 연장부(320)를 관통하게 배치하여 상기 제 2 고정부(330)를 고정한다.
이를 위해, 상기 연장부(320)를 관통하는 복수개의 관통슬릿(321)이 형성된다. 상기 관통슬릿(321)은 상기 연장부(320)의 길이방향으로 따라 복수개가 등간격으로 이격되게 배치된다.
상기 제 2 고정부(330)가 상기 노즐(22)을 감싼 후, 상기 복수개의 관통슬릿(321) 중 하나를 관통하게 삽입된다.
상기 제 2 고정부(330)가 복수개의 관통슬릿(321) 중 하나에 삽입되기 때문에, 노즐(22)과의 거리가 일정하지 않더라도 설치환경에 적응하여 설치할 수 있는 특징이 있다.
본 실시예에서 상기 제 2 고정부(330)가 상측에서 하측 방향으로 상기 관통슬릿(321)을 관통하게 배치되고, 상기 제 2 고정부(330)가 상기 관통슬릿(321)에서 분리되는 것을 방지하기 위해 클립(340)이 더 배치된다.
상기 클립(340)은 상기 관통슬릿(321)을 통과한 상기 제 2 고정부(330)에 고정되고, 상기 연장부(320)의 하측면(322)에 밀착되어 상기 제 2 고정부(330)가 관통슬릿(321)에서 분리되는 것을 억제한다.
상기 제 1 회전바디(260)를 기준으로 전방에 상기 미세노즐관(22b)이 배치된다. 상기 제 2 고정부(330)는 상기 제 1 회전바디(260)의 후방으로 연장된 상기 메인노즐관(22a)을 감싸 고정하고, 상기 메인노즐관(22a)에 장력을 형성할 수 있다.
상기 진동억제부재(300)가 상기 메인노즐관(22a)을 탄성지지하기 때문에, 상기 암바디(150)의 고속이동 후 급정지하더라도 상기 노즐(22)에 발생된 진동을 효과적으로 억제 및 해소할 수 있는 특징이 있다.
이하 나머지 구성은 상기 제 1 실시예와 유사하기 때문에 상세한 설명을 생략한다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 클램프의 단면도이다.
본 실시예에 따른 이비알장치는 상기 제 2 실시예와 달리 제 1 클램프바디(230) 및 제 2 클램프바디(240)가 상하 방향으로 상대회전되게 구성되고, 이를 통해 상기 클램프암(210)을 보다 간편하게 고정할 수 있는 특징이 있다.
본 실시예에 따른 클램프(200)는, 상기 제 1 클램프바디(230)에서 상측으로 절곡되게 연장된 클램프힌지(239)와, 상기 제 2 클램프바디(240)에 배치되고, 상기 클램프힌지(239)가 삽입되는 클램프힌지홈(245)과, 상기 클램프힌지(239)를 관통하여 상기 제 2 클램프바디(240)에 조립되는 클램프힌지축(249)을 더 포함한다.
상기 클램프힌지축(249)을 중심으로 상기 제 1 클램프바디(230) 및 제 2 클램프바디(240)가 상하 방향으로 상대회전될 수 있다.
그래서 상기 클램프암(210)을 상기 제 1 암홈(238) 및 제 2 암홈(248) 사이에 배치한 후, 상기 제 1-1 클램프부재(251)를 체결하여 상기 클램프암(210)의 고정과정을 단순화할 수 있는 특징이 있다.
또한, 상기 클램프암(210)의 위치를 조정할 경우에도 상기 제 1-1 클램프부재(251)만을 해제하기 때문에, 조정과정도 단순화할 수 있는 특징이 있다.
이하 나머지 구성은 상기 제 2 실시예와 유사하기 때문에 상세한 설명을 생략한다.
본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며 후술하는 특허청구의 범위뿐만 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10 : 하우징 20 : 용제공급장치
21 : 용제탱크 22 : 노즐
23 : 용제호스 24 : 밸브어셈블리
100 : 암이동장치 110 : 암모터
120 : 기어박스 130 : 제 1 타이밍벨트
140 : 제 2 타이밍벨트 150 : 암바디
160 : 에어실린더 180 : 실린더암
200 : 클램프 210 : 클램프암
220 : 클램프어셈블리 230 : 제 1 클램프바디
240 : 제 2 클램프바디 250 : 제 1 클램프체결부재
260 : 제 1 회전바디 270 : 제 2 회전바디
280 : 제 2 클램프체결부재 290 : 제 3 클램프체결부재

Claims (5)

  1. 상측이 개구된 하우징개구면(11)이 형성되고, 내부에 웨이퍼(W)가 배치되는 하우징(10);
    포토레지스트 코팅 처리된 웨이퍼(W)의 가장자리에 용제를 낙하시키는 용제공급장치(20);
    상기 하우징(10)의 일측에 배치되고, 상기 용제공급장치(20)를 이동시키는 암이동장치(100);를 포함하고,
    상기 용제공급장치(20)는,
    용제가 저장되는 용제탱크(21);
    용제가 토출되는 노즐(22);
    상기 용제탱크(21) 및 노즐(22)을 연결하는 용제호스(23);
    상기 용제호스(23)에 배치되는 밸브어셈블리(24);를 포함하고,
    상기 암이동장치(100)에 배치되고, 상기 노즐(22)을 고정시키는 클램프(200)를 더 포함하고,
    상기 클램프(200)는,
    상기 암이동장치(100)에 조립되는 클램프암(210);
    상기 클램프암(210) 및 노즐(22)을 결합시키는 클램프어셈블리(220);를 포함하고,
    상기 암이동장치(100)는,
    인가된 전원에 의해 일측방향 또는 타측방향으로 회전되는 암모터(110)와,
    상기 암모터(110)의 모터축과 조립되고, 상기 암모터(110)의 회전력을 변환시키는 기어박스(120)와,
    상기 기어박스(120)와 조립되어 일측방향 또는 타측방향으로 회전되는 제 1 타이밍벨트(130)와,
    상기 기어박스(120)에 조립되고, 상기 기어박스(120)로 부터 구동력을 제공받고, 상기 제 1 타이밍벨트(130)와 치합되는 제 1 타이밍기어와,
    상기 제 1 타이밍벨트(130)와 치합되고, 상기 제 1 타이밍기어의 반대편에 배치되는 제 2 타이밍기어(132)와,
    상기 제 2 타이밍기어(132)를 통해 전달받은 구동력에 의해 회전되는 제 2 타이밍벨트(140)와,
    상기 제 2 타이밍벨트(140)에 결합되어 이동되는 암바디(150)와,
    상기 제 2 타이밍기어(132)로 부터 구동력을 전달받고, 상기 제 2 타이밍벨트(140)와 치합되어 상기 제 2 타이밍벨트(140)에 구동력을 전달하는 제 1 바디기어(141)와,
    상기 제 2 타이밍벨트(140)와 치합되고, 상기 제 1 바디기어(141)의 반대편에 배치되는 제 2 바디기어와,
    상기 암바디(150)에 조립되고, 상하 방향으로 스트로크를 발생시키는 에어실린더(160)와,
    상기 에어실린더(160)에 조립되어 상하 방향으로 이동되는 실린더암(180)을 포함하고,
    상기 클램프암(210)은 상기 실린더암(180)에 고정되는 제 1 클램프암부(211)와, 상기 제 1 클램프암부(211)에서 하측으로 절곡되게 형성되는 제 2 클램프암부(212)를 포함하고,
    상기 클램프어셈블리(220)는,
    상기 제 2 클램프암부(212)의 일측 외주면에 밀착되는 제 1 클램프바디(230)와,
    상기 제 2 클램프암부(212)의 타측 외주면에 밀착되는 제 2 클램프바디(240)와,
    상기 제 1 클램프바디(230) 및 제 2 클램프바디(240)를 체결결합시키는 제 1 클램프체결부재(250)와,
    상기 노즐(22)의 일측 외주면에 밀착되고, 상기 제 1 클램프바디(230)와 조립되는 제 1 회전바디(260)와,
    상기 노즐(22)의 타측 외주면에 밀착되는 제 2 회전바디(270)와,
    상기 제 1 회전바디(260) 및 제 2 회전바디(270)를 체결결합시키는 제 2 클램프체결부재(280)와,
    상기 제 1 클램프바디(230) 및 제 1 회전바디(260)를 체결결합시키는 제 3 클램프체결부재(290)를 포함하는 이비알 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 3 클램프체결부재(290)는,
    상기 제 1 회전바디(260) 및 제 1 클램프바디(230)를 관통하게 배치되는 제 3-1 클램프부재(291);
    상기 제 1 클램프바디(230)에 배치되고, 상기 제 3-1 클램프부재(291)와 체결결합되는 제 3-2 클램프부재(292);를 포함하고,
    상기 제 1 클램프바디(230)의 저면에서 상측으로 오목하게 제 1-3 바디홈(235)이 형성되고,
    상기 제 1-3 바디홈(235)이 사각형, 육각형 또는 팔각형 형상으로 형성되고, 상기 제 1-3 바디홈(235)에 삽입된 상기 제 3-2 클램프부재(292)가 수평 방향 회전에 대하여 상기 제 1-3 바디홈(235)과 상호 걸림을 형성하는 이비알 장치.
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