KR102570282B1 - 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 클린룸 환경에 최적화된 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템으로서, 케이블(40)을 감싸서 케이블 피복을 보호하고 유동을 잡아주는 역할을 하는 이티에프이(ETFE)(Ethylene Tetra fluoro Ethylene) 케이블 외피(30), 상기 ETFE 케이블 외피(30) 다발을 감싸서 묶어주고 보호하는 역할을 하는 ETFE 외피(20), 상기 ETFE 외피(20)의 양단부 근방에 위치하며, 상기 ETFE 케이블 외피(30)를 단단히 클램핑 하고 고정하는 역할을 하는 클램프(CLAMP)로 구성된 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 따른 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템에 의하면, 클린 시스템용 POD의 구조를 복수개의 분리된 공간에 묶여있는 케이블 홀더를 추가적으로 감싸는 형태로 POD를 구성하여 케이블을 효과적으로 유지 및 관리할 수 있는 효과가 있다.

Description

클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템{NON-DUST CABLE SYSTEM FOR CLEAN ROOM AUTOMATION SYSTEM ROBOT}
본 발명은 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, 클린 시스템용 POD의 구조를 복수개의 분리된 공간에 묶여있는 케이블 홀더를 추가적으로 감싸는 형태로 POD를 구성하되, ETFE 케이블 외피를 추가적으로 ETFE 외피로 감싸게 됨으로써, 케이블을 효과적으로 유지 및 관리할 수 있는 것을 새로운 형태의 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템에 관한 것이다.
분진에 민감한 클린룸 공정에서 클린룸 전용 케이블이 사용되고 있다. 이러한 케이블은 내마모성과 내열성이 우수하고, 일명 POD(무분진 CABLE JACKET)라 칭하며, 이는 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) MEMBRANE을 주 구성원으로 하는 클린룸 전용 케이블이다. 이러한 케이블은 무분진 무빙 시스템의 구현을 위한 구성품이다.
POD는 PTFE(Polytetrafluoroethylene, 또는 Teflon®-테프론) 수지로 제조된 다공질 막으로 구성되며, 용도는 케이블 보호용 커버이고, 특징은 고내열, 내화학성, 내부식성을 가진다. 이렇게 제조된 무분진 케이블 보호형 커버에서 POD수는 1~7 설정가능하고, 구조는 우레탄과 테프론으로 구성된 다층(6층 이상)구조로 되어있다.
표 1은 POD는 특성을 나타낸 표이다.
항목 스펙
내열성 335℃이하 열변형 거의 없음
내부식성 테프론+우레탄 소재로 구성되어 부식 거의 없음
내마찰력 테프론 소재의 특성으로 인하여 마찰계수가 낮음
내화학성 열접착 구조의 단순설계로 인한 화학물질 발생없음. 클린 공정의 최적화 특성
유연성 0.1T 수준의 필름을 이용한 합지구조로 인하여 우수한 유연성 확보
POD 1~7개의 POD 설정가능
한편, 종래 기술에 따른 폭 조절형 롤러의 장착을 통한 개별 폭 적용 케이블보호커버 제작에 대하여 설명한다.
이는, 1~7 POD의 개별 폭을 조절할 수 있도록 하는 제품 개발에 관한 것으로서, 케이블의 종류에 따른 폭 맞춤형 보호커버 제작이 가능하며, 10~200mm이내 자유로운 폭 설정이 가능하다. 종래 기술에서, POD간 접착을 위한 가변 폭 롤러가 개발되었으나, 기존 롤러는 케이블에 따른 구간별 폭 조절이 불가능하여, 이에 사용자들의 다양한 요구를 충족시키기 위해서는 롤러를 요구에 맞게 제작하고 장착하여 제품을 생산하여야 하는 문제점이 있었다. 개선방안으로는, 롤러 자체에서 구간별 폭을 조절할 수 있는 롤러를 개발하고, 롤러의 탈부착 공정이 없어지고 관련 공정변수도 제거하였다.
한편, 클린케이블 이란 클램프, 케이블, 에어호스, 체인, POD를 포함하며, 클램프는 케이블 및 포드를 묶어주는 역할을 하고, POD는 케이블을 보호하고 분진을 방지한다. 체인은 가동곡률유지 및 케이블 하중지지용도로 사용된다.
클린케이블의 용도는 장비 구동시 함께 구동되는 케이블의 자체 분진을 최소화하고, 반도체라인과 같은 클린 공정에 적용하여 불량률 최소화하며, 무결점 공정이 많아지는 생산라인 또는 검사장비 분야에 사용되는 반도체 검사장비이다.
상기한 바와 같은 클린 시스템용 POD를 사용함에 있어서, 클린 케이블과 같은 다양한 구성요소를 효과적으로 케이블을 유지할 수 있도록 하는 새로운 기술개발이 요구되고 있는 실정이다.
[선행기술문헌]
대한민국특허등록번호 제10-1970827호(2019년04월15일등록)(발명의 명칭:무분진 클린 케이블 자켓 및 그 제조 방법)
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 클린 시스템용 POD의 구조를 복수개의 분리된 공간에 묶여있는 케이블 홀더를 추가적으로 감싸는 형태로 POD를 구성하되, ETFE 케이블 외피를 추가적으로 ETFE 외피로 감싸게 됨으로써, 케이블을 효과적으로 유지 및 관리할 수 있는 새로운 형태의 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 이러한 목적은 클린룸 환경에 최적화된 로봇용 무분진 케이블 시스템으로서, 케이블(40)을 감싸서 케이블 피복을 보호하고 유동을 잡아주는 역할을 하는 이티에프이(ETFE)(Ethylene Tetra fluoro Ethylene)) 케이블 외피(30),
상기 ETFE 케이블 외피(30) 다발을 감싸서 묶어주고 보호하는 역할을 하는 ETFE 외피(20), 및
상기 ETFE 외피(20)의 양단부 근방에 위치하며, 상기 ETFE 케이블 외피(30)를 단단히 클램핑 하고 고정하는 역할을 하는 클램프(CLAMP)를 포함하는 로봇용 무분진 케이블 시스템을 통해 달성되며, 상기 ETFE 케이블 외피(30)는 서로 면접되어 위치된 복수개의 공압튜브(50)를 보호하고 유동을 잡아주는 역할을 하고,
상기 ETFE 케이블 외피(30)와 ETFE 외피(20)는 내마모성과 내열성이 우수한 ETFE 소재 원단으로 된 재킷이며,
상기 ETFE 케이블 외피(30)내에 다수의 케이블(40)이 서로 맞닿아 면접되어 설치되고, 상기 복수개의 ETFE 케이블 외피(30)는 서로 면접되어 위치되며, 이러한 복수개의 케이블 외피(30)를 감싸는 하나의 ETFE 외피(20)로 구성되며, 상기 ETFE 외피(20)는 양단부 근처가 클램프(10)를 통해 각각 단단히 조여지게 되며,
복수개의 분리된 공간에 묶여있는 케이블 홀더를 추가적으로 감싸는 형태로 클린 시스템용 POD를 구성하되, ETFE 케이블 외피(30)를 추가적으로 ETFE 외피(20)로 감싸게 됨으로써, 케이블(40)을 효과적으로 유지 및 관리할 수 있는 것을 특징으로 한다.
삭제
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템에 의하면, 클린 시스템용 POD의 구조를 복수개의 분리된 공간에 묶여있는 케이블 홀더를 추가적으로 감싸는 형태로 POD를 구성하되, ETFE 케이블 외피를 추가적으로 ETFE 외피로 감싸게 됨으로써, 케이블을 효과적으로 유지 및 관리할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템의 개략적인 사시도
도 2는 도 1의 부품 분리 상태를 나타낸 사시도
도 3은 도 1의 종단면도
이하, 본 발명의 바람직한 일실시 예에 따른 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3를 참조하면, 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템이 도시되어 있다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템의 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 부품 분리 상태를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 1의 종단면도이다.
본 발명에 따른 무분진 케이블 시스템은 클린케이블이고, 테플론 재질의 외피(10)로 구성된다.
또한, 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템은 다방향으로 구성된다.
종래 반도체 검사장비(레일)이 단방향으로만 되어 있어서 작업에 불편한 문제점이 있다.
본 발명에서, 로보트 케이블 즉, 로봇용 무분진 케이블 시스템 개요에 대해 설명한다.
로봇용 무분진 케이블 시스템 즉, 클린룸 환경에 최적화된 무 분진 케이블에 대하여 설명한다.
먼저, 무분진 케이블 시스템이란 분진에 민감한 클린룸 공정에서 제품 불량률을 줄이기 위한 신개념 케이블베어(Cableveyor)다.
내마모성과 내열성이 우수한 ETFE 소재 원단으로 된 재킷(POD)에 삽입해 마모와 분진을 최소화, 무빙 동작시 케이블 간 마찰과 당김현상 최소화로 가동수명을 향상시킨 케이블 베어이다.
이하 본 발명에 따른 로봇용 무분진 케이블 특장점에 대하여 설명한다.
기존 클린케이블은 한계가 있었는데, 단방향성과 구성부품으로 쓰이는 체인의 고 하중으로 유동성이 다양한 로봇용으로 구성이 부적합한 문제점이 있었다.
도 1 내지 도 3을 참조하며, 로봇용 무분진 케이블 시스템에 대하여 살펴본다.
로봇용 무분진 케이블 시스템은 클린룸 환경에 최적화된 무 분진 케이블이다.
즉, ETFE(Ethylene Tetra fluoro Ethylene) 케이블 외피(30)는 케이블(40)과 공압 튜브(50)를 감싸 케이블 피복을 보호하고 유동을 잡아주는 역할을 한다.
ETFE 외피(20)는 ETFE 케이블 외피(30) 다발을 감싸 묶어주고 보호하는 역할을 한다.
CLAMP(10)는 로봇에 로봇용 무분진 케이블 시스템을 고정하는 역할을 한다.
상기 ETFE 케이블 외피(30)내에 다수의 케이블(40)이 서로 맞닿아 면접되어 설치된다.
또한, 상기 복수개의 ETFE 케이블 외피(30)는 서로 면접되어 위치되며, 이러한 복수개의 케이블 외피(30)를 감싸는 하나의 ETFE 외피(20)로 구성되었다. 상기 ETFE 외피(20)는 양단부 근처가 클램프(10)를 통해 각각 단단히 조여지게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템에 의하면, 클린 시스템용 POD의 구조를 복수개의 분리된 공간에 묶여있는 케이블 홀더를 추가적으로 감싸는 형태로 POD를 구성하되, ETFE 케이블 외피(30)를 추가적으로 ETFT 외피(20)로 감싸게 됨으로써, 케이블(40)을 효과적으로 유지 및 관리할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시 예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
10. 클램프 20. ETFE 외피
30. ETFE 케이블 외피 40. 케이블
50. 공압튜브

Claims (2)

  1. 클린룸 환경에 최적화된 로봇용 무분진 케이블 시스템으로서,
    케이블(40)을 감싸서 케이블 피복을 보호하고 유동을 잡아주는 역할을 하는 이티에프이(ETFE)(Ethylene Tetra fluoro Ethylene) 케이블 외피(30),
    상기 ETFE 케이블 외피(30) 다발을 감싸서 묶어주고 보호하는 역할을 하는 ETFE 외피(20), 및
    상기 ETFE 외피(20)의 양단부 근방에 위치하며, 상기 ETFE 케이블 외피(30)를 단단히 클램핑하고 고정하는 역할을 하는 클램프(CLAMP)를 포함하고,
    상기 ETFE 케이블 외피(30)는 서로 면접되어 위치된 복수개의 공압튜브(50)를 보호하고 유동을 잡아주는 역할을 하고,
    상기 ETFE 케이블 외피(30)와 ETFE 외피(20)는 내마모성과 내열성이 우수한 ETFE 소재 원단으로 된 재킷이며,
    상기 ETFE 케이블 외피(30)내에 다수의 케이블(40)이 서로 맞닿아 면접되어 설치되고, 상기 복수개의 ETFE 케이블 외피(30)는 서로 면접되어 위치되며, 이러한 복수개의 케이블 외피(30)를 감싸는 하나의 ETFE 외피(20)로 구성되며, 상기 ETFE 외피(20)는 양단부 근처가 클램프(10)를 통해 각각 단단히 조여지게 되며,
    복수개의 분리된 공간에 묶여있는 케이블 홀더를 추가적으로 감싸는 형태로 클린 시스템용 POD를 구성하되, ETFE 케이블 외피(30)를 추가적으로 ETFE 외피(20)로 감싸게 됨으로써, 케이블(40)을 효과적으로 유지 및 관리할 수 있는 것을 특징으로 하는 클린룸 자동화 설비 로봇용 무분진 케이블 시스템.
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