KR102569436B1 - 오존 발생 장치 - Google Patents

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타츠야 야마카와
마사야 요시무라
료 후지타
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스미토모 세이미츠 고교 가부시키가이샤
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Abstract

가스 컨디셔너(60)에는, 가스가 유통하는 가스유로(61)를 형성하는 케이스(62)와, 가스유로(61)에 배치됨과 더불어 투수성을 갖는 수지 부재(80)가 배치된다. 수지 부재(80)는, 물이 봉입되는 밀폐형의 중공체로 구성된다.

Description

오존 발생 장치
본 발명은, 가스 컨디셔너를 구비하는 오존 발생 장치에 관한 것이다.
산소가스를 원료로 하여 오존가스를 발생시키는 오존 발생 장치는, 반도체의 제조 공정 등에 널리 이용되고 있다.
이 종류의 오존 발생 장치로서, 특허문헌 1에는, 산소가스 중에 수분을 부여하는 가습부(가스 컨디셔너)를 구비한 것이 개시되어 있다. 구체적으로, 오존 발생 장치에서는, 산소가스원과 오조나이저 사이에 가습부(4)가 직렬로 접속된다. 산소가스원(2)으로부터 공급된 산소가스는, 가습부(4)에서 극미량의 수분이 부여되고, 그 후, 오조나이저(9)로 공급된다. 이로써, 오조나이저(9)에 공급되는 산소가스 중의 수분량이 목표 범위(예를 들어, 0.05∼40ppm)로 조정된다. 이와 같이, 산소가스 중에 극미량의 수분을 부여함으로써, 생성되는 오존가스의 오존 농도의 저하를 억제하고 있다.
특허문헌 1 : 일본 특허 제4166928호 공보
특허문헌 1에 기재된 바와 같은 가스 컨디셔너에서는, 가스 중에 부여하는 물을 펌프 등에 의해 반송할 필요가 있었다. 또한, 가스 컨디셔너에 의해 극미량의 수분을 가스 중에 부여하는 경우, 이 수온의 변화에 따라, 가스 중에 부여되는 수분량이 크게 변동된다. 따라서, 반송하는 물의 온도 관리가 필요하였다. 이 결과, 가스 컨디셔너, 내지 그 부대설비의 복잡화를 초래한다는 문제가 있었다.
본 발명은, 이러한 과제에 착안한 것으로, 비교적 단순한 구성이면서 가스 중에 부여하는 수분량을 안정적으로 조정할 수 있는 가스 컨디셔너를 제공하는 데 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에서는, 물이 봉입되는 밀폐형의 중공체로 이루어진 수지 부재를 가스유로에 배치하였다.
즉, 본 발명은, 가스 중에 수분을 부여하는 가스 컨디셔너를 대상으로 하고, 가스가 유통하는 가스유로를 형성하는 케이스와, 가스유로에 배치됨과 더불어 투수성을 갖는 수지 부재를 구비하고, 수지 부재는, 물이 봉입되는 밀폐형의 중공체로 구성된다.
본 발명에서는, 가스유로를 흐르는 가스가 중공체의 주위를 흐르면, 수지 부재 내부의 물이 당해 수지 부재를 투과하여 가스 중으로 이동한다. 이로써, 극미량의 수분을 가스 중에 부여할 수 있다. 수지 부재는, 물이 봉입되는 밀폐형의 중공체이며, 물이 적절히 공급되는 구조는 아니다. 이로써, 물을 반송하는 펌프 등은 불필요하고, 물의 온도 관리도 필요 없다. 따라서, 가스 컨디셔너 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 가스 중에 부여되는 수분량은 극히 적으므로, 수지 부재 내부의 수분의 감소 속도도 극히 작다. 이로써, 수지 부재 내의 물이 없어질 때까지의 기간은 충분히 길다.
복수의 상기 수지 부재를 탈착 가능하게 지지하는 지지부를 구비하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 가스 유로에 배치하는 수지 부재의 개수를 간단히 변경할 수 있다. 수지 부재의 개수를 변경하면, 가스 중에 부여되는 수분량을 조정할 수 있다. 따라서, 가스 유량이나 목표 수분 농도에 따라, 최적량의 수분을 가스 중으로 부여할 수 있다. 수지 부재는, 지지부에 탈착 가능하게 구성되므로, 수지 부재 개수의 변경이나 교환도 용이하다.
수지 부재는, 통형의 둘레벽부와 둘레벽부의 양 끝단을 각각 폐색하는 폐색부를 갖고, 폐색부는, 수지 재료의 융착부에 의해 구성되는 것이 바람직하다.
수지 부재의 둘레벽부 양 끝단을 각각 융착함으로써, 둘레벽부 양 끝단의 개구를 폐색부(융착부)에 의해 폐색할 수 있다. 이로써, 물이 봉입된 밀폐형의 중공체를 간단히 제조할 수 있다.
수지 부재는, 나선형으로 형성되는 것이 바람직하다. 수지 부재를 나선형으로 형성함으로써, 수지 부재의 부피 및 표면적을 확대할 수 있다. 수지 부재의 부피가 커지면, 수지 부재 내의 물이 없어질 때까지의 기간을 장기화시킬 수 있다. 수지 부재의 표면적이 커지면, 하나의 수지 부재에서 가스 중에 부여할 수 있는 수분량을 증대시킬 수 있다. 따라서, 수지 부재나 케이스의 소형화를 도모할 수 있다.
케이스는, 금속 재료로 구성됨과 더불어, 공기의 온도가 조절되는 공조 공간에 배치되는 것이 바람직하다.
케이스를 금속 재료로 하면, 케이스의 열전도율이 비교적 커진다. 따라서, 케이스 내의 가스 온도는, 케이스 주위의 온도에 가까워지기 쉬워진다. 케이스 주위의 온도는, 공조에 의해 조절 가능하므로, 케이스 내의 가스 온도를 간접적으로 조절할 수 있다. 수지 부재 내의 물은 온도 관리되지 않으므로, 이 수온은 가스유로의 가스 온도, 나아가 케이스 주위의 온도가 지배적이 된다. 따라서, 공조에 의해 수지 부재 내의 수온을 관리할 수 있어, 가스 중에 부여하는 수분량을 정밀도 좋게 조절할 수 있다. 또한, 케이스를 금속 재료로 함으로써, 가스 유로의 가스 누출을 억제할 수 있다.
본 발명에 의하면, 비교적 단순한 구성이면서, 가스 중에 부여하는 수분량을 안정적으로 조정할 수 있는 가스 컨디셔너를 구비하는 오존 발생 장치를 제공할 수 있다.
도 1은, 실시형태에 따른 오존 발생 장치의 개략 구성도이다.
도 2는, 실시형태에 따른 가스 컨디셔너의 개략 구성도이다.
도 3은, 실시형태에 따른 수분 부가 유닛의 사시도이다.
도 4는, 수지 튜브의 끝단부가 고정된 상태의 고정구를 확대한 사시도이다.
도 5는, 변형예에 따른 가스 컨디셔너의 개략 구성도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 여기서, 이하의 실시형태는 본질적으로 바람직한 예시이며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도 범위의 제한을 의도하는 것은 아니다.
《발명의 실시형태》
실시형태에 따른 가스 컨디셔너는, 오존 발생 장치(10)에 적용된다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 오존 발생 장치(10)는, 산소가스원(5)으로부터 공급되는 산소가스를 원료로 하고, 당해 원료를 이용하여 생성한 오존가스를 소정의 공급 대상으로 공급한다. 산소가스원(5)은, 예를 들어 산소가스가 충전되는 산소가스통으로 구성된다. 산소가스통에는, 예를 들어 99.9999％의 고순도 산소가스가 충전된다. 산소가스 중의 수분량은, 예를 들어 50ppb∼1000ppb 범위다. 오존가스의 공급 대상은, 예를 들어 반도체 제조 설비다.
오존 발생 장치(10)는, 제습부(27)와 장치 본체(20)를 갖는다. 장치 본체(20)는, 주요 구성 기기로서, 가습부(60), 방전 셀(28), 제어부(50), 및 전원(51)을 구비한다. 여기서, 제습부(27)를 생략한 구성으로 하여도 된다. 장치 본체(20)는, 주요 가스유로로서, 공급로(30)를 구비한다. 공급로(30)는, 장치 본체(20)의 외부로부터 가습부(60)에 이르는 제 1 유로(31), 및 가습부(60)로부터 방전 셀(28)에 이르는 제 2 유로(32)를 구비한다.
공급로(30)의 유입단은, 산소가스원(5)에 접속된 제습부(27)에 접속된다. 공급로(30)의 유출단은, 방전 셀(28)에 접속된다. 제습부(27)는, 예를 들어 산소가스 중의 수분을 선택적으로 흡착하는 흡착식 제습기로 구성된다. 제습부(27)에서는, 산소가스 중의 수분량이 10ppb 이하가 되도록 당해 수분이 제거된다. 즉, 제습부(27)를 통과한 산소가스 중의 수분량은, 실질적으로 0(zero)이 된다.
제 1 유로(31)에는, 제습부(27)에서 수분이 제거된 후의 산소가스가 보내진다. 제 1 유로(31)의 유출단에는, 산소가스에 수분을 부여하는 가습부(60)가 접속된다. 가습부(60)의 하류측에 위치하는 제 2 유로(32)는, 가습부(60)를 통과한 산소가스를 유출시키도록 구성된다. 즉, 제 1 유로(31)는, 그 유입단이 제습부(27)에 접속되고, 그 유출단이 가습부(60)에 접속된다. 제 2 유로(32)는, 그 유입단이 가습부(60)에 접속되고, 그 유출단이 방전 셀(28)에 접속된다.
가습부(60)는, 산소가스 중에 수분을 부여하는 가스 컨디셔너를 구성한다. 가습부(60)는, 투수성을 갖는 수지 튜브(80) 내의 물을 가스 중에 부여한다. 가습부(60)에서 수분이 부여된 산소가스는, 제 2 유로(32)로 유출된다. 여기서, 가습부(60)에서 가습된 후의 산소가스는, 예를 들어 300ppb∼2000ppb의 범위의 수분량을 포함한다.
제 1 유로(31)에는, 유량조절밸브(43)가 배치된다. 유량조절밸브(43)는, 제습부(27)에서 유출된 산소가스(즉, 장치 본체(20)에 공급되는 원료가스)의 유량을 조절한다.
방전 셀(28)은, 제 2 유로(32)에서 유출된 산소가스를 원료로 하여, 오존가스를 생성한다. 방전 셀(28)은, 예를 들어 무성방전(유전체 장벽 방전)에 의해 오존가스를 생성하는 무성방전식의 오존 발생기로 구성된다. 방전 셀(28)에서 생성된 오존가스는, 소정의 공급 대상으로 공급된다.
제어부(50)는, 전원(51) 및 유량조절밸브(43)를 각각 제어하도록 구성된다. 제어부(50)는, 마이크로컴퓨터와, 당해 마이크로컴퓨터를 동작시키기 위한 소프트웨어를 격납하는 메모리 디바이스(구체적으로는 반도체 메모리)를 이용하여 구성된다. 또한 유량조절밸브(43)는, 장치 본체(20) 외부의 다른 제어부에 의해 제어되어도 된다.
예를 들어 제어부(50)는, 장치 본체(20)에 공급되는 원료가스의 유량이, 목표 유량에 가까워지도록, 유량조절밸브(43)의 개방도를 조절한다. 또한, 제어부(50)는, 방전 셀(28)에 교류 전압을 인가하도록, 전원(51)을 제어한다.
<가스 컨디셔너의 상세한 구성>
가스 컨디셔너(가습부(60))의 구성에 대하여, 도 2∼도 4를 참조하면서 상세하게 설명한다. 가습부(60)는, 가스가 흐르는 가스유로(61)가 형성되는 케이스(62)와, 당해 가스유로(61)에 배치되는 수분 부가 유닛(70)을 구비한다.
케이스(62)는, 금속 재료로 구성된다. 케이스(62)는, 열전도율이 높은 재료로, 예를 들어 스테인리스 재료로 구성된다. 케이스(62)는, 케이스 본체(63), 플랜지(64), 및 폐색판(65)을 구비한다. 케이스 본체(63)는, 양 끝단이 개구되는 통형(엄밀하게는 원통형)으로 형성된다. 플랜지(64)는, 케이스 본체(63)의 축방향의 일단(좌측 끝단)부에 장착되어 당해 일단측의 개구를 폐색한다. 폐색판(65)은, 케이스 본체(63)의 축방향의 타단(우측 끝단)부에 장착되어 당해 타단측의 개구를 폐색한다. 플랜지(64)의 중앙 부분에는, 제 1 가스관(66)이 접속된다. 폐색판(65)의 중앙 부분에는, 제 2 가스관(67)이 접속된다. 예를 들어 제 1 가스관(66)은, 제 1 유로(31)의 가스를 가스유로(61)에 유입시키는 가스 유입관을 구성하고, 제 2 가스관(67)은, 가스유로(61)의 가스를 제 2 유로(32)로 유출시키는 가스 유출관을 구성한다. 제 2 가스관(67)을 가스 유입관으로 하고, 제 1 가스관(66)을 가스 유출관으로 하여도 된다.
케이스(62)는, 공조 공간(S)에 배치된다. 공조 공간(S)은, 공기 조화 장치가 도입되는 반도체 제조 설비에 형성된다. 따라서, 이 공기 조화 장치에 의해, 공조 공간(S)의 공기 온도가 목표 온도로 유지된다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 수분 부가 유닛(70)은, 케이스 본체(63) 내부에 배치된다. 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 수분 부가 유닛(70)은, 제 1 구획판(71), 제 2 구획판(72), 1개의 지주(73), 및 복수의 수지 튜브(80)(수지 부재)를 구비한다.
제 1 구획판(71) 및 제 2 구획판(72)은, 원형판 형상으로 형성된다. 제 1 구획판(71) 및 제 2 구획판(72)의 외경은, 케이스 본체(63)의 내경보다 약간 작다. 따라서, 제 1 구획판(71) 및 제 2 구획판(72)은, 케이스 본체(63) 내측에 끼움결합된다. 제 1 구획판(71)은 제 1 가스관(66) 측에 배치되고, 제 2 구획판(72)은 제 2 가스관(67) 측에 배치된다. 제 1 구획판(71) 및 제 2 구획판(72)에는, 복수의 원형 구멍(74)이 축방향으로 관통한다.
지주(73)는, 제 1 구획판(71)과 제 2 구획판(72) 사이에 설치된다. 지주(73)는, 원기둥형의 길이가 긴 부재다. 지주(73)의 길이방향 일단은, 제 1 구획판(71)의 축심부에 체결된다. 지주(73)의 길이방향 타단은, 제 2 구획판(72)의 축심부에 체결된다.
플랜지(64)와 제 1 구획판(71) 사이에는, 제 1 헤더공간(75)이 형성된다. 폐색판(65)과 제 2 구획판(72) 사이에는, 제 2 헤더공간(76)이 형성된다. 제 1 구획판(71)과 제 2 구획판(72) 사이에는, 가습유로(77)가 형성된다. 가습유로(77)는, 가스유로(61)의 일부이며, 또한 수지 튜브(80)를 수용하는 수용실을 구성한다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 수분 부가 유닛(70)은, 3개의 수지 튜브(80)를 구비한다. 수지 튜브(80)의 수량은 단순한 일례다. 수지 튜브(80)는, 하나 또는 2개여도 되고, 4개 이상이어도 된다.
본 실시형태의 수지 튜브(80)는, 수분을 투과하는 투수성을 갖는 수지 재료로 구성된다. 예를 들어 수지 튜브(80)는, PTFE, PFA, ETFE, FEP 등의 플루오린계 수지 재료로 구성된다. 수지 튜브(80)는, 물이 봉입되는 밀폐형의 중공체로 구성된다.
본 실시형태의 수지 튜브(80)는, 나선형으로 형성된다. 보다 상세하게, 각 수지 튜브(80)는, 나선형의 둘레벽부(81)와, 당해 둘레벽부(81)의 양 끝단을 폐색하는 한 쌍의 폐색부(82, 82)를 구비한다. 둘레벽부(81)는, 제 1 가스관(66) 및 제 2 가스관(67)의 연장 방향을 따른 축심을 중심으로 선회하는 나선형으로 형성된다. 바꾸어 말하면, 둘레벽부(81)는, 케이스(62)의 내주면을 따르도록 선회하는 나선형으로 형성된다. 한 쌍의 폐색부(82, 82)는, 둘레벽부(81)의 길이방향 양 끝단의 개구를 각각 폐색한다. 한 쌍의 폐색부(82, 82)는, 둘레벽부(81) 양 끝단의 개구 가장자리부를 열로 용융시킨 후, 폐색시킴으로써 형성된다. 즉, 폐색부(82)는, 둘레벽부(81) 양 끝단의 개구 가장자리부를 융착시킨 융착부를 구성한다. 이로써, 수분이 봉입된 수지 튜브(80)를 용이하게 제조할 수 있다.
도 4에 모식적으로 나타내는 바와 같이, 제 1 구획판(71) 및 제 2 구획판(72)에는, 복수의 수지 튜브(80)가 탈착 가능하게 되어 있다. 즉, 제 1 구획판(71) 및 제 2 구획판(72)은, 복수의 수지 튜브(80)를 탈착 가능하게 지지하는 지지부를 구성한다.
구체적으로, 제 1 구획판(71) 및 제 2 구획판(72)에는, 수지 튜브(80)를 고정하기 위한 고정구(90)가 설치된다. 고정구(90)는, 직경방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍(91)이 형성된 원기둥형으로 형성된다. 고정구(90)의 기단측에는 수나사부(도시 생략)가 형성된다. 고정구(90)의 수나사부가, 제 1 구획판(71)이나 제 2 구획판(72)에 형성한 나사 구멍(도시 생략)에 체결됨으로써, 고정구(90)가 각 구획판(71, 72)에 고정된다.
수지 튜브(80)의 끝단부 외경은, 고정구(90)의 관통 구멍(91) 구경보다 약간 작다. 수지 튜브(80)의 끝단부를 고정구(90)의 관통 구멍(91)에 끼움으로써, 수지 튜브(80)의 끝단부가 고정부(90)에 고정된다. 이와 같이 하여 수지 튜브(80)의 양 끝단을 각각 고정구(90)에 고정시킴으로써, 수지 튜브(80)가 각 구획판(71, 72) 사이에 유지된다. 한편, 수지 튜브(80)의 양 끝단을 관통 구멍(91)으로부터 각각 빼냄으로써, 수지 튜브(80)가 각 구획판(71, 72)으로부터 제거된다.
－운전 동작－
오존 발생 장치(10)에서 오존을 발생시키기 위한 운전 동작(오존 발생 방법)에 대해 상세하게 설명한다.
오존 발생 장치(10)가 운전되면, 산소가스원(5)의 산소가스는 제습부(27)를 통과한다. 제습부(27)에서는, 산소가스원(5)으로부터의 산소가스 중의 수분을 10ppb 이하로까지 제거하는 제습 공정이 이루어진다. 이로써, 산소가스원(5)의 산소가스 중에 어느 정도의 수분이 포함되거나, 이 산소가스의 수분량이 변화하였다 하더라도, 제거 공정을 거친 산소가스 중의 수분량은 실질적으로 0이 된다.
제습 공정에 의해, 수분량이 10ppb 이하가 된 산소가스는, 제 1 유로(31)에 의해, 가습부(60)로 유입된다. 가습부(60)에서는, 산소가스에 수분을 부여하는 가습 공정이 이루어진다(상세하게는 후술한다). 여기서, 가습부(60)에는, 제습부(27)에 의해 수분이 실질적으로 0이 된 산소가스가 공급된다. 이로써, 예를 들어 산소가스원(5)으로부터 공급되는 산소가스의 수분량이 약간 변화하였다 하더라도, 가습부(60)에 공급되는 산소가스 중의 수분량은 거의 변화하지 않는다(0인 채로 있다). 따라서, 가습부(60)의 가습 능력에 영향을 주는 외적 요인이 감소하므로, 제 1 유로(31)로부터 제 2 유로(32)로 공급되는 산소가스 중의 수분량의 변화를 억제할 수 있다.
＜가습 공정의 상세한 내용＞
전술한 가습 공정에서는, 산소가스가 제 1 가스관(66)을 흐른 후, 제 1 헤더 공간(75)으로 유입된다. 제 1 헤더 공간(75)의 산소가스는, 제 1 구획판(71)의 복수 구멍(74)으로 분류된 후, 가습유로(77)로 유입된다.
가습유로(77)에서는, 산소가스가 복수의 수지 튜브(80)의 주위를 흐른다. 이 때, 수지 튜브(80) 내의 물은 수지 튜브(80)를 투과하여 산소 가스 중으로 이동한다. 이로써, 산소가스 중에 극미량의 수분이 부여된다. 수분이 부여된 산소가스는, 제 2 구획판(72)의 복수 구멍(74)으로 분류된 후, 제 2 헤더 공간(76)에서 합류한다. 제 2 헤더 공간(76)의 산소가스는, 제 2 가스관(67)을 흐른 후, 제 2 유로(32)로 보내진다.
이와 같은 가습 공정에서는, 케이스(62) 주위의 공조 공간(S)의 공기 온도가 공기 조화 장치에 의해 조절된다. 케이스(62)는, 열전도율이 높은 스테인리스 재료로 구성되므로, 가스유로(61)를 흐르는 가스 온도는, 공조 공간(S)의 공기 온도에 가까워진다. 수지 튜브(80)는, 가스유로(61)에 배치되므로, 수지 튜브(80) 내의 수온은, 가스유로(61)를 흐르는 가스 온도에 가까워진다. 따라서, 수지 튜브(80) 내의 수온이, 공조 공간(S)의 공기 온도에 가까워지므로, 이 수온을 공기 조화 장치에 의해 관리할 수 있다. 따라서, 수지 튜브(80) 내의 수온이 크게 변동하지 않으므로, 이와 같은 수온의 변화에 기인하여 가스 중에 방출되는 수분량이 변화하는 것을 억제할 수 있다.
가습 공정에서는, 수지 튜브(80) 내의 물이 가스 중에 부여될 때, 산소 가스가 수지 튜브(80) 내로 투과한다. 이로써, 수지 튜브(80)로부터 수분이 방출되어도, 수지 튜브(80)의 내압이 크게 저하되지 않는다. 따라서, 수지 튜브(80) 내압의 변화에 기인하여 가스 중에 방출되는 수분량이 변화해버리는 것을 억제할 수 있다.
가습 공정에서는, 수지 튜브(80)로부터 극히 미량의 수분이 가스 중에 부여된다. 이로써, 수지 튜브(80) 내 물의 감소 속도는 매우 느려, 수지 튜브(80) 내의 물이 없어질 때까지의 기간은 충분히 길다. 따라서, 수지 튜브(80)를 빈번하게 교환할 필요가 없다.
＜수분량 조정＞
본 실시형태의 가습부(60)에서는, 수지 튜브(80)의 수량을 변경함으로써, 가스 중에 방출되는 수분량을 조정할 수 있다. 구체적으로는, 수분 부가 유닛(70)에 장착되는 수지 튜브(80)의 개수를 증가시킴으로써, 가스 중에 부여되는 수분량도 증대된다. 예를 들어 처리할 가스 유량이 2배가 되거나, 목표 수분 농도가 2배가 되는 경우라면, 수지 튜브(80)의 개수를 2배로 한다. 이로써, 단순히 수지 튜브(80)의 개수 변경만으로, 가스 유량이나 목표 수분 농도에 따른 양의 수분을 가스 중에 부여할 수 있다.
수분량을 조절하는 수단으로서, 수지 튜브(80)의 수량 이외의 요인을 변경시킬 수도 있다. 이 요인으로는, 예를 들어 수지 튜브(80)의 두께, 길이, 크기, 형태, 재질, 투수 성능 등을 들 수 있다.
－실시형태의 효과－
상기 실시형태의 수지 튜브(80)는, 물이 봉입되는 밀폐형의 중공체로 구성된다. 이로써, 종래예와 같이, 물을 반송하는 펌프나, 반송하는 물의 온도를 조절하는 칠러 유닛등이 불필요하게 된다. 이 결과, 가습부(60) 구성의 간소화를 도모하면서 가스 중에 부여하는 수분량을 안정적으로 조정할 수 있다.
제 1 구획판(71) 및 제 2 구획판(72)은, 복수의 수지 튜브(80)를 탈착 가능하게 지지한다. 이로써, 가습부(60)에서는, 수지 튜브(80)의 개수를 간단히 변경할 수 있어, 방출되는 수분량을 간단히 조정할 수 있다. 또한, 수지 튜브(80)의 교환도 간단하다.
수지 튜브(80)의 양 끝단은, 수지를 융착함으로써 폐색부(82, 82)가 구성된다. 따라서, 물이 봉입된 수지 튜브(80)를 간단히 제조할 수 있다.
수지 튜브(80)는, 나선형으로 형성되므로 수지 튜브(80)의 부피나 표면적을 확대할 수 있다. 수지 튜브(80)의 부피가 커지면, 수지 튜브(80) 내의 물이 없어질 때까지의 기간을 장기화할 수 있어 수지 튜브(80)의 교환 빈도를 줄일 수 있다. 수지 튜브(80)의 표면적이 커지면, 가스 중에 부여할 수 있는 수분량을 증대시킬 수 있다. 따라서, 수지 튜브(80), 나아가 케이스(62)의 소형화를 도모할 수 있다.
케이스(62)는, 금속 재료로 구성됨과 더불어 공조 공간(S)에 배치된다. 따라서, 수지 튜브(80) 내의 수온은, 공조 공간(S)의 온도가 지배적이 되므로, 수온 관리를 확실히 실시할 수 있다.
《실시형태의 변형예》
도 5에 나타내는 바와 같이, 케이스(62)의 주위(일부 또는 전부)를 단열재(95)로 덮도록 하여도 된다. 이와 같이 하면, 가스유로(61)의 가스 온도가, 케이스(62) 주위의 온도 영향으로 인해 변화하는 것을 억제할 수 있다. 이로써, 수지 튜브(80)의 수온은, 가스유로(61)의 가스 온도가 지배적이 된다. 따라서, 수지 튜브(80) 내의 수온을, 가스유로(61)를 흐르는 가스 온도에 의해 일정하게 관리할 수 있다.
《그 밖의 실시형태》
상기 실시형태에서는, 수지 부재(80)가 나선형의 수지 튜브로 구성된다. 그러나, 수지 부재(80)는, 물이 봉입되는 밀폐형의 중공체라면 어떤 구성이어도 된다. 예를 들어 수지 부재(80)는 고리형이어도 된다. 이 경우, 직경이 큰 고리형 수지 부재(80)의 내측에, 직경이 작은 고리형 수지 부재(80)를 배치할 수도 있다. 또한, 수지 부재(80)는 봉형, 평판형, 원호형, 직방체형 등이어도 된다.
상기 실시형태의 가스 컨디셔너(60)는, 대상 가스를 산소 가스로 한다. 그러나, 대상 가스는 이에 한정되지 않고, 예를 들어 질소 가스, 이산화탄소 가스, 공기 등의 다른 가스여도 된다. 또한, 가스 컨디셔너(60)가 가스 중에 부여하는 물은, 순물이 아니어도 되며, 다른 성분을 포함한 물(예를 들어 담수나 수돗물)이어도 된다.
상기 실시형태의 가습부(60)는, 장치 본체(20) 내에 배치되나, 가습부(60)를 장치 본체(20)의 외부에 배치하여도 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 가스 컨디셔너에 관하여 유용하다.
60 : 가습부(가스 컨디셔너)
61 : 가스유로
62 : 케이스
71 : 제 1 구획판(지지부)
72 : 제 2 구획판(지지부)
80 : 수지 튜브(수지 부재)
81 : 둘레벽부
82 : 폐색부(융착부)
S : 공조 공간

Claims (5)

  1. 산소가스 중에 수분을 부여하는 가스 컨디셔너를 구비하는 오존 발생 장치로서,
    상기 가스 컨디셔너는,
    상기 산소가스가 유통하는 가스유로를 형성하는 케이스와,
    상기 가스유로에 배치됨과 더불어 투수성을 갖는 수지 부재를 구비하고,
    상기 수지 부재는, 물이 봉입되어 있고 물이 공급되지 않는 구조의 밀폐형의 중공체로 구성되는 것을 특징으로 하는 오존 발생 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    복수의 상기 수지 부재를 탈착 가능하게 지지하는 지지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 오존 발생 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 수지 부재는, 통형의 둘레벽부와, 당해 둘레벽부의 양 끝단을 각각 폐색하는 폐색부를 갖고,
    상기 폐색부는, 수지 재료의 융착부에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 오존 발생 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 수지 부재는, 나선형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 오존 발생 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 케이스는, 금속 재료로 구성됨과 더불어, 공기의 온도가 조절되는 공조 공간에 배치되는 것을 특징으로 하는 오존 발생 장치.

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