KR102563989B1 - Clamping device preventing the deformation of substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 개시한다. 개시된 기판 변형 방지용 클램핑 장치는, 기판장착 프레임과, 표면처리를 위하여 상기 기판장착 프레임에 설치되는 기판을 파지하도록 상기 기판장착 프레임에 구비되는 집게부와, 상기 집게부가 고정되도록 상기 기판장착 프레임에 구비되며, 상기 기판을 외측으로 당겨 상기 기판에 텐션을 가하는 기판텐션 발생유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 기판을 파지한 집게부를 기판의 중앙부를 기준으로 하여 양측으로 당겨주면서 기판의 텐션을 유지시켜 처리액에 기판을 침전하여 처리할 때 기판이 울거나 휘어지는 것을 방지할 수 있다.The present invention discloses a clamping device for preventing deformation of a substrate. The disclosed clamping device for preventing deformation of a substrate includes a substrate mounting frame, claws provided on the substrate mounting frame to hold a substrate installed on the substrate mounting frame for surface treatment, and the substrate mounting frame to fix the clamps to the substrate mounting frame. and a substrate tension generating unit for applying tension to the substrate by pulling the substrate outward. Therefore, the present invention can prevent the substrate from crying or bending when the substrate is deposited in the treatment liquid and processed by pulling the tongs holding the substrate to both sides with respect to the center of the substrate while maintaining the tension of the substrate.

Description

기판 변형 방지용 클램핑 장치{Clamping device preventing the deformation of substrate}Clamping device preventing the deformation of substrate}

본 발명은 기판 변형 방지용 클램핑 장치에 관한 것으로, 기판을 파지한 집게부를 기판의 중앙부를 기준으로 하여 양측으로 당겨주면서 기판의 텐션을 유지시켜 처리액에 기판을 침전하여 처리할 때 기판이 울거나 휘어지는 것을 방지하므로, 불량률을 줄일 수 있도록 할 수 있도록 하는 기판 변형 방지용 클램핑 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a clamping device for preventing deformation of a substrate, and maintains the tension of the substrate while pulling the tongs holding the substrate to both sides based on the central portion of the substrate to prevent the substrate from crying or bending when the substrate is precipitated in a treatment liquid and processed. Therefore, it relates to a clamping device for preventing substrate deformation, which can reduce the defect rate.

통상 표면처리(Plating, 도금, 착색, 피막 등)는 물질의 표면 상태를 개선할 목적으로 물질의 표면에 다른 물질로 된 박막을 피복하는 것이다. 이러한 표면처리의 목적은 여러 가지가 있으나 대표적으로 첫째 원재료의 내식성 부족을 보완하고자 특정한 환경속에서도 견딜 수 있는 금속박막을 입히는 방식(防蝕), 둘째 마모에 견딜 수 있도록 원재료보다 단단한 금속박막을 입히는 표면경화, 셋째 원재료의 표면에 귀금속 또는 색채가 아름다운 금속 합금의 박막을 붙이는 표면 미화, 넷째 빛 또는 열의 반사율을 높인다든지 또는 평활한 표면과 광택을 위해 금속 박막을 붙이는 표면의 평활화 및 반사율 개선을 위해 사용된다.In general, surface treatment (plating, plating, coloring, coating, etc.) is to coat a thin film of another material on the surface of a material for the purpose of improving the surface state of the material. There are several purposes of such surface treatment, but the first is a method of coating a metal thin film that can withstand a specific environment in order to compensate for the lack of corrosion resistance of raw materials, and second, surface hardening that coats a metal thin film that is harder than the raw material to withstand abrasion. Thirdly, it is used for surface beautification by attaching a thin film of precious metal or metal alloy with beautiful color to the surface of raw materials, fourth to increase the reflectance of light or heat, or to smooth and improve the reflectance of the surface to which a thin metal film is attached for a smooth surface and gloss. .

또한, 표면처리 방식은 크게 습식표면처리와 건식표면처리로 구분되며, 습식표면처리는 습한환경 예를 들어 처리용액에 가공물을 함침시켜 표면을 처리하고, 건식표면처리는 진공의 용기에서 플라즈마, 아크, 가열증기를 이용하여 표면을 처리한다.In addition, surface treatment methods are largely divided into wet surface treatment and dry surface treatment. , treat the surface using heated steam.

이중 습식표면처리 방식은 표면처리 공정 전후 및 공정 중 이전 공정에서 사용되었던 반응액 및 도금액 등을 제거하기 위해 세정단계를 진행하여야 한다. 또한, 기판을 표면처리 할 때 기판을 홀딩장치에 고정하여 반응액 및 도금액에 함침하고, 기판에 전류를 인가하여 표면처리를 진행하게 된다.The double wet surface treatment method requires a cleaning step to remove the reaction solution and plating solution used in the previous process before and after the surface treatment process and during the process. In addition, when the substrate is surface treated, the substrate is fixed to a holding device, impregnated with a reaction solution and a plating solution, and a current is applied to the substrate to perform the surface treatment.

그러나 상기와 같은 종래 기술의 습식표면 처리장치는, 클램프를 이용하여 박판의 기판을 고정하는 과정에서 클램프의 탄성력에 의해 기판이 길이방향으로 울거나 굴곡이 발생하는 문제점을 내포하고 있다.However, the wet surface treatment apparatus of the prior art as described above has a problem in that the substrate bends or bends in the longitudinal direction due to the elastic force of the clamp in the process of fixing the thin substrate using the clamp.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need to improve this.

한편, 국내 등록특허 제10-1744968호(등록일:2017.06.01)에는 "습식 표면처리"가 개시되어 있고, 등록특허 제10-1479442호(등록일:2014.12.29)에는 "습식표면처리 라인용 캐리어"가 개시되어 있다.On the other hand, Korean Patent Registration No. 10-1744968 (registration date: 2017.06.01) discloses "wet surface treatment", and Patent Registration No. 10-1479442 (registration date: 2014.12.29) discloses "carrier for wet surface treatment line" "is disclosed.

본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 기판을 파지한 집게부를 기판의 중앙부를 기준으로 하여 기판을 양측으로 당겨주면서 기판의 텐션을 가하여 처리액에 기판을 투입하여 표면 처리할 때 기판이 울거나 휘어지는 것을 방지할 수 있으므로, 기판의 도금 불량률을 줄일 수 있는 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was created due to the above necessity, and the substrate is put into a treatment solution by applying tension to the substrate while pulling the substrate to both sides with the tongs holding the substrate as a reference to the central portion of the substrate. It is an object of the present invention to provide a clamping device for preventing deformation of a substrate, which can reduce the plating defect rate of the substrate because it can prevent bending or bending.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치는, 기판장착 프레임와, 표면처리를 위하여 상기 기판장착 프레임에 설치되는 기판을 파지하도록 상기 기판장착 프레임에 구비되는 집게부와, 상기 집게부가 고정되도록 상기 기판장착 프레임에 구비되며, 상기 기판을 외측으로 당겨 상기 기판에 텐션을 가하는 기판텐션 발생유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a clamping device for preventing deformation of a substrate according to an aspect of the present invention includes a substrate mounting frame, and tongs provided on the substrate mounting frame to hold a substrate installed on the substrate mounting frame for surface treatment. and a substrate tension generating unit provided on the substrate mounting frame so that the tongs are fixed and pulling the substrate outward to apply tension to the substrate.

또한, 본 발명에서 상기 기판텐션 발생유닛은, 상기 기판장착 프레임에서 상기 집게부를 회전시키는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the substrate tension generating unit is characterized in that the tongs rotate in the substrate mounting frame.

또한, 본 발명에서 상기 기판텐션 발생유닛은, 상기 기판장착 프레임에서 상기 집게부를 이동 및 회전시키는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the substrate tension generating unit is characterized in that the tongs move and rotate in the substrate mounting frame.

또한, 본 발명에서 상기 상기 기판텐션 발생유닛은, 상기 집게부가 고정되어 상기 기판장착 프레임에서 선택적으로 회전하여 상기 집게부를 회전시키는 고정형 집게 회전부와, 상기 고정형 집게 회전부가 회전하도록 상기 고정형 집게 회전부를 지지하는 텐션 발생부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the substrate tension generating unit supports a fixed tong rotating part for rotating the tongs by selectively rotating the tongs part fixed on the substrate mounting frame, and the fixed tongs rotating part to rotate the fixed tongs rotating part. It is characterized in that it comprises a tension generating unit to.

또한, 본 발명에서 상기 고정형 집게 회전부는, 일단부가 상기 기판장착 프레임에 회전 가능하게 연결되고 타단부에 상기 집게부가 결합되는 집게고정부 절곡 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the fixed tong rotating part is characterized in that one end is rotatably connected to the substrate mounting frame and the other end is formed by bending the tongs fixing part coupled to the tongs.

또한, 본 발명에서 상기 기판텐션 발생유닛은, 상기 집게부가 고정되며, 상기 고정형 집게 회전부에 연동되도록 상기 기판장착 프레임에 이동 및 회전 가능하게 구비되는 연동형 집게 회전부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, in the present invention, the substrate tension generating unit is characterized in that it further comprises an interlocking tongs rotation part fixed to the tongs and movably and rotatably provided to the substrate mounting frame so as to interlock with the fixed tongs rotating part.

또한, 본 발명에서 상기 기판텐션 발생유닛은, 상기 고정형 집게 회전부와 상기 연동형 집게 회전부를 연결하도록 상기 기판장착 프레임에 구비되어 상기 연동형 집게 회전부를 상기 고정형 집게 회전부에 연동시키는 집게 연동 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the substrate tension generating unit further includes a tongs interlocking connecting portion provided on the substrate mounting frame to connect the fixed tongs rotating portion and the interlocking tongs rotating portion to interlock the interlocking tongs rotating portion to the fixed tongs rotating portion. It is characterized by including.

또한, 본 발명에서 상기 기판텐션 발생유닛은, 상기 고정형 집게 회전부와 상기 연동형 집게 회전부 및 상기 집게 연동 연결부가 링크방식으로 연결되어 연동하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the substrate tension generating unit is characterized in that the fixed tong rotating part, the interlocking tongs rotating part, and the interlocking tongs connecting part are connected in a link manner to interlock.

또한, 본 발명에서 상기 기판장착 프레임은, 상기 기판텐션 발생유닛의 작동을 가이드하기 위한 작동 가이드부를 구비하는 것을 특징으로 한다.Further, in the present invention, the substrate mounting frame is characterized in that it includes an operation guide for guiding the operation of the substrate tension generating unit.

또한, 본 발명에서 상기 작동 가이드부는, 상기 기판텐션 발생유닛의 수평 이동을 가이드하는 수평이동 가이드부재와, 상기 연동형 집게 회전부의 상하 이동을 가이드하는 수직이동 가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the operation guide unit includes a horizontal movement guide member for guiding the horizontal movement of the substrate tension generating unit, and a vertical movement guide member for guiding the vertical movement of the interlocking clamp rotation unit. to be

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치는 종래 기술과는 달리 기판을 파지하는 집게부를 기판의 중앙부를 기준으로 하여 기판을 양측으로 당겨주면서 기판에 텐션을 발생시켜 처리액에 기판을 투입하여 표면 처리할 때 기판이 울거나 휘어지는 것을 방지할 수 있는 효과를 가진다.As described above, unlike the prior art, the clamping device for preventing substrate deformation according to one aspect of the present invention pulls the substrate to both sides with the tongs for gripping the substrate on the basis of the central portion of the substrate while generating tension in the substrate for processing It has an effect of preventing the substrate from crying or bending when surface treatment is performed by injecting the substrate into the liquid.

또한, 본 발명에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치는 기판텐션 발생유닛이 집게를 회전시키면서 기판을 수평 및 상측으로 잡아당기므로, 기판의 텐션을 다양한 방향으로 발생시켜 도금 불량률을 줄일 수 있는 효과를 가진다.In addition, in the clamping device for preventing substrate deformation according to the present invention, since the substrate tension generating unit pulls the substrate horizontally and upward while rotating the tongs, the substrate tension is generated in various directions to reduce the plating defect rate.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치의 작동을 설명하기 위한 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 설명하기 위한 요부확대 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치의 작동을 설명하기 위한 위한 요부 확대도이다.1 is a perspective view illustrating a clamping device for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view illustrating a clamping device for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view illustrating a clamping device for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a front view for explaining the operation of the clamping device for preventing deformation of the substrate according to an embodiment of the present invention.
5 is an enlarged perspective view illustrating a clamping device for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention.
6 is an enlarged view of a main part for explaining the operation of the clamping device for preventing substrate deformation according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치의 바람직한 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, a preferred embodiment of a clamping device for preventing deformation of a substrate according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of lines or the size of components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of a user or operator. Therefore, definitions of these terms will have to be made based on the content throughout this specification.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 설명하기 위한 정면도이다.1 is a perspective view for explaining a clamping device for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view for explaining a clamping device for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is a front view for explaining a clamping device for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치의 작동을 설명하기 위한 정면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치를 설명하기 위한 요부확대 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치의 작동을 설명하기 위한 위한 요부 확대도이다.4 is a front view illustrating the operation of the clamping device for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an enlarged perspective view illustrating the clamping device for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention. And, Figure 6 is an enlarged view for explaining the operation of the clamping device for preventing deformation of the substrate according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치(100)는, 습식표면처리 방식으로 기판(10)을 처리하는 표면처리설비에 사용되며, 두께가 얇은 박막 기판(10)을 파지한 후, 파지된 부위를 외측 상향으로 미세하게 당겨준다. 이를 통해 기판(10)이 텐션(Tension)을 가지게 되어 울거나 미세하게 휘어지는 것이 방지되어 처리액에 침전되는 과정이나 표면처리과정에서 불량률이 감소된다.1 to 6, the clamping device 100 for preventing deformation of a substrate according to an embodiment of the present invention is used in a surface treatment facility for processing a substrate 10 by a wet surface treatment method, and is a thin film After gripping the substrate 10, the gripped portion is finely pulled outward and upward. Through this, since the substrate 10 has tension, it is prevented from crying or being finely bent, and the defect rate is reduced during the process of being deposited in the treatment liquid or the process of surface treatment.

이를 위하여, 본 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치(100)는 상기 표면처리설비에 구비되는 기판장착 프레임(110)과, 기판(10)를 파지되도록 기판장착 프레임(110)에 구비되는 집게부(120)와, 기판(10)을 파지한 집게부(120)를 회전하기 위한 기판텐션 발생유닛(130)을 포함한다.To this end, the clamping device 100 for preventing deformation of the substrate according to the present embodiment includes the substrate mounting frame 110 provided in the surface treatment equipment, and the claws provided on the substrate mounting frame 110 to grip the substrate 10. 120 and a substrate tension generating unit 130 for rotating the tongs 120 holding the substrate 10 .

이러한 기판 변형 방지용 클램핑 장치(100)는 기판텐션 발생유닛(130)에 의해 집게부(120)가 결합되고, 기판텐션 발생유닛(130)의 작동를 통해 집게부(120)가 외측으로 회전되면서 기판(10)에 텐션을 가하게 된다.In the clamping device 100 for preventing deformation of the substrate, the clamping unit 120 is coupled by the substrate tension generating unit 130, and the substrate tension generating unit 130 rotates the clamping unit 120 outward through the operation of the substrate tension generating unit 130. 10) to apply tension.

본 실시 예에 따른 기판장착 프레임(110)은 기판(10)의 크기와 기판텐션 발생유닛(130)의 설치 수량에 따라 다양한 크기로 제작될 수 있다. 이러한, 기판장착 프레임(110)은, 기판텐션 발생유닛(130)이 설치되는 베이스 플레이트(111)와, 기판텐션 발생유닛(130)의 작동을 가이드하도록 베이스 플레이트(111)에 구비되는 작동 가이드부(113)로 이루어진다.The substrate mounting frame 110 according to the present embodiment may be manufactured in various sizes according to the size of the substrate 10 and the number of installed substrate tension generating units 130 . The substrate mounting frame 110 includes a base plate 111 on which the substrate tension generating unit 130 is installed, and an operation guide provided on the base plate 111 to guide the operation of the substrate tension generating unit 130. It consists of (113).

작동 가이드부(113)는, 기판텐션 발생유닛(130)의 수평 이동을 가이드 하기 위한 수평이동 가이드부재(113a)와, 기판텐션 발생유닛(130)의 상하 이동을 가이드 하기 위한 수직이동 가이드부재(113b)를 구비한다.The operation guide part 113 includes a horizontal movement guide member 113a for guiding the horizontal movement of the substrate tension generating unit 130 and a vertical movement guide member for guiding the vertical movement of the substrate tension generating unit 130 ( 113b).

또한, 수평이동 가이드부재(113a)와 수직이동 가이드부재(113b)는 장홀 형태로 형성되며, 수직이동 가이드부재(113b)가 베이스 플레이트(111)의 중앙부에 형성된다. 이때, 수직이동 가이드부재(113b)를 중심으로 기판텐션 발생유닛(130)이 좌우 대칭되게 설치되어 수직이동 가이드부재(113b)를 기준으로 작동한다.In addition, the horizontal movement guide member 113a and the vertical movement guide member 113b are formed in a long hole shape, and the vertical movement guide member 113b is formed in the center of the base plate 111. At this time, the substrate tension generating unit 130 is installed symmetrically around the vertical movement guide member 113b and operates based on the vertical movement guide member 113b.

본 실시 예에 따른 집게부(120)는 표면처리를 위한 기판(10)을 파지하도록 기판텐션 발생유닛(130)에 이격되게 복수게 결합된다. 이러한, 집게부(120)는 수직이동 가이드부재(113b)를 중심으로 기판텐션 발생유닛(130)의 양측에 대응되게 결합되어 파지되는 기판(10)을 기판(10)의 중심을 기준으로 하여 양측으로 당겨주게 된다.A plurality of tongs 120 according to the present embodiment are spaced apart from each other and coupled to the substrate tension generating unit 130 to hold the substrate 10 for surface treatment. The tongs 120 are coupled to correspond to both sides of the substrate tension generating unit 130 around the vertical movement guide member 113b, and the substrate 10 to be gripped is placed on both sides with respect to the center of the substrate 10. will be pulled to

예를 들어 집게부(120)는 수직이동 가이드부재(113b)를 중심으로 기판텐션 발생유닛(130)의 일측에 2개 결합되고, 타측에 2게 결합된다. 본 실시 예에서는 집게부(120)가 4개 구비되는 것을 예를 들어 설명하고 있지만 사용자의 필요에 따라 구비되는 수량이 다양하게 변경될 수도 있다. For example, two tongs 120 are coupled to one side of the substrate tension generating unit 130 around the vertical movement guide member 113b, and two are coupled to the other side. In the present embodiment, four tongs 120 are described as an example, but the number of tongs 120 may be variously changed according to the needs of the user.

본 실시 예에 따른 기판텐션 발생유닛(130)는 집게부(120)가 결합되어 작동 가이드부(113)에 이동 가능하게 구비되며, 기판(10)의 상단을 파지한 집게부(120)를 중앙선(C)을 기준으로 하여 외측으로 회전시켜 기판(10)에 텐션을 가하게 된다. 이때, 기판텐션 발생유닛(130)은 집게부(120)를 수평이동 및 회전시켜 기판(10)을 상측 사선방향으로 미세하게 당겨주게 된다.In the substrate tension generating unit 130 according to the present embodiment, the tongs 120 are coupled and movably provided to the operation guide 113, and the tongs 120 gripping the top of the substrate 10 are placed along the center line. Tension is applied to the substrate 10 by rotating it outward based on (C). At this time, the substrate tension generating unit 130 finely pulls the substrate 10 in an upward oblique direction by horizontally moving and rotating the tongs 120 .

구체적으로 기판텐션 발생유닛(130)은 집게부(120)를 회전시키도록 베이스 플레이트(111)에 힌지 결합되는 고정형 집게 회전부(131)와, 고정형 집게 회전부(131)를 탄성 지지하는 텐션 발생부(133)와, 고정형 집게 회전부(131)에 연동하도록 작동 가이드부(113)에 이동 가능하게 설치되는 연동형 집게 회전부(135)와, 연동형 집게 회전부(135)의 작동을 위한 집게 연동 연결부(137)를 포함한다.Specifically, the substrate tension generating unit 130 includes a fixed tong rotation unit 131 hinged to the base plate 111 to rotate the tongs 120 and a tension generating unit that elastically supports the fixed tongs rotation unit 131 ( 133), the interlocking tongs rotating part 135 movably installed on the operation guide part 113 so as to interlock with the fixed tongs rotating part 131, and the interlocking tongs connecting part 137 for operating the interlocking tongs rotating part 135 ).

고정형 집게 회전부(131)는, 베이스 플레이트(111)의 중앙선(C)을 중심으로 대응되게 구비되는 제1집게 회전링크(131a)와 제2집게 회전링크(131b)를 구비하며, 제1집게 회전링크(131a)와 제2집게 회전링크(131b) 사이에 텐션 발생부(133)가 구비된다. 이때, 제1집게 회전링크(131a)와 제2집게 회전링크(131b)는 끝단이 동일한 힌지점을 가지도록 베이스 플레이트(111)에 힌지 연결되어 중심힌지점(H)을 이루고, 타측에 집게부(120)가 결합되는 집게고정부(131c)가 특정각도 절곡되게 형성된다.The fixed tong rotating part 131 includes a first tong rotating link 131a and a second tong rotating link 131b provided to correspond to each other around the center line C of the base plate 111, and the first tong rotating link 131b. A tension generating unit 133 is provided between the link 131a and the second tong rotating link 131b. At this time, the first tong rotation link 131a and the second tong rotation link 131b are hinged to the base plate 111 so that their ends have the same hinge point to form a central hinge point H, and the tongs on the other side The claw fixing part 131c to which the 120 is coupled is formed to be bent at a specific angle.

또한, 제1집게 회전링크(131a)와 제2집게 회전링크(131b)는 중앙부에 집게 연동 연결부(137)가 각각 링크 연결되며, 텐션 발생부(133)의 설치를 위한 스프링 지지핀(131d)이 구비된다. 더하여 제1집게 회전링크(131a)와 제2집게 회전링크(131b)는 집게고정부(131c)의 절곡부위에 집게 연동 연결부(137)가 링크 연결된다.In addition, the first tong rotation link 131a and the second tong rotation link 131b are linked to the tong interlocking connection part 137 at the center, respectively, and the spring support pin 131d for installing the tension generating unit 133 is provided In addition, the first tong rotation link 131a and the second tong rotation link 131b are linked by the tong interlocking connection part 137 to the bent portion of the tong fixing part 131c.

텐션 발생부(133)는, 별도의 가동 지그를 통해 기판텐션 발생유닛(130)에 외력이 가해지면 압축되고, 외력이 제거되면 팽창하면서 중앙선(C)을 중심으로 하여 제1집게 회전링크(131a)와 제2집게 회전링크(131b)를 외측으로 회전시킨다. 그러면 제1집게 회전링크(131a)와 제2집게 회전링크(131b)에 의해 집게 연동 연결부(137)와 연동형 집게 회전부(가 링크 방식으로 동시에 펼쳐지면서 집게부(120)를 회전시키게 된다.The tension generator 133 is compressed when an external force is applied to the substrate tension generating unit 130 through a separate movable jig, and expands when the external force is removed, centering on the center line C, the first tong rotating link 131a. ) And rotate the second tong rotation link (131b) to the outside. Then, by the first tong rotating link 131a and the second tong rotating link 131b, the tongs interlocking connection part 137 and the interlocking tongs rotating part (link type) are simultaneously unfolded and the tongs 120 rotates.

연동형 집게 회전부(135)는 집게 연동 연결부(137)의 양측 끝단부에 링크 연결되고, 하측에 집게부(120)가 결합되며, 고정형 집게 회전부(131)가 작동함에 따라 함께 연동하면서 집게부(120)를 베이스 플레이트(111)의 외측으로 회전시켜 기판(10)에 텐션을 가하게 된다.The interlocking tongs rotating part 135 is linked to both ends of the interlocking tongs connection part 137, the tongs 120 are coupled to the lower side, and as the fixed tongs rotating part 131 operates, the tongs part ( 120 is rotated to the outside of the base plate 111 to apply tension to the substrate 10 .

이러한 연동형 집게 회전부(135)는 제1집게 회전링크(131a)와 동일한 방향으로 회전하는 제3집게 회전링크(135a)와, 제2집게 회전링크(131b)와 동일한 방향으로 회전하는 제4집게 회전링크(135b)를 구비한다.The interlocking tong rotating part 135 has a third tong rotating link 135a rotating in the same direction as the first tong rotating link 131a, and a fourth tong rotating in the same direction as the second tong rotating link 131b. A rotation link (135b) is provided.

또한, 제3집게 회전링크(135a)와 제4집게 회전링크(135b)는 집게 연동 연결부(137)와 링크 연결되는 상단부 힌지 부위가 수평이동 가이드부재(113a)에 이동 가능하게 삽입된다. 이때, 제3집게 회전링크(135a)와 제4집게 회전링크(135b)는 고정형 집게 회전부(131)와 동일한 모양으로 형성될 수도 있다.In addition, the third tong rotation link 135a and the fourth tong rotation link 135b are movably inserted into the horizontal movement guide member 113a at the upper hinge portion linked to the tong interlocking connection part 137. At this time, the third tong rotating link 135a and the fourth tong rotating link 135b may be formed in the same shape as the fixed tong rotating part 131.

집게 연동 연결부(137)는 기판텐션 발생유닛(130)이 "X"자 형태의 링크연결 구조를 가지도록 고정형 집게 회전부(131)와 연동형 집게 회전부(135)에 링크연결된다. 예를 들어 집게 연동 연결부(137)는 내측의 링크부재가 고정형 집게 회전부(131)에 링크 연결되고, 외측의 링크부재가 연동형 집게 회전부(135)에 링크 연결된다. 또한, 집게 연동 연결부(137)는 상측의 링크 힌지부가 수평이동 가이드부재(113a)에 수평으로 이동 가능하게 삽입되어 수평이동 가이드부재(113a)를 따라 안정되게 펼쳐지거나 접히게 된다.The interlocking tongs connection part 137 is linked to the fixed tongs rotating part 131 and the interlocking tongs rotating part 135 so that the substrate tension generating unit 130 has an “X” shaped link connection structure. For example, in the tongs interlocking connection part 137, the inner link member is linked to the fixed tongs rotating part 131, and the outer link member is linked to the interlocking tongs rotating part 135. In addition, in the tongs interlocking connection part 137, the upper link hinge part is movably inserted into the horizontal movement guide member 113a to be stably unfolded or folded along the horizontal movement guide member 113a.

특히, 집게 연동 연결부(137)는 중심부에 위치하는 중앙 링크부재(173a)의 하단부 힌지 연결부위가 수직이동 가이드부재(113b)에 이동 가능하게 삽입되며, 기판텐션 발생유닛(130)이 작동함에 따라 수직으로 이동하면서 기판텐션 발생유닛(130)의 이동을 제한하게 된다. 즉, 수직이동 가이드부재(113b)에 의해 기판텐션 발생유닛(130)의 작동 범위가 결정된다.In particular, in the tongs interlocking connection part 137, the lower hinge connection part of the central link member 173a located in the center is movably inserted into the vertical movement guide member 113b, and as the substrate tension generating unit 130 operates, While moving vertically, the movement of the substrate tension generating unit 130 is restricted. That is, the operating range of the substrate tension generating unit 130 is determined by the vertical movement guide member 113b.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 변형 방지용 클램핑 장치(100)는, 기판(10)을 파지하기 전에 별도의 지그에 의해 고정형 집게 회전부(131)가 내측방향으로 지지되어 집게부(120)가 일자로 배치된 상태를 유지한다.In the clamping device 100 for preventing substrate deformation according to an embodiment of the present invention configured as described above, the fixed clamp rotating part 131 is supported inward by a separate jig before gripping the substrate 10, (120) maintains a dated arrangement.

이후, 집게부(120) 사이로 기판(10)의 상단이 삽입되면, 고정형 집게 회전부(131)를 지지하던 지그가 이격되면서 텐션 발생부(133)의 탄성력에 의해 제1집게 회전링크(131a)와 제2집게 회전링크(131b)가 중심힌지점(H)을 중심으로 양측방향으로 회전되면서 집게 연동 연결부(137)와 연동형 집게 회전부(135)를 연동시킨다. 이를 통해 제3집게 회전링크(135a)와 제3집게 회전링크(135a)가 제1집게 회전링크(131a) 및 제2집게 회전링크(131b)와 함께 동시에 외측으로 회전되면서 집게부(120)를 회전시킨다. Then, when the top of the substrate 10 is inserted between the tongs 120, the jig supporting the fixed tong rotating part 131 is separated from the first tong rotating link 131a by the elastic force of the tension generating part 133. As the second tong rotation link 131b is rotated in both directions around the central hinge point H, the interlocking tongs connection part 137 and the interlocking tongs rotating part 135 are interlocked. Through this, the third tongs rotating link 135a and the third tongs rotating link 135a simultaneously rotate outward together with the first tongs rotating link 131a and the second tongs rotating link 131b to rotate the tongs 120. rotate

그러면 집게부(120)에 고정된 기판(10)의 상단부가 상측 사선방향으로 텐션 지지됨에 따라 기판(10)이 평평하게 펴지게 되어 처리액에 침전되는 과정이나 표면처리과정에서 울거나 휘어지는 것이 방지된다. 이를 통해 기판(10)의 도금불량을 방지할 수 있다.Then, as the upper end of the substrate 10 fixed to the tongs 120 is tensioned in an upper oblique direction, the substrate 10 is flattened to prevent it from being precipitated in the treatment liquid or from bending during surface treatment do. Through this, plating defects of the substrate 10 may be prevented.

본발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art to which the technology belongs can make various modifications and equivalent other embodiments. will understand

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the claims.

10 : 기판 100 : 기판 변형 방지용 클램핑 장치
110 : 기판장착 프레임 111 : 베이스 플레이트
113 : 작동 가이드부 113a : 수평이동 가이드부재
113b : 수직이동 가이드부재 120 : 집게부
130 : 기판텐션 발생유닛 131 : 고정형 집게 회전부
131a : 제1집게 회전링크 131b : 제2집게 회전링크
131d : 스프링 지지핀 133 : 텐션 발생부
135 : 연동형 집게 회전부 135a : 제3집게 회전링크
135b : 제4집게 회전링크 137 : 집게 연동 연결부
137a : 링크부재10: substrate 100: clamping device for preventing substrate deformation
110: substrate mounting frame 111: base plate
113: operation guide part 113a: horizontal movement guide member
113b: vertical movement guide member 120: tongs
130: substrate tension generating unit 131: fixed tong rotation unit
131a: first clamp rotation link 131b: second clamp rotation link
131d: spring support pin 133: tension generating unit
135: interlocking tongs rotating part 135a: third tongs rotating link
135b: fourth clamp rotation link 137: clamp interlock connection
137a: link member

Claims (9)

기판장착 프레임; 표면처리를 위하여 상기 기판장착 프레임에 설치되는 기판을 파지하도록 상기 기판장착 프레임에 구비되는 집게부; 및 상기 집게부가 고정되도록 상기 기판장착 프레임에 구비되며, 상기 기판을 외측으로 당겨 상기 기판에 텐션을 가하는 기판텐션 발생유닛;을 포함하며,
상기 기판텐션 발생유닛은, 상기 집게부가 고정되어 상기 기판장착 프레임에서 선택적으로 회전하여 상기 집게부를 회전시키는 고정형 집게 회전부;
상기 고정형 집게 회전부가 회전하도록 상기 고정형 집게 회전부를 지지하는 텐션 발생부; 및
상기 집게부가 고정되며, 상기 고정형 집게 회전부에 연동되도록 상기 기판장착 프레임에 이동 및 회전 가능하게 구비되는 연동형 집게 회전부;를 포함하며, 상기 기판장착 프레임에서 상기 집게부를 이동 및 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 변형 방지용 클램핑 장치.
board mounting frame; Tongs provided on the substrate mounting frame to grip the substrate installed on the substrate mounting frame for surface treatment; And a substrate tension generating unit provided on the substrate mounting frame so that the tongs are fixed, and pulling the substrate outward to apply tension to the substrate; includes,
The substrate tension generating unit may include: a fixed tongs rotation unit for rotating the tongs by selectively rotating the tongs in the substrate mounting frame;
Tension generating unit for supporting the fixed tong rotational portion to rotate the fixed tongs rotating portion; and
The tongs are fixed, and an interlocking tongs rotation part movably and rotatably provided to the substrate mounting frame so as to be interlocked with the fixed tongs rotation unit; characterized in that for moving and rotating the tongs in the substrate mounting frame Clamping device to prevent substrate deformation.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 고정형 집게 회전부는, 일단부가 상기 기판장착 프레임에 회전 가능하게 연결되고, 타단부에 상기 집게부의 결합을 위한 집게고정부가 절곡 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 변형 방지용 클램핑 장치.
According to claim 1,
The clamping device for preventing deformation of the substrate, characterized in that one end of the fixed clamp rotation part is rotatably connected to the substrate mounting frame, and the clamp fixing part for coupling the clamp part to the other end is formed by bending.
 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 기판텐션 발생유닛은, 상기 고정형 집게 회전부와 상기 연동형 집게 회전부를 연결하도록 상기 기판장착 프레임에 구비되어 상기 연동형 집게 회전부를 상기 고정형 집게 회전부에 연동시키는 집게 연동 연결부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 변형 방지용 클램핑 장치.
According to claim 1,
The substrate tension generation unit may include: an interlocking tongs connecting portion provided on the substrate mounting frame to connect the fixed tongs rotating portion and the interlocking tongs rotating portion to interlock the interlocking tongs rotating portion to the fixed tongs rotating portion;
Clamping device for preventing deformation of the substrate, characterized in that it further comprises.
 제 7 항에 있어서,
상기 기판텐션 발생유닛은, 상기 고정형 집게 회전부와 상기 연동형 집게 회전부 및 상기 집게 연동 연결부가 링크방식으로 연결되어 연동하는 것을 특징으로 하는 기판 변형 방지용 클램핑 장치.
According to claim 7,
The substrate tension generating unit is a clamping device for preventing substrate deformation, characterized in that the fixed clamp rotating part, the interlocking clamp rotating part, and the clamp interlocking connection part are connected in a link manner and interlock.
 제 7 항에 있어서,
상기 기판장착 프레임은, 상기 기판텐션 발생유닛의 작동을 가이드하기 위한 작동 가이드부;를 구비하며,
상기 작동 가이드부는, 상기 기판텐션 발생유닛의 수평 이동을 가이드하는 수평이동 가이드부재; 및
상기 연동형 집게 회전부의 상하 이동을 가이드하는 수직이동 가이드부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 기판 변형 방지용 클램핑 장치.

According to claim 7,
The substrate mounting frame includes an operation guide unit for guiding the operation of the substrate tension generating unit,
The operation guide unit may include a horizontal movement guide member for guiding the horizontal movement of the substrate tension generating unit; and
A vertical movement guide member for guiding the vertical movement of the interlocking forceps rotation unit;
Clamping device for preventing deformation of the substrate, characterized in that it comprises a.
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