KR102561485B1 - Divided edge ring and ceramic parts thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 공정챔버에 배치되어 플라즈마를 이용하는 에칭공정 시 플라즈마 영역을 구속 내지 해제하는 에지링에 관한 것으로, 복수의 부재로 이루어져 분리할 수 있게 결합되어 있고 내부에 공정공간이 형성된 본체 및 상기 본체의 부재들을 분리할 수 있게 결합하는 체결부재를 포함한다.The present invention relates to an edge ring disposed in a process chamber to constrain or release a plasma region during an etching process using plasma, and includes a main body composed of a plurality of members detachably coupled and having a process space formed therein, and the main body It includes a fastening member that detachably couples the members.

Description

분할형 에지링 및 이의 세라믹 부품 {DIVIDED EDGE RING AND CERAMIC PARTS THEREOF}Divided edge ring and its ceramic parts {DIVIDED EDGE RING AND CERAMIC PARTS THEREOF}

구현예는 반도체 공정 중 플라즈마를 이용하는 에칭공정에 사용되는 것으로서, 더 상세하게는 에칭공정 시 발생한 부산물, 에칭가스 등의 원활한 유출을 가이드하고 유지보수성을 높인 분할형 에지링, 이의 세라믹 부품 등에 관한 것이다.Embodiments are used in an etching process using plasma during a semiconductor process, and more specifically, guide the smooth outflow of by-products and etching gas generated during the etching process and improve maintainability. It relates to a split type edge ring, ceramic parts thereof, and the like .

반도체는 여러 공정에 의해 제조된다. 여러 공정 중 에칭공정은 소정의 물질막을 원하는 형태로 패터닝하는 공정으로서 필수적이다.Semiconductors are manufactured by several processes. Among various processes, an etching process is essential as a process of patterning a predetermined material film into a desired shape.

플라즈마를 활용하는 건식에칭장치가 에칭공정에 사용되고 있다. 건식 에칭장치는 공정챔버를 가지고 있다. 공정챔버에는 고주파 전력을 인가하기 위한 전극(음극, 양극)이 설치된다.A dry etching apparatus using plasma is used in the etching process. The dry etching apparatus has a process chamber. Electrodes (cathode, anode) for applying high-frequency power are installed in the process chamber.

고주파 전력이 전극에 공급되면 공정챔버로 공급된 에칭가스는 플라즈마로 형성된다. 플라즈마의 반응 이온들은 웨이퍼의 자기 바이어스 전위(self-bias potential)에 의해서 당겨져 에칭대상(웨이퍼) 표면이 에칭된다.When high-frequency power is supplied to the electrode, the etching gas supplied to the process chamber is formed into plasma. Reactive ions of the plasma are pulled by the self-bias potential of the wafer, and the surface of the etch target (wafer) is etched.

공정챔버에는 플라즈마에 의한 에칭 효율을 높이고 플라즈마의 흐름을 제어하는 에지링이 배치된다. 에지링은 에칭공정 시 플라즈마 영역을 구속-해제한다.An edge ring for increasing etching efficiency by plasma and controlling the flow of plasma is disposed in the process chamber. The edge ring unconstrains the plasma region during the etching process.

대한민국 등록특허 제10-2102131호 (2020.04.13.)Republic of Korea Patent No. 10-2102131 (2020.04.13.) 대한민국 등록실용신안 제20-0491165호 (2020.02.20.)Korean Utility Model Registration No. 20-0491165 (2020.02.20.)

구현예는 공정챔버에서 플라즈마 에칭공정 시 플라즈마에 의한 손상의 정도가 큰 에지링을 부분적으로 교체할 수 있도록 하여 유지보수성을 높인 분할형 에지링을 제공한다.An embodiment provides a split type edge ring with improved maintainability by partially replacing an edge ring that is damaged by plasma during a plasma etching process in a process chamber.

구현예는 플라즈마를 이용하는 에칭공정 시 플라즈마 영역을 구속 내지 해제하도록 공정챔버에 배치되는 분할형 에지링으로서, 공정공간을 형성하도록 마련되는 복수의 부재를 포함하는 본체; 및 상기 복수의 부재를 분리 가능하게 결합시키는 체결부재;를 포함한다.An embodiment is a divided edge ring disposed in a process chamber to restrain or release a plasma region during an etching process using plasma, comprising: a main body including a plurality of members provided to form a process space; and a fastening member that detachably couples the plurality of members.

상기 본체는, 상부 개방홀을 포함하는 상부커버; 상기 상부커버와 마주하도록 배치되고, 하부 개방홀 및 상기 하부 개방홀의 외측에 형성되는 복수의 슬롯을 포함하는 하부커버; 및 상기 상부커버와 상기 하부커버를 연결하도록 상기 상부커버와 상기 하부커버 사이에 위치하는 연결부재;를 포함할 수 있다.
상기 체결부재는 상기 본체의 상하방향으로 상기 상부커버와 상기 연결부재를 결합시키는 상단 체결부재를 포함할 수 있다.
상기 체결부재는 상기 본체의 상하방향으로 상기 하부커버와 상기 연결부재를 결합시키는 하단 체결부재를 포함할 수 있다.
상기 하부커버는 상기 연결부재에 의해 상기 상부커버와 기 설정된 간격을 두고 떨어져 마주할 수 있다.
상기 상부커버는, 상기 체결부재가 관통 결합되도록 상기 상부커버의 상면 가장자리에 마련되는 상단 관통홀과, 상기 연결부재의 상단이 맞물리도록 상기 상부커버의 하면 가장자리에 함몰 형성되는 상단 안착홈을 포함하고, 상기 연결부재는, 상기 체결부재가 체결될 수 있도록 상기 상단 관통홀과 연통되게 상기 연결부재의 상면에 마련되는 상단 체결홈을 포함하고, 상기 상단 관통홀은 상기 상부커버의 둘레를 따라 이격되도록 형성되는 복수의 상단 관통홀을 포함하고, 상기 상단 체결홈은 상기 상단 관통홀에 대응되도록 상기 연결부재의 둘레를 따라 형성되는 복수의 상단 체결홈을 포함할 수 있다.The main body includes an upper cover including an upper open hole; a lower cover disposed to face the upper cover and including a lower open hole and a plurality of slots formed outside the lower open hole; and a connecting member positioned between the upper cover and the lower cover to connect the upper cover and the lower cover.
The fastening member may include an upper fastening member that couples the upper cover and the connecting member in the vertical direction of the main body.
The fastening member may include a lower fastening member that couples the lower cover and the connecting member in the vertical direction of the main body.
The lower cover may face apart from the upper cover at a predetermined interval by the connecting member.
The upper cover includes an upper through-hole provided at the edge of the upper surface of the upper cover so that the fastening member is penetrated and coupled, and a top seating groove formed recessed in the edge of the lower surface of the upper cover so that the upper end of the connection member is engaged. , The connecting member includes an upper fastening groove provided on an upper surface of the connecting member to communicate with the upper through hole so that the fastening member can be fastened, and the upper through hole is spaced apart along the circumference of the upper cover. A plurality of upper through-holes are formed, and the upper fastening groove may include a plurality of upper fastening grooves formed along a circumference of the connecting member to correspond to the upper through-hole.

상기 상부커버는, 상기 체결부재가 관통 결합되도록 상기 상부커버의 상면 가장자리에 마련되는 상단 관통홀과, 상기 연결부재의 상단이 맞물리도록 상기 상부커버의 하면 가장자리에 함몰 형성되는 상단 안착홈을 포함하고, 상기 연결부재는, 상기 체결부재가 체결될 수 있도록 상기 상단 관통홀과 연통되게 상기 연결부재의 상면에 마련되는 상단 체결홈을 포함하고, 상기 상단 관통홀은 상기 상부커버의 둘레를 따라 이격되도록 형성되는 복수의 상단 관통홀을 포함하고, 상기 상단 체결홈은 상기 상단 관통홀에 대응되도록 상기 연결부재의 둘레를 따라 형성되는 복수의 상단 체결홈을 포함할 수 있다.The upper cover includes an upper through-hole provided at the edge of the upper surface of the upper cover so that the fastening member is penetrated and coupled, and a top seating groove formed recessed in the edge of the lower surface of the upper cover so that the upper end of the connection member is engaged. , The connecting member includes an upper fastening groove provided on an upper surface of the connecting member to communicate with the upper through hole so that the fastening member can be fastened, and the upper through hole is spaced apart along the circumference of the upper cover. A plurality of upper through-holes are formed, and the upper fastening groove may include a plurality of upper fastening grooves formed along a circumference of the connecting member to correspond to the upper through-hole.

상기 하부커버는, 상기 연결부재의 하단이 맞물리도록 상기 하부커버의 상면 가장자리에 함몰 형성되는 하단 안착홈과, 상기 체결부재가 관통 결합되도록 상기 하부커버의 가장자리에 마련되고 상기 하부커버의 외측 방향으로 개방되는 하단 관통홀을 포함하고, 상기 연결부재는, 상기 체결부재가 체결될 수 있도록 상기 하단 관통홀과 연통되게 상기 연결부재의 하면에 마련되는 하단 체결홈을 포함하고, 상기 하단 관통홀은 상기 하부커버의 둘레를 따라 이격되도록 형성되는 복수의 하단 관통홀을 포함하고, 상기 하단 체결홈은 상기 하단 관통홀에 대응되도록 상기 연결부재의 둘레를 따라 형성되는 복수의 하단 체결홈을 포함할 수 있다.The lower cover is provided on the edge of the lower cover so that the lower end of the connection member is engaged with a lower seating groove recessed in the upper surface edge of the lower cover and the fastening member is penetrated and coupled to the outside of the lower cover. and a lower through-hole that is opened, and the connecting member includes a lower fastening groove provided on a lower surface of the connecting member to communicate with the lower through-hole so that the fastening member can be fastened, and the lower through-hole includes the lower through-hole. It may include a plurality of lower through-holes formed to be spaced apart from each other along the circumference of the lower cover, and the lower fastening groove may include a plurality of lower fastening grooves formed along the circumference of the connecting member to correspond to the lower through-hole. .

상기 연결부재는, 연결몸체; 상기 상부커버의 하면 가장자리와 맞물리도록 상기 연결몸체의 상단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 상단 돌출턱; 및 상기 하부커버의 상면 가장자리와 맞물리도록 상기 연결몸체의 하단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 하단 돌출턱;을 포함할 수 있다.The connecting member may include a connecting body; an upper protruding jaw protruding from the upper end of the connecting body toward the inside of the connecting member so as to be engaged with an edge of the lower surface of the upper cover; and a lower protruding jaw protruding from the lower end of the connecting body toward the inside of the connecting member so as to be engaged with the edge of the upper surface of the lower cover.

상기 하단 돌출턱은, 상기 하부커버의 하면을 기준으로 상기 하단 돌출턱의 상면이 상기 하부커버의 상면보다 높게 위치하도록 상기 하부커버와 단차지게 결합될 수 있다.The lower protruding jaw may be coupled with the lower cover with a step so that an upper surface of the lower protruding jaw is positioned higher than an upper surface of the lower cover based on a lower surface of the lower cover.

상기 상단 관통홀은, 걸림부 및 상기 걸림부에 삽입된 상기 체결부재가 관통 결합되도록 상기 걸림부와 연통되게 형성되는 관통부를 포함할 수 있다.The top through-hole may include a through-portion formed to be in communication with the catching portion so that the catching portion and the fastening member inserted into the catching portion are through-coupled.

상기 연결부재는, 상단이 상기 상부커버의 하면 가장자리와 맞물리도록 마련되는 연결몸체; 및 상기 하부커버의 상면 가장자리와 맞물리도록 상기 연결몸체의 하단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 하단 돌출턱;을 포함할 수 있다.The connecting member may include a connecting body having an upper end engaged with an edge of the lower surface of the upper cover; and a lower protruding jaw protruding from the lower end of the connecting body toward the inside of the connecting member so as to be engaged with the edge of the upper surface of the lower cover.

상기 상부커버 및 상기 하부커버 각각은, 상면 및 상기 상면과 수직을 이루는 외주면을 포함할 수 있다.Each of the upper cover and the lower cover may include an upper surface and an outer circumferential surface perpendicular to the upper surface.

상기 연결부재는, 연결몸체; 상기 상부커버의 외주면에 접하도록 상기 연결몸체의 상단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 상단 돌출턱; 및 상기 하부커버의 외주면에 접하도록 상기 연결몸체의 하단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 하단 돌출턱;을 포함하며, 상기 하단 돌출턱의 돌출길이는 상기 연결몸체의 내면을 기준으로 상기 상단 돌출턱의 돌출길이보다 짧고, 상기 체결부재는, 상기 연결부재를 상기 본체의 좌우방향으로 관통하여 상기 상부커버와 상기 연결부재 및 상기 하부커버와 상기 연결부재를 결합시킬 수 있다.The connecting member may include a connecting body; an upper protruding jaw protruding from an upper end of the connecting body toward an inward direction of the connecting member so as to come into contact with an outer circumferential surface of the upper cover; and a lower protruding jaw protruding from the lower end of the connecting body toward the inside of the connecting member so as to come into contact with the outer circumferential surface of the lower cover, wherein the protruding length of the lower protruding jaw is based on the inner surface of the connecting body. Shorter than the protruding length of the upper protruding jaw, the fastening member may pass through the connecting member in the left and right directions of the main body to couple the upper cover and the connecting member and the lower cover and the connecting member.

상기 본체는, 절곡된 일 단부를 포함하는 상부커버; 상기 상부커버의 절곡된 일 단부에 결합되는 절곡된 일 단부를 포함하는 하부커버; 및 상기 하부커버의 하면에 배치되는 마감커버;를 포함하고, 상기 체결부재는, 상기 마감커버 및 상기 하부커버를 순차적으로 관통하여 상기 상부커버에 결합될 수 있다.The main body includes an upper cover including a bent end; a lower cover including a bent end coupled to the bent end of the upper cover; and a closing cover disposed on a lower surface of the lower cover, wherein the fastening member sequentially passes through the closing cover and the lower cover to be coupled to the upper cover.

상기 본체는, 상부커버; 및 상기 상부커버의 하면 가장자리에 접하도록 절곡된 일 단부를 포함하는 하부커버;를 포함하고, 상기 체결부재는, 상기 상부커버를 관통하여 상기 하부커버에 결합될 수 있다.The body includes an upper cover; and a lower cover including one end bent to come into contact with an edge of a lower surface of the upper cover, wherein the fastening member may pass through the upper cover and be coupled to the lower cover.

상기 본체는, 실리콘, 실리콘카바이드, 보론카바이드, 쿼츠, 산화알루미늄 및 하스텔로이 중 적어도 하나를 포함하는 재질로 형성될 수 있다.The main body may be formed of a material including at least one of silicon, silicon carbide, boron carbide, quartz, aluminum oxide, and hastelloy.

다른 구현예는 플라즈마를 이용하는 에칭공정 시 플라즈마 영역을 구속 내지 해제하도록 공정챔버에 배치되는 분할형 에지링에 적용되는 세라믹 부품으로서, 상기 세라믹 부품은, 하부 개방홀 및 상기 하부 개방홀의 외측에 형성되는 복수의 슬롯을 포함하는 하부커버를 포함하고, 상기 하부커버는, 체결부재가 관통 결합되도록 상기 하부커버의 가장자리에 마련되고 상기 하부커버의 둘레를 따라 이격 형성되는 복수의 하단 관통홀을 포함하고, 상기 하부커버는 전기저항이 10-5 내지 10 +1 Ω·㎝이다.Another embodiment is a ceramic part applied to a split edge ring disposed in a process chamber to constrain or release a plasma region during an etching process using plasma, wherein the ceramic part is formed in a lower open hole and outside the lower open hole. A lower cover including a plurality of slots, wherein the lower cover includes a plurality of lower through-holes provided at an edge of the lower cover and spaced apart along a circumference of the lower cover so that fastening members are penetrated; The lower cover has an electrical resistance of 10 -5 to 10 +1 Ω·cm.

실시예에 따르면, 본체를 이루고 있는 상부커버, 하부커버 및 연결부재가 체결부재에 의해 서로 분리할 수 있게 결합되어 있다. 이에 따라 부산물, 에칭가스에 직접 노출되어 에칭이 심한 부분만을 선택적으로 교체할 수 있어 유지보수성이 우수하다는 효과가 있다. 또한, 기존의 C 형태는 원반 형태의 두꺼운 재료의 내부를 깎아 내는 형식으로 제조해야 하는 번거로움이 있었으나, 분할형은 그러한 공정이 불필요하여 제조 공정을 보다 효율적으로 할 수 있다.According to the embodiment, the upper cover, the lower cover and the connecting member constituting the main body are coupled to be separated from each other by a fastening member. Accordingly, it is possible to selectively replace only the severely etched part by direct exposure to by-products and etching gas, which has an effect of excellent maintainability. In addition, the existing C shape had the trouble of manufacturing in the form of cutting the inside of a disk-shaped thick material, but the split type can make the manufacturing process more efficient because such a process is unnecessary.

도 1은 종래 에지링을 나타낸 개략도.
도 2는 한 구현예에 따른 분할형 에지링을 나타낸 사시도.
도 3은 도 2의 분해 사시도.
도 4는 도 2의 일부분을 A-A'선을 따라 자른 단면도.
도 5는 다른 구현예에 따른 분할형 에지링을 개략적으로 나타낸 일부 단면도.
도 6은 또 다른 구현예에 따른 분할형 에지링을 개략적으로 나타낸 일부 단면도.
도 7은 또 다른 구현예에 따른 분할형 에지링을 개략적으로 나타낸 일부 단면도.
도 8은 또 다른 구현예에 따른 분할형 에지링을 개략적으로 나타낸 일부 단면도.1 is a schematic diagram showing a conventional edge ring;
2 is a perspective view illustrating a split edge ring according to an embodiment;
Figure 3 is an exploded perspective view of Figure 2;
4 is a cross-sectional view of a portion of FIG. 2 taken along the line A-A'.
5 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a split edge ring according to another embodiment.
6 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a split edge ring according to another embodiment.
7 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a split edge ring according to another embodiment.
8 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a split edge ring according to another embodiment.

이하, 구현예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 구현예는 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the embodiments. However, implementations may be implemented in many different forms and are not limited to the embodiments described herein. Like reference numerals have been assigned to like parts throughout the specification.

본 명세서에서, 어떤 구성이 다른 구성을 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 그 외 다른 구성을 제외하는 것이 아니라 다른 구성들을 더 포함할 수도 있음을 의미한다.In this specification, when a certain component "includes" another component, this means that it may further include other components without excluding other components unless otherwise specified.

본 명세서에서, 어떤 구성이 다른 구성과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우만이 아니라, '그 중간에 다른 구성을 사이에 두고 연결'되어 있는 경우도 포함한다.In this specification, when a component is said to be "connected" to another component, this includes not only the case of being 'directly connected', but also the case of being 'connected with another component intervening therebetween'.

본 명세서에서, A 상에 B가 위치한다는 의미는 A 상에 직접 맞닿게 B가 위치하거나 그 사이에 다른 층이 위치하면서 A 상에 B가 위치하는 것을 의미하며 A의 표면에 맞닿게 B가 위치하는 것으로 한정되어 해석되지 않는다.In this specification, the meaning that B is located on A means that B is located directly on A or B is located on A while another layer is located therebetween, and B is located so as to come into contact with the surface of A It is not construed as being limited to

본 명세서에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 "이들의 조합"의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.In this specification, the term "combination of these" included in the expression of the Markush form means a mixture or combination of one or more selected from the group consisting of the components described in the expression of the Markush form, It means including one or more selected from the group consisting of.

또한, 본 명세서에 기재된 구성요소의 물성 값, 치수 등을 나타내는 모든 수치 범위는 특별한 기재가 없는 한 모든 경우에 "약"이라는 용어로 수식되는 것으로 이해하여야 한다.In addition, it should be understood that all numerical ranges representing physical property values, dimensions, etc. of components described in this specification are modified by the term "about" in all cases unless otherwise specified.

도 1을 참고하면, 에지링(1)의 내부에는 에칭공정이 이루어지는 공정공간(1a)이 형성되어 있으며 상면과 하면은 개방되어 에칭장치의 다른 부품들과 결합된다.Referring to FIG. 1 , a process space 1a in which an etching process is performed is formed inside the edge ring 1, and the upper and lower surfaces are open and combined with other parts of the etching device.

에지링(1)의 상부 개방홀(1b)에는 이너링(2)이 배치되어 있다. 이너링(2)에는 공정챔버(C)의 에칭가스를 에지링(1)의 내부로 유입시키기 위한 홀(2a)들이 형성되어 있다.An inner ring 2 is disposed in the upper open hole 1b of the edge ring 1 . Holes 2a are formed in the inner ring 2 to allow the etching gas in the process chamber C to flow into the edge ring 1 .

에지링(1)의 하부 개방홀(1c)에는 웨이퍼(W)가 놓이고 음극이 연결된 정전척(3)이 배치되어 있다.In the lower open hole 1c of the edge ring 1, an electrostatic chuck 3 having a wafer W and a cathode connected thereto is disposed.

공정공간(1a)의 내부 바닥에는 에칭공정으로 발생한 부산물, 에칭가스 등을 배출하기 위한 슬롯(1d)이 형성되어 있다. 슬롯(1d)은 공정공간(1a) 내부 바닥에 관통 형성될 수 있다.A slot 1d is formed on the inner floor of the process space 1a to discharge by-products and etching gas generated by the etching process. The slot 1d may be formed through the inner floor of the process space 1a.

에칭공정 시 플라즈마 가스가 통과하며 직접 접촉하는 에지링(1)의 슬롯(1d)부위는 다른 부위에 비하여 에칭 정도가 높게 발생한다. 이는, 에지링(1)의 기능을 저해하고 교체 주기를 짧게 한다. 상대적으로 크기가 큰 에지링(1)을 전체적으로 교체하면 유지보수 효율성 저하, 에지링 제조 단가의 증가와 더불어 반도체 제조 비용 등이 상승하게 된다.During the etching process, the portion of the slot 1d of the edge ring 1 that is in direct contact with the plasma gas passes through has a higher degree of etching than other portions. This impairs the function of the edge ring 1 and shortens the replacement cycle. Replacing the relatively large edge ring 1 as a whole leads to a decrease in maintenance efficiency, an increase in the manufacturing cost of the edge ring, and an increase in semiconductor manufacturing costs.

한 실시예에 따른 분할형 에지링에 대하여 도 2 내지 도 4를 참고하여 설명한다.A split edge ring according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIGS. 2 to 4 .

도 2는 한 실시예에 따른 분할형 에지링을 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 분해 사시도이며, 도 4는 도 2의 일부분을 A-A'선을 따라 자른 단면도이다.2 is a perspective view showing a split edge ring according to an embodiment, FIG. 3 is an exploded perspective view of FIG. 2 , and FIG. 4 is a cross-sectional view of a portion of FIG. 2 taken along the line AA′.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 실시예에 따른 분할형 에지링(100)은 복수의 부재로 이루어져 분리할 수 있게 결합될 수 있다. 에지링(100)은, 내부에 공정공간(10a)이 형성된 본체(10) 및 본체(10)를 구성하는 부재들을 분리 가능하게 결합시키는 체결부재(20a, 20b)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 체결부재(20a, 20b)는 본체(10)의 상하방향으로 상부커버(11)와 연결부재(13) 및/또는 하부커버(12)와 연결부재(13)를 결합시킬 수 있다. 이와 같은 분할형 에지링(100)을 사용할 경우, 플라즈마 에칭공정 시 플라즈마 영역을 구속 내지 해제하면서 부산물, 에칭가스에 직접 노출되어 에칭 정도가 높은 부분만을 교체할 수 있어 유지보수성을 높일 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 4 , the split edge ring 100 according to the embodiment may consist of a plurality of members and be detachably coupled. The edge ring 100 may include a main body 10 having a process space 10a formed therein, and fastening members 20a and 20b detachably coupling members constituting the main body 10 . As an example, the fastening members 20a and 20b may couple the upper cover 11 and the connecting member 13 and/or the lower cover 12 and the connecting member 13 in the vertical direction of the main body 10. . In the case of using such a split type edge ring 100, it is possible to replace only a part with a high degree of etching by being directly exposed to a by-product or an etching gas while restraining or releasing the plasma region during the plasma etching process, thereby improving maintainability.

본체(10)는 분할형 에지링(100)의 전체 외형을 형성하며 공정챔버(도시하지 않음)에 배치될 수 있다. 본체(10)는, 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)를 포함할 수 있다. 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)는 분리 가능하도록 결합될 수 있다. 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)는 분리 가능하게 결합되어 플라즈마가 생성, 이동하고 기판의 에칭공정이 이루어지는 공정공간(10a)을 형성한다. 여기서, 상기 부재들은 각각 분리되어 교체될 수 있고, 특히 부산물, 에칭가스에 직접 노출되어 에칭 정도가 높은 하부커버(12)는 연결부재(13)와 분리되어 교체될 수 있다.The main body 10 forms the entire outer shape of the split edge ring 100 and may be disposed in a process chamber (not shown). The main body 10 may include an upper cover 11, a lower cover 12 and a connection member 13. The upper cover 11, the lower cover 12 and the connection member 13 may be coupled to be separable. The upper cover 11, the lower cover 12, and the connection member 13 are detachably coupled to form a process space 10a in which plasma is generated and moved and a substrate etching process is performed. Here, the members can be separated and replaced, and in particular, the lower cover 12, which is directly exposed to by-products and etching gas and has a high etching degree, can be separated from the connecting member 13 and replaced.

상부커버(11)는 중앙에 상하 관통된 상부 개방홀(11a)이 형성되어 있다. 상부 개방홀(11a)의 둘레는 공정공간(10a)의 에칭가스를 공급하는 홀이 복수 형성된 이너링(도시하지 않음)이 걸려 안착될 수 있도록 다단으로 형성될 수 있다. 상부커버(11)는 원판 형태로 형성될 수 있다.The upper cover 11 is formed with an upper opening hole 11a penetrating up and down in the center. The circumference of the upper open hole 11a may be formed in multiple stages so that an inner ring (not shown) having a plurality of holes for supplying an etching gas in the process space 10a can be hooked and seated. The upper cover 11 may be formed in a disk shape.

상부커버(11)의 상면 가장자리에는 상단 관통홀(111)이 형성되어 있다. 상단 관통홀(111)에는 상부커버(11)와 연결부재(13)의 상단을 분리할 수 있게 결합하기 위한 상단 체결부재(20a)의 일부분이 위치한다.An upper through hole 111 is formed at the edge of the upper surface of the upper cover 11 . A portion of the upper fastening member 20a for detachably coupling the upper cover 11 and the upper end of the connecting member 13 is positioned in the upper through hole 111 .

상단 관통홀(111)은 체결부재(20a)의 머리가 위치하는 걸림부(111a)와 체결부재(20a)의 몸체가 관통하는 관통부(111b)로 이루어져 있다. 여기서 걸림부(111a)의 폭은 관통부(111b)의 폭 보다 넓게 이루어져 걸림부(111a)와 관통부(111b)는 다단으로 이루어져 있다. 체결부재(20a)의 머리는 걸림부(111a)에 걸리며, 체결부재(20a)의 몸체는 관통부(111b)를 관통한다. 상단 관통홀(111)은 상부커버(11)의 둘레 방향을 따라 복수 형성되어 있다.The upper through hole 111 is composed of a locking portion 111a where the head of the fastening member 20a is located and a through portion 111b through which the body of the fastening member 20a passes. Here, the width of the hooking part 111a is wider than the width of the penetrating part 111b, and the hooking part 111a and the penetrating part 111b are formed in multiple stages. The head of the fastening member 20a is caught on the hooking part 111a, and the body of the fastening member 20a passes through the penetrating part 111b. A plurality of upper through holes 111 are formed along the circumferential direction of the upper cover 11 .

한편, 걸림부(111a)와 관통부(111b)는 상부커버(11)의 둘레 외측 방향으로 개방되어 있다. 관통부(111b)의 개방된 부분을 통해 체결부재(20a)의 몸체가 체결되는 연결부재(13)의 체결홈(131a)이 보이므로 연결부재(13)의 상단에서 상부커버(11)의 위치 설정이 용이하다.Meanwhile, the hooking portion 111a and the penetrating portion 111b are open to the outer circumference of the upper cover 11 . Since the fastening groove 131a of the connecting member 13 to which the body of the fastening member 20a is fastened is visible through the open part of the through part 111b, the position of the upper cover 11 at the top of the connecting member 13 Easy to set up.

상부커버(11)의 하면과 외측 둘레 측면을 연결하는 모서리 부분이 함몰되어 상단 안착홈(112)이 형성될 수 있다. 상단 안착홈(112)은 상부커버(11)의 둘레 방향을 따라 형성되어 있다. 도 4에서 상단 안착홈(112)을 이루는 수직면과 수평면이 실질적으로 직각으로 연결된 것으로 도시하였지만 수직면과 수평면은 곡면으로 연결될 수 있다. 또한 수직면과 수평면은 생략되고 상단 안착홈(112)은 전체적으로 곡면으로 형성될 수도 있다.A corner portion connecting the lower surface and the outer circumferential side of the upper cover 11 may be recessed to form a top seating groove 112 . The upper seating groove 112 is formed along the circumferential direction of the upper cover 11 . In FIG. 4 , the vertical and horizontal surfaces constituting the upper seating groove 112 are shown as being substantially connected at right angles, but the vertical and horizontal surfaces may be connected as curved surfaces. In addition, the vertical and horizontal surfaces may be omitted, and the upper seating groove 112 may be formed as a curved surface as a whole.

하부커버(12)는 연결부재(13)에 의해 상부커버(11)와 기 설정된 간격을 두고 떨어져 마주하고 있다. 하부커버(12)의 중앙에는 웨이퍼가 놓이는 정전척(도시하지 않음)이 위치하는 하부 개방홀(12a)이 상하 관통하고 있다. 하부커버(12)는 원판 형태로 형성될 수 있다.The lower cover 12 faces the upper cover 11 apart from each other by a connecting member 13 at a predetermined interval. In the center of the lower cover 12, a lower open hole 12a in which an electrostatic chuck (not shown) on which a wafer is placed is positioned vertically penetrates. The lower cover 12 may be formed in a disk shape.

하부 개방홀(12a)의 둘레 주변과 하부커버(12)의 가장자리 사이에는, 다시 말하면, 하부커버(12)의 내측 가장자리와 하부커버(12)의 외측 가장자리 사이에는, 상하 관통된 슬롯(12b)이 기 설정된 길이를 갖고 형성되어 있다. 슬롯(12b)은 하부커버(12)의 둘레 방향을 따라 간격을 두고 복수 형성되어 있다. 공정공간(10a)에서 에칭공정 시 발생한 부산물, 에칭가스는 슬롯(12b)을 통해 본체(10)의 외부로 배출될 수 있다.Between the circumference of the lower open hole 12a and the edge of the lower cover 12, that is, between the inner edge of the lower cover 12 and the outer edge of the lower cover 12, the upper and lower through slots 12b It is formed with this preset length. A plurality of slots 12b are formed at intervals along the circumferential direction of the lower cover 12 . By-products and etching gas generated during the etching process in the process space 10a may be discharged to the outside of the main body 10 through the slot 12b.

하부커버(12)의 상면 가장자리에는 상부커버(11)의 상단 안착홈(112)과 대응하는 하단 안착홈(121)이 형성되어 있다. 하부커버(12)의 하면 가장자리에는 상부커버(11)의 상단 관통홀(111)과 대응하는 하단 관통홀(122)이 형성되어 있다. 하단관통홀(122)은 하부커버(12)의 외측 방향과 하단 안착홈(121)의 방향으로 개방되어 있다. 상기 하단 관통홀(122)은 상기 하단 안착홈(121)과 체결부재(20b)를 통해 연결될 수 있다. 이러한 경우 결합의 공정성을 보다 향상시킬 수 있다. 하단 안착홈(121)과 하단 관통홀(122)의 구성과 작용효과는 상단 안착홈(112)과 상단 관통홀(111)과 동일한 것이므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.A lower receiving groove 121 corresponding to the upper receiving groove 112 of the upper cover 11 is formed on the edge of the upper surface of the lower cover 12 . A lower through hole 122 corresponding to the upper through hole 111 of the upper cover 11 is formed at the lower edge of the lower cover 12 . The lower through hole 122 is open in the direction of the outer direction of the lower cover 12 and the lower seating groove 121 . The lower through hole 122 may be connected to the lower seating groove 121 through the fastening member 20b. In this case, the fairness of the combination can be further improved. Since the configuration and effect of the lower seating groove 121 and the lower through hole 122 are the same as those of the upper seating groove 112 and the upper through hole 111, duplicate descriptions will be omitted.

연결부재(13)는 상부커버(11) 및 하부커버(12) 사이에 배치될 수 있다. 구체적으로, 연결부재(13)는, 상부커버(11)의 하면 가장자리와 하부커버(12)의 상면 가장자리의 사이에 위치하여 상부커버(11)와 하부커버(12)가 기 설정된 간격을 유지하도록 한다. 연결부재(13)는 연결몸체(131), 상단 돌출턱(132) 및 하단 돌출턱(133)을 포함한다.The connection member 13 may be disposed between the upper cover 11 and the lower cover 12 . Specifically, the connecting member 13 is located between the lower edge of the upper cover 11 and the upper edge of the lower cover 12 so that the upper cover 11 and the lower cover 12 maintain a predetermined distance. do. The connecting member 13 includes a connecting body 131, an upper protruding jaw 132 and a lower protruding jaw 133.

연결부재(13)는 측면에서 공정공간 내의 압력 및/또는 가스 흐름을 측정하거나 모니터링할 수 있도록 마련되는 센서홀(미도시)을 더 포함할 수 있다.The connection member 13 may further include a sensor hole (not shown) provided to measure or monitor pressure and/or gas flow in the process space on the side.

연결몸체(131)는 내부 중앙이 상하 관통되어 원통 형태로 형성되어 있다. 연결몸체(131)의 상단은 상단 안착홈(112)과 맞물려 있고 하단은 하단 안착홈(121)과 맞물려 있다. 연결몸체(131)의 상하 길이에 의해 상부커버(11)와 하부커버(12)의 간격이 결정된다. 연결몸체(131)의 상하 길이는 분할형 에지링(100)의 설계에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The connection body 131 is formed in a cylindrical shape with an inner center penetrating vertically. The upper end of the connection body 131 is engaged with the upper receiving groove 112 and the lower end is engaged with the lower receiving groove 121. The distance between the upper cover 11 and the lower cover 12 is determined by the vertical length of the connection body 131 . The upper and lower lengths of the connection body 131 may be variously changed according to the design of the split edge ring 100 .

연결몸체(131)의 상단에서 상단 관통홀(111)과 일치하는 부분에는 상단 체결홈(131a)이 형성되어 있다. 연결몸체(131)의 하단에서 하단 관통홀(122)과 일치하는 부분에는 하단 체결홈(131b)이 형성되어 있다. 상단 관통홀(111)의 체결부재(20a)가 상단 체결홈(131a)에 체결되고, 하단 관통홀(122)의 체결부재(20b)가 하단 체결홈(131b)에 체결되어 상부커버(11)와 연결몸체(131), 그리고 하부커버(12)와 연결몸체(131)는 서로 분리할 수 있게 결합된다.At the top of the connection body 131, a top fastening groove 131a is formed at a portion coincident with the top through hole 111. At the lower end of the connection body 131, a lower fastening groove 131b is formed at a portion coincident with the lower through hole 122. The fastening member 20a of the upper through hole 111 is fastened to the upper fastening groove 131a, and the fastening member 20b of the lower through hole 122 is fastened to the lower fastening groove 131b, so that the upper cover 11 And the connection body 131, and the lower cover 12 and the connection body 131 are coupled to be separated from each other.

상단 돌출턱(132)은 연결몸체(131)의 상단으로부터 연결몸체(131)의 내측방향으로 돌출될 수 있다. 이 때, 상단 돌출턱(131)과 연결몸체(131)는 서로 직교할 수 있다. 구체적으로, 상단 돌출턱(131)과 연결몸체(131)의 내부면(131i)은 서로 직교할 수 있다. 상단 돌출턱(132)은 연결몸체(131)의 상면으로부터 연장되어 상단 안착홈(112)에 안착될 수 있다. 상부커버(11)의 하면과 상단 돌출턱(132)의 하면은 같은 선상에 있다. 이에 상부커버(11)와 상단 돌출턱(132)의 사이에 단차가 형성되어 있지 않다.The upper protruding jaw 132 may protrude from the upper end of the connecting body 131 toward the inside of the connecting body 131 . At this time, the upper protruding jaw 131 and the connecting body 131 may be orthogonal to each other. Specifically, the upper protruding jaw 131 and the inner surface 131i of the connecting body 131 may be orthogonal to each other. The upper protruding jaw 132 may extend from the upper surface of the connection body 131 and be seated in the upper seating groove 112 . The lower surface of the upper cover 11 and the lower surface of the upper protruding jaw 132 are on the same line. Accordingly, a step is not formed between the upper cover 11 and the upper protruding jaw 132 .

하단 돌출턱(133)은 연결몸체(131)의 하면으로부터 연장되어 하단 안착홈(121)에 안착될 수 있으며, 연결몸체(131)의 상단으로부터 연결몸체(131)의 내측방향으로 돌출될 수 있다. 이 때, 하단 돌출턱(133)과 연결몸체(131)는 서로 직교할 수 있다. 구체적으로, 하단 돌출턱(133)과 연결몸체(131)의 내부면(131i)은 서로 직교할 수 있다. 하단 돌출턱(133)은 상단 돌출턱(132)과 연결몸체(131)의 내측방향으로 같은 길이로 돌출될 수 있고, 이들이 서로 마주할 수 있다. 상단 돌출턱(132)과 하단 돌출턱(133)은 서로 나란할 수 있으나, 이에 한정하지 않는다.The lower protruding jaw 133 may extend from the lower surface of the connection body 131 and be seated in the lower seating groove 121, and may protrude from the upper end of the connection body 131 toward the inside of the connection body 131. . At this time, the lower protruding jaw 133 and the connection body 131 may be orthogonal to each other. Specifically, the lower protruding jaw 133 and the inner surface 131i of the connection body 131 may be orthogonal to each other. The lower protruding jaw 133 may protrude in the same length in the inner direction of the upper protruding jaw 132 and the connection body 131, and they may face each other. The upper protruding jaw 132 and the lower protruding jaw 133 may be parallel to each other, but are not limited thereto.

한편, 하부커버(12)의 하면을 기준으로 하단 돌출턱(133)의 상면과 거리(L1)는 하부커버(12)의 상면과 거리(L2)보다 더 멀 수 있다. 이에 하단 돌출턱(133)의 상면이 하부커버(12)의 상면보다 높게 위치하여 하부커버(12)의 상면과 하단 돌출턱(133)의 상면은 단차(S)를 이룰 수 있다.On the other hand, based on the lower surface of the lower cover 12, the distance L1 from the upper surface of the lower protruding jaw 133 may be greater than the distance L2 from the upper surface of the lower cover 12. Accordingly, since the upper surface of the lower protruding jaw 133 is positioned higher than the upper surface of the lower cover 12, the upper surface of the lower cover 12 and the upper surface of the lower protruding jaw 133 may form a step (S).

하부커버(12)가 교체되나 연결부재(13)가 교체되지 않고 반복하여 사용되는 경우, 하단 돌출턱(133)에 손상이 발생할 수 있다. 상기 하단 돌출턱(133)의 상면이 단차를 이루면 반복된 사용으로 식각 등의 손상이 발생하더라도 하부커버(12)와의 연결 역할을 충분히 수행할 수 있고, 상기 단차는 연결부재(13)의 사용 기한을 실질적으로 연장시키는 역할을 할 수 있다.When the lower cover 12 is replaced but the connecting member 13 is repeatedly used without being replaced, damage may occur to the lower protruding jaw 133. When the upper surface of the lower protruding jaw 133 has a step, it can sufficiently perform a connection role with the lower cover 12 even if damage such as etching occurs due to repeated use, and the step difference is the period of use of the connecting member 13. can play a role in substantially extending the .

이에 에칭가스 확산 효율 저하 문제 및 부산물과 에칭가스 배출 시 신속한 배출이 이루어져 에칭공정 상의 불량을 최소화할 수 있다.Accordingly, the problem of lowering the diffusion efficiency of the etching gas and the by-product and the etching gas can be quickly discharged to minimize defects in the etching process.

본체(10)를 이루고 있는 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)는 내플라즈마성을 가지는 재질로 형성될 수 있다. 일 예로서, 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)는, 실리콘(Si), 실리콘카바이드(SiC), 보론카바이드(B4C), 쿼츠(SiO2), 산화알루미늄(Al2O3) 및 하스텔로이 중 적어도 하나의 재료를 포함할 수 있다. 다만, 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)의 재질은 상기 예에 한정하지 않고 다양하게 변경 가능하다.The upper cover 11, the lower cover 12, and the connecting member 13 constituting the main body 10 may be formed of a material having plasma resistance. As an example, the upper cover 11, the lower cover 12 and the connecting member 13 are made of silicon (Si), silicon carbide (SiC), boron carbide (B 4 C), quartz (SiO 2 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ) and Hastelloy. However, the materials of the upper cover 11, the lower cover 12 and the connecting member 13 are not limited to the above examples and can be variously changed.

상기 하스텔로이는 몰리브덴 및 크롬을 포함하는 합금으로, 내부식성이다. 상기 하스텔로이는, 예시적으로, 인코넬 합금 C-276과 같은 명칭으로 시판되는 합금이 적용될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. Hastelloy is an alloy containing molybdenum and chromium, and is corrosion resistant. For Hastelloy, an alloy commercially available under a name such as Inconel alloy C-276 may be applied, but is not limited thereto.

본체(10)를 이루고 있는 부재들, 즉 상부커버(11), 하부커버(12) 및/또는 연결부재(13)는 각각 동일한 재료를 포함할 수 있고, 동일한 재료로 이루어질 수 있다.The members constituting the main body 10, that is, the upper cover 11, the lower cover 12 and/or the connecting member 13 may each include the same material or be made of the same material.

본체(10)를 이루고 있는 부재들, 즉 상부커버(11), 하부커버(12) 및/또는 연결부재(13)는 적어도 하나가 서로 다른 재료를 포함할 수 있고, 적어도 하나가 서로 다른 재료로 이루어질 수 있다.At least one of the members constituting the main body 10, that is, the upper cover 11, the lower cover 12, and/or the connecting member 13, may include different materials, and at least one of them may be made of different materials. It can be done.

예시적으로, 본체(10)를 이루고 있는 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)는 각각 실리콘을 포함할 수 있고, 실리콘으로 이루어질 수 있다.Illustratively, the upper cover 11, the lower cover 12, and the connection member 13 constituting the main body 10 may each contain silicon, and may be made of silicon.

상기 실리콘은 다결정 실리콘이 적용될 수 있고, 단결정 실리콘이 적용될 수 있다. 상기 실리콘은 그로잉 법으로 제조된 것을 적용하는 것이 제조 수율을 높이고 적절한 작업성을 갖는 것을 제조할 수 있다는 장점이 있다.The silicon may be polycrystalline silicon or single crystal silicon. Applying the silicon produced by the growing method has an advantage in that it can increase the production yield and manufacture a product having appropriate workability.

상기 실리콘은 순도가 8N 이상인 것일 수 있고, 상대밀도가 95% 이상, 98% 이상, 좋게는 실질적으로 99.99% 이상인 것이 적용될 수 있다.The silicon may have a purity of 8N or more, and a relative density of 95% or more, 98% or more, preferably substantially 99.99% or more.

예시적으로, 본체(10)를 이루고 있는 상부커버(11), 하부커버(12) 및/또는 연결부재(13)는 하스텔로이를 포함할 수 있고, 하스텔로이로 이루어질 수 있다.Illustratively, the upper cover 11, the lower cover 12, and/or the connecting member 13 constituting the main body 10 may include Hastelloy or may be made of Hastelloy.

예시적으로, 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)는 실리콘을 포함할 수 있고 실리콘으로 이루어질 수 있다. 예시적으로, 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)는 하스텔로이를 포함할 수 있고, 하스텔로이로 이루어질 수 있다. 예시적으로, 체결부재(20a, 20b)는 하스텔로이를 포함할 수 있고, 하스텔로이로 이루어질 수 있다.Illustratively, the upper cover 11, the lower cover 12 and the connecting member 13 may include silicon or may be made of silicon. Illustratively, the upper cover 11, the lower cover 12, and the connecting member 13 may include Hastelloy or may be made of Hastelloy. Illustratively, the fastening members 20a and 20b may include Hastelloy and may be made of Hastelloy.

상기 재료는 굽힘 강도가 80 MPa 이상일 수 있고, 200 MPa 이하일 수 있다.The material may have a bending strength of 80 MPa or more and 200 MPa or less.

상기 실리콘은 굽힘 강도가 80 MPa 이상일 수 있고, 200 MPa 이하일 수 있다.The silicon may have a bending strength of 80 MPa or more and 200 MPa or less.

상기 하스텔로이는 굽힘 강도가 80 MPa 이상일 수 있고, 200 MPa 이하일 수 있다.The Hastelloy may have a bending strength of 80 MPa or more and 200 MPa or less.

상기 재료는 영률이 100 내지 300 GPa 일 수 있다.The material may have a Young's modulus of 100 to 300 GPa.

상기 실리콘은 영률이 100 내지 300 GPa 일 수 있다.The silicon may have a Young's modulus of 100 to 300 GPa.

상기 하스텔로이는 영률이 100 내지 300 GPa 일 수 있다.The Hastelloy may have a Young's modulus of 100 to 300 GPa.

상기 재료는 경도가 8 GPa 이상일 수 있고, 9.5 GPa 이상일 수 있고, 20 GPa 이하일 수 있다.The material may have a hardness of greater than or equal to 8 GPa, greater than or equal to 9.5 GPa, or less than or equal to 20 GPa.

상기 실리콘은 경도가 8 GPa 이상일 수 있고, 9.5 GPa 이상일 수 있고, 20 GPa 이하일 수 있다.The silicon may have a hardness of 8 GPa or more, 9.5 GPa or more, or 20 GPa or less.

상기 하스텔로이는 경도가 8 GPa 이상일 수 있고, 9.5 GPa 이상일 수 있고, 20 GPa 이하일 수 있다.The hastelloy may have a hardness of 8 GPa or more, 9.5 GPa or more, or 20 GPa or less.

상기 재료는 열전도도가 80 내지 160 W/m.K일 수 있다. The material may have a thermal conductivity of 80 to 160 W/m.K.

상기 실리콘은 열전도도가 80 내지 160 W/m.K일 수 있다. The silicon may have a thermal conductivity of 80 to 160 W/m.K.

상기 하스텔로이는 열전도도가 80 내지 160 W/m.K일 수 있다. The Hastelloy may have a thermal conductivity of 80 to 160 W/m.K.

상기 재료는 전기저항이 10-5 내지 10+1 Ω·㎝ 일 수 있다. 이러한 전기 저항의 범위를 가질 때, 플라즈마 공정에서 플라즈마의 흐름을 방해하지 않고 원활한 공정 진행이 가능하다. 상기 실리콘은 전기저항이 10-5 내지 10+1 Ω·㎝ 일 수 있다. 상기 하스텔로이는 전기저항이 10-5 내지 10+1 Ω·㎝ 일 수 있다.The material may have an electrical resistance of 10 −5 to 10 +1 Ω·cm. When the electrical resistance range is within this range, a smooth process may be performed without disturbing the flow of plasma in a plasma process. The silicon may have an electrical resistance of 10 -5 to 10 +1 Ω·cm. The hastelloy may have an electrical resistance of 10 −5 to 10 +1 Ω·cm.

부재들은 10-5 내지 10+1의 전기저항값을 가질 수 있다. 상부커버(11), 하부커버(12) 및/또는 연결부재(13)는 전기저항이 10-2 내지 10+1 Ω·㎝인 것이 적용될 수 있다.The members may have an electrical resistance value of 10 -5 to 10 +1 . The upper cover 11, the lower cover 12 and/or the connecting member 13 may have an electrical resistance of 10 -2 to 10 +1 Ω·cm.

본체(10)를 이루고 있는 부재들은 내부식성 코팅층(미도시)을 추가로 포함할 수 있다. 예시적으로, 하부커버(12) 및/또는 연결부재(13)는 그 일부 또는 전부에 내부식성 코팅층을 추가로 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 하부커버(12)의 슬릿 부분에 내부식성 코팅층이 더 포함될 수 있다.Members constituting the main body 10 may further include a corrosion resistant coating layer (not shown). Illustratively, the lower cover 12 and/or the connecting member 13 may further include a corrosion resistant coating layer on part or all of them. Specifically, a corrosion resistant coating layer may be further included in the slit portion of the lower cover 12 .

분할형 에지링은 그 제조과정도 기존의 것과 비교하여 보다 용이할 수 있다.The manufacturing process of the split type edge ring may also be easier compared to the existing ones.

에지링의 제조는 재료를 준비하고, 가공하고, 조립하는 과정으로 진행 가능하다.The manufacturing of edge rings can proceed through the process of preparing materials, processing, and assembling.

상기 재료는 위에서 설명한 재료가 준비된다. 상기 가공은 링형 또는 원판형으로 재료를 연마하고 형상 가공하는 등의 과정으로 진행된다. 상기 조립은 각 부품들을 결합하는 과정이다. 조립은 각각 새로운 부재들을 결합하거나, 기존 부재에 일부를 교체하는 방식으로 진행될 수 있다. The materials described above are prepared. The processing proceeds through processes such as polishing and shaping the material in a ring shape or disk shape. The assembling is a process of combining each part. Assembly may be performed by combining new members or replacing parts of existing members.

기존의 에지링은 실질적으로 C 형의 구조를 가져서, 원판형의 바디를 형성한 후, 개방부와 연결부에 대응되는 부분을 파 내는 공정을 해야 했고, 이는 시간이나 재료의 소비가 많은 소모적인 공정이었다.Existing edge rings have a substantially C-shaped structure, so after forming a disc-shaped body, the process of digging out the corresponding part to the opening and connection part was required, which is a time-consuming and material-consuming process. was

구현예의 경우, 분할형 에지링으로 구성하여 각각 상부커버, 하부커버, 및 연결부재의 형태를 미리 정해진 치수로 형성하고 결합 가능하므로, 제조에 필요한 바디의 두께를 두껍게 형성할 필요성이 줄어들고, 연결부재에 의해 C 형의 내부를 파내는 작업 없이 링형 부재의 제조 후 결합하여 C 형태를 형성할 수 있으므로, 제조 과정에서의 작업성도 월등하게 향상된다.In the case of the embodiment, since it is composed of a split edge ring, the shape of the upper cover, the lower cover, and the connecting member can be formed and combined with predetermined dimensions, so the need to thickly form the body required for manufacturing is reduced, and the connecting member Since the ring-shaped member can be combined to form the C-shape after manufacturing the ring-shaped member without digging out the inside of the C-shaped member, the workability in the manufacturing process is remarkably improved.

예시적으로 에지링(100)은 대략 원판형으로 외경이 520 mm 내지 530 mm이고, 하부커버(12)의 내경이 377 mm 내지 387 mm 로 상당히 큰 링 형태를 갖는다. 연결부재(13)에 대응되는 부분의 두께가 55 mm 내지 60 mm 라는 점을 고려하면, C 형 일체형으로 제조할 경우에는 대략 2 내지 5 mm 두께를 링 형태의 옆면을 통해 파내는 작업이 필수적이다. 구현예의 경우 대략 두께가 7 mm 내지 10 mm이고, 외경이 520 mm 내지 530 mm이며, 내경이 426 mm 내지 430 mm 인 상부커버(11), 대략 두께가 55 mm 내지 60 mm이고, 외경이 520 mm 내지 530 mm이며, 내경이 507 mm 내지 510 mm인 연결부재(13), 그리고 대략 두께가 11 mm 내지 14 mm이고, 외경이 520 mm 내지 530 mm이며, 내경이 377 mm 내지 387 mm인 하부커버(12)를 각각 제조하면 해당하는 링 형태의 재료를 준비한 후 형상과 표면을 가공하는 등의 방법으로 비교적 간단하게 에지링(100)을 제조할 수 있다.Illustratively, the edge ring 100 has a substantially disk shape with an outer diameter of 520 mm to 530 mm and an inner diameter of the lower cover 12 of 377 mm to 387 mm. Considering that the thickness of the part corresponding to the connection member 13 is 55 mm to 60 mm, when manufacturing a C-type integral type, it is essential to dig out a thickness of about 2 to 5 mm through the side surface of the ring shape. In the case of the embodiment, the upper cover 11 has an approximate thickness of 7 mm to 10 mm, an outer diameter of 520 mm to 530 mm, and an inner diameter of 426 mm to 430 mm, an approximate thickness of 55 mm to 60 mm, and an outer diameter of 520 mm to 530 mm, the connecting member 13 having an inner diameter of 507 mm to 510 mm, and a lower cover having an approximate thickness of 11 mm to 14 mm, an outer diameter of 520 mm to 530 mm, and an inner diameter of 377 mm to 387 mm ( 12), the edge ring 100 can be manufactured relatively simply by preparing a corresponding ring-shaped material and then processing the shape and surface.

이처럼 본 실시예에 따르면, 본체(10)를 이루고 있는 상부커버(11), 하부커버(12) 및 연결부재(13)가 체결부재(20a, 20b)에 의해 서로 분리할 수 있게 결합되어 있다. 이에 따라 부산물, 에칭가스에 직접 노출되어 에칭이 심한 부분만을 선택적으로 교체할 수 있어 분할형 에지링의 유지보수성이 우수한 효과가 있다.As such, according to this embodiment, the upper cover 11, the lower cover 12, and the connecting member 13 constituting the main body 10 are coupled to be separated from each other by fastening members 20a and 20b. As a result, it is possible to selectively replace only the severely etched portion directly exposed to by-products and etching gas, so that the maintainability of the split type edge ring is excellent.

도 5를 참고하여 다른 실시예에 따른 분할형 에지링에 대해 설명한다.A split edge ring according to another embodiment will be described with reference to FIG. 5 .

도 5는 다른 실시예에 따른 분할형 에지링을 개략적으로 나타낸 일부 단면도이다.5 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a split edge ring according to another embodiment.

도 5를 참고하면, 본 실시예에 따른 분할형 에지링(500)은 도 2 내지 도 4를 참고하여 설명한 실시예에서 복수의 부재로 분할되어 체결부재(20a, 20b)로 분리할 수 있게 결합된 본체(10)의 특징을 그대로 갖는다. 이에 중복된 설명은 생략하기로 한다.Referring to FIG. 5, the split edge ring 500 according to this embodiment is divided into a plurality of members in the embodiment described with reference to FIGS. 2 to 4, and is coupled to be separated by fastening members 20a and 20b It has the characteristics of the main body 10 as it is. Accordingly, redundant descriptions will be omitted.

다만, 본 실시예에 따른 상부커버(11)의 상단 관통홀(511)과 연결몸체(531)의 상단은 도 2 내지 도 4의 실시예에 따른 상단 관통홀(111)과 연결몸체(131)의 상단과 다른 구조를 갖는다.However, the upper through hole 511 of the upper cover 11 and the upper end of the connection body 531 according to the present embodiment are the upper through hole 111 and the connection body 131 according to the embodiments of FIGS. 2 to 4 has a structure different from that of the top of

본 실시예에 따른 상단 관통홀(511)은 걸림부(511a)와 관통부(511b)로 이루어져 있다. 걸림부(511a)는 상부커버(11)의 상면 가장자리의 일부분이 내부로 함몰되어 형성되어 있다. 관통부(511b)는 걸림부(511a)의 바닥을 관통하고 있다. 즉, 관통부(511b)와 걸림부(511a)는 서로 연통되도록 형성될 수 있다. 상부커버(11)의 하면 가장자리에는 원주 방향을 따라 상단 안착홈(512)이 형성되어 있다.The upper through hole 511 according to the present embodiment is composed of a hooking portion 511a and a penetrating portion 511b. The hooking portion 511a is formed by recessing a portion of the edge of the upper surface of the upper cover 11 into the inside. The penetrating portion 511b penetrates the bottom of the hooking portion 511a. That is, the penetrating portion 511b and the hanging portion 511a may be formed to communicate with each other. An upper seating groove 512 is formed on the lower edge of the upper cover 11 along the circumferential direction.

걸림부(511a)는 상부커버(11)의 외측방향으로 외측 둘레개방되어 있으나, 관통부(511b)는 외측 둘레상부커버(11)의 외측방향으로 개방되어 있지 않고 체결부재(20a)의 몸체가 관통할 수 있는 홀 형태로 형성되어 있다. 이에 관통부(511b)는 연결몸체(531)의 상단 체결홈(531a)과 연결되어 있다.The locking portion 511a is open to the outer circumference of the upper cover 11, but the through portion 511b is not open to the outer circumference of the upper cover 11 and the body of the fastening member 20a is not open. It is formed in the form of a hole through which it can be penetrated. Accordingly, the through portion 511b is connected to the top fastening groove 531a of the connection body 531.

하부커버(12)의 상면 가장자리에는 하단 안착홈이 형성되어 있다. 그리고 하부커버(12)의 하면 가장자리에는 걸림부와 관통부가 형성되어 있다. 여기서 하부커버(12)의 하단 안착홈, 걸림부 및 관통부의 구성 및 작용효과는 상부커버(11)의 걸림부(511a), 관통부(511b) 및 상단 안착홈과 동일하다. 이에 중복된 설명은 생략한다.A bottom seating groove is formed on the edge of the upper surface of the lower cover 12 . In addition, a hooking portion and a penetrating portion are formed at an edge of the lower surface of the lower cover 12 . Here, the configuration and operation effect of the lower seating groove, the hooking part and the penetrating part of the lower cover 12 are the same as those of the hooking part 511a, the penetrating part 511b and the upper seating groove of the upper cover 11 . Duplicated descriptions thereof will be omitted.

하단 관통홀(522)의 관통부는 하단 체결홈(531b)과 연결되어 있다.The through portion of the lower through hole 522 is connected to the lower fastening groove 531b.

본 실시예에 따른 연결몸체(531)의 상단에는 상단 돌출턱이 생략되어 있다. 연결몸체(531)의 상단은 상단 안착홈(512)과 맞물려 있다.The upper end of the connecting body 531 according to the present embodiment is omitted from the protruding jaw. The top of the connection body 531 is engaged with the top seating groove 512 .

또한, 하부커버(12)의 상면과 하단 돌출턱(533)의 상면은 같은 선상에 위치하여 단차가 형성되어 있지 않다.In addition, the upper surface of the lower cover 12 and the upper surface of the lower protruding jaw 533 are located on the same line, so there is no step difference.

본 실시예에 따르면 연결부재(13)의 하단 돌출턱(533)에 의해 하부커버(12)와 연결부재(13)의 접촉면적이 증가하여 연결부재(13)와 하부커버부(12)는 결합력이 향상될 수 있다.According to the present embodiment, the contact area between the lower cover 12 and the connecting member 13 is increased by the lower protrusion 533 of the connecting member 13, so that the connecting member 13 and the lower cover 12 have bonding force. this can be improved.

이외 다른 구성은 도 2 내지 도 4의 실시예의 구성이 그대로 적용될 수 있다.For other configurations, the configurations of the embodiments of FIGS. 2 to 4 may be applied as they are.

도 6을 참고하여 분할형 에지링의 다른 실시예에 대해 설명한다.Another embodiment of the split edge ring will be described with reference to FIG. 6 .

도 6은 다른 실시예에 따른 분할형 에지링을 개략적으로 나타낸 일부 단면도이다.6 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a split edge ring according to another embodiment.

도 6을 참고하면, 본 실시예에 따른 분할형 에지링(600)은 도 2 내지 도 4를 참고하여 설명한 실시예에서 복수의 부재로 분할되어 체결부재(20a, 20b)로 분리할 수 있게 결합된 본체(10)의 특징을 그대로 갖는다. 이에 중복된 설명은 생략하기로 한다.Referring to FIG. 6, the split edge ring 600 according to this embodiment is divided into a plurality of members in the embodiment described with reference to FIGS. 2 to 4, and is coupled to be separated by fastening members 20a and 20b It has the characteristics of the main body 10 as it is. Accordingly, redundant descriptions will be omitted.

다만, 본 실시예에 따른 상부커버(11)에서 상단 관통홀과 상단 안착홈, 그리고 하부커버(12)에서 하단 관통홀과 하단 안착홈은 생략되어 있다. 그러나, 상부커버(11)의 외측 둘레에는 체결부재(20a)의 몸체가 체결되는 상단 체결홈(611)이 형성되어 있다. 하부커버(12)의 외측 둘레에는 체결부재(20b)의 몸체가 체결되는 하단 체결홈(621)이 형성되어 있다. 상부커버(11)의 상단 체결홈(611)과 하부커버(12)의 하단 체결홈(621)은 각각 원주 방향을 따라 간격을 두고 복수 형성되어 있다.However, in the upper cover 11 according to the present embodiment, the upper through hole and the upper seating groove, and the lower cover 12, the lower through hole and the lower seating groove are omitted. However, an upper fastening groove 611 to which the body of the fastening member 20a is fastened is formed on the outer circumference of the upper cover 11 . A lower fastening groove 621 to which the body of the fastening member 20b is fastened is formed on the outer circumference of the lower cover 12 . The upper fastening groove 611 of the upper cover 11 and the lower fastening groove 621 of the lower cover 12 are formed in plurality at intervals along the circumferential direction, respectively.

그리고 연결부재(13)의 연결몸체(631)는 상부커버(11)와 하부커버(12)의 간격을 유지하고 있다. 상단 돌출턱(632)은 연결몸체(631)의 상단으로부터 연결몸체(631)의 내측 방향으로 돌출되어 상부커버(11)의 외측 둘레와 접하고 있다. 하단 돌출턱(633)은 연결몸체(631)의 하단으로부터 연결몸체(631)의 내측 방향으로 돌출되어 하부커버(12)의 외측 둘레와 접하고 있다.Also, the connection body 631 of the connection member 13 maintains a distance between the upper cover 11 and the lower cover 12 . The upper protruding jaw 632 protrudes from the upper end of the connecting body 631 toward the inside of the connecting body 631 and is in contact with the outer circumference of the upper cover 11 . The lower protruding jaw 633 protrudes from the lower end of the connecting body 631 toward the inside of the connecting body 631 and contacts the outer circumference of the lower cover 12 .

여기서, 하단 돌출턱(633)의 돌출길이(L3)는 연결몸체(631)의 내부면을 기준으로 상단 돌출턱(632)의 돌출길이(L4)보다 짧다. 이에 상부커버(11)의 외측 둘레외경은 하부커버(12)의 외측 둘레외경보다 작다.Here, the protruding length L3 of the lower protruding jaw 633 is shorter than the protruding length L4 of the upper protruding jaw 632 based on the inner surface of the connecting body 631 . Accordingly, the outer circumferential outer diameter of the upper cover 11 is smaller than the outer circumferential outer diameter of the lower cover 12 .

한편, 상부커버(11)와 상단 돌출턱(632)에는, 체결부재(20a)가 에지링(600)의 좌우방향으로 상단 돌출턱(632)과 상부커버(11)의 외측 둘레면을 관통하여 결합될 수 있도록 관통홀(631a)이 형성될 수 있다. 관통홀(631a)은 상부커버(11)의 일 측 가장자리에 형성되는 상단 체결홈(611)을 포함할 수 있다. 또한, 하부커버(12)와 하단 돌출턱(633)에는, 체결부재(20b)가 에지링(600)의 좌우방향으로 하단 돌출턱(633)과 하부커버(12)의 외측 둘레면을 관통하여 결합될 수 있도록 관통홀(631b)이 형성될 수 있다. 관통홀(631b)은 하부커버(12)의 일 측 가장자리에 형성되는 하단 체결홈(621)을 포함할 수 있다. 이에 체결부재(20a)는 연결몸체(631)의 상단 외측 둘레로부터 상단 돌출턱(632)에 수직하게 관통하여 상부커버(11)의 상단 체결홈(611)에 체결되어 있다. 체결부재(20b)는 연결몸체(631)의 하단 외측 둘레로부터 하단 돌출턱(633)에 수직하게 관통하여 하부커버(12)의 하단 체결홈(621)에 각각 체결되어 있다.On the other hand, in the upper cover 11 and the upper protruding jaw 632, the fastening member 20a penetrates the upper protruding jaw 632 and the outer circumferential surface of the upper cover 11 in the left and right direction of the edge ring 600 A through hole 631a may be formed to be coupled. The through hole 631a may include an upper fastening groove 611 formed at one edge of the upper cover 11 . In addition, in the lower cover 12 and the lower protruding jaw 633, the fastening member 20b penetrates the lower protruding jaw 633 and the outer circumferential surface of the lower cover 12 in the left and right direction of the edge ring 600 A through hole 631b may be formed to be coupled. The through hole 631b may include a lower fastening groove 621 formed at one edge of the lower cover 12 . Accordingly, the fastening member 20a vertically penetrates the upper protruding jaw 632 from the outer circumference of the upper end of the connecting body 631 and is fastened to the upper fastening groove 611 of the upper cover 11 . The fastening members 20b are respectively fastened to the lower fastening grooves 621 of the lower cover 12 by vertically penetrating the lower protruding jaw 633 from the outer circumference of the lower end of the connection body 631 .

본 실시예에 따르면, 상단 관통홀(631a)과 하단 관통홀(631b)이 연결몸체(631)의 외측 둘레면에 대해 수직 방향으로 형성되어 있어 하부커버(12)와 연결부재(13)의 분리 과정 중 상단 체결홈(611)과 하단 체결홈(621)에서 분리된 체결부재(20a, 20b)는 상단 관통홀(631a)과 하단 관통홀(631b)에 삽입된 상태를 유지할 수 있다. 이에 체결부재(20a, 20b)가 완전히 분리되지 않고, 삽입된 상태를 유지하므로 상부커버(11)와 연결부재(13), 그리고 하부커버(12)와 연결부재(13)의 분리 과정 중 체결부재(20a, 20b)의 분실을 예방할 수 있다.According to the present embodiment, the upper through hole 631a and the lower through hole 631b are formed in a vertical direction with respect to the outer circumferential surface of the connection body 631, so that the lower cover 12 and the connection member 13 are separated. During the process, the fastening members 20a and 20b separated from the upper fastening groove 611 and the lower fastening groove 621 may remain inserted into the upper through hole 631a and the lower through hole 631b. Accordingly, since the fastening members 20a and 20b are not completely separated and remain inserted, during the separation process of the upper cover 11 and the connecting member 13, and the lower cover 12 and the connecting member 13, the fastening member Loss of (20a, 20b) can be prevented.

이외 다른 구성은 도 2 내지 도 4의 실시예의 구성이 그대로 적용될 수 있다.For other configurations, the configurations of the embodiments of FIGS. 2 to 4 may be applied as they are.

도 7을 참고하여 분할형 에지링의 다른 실시예에 대해 설명한다.Another embodiment of the split edge ring will be described with reference to FIG. 7 .

도 7은 다른 실시예에 따른 분할형 에지링을 개략적으로 나타낸 일부 단면도이다.7 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a split edge ring according to another embodiment.

도 7을 참고하면, 본 실시예에 따른 분할형 에지링(700)은 도 2 내지 도 4를 참고하여 설명한 실시예에서 복수의 부재로 분할되어 체결부재(20b)로 분리할 수 있게 결합된 본체(10)의 특징을 그대로 가지면서 마감커버(30)를 더 포함한다.Referring to FIG. 7 , the split edge ring 700 according to the present embodiment is divided into a plurality of members in the embodiment described with reference to FIGS. 2 to 4 and is detachably coupled with a fastening member 20b. While having the characteristics of (10) as it is, it further includes a closing cover (30).

본 실시예에서, 본체(10)는 연결부재를 생략하고 상부커버(711)와 하부커버(712)를 포함한다. 상부커버(711)와 하부커버(712)는 서로 떨어져 마주하고 있으며 가장자리 부분이 서로 마주하는 방향으로 구부러져 맞물려 있다. 상부커버(711)와 하부커버(712)가 맞물린 부분은 다단으로 이루어져 서로 맞물려 있다. 상부커버(771)와 하부커버(712)의 구부러진 가장자리 부분이 연결부재 역할을 할 수 있다.In this embodiment, the main body 10 omits the connecting member and includes an upper cover 711 and a lower cover 712 . The upper cover 711 and the lower cover 712 face each other apart from each other, and their edge portions are bent in a direction facing each other to be engaged. The part where the upper cover 711 and the lower cover 712 are engaged is made up of multiple stages and is engaged with each other. The bent edges of the upper cover 771 and the lower cover 712 may serve as connecting members.

서로 맞물려 있는 부분에서 하부커버(712)에는 상하 방향으로 체결부재(20b)가 관통하는 하단 관통홀(731b)이 형성되어 있다. 하단 관통홀(731b)과 일치하는 상부커버(711)부분에는 상단 체결홈(711b)이 형성되어 있다.A lower through-hole 731b through which the fastening member 20b passes in the vertical direction is formed in the lower cover 712 at the part engaged with each other. An upper fastening groove 711b is formed in a portion of the upper cover 711 that coincides with the lower through hole 731b.

마감커버(30)는 하부커버(712)의 하면에 배치되어 있으며 하부 개방홀(12a)과 슬롯(12b)이 연장되어 있다. 마감커버(30)의 가장자리에서 하단 관통홀(731b)과 일치하는 부분에는 체결부재(20b)의 머리 부분이 걸리는 하단 안착홈(32)이 형성되어 있다.The closing cover 30 is disposed on the lower surface of the lower cover 712 and has a lower open hole 12a and a slot 12b extending therefrom. At the edge of the finishing cover 30, a lower receiving groove 32 is formed at a portion coincident with the lower through hole 731b, where the head of the fastening member 20b is caught.

체결부재(20b)가 상단 체결홈(711b)에 체결되면서 마감커버(30)는 하부커버(712)의 하면에 밀착된 상태를 유지하고 하부커버(712)는 상부커버(711)와 결합된 상태를 유지한다.As the fastening member 20b is fastened to the upper fastening groove 711b, the closing cover 30 maintains a state in close contact with the lower surface of the lower cover 712, and the lower cover 712 is coupled with the upper cover 711. keep

본 실시예에 따르면, 분할형 에지링(700)의 하부에서 체결부재(20b)가 마감커버(30)와 하부커버(712)를 관통하여 상부커버(711)와 결합되므로 체결부재(20b)의 체결 개수를 최소화할 수 있다. 이에 작업자의 작업성이 향상될 수 있다. 또한, 마감커버(30)를 구비함으로써 내식각성이 더욱 강화될 수 있다. 이는 하부커버(712)의 수명을 늘려 교체주기를 늘리는 효과를 가져올 수 있으며, 이는 플라즈마 공정 자체의 효율성 또한 향상시킬 수 있다. According to this embodiment, since the fastening member 20b passes through the closing cover 30 and the lower cover 712 at the bottom of the split edge ring 700 and is coupled to the upper cover 711, the fastening member 20b The number of fastenings can be minimized. As a result, workability of the operator may be improved. In addition, by providing the finishing cover 30, the corrosion resistance can be further enhanced. This may have the effect of increasing the replacement cycle by increasing the lifespan of the lower cover 712, which may also improve the efficiency of the plasma process itself.

이외 다른 구성은 도 2 내지 도 4의 실시예의 구성이 그대로 적용될 수 있다.For other configurations, the configurations of the embodiments of FIGS. 2 to 4 may be applied as they are.

도 8을 참고하여 분할형 에지링의 다른 실시예에 대해 설명한다.Another embodiment of the split edge ring will be described with reference to FIG. 8 .

도 8은 다른 실시예에 따른 분할형 에지링을 개략적으로 나타낸 일부 단면도이다.8 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a split edge ring according to another embodiment.

도 8을 참고하면, 본 실시예에 따른 분할형 에지링(800)은 도 2 내지 도 4를 참고하여 설명한 실시예에서 복수의 부재로 분할되어 체결부재(20a)로 분리할 수 있게 결합된 본체(10)의 특징을 그대로 갖는다.Referring to FIG. 8 , the split type edge ring 800 according to the present embodiment is divided into a plurality of members in the embodiment described with reference to FIGS. 2 to 4 and is detachably coupled with a fastening member 20a. It has the characteristics of (10) as it is.

다만, 상부커버(811)의 상단 안착홈은 생략되고, 상단 관통홀(811a)은 도 5의 실시예에 따른 상단 관통홀(511) 구조를 갖는다.However, the top seating groove of the top cover 811 is omitted, and the top through hole 811a has the structure of the top through hole 511 according to the embodiment of FIG. 5 .

그리고 하부커버(812)는 가장자리가 상부커버(811)의 가장자리 방향으로 구부러져 상부커버(811)의 하면 가장자리와 접하고 있다. 상부커버(811)와 접하고 있는 하부커버(812)의 부분에는 상단 관통홀(811a)과 일치하는 상단 체결홈(812a)이 형성되어 있다.And, the edge of the lower cover 812 is bent toward the edge of the upper cover 811 so as to come into contact with the edge of the lower surface of the upper cover 811 . An upper fastening groove 812a corresponding to the upper through hole 811a is formed in a portion of the lower cover 812 that is in contact with the upper cover 811 .

체결부재(20a)는 상부커버(811)의 상단 관통홀(811a)을 통해 하단 체결홈(812a)에 체결되면서 상부커버(811)와 하부커버(812)를 분리할 수 있게 결합한다.The fastening member 20a is fastened to the lower fastening groove 812a through the upper through hole 811a of the upper cover 811 and is coupled to the upper cover 811 and the lower cover 812 in a separable manner.

본 실시예에 따르면 본체(10)가 2개의 부재로 분할되어 있어 본체(10)의 분리 결합에 따른 작업시간을 최소화할 수 있어 작업성이 향상되는 효과가 있다.According to this embodiment, since the main body 10 is divided into two members, it is possible to minimize the working time according to the separation and coupling of the main body 10, thereby improving workability.

이외 다른 구성은 도 2 내지 도 4의 실시예의 구성이 그대로 적용될 수 있다.For other configurations, the configurations of the embodiments of FIGS. 2 to 4 may be applied as they are.

다른 실시예에 따른 세라믹 부품은 공정챔버에 배치되어 플라즈마를 이용하는 에칭공정 시 플라즈마 영역을 구속 내지 해제하는 에지링에 적용되는 부재이다.A ceramic part according to another embodiment is a member disposed in a process chamber and applied to an edge ring that restrains or releases a plasma region during an etching process using plasma.

상기 부재는 상부커버, 연결부재 또는 하부커버이다.The member is an upper cover, a connecting member or a lower cover.

상기 상부커버, 상기 연결부재 또는 상기 하부커버에 대한 구체적인 설명은 위에서 한 설명이 그대로 적용될 수 있다.A detailed description of the upper cover, the connection member, or the lower cover may be applied as is as described above.

상기 상부커버는 전기저항이 10-2 내지 10 +1 Ω·㎝일 수 있다.The upper cover may have an electrical resistance of 10 −2 to 10 +1 Ω·cm.

상기 연결부재는 전기저항이 10-2 내지 10 +1 Ω·㎝일 수 있다.The connecting member may have an electrical resistance of 10 -2 to 10 +1 Ω·cm.

상기 하부커버는 전기저항이 10-5 내지 10 +1 Ω·㎝일 수 있다.The lower cover may have an electrical resistance of 10 −5 to 10 +1 Ω·cm.

상기 하부커버는 영률이 100 내지 300 GPa 일 수 있다.The lower cover may have a Young's modulus of 100 to 300 GPa.

상기 하부커버는 20 ℃의 온도에서 영률의 최소값이 150 내지 230 GPa 일 수 있고, 40 ℃의 온도에서 영률의 최소값이 150 내지 230 GPa 일 수 있고, 100 ℃의 온도에서 영률의 최소값이 150 내지 230 GPa 일 수 있고, 150 ℃의 온도에서 영률의 최소값이 150 내지 230 GPa 일 수 있다. 상기 하부커버는 20 내지 150 ℃의 온도에서 영률의 최소값이 150 내지 230 GPa 일 수 있다.The lower cover may have a minimum Young's modulus of 150 to 230 GPa at a temperature of 20 °C, a minimum Young's modulus of 150 to 230 GPa at a temperature of 40 °C, and a minimum Young's modulus of 150 to 230 GPa at a temperature of 100 °C. GPa, and the minimum value of the Young's modulus at a temperature of 150 °C may be 150 to 230 GPa. The lower cover may have a minimum Young's modulus of 150 to 230 GPa at a temperature of 20 to 150 °C.

상기 연결부재와 상기 하부커버는 열팽창률이 유사한 재료가 적용되는 것이 좋다. 예시적으로 상기 하부커버는 각각 20 ℃의 온도에서 열팽창률이 3 X10-6/K 내지 3.5 X 10-6/K일 수 있고, 40 ℃의 온도에서 열팽창률이 3 X10-6/K 내지 3.5 X 10-6/K일 수 있고, 100 ℃의 온도에서 열팽창률이 3 X10-6/K 내지 3.5 X 10-6/K일 수 있고, 150 ℃의 온도에서 열팽창률이 3 X10-6/K 내지 3.5 X 10-6/K일 수 있다. 상기 하부커버는 20 내지 150 ℃의 온도에서 열팽창률이 3 X10-6/K 내지 3.5 X 10-6/K 인 것이 적용되는 것이 좋다. Preferably, materials having similar coefficients of thermal expansion are used for the connection member and the lower cover. Illustratively, each of the lower covers may have a thermal expansion coefficient of 3 X10 -6 /K to 3.5 X 10 -6 /K at a temperature of 20 °C and a thermal expansion coefficient of 3 X10 -6 /K to 3.5 at a temperature of 40 °C. X 10 -6 /K, the thermal expansion coefficient at a temperature of 100 ° C. may be 3 X 10 -6 /K to 3.5 X 10 -6 /K, and the thermal expansion coefficient at a temperature of 150 ° C. is 3 X10 -6 /K to 3.5 X 10 -6 /K. The lower cover preferably has a coefficient of thermal expansion of 3 X 10 -6 /K to 3.5 X 10 -6 /K at a temperature of 20 to 150 °C.

이상에서 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also within the scope of the present invention. that belongs to

100, 500, 600, 700, 800: 분할형 에지링
10: 본체 10a: 공정공간
11, 711, 811: 상부커버 11a: 상부 개방홀
111, 511, 631a, 811, 811a: 상단 관통홀
111a: 걸림부 111b: 관통부
511a: 상단 걸림홈 511b: 상단 관통홀
112, 512: 상단 안착홈 12, 712, 812: 하부커버
12a: 하부 개방홀 12b: 슬롯
121: 하단 안착홈 122, 522, 631b, 731b: 하단 관통홀
13: 연결부재 131, 531, 631: 연결몸체
131a, 531a, 611, 711b, 812a: 상단 체결홈
131b, 531b, 612: 하단 체결홈 131i: 내부면
132, 632: 상단 돌출턱 133, 533, 633: 하단 돌출턱
L1: 하부커버 하면을 기준으로 하단 돌출턱의 상면과 거리
L2: 하부커버의 상면과 거리 L3: 하단 돌출턱의 돌출길이
L4: 상단 돌출턱의 돌출길이 20a, 20b: 체결부재
30: 마감커버100, 500, 600, 700, 800: split edge ring
10: body 10a: process space
11, 711, 811: upper cover 11a: upper open hole
111, 511, 631a, 811, 811a: top through hole
111a: locking part 111b: penetrating part
511a: top locking groove 511b: top through hole
112, 512: upper seating groove 12, 712, 812: lower cover
12a: lower open hole 12b: slot
121: lower seating groove 122, 522, 631b, 731b: lower through hole
13: connecting member 131, 531, 631: connecting body
131a, 531a, 611, 711b, 812a: upper fastening groove
131b, 531b, 612: lower fastening groove 131i: inner surface
132, 632: upper protruding jaw 133, 533, 633: lower protruding jaw
L1: distance from the upper surface of the lower protruding jaw based on the lower surface of the lower cover
L2: distance from the upper surface of the lower cover L3: protruding length of the lower protruding jaw
L4: protruding length of the upper protruding jaw 20a, 20b: fastening member
30: finishing cover

Claims (14)

플라즈마를 이용하는 에칭공정 시 플라즈마 영역을 구속 내지 해제하도록 공정챔버에 배치되는 분할형 에지링으로서,
공정공간을 형성하도록 마련되는 복수의 부재를 포함하는 본체; 및
상기 복수의 부재를 분리 가능하게 결합시키는 체결부재;를 포함하고,
상기 본체는,
상부 개방홀을 포함하는 상부커버;
상기 상부커버와 마주하도록 배치되고, 하부 개방홀 및 상기 하부 개방홀의 외측에 형성되는 복수의 슬롯을 포함하는 하부커버; 및
상기 상부커버와 상기 하부커버를 연결하도록 상기 상부커버와 상기 하부커버 사이에 위치하는 연결부재;를 포함하되,
상기 체결부재는 상기 본체의 상하방향으로 상기 상부커버와 상기 연결부재를 결합시키는 상단 체결부재를 포함하고,
상기 체결부재는 상기 본체의 상하방향으로 상기 하부커버와 상기 연결부재를 결합시키는 하단 체결부재를 포함하고,
상기 하부커버는 상기 연결부재에 의해 상기 상부커버와 기 설정된 간격을 두고 떨어져 마주하고 있는,
분할형 에지링.
A divided edge ring disposed in a process chamber to constrain or release a plasma region during an etching process using plasma,
A main body including a plurality of members provided to form a process space; and
Including; fastening member for detachably coupling the plurality of members,
the body,
an upper cover including an upper open hole;
a lower cover disposed to face the upper cover and including a lower open hole and a plurality of slots formed outside the lower open hole; and
A connecting member positioned between the upper cover and the lower cover to connect the upper cover and the lower cover;
The fastening member includes an upper fastening member for coupling the upper cover and the connecting member in the vertical direction of the main body,
The fastening member includes a lower fastening member for coupling the lower cover and the connecting member in the vertical direction of the main body,
The lower cover faces apart from the upper cover at a predetermined interval by the connecting member,
Split edge ring.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 상부커버는, 상기 체결부재가 관통 결합되도록 상기 상부커버의 상면 가장자리에 마련되는 상단 관통홀과, 상기 연결부재의 상단이 맞물리도록 상기 상부커버의 하면 가장자리에 함몰 형성되는 상단 안착홈을 포함하고,
상기 연결부재는, 상기 체결부재가 체결될 수 있도록 상기 상단 관통홀과 연통되게 상기 연결부재의 상면에 마련되는 상단 체결홈을 포함하고,
상기 상단 관통홀은 상기 상부커버의 둘레를 따라 이격되도록 형성되는 복수의 상단 관통홀을 포함하고,
상기 상단 체결홈은 상기 상단 관통홀에 대응되도록 상기 연결부재의 둘레를 따라 형성되는 복수의 상단 체결홈을 포함하는,
분할형 에지링.
According to claim 1,
The upper cover includes an upper through-hole provided at the edge of the upper surface of the upper cover so that the fastening member is penetrated and coupled, and a top seating groove formed recessed in the edge of the lower surface of the upper cover so that the upper end of the connection member is engaged. ,
The connecting member includes an upper fastening groove provided on an upper surface of the connecting member to communicate with the upper through hole so that the fastening member can be fastened,
The upper through-hole includes a plurality of upper through-holes formed to be spaced apart along the circumference of the upper cover,
The upper fastening groove includes a plurality of upper fastening grooves formed along the circumference of the connecting member to correspond to the upper through hole,
Split edge ring.
 제1항에 있어서,
상기 하부커버는, 상기 연결부재의 하단이 맞물리도록 상기 하부커버의 상면 가장자리에 함몰 형성되는 하단 안착홈과, 상기 체결부재가 관통 결합되도록 상기 하부커버의 가장자리에 마련되고 상기 하부커버의 외측 방향으로 개방되는 하단 관통홀을 포함하고,
상기 연결부재는, 상기 체결부재가 체결될 수 있도록 상기 하단 관통홀과 연통되게 상기 연결부재의 하면에 마련되는 하단 체결홈을 포함하고,
상기 하단 관통홀은 상기 하부커버의 둘레를 따라 이격되도록 형성되는 복수의 하단 관통홀을 포함하고,
상기 하단 체결홈은 상기 하단 관통홀에 대응되도록 상기 연결부재의 둘레를 따라 형성되는 복수의 하단 체결홈을 포함하는,
분할형 에지링.
According to claim 1,
The lower cover is provided on the edge of the lower cover so that the lower end of the connection member is engaged with a lower seating groove recessed in the upper surface edge of the lower cover and the fastening member is penetrated and coupled to the outside of the lower cover. Including a bottom through hole that is opened,
The connecting member includes a lower fastening groove provided on a lower surface of the connecting member to communicate with the lower through hole so that the fastening member can be fastened,
The lower through-hole includes a plurality of lower through-holes formed to be spaced apart along the circumference of the lower cover,
The lower fastening groove includes a plurality of lower fastening grooves formed along the circumference of the connecting member to correspond to the lower through hole,
Split edge ring.
 제1항에 있어서,
상기 연결부재는,
연결몸체;
상기 상부커버의 하면 가장자리와 맞물리도록 상기 연결몸체의 상단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 상단 돌출턱; 및
상기 하부커버의 상면 가장자리와 맞물리도록 상기 연결몸체의 하단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 하단 돌출턱;을 포함하는,
분할형 에지링.
According to claim 1,
The connecting member is
connecting body;
an upper protruding jaw protruding from the upper end of the connecting body toward the inside of the connecting member so as to be engaged with an edge of the lower surface of the upper cover; and
A lower protruding jaw protruding from the lower end of the connecting body toward the inside of the connecting member to engage with the upper surface edge of the lower cover; including,
Split edge ring.
 제5항에 있어서,
상기 하단 돌출턱은, 상기 하부커버의 하면을 기준으로 상기 하단 돌출턱의 상면이 상기 하부커버의 상면보다 높게 위치하도록 상기 하부커버와 단차지게 결합되는,
분할형 에지링.
According to claim 5,
The lower protruding jaw is coupled with the lower cover stepwise so that the upper surface of the lower protruding jaw is positioned higher than the upper surface of the lower cover based on the lower surface of the lower cover.
Split edge ring.
 제3항에 있어서,
상기 상단 관통홀은, 걸림부 및 상기 걸림부에 삽입된 상기 체결부재가 관통 결합되도록 상기 걸림부와 연통되게 형성되는 관통부를 포함하는,
분할형 에지링.
According to claim 3,
The upper through-hole includes a through-portion formed in communication with the catching portion so that the catching portion and the fastening member inserted into the catching portion are through-coupled.
Split edge ring.
 제4항에 있어서,
상기 하단 관통홀은, 걸림부 및 상기 걸림부에 삽입된 상기 체결부재가 관통 결합되도록 상기 걸림부와 연통되게 형성되는 관통부를 포함하는,
분할형 에지링.
According to claim 4,
The lower through-hole includes a through-portion formed in communication with the catching portion so that the catching portion and the fastening member inserted into the catching portion are through-coupled.
Split edge ring.
 제1항에 있어서,
상기 연결부재는,
상단이 상기 상부커버의 하면 가장자리와 맞물리도록 마련되는 연결몸체; 및
상기 하부커버의 상면 가장자리와 맞물리도록 상기 연결몸체의 하단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 하단 돌출턱;을 포함하는,
분할형 에지링.
According to claim 1,
The connecting member is
a connection body having an upper end engaged with an edge of the lower surface of the upper cover; and
A lower protruding jaw protruding from the lower end of the connecting body toward the inside of the connecting member to engage with the upper surface edge of the lower cover; including,
Split edge ring.
 제1항에 있어서,
상기 상부커버 및 상기 하부커버 각각은, 상면 및 상기 상면과 수직을 이루는 외주면을 포함하고,
상기 연결부재는,
연결몸체;
상기 상부커버의 외주면에 접하도록 상기 연결몸체의 상단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 상단 돌출턱; 및
상기 하부커버의 외주면에 접하도록 상기 연결몸체의 하단으로부터 상기 연결부재의 내측방향으로 돌출 형성되는 하단 돌출턱;을 포함하며,
상기 하단 돌출턱의 돌출길이는 상기 연결몸체의 내면을 기준으로 상기 상단 돌출턱의 돌출길이보다 짧고,
상기 체결부재는, 상기 연결부재를 관통하여 상기 상부커버와 상기 연결부재 및 상기 하부커버와 상기 연결부재를 결합시키는,
분할형 에지링.
According to claim 1,
Each of the upper cover and the lower cover includes an upper surface and an outer circumferential surface perpendicular to the upper surface,
The connecting member is
connecting body;
an upper protruding jaw protruding from an upper end of the connecting body toward an inward direction of the connecting member so as to come into contact with an outer circumferential surface of the upper cover; and
And a lower protruding jaw protruding from the lower end of the connecting body toward the inside of the connecting member so as to come into contact with the outer circumferential surface of the lower cover.
The protruding length of the lower protruding jaw is shorter than the protruding length of the upper protruding jaw based on the inner surface of the connection body,
The fastening member penetrates the connecting member to couple the upper cover and the connecting member and the lower cover and the connecting member,
Split edge ring.
 제1항에 있어서,
상기 본체는,
절곡된 일 단부를 포함하는 상부커버;
상기 상부커버의 절곡된 일 단부에 결합되는 절곡된 일 단부를 포함하는 하부커버; 및
상기 하부커버의 하면에 배치되는 마감커버;를 포함하고,
상기 체결부재는, 상기 마감커버 및 상기 하부커버를 순차적으로 관통하여 상기 상부커버에 결합되는,
분할형 에지링.
According to claim 1,
the body,
An upper cover including a bent end;
a lower cover including a bent end coupled to the bent end of the upper cover; and
Including; a closing cover disposed on the lower surface of the lower cover,
The fastening member is coupled to the upper cover by sequentially penetrating the closing cover and the lower cover.
Split edge ring.
 제1항에 있어서,
상기 본체는,
상부커버; 및
상기 상부커버의 하면 가장자리에 접하도록 절곡된 일 단부를 포함하는 하부커버;를 포함하고,
상기 체결부재는, 상기 상부커버를 관통하여 상기 하부커버에 결합되는,
분할형 에지링.
According to claim 1,
the body,
upper cover; and
A lower cover including one end bent to come into contact with an edge of the lower surface of the upper cover; includes,
The fastening member penetrates the upper cover and is coupled to the lower cover.
Split edge ring.
 제1항에 있어서,
상기 본체는, 실리콘, 실리콘카바이드, 보론카바이드, 쿼츠, 산화알루미늄 및 하스텔로이 중 적어도 하나를 포함하는 재질로 형성되는,
분할형 에지링.
According to claim 1,
The main body is formed of a material containing at least one of silicon, silicon carbide, boron carbide, quartz, aluminum oxide and hastelloy,
Split edge ring.
 플라즈마를 이용하는 에칭공정 시 플라즈마 영역을 구속 내지 해제하도록 공정챔버에 배치되는 분할형 에지링에 적용되는 세라믹 부품으로서,
상기 세라믹 부품은, 하부 개방홀 및 상기 하부 개방홀의 외측에 형성되는 복수의 슬롯을 포함하는 하부커버를 포함하고,
공정공간을 형성하도록 마련되는 복수의 부재를 포함하는 본체; 및
상기 복수의 부재를 분리 가능하게 결합시키는 체결부재;를 포함하고,
상기 본체는,
상부 개방홀을 포함하는 상부커버;
상기 상부커버와 마주하도록 배치되고, 하부 개방홀 및 상기 하부 개방홀의 외측에 형성되는 복수의 슬롯을 포함하는 하부커버; 및
상기 상부커버와 상기 하부커버를 연결하도록 상기 상부커버와 상기 하부커버 사이에 위치하는 연결부재;를 포함하되,
상기 체결부재는 상기 본체의 상하방향으로 상기 상부커버와 상기 연결부재를 결합시키는 상단 체결부재를 포함하고,
상기 체결부재는 상기 본체의 상하방향으로 상기 하부커버와 상기 연결부재를 결합시키는 하단 체결부재를 포함하고,
상기 하부커버는 상기 연결부재에 의해 상기 상부커버와 기 설정된 간격을 두고 떨어져 마주하고 있으며,
상기 하부커버는, 상기 체결부재가 관통 결합되도록 상기 하부커버의 가장자리에 마련되고 상기 하부커버의 둘레를 따라 이격 형성되는 복수의 하단 관통홀을 포함하고,
상기 하부커버는 전기저항이 10-5 내지 10+1 Ω·㎝인, 세라믹 부품.
A ceramic part applied to a split edge ring disposed in a process chamber to constrain or release a plasma region during an etching process using plasma,
The ceramic component includes a lower cover including a lower open hole and a plurality of slots formed outside the lower open hole,
A main body including a plurality of members provided to form a process space; and
Including; fastening member for detachably coupling the plurality of members,
the body,
an upper cover including an upper open hole;
a lower cover disposed to face the upper cover and including a lower open hole and a plurality of slots formed outside the lower open hole; and
A connecting member positioned between the upper cover and the lower cover to connect the upper cover and the lower cover;
The fastening member includes an upper fastening member for coupling the upper cover and the connecting member in the vertical direction of the main body,
The fastening member includes a lower fastening member for coupling the lower cover and the connecting member in the vertical direction of the main body,
The lower cover faces the upper cover at a predetermined interval by the connecting member,
The lower cover includes a plurality of lower through-holes provided at an edge of the lower cover and spaced apart along a circumference of the lower cover so that the fastening member is coupled therethrough;
The lower cover has an electrical resistance of 10 -5 to 10 +1 Ω·cm, a ceramic part.
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