KR102560832B1 - Discharge Piping Monitoring System - Google Patents
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Abstract
배출배관모니터링시스템은 진공펌프의 후단에 배치되어 진공펌프의 후단압력부하를 감지하는 압력센서를 포함하는 센서부, 진공펌프의 작동 상태에서의 진공펌프 후단의 정상압력부하범위를 저장하며, 센서부로부터 감지되는 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는지에 기초하여 배출배관의 불량여부를 판단하는 제어부를 포함한다.The discharge piping monitoring system stores a sensor unit including a pressure sensor disposed at the rear end of the vacuum pump to detect the pressure load at the rear end of the vacuum pump, and stores the normal pressure load range at the rear end of the vacuum pump in the operating state of the vacuum pump, and the sensor unit and a control unit for determining whether the exhaust pipe is defective based on whether the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected from the vacuum pump is out of the normal pressure load range.
Description
본 발명은 배출배관모니터링시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공펌프와 스크러버가 일체로 형성된 일체형소각시스템에서의 진공펌프와 스크러버 사이의 배출배관의 이상을 모니터링할 수 있는 배출배관모니터링시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge pipe monitoring system, and more particularly, to a discharge pipe monitoring system capable of monitoring abnormalities in a discharge pipe between a vacuum pump and a scrubber in an integrated incineration system in which a vacuum pump and a scrubber are integrally formed. .
반도체 제조 공정인 원자층 증착 공정(Atomic Layer Deposition (ALD) Process), 첨단 자외선 반도체 인쇄기술 (Extreme Ultraviolet Lithography (EUV) Process), Epitaxy (EPI) Process에서 발생하는 배출가스 및 수소는 배출 진공펌프를 통과하여 배출가스 트랩장치(Dry scrubber는 EPI Process용), 배출가스 스크러버에 의해 소각되는 과정을 거치게 된다. 이러한 공정 과정에서 배출 진공펌프와 배출가스 스크러버 사이에 위치하는 배출배관(Pump-Scrubber Exhaust Line)에 지속적으로 이물질이 증착되어 쌓이게 되고 결국 배출가스의 흐름을 방해하게 되며, 이 배출가스 흐름의 방해가 증가하면서 배출 진공펌프의 압력부하가 증가하게 되고 이로 인하여 배출 진공펌프 및 배출가스 스크러버가 고장을 일으키게 된다.Exhaust gas and hydrogen generated from the atomic layer deposition (ALD) process, the advanced ultraviolet semiconductor printing technology (Extreme Ultraviolet Lithography (EUV) Process), and the Epitaxy (EPI) process, which are semiconductor manufacturing processes, are discharged through a vacuum pump. It passes through and goes through the process of being incinerated by the exhaust gas trap device (Dry scrubber is for EPI Process) and the exhaust gas scrubber. During this process, foreign substances are continuously deposited and accumulated in the pump-scrubber exhaust line located between the exhaust vacuum pump and the exhaust gas scrubber, eventually interfering with the flow of exhaust gas. As the pressure load increases, the pressure load of the discharge vacuum pump increases, which causes failure of the discharge vacuum pump and the discharge gas scrubber.
그러나 이러한 배출배관의 이상증상을 모니터링하여 진공펌프의 고장 이전에 문제를 발견하여 미리 조치를 취할 수 있다면 진공펌프의 수명을 늘릴 수 있다. 배출배관의 이상에 의한 진공펌프의 고장으로 인한 생산 공정이 멈추게 되며 이로 인한 생산성이 저하되는 것을 미연에 방지할 수 있으므로 배출배관에 대한 모니터링이 필요하다. However, if a problem can be detected before a failure of the vacuum pump by monitoring abnormal symptoms of the discharge pipe and measures can be taken in advance, the life of the vacuum pump can be extended. The production process is stopped due to the failure of the vacuum pump due to the abnormality of the discharge pipe, and it is necessary to monitor the discharge pipe because it can be prevented from deteriorating productivity.
따라서 본 발명의 목적은 진공펌프와 스크러버 사이의 배출배관의 이상을 정확히 모니터링할 수 있는 배출배관모니터링시스템을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a discharge pipe monitoring system capable of accurately monitoring abnormalities in the discharge pipe between the vacuum pump and the scrubber.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 배출배관모니터링시스템 은 진공펌프의 후단에 배치되어 상기 진공펌프의 후단압력부하를 감지하는 압력센서를 포함하는 센서부; 및 상기 진공펌프의 작동 상태에서의 상기 진공펌프 후단의 정상압력부하범위를 저장하며, 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 후단압력부하가 상기 정상압력부하범위를 벗어나는지에 기초하여 상기 배출배관의 불량여부를 판단하는 제어부를 포함한다. 진공펌프의 작동 상태에서 진공펌프의 후단압력부하를 모니터링하며 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는 것으로 판단되면 배출배관의 불량으로 판단하여 신속하게 조치를 취할 수 있도록 함으로써 진공펌프의 수명을 늘릴 수 있으며 생산성이 저하되는 것을 미연에 방지할 수 있으므로 공정의 생산성 및 경제성이 향상될 수 있다.Discharge pipe monitoring system according to the present invention for achieving the above object is disposed at the rear end of the vacuum pump sensor unit including a pressure sensor for detecting the pressure load at the rear end of the vacuum pump; and stores a normal pressure load range at the rear end of the vacuum pump in an operating state of the vacuum pump, and determines whether the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit is outside the normal pressure load range of the discharge pipe. It includes a control unit that determines whether or not it is defective. While the vacuum pump is operating, the pressure load at the rear end of the vacuum pump is monitored, and if it is determined that the pressure load at the rear end of the vacuum pump is out of the normal pressure load range, it is determined that the discharge pipe is defective and action can be taken quickly. can be increased, and the decrease in productivity can be prevented, so the productivity and economic feasibility of the process can be improved.
여기서, 상기 센서부는, 상기 진공펌프로 공급되는 전류값을 감지하는 전류감지부를 포함하는 전류감지부를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 진공펌프의 작동 상태에서 상기 진공펌프의 정상전류범위를 저장하며, 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 후단압력부하가 상기 정상압력부하범위를 벗어나는 경우 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 전류값이 상기 정상전류범위를 벗어나는지에 기초하여 상기 배출배관의 불량여부를 판단하면 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는 경우 진공펌프의 전류값이 정상전류범위를 벗어나는 것으로 판단되면 배출배관이 불량한 것으로 판단할 수 있어 바람직하다.Here, the sensor unit further includes a current sensing unit including a current sensing unit for sensing a current value supplied to the vacuum pump, and the control unit stores a normal current range of the vacuum pump in an operating state of the vacuum pump, , When the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal pressure load range, the discharge pipe is defective based on whether the current value of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal current range. If it is determined whether the pressure load at the rear end of the vacuum pump is out of the normal pressure load range, it is preferable to determine that the discharge pipe is defective when it is determined that the current value of the vacuum pump is out of the normal current range.
그리고 상기 제어부는, 상기 정상압력부하범위를 안전압력범위와 상기 안전압력범위보다 압력부하가 큰 경계압력범위로 구분하고, 상기 정상전류범위를 안전전류범위와 상기 안전전류범위보다 전류값이 큰 경계전류범위로 구분하며, 상기 압력센서로부터 감지된 압력부하가 상기 경계압력범위 이내라면 상기 전류감지부로부터 감지된 전류값이 상기 경계전류범위 인지에 기초하여 상기 배출배관의 불량여부를 판단하는 것을 포함하면 진공펌프로의 전류값을 세밀하게 구분하여 적용하여 배출배관의 불량을 정확하게 판단할 수 있어 바람직하다.And the control unit divides the normal pressure load range into a safe pressure range and a boundary pressure range in which the pressure load is greater than the safe pressure range, and the normal current range is a boundary between a safe current range and a current value greater than the safe current range. Divided by current range, and if the pressure load sensed by the pressure sensor is within the boundary pressure range, determining whether the discharge pipe is defective based on whether the current value sensed by the current sensing unit is in the boundary current range If the current value to the vacuum pump is classified and applied in detail, it is preferable to accurately determine the defect of the discharge pipe.
여기서, 상기 센서부는 상기 진공펌프의 진동을 감지하는 진동감지센서를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 진공펌프의 작동 상태에서의 정상진동범위를 저장하며, 상기 진동감지센서로부터 감지된 진동값이 상기 정상진동범위를 벗어나는지에 기초하여 상기 진공펌프의 불량여부를 판단하며, 상기 진공펌프가 불량으로 판단되면 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 후단압력부하와 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 전류값 중 적어도 하나가 상기 정상압력부하범위와 상기 정상전류범위를 벗어나는지에 기초하여 상기 배출배관의 불량여부를 판단하면 진공펌프의 진동값을 세밀하게 구분하여 적용하고 압력부하 및 전류값으로 진공펌프 및 배출배관의 불량을 정확하게 판단할 수 있어 바람직하다.Here, the sensor unit further includes a vibration sensor for detecting vibration of the vacuum pump, and the controller stores a normal vibration range in an operating state of the vacuum pump, and the vibration value detected by the vibration sensor is It is determined whether or not the vacuum pump is defective based on whether the vacuum pump is out of the normal vibration range. If it is determined whether the discharge pipe is defective based on whether at least one of the current values is out of the normal pressure load range and the normal current range, the vibration value of the vacuum pump is carefully classified and applied, and the pressure load and current value It is desirable because it can accurately determine the defect of the pump and discharge pipe.
그리고 상기 센서부는 상기 진공펌프 오일의 광투과도를 감지하는 광투과센서와 상기 진공펌프 오일의 색도를 감지하는 열화도감지센서를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 진공펌프의 정상작동에 대한 상기 진공펌프 오일의 광투과도를 포함하는 정상오일상태범위와 상기 진공펌프 오일의 색도에 대한 정상색도범위를 저장하며, 상기 광투과센서와 상기 열화도감지센서로부터 감지되는 상기 진공펌프 오일의 광투과도와 상기 진공펌프 오일의 색도 중 적어도 하나가 상기 정상오일상태범위와 상기 정상색도범위를 벗어나는 것으로 판단되면 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 후단압력부하와 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 전류값 중 적어도 하나가 상기 정상압력부하범위와 상기 정상전류범위를 벗어나는지에 기초하여 상기 배출배관의 불량여부를 판단하면 진공펌프인 진공펌프 오일의 광투과도와 진공펌프인 진공펌프 오일의 색도를 모니터링하여 진공펌프의 오일에 대한 이상으로 진공펌프 및 배출배관의 불량을 판단할 수 있어 바람직하다.And the sensor unit further includes a light transmission sensor for detecting the light transmittance of the vacuum pump oil and a deterioration degree sensor for detecting the chromaticity of the vacuum pump oil, and the control unit includes the vacuum for normal operation of the vacuum pump. Stores a normal oil state range including the light transmittance of the pump oil and a normal chromaticity range for the chromaticity of the vacuum pump oil, and the light transmittance of the vacuum pump oil detected by the light transmittance sensor and the deterioration sensor When it is determined that at least one of the chromaticities of the vacuum pump oil is out of the normal oil condition range and the normal chromaticity range, the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit and the current value of the vacuum pump detected by the sensor unit If it is determined whether or not the discharge pipe is defective based on whether at least one of the above is out of the normal pressure load range and the normal current range, the light transmittance of the vacuum pump oil and the chromaticity of the vacuum pump oil are monitored to obtain a vacuum. It is preferable because it can determine the defect of the vacuum pump and the discharge pipe with the abnormality of the oil of the pump.
본 발명에 따르면 진공펌프의 작동 상태에서 진공펌프의 후단압력부하를 모니터링하며 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는 것으로 판단되면 배출배관의 불량으로 판단하여 신속하게 조치를 취할 수 있도록 함으로써 진공펌프의 수명을 늘릴 수 있으며 생산성이 저하되는 것을 미연에 방지할 수 있으므로 공정의 생산성 및 경제성이 향상될 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the pressure load at the rear end of the vacuum pump is monitored in the operating state of the vacuum pump, and when it is determined that the pressure load at the rear end of the vacuum pump is out of the normal pressure load range, it is determined that the discharge pipe is defective and action can be taken quickly. It is possible to increase the lifespan of the vacuum pump and prevent the decrease in productivity in advance, so that the productivity and economic efficiency of the process can be improved.
또한, 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는 경우 진공펌프의 전류값이 정상전류범위를 벗어나는 것으로 판단되면 배출배관이 불량한 것으로 판단할 수 있고, 진공펌프로의 전류값을 세밀하게 구분하여 적용하여 배출배관의 불량을 정확하게 판단할 수 있는 효과가 있다.In addition, when the pressure load at the rear end of the vacuum pump is out of the normal pressure load range and the current value of the vacuum pump is determined to be out of the normal current range, it can be determined that the discharge pipe is defective, and the current value to the vacuum pump is finely divided. It has the effect of accurately determining the defect of the discharge pipe by applying it.
또한, 진공펌프의 진동값을 세밀하게 구분하여 적용하고 압력부하 및 전류값으로 진공펌프 및 배출배관의 불량을 정확하게 판단할 수 있고, 진공펌프인 진공펌프 오일의 광투과도와 진공펌프인 진공펌프 오일의 색도를 모니터링하여 진공펌프의 오일에 대한 이상으로 진공펌프 및 배출배관의 불량을 판단할 수 있는 효과가 있다.In addition, the vibration value of the vacuum pump is applied in detail and the pressure load and current value can accurately determine the defect of the vacuum pump and the discharge pipe, and the light transmittance of the vacuum pump oil and the vacuum pump oil By monitoring the chromaticity of the vacuum pump, there is an effect of determining the defect of the vacuum pump and the discharge pipe as an abnormality of the oil.
도 1은 본 발명에 따른 배출배관모니터링시스템의 제어블록도이다.
도 2는 배출배관모니터링시스템의 간략예시도이다.
도 3은 도 1의 배출배관모니터링 방법의 흐름도이다.
도 4는 변형 가능한 배출배관모니터링 방법의 흐름도이다.
도 5는 변형 가능한 다른 배출배관모니터링 방법의 흐름도이다.
도 6은 변형 가능한 다른 배출배관모니터링 방법의 흐름도이다.
도 7은 변형 가능한 배출배관모니터링시스템의 예시도이다.1 is a control block diagram of a discharge pipe monitoring system according to the present invention.
2 is a simplified example of a discharge piping monitoring system.
Figure 3 is a flow chart of the discharge pipe monitoring method of Figure 1.
4 is a flow chart of a deformable discharge pipe monitoring method.
5 is a flow chart of another deformable discharge pipe monitoring method.
6 is a flow chart of another deformable discharge pipe monitoring method.
7 is an exemplary view of a deformable discharge piping monitoring system.
이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 배출배관모니터링시스템(1)을 상세히 설명한다.Hereinafter, a discharge pipe monitoring system 1 according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 배출배관모니터링시스템(1)의 제어블록도이며, 도 2는 배출배관모니터링시스템(1)의 간략예시도이다.1 is a control block diagram of a discharge pipe monitoring system 1 according to the present invention, Figure 2 is a simplified example of the discharge pipe monitoring system (1).
도 1 내지 도 2를 참조하여 배출배관모니터링시스템(1)의 구성을 설명한다.The configuration of the discharge pipe monitoring system 1 will be described with reference to FIGS. 1 and 2 .
배출배관모니터링시스템(1)은 진공펌프(10), 센서부(20), 스크러버(30), 배출배관(40), 초음파발생부(50), 촉매부재(60)및 제어부(70)을 포함한다.The discharge pipe monitoring system 1 includes a vacuum pump 10, a
진공펌프(10)는 배출배관(40)상에 배치되어 전단공정(2)에서 배출할 배출가스를 이동시킨다. 여기서, 진공펌프(10)는 진공펌프로 이루어진다.The vacuum pump 10 is disposed on the
센서부(20)는 진공펌프(10)의 진동을 감지하는 진동감지센서(21), 진공펌프(10)의 압력부하를 감지하는 압력센서(22) 및 진공펌프(10)로 공급되는 전류값을 감지하는 전류감지부(23)를 포함한다.The
센서부(20)는 진동감지센서(21), 압력센서(22), 전류감지부(23), 광투과센서(24), 열화도감지센서(25), 수소감지센서(26) 및 산소감지센서(27)를 포함한다.The
진동감지센서(21)는 진공펌프(10)의 진동정도를 감지한다.The
압력센서(22)는 진공펌프(10)의 압력부하를 감지한다.The
압력센서(22)는 제1압력센서(221)및 제2압력센서(222)를 포함한다.The
제1압력센서(221)는 진공펌프(10) 전단의 배출배관(40)에 배치되어 진공펌프(10) 전단의 압력을 감지한다.The
제2압력센서(222)는 진공펌프(10) 후단의 배출배관(40)에 배치되어 진공펌프(10) 후단의 압력을 감지한다.The
전류감지부(23)는 진공펌프(10)로 공급되는 전류값을 감지한다.The
광투과센서(24)는 진공펌프(10) 오일의 광투과도를 감지한다.The
열화로감지센서(25)는 진공펌프(10) 오일의 색도를 감지한다.The degradation
수소감지센서(26)는 스크러버(30)로 유입되는 배출배관(40)에 배치되어 스크러버(30)로 유입되는 수소의 농도를 감지한다.The
산소감지센서(27)는 스크러버(30)로 유입되는 배출배관(40)에 배치되어 스크러버(30)로 유입되는 산소의 농도를 감지한다.The
스크러버(30)는 진공펌프(10)의 후단 배출배관(40) 상에 배치되어 배출되는 배출가스를 소각한다.The
배출배관(40)는 전단공정(2)인 반도체공정으로부터 배출가스를 배출시키는 배출경로를 제공한다.The
초음파발생부(50)는 배관(40)의 외벽에 위치한다. 초음파 초음파발생부(50)는 압전소자 또는 자왜소자를 이용하여 초음파 진동을 발생시켜, 배관(40)에 부산물이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 초음파발생부(50)는 반도체 제조 장치, 보일러 장치, 열 교환 장치 등에서 불순물을 방지하는 용도로 사용될 수 있다. 초음파 진동을 발생시키는 압전소자는 압전 재료 또는 탄성적 변형이 일어나는 자왜 재료 등으로 형성된다. 여기서, 압전소자는 Ni, Fe-Co, Fe-Al, Zn-ferrite, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Zn,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Ni,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋PVDF 폴리머, Pb(Zr,Ti)O3＋실리콘 폴리머 및 Pb(Zr,Ti)O3+에폭시 폴리머 중 선택된 하나의 재질로 형성될 수 있다. 초음파 진동은 20kHz 이상인 것이 바람직하다. 다만, 28kHz, 40kHz 또는 MHz의 대역의 초음파 진동이 보다 바람 직하다. 배관 외벽에 위치한 초음파발생부(50)를 통해 초음파 진동을 발생시켜, 배관 내에 부산물이 부착되는 것을 방지한다. 따라서, 배관의 정비 주기를 늘릴 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.The ultrasonic generator 50 is located on the outer wall of the
촉매부재(60)는 다수의 셀이 형성되어 터널 내의 공기가 통과하는 유로가 형성되어 터널 내의 공기가 통과되고, 이에 의해 공기 중에 포함된 수소가스를 제거하는 금속 재질의 지지체(이하 '금속지지체'라 한다)이다. 촉매부재(60)는 셀의 모양이 사각형, 육각형 또는 물결 모양으로 형성될 수 있다. 이때 셀을 형성하는 판의 두께가 0.06mm 미만이면 두께가 얇아 제작이 어렵고 외력에도 쉽게 변형될 수 있으며, 반대로 판의 두께가 0.15mm를 초과하면 강도가 향상되는 대신 무게가 무겁고 제작의 비용이 증가하므로 셀과 셀 사이를 구분하는 판의 두께가 0.06 ~ 0.15mm의 범위로 제작되는 것이 바람직하다. The catalytic member 60 is a metal support (hereinafter referred to as a 'metal support') through which a plurality of cells are formed to form a flow path through which air in the tunnel passes, thereby removing hydrogen gas contained in the air. is called). The catalytic member 60 may have a square, hexagonal or wavy cell shape. At this time, if the thickness of the plate forming the cell is less than 0.06 mm, the thickness is thin and it is difficult to manufacture and can be easily deformed even by external force. Therefore, it is preferable that the thickness of the plate separating the cells is in the range of 0.06 to 0.15 mm.
그리고 금속지지체는 가공이 쉬우면서도 열에 대한 변형이 적은 재질로 제작될 필요가 있고, 따라서 촉매부재(60)를 이루는 금속지지체가 FeCrAl, FeCrAlY, NiCr, NiCrAl, NiFeCrAl, inconel, stainless steel 중 어느 하나의 재질로 제작된다. 또한, 금속지지체의 표면에는 Ce, La, Pr, Nd, Pt, Pd, alumina, titania, zeolite 중 어느 하나 또는 둘 이상 이 적절한 비율로 혼합되어 코팅된다. 이때 금속지지체의 코팅은 금속지지체의 중량에 대해 5~30%의 중량이 증가하도록 촉매 담체에 침적된 상태에서 10분에서 2시간에 걸쳐 코팅이 진행될 수 있다.In addition, the metal support needs to be made of a material that is easy to process and has little deformation against heat. Therefore, the metal support constituting the catalyst member 60 is made of any one of FeCrAl, FeCrAlY, NiCr, NiCrAl, NiFeCrAl, inconel, and stainless steel. made of material In addition, the surface of the metal support is coated with any one or two or more of Ce, La, Pr, Nd, Pt, Pd, alumina, titania, and zeolite mixed in an appropriate ratio. At this time, the coating of the metal support may be carried out over 10 minutes to 2 hours in a state of being deposited on the catalyst carrier so that the weight of the metal support increases by 5 to 30%.
제어부(70)는 진공펌프(10)의 작동 상태에서의 진공펌프(10) 후단의 정상압력부하범위를 저장하며, 센서부(20)로부터 감지되는 진공펌프(10)의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는지에 기초하여 배출배관(40)의 불량여부를 판단할 수 있다.The controller 70 stores the normal pressure load range at the rear end of the vacuum pump 10 in the operating state of the vacuum pump 10, and the pressure load at the rear end of the vacuum pump 10 detected by the
제어부(70)는 진공펌프(10)의 작동 상태에서 진공펌프(10)의 정상전류범위를 저장하며, 센서부(20)로부터 감지되는 진공펌프(10)의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는 경우 센서부(20)로부터 감지되는 진공펌프(10)의 전류값이 정상전류범위를 벗어나는지에 기초하여 배출배관(40)의 불량여부를 판단할 수 있다.The control unit 70 stores the normal current range of the vacuum pump 10 in the operating state of the vacuum pump 10, and the pressure load at the rear end of the vacuum pump 10 detected by the
제어부(70)는 정상압력범위를 안전압력범위와 안전압력범위보다 압력부하가 큰 경계압력범위로 구분하고, 정상전류범위를 안전전류범위와 안전전류범위보다 전류값이 큰 경계전류범위로 구분하며, 압력센서(22)로부터 감지된 압력부하가 경계압력범위 이내라면 전류감지부로부터 감지된 전류값이 경계전류범위 인지에 기초하여 배출배관(40)의 불량여부를 판단할 수 있다.The control unit 70 divides the normal pressure range into a safe pressure range and a boundary pressure range in which the pressure load is greater than the safe pressure range, and divides the normal current range into a safe current range and a boundary current range in which the current value is greater than the safe current range, , If the pressure load detected by the
제어부(70)는 진공펌프(10)의 작동 상태에서의 정상진동범위를 저장하며, 진동감지센서(21)로부터 감지된 진동값이 정상진동범위를 벗어나는지에 기초하여 진공펌프(10)의 불량여부를 판단하며, 진공펌프(10)가 불량으로 판단되면 센서부(20)로부터 감지되는 진공펌프(10)의 후단압력부하와 센서부(20)로부터 감지되는 진공펌프(10)의 전류값 중 적어도 하나가 정상압력부하범위와 정상전류범위를 벗어나는지에 기초하여 배출배관(40)의 불량여부를 판단할 수 있다.The control unit 70 stores the normal vibration range in the operating state of the vacuum pump 10, and determines whether the vacuum pump 10 is defective based on whether the vibration value detected by the
제어부(70)는 진공펌프(10)의 정상작동에 대한 진공펌프(10) 오일의 광투과도를 포함하는 정상오일상태범위와 진공펌프(10) 오일의 색도에 대한 정상색도범위를 저장하며, 광투과센서(24)와 열화도감지센서(25)로부터 감지되는 진공펌프(10) 오일의 광투과도와 진공펌프 오일의 색도 중 적어도 하나가 정상오일상태범위와 정상색도범위를 벗어나는 것으로 판단되면 센서부(20)로부터 감지되는 진공펌프(10)의 후단압력부하와 센서부(20)로부터 감지되는 진공펌프(10)의 전류값 중 적어도 하나가 정상압력부하범위와 정상전류범위를 벗어나는지에 기초하여 배출배관(40)의 불량여부를 판단할 수 있다.The control unit 70 stores the normal oil state range including the light transmittance of the oil of the vacuum pump 10 for the normal operation of the vacuum pump 10 and the normal chromaticity range of the chromaticity of the oil of the vacuum pump 10, When it is determined that at least one of the light transmittance of the oil of the vacuum pump 10 and the chromaticity of the vacuum pump oil detected by the
도 3은 도 1의 배출배관모니터링 방법의 흐름도이다.Figure 3 is a flow chart of the discharge pipe monitoring method of Figure 1.
진공펌프의 작동 상태에서의 상기 진공펌프 후단의 정상압력부하범위를 저장한다(S1).Stores the normal pressure load range at the rear end of the vacuum pump in the operating state of the vacuum pump (S1).
센서부로부터 진공펌프의 후단압력부하 감지한다(S2).The pressure load at the rear end of the vacuum pump is sensed from the sensor unit (S2).
센서부로부터 감지된 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는지 판단한다(S3).It is determined whether the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal pressure load range (S3).
센서부로부터 감지된 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는 것으로 판단되면 배출배관이 불량한 것으로 판단한다(S4).When it is determined that the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal pressure load range, it is determined that the discharge pipe is defective (S4).
도 4는 변형 가능한 배출배관모니터링 방법의 흐름도이다.4 is a flow chart of a deformable discharge pipe monitoring method.
진공펌프의 작동 상태에서의 상기 진공펌프 후단의 정상압력부하범위와 진공펌프의 작동 상태에서 진공펌프의 정상전류범위를 저장한다(S11).The normal pressure load range at the rear end of the vacuum pump in the operating state of the vacuum pump and the normal current range of the vacuum pump in the operating state of the vacuum pump are stored (S11).
센서부로부터 진공펌프의 후단압력부하와 진공펌프의 전류값 감지한다(S12).The pressure load at the rear end of the vacuum pump and the current value of the vacuum pump are sensed from the sensor unit (S12).
센서부로부터 감지되는 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는지 판단한다(S13).It is determined whether the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal pressure load range (S13).
센서부로부터 감지되는 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는 것으로 판단되면 센서부로부터 감지되는 진공펌프의 전류값이 정상전류범위를 벗어나는지 판단한다(S14).When it is determined that the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal pressure load range, it is determined whether the current value of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal current range (S14).
진공펌프의 전류값이 정상전류범위를 벗어나는 것으로 판단되면 배출배관이 불량한 것으로 판단한다(S15).If it is determined that the current value of the vacuum pump is out of the normal current range, it is determined that the discharge pipe is defective (S15).
도 5는 변형 가능한 다른 배출배관모니터링 방법의 흐름도이다.5 is a flow chart of another deformable discharge pipe monitoring method.
진공펌프의 작동 상태에서의 정상진동범위를 저장한다(S21).The normal vibration range in the operating state of the vacuum pump is stored (S21).
진동감지센서로부터 진동값 감지한다(S22).The vibration value is sensed from the vibration sensor (S22).
진동감지센서로부터 감지된 진동값이 정상진동범위를 벗어나는지 판단한다(S23).It is determined whether the vibration value sensed by the vibration sensor is out of the normal vibration range (S23).
진동값이 정상진동범위를 벗어나는 것으로 판단되면 진공펌프가 불량한 것으로 판단한다(S24).If it is determined that the vibration value is out of the normal vibration range, it is determined that the vacuum pump is defective (S24).
진공펌프가 불량으로 판단되면 센서부로부터 감지되는 진공펌프의 후단압력부하와 센서부로부터 감지되는 진공펌프의 전류값 중 적어도 하나가 정상압력부하범위와 정상전류범위를 벗어나는지 판단한다(S25).If the vacuum pump is determined to be defective, it is determined whether at least one of the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit and the current value of the vacuum pump detected by the sensor unit are out of the normal pressure load range and the normal current range (S25).
센서부로부터 감지되는 진공펌프의 후단압력부하와 센서부로부터 감지되는 진공펌프의 전류값 중 적어도 하나가 정상압력부하범위와 정상전류범위를 벗어나는 것으로 판단되면 배출배관이 불량한 것으로 판단한다(S26).When it is determined that at least one of the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit and the current value of the vacuum pump detected by the sensor unit are out of the normal pressure load range and the normal current range, it is determined that the discharge pipe is defective (S26).
도 6은 변형 가능한 다른 배출배관모니터링 방법의 흐름도이다.6 is a flow chart of another deformable discharge pipe monitoring method.
진공펌프의 정상작동에 대한 진공펌프 오일의 광투과도를 포함하는 정상오일상태범위와 진공펌프 오일의 색도에 대한 정상색도범위를 저장한다(S31).The normal oil state range including the light transmittance of the vacuum pump oil for the normal operation of the vacuum pump and the normal chromaticity range for the chromaticity of the vacuum pump oil are stored (S31).
광투과센서와 열화도감지센서에서 진공펌프 오일의 광투과도와 진공펌프 오일의 색도 감지한다(S32).The light transmittance of the vacuum pump oil and the color of the vacuum pump oil are also detected by the light transmission sensor and the deterioration detection sensor (S32).
광투과센서와 열화도감지센서에서 감지된 진공펌프 오일의 광투과도와 진공펌프 오일의 색도 중 적어도 하나가 정상오일상태범위와 정상색도범위를 벗어나는 지 판단한다(S33).It is determined whether at least one of the light transmittance of the vacuum pump oil and the chromaticity of the vacuum pump oil detected by the light transmittance sensor and the deterioration detection sensor are out of the normal oil state range and the normal chromaticity range (S33).
진공펌프 오일의 광투과도와 진공펌프 오일의 색도 중 적어도 하나가 정상오일상태범위와 정상색도범위를 벗어나는 것으로 판단되면 센서부로부터 감지되는 진공펌프의 후단압력부하와 센서부로부터 감지되는 진공펌프의 전류값 중 적어도 하나가 정상압력부하범위와 정상전류범위를 벗어나는지 판단한다(S34).If it is determined that at least one of the light transmittance of the vacuum pump oil and the chromaticity of the vacuum pump oil is out of the normal oil state range and the normal chromaticity range, the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit and the current of the vacuum pump detected by the sensor unit It is determined whether at least one of the values is out of the normal pressure load range and the normal current range (S34).
진공펌프의 후단압력부하와 센서부로부터 감지되는 진공펌프의 전류값 중 적어도 하나가 정상압력부하범위와 정상전류범위를 벗어나는 것으로 배출배관이 불량한 것으로 판단한다(S35).At least one of the pressure load at the rear end of the vacuum pump and the current value of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal pressure load range and the normal current range, and it is determined that the discharge pipe is defective (S35).
도 7은 변형 가능한 배출배관모니터링시스템의 예시도이다.7 is an exemplary view of a deformable discharge piping monitoring system.
센서부들이 전단공정, 진공펌프, 배출배관 및 스크러버의 어디 배치되어 있는 것을 나타낸다.It shows where the sensor parts are arranged in the front end process, vacuum pump, discharge piping and scrubber.
상기의 실시 예 이외의 변형 가능한 실시 예를 설명한다.Modifiable embodiments other than the above embodiments will be described.
제어부(70)는 진공펌프의 작동 상태에서의 정상진동범위, 정상압력부하 및 정상전류범위를 저장하며, 상기 진동감지센서, 상기 압력센서 및 상기 전류감지부로부터 감지된 진동값, 압력부하 및 전류값 중 적어도 하나가 상기 정상진동범위, 상기 정상압력부하 및 상기 정상전류범위를 벗어나는지에 기초하여 상기 진공펌프 및 상기 배출배관의 불량여부를 판단한다.The controller 70 stores the normal vibration range, normal pressure load, and normal current range in the operating state of the vacuum pump, and the vibration values, pressure load, and current detected by the vibration sensor, the pressure sensor, and the current sensor. Whether or not the vacuum pump and the discharge pipe are defective is determined based on whether at least one of the values is out of the normal vibration range, the normal pressure load, and the normal current range.
제어부(70)는 정상진동범위를 안전진동범위와 상기 안전진동범위보다 진동값이 큰 경계진동범위로 구분하며, 상기 진동감지센서로부터 감지된 진동값이 상기 안전진동범위 이내면 상기 진공펌프를 정상으로 판단하며, 상기 진동감지센서로부터 감지된 진동값이 상기 경계진동범위 이내라면 상기 압력센서 및 상기 전류감지부로부터 감지된 압력부하 및 전류값이 상기 정상압력부하 및 상기 정상전류범위를 벗어나는지에 기초하여 상기 진공펌프 및 상기 배출배관의 불량여부를 판단한다.The control unit 70 divides the normal vibration range into a safety vibration range and a boundary vibration range having a higher vibration value than the safety vibration range, and if the vibration value detected by the vibration sensor is within the safe vibration range, the vacuum pump is operated normally. If the vibration value detected by the vibration sensor is within the boundary vibration range, based on whether the pressure load and current values detected by the pressure sensor and the current sensor are out of the normal pressure load and the normal current range. Thus, it is determined whether the vacuum pump and the discharge pipe are defective.
제어부(70)는 정상압력범위를 안전압력범위와 상기 안전압력범위보다 압력부하가 큰 경계압력범위로 구분하고, 상기 정상전류범위를 안전전류범위와 상기 안전전류범위보다 전류값이 큰 경계전류범위로 구분하며, 상기 진동감지센서로부터 감지된 진동값이 상기 경계진동범위 이내라면 상기 전류감지부로부터 감지된 전류값이 상기 경계전류범위 인지에 기초하여 상기 진공펌프 및 상기 배출배관의 불량여부를 판단한다.The control unit 70 divides the normal pressure range into a safe pressure range and a boundary pressure range in which the pressure load is greater than the safe pressure range, and the normal current range is a safe current range and a boundary current range in which the current value is greater than the safe current range. If the vibration value detected by the vibration sensor is within the boundary vibration range, whether the vacuum pump and the discharge pipe are defective is determined based on whether the current value detected by the current sensor is within the boundary current range. do.
제어부(70)는 진공펌프의 정상작동에 대한 상기 진공펌프 오일의 광투과도를 포함하는 정상오일상태범위를 저장하며, 상기 광투과센서로부터 감지되는 상기 진공펌프 오일의 광투과도가 상기 정상오일상태범위를 벗어나는 경우 상기 진공펌프의 불량으로 판단한다.The controller 70 stores the normal oil state range including the light transmittance of the vacuum pump oil for normal operation of the vacuum pump, and the light transmittance of the vacuum pump oil detected by the light transmittance sensor is the normal oil state range. If it is out of the range, it is determined that the vacuum pump is defective.
제어부(70)는 진공펌프 오일의 색도에 대한 정상색도범위를 저장하며, 상기 열화도감지센서로부터 감지되는 상기 진공펌프 오일의 색도가 상기 정상색도범위를 벗어나는 것으로 판단되면 상기 진공펌프의 오일이 열화된 것으로 판단하여 상기 진공펌프의 오일교체정보를 제공한다.The control unit 70 stores the normal chromaticity range for the chromaticity of the vacuum pump oil, and when it is determined that the chromaticity of the vacuum pump oil detected by the deterioration detection sensor is out of the normal chromaticity range, the oil of the vacuum pump deteriorates. It is determined that the vacuum pump has been replaced, and oil replacement information of the vacuum pump is provided.
상기 진공펌프(10), 센서부(20), 스크러버(30) 및 배출배관(40)의 수명 및 정기 예방정비(Preventive Maintenance(PM))의 주기를 파악하기 위해서 아래의 표(1)과 같은 방식을 적용할 수 있다.In order to determine the lifetime of the vacuum pump 10, the
(표 1 - 정비 주기 산정 방식)(Table 1 - Maintenance cycle calculation method)
모든 측정 범위를 0~10 범위로 환산후 각 측정항목에 대해서 가중치를 부가하여서, 범위 환산된 값과 가중치를 곱하면 개별 평가 지수가 된다.After converting all measurement ranges into the range of 0 to 10, weights are added to each measurement item, and the value converted to the range is multiplied by the weight to become an individual evaluation index.
그리고, 각 개별 평가 지수를 합산하면 종합 평가 지수가 된다.Then, when each individual evaluation index is summed up, a comprehensive evaluation index is obtained.
아래 예시의 경우 최소 값이 42이며, 최대 값은 420이 되며, 이중 42~100의 값이 측정되면 정상, 101~200 사이 값이 측정되면 정비가 필요하다고 경고가 발생하며, 201이상이 될 경우 즉시 정비가 필요하다고 모니터링 시스템에서 알람이 발생한다.In the example below, the minimum value is 42 and the maximum value is 420. If the value is between 42 and 100, it is normal. An alarm is generated in the monitoring system that immediate service is required.
여기서, 배출배관의 전후에서 광투과도를 측정하여 상기의 과정을 동일하게 실시할 수 있다. 이에 의해 배출배관의 이상 및 불량을 파악할 수 있다.Here, the above process may be performed in the same manner by measuring light transmittance before and after the discharge pipe. In this way, it is possible to identify abnormalities and defects of the discharge pipe.
제어부는 스크러버로 유입되는 정상수소농도범위를 저장하며, 센서부로부터 감지되는 수소농도가 정상수소농도범위를 벗어나는지에 기초하여 진공펌프의 가동여부를 판단할 수 있다. 수소감지센서(26)는 2개 이상이 설치될 수 있다. 여기서, 센서부(20)는 2개 이상으로 설치되어 수소를 감지할 수 있으며, 2개 이상의 센서부(20)가 감지한 수소농도가 모두 정상수소농도범위를 벗어나는 지를 판단하여 진공펌프(10)의 가동여부를 판단할 수 있다.The control unit stores the normal hydrogen concentration range flowing into the scrubber, and can determine whether the vacuum pump is operating based on whether the hydrogen concentration detected by the sensor unit is out of the normal hydrogen concentration range. Two or
제어부는 스크러버로 유입되는 정상산소농도범위를 저장하며, 센서부로부터 감지되는 수소농도가 정상산소농도범위를 벗어나는 것으로 판단되면 센서부로부터 감지되는 산소농도가 정상산소농도범위를 벗어나는지에 기초하여 진공펌프의 가동여부를 판단할 수 있다. 산소감지센서(27)는 2개 이상이 설치될 수 있다. 여기서, 센서부(20)는 2개 이상으로 설치되어 산소를 감지할 수 있으며, 2개 이상의 센서부(20)가 감지한 산소농도가 모두 정상산소농도범위를 벗어나는 지를 판단하여 진공펌프(10)의 가동여부를 판단할 수 있다.The control unit stores the normal oxygen concentration range flowing into the scrubber, and when it is determined that the hydrogen concentration detected by the sensor unit is outside the normal oxygen concentration range, the vacuum pump is based on whether the oxygen concentration detected by the sensor unit is outside the normal oxygen concentration range. operation can be judged. Two or
제어부는 정상수소농도범위를 안전수소농도범위와 안전수소농도범위보다 수소농도가 큰 경계수소농도범위로 구분하고, 정상산소농도범위를 안전산소농도범위와 안전산소농도범위보다 산소농도가 큰 경계산소농도범위로 구분하며, 수소감지센서로부터 감지된 수소농도가 경계수소농도범위 이내라면 산소감지센서로부터 감지된 산소농도가 경계산소농도범위 인지에 기초하여 진공펌프의 불량여부를 판단할 수 있다.The control unit divides the normal hydrogen concentration range into a safe hydrogen concentration range and a boundary hydrogen concentration range in which the hydrogen concentration is greater than the safe hydrogen concentration range, and the normal oxygen concentration range is a safe oxygen concentration range and a boundary oxygen concentration range in which the oxygen concentration is greater than the safe oxygen concentration range. It is divided into concentration ranges, and if the hydrogen concentration detected from the hydrogen sensor is within the boundary hydrogen concentration range, it is possible to determine whether the vacuum pump is defective based on whether the oxygen concentration detected from the oxygen sensor is within the boundary oxygen concentration range.
제어부는 진공펌프의 작동 상태에서의 정상진동범위를 저장하며, 진동감지센서로부터 감지된 진동값이 정상진동범위를 벗어나는지에 기초하여 진공펌프의 불량여부를 판단하며, 진공펌프가 불량으로 판단되면 센서부로부터 감지되는 수소농도와 산소농도 중 적어도 하나가 정상수소농도범위와 정상수소농도범위를 벗어나는지에 기초하여 진공펌프의 가동여부를 판단할 수 있다.The control unit stores the normal vibration range in the operating state of the vacuum pump, determines whether the vacuum pump is defective based on whether the vibration value detected by the vibration sensor is out of the normal vibration range, and if the vacuum pump is determined to be defective, the sensor Based on whether at least one of the hydrogen concentration and the oxygen concentration sensed from the unit is out of the normal hydrogen concentration range and the normal hydrogen concentration range, it is possible to determine whether the vacuum pump is operating.
제어부는 진공펌프의 정상작동에 대한 진공펌프 오일의 광투과도를 포함하는 정상오일상태범위와 진공펌프 오일의 색도에 대한 정상색도범위를 저장하며, 광투과센서와 열화도감지센서로부터 감지되는 진공펌프 오일의 광투과도와 진공펌프 오일의 색도 중 적어도 하나가 정상오일상태범위와 정상색도범위를 벗어나는 것으로 판단되면 센서부로부터 감지되는 수소농도와 산소농도 중 적어도 하나가 정상수소농도범위와 정상수소농도범위를 벗어나는지에 기초하여 진공펌프의 가동여부를 판단할 수 있다.The control unit stores the normal oil state range including the light transmittance of the vacuum pump oil for the normal operation of the vacuum pump and the normal chromaticity range for the chromaticity of the vacuum pump oil, and the vacuum pump detected by the light transmittance sensor and the deterioration detection sensor. If it is determined that at least one of the light transmittance of the oil and the chromaticity of the vacuum pump oil is out of the normal oil condition range and the normal chromaticity range, at least one of the hydrogen concentration and oxygen concentration detected by the sensor unit is set to the normal hydrogen concentration range and the normal hydrogen concentration range. It is possible to determine whether the vacuum pump is operating based on whether the vacuum pump is out of the range.
압력센서는 배출배관의 전후에 배치되어 배출배관 전후의 압력을 측정하여 배출배관 전후의 차압을 측정할 수 있다. 이에 의해 제어부는 차압정도를 이용하여 진공펌프 및 배출배관의 이상을 파악할 수 있다. 또한, 이를 이용하여 정비해야 하는 정비주기 등을 산출할 수 있다.The pressure sensor may be disposed before and after the discharge pipe to measure the pressure before and after the discharge pipe to measure the differential pressure before and after the discharge pipe. As a result, the control unit can determine the abnormality of the vacuum pump and the discharge pipe using the degree of differential pressure. In addition, it is possible to calculate the maintenance cycle to be maintained using this.
또한, 흡입 배관으로 파우더 등의 오염물질이 유입될 수 있으므로 흡입 배관의 전후에서 광투과도를 측정할 수 있다. 이를 이용하여 진공펌프 및 흡입 배관의 이상을 파악할 수 있다. 또한, 이를 이용하여 정비해야 하는 정비주기 등을 산출할 수 있다.In addition, since contaminants such as powder may flow into the suction pipe, light transmittance may be measured before and after the suction pipe. Using this, it is possible to determine the abnormality of the vacuum pump and the suction pipe. In addition, it is possible to calculate the maintenance cycle to be maintained using this.
상기의 배출배관모니터링시스템(1)으로 인하여, 진공펌프의 작동 상태에서 진공펌프의 후단압력부하를 모니터링하며 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는 것으로 판단되면 배출배관의 불량으로 판단하여 신속하게 조치를 취할 수 있도록 함으로써 진공펌프의 수명을 늘릴 수 있으며 생산성이 저하되는 것을 미연에 방지할 수 있으므로 공정의 생산성 및 경제성이 향상될 수 있다.Due to the discharge piping monitoring system (1), the pressure load at the rear end of the vacuum pump is monitored in the operating state of the vacuum pump, and if it is determined that the pressure load at the rear end of the vacuum pump is out of the normal pressure load range, it is determined that the discharge piping is defective. By allowing quick action to be taken, the lifetime of the vacuum pump can be extended, and productivity and economic feasibility of the process can be improved since the decrease in productivity can be prevented in advance.
또한, 진공펌프의 후단압력부하가 정상압력부하범위를 벗어나는 경우 진공펌프의 전류값이 정상전류범위를 벗어나는 것으로 판단되면 배출배관이 불량한 것으로 판단할 수 있고, 진공펌프로의 전류값을 세밀하게 구분하여 적용하여 배출배관의 불량을 정확하게 판단할 수 있다.In addition, when the pressure load at the rear end of the vacuum pump is out of the normal pressure load range and the current value of the vacuum pump is determined to be out of the normal current range, it can be determined that the discharge pipe is defective, and the current value to the vacuum pump is finely divided. By applying it, it is possible to accurately determine the defect of the discharge pipe.
또한, 진공펌프의 진동값을 세밀하게 구분하여 적용하고 압력부하 및 전류값으로 진공펌프 및 배출배관의 불량을 정확하게 판단할 수 있고, 진공펌프인 진공펌프 오일의 광투과도와 진공펌프인 진공펌프 오일의 색도를 모니터링하여 진공펌프의 오일에 대한 이상으로 진공펌프 및 배출배관의 불량을 판단할 수 있다.In addition, the vibration value of the vacuum pump is applied in detail and the pressure load and current value can accurately determine the defect of the vacuum pump and the discharge pipe, and the light transmittance of the vacuum pump oil and the vacuum pump oil By monitoring the chromaticity of the vacuum pump, it is possible to determine the defect of the vacuum pump and the discharge pipe as an abnormality of the oil.
1: 일체형소각시스템의 모니터링시스템 2: 전단공정
10: 진공펌프
20: 센서부 21: 진동감지센서
22: 압력센서 221: 제1압력센서
222: 제2압력센서
23: 전류감지부
24: 광투과센서 25: 열화로감지센서
26: 수소감지센서 27: 산소감지센서
30: 스크러버
40: 배출배관
50: 초음파발생부
60: 촉매부재
70: 제어부1: Integrated incineration system monitoring system 2: Shearing process
10: vacuum pump
20: sensor unit 21: vibration sensor
22: pressure sensor 221: first pressure sensor
222: second pressure sensor
23: current sensing unit
24: light transmission sensor 25: deterioration furnace detection sensor
26: hydrogen sensor 27: oxygen sensor
30: scrubber
40: discharge piping
50: ultrasonic generator
60: catalyst member
70: control unit
Claims (5)
상기 진공펌프의 후단에 배치되어 상기 진공펌프의 후단압력부하를 감지하는 압력센서를 포함하는 센서부; 및
상기 진공펌프의 작동 상태에서의 상기 진공펌프 후단의 정상압력부하범위를 저장하며, 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 후단압력부하가 상기 정상압력부하범위를 벗어나는지에 기초하여 상기 배출배관의 불량여부를 판단하는 제어부를 포함하되,
상기 센서부는, 상기 진공펌프로 공급되는 전류값을 감지하는 전류감지부를 포함하는 전류감지부를 더 포함하며,
상기 제어부는,
상기 진공펌프의 작동 상태에서 상기 진공펌프의 정상전류범위를 저장하며, 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 후단압력부하가 상기 정상압력부하범위를 벗어나는 경우 상기 센서부로부터 감지되는 상기 진공펌프의 전류값이 상기 정상전류범위를 벗어나는지에 기초하여 상기 배출배관의 불량여부를 판단하고,
상기 정상압력부하범위를 안전압력범위와 상기 안전압력범위보다 압력부하가 큰 경계압력범위로 구분하고, 상기 정상전류범위를 안전전류범위와 상기 안전전류범위보다 전류값이 큰 경계전류범위로 구분하며, 상기 압력센서로부터 감지된 압력부하가 상기 경계압력범위 이내라면 상기 전류감지부로부터 감지된 전류값이 상기 경계전류범위 인지에 기초하여 상기 배출배관의 불량여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 배출배관모니터링시스템.In the discharge piping monitoring system of the discharge piping connecting a vacuum pump for moving the exhaust gas and a scrubber for incinerating the exhaust gas transferred to the vacuum pump,
a sensor unit including a pressure sensor disposed at a rear end of the vacuum pump and sensing a pressure load at a rear end of the vacuum pump; and
The normal pressure load range at the rear end of the vacuum pump in the operating state of the vacuum pump is stored, and the defect in the discharge pipe is determined based on whether the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal pressure load range. Including a control unit that determines whether
The sensor unit further includes a current sensing unit including a current sensing unit for sensing a current value supplied to the vacuum pump,
The control unit,
The normal current range of the vacuum pump is stored in the operating state of the vacuum pump, and when the pressure load at the rear end of the vacuum pump detected by the sensor unit is out of the normal pressure load range, the vacuum pump detected by the sensor unit Determining whether the discharge pipe is defective based on whether the current value is out of the normal current range;
The normal pressure load range is divided into a safety pressure range and a boundary pressure range in which the pressure load is greater than the safety pressure range, and the normal current range is divided into a safety current range and a boundary current range in which the current value is greater than the safety current range. If the pressure load detected by the pressure sensor is within the boundary pressure range, the discharge pipe monitoring characterized in that for determining whether the discharge pipe is defective based on whether the current value sensed by the current sensor is in the boundary current range system.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230005115A KR102560832B1 (en) | 2023-01-13 | 2023-01-13 | Discharge Piping Monitoring System |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230005115A KR102560832B1 (en) | 2023-01-13 | 2023-01-13 | Discharge Piping Monitoring System |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102560832B1 true KR102560832B1 (en) | 2023-07-31 |
Family
ID=87458393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020230005115A KR102560832B1 (en) | 2023-01-13 | 2023-01-13 | Discharge Piping Monitoring System |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102560832B1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR0123422Y1 (en) * | 1994-12-09 | 1999-02-18 | 김주용 | Clog sensing apparatus of gas scrubber for semiconductor etcher |
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2023
- 2023-01-13 KR KR1020230005115A patent/KR102560832B1/en active IP Right Grant
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