KR102560776B1 - 광번짐 현상을 제거한 마이크로 led 검사장치 - Google Patents

광번짐 현상을 제거한 마이크로 led 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마이크로 LED 검사장치에 관한 것으로, 크기는 작지만 높은 휘도를 나타내는 마이크로 LED의 촬영 시 광번짐(Light Blur) 현상을 제거하여 마이크로 LED 각 픽셀의 휘도 차이를 정확하게 측정하는 것은 물론 온/오프 불량을 발견하기가 보다 용이하도록 한 것이다.
이러한 본 발명은, 제어기와 메모리가 내장되고 디스플레이가 설치된 장치본체; 상기 장치본체의 상면에 설치되며, 마이크로 LED가 상면에 로딩하는 지지패널; 상기 지지패널의 상측으로 이격을 두고 설치되어 상기 지지패널에 로딩된 마이크로 LED에서 조사되는 빛으로부터 휘도를 측정할 수 있도록 한 카메라; 마이크로 LED와 카메라 사이에 설치되어 마이크로 LED로부터 카메라로 조사되는 빛을 투과시키면서 분산되는 빛을 카메라를 향하도록 모아주는 마이크로 렌즈 어레이; 및 상기 마이크로 렌즈 어레이와 함께 마이크로 LED로부터 카메라로 조사되는 빛을 투과시키면서 광투과율을 감소시켜주는 광량 제어필터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

광번짐 현상을 제거한 마이크로 LED 검사장치{Tester for measuring Micro LED}
본 발명은 마이크로 LED 검사장치에 관한 것으로, 특히 크기는 작지만 높은 휘도를 나타내는 마이크로 LED의 촬영 시 광번짐(Light Blur) 현상을 제거하여 마이크로 LED 각 픽셀의 휘도 차이를 정확하게 측정하는 것은 물론 온/오프 불량을 발견하기가 보다 용이하도록 한 마이크로 LED 검사장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이 시장은 OLED가 LCD를 빠르게 대체하며 주류로 부상하였고, 마이크로 LED가 또 하나의 차세대 디스플레이로 부상하고 있다. LCD와 OLED의 핵심소재가 각각 액정(Liquid Crystal), 유기재료인데 반해 마이크로 LED 디스플레이는 1~100㎛ 단위의 LED 칩 자체를 발광재료로 사용하는 디스플레이다.
Cree사가 1999년에 "광 적출을 향상시킨 마이크로-발광 다이오드 어레이"에 관한 특허를 출원하면서(등록특허공보 등록번호 제0731673호), 마이크로 LED라는 용어가 등장한 이래 관련 연구 논문들이 잇달아 발표되면서 연구개발이 이루어지고 있다.
이같은 마이크로 LED의 픽셀 사이즈는 20~100㎛로 작은데도 불구하고 높은 휘도를 가지므로 도 1a 도시된 것처럼 마이크로 LED(ML)를 점등한 후 카메라(12) 촬영에 의해 휘도를 측정하게 된다.
하지만, 이같은 종래기술에 따르면 카메라(12) 촬영 시 도 1b에 표시된 것처럼 마이크로 LED 주변으로 광번짐(LB, Light Blur) 현상이 나타난다. 이 때문에 마이크로 LED 픽셀별로 정확한 휘도 차이를 구분하기 어려운 것은 물론 배선이 끊긴 온/오프 불량조차 판별하기 어려워지는 문제점이 있었다.
한국공개특허공보 제10-2019-0106557호(2019.09.18.)
이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 크기는 작지만 높은 휘도를 나타내는 마이크로 LED의 촬영 시 광번짐(Light Blur) 현상을 제거하여 마이크로 LED 각 픽셀의 휘도 차이를 정확하게 측정하는 것은 물론 온/오프 불량을 발견하기가 보다 용이하도록 한 마이크로 LED 검사장치를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기술적 사상에 의한 마이크로 LED 검사장치는, 마이크로 LED의 휘도 및 온/오프 불량을 검사할 수 있도록 한 마이크로 LED 검사장치로서, 마이크로 LED로부터 조사되는 빛으로부터 휘도를 측정할 수 있도록 한 카메라; 및 마이크로 LED와 카메라 사이에 설치되어 마이크로 LED로부터 카메라로 조사되는 빛을 투과시키면서 분산되는 빛을 카메라를 향하도록 모아주는 마이크로 렌즈 어레이;를 포함하는 것을 그 기술적 구성상의 특징으로 한다.
여기서, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 마이크로 렌즈의 픽셀 피치가 마이크로 LED의 픽셀 피치와 동일한 것으로 구비된 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 마이크로 렌즈 어레이와 함께 마이크로 LED로부터 카메라로 조사되는 빛을 투과시키면서 광투과율을 감소시켜주는 광량 제어필터;를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 광량 제어필터는 위상지연판(Quarter wave plate)과, 편광자(Polarizer), 검광자(Analyzer)의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 마이크로 LED에서 조사된 빛이 상기 마이크로 렌즈 어레이를 거친 후 편광자, 위상지연판, 검광자를 순차적으로 투과할 수 있도록 배치된 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 마이크로 LED에서 조사된 빛이 편광자, 위상지연판, 검광자를 순차적으로 거친 후 상기 마이크로 렌즈 어레이를 투과할 수 있도록 배치된 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 위상지연판의 광축각도를 조절하여 광투과율을 변화시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 위상지연판은 광축각도 45도를 기준각도로 최대 광투과율 25%로 설정되며, 상기 기준각도에서 정방향 회전 및 역방향 회전에 의해 광투과율을 점진적으로 낮추어 최소 광투과율 0%로 낮출 수 있도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.
한편, 본 발명의 마이크로 LED 검사장치는 마이크로 LED로부터 조사되는 빛으로부터 휘도를 측정할 수 있도록 한 카메라; 및 마이크로 LED로부터 카메라로 조사되는 빛을 투과시키면서 광투과율을 감소시켜주는 광량 제어필터;를 포함하는 것을 기술적 사상으로 구성될 수 있다.
한편, 본 발명의 마이크로 LED 검사장치는, 제어기와 메모리가 내장되고 디스플레이가 설치된 장치본체; 상기 장치본체의 상면에 설치되며, 마이크로 LED가 상면에 로딩하는 지지패널; 상기 지지패널의 상측으로 이격을 두고 설치되어 상기 지지패널에 로딩된 마이크로 LED에서 조사되는 빛으로부터 휘도를 측정할 수 있도록 한 카메라; 마이크로 LED와 카메라 사이에 설치되어 마이크로 LED로부터 카메라로 조사되는 빛을 투과시키면서 분산되는 빛을 카메라를 향하도록 모아주는 마이크로 렌즈 어레이; 및 상기 마이크로 렌즈 어레이와 함께 마이크로 LED로부터 카메라로 조사되는 빛을 투과시키면서 광투과율을 감소시켜주는 광량 제어필터;를 포함하는 것을 그 기술적 구성상의 특징으로 할 수 있다.
여기서, 상기 마이크로 렌즈 어레이와 광량 제어필터는 이들의 외측 둘레를 감싸면서 지지하는 단관 형태의 하우징을 더 포함하여 모듈화한 필터모듈의 형태로 설치되며, 상기 하우징의 외주면에는 상기 하우징의 둘레방향과 직교한 폭 방향으로 길게 형성된 제1가이드 장공이 형성되고, 상기 하우징의 내부에 설치된 위상지연판의 측단부에 결합된 제1각도조절바가 상기 제1가이드 장공을 통해 외부로 돌출되어 상기 제1각도조절바를 상기 하우징의 폭방향으로 변위시킴으로써 상기 위상지연판의 광축각도를 조절할 수 있도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 하우징의 외주면에는 상기 하우징의 둘레방향을 따라 길게 형성된 제2가이드 장공 및 제3가이드 장공이 서로 이격을 두고 형성되고, 상기 하우징 내부에 설치된 광량 제어필터의 편광자와 검광자의 측단부에 각각 결합된 제2각도조절바와 제3각도조절바가 상기 제2가이드 장공과 제3가이드 장공을 통해 외부로 돌출되어 상기 제2각도조절바와 제3각도조절바를 상기 하우징의 둘레방향으로 변위시킴으로써 상기 편광자와 검광자 각각의 둘레방향 각도를 변화시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 필터모듈을 양편에서 탄성 지지하는 한 쌍의 가변지지대를 더 포함하며, 상기 장치본체에는, 상기 지지패널의 이동을 안내하는 하부 레일과, 상기 카메라의 이동을 안내하는 상부 레일과, 상기 가변지지대의 이동을 안내하는 중간 레일이 더 설치된 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 필터모듈을 중심으로 상측과 하측에서 상기 카메라와 마이크로 LED가 수직하게 일렬 배치된 상태에서 1차로 마이크로 LED의 휘도를 측정하고, 상기 필터모듈을 중심으로 상기 카메라와 상기 지지패널을 서로 변위시키면서 가변된 복수의 지점에서 마이크로 LED의 휘도를 추가로 측정하여 마이크로 LED의 휘도 및 온/오프 불량을 판단하는 근거자료로 활용할 수 있도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 의한 마이크로 LED 검사장치는 크기는 작지만 높은 휘도를 나타내는 마이크로 LED의 촬영 및 측정 시 광번짐(Light Blur) 현상을 제거하여 각 픽셀의 휘도 차이를 정확하게 측정하는 것은 물론 온/오프 불량을 발견하기가 보다 용이하다.
도 1a는 종래기술에 의한 마이크로 LED 검사장치를 설명하기 위한 참조도
도 2a는 종래기술에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 나타나는 광번짐 현상을 설명하기 위한 참조도
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치의 기본개념을 설명하기 위한 참조도
도 3a는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 광량 제어필터의 기능을 설명하기 위한 참조도
도 3b는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 마이크로 렌즈 어레이의 기능을 설명하기 위한 참조도
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 광량 제어필터 및 마이크로 렌즈 어레이의 복합구성에 의한 기능을 설명하기 위한 참조도
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 광량 제어필터의 위상지연판, 편광자, 검광자 및 마이크로 렌즈 어레이의 배치를 설명하기 위한 참조도
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 광량 제어필터의 구성을 설명하기 위한 구성도
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 광량 제어필터에 포함된 위상지연판의 광축각도 변화에 따른 투과율 변화를 설명하기 위한 그래프
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 마이크로 렌즈 어레이의 기능을 설명하기 위한 이미지
도 9 및 도 10은 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 마이크로 렌즈 어레이의 픽셀 피치와 마이크로 LED의 픽셀 피치가 다를 때와 동일할 때 빛의 방향성의 차이를 설명하기 위한 비교 이미지
도 11a 및 도 11b는 광량 제어필터를 통해 마이크로 LED를 촬영하여 분석한 이미지 및 데이터
도 12a 및 도 12b는 광량 제어필터를 통해 마이크로 LED를 촬영하여 생성된 이미지를 근거로 분석한 이미지 및 데이터
도 13은 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 필터모듈의 구성을 설명하기 위한 사시도
도 14는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치의 전체 구성을 설명하기 위한 사시도
첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 의한 마이크로 LED 검사장치에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.
또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
<실시예>
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치의 기본개념을 설명하기 위한 참조도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 광량 제어필터의 기능을 설명하기 위한 참조도이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에서 광량 제어필터 및 마이크로 렌즈 어레이의 복합구성에 의한 기능을 설명하기 위한 참조도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치는 광량 제어필터(130a)와 마이크로 렌즈 어레이(130b)가 조합된 복합체(130)를 마이크로 LED와 카메라(120) 중간에 위치시킨 구성에 의해 크기 않음에도 불구하고 높은 휘도를 나타내는 마이크로 LED의 촬영을 통한 휘도 측정 시 광번짐(Light Blur) 현상을 제거하여 마이크로 LED 각 픽셀의 휘도 차이를 정확하게 측정하는 것은 물론 온/오프 불량을 발견하기 용이하도록 한 것이다. 이는 마이크로 LED에서 조사되는 빛이 주변으로 혼란스럽게 분산되어 강하게 뻗어 나가려는 특성을 제어하여 빛의 세기를 줄이는 동시에 빛이 동일한 방향으로 나아가려는 평행성을 부여하여 마이크로 LED의 불량을 보다 정확하게 판단할 수 있도록 한 것이다.
아래에서는 상기 광량 제어필터(130a) 및 마이크로 렌즈 어레이(130b)를 중심으로 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치에 대해 보다 상세하게 설명하기로 한다.
상기 광량 제어필터(130a)는 도 3a에 도시된 것처럼 마이크로 LED와 카메라(120) 사이에 설치되어 마이크로 LED로부터 카메라(120)로 조사되는 빛을 투과시키면서 광투과율을 감소시켜주는 역할을 한다. 이로써 광량 제어필터(130a)를 투과한 빛은 카메라(120)를 통해 휘도를 측정하기 적당한 수준으로 빛의 세기가 감소하게 된다.
상기 광량 제어필터(130a)는 도 6에 도시된 것처럼 편광자(131)(Polarizer), 위상지연판(132)(Quarter wave plate), 검광자(133)(Analyzer)가 조합되어 이루어지며, 도 5a에 도시된 것처럼 마이크로 LED에서 조사된 빛이 상기 마이크로 렌즈 어레이(130b)를 거친 후 편광자(131), 위상지연판(132), 검광자(133)를 순차적으로 투과할 수 있도록 배치되거나, 도 5b에 도시된 것처럼 마이크로 LED에서 조사된 빛이 편광자(131), 위상지연판(132), 검광자(133)를 순차적으로 거친 후 마이크로 렌즈 어레이(130b)를 투과할 수 있도록 배치된다.
여기서 상기 위상지연판(132)의 틸팅에 의해 광축각도를 조절하여 광투과율을 변화시킬 수 있도록 한다. 즉, 위상지연판(132)은 광축각도 45도를 기준각도로 최대 광투과율 25%로 설정되며, 상기 기준각도에서 정방향 회전 및 역방향 회전에 의해 광투과율을 점진적으로 낮추어 최소 광투과율 0%로 낮출 수 있도록 한다. 이와 관련하여 도 6은 마이크로 LED에서 조사된 빛의 광투과율을 조절하기 위한 광량 제어필터(130a)의 배치를 구체적으로 나타낸 것이다. 여기서 위상지연판(132)은 틸팅에 의해 광축각도 조절이 가능하며 광축각도 조절 시 도 7의 그래프에서 볼 수 있는 것처럼 광투과율이 변화되는 특성을 나타낸다. 이때 도시된 것처럼 위상지연판(132)의 광축각도가 45도, 135도가 되면 최고 광투과율인 25%를 나타내고, 0도, 90도 180도가 되면 최소 광투과율인 0%를 나타낸다. 따라서 위상지연판(132)의 틸팅을 통한 광축각도 조절에 의해 0~25%의 범위에서 원하는 광투과율로 조절할 수 있는 것이다. 이처럼 위상지연판(132)의 광축각도 조절에 의해 마이크로 LED에서 조사된 빛의 광투과율을 변화시키는 것이 가능하기 때문에 위상지연판(132)을 최초 45도 기준각도로 세팅한 후 정방향 틸팅 또는 역방향 틸팅에 의해 광축각도를 조절해가면서 카메라(120)가 광번짐의 문제없이 마이크로 LED 각 픽셀의 휘도 차이를 선명하게 측정할 수 있게 되면 위상지연판(132)의 광축각도를 고정한 다음에 검사를 본격적으로 진행하면 된다.
상기 마이크로 렌즈 어레이(130b)는 광량 제어필터(130a)와 함께 마이크로 LED와 카메라(120) 사이에 설치되어 마이크로 LED로부터 카메라(120)로 조사되는 빛을 투과시키면서 혼잡스럽게 분산되는 빛을 모으면서 카메라(120)를 향하여 평행하게 나가도록 해주게 된다.
이같이 마이크로 렌즈 어레이(130b)가 마이크로 LED로부터 조사된 빛을 투과시키면서 평행성을 부여하고 있음을 도 8a와 도 8b를 통해 확인할 수 있다. 이처럼 마이크로 렌즈 어레이(130b)가 혼잡스럽게 분산되는 마이크로 LED의 빛을 제어하여 카메라(120)를 향하여 나가도록 제어하기 위해서는 마이크로 렌즈 어레이(130b)의 픽셀 피치(거리)와 마이크로 LED의 픽셀 피치를 동일하게 형성시키는 것이 중요하다. 이점을 첨부된 도 9와 도 10의 비교를 통해 명확히 알 수 있는데, 도 9의 경우 마이크로 렌즈 어레이(130b)의 픽셀 피치와 마이크로 LED의 픽셀 피치를 각각 300㎛와 400㎛로 다르게 한 것이며, 도 10의 경우 마이크로 렌즈 어레이(130b)의 픽셀 피치와 마이크로 LED의 픽셀 피치를 모두 300㎛로 동일하게 한 것이다. 도 9와 같이 마이크로 렌즈 어레이(130b)의 픽셀 피치와 마이크로 LED의 픽셀 피치가 다르게 형성된 경우 마이크로 LED에서 조사된 빛의 방향이 틀어져서 평행광을 이루어지지 못하고 일부는 주변으로 향하게 된다. 그러나 도 10과 같이 마이크로 렌즈 어레이(130b)의 픽셀 피치와 마이크로 LED의 픽셀 피치가 동일한 경우 마이크로 LED에서 조사된 빛이 같은 방향으로 평행하게 나아가게 되며 이는 카메라(120)에서 마이크로 엘이디를 측정할 때 광번짐 현상을 제거하는 매우 중요한 요인이 된다.
<실험예>
본 실험에서는 위상지연판(132)과 편광자(131) 및 검광자(133)로 이루어진 광량 제어필터(130a)만을 마이크로 LED와 카메라(120) 사이에 설치한 후 실험을 진행하였다. 이때 위상지연판(132)을 틸팅시켜 광축각도를 변화시키면서 마이크로 LED로부터 조사된 빛의 광투과율을 최적화하고, 이를 통해 마이크로 LED 픽셀의 휘도 불량과 On/Off 불량을 검출하는 것을 목표로 하였다. 이렇게 해서 마이크로 LED 픽셀의 휘도 불량과 On/Off 불량을 검출하는 것이 가능하게 되면 마이크로 렌즈를 함께 사용하더라도 휘도 불량과 On/Off 불량을 충분히 검출 가능하다고 할 수 있기 때문에 우선은 위상지연판(132), 편광자(131) 및 검광자(133)만으로 이루어진 광량 제어필터(130a)만을 마이크로 LED와 카메라(120) 사이에 설치한 후 실험을 진행한 것이다.
본 실험을 통해 위상지연판(132), 편광자(131) 및 검광자(133)가 조합된 광량 제어필터(130a)에 의해 광투과율이 감소된 결과를 도 11a와 도 11b를 통해 나타냈다. 도 11a와 같이 전체적으로 보면 구분이 불명료해 보일 수도 있지만, 이를 도 11b와 같이 확대하여 보면 마이크로 LED에서 결점이 발생한 픽셀의 경우 정상적인 픽셀보다 광투과율이 40~50% 작게 나타났음을 확인 가능하였으며, 이러한 데이터를 통해 불량 픽셀을 어렵지 않게 검출할 수 있었다.
한편, 도 12a의 경우 마이크로 LED로부터 조사된 빛이 위상지연판(132), 편광자(131) 및 검광자(133)가 조합된 광량 제어필터(130a)를 투과한 후 카메라(120)에서 촬영된 이미지 데이터까지 확보한 것이다. 상기 이미지 데이터에 대한 분석을 통해 결점이 발생한 두 개의 셀은 광투과율이 39.88%, 85.80%로 나타났고, 정상적인 셀은 광투과율이 98.27%로 나타났다. 만일 고객이 광투과율 40% 이상의 수준을 요구한다면 불량 셀은 광투과율이 39.88%를 나타낸 것 1개만으로 결정할 수 있을 것이다.
본 실험을 통해 살펴볼 수 있었던 위상지연판(132), 편광자(131) 및 검광자(133)가 조합되어 이루어진 광량 제어필터(130a)만으로도 마이크로 LED의 양품과 불량품을 명확히 선별 가능함을 확인할 수 있었으며, 여기에 더해 마이크로 LED의 빛을 평행하게 모아주는 마이크로 렌즈 어레이(130b)까지 조합한다면 마이크로 LED에 대한 휘도 측정과 On/Off 문제를 보다 명확하게 확인하는 것이 더 용이해져서 양품과 불량품을 선별하는데 보다 정확한 판단을 내릴 수 있을 것으로 기대된다.
계속해서 아래에서는 전술된 광량 제어필터(130a)와 마이크로 렌즈 어레이(130b)가 모듈화되어 이루어진 필터모듈(130M)과 이를 포함하는 마이크로 LED 검사장치에 대해서 설명하기로 한다.
먼저 상기 필터모듈(130M)은 도 13에 도시된 것처럼 광량 제어필터(130a)와 마이크로 렌즈 어레이(130b)의 외측 둘레를 감싸면서 지지하는 단관 형태의 하우징(134)을 더 포함하여 모듈화된 것이다. 상기 하우징(134)의 경우 일단부를 착탈 가능한 링 형태의 뚜껑(134d)으로 구성하여 광량 제어필터(130a)와 마이크로 렌즈 어레이(130b)의 설치를 편리하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 하우징(134)의 외주면에는 하우징(134)의 둘레방향과 직교한 폭 방향으로 길게 형성된 제1가이드 장공(134a)이 형성되고, 상기 하우징(134)의 내부에 설치된 위상지연판(132)의 측단부에 결합된 제1각도조절바(132a)가 상기 제1가이드 장공(134a)을 통해 외부로 돌출된다. 그리고 제1각도조절바(132a)와 직교한 방향으로 위상지연판(132)의 측단부에 결합된 위상지연판 회전축(132b)은 하우징(1343)의 외주면을 관통하여 지지된다. 이로써 제1각도조절바(132a)를 제1가이드 장공(134a)을 따라 하우징(134)의 폭방향으로 변위시킴으로써 위상지연판(132)을 틸팅시켜 광축각도를 조절할 수 있으며 이를 통해 마이크로 LED로부터 조사된 빛의 광투과율을 변화시킬 수 있게 된다. 이같은 위상지연판(132)을 통한 광투과율 조절은 카메라(120)가 마이크로 LED 각 필셀들에 대하여 광번짐 없이 가장 선명한 이미지를 얻을 수 있는 정도가 되면 그 상태를 고정시켜 활용한다.
나아가 상기 하우징(134)의 외주면에는 하우징(134)의 둘레방향을 따라 길게 형성된 제2가이드 장공(134b) 및 제3가이드 장공(134c)이 서로 이격을 두고 형성된다. 그리고 상기 하우징(134) 내부에 설치된 광량 제어필터(130a)의 편광자(131)과 검광자(133)의 측단부에 각각 결합된 제2각도조절바(131a)와 제3각도조절바(133a)가 제2가이드 장공(134b)과 제3가이드 장공(134c)을 통해 외부로 돌출된다. 이로써 제2각도조절바(131a)와 제3각도조절바(133a)를 하우징(134)의 둘레방향으로 변위시킴으로써 편광자(131)와 검광자(133)를 둘레방향으로 회전시킬 수 있게 된다. 이처럼 편광자(131)와 검광자(133)를 둘레방향을 따라 회전시키는 것이 가능하게 되면 마이크로 LED를 측정하는 카메라(120)가 보다 선명한 영상을 얻을 수 있도록 미세 조정이 가능해진다.
도 14는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치의 전체 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 LED 검사장치는 앞서 전술된 필터모듈(130M)을 비롯하여 장치본체(140), 지지패널(110), 카메라(120)를 주요 구성요소로 포함하여 이루어진다.
상기 장치본체(140)는 구조적으로는 도 14에 도시된 것처럼 다른 구성요소들을 하측에서 지지하는 베이스로서의 역할을 수행한다. 이를 위해 상기 장치본체(140)는 충분히 넓은 지지면적을 갖도록 판 형상으로 형성된다. 상기 장치본체(140)에는 장치 전반을 제어할 수 있도록 한 제어기와 메모리가 내장되어 있으며, 입력 가능한 터치패널로 구비된 디스플레이(141)와 조작버튼(142)이 설치된다. 지지패널(110) 위에 로딩된 마이크로 LED를 대상으로 측정된 휘도 및 온/오프 불량 여부와 관련된 정보들은 메모리에 저장되고 디스플레이(141)를 통해서 실시간으로 표시된다.
상기 장치본체(140)에는 지지패널(110)의 이동을 안내하는 하부 레일(151), 상기 카메라(120)의 이동을 안내하는 상부 레일(153), 필터모듈(130M)을 양편에서 탄성 지지하는 가변지지대(156a,156b)의 이동을 안내하는 중간 레일(152)이 설치된다.
상기 하부 레일(151)은 장치본체(140)의 상면에 설치되어 마이크로 LED가 로딩되는 지지패널(110)을 슬라이딩 가능하도록 지지한다. 상기 중간 레일(152)은 복수의 수직 지지체(154)에 의해 장치본체(140)의 상면에 지지된다. 상기 가변지지대(156a,156b)는 필터모듈(130M)을 지지한 상태로 중간 레일(152)을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치된다. 상기 가변지지대(156a,156b)는 필터모듈(130M)을 양편에서 탄성 지지할 수 있도록 2개 한 쌍으로 설치되며, 상기 필터모듈(130M)의 외주면을 접촉하여 양편에서 붙잡아 탄성지지할 수 있도록 한 쌍의 탄성부재(157a,157b)를 구비한다. 상기 탄성부재(157a,157b)는 고무와 같은 탄성소재로 구비될 수도 있고, 후측에서 스프링의 지지를 받으면서 서로 대향하는 방향으로 전진하려는 경향을 갖는 스프링부재로 구비될 수도 있다. 이처럼 필터모듈(130M)의 외주면을 접촉하여 안정적으로 탄성 지지하는 탄성부재(157a,157b)를 구비하고 있는 가변지지대(156a,156b)가 필터모듈(130M)을 양편에서 지지할 수 있도록 2개 한 쌍으로 구비되면 필터모듈(130M)의 형상에 대응하여 보다 안정적인 지지 및 이동이 가능해진다.
상기 상부 레일(153)은 중간 레일(152)의 상측에서 하부 레일(151)과 이격을 두고 나란히 설치되어 카메라(120)를 슬라이딩 가능하도록 지지하며, 상부 레일(153)의 경우 장치본체(140)에 설치된 프레임 어셈블리(155)에 의해 지지된다.
여기서, 상기 하부 레일(151), 중간 레일(152), 상부 레일(153)을 따라 이동하는 지지패널(110), 가변지지대(156a,156b), 카메라(120) 각각에 대하여 구동력을 제공하는 별도의 미도시된 구동수단들이 설치된다. 상기 구동수단의 경우 공압실린더가 될 수도 있고, 구동모터가 될 수도 있다. 구동모터가 설치되는 경우 중간에서 회전운동을 직선운동으로 변환하여 전달하기 위한 벨트, 체인, 폴리, 기어 등의 일반적인 동력 전달수단이 추가된다. 이같은 구동수단의 경우 공지의 기술을 활용할 수 있으므로 더 이상의 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이처럼 하부 레일(151), 중간 레일(152), 상부 레일(153)이 설치되어 마이크로 LED가 로딩되는 지지패널(110), 필터모듈(130M), 카메라(120)를 개별 이동시킬 수 있도록 구성되면, 카메라(120), 필터모듈(130M) 및 지지패널(110)이 수직하게 일렬 정렬된 상태에서만 지지패널(110)에 마이크로 LED를 로딩시킬 필요 없이 지지패널(110)만 별도로 하부 레일(151)의 단부로 이끌어낸 상태에서 마이크로 LED를 로딩시킨 다음에 필터모듈(130M)의 하측으로 이동시킬 수 있는 것이다. 그러면 측정 대상이 되는 마이크로 LED를 지지패널(110)에 로딩하는 과정에서 필터모듈(130M)을 포함하여 다른 부품들과의 간섭문제를 해소할 수 있게 된다.
또한, 카메라(120)의 경우에도 지지패널(110)과 마찬가지로 상부 레일(153)을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되기 때문에 가변지지대(156a,156b)에 지지된 필터모듈(130M)의 상측으로 이동하여 정위치에 위치하는 것이 가능하며, 마이크로 LED에 대한 휘도 측정 시 상부 레일(153)을 따라 미세하게 변위시키면서 각각의 위치에서 마이크로 LED를 입체적으로 촬영하여 마이크로 LED의 불량 여부에 대하여 보다 정확한 판단이 가능해지는 것이다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.
110: 지지패널 120: 카메라
130a: 광량 제어필터 130b: 마이크로 렌즈 어레이
130M: 필터모듈 131: 편광자
132: 위상지연판 133: 검광자
140: 장치본체 151: 하부 레일
152: 중간 레일 153: 상부 레일
156a, 156b: 가변지지대 157a, 157b: 탄성부재

Claims (17)

  1. 마이크로 LED의 휘도 및 온/오프 불량을 검사할 수 있도록 한 마이크로 LED 검사장치로서,
    마이크로 LED로부터 조사되는 빛으로부터 휘도를 측정할 수 있도록 한 카메라; 및
    마이크로 LED와 카메라 사이에 설치되어 마이크로 LED로부터 분산되어 조사되는 빛을 투과시키면서 굴절시켜 카메라를 향하도록 평행하게 모아주는 볼록 렌즈 형상의 마이크로 렌즈를 포함하는 마이크로 렌즈 어레이;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마이크로 렌즈 어레이는 마이크로 렌즈의 픽셀 피치가 마이크로 LED의 픽셀 피치와 동일한 것으로 구비된 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 마이크로 렌즈 어레이와 함께 마이크로 LED로부터 카메라로 조사되는 빛을 투과시키면서 광투과율을 감소시켜주는 광량 제어필터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 광량 제어필터는 위상지연판(Quarter wave plate)과, 편광자(Polarizer), 검광자(Analyzer)의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 마이크로 LED에서 조사된 빛이 상기 마이크로 렌즈 어레이를 거친 후 편광자, 위상지연판, 검광자를 순차적으로 투과할 수 있도록 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 마이크로 LED에서 조사된 빛이 편광자, 위상지연판, 검광자를 순차적으로 거친 후 상기 마이크로 렌즈 어레이를 투과할 수 있도록 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 위상지연판의 광축각도를 조절하여 광투과율을 변화시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 위상지연판은 광축각도 45도를 기준각도로 최대 광투과율 25%로 설정되며, 상기 기준각도에서 정방향 회전 및 역방향 회전에 의해 광투과율을 점진적으로 낮추어 최소 광투과율 0%로 낮출 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 마이크로 LED의 휘도 및 온/오프 불량을 검사할 수 있도록 한 마이크로 LED 검사장치로서,
    제어기와 메모리가 내장되고 디스플레이가 설치된 장치본체;
    상기 장치본체의 상면에 설치되며, 마이크로 LED가 상면에 로딩하는 지지패널;
    상기 지지패널의 상측으로 이격을 두고 설치되어 상기 지지패널에 로딩된 마이크로 LED에서 조사되는 빛으로부터 휘도를 측정할 수 있도록 한 카메라;
    마이크로 LED와 카메라 사이에 설치되어 마이크로 LED로부터 분산되어 조사되는 빛을 투과시키면서 굴절시켜 카메라를 향하도록 모아주는 볼록 렌즈 형상의 마이크로 렌즈를 포함하는 마이크로 렌즈 어레이; 및
    상기 마이크로 렌즈 어레이와 함께 마이크로 LED로부터 카메라로 조사되는 빛을 투과시키면서 광투과율을 감소시켜주는 광량 제어필터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 광량 제어필터는 위상지연판(Quarter wave plate)과, 편광자(Polarizer), 검광자(Analyzer)의 조합으로 이루어지며, 상기 위상지연판의 광축각도를 조절하여 광투과율을 변화시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 마이크로 렌즈 어레이와 광량 제어필터는 이들의 외측 둘레를 감싸면서 지지하는 단관 형태의 하우징을 더 포함하여 모듈화한 필터모듈의 형태로 설치되며,
    상기 하우징의 외주면에는 상기 하우징의 둘레방향과 직교한 폭 방향으로 길게 형성된 제1가이드 장공이 형성되고, 상기 하우징의 내부에 설치된 위상지연판의 측단부에 결합된 제1각도조절바가 상기 제1가이드 장공을 통해 외부로 돌출되어 상기 제1각도조절바를 상기 하우징의 폭방향으로 변위시킴으로써 상기 위상지연판의 광축각도를 조절할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 하우징의 외주면에는 상기 하우징의 둘레방향을 따라 길게 형성된 제2가이드 장공 및 제3가이드 장공이 서로 이격을 두고 형성되고, 상기 하우징 내부에 설치된 광량 제어필터의 편광자와 검광자의 측단부에 각각 결합된 제2각도조절바와 제3각도조절바가 상기 제2가이드 장공과 제3가이드 장공을 통해 외부로 돌출되어 상기 제2각도조절바와 제3각도조절바를 상기 하우징의 둘레방향으로 변위시킴으로써 상기 편광자와 검광자 각각의 둘레방향 각도를 변화시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 필터모듈을 양편에서 탄성 지지하는 한 쌍의 가변지지대를 더 포함하며,
    상기 장치본체에는, 상기 지지패널의 이동을 안내하는 하부 레일과, 상기 카메라의 이동을 안내하는 상부 레일과, 상기 가변지지대의 이동을 안내하는 중간 레일이 더 설치된 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 필터모듈을 중심으로 상측과 하측에서 상기 카메라와 마이크로 LED가 수직하게 일렬 배치된 상태에서 1차로 마이크로 LED의 휘도를 측정하고, 상기 필터모듈을 중심으로 상기 카메라와 상기 지지패널을 서로 변위시키면서 가변된 복수의 지점에서 마이크로 LED의 휘도를 추가로 측정하여 마이크로 LED의 휘도 및 온/오프 불량을 판단하는 근거자료로 활용할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사장치.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023108549A1 (en) * 2021-12-16 2023-06-22 Jade Bird Display (Shanghai) Company Inspecting tool for inspecting micro led array panel

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015233121A (ja) * 2014-06-09 2015-12-24 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 光源モジュールの不良検査方法及び光源モジュールの製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080071820A (ko) * 2007-01-31 2008-08-05 삼성전자주식회사 편광판의 광축 측정장치 및 이를 이용한 편광판의 광축측정방법
KR20110105481A (ko) * 2010-03-19 2011-09-27 티에스씨멤시스(주) 발광 다이오드 검사 장치
KR101191856B1 (ko) * 2010-09-20 2012-10-16 주식회사 프로이천 엘이디 테스트 시스템 및 이의 테스트 방법
KR101311923B1 (ko) * 2012-01-31 2013-10-14 주식회사 에타맥스 발광다이오드 테스트 모듈
US9111464B2 (en) * 2013-06-18 2015-08-18 LuxVue Technology Corporation LED display with wavelength conversion layer
KR101637493B1 (ko) * 2013-12-13 2016-07-07 (주)신안엔지니어링 엘이디 리드프레임 검사 장치
KR102038556B1 (ko) 2018-03-09 2019-10-31 주식회사 효광 마이크로 엘이디 검사장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015233121A (ja) * 2014-06-09 2015-12-24 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 光源モジュールの不良検査方法及び光源モジュールの製造方法

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