KR102554000B1 - Cryogenic pump system - Google Patents
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Abstract
크라이오 펌프 시스템는 크라이오 펌프의 1단 스테이지부 및 2단 스테이지부 각각의 온도를 측정하는 온도 측정부, 상기 2단 스테이지부의 온도가 기설정된 2단 기준 온도에 도달하는지 여부를 모니터링하는 모니터링부 및 상기 2단 스테이지부의 온도가 상기 기설정된 2단 기준 온도의 도달 시마다 상기 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 제어부를 포함한다. The cryopump system includes a temperature measuring unit for measuring the temperature of each of the first stage and the second stage of the cryopump, a monitoring unit for monitoring whether the temperature of the second stage reaches a predetermined reference temperature for the second stage, and and a control unit which increases the number of rotations of a motor of a freezer of the cryopump step by step whenever the temperature of the second stage unit reaches the preset second stage reference temperature.
Description
본 발명은 크라이오 펌프 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a cryopump system.
초저온 냉각은 반도체 제조 및 테스트 분야 등과 같은 산업분야에서 광범위하게 사용되고 있다. 여기서, 초저온은 -200℃이하의 온도를 의미할 수 있으며, 초저온을 획득하기 위한 냉각 과정은 압축기, 응축기, 팽창기 및 증발기를 포함하는 것이 통상적이며, 증발기에서 냉매가 증발되어 초저온 환경이 조성되게 된다. Cryogenic cooling is widely used in industrial fields such as semiconductor manufacturing and testing. Here, the cryogenic temperature may mean a temperature of -200 ° C or less, and the cooling process to obtain the cryogenic temperature usually includes a compressor, a condenser, an expander, and an evaporator, and the refrigerant is evaporated in the evaporator to create a cryogenic environment. .
이러한 초저온 환경을 조성하는 기술과 관련하여, 선행기술인 한국공개특허 제2020-0079062호는 초저온 냉동고를 개시하고 있다. Regarding the technology for creating such a cryogenic environment, Korean Patent Publication No. 2020-0079062, which is a prior art, discloses a cryogenic freezer.
초저온 환경을 조성하기 위해서 고진공 크라이오 펌프용 냉동기인 GM(Gifford0McMahon) 냉동기가 주로 이용되며, 이러한 크라이오 펌프용 냉동기는 크라이오 펌프의 온도가 초기에 상온에서 20K까지 낮아지는 경우, 냉동기의 모터 회전 수가 최고 rpm으로 동작하고, 크라이오 펌프의 온도가 20K 도달 이후에는 냉동기의 모터 회전 수가 약 50~60rpm에서 동작한다는 특징을 갖는다. In order to create a cryogenic environment, GM (Gifford McMahon) freezer, a freezer for high vacuum cryopumps, is mainly used. When the temperature of the cryopump is initially lowered from room temperature to 20K, the freezer motor rotates. It operates at the highest rpm, and after the temperature of the cryopump reaches 20K, the motor rotation speed of the refrigerator operates at about 50 to 60 rpm.
크라이오 펌프의 1단 스테이지부 및 2단 스테이지부 중 2단 스테이지부의 온도를 측정하고, 2단 스테이지부의 온도가 기설정된 2단 기준 온도에 도달하는지 여부를 모니터링하는 크라이오 펌프 시스템을 제공하고자 한다. It is intended to provide a cryopump system that measures the temperature of the second stage of the first stage and the second stage of the cryopump and monitors whether the temperature of the second stage reaches a preset reference temperature of the second stage. .
2단 스테이지부의 온도가 기설정된 2단 기준 온도의 도달시마다 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 크라이오 펌프 시스템을 제공하고자 한다. An object of the present invention is to provide a cryopump system that increases the number of revolutions of a motor of a freezer of a cryopump step by step whenever the temperature of a second stage unit reaches a preset second stage reference temperature.
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.However, the technical problem to be achieved by the present embodiment is not limited to the technical problems described above, and other technical problems may exist.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명의 일 실시예는, 크라이오 펌프의 1단 스테이지부 및 2단 스테이지부 각각의 온도를 측정하는 온도 측정부, 상기 2단 스테이지부의 온도가 기설정된 2단 기준 온도에 도달하는지 여부를 모니터링하는 모니터링부 및 상기 2단 스테이지부의 온도가 상기 기설정된 2단 기준 온도의 도달 시마다 상기 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 제어부를 포함하는 크라이오 펌프 시스템을 제공할 수 있다. As a means for achieving the above-described technical problem, an embodiment of the present invention provides a temperature measuring unit for measuring the temperature of each of the first stage and the second stage of a cryopump, and the temperature of the second stage Includes a monitoring unit that monitors whether a set second-stage reference temperature is reached and a control unit that increases the number of revolutions of a motor of a freezer of the cryopump step by step whenever the temperature of the second-stage unit reaches the preset second-stage reference temperature It is possible to provide a cryopump system that does.
일 실시예에 따르면, 상기 모니터링부는 상기 1단 스테이지부를 가열하는 1단부 히터가 오프(OFF)된 상태에서 상기 1단 스테이지부의 온도가 기설정된 1단 기준 온도를 유지하는지 여부를 모니터링할 수 있다. According to an embodiment, the monitoring unit may monitor whether the temperature of the first stage unit maintains a predetermined first stage reference temperature in a state in which the first stage heater for heating the first stage unit is turned off.
일 실시예에 따르면, 상기 제어부는 상기 1단부 히터가 오프된 상태에서 상기 1단 스테이지부의 온도가 상기 기설정된 1단 기준 온도를 초과 시마다 상기 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시킬 수 있다. According to an embodiment, the control unit increases the number of rotations of the motor of the freezer of the cryopump step by step whenever the temperature of the first stage exceeds the predetermined first stage reference temperature in a state in which the first stage heater is turned off. can
일 실시예에 따르면, 상기 냉동기의 초기 모터 회전 수는 40 rpm 내지 50 rpm이고, 상기 제어부는 상기 냉동기의 모터 회전 수를 80 rpm 내지 90 rpm까지 증가시킬 수 있다. According to one embodiment, the initial motor rotation speed of the refrigerator is 40 rpm to 50 rpm, and the control unit may increase the motor rotation speed of the refrigerator to 80 rpm to 90 rpm.
일 실시예에 따르면, 상기 제어부는 상기 기설정된 2단 기준 온도의 도달 시마다 상기 냉동기의 모터 회전 수를 5 rpm 내지 10 rpm 만큼 증가시킬 수 있다. According to an embodiment, the control unit may increase the rotational speed of the motor of the refrigerator by 5 rpm to 10 rpm whenever the preset second-stage reference temperature is reached.
일 실시예에 따르면, 상기 기설정된 2단 기준 온도는 17K 이상 20K 이하일 수 있다. According to an embodiment, the preset second-stage reference temperature may be 17K or more and 20K or less.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본 발명을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.The above-described means for solving the problems is only illustrative and should not be construed as limiting the present invention. In addition to the exemplary embodiments described above, there may be additional embodiments described in the drawings and detailed description.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 크라이오 펌프의 1단 스테이지부 및 2단 스테이지부 중 2단 스테이지부의 온도를 측정하고, 2단 스테이지부의 온도가 기설정된 2단 기준 온도에 도달하는지 여부를 모니터링하는 크라이오 펌프 시스템을 제공할 수 있다. According to any one of the above-mentioned means for solving the problems of the present invention, the temperature of the second stage of the first stage and the second stage of the cryopump is measured, and the temperature of the second stage is equal to the preset second stage reference temperature. It is possible to provide a cryopump system that monitors whether or not the
2단 스테이지부의 온도가 기설정된 2단 기준 온도의 도달시마다 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시킴으로써, 크라이오 펌프의 전력을 저감시킬 수 있는 크라이오 펌프 시스템을 제공할 수 있다. It is possible to provide a cryopump system capable of reducing power of the cryopump by stepwise increasing the number of revolutions of a motor of a refrigerator of the cryopump whenever the temperature of the second stage unit reaches a preset second-stage reference temperature.
종래에는 크라이오 펌프의 온도가 초기에 상온에서 20K까지 낮아지는 경우, 냉동기의 모터 회전 수가 최고 rpm으로 동작하도록 하였으나, 본 발명은 초기부터 냉동기의 모터 회전 수를 최고 rpm으로 동작하지 않도록 하고, 사용 시간 또는 가스 응축량 증가에 의해 증가하는 온도를 점진적으로 냉동기의 모터 회전 수를 증가시켜 크라이오 펌프의 성능을 유지하면서도 전력을 저감시킬 수 있도록 하는 크라이오 펌프 시스템을 제공할 수 있다. Conventionally, when the temperature of the cryopump is initially lowered from room temperature to 20K, the motor rotation speed of the refrigerator is operated at the highest rpm, but in the present invention, the motor rotation speed of the refrigerator is not operated at the highest rpm from the beginning It is possible to provide a cryopump system capable of reducing power while maintaining performance of the cryopump by gradually increasing the rotational speed of the motor of the refrigerator as the temperature increases with time or an increase in gas condensation amount.
본 발명은 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 초기 40rpm으로 낮게 동작하도록 하여 전력을 저감시킬 수 있는 크라이오 펌프 시스템을 제공할 수 있다.The present invention may provide a cryopump system capable of reducing power by operating the motor rotation speed of a refrigerator of the cryopump at a low initial speed of 40 rpm.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템을 도시한 예시적인 도면이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수의 변화에 따른 1단 스테이지부 및 2단 스테이지부의 온도 및 냉각 효율에 대한 상관 관계를 설명하기 위한 예시적인 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템에서 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 방법의 순서도이다.1 is an exemplary diagram illustrating a cryopump system according to an embodiment of the present invention.
2A to 2C are examples for explaining a correlation between temperatures and cooling efficiencies of a first-stage unit and a second-stage unit according to a change in motor rotation speed of a freezer of a cryopump according to an embodiment of the present invention; it is a drawing
3 is a flowchart of a method of stepwise increasing the number of revolutions of a motor of a refrigerator of a cryopump in a cryopump system according to an embodiment of the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice the present invention with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. And in order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. Throughout the specification, when a part is said to be "connected" to another part, this includes not only the case where it is "directly connected" but also the case where it is "electrically connected" with another element interposed therebetween. . In addition, when a part "includes" a certain component, this means that it may further include other components, not excluding other components, unless otherwise stated, and one or more other characteristics. However, it should be understood that it does not preclude the possibility of existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
본 명세서에 있어서 '부(部)'란, 하드웨어에 의해 실현되는 유닛(unit), 소프트웨어에 의해 실현되는 유닛, 양방을 이용하여 실현되는 유닛을 포함한다. 또한, 1 개의 유닛이 2 개 이상의 하드웨어를 이용하여 실현되어도 되고, 2 개 이상의 유닛이 1 개의 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.In this specification, a "unit" includes a unit realized by hardware, a unit realized by software, and a unit realized using both. Further, one unit may be realized using two or more hardware, and two or more units may be realized by one hardware.
본 명세서에 있어서 단말 또는 디바이스가 수행하는 것으로 기술된 동작이나 기능 중 일부는 해당 단말 또는 디바이스와 연결된 서버에서 대신 수행될 수도 있다. 이와 마찬가지로, 서버가 수행하는 것으로 기술된 동작이나 기능 중 일부도 해당 서버와 연결된 단말 또는 디바이스에서 수행될 수도 있다.In this specification, some of the operations or functions described as being performed by a terminal or device may be performed instead by a server connected to the terminal or device. Likewise, some of the operations or functions described as being performed by the server may also be performed in a terminal or device connected to the corresponding server.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템을 도시한 예시적인 도면이다. 도 1을 참조하면, 크라이오 펌프 시스템(100)은 크라이오 펌프(110), 온도 측정부(120), 모니터링부(130) 및 제어부(150)를 포함할 수 있다. 1 is an exemplary diagram illustrating a cryopump system according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1 , the cryopump system 100 may include a cryopump 110, a temperature measuring unit 120, a monitoring unit 130, and a control unit 150.
크라이오 펌프(110)는 냉동기(111), 1단 스테이지부(112), 1단 히터(113), 2단 스테이지부(114), 2단 히터(115)를 포함할 수 있다. The cryopump 110 may include a refrigerator 111 , a first stage unit 112 , a first stage heater 113 , a second stage unit 114 , and a second stage heater 115 .
크라이오 펌프(110)는 냉각 공정에서 냉동기(111)를 이용하여 1단 스테이지부(112) 및 2단 스테이지부(114)가 실린더 내를 왕복 운동하면서 내부의 헬륨(He) 가스를 팽창시키도록 하는 냉각 원리를 이용하여 초저온 환경을 조성할 수 있다. 이러한 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)는 모터의 회전수가 빠를수록 냉동 능력이 좋고, 모터의 회전수가 느릴수록 냉동 능력이 나빠진다는 특징을 갖는다. The cryopump 110 uses the refrigerator 111 in the cooling process so that the first stage unit 112 and the second stage unit 114 reciprocate inside the cylinder to expand the helium (He) gas inside. It is possible to create a cryogenic environment using the cooling principle. The refrigerator 111 of the cryopump 110 has a characteristic in that the faster the rotation speed of the motor is, the better the refrigeration capacity is, and the slower the rotation speed of the motor is, the worse the refrigeration capacity is.
크라이오 펌프(110)는 냉각 공정에서 1단 히터(113)를 이용하여 1단 스테이지부(112)의 온도를 승온시키고, 2단 히터(115)를 이용하여 2단 스테이지부(114)의 온도를 승온시킬 수 있다. 이는, 1단 스테이지부(112) 및 2단 스테이지부(114)의 온도를 유지시키기 위함이다. In the cooling process, the cryopump 110 raises the temperature of the first stage unit 112 using the first stage heater 113 and uses the second stage heater 115 to increase the temperature of the second stage unit 114. can raise the temperature. This is to maintain the temperature of the first stage unit 112 and the second stage unit 114 .
온도 측정부(120)는 크라이오 펌프(110)의 1단 스테이지부(112) 및 2단 스테이지부(114) 각각의 온도를 측정할 수 있다. 예를 들어, 온도 측정부(120)는 제 1 온도 센서(1단 스테이지부에 존재, 미도시)를 이용하여 1단 스테이지부(112)의 온도를 측정하고, 제 2 온도 센서(2단 스테이지부에 존재, 미도시)를 이용하여 2단 스테이지부(112)의 온도를 측정할 수 있다. The temperature measurement unit 120 may measure the temperature of each of the first stage unit 112 and the second stage unit 114 of the cryopump 110 . For example, the temperature measurement unit 120 measures the temperature of the first stage unit 112 using a first temperature sensor (existing in the first stage unit, not shown), and then measures the temperature of the second temperature sensor (second stage unit). The temperature of the second stage unit 112 may be measured using the presence in the unit (not shown).
모니터링부(130)는 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)에 도달하는지 여부를 모니터링할 수 있다. 여기서, 기설정된 2단 기준 온도(T2)는 17K 이상 20K 이하일 수 있다. The monitoring unit 130 may monitor whether the temperature of the second stage unit 114 reaches a predetermined second stage reference temperature T2. Here, the preset second-stage reference temperature T2 may be 17K or more and 20K or less.
예를 들어, 모니터링부(130)는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)가 초기 모터 회전 수인 40 rpm 내지 50 rpm으로 동작하는 경우, 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)인 17K 이상 20K 이하인지 여부를 모니터링할 수 있다. For example, when the refrigerator 111 of the cryopump 110 operates at 40 rpm to 50 rpm, which is the initial motor rotation speed, the monitoring unit 130 monitors the temperature of the second stage unit 114 to set the second stage. Whether or not the reference temperature T2 is 17K or more and 20K or less can be monitored.
일반적으로, 크라이오 펌프(110)는 재생 공정 이후, 깨끗해진 상태에서 동작하기 시작할 때 가장 낮은 온도로 유지되고, 이후 가스가 내부에 응축될수록 2단 스테이지부(114)의 온도가 서서히 증가하는 현상이 발생되는 특징을 갖는다. 예를 들어, 공정 가스를 사용하거나, 진공 유지 시간이 길어지면서, 1단 스테이지부(112)의 흡착판(배플, Baffle) 또는 2단부 스테이지부(114)의 흡착판(어레이, Array)에 얼음이 두꺼워짐에 따라 2단 스테이지부(114)의 온도가 상승하므로, 모니터링부(130)는 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)에 도달하는지 여부를 모니터링할 수 있다. In general, the cryopump 110 is maintained at the lowest temperature when it starts to operate in a clean state after the regeneration process, and then the temperature of the second stage unit 114 gradually increases as gas is condensed therein. It has a characteristic that occurs. For example, as the process gas is used or the vacuum holding time is long, the ice is thick on the adsorption plate (baffle) of the 1st stage part 112 or the adsorption plate (array) of the 2nd stage part 114. Since the temperature of the second stage unit 114 increases as the temperature increases, the monitoring unit 130 may monitor whether the temperature of the second stage unit 114 reaches the preset second stage reference temperature T2. .
모니터링부(130)는 1단 스테이지부(112)를 가열하는 1단부 히터(113)가 오프(OFF)된 상태에서 1단 스테이지부(112)의 온도가 기설정된 1단 기준 온도를 유지하는지 여부를 모니터링할 수 있다. 여기서, 기설정된 1단 기준 온도는 50K 내지 100K일 수 있다. The monitoring unit 130 determines whether the temperature of the first stage unit 112 maintains the preset first stage reference temperature in a state in which the first stage heater 113 for heating the first stage unit 112 is turned off. can be monitored. Here, the preset first-stage reference temperature may be 50K to 100K.
1단 스테이지부(112)의 온도는 일반적으로 최저 도달 온도인 예를 들어, 35K으로 이용되며, 제어부(140)에 의해 공정에 따라 1단부 히터(113)로 1단 스테이지부(112)의 온도가 50K 내지 100K로 유지되는 특성을 가지며, 모니터링부(130)는 이에 기초하여 1단 스테이지부(112)의 온도가 기설정된 1단 기준 온도(T1)를 유지하는지 여부를 모니터링할 수 있다. The temperature of the first stage unit 112 is generally used as the lowest temperature reached, for example, 35K, and the temperature of the first stage unit 112 is transferred to the first stage heater 113 according to the process by the control unit 140. is maintained at 50K to 100K, and the monitoring unit 130 may monitor whether or not the temperature of the first-stage stage unit 112 maintains the preset first-stage reference temperature T1 based on this.
제어부(140)는 모니터링부(130)로부터 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)의 도달하는 경우와 1단 스테이지부(112)를 가열하는 1단부 히터(113)가 오프된 상태에서 1단 스테이지부(112)의 온도가 기설정된 1단 기준 온도(T1)가 미유지될 경우 중 어느 하나가 달성될 때마다 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 증가시킬 수 있다. The control unit 140 controls the first stage heater 113 for heating the first stage unit 112 when the temperature of the second stage unit 114 from the monitoring unit 130 reaches the preset second stage reference temperature T2. ) is turned off, the temperature of the freezer 111 of the cryopump 110 whenever one of the cases in which the preset first-stage reference temperature T1 is not maintained is reached. The number of revolutions of the motor can be increased.
제어부(140)는 냉각 공정에서 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 초기 모터 회전 수에 기초하여 크라이오 펌프(110)를 동작시킬 수 있다. 여기서, 냉동기(111)의 초기 모터 회전 수는 40 rpm 내지 50 rpm일 수 있다. The control unit 140 may operate the cryopump 110 based on the initial rotational speed of the motor of the freezer 111 of the cryopump 110 in the cooling process. Here, the initial rotation speed of the motor of the refrigerator 111 may be 40 rpm to 50 rpm.
이는, 제어부(140)는 초기 모터 회전 수를 40 rpm 내지 50 rpm을 사용함으로써, 종래와 같이 초기 모터 회전 수를 최고 모터 회전 수로 사용하지 않아 전력을 저감시킬 수 있는 효과를 제공할 수 있다. By using the initial motor rotation speed of 40 rpm to 50 rpm, the control unit 140 may provide an effect of reducing power by not using the initial motor rotation speed as the maximum motor rotation speed as in the prior art.
제어부(140)는 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)의 도달시마다 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시킬 수 있다. 예를 들어, 제어부(140)는 기설정된 2단 기준 온도(T2)의 도달 시마다 냉동기(111)의 모터 회전 수를 5 rpm 내지 10 rpm 만큼 증가시킴으로써, 냉동기(111)의 모터 회전 수를 80 rpm 내지 90 rpm까지 점진적으로 증가시킬 수 있다. The control unit 140 may increase the number of revolutions of the motor of the freezer 111 of the cryopump 110 step by step whenever the temperature of the second stage unit 114 reaches the preset second stage reference temperature T2. For example, the control unit 140 increases the motor rotation speed of the refrigerator 111 by 5 rpm to 10 rpm whenever the preset second-stage reference temperature T2 is reached, thereby increasing the motor rotation speed of the refrigerator 111 to 80 rpm. to 90 rpm.
예를 들어, 제어부(140)는 재생 공정 이후, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)를 초기 모터 회전 수 40 rpm에 동작시킨다고 가정하자. 이후, 제어부(140)는 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)에 1회 도달한 경우, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 10 rpm 만큼 증가된 50 rpm으로 증가시킬 수 있다. 이후, 제어부(140)는 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)에 2회 도달한 경우, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 10 rpm 만큼 증가된 60 rpm 으로 증가시킬 수 있다. 이후, 제어부(140)는 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)에 3회 도달한 경우, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 10 rpm 만큼 증가된 70 rpm으로 증가시킬 수 있다. 이러한 과정을 통해, 제어부(140)는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 90 rpm까지 증가시킬 수 있다.For example, it is assumed that the control unit 140 operates the refrigerator 111 of the cryopump 110 at an initial motor rotation speed of 40 rpm after the regeneration process. Then, when the temperature of the second stage unit 114 reaches the preset second stage reference temperature T2 once, the control unit 140 sets the number of revolutions of the motor of the freezer 111 of the cryopump 110 to 10. It can be increased to 50 rpm, which is increased by rpm. Then, when the temperature of the second stage unit 114 reaches the preset second stage reference temperature T2 twice, the control unit 140 sets the number of revolutions of the motor of the refrigerator 111 of the cryopump 110 to 10. It can be increased to 60 rpm, which is increased by rpm. Then, when the temperature of the second stage unit 114 reaches the preset second stage reference temperature T2 three times, the control unit 140 sets the number of rotations of the motor of the freezer 111 of the cryopump 110 to 10. It can be increased to 70 rpm, which is increased by rpm. Through this process, the control unit 140 may increase the rotation speed of the motor of the freezer 111 of the cryopump 110 to 90 rpm.
이를 통해, 제어부(140)는 2단 스테이지부(114)의 온도가 상승하여 기설정된 2단 기준 온도(T2)에 도달하면, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터의 회전 수를 차츰 증가시킴으로써, 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도로 유지되도록 할 수 있다. Through this, the control unit 140 determines the number of revolutions of the motor of the refrigerator 111 of the cryopump 110 when the temperature of the second stage unit 114 rises and reaches the preset second stage reference temperature T2. By gradually increasing, the temperature of the second stage unit 114 can be maintained at the preset second stage reference temperature.
제어부(140)는 1단부 히터(113)가 오프(Off)된 상태에서 1단 스테이지부(112)의 온도가 기설정된 1단 기준 온도(T1)를 초과 시마다 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시킬 수 있다.The control unit 140 controls the cryopump 110's freezer ( 111) can increase the number of rotations of the motor step by step.
예를 들어, 제어부(140)는 기설정된 1단 기준 온도(T1)를 유지하기 위해서는 1단 스테이지부(112)의 온도를 상승시켜야 하므로, 1단부 히터(113)를 이용하여 1단 스테이지부(112)를 기설정된 1단 기준 온도(T1)로 유지시킬 수 있다. For example, since the controller 140 needs to raise the temperature of the first stage unit 112 to maintain the preset first stage reference temperature T1, the first stage unit (113) is used to 112) may be maintained at the preset first stage reference temperature T1.
이후, 모니터링부(130)는 크라이오 펌프(110)의 장기 사용 시, 냉각 용량의 부하가 커져 1단부 히터(113)를 오프시켜도 기설정된 1단 기준 온도(T1)를 유지하는지를 모니터링하고, 1단 스테이지부(112)의 온도가 기설정된 1단 기준 온도(T1)로 미유지된 경우, 제어부(140)는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 점차 증가시킬 수 있다. Thereafter, the monitoring unit 130 monitors whether the predetermined first-stage reference temperature T1 is maintained even when the first-stage heater 113 is turned off due to an increased cooling capacity load when the cryopump 110 is used for a long time, and 1 However, when the temperature of the stage unit 112 is not maintained at the preset first stage reference temperature T1, the control unit 140 may gradually increase the rotation speed of the motor of the refrigerator 111 of the cryopump 110. .
예를 들어, 제어부(140)는 1단부 히터(113)를 오프시킨 상태에서, 1단 스테이지부(112)의 온도가 기설정된 1단 기준 온도(T1)로 1회 미유지된 경우, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 10 rpm 만큼 증가된 50 rpm으로 증가시킬 수 있다. 이후, 제어부(140)는 1단 스테이지부(112)를 가열하는 1단부 히터(113)를 동작시킨 후, 1단부 히터(113)가 오프(OFF)된 상태에서 1단 스테이지부(112)의 온도가 기설정된 1단 기준 온도(T2)로 2회 미유지된 경우, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 10 rpm 만큼 증가된 60 rpm으로 증가시킬 수 있다. 이후, 제어부(140)는 1단 스테이지부(112)를 가열하는 1단부 히터(113)를 동작시킨 후, 1단부 히터(113)가 오프(OFF)된 상태에서 1단 스테이지부(112)의 온도가 기설정된 1단 기준 온도(T2)로 3회 미유지된 경우, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 10 rpm 만큼 증가된 70 rpm으로 증가시킬 수 있다. 이러한 과정을 통해, 제어부(140)는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 90 rpm까지 증가시킬 수 있다. For example, when the temperature of the first stage unit 112 is not maintained at the preset first stage reference temperature T1 once in a state in which the first stage heater 113 is turned off, the controller 140 controls the cryostat. The rotation speed of the motor of the refrigerator 111 of the pump 110 may be increased to 50 rpm, which is increased by 10 rpm. Thereafter, the control unit 140 operates the first stage heater 113 for heating the first stage unit 112, and then operates the first stage heater 113 in a state in which the first stage heater 113 is turned off. When the temperature is not maintained at the preset first-stage reference temperature T2 twice, the rotation speed of the motor of the refrigerator 111 of the cryopump 110 may be increased to 60 rpm, which is increased by 10 rpm. Thereafter, the control unit 140 operates the first stage heater 113 for heating the first stage unit 112, and then operates the first stage heater 113 in a state in which the first stage heater 113 is turned off. When the temperature is not maintained at the preset first-stage reference temperature T2 three times, the rotation speed of the motor of the freezer 111 of the cryopump 110 may be increased to 70 rpm, which is increased by 10 rpm. Through this process, the control unit 140 may increase the rotation speed of the motor of the refrigerator 111 of the cryopump 110 to 90 rpm.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수의 변화에 따른 1단 스테이지부 및 2단 스테이지부의 온도 및 냉각 효율에 대한 상관 관계를 설명하기 위한 예시적인 도면이다. 2A to 2C are examples for explaining a correlation between temperatures and cooling efficiencies of a first-stage unit and a second-stage unit according to a change in motor rotation speed of a freezer of a cryopump according to an embodiment of the present invention; it is a drawing
도 2a는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수의 증가에 따른 1단 스테이지부(112) 및 2단 스테이지부(114)의 온도 및 냉각 용량에 대한 표를 도시한 것이고, 도 2b는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모든 모터 회전 수에 대한 1단 스테이지부(112) 및 2단 스테이지부(114)의 냉각 용량 그래프(210)를 도시한 것이다.2A is a table showing the temperature and cooling capacity of the first stage unit 112 and the second stage unit 114 according to the increase in the number of rotations of the motor of the refrigerator 111 of the cryopump 110, FIG. 2B is a graph 210 of the cooling capacities of the first stage unit 112 and the second stage unit 114 with respect to the number of revolutions of all motors of the refrigerator 111 of the cryopump 110 .
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 냉각 공정 초기에는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수(200)를 40 rpm으로 설정하여 크라이오 펌프(110)를 동작시킬 수 있다. 종래에는 냉각 공정 초기에 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수(200)가 최고 모터 회전 수로 이용되었으나, 본 발명은 종래 대비 낮은 모터 회전 수(200)를 이용함으로써, 모터의 소비 전력을 감소시키는 효과를 제공할 수 있다. Referring to FIGS. 2A and 2B , at the beginning of the cooling process, the cryopump 110 may be operated by setting the motor rotation speed 200 of the refrigerator 111 of the cryopump 110 to 40 rpm. In the prior art, the motor rotation speed 200 of the refrigerator 111 of the cryopump 110 was used as the maximum motor rotation speed at the beginning of the cooling process, but the present invention uses a lower motor rotation speed 200 compared to the prior art, so that the motor An effect of reducing power consumption may be provided.
크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수(200)를 40 rpm 내지 90 rpm으로 변화시킨 경우, 1단 스테이지부(112)의 냉각 용량은 75W 내지 105W까지 증가하였으나, 2단 스테이지부(114)의 냉각 용량은 9W 내지 10W로 큰 변화가 나타나지 않는 것을 확인할 수 있다. 이로부터 2단 스테이지부(114)의 냉각 용량이 중요한 크라이오 펌프에 있어서 모터 회전 수(200)를 40 rpm 부터 점진적으로 증가시키더라도 냉각 성능에 큰 차이가 없다는 것을 알 수 있다. 따라서, 온도에 따른 냉동기 모터 회전 수의 제어는 1단부 온도 변화에 영향을 크게 받을 것이며, 이는 재생 후, 사용 초기에는 낮은 모터 회전수로도 운용이 가능함을 의미하며, 모터의 소비 전력을 감소시키는 효과를 제공할 수 있다.When the rotation speed 200 of the refrigerator 111 of the cryopump 110 is changed from 40 rpm to 90 rpm, the cooling capacity of the first stage unit 112 increases from 75 W to 105 W, but the second stage stage It can be seen that the cooling capacity of the unit 114 does not change significantly from 9W to 10W. From this, it can be seen that in a cryopump in which the cooling capacity of the second stage unit 114 is important, there is no significant difference in cooling performance even when the motor rotation speed 200 is gradually increased from 40 rpm. Therefore, the control of the number of rotations of the refrigerator motor according to the temperature will be greatly affected by the change in the temperature of the first end, which means that it can be operated with a low number of rotations of the motor at the beginning of use after regeneration, and the effect of reducing the power consumption of the motor can provide.
도 2c는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수(200) 증가에 따른 1단 스테이지부(112) 및 2단 스테이지부(114)의 냉각 용량 그래프를 도시한 것이다.FIG. 2C is a graph showing the cooling capacities of the first stage unit 112 and the second stage unit 114 according to the increase in the number of rotations of the motor 200 of the refrigerator 111 of the cryopump 110 .
도 2c를 참조하면, 일반적으로 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수(200)가 빠를수록 냉동능력이 좋고, 느릴수록 냉동능력이 나빠진다는 특징을 가지며, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수(200)가 50 rpm, 70 rpm, 90 rpm으로 각각 증가된 경우, 1단 스테이지부(112) 및 2단 스테이지부(114)의 냉각 용량이 점차 우측 상단으로 이동하여 냉각 능력이 향상되는 것을 확인할 수 있다. 40 rpm으로 운용해도 1단부는 80W 이상, 2단부는 9W 이상의 성능을 나타내기 때문에, 크라이오펌프의 배기성능에도 영향을 주지 않는다.Referring to FIG. 2C , in general, the faster the motor rotation speed 200 of the freezer 111 of the cryopump 110 is, the better the cooling capacity is, and the slower it is, the worse the cooling capacity is. The cryopump 110 ) When the motor rotation speed 200 of the refrigerator 111 is increased to 50 rpm, 70 rpm, and 90 rpm, respectively, the cooling capacities of the first stage unit 112 and the second stage unit 114 gradually increase in the upper right corner. It can be seen that the cooling capacity is improved by moving to . Even if operated at 40 rpm, the first stage shows more than 80W and the second stage shows more than 9W performance, so it does not affect the exhaust performance of the cryopump.
종래에는 크라이오 펌프(110)의 초기 공정에서, 상온에서 20K로 낮추는 경우 모터 최고 회전 수(200)를 이용하여 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)를 제어하고, 이후 크라이오 펌프(110)의 온도가 20K에 도달한 경우, 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 약 50 rpm 내지 60 rpm으로 동작하도록 하였다. Conventionally, in the initial process of the cryopump 110, when the temperature is lowered from room temperature to 20K, the refrigerator 111 of the cryopump 110 is controlled using the maximum rotation speed of the motor 200, and then the cryopump 110 ) reached 20K, the rotation speed of the motor of the refrigerator 111 of the cryopump 110 was operated at about 50 rpm to 60 rpm.
그러나 본 발명은 크라이오 펌프(110)가 모터 초기 회전 수로부터 단계적으로 최고 회전 수로 동작함으로써, 전력 절감 효과를 제공할 수 있다.However, in the present invention, the cryopump 110 operates from the initial rotational speed of the motor to the highest rotational speed step by step, thereby providing a power saving effect.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템에서 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 방법의 순서도이다. 도 3에 도시된 크라이오 펌프 시스템(100)에서 수행되는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 방법은 도 1 내지 도 2c에 도시된 실시예에 따라 시계열적으로 처리되는 단계들을 포함한다. 따라서, 이하 생략된 내용이라고 하더라도 도 1 내지 도 2c에 도시된 실시예에 따라 크라이오 펌프 시스템(100)에서 수행되는 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 방법에도 적용된다. 3 is a flowchart of a method of stepwise increasing the number of revolutions of a motor of a refrigerator of a cryopump in a cryopump system according to an embodiment of the present invention. A method of stepwise increasing the number of revolutions of the motor of the freezer 111 of the cryopump 110 performed in the cryopump system 100 shown in FIG. 3 is clockwise according to the embodiments shown in FIGS. 1 to 2C Including steps that are thermally treated. Therefore, even if the contents are omitted below, the number of revolutions of the motor of the refrigerator 111 of the cryopump 110 performed in the cryopump system 100 is increased step by step according to the embodiment shown in FIGS. 1 to 2C. method is also applied.
단계 S310에서 크라이오 펌프 시스템(100)은 크라이오 펌프(110)의 1단 스테이지부(112) 및 2단 스테이지부(114) 중 2단 스테이지부(114)의 온도를 측정할 수 있다. In step S310, the cryopump system 100 may measure the temperature of the second stage unit 114 among the first stage unit 112 and the second stage unit 114 of the cryopump 110.
단계 S320에서 크라이오 펌프 시스템(100)은 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)에 도달하는지 여부를 모니터링할 수 있다. In step S320, the cryopump system 100 may monitor whether the temperature of the second stage unit 114 reaches the preset second stage reference temperature T2.
단계 S330에서 크라이오 펌프 시스템(100)은 2단 스테이지부(114)의 온도가 기설정된 2단 기준 온도(T2)의 도달 시마다 크라이오 펌프(110)의 냉동기(111)의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시킬 수 있다. In step S330, the cryopump system 100 gradually increases the rotational speed of the motor of the refrigerator 111 of the cryopump 110 whenever the temperature of the second stage unit 114 reaches the preset second stage reference temperature T2. can be increased to
상술한 설명에서, 단계 S310 내지 S330는 본 발명의 구현예에 따라서, 추가적인 단계들로 더 분할되거나, 더 적은 단계들로 조합될 수 있다. 또한, 일부 단계는 필요에 따라 생략될 수도 있고, 단계 간의 순서가 전환될 수도 있다.In the above description, steps S310 to S330 may be further divided into additional steps or combined into fewer steps, depending on the implementation of the present invention. Also, some steps may be omitted as needed, and the order of steps may be switched.
도 1 내지 도 3을 통해 설명된 크라이오 펌프 시스템에서 수행되는 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 방법은 컴퓨터에 의해 실행되는 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램 또는 컴퓨터에 의해 실행 가능한 명령어를 포함하는 기록 매체의 형태로도 구현될 수 있다. 또한, 도 1 내지 도 3을 통해 설명된 크라이오 펌프 시스템에서 수행되는 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 방법은 컴퓨터에 의해 실행되는 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램의 형태로도 구현될 수 있다. The method of stepwise increasing the number of revolutions of a motor of a freezer of a cryopump performed in the cryopump system described with reference to FIGS. 1 to 3 is a computer program stored in a medium executed by a computer or instructions executable by the computer. It may also be implemented in the form of a recording medium including In addition, the method of stepwise increasing the number of revolutions of the motor of the freezer of the cryopump performed in the cryopump system described with reference to FIGS. 1 to 3 may be implemented in the form of a computer program stored in a medium executed by a computer. can
컴퓨터 판독 가능 매체는 컴퓨터에 의해 액세스될 수 있는 임의의 가용 매체일 수 있고, 휘발성 및 비휘발성 매체, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 또한, 컴퓨터 판독가능 매체는 컴퓨터 저장 매체를 포함할 수 있다. 컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 기타 데이터와 같은 정보의 저장을 위한 임의의 방법 또는 기술로 구현된 휘발성 및 비휘발성, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. Computer readable media can be any available media that can be accessed by a computer and includes both volatile and nonvolatile media, removable and non-removable media. Also, computer readable media may include computer storage media. Computer storage media includes both volatile and nonvolatile, removable and non-removable media implemented in any method or technology for storage of information such as computer readable instructions, data structures, program modules or other data.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다. The above description of the present invention is for illustrative purposes, and those skilled in the art can understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, the embodiments described above should be understood as illustrative in all respects and not limiting. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the detailed description above, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention. do.
100: 크라이오 펌프 시스템
110: 크라이오 펌프
111: 냉동기
112: 1단 스테이지부
113: 1단부 히터
114: 2단 스테이지부
115: 2단부 히터
120: 온도 측정부
130: 모니터링부
140: 제어부100: cryopump system
110: cryopump
111: freezer
112: first stage stage
113: first end heater
114: 2nd stage part
115: 2nd end heater
120: temperature measuring unit
130: monitoring unit
140: control unit
Claims (6)
크라이오 펌프의 1단 스테이지부 및 2단 스테이지부 각각의 온도를 측정하는 온도 측정부;
상기 2단 스테이지부의 온도가 기설정된 2단 기준 온도에 도달하는지 여부를 모니터링하는 모니터링부; 및
상기 2단 스테이지부의 온도가 상기 기설정된 2단 기준 온도의 도달 시마다 상기 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 제어부;
를 포함하는, 크라이오 펌프 시스템.
In the cryopump system,
a temperature measuring unit for measuring the temperature of each of the first stage and the second stage of the cryopump;
a monitoring unit for monitoring whether or not the temperature of the second-stage unit reaches a preset second-stage reference temperature; and
a control unit which increases the number of revolutions of the motor of the freezer of the cryopump step by step whenever the temperature of the second stage unit reaches the preset second stage reference temperature;
A cryopump system comprising a.
상기 모니터링부는 상기 1단 스테이지부를 가열하는 1단부 히터가 오프(OFF)된 상태에서 상기 1단 스테이지부의 온도가 기설정된 1단 기준 온도를 유지하는지 여부를 모니터링하는 것인, 크라이오 펌프 시스템.
According to claim 1,
The cryopump system of claim 1 , wherein the monitoring unit monitors whether or not the temperature of the first stage unit maintains a predetermined first stage reference temperature in a state in which a first stage heater for heating the first stage unit is turned off.
상기 제어부는 상기 1단부 히터가 오프된 상태에서 상기 1단 스테이지부의 온도가 상기 기설정된 1단 기준 온도를 초과 시마다 상기 크라이오 펌프의 냉동기의 모터 회전 수를 단계적으로 증가시키는 것인, 크라이오 펌프 시스템.
According to claim 2,
Wherein the control unit increases the number of revolutions of a motor of a freezer of the cryopump step by step whenever a temperature of the first stage unit exceeds the preset first stage reference temperature in a state in which the first stage heater is turned off. system.
상기 냉동기의 초기 모터 회전 수는 40 rpm 내지 50 rpm이고,
상기 제어부는 상기 냉동기의 모터 회전수를 80 rpm 내지 90 rpm까지 증가시키는 것인, 크라이오 펌프 시스템.
According to claim 1,
The initial motor rotation speed of the refrigerator is 40 rpm to 50 rpm,
The cryopump system of claim 1 , wherein the control unit increases the rotational speed of the motor of the refrigerator to 80 rpm to 90 rpm.
상기 제어부는 상기 기설정된 2단 기준 온도의 도달 시마다 상기 냉동기의 모터 회전 수를 5 rpm 내지 10 rpm 만큼 증가시키는 것인, 크라이오 펌프 시스템.
According to claim 1,
The cryopump system of claim 1 , wherein the control unit increases a rotation speed of a motor of the refrigerator by 5 rpm to 10 rpm whenever the preset second-stage reference temperature is reached.
상기 기설정된 2단 기준 온도는 17K 이상 20K 이하인 것인, 크라이오 펌프 시스템.According to claim 1,
The cryopump system, wherein the preset second-stage reference temperature is greater than or equal to 17K and less than or equal to 20K.
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