KR102552246B1 - Conveying system using linear motor and Operating method thereof - Google Patents

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스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명에 의하면, 상품가치를 높인 리니어모터반송시스템을 제공한다.
리니어모터반송시스템(100)은, 리니어모터(12)에 의하여 구동되는 캐리어(10)와, 소정의 경로(P)를 따라 배치되는 복수의 센서(18)와, 리니어모터(12)를 제어하여, 캐리어(10)를 경로(P)를 따라 이동시키는 제어장치(20)를 구비한다. 제어장치(20)는, 복수의 센서(18) 중의, 출력을 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를, 캐리어(10)의 이동에 따라 복수의 센서(18) 내에서 전환한다.
According to the present invention, a linear motor conveying system with increased product value is provided.
The linear motor transport system 100 controls a carrier 10 driven by a linear motor 12, a plurality of sensors 18 disposed along a predetermined path P, and the linear motor 12 , and a control device 20 for moving the carrier 10 along the path P. The control device 20 switches among the plurality of sensors 18 a reference sensor whose output is used to specify the position of the carrier in the plurality of sensors 18 according to the movement of the carrier 10 .

Figure R1020210037026
Figure R1020210037026

Description

리니어모터반송시스템 및 그 운용방법{Conveying system using linear motor and Operating method thereof}Linear motor conveying system and operating method thereof {Conveying system using linear motor and operating method thereof}

본 출원은 2020년 8월 28일에 출원된 일본 특허출원 제2020-144625호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 전체 내용은 이 명세서 중에 참고로 원용되어 있다.This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2020-144625 filed on August 28, 2020. The entire content of that application is incorporated herein by reference.

본 발명은, 리니어모터반송시스템 및 그 운용방법에 관한 것이다.The present invention relates to a linear motor conveying system and its operating method.

종래, 물품을 반송하는 반송시스템으로서, 리니어모터를 구동원으로 하여 캐리어를 주행시켜, 캐리어에 의하여 물품의 반송을 행하는 리니어모터반송시스템이 알려져 있다. 리니어모터반송시스템은, 반송하는 물품을 유지하는 캐리어와, 캐리어에 장착되는 리니어모터의 가동자와, 경로를 따라 나열되는 복수의 전자석(코일유닛)을 포함하는 리니어모터의 고정자와, 복수의 전자석으로의 전류의 공급을 제어하여 캐리어를 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비하고, 가동자가 경로를 따라 주행함으로써, 캐리어에 유지된 물품을 반송한다.BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] Conventionally, as a conveying system for conveying articles, a linear motor conveying system is known in which a linear motor is used as a drive source to drive a carrier to convey articles by means of the carrier. The linear motor conveying system includes a carrier holding articles to be conveyed, a linear motor mover mounted on the carrier, a stator of the linear motor including a plurality of electromagnets (coil units) arranged along a path, and a plurality of electromagnets. A control device for controlling the supply of current to the carrier to move the carrier along the path is provided, and the mover travels along the path to transport the article held in the carrier.

종래의 컨베이어는, 일정 속도로 동일방향으로 반송물인 물품을 흘려보내는 데 대하여, 리니어모터반송시스템은, 물품을 유지하는 복수의 캐리어의 이동을 개별적으로 제어할 수 있다. 또, 캐리어를 필요한 장소에 정확하게 멈추거나, 속도를 변경하거나, 1개의 캐리어만을 반대방향으로 이동시키는 것과 같은 유연한 제어도 할 수 있다. 또, 리니어모터반송시스템은, 리니어모터구동이기 때문에 그 외의 구동방식을 채용한 반송시스템에 비하여 분진 등이 발생하지 않기 때문에 깨끗하다.Conventional conveyors flow goods, which are conveyed goods, in the same direction at a constant speed, whereas the linear motor conveying system can individually control the movement of a plurality of carriers holding the goods. In addition, flexible control such as stopping the carrier precisely at the required location, changing the speed, or moving only one carrier in the opposite direction can be performed. In addition, since the linear motor conveyance system is driven by a linear motor, compared to conveyance systems adopting other driving methods, dust and the like are not generated, so it is clean.

그 때문에, 리니어모터반송시스템의 용도는 다방면에 걸쳐, 예를 들면 공정간 반송이나, 반송경로 상에서 정밀가공을 행하는 가공라인에 이용된다.Therefore, the linear motor transport system is used in a wide variety of fields, for example, transport between processes and processing lines that perform precision processing on a transport route.

리니어모터반송시스템에서는, 가동자의 위치를 제어하기 위하여, 고정자에 대한 가동자의 위치를 계속 파악할 필요가 있다. 종래에서는, 고정자측에 마련되는 리니어스케일을, 가동자측에 마련되는 센서로 판독함으로써, 가동자의 위치를 검출하는 리니어모터반송시스템이 제안되고 있다(예를 들면 특허문헌 1).In the linear motor conveying system, it is necessary to keep track of the position of the mover relative to the stator in order to control the position of the mover. Conventionally, a linear motor transport system has been proposed that detects the position of a mover by reading a linear scale provided on the stator side with a sensor provided on the mover side (for example, Patent Document 1).

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2014-219296호Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-219296

특허문헌 1에 기재되는 바와 같은 종래의 리니어모터반송시스템에서는, 가동자측에 센서가 마련되기 때문에, 센서에 전력을 공급하는 배터리를 가동자측에 마련할 필요가 있어, 그 메인트넌스가 필요해진다. 또, 센서에 의한 검출결과를 출력하는 배선을 가동자측으로부터 인출할 필요가 있어, 가동자의 가동범위의 제약이 된다.In the conventional linear motor transport system described in Patent Literature 1, since a sensor is provided on the mover side, it is necessary to provide a battery for supplying power to the sensor on the mover side, and its maintenance is required. In addition, it is necessary to lead a wire for outputting a detection result by the sensor from the mover side, which limits the movable range of the mover.

본 발명은 이러한 상황에 있어서 이루어진 것이며, 그 일 양태의 예시적인 목적의 하나는, 상품가치를 높인 리니어모터반송시스템을 제공하는 것에 있다.The present invention has been made in such a situation, and one of the exemplary objects of one aspect is to provide a linear motor conveying system with increased product value.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 양태의 리니어모터반송시스템은, 리니어모터에 의하여 구동되는 캐리어와, 소정의 경로를 따라 배치되는 복수의 센서와, 리니어모터를 제어하여, 캐리어를 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비한다. 제어장치는, 복수의 센서 중의, 출력을 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를, 캐리어의 이동에 따라 복수의 센서 내에서 전환한다.In order to solve the above problems, the linear motor conveying system of one aspect of the present invention controls a carrier driven by a linear motor, a plurality of sensors disposed along a predetermined path, and a linear motor to route the carrier Equipped with a control device that moves along. The controller switches among the plurality of sensors a reference sensor whose output is used to specify the position of the carrier in the plurality of sensors according to the movement of the carrier.

본 발명의 다른 양태는, 리니어모터반송시스템의 운용방법이다. 이 방법은, 리니어모터에 의하여 구동되는 캐리어와, 소정의 경로를 따라 배치되는 복수의 센서와, 리니어모터를 제어하여, 캐리어를 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비하는 리니어모터반송시스템의 운용방법으로서, 복수의 센서 중으로부터 검출결과를 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를 특정하는 기준센서특정스텝과, 기준센서로부터의 출력에 근거하여 캐리어의 위치를 반복하여 특정하는 위치특정스텝을 포함한다. 위치특정스텝은, 기준센서를, 캐리어의 이동에 따라 복수의 센서 내에서 전환하는 스텝을 포함한다.Another aspect of the present invention is a method for operating a linear motor transport system. This method is a method for operating a linear motor transport system comprising a carrier driven by a linear motor, a plurality of sensors disposed along a predetermined path, and a control device for controlling the linear motor to move the carrier along the path. A reference sensor specifying step for specifying a reference sensor using the detection result from among a plurality of sensors to specify the position of the carrier, and a position specifying step for repeatedly specifying the position of the carrier based on an output from the reference sensor. . The position specifying step includes a step of switching reference sensors within a plurality of sensors according to the movement of the carrier.

다만, 이상의 구성요소의 임의의 조합이나, 본 발명의 구성요소나 표현을 방법, 장치, 시스템 등의 사이에서 서로 치환한 것도 또한, 본 발명의 양태로서 유효하다.However, any combination of the above constituent elements and substitution of the constituent elements or expressions of the present invention with each other among methods, devices, systems, etc. are also effective as embodiments of the present invention.

본 발명에 의하면, 상품가치를 높인 리니어모터반송시스템을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a linear motor conveying system with increased product value.

도 1은 실시형태에 관한 리니어모터반송시스템의 평면도이다.
도 2는 도 1의 캐리어와 그 주변을 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 1의 캐리어와 그 주변을 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 1의 캐리어와 그 주변을 나타내는 측면도이다.
1 is a plan view of a linear motor transport system according to an embodiment.
Figure 2 is a side view showing the carrier of Figure 1 and its surroundings.
3 is a side view showing the carrier of FIG. 1 and its surroundings.
4 is a side view showing the carrier of FIG. 1 and its surroundings.

이하, 본 발명을 적합한 실시형태를 기초로 도면을 참조하면서 설명한다. 실시형태는, 발명을 한정하는 것이 아닌 예시이며, 실시형태에 기술되는 모든 특징이나 그 조합은, 반드시 발명의 본질적인 것이라고는 할 수 없다. 각 도면에 나타나는 동일 또는 동등한 구성요소, 부재, 처리에는, 동일한 부호를 붙이는 것으로 하고, 적절히 중복되는 설명은 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated, referring drawings based on preferred embodiment. Embodiments are examples that do not limit the invention, and all features and combinations thereof described in the embodiments are not necessarily essential to the invention. The same or equivalent components, members, and processes appearing in each drawing shall have the same reference numerals, and appropriately overlapping descriptions are omitted.

도 1은, 실시형태에 관한 리니어모터반송시스템(100)의 개략 구성을 나타내는 평면도이다. 도 2는, 리니어모터반송시스템(100)의 캐리어(10)와 그 주변을 나타내는 측면도이다.1 is a plan view showing a schematic configuration of a linear motor transport system 100 according to an embodiment. 2 is a side view showing the carrier 10 of the linear motor transport system 100 and its surroundings.

리니어모터반송시스템(100)은, 반송하는 물품을 유지하기 위한 캐리어(10)와, 캐리어(10)를 구동하는 리니어모터(12)와, 캐리어(10)에 고정되는 레퍼런스마크(14) 및 리니어스케일(16)과, 캐리어(10)의 반송경로(P)를 따라 배치되는 복수의 센서(18)와, 리니어모터반송시스템(100)을 통괄적으로 제어하는 제어장치(20)를 구비한다. 복수의 센서는 각각, 제어장치(20)와 유선으로 접속된다. 다만, 이해를 용이하게 하기 위하여 캐리어(10)의 개수를 1개로 하고 있지만, 그에 한정되지 않고, 통상은 복수의 캐리어(10)가 마련된다.The linear motor conveying system 100 includes a carrier 10 for holding an article to be conveyed, a linear motor 12 for driving the carrier 10, a reference mark 14 fixed to the carrier 10, and a linear It has a scale 16, a plurality of sensors 18 arranged along the transport path P of the carrier 10, and a control device 20 that collectively controls the linear motor transport system 100. Each of the plurality of sensors is connected to the control device 20 by wire. However, for ease of understanding, although the number of carriers 10 is set to one, it is not limited thereto, and a plurality of carriers 10 are usually provided.

리니어모터(12)는, 고정자(22)와, 캐리어(10)에 장착되는 가동자(24)를 구비한다.The linear motor (12) includes a stator (22) and a mover (24) mounted on a carrier (10).

고정자(22)는, 본 실시형태에서는, 평면시(平面視)에서 D방향으로 긴 직사각형상으로 형성되어 있다. 고정자(22)는, 그 연장방향을 따라 나열되는 복수의 전자석(코일유닛)(26)을 포함한다. 도 1에는, 일부의 전자석(26)만이 예로서 표시되어 있다. 전원(34)으로부터 복수의 전자석(26)에는, 개별적으로 전류를 공급할 수 있다. 복수의 전자석(26)의 나열은 경로(P)를 규정한다. 특별히 한정하지 않지만, 본 실시형태에서는, 경로(P)는 직선상이다.In this embodiment, the stator 22 is formed in a rectangular shape elongated in the D direction in plan view. The stator 22 includes a plurality of electromagnets (coil units) 26 arranged along the extension direction. In Fig. 1, only some electromagnets 26 are shown as examples. Electric current can be individually supplied from the power source 34 to the plurality of electromagnets 26 . An arrangement of a plurality of electromagnets 26 defines a path P. Although not particularly limited, in the present embodiment, the path P is linear.

가동자(24)는, 전자석(26)과 상하로 대향하도록 캐리어(10)의 하면에 장착된다. 가동자(24)는 자석을 포함하여 구성된다. 전자석(26)에 의하여 발생하는 자계와 가동자(24)의 자석의 자계의 상호작용에 의하여, 가동자(24)는 경로(P)를 따라 이동한다.The mover 24 is attached to the lower surface of the carrier 10 so as to face the electromagnet 26 vertically. The mover 24 is configured to include a magnet. Due to the interaction between the magnetic field generated by the electromagnet 26 and the magnetic field of the magnet of the mover 24, the mover 24 moves along the path P.

고정자(22)에는, 가동자(24) 혹은 캐리어(10)의 이동을 안내하는 리니어가이드가 마련되어도 된다. 혹은, 리니어가이드를 마련하지 않고, 가동자(24)를 고정자(22) 상에 자기부상시켜도 된다.The stator 22 may be provided with a linear guide for guiding movement of the mover 24 or the carrier 10 . Alternatively, the mover 24 may be magnetically levitated on the stator 22 without providing a linear guide.

레퍼런스마크(14)는, 기준위치를 나타내는 마크이다. 레퍼런스마크(14)는, 특별히 한정하지 않지만, 센서(18)가 자기식이면 자석이며, 광학식이면 예를 들면 마크가 부착된 유리나 스틸테이프이다.The reference mark 14 is a mark indicating a reference position. The reference mark 14 is not particularly limited, but is a magnet if the sensor 18 is of a magnetic type, and is glass or steel tape with a mark, for example, if the sensor 18 is of an optical type.

레퍼런스마크(14)는, 여기에서는 캐리어(10)의 하면에 마련된다. 다만, 레퍼런스마크(14)는, 리니어스케일(16) 상에 마련되어도 된다. 레퍼런스마크(14)는, 바람직하게는, D방향에 있어서의 위치가, 캐리어(10)의 "위치기준부"와 일치하도록 마련된다. 위치기준부는, 캐리어(10)의 D방향에 있어서의 위치의 기준이 되는 부분이며, 전형적으로는 캐리어(10)의 D방향에 있어서의 중앙부분이다. 레퍼런스마크(14)의 D방향에 있어서의 위치가 위치기준부의 D방향에 있어서의 위치와 일치하는 경우, 레퍼런스마크(14)의 절대위치는 캐리어(10)의 절대위치가 된다.The reference mark 14 is provided on the lower surface of the carrier 10 here. However, the reference mark 14 may be provided on the linear scale 16. The reference mark 14 is preferably provided such that its position in the D direction coincides with the "position reference portion" of the carrier 10. The position reference portion is a portion serving as a reference for the position of the carrier 10 in the D direction, and is typically a center portion of the carrier 10 in the D direction. When the position of the reference mark 14 in the D direction coincides with the position of the position reference unit in the D direction, the absolute position of the reference mark 14 becomes the absolute position of the carrier 10.

레퍼런스마크(14)는, 캐리어(10)의 임의의 위치에 마련되어도 되지만, 위치기준부에 대한 상대위치가 이미 알려져 있을(미리 결정되어 있을) 필요가 있다. 레퍼런스마크(14)의 D방향에 있어서의 위치가 위치기준부의 D방향에 있어서의 위치와 일치하지 않는 경우, 레퍼런스마크(14)의 절대위치에, 위치기준부와 레퍼런스마크(14)의 D방향에 있어서의 거리를 고려함으로써, 캐리어(10)의 절대위치가 특정된다.The reference mark 14 may be provided at an arbitrary position on the carrier 10, but it is necessary that the position relative to the position reference unit is already known (determined in advance). If the position of the reference mark 14 in the D direction does not coincide with the position of the positioning reference part in the D direction, the absolute position of the reference mark 14 corresponds to the positioning reference part and the reference mark 14 in the D direction. By considering the distance in , the absolute position of the carrier 10 is specified.

이후에서는, 설명의 간소화를 위하여, 레퍼런스마크(14)의 D방향에 있어서의 위치는 위치기준부의 D방향에 있어서의 위치와 일치하는 것으로 한다.Hereinafter, for simplicity of explanation, it is assumed that the position of the reference mark 14 in the D direction coincides with the position of the position reference unit in the D direction.

리니어스케일(16)은, 캐리어(10)의 하면에 고정된다. 리니어스케일(16)은, 특별히 한정하지 않지만, 센서(18)가 자기식이면 자석스케일이며, 광학식이면 예를 들면 눈금이 부착된 유리스케일이나 스틸테이프이다. 리니어스케일(16)은, 그에 한정되지는 않지만, 당해 리니어스케일(16)의 D방향에 있어서의 중앙이, 캐리어(10)의 위치기준의 D방향에 있어서의 위치와 일치하도록 캐리어(10)에 마련된다.The linear scale 16 is fixed to the lower surface of the carrier 10. The linear scale 16 is not particularly limited, but if the sensor 18 is of a magnetic type, it is a magnetic scale, and if it is an optical type, it is, for example, a scaled glass scale or steel tape. The linear scale 16 is mounted on the carrier 10 so that the center of the linear scale 16 in the D direction coincides with the position in the D direction of the position reference of the carrier 10, although it is not limited thereto. provided

리니어스케일(16)은, 유효영역(16a)과, 유효영역(16a)의 D방향에 있어서의 양 단에 인접하는 2개의 무효영역(16b)을 갖는다. 유효영역(16a)은, 센서(18)가 스케일을 판독할 수 있는 영역이며, 무효영역(16b)은, 센서(18)가 스케일을 판독할 수 없는 영역이다.The linear scale 16 has a valid area 16a and two invalid areas 16b adjacent to both ends of the valid area 16a in the D direction. The effective area 16a is an area where the sensor 18 can read the scale, and the invalid area 16b is an area where the sensor 18 cannot read the scale.

센서(18)는, 레퍼런스마크(14)를 검출 가능하게 구성된 제1 검출부(28)와, 리니어스케일(16)을 검출 가능하게 구성된 제2 검출부(29)를 포함한다. 본 실시형태에서는, 센서(18)는, 평면시에 있어서, 레퍼런스마크(14)의 이동경로 상에 제1 검출부(28)가 위치하고, 리니어스케일(16)의 이동경로 상에 제2 검출부(29)가 위치하도록 배치된다.The sensor 18 includes a first detector 28 configured to detect the reference mark 14 and a second detector 29 configured to detect the linear scale 16 . In this embodiment, in the sensor 18, in a planar view, the first detection unit 28 is located on the movement path of the reference mark 14, and the second detection unit 29 is located on the movement path of the linear scale 16. ) is arranged so that it is located.

제1 검출부(28)는, 레퍼런스마크(14)를 검출하면, 즉 레퍼런스마크(14)가 제1 검출부(28)의 바로 위를 통과하면, 소정의 강도 이상의 펄스신호를 제어장치(20)에 출력한다. 당해 펄스신호의 펄스폭은, 제1 검출부(28)의 분해능(分解能)과 동일한 정도인 것이 바람직하지만, 그것보다 길어도 된다. 제어장치(20)는, 자세하게는 후술하겠지만, 제1 검출부(28)가 출력하는 신호에 근거하여, 레퍼런스마크(14)가 제1 검출부(28)의 바로 위에 위치하고 있는지 아닌지를 특정한다.When the first detection unit 28 detects the reference mark 14, that is, when the reference mark 14 passes right above the first detection unit 28, a pulse signal having a predetermined intensity or higher is sent to the controller 20. print out The pulse width of the pulse signal is preferably about the same as the resolution of the first detection unit 28, but may be longer than that. The control device 20 specifies whether or not the reference mark 14 is directly above the first detection unit 28 based on the signal output from the first detection unit 28, as described later in detail.

제2 검출부(29)는, 제2 검출부(29)의 상방을 이동하는 리니어스케일(16)에 마련된 스케일을 판독하고, 리니어스케일(16) 나아가서는 캐리어(10)가 R[μm](R은 제2 검출부(29)의 분해능) 이동할 때마다 1펄스의 펄스신호를 제어장치(20)에 출력한다. 제어장치(20)는, 제2 검출부(29)가 출력하는 펄스신호를 카운트함으로써, 후술하는 바와 같이 하여 캐리어(10)의 D방향의 위치를 특정(검출)한다.The second detection unit 29 reads the scale provided on the linear scale 16 moving upward of the second detection unit 29, and the linear scale 16 and thus the carrier 10 is R [μm] (R is Resolution of the second detector 29) A pulse signal of one pulse is output to the controller 20 whenever it moves. The controller 20 specifies (detects) the position of the carrier 10 in the D direction as will be described later by counting the pulse signal output from the second detection unit 29 .

복수의 센서(18)는, 등간격, 여기에서는 간격 S로 배치된다. 또, 복수의 센서(18)는, 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)의 길이(이하, "유효영역길이”라고 한다) Le와 센서(18)의 간격 S가, "유효영역길이 Le≥간격 S"의 관계를 충족시키도록 배치된다. 이 경우, 캐리어(10)가 경로(P) 상의 어디에 위치하고 있어도, 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)이 어느 하나의 센서(18)의 검출영역(즉 센서(18)의 바로 위)에 위치하기 때문에, 후술하는 바와 같이 캐리어(10)의 절대위치를 특정할 수 있다. 유효영역길이 Le와 간격 S를 동일하게 하면, 센서의 수를 최소로 할 수 있다. 어쨌든, 복수의 센서(18)의 각각의 절대위치는 이미 알려진 것으로 한다.The plurality of sensors 18 are arranged at equal intervals, here at intervals S. In addition, in the plurality of sensors 18, the length of the effective area 16a of the linear scale 16 (hereinafter referred to as "effective area length") Le and the distance S between the sensors 18 are "effective area length Le ≥ interval S". In this case, no matter where the carrier 10 is located on the path P, the effective area 16a of the linear scale 16 is the distance of any one sensor 18. Since it is located in the detection area (that is, right above the sensor 18), it is possible to specify the absolute position of the carrier 10 as will be described later. In any case, it is assumed that the absolute position of each of the plurality of sensors 18 is already known.

도 3, 4는, 리니어모터반송시스템(100)의 캐리어(10)와 그 주변을 나타내는 측면도이다. 도 3에서는, 레퍼런스마크(14)가 센서(18)의 바로 위에 위치하고 있다. 도 4에서는, 리니어스케일(16) 나아가서는 캐리어(10)의 중심이, 인접하는 2개의 센서의 중간지점에 위치하고 있다. 도 1~4를 참조하여 제어장치(20)에 대하여 설명한다.3 and 4 are side views showing the carrier 10 of the linear motor transport system 100 and its surroundings. In FIG. 3 , the reference mark 14 is located just above the sensor 18 . In Fig. 4, the center of the linear scale 16 and thus the carrier 10 is located at the midpoint of two adjacent sensors. The controller 20 will be described with reference to FIGS. 1 to 4 .

제어장치(20)는, 위치특정부(30)와, 리니어모터제어부(32)를 포함한다.The control device 20 includes a position specifying unit 30 and a linear motor control unit 32 .

위치특정부(30)는, 복수의 센서(18_1~18_N)(N은 2 이상의 정수이며, 도 2~4의 예에서는 N은 5 이상) 중 어느 하나의 센서(18)의 제1 검출부(28)로부터 임계값강도 이상의 신호가 출력되면, 구체적으로는 예를 들면 센서(18_i)의 제1 검출부(28)로부터 임계값강도 이상의 신호가 출력되면, 당해 센서(18_i)의 바로 위에 레퍼런스마크(14) 나아가서는 캐리어(10)가 위치하고 있다고 특정한다. 위치특정부(30)는, 레퍼런스마크(14)를 검출한 센서(18_i)를, 캐리어(10)의 절대위치를 특정하기 위한 기준이 되는 센서(이하, "기준센서"라고 한다)로서 결정한다.The position specifying unit 30 is a first detection unit 28 of any one sensor 18 among a plurality of sensors 18_1 to 18_N (N is an integer of 2 or more, and in the examples of FIGS. 2 to 4, N is 5 or more). ), when a signal with a threshold intensity or higher is output from the sensor 18_i, specifically, for example, when a signal with a threshold intensity or higher is output from the first detector 28 of the sensor 18_i, the reference mark 14 directly above the sensor 18_i. ) and further specifies that the carrier 10 is located. The position specifying unit 30 determines the sensor 18_i that detected the reference mark 14 as a reference sensor for specifying the absolute position of the carrier 10 (hereinafter referred to as a "reference sensor"). .

위치특정부(30)는, 기준센서의 바로 위에 레퍼런스마크(14)가 위치하고 있을 때를 "0"으로 하고, 캐리어(10)의 이동에 따라 기준센서의 제2 검출부(29)로부터 출력되는 펄스신호를 카운트한다.The position specifying unit 30 sets the time when the reference mark 14 is located right above the reference sensor as “0”, and the pulse output from the second detection unit 29 of the reference sensor according to the movement of the carrier 10 count the signals

위치특정부(30)는, 기준센서의 제2 검출부(29)로부터 출력되는 펄스신호의 카운트값에 근거하여, 캐리어(10)의 기준센서로부터의 거리, 즉 기준센서에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 특정한다. 위치특정부(30)는, 기준센서의 절대위치에, 특정한 상대위치를 가산함으로써, 캐리어(10)의 절대위치를 특정한다.The position specific unit 30 determines the distance from the reference sensor of the carrier 10, that is, the distance of the carrier 10 to the reference sensor, based on the count value of the pulse signal output from the second detection unit 29 of the reference sensor. Specifies the relative position. The position specifying unit 30 specifies the absolute position of the carrier 10 by adding a specific relative position to the absolute position of the reference sensor.

그런데, 리니어스케일(16)의 길이에 따라서도 다르지만, 캐리어(10)가 어느 정도 이동하면, 기준센서의 제2 검출부(29)의 검출범위(즉 바로 위)로부터 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)이 벗어난다. 그렇게 되면, 당해 기준센서의 출력에 근거하여 캐리어(10)의 위치를 특정할 수 없다. 따라서, 기준센서의 검출범위로부터 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)이 벗어나기 전에, 기준센서에 인접하는 센서(18)로서, 그 검출범위(즉 바로 위)에 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)이 있는 센서(18)를, 새로운 기준센서로 할 필요가 있다. 즉, 기준센서를 전환할 필요가 있다.By the way, although it depends on the length of the linear scale 16, if the carrier 10 moves to some extent, the effective area of the linear scale 16 moves from the detection range of the second detection unit 29 of the reference sensor (i.e. right above). (16a) is off. In that case, the position of the carrier 10 cannot be specified based on the output of the reference sensor. Therefore, before the effective area 16a of the linear scale 16 deviates from the detection range of the reference sensor, as the sensor 18 adjacent to the reference sensor, the linear scale 16 is effective in the detection range (ie immediately above). It is necessary to use the sensor 18 in the region 16a as a new reference sensor. That is, it is necessary to switch the reference sensor.

구체적으로는 위치특정부(30)는, 예를 들면 센서(18_i)가 기준센서인 경우에 있어서 D방향에 있어서의 지면(紙面) 우측으로 캐리어(10)가 이동하여 센서(18_i)에 대한 캐리어(10)의 상대위치(펄스신호의 카운트값)가 소정의 값이 되면, 인접하는 센서(18_i+1)를 새로운 기준센서로 한다. 따라서, 위치특정부(30)는, 그때까지는 센서(18_i)에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 특정함으로써 캐리어(10)의 절대위치를 특정하고 있었지만, 기준센서의 전환 후에는 센서(18_i+1)에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 특정함으로써 캐리어(10)의 절대위치를 특정한다. 즉, 센서(18_i+1)의 절대위치에, 센서(18_i+1)에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 가산함으로써 캐리어(10)의 절대위치를 특정한다.Specifically, the position specifying unit 30 moves the carrier 10 to the right side of the paper in the D direction in the case where the sensor 18_i is the reference sensor, for example, and the carrier 10 relative to the sensor 18_i When the relative position (count value of the pulse signal) of (10) reaches a predetermined value, the adjacent sensor 18_i+1 is used as a new reference sensor. Accordingly, the position specifying unit 30 has been specifying the absolute position of the carrier 10 by specifying the relative position of the carrier 10 with respect to the sensor 18_i until then, but after switching the reference sensor, the sensor 18_i+ 1) The absolute position of the carrier 10 is specified by specifying the position relative to the carrier 10. That is, the absolute position of the carrier 10 is specified by adding the relative position of the carrier 10 to the sensor 18_i+1 to the absolute position of the sensor 18_i+1.

다만, 기준센서의 전환 시에는, 전환원(元)의 센서(18_i)에 대한 캐리어(10)의 상대위치에 근거하여, 전환선(先)의 센서(18)에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 특정한다. 바꾸어 말하면, 기준센서의 전환 시에는, 전환원의 센서(18_i)에 있어서의 펄스신호의 카운트값에 근거하여, 전환선의 센서(18_i+1)에 있어서의 펄스신호의 카운트값의 초깃값을 특정한다. 이후에는, 특정된 초깃값에 센서(18_i+1)로부터 출력되는 펄스신호의 카운트값을 적산한다.However, when the reference sensor is switched, the relative position of the carrier 10 with respect to the sensor 18 of the switching line is based on the relative position of the carrier 10 with respect to the sensor 18_i of the switching source. to specify In other words, when switching the reference sensor, based on the count value of the pulse signal in the sensor 18_i of the switching source, the initial value of the count value of the pulse signal in the sensor 18_i + 1 of the switching line is specified do. Thereafter, the count value of the pulse signal output from the sensor 18_i+1 is integrated with the specified initial value.

기준센서의 전환은, 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이 리니어스케일(16)의 중심(이 예에서는 캐리어(10)의 중심)이 기준센서(이 예에서는 센서(18_i))와 기준센서에 인접하는 센서(이 예에서는 센서(18_i+1))의 중간지점에 도달하는 타이밍에 행해도 된다.In switching of the reference sensor, for example, as shown in FIG. 4, the center of the linear scale 16 (the center of the carrier 10 in this example) is adjacent to the reference sensor (sensor 18_i in this example) and the reference sensor. It may be performed at the timing when the intermediate point of the sensor (sensor 18_i+1 in this example) is reached.

이 경우, 위치특정부(30)는, 도 1~4에 있어서 캐리어(10)가 D방향에 있어서의 우측으로 진행하는 경우는, 기준센서의 제2 검출부(29)로부터의 펄스신호의 출력의 카운트값(CNT)이 다음의 식 (1)로 구해지는 값이 되었을 때 기준센서를 전환하면 된다. 다만, 여기에서는, 도 1~4에 있어서 D방향에 있어서의 우측으로 진행하는 방향을 정방향으로 하고, 좌측으로 진행하는 방향을 부방향으로 한다.In this case, the position specifying unit 30 determines the pulse signal output from the second detection unit 29 of the reference sensor when the carrier 10 moves to the right in the D direction in FIGS. When the count value (CNT) becomes the value obtained by the following equation (1), the reference sensor can be switched. However, here, in Figs. 1 to 4, the direction going to the right in the D direction is made a positive direction, and the direction going to the left is made a negative direction.

CNT=+1/2×(Ls-2X-2Y)×1/{R×1/1000}…(1)CNT=+1/2×(Ls-2X-2Y)×1/{R×1/1000}… (One)

단,step,

Ls: 리니어스케일(16)의 D방향에 있어서의 길이[mm]Ls: Length in the D direction of the linear scale 16 [mm]

X: 리니어스케일(16)의 양 단부에 존재하는 무효영역(16b)의 D방향에 있어서의 길이[mm]X: Length in the D direction of the invalid area 16b existing at both ends of the linear scale 16 [mm]

Y: 기준센서를 전환할 때의 전환원의 기준센서의 무효영역(16b)로부터의 거리[mm]Y: Distance from the invalid area 16b of the reference sensor at the switching source when switching the reference sensor [mm]

R: 센서(18)의 분해능(1카운트=R[μm])R: resolution of sensor 18 (1 count = R [μm])

이다.am.

위치특정부(30)는, 캐리어(10)의 이동에 따라 새로운 기준센서의 제2 검출부(29)로부터 출력되는 펄스신호의 카운트값의 초깃값에, 다음의 식 (2)로 구해지는 카운트값(CNT)을 설정한다. 즉, 기준센서의 전환 후에는, 새로운 기준센서의 제2 검출부(29)가 출력하는 펄스신호를, 식 (2)로 구해지는 카운트값으로부터 카운트하기 시작한다.The positioning unit 30 calculates the initial value of the count value of the pulse signal output from the second detection unit 29 of the new reference sensor according to the movement of the carrier 10, the count value obtained by the following equation (2) (CNT) is set. That is, after switching of the reference sensor, the pulse signal output from the second detection unit 29 of the new reference sensor starts to be counted from the count value obtained by Equation (2).

CNT=-1/2×(Ls-2X-2Y)×1/{R×1/1000}…(2)CNT=-1/2×(Ls-2X-2Y)×1/{R×1/1000} . (2)

다만, 도 1~4에 있어서, 캐리어(10)가 D방향에 있어서의 좌측 즉 부방향으로 진행하는 경우는, 식 (1), (2)의 정부(正負)를 반전시키면 된다.However, in Figs. 1 to 4, when the carrier 10 travels to the left in the D direction, that is, in the negative direction, the positives of Expressions (1) and (2) may be reversed.

위치특정부(30)는, 이상과 같이, 캐리어(10)의 이동에 따라 기준센서를 전환하면서, 캐리어(10)의 절대위치를 반복하여 계속 특정한다.As described above, the position specifying unit 30 repeatedly and continuously specifies the absolute position of the carrier 10 while switching the reference sensor according to the movement of the carrier 10 .

리니어모터제어부(32)는, 리니어모터(12)를 제어하여, 캐리어(10)를 이동시킨다. 구체적으로는 리니어모터제어부(32)는, 위치특정부(30)에 의하여 특정되는 캐리어(10)의 위치정보를 피드백하면서, 전원(34)으로부터 고정자(22)의 각 전자석(26)으로의 전류의 공급을 제어하여, 캐리어(10)를 원하는 위치로 이동시킨다.The linear motor controller 32 controls the linear motor 12 to move the carrier 10 . Specifically, the linear motor control unit 32 feeds back the position information of the carrier 10 specified by the position specification unit 30, while the electric current from the power source 34 to each electromagnet 26 of the stator 22 By controlling the supply of, the carrier 10 is moved to a desired position.

이상이 리니어모터반송시스템(100)의 기본구성이다. 계속해서, 도 2~4를 참조하여 리니어모터반송시스템(100)의 동작을 설명한다. 도 2, 3, 4의 순으로 시간이 경과한다.The above is the basic configuration of the linear motor transport system 100. Subsequently, the operation of the linear motor transport system 100 will be described with reference to FIGS. 2 to 4 . Time passes in the order of FIGS. 2, 3 and 4.

리니어모터반송시스템(100)의 기동 시의 상태가 도 2 상태였던 것으로 한다. 제어장치(20)는, 전자석(26)에 일정 전류를 흘려보내 캐리어(10)를 이동시킨다. 이로써, 캐리어(10)가 도 2에 있어서의 우측으로 이동한 것으로 한다.It is assumed that the state at the time of activation of the linear motor transport system 100 was the state in FIG. 2 . The control device 20 sends a constant current to the electromagnet 26 to move the carrier 10. In this way, it is assumed that the carrier 10 has moved to the right side in FIG. 2 .

도 3에서는, 캐리어(10)가 센서(18_i)의 바로 위에 도달하고 있다. 센서(18_i)는 레퍼런스마크(14)를 검출한다. 따라서, 센서(18_i)가 기준센서가 된다. 제어장치(20)는, 기준센서로부터 출력되는 펄스신호의 카운트값에 근거하여 캐리어(10)의 절대위치를 특정한다.In Fig. 3, the carrier 10 is reaching directly over the sensor 18_i. The sensor 18_i detects the reference mark 14 . Therefore, the sensor 18_i becomes the reference sensor. The control device 20 specifies the absolute position of the carrier 10 based on the count value of the pulse signal output from the reference sensor.

도 4에서는, 센서(18_i)에 대한 캐리어(10)의 상대위치, 즉 센서(18_i)에 있어서의 펄스신호의 카운트값이 식 (1)로 구해지는 값이 되었기 때문에, 기준센서는 센서(18_i)로부터 센서(18_i+1)로 전환된다.In Fig. 4, since the relative position of the carrier 10 with respect to the sensor 18_i, that is, the count value of the pulse signal in the sensor 18_i is the value obtained by equation (1), the reference sensor is the sensor 18_i ) to the sensor 18_i+1.

계속해서, 실시형태의 효과를 설명한다. 본 실시형태에 의하면, 고정자(22)측에 마련한 센서(18)에 의하여, 캐리어(10)의 위치를 검출할 수 있기 때문에, 캐리어(10)의 위치검출을 위하여 캐리어(10)측에 센서를 마련할 필요가 없고, 따라서 캐리어(10)에 배터리를 탑재하거나 캐리어(10)로부터 배선을 인출하거나 할 필요가 없어진다.Subsequently, effects of the embodiments will be described. According to this embodiment, since the position of the carrier 10 can be detected by the sensor 18 provided on the side of the stator 22, a sensor is provided on the side of the carrier 10 to detect the position of the carrier 10. There is no need to provide, and therefore there is no need to mount the battery on the carrier 10 or pull out wires from the carrier 10.

또, 본 실시형태에 의하면, 캐리어(10)의 크기가 변경되고, 따라서 리니어스케일(16)의 길이가 변경된 경우나, 센서(18)의 분해능이 변경된 경우여도, 식 (1), (2)에 대입하는 값을 변경하는 것만으로도 되며, 그러한 변경에 용이하게 대응할 수 있다.Further, according to the present embodiment, even if the size of the carrier 10 is changed and thus the length of the linear scale 16 is changed or the resolution of the sensor 18 is changed, the equations (1) and (2) It is only necessary to change the value to be substituted for , and such a change can be easily responded to.

이상, 본 발명을 실시형태를 기초로 설명했다. 이 실시형태는 예시이며, 그들의 각 구성요소나 각 처리프로세스의 조합에 다양한 변형예가 가능한 것, 또 그러한 변형예도 본 발명의 범위에 있는 것은 당업자에게 이해되는 바이다. 이하, 변형예를 설명한다.In the above, the present invention has been described based on the embodiments. This embodiment is an example, and it is understood by those skilled in the art that various modifications are possible for each component or combination of each processing process, and that such modifications are also within the scope of the present invention. A modified example will be described below.

실시형태에서는, 복수의 센서(18)가 등간격으로 배치되는 경우에 대하여 설명했지만, 이웃하는 센서(18)의 간격이 리니어스케일(16)의 유효영역길이 Le 이하이면, 이웃하는 센서(18)의 간격은 등간격이 아니어도 된다. 즉, 적어도 하나의 센서간격은, 다른 센서간격과 달라도 된다. 이 경우, 센서(18)를 전환할 때의 카운트값은 다를 수 있지만, 리니어스케일(16)의 중심(이 예에서는 캐리어(10)의 중심)이 인접하는 센서(18)의 중간지점에 도달하는 타이밍에 기준센서를 전환하는 경우는, 전환원의 센서(18)의 카운트값이 식 (1)로 구해지는 카운트값이 되는 타이밍에 전환하면 된다.In the embodiment, the case where a plurality of sensors 18 are arranged at equal intervals has been described, but if the interval between adjacent sensors 18 is equal to or less than the effective area length Le of the linear scale 16, adjacent sensors 18 The intervals may not be equal intervals. That is, the at least one sensor interval may be different from the other sensor intervals. In this case, the count value when switching the sensor 18 may be different, but the center of the linear scale 16 (in this example, the center of the carrier 10) reaches the midpoint of the adjacent sensor 18 In the case of switching the reference sensor at the timing, it is sufficient to switch at the timing at which the count value of the sensor 18 at the source of the switch becomes the count value obtained by equation (1).

상술한 실시형태와 변형예의 임의의 조합도 또한 본 발명의 실시형태로서 유용하다. 조합에 의하여 발생하는 새로운 실시형태는, 조합되는 실시형태 및 변형예 각각의 효과를 겸비한다.Any combination of the above-described embodiments and modifications is also useful as an embodiment of the present invention. The new embodiment generated by the combination combines the effects of each of the combined embodiments and modified examples.

10 캐리어
12 리니어모터
18 센서
20 제어장치
100 리니어모터반송시스템
10 carrier
12 linear motor
18 sensor
20 Controls
100 Linear Motor Transfer System

Claims (5)

리니어모터에 의하여 구동되는 캐리어와,
소정의 경로를 따라 배치되는 복수의 센서와,
상기 리니어모터를 제어하여, 상기 캐리어를 상기 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비하고,
캐리어가 캐리어의 중앙에 레퍼런스마크를 가지고, 레퍼런스마크가 검출되었을 때에 펄스신호를 출력함으로써, 상기 제어장치는, 상기 복수의 센서 중, 출력에 기초하여 상기 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를, 상기 캐리어의 이동에 따라 상기 복수의 센서 내에서 전환하고,
상기 캐리어는, 리니어스케일을 가지고, 상기 리니어스케일은 상기 센서가 스케일을 판독할 수 있는 영역인 기설정된 길이의 유효영역 및 상기 유효영역의 양 단부에 배치되는 무효영역을 가지며,
상기 복수의 센서는 상기 리니어스케일을 검출 가능하게 구성된 검출부를 구비하며,
상기 리니어스케일의 길이 및 상기 무효영역의 길이로부터 구해진 기준센서의 상기 검출부로부터의 펄스신호의 출력의 카운트값에 기초하여, 기준센서가 전환되는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템.
A carrier driven by a linear motor;
A plurality of sensors arranged along a predetermined path;
A control device for controlling the linear motor to move the carrier along the path,
A carrier has a reference mark at the center of the carrier, and by outputting a pulse signal when the reference mark is detected, the controller selects, among the plurality of sensors, a reference sensor used for specifying the position of the carrier based on the output, switching within the plurality of sensors according to the movement of the carrier;
The carrier has a linear scale, and the linear scale has an effective area of a predetermined length, which is an area from which the sensor can read the scale, and an invalid area disposed at both ends of the effective area,
The plurality of sensors include a detection unit configured to detect the linear scale,
The linear motor transport system according to claim 1 , wherein the reference sensor is switched based on a count value of an output of a pulse signal from the detection unit of the reference sensor obtained from the length of the linear scale and the length of the invalid area.
제1항에 있어서,
상기 제어장치는, 상기 기준센서의 위치와, 상기 기준센서로부터의 출력에 근거하여 특정되는 당해 기준센서에 대한 상기 캐리어의 상대위치에 근거하여 상기 캐리어의 위치를 특정하는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템.
According to claim 1,
The control device specifies the position of the carrier based on the position of the reference sensor and the relative position of the carrier to the reference sensor specified based on the output from the reference sensor. system.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 복수의 센서는, 인접배치되는 제1, 제2 센서를 포함하고,
상기 제어장치는, 상기 기준센서를 상기 제1 센서로부터 상기 제2 센서로 전환할 때, 상기 제1 센서로부터의 출력에 근거하여 특정되는 당해 제1 센서에 대한 상기 캐리어의 상대위치에 근거하여, 상기 제2 센서에 대한 상기 캐리어의 상대위치를 특정하는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템.
According to claim 1 or 2,
The plurality of sensors include first and second sensors disposed adjacent to each other,
When the control device switches the reference sensor from the first sensor to the second sensor, based on the relative position of the carrier with respect to the first sensor specified based on the output from the first sensor, A linear motor transport system characterized in that the relative position of the carrier with respect to the second sensor is specified.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 캐리어에 마련되는 레퍼런스마크를 구비하고,
상기 복수의 센서는 각각, 레퍼런스마크를 검출 가능하게 구성되며,
상기 캐리어의 위치의 기준이 되는 부분에 대한 상기 레퍼런스마크의 상대위치가 이미 알려져 있을 때,
상기 제어장치는, 상기 캐리어를 이동시켜, 복수의 센서 중 어느 하나의 센서에 상기 레퍼런스마크를 검출시켜, 상기 레퍼런스마크를 검출한 센서를 상기 기준센서로 함과 함께, 상기 기준센서에 대한 상기 캐리어의 상대위치를 특정하는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템.
According to claim 1 or 2,
A reference mark provided on the carrier,
Each of the plurality of sensors is configured to detect a reference mark,
When the relative position of the reference mark with respect to the reference part of the position of the carrier is already known,
The control device moves the carrier, detects the reference mark with any one of a plurality of sensors, and sets the sensor that detected the reference mark as the reference sensor, and the carrier relative to the reference sensor. Linear motor conveying system, characterized in that for specifying the relative position of.
리니어모터에 의하여 구동되고 중앙에 레퍼런스마크를 가지는 캐리어와, 소정의 경로를 따라 배치되는 복수의 센서와, 상기 리니어모터를 제어하여, 상기 캐리어를 상기 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비하고, 상기 캐리어는, 리니어스케일을 가지고, 상기 리니어스케일은 상기 센서가 스케일을 판독할 수 있는 영역인 기설정된 길이의 유효영역 및 상기 유효영역의 양 단부에 배치되는 무효영역을 가지며, 상기 복수의 센서는 상기 리니어스케일을 검출 가능하게 구성된 검출부를 구비하는 리니어모터반송시스템의 운용방법으로서,
상기 복수의 센서 중으로부터 출력을 상기 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를 특정하는 기준센서특정스텝과,
상기 기준센서로부터의 출력에 근거하여 상기 캐리어의 위치를 반복하여 특정하는 위치특정스텝을 포함하고,
상기 위치특정스텝은, 상기 레퍼런스마크가 검출되었을 때의 펄스신호의 출력에 기초하여, 상기 기준센서를, 상기 캐리어의 이동에 따라 상기 복수의 센서 내에서 전환하는 스텝을 포함하며,
상기 위치특정스텝에서는, 상기 리니어스케일의 길이 및 상기 무효영역의 길이로부터 구해진 기준센서의 상기 검출부로부터의 펄스신호의 출력의 카운트값에 기초하여, 기준센서가 전환되는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템의 운용방법.
A carrier driven by a linear motor and having a reference mark in the center, a plurality of sensors disposed along a predetermined path, and a control device for controlling the linear motor to move the carrier along the path, The carrier has a linear scale, and the linear scale has an effective area of a predetermined length, which is an area in which the sensor can read the scale, and an invalid area disposed at both ends of the effective area, and the plurality of sensors have the As a method of operating a linear motor conveying system having a detection unit configured to detect a linear scale,
A reference sensor specifying step for specifying a reference sensor using an output from among the plurality of sensors to specify the position of the carrier;
And a position specifying step for repeatedly specifying the position of the carrier based on an output from the reference sensor,
The position specifying step includes a step of switching the reference sensor in the plurality of sensors according to the movement of the carrier based on an output of a pulse signal when the reference mark is detected,
In the position specifying step, the reference sensor is switched based on the count value of the output of the pulse signal from the detection unit of the reference sensor obtained from the length of the linear scale and the length of the invalid area Linear motor transport system, characterized in that How to operate.
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