KR102543853B1 - Apparatus and method for fire detection - Google Patents

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Abstract

가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치 및 방법이 제공된다. 공정 가스를 공정 장비에 제공하는 가스 및 프리커서 공급 장치, 상기 가스 및 프리커서 공급 장치 내의 영상 정보를 획득하는 영상 기반 화재 감시부, 상기 영상 정보를 이용하여, 상기 가스 및 프리커서 공급 장치 내에 제1 소화 약제를 분사하는 제1 소화 장치, 상기 영상 정보를 이용하여, 상기 공정 장비에 상기 공정 가스의 공급을 중단하는 배기 댐퍼, 상기 가스 및 프리커서 공급 장치의 내부 온도를 측정하는 온도 기반 화재 감시부, 상기 내부 온도를 이용하여, 상기 가스 및 프리커서 공급 장치 내에 제2 소화 약제를 분사하는 제2 소화 장치, 및 상기 영상 정보 및 상기 내부 온도를 전자 장치로 전송하는 통신부를 포함한다.An apparatus and method for managing a fire in a gas and precursor supply are provided. A gas and precursor supply device for providing process gas to process equipment, an image-based fire monitoring unit for obtaining image information within the gas and precursor supply device, and a fire monitoring unit that obtains image information within the gas and precursor supply device 1 A first fire extinguishing device that sprays an extinguishing agent, an exhaust damper that stops the supply of the process gas to the process equipment using the image information, and a temperature-based fire monitoring that measures the internal temperature of the gas and precursor supply device A second fire extinguishing device that injects a second fire extinguishing agent into the gas and precursor supply device using the internal temperature, and a communication unit that transmits the image information and the internal temperature to an electronic device.

Description

화재 관리 장치 및 방법{Apparatus and method for fire detection}Fire management apparatus and method {Apparatus and method for fire detection}

본 발명은 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a fire management apparatus and method in a gas and precursor supply system.

일반적으로 화재를 감지하는 방법으로는 연기 감지 센서와 열 감지 센서, 화염 감지 센서 등과 같은 화재 감지 센서들을 사용하는 경우가 있다. 그러나 이러한 화재 감지 센서를 장착하고자 할 경우 발생하는 비용 등을 고려하여 다른 방식의 화재 발생을 감지하는 방법, 예를 들어 온도 감지 센서 등을 이용하여 화재 발생을 감지하는 방법이 사용되기도 한다.In general, fire detection sensors such as a smoke detection sensor, a heat detection sensor, and a flame detection sensor may be used as a method of detecting a fire. However, a method of detecting the occurrence of a fire in another method, for example, a method of detecting the occurrence of a fire using a temperature detection sensor, is sometimes used in consideration of costs incurred when mounting such a fire detection sensor.

그 밖에, 화재시에 불꽃 안의 탄산 가스(CO2)의 공명 방사 혹은 "CO2 공명 방사"에 의해 발생하는 특정 파장(4.3um 내지 4.4um)의 적외선을 검출하여 불꽃 검출을 행하는 적외선 불꽃 검출기가 제안되었다.In addition, an infrared flame detector detects infrared rays of a specific wavelength (4.3um to 4.4um) generated by resonance radiation of carbon dioxide (CO 2 ) in a flame or “CO 2 resonance radiation” during a fire to detect flames. has been suggested

이러한 화재 발생 감시 방법들을 이용해, 반도체 혹은 LCD 팹과 같은 장소에서 화재 발생시 신속한 화재 진화가 가능하게 되었다.Using these fire monitoring methods, it is possible to rapidly extinguish a fire in the event of a fire in a place such as a semiconductor or LCD fab.

본 발명이 해결하려는 과제는, 화재 관리 장치를 가스 혹은 프리커서 공급 장치 내에 설치함으로써, 화재 관리 장치를 가스 혹은 프리커서 공급 장치 외부에 별도로 설치할 경우 차지하는 공간을 활용할 수 있는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is, by installing the fire management device in the gas or precursor supply device, in the gas and precursor supply device that can utilize the space occupied when the fire management device is separately installed outside the gas or precursor supply device. It is to provide a fire management device.

본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는, 화재 관리 장치에 쓰이는 소화 약제로 기존의 CO2, N2 등 질식 가스의 사용 대신 고체 에어로졸을 사용함으로써, 우수한 소화 능력, 내부 공간 확충, 친환경적 소화 및 격발 후 소화 약제의 교체 과정을 개선할 수 있는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치를 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to use a solid aerosol instead of the conventional CO 2 , N 2 suffocating gas as an extinguishing agent used in a fire management device, thereby providing excellent extinguishing ability, expansion of internal space, eco-friendly extinguishing and after firing. It is to provide a fire management device in a gas and precursor supply device that can improve the replacement process of extinguishing agents.

본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는, 영상 기반 화재 감시기 및 온도 기반 화재 감시기를 통해, 인력이 필요한 별도의 모니터링 없이 가스 및 프리커서 공급 장치 내에 발생한 화재에 대해 2 트랙으로 대비하여, 완벽하게 소화하는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 방법을 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to prepare for a fire occurring in a gas and precursor supply device with two tracks without separate monitoring requiring manpower through a video-based fire monitor and a temperature-based fire monitor to completely extinguish the fire. It is to provide a fire management method in a gas and precursor supply system.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예는 공정 가스를 공정 장비에 제공하는 가스 및 프리커서 공급 장치와 상기 가스 및 프리커서 공급 장치 내의 영상 정보를 획득하는 영상 기반 화재 감시부; 상기 영상 정보를 이용하여, 상기 가스 및 프리커서 공급 장치 내에 제1 소화 약제를 분사하는 제1 소화 장치; 상기 영상 정보를 이용하여, 상기 공정 장비에 상기 공정 가스의 공급을 중단하는 배기 댐퍼; 상기 가스 및 프리커서 공급 장치의 내부 온도를 측정하는 온도 기반 화재 감시부; 상기 내부 온도를 이용하여, 상기 가스 및 프리커서 공급 장치 내에 제2 소화 약제를 분사하는 제2 소화 장치; 및 상기 영상 정보 및 상기 내부 온도를 전자 장치로 전송하는 통신부를 포함하는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치이다.An embodiment of the present invention for achieving the above technical problem is a gas and precursor supply device for providing a process gas to the process equipment and an image-based fire monitoring unit for acquiring image information in the gas and precursor supply device; a first fire extinguishing device injecting a first fire extinguishing agent into the gas and precursor supply device by using the image information; an exhaust damper that stops supply of the process gas to the process equipment by using the image information; a temperature-based fire monitoring unit for measuring internal temperatures of the gas and precursor supplying device; a second fire extinguishing device injecting a second fire extinguishing agent into the gas and precursor supply device using the internal temperature; and a communication unit for transmitting the image information and the internal temperature to an electronic device.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일 실시예는 가스 및 프리커서 공급 장치가 공정 장비에 공정 가스를 제공하고, 영상 기반 화재 감시부가 상기 가스 및 프리커서 공급 장치 내의 영상 정보를 획득하고, 상기 영상 정보를 이용하여, 제1 소화 장치가 상기 가스 및 프리커서 공급 장치 내에 제1 소화 약제를 분사하고, 상기 영상 정보를 이용하여, 배기 댐퍼가 상기 공정 장비에 상기 공정 가스의 공급을 중단하고, 온도 기반 화재 감시부가 상기 가스 및 프리커서 공급 장치의 내부 온도를 측정하고, 상기 내부 온도를 이용하여, 제2 소화 장치가 상기 가스 및 프리커서 공급 장치 내에 제2 소화 약제를 분사하고, 통신부가 상기 영상 정보 및 상기 내부 온도를 전자 장치로 전송하는 것을 포함하는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 방법이다.In another embodiment of the present invention for achieving the above technical problem, a gas and precursor supply device provides process gas to process equipment, and an image-based fire monitoring unit acquires image information in the gas and precursor supply device, , Using the image information, the first fire extinguishing device injects the first extinguishing agent into the gas and precursor supply device, and the exhaust damper stops supplying the process gas to the process equipment using the image information And, the temperature-based fire monitoring unit measures the internal temperature of the gas and precursor supply device, uses the internal temperature, and the second fire extinguishing device injects a second extinguishing agent into the gas and precursor supply device, and the communication unit A fire management method in a gas and precursor supply device comprising transmitting the image information and the internal temperature to an electronic device.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

도 1은 공정 가스를 공정 장비에 제공하는 가스 및 프리커서 공급 장치와 가스 및 프리커서 공급 장치의 외부에 존재하는 화재 관리 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른, 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치를 도시하는 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른, 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치의 동작을 도시하는 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 실시예들에 따른, 영상 기반 화재 감시부의 동작 흐름도이다.1 is a diagram illustrating a gas and precursor supply device for providing process gas to process equipment and a fire management device external to the gas and precursor supply device.
2 is a block diagram illustrating a fire management device in a gas and precursor supply system, according to embodiments of the present invention.
3 is a flow diagram illustrating the operation of a fire management device in a gas and precursor supply device, in accordance with embodiments of the present invention.
4 is an operation flowchart of an image-based fire monitoring unit according to embodiments of the present invention.

이하에서, 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 기술적 사상의 몇몇 실시예에 따른 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치 및 방법을 설명한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 1 to 4 , a fire management device and method in a gas and precursor supply device according to some embodiments of the technical idea of the present invention will be described.

도 1은 공정 가스를 공정 장비에 제공하는 가스 및 프리커서 공급 장치(10)와 가스 및 프리커서 공급 장치(10)의 외부에 존재하는 화재 관리 장치(12)를 나타낸 도면이다.1 is a diagram showing a gas and precursor supply device 10 for providing process gas to process equipment and a fire management device 12 existing outside the gas and precursor supply device 10 .

이하에서 설명되는 화재 관리 장치는 위험물의 저장 및 취급의 제한에 대한 위험물 안전 관리법 제5 조 4항의 소화 설비의 기준, 경보 설비의 기준('화재 발생시 소화가 곤란한 정도에 따라 그 소화에 적응성이 있는 소화 설비를 설치하여야 한다.', '화재 발생시 이를 알릴 수 있는 경보 설비를 설치하여야 한다.)에 따라 반도체 또는 LCD 팹 내에 가스 및 프리커서 공급 장치(10)의 화재에 대비해 설치될 수 있다.The fire management system described below is based on the standard of fire extinguishing facilities in Article 5, Paragraph 4 of the Dangerous Materials Safety Management Act for the restriction of storage and handling of dangerous materials, and the standard of alarm facilities ('Fire Extinguishing Depending on the Difficulty of Fire Extinguishing Fire extinguishing equipment must be installed', 'Alarm equipment to notify when a fire occurs must be installed), the gas and precursor supply device 10 in a semiconductor or LCD fab may be installed in preparation for a fire.

도 1을 참고하면, 반도체 및 LCD 팹 내의 가스 및 프리커서 공급 장치(10)의 화재 관리 장치(12)는 가스 및 프리커서 공급 장치(10)의 외부에 별도로 설치된다. 가스 및 프리커서 공급 장치(10) 내 화재 발생 시, 화재 관리 장치(12)가 가스 및 프리커서 공급 장치(10)와 연결된 배관(11)을 통해 소화 약제를 가스 및 프리커서 공급 장치(10) 내에 공급함으로써 화재가 진압될 수 있다.Referring to FIG. 1 , a fire management device 12 of a gas and precursor supply device 10 in a semiconductor and LCD fab is separately installed outside the gas and precursor supply device 10 . When a fire occurs in the gas and precursor supply device 10, the fire management device 12 distributes the extinguishing agent to the gas and precursor supply device 10 through the pipe 11 connected to the gas and precursor supply device 10. The fire can be extinguished by supplying

화재 관리 장치(12)는 이산화탄소(CO2) 혹은 질소(N2)와 같은 소화 약제를 별도의 고압 용기에 저장해 둘 수 있다. 화재 시, 화재 관리 장치(12)는 수동 또는 자동으로 소화 약제를 분사할 수 있다. 하지만, 별도의 고압 용기 등의 설치를 위해, 반도체 또는 LCD 팹 내에 적지 않은 공간이 소요된다. 또한, 화재 관리 장치의 소화 약제는 주기적인 관리가 필요하다. 하지만, 소화 약제의 교체 혹은 관리시 고압 용기 자체의 크기와 무게로 인해 고압 용기가 반도체 또는 LCD 팹의 좁은 공간을 이동하기에 용이하지 않을 수 있다. The fire management device 12 may store an extinguishing agent such as carbon dioxide (CO 2 ) or nitrogen (N 2 ) in a separate high-pressure container. In case of fire, the fire management device 12 may manually or automatically spray the extinguishing agent. However, for the installation of a separate high-pressure vessel or the like, a considerable amount of space is required in a semiconductor or LCD fab. In addition, the fire extinguishing agent of the fire management device needs periodic management. However, due to the size and weight of the high-pressure container itself, it may not be easy to move the high-pressure container in a narrow space of a semiconductor or LCD fab when replacing or managing fire extinguishing agents.

무색, 무취의 이산화탄소(CO2)는 화재 관리 장치(102)의 소화 약제로써 무독성이다. 하지만, CO2의 방사 후, 산소 농도가 14%이상 16%이하까지 저하될 수 있다. 이로 인해, 작업자가 질식될 위험에 노출될 수 있다. 또한, 액화 이산화탄소가 대기압 하로 방출될 때, 일정량은 즉시 기화되고 나머지는 증발하면서 냉각될 수 있다. 냉각된 이산화탄소는 가스 및 프리커서 공급 장치 혹은 반도체 또는 LCD 팹 내의 정밀 기기에 손상을 줄 수 있다. 또한, 냉각된 이산화탄소에 의해, 작업자가 동상에 걸릴 위험도 있다. Colorless, odorless carbon dioxide (CO 2 ) is non-toxic as an extinguishing agent in the fire management device 102. However, after radiation of CO 2 , the oxygen concentration may be lowered to 14% or more and 16% or less. This may expose workers to the risk of suffocation. Also, when liquefied carbon dioxide is released under atmospheric pressure, a certain amount can be immediately vaporized and the rest can be cooled while evaporating. Chilled carbon dioxide can damage gas and precursor supplies or precision equipment in semiconductor or LCD fabs. In addition, there is a risk of workers suffering from frostbite due to the cooled carbon dioxide.

무색, 무취의 질소(N2)는 화재 관리 장치(12)의 다른 소화 약제일 수 있다. 질소는 그 자체로 독성은 없다. 하지만, 질소 가스를 이용한 공기의 희석을 통해, 공기 중의 산소 농도는 연소 한계 이하까지 낮춰져, 화재가 소화될 수 있다. 이와 같은 경우, 작업자는 저 산소 농도 환경에 노출되어, 작업자가 질식될 위험이 있다.Colorless, odorless nitrogen (N 2 ) may be another extinguishing agent in the fire management device 12 . Nitrogen itself is not toxic. However, through dilution of the air with nitrogen gas, the oxygen concentration in the air is lowered below the combustion limit, and the fire can be extinguished. In this case, the worker is exposed to a low oxygen concentration environment, and there is a risk of suffocating the worker.

도 2는 본 발명의 실시예들에 따른, 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내 화재 관리 장치(200)를 도시한 블록도이다.2 is a block diagram showing a fire management device 200 within a gas and precursor supply device 100 according to embodiments of the present invention.

도 2를 참고하면, 본 발명의 실시예들에 따른 가스 및 프리커서 공급 장치(100)는 가스 공급 캐비닛(201) 내에 설치된 가스 공급 모듈(202)과, 화재 관리 장치(200)를 포함할 수 있다. 화재 관리 장치(200)는 카메라 장치(205), 영상 기반 화재 감시부(210), 온도 기반 화재 감시부(220), 제1 소화 장치(240), 제2 소화 장치(250), 배기 댐퍼(260), 통신부(270) 및 프로세서(280)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2 , a gas and precursor supply device 100 according to embodiments of the present invention may include a gas supply module 202 installed in a gas supply cabinet 201 and a fire management device 200. there is. The fire management device 200 includes a camera device 205, an image-based fire monitoring unit 210, a temperature-based fire monitoring unit 220, a first fire extinguishing device 240, a second fire extinguishing device 250, an exhaust damper ( 260), a communication unit 270 and a processor 280.

카메라 장치(205), 전자 장치(290)는 가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 혹은 외부에 포함될 수 있다.The camera device 205 and the electronic device 290 may be included inside or outside the gas and precursor supply device 100 .

영상 기반 화재 감시부(210)는 카메라 장치(205)를 통해 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내 영상 정보를 획득할 수 있다. 카메라 장치(205)는 이동식 촬영 장치를 포함할 수 있다. 카메라 장치(205)는 차량용 블랙 박스 장치, 스마트 기기의 카메라 장치 및 인공 위성의 카메라 장치 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 카메라 장치(205)는 UV(Ultraviolet ray)/IR(Infrared ray)을 기반으로 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내 불꽃을 감지할 수 있다. The image-based fire monitoring unit 210 may acquire image information within the gas and precursor supply device 100 through the camera device 205 . The camera device 205 may include a mobile photographing device. The camera device 205 may include at least one of a vehicle black box device, a camera device of a smart device, and a camera device of an artificial satellite. The camera device 205 may detect a flame in the gas and precursor supply device 100 based on UV (Ultraviolet ray)/IR (Infrared ray).

카메라 장치(205)는 영상 기반 화재 감시부(210)와 직접 연결되어 영상 정보를 제공할 수 있다. 카메라 장치(205)는 또한, 통신망을 이용하여 원거리에 있는 영상 기반 화재 감시부(210)에 카메라 장치(205)가 촬영한 영상 정보를 제공할 수 있다. The camera device 205 may be directly connected to the image-based fire monitoring unit 210 to provide image information. The camera device 205 may also provide image information captured by the camera device 205 to a remote video-based fire monitoring unit 210 using a communication network.

촬영한 영상 정보를 통해 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 불꽃이 발생되었는지 여부는, 프로세서(280)를 통해 판단될 수 있다. 다른 실시예들에서, 촬영한 영상 정보를 통해 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 불꽃이 발생되었는지 여부는 영상 기반 화재 감시부(210) 내의 판단부를 통해 판단될 수 있다.Whether a spark is generated in the gas and precursor supply device 100 may be determined through the processor 280 based on the captured image information. In other embodiments, whether a flame is generated in the gas and precursor supply device 100 through the captured image information may be determined through a determination unit in the image-based fire monitoring unit 210 .

카메라 장치(205)와 영상 기반 화재 감시부(210) 사이의 통신망은 와이파이, 3G, LTE(Long Term Evolution) 및 5G 통신망을 포함할 수 있다. 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 발생된 불꽃으로부터 방출된 자외선 파장이 185nm 이상 260nm 이하일 수 있다. 이 경우, 배기 댐퍼(260)는 프로세서(280)를 통해 닫힐 수 있다. 또한, 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 발생된 불꽃으로부터 방출된 적외선의 파장이 약 4.3um일 수 있다. 이 경우에도 배기 댐퍼(260)는 프로세서(280)를 통해 닫힐 수 있다. The communication network between the camera device 205 and the video-based fire monitoring unit 210 may include Wi-Fi, 3G, LTE (Long Term Evolution) and 5G communication networks. A wavelength of ultraviolet light emitted from a flame generated in the gas and precursor supply device 100 may be greater than or equal to 185 nm and less than or equal to 260 nm. In this case, the exhaust damper 260 may be closed through the processor 280. In addition, a wavelength of infrared rays emitted from a flame generated in the gas and precursor supply device 100 may be about 4.3 μm. Even in this case, the exhaust damper 260 may be closed through the processor 280 .

배기 댐퍼(260)는 오토 댐퍼(230)에 의해 닫힐 수 있다. 이 경우, 배기 댐퍼(260)는 프로세서(280)를 통해 제어되지 않을 수 있다.The exhaust damper 260 may be closed by an auto damper 230 . In this case, the exhaust damper 260 may not be controlled through the processor 280 .

가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 발생된 불꽃으로부터 방출된 자외선 파장이 185nm 이상 260nm 이하인 경우, 제1 소화 약제를 분사하는 제1 소화 장치(240)가 프로세서(280)를 통해 작동될 수 있다. 또한, 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 발생된 불꽃으로부터 방출된 적외선의 파장이 약 4.3um 인 경우, 제1 소화 약제를 분사하는 제1 소화 장치(240)가 프로세서(280)를 통해 작동될 수 있다. 카메라 장치(205)를 통해 획득된 영상 정보는 통신부(270)를 통해 화재 담당 관리자의 휴대폰, 관리 서버 및 외부 소방 기관의 서버 등과 같은 전자 장치(290)에 전송될 수 있다. 가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 온도는 온도 기반 화재 감시부(220)의 온도 센서를 통해 측정될 수 있다. 즉, 가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 온도가 설정 온도(설정값) 범위 내경우, 프로세서(280)를 통해 배기 댐퍼(260)가 닫힐 수 있다. 예를 들어, 설정값은 50℃ 이상 100℃ 이하일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.When the ultraviolet wavelength emitted from the flame generated in the gas and precursor supply device 100 is greater than or equal to 185 nm and less than or equal to 260 nm, the first fire extinguishing device 240 spraying the first fire extinguishing agent may be operated through the processor 280. there is. In addition, the wavelength of infrared rays emitted from the flame generated in the gas and precursor supply device 100 is about 4.3um. In this case, the first fire extinguishing device 240 spraying the first fire extinguishing agent may be operated through the processor 280 . Image information obtained through the camera device 205 may be transmitted to the electronic device 290 such as a mobile phone of a manager in charge of fire, a management server, and a server of an external fire department through the communication unit 270 . The internal temperature of the gas and precursor supply device 100 may be measured through a temperature sensor of the temperature-based fire monitoring unit 220 . That is, when the internal temperature of the gas and precursor supply device 100 is within a set temperature (set value) range, the exhaust damper 260 may be closed through the processor 280 . For example, the set value may be 50° C. or more and 100° C. or less, but is not limited thereto.

배기 댐퍼(260)는 오토 댐퍼(230)에 의해 닫힐 수 있다. 이 경우, 배기 댐퍼(260)는 프로세서(280)에 의해 제어되지 않을 수 있다.The exhaust damper 260 may be closed by an auto damper 230 . In this case, the exhaust damper 260 may not be controlled by the processor 280 .

가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 온도가 설정값 이상인 경우, 제2 소화 약제를 분사하는 제2 소화 장치(250)가 작동될 수 있다. 또한, 온도 기반 화재 감시부(220)를 통해 측정된 가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 온도 정보는 통신부(270)를 통해 화재 담당 관리자의 휴대폰, 관리 서버 및 외부 소방 기관의 서버 등과 같은 전자 장치(290)에 전송될 수 있다. When the internal temperature of the gas and precursor supply device 100 is higher than the set value, the second fire extinguishing device 250 spraying the second fire extinguishing agent may be operated. In addition, the internal temperature information of the gas and precursor supply device 100 measured by the temperature-based fire monitoring unit 220 is transmitted through the communication unit 270, such as a mobile phone of a manager in charge of fire, a management server, and a server of an external fire department. It may be transmitted to the electronic device 290.

온도 기반 화재 감시부(220)는 설정값 이상이면 파손되는 유리 벌브를 포함할 수 있다. 화재의 열로 인하여 유리 벌브의 주위 온도가 상승되면, 유리 벌브 내부의 액체가 팽창되어, 유리 벌브가 파손된다. 유리 벌브의 파손을 통해, 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에 설정값 이상의 화재가 발생하였음을 알 수 있다. 유리 벌브가 파손된 경우 제2 소화 약제를 분사하는 제2 소화 장치(250)가 작동될 수 있다. 또한, 프로세서(280)를 통해 배기 댐퍼(260)가 닫힐 수 있다. The temperature-based fire monitoring unit 220 may include a glass bulb that is broken if it exceeds a set value. When the ambient temperature of the glass bulb rises due to the heat of the fire, the liquid inside the glass bulb expands and the glass bulb breaks. Through the breakage of the glass bulb, it can be seen that a fire greater than a set value has occurred in the gas and precursor supply device 100 . When the glass bulb is broken, the second fire extinguishing device 250 spraying the second fire extinguishing agent may be operated. Also, the exhaust damper 260 may be closed through the processor 280 .

배기 댐퍼(260)는 오토 댐퍼(230)에 의해 닫힐 수 있다. 이 경우, 배기 댐퍼(260)는 프로세서(280)를 통해 제어되지 않을 수 있다.The exhaust damper 260 may be closed by an auto damper 230 . In this case, the exhaust damper 260 may not be controlled through the processor 280 .

유리 벌브의 파손을 통해 측정된 가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 온도가 통신부(270)를 통해 화재 담당 관리자의 휴대폰, 관리 서버 및 외부 소방 기관의 서버 등과 같은 전자 장치(290)로 전송될 수 있다.The internal temperature of the gas and precursor supply device 100 measured through the breakage of the glass bulb is transmitted through the communication unit 270 to an electronic device 290 such as a mobile phone of a fire manager, a management server, and a server of an external fire department. It can be.

가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 온도가 설정값 범위 내인지 여부는, 프로세서(280)를 통해 판단될 수 있다. 다른 실시예들에서 가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 온도가 설정값 범위 내인지 여부는, 온도 기반 화재 감시부(220) 내의 판단부를 통해 판단될 수 있다.Whether the internal temperature of the gas and precursor supply device 100 is within a set value range may be determined through the processor 280 . In other embodiments, whether the internal temperature of the gas and precursor supply device 100 is within a set value range may be determined through a determination unit in the temperature-based fire monitoring unit 220 .

제1 소화 장치(240) 및/또는 제2 소화 장치(250)는 고체화합물을 소화 약제로 사용하는 고체에어로졸 소화기를 포함한다. 일반적으로 소화기는 소화 약제의 종류나 작동 방식 등에 따라 다양하게 분류된다. 소화 약제의 종류는 액상이나 분말 또는 고체 화합물 등으로 구별된다. 고체에어로졸 소화기는 본체에 고체 화합물 소화 약제와 냉각제가 내장되어 있을 수 있다. The first extinguishing device 240 and/or the second extinguishing device 250 include a solid aerosol fire extinguisher using a solid compound as an extinguishing agent. In general, fire extinguishers are classified in various ways according to the type of fire extinguishing agent or operation method. Types of fire extinguishing agents are classified into liquid, powder, or solid compounds. A solid aerosol fire extinguisher may have a solid compound extinguishing agent and a coolant built into the main body.

불꽃을 감지하는 경우, 고체에어로졸 소화기는 전기 신호에 의하여 자동으로 작동될 수 있다. 또한, 고체에어로졸 소화기는 설정값 이상의 온도를 감지하는 경우, 고체에어로졸 소화기는 전기 신호에 의하여 자동으로 작동될 수 있다. 고체에어로졸 소화기는 고체 화합물을 연소 수단에 의해 발화 연소시킨다. 고체 화합물은 불활성, 비독성 고체로 인체에 무해하며 약제 잔류물이 생성되지 않는다. 고체 화합물은 이동이나 설치가 간편하다. 따라서, 단계(S304) 후, 제1 소화 약제 및/또는 제2 소화 약제에 포함된 고체 화합물은 용이하게 교체될 수 있다. 또한, 제1 소화 약제 및/또는 제2 소화 약제에 포함된 고체 화합물의 주기적인 교체도 용이할 수 있다.When detecting a flame, a solid aerosol fire extinguisher can be automatically activated by an electrical signal. In addition, when the solid aerosol fire extinguisher detects a temperature higher than the set value, the solid aerosol fire extinguisher may be automatically operated by an electric signal. Solid aerosol fire extinguishers ignite and burn solid compounds by combustion means. Solid compounds are inert, non-toxic solids that are harmless to the human body and do not produce drug residues. The solid compound is easy to move or install. Therefore, after step S304, the solid compound included in the first extinguishing agent and/or the second extinguishing agent can be easily replaced. In addition, periodic replacement of the solid compound included in the first extinguishing agent and/or the second extinguishing agent may be facilitated.

제1 소화 장치(240) 및/또는 제2 소화 장치(250)는 방폭 기능을 포함할 수 있다.The first extinguishing device 240 and/or the second extinguishing device 250 may include an explosion-proof function.

도 3은 본 발명의 실시예들에 따른, 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내 화재 관리 방법을 도시하는 흐름도이다. 참고적으로, 도 3을 이용하여 설명되는 화재 관리 방법은 도 2의 화재 관리 장치(200)에 의해 수행되는 과정일 수 있다.3 is a flow chart illustrating a fire management method in a gas and precursor supply device 100 according to embodiments of the present invention. For reference, the fire management method described using FIG. 3 may be a process performed by the fire management device 200 of FIG. 2 .

도 2 및 도 3을 참고하면, 가스 및 프리커서 공급 장치(100)가 공정 장비에 공정 가스를 제공할 수 있다. 영상 기반 화재 감시부(210)는 카메라 장치(205)를 통해 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내 영상 정보를 획득(S300) 할 수 있다. 영상 기반 화재 감시부(210)는 획득한 영상 정보를 통해 불꽃을 감지(S301)할 수 있다. Referring to FIGS. 2 and 3 , the gas and precursor supply device 100 may provide process gases to process equipment. The image-based fire monitoring unit 210 may acquire image information within the gas and precursor supply device 100 through the camera device 205 (S300). The image-based fire monitoring unit 210 may detect a flame through the acquired image information (S301).

카메라 장치(205)는 가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 혹은 외부에 포함될 수 있다.The camera device 205 may be included inside or outside the gas and precursor supply device 100 .

카메라 장치(205)는 이동식 촬영 장치를 포함할 수 있다. 카메라 장치(205)는 차량용 블랙 박스 장치, 스마트 기기의 카메라 장치 및 인공 위성의 카메라 장치를 포함할 수 있다. 카메라 장치는 UV/IR을 기반으로 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내 불꽃을 감지(S301)할 수 있다.The camera device 205 may include a mobile photographing device. The camera device 205 may include a vehicle black box device, a camera device of a smart device, and a camera device of an artificial satellite. The camera device may detect flames in the gas and precursor supply device 100 based on UV/IR (S301).

카메라 장치(205)는 영상 기반 화재 감시부(210)와 직접 연결되어 영상 정보를 제공할 수 있다. 카메라 장치(205)는 또한, 통신망을 이용하여 원거리에 있는 영상 기반 화재 감시부(210)에 카메라 장치(205)가 촬영한 영상 정보를 제공할 수 있다.The camera device 205 may be directly connected to the image-based fire monitoring unit 210 to provide image information. The camera device 205 may also provide image information captured by the camera device 205 to a remote video-based fire monitoring unit 210 using a communication network.

촬영한 영상 정보를 통해 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 불꽃이 발생되었는지 여부는, 프로세서(280)를 통해 판단될 수 있다. 다른 실시예들에서, 촬영한 영상 정보를 통해 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 불꽃이 발생되었는지 여부는 영상 기반 화재 감시부(210) 내의 판단부를 통해 판단될 수 있다.Whether a spark is generated in the gas and precursor supply device 100 may be determined through the processor 280 based on the captured image information. In other embodiments, whether a flame is generated in the gas and precursor supply device 100 through the captured image information may be determined through a determination unit in the image-based fire monitoring unit 210 .

카메라 장치(205)와 영상 기반 화재 감시부(210) 사이의 통신망은 와이파이, 3G, LTE(Long Term Evolution) 및 5G 통신망을 포함할 수 있다. 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 발생된 불꽃으로부터 방출된 자외선 파장이 185nm 이상 260nm 이하인 경우 및/또는 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에서 발생된 불꽃으로부터 방출된 적외선의 파장이 약 4.3um 인 경우, 영상 기반 화재 감시부(210) 내의 판단부 혹은 프로세서(280)가 불꽃을 감지(S301)한 것으로 판단할 수 있다.The communication network between the camera device 205 and the video-based fire monitoring unit 210 may include Wi-Fi, 3G, LTE (Long Term Evolution) and 5G communication networks. When the wavelength of ultraviolet rays emitted from the flame generated within the gas and precursor supply device 100 is 185 nm or more and less than or equal to 260 nm, and/or when the wavelength of infrared rays emitted from the flame generated within the gas and precursor supply device 100 is about 4.3um In the case of , it may be determined that the determination unit or processor 280 in the image-based fire monitoring unit 210 detects a flame (S301).

불꽃이 감지(S301)된 경우, 통신부(270)를 통해 화재 담당 관리자의 휴대폰, 관리 서버 및 외부 소방 기관의 서버 등과 같은 전자 장치(290)로 영상 정보가 송신(S302)될 수 있다. 불꽃이 감지(S301)된 경우, 배기 댐퍼(260)가 닫힐(S303) 수 있다. 또한, 불꽃이 감지(S301)된 경우, 제1 소화 약제를 분사하는 제1 소화 장치(240)가 작동(S304)될 수 있다.When a flame is detected (S301), image information may be transmitted to an electronic device 290, such as a mobile phone of a manager in charge of fire, a management server, and a server of an external fire department, through the communication unit 270 (S302). When the flame is detected (S301), the exhaust damper 260 may be closed (S303). In addition, when a flame is detected (S301), the first fire extinguishing device 240 for injecting the first fire extinguishing agent may be operated (S304).

단계(S303)에서 배기 댐퍼(260)는 오토 댐퍼(230)에 의해 닫힐 수 있다. 이 경우, 배기 댐퍼(260)는 프로세서(280)에 의해 제어되지 않을 수 있다.In step S303, the exhaust damper 260 may be closed by the auto damper 230. In this case, the exhaust damper 260 may not be controlled by the processor 280 .

단계(S304)에서 제1 소화 장치(240)는 고체화합물을 소화약제로 사용하는 고체에어로졸 소화기를 포함한다. 일반적으로 소화기는 소화 약제의 종류나 작동 방식 등에 따라 다양하게 분류된다. 소화 약제의 종류는 액상이나 분말 또는 고체 화합물 등으로 구별된다. 고체에어로졸 소화기는 본체에 고체 화합물 소화 약제와 냉각제가 내장되어 있을 수 있다.In step S304, the first fire extinguishing device 240 includes a solid aerosol fire extinguisher using a solid compound as an extinguishing agent. In general, fire extinguishers are classified in various ways according to the type of fire extinguishing agent or operation method. Types of fire extinguishing agents are classified into liquid, powder, or solid compounds. A solid aerosol fire extinguisher may have a solid compound extinguishing agent and a coolant built into the main body.

불꽃을 감지(S301)하는 경우, 고체 에어로졸 소화기는 전기 신호에 의하여 자동으로 작동될 수 있다. 고체에어로졸 소화기는 고체 화합물을 연소 수단에 의해 발화 연소시킨다. 고체 화합물은 불활성, 비독성 고체로 인체에 무해하며 약제 잔류물이 생성되지 않는다. 고체 화합물은 이동이나 설치가 간편하다. 따라서, 단계(S304) 후, 제1 소화 약제에 포함된 고체 화합물은 용이하게 교체될 수 있다. 또한, 제1 소화 약제에 포함된 고체 화합물의 주기적인 교체도 용이할 수 있다.In the case of detecting a flame (S301), the solid aerosol fire extinguisher may be automatically operated by an electric signal. Solid aerosol fire extinguishers ignite and burn solid compounds by combustion means. Solid compounds are inert, non-toxic solids that are harmless to the human body and do not produce drug residues. The solid compound is easy to move or install. Therefore, after step S304, the solid compound included in the first extinguishing agent can be easily replaced. In addition, periodic replacement of the solid compound included in the first fire extinguishing agent may be facilitated.

단계(S304)를 통해, 제1 차 소화가 완료(S305)되면 전자 장치(290)로 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내 영상 정보의 송신이 해제(S310)될 수 있다. Through step S304, when the first digestion is completed (S305), transmission of image information within the gas and precursor supply device 100 to the electronic device 290 may be released (S310).

제1 차 소화 장치 작동에 의해 소화가 완료되지 않았을 때, 온도 기반 화재 감시부(220)를 통한 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내부 온도 측정(S306) 결과가 이용될 수 있다. 단계(S306)를 통해 측정된 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내부 온도가 설정값 이상일 수 있다. When the fire extinguishing is not completed by the operation of the first fire extinguishing device, the result of measuring the internal temperature of the gas and precursor supply device 100 through the temperature-based fire monitoring unit 220 (S306) may be used. The internal temperature of the gas and precursor supply device 100 measured in step S306 may be greater than or equal to the set value.

가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 온도가 설정값 범위 내인지 여부는, 프로세서(280)를 통해 판단될 수 있다. 다른 실시예들에서 가스 및 프리커서 공급 장치(100)의 내부 온도가 설정값 범위 내인지 여부는, 온도 기반 화재 감시부(220) 내의 판단부를 통해 판단될 수 있다.Whether the internal temperature of the gas and precursor supply device 100 is within a set value range may be determined through the processor 280 . In other embodiments, whether the internal temperature of the gas and precursor supply device 100 is within a set value range may be determined through a determination unit in the temperature-based fire monitoring unit 220 .

이때, 통신부(270)를 통해 화재 담당 관리자의 휴대폰, 관리 서버 및 외부 소방 기관의 서버 등과 같은 전자 장치(290)로 내부 온도가 전송(S307)될 수 있다. 또한, 단계(S306)를 통해 측정된 내부 온도가 설정값 이상인 경우 제2 소화 약제를 분사하는 제2 소화 장치(250)가 작동(S308)될 수 있다. At this time, the internal temperature may be transmitted through the communication unit 270 to the electronic device 290, such as a mobile phone of a manager in charge of fire, a management server, and a server of an external fire department (S307). In addition, when the internal temperature measured in step S306 is equal to or higher than the set value, the second fire extinguishing device 250 spraying the second fire extinguishing agent may be operated (S308).

단계(S308)의 제2 소화 장치(250)는 고체화합물을 소화약제로 사용하는 고체에어로졸 소화기를 포함한다. 일반적으로 소화기는 소화 약제의 종류나 작동 방식 등에 따라 다양하게 분류된다. 그 중 소화 약제의 종류는 액상이나 분말 또는 고체 화합물 등으로 구별된다. 고체에어로졸 소화기는 본체에 고체 화합물 소화 약제와 냉각제가 내장되어 있을 수 있다.The second fire extinguishing device 250 of step S308 includes a solid aerosol fire extinguisher using a solid compound as an extinguishing agent. In general, fire extinguishers are classified in various ways according to the type of fire extinguishing agent or operation method. Among them, the types of fire extinguishing agents are classified into liquid, powder, or solid compounds. A solid aerosol fire extinguisher may have a solid compound extinguishing agent and a coolant built into the main body.

온도 기반 화재 감시부(220)를 통해 설정값 이상의 온도를 감지하는 경우, 고체에어로졸 소화기는 전기 신호에 의하여 자동으로 작동될 수 있다. 고체에어로졸 소화기는 고체 화합물을 연소 수단에 의해 발화 연소시킨다. 고체 화합물은 불활성, 비독성 고체로 인체에 무해하며 약제 잔류물이 생성되지 않는다. 고체 화합물은 이동이나 설치가 간편하다. 따라서, 단계(S308) 후 제2 소화 약제에 포함된 고체 화합물은 용이하게 교체될 수 있다. 또한, 제2 소화 약제에 포함된 고체 화합물의 주기적인 교체도 용이할 수 있다.When a temperature higher than the set value is detected through the temperature-based fire monitoring unit 220, the solid aerosol fire extinguisher may be automatically operated by an electric signal. Solid aerosol fire extinguishers ignite and burn solid compounds by combustion means. Solid compounds are inert, non-toxic solids that are harmless to the human body and do not produce drug residues. The solid compound is easy to move or install. Therefore, the solid compound included in the second fire extinguishing agent after step S308 can be easily replaced. In addition, periodic replacement of the solid compound included in the second fire extinguishing agent may be facilitated.

단계(S306)의 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내부 온도는 온도 센서를 통해 측정될 수 있다. The internal temperature of the gas and precursor supply device 100 in step S306 may be measured through a temperature sensor.

단계(S306)의 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내부 온도는 설정값 이상이면 파손되는 유리 벌브를 통해 측정될 수 있다. 화재의 열로 인하여 유리 벌브의 주위 온도가 상승되면, 유리 벌브 내부의 액체가 팽창 되어, 유리 벌브가 파손된다. 유리 벌브의 파손을 통해, 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내에 설정값 이상의 화재가 발생하였음을 알 수 있다. 유리 벌브가 파손된 경우 단계(S307) 및 단계(S308)이 수행될 수 있다.The internal temperature of the gas and precursor supply device 100 in step S306 may be measured through a glass bulb that is broken if it is higher than a set value. When the ambient temperature of the glass bulb rises due to the heat of the fire, the liquid inside the glass bulb expands and the glass bulb breaks. Through the breakage of the glass bulb, it can be seen that a fire greater than a set value has occurred in the gas and precursor supply device 100 . Steps S307 and S308 may be performed when the glass bulb is broken.

제2 차 소화 완료가 되는 경우, 제1 소화 장치(240) 및 제2 소화 장치(250)의 작동이 해제(S309)된다. 단계(S309) 이후 전자 장치(290)로 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내부 영상 정보 및 온도 정보 전송이 해제(S310)된다. 그 후, 배기 댐퍼(260)가 열려(S311) 공정 가스를 공정 장비에 공급할 수 있다. When the secondary fire extinguishing is completed, the operation of the first fire extinguishing device 240 and the second fire extinguishing device 250 is released (S309). After step S309, transmission of internal image information and temperature information of the gas and precursor supply device 100 to the electronic device 290 is canceled (S310). Thereafter, the exhaust damper 260 is opened (S311) to supply process gas to process equipment.

단계(S311)에서 배기 댐퍼(260)는 오토 댐퍼(230)에 의해 제어될 수 있다. 이 경우, 배기 댐퍼(260)는 프로세서(280)를 통해 제어되지 않을 수 있다.In step S311, the exhaust damper 260 may be controlled by the auto damper 230. In this case, the exhaust damper 260 may not be controlled through the processor 280 .

사용된 제1 소화 장치(240) 및/또는 제2 소화 장치(250)가 점검될 수 있다. 또한, 제1 및/또는 소화 약제가 교체될 수 있다. 그 후, 영상 기반 화재 감시부(210) 및 온도 기반 화재 감시부(220)가 작동(S312)될 수 있다.The used first extinguishing device 240 and/or second extinguishing device 250 may be checked. Also, the first and/or fire extinguishing agent may be replaced. After that, the image-based fire monitoring unit 210 and the temperature-based fire monitoring unit 220 may operate (S312).

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른, 영상 기반 화재 감시부(210)의 동작 흐름도이다. 4 is an operation flowchart of the image-based fire monitoring unit 210 according to an embodiment of the present invention.

가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내 불꽃이 발생한 지점을 중심으로 불꽃이 확산되지 않고 소멸될 수 있다. 그러나, 불꽃 발생만으로 단계(S304)가 이루어질 수 있다. 이 경우, 불필요한 제1 소화 장치(240)의 제1 소화 약제에 의해 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내부가 손상을 입을 수 있다. 따라서, 불꽃의 확산 여부에 대한 추가적 판단이 필요하다.The flame may be extinguished without spreading around the point where the flame is generated in the gas and precursor supply device 100 . However, step S304 may be performed only by generating sparks. In this case, the inside of the gas and precursor supply device 100 may be damaged by the unnecessary first extinguishing agent of the first extinguishing device 240 . Therefore, it is necessary to additionally determine whether or not the flame spreads.

도 4를 참고하면, 영상 기반 화재 감시부(210)는 제1 차 탐지(S410) 후 제2 차 탐지(S420)를 할 수 있다. 단계(S410)는 영상 기반 화재 감시부(210)가 가스 및 프리커서 공급 장치(100) 내 불꽃이 일어난 이후, 불꽃이 일어난 영역을 탐지할 수 있다. 단계(S420)는 단계(S410)에서 탐지된 영역을 중심으로 영상 기반 화재 감시부(210)가 불꽃의 확산이 발생하였는지 탐지할 수 있다. Referring to FIG. 4 , the video-based fire monitoring unit 210 may perform a second detection (S420) after the first detection (S410). In step S410, the video-based fire monitoring unit 210 may detect an area where a spark occurs after a spark occurs in the gas and precursor supply device 100. In step S420, the video-based fire monitoring unit 210 may detect whether spread of flame has occurred around the area detected in step S410.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 도 3의 동작은 다른 순서 또는 동시에 제시된 순서로 수행될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, the operations of FIG. 3 may be performed in a different order or in an order presented at the same time, and those skilled in the art to which the present invention belongs will understand that the present invention It will be understood that it may be embodied in other specific forms without changing the spirit or essential characteristics. Therefore, the embodiments described above should be understood as illustrative in all respects and not limiting.

100: 가스 및 프리커서 공급 장치
101: 배관
102: 소화 장치100: gas and precursor supply
101: piping
102: fire extinguishing system

Claims (9)

공정 가스를 공정 장비에 제공하는 가스 공급 모듈과, 가스 공급 캐비닛을 포함하는 가스 및 프리커서 공급 장치;
상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되고, 상기 가스 공급 캐비닛 내의 영상 정보를 획득하는 영상 기반 화재 감시부;
상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되고, 상기 가스 공급 캐비닛 내에서 제1 소화 약제를 저장하고, 상기 영상 정보를 이용하여, 상기 가스 공급 캐비닛 내에 상기 제1 소화 약제를 분사하는 제1 소화 장치;
상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되고, 상기 영상 정보를 이용하여, 상기 공정 장비에 상기 공정 가스의 공급을 중단하는 배기 댐퍼;
상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되고, 상기 가스 공급 캐비닛의 내부 온도를 측정하는 온도 기반 화재 감시부;
상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되고, 상기 가스 공급 캐비닛 내에서 제2 소화 약제를 저장하고, 상기 내부 온도를 이용하여, 상기 가스 공급 캐비닛 내에 상기 제2 소화 약제를 분사하는 제2 소화 장치; 및
상기 영상 정보 및 상기 내부 온도를 전자 장치로 전송하는 통신부를 포함하는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치.a gas and precursor supply device including a gas supply module for supplying process gas to process equipment and a gas supply cabinet;
an image-based fire monitoring unit disposed in the gas supply cabinet and acquiring image information within the gas supply cabinet;
a first fire extinguishing device disposed in the gas supply cabinet, storing a first extinguishing agent in the gas supply cabinet, and injecting the first extinguishing agent into the gas supply cabinet by using the image information;
an exhaust damper disposed in the gas supply cabinet and stopping supply of the process gas to the process equipment by using the image information;
a temperature-based fire monitoring unit disposed in the gas supply cabinet and measuring an internal temperature of the gas supply cabinet;
a second fire extinguishing device disposed in the gas supply cabinet, storing a second extinguishing agent in the gas supply cabinet, and injecting the second extinguishing agent into the gas supply cabinet using the internal temperature; and
A fire management device in a gas and precursor supply device including a communication unit for transmitting the image information and the internal temperature to an electronic device. 제 1항에 있어서,
상기 배기 댐퍼는,
오토 댐퍼에 의해 제어되는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치.According to claim 1,
The exhaust damper,
Fire management device in gas and precursor supply controlled by auto damper. 제 1항에 있어서,
상기 온도 기반 화재 감시부는 유리 벌브를 포함하고,
상기 내부 온도가 설정값 이상인 경우, 상기 유리 벌브가 파손되는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치.According to claim 1,
The temperature-based fire monitoring unit includes a glass bulb,
Fire management device in the gas and precursor supply device in which the glass bulb is broken when the internal temperature is higher than the set value. 제 1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 소화 약제는 각각 고체 에어로졸을 포함하고,
상기 제1 및 제2 소화 장치가 각각 방폭 기능을 포함하는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 장치.According to claim 1,
wherein each of the first and second extinguishing agents comprises a solid aerosol;
A fire management device in a gas and precursor supply device in which the first and second fire extinguishing devices each include an explosion-proof function. 가스 공급 캐비닛을 포함하는 가스 및 프리커서 공급 장치가 공정 장비에 공정 가스를 제공하고,
상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되는 영상 기반 화재 감시부가 상기 가스 공급 캐비닛 내의 영상 정보를 획득하고,
상기 영상 정보를 이용하여, 상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되는 제1 소화 장치가 상기 가스 공급 캐비닛 내에 제1 소화 약제를 분사하고,
상기 영상 정보를 이용하여, 상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되는 배기 댐퍼가 상기 공정 장비에 상기 공정 가스의 공급을 중단하고,
상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되는 온도 기반 화재 감시부가 상기 가스 공급 캐비닛의 내부 온도를 측정하고,
상기 내부 온도를 이용하여, 상기 가스 공급 캐비닛 내에 배치되는 제2 소화 장치가 상기 가스 공급 캐비닛 내에 제2 소화 약제를 분사하고,
통신부가 상기 영상 정보 및 상기 내부 온도를 전자 장치로 전송하는 것을 포함하되,
상기 제1 소화 장치는 상기 가스 공급 캐비닛 내에서 상기 제1 소화 약제를 저장하고,
상기 제2 소화 장치는 상기 가스 공급 캐비닛 내에서 상기 제2 소화 약제를 저장하는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 방법.a gas and precursor supply comprising a gas supply cabinet provides process gases to process equipment;
An image-based fire monitoring unit disposed in the gas supply cabinet acquires image information in the gas supply cabinet;
Using the image information, a first fire extinguishing device disposed in the gas supply cabinet sprays a first fire extinguishing agent into the gas supply cabinet,
Using the image information, an exhaust damper disposed in the gas supply cabinet stops supplying the process gas to the process equipment;
A temperature-based fire monitoring unit disposed in the gas supply cabinet measures the internal temperature of the gas supply cabinet,
Using the internal temperature, a second fire extinguishing device disposed in the gas supply cabinet sprays a second fire extinguishing agent into the gas supply cabinet,
Including that the communication unit transmits the image information and the internal temperature to the electronic device,
the first extinguishing device stores the first extinguishing agent in the gas supply cabinet;
The second fire extinguishing device stores the second extinguishing agent in the gas supply cabinet. 제 5항에 있어서,
상기 영상 정보를 획득하는 것은,
상기 영상 기반 화재 감시부에 의해 수행되는 제1 탐지 및 제2 탐지를 포함하고,
상기 제1 탐지는 불꽃이 발생한 영역을 탐지하고,
상기 제2 탐지는 불꽃이 발생한 영역을 기준으로 상기 불꽃이 확산되는 것을 탐지하는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 방법.According to claim 5,
Obtaining the image information,
Including first detection and second detection performed by the video-based fire monitoring unit,
The first detection detects an area where a flame is generated,
The second detection is a fire management method in a gas and precursor supply device for detecting the spread of the flame based on the area where the flame is generated. 제 5항에 있어서,
상기 공정 가스의 공급을 중단하는 것은,
오토 댐퍼에 의해 제어되는 것을 포함하는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 방법.According to claim 5,
Stopping the supply of the process gas,
A fire management method in a gas and precursor supply comprising controlled by an auto damper. 제 5항에 있어서,
상기 내부 온도를 측정하는 것은,
상기 온도 기반 화재 감시부 내 유리 벌브가, 상기 내부 온도가 설정값 이상인 경우 파손되는 것을 포함하는 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 방법.According to claim 5,
Measuring the internal temperature,
The fire management method in the gas and precursor supply device comprising breaking the glass bulb in the temperature-based fire monitoring unit when the internal temperature is higher than a set value. 제 5항에 있어서,
상기 제1 및 제2 소화 약제를 분사하는 것은,
상기 제1 및 제2 소화 약제 각각이 고체 에어로졸을 포함하며,
상기 제1 및 제2 소화 장치가 방폭 형태인 가스 및 프리커서 공급 장치 내 화재 관리 방법.According to claim 5,
Spraying the first and second fire extinguishing agents,
wherein each of the first and second extinguishing agents comprises a solid aerosol;
A fire management method in a gas and precursor supply device in which the first and second fire extinguishing devices are of an explosion-proof type.
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