KR102542251B1 - An Inspection Device For Reducing The Amount of X-Ray Radiation - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 X선을 이용한 반도체 부품 검사 장치에 관한 것으로 특히 X 선 방사량을 감소시킨 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor component inspection apparatus using X-rays, and more particularly to an inspection apparatus having a reduced amount of X-ray radiation.
현대의 기술 산업 분야에서 반도체와 디스플레이 산업은 특히 비약적인 발전 속도를 보이고 있다. 반도체는 매우 미세한 구조를 가지고 있기 때문에 생산 기술 뿐만 아니라 생산된 제품의 불량 여부를 판단할 수 있는 검사 기술 또한 중요하여 카메라를 이용한 영상을 취득하여 이를 분석하는 검사 장치가 있으며 X선(X-ray)을 이용하는 방법 등이 있다.In the field of modern technology industry, the semiconductor and display industries are showing rapid development in particular. Since semiconductors have a very fine structure, not only production technology but also inspection technology that can determine whether or not a product is defective is important, so there is an inspection device that acquires and analyzes images using cameras, How to use , etc.
X선을 이용한 검사 장치로 도 1a 및 1b의 장치가 사용되며, 검사 대상이 놓여지는 작업 플레이트(20)은 LM 가이드(35, 36)의 위에서 움직이고, 작업 플레이트(20) 하부에 위치하는 X 선 방출부와 상부에 위치하는 X선 수신부에 의해 찍힌 이미지를 통해 작업 플레이트(20) 위의 검사 대상을 검사하게 된다.1a and 1b are used as an X-ray inspection device, the
그러나, LM 가이드(35, 36)와 LM 가이드 이송 블록 위에 장착되는 작업 플레이트(20)는 베이스(30)로 부터 일정 높이 이상이 되어 X선 방출부와 X선 수신부의 거리가 크게 되고 이로 인하여 X선이 외부로 방출되어 주위에 해로운 광선이 방출되며 검사 정확도에 있어서도 떨어지는 문제점이 있다.However, the working
본 발명은 X선 방출부와 X선 수신부 사이에 위치하고 장치의 베이스(30) 위에 장착되는 작업 플레이트(20)의 높이를 낮추어서, X선이 외부로 방출되는 양을 조절하고 검사 정확도를 개선하고자 한다. The present invention is located between the X-ray emitter and the X-ray receiver and lowers the height of the
본 발명은 하부 지지부(40); 상기 하부 지지부(40)의 상부에 위치하는 베이스(30); 상기 베이스 상부에 설치되어 이동 가능한 작업 플레이트(20); 상기 작업 플레이트(20) 상부에 위치하는 X선 수신부; 상기 X선 수신부 상부에 위치하는 디스플레이부(50); 상기 작업 플레이트(20)를 이동가능하게 하는 에어 공급부(70); 및 상기 하부 지지부(40)의 내부에 설치된 X선 방출부를 포함하고, 상기 작업 플레이트(20)는 플레이트 프레임(22), 상기 플레이트 프레임(22) 내부에 위치하며 검사 대상이 놓여지는 검사 플레이트(21), 상기 플레이트 프레임(22)의 전면에 위치하는 손잡이(23)를 포함하고, 상기 작업 플레이트(20)는 상기 X선 방출부와 상기 X선 수신부의 사이에 놓여져서 X선 방출부에서 방출되는 X선이 검사 플레이트(21)를 관통하여 X선 수신부에 X선이 수신되고, 상기 플레이트 프레임(22)는 바닥면에 위치하는 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)를 포함하고, 상기 에어 공급부(70)는 상기 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)의 하부에 놓여지는 제1 내지 제4 에어 지지부(75a, 75b, 75c, 75d)를 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 방사량을 감소시킨 검사장치에 관한 것이다.The present invention includes a
또한, 본 발명에서 상기 플레이트 프레임(22)은 측면을 관통하고 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)에 에어가 공급되는 제1 내지 제4 에어 관통홀(26a, 26b, 26c, 26d)을 추가로 포함하고, 상기 에어 공급부(70)는 상기 제1 내지 제4 에어 관통홀(26a, 26b, 26c, 26d)에 맞추어지는 제1 내지 제4 에어 공급 포트(71a, 71b, 71c, 71d) 및 상기 제1 내지 제4 에어 공급 포트(71a, 71b, 71c, 71d)에 에어를 공급하는 제1 내지 제4 에어 공급관(72a, 72b, 72c, 72d)을 포함하고, 상기 제1 에어 공급관(72a)와 상기 제1 에어 공급 포트(72a)를 통해 제1 에어 관통홀(26a)로 공급되는 에어는 제1 에어 관통홀(26a)을 통과하여 제1 에어 지지부(75a)에 공급될 수 있다.In addition, in the present invention, the
또한, 본 발명에서 상기 제1 에어 지지부(75a)는 상부면(75aa)과, 상기 상부면에 형성된 에어 공급로(75ad)와 에어 중앙 지지부(75ac)를 포함하고, 상기 제1 에어 관통홀(26a)을 통과한 에어는 에어 공급로(75ad)와 에어 중앙 지지부(75ac)로 공급되고, 공급된 에어의 압력에 의해 제1 에어 지지부(75a)의 상부에 놓여지는 제1 에어 수용부(25a)가 상부로 상승할 수 있다.In addition, in the present invention, the first
본 발명에서는 베이스(30) 위에서의 작업 플레이트(20)의 위치 조정을 공기압에 의하도록 하여 종래 LM 가이드에 의한 것보다 높이를 낮추었고, 이로 인하여 X선 방출부와 X선 수신부 사이의 X선 방출량을 감소시켰다.In the present invention, the position of the
도 1a 및 도 1b는 종래 X선 검사 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명 X선 검사 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명 X선 검사 장치에서 플레이트 프레임(22)이 제거된 상태의 사시도이다.
도 4a는 작업 플레이트(20)의 확대 사시도이다.
도 4b 및 도 4c는 작업 플레이트(20)의 아래에서 바라본 사시도이다.
도 5a 내지 도 5b는 작업 플레이트(20)에 에어를 공급하는 에어 공급 장치에 대한 사시도이다.
도 6은 작업 플레이트(20)의 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)에 대한 사시도이다.
도 7a는 제1 에어 수용부(25a)의 확대 사시도이다.
도 7b는 제1 에어 지지부(75a)의 확대 사시도이다.1A and 1B are perspective views of a conventional X-ray inspection device.
2 is a perspective view of the X-ray inspection apparatus of the present invention.
3 is a perspective view of a state in which the
4A is an enlarged perspective view of the
4b and 4c are perspective views of the working
5A to 5B are perspective views of an air supply device for supplying air to the working
6 is a perspective view of the first to fourth
7A is an enlarged perspective view of the first
7B is an enlarged perspective view of the
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 형태를 도시한 것으로, 이는 본 발명을 보다 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적인 범위가 한정되는 것은 아니다.The accompanying drawings show exemplary forms of the present invention, which are only provided to explain the present invention in more detail, and thereby the technical scope of the present invention is not limited thereto.
도 2는 본 발명 X선 검사 장치의 사시도로서, 본 발명 X선 검사 장치는 하부 지지부(40), 상기 하부 지지부(40)의 상부에 위치하는 베이스(30), 상기 베이스 상부에 설치되어 이동 가능한 작업 플레이트(20), 상기 작업 플레이트(20) 상부에 위치하는 X선 차폐부(10), 상기 X선 차폐부(10) 상부의 X선 수신부[상부 박스(50)에 내장되어 있음], 상기 작업 플레이트(20)를 이동가능하게 하는 에어 공급부(70) 및 상기 하부 지지부(40)의 내부에 설치된 X선 방출부를 포함한다.Figure 2 is a perspective view of the X-ray inspection apparatus of the present invention, the X-ray inspection apparatus of the present invention is installed on the
상기 상부 박스(50)의 전면부에는 조작 판넬부(51)가 설치되어 사용자는 조작 판넬부(51)를 통해 본 발명을 작동시킬수 있다.An
작업 플레이트(20)는 플레이트 프레임(22), 상기 플레이트 프레임(22) 내부에 위치하며 검사 대상이 놓여지는 검사 플레이트(21), 상기 플레이트 프레임(22)의 전면에 위치하는 손잡이(23)를 포함하고, 작업자는 상기 손잡이(23)를 잡고 작업 플레이트(20)의 위치를 조정한다.The
작업 플레이트(20)는 X선 방출부와 X선 수신부의 사이에 놓여져서 X선 방출부에서 방출되는 X선이 검사 플레이트(21)를 관통하여 X선 수신부에 X선이 수신된다.The
플레이트 프레임(22)의 하부면에는 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)가 형성되어 있고, 플레이트 프레임(22)는 측면을 관통하고 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)로 에어를 공급하는 제1 내지 제4 에어 관통홀(26a, 26b, 26c, 26d)이 형성되어 있다.First to fourth
에어 공급부(70)는 상기 제1 내지 제4 에어 관통홀(26a, 26b, 26c, 26d)에 맞추어지는 제1 내지 제4 에어 공급 포트(71a, 71b, 71c, 71d), 상기 제1 내지 제4 에어 공급 포트(71a, 71b, 71c, 71d)에 에어를 공급하는 제1 내지 제4 에어 공급관(72a, 72b, 72c, 72d), 및 상기 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)의 하부에 놓여지는 제1 내지 제4 에어 지지부(75a, 75b, 75c, 75d)를 포함한다.The
제1 에어 공급관(72a)와 제1 에어 공급 포트(72a)를 통해 제1 에어 관통홀(26a)로 공급되는 에어는 제1 에어 관통홀(26a)을 통과하여 제1 에어 지지부(75a)에 공급된다.Air supplied to the first air through-
제1 에어 수용부(25a)의 하부에 놓여지는 제1 에어 지지부(75a)는 상부면(75aa)과, 상기 상부면에 형성된 에어 공급로(75ad)와 에어 중앙 지지부(75ac)를 포함하고, 제1 에어 관통홀(26a)을 통과한 에어는 에어 공급로(75ad)와 에어 중앙 지지부(75ac)로 공급되고, 공급된 에어의 압력에 의해 제1 에어 지지부(75a)의 상부에 놓여지는 제1 에어 수용부(25a)가 상부로 상승하여 작업 플레이트(20)의 위치 조정이 가능하다.The first
제1 에어 수용부(25a)는 오목한 원통형 형상이고 상기 제1 에어 중앙 지지부(75ac)의 위치와 맞추어지는 에어 중앙 수용부(25ac)를 구비하여, 에어 중앙 지지부(75ac)에서 공급된 에어가 상기 에어 중앙 수용부(25ac)에 힘을 가하여 작업 플레이트(20)를 상승시킨다.The first
도면에서는 상기 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)와 상기 제1 내지 제4 에어 지지부(75a, 75b, 75c, 75d)를 원통형으로 하였으나, 직육면체 형상으로 이루어지는 경우이는 길이 방향으로 조절이 가능하다.In the drawings, the first to fourth
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 부가 및 변경이 가능하다는 것이 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. The present invention described above is not limited by the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is in the technical field to which the present invention belongs that various substitutions, additions, and changes are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those skilled in the art.
10: X선 차폐부 20: 작업 플레이트
30: 베이스 40: 하부 지지부
51: 조작 판넬부 10: X-ray shield 20: work plate
30: base 40: lower support
51: operation panel unit
Claims (3)
상기 하부 지지부(40)의 상부에 위치하는 베이스(30);
상기 베이스 상부에 설치되어 이동 가능한 작업 플레이트(20);
상기 작업 플레이트(20) 상부에 위치하는 X선 수신부
상기 작업 플레이트(20)를 이동가능하게 하고 상기 베이스(30)의 상부면에 설치된 에어 공급부(70); 및
상기 하부 지지부(40)의 내부에 설치된 X선 방출부를 포함하고,
상기 작업 플레이트(20)는 플레이트 프레임(22), 상기 플레이트 프레임(22) 내부에 위치하며 검사 대상이 놓여지는 검사 플레이트(21), 상기 플레이트 프레임(22)의 전면에 위치하는 손잡이(23)를 포함하고,
상기 플레이트 프레임(22)은 바닥면에 위치하는 원통형 형상의 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d) 및 측면을 관통하고 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)에 에어를 공급하는 제1 내지 제4 에어 관통홀(26a, 26b, 26c, 26d)을 포함하고,
상기 작업 플레이트(20)는 상기 X선 방출부와 상기 X선 수신부의 사이에 놓여져서 X선 방출부에서 방출되는 X선이 검사 플레이트(21)를 관통하여 X선 수신부에 수신되고,
상기 에어 공급부(70)는 상기 제1 내지 제4 에어 수용부(25a, 25b, 25c, 25d)의 하부에 놓여지는 원통형 형상이고 모두 동일한 구조인 제1 내지 제4 에어 지지부(75a, 75b, 75c, 75d), 상기 제1 내지 제4 에어 관통홀(26a, 26b, 26c, 26d)에 맞추어지는 제1 내지 제4 에어 공급 포트(71a, 71b, 71c, 71d) 및 상기 제1 내지 제4 에어 공급 포트(71a, 71b, 71c, 71d)에 에어를 공급하는 제1 내지 제4 에어 공급관(72a, 72b, 72c, 72d)을 포함하고,
상기 제1 에어 지지부(75a)는 상부면(75aa)과, 상기 상부면에 형성된 에어 공급로(75ad)와 에어 중앙 지지부(75ac)를 포함하고,
상기 제1 에어 공급관(72a)와 상기 제1 에어 공급 포트(71a)를 통해 상기 제1 에어 관통홀(26a)을 통과한 에어는 상기 에어 공급로(75ad)와 에어 중앙 지지부(75ac)로 공급되고, 공급된 에어의 압력에 의해 제1 에어 지지부(75a)의 상부에 놓여지는 제1 에어 수용부(25a)가 상부로 상승하는 것을 특징으로 하는 X선 방사량을 감소시킨 검사장치.
lower support 40;
Base 30 located on the upper portion of the lower support portion 40;
A movable working plate 20 installed on the upper part of the base;
X-ray receiver located above the work plate 20
an air supply unit 70 that makes the work plate 20 movable and is installed on an upper surface of the base 30; and
Including an X-ray emitter installed inside the lower support part 40,
The work plate 20 includes a plate frame 22, an inspection plate 21 located inside the plate frame 22 and on which a test subject is placed, and a handle 23 located in front of the plate frame 22. include,
The plate frame 22 penetrates the first to fourth air receiving portions 25a, 25b, 25c, and 25d of cylindrical shape located on the bottom surface and side surfaces, and the first to fourth air receiving portions 25a, 25b, Including first to fourth air through-holes 26a, 26b, 26c, 26d for supplying air to 25c and 25d,
The work plate 20 is placed between the X-ray emitter and the X-ray receiver so that the X-rays emitted from the X-ray emitter penetrate the test plate 21 and are received by the X-ray receiver,
The air supply unit 70 has a cylindrical shape placed under the first to fourth air receiving units 25a, 25b, 25c, and 25d, and the first to fourth air support units 75a, 75b, and 75c have the same structure. , 75d), the first to fourth air supply ports 71a, 71b, 71c, and 71d fitted to the first to fourth air through-holes 26a, 26b, 26c, and 26d, and the first to fourth air Including first to fourth air supply pipes 72a, 72b, 72c, 72d for supplying air to the supply ports 71a, 71b, 71c, 71d,
The first air support part 75a includes an upper surface 75aa, an air supply passage 75ad formed on the upper surface, and an air central support part 75ac,
The air passing through the first air through hole 26a through the first air supply pipe 72a and the first air supply port 71a is supplied to the air supply passage 75ad and the air central support 75ac. and the first air receiving part 25a placed on top of the first air support part 75a rises upward by the pressure of the supplied air.
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