KR102526223B1 - Cutting apparatus and electrode terminal unit - Google Patents

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KR102526223B1 KR1020180078102A KR20180078102A KR102526223B1 KR 102526223 B1 KR102526223 B1 KR 102526223B1 KR 1020180078102 A KR1020180078102 A KR 1020180078102A KR 20180078102 A KR20180078102 A KR 20180078102A KR 102526223 B1 KR102526223 B1 KR 102526223B1
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Abstract

(과제) 전극 단자의 교환시의 작업성의 향상을 도모한 절삭 장치, 및 전극 단자 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
(해결 수단) 척 테이블에 대한 절삭 블레이드의 절입 방향의 원점 위치를 검출하는 원점 검출 기구 (70) 를 구비하고, 원점 검출 기구 (70) 는, 스핀들 하우징의 캡 (71) 에, 로터 (262) 의 단면 (262A) 에 대향하여 삽입되고, 단면 (262A) 에 맞닿는 전극 단자 (74) 와, 전극 단자 (74) 를 단면 (262A) 으로 가압하는 가압 스프링 (75) 과, 가압 스프링 (75) 을 거는 걸림부 (76A) 와 삽입부 (76B) 를 갖는 도전성 굴곡 플레이트 (76) 를 구비하고, 캡 (71) 에는, 전극 단자 (74) 가 가압 스프링 (75) 을 통하여 삽입되는 삽입공 (72) 이 형성됨과 함께, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 가 삽입되는 걸림홈 (73) 이 형성되고, 이 걸림홈 (73) 에는, 삽입된 도전성 굴곡 플레이트 (76) 를 유지하는 스토퍼부 (78) 를 형성하였다.(Problem) It is an object of the present invention to provide a cutting device and an electrode terminal unit in which workability at the time of exchanging electrode terminals is improved.
(Solution) An origin detection mechanism 70 for detecting an origin position in a cutting direction of a cutting blade with respect to a chuck table is provided, and the origin detection mechanism 70 is provided in a cap 71 of a spindle housing, a rotor 262 An electrode terminal 74 that is inserted to face the end face 262A and abuts on the end face 262A, a pressure spring 75 that presses the electrode terminal 74 to the end face 262A, and a pressure spring 75 An insertion hole 72 having a conductive bent plate 76 having a hooking portion 76A and an inserting portion 76B, and in the cap 71, into which the electrode terminal 74 is inserted via the pressure spring 75 Along with this formation, a locking groove 73 into which the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 is inserted is formed, and in the locking groove 73, a stopper portion holding the inserted conductive bent plate 76 (78) was formed.

Description

절삭 장치, 및 전극 단자 유닛{CUTTING APPARATUS AND ELECTRODE TERMINAL UNIT}Cutting device, and electrode terminal unit {CUTTING APPARATUS AND ELECTRODE TERMINAL UNIT}

본 발명은, 유지 테이블에 대한 절삭 블레이드의 절입 방향의 원점 위치를 검출하는 원점 검출 기구를 구비한 절삭 장치, 및 원점 검출 기구에 형성되는 전극 단자 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a cutting device having an origin detection mechanism for detecting the origin position of a cutting blade with respect to a holding table in a cutting direction, and an electrode terminal unit formed in the origin detection mechanism.

반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 피가공물은, 예를 들어, 회전하는 원환상의 절삭 블레이드를 구비하는 절삭 장치에 의해 스트리트를 따라 절삭되어, 복수의 칩으로 분할된다. 이 절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 갖는 절삭 수단과, 절삭 블레이드의 절입량을 설정하는 기준이 되는 절삭 블레이드의 원점 위치를 검출하기 위한 원점 검출 기구를 구비하고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조). 이런 종류의 원점 검출 기구는, 절삭 블레이드가 장착된 스핀들과, 이 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징과, 스핀들의 단면 (端面) 에 대향하여 스핀들 하우징에 장착되는 홀더와, 이 홀더에 형성된 가이드공에 수용되어, 스핀들의 단면에 스프링 탄성 지지되는 전극 단자로서의 카본 브러시편을 구비하여 구성된다.A workpiece such as a semiconductor wafer or a glass substrate is cut along the street by a cutting device equipped with a rotating annular cutting blade, and is divided into a plurality of chips. This cutting device includes a cutting device having a chuck table holding a workpiece and a cutting blade cutting the workpiece held on the chuck table, and the origin position of the cutting blade serving as a reference for setting the depth of cut of the cutting blade. An origin detection mechanism for detection is provided (for example, refer to Patent Literature 1). This kind of origin detection mechanism includes a spindle to which a cutting blade is mounted, a spindle housing for rotatably supporting the spindle, a holder mounted on the spindle housing facing the end face of the spindle, and a guide formed on the holder. It is configured to include a carbon brush piece as an electrode terminal that is accommodated in the ball and elastically supported by a spring on the end face of the spindle.

일본 공개실용신안공보 평7-10552호Japanese Unexamined Utility Model Publication No. 7-10552

이 카본 브러시편은, 항상 스핀들의 단면에 가압되어 접촉하고 있기 때문에, 카본 브러시편의 마모가 격심하여, 정기적인 교환을 필요로 하였다. 그러나, 종래의 구성에서는, 카본 브러시는, 가압 스프링과 함께 홀더에 형성된 가이드공에 수용되고, 이 홀더는, 스핀들 하우징에 나사 고정으로 고정되어 있었기 때문에, 카본 브러시의 교환 작업이 번잡해져, 작업성의 향상이 절실히 요망되고 있었다.Since the carbon brush pieces are always pressed and brought into contact with the end face of the spindle, the carbon brush pieces are severely worn and require periodic replacement. However, in the conventional configuration, the carbon brush is accommodated in a guide hole formed in the holder together with a pressure spring, and since this holder is screwed to the spindle housing, the carbon brush replacement work is complicated and workability is reduced. Improvements were desperately needed.

본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 전극 단자의 교환시의 작업성의 향상을 도모한 절삭 장치, 및 전극 단자 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a cutting device and an electrode terminal unit that aim to improve workability when exchanging electrode terminals.

상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 피가공물을 유지하는 유지 테이블과, 그 유지 테이블로 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드와 그 절삭 블레이드가 일단에 장착되는 스핀들을 가진 절삭 수단과, 그 절삭 블레이드와 그 유지 테이블을 접촉시켜 전기적 도통에 의해 그 유지 테이블에 대한 그 절삭 블레이드의 절입 방향의 원점 위치를 검출하는 원점 검출 기구를 구비한 절삭 장치로서, 그 원점 검출 기구는, 그 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 하우징에 그 스핀들의 타단측의 단면에 대향하여 삽입되고, 그 단면에 맞닿는 맞닿음면을 가진 전극 단자와, 그 전극 단자를 그 단면으로 가압하는 도전성 재료로 이루어지는 가압 스프링과, 그 가압 스프링을 거는 걸림부를 갖고, 그 걸림부와 일체적으로 형성됨과 함께 그 전극 단자측으로 굴곡된 삽입부를 갖는 도전성 굴곡 플레이트를 구비하고, 그 하우징에는, 그 전극 단자가 그 가압 스프링을 통하여 삽입되는 삽입공이 형성됨과 함께 그 도전성 굴곡 플레이트의 그 삽입부가 삽입되는 수용부가 형성되고, 그 수용부에는, 삽입된 그 도전성 굴곡 플레이트를 유지하는 스토퍼부가 형성됨으로써, 그 도전성 굴곡 플레이트를 그 하우징에 삽입함으로써 그 전극 단자를 그 단면에 맞닿은 상태로 고정시키는 것이다.In order to solve the above problems and achieve the object, the present invention provides a holding table for holding a workpiece, a cutting blade for cutting the workpiece held by the holding table, and a spindle to which the cutting blade is mounted at one end. A cutting device having a cutting means having a cutting blade and an origin detecting mechanism for detecting an origin position in a cutting direction of the cutting blade with respect to the holding table by electrical conduction by bringing the cutting blade into contact with the holding table, wherein the origin detection The mechanism is inserted into a housing that rotatably supports the spindle, facing the end face of the other end side of the spindle, and has an electrode terminal having an abutting surface in contact with the end face, and a conductive material that presses the electrode terminal to the end face. A pressure spring made of; and a conductive bent plate having a locking portion for engaging the pressure spring, formed integrally with the holding portion, and having an insertion portion bent toward the electrode terminal, wherein the electrode terminal is provided in the housing. An insertion hole inserted through a pressure spring is formed, and an accommodating portion into which the insertion portion of the conductive bent plate is inserted is formed, and a stopper portion for holding the inserted conductive bent plate is formed in the accommodating portion, thereby forming the conductive bent plate. By inserting into the housing, the electrode terminal is fixed in a state of contact with the end face.

이 구성에 의하면, 하우징의 외측으로부터 도전성 굴곡 플레이트를 통하여, 전극 단자 및 가압 스프링을 하우징에 대하여 끼웠다 뺐다 할 수 있다. 이 때문에, 종래와 같이, 전극 단자를 유지하는 홀더째 하우징으로부터 분리하는 작업이 불필요해져, 전극 단자의 교환을 용이하게 실시할 수 있어, 교환시의 작업성의 향상을 도모할 수 있다.According to this configuration, the electrode terminal and the pressure spring can be inserted and removed from the housing through the conductive bent plate from the outside of the housing. For this reason, unlike the prior art, the work of removing the holder holding the electrode terminal from the housing becomes unnecessary, and the electrode terminal can be easily replaced, and the workability at the time of replacement can be improved.

또, 도전성 굴곡 플레이트에는, 작업자가 파지하는 파지부가 형성되어 있어도 된다. 이 구성에 의하면, 파지부를 파지하여 도전성 굴곡 플레이트, 전극 단자 및 가압 스프링을 하우징으로부터 뽑아낼 수 있어, 전극 단자의 분리를 용이하게 실시할 수 있다.In addition, the conductive bending plate may be provided with a gripping portion to be gripped by an operator. According to this configuration, the conductive bent plate, the electrode terminal, and the pressure spring can be pulled out from the housing by gripping the gripping portion, so that the electrode terminal can be easily separated.

또, 스토퍼부는 도전성 부재로 이루어지고, 그 도전성 굴곡 플레이트의 그 삽입부가 그 수용부에 삽입됨으로써 그 원점 검출 기구에 의한 원점 검출 회로를 구성하도록 해도 된다. 이 구성에 의하면, 스토퍼부는, 도전성 굴곡 플레이트의 삽입부를 수용부에 유지함과 함께, 원점 검출 회로의 일부로서 기능하기 때문에, 장치 구성의 간소화를 도모할 수 있다.Further, the stopper portion may be made of a conductive member, and the insertion portion of the conductive bent plate may be inserted into the accommodating portion to constitute an origin detection circuit by the origin detection mechanism. According to this configuration, the stopper portion holds the insertion portion of the conductive bent plate in the accommodating portion and functions as a part of the origin detection circuit, so that the configuration of the device can be simplified.

또, 본 발명은, 피가공물을 유지하는 유지 테이블과, 그 유지 테이블로 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드와 그 절삭 블레이드가 일단에 장착되는 스핀들을 가진 절삭 수단과, 그 절삭 블레이드와 그 유지 테이블을 접촉시켜 전기적 도통에 의해 그 유지 테이블에 대한 그 절삭 블레이드의 절입 방향의 원점 위치를 검출하는 원점 검출 기구를 구비한 절삭 장치에 있어서 그 원점 검출 기구를 구성하는 전극 단자 유닛으로서, 그 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 하우징에 그 스핀들의 타단측의 단면에 대향하여 삽입되고, 그 단면에 맞닿는 맞닿음면을 가진 전극 단자와, 그 전극 단자를 그 단면으로 가압하는 도전성 재료로 이루어지는 가압 스프링과, 그 전극 단자와 반대측에서 그 가압 스프링을 거는 걸림부를 갖고, 그 걸림부와 일체적으로 형성됨과 함께 그 전극 단자측으로 굴곡된 삽입부를 갖는 도전성 굴곡 플레이트를 구비하는 것이다.Further, the present invention provides a cutting means having a holding table holding a workpiece, a cutting blade cutting the workpiece held by the holding table, and a spindle to which the cutting blade is mounted at one end, the cutting blade and the holding table. An electrode terminal unit constituting the origin detection mechanism in a cutting device having an origin detection mechanism for detecting the position of the origin in the cutting direction of the cutting blade with respect to the holding table by electrical conduction by contacting the table, comprising: a spindle An electrode terminal inserted into the housing rotatably supporting the spindle to face the end face of the other end side and having an abutting surface in contact with the end face, and a pressure spring made of a conductive material that presses the electrode terminal to the end face; It is provided with a conductive bent plate having a hooking part for hooking the pressing spring on the side opposite to the electrode terminal, and having an insertion part formed integrally with the hooking part and bent toward the electrode terminal side.

이 구성에 의하면, 하우징의 외측으로부터 전극 단자 유닛을 하우징에 대하여 용이하게 끼웠다 뺐다 할 수 있다.According to this configuration, the electrode terminal unit can be easily inserted and removed from the housing from the outside of the housing.

본 발명에 의하면, 하우징의 외측으로부터 도전성 굴곡 플레이트를 통하여, 전극 단자 및 가압 스프링을 하우징에 대하여 끼웠다 뺐다 할 수 있다. 이 때문에, 종래와 같이, 전극 단자를 유지하는 홀더째 하우징으로부터 분리하는 작업이 불필요해져, 전극 단자의 교환을 용이하게 실시할 수 있어, 교환시의 작업성의 향상을 도모할 수 있다.According to the present invention, the electrode terminal and the pressure spring can be inserted into and removed from the housing through the conductive bent plate from the outside of the housing. For this reason, unlike the prior art, the work of removing the holder holding the electrode terminal from the housing becomes unnecessary, and the electrode terminal can be easily replaced, and the workability at the time of replacement can be improved.

도 1 은 본 실시형태에 관련된 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 환상 프레임에 지지된 웨이퍼의 사시도이다.
도 3 은 원점 검출 기구가 형성된 절삭 수단의 종단면도이다.
도 4 는 홀더의 주변 구조를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 5 는 홀더의 주변 구조를 모식적으로 나타내는 부분 단면도이다.1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device according to the present embodiment.
2 is a perspective view of a wafer supported on an annular frame.
Fig. 3 is a longitudinal sectional view of a cutting means in which an origin detection mechanism is formed.
Fig. 4 is an exploded perspective view schematically showing the peripheral structure of the holder.
Fig. 5 is a partial cross-sectional view schematically showing the peripheral structure of the holder.

본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재된 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재된 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재된 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 다양한 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.The form (embodiment) for carrying out this invention is demonstrated in detail, referring drawings. The present invention is not limited by the content described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. In addition, it is possible to combine the structures described below appropriately. In addition, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be performed within a range not departing from the gist of the present invention.

이하, 본 실시형태에 관련된 절삭 장치에 대해 설명한다. 도 1 은 본 실시형태에 관련된 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 2 는 환상 프레임에 지지된 웨이퍼의 사시도이다. 도 3 은 원점 검출 기구가 형성된 절삭 수단의 종단면도이다. 도 4 는 홀더의 주변 구조를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다. 도 5 는 홀더의 주변 구조를 모식적으로 나타내는 부분 단면도이다. 절삭 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (유지 테이블) (10) 과 절삭 수단 (20) 을 상대 이동시킴으로써, 척 테이블 (10) 상에 유지된 웨이퍼 (피가공물) (100) (도 2) 를 절삭 가공하는 것이다. 절삭 장치 (1) 는, 척 테이블 (10) 과, 절삭 수단 (20) 과, 촬상 수단 (30) 과, X 축 이동 수단 (40) 과, Y 축 이동 수단 (50) 과, Z 축 이동 수단 (60) 을 포함하여 구성되어 있다.Hereinafter, a cutting device according to the present embodiment will be described. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device according to the present embodiment. 2 is a perspective view of a wafer supported on an annular frame. Fig. 3 is a longitudinal sectional view of a cutting means in which an origin detection mechanism is formed. Fig. 4 is an exploded perspective view schematically showing the peripheral structure of the holder. Fig. 5 is a partial cross-sectional view schematically showing the peripheral structure of the holder. As shown in FIG. 1 , the cutting device 1 moves the chuck table (holding table) 10 and the cutting means 20 relative to each other, so that the wafer (workpiece) 100 held on the chuck table 10 ) (FIG. 2) is to be cut. The cutting device 1 includes a chuck table 10, a cutting means 20, an imaging means 30, an X-axis moving means 40, a Y-axis moving means 50, and a Z-axis moving means. It is composed of (60).

본 실시형태의 피가공물인 웨이퍼 (100) 는, 실리콘을 모재로 하는 원판상의 반도체 웨이퍼나 사파이어, SiC (탄화규소) 등을 모재로 하는 광 디바이스 웨이퍼이다. 웨이퍼 (100) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 표면 (101) 에 형성된 격자상의 분할 예정 라인 (102) 에 의해 구획된 복수의 영역에 디바이스 (103) 가 형성되어 있다. 웨이퍼 (100) 는, 이면 (104) 에 첩착된 다이싱 테이프 (105) 를 통하여, 환상 프레임 (106) 에 지지되어 있다. 웨이퍼 (100) 는, 환상 프레임 (106) 에 지지된 상태로 척 테이블 (10) 상에 유지된다.The wafer 100, which is a workpiece of the present embodiment, is a disc-shaped semiconductor wafer made of silicon as a base material, or an optical device wafer made of sapphire, SiC (silicon carbide), or the like as a base material. As shown in FIG. 2 , in the wafer 100 , devices 103 are formed in a plurality of regions partitioned by lattice-shaped division lines 102 formed on the surface 101 . The wafer 100 is supported by an annular frame 106 via a dicing tape 105 attached to the back surface 104 . The wafer 100 is held on the chuck table 10 in a state supported by the annular frame 106 .

척 테이블 (10) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 다공성 세라믹스 등으로 형성된 유지부 (11) 와, 이 유지부 (11) 가 배치되는 금속 기대 (13) 와, 이 금속 기대 (13) 의 주위에 배치 형성된 복수 (본 실시형태에서는 4 개) 의 클램퍼 (12) 를 구비한다. 유지부 (11) 는, 환상 프레임 (106) 에 지지된 웨이퍼 (100) 를 그 이면측으로부터 흡인함으로써 유지한다. 이 때, 클램퍼 (12) 는, 환상 프레임 (106) 을 사이에 두고 유지한다. 또, 금속 기대 (13) 는, 도전성을 갖는 재료로 형성되어 있다. 또, 척 테이블 (10) 은, 유지부 (11) 의 중심 축선을 중심으로 회전 가능하게 구성되어 있고, 절삭 수단 (20) 에 대하여, 임의의 회전 각도로 조정할 수 있다.As shown in FIG. 1 , the chuck table 10 includes a holding portion 11 made of porous ceramics or the like, a metal base 13 on which the holding portion 11 is placed, and a periphery of the metal base 13. Plural (four in the present embodiment) clampers 12 disposed thereon are provided. The holding unit 11 holds the wafer 100 supported by the annular frame 106 by sucking it from the back side thereof. At this time, the clamper 12 holds the annular frame 106 therebetween. In addition, the metal base 13 is formed of a material having conductivity. In addition, the chuck table 10 is configured to be rotatable around the central axis of the holder 11, and can be adjusted to an arbitrary rotation angle with respect to the cutting means 20.

절삭 수단 (20) 은, 절삭 블레이드 (21) 와, 스핀들과, 스핀들 하우징 (23) 과, 절삭액 공급 노즐 (24) 을 포함하고 있다. 절삭 수단 (20) 은, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼 (100) (도 2) 에 절삭액을 공급하면서 가공을 실시한다. 이 때, 절삭 수단 (20) 은, 촬상 수단 (30) 에 의해 촬상된 웨이퍼 (100) 의 화상 데이터에 기초하여, 웨이퍼 (100) 의 가공해야 할 영역을 절삭 블레이드 (21) 에 의해 가공한다. 스핀들 하우징 (23) 내에는 스핀들이 수용되고, 에어 베어링에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 스핀들은, 스핀들 하우징 (23) 중에 수용된 모터에 의해 회전 구동되고, 스핀들의 선단측에는 절삭 블레이드 (21) 가 착탈 가능하게 장착되어 있다.The cutting means 20 includes a cutting blade 21, a spindle, a spindle housing 23, and a cutting fluid supply nozzle 24. The cutting means 20 performs machining while supplying cutting fluid to the wafer 100 (FIG. 2) held on the chuck table 10. At this time, the cutting unit 20 processes the area to be processed of the wafer 100 using the cutting blade 21 based on the image data of the wafer 100 captured by the imaging unit 30 . A spindle is accommodated in the spindle housing 23 and is rotatably supported by an air bearing. The spindle is rotationally driven by a motor accommodated in the spindle housing 23, and a cutting blade 21 is detachably attached to the tip side of the spindle.

절삭 블레이드 (21) 는, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼 (100) 를 절삭한다. 절삭 블레이드 (21) 는, 대략 링 형상의 극박의 절삭 지석이다. 절삭액 공급 노즐 (24) 은, 절삭 블레이드 (21) 에 의한 웨이퍼 (100) 의 가공 중에 웨이퍼 (100) 의 가공점에 절삭액을 공급한다.The cutting blade 21 cuts the wafer 100 held on the chuck table 10 . The cutting blade 21 is a substantially ring-shaped ultrathin cutting grindstone. The cutting fluid supply nozzle 24 supplies cutting fluid to the processing point of the wafer 100 during processing of the wafer 100 by the cutting blade 21 .

촬상 수단 (30) 은, 복수의 화소로 이루어지고, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼 (100) 를 촬상하여, 화상을 생성한다. 촬상 수단 (30) 은, 예를 들어, CCD (Charge Coupled Device) 이미지 센서를 사용한 카메라 등이지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.The imaging means 30 captures an image of the wafer 100 made of a plurality of pixels and held on the chuck table 10 to generate an image. The imaging unit 30 is, for example, a camera using a CCD (Charge Coupled Device) image sensor, but is not limited thereto.

X 축 이동 수단 (40) 은, 장치 기대 (2) 상에 탑재되어, 척 테이블 (10) 을 절삭 이송 방향 (X 축 방향) 으로 이동시키는 것이다. 절삭 이송 방향 (X 축 방향) 은, 연직 방향과 직교한다. X 축 이동 수단 (40) 은, X 축 펄스 모터 (41) 와, X 축 볼 나사 (42) 와, 1 쌍의 X 축 가이드 레일 (43, 43) 을 포함하고 있다. 1 쌍의 X 축 가이드 레일 (43, 43) 상에는, 척 테이블 (10) 이 재치 (載置) 되고, 이 척 테이블 (10) 의 하부에 X 축 볼 나사 (42) 가 나사 결합되어 있다. X 축 이동 수단 (40) 은, X 축 펄스 모터 (41) 에 의해 발생한 회전력에 의해 X 축 볼 나사 (42) 를 회전 구동시킴으로써, 척 테이블 (10) 을 1 쌍의 X 축 가이드 레일 (43, 43) 을 따라, 장치 기대 (2) 에 대하여 X 축 방향으로 이동시킨다.The X-axis moving means 40 is mounted on the device base 2 and moves the chuck table 10 in the cutting feed direction (X-axis direction). The cutting feed direction (X-axis direction) is orthogonal to the vertical direction. The X-axis moving means 40 includes an X-axis pulse motor 41, an X-axis ball screw 42, and a pair of X-axis guide rails 43, 43. A chuck table 10 is mounted on a pair of X-axis guide rails 43 and 43, and an X-axis ball screw 42 is screwed to a lower portion of the chuck table 10. The X-axis moving means 40 rotationally drives the X-axis ball screw 42 by the rotational force generated by the X-axis pulse motor 41 to move the chuck table 10 into a pair of X-axis guide rails 43, 43), it moves in the X-axis direction with respect to the device base (2).

Y 축 이동 수단 (50) 은, 장치 기대 (2) 상에 탑재되어, 절삭 블레이드 이동 기대 (3) 및 절삭 수단 (20) 을 산출 이송 방향 (Y 축 방향) 으로 이동시키는 것이다. 여기서, 산출 이송 방향 (Y 축 방향) 은, 절삭 블레이드 (21) 의 회전축의 축 방향이며, 절삭 이송 방향 (X 축 방향) 및 연직 방향과 각각 직교하고 있다. Y 축 이동 수단 (50) 은, Y 축 펄스 모터 (51) 와, Y 축 볼 나사 (52) 와, 1 쌍의 Y 축 가이드 레일 (53, 53) 을 포함하고 있다. 1 쌍의 Y 축 가이드 레일 (53, 53) 상에는, 절삭 수단 (20) 이 탑재되는 절삭 블레이드 이동 기대 (3) 가 재치되고, 이 절삭 블레이드 이동 기대 (3) 의 하부에 Y 축 볼 나사 (52) 가 나사 결합되어 있다. Y 축 이동 수단 (50) 은, Y 축 펄스 모터 (51) 에 의해 발생한 회전력에 의해 Y 축 볼 나사 (52) 를 회전 구동시킴으로써, 절삭 블레이드 이동 기대 (3) 및 절삭 수단 (20) 을 Y 축 가이드 레일 (53, 53) 을 따라, 장치 기대 (2) 에 대하여 Y 축 방향으로 이동시킨다.The Y-axis moving means 50 is mounted on the device base 2 and moves the cutting blade moving base 3 and the cutting means 20 in the calculation feed direction (Y-axis direction). Here, the calculated feed direction (Y-axis direction) is the axial direction of the rotating shaft of the cutting blade 21, and is orthogonal to the cutting feed direction (X-axis direction) and the vertical direction, respectively. The Y-axis moving means 50 includes a Y-axis pulse motor 51, a Y-axis ball screw 52, and a pair of Y-axis guide rails 53, 53. On the pair of Y-axis guide rails 53, 53, a cutting blade moving base 3 on which the cutting means 20 is mounted is mounted, and a Y-axis ball screw 52 is placed under the cutting blade moving base 3. ) are screwed together. The Y-axis moving means 50 rotationally drives the Y-axis ball screw 52 by the rotational force generated by the Y-axis pulse motor 51, so that the cutting blade moving base 3 and the cutting means 20 are moved along the Y-axis. It is moved in the Y-axis direction with respect to the device base 2 along the guide rails 53 and 53.

Z 축 이동 수단 (60) 은, 절삭 블레이드 이동 기대 (3) 에 탑재되어, 지지부 (4) 및 절삭 수단 (20) 을 절출 방향 (Z 축 방향) 으로 이동시키는 것이다. 이 절출 방향 (Z 축 방향) 은 연직 방향이며, 절삭 이송 방향 (X 축 방향) 및 산출 이송 방향 (Y 축 방향) 에 각각 직교한다. Z 축 이동 수단 (60) 은, 절삭 블레이드 이동 기대 (3) 에 형성되어 있고, Z 축 펄스 모터 (61) 와, Z 축 볼 나사 (도시 생략) 와, 1 쌍의 Z 축 가이드 레일 (63, 63) 을 포함하고 있다. 1 쌍의 Z 축 가이드 레일 (63, 63) 에는, 절삭 수단 (20) 이 탑재되는 지지부 (4) 가 연결되어 있고, 이 지지부 (4) 에 Z 축 볼 나사가 나사 결합되어 있다. Z 축 이동 수단 (60) 은, Z 축 펄스 모터 (61) 에 의해 발생한 회전력에 의해 Z 축 볼 나사를 회전시킴으로써, 지지부 (4) 및 절삭 수단 (20) 을 Z 축 가이드 레일 (63) 을 따라 가이드하면서, 절삭 블레이드 이동 기대 (3) 에 대하여 Z 축 방향으로 이동시킨다.The Z-axis moving means 60 is mounted on the cutting blade moving base 3 and moves the support 4 and the cutting means 20 in the cutting direction (Z-axis direction). This cutting direction (Z-axis direction) is a vertical direction, and is orthogonal to the cutting feed direction (X-axis direction) and the calculated feed direction (Y-axis direction). The Z-axis moving means 60 is formed on the cutting blade moving base 3, and includes a Z-axis pulse motor 61, a Z-axis ball screw (not shown), and a pair of Z-axis guide rails 63, 63) are included. The pair of Z-axis guide rails 63 and 63 are connected to a support portion 4 on which the cutting means 20 is mounted, and a Z-axis ball screw is screwed to the support portion 4. The Z-axis moving means 60 rotates the Z-axis ball screw by the rotational force generated by the Z-axis pulse motor 61, so that the support part 4 and the cutting means 20 are moved along the Z-axis guide rail 63. While guiding, it is moved in the Z-axis direction with respect to the cutting blade moving base 3.

상기한 구성에서는, 웨이퍼 (100) 를 유지한 척 테이블 (10) 과 절삭 수단 (20) 을 절삭 이송 방향 (X 축 방향), 산출 이송 방향 (Y 축 방향) 및 절출 방향 (Z 축 방향) 으로 각각 상대적으로 이동시켜 웨이퍼 (100) 에 대한 절삭 가공을 실시한다. 이 경우, 절삭 블레이드 (21) 의 절입량을 제어하기 위해, 절삭 블레이드 (21) 의 기준이 되는 높이 위치 (원점 위치) 를 미리 절삭 장치 (1) 에 설정해 둘 필요가 있다. 이 때문에, 절삭 장치 (1) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 (21) 의 원점 위치를 검출하기 위한 원점 검출 기구 (70) 를 절삭 수단 (20) 에 구비하고 있다.In the configuration described above, the chuck table 10 holding the wafer 100 and the cutting means 20 are moved in the cutting feed direction (X-axis direction), in the calculation feed direction (Y-axis direction), and in the cutting direction (Z-axis direction). Cutting is performed on the wafer 100 by relatively moving them respectively. In this case, in order to control the cutting amount of the cutting blade 21, it is necessary to set the reference height position (origin position) of the cutting blade 21 in the cutting device 1 in advance. For this reason, the cutting device 1 equips the cutting means 20 with an origin detection mechanism 70 for detecting the origin position of the cutting blade 21, as shown in FIG. 3 .

먼저, 도 3 을 참조하여 절삭 수단 (20) 의 내부 구조를 설명한다. 절삭 수단 (20) 은, 스핀들 (22) 과, 이 스핀들 (22) 을 수용하는 스핀들 하우징 (23) 을 구비한다. 스핀들 하우징 (23) 의 벽 내에는, 축 방향으로 연장되는 환상 에어 공급로 (251) 가 형성되어 있고, 환상 에어 공급로 (251) 로부터는 축 방향 및 원주 방향으로 소정의 간격을 두고 복수의 제 1 분기로 (252) 가 각각 중심 방향을 향하여 방사상으로 형성되며, 스핀들 (22) 의 외주에 형성된 래디얼 에어 베어링 (25A) 에 연통되어 있다. 스핀들 하우징 (23) 의 외주면에는, 환상 에어 공급로 (251) 에 연통되는 에어 공급구 (250) 가 형성되고, 이 에어 공급구 (250) 를 통하여 에어 공급원 (도시 생략) 으로부터의 압축 에어가 환상 에어 공급로 (251) 에 공급된다. 스핀들 (22) 은, 환상으로 형성된 환상 트러스트 플레이트 (221) 를 일체적으로 구비한다.First, the internal structure of the cutting means 20 will be described with reference to FIG. 3 . The cutting means 20 includes a spindle 22 and a spindle housing 23 accommodating the spindle 22 . In the wall of the spindle housing 23, an annular air supply passage 251 extending in the axial direction is formed, and a plurality of air supply passages 251 are spaced at predetermined intervals in the axial and circumferential directions from the annular air supply passage 251. One branch path 252 is formed radially toward the center, respectively, and communicates with a radial air bearing 25A formed on the outer periphery of the spindle 22 . An air supply port 250 communicating with an annular air supply passage 251 is formed on the outer circumferential surface of the spindle housing 23, and compressed air from an air supply source (not shown) is supplied through the air supply port 250. It is supplied to the air supply path 251. The spindle 22 integrally includes an annular thrust plate 221 formed in an annular shape.

환상 에어 공급로 (251) 의 전방부 (도 3 에서 좌단부) 에는, 환상 트러스트 플레이트 (221) 의 양면에 대향시켜 복수의 제 2 분기로 (253) 가 각각 형성되어 있다. 이 제 2 분기로 (253) 는, 원주 방향으로 소정의 간격을 두고 형성되며, 환상 트러스트 플레이트 (221) 의 양 측면에 형성된 트러스트 에어 베어링 (25B) 에 연통되어 있다.A plurality of second branch passages 253 are formed at the front portion (left end portion in FIG. 3 ) of the annular air supply passage 251 so as to face both surfaces of the annular thrust plate 221 . These second branch passages 253 are formed at predetermined intervals in the circumferential direction and communicate with thrust air bearings 25B formed on both side surfaces of the annular thrust plate 221 .

따라서, 에어 공급원으로부터의 압축 에어가 환상 에어 공급로 (251), 제 1 분기로 (252) 및 제 2 분기로 (253) 를 통하여, 래디얼 에어 베어링 (25A), 트러스트 에어 베어링 (25B) 에 각각 공급됨으로써, 고속 회전하는 스핀들 (22) 을 안정적으로 지지할 수 있다.Therefore, the compressed air from the air supply source passes through the annular air supply passage 251, the first branch passage 252 and the second branch passage 253 to the radial air bearing 25A and the thrust air bearing 25B, respectively. By being supplied, it is possible to stably support the spindle 22 rotating at high speed.

또, 스핀들 하우징 (23) 내에는, 스핀들 (22) 을 회전 구동시키는 서보 모터 (26) 가 수용되어 있다. 서보 모터 (26) 는, 스테이터 (261) 와 로터 (262) 를 구비하고, 로터 (262) 는 스핀들 (22) 과 일체적으로 형성되어 있다. 스핀들 (22) 의 선단 (도 3 에서는 좌단부) 에는 마운트 플랜지 (27) 가 나사 (28) 로 장착되어 있고, 이 마운트 플랜지 (27) 에 대하여 외주에 절삭날 (21a) 을 갖는 절삭 블레이드 (21) 가 장착되고, 고정 너트 (29) 로 고정되어 있다.Also, within the spindle housing 23, a servo motor 26 for rotationally driving the spindle 22 is accommodated. The servo motor 26 includes a stator 261 and a rotor 262 , and the rotor 262 is integrally formed with the spindle 22 . A mount flange 27 is attached to the front end of the spindle 22 (left end in FIG. 3) with a screw 28, and a cutting blade 21 having a cutting edge 21a on the outer periphery of the mount flange 27 ) is mounted, and it is fixed with a fixing nut (29).

스핀들 하우징 (23) 의 후단부 (도 3 에서는 우단부) 에는 개구부 (23A) 가 형성되어 있고, 이 개구부 (23A) 에 원점 검출 기구 (70) 가 형성되어 있다. 원점 검출 기구 (70) 는, 개구부 (23A) 를 막도록 배치되는 캡 (71) 과, 이 캡 (71) 에 유지되는 전극 단자 유닛 (80, 81) 을 구비한다.An opening 23A is formed at the rear end (right end in Fig. 3) of the spindle housing 23, and an origin detection mechanism 70 is formed in the opening 23A. The origin detection mechanism 70 includes a cap 71 disposed so as to close the opening 23A, and electrode terminal units 80 and 81 held by the cap 71 .

캡 (71) 은, 절연성의 수지 재료로 형성되고, 스핀들 하우징 (23) 의 개구부 (23a) 에 장착되어 스핀들 하우징 (23) 의 일부를 구성한다. 캡 (71) 은, 개구부 (23A) 의 형상에 합치하고 있으며, 본 실시형태에서는, 타원 또는 원의 일부를 직선상으로 절결한 형상을 하고 있다. 캡 (71) 은, 도 4 및 도 5 에 나타내는 바와 같이, 타부 (他部) 보다 두껍게 형성된 육후부 (71A) 를 구비하고, 이 육후부 (71A) 에는 1 쌍의 삽입공 (72, 72) 과, 이들 삽입공 (72, 72) 에 인접하여 형성되는 1 쌍의 걸림홈 (수용부) (73, 73) 이 형성되어 있다. 삽입공 (72) 은, 캡 (71) 을 관통하도록 형성되고, 걸림홈 (73) 은, 적어도 육후부 (71A) 의 두께 상당의 깊이 (축 방향) 를 갖는다. 전극 단자 유닛 (80, 81) 은, 각각 삽입공 (72, 72) 에 삽입됨과 함께, 걸림홈 (73, 73) 으로 유지된다.The cap 71 is made of an insulating resin material, is attached to the opening 23a of the spindle housing 23, and constitutes a part of the spindle housing 23. The cap 71 conforms to the shape of the opening 23A, and in the present embodiment has a shape obtained by cutting an ellipse or a part of a circle in a straight line. As shown in FIGS. 4 and 5 , the cap 71 has a thick portion 71A thicker than the other portion, and a pair of insertion holes 72 and 72 are provided in the thick portion 71A. and a pair of locking grooves (accommodating parts) 73 and 73 formed adjacent to these insertion holes 72 and 72 are formed. The insertion hole 72 is formed so as to penetrate the cap 71, and the locking groove 73 has a depth (in the axial direction) corresponding to at least the thickness of the thick portion 71A. The electrode terminal units 80 and 81 are held by the locking grooves 73 and 73 while being inserted into the insertion holes 72 and 72, respectively.

본 실시형태에서는, 삽입공 (72, 72) 및 걸림홈 (73, 73) 은, 캡 (71) 의 중심 (스핀들의 회전 축심) 에 대하여 점 대칭으로 형성되어 있다. 이 구성에서는, 캡 (71) 에 유지되는 전극 단자 유닛 (80, 81) 을 양호하게 합쳐 배치할 수 있기 때문에, 원점 검출 기구 (70) 의 소형화를 도모할 수 있다. 또한, 삽입공 (72, 72) 및 걸림홈 (73, 73) 을 캡 (71) 의 중심을 통과하는 소정 선에 대하여 선 대칭으로 배치해도 된다.In this embodiment, the insertion holes 72 and 72 and the engaging grooves 73 and 73 are formed point-symmetrically with respect to the center of the cap 71 (the axis of rotation of the spindle). In this configuration, since the electrode terminal units 80 and 81 held by the cap 71 can be satisfactorily arranged, the size of the origin detection mechanism 70 can be reduced. Further, the insertion holes 72 and 72 and the locking grooves 73 and 73 may be arranged symmetrically with respect to a predetermined line passing through the center of the cap 71 .

전극 단자 유닛 (80) 은, 스핀들 (22) 과 일체적으로 형성된 로터 (262) 의 단면 (스핀들의 단면) (262A) (도 5) 에 맞닿는 전극 단자 (74) 와, 이 전극 단자 (74) 를 상기 단면 (262A) 으로 가압하는 가압 스프링 (75) 과, 이 가압 스프링 (75) 에 연결되는 도전성 굴곡 플레이트 (76) 를 구비한다. 전극 단자 (74) 는, 포러스상의 카본으로 형성된 카본 브러시편이며, 로터 (262) 의 단면 (262A) 에 대향하여 맞닿는 맞닿음면 (74A) 을 갖는다. 가압 스프링 (75) 은, 전극 단자 (74) 를 로터 (262) 의 단면 (262A) 으로 가압하는 방향으로 탄성 지지한다. 가압 스프링 (75) 은 도전성 재료로 형성되어, 전극 단자 (74) 와 도전성 굴곡 플레이트 (76) 를 물리적 및 전기적으로 연결한다. 도전성 굴곡 플레이트 (76) 는, 도전성 재료를 대략 L 자 형상으로 굴곡시켜 형성되고, 가압 스프링 (75) 을 거는 걸림부 (76A) 와, 걸림부 (76A) 의 단부로부터 전극 단자 (74) 측으로 굴곡된 삽입부 (76B) 를 구비한다. 걸림부 (76A) 에는, 가압 스프링 (75) 과는 반대측으로 연장되는 파지부 (77) 가 장착되어 있다. 이 파지부 (77) 는, 예를 들어, 절연성 필름 등으로 형성되며, 인장 방향으로 어느 정도의 강도를 갖는다. 파지부 (77) 는, 작업자가 캡 (71) 으로부터 전극 단자 유닛 (80, 81) 을 뽑아낼 때에 파지하는 부분이다. 또, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 는, 캡 (71) 에 형성된 걸림홈 (73) 에 삽입된다.The electrode terminal unit 80 includes an electrode terminal 74 that comes into contact with an end face (end face of the spindle) 262A (FIG. 5) of the rotor 262 formed integrally with the spindle 22, and the electrode terminal 74 to the end face 262A, and a conductive bending plate 76 connected to the pressure spring 75. The electrode terminal 74 is a carbon brush piece formed of porous carbon, and has an abutting surface 74A facing and abutting the end face 262A of the rotor 262 . The biasing spring 75 urges the electrode terminal 74 toward the end face 262A of the rotor 262 in the direction of biasing. The pressure spring 75 is formed of a conductive material and physically and electrically connects the electrode terminal 74 and the conductive bent plate 76. The conductive bending plate 76 is formed by bending a conductive material in a substantially L-shape, and includes a hooking portion 76A to which a pressure spring 75 is hung, and bending from an end of the hooking portion 76A toward the electrode terminal 74. and an insertion portion 76B. A gripping portion 77 extending on the opposite side to the biasing spring 75 is attached to the engaging portion 76A. This holding portion 77 is formed of, for example, an insulating film or the like, and has a certain degree of strength in the tensile direction. The gripping portion 77 is a portion that the operator grips when pulling out the electrode terminal units 80 and 81 from the cap 71 . Also, the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 is inserted into the locking groove 73 formed in the cap 71 .

걸림홈 (73) 에는, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 와 함께 삽입되어, 그 삽입부 (76B) 를 유지하는 스토퍼부 (78) 가 배치된다. 이 스토퍼부 (78) 는, 예를 들어, 판 스프링과 같이, 도전성과 탄성을 겸비한 재료로 형성되어 있다. 스토퍼부 (78) 는, 판 스프링을 이중으로 되접어 형성된 되접힘부 (78A) 를 구비하고, 이 되접힘부 (78A) 가 걸림홈 (73) 에 삽입된다. 걸림홈 (73) 에 삽입된 되접힘부 (78A) 는, 판 스프링이 원래대로 돌아가려고 하는 힘에 의해, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 를 걸림홈 (73) 의 벽면으로 가압한다. 이 때, 삽입부 (76B) 와 걸림홈 (73) 의 마찰력을 가압 스프링 (75) 의 탄성력보다 크게 설정함으로써, 전극 단자 유닛 (80, 81) 을 캡 (71) 에 삽입한 상태로 유지할 수 있다. 여기서, 스토퍼부 (78) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 되접힘부 (78A) 의 산부 (山部) (78A1) 가 걸림홈 (73) 의 입구측 (앞측) 에 위치하도록 배치된다. 이 때문에, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 를 걸림홈 (73) 에 용이하게 삽입할 수 있다.In the locking groove 73, a stopper 78 is disposed which is inserted together with the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 and holds the insertion portion 76B. This stopper portion 78 is formed of, for example, a material having both conductivity and elasticity, like a leaf spring. The stopper portion 78 has a folded back portion 78A formed by doubly folding the plate spring, and the folded portion 78A is inserted into the locking groove 73. The folded back portion 78A inserted into the locking groove 73 presses the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 against the wall surface of the locking groove 73 by the force of the plate spring to return to its original state. do. At this time, the electrode terminal units 80 and 81 can be maintained inserted into the cap 71 by setting the frictional force between the insertion portion 76B and the locking groove 73 to be greater than the elastic force of the pressure spring 75. . Here, as shown in FIG. 4 , the stopper portion 78 is arranged such that a ridge portion 78A1 of the folded portion 78A is located on the inlet side (front side) of the locking groove 73 . For this reason, the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 can be easily inserted into the locking groove 73.

또, 스토퍼부 (78) 는, 되접힘부 (78A) 와 일체로 형성되어 캡 (71) 에 장착하기 위한 장착부 (78B) 를 구비한다. 이 장착부 (78B) 에는, 나사 (79) 가 삽입되는 장착공 (78C) 이 형성된다. 이 나사 (79) 에는 리드선 (90) 이 접속되어 있다. 이 구성에 의하면, 전극 단자 유닛 (80) 의 전극 단자 (74) 는, 가압 스프링 (75), 도전성 굴곡 플레이트 (76), 스토퍼부 (78) 및 나사 (79) 를 통하여, 리드선 (90) 과 도통 가능하게 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 상기 서술한 바와 같이, 삽입공 (72, 72) 및 걸림홈 (73, 73) 은, 캡 (71) 의 중심 (스핀들의 회전 축심) 에 대하여 점 대칭으로 형성되어 있다. 이 때문에, 전극 단자 유닛 (80, 81) 은, 좌우에서 상이한 형상으로 할 필요는 없고, 동일 구조로 할 수 있다. 따라서, 전극 단자 유닛 (80, 81) 을 공통화할 수 있고, 부품의 공통화 그리고 부품 점수의 삭감을 도모할 수 있다. 전극 단자 유닛 (81) 은, 전극 단자 유닛 (80) 와 동일한 구성이기 때문에, 설명을 생략한다.In addition, the stopper portion 78 is integrally formed with the folded portion 78A and includes a mounting portion 78B for attaching to the cap 71 . An attachment hole 78C into which a screw 79 is inserted is formed in the attachment portion 78B. A lead wire 90 is connected to this screw 79. According to this configuration, the electrode terminal 74 of the electrode terminal unit 80 is connected to the lead wire 90 via the pressure spring 75, the conductive bent plate 76, the stopper portion 78 and the screw 79. It is formed to be possible. In this embodiment, as described above, the insertion holes 72 and 72 and the locking grooves 73 and 73 are formed point-symmetrically with respect to the center of the cap 71 (the axis of rotation of the spindle). For this reason, the electrode terminal units 80 and 81 do not need to have different shapes on the left and right, and can have the same structure. Therefore, it is possible to commonize the electrode terminal units 80 and 81, and commonalization of parts and reduction of the number of parts can be achieved. Since the electrode terminal unit 81 has the same configuration as the electrode terminal unit 80, description thereof is omitted.

원점 검출 기구 (70) 의 전극 단자 유닛 (80) 은, 리드선 (90) 에 의해, 전류계 (91), 전원 (92), 제 1 스위치 (93) 를 개재하여 척 테이블 (10) 의 금속 기대 (13) 에 접속되어 있다. 한편, 원점 검출 기구 (70) 의 전극 단자 유닛 (81) 은, 리드선 (90) 에 의해, 제 2 스위치 (94) 를 개재하여, 전원 (92) 과 제 1 스위치 (93) 사이에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 원점 검출 기구 (70), 리드선 (90, 90), 전류계 (91), 전원 (92), 제 1 스위치 (93) 및 제 2 스위치 (94) 를 구비하여 원점 검출 회로 (95) 를 구성한다.The electrode terminal unit 80 of the origin detection mechanism 70 is connected to the metal base of the chuck table 10 ( 13) are connected. On the other hand, the electrode terminal unit 81 of the origin detection mechanism 70 is connected between the power source 92 and the first switch 93 via the second switch 94 by the lead wire 90. . In the present embodiment, the origin detection circuit 95 includes an origin detection mechanism 70, lead wires 90 and 90, an ammeter 91, a power supply 92, a first switch 93 and a second switch 94. ) constitutes

절삭 블레이드 (21) 의 절입 방향 (Z 축 방향) 의 기준이 되는 원점 위치를 검출하려면, 서보 모터 (26) 로 스핀들 (22) 을 고속으로 회전시키면서, 먼저 원점 검출 회로 (95) 의 제 2 스위치 (94) 를 닫는다. 이로써, 전극 단자 (74, 74) 가 스핀들 (22) 에 연결되는 로터 (262) 의 단면 (262A) 에 정상적으로 맞닿고 있는 경우에는, 전극 단자 유닛 (80), 스핀들 (22) (로터 (262)), 전극 단자 유닛 (81), 제 2 스위치 (94), 전원 (92), 전류계 (91) 및 전극 단자 유닛 (80) 을 통과하는 폐회로가 형성되기 때문에, 이 폐회로에 흐르는 전류를 전류계 (91) 로 검출함으로써, 전극 단자 유닛 (80, 81) 의 정상적인 동작을 확인할 수 있다.In order to detect the origin position, which is the basis of the cutting blade 21 cutting direction (Z-axis direction), while rotating the spindle 22 at high speed with the servo motor 26, first, the second switch of the origin detection circuit 95 Close (94). Thus, when the electrode terminals 74 and 74 are in normal contact with the end face 262A of the rotor 262 connected to the spindle 22, the electrode terminal unit 80 and the spindle 22 (rotor 262) ), the electrode terminal unit 81, the second switch 94, the power supply 92, the ammeter 91 and the electrode terminal unit 80 form a closed circuit, so the current flowing in this closed circuit is measured by the ammeter 91 ), normal operation of the electrode terminal units 80 and 81 can be confirmed.

다음으로, 제 2 스위치 (94) 를 열고, 제 1 스위치 (93) 를 닫고 나서, Z 축 이동 수단 (60) 을 구동시켜 절삭 수단 (20) 을 하강시킨다. 이 때, 절삭 수단 (20) 에 있어서의 절삭 블레이드 (21) 의 절삭날 (21a) 이 척 테이블 (10) 의 금속 기대 (13) 에 접촉하면, 절삭 블레이드 (21), 금속 기대 (13), 제 1 스위치 (93), 전원 (92), 전류계 (91), 전극 단자 유닛 (80) 및 스핀들 (22) (로터 (262)) 을 통과하는 폐회로가 형성되기 때문에, 이 폐회로에 전류가 흘러 전류계 (91) 에 의해 검출된다.Next, after opening the second switch 94 and closing the first switch 93, the Z-axis moving means 60 is driven to lower the cutting means 20. At this time, when the cutting edge 21a of the cutting blade 21 in the cutting means 20 contacts the metal base 13 of the chuck table 10, the cutting blade 21, the metal base 13, Since a closed circuit passing through the first switch 93, power supply 92, ammeter 91, electrode terminal unit 80, and spindle 22 (rotor 262) is formed, current flows through this closed circuit to the ammeter (91) is detected.

이로써, 전류계 (91) 로 전류를 검출한 순간을 절삭 블레이드 (21) 의 절입 방향 (Z 축 방향) 의 원점 위치로 정하고, 절삭 장치 (1) 의 도시되지 않은 컨트롤러 중의 Z 축 방향의 위치를 0 으로 리셋하여 메모리에 기억한다. 그 후, 웨이퍼 (100) 의 절삭은, 이 원점 위치를 기준으로 하여 적정한 양의 절입으로 실시할 수 있다. Z 축 방향의 원점 위치의 검출은, 절삭 블레이드 (21) 의 절삭날 (21a) 의 마모의 정도를 고려하여, 정기적으로 또는 임의로 실시하도록 한다.Thus, the moment when the current is detected by the ammeter 91 is set as the origin position in the cutting direction (Z-axis direction) of the cutting blade 21, and the position of the cutting device 1 in the not-shown controller in the Z-axis direction is set to 0. reset and store in memory. After that, the cutting of the wafer 100 can be performed with an appropriate amount of incision based on this origin position. The detection of the origin position in the Z-axis direction is performed periodically or arbitrarily in consideration of the degree of wear of the cutting edge 21a of the cutting blade 21.

한편, 스핀들 (22) (로터 (262)), 전극 단자 유닛 (81), 제 2 스위치 (94), 전원 (92), 전류계 (91) 및 전극 단자 유닛 (80) 을 통과하는 폐회로의 전류를 검출할 수 없는 경우에는, 어느 전극 단자 (74, 74) 가 로터 (262) 의 단면 (262A) 에 정상적으로 맞닿지 않은 것으로 상정되므로, 절삭 블레이드 (21) 의 원점 위치의 검출 작업을 중지하고, 원점 검출 기구 (70) 의 보수를 실시한다.On the other hand, the current in the closed circuit passing through the spindle 22 (rotor 262), the electrode terminal unit 81, the second switch 94, the power supply 92, the ammeter 91 and the electrode terminal unit 80 If it cannot be detected, it is assumed that one of the electrode terminals 74, 74 is not normally in contact with the end face 262A of the rotor 262, so the operation of detecting the position of the origin of the cutting blade 21 is stopped, and the origin Maintenance of the detection mechanism 70 is carried out.

예를 들어, 전극 단자 유닛 (80) 의 전극 단자 (74) 가 마모된 경우에는, 이 전극 단자 유닛 (80) 을 신품으로 교환한다. 전극 단자 유닛 (80) 을 교환할 때, 작업자는 파지부 (77) 를 잡고 전극 단자 유닛 (80) 을 캡 (71) 으로부터 뽑아낸다. 본 실시형태에서는, 걸림홈 (73) 에는, 스토퍼부 (78) 가 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 와 함께 삽입되고, 스토퍼부 (78) 가 삽입부 (76B) 를 걸림홈 (73) 의 벽면으로 가압하여 유지하고 있다. 작업자가 전극 단자 유닛 (80) 을 캡 (71) 으로부터 뽑아내는 힘은, 삽입부 (76B) 와 걸림홈 (73) 의 마찰력보다 크기 때문에, 전극 단자 유닛 (80) 을 용이하게 캡 (71) 으로부터 뽑아낼 수 있다.For example, when the electrode terminal 74 of the electrode terminal unit 80 is worn out, this electrode terminal unit 80 is replaced with a new one. When exchanging the electrode terminal unit 80, the operator pulls the electrode terminal unit 80 out of the cap 71 while holding the gripping portion 77. In this embodiment, the stopper portion 78 is inserted into the engaging groove 73 together with the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76, and the stopper portion 78 inserts the insertion portion 76B into the engaging groove ( 73) is pressed against the wall and held. Since the force with which the operator pulls the electrode terminal unit 80 out of the cap 71 is greater than the frictional force between the insertion portion 76B and the locking groove 73, the electrode terminal unit 80 is easily removed from the cap 71. can be pulled out

새로운 전극 단자 유닛 (80) 은, 전극 단자 (74) 및 가압 스프링 (75) 을 캡 (71) 의 삽입공 (72) 에 삽입하고, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 를 걸림홈 (73) 에 삽입한다. 여기서, 스토퍼부 (78) 는, 되접힘부 (78A) 의 산부 (78A1) 가 걸림홈 (73) 의 입구측 (앞측) 에 위치하도록 배치된다. 이 때문에, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 를 걸림홈 (73) 에 용이하게 삽입할 수 있다. 스토퍼부 (78) 의 되접힘부 (78A) 는, 판 스프링이 원래대로 돌아가려고 하는 힘에 의해, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 를 걸림홈 (73) 의 벽면으로 가압한다. 이 때, 삽입부 (76B) 와 걸림홈 (73) 의 마찰력을 가압 스프링 (75) 의 탄성력보다 크게 설정함으로써, 전극 단자 유닛 (80, 81) 을 캡 (71) 에 삽입한 상태로 유지할 수 있다. 이로써, 전극 단자 유닛 (80) 의 교환을 캡 (71) (스핀들 하우징 (23)) 의 외측으로부터 용이하게 실시할 수 있다.In the new electrode terminal unit 80, the electrode terminal 74 and the pressure spring 75 are inserted into the insertion hole 72 of the cap 71, and the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 is inserted into the engaging groove. Insert in (73). Here, the stopper portion 78 is arranged so that the peak portion 78A1 of the folded portion 78A is located on the inlet side (front side) of the locking groove 73. For this reason, the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 can be easily inserted into the locking groove 73. The retractable portion 78A of the stopper portion 78 presses the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 against the wall surface of the locking groove 73 by the force of the plate spring to return to its original state. At this time, the electrode terminal units 80 and 81 can be maintained inserted into the cap 71 by setting the frictional force between the insertion portion 76B and the locking groove 73 to be greater than the elastic force of the pressure spring 75. . Thereby, replacement of the electrode terminal unit 80 can be easily performed from the outside of the cap 71 (spindle housing 23).

이상, 본 실시형태에 관련된 절삭 장치 (1) 는, 웨이퍼 (100) 를 유지하는 척 테이블 (10) 과, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼 (100) 를 절삭하는 절삭 블레이드 (21) 와 절삭 블레이드 (21) 가 일단에 장착되는 스핀들 (22) 을 가진 절삭 수단 (20) 과, 절삭 블레이드 (21) 와 척 테이블 (10) 을 접촉시켜 전기적 도통에 의해 척 테이블 (10) 에 대한 절삭 블레이드 (21) 의 절입 방향의 원점 위치를 검출하는 원점 검출 기구 (70) 를 구비하고, 원점 검출 기구 (70) 는, 스핀들 (22) 을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징 (23) 의 캡 (71) 에, 스핀들 (22) 의 타단측에 1 쌍으로 연결되는 로터 (262) 의 단면 (262A) 에 대향하여 삽입되고, 단면 (262A) 에 맞닿는 맞닿음면 (74A) 을 가진 전극 단자 (74) 와, 전극 단자 (74) 를 상기 단면 (262A) 으로 가압하는 도전성 재료로 이루어지는 가압 스프링 (75) 과, 가압 스프링 (75) 을 거는 걸림부 (76A) 를 갖고, 걸림부 (76A) 와 일체적으로 형성됨과 함께 전극 단자 (74) 측으로 굴곡된 삽입부 (76B) 를 갖는 도전성 굴곡 플레이트 (76) 를 구비하고, 스핀들 하우징 (23) 의 캡 (71) 에는, 전극 단자 (74, 74) 가 가압 스프링 (75, 75) 을 통하여 삽입되는 1 쌍의 삽입공 (72, 72) 이 형성됨과 함께, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 가 삽입되는 걸림홈 (73, 73) 이 형성되고, 이 걸림홈 (73) 에는, 삽입된 도전성 굴곡 플레이트 (76) 를 유지하는 스토퍼부 (78) 가 형성됨으로써, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 를 스토퍼부 (78) 와 함께 캡 (71) 의 걸림홈 (73) 에 삽입함으로써 전극 단자 (74) 를 단면 (262A) 에 맞닿은 상태로 고정시키는 구성으로 하였다. 이 구성에 의하면, 캡 (71) 의 외측으로부터 도전성 굴곡 플레이트 (76) 를 통하여, 전극 단자 (74) 및 가압 스프링 (75) 을 스핀들 하우징 (23) 에 대하여 끼웠다 뺐다 할 수 있다. 이 때문에, 종래와 같이, 전극 단자를 유지하는 홀더째 스핀들 하우징으로부터 분리하는 작업이 불필요해져, 전극 단자 (74) 의 교환을 용이하게 실시할 수 있어, 교환시의 작업성의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 스핀들 하우징 (23) 의 후방의 구조를 박화할 수 있기 때문에, 절삭 장치 (1) 의 소형화를 실현할 수 있다.As described above, the cutting device 1 according to the present embodiment includes a chuck table 10 holding a wafer 100, a cutting blade 21 cutting the wafer 100 held on the chuck table 10, and cutting The cutting means 20 having the spindle 22, to which the blade 21 is mounted at one end, and the cutting blade 21 contact the chuck table 10 to electrically conduct the cutting blade to the chuck table 10 ( 21) is provided with an origin detection mechanism 70 that detects the position of the origin in the cutting direction, and the origin detection mechanism 70 is attached to the cap 71 of the spindle housing 23 that rotatably supports the spindle 22. , an electrode terminal 74 having an abutment surface 74A that is inserted to face the end face 262A of the rotor 262 connected as a pair to the other end side of the spindle 22 and abuts on the end face 262A, It has a pressure spring 75 made of a conductive material for pressing the electrode terminal 74 to the end face 262A, and a locking portion 76A for hooking the pressure spring 75, and is integrally formed with the locking portion 76A. and a conductive bent plate 76 having an insertion portion 76B bent toward the electrode terminal 74 side, and in the cap 71 of the spindle housing 23, the electrode terminals 74 and 74 are pressurized springs ( A pair of insertion holes 72, 72 inserted through 75, 75 are formed, and locking grooves 73, 73 into which the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 is inserted are formed. A stopper portion 78 for holding the inserted conductive bent plate 76 is formed in the locking groove 73, so that the conductive bent plate 76 is held together with the stopper portion 78 in the locking groove 73 of the cap 71. ) to fix the electrode terminal 74 in a state of contact with the end surface 262A. According to this configuration, the electrode terminal 74 and the pressure spring 75 can be inserted and removed from the spindle housing 23 from the outside of the cap 71 via the conductive bent plate 76 . For this reason, as in the prior art, the work of removing the holder holding the electrode terminal from the spindle housing becomes unnecessary, and the electrode terminal 74 can be easily replaced, and the workability at the time of replacement can be improved. . In addition, since the structure behind the spindle housing 23 can be thinned, the size of the cutting device 1 can be reduced.

또, 본 실시형태에 의하면, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 걸림부 (76A) 에는, 작업자가 파지하는 파지부 (77) 가 장착되어 있기 때문에, 이 파지부 (77) 를 파지하여 도전성 굴곡 플레이트 (76), 전극 단자 (74) 및 가압 스프링 (75) 을 스핀들 하우징 (23) 으로부터 뽑아낼 수 있어, 전극 단자 (74) 의 분리를 용이하게 실시할 수 있다.Further, according to the present embodiment, since a gripping portion 77 that the operator grips is attached to the hooking portion 76A of the conductive bent plate 76, the gripping portion 77 is gripped to hold the conductive bent plate ( 76), the electrode terminal 74 and the pressure spring 75 can be extracted from the spindle housing 23, so that the electrode terminal 74 can be easily separated.

또, 본 실시형태에 의하면, 스토퍼부 (78) 는, 도전성 부재로 이루어지고, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 가 스토퍼부 (78) 와 함께 걸림홈 (73) 에 삽입됨으로써 원점 검출 기구 (70) 에 의한 원점 검출 회로 (95) 를 구성하기 때문에, 스토퍼부 (78) 는, 도전성 굴곡 플레이트 (76) 의 삽입부 (76B) 를 걸림홈 (73) 에 유지함과 함께, 원점 검출 회로 (95) 의 일부로서 기능하므로, 절삭 장치 (1) 의 장치 구성의 간소화를 도모할 수 있다.Further, according to the present embodiment, the stopper portion 78 is made of a conductive member, and the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 is inserted into the locking groove 73 together with the stopper portion 78, so that the origin is reached. Since the origin detection circuit 95 is constituted by the detection mechanism 70, the stopper portion 78 holds the insertion portion 76B of the conductive bent plate 76 in the engaging groove 73 and detects the origin. Since it functions as a part of the circuit 95, the device configuration of the cutting device 1 can be simplified.

또, 본 실시형태에 관련된 전극 단자 유닛 (80, 81) 은, 웨이퍼 (100) 를 유지하는 척 테이블 (10) 과, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼 (100) 를 절삭하는 절삭 블레이드 (21) 와 절삭 블레이드 (21) 가 일단에 장착되는 스핀들 (22) 을 가진 절삭 수단 (20) 과, 절삭 블레이드 (21) 와 척 테이블 (10) 을 접촉시켜 전기적 도통에 의해 척 테이블 (10) 에 대한 절삭 블레이드 (21) 의 절입 방향의 원점 위치를 검출하는 원점 검출 기구 (70) 를 구비한 절삭 장치 (1) 에 있어서 원점 검출 기구 (70) 를 구성하고, 스핀들 (22) 을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징 (23) 의 캡 (71) 에, 스핀들 (22) 의 타단측에 1 쌍으로 연결되는 로터 (262) 의 단면 (262A) 에 대향하여 삽입되고, 단면 (262A) 에 맞닿는 맞닿음면 (74A) 을 가진 전극 단자 (74) 와, 전극 단자 (74) 를 상기 단면 (262A) 으로 가압하는 도전성 재료로 이루어지는 가압 스프링 (75) 과, 가압 스프링 (75) 을 거는 걸림부 (76A) 를 갖고, 걸림부 (76A) 와 일체적으로 형성됨과 함께 전극 단자 (74) 측으로 굴곡된 삽입부 (76B) 를 갖는 도전성 굴곡 플레이트 (76) 를 구비하기 때문에, 캡 (71) 의 외측으로부터 전극 단자 유닛 (80, 81) 을 스핀들 하우징 (23) 에 대하여 용이하게 끼웠다 뺐다 할 수 있다.In addition, the electrode terminal units 80 and 81 according to the present embodiment include a chuck table 10 that holds the wafer 100 and a cutting blade 21 that cuts the wafer 100 held on the chuck table 10 ) and the cutting means 20 having the spindle 22 to which the cutting blade 21 is mounted at one end, and the cutting blade 21 and the chuck table 10 are brought into contact with each other to electrically conduct to the chuck table 10. In the cutting device 1 provided with the origin detection mechanism 70 for detecting the position of the origin in the cutting direction of the cutting blade 21, the origin detection mechanism 70 is constituted and the spindle 22 is rotatably supported. The abutment surface inserted into the cap 71 of the spindle housing 23 to face the end face 262A of the rotor 262 connected as a pair to the other end side of the spindle 22, and abutting the end face 262A ( 74A), a pressure spring 75 made of a conductive material that presses the electrode terminal 74 to the end face 262A, and a locking portion 76A that hooks the pressure spring 75. , since it is provided with a conductive bent plate 76 integrally formed with the engaging portion 76A and having an insertion portion 76B bent toward the electrode terminal 74 side, the electrode terminal unit from the outside of the cap 71 ( 80, 81) can be easily inserted and removed from the spindle housing (23).

또한, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.In addition, this invention is not limited to the said embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

1 : 절삭 장치
10 : 척 테이블 (유지 테이블)
13 : 금속 기대
20 : 절삭 수단
21 : 절삭 블레이드
22 : 스핀들
23 : 스핀들 하우징
26 : 서보 모터
261 : 스테이터
262 : 로터
262A : 단면 (스핀들의 단면)
70 : 원점 검출 기구
71 : 캡 (스핀들 하우징)
71A : 육후부
72 : 삽입공
73 : 걸림홈 (수용부)
74 : 전극 단자
74A : 맞닿음면
76 : 도전성 굴곡 플레이트
76A : 걸림부
76B : 삽입부
77 : 파지부
78 : 스토퍼부
78A : 되접힘부
78A1 : 산부
80, 81 : 전극 단자 유닛
95 : 원점 검출 회로
100 : 웨이퍼 (피가공물)1: cutting device
10: chuck table (retention table)
13: Expect metal
20: cutting means
21: cutting blade
22: Spindle
23: spindle housing
26: servo motor
261: stator
262: rotor
262A: cross section (cross section of spindle)
70: origin detection mechanism
71: cap (spindle housing)
71A: rear part
72: insertion hole
73: locking groove (accommodating part)
74: electrode terminal
74A: contact surface
76: conductive bending plate
76A: hanging part
76B: insertion part
77: gripping part
78: stopper part
78A: folding part
78A1 : Obstetrics
80, 81: electrode terminal unit
95: origin detection circuit
100: wafer (workpiece)

Claims (6)

피가공물을 유지하는 유지 테이블과, 그 유지 테이블로 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드와 그 절삭 블레이드가 일단에 장착되는 스핀들을 가진 절삭 수단과, 그 절삭 블레이드와 그 유지 테이블을 접촉시켜 전기적 도통에 의해 그 유지 테이블에 대한 그 절삭 블레이드의 절입 방향의 원점 위치를 검출하는 원점 검출 기구를 구비한 절삭 장치로서,
그 원점 검출 기구는,
그 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 하우징에 그 스핀들의 타단측의 단면에 대향하여 삽입되고, 그 단면에 맞닿는 맞닿음면을 가진 전극 단자와,
그 전극 단자와 연결되며 또한 그 전극 단자를 그 단면으로 가압하는 도전성 재료로 이루어지는 가압 스프링과,
그 가압 스프링에 연결되고, 그 가압 스프링을 거는 걸림부와, 그 걸림부와 일체적으로 형성됨과 함께 그 전극 단자측으로 굴곡된 삽입부를 갖는 도전성 굴곡 플레이트를 구비하고,
그 하우징에는, 그 전극 단자가 그 가압 스프링을 통하여 삽입되는 삽입공이 형성됨과 함께 그 도전성 굴곡 플레이트의 그 삽입부가 삽입되는 수용부가 형성되고,
그 수용부에는, 삽입된 그 도전성 굴곡 플레이트를 유지함과 함께 그 하우징에 장착된 스토퍼부가 형성되고,
그 도전성 굴곡 플레이트의 그 삽입부를 그 하우징의 그 수용부에 삽입하여, 그 스토퍼부가 그 삽입부를 그 수용부 내의 벽면으로 가압함으로써 그 전극 단자를 그 단면에 맞닿은 상태로 고정시키는, 절삭 장치.A cutting means having a holding table holding a workpiece, a cutting blade cutting the workpiece held by the holding table, and a spindle to which the cutting blade is mounted at one end, and the cutting blade and the holding table are electrically connected by contacting each other. A cutting device having an origin detection mechanism for detecting the origin position of the cutting blade in the cutting direction with respect to the holding table by
The origin detection mechanism is
an electrode terminal which is inserted into a housing that rotatably supports the spindle while facing the end face of the other end side of the spindle, and has an abutting surface abutting the end face;
a pressure spring made of a conductive material that is connected to the electrode terminal and presses the electrode terminal to its end face;
a conductive bent plate connected to the pressing spring and having a locking portion for engaging the pressing spring, and an insertion portion integrally formed with the locking portion and bent toward the electrode terminal;
In the housing, an insertion hole into which the electrode terminal is inserted through the pressing spring is formed, and a receiving portion into which the insertion portion of the conductive bent plate is inserted is formed,
A stopper portion attached to the housing while holding the inserted conductive bent plate is formed in the accommodating portion;
The cutting device, wherein the insertion portion of the conductive bent plate is inserted into the accommodating portion of the housing, and the stopper presses the insertion portion to a wall surface within the accommodating portion to fix the electrode terminal in a state of abutting the end face. 제 1 항에 있어서,
그 수용부에 삽입된 그 삽입부와 그 수용부의 마찰력을 그 가압 스프링의 탄성력보다 크게 설정하는, 절삭 장치.According to claim 1,
The cutting device which sets the frictional force of the insertion part inserted into the accommodating part and the accommodating part to be greater than the elastic force of the urging spring. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
그 도전성 굴곡 플레이트에는, 작업자가 파지하는 파지부가 형성되어 있는, 절삭 장치.According to claim 1 or 2,
The cutting device, wherein the conductive bending plate is provided with a gripping portion for an operator to grip. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
그 스토퍼부는 도전성 부재로 이루어지고, 그 도전성 굴곡 플레이트의 그 삽입부가 그 수용부에 삽입됨으로써 그 원점 검출 기구에 의한 원점 검출 회로를 구성하는, 절삭 장치.According to claim 1 or 2,
The cutting device, wherein the stopper portion is made of a conductive member, and the insertion portion of the conductive bent plate is inserted into the accommodating portion to constitute an origin detection circuit by the origin detection mechanism. 피가공물을 유지하는 유지 테이블과, 그 유지 테이블로 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드와 그 절삭 블레이드가 일단에 장착되는 스핀들을 가진 절삭 수단과, 그 절삭 블레이드와 그 유지 테이블을 접촉시켜 전기적 도통에 의해 그 유지 테이블에 대한 그 절삭 블레이드의 절입 방향의 원점 위치를 검출하는 원점 검출 기구를 구비한 절삭 장치에 있어서 그 원점 검출 기구를 구성하는 전극 단자 유닛으로서,
그 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 하우징에 그 스핀들의 타단측의 단면에 대향하여 삽입되고, 그 단면에 맞닿는 맞닿음면을 가진 전극 단자와,
그 전극 단자와 연결되며 또한 그 전극 단자를 그 단면으로 가압하는 도전성 재료로 이루어지는 가압 스프링과,
그 가압 스프링에 연결되고, 그 전극 단자와 반대측에서 그 가압 스프링을 거는 걸림부와, 그 걸림부와 일체적으로 형성됨과 함께 그 전극 단자측으로 굴곡된 삽입부를 갖는 도전성 굴곡 플레이트를 구비하고,
그 하우징에 형성된 수용부에 그 삽입부가 삽입되고, 그 수용부에 배치된 스토퍼부에 의해 그 삽입부가 그 수용부 내의 벽면으로 가압됨으로써 그 전극 단자가 그 단면에 맞닿은 상태로 고정되는, 전극 단자 유닛.A cutting means having a holding table holding a workpiece, a cutting blade cutting the workpiece held by the holding table, and a spindle to which the cutting blade is mounted at one end, and the cutting blade and the holding table are electrically connected by contacting each other. As an electrode terminal unit constituting the origin detection mechanism in a cutting device having an origin detection mechanism for detecting the position of the origin in the cutting direction of the cutting blade with respect to the holding table by
an electrode terminal which is inserted into a housing that rotatably supports the spindle while facing the end face of the other end side of the spindle, and has an abutting surface abutting the end face;
a pressure spring made of a conductive material that is connected to the electrode terminal and presses the electrode terminal to its end face;
A conductive bent plate having a hooking portion connected to the pressing spring and hooking the pressing spring on the side opposite to the electrode terminal, and an insertion portion integrally formed with the locking portion and bent toward the electrode terminal side,
An electrode terminal unit in which the insertion part is inserted into the accommodation part formed in the housing, and the insertion part is pressed against the wall surface in the accommodation part by the stopper part disposed in the accommodation part, so that the electrode terminal is fixed in a state in contact with the end face thereof. . 제 5 항에 있어서,
그 수용부에 삽입된 그 삽입부의 그 수용부와의 마찰력이, 그 가압 스프링의 탄성력보다 크게 설정되어 있는, 전극 단자 유닛.According to claim 5,
The electrode terminal unit, wherein the frictional force of the insertion portion inserted into the accommodating portion with the accommodating portion is set greater than the elastic force of the pressing spring.
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