KR102522018B1 - 공정 부산물 제거 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치는, 배관 내에 마그네트론 플라즈마를 생성하여 공정 부산물을 제거하는 공정 부산물 제거 장치에 있어서, 상기 배관의 외주면을 감싸도록 구비되는 커버부; 상기 배관의 길이 방향을 따라 상기 커버부의 내측에 구비되고, 상기 배관 내부의 공정 부산물에 자장을 형성하는 마그넷부; 및 상기 배관으로 전력을 공급하는 전원 공급부를 포함하고, 상기 마그넷부는, 상기 배관의 길이 방향을 따라 구비되는 고정부재; 상기 고정부재에 설치되고, 상기 배관의 외주면을 따라 서로 반대 극성을 갖는 복수의 자석이 구비되는 자석부재; 및 상기 고정부재를 상기 배관의 외주면을 따라 기설정된 각도로 회전시키는 구동부를 포함할 수 있다.

Description

공정 부산물 제거 장치{APPARATUS FOR REMOVING BY-PRODUCTS}
본 발명은 공정 부산물 제거 장치에 관한 것이다.
일반적으로 증착 공정, 식각 공정 등의 반도체 제조 공정 또는 디스플레이 제조 공정에서는 모노실란(SiH4) 가스, 암모니아(NH3) 가스, 아산화질소(N2O) 가스, 육불화에탄(C2F6) 가스, 불소(F2) 가스 등이 사용된다.
이러한 가스들은 지구 온난화를 초래하는 주요 원인으로 작용하므로 가스의 처리를 위해 반도체 제조 설비의 공정 챔버로부터 배출되는 폐가스를 배관을 통해 드라이 펌프로 펌핑한 후 플라즈마 스크러버로 이송하여 처리하고 있고, 플라즈마 스크러버에서는 가스를 상압의 열플라즈마에 의해 열분해 하는 방식으로 가스를 분해한다.
이와 같이 폐가스를 공정 챔버로부터 배출하여 처리하는 과정에서, 공정 챔버 및 폐가스가 통과하는 배관 내에는 공정 부산물이 고착된다.
즉, 반도체 제조 공정 또는 액정 디스플레이 제조 공정에 이용되는 가스들은 전술한 공정 중에 서로 반응하여 이산화규소(SiO2), 질화규소(Si3N4), 염화암모늄(NH4Cl), 불화암모늄(NH4F), 규소불화암모늄((NH4)2SiF6) 등의 염이 부산물로서 발생한다.
여기서, 공정 챔버 내부에 고착된 부산물은 주기적인 클리닝 작업시에 삼불화질소(NF3)를 이용한 RPS(Romote Plasma Source)등을 사용하여 제거할 수 있다.
그러나, 배관의 경우에는 장치 또는 공정에 따라 배관의 크기가 상이하여 RPS(Romote Plasma Source)를 사용하기 어려운 문제점이 있다.
이에 따라, 배관의 내부 표면에 부산물이 고착되지 않도록 배관의 외주면을 감싸고 열을 발생시키는 히터 장치를 설치하고 있으나, 이러한 히터 장치로는 배관의 내부 표면에 고착된 부산물을 완전하게 제거할 수 없는 한계가 있다.
또한, 공정 챔버에서 저진공펌프까지의 배관은 공정 챔버의 주기적인 클리닝 작업시에 이용하는 삼불화질소(NF3)를 통해 공정 챔버에 가까운 배관 부분의 부산물을 제거가능하지만, 공정 챔버와 배관과의 거리가 멀어질수록 효과가 저하된다는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 제10-2017-0075394호(2017.07.03. 공개)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 배관의 외주면을 감싸는 커버부의 내부에 마그넷부가 구비되고, 마그넷부가 배관의 외주면을 따라 기설정된 각도로 회전되며, 전원 공급부를 통해 배관으로 전력을 공급하여 배관 내에 마그네트론 플라즈마를 생성하는 공정 부산물 제거 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급된 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치는 배관 내에 마그네트론 플라즈마를 생성하여 공정 부산물을 제거하는 공정 부산물 제거 장치에 있어서, 상기 배관의 외주면을 감싸도록 구비되는 커버부; 상기 배관의 길이 방향을 따라 상기 커버부의 내측에 구비되고, 상기 배관 내부의 공정 부산물에 자장을 형성하는 마그넷부; 및 상기 배관으로 전력을 공급하는 전원 공급부를 포함하고, 상기 마그넷부는, 상기 배관의 길이 방향을 따라 구비되는 고정부재; 상기 고정부재에 설치되고, 상기 배관의 외주면을 따라 서로 반대 극성을 갖는 복수의 자석이 구비되는 자석부재; 및 상기 고정부재를 상기 배관의 외주면을 따라 기설정된 각도로 회전시키는 구동부를 포함할 수 있다.
상기 마그넷부는 상기 배관의 외주면을 따라 기설정된 간격으로 복수개 배치되고, 상기 기설정된 간격은 상기 배관의 중심을 기준으로 30도 내지 180도 사이의 각도를 이룰 수 있다.
상기 커버부는, 상기 배관의 외주면의 일부를 감싸도록 형성되는 제 1 커버; 상기 배관의 외주면의 나머지 부분을 감싸도록 형성되는 제 2 커버; 및 상기 커버부가 상기 배관에 탈착 가능하도록 상기 제 1 커버와 상기 제 2 커버를 결합시키는 결합부를 포함할 수 있다.
상기 결합부는, 상기 제 1 커버의 일단과 상기 제 2 커버의 일단을 힌지 결합에 의해 결합하는 힌지 결합부일 수 있다.
상기 전원 공급부의 전력 공급을 제어하는 제어부를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 전원 공급부에서의 상기 공정 부산물이 없는 배관의 제 1 방전전압과 상기 공정 부산물이 있는 배관의 제 2 방전전압을 비교하여 상기 공정 부산물의 제거량을 검출할 수 있다.
상기 제어부는, 상기 제 1 방전전압과 상기 제 2 방전전압이 동일한 경우 상기 전원 공급부에 의한 전력 공급을 차단할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 공정가스 제거 장치는, 배관의 외주면을 감싸는 커버부의 내부에 마그넷부가 구비되고, 마그넷부가 배관의 외주면을 따라 기설정된 각도로 회전되며, 전원 공급부를 통해 배관으로 전력을 공급하여 배관 내에 마그네트론 플라즈마를 생성함에 따라, 배관의 내부에 고착된 공정 부산물을 제거할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급된 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 배관에 설치된 공정 부산물 제거 장치의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치의 작동상태도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치에 의해 배관에 발생된 플라즈마를 보여주는 이미지이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라 중간에 다른 부재를 개재하여 연결되어 있는 경우와, 중간에 다른 소자를 사이에 전기적으로 연결되어 있는 경우도 포함한다. 나아가, 본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 사용된 "제1," "제2," 등의 표현들은 다양한 구성요소들을, 순서 및/또는 중요도에 상관없이 수식할 수 있고, 한 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위해 사용될 뿐 해당 구성요소들을 한정하지 않으며, 반드시 다른 구성요소를 의미하는 것은 아니다. 예로서, '제1 방향'과 '제2 방향'은 동일한 방향을 의미할 수도 있고, 다른 방향을 의미할 수도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치(10)의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치(10)의 길이방향에 수직한 방향으로 자른 단면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 배관에 설치된 공정 부산물 제거 장치(10)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치(10)의 작동상태도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치(10)에 의해 배관에 발생된 플라즈마를 보여주는 이미지이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 공정 부산물 제거 장치(10)는 배관(20)의 외면에 설치되며, 커버부(100), 마그넷부(200) 및 전원 공급부를 포함할 수 있다.
여기서, 커버부(100)는 배관(20)의 외주면을 감싸도록 구비될 수 있다.
커버부(100)는 도 1 내지 도 2에 도시되는 바와 같이, 커버부(100)의 내주면이 배관(20)을 감쌀 수 있도록 중공형상의 원통형으로 형성될 수 있다. 즉, 커버부(100)의 내주면은 배관(20)의 외주면에 접촉하며, 배관의 외주면의 형상에 대응되는 형상으로 구비될 수 있다.
커버부(100)는 배관(20)의 외주면의 일부를 감싸도록 형성되는 제 1 커버(110), 배관(20)의 외주면의 나머지 부분을 감싸도록 형성되는 제 2 커버(120) 및 커버부(100)가 배관(20)에 탈착 가능하도록 제 1 커버(110)와 제 2 커버(120)를 결합하는 결합부를 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 1에 도시되는 바와 같이, 제 1 커버(110)는 내주면이 배관(20)을 감쌀 수 있도록 만곡되고 반원통 형상으로 형성되고, 제 2 커버(120)는 제 1 커버(110)와 대응되게 내주면이 배관(20)을 감쌀 수 있도록 만곡되고 반원통 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 한정하지 않는다. 제 1 커버(110)는 배관(20)의 외주면의 일부를 감싸고 제 2 커버(120)는 제 1 커버(110)가 배관(20)을 감싼 후의 나머지 부분을 감싸도록 형성될 수 있다.
결합부는 커버부(100)가 배관(20)에 탈착 가능하도록 제 1 커버(110)와 제 2 커버(120)를 결합시킬 수 있다.
일 실시예로서, 결합부는 도 1에 도시되는 바와 같이, 제 1 커버(110)와 제 2 커버(120)의 외주면에 일정 간격을 따라, 복수개의 결합부재로 구성될 수 있으나, 이에 한정하지 않으며, 단일의 결합부재로 구성될 수도 있다.
결합부는 제 1 커버(110)의 일단과 제 2 커버(120)의 일단을 힌지 결합에 의해 결합하는 힌지 결합부(130)일 수 있다.
결합부가 힌지 결합부(130)로 형성됨에 따라, 제 1 커버(110) 또는 제 2 커버(120)가 결합부를 중심으로 회동하여 배관(20)에 착탈이 용이할 수 있다.
또한, 제 1 커버(110)와 제 2 커버(120)가 연접되는 부분에 자석부재(220)가 형성되어 커버부(100)가 배관(20)을 감싸는 경우에 고정될 수 있다. 다른 실시예로서, 제 1 커버(110) 및 제 2 커버(120)의 타단에 각각 걸림부재 및 걸림턱이 형성되어 고정될 수 있다.
이처럼, 배관(20)에 착탈이 용이하도록 제 1 커버(110), 제 2 커버(120) 및 결합부로 구성됨에 따라, 배관(20)의 부산물 제거가 필요한 부분에 선택적으로 설치가 가능하다.
한편, 마그넷부(200)는 배관(20)의 길이 방향을 따라 커버부(100)의 내측에 구비되고, 배관(20) 내부의 공정 부산물(21)에 자장을 형성할 수 있다.
마그넷부(200)는 배관(20)의 길이 방향을 따라 구비되는 고정부재(210), 고정부재(210)에 설치되고, 배관(20)의 외주면을 따라 서로 반대 극성을 갖는 복수의 자석이 구비되는 자석부재(220) 및 고정부재(210)를 배관(20)의 외주면을 따라 기설정된 각도로 회전시키는 구동부(230)를 포함할 수 있다.
예를 들어, 고정부재(210)는 도 2 내지 도 3에 도시되는 바와 같이, 배관(20)의 길이 방향을 따라 구비되는 일자형 플레이트로 형성될 수 있고, 고정부재(210)와 연접하는 커버부(100)의 내주면을 따라 만곡된 형상으로 구성될 수도 있다.
자석부재(220)는 고정부재(210)의 길이에 대응되게 배관(20)의 길이 방향을 따라 단일 또는 복수개의 자석부재(220)가 설치될 수 있다.
또한, 자석부재(220)는 고정부재(210)의 너비에 대응되게 배관(20)의 외주면을 따라 서로 반대 극성을 갖는 복수의 자석이 설치될 수 있다.
일 실시예로서, 도 2 내지 도 3에 도시되는 바와 같이, 고정부재(210)의 일단부에 배관(20)의 길이방향을 따라 N극의 복수 또는 단일의 자석부재(220)가 설치되고, 고정부재(210)의 중단부에 배관(20)의 길이방향을 따라 S극의 복수 또는 단일의 자석부재(220)가 설치되며, 고정부재(210)의 타단부에 배관(20)의 길이 방향을 따라, N극의 복수 또는 단일의 자석부재(220)가 설치될 수 있다. 이 경우, 배관(20)에 생성되는 플라즈마는 도 5에 나타난 바와 같이, 자석부재(220)의 서로 반대 극성을 갖는 자석 사이의 공간에 형성된다.
다른 실시예로서, 고정부재(210)의 일단부에 배관(20)의 길이방향을 따라 S극의 복수 또는 단일의 자석부재(220)가 설치되고, 고정부재(210)의 중단부에 배관(20)의 길이방향을 따라 N극의 복수 또는 단일의 자석부재(220)가 설치되며, 고정부재(210)의 타단부에 배관(20)의 길이 방향을 따라, S극의 복수 또는 단일의 자석부재(220)가 설치될 수 있다.
한편, 서로 반대 극성을 갖는 자석은 전술한 예로 한정하지 않으며, 2개, 4개 등 복수개로 구성될 수 있다.
구동부(230)는 도 4에 도시되는 바와 같이, 배관(20)의 중심축을 기준으로 고정부재(210)를 배관(20)의 외주면을 따라 기설정된 각도로 회전시킬 수 있다. 이와 같이, 마그넷부(200)가 배관(20)의 외주면을 따라 회전하게 함으로써, 자석부재(220)의 자석배치에 따라 배관(20)에 플라즈마가 생성되지 않는 부분에도 균일하게 플라즈마를 발생시킬 수 있다.
즉, 구동부(230)를 통해 자석부재(220)가 설치된 고정부재(210)를 배관(20)의 외주면을 따라 회전시킴으로써, 배관(20)의 내주면에 고착된 공정 부산물(21)을 균일하게 제거할 수 있다.
마그넷부(200)는 배관(20)의 외주면을 따라 기설정된 간격으로 복수개 배치될 수 있다. 기설정된 간격은 배관(20)의 중심 기준으로 30도 내지 180도 사이의 각도를 이루는 간격일 수 있다. 이 경우, 배관(20)의 중심은 배관(20)의 길이 방향에 수직한 방향에서 자른 단면의 중심을 의미한다.
일 실시예로서, 도 4에 도시되는 바와 같이, 마그넷부(200)는 배관(20)의 외주면을 따라 90도 간격으로 4개가 배치될 수 있다. 이 경우, 고정부재(210)를 회전시키는 구동부(230)에 기설정된 각도는 90도로 설정될 수 있다. 이에 따라, 배관(20)의 내주면 전체에 플라즈마가 생성되고, 배관(20)의 내주면에 고착된 공정 부산물(21)을 균일하게 제거할 수 있다.
또한, 마그넷부(200)가 배관(20)의 외주면을 따라 180도 간격으로 2개가 배치되는 경우에, 고정부재(210)를 회전시키는 구동부(230)에 기설정된 각도는 180도로 설정되어 배관(20)의 내주면 전체에 마그네트론 플라즈마를 이용하여 공정 부산물(21)을 제거 할 수 있으며, 마그넷부(200)의 개수 및 구동부(230)의 기설정된 각도는 한정하지 않는다.
즉, 배관(20)의 중심을 기준으로 인접한 두개의 마그넷부(200)가 이루는 각도와 구동부(230)가 고정부재(210)를 회전시키는 각도는 동일하게 설정될 수 있다.
한편, 전원 공급부(300)는 배관(20)으로 전력을 공급할 수 있다. 일 실시예로서, 전원 공급부(300)는 저주파 교류 또는 펄스 직류 전원 장치 일 수 있다.
여기서, 배관(20)을 배관(20)에 마그네트론 플라즈마를 생성하기 위한 음극으로 사용하고, 전원 공급부(300)를 통해 배관(20)으로 전력으로 공급함에 따라, 배관(20) 내부에 마그네트론 플라즈마가 생성될 수 있다.
이 때, 생성된 마그네트론 플라즈마에서의 양이온은 음극인 배관(20)의 내주면으로 이동하게 되고, 배관(20)의 내주면에 고착된 공정 부산물(21)은 방전전압의 힘에 의해 양이온 및 음이온으로 분해되어 제거될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치에 의해 배관(20) 내부에 마그네트론 플라즈마를 생성하여 배관(20)의 내주면에 고착된 공정 부산물(21)을 제거함에 따라, 저주파 전원 장치로도 부산물을 완벽하게 제거할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치는 종래의 부산물 제거 장치와 달리, 부피가 큰 정합기와 냉각수를 사용하지 않으므로, 보다 간소화된 장치로 안전하게 공정 부산물을 제거할 수 있는 이점이 있다.
공정 부산물 제거 장치(10)는 전원 공급부(300)의 전력 공급을 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
제어부(미도시)는 전원 공급부(300)에서의 공정 부산물이 없는 배관(20)의 제 1 방전전압과 공정 부산물이 있는 배관(20)의 제 2 방전전압을 비교하여 공정 부산물(21)의 제거량을 검출할 수 있다.
공정 부산물이 없는 배관의 제 1 방전전압보다 공정 부산물이 있는 배관(20)의 제 2 방전전압이 높은 값을 가지고, 전원 공급부(300)로부터 전력을 공급받아 공정 부산물 제거 장치(10)가 작동되어 배관(20)의 내주면에 고착된 공정 부산물(21)이 제거되는 경우에 제 2 방전전압은 점차적으로 감소될 수 있다.
제어부(미도시)는 제 1 방전전압과 제 2 방전전압이 동일한 경우 전원 공급부(300)에 의한 전력 공급을 차단할 수 있다.
여기서, 공정 부산물이 없는 배관(20)의 제 1 방전전압과 공정 부산물이 있는 배관(20)의 제 2 방전전압이 동일하다는 것은 배관(20)의 내벽에 고착된 공정 부산물(21) 전부가 제거되었다는 의미이므로, 전원 공급부(300)에 의한 전력 공급을 차단하여 불필요한 전력소모를 줄일 수 있다.
전술한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 부산물 제거 장치(10)에 의하면, 배관(20)의 외주면을 감싸는 커버부(100)의 내부에 마그넷부(200)가 구비되고, 마그넷부(200)가 배관(20)의 외주면을 따라 기설정된 각도로 회전되며, 전원 공급부(300)를 통해 배관(20)으로 전력을 공급하여 배관(20) 내에 마그네트론 플라즈마를 생성함에 따라, 배관(20)의 내부에 고착된 공정 부산물(21)을 균일하게 제거할 수 있게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 커버부(100)는 배관(20)에 착탈이 용이하도록 제 1 커버(110), 제 2 커버(120) 및 결합부로 구성됨에 따라, 종래의 공정 부산물 제거 장치에 비하여 운반 및 설치가 용이할 수 있다. 또한, 제어부(미도시)는 전원 공급부(300)에서의 공정 부산물이 없는 배관(20)의 제 1 방전전압과 공정 부산물이 있는 배관(20)의 제 2 방전전압을 비교하여 공정 부산물(21)의 제거량을 검출할 수 있다. 또한, 제어부(미도시)는 제 1 방전전압과 제 2 방전전압이 동일한 경우 전원 공급부(300)에 의한 전력 공급을 차단함으로써, 배관(20)의 내벽에 고착된 공정 부산물(21) 전부가 제거되었을 경우에 전원 공급부(300)에 의한 전력 공급을 차단하여 불필요한 전력소모를 줄일 수 있는 이점이 있다.
이상에서 설명한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
또한, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 공정 부산물 제거 장치
20 : 배관
21 : 공정 부산물
100 : 커버부
110 : 제 1 커버
120 : 제 2 커버
130 : 힌지 결합부
200 : 마그넷부
210 : 고정부재
220 : 자석부재
230 : 구동부
300 : 전원 공급부

Claims (6)

  1. 배관 내에 마그네트론 플라즈마를 생성하여 공정 부산물을 제거하는 공정 부산물 제거 장치에 있어서,
    상기 배관의 외주면을 감싸도록 구비되는 커버부;
    상기 배관의 길이 방향을 따라 상기 커버부의 내측에 구비되고, 상기 배관 내부의 공정 부산물에 자장을 형성하는 마그넷부; 및
    상기 배관으로 전력을 공급하는 전원 공급부를 포함하고,
    상기 마그넷부는,
    상기 배관의 길이 방향을 따라 구비되는 고정부재;
    상기 고정부재에 설치되고, 상기 배관의 외주면을 따라 서로 반대 극성을 갖는 복수의 자석이 구비되는 자석부재; 및
    상기 고정부재를 상기 배관의 외주면을 따라 기설정된 각도로 회전시키는 구동부를 포함하는 공정 부산물 제거 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마그넷부는,
    상기 배관의 외주면을 따라 기설정된 간격으로 복수개 배치되고,
    상기 기설정된 간격은 상기 배관의 중심을 기준으로 30 내지 180도 사이의 각도로 이루는 공정 부산물 제거 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 커버부는,
    상기 배관의 외주면의 일부를 감싸도록 형성되는 제 1 커버;
    상기 배관의 외주면의 나머지 부분을 감싸도록 형성되는 제 2 커버; 및
    상기 커버부가 상기 배관에 탈착 가능하도록 상기 제 1 커버와 상기 제 2 커버를 결합시키는 결합부를 포함하는 공정 부산물 제거 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 결합부는,
    상기 제 1 커버의 일단과 상기 제 2 커버의 일단을 힌지 결합에 의해 결합하는 힌지 결합부인 공정 부산물 제거 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 전원 공급부의 전력 공급을 제어하는 제어부를 더 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 전원 공급부에서의 상기 공정 부산물이 없는 배관의 제 1 방전전압과 상기 공정 부산물이 있는 배관의 제 2 방전전압을 비교하여 상기 공정 부산물의 제거량을 검출하는 공정 부산물 제거 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 제 1 방전전압과 상기 제 2 방전전압이 동일한 경우 상기 전원 공급부에 의한 전력 공급을 차단하는 공정 부산물 제거 장치.
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