KR102518085B1 - 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크 - Google Patents

태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크는, 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크는, 기판에 형성될 핑거 전극 위치에 대응하여 수평방향으로 단속적으로 형성되어 핑거 전극 개구부 행을 구성하는 복수의 핑거 전극 개구부들과, 상기 핑거 전극 개구부 행을 구성하는 핑거 전극 개구부들 사이에 각각 구비되어 서로 물리적으로 연결되며, 10∼50㎛의 폭을 갖는 복수의 제 1중간 지지부를 포함하며, 상기 핑거 전극 개구부 행은 수직방향으로 복수 개가 배열된다.

Description

태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크{STENCIL MASK FOR PRINTING ELECTRODE OF SOLAR CELL}
본 발명은 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크에 관한 것으로, 보다 상세하게는 원하는 전극 인쇄 품질을 얻을 수 있도록 장력을 유지할 수 있는 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크에 관한 것이다.
최근, 석유나 석탄과 같은 기존 에너지 자원의 매장량이 감소하고 기존 에너지 자원에 의한 환경 오염이 심각해지면서, 이들을 대체할 대체 에너지에 대한 관심이 높아지고 있다. 그 중 태양전지는 무한히 제공되는 태양빛을 이용하고, 환경 오염을 유발하지 않는 친환경 에너지 장치로서 관련 기술들이 활발하게 연구되고 있다.
태양전지는 태양 에너지를 전기로 변환하는 전기소자로서, 현재 실리콘 태양전지가 주로 사용되고 있다.
태양전지의 기본단위는 셀로서, 그 기본 구조는 P형 및 N형 반도체가 접합되고 그 양면에 전면 전극과 후면 전극이 각각 형성된 형태를 갖는다. 전면 전극과 후면 전극은 실리콘 기판(wafer) 상에 은(Ag)이나 알루미늄(Al)과 같은 전도성을 갖는 금속 페이스트(paste)를 도포하고 열처리를 수행하는 방법에 의해 형성된다.
전면 전극과 후면 전극은 외부 도선과 전기적으로 연결되며, 태양전지에 흡수된 빛 에너지에 의해 셀 내부에서 발생하는 전류를 수집하여 외부로 전달하는 경로가 된다.
전면 전극은 매트릭스 형태로 배열된 셀(cell)들로부터 효과적으로 전류를 수거하기 위해, 서로 수직으로 교차 배열되는 복수의 핑거(finger) 전극 및 복수의 버스 바(bus bar) 전극으로 구성된다.
일반적으로, 전면 전극의 인쇄는 스크린 인쇄 기술에 의해 수행되는데, 도면을 참조하여 종래의 스크린 인쇄 방법과 스크린 마스크에 대해 설명하도록 하겠다.
도 1은 종래의 스크린 인쇄 기술에 사용되는 스크린 마스크의 일 예를 도시한 도면이고, 도 2는 에멀전으로 개구부가 패터닝된 메쉬의 일부를 도시한 도면이다.
스크린 마스크(10)는 마스크 프레임(11)과 메쉬(mesh, 12)를 포함한다.
메쉬(12)는 와이어(12a)가 그물망 형태로 직조된 것으로, 와이어(12a)들은 일정한 장력을 유지한 상태로 마스크 프레임(11)에 고정된다. 와이어(12a)는 폴리에스테르, 스테인리스 강(stainless steel) 등 다양한 소재로 제조될 수 있다.
메쉬(12) 상에는 에멀전(emulsion, 15)이 도포되어 버스 바 전극을 인쇄하기 위한 버스 바 전극 개구부(13)들 및 핑거 전극을 인쇄하기 위한 핑거 전극 개구부(14)들이 형성된다. 에멀전(15)은 버스 바 전극 개구부(13)들과 핑거 전극 개구부(14)들이 형성될 영역 외에 포토 리소그라피(photo lithography) 방법에 의해 메쉬(12) 위에 도포된다. 이후, 노광 및 건조 과정을 거치면 에멀전(15)은 메쉬(31) 위에 고착되어 메쉬(12) 상에는 버스 바 전극과 핑거 전극의 위치에 대응하는 전면전극 개구부(12b,13,14) 패턴만 제외하고 모든 영역이 에멀전(15)에 의해 가려지게 된다.
스크린 마스크(10)를 이용한 전극 인쇄 방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 스크린 마스크(10) 아래에 전극 패턴이 인쇄될 실리콘 기판을 놓고 스크린 마스크(10) 위에 전도성 금속 페이스트를 놓은 후 스퀴지를 이동시켜 금속 페이스트에 압력을 가하면, 금속 페이스트는 스크린 마스크(10)의 메쉬(12) 사이 공간들을 통과하여 실리콘 기판으로 토출된다. 실리콘 기판 위에 개구부(13,14) 패턴대로 토출된 금속 페이스트는 열처리에 의해 실리콘 기판에 고정되어 버스 바 전극과 핑거 전극이 된다.
그런데, 이와 같이 스크린 마스크(10)를 이용한 스크린 인쇄 방법은 문제점들을 가지고 있다.
와이어들로 직조된 메쉬(12)는 와이어 자체가 차지하는 면적 때문에 개구율 확보에 태생적인 한계를 갖고 있다. 스크린 마스크(10)는 일반적으로 개구율이 50∼60%에 불과하며, 더 미세한 전극 패턴을 위해 와이어들을 더 촘촘하게 직조할 경우에는 개구율이 이보다 더 떨어지게 된다.
또한, 개구부(13,14)로 주입되는 금속 페이스트(31)와 와이어들 사이에 마찰 저항이 존재하기 때문에 금속 페이스트를 와이어들 사이로 원활하게 토출시키려면 스퀴지의 압력을 높여줘야 한다.
이와 같이 스크린 마스크(10)가 갖는 낮은 개구율과 와이어와 금속 페이스트 간의 마찰 저항 등의 단점들 때문에 최근에는 금속판을 직접 가공하여 버스 바 전극 개구부와 핑거 전극 개구부 패턴을 만든 스텐실 마스크의 사용이 늘어나고 있다.
도3은 일반적인 금속 스텐실 마스크의 일 예를 도시한 도면이다.
도면을 보면, 스텐실 마스크(100)에는 버스 바 전극의 위치에 대응하여 복수의 버스 바 전극 개구부(110)가 형성되고, 핑거 전극의 위치에 대응하여 복수의 핑거 전극 개구부(120)가 형성된다.
스텐실 마스크(100)의 버스 바 전극 개구부(110)와 핑거 전극 개구부(120)는 레이저를 조사하여 금속판을 절개하는 방법으로 만들어지기 때문에 버스 바 전극 개구부(110)와 핑거 전극 개구부(120)는 100%의 개구율을 갖게 된다. 따라서, 인쇄 시 금속 페이스트가 개구부(110,120)들을 통해 실리콘 기판으로 원활하게 토출될 수 있어서 스크린 마스크에 비해 높은 품질의 전극 패턴을 얻을 수 있다.
그러나, 버스 바 전극 개구부(110)와 핑거 전극 개구부(120) 패턴에 따라 금속판의 일부가 제거되므로, 가공 전 금속판이 갖고 있던 장력과 내구성은 필연적으로 감소할 수밖에 없다. 또한, 도시된 바와 같이, 버스 바 전극 개구부(110)와 핑거 전극 개구부(120)들이 서로 교차하면서 버스 바 전극 개구부(110)와 핑거 전극 개구부(120)로 둘러싸인 고립영역(CA)이 생성될 수 있다. 이 고립영역(CA)은 기계적인 지지 구조가 없기 때문에 금속판으로부터 분리될 수 있다.
즉, 스텐실 마스크(100)는 스크린 마스크가 갖는 낮은 개구율 문제를 극복하고 높은 품질의 전극 패턴을 얻을 수 있다는 장점을 갖는다. 그러나, 개구부(110,120) 절개에 따라 고립영역(CA)이 생길 수 있으며, 절개 영역이 많아질수록 금속판의 장력과 내구성이 감소되는 문제가 있다. 따라서, 스텐실 마스크(100)가 필요한 장력과 내구성을 유지하고 높은 품질의 전극 패턴이 인쇄되도록 할 수 있는 개구부 패턴 설계가 요구된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 개구부 패턴을 유지하면서도 금속판의 장력을 일정 크기 이상으로 유지할 수 있는 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 금속판에 단속적으로 형성되는 핑거 전극 개구부들을 통해 토출되는 금속 페이스트들 간의 전기적 연결성을 향상시켜 전기적 특성이 우수한 핑거 전극이 인쇄되도록 하는 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크를 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크는, 기판에 형성될 핑거 전극 위치에 대응하여 수평방향으로 단속적으로 형성되어 핑거 전극 개구부 행을 구성하는 복수의 핑거 전극 개구부들과, 상기 핑거 전극 개구부 행을 구성하는 핑거 전극 개구부들 사이에 각각 구비되어 서로 물리적으로 연결되며, 10∼50㎛의 폭을 갖는 복수의 제 1중간 지지부를 포함하며, 상기 핑거 전극 개구부 행은 수직방향으로 복수 개가 배열되고, 외곽 전극 개구부를 더 포함하되, 상기 외곽 전극 개구부는, 상기 핑거 전극 개구부 행의 양 말단 및 위아래로 인접한 핑거 전극 개구부 행의 양 말단 사이에 모두 복수 개가 형성되거나, 또는, 상기 외곽 전극 개구부는, 상기 핑거 전극 개구부 행의 일 단과 위로 인접한 핑거 전극 개구부 행의 일 단 사이 및 상기 핑거 전극 개구부 행의 타 단과 아래로 인접한 핑거 전극 개구부 행의 타 단 사이에 복수 개가 형성된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 핑거 전극 개구부들 간의 간격을 촘촘하게 하면서도 중간 지지부의 개수를 늘려 스텐실 마스크의 장력 및 내구성을 일정 크기 이상으로 유지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 수직방향으로 서로 인접한 중간 지지부들이 수직방향 기준으로 45도 미만으로 배열되도록 하여 스텐실 마스크의 장력과 내구성 향상을 도모할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 핑거 전극 개구부 사이의 중간 지지부 위치에 대응하여 실리콘 기판에 대향하는 스텐실 마스크 하부면에 오목부를 형성하여, 핑거 전극 개구부들 각각을 통해 토출되는 금속 페이스트들 간의 전기적 연결성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 핑거 전극 개구부 행마다 한번의 인그레이빙 (engraving) 작업으로 오목부를 핑거 전극 개구부의 길이 방향으로 핑거 전극 개구부 행의 길이만큼 형성함으로써, 스텐실 마스크 제조의 공정 시간을 단축하고 생산수율을 높일 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 종래의 스크린 인쇄 기술에 사용되는 스크린 마스크의 일 예를 도시한 도면이다.
도 2는 에멀전으로 개구부가 패터닝된 메쉬의 일부를 도시한 도면이다.
도3은 일반적인 금속 스텐실 마스크의 일 예를 도시한 도면이다.
도4는 본 발명에 따른 스텐실 마스크의 일 예를 보여주는 도면이다.
도5는 스텐실 마스크를 이용한 전극 인쇄 방법을 보여주기 위한 도면이다.
도6은 본 발명의 일 실시예에 따라 버스 바 없는 개구부 패턴을 갖는 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
도7은 본 발명의 일 실시예에 따라 개구부들이 버스 바 없는 반닫힌 패턴(half-closed pattern)으로 형성된 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
도8은 도7의 A11영역을 확대 도시한 도면이다.
도9는 도7의 A12영역을 확대 도시한 도면이다.
도10은 본 발명의 실시예에 따라 레이저 빔으로 핑거 전극 개구부를 절개하는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도11은 본 발명의 실시예에 따라 핑거 전극 개구부들 사이에 생성되는 중간 지지부들이 직선으로 배열된 형태를 보여주는 도면이다.
도12는 본 발명의 실시예에 따라 핑거 전극 개구부들 사이에 생성되는 중간 지지부들이 지그재그로 배열된 형태를 보여주는 도면이다.
도13은 본 발명의 실시예에 따라 오목부가 형성된 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
도14는 도13의 오목부가 형성된 스텐실 마스크를 이용하여 실리콘 기판에 전극이 인쇄된 모습을 도시한 도면이다.
도15는 본 발명의 일 실시예에 따라 오목부가 형성된 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
도16은 본 발명의 일 실시예에 따라 오목부가 형성된 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 스텐실 마스크에 대해 상세히 설명하도록 하겠다.
도4는 본 발명에 따른 스텐실 마스크의 일 예를 보여주는 도면이다.
도면에 도시된 바와 같이, 스텐실 마스크(100)는 망사(140)에 접착제로 부착되고, 망사(140)는 프레임(142)에 고정된다. 스텐실 마스크(100)는 망사(140)에 의해 프레임(142) 방향으로 장력을 받게 되어 팽팽한 상태를 유지하게 된다.
스텐실 마스크(100)에는 수직방향으로 형성된 버스 바 전극 개구부(110)가 복수의 열을 이루고 있고, 수평방향으로 단속적으로 형성된 핑거 전극 개구부(120)들이 복수의 행을 이루고 있다.
핑거 전극 개구부(120)들 사이에는 각각 중간 지지부(122)가 생성되는데, 중간 지지부(122)는 스텐실 마스크(100)와 물리적으로 연결되는 구조이므로 스텐실 마스크(100)에 장력과 내구성을 제공하는 영역이다. 따라서, 중간 지지부(122)를 많이 확보할수록 스텐실 마스크(100)의 장력과 내구성은 향상된다.
도4에서는 중간 지지부(122)들이 수직방향으로 일직선으로 구성된 중간 지지부 열(N-1, N, N+1)이 3개 존재한다.
도5는 스텐실 마스크를 이용한 전극 인쇄 방법을 보여주기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이, 작업대(160) 위에 실리콘 기판(150)이 놓여 지고, 그 위에는 망사(140)에 의해 프레임(142)에 고정된 스텐실 마스크(100)가 놓여 진다. 그리고, 스텐실 마스크(100) 위에는 전도성의 금속 페이스트가 올려지며, 스텐실 마스크(100)는 망사(140)에 의해 당겨져서 실리콘 기판(150)과 일정한 간격(d)을 유지한다. 여기서, 실리콘 기판(150)과 스텐실 마스크(100) 사이의 간격(d)은 보통, 0.5∼2㎜로 설정된다.
그러나, 스퀴지(164)가 스텐실 마스크(100)를 일정한 압력으로 누르면서 이동하면, 스퀴지(164)가 지나가는 지점의 스텐실 마스크(100)는 스퀴지(164)의 압력에 의해 실리콘 기판(150)과의 간격이 좁혀지고 이때 금속 페이스트(162)가 실리콘 기판(150)으로 토출된다. 이후, 스퀴지(164)가 지나가고 압력이 제거되면 스텐실 마스크(100)는 장력에 의해 실리콘 기판(150)과 원래의 간격(d)으로 돌아간다.
실리콘 기판(150)에 전극 패턴이 잘 인쇄되려면 스텐실 마스크(100)가 일정한 크기 이상의 장력을 가져야 한다. 예를 들어, 스텐실 마스크(100)의 장력이 너무 약하면 스퀴지(164)가 지나간 후에도 스텐실 마스크(100)가 실리콘 기판(150)과 계속 가까운 간격을 유지하면서 스텐실 마스크(100)와 금속 페이스트가 제대로 분리되지 않아 인쇄 불량이 발생할 수 있다. 이로 인해 태양전지 품질 저하 및 생산성 저하가 초래될 수 있다.
실리콘 기판(150) 상의 인쇄 불량을 방지하기 위해서는 스퀴지의 압력이 제거되면 스텐실 마스크가 바로 원래의 팽팽한 상태로 돌아와야 하는데, 보통, 17∼24N/㎝의 장력을 가져야 하며, 바람직하게는 18∼22N/㎝의 장력을 가져야 한다.
이와 같이 스텐실 마스크(100)가 일정한 장력 범위를 갖기 위해서는 개구부들의 위치와 간격, 중간 지지부 확보 등과 같은 패턴 설계가 중요하다.
도4에 도시된 개구부 패턴을 보면 수직방향 중간 지지부 열(N-1, N, N+1)의 개수가 적어서 수직방향의 장력과 내구성이 약하다. 따라서, 망사(140)를 통해 스텐실 마스크(100)에 수직, 수평방향으로 동일한 힘을 가했을 때 수직방향으로 개구부(110,120)가 벌어지거나 금속판의 왜곡, 굴곡이 발생할 수 있다.
따라서, 수직방향의 장력과 내구성을 보완할 수 있는 핑거 전극 개구부 패턴설계가 요구된다.
한편, 최근에는 수평방향 장력과 내구성을 더 강화하기 위해 버스 바 전극 개구부를 없애고 핑거 전극 개구부 패턴만을 갖는 버스 바 없는 패턴의 사용도 늘어나고 있다.
도6은 본 발명의 일 실시예에 따라 개구부들이 버스 바 없는 개구부 패턴을 갖는 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
기존에 존재하던 버스 바 전극 개구부가 없으면 절개된 영역이 줄어들기 때문에 스텐실 마스크(200)의 장력과 내구성이 증가하게 된다.
(a)는 핑거 전극 개구부(220)들이 열린 패턴(opened pattern)으로 형성된 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
스텐실 마스크(200)에는 복수의 핑거 전극 개구부 행이 일정한 간격으로 수직방향으로 배열된다. 도면에는 자세히 표현되어 있지 않지만, 핑거 전극 개구부 행은 수평방향으로 단속적으로 생성되는 복수의 핑거 전극 개구부(220)들로 구성된다.
열린 패턴은 핑거 전극 개구부 행들 각각의 양 단이 열린 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 열린 패턴의 스텐실 마스크(200)를 이용하여 실리콘 기판에 인쇄된 핑거 전극들도 열린 패턴을 갖게 된다.
버스 바 없는 패턴에서는 버스 바 전극이 없는 대신 핑거 전극들이 생성된 실리콘 기판 위에 복수의 구리 전극이 수평방향으로 일정한 간격으로 생성된 스마트 필름(smart film)을 적층하여 핑거 전극을 통해 흐르는 전류를 수집하여 구리전극을 통해 외부로 전달한다.
그런데, 열린 패턴에서는 핑거 전극 행을 이루는 핑거 전극들 중 양 단에 있는 핑거 전극에 단선이 생길 경우 전류가 인접한 구리 전극으로 흐르지 못할 수 있다. 각 핑거 전극이 구리 전극과 연결되는 유일한 전류 이동 경로이기 때문이다.
핑거 전극 행의 양 단에 있는 핑거 전극에 단선이 생기면 태양전지의 전류 전달율이 떨어져 전지 생산 수율이 저하된다.
이를 극복하기 위해 닫힌 패턴(closed pattern)과 반닫힌 패턴(half-closed pattern)이 고안되었다.
(b)는 핑거 전극 개구부(220)들이 닫힌 패턴(closed pattern)으로 형성된 스텐실 마스크(200)를 도시한 도면이다.
스텐실 마스크(200)에는 복수의 핑거 전극 개구부 행이 일정한 간격으로 수직방향으로 배열된다. 핑거 전극 개구부 행의 양 말단과 위아래로 인접한 핑거 전극 개구부 행의 양 말단 사이에는 모두 복수의 외곽 전극 개구부(230)가 형성된다.
이에 따라, 실리콘 기판에 전극 패턴이 인쇄되면 핑거 전극 행들의 양 말단은 위아래로 인접한 핑거 전극 행과 전기적으로 연결되어 양 방향의 전류 우회 경로를 갖게 된다. 이 경우 핑거 전극 행의 일부가 단선되어도 외곽 전극을 통해 인접한 핑거 전극 행으로 전류가 전달될 수 있다.
도7은 본 발명의 일 실시예에 따라 개구부들이 버스 바 없는 반닫힌 패턴으로 형성된 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
(a)는 반닫힌 패턴의 스텐실 마스크(300)를 도시한 도면이고, (b)는 (a)의 A10영역을 확대 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 스텐실 마스크(300)에는 복수의 핑거 전극 개구부 행이 일정한 간격으로 수직방향으로 배열된다. 핑거 전극 개구부 행은 수평방향으로 단속적으로 생성되는 복수의 핑거 전극 개구부(320)들로 이루어진다.
핑거 전극 개구부 행의 일 단과 위로 인접한 핑거 전극 개구부 행의 일 단 사이에 복수의 외곽 전극 개구부(330)가 형성되고, 핑거 전극 개구부 행의 타 단과 아래로 인접한 핑거 전극 개구부 행의 타 단 사이에 복수의 외곽 전극 개구부(330)가 형성된다.
이와 같은 핑거 전극 개구부 패턴과 외곽 전극 패턴대로 전극 패턴이 인쇄되면 전류 우회 경로가 확보되므로, 특정 핑거 전극이 단선되어도 위 또는 아래로 인접하는 핑거 전극으로 전류가 전달될 수 있다.
한편, 금속판의 재질로는 주로 SUS(steel use stainless)를 사용한다. SUS는 STS라고도 하며, SUS304, SUS305, SUS316 등이 금속판 재질로 사용될 수 있다.
금속판의 두께는 5∼150㎛범위를 사용되지만, 20∼80㎛의 두께로 가공되는 것이 바람직하다.
도8은 도7의 A11영역을 확대 도시한 도면이다.
도면을 보면, 스텐실 마스크에 복수의 핑거 전극 개구부(320)가 수평방향으로 단속적으로 배열되어 핑거 전극 개구부 행을 이루고 있고, 핑거 전극 개구부 행들의 각 일단의 핑거 전극 개구부들 사이에는 복수의 외곽 전극 개구부(330)가 배열되어 있다.
핑거 전극 개구부 행에서 양 단을 제외한 핑거 전극 개구부(320)의 길이(L1)는 285㎛가 될 수 있고, 양 단의 핑거 전극 개구부(320)의 길이(L2)는 375㎛가 될 수 있다. 핑거 전극 개구부(320)들 사이의 간격, 즉, 제 1중간 지지부(322)의 폭(G1)은 20㎛가 될 수 있다. 그러나, 핑거 전극 개구부(320)의 길이(L1, L2)와 제 1중간 지지부(322)의 폭(G1)은 위의 수치에 한정되는 것은 아니며, 핑거 전극 개구부(320)의 길이는 40∼400㎛의 범위를 가질 수 있고, 제 1중간 지지부(322)의 폭(G1) 은 10∼50㎛의 범위를 가질 수 있다.
한편, 핑거 전극 개구부 행의 양 말단에 있는 핑거 전극 개구부(320)들 사이에 생성되는 복수의 외곽 전극 개구부(330)의 길이(L3)는 55㎛가 될 수 있으며, 외곽 전극 개구부(330)들 사이의 간격, 즉, 제 2중간 지지부(332)의 폭(G2)은 19㎛가 될 수 있다. 본 실시예는 이 수치들에 한정되는 것은 아니며, 외곽 전극 개구부(330)의 길이(L3)는 20∼100㎛의 범위를 가질 수 있고, 제 2중간 지지부(332)의 폭(G2)은 10∼50㎛의 범위를 가질 수 있다.
도9는 도7의 A12영역을 확대 도시한 도면이다.
도면을 보면, 스텐실 마스크에는 핑거 전극이 형성될 위치에 대응하여 복수의 핑거 전극 개구부(320)가 수평방향으로 단속적으로 배열되어 핑거 전극 개구부 행을 이루며, 핑거 전극 개구부 행들의 각 일단의 핑거 전극 개구부(320)들 사이에는 복수의 외곽 전극 개구부(330)가 일직선으로 배열되어 있다.
핑거 전극 개구부 행에서 양 단을 제외한 핑거 전극 개구부(320)의 길이(L1)는 285㎛가 될 수 있고, 양 단의 핑거 전극 개구부(320)의 길이(L2)는 290㎛가 될 수 있다. 핑거 전극 개구부(320)들 사이의 간격, 즉, 제 1중간 지지부(322)의 폭(G1)은 20㎛가 될 수 있다. 그러나, 핑거 전극 개구부(320)의 길이(L1, L2)와 제 1중간 지지부(322)의 폭(G1)은 위의 수치에 한정되는 것은 아니며, 핑거 전극 개구부(320)의 길이는 40∼400㎛의 범위를 가질 수 있고, 제 1중간 지지부(322)의 폭(G1) 은 10∼50㎛의 범위를 가질 수 있다.
한편, 핑거 전극 개구부 행의 양 말단에 있는 핑거 전극 개구부(320)들 사이에 생성되는 복수의 외곽 전극 개구부(330)의 길이(L3)는 45㎛가 될 수 있으며, 외곽 전극 개구부(330)들 사이의 간격, 즉, 제 2중간 지지부(332)의 폭(G2)은 19㎛가 될 수 있다. 본 실시예는 이 수치들에 한정되는 것은 아니며, 외곽 전극 개구부(330)의 길이(L3)는 20∼100㎛의 범위를 가질 수 있고, 제 2중간 지지부(332)의 폭(G2)은 10∼50㎛의 범위를 가질 수 있다.
하나의 핑거 전극 개구부 행에 중간 지지부는 50∼2000개 범위에서 생성될 수 있으나, 스텐실 마스크가 적당한 장력 범위를 갖기 위해서는 300∼700개가 생성되는 것이 바람직하다. 그리고, 핑거 전극 개구부 행의 수는 50∼300개를 가질 수 있으나, 80∼150개로 생성되는 것이 바람직하다.
도10은 본 발명의 실시예에 따라 레이저 빔으로 핑거 전극 개구부를 절개하는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도면을 보면, 레이저 빔(370)이 스텐실 마스크 위를 수평방향으로 이동하면서 핑거 전극 개구부(320)를 절개하고 있다.
도면에서 레이저 빔(370)은 왼쪽에서 오른쪽 방향으로 이동하며, 왼쪽의 핑거 전극 개구부(320)는 절개가 완료된 상태이고 오른쪽 핑거 전극 개구부(320)는 절개가 진행되는 중이다.
실제 사용되고 있는 레이저 빔(370)의 직경(D)은 15∼25㎛이므로, 원형의 레이저 빔(370)이 한번 이동하며 절개한 핑거 전극 개구부(320)의 폭은 약 20㎛가 된다.
또한, 레이저 빔(370)의 직경(D)은 15∼25㎛이고, 정확한 위치를 제어하기가 쉽지 않으며, 해상도의 오차가 ±5㎛ 정도이기 때문에 종래에는 핑거 전극 개구부(320)들 사이의 중간 지지부의 폭(G1)은 50~100㎛의 범위 또는 그 이상의 값을 가졌다. 이 정도의 중간 지지부의 폭(G1)을 가지면 실리콘 기판 내부에서 생성되는 광전류가 핑거 전극으로 전달되기 어렵기 때문에 전류 수집 능력이 현저히 떨어지게 된다.
그러나, 본 발명의 실시예에서는 레이저 빔(370)을 정밀하게 제어하여 핑거 전극 개구부(320)들 사이의 간격, 즉, 중간 지지부의 폭(G1)이 10∼50㎛가 되도록 스텐실 마스크를 가공하였다.
도11은 본 발명의 실시예에 따라 핑거 전극 개구부들 사이에 생성되는 중간 지지부들이 직선으로 배열된 형태를 보여주는 도면이다.
도시된 바와 같이, 스텐실 마스크(400)에는 핑거 전극 개구부(420)가 수평방향(X-X')으로 단속적으로 배열되어 핑거 전극 개구부 행(M-1∼M+3)을 구성하며, 핑거 전극 개구부 행(M-1∼M+3)은 수직방향(Y-Y')으로 일정한 간격으로 배열된다.
핑거 전극 개구부(420)들 사이에는 중간 지지부(422)가 생성되어 스텐실 마스크(400)와 물리적으로 연결된다. 따라서, 중간 지지부(442)는 스텐실 마스크(400)에 장력과 내구성을 제공한다.
수직방향(Y-Y')으로 서로 인접한 중간 지지부(422)들은 수직방향(Y-Y')과 0°를 이루도록 배열된다. 즉, 핑거 전극 개구부 행들의 각각 인접한 중간 지지부(422)들은 수직 방향으로 일직선으로 배열된다.
스텐실 마스크(400)는 개구부들 사이의 지지부들이 일직선 형태로 배열될 때 가장 큰 장력을 얻을 수 있다. 도면을 보면, 수평방향(X-X')과 수직방향(Y-Y') 모두 지지영역들이 직선형태로 연결되어 있으므로 스텐실 마스크(400)는 큰 장력과 내구성을 얻을 수 있다.
도12는 본 발명의 실시예에 따라 핑거 전극 개구부들 사이에 생성되는 중간 지지부들이 지그재그로 배열된 형태를 보여주는 도면이다.
도시된 바와 같이, 스텐실 마스크(400)에는 핑거 전극 개구부(420)가 수평방향(X-X')으로 단속적으로 배열되어 핑거 전극 개구부 행(M-1∼M+3)을 구성하며, 핑거 전극 개구부 행(M-1∼M+3)은 수직방향(Y-Y')으로 일정한 간격으로 배열된다.
수직방향(Y-Y')으로 서로 인접한 중간 지지부(422)들은 수직방향(Y-Y')으로 지그재그 형태로 배열되는데, 두 개의 인접한 중간 지지부(422)는 수직방향(Y-Y')으로 45° 미만의 각도를 이루도록 생성된다.
물론, 중간 지지부(422)들이 일직선 형태로 배열되는 것이 가장 큰 장력을 얻을 수 있지만, 이와 같이 45°미만의 각도를 이루면서 배열되어도 스텐실 마스크(400)는 고품질의 전극 패턴을 얻기에 충분한 장력을 가질 수 있다.
전술한 도7 내지 도12의 내용을 정리하면, 버스 바 없이(busbarless) 핑거 전극 개구부만 있는 스텐실 마스크에서 금속판의 두께는 20∼80㎛의 두께를 갖도록 가공되며, 핑거 전극 개구부의 길이는 40∼400㎛의 범위로 가공되고, 핑거 전극 개구부 사이의 제 1중간 지지부의 폭은 10∼50㎛의 범위를 가질 수 있다.
그리고, 닫힌 패턴 또는 반닫힌 패턴에서는 외곽 전극 개구부의 길이는 20∼100㎛의 범위를 가질 수 있고, 외곽 전극 개구부들 사이의 제 2중간 지지부의 폭은 10∼50㎛의 범위를 가질 수 있다.
또한, 하나의 핑거 전극 개구부 행에는 중간 지지부가 300∼700개 생성되는 것이 바람직하고, 핑거 전극 개구부 행의 수는 80∼150개 생성되는 것이 바람직하다.
스텐실 마스크가 상기와 같은 수치 범위들을 가지도록 제작되는 경우 스텐실 마스크는 17∼24 N/㎝의 장력을 가질 수 있으며, 바람직하게는 18∼22 N/㎝의 장력을 가질 수 있다. 이 범위의 장력을 갖는 스텐실 마스크는 인쇄 전 팽팽한 상태를 유지하고 스퀴지 이동 후 바로 원래의 팽팽한 상태를 회복함으로써, 금속 페이스트가 실리콘 기판에 잘 도포되도록 하여 고품질의 전극 패턴을 얻을 수 있다.
위의 조건에 따라 얻을 수 있는 18∼22 N/㎝ 범위의 장력은 버스 바 없는 열린 패턴, 버스 바 없는 반닫힌 패턴 및 버스 바 없는 닫힌 패턴 모두에 해당될 수 있다.
한편, 핑거 전극 개구부 사이의 중간 지지부의 폭이 10∼50㎛일 경우 각 핑거 전극 개구부를 통해 토출된 금속 페이스트들이 주변으로 확산되어 전기적으로 연결될 수는 있다. 그러나, 접촉 면적이 충분치 못하여 접촉 저항이 발생할 수 있고 이로 인해 전류 전송 능력이 떨어질 수 있다.
따라서, 이후에는 핑거 전극 개구부들 각각을 통해 토출된 금속 페이스트들에 충분한 접촉 면적을 제공하는 스텐실 마스크에 대해 설명하도록 하겠다.
도13은 본 발명의 실시예에 따라 오목부가 형성된 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
(a)는 하부면에 오목부가 형성된 스텐실 마스크를 도시한 평면도이고, (b)는 (a)의 수평방향 절단면(A-A')을 도시한 단면도이다. 그리고, (c)는 (a)의 수직방향 제 1절단면(B-B')을 도시한 단면도이고, (d)는 (a)의 수직방향 제 2절단면(C-C')을 도시한 단면도이다.
도면을 보면, 스텐실 마스크(500)는 실리콘 기판에 형성될 핑거 전극의 위치에 대응하여 수평방향으로 단속적으로 배열되는 복수의 핑거 전극 개구부(520)들을 포함한다.
서로 인접한 핑거 전극 개구부(520)들 사이의 중간 지지부의 위치에 대응하여 인쇄 시 실리콘 기판(560)에 대향하는 스텐실 마스크(500)의 하부면에 오목부(502)가 형성된다. 오목부(502)의 폭은 중간 지지부(G21)의 폭과 동일하다.
오목부(502)는 레이저 빔으로 음영을 파는 인그레이빙(engraving) 공정에 의해 형성될 수 있다.
전극 인쇄 시 핑거 전극 개구부(520) 각각을 통해 실리콘 기판(560)으로 토출된 금속 페이스트들은 오목부(502)를 통해 확산하여 전기적으로 연결된다. 이에 따라, 금속 페이스트들 간의 전기적 연결성이 향상된다.
도14는 도13의 오목부가 형성된 스텐실 마스크를 이용하여 실리콘 기판에 전극이 인쇄된 모습을 도시한 도면이다.
(a)는 핑거 전극이 인쇄된 실리콘 기판을 도시한 평면도이고, (b)는 (a)의 수평방향 절단면(A-A')를 도시한 단면도이다. 그리고, (c)는 (a)의 수직방향 제 1절단면(B-B')을 도시한 단면도이고, (d)는 (a)의 수직방향 제 2절단면(C-C')을 도시한 단면도이다.
도면을 보면, 각 핑거 전극 개구부를 통해 토출된 금속 페이스트들이 오목부를 통해 연결되어 실리콘 기판(560) 상에서 하나의 핑거 전극(522)을 구성하고 있다.
(d)를 보면, 오목부를 통해 금속 페이스트들이 연결된 부분의 핑거 전극(524)이 도시되어 있다.
도15는 본 발명의 일 실시예에 따라 오목부가 형성된 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 스텐실 마스크(600)에는 복수의 핑거 전극 개구부(620)가 수평방향으로 단속적으로 배열되어 핑거 전극 개구부 행을 구성하고, 핑거 전극 개구부 행은 수직방향으로 일정한 간격으로 배열된다.
그리고, 핑거 전극 개구부(620)들 사이의 중간 지지부 위치에 각각 대응하여 스텐실 마스크(600) 하부면에 오목부(602)가 형성된다.
이와 같이, 각 중간 지지부 위치에 대응하여 복수의 오목부(602)를 형성하기 위해서는 많은 횟수의 인그레이빙 작업을 수행해야 한다. 따라서, 공정 시간이 늘어나고 스텐실 마스크(600)의 생산 수율이 떨어지게 된다.
도16은 본 발명의 일 실시예에 따라 오목부가 형성된 스텐실 마스크를 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 스텐실 마스크(600)에는 복수의 핑거 전극 개구부(620)가 수평방향으로 단속적으로 배열되어 핑거 전극 개구부 행을 구성하고, 핑거 전극 개구부 행은 수직방향으로 일정한 간격으로 배열된다.
오목부(702)는 핑거 전극 개구부의 길이 방향으로 핑거 전극 개구부 행의 길이에 대응하여 형성된다. 이 때, 핑거 전극 개구부 행마다 한 번의 인그레이빙(engraving) 공정으로 오목부(702)가 형성될 수 있다. 따라서, 도15에 비해 오목부(702)를 형성하는데 공정 시간이 크게 단축되어 스텐실 마스크(700) 생산 수율이 향상된다.
100,200,300,400,500,600,700: 스텐실 마스크
110: 버스 바 전극 개구부
120,220,320,420,520,620,720: 핑거 전극 개구부
230,330: 외곽 전극 개구부
322,422: 중간 지지부
502,602,702: 오목부

Claims (14)

  1. 기판에 형성될 핑거 전극 위치에 대응하여 수평방향으로 단속적으로 형성되어 핑거 전극 개구부 행을 구성하는 복수의 핑거 전극 개구부들과,
    상기 핑거 전극 개구부 행을 구성하는 핑거 전극 개구부들 사이에 각각 구비되어 서로 물리적으로 연결되며, 10∼50㎛의 폭을 갖는 복수의 제 1중간 지지부를 포함하며,
    상기 핑거 전극 개구부 행은 수직방향으로 복수 개가 배열되고,
    외곽 전극 개구부를 더 포함하되,
    상기 외곽 전극 개구부는, 상기 핑거 전극 개구부 행의 양 말단 및 위아래로 인접한 핑거 전극 개구부 행의 양 말단 사이에 모두 복수 개가 형성되거나, 또는,
    상기 외곽 전극 개구부는, 상기 핑거 전극 개구부 행의 일 단과 위로 인접한 핑거 전극 개구부 행의 일 단 사이 및 상기 핑거 전극 개구부 행의 타 단과 아래로 인접한 핑거 전극 개구부 행의 타 단 사이에 복수 개가 형성되는 것인, 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  2. 제 1항에 있어서,
    수직방향으로 서로 인접한 제 1중간 지지부들은 수직방향 기준으로 45도 미만의 각도로 배열되는 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 수직방향으로 서로 인접한 제 1중간 지지부들은 수직방향으로 일직선 형태로 배열되는 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 수직방향으로 서로 인접한 제 1중간 지지부들은 수직방향으로 지그재그 형태로 배열되는 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 각 핑거 전극 개구부 행마다 상기 제 1중간 지지부가 300∼700개 생성되는 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 핑거 전극 개구부 행의 수는 80∼150개인 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 스텐실 마스크의 두께는 20∼80㎛인 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 핑거 전극 개구부의 길이는 40∼400㎛인 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 외곽 전극 개구부들 사이에 구비되어 서로 물리적으로 연결되는 제 2중간 지지부를 포함하며,
    상기 제 2중간 지지부의 폭은 10∼50㎛인 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 외곽 전극 개구부의 길이는 20∼100㎛인 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 핑거 전극 개구부들 사이의 제 1중간 지지부 위치에 대응하여 상기 기판에 대향하는 스텐실 마스크 하부면에 형성되는 오목부를 포함하는 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 오목부는 상기 핑거 전극 개구부의 길이 방향으로 핑거 전극 개구부 행의 길이에 대응하여 형성되는 것인 태양전지의 전극 인쇄용 스텐실 마스크.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005116559A (ja) * 2003-10-02 2005-04-28 Sharp Corp 太陽電池の製造方法
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