KR102517995B1 - Substrate insert and remove fixing device - Google Patents

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KR102517995B1
KR102517995B1 KR1020210172405A KR20210172405A KR102517995B1 KR 102517995 B1 KR102517995 B1 KR 102517995B1 KR 1020210172405 A KR1020210172405 A KR 1020210172405A KR 20210172405 A KR20210172405 A KR 20210172405A KR 102517995 B1 KR102517995 B1 KR 102517995B1
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김호영
유병호
차문길
박종기
윤준영
김도연
오유리
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주식회사 에스엔씨솔루션
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Abstract

A substrate insertion and extraction restraint device of the present invention includes a drive motor, a shaft, a drive unit, and a moving unit. The drive unit includes a first drive belt installed on first and second pulleys; a second drive belt installed on third and fourth pulleys; a first connection shaft connecting the second pulley and the third pulley; a second connection shaft connected to the fourth pulley and arranged to be spaced apart from a shaft on one side; and a drive block movably coupled to the second connection shaft and fixedly coupled to one end of the shaft. The first pulley is rotated by the drive motor, and power is transmitted to the first drive belt, second pulley, first connection shaft, third pulley, second drive belt, fourth pulley, and second connection shaft. As the drive block moves along the second connection shaft, a moving plate connected to the shaft is moved by the shaft and the moving unit. Accordingly, it is possible to achieve the miniaturization of a chamber or equipment.

Description

기판 삽입 및 추출 구속장치{Substrate insert and remove fixing device}Substrate insert and remove fixing device {Substrate insert and remove fixing device}

본 발명은 기판 삽입 및 추출 구속장치에 대한 것이다.The present invention relates to a substrate insertion and extraction restraint device.

각종 패턴이 인쇄되거나 각종 전자 장치들이 실장되는 기판(board)은 다양한 공정을 통해 제작될 수 있다. 그리고 여러 공정을 단계적으로 수행하기 위해서는 기판을 이송하고 정렬하는 장치들을 필요로 한다. 기판 삽입 및 추출 구속장치는 각종 공정이 수행되는 챔버와 상기 챔버로 해당 기판을 이송 및 반출 등 이동하도록 마련되는 장치로 구성된다.A board on which various patterns are printed or various electronic devices are mounted may be manufactured through various processes. In addition, devices for transferring and aligning substrates are required to perform various processes step by step. The substrate insertion and extraction restraint device is composed of a chamber in which various processes are performed and a device provided to move the substrate to and from the chamber.

이때, 최근 공정 및 장비의 소형화에 따라 실질적인 공정이 수행되는 챔버의 소형화가 요구되고 있다. 그러나, 챔버 내에 기판 정렬을 위한 장치 등 실질적인 공정과는 무관한 장치들이 함께 배치되어 챔버의 소형화가 어렵다는 문제점이 있다.At this time, according to the recent miniaturization of processes and equipment, there is a demand for miniaturization of chambers in which actual processes are performed. However, there is a problem in that it is difficult to miniaturize the chamber because devices unrelated to the actual process, such as a device for aligning a substrate, are disposed in the chamber.

또한, 기판 등이 소형화됨에 따라 챔버 내에서 수행되는 공정의 정밀도가 요구되고 있다. 그에 따라, 공정의 신뢰성 및 효율을 높이기 위해 챔버 내의 공간을 구분하거나 최소한의 장치만을 배치하여 공간을 단순화시킬 필요성이 대두되고 있다.In addition, as substrates and the like are miniaturized, the precision of processes performed in the chamber is required. Accordingly, in order to increase the reliability and efficiency of the process, there is a need to divide the space in the chamber or to simplify the space by arranging only a minimum number of devices.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 내부공간에 따라 효율적으로 배치되어 기판을 이동시키는 기판 삽입 및 추출 구속장치를 제공하는데 목적이 있다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a substrate insertion and extraction restraint device that is efficiently arranged according to an internal space and moves a substrate.

또한, 본 발명은 기판을 효율적이고 정확하게 정렬함에 따라 수행되는 공정의 신뢰성을 확보하고 효율을 높이는 기판 삽입 및 추출 구속장치를 제공하는데 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a substrate insertion and extraction restraint device that secures reliability and improves efficiency of a process performed by efficiently and accurately aligning substrates.

상기와 같은 본 발명의 목적은 구동모터, 일방향으로 연장된 샤프트, 상기 구동모터와 상기 샤프트를 연결하는 구동유닛 및 상기 샤프트와 이동 플레이트를 연결하는 이동유닛을 포함하는 기판 삽입 및 추출 구속장치에 의해 달성된다.An object of the present invention as described above is a substrate insertion and extraction restraint device including a drive motor, a shaft extending in one direction, a drive unit connecting the drive motor and the shaft, and a moving unit connecting the shaft and the moving plate. is achieved

상기 구동유닛은, 제1풀리 및 제2풀리에 설치되는 1차 구동벨트, 제3풀리 및 제4풀리에 설치되는 2차 구동벨트, 상기 제2풀리와 상기 제3풀리를 연결하는 제1연결축, 상기 제4풀리와 연결되고, 상기 샤프트와 일 측으로 이격되어 배치되는 제2연결축 및 상기 제2연결축에 이동가능하게 결합되며 상기 샤프트의 일 단에 고정 결합되는 구동블럭을 포함한다.The drive unit includes a primary drive belt installed on the first pulley and the second pulley, a secondary drive belt installed on the third pulley and the fourth pulley, and a first connection connecting the second pulley and the third pulley. A shaft, a second connecting shaft connected to the fourth pulley and spaced apart from the shaft on one side, and a drive block movably coupled to the second connecting shaft and fixedly coupled to one end of the shaft.

상기 구동모터에 의해 상기 제1풀리가 회전되며, 상기 1차 구동벨트, 상기 제2풀리, 상기 제1연결축, 상기 제3풀리, 상기 2차 구동벨트, 상기 제4풀리 및 상기 제2연결축으로 동력이 전달되고, 상기 제2연결축을 따라 상기 구동블럭이 이동됨에 따라 상기 샤프트 및 상기 이동유닛에 의해 상기 샤프트와 연결된 이동 플레이트가 이동된다.The first pulley is rotated by the drive motor, and the first drive belt, the second pulley, the first connecting shaft, the third pulley, the second drive belt, the fourth pulley, and the second connecting shaft As power is transmitted to the shaft and the driving block is moved along the second connection shaft, the shaft and the moving plate connected to the shaft are moved by the moving unit.

또한, 상기 이동 플레이트의 일 측에 배치되는 고정 플레이트를 더 포함하고, 상기 이동유닛은, 적어도 일부가 고정 플레이트에 삽입되는 이동브라켓, 상기 이동브라켓과 상기 샤프트의 타 단을 결합시키는 제1연결부재; 및 상기 고정 플레이트를 관통하여 상기 이동브라켓과 상기 이동 플레이트를 결합시키는 제2연결부재를 포함하고, 상기 고정 플레이트에는, 상기 제2연결부재가 관통되어 배치되고, 상기 샤프트의 연장방향과 수직한 방향으로 연장된 고정홈이 형성되고, 상기 이동브라켓에는 상기 제2연결부재가 이동가능하게 설치되고, 상기 샤프트의 연장방향 및 상기 고정홈의 연장방향과 경사지게 연장된 이동홈이 형성되고, 상기 샤프트가 이동됨에 따라 상기 제2연결부재가 상기 고정홈 및 상기 이동홈을 따라 이동되고, 상기 샤프트의 이동방향과 수직하게 상기 이동 플레이트가 이동될 수 있다.The movable plate may further include a fixed plate disposed on one side of the movable plate, and the movable unit may include a movable bracket at least partially inserted into the fixed plate, and a first connecting member coupling the movable bracket to the other end of the shaft. ; and a second connecting member penetrating the fixing plate to couple the movable bracket and the movable plate, the second connecting member passing through the fixing plate, and extending in a direction perpendicular to the extending direction of the shaft. A fixing groove extending to is formed, the second connecting member is movably installed in the movable bracket, a movable groove extending obliquely from the extension direction of the shaft and the extension direction of the fixing groove is formed, and the shaft As it moves, the second connecting member moves along the fixing groove and the moving groove, and the moving plate may move perpendicular to the moving direction of the shaft.

상기 샤프트는 상하방향으로 연장되고 상기 구동유닛에 의해 상하방향으로 이동되고, 상기 고정홈은 전후방향으로 연장되며, 상기 이동홈은 전방에서 후방으로 갈수록 하부로 경사진 방향으로 연장되며, 상기 샤프트가 이동됨에 따라 상기 이동 플레이트는 전후방향으로 이동될 수 있다.The shaft extends in the vertical direction and is moved in the vertical direction by the driving unit, the fixing groove extends in the front-rear direction, the moving groove extends in a downwardly inclined direction from front to rear, and the shaft As it is moved, the moving plate may be moved forward and backward.

상기 구동유닛은, 하부에 상기 구동모터가 배치되고 상부에 상기 제1풀리, 상기 제2풀리 및 상기 1차구동벨트가 배치되는 제1고정판, 상기 제1고정판과 상기 제1연결축에 의해 연결되고, 상부에 상기 제3폴리, 상기 제4폴리 및 상기 2차구동벨트가 배치되는 제2고정판 및 상기 제2고정판과 상기 제2연결축에 의해 연결되고, 하부에 상기 샤프트가 배치되고 상부에 상기 구동블록이 배치되는 제3고정판을 더 포함하고, 상기 제1고정판은 상기 제2고정판의 중심측 하부에 평행하게 배치되고, 상기 제3고정판은 상기 제2고정판의 양측 하부에 평행하게 배치될 수 있다.The driving unit includes a first fixing plate having the drive motor disposed at a lower portion and the first pulley, the second pulley, and the primary driving belt disposed at an upper portion, and the first fixing plate is connected to the first connecting shaft. and a second fixing plate on which the third pulley, the fourth pulley, and the secondary drive belt are disposed and connected to the second fixing plate by the second connecting shaft, the shaft is disposed on the lower portion, and the upper portion It further includes a third fixing plate on which the driving block is disposed, the first fixing plate is disposed parallel to the center side lower portion of the second fixing plate, and the third fixing plate is disposed parallel to both lower portions of the second fixing plate. can

상기 제2연결축과 상기 구동블록은 볼 스크루(ball screw)를 형성하며 결합됨에 따라, 상기 구동블록은 상기 제2연결축의 회전에 따라 상기 제2연결축을 따라 이동될 수 있다.As the second connection shaft and the driving block are coupled to form a ball screw, the driving block may move along the second connection shaft according to rotation of the second connection shaft.

상기 구동모터는, 상기 제1풀리를 회전시키는 제1구동모터 및 상기 제1구동모터와 별도로 구비되는 제2구동모터를 포함하고, 상기 샤프트는, 상기 구동블럭이 이동됨에 따라 이동되는 제1샤프트 및 상기 제1샤프트와 수직한 방향으로 연장된 제2샤프트를 포함하고, 상기 제1샤프트는 상하방향으로 연장되어 상기 제1구동모터에 의해 상하방향으로 이동되고, 상기 이동 플레이트는 상기 제1샤프트에 의해 전후방향으로 이동되고, 상기 제2샤프트는 전후방향으로 연장되어 상기 제2구동모터에 의해 전후방향으로 이동되고, 상기 이동 플레이트는 상기 제2샤프트에 의해 상하방향으로 이동될 수 있다.The driving motor includes a first driving motor for rotating the first pulley and a second driving motor provided separately from the first driving motor, and the shaft is a first shaft that moves as the driving block moves. and a second shaft extending in a direction perpendicular to the first shaft, wherein the first shaft extends in a vertical direction and is moved in a vertical direction by the first driving motor, and the moving plate extends in a vertical direction. The second shaft may be extended in the forward and backward directions and moved in the forward and backward directions by the second driving motor, and the moving plate may be moved vertically by the second shaft.

상기 이동유닛은, 상기 제1샤프트와 상기 이동 플레이트를 연결하는 제1이동유닛 및 상기 제2샤프트와 상기 이동 플레이트를 연결하는 제2이동유닛을 포함하며, 상기 제2이동유닛은, 상기 제1샤프트의 일 단에 고정 결합되는 제1링크부재, 'X'자 형상으로 교차되어 중심측이 상기 제1링크부재에 결합되는 제2링크부재 및 제3링크부재, 양 단이 상기 제2링크부재 및 상기 제3링크부재에 각각 결합되는 제4링크부재 및 상기 이동 플레이트와 결합되고, 일 측 양 단이 양 단이 상기 제2링크부재 및 상기 제3링크부재에 각각 결합되는 제5링크부재를 포함하고, 상기 제2샤프트가 이동됨에 따라 상기 제1링크부재가 함께 이동되고, 상기 제2링크부재 및 상기 제3링크부재의 양 단이 이동되고, 상기 제5링크부재 및 상기 이동 플레이트가 상기 제2샤프트의 이동방향과 수직하게 이동될 수 있다.The moving unit includes a first moving unit connecting the first shaft and the moving plate and a second moving unit connecting the second shaft and the moving plate, wherein the second moving unit comprises A first link member fixedly coupled to one end of a shaft, a second link member and a third link member intersecting in an 'X' shape and having a central side coupled to the first link member, both ends of which are the second link member And a fourth link member coupled to the third link member and a fifth link member coupled to the moving plate, both ends of one side of which are coupled to the second link member and the third link member, respectively. and, as the second shaft moves, the first link member moves together, both ends of the second link member and the third link member move, and the fifth link member and the moving plate move the It may move perpendicular to the moving direction of the second shaft.

상기와 같은 본 발명의 기판 삽입 및 추출 구속장치에 따르면 기판의 정렬을 위한 구동장치들이 효율적으로 배치됨에 따라 챔버의 소형화 또는 장비의 소형화를 달성할 수 있다는 장점이 있다.According to the substrate insertion and extraction restraint device of the present invention as described above, there is an advantage in that the chamber can be miniaturized or the equipment can be miniaturized as the driving devices for aligning the substrate are efficiently arranged.

또한, 기판을 효율적이며 정확하게 이동시킴에 따라 수행되는 공정의 신뢰성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.In addition, there is an advantage in that the reliability of the process performed by efficiently and accurately moving the substrate can be secured.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 삽입 및 추출 구속장치를 도시한 도면,
도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 삽입 및 추출 구속장치의 제1 구동장치를 도시한 도면,
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 삽입 및 추출 구속장치의 제1구동장치에 의한 이동을 개략적으로 도시한 도면,
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 삽입 및 추출 구속장치의 제2구동장치에 의한 이동을 개략적으로 도시한 도면이다.1 and 2 are views showing a substrate insertion and extraction restraint device according to an embodiment of the present invention;
3 to 5 are diagrams showing a first driving device of a substrate insertion and extraction restraint device according to an embodiment of the present invention;
6 and 7 schematically show movement by the first driving device of the substrate insertion and extraction restraint device according to an embodiment of the present invention;
8 and 9 are diagrams schematically showing movement by the second driving device of the substrate insertion and extraction restraint device according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 삽입 및 추출 구속장치에 대해 살펴보기로 한다.Hereinafter, a substrate insertion and extraction restraint device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 삽입 및 추출 구속장치를 도시한 도면이다. 자세하게는, 설명의 편의상 도 1은 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)가 설치된 상태를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)의 일부를 생략하여 도시한 도면이다.1 and 2 are views showing a substrate insertion and extraction restraint device according to an embodiment of the present invention. In detail, for convenience of explanation, FIG. 1 is a diagram schematically showing a state in which the substrate insertion and extraction restraint device 1 is installed, and FIG. 2 is a view showing a substrate insertion and extraction restraint device 1 with a part omitted. .

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)는 소정의 구동장치(10, 20), 고정 플레이트(30) 및 이동 플레이트(40)를 포함할 수 있다. 상기 이동 플레이트(40)는 상기 소정의 구동장치(10, 20)에 의해 이동되는 부분을 의미한다. 그리고, 상기 이동 플레이트(40)는 정렬이 필요한 기판과 연결되는 부분으로 이해될 수 있다. 즉, 상기 구동장치(10, 20)에 의해 상기 이동 플레이트(40)가 이동되며 기판을 정렬할 수 있다.1 and 2, the substrate insertion and extraction restraint device 1 of the present invention may include predetermined driving devices 10 and 20, a fixed plate 30 and a moving plate 40. . The moving plate 40 means a part moved by the predetermined driving devices 10 and 20 . In addition, the moving plate 40 may be understood as a part connected to a substrate requiring alignment. That is, the moving plate 40 is moved by the driving devices 10 and 20 and the substrate can be aligned.

예를 들어, 상기 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)는 챔버에 설치될 수 있다. 상기 챔버(chamber)는 기판(board) 등이 수용되어 적어도 어느 하나의 제조공정이 이루어지는 내부공간이 형성된 구성으로 이해될 수 있다. 이때, 상기 구동장치(10, 20)의 적어도 일부는 상기 챔버의 외부에 배치되고, 상기 고정 플레이트(30) 및 상기 이동 플레이트(40)는 상기 챔버의 내부공간에 배치될 수 있다.For example, the substrate insertion and extraction restraint device 1 may be installed in a chamber. The chamber may be understood as a configuration in which an internal space is formed in which a board or the like is accommodated and at least one manufacturing process is performed. At this time, at least a part of the driving devices 10 and 20 may be disposed outside the chamber, and the fixed plate 30 and the movable plate 40 may be disposed inside the chamber.

또한, 상기 고정 플레이트(30)는 상기 챔버의 내벽에 고정될 수 있다. 이와 같은 배치에 따라 상기 챔버의 내부공간을 보다 효율적으로 사용할 수 있으며 챔버의 소형화를 도모할 수 있다.Also, the fixing plate 30 may be fixed to the inner wall of the chamber. According to such an arrangement, the internal space of the chamber can be used more efficiently and the chamber can be miniaturized.

또한, 도 1을 참고하면, 상기 고정 플레이트(30) 또는 상기 이동 플레이트(40)는 두꺼운 판(3)에 고정되어 다양한 장치(5)들이 설치될 수 있다. 이때, 도 1에서는 개략적으로 도시하였지만, 상기 다양한 장치(5)에는 테스트를 위한 보드 등 복잡한 장치들이 포함할 수 있다. 그와 같은 구조에 따라, 상기 구동장치(10, 20)를 설치할 공간이 적절하게 구비되지 못한다. 이때, 본 발명의 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)는 상기 구동장치(10, 20)들을 효율적으로 배치하여 상기 이동 플레이트(40)를 이동시킬 수 있다.Also, referring to FIG. 1 , the fixed plate 30 or the moving plate 40 is fixed to the thick plate 3 so that various devices 5 may be installed. At this time, although schematically shown in FIG. 1, the various devices 5 may include complex devices such as a board for testing. According to such a structure, a space for installing the drive devices 10 and 20 is not properly provided. At this time, the substrate insertion and extraction restraining device 1 of the present invention can move the moving plate 40 by efficiently arranging the driving devices 10 and 20 .

상기 구동장치(10, 20)는, 상기 이동 플레이트(40)를 전후방향으로 이동시키는 제1구동장치(10, 또는 IN/OUT 장치) 및 상기 이동 플레이트(40)를 상하방향으로 이동시키는 제2구동장치(20, 또는 UP/DOWN장치)를 포함한다. 도면을 참고하면, 상기 제1구동장치(10)는 상기 이동 플레이트(40)를 X축 방향으로 이동시키며 상기 제2구동장치(20)는 상기 이동 플레이트(40)를 Z축 방향으로 이동시킨다.The driving devices 10 and 20 include a first driving device 10 (or IN/OUT device) for moving the moving plate 40 in the forward and backward directions and a second driving device for moving the moving plate 40 in the vertical direction. It includes a driving device (20, or UP/DOWN device). Referring to the drawing, the first driving device 10 moves the moving plate 40 in the X-axis direction, and the second driving device 20 moves the moving plate 40 in the Z-axis direction.

이때, 상기 제1구동장치(10) 및 상기 제2구동장치(20)는 독립적인 장치로, 본 발명의 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)는 둘 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 즉, 상기 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)는 상기 제1구동장치(10) 또는 상기 제2구동장치(20)를 포함할 수 있다. 또한, 그 명칭은 편의에 의해 구분된 것으로 그에 제한되지 않는다.At this time, the first driving device 10 and the second driving device 20 are independent devices, and the substrate insertion and extraction restraining device 1 of the present invention may include at least one of the two. That is, the substrate insertion and extraction restraining device 1 may include the first driving device 10 or the second driving device 20 . In addition, the names are distinguished by convenience and are not limited thereto.

상기 제1구동장치(10)는 제1구동모터(100), 제1샤프트(110), 제1구동유닛(120) 및 제1이동유닛(130)을 포함한다. 상기 제1샤프트(110)는 상하방향 또는 Z축방향으로 연장된다. 상기 제1구동유닛(120)은 상기 제1구동모터(100)의 동력을 상기 제1샤프트(110)로 전달하는 구성이며, 상기 제1이동유닛(130)은 상기 제1샤프트(110)와 상기 이동 플레이트(40)를 연결하는 구성이다.The first driving device 10 includes a first driving motor 100 , a first shaft 110 , a first driving unit 120 and a first moving unit 130 . The first shaft 110 extends in a vertical direction or a Z-axis direction. The first driving unit 120 transmits the power of the first driving motor 100 to the first shaft 110, and the first moving unit 130 transmits the power of the first shaft 110 and It is a configuration that connects the moving plate 40.

상기 제2구동장치(20)는 제2구동모터(200), 제2샤프트(210), 제2구동유닛(220) 및 제2이동유닛(230)을 포함한다. 상기 제2샤프트(210)는 전후방향 또는 X축방향으로 연장된다. 상기 제2구동유닛(220)은 상기 제2구동모터(200)의 동력을 상기 제2샤프트(210)로 전달하는 구성이며, 상기 제2이동유닛(230)은 상기 제2샤프트(210)와 상기 이동 플레이트(40)를 연결하는 구성이다.The second driving device 20 includes a second driving motor 200 , a second shaft 210 , a second driving unit 220 and a second moving unit 230 . The second shaft 210 extends in the front-back direction or the X-axis direction. The second driving unit 220 transmits the power of the second driving motor 200 to the second shaft 210, and the second moving unit 230 is connected to the second shaft 210. It is a configuration that connects the moving plate 40.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 제1구동장치(10)는 하나의 제1구동모터(100)에 의해 동력이 전달되는 한 쌍의 제1샤프트(110)를 포함한다. 한 쌍의 제1샤프트(110)는 좌우방향 또는 Y축방향으로 이격되어 배치된다. 상기 제1구동유닛(120)은 상기 제1구동모터(100)의 동력을 한 쌍의 제1샤프트(110)로 전달할 수 있도록 구비된다. 또한, 상기 제1이동유닛(130)은 한 쌍의 제1샤프트(110)에 각각 구비된다.Referring to FIGS. 1 and 2 , the first driving device 10 includes a pair of first shafts 110 to which power is transmitted by one first driving motor 100 . The pair of first shafts 110 are spaced apart in the left-right direction or the Y-axis direction. The first driving unit 120 is provided to transmit the power of the first driving motor 100 to a pair of first shafts 110 . In addition, the first moving unit 130 is provided on a pair of first shafts 110, respectively.

이때, 상기 고정 플레이트(30)는 상기 제1샤프트(110)를 따라 Z축방향으로 연장되며, Y축방향으로 이격된 한 쌍으로 구비된다. 또한, 상기 이동 플레이트(40)는 상기 고정 플레이트(30)의 일 측에 접하도록 배치되며, 하나의 고정 플레이트(30)에 Z축방향으로 이격되어 한 쌍이 구비된다.At this time, the fixing plate 30 extends in the Z-axis direction along the first shaft 110 and is provided as a pair spaced apart in the Y-axis direction. In addition, the movable plate 40 is disposed to be in contact with one side of the fixed plate 30, and is provided with a pair spaced apart from one fixed plate 30 in the Z-axis direction.

따라서, 총 4개의 이동 플레이트(40)가 구비된다. 이때, 상기 제2구동장치(20)는 Y축 방향으로 이격된 한 쌍의 이동 플레이트(40)에 각각 하나씩 구비된다. 즉, 상기 제2구동장치(20)는 2개의 제2구동모터(200)를 포함할 수 있다.Thus, a total of four moving plates 40 are provided. At this time, the second driving device 20 is provided on each of a pair of moving plates 40 spaced apart in the Y-axis direction. That is, the second driving device 20 may include two second driving motors 200 .

이때, 복수 개로 구비된 구성은 각각 동일한 형상으로 구비되며, Y축방향으로 이격된 구성은 서로 대향되는 방향으로 배치될 수 있다. 이하, 상기 제1구동장치(10)에 의해 자세하게 설명한다.At this time, the plurality of components are provided in the same shape, and components spaced apart in the Y-axis direction may be disposed in opposite directions. Hereinafter, the first driving device 10 will be described in detail.

도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)의 제1 구동장치(10)를 도시한 도면이고, 도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)의 제1구동장치(10)에 의한 이동을 개략적으로 도시한 도면이다. 자세하게는, 도 3 내지 도 5은 상기 제1구동유닛(120)을 자세하게 도시한 도면이고, 도 6 및 도 7은 상기 제1이동유닛(130)을 자세하게 도시한 도면이다.3 to 5 are views showing the first driving device 10 of the substrate insertion and extraction restraint device 1 according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 6 and 7 are views showing an embodiment of the present invention. It is a view schematically showing the movement by the first driving device 10 of the substrate insertion and extraction restraint device 1 according to FIG. In detail, FIGS. 3 to 5 are views showing the first driving unit 120 in detail, and FIGS. 6 and 7 are views showing the first moving unit 130 in detail.

우선, 도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 제1구동유닛(120)은 제1고정판(1200), 제2고정판(1210) 및 제3고정판(1220)을 포함한다. 각 고정판(1200, 1210, 1220)은 각각 동일한 평면상으로 연장되며 서로 평행하게 이격되어 배치된다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제2고정판(1210), 상기 제1고정판(1200) 및 상기 제3고정판(1220)순으로 Z축방향으로 서로 이격되어 배치된다.First, referring to FIGS. 3 to 5 , the first driving unit 120 includes a first fixing plate 1200 , a second fixing plate 1210 and a third fixing plate 1220 . Each of the fixing plates 1200, 1210, and 1220 extends on the same plane and is spaced apart from each other in parallel. For example, as shown in FIG. 3 , the second fixing plate 1210, the first fixing plate 1200, and the third fixing plate 1220 are spaced apart from each other in the Z-axis direction in order.

자세하게는, 상기 제1고정판(1200)은 상기 제2고정판(1210)의 중심측 하부에 배치되고, 제1연결축(1208)에 의해 연결된다. 또한, 상기 제3고정판(1220)은 상기 제2고정판(1210)의 양 측 하부에 각각 배치되고, 제2연결축(1218) 및 제3연결축(1228)에 의해 연결된다. In detail, the first fixing plate 1200 is disposed below the center side of the second fixing plate 1210 and connected by a first connecting shaft 1208 . In addition, the third fixing plate 1220 is respectively disposed below both sides of the second fixing plate 1210 and is connected by a second connecting shaft 1218 and a third connecting shaft 1228 .

또한, 상기 제1구동유닛(120)은, 1차구동벨트(1202), 2차구동벨트(1212), 제1풀리(1204), 제2풀리(1206), 제3풀리(1214) 및 제4풀리(1216)를 더 포함한다. 상기 제1풀리(1204) 및 상기 제2풀리(1206)는 상기 1차구동벨트(1202)에 걸리도록 배치되고, 상기 제3풀리(1214) 및 상기 제4풀리(1216)는 상기 2차구동벨트(1212)에 걸리도록 배치된다.In addition, the first drive unit 120 includes a primary drive belt 1202, a secondary drive belt 1212, a first pulley 1204, a second pulley 1206, a third pulley 1214 and Four pulleys 1216 are further included. The first pulley 1204 and the second pulley 1206 are disposed to be caught by the primary drive belt 1202, and the third pulley 1214 and the fourth pulley 1216 are the secondary drive. It is arranged so as to be caught on the belt 1212.

도면을 참조하면, 상기 제1고정판(1200)의 하부에 상기 제1구동모터(100)가 배치된다. 그리고, 상기 제1풀리(1204), 상기 제2풀리(1206) 및 상기 1차구동벨트(1202)가 상기 제1고정판(1200)과 상기 제2고정판(1210)의 사이에 배치된다. 또한, 상기 제3풀리(1214), 상기 제4풀리(1216) 및 상기 2차구동벨트(1212)가 상기 제2고정판(1210)의 상부에 배치된다.Referring to the drawing, the first driving motor 100 is disposed below the first fixing plate 1200 . Also, the first pulley 1204 , the second pulley 1206 , and the primary drive belt 1202 are disposed between the first fixing plate 1200 and the second fixing plate 1210 . In addition, the third pulley 1214 , the fourth pulley 1216 , and the secondary drive belt 1212 are disposed above the second fixing plate 1210 .

이때, 상기 제1풀리(1204)는 상기 제1구동모터(100)와 연결되며, 상기 제2풀리(1206) 및 상기 제3풀리(1214)가 상기 제1연결축(1208)에 의해 연결된다. 그리고, 상기 제4풀리(1216)가 상기 제2연결축(1218)에 연결된다. 이때, 상기 제1연결축(1208) 및 상기 제2연결축(1218)은 동력을 전달하는 축(shaft)에 해당하는 반면, 상기 제3연결축(1228)은 구성을 연결하는 기둥(column)에 해당한다.At this time, the first pulley 1204 is connected to the first driving motor 100, and the second pulley 1206 and the third pulley 1214 are connected by the first connection shaft 1208. . And, the fourth pulley 1216 is connected to the second connection shaft 1218 . At this time, the first connection shaft 1208 and the second connection shaft 1218 correspond to shafts that transmit power, while the third connection shaft 1228 is a column connecting components. corresponds to

동력전달과정을 설명하면, 상기 제1구동모터(100)의 구동에 따라 상기 제1풀리(1204)가 회전하며, 상기 1차구동벨트(1202)가 동작되며 상기 제2풀리(1206)가 회전한다. 이때, 상기 제2풀리(1206) 및 그 이후 구성은 한 쌍으로 구비되어 동력을 양 측으로 전달하며, 앞서 설명한 바와 같이 한 쌍의 제1샤프트(110)로 동력을 전달한다. 이하에서는 일 측에 위치한 제1샤프트(110)로의 동력전달에 관해서만 설명하고 그 설명을 인용한다.Describing the power transmission process, the first pulley 1204 rotates according to the driving of the first drive motor 100, the primary drive belt 1202 operates, and the second pulley 1206 rotates. do. At this time, the second pulley 1206 and subsequent components are provided as a pair to transmit power to both sides, and transmit power to the pair of first shafts 110 as described above. Hereinafter, only power transmission to the first shaft 110 located on one side will be described and the description will be cited.

상기 제2풀리(1206)가 회전되면 그에 연동하여 상기 제3풀리(1214)가 회전되며 상기 2차구동벨트(1212)가 동작된다. 그에 따라, 상기 제4풀리(1216)가 회전되며 상기 제2연결축(1218)이 회전한다. 이때, 상기 제2연결축(1218)은 나사(screw) 형상으로 구비될 수 있다. When the second pulley 1206 is rotated, the third pulley 1214 is rotated in conjunction therewith, and the secondary drive belt 1212 is operated. Accordingly, the fourth pulley 1216 rotates and the second connection shaft 1218 rotates. In this case, the second connection shaft 1218 may be provided in a screw shape.

또한, 상기 제1구동유닛(120)은 상기 제2연결축(1218) 및 상기 제1샤프트(110)에 연결되는 구동블록(1230)을 더 포함한다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 제2연결축(1218) 및 상기 제1샤프트(110)는 각각 Z축방향으로 연장되며 일 측으로 평행하게 배치된다. 상기 구동블록(1230)은 서로 이격된 상기 제2연결축(1218) 및 상기 제1샤프트(110)를 서로 연결하도록 설치된다.In addition, the first driving unit 120 further includes a driving block 1230 connected to the second connecting shaft 1218 and the first shaft 110 . 4 and 5, the second connection shaft 1218 and the first shaft 110 each extend in the Z-axis direction and are disposed parallel to one side. The driving block 1230 is installed to connect the second connection shaft 1218 and the first shaft 110 spaced apart from each other.

상기 구동블록(1230)은 상기 제2연결축(1218)을 따라 이동가능하게 설치된다. 자세하게는, 상기 구동블록(1230)과 상기 제2연결축(1218)은 볼 스크루(ball screw)를 형성할 수 있다. 이때, 상기 제2연결축(1218)은 상하방향으로 고정된 상태로 회전되고, 상기 구동블록(1230)은 상기 제2연결축(1218)의 회전에 따라 상기 제2연결축(1218)을 따라 Z축 또는 상하방향으로 이동된다.The driving block 1230 is installed to be movable along the second connecting shaft 1218 . In detail, the driving block 1230 and the second connection shaft 1218 may form a ball screw. At this time, the second connection shaft 1218 rotates in a fixed state in the vertical direction, and the driving block 1230 follows the second connection shaft 1218 according to the rotation of the second connection shaft 1218. It moves in the Z-axis or up-down direction.

그리고, 상기 구동블록(1230)은 상기 제1샤프트(110)의 상단에 고정 결합된다. 따라서, 상기 구동블록(1230)과 상기 제1샤프트(110)는 서로 결합되어 같이 이동될 수 있다. 즉, 상기 제2연결축(1218)의 회전에 따라 상기 구동블록(1230) 및 상기 제1샤프트(110)가 상하방향으로 이동될 수 있다.And, the driving block 1230 is fixedly coupled to the upper end of the first shaft 110 . Therefore, the driving block 1230 and the first shaft 110 can be coupled to each other and moved together. That is, the driving block 1230 and the first shaft 110 may be moved vertically according to the rotation of the second connection shaft 1218 .

도 4는 상기 구동블록(1230)이 상기 제2연결축(1218)의 하측에 위치하고, 도 5는 상기 구동블록(1230)이 상기 제2연결축(1218)의 상측에 위치한 상태를 도시한 것이다. 결과적으로, 상기 제1구동유닛(120)은 상기 제1구동모터(100)에 의해 상기 제1샤프트(110)가 상하방향으로 이동되도록 동력을 전달한다. 이때, 상기 제1샤프트(110)의 이동범위는 상기 제2연결축(1218)의 길이와 대응될 수 있다.FIG. 4 shows a state in which the driving block 1230 is located on the lower side of the second connecting shaft 1218, and FIG. 5 shows a state where the driving block 1230 is located on the upper side of the second connecting shaft 1218. . As a result, the first driving unit 120 transmits power so that the first shaft 110 is moved in the vertical direction by the first driving motor 100 . At this time, the movement range of the first shaft 110 may correspond to the length of the second connection shaft 1218 .

도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 제1이동유닛(130)은 상기 이동브라켓(1300)을 포함한다. 상기 이동브라켓(1300)은 상기 제1샤프트(110)에 제1연결부재(1302)에 의해 결합된다. 정리하면, 상기 제1샤프트(110)의 상단에는 상기 구동블록(1230)이 결합되고, 상기 제1샤프트(110)의 하단에는 상기 이동브라켓(1300)이 결합된다. 즉, 상기 이동브라켓(1300)은 상기 제1샤프트(110)와 함께 상하방향으로 이동된다.Referring to FIGS. 6 and 7 , the first moving unit 130 includes the moving bracket 1300 . The moving bracket 1300 is coupled to the first shaft 110 by a first connecting member 1302. In summary, the driving block 1230 is coupled to the upper end of the first shaft 110, and the moving bracket 1300 is coupled to the lower end of the first shaft 110. That is, the movable bracket 1300 moves up and down along with the first shaft 110 .

또한, 상기 이동브라켓(1300)은 상기 고정 플레이트(30)의 내부에 적어도 일부가 삽입되도록 배치된다. 그리고, 상기 이동브라켓(1300)은 상기 고정 플레이트(30)를 관통하여 상기 이동 플레이트(40)와 제2연결부재(1330)에 의해 결합된다. In addition, the movable bracket 1300 is disposed such that at least a part thereof is inserted into the fixing plate 30 . The movable bracket 1300 passes through the fixing plate 30 and is coupled to the movable plate 40 by a second connecting member 1330 .

자세하게는, 상기 이동브라켓(1300)에는 이동홈(1304)이 형성되고, 상기 고정 플레이트(30)에는 고정홈(304)이 형성된다. 그리고, 상기 제2연결부재(1330)는 상기 이동홈(1304)을 따라 이동가능하게 마련되며, 상기 고정홈(304)을 관통하여 상기 이동 플레이트(40)에 결합된다.In detail, a moving groove 1304 is formed in the moving bracket 1300, and a fixing groove 304 is formed in the fixed plate 30. Also, the second connecting member 1330 is provided to be movable along the movable groove 1304 and is coupled to the movable plate 40 through the fixing groove 304 .

이때, 상기 고정홈(304)은 전후방향 또는 X축방향으로 연장된 홈으로 형성되고, 상기 이동홈(1304)은 X축에서 경사진 방향으로 연장된 홈으로 형성된다. 예를 들면, 상기 이동홈(1304)은 전방에서 후방으로 갈수록 하부로 경사진 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. At this time, the fixing groove 304 is formed as a groove extending in the front-back direction or the X-axis direction, and the moving groove 1304 is formed as a groove extending in an inclined direction from the X-axis. For example, the moving groove 1304 may be formed to extend in a downwardly inclined direction from the front to the rear.

또한, 상기 고정홈(304)은 상기 샤프트(110)의 연장방향 또는 상기 샤프트(110)의 이동방향에 해당되는 Z축방향과 수직하게 연장된 홈에 해당된다. 그리고, 상기 이동홈(1304)은 상기 샤프트(110)의 연장방향 또는 상기 샤프트(110)의 이동방향에 해당되는 Z축방향 및 상기 고정홈(304)의 연장방향에 해당되는 X축방향과 경사지게 형성된다.In addition, the fixing groove 304 corresponds to a groove extending perpendicularly to the Z-axis direction corresponding to the extension direction of the shaft 110 or the moving direction of the shaft 110 . Further, the moving groove 1304 is inclined with the Z-axis direction corresponding to the extending direction of the shaft 110 or the moving direction of the shaft 110 and the X-axis direction corresponding to the extending direction of the fixing groove 304. is formed

따라서, 도 6에서 도 7과 같이, 상기 제1샤프트(110)가 상부로 이동되는 경우, 상기 이동브라켓(1300)도 상측으로 이동되며 상기 고정 플레이트(30)에서 보다 외측으로 노출된다. 이때, 상기 제2연결부재(1330)는 상기 이동홈(1304)을 따라 이동되며, 상기 고정홈(304)에 의해 상하방향으로 고정되고 후방으로 이동된다. 그에 따라, 상기 이동 플레이트(40)는 후방으로 이동될 수 있다.Accordingly, as shown in FIGS. 6 to 7 , when the first shaft 110 is moved upward, the moving bracket 1300 is also moved upward and exposed to the outside from the fixing plate 30 . At this time, the second connecting member 1330 moves along the movable groove 1304, is fixed in the vertical direction by the fixing groove 304, and moves backward. Accordingly, the movable plate 40 may be moved backward.

도 7에서 도 6은, 상기 제1샤프트(110)가 하부로 이동되는 경우에 해당된다. 상기 이동브라켓(1300)도 하측으로 이동되며 상기 고정 플레이트(30)의 내측으로 보다 삽입되어 배치된다. 이때, 상기 제2연결부재(1330)는 상기 이동홈(1304)을 따라 이동되며, 상기 고정홈(304)에 의해 상하방향으로 고정되고 전방으로 이동된다. 그에 따라, 상기 이동 플레이트(40)는 전방으로 이동될 수 있다.7 to 6 correspond to cases in which the first shaft 110 moves downward. The movable bracket 1300 is also moved downward and is inserted more into the fixing plate 30 to be disposed. At this time, the second connecting member 1330 moves along the movable groove 1304, is fixed in the vertical direction by the fixing groove 304, and moves forward. Accordingly, the movable plate 40 may be moved forward.

즉, 상기 제1샤프트(110)와 상기 이동 플레이트(40)는 서로 수직한 방향으로 이동된다.That is, the first shaft 110 and the moving plate 40 move in directions perpendicular to each other.

정리하면, 상기 제1구동모터(100)의 구동에 따라 상기 제1구동유닛(120)과 연결된 상기 제1샤프트(110)가 Z축방향 또는 상하방향으로 이동된다. 그리고, Z축방향 또는 상하방향으로 이동되는 상기 제1샤프트(110)를 따라 상기 제1이동유닛(130)과 연결된 상기 이동 플레이트(40)가 X축방향 또는 전후방향으로 이동된다. In summary, according to the driving of the first driving motor 100, the first shaft 110 connected to the first driving unit 120 moves in the Z-axis direction or in the vertical direction. Also, the moving plate 40 connected to the first moving unit 130 moves in the X-axis direction or the front-back direction along the first shaft 110 moving in the Z-axis direction or the vertical direction.

이하, 상기 제2구동장치(20)에 의해 자세하게 설명한다.Hereinafter, the second driving device 20 will be described in detail.

도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)의 제2구동장치(20)에 의한 이동을 개략적으로 도시한 도면이다. 도 8 및 도 9에서는 제2구동모터(200)를 생략하고 도시하였으며, 상기 제2구동장치(220)는 개략적으로 도시하였다. 8 and 9 are diagrams schematically showing movement by the second driving device 20 of the substrate insertion and extraction restraint device 1 according to an embodiment of the present invention. In FIGS. 8 and 9, the second driving motor 200 is omitted and shown, and the second driving device 220 is schematically shown.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제2이동장치(230)는 복수의 링크부재(2300, 2310, 2320, 2330, 2340)를 포함한다. 상기 링크부재는 설명의 편의상 제1링크부재(2300), 제2링크부재(2310), 제3링크부재(2320), 제4링크부재(2330) 및 제5링크부재(2340)로 구분될 수 있다.As shown in FIGS. 8 and 9 , the second moving device 230 includes a plurality of link members 2300 , 2310 , 2320 , 2330 , and 2340 . The link member may be divided into a first link member 2300, a second link member 2310, a third link member 2320, a fourth link member 2330, and a fifth link member 2340 for convenience of description. there is.

상기 제1링크부재(2300)는 상기 제2샤프트(210)와 제1결합부재(2302)로 연결된다. 앞서 설명한 바와 같이, 상기 제2샤프트(210)는 X축방향으로 이동되며, 상기 제1링크부재(2300)는 상기 제2샤프트(210)와 함께 X축방향으로 이동될 수 있다.The first link member 2300 is connected to the second shaft 210 through a first coupling member 2302 . As described above, the second shaft 210 moves in the X-axis direction, and the first link member 2300 can move in the X-axis direction together with the second shaft 210 .

상기 제1링크부재(2300)는 전체적으로 화살표모양 또는 옆으로 누운 집모양으로 구비된다. 자세하게는, 상기 제1링크부재(2300)는 일 측에 상기 제1결합부재(2302)가 결합되는 사각형상과 상기 제1결합부재(2302)와 대향되는 측에 꼭지점을 형성하도록 폭이 좁아지는 삼각형상의 플레이트로 이루어진다. 이때, 사각형상과 삼각형상은 일체로 형성되며 설명의 편의상 모양으로 구분하였다.The first link member 2300 is generally provided in the shape of an arrow or a house lying sideways. In detail, the first link member 2300 has a rectangular shape to which the first coupling member 2302 is coupled to one side and a width narrowed to form a vertex on the side opposite to the first coupling member 2302. It consists of triangular plates. At this time, the quadrangular shape and the triangular shape are formed integrally and are divided into shapes for convenience of explanation.

사각형상의 중심측에는 한 쌍의 제2결합부재(2304)가 각각 결합된다. 상기 한 쌍의 제2결합부재(2304)는 상하로 이격되고, 서로 멀어지거나 가까워지도록 상하방향으로 이동가능하게 마련된다. 또한, 삼각형상의 중심측에는 제3결합부재(2306)가 결합되고, 상기 제3결합부재(2306)는 상기 제1링크부재(2300)가 전후방향으로 이동가능하게 마련된다.A pair of second coupling members 2304 are respectively coupled to the central side of the square shape. The pair of second coupling members 2304 are vertically spaced apart and movable in the vertical direction so as to move away from or closer to each other. In addition, a third coupling member 2306 is coupled to the center side of the triangular shape, and the third coupling member 2306 is provided so that the first link member 2300 can move in the forward and backward directions.

상기 제2링크부재(2310) 및 상기 제3링크부재(2320)는 'X'자형 링크부재로 마련된다. 즉, 상기 제2링크부재(2310) 및 상기 제3링크부재(2320)는 서로 교차되는 한 쌍의 링크 바(bar) 형상으로 구비된다.The second link member 2310 and the third link member 2320 are provided as 'X' shaped link members. That is, the second link member 2310 and the third link member 2320 are provided in the shape of a pair of link bars that cross each other.

상기 제2링크부재(2310) 및 상기 제3링크부재(2320)의 교차부분에는 상기 제3결합부재(2306)이 결합된다. 그리고, 상기 제2링크부재(2310) 및 상기 제3링크부재(2320)의 일 단부에는 상기 한 쌍의 제2결합부재(2304)가 각각 결합된다. 또한, 상기 제2링크부재(2310) 및 상기 제3링크부재(2320)의 타 단부에는 한 쌍의 제4결합부재(2308)가 각각 결합된다.The third coupling member 2306 is coupled to the intersection of the second link member 2310 and the third link member 2320. Also, the pair of second coupling members 2304 are coupled to one end of the second link member 2310 and the third link member 2320, respectively. In addition, a pair of fourth coupling members 2308 are coupled to the other ends of the second link member 2310 and the third link member 2320, respectively.

상기 제4링크부재(2330)는 전후방향으로 연장된 바 형상으로 구비된다. 상기 제4링크부재(2330)의 일단은 상기 제2결합부재(2304)에 의해 상기 제3링크부재(2320)와 함께 상기 제1링크부재(2300)과 결합된다. 또한, 상기 제4링크부재(2330)의 타단은 상기 제4결합부재(2308)에 의해 상기 제2링크부재(2310)에 결합된다.The fourth link member 2330 has a bar shape extending in the forward and backward directions. One end of the fourth link member 2330 is coupled to the first link member 2300 together with the third link member 2320 by the second coupling member 2304 . In addition, the other end of the fourth link member 2330 is coupled to the second link member 2310 by the fourth coupling member 2308 .

상기 제5링크부재(2340)는 전체적으로 사각 형상의 플레이트로 마련된다. 상기 제5링크부재(2340)의 상측에는 상기 이동 플레이트(40)가 배치되고, 상기 제5링크부재(2340)와 상기 이동 플레이트(40)는 함께 이동되도록 결합된다. 또는 상기 제5링크부재(2340)는 상기 이동 플레이트(40)의 일 구성에 해당될 수 있다.The fifth link member 2340 is provided as a rectangular plate as a whole. The moving plate 40 is disposed above the fifth link member 2340, and the fifth link member 2340 and the moving plate 40 are coupled to move together. Alternatively, the fifth link member 2340 may correspond to one component of the moving plate 40 .

또한, 상기 제5링크부재(2340)의 하부 일단은 상기 제2결합부재(2304)에 의해 상기 제2링크부재(2310)와 함께 상기 제1링크부재(2300)과 결합된다. 또한, 상기 제5링크부재(2330)의 하부 타단은 상기 제4결합부재(2308)에 의해 상기 제3링크부재(2320)에 결합된다.In addition, the lower end of the fifth link member 2340 is coupled to the first link member 2300 together with the second link member 2310 by the second coupling member 2304 . In addition, the other lower end of the fifth link member 2330 is coupled to the third link member 2320 by the fourth coupling member 2308 .

따라서, 도 8에서 도 9와 같이, 상기 제2샤프트(210)가 전방으로 이동하는 경우, 상기 제1링크부재(2300)가 함께 전방으로 이동된다. 그리고, 상기 한 쌍의 제2결합부재(2304)가 상하방향으로 멀어지도록 이동되고, 상기 제2링크부재(2310) 및 상기 제3링크부재(2320)의 양 단이 서로 멀어지는 방향으로 이동된다. 그에 따라, 상기 제4링크부재(2330)는 하부로 이동되며 상기 제5링크부재(2340)는 상부로 이동되며 상기 이동 플레이트(40)가 상부로 이동된다. Accordingly, as shown in FIGS. 8 through 9 , when the second shaft 210 moves forward, the first link member 2300 moves forward together. Then, the pair of second coupling members 2304 are moved away from each other in the vertical direction, and both ends of the second link member 2310 and the third link member 2320 are moved away from each other. Accordingly, the fourth link member 2330 moves downward, the fifth link member 2340 moves upward, and the moving plate 40 moves upward.

도 9에서 도 8은, 상기 제2샤프트(210)가 후방으로 이동되는 경우에 해당된다. 상기 제1링크부재(2300)가 함께 후방으로 이동되며 상기 한 쌍의 제2결합부재(2304)가 서로 상하방향으로 가까워지도록 이동된다. 그에 따라, 상기 제2링크부재(2310) 및 상기 제3링크부재(2320)의 양 단이 서로 가까워지고, 상기 제4링크부재(2330)는 상부로 이동되며 상기 제5링크부재(2340)는 하부로 이동된다. 그에 따라, 상기 이동 플레이트(40)는 하부로 이동될 수 있다.9 to 8 correspond to cases in which the second shaft 210 moves backward. The first link member 2300 moves backward together, and the pair of second coupling members 2304 move closer to each other in the vertical direction. Accordingly, both ends of the second link member 2310 and the third link member 2320 come closer to each other, the fourth link member 2330 moves upward, and the fifth link member 2340 moved to the bottom Accordingly, the moving plate 40 may be moved downward.

정리하면, 상기 제2구동모터(200)의 구동에 따라 상기 제2구동유닛(220)과 연결된 상기 제2샤프트(210)가 X축방향 또는 전후방향으로 이동된다. 그리고, X축방향 또는 전후방향으로 이동되는 상기 제2샤프트(210)를 따라 상기 제2이동유닛(230)과 연결된 상기 이동 플레이트(40)가 Z축방향 또는 상하방향으로 이동된다.In summary, the second shaft 210 connected to the second driving unit 220 is moved in the X-axis direction or in the front-back direction according to the driving of the second driving motor 200 . Also, the moving plate 40 connected to the second moving unit 230 is moved in the Z-axis direction or up-down direction along the second shaft 210 which moves in the X-axis direction or in the front-back direction.

앞서 설명한 바와 같이, 상기 제1구동장치(10)은 상기 이동 플레이트(40)를 전후방향으로 이동시키는 장치이며, 상기 제2구동장치(20)는 상기 이동 플레이트(40)를 상하방향으로 이동시키는 장치이다. 각 구동장치(10, 20)는 서로 별도의 동력원으로 구동되며 별개의 장치에 해당될 수 있다. 또한, 본 발명의 기판 삽입 및 추출 구속장치(1)는 각 구동장치(10, 20) 중 하나 또는 모두를 구비할 수 있다.As described above, the first driving device 10 is a device for moving the movable plate 40 in the forward and backward directions, and the second driving device 20 moves the movable plate 40 in the vertical direction. It is a device. Each of the driving devices 10 and 20 is driven by a separate power source and may correspond to a separate device. In addition, the substrate insertion and extraction restraint device 1 of the present invention may include one or both of the drive devices 10 and 20 respectively.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art variously modify and change the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims described below. You will be able to. Therefore, if the modified implementation basically includes the elements of the claims of the present invention, all of them should be considered to be included in the technical scope of the present invention.

1...기판 삽입 및 추출 구속장치
10...제1구동장치
20...제2구동장치
30...고정 플레이트
40...이동 플레이트
100...제1구동모터
110...제1샤프트
120...제1구동유닛
130...제1이동유닛1...substrate insertion and extraction restraints
10 ... first driving device
20 ... 2nd driving device
30... fixed plate
40...moving plate
100 ... first drive motor
110 ... 1st shaft
120 ... first drive unit
130 ... 1st mobile unit

Claims (7)

구동모터;
일방향으로 연장된 샤프트;
상기 구동모터와 상기 샤프트를 연결하는 구동유닛; 및
상기 샤프트와 이동 플레이트를 연결하는 이동유닛을 포함하고,
상기 구동유닛은,
제1풀리 및 제2풀리에 설치되는 1차 구동벨트;
제3풀리 및 제4풀리에 설치되는 2차 구동벨트;
상기 제2풀리와 상기 제3풀리를 연결하는 제1연결축;
상기 제4풀리와 연결되고, 상기 샤프트와 일 측으로 이격되어 배치되는 제2연결축; 및
상기 제2연결축에 이동가능하게 결합되며 상기 샤프트의 일 단에 고정 결합되는 구동블럭을 포함하고,
상기 구동모터에 의해 상기 제1풀리가 회전되며, 상기 1차 구동벨트, 상기 제2풀리, 상기 제1연결축, 상기 제3풀리, 상기 2차 구동벨트, 상기 제4풀리 및 상기 제2연결축으로 동력이 전달되고,
상기 제2연결축을 따라 상기 구동블럭이 이동됨에 따라 상기 샤프트 및 상기 이동유닛에 의해 상기 샤프트와 연결된 이동 플레이트가 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 삽입 및 추출 구속장치.drive motor;
a shaft extending in one direction;
a drive unit connecting the drive motor and the shaft; and
A moving unit connecting the shaft and the moving plate;
The driving unit is
Primary drive belts installed on the first and second pulleys;
Secondary drive belts installed on the third and fourth pulleys;
a first connecting shaft connecting the second pulley and the third pulley;
a second connection shaft connected to the fourth pulley and spaced apart from the shaft to one side; and
A driving block movably coupled to the second connecting shaft and fixedly coupled to one end of the shaft;
The first pulley is rotated by the drive motor, and the first drive belt, the second pulley, the first connecting shaft, the third pulley, the second drive belt, the fourth pulley, and the second connecting shaft Power is transmitted to the shaft,
A substrate insertion and extraction restraint device, characterized in that, as the driving block is moved along the second connecting shaft, the moving plate connected to the shaft is moved by the shaft and the moving unit. 제1항에 있어서,
상기 이동 플레이트의 일 측에 배치되는 고정 플레이트를 더 포함하고,
상기 이동유닛은,
적어도 일부가 고정 플레이트에 삽입되는 이동브라켓;
상기 이동브라켓과 상기 샤프트의 타 단을 결합시키는 제1연결부재; 및
상기 고정 플레이트를 관통하여 상기 이동브라켓과 상기 이동 플레이트를 결합시키는 제2연결부재를 포함하고,
상기 고정 플레이트에는, 상기 제2연결부재가 관통되어 배치되고, 상기 샤프트의 연장방향과 수직한 방향으로 연장된 고정홈이 형성되고,
상기 이동브라켓에는 상기 제2연결부재가 이동가능하게 설치되고, 상기 샤프트의 연장방향 및 상기 고정홈의 연장방향과 경사지게 연장된 이동홈이 형성되고,
상기 샤프트가 이동됨에 따라 상기 제2연결부재가 상기 고정홈 및 상기 이동홈을 따라 이동되고, 상기 샤프트의 이동방향과 수직하게 상기 이동 플레이트가 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 삽입 및 추출 구속장치.According to claim 1,
Further comprising a fixed plate disposed on one side of the movable plate,
The mobile unit,
A moving bracket at least part of which is inserted into the fixing plate;
a first connecting member coupling the moving bracket and the other end of the shaft; and
A second connecting member passing through the fixing plate and coupling the movable bracket and the movable plate;
In the fixing plate, the second connecting member is disposed through and a fixing groove extending in a direction perpendicular to the extending direction of the shaft is formed,
The second connecting member is movably installed in the movable bracket, and a movable groove extending obliquely from the extending direction of the shaft and the extending direction of the fixing groove is formed,
As the shaft moves, the second connecting member moves along the fixing groove and the moving groove, and the moving plate moves perpendicular to the moving direction of the shaft. 제2항에 있어서,
상기 샤프트는 상하방향으로 연장되고 상기 구동유닛에 의해 상하방향으로 이동되고,
상기 고정홈은 전후방향으로 연장되며,
상기 이동홈은 전방에서 후방으로 갈수록 하부로 경사진 방향으로 연장되며,
상기 샤프트가 이동됨에 따라 상기 이동 플레이트는 전후방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 삽입 및 추출 구속장치.According to claim 2,
The shaft extends in the vertical direction and is moved in the vertical direction by the driving unit,
The fixing groove extends in the front and rear directions,
The moving groove extends in a downwardly inclined direction from the front to the rear,
Substrate insertion and extraction restraint device, characterized in that the moving plate is moved in the forward and backward directions as the shaft is moved. 제1항에 있어서,
상기 구동유닛은,
하부에 상기 구동모터가 배치되고 상부에 상기 제1풀리, 상기 제2풀리 및 상기 1차구동벨트가 배치되는 제1고정판;
상기 제1고정판과 상기 제1연결축에 의해 연결되고, 상부에 상기 제3풀리, 상기 제4풀리 및 상기 2차구동벨트가 배치되는 제2고정판; 및
상기 제2고정판과 상기 제2연결축에 의해 연결되고, 하부에 상기 샤프트가 배치되고 상부에 상기 구동블럭이 배치되는 제3고정판을 더 포함하고,
상기 제1고정판은 상기 제2고정판의 중심측 하부에 평행하게 배치되고,
상기 제3고정판은 상기 제2고정판의 양측 하부에 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 삽입 및 추출 구속장치.According to claim 1,
The driving unit is
a first fixing plate on which the driving motor is disposed at a lower portion and the first pulley, the second pulley, and the primary driving belt are disposed at an upper portion;
a second fixing plate connected to the first fixing plate by the first connecting shaft and having the third pulley, the fourth pulley, and the secondary drive belt disposed thereon; and
Further comprising a third fixing plate connected to the second fixing plate by the second connecting shaft, having the shaft disposed at a lower portion and the driving block disposed at an upper portion,
The first fixing plate is disposed parallel to the lower part of the center side of the second fixing plate,
The substrate insertion and extraction restraint device, characterized in that the third fixing plate is disposed parallel to the bottom of both sides of the second fixing plate. 제1항에 있어서,
상기 제2연결축과 상기 구동블럭은 볼 스크루(ball screw)를 형성하며 결합됨에 따라, 상기 구동블럭은 상기 제2연결축의 회전에 따라 상기 제2연결축을 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 삽입 및 추출 구속장치.According to claim 1,
As the second connection shaft and the drive block form a ball screw and are coupled, the drive block is moved along the second connection shaft according to the rotation of the second connection shaft, and extraction restraints. 제1항에 있어서,
상기 구동모터는, 상기 제1풀리를 회전시키는 제1구동모터 및 상기 제1구동모터와 별도로 구비되는 제2구동모터를 포함하고,
상기 샤프트는, 상기 구동블럭이 이동됨에 따라 이동되는 제1샤프트 및 상기 제1샤프트와 수직한 방향으로 연장된 제2샤프트를 포함하고,
상기 제1샤프트는 상하방향으로 연장되어 상기 제1구동모터에 의해 상하방향으로 이동되고, 상기 이동 플레이트는 상기 제1샤프트에 의해 전후방향으로 이동되고,
상기 제2샤프트는 전후방향으로 연장되어 상기 제2구동모터에 의해 전후방향으로 이동되고, 상기 이동 플레이트는 상기 제2샤프트에 의해 상하방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 삽입 및 추출 구속장치.According to claim 1,
The drive motor includes a first drive motor for rotating the first pulley and a second drive motor provided separately from the first drive motor,
The shaft includes a first shaft that moves as the driving block moves and a second shaft that extends in a direction perpendicular to the first shaft,
The first shaft extends in a vertical direction and is moved in a vertical direction by the first driving motor, and the moving plate is moved in a forward and backward direction by the first shaft,
The substrate insertion and extraction restraint device according to claim 1 , wherein the second shaft extends in the forward and backward directions and is moved in the forward and backward directions by the second driving motor, and the moving plate is moved in the vertical direction by the second shaft. 제6항에 있어서,
상기 이동유닛은, 상기 제1샤프트와 상기 이동 플레이트를 연결하는 제1이동유닛 및 상기 제2샤프트와 상기 이동 플레이트를 연결하는 제2이동유닛을 포함하며,
상기 제2이동유닛은,
상기 제1샤프트의 일 단에 고정 결합되는 제1링크부재;
'X'자 형상으로 교차되어 중심측이 상기 제1링크부재에 결합되는 제2링크부재 및 제3링크부재;
양 단이 상기 제2링크부재 및 상기 제3링크부재에 각각 결합되는 제4링크부재; 및
상기 이동 플레이트와 결합되고, 일 측 양 단이 상기 제2링크부재 및 상기 제3링크부재에 각각 결합되는 제5링크부재를 포함하고,
상기 제2샤프트가 이동됨에 따라 상기 제1링크부재가 함께 이동되고, 상기 제2링크부재 및 상기 제3링크부재의 양 단이 이동되고, 상기 제5링크부재 및 상기 이동 플레이트가 상기 제2샤프트의 이동방향과 수직하게 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 삽입 및 추출 구속장치.According to claim 6,
The moving unit includes a first moving unit connecting the first shaft and the moving plate and a second moving unit connecting the second shaft and the moving plate,
The second mobile unit,
a first link member fixedly coupled to one end of the first shaft;
a second link member and a third link member intersecting in an 'X' shape and having center sides coupled to the first link member;
a fourth link member having both ends coupled to the second link member and the third link member, respectively; and
A fifth link member coupled to the moving plate and having both ends of one side coupled to the second link member and the third link member, respectively;
As the second shaft moves, the first link member moves together, both ends of the second link member and the third link member move, and the fifth link member and the moving plate move along the second shaft. Substrate insertion and extraction restraint device, characterized in that moved perpendicular to the moving direction of the.
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