KR102512127B1 - 저항성 입자 센서 - Google Patents

저항성 입자 센서 Download PDF

Info

Publication number
KR102512127B1
KR102512127B1 KR1020197037721A KR20197037721A KR102512127B1 KR 102512127 B1 KR102512127 B1 KR 102512127B1 KR 1020197037721 A KR1020197037721 A KR 1020197037721A KR 20197037721 A KR20197037721 A KR 20197037721A KR 102512127 B1 KR102512127 B1 KR 102512127B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
resistive
sensor element
conductor track
exhaust gas
capacitance
Prior art date
Application number
KR1020197037721A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20200018470A (ko
Inventor
에노 바르스
카롤린 마리아 쉴링
마티아스 클렝크
카롤라 헤르벡
Original Assignee
로베르트 보쉬 게엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 로베르트 보쉬 게엠베하 filed Critical 로베르트 보쉬 게엠베하
Publication of KR20200018470A publication Critical patent/KR20200018470A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102512127B1 publication Critical patent/KR102512127B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/122—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits
    • G01N27/123—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits for controlling the temperature
    • G01N27/124—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits for controlling the temperature varying the temperature, e.g. in a cyclic manner
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/0656—Investigating concentration of particle suspensions using electric, e.g. electrostatic methods or magnetic methods
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00—Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/02—Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00—Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/02—Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow
    • G01K13/024—Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow of moving gases
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K2205/00—Application of thermometers in motors, e.g. of a vehicle
    • G01K2205/04—Application of thermometers in motors, e.g. of a vehicle for measuring exhaust gas temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
    • G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

본 발명은 내연 기관의 배기 가스 중의 수트(soot)를 검출하기 위한 저항성 입자 센서에 관한 것이며, 상기 입자 센서는 배기 가스에 노출 가능한 센서 요소(113)의 영역에서 미앤더(252, 262; meander) 형태로 서로 이격되어 평행하게 연장된, 2 개의 도체 트랙(25, 26) 및 하나의 저항 도체 트랙(28)을 갖는 센서 요소(113)를 포함하고, 상기 2 개의 도체 트랙(25, 26)은 각각 커패시턴스 요소(254, 264, 284)에 의해 상기 저항 도체 트랙(28)에 용량적으로 연결된다.

Description

저항성 입자 센서
본 발명은 독립 청구항의 전제부에 따른 저항성 입자 센서에 관한 것이다.
US-20120119759 A1에는 내연 기관의 배기 가스 중의 수트(soot)를 검출하기 위한 저항성 입자 센서가 이미 알려져 있고, 상기 입자 센서는 입자량의 저항성 검출을 위해 배기 가스에 노출 가능한 센서 요소의 영역에서 서로 이격되어 연장되는 2 개의 도체 트랙을 갖는 센서 요소를 포함한다.
이 경우, 입자량은 도체 트랙들 사이의 전기 전도율에 의해 감지된다.
배기 가스 중에 수트가 없음과 입자 센서의 무결성이 결여된 것을 구별하기 위해, 종래 기술에 따라, 도체 트랙들을 서로 연결하는 저항이 제공된다.
이 구성의 단점은 도체 트랙들 사이에 입자량이 존재하고 그로부터 도체 트랙들 사이의 전도성 접속이 주어지는 경우, 입자 센서의 무결성이 더 이상 명확하게 확인될 수 없다는 것이다.
US 8,860,439 B2에도 내연 기관의 배기 가스 중의 수트(soot)를 검출하기 위한 저항성 입자 센서가 알려져 있고, 상기 입자 센서는 입자량의 저항성 검출을 위해 배기 가스에 노출 가능한 센서 요소의 영역에서 서로 이격되어 연장되는 2 개의 도체 트랙을 갖는 센서 요소를 포함한다. 도체 트랙들은 각각 "플레이트 도체"에 연결되고, 배기 가스에 노출될 수 있는 센서 요소의 영역에서 직선으로 서로 이격되어 연장된다. 따라서, 도체 트랙들 사이의 상호 작용 영역은 비교적 짧다. 입자 센서의 감도도 상응하게 낮다.
다른 저항성 입자 센서는 DE 101 33 384 A1에 알려져 있고, 입자량을 저항성 검출하기 위한 빗 모양 도체 트랙들, 및 센서 요소에 통합되고 상기 빗 모양 도체 트랙에 전기적으로 연결된 플레이트 커패시터를 포함한다.
본 발명의 과제는 종래 기술에 비해 개선된 입자 센서를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 입자 센서는 감지 영역에서 미앤더(meander) 형태로 서로 평행하게 연장되는 도체 트랙들을 포함한다. 따라서, 도체 트랙들 사이의 상호 작용 영역이 커진다.
본 발명에 따라, 도체 트랙들은 각각 커패시턴스 요소에서 끝나고, 저항 도체 트랙에 전기적으로 연결된 커패시턴스 요소에 용량성 결합된다. 이러한 방식으로 입자 센서의 무결성이 확인될 수 있다.
이 경우, 특히 도체 트랙들이 각각 커패시턴스 요소에서 끝나고, 저항 트랙에 전기적으로 연결된 커패시턴스 요소에 용량성 결합된다.
바람직한 개선 예에서, 도체 트랙들은 각각 배기 가스에 노출될 수 있는 영역의 외부에 배치된, 센서 요소의 콘택팅을 위한 접촉면로부터 출발하고, 각각 상기 접촉면으로부터 배기 가스에 노출될 수 있는 센서 요소의 영역으로 연장되고, 상기 영역에서 미앤더 형태로 연장되고 이어서 커패시턴스 요소로 이어지는, 분기 없는 도체 트랙들이고, 상기 저항 도체 트랙은 배기 가스에 노출될 수 있는 영역의 외부에 배치된, 센서 요소의 콘택팅을 위한 접촉면으로부터 출발하고, 배기 가스에 노출될 수 있는 영역의 외부에 배치된, 센서 요소의 콘택팅을 위한 다른 접촉면으로 이어지고, 상기 저항 도체 트랙은 커패시턴스 요소를 포함하고 및/또는 분기 도체 트랙을 통해 커패시턴스 요소에 전기적으로 연결된다.
배기 가스에 노출될 수 있는 영역의 외부에 커패시턴스 요소들을 제공하는 것은 입자 센서의 수명을 연장시키고 수명에 걸쳐 그 측정 정확도를 향상시킨다.
본 출원의 맥락에서, 도체 트랙은 특히 국부적으로 길이 방향 연장 및 이에 대해 그리고 서로에 대해 수직으로 횡 방향 연장 및 높이 연장를 갖는 금속 구조물을 의미하고, 상기 길이 방향 연장은 특히 횡 방향 연장 및 높이 연장보다 훨씬 더 크다.
본 출원의 맥락에서, 서로 평행하게 연장되는 도체 트랙들 또는 도체 트랙 섹션들은 특히 길이 방향 연장이 국부적으로 동일한 방향을 가리키는 도체 트랙들 또는 도체 트랙 섹션들이다.
본 출원의 맥락에서, 미앤더(meander) 형태로 연장되는 도체 트랙들은 2 개 이상, 바람직하게는 3 개 이상 또는 4 개 이상의, 특히 서로 평행하게 또는 실질적으로 평행하게 연장되는 도체 트랙 섹션들을 포함하는 도체 트랙들을 의미하고, 특히 인접한 도체 트랙 섹션들 사이에, 특히 150도 내지 210도의 각도를 갖는 곡선인, 도체 트랙들의 방향 전환부가 배치된다.
본 출원의 맥락에서, 커패시턴스 요소는 특히 추가의 커패시턴스 요소와 그들 사이에 배치된 전기 절연체와 함께 커패시턴스를 형성하는 전기 도체를 의미한다. 커패시턴스 요소들은 예를 들어 평면으로 형성되고 25 내지 200 평방 밀리미터의 면적을 가질 수 있다.
본 출원의 맥락에서, 커패시턴스는 특히 전술한 도체 트랙과는 다른 2 개의 서로 절연된 전기 도체들(커패시턴스 요소들)로 이루어진 구조를 의미한다. 본 발명의 의미에서의 커패시턴스를 얻기 위해, 서로 절연된 2 개의 전기 도체는 특히 1 볼트의 전위차에서 전하량 50-800 pC(picocoulomb)를 저장할 수 있도록 설계되고 서로 이격되어 있다. 다시 말해, 커패시턴스의 값은 특히 50-800 pF(picofarad)이다.
본 출원의 맥락에서, 더 작고 및/또는 입자 센서의 기능과 관련하여 의도적으로 초래되지 않고 및/또는 요구되지 않지만, 저항성 입자 센서의 경우 불가피하게 발생하는 용량성 커플링의 범위 내에 있는 용량성 커플링은 본 발명의 의미에서의 커패시턴스와 연관되지 않는다.
커패시턴스의 값이 100 pF 이상 및/또는 400 pF 이하인 것이 특히 바람직하다.
본 출원의 맥락에서, 센서 요소의 콘택팅을 위한 접촉면은 도체 트랙의 횡 방향 연장이 특히 커진, 도체 트랙의 영역, 예를 들어 단부 영역을 의미한다.
특히, 커패시턴스는 중첩된 금속의, 완전 면의(full faced), 층 형태의 커패시턴스 요소들과 이들 사이에 배치된 절연 층으로 구성된다. 이 경우, 커패시턴스 값이 특히 높다.
대안으로서, 금속의, 완전 면의, 층 형태의 커패시턴스 요소들은 특히 금속 격자 또는 금속 라인 구조로 대체될 수 있다. 이 경우, 커패시턴스 요소의 오버 프린팅 가능성이 향상된다.
도 1은 본 발명에 따른 입자 센서의 개요를 도시하고,
도 2는 제 1 실시 예를 개략적인 형태로 도시하고,
도 3은 제 2 실시 예를 개략적인 형태로 도시한다.
도 1은 본 발명에 따른 입자 센서(110)의 개요를 입자 센서(110)의 길이 방향 축을 따른 단면도로 도시한다. 이 입자 센서(110)는 관통 구멍(112)을 갖는 금속 하우징(111)을 포함하고, 상기 관통 구멍(112) 내에 세라믹 센서 소자(113)가 밀봉 패킹(131), 배기 측 절연 슬리브(132) 및 접촉 측 절연 슬리브(114)에 의해 고정된다. 센서 요소의 접촉 측 단부 영역(232) 상으로, 예를 들어, 4 내지 6 개의 접촉 스프링(115)이 가압되고, 상기 접촉 스프링(115)은 접촉 홀더(214) 내에 유지된다. 보호 슬리브(116)는 배기 가스로부터 먼 측면에서 밀봉 그로밋(122; sealing grommet)에 의해 폐쇄되고, 접촉 스프링(115)에 전기 접속된 절연된 도체(123)가 상기 밀봉 그로밋(122)을 통해 안내된다.
2 개의 동축 보호 튜브(141, 142)는 배기 가스를 향하는 금속 하우징(111)의 측면 상에서 공통 원주 용접 시임(160)에 의해 하우징(111)의 배기 측 칼라(161)에 고정된다. 보호 튜브(141, 142)는 개구들을 포함하고 센서 요소의 배기 측 단부 영역(233)을 커버한다. 따라서, 센서 요소의 상기 배기 측 단부 영역(233)은 배기 가스에 노출될 수 있는 센서 요소(113)의 영역이다. 한편, 센서 요소의 접촉 측 단부 영역(232)은 본 발명의 의미에서 배기 가스에 노출될 수 없는 영역이다.
입자 센서(110)는 배기 시스템에 장착을 위해 외부 나사산(151) 및 외부 육각형 프로파일(152)을 갖는다.
도 2는 도 1의 저항성 입자 센서의 센서 요소(113)의 요소들을 개략적으로 도시한다. 이 경우, 도체 트랙들(25, 26)은 분기되지 않고, 각각 배기 가스에 노출될 수 있는 영역의 외부에 배치된, 센서 요소(113)의 콘택팅을 위한 접촉면(251, 261)으로부터 출발한다. 도체 트랙들(25, 26)은 상기 접촉면(251, 261)으로부터 배기 가스에 노출될 수 있는 센서 요소(113)의 영역으로 이어지고, 여기서 미앤더(252, 262; meander) 형태로 서로 평행하게 연장된다. 이어서, 상기 도체 트랙들(25, 26)은 공급 라인 섹션들(253, 263)을 통해 커패시턴스 요소들(254, 264)로 연장되고, 상기 커패시턴스 요소들(254, 264)은 실시 예에서 평면으로 서로 나란히 배치된다.
실시 예에서 저항 히터인 저항 도체 트랙(28)은 실질적으로 도체 트랙(25, 26) 아래의 층 평면에서 연장된다. 실시 예에서 온도 측정 저항 트랙인 추가 저항 트랙(29)은 실질적으로 다시 아래에 배치된 층 평면에서 연장된다.
저항 도체 트랙(28) 및 추가 저항 도체 트랙(29)은 각각 배기 가스에 노출될 수 있는 영역의 외부에 배치된, 센서 요소(113)의 콘택팅을 위한 접촉면(281, 291)을 포함한다.
저항 도체 트랙(28) 및 추가 저항 도체 트랙(29)은 배기 가스에 노출될 수 있는 영역의 외부에 배치된, 센서 요소(113)의 콘택팅을 위한 추가의, 실시 예에서 공통의 접촉면(282)으로 이어진다. 상기 공통의 접촉면(282)은 예컨대 접지 전위에 접속될 수 있다.
저항 도체 트랙(28)은 분기 라인(283)을 통해 커패시턴스 요소(284)에 연결되고, 상기 커패시턴스 요소(284)는 배기 가스에 노출된 센서 요소(113)의 영역 외부에서 커패시턴스 요소들(254, 264) 반대편에 평면으로 그리고 절연층(도시되지 않음)에 의해 분리된 상태로 배치된다.
2 개의 커패시턴스 요소(254, 264)는 완전 면으로 형성되고 서로 나란히 배치된다. 2 개의 커패시턴스 요소(254, 264) 및 절연층은 커패시턴스 요소(284)와 함께, 실시 예에서 총 150 pF(picofarad), 200 pF 또는 300 pF의 값을 가질 수 있는 커패시턴스를 형성한다.
제 2 실시 예가 도 3에 도시되어있다. 이는 저항 도체 트랙(28)의 커패시턴스 요소(284)가 별도로 형성되지 않고 저항 도체 트랙(28)의 부분이라는 점에서 도 2에 도시된 실시 예와 상이하다. 실시 예에서, 커패시턴스 요소(284)는 저항 도체 트랙(28)의 넓어진 도체 트랙에 의해 형성되고, 상기 넓어진 도체 트랙은 캐패시턴스 요소들(254, 264) 반대편에 평면으로 그리고 절연층(도시되지 않음)에 의해 분리된 상태로 배치된다. 커패시턴스 요소들(254, 264)은 실시 예에서 도체 트랙들(25, 26)의 접촉 측 부분과는 다른 층 평면에 배치된다. 이를 위해, 공급 라인 섹션(253, 254)은 센서 요소(113)의 층을 통한 관통 연결부로서 형성된다.
센서 요소(113)는 예를 들어 공지된 후막 기술로 제조될 수 있다.
25, 26: 도체 트랙
28: 저항 도체 트랙
113: 센서 요소
251, 261: 접촉면
254, 264, 284: 커패시턴스 요소
283: 분기 라인

Claims (6)

  1. 내연 기관의 배기 가스 중의 수트(soot)를 검출하기 위한 저항성 입자 센서로서, 배기 가스에 노출 가능한 센서 요소(113)의 영역에서 미앤더(252, 262; meander) 형태로 서로 이격되어 평행하게 연장된 2 개의 도체 트랙들(25, 26) 및 하나의 저항 도체 트랙(28)을 갖는 센서 요소(113)를 포함하고, 상기 2 개의 도체 트랙들(25, 26)은 각각 커패시턴스 요소들(254, 264, 284)에 의해 상기 저항 도체 트랙(28)에 용량적으로 연결되고,
    상기 도체 트랙들(25, 26)은 각각 배기 가스에 노출 가능한 영역의 외부에 배치된, 상기 센서 요소(113)의 콘택팅을 위한 접촉면(251, 261)으로부터 출발하고, 각각 상기 접촉면(251, 261)으로부터 배기 가스에 노출 가능한 상기 센서 요소(113)의 영역으로 연장되며, 상기 영역에서 미앤더(252, 262) 형태로 연장되고 이어서 상기 커패시턴스 요소들(254, 264)로 이어지는, 분기 없는 도체 트랙들(25, 26)이고, 상기 저항 도체 트랙(28)은 배기 가스에 노출 가능한 영역의 외부에 배치된, 상기 센서 요소(113)의 콘택팅을 위한 접촉면(281)으로부터 출발하고, 배기 가스에 노출 가능한 영역의 외부에 배치된, 상기 센서 요소(113)의 콘택팅을 위한 다른 접촉면(282)으로 이어지고, 상기 저항 도체 트랙(28)은 커패시턴스 요소(284)를 포함하고 및/또는 분기 라인(283)을 통해 커패시턴스 요소(284)에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는, 저항성 입자 센서.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 커패시턴스 요소들(254, 264, 284)은 완전 면의(full-faced) 층들이며, 상기 층들 사이에 절연층이 배치되는 것을 특징으로 하는, 저항성 입자 센서.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 커패시턴스 요소들(254, 264, 284)은 금속 그리드들 및/또는 라인 구조들이며, 이들 사이에 절연층이 배치되는 것을 특징으로 하는, 저항성 입자 센서.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 용량적으로 연결되는 값은 50 - 800 pF(picofarad)인 것을 특징으로 하는, 저항성 입자 센서.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 저항 도체 트랙(28)은 저항 히터 및/또는 온도 측정 저항 도체 트랙인 것을 특징으로 하는, 저항성 입자 센서.
KR1020197037721A 2017-06-23 2018-05-30 저항성 입자 센서 KR102512127B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102017210625.5 2017-06-23
DE102017210625.5A DE102017210625A1 (de) 2017-06-23 2017-06-23 Resistiver Partikelsensor
PCT/EP2018/064147 WO2018233994A1 (de) 2017-06-23 2018-05-30 Resistiver partikelsensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200018470A KR20200018470A (ko) 2020-02-19
KR102512127B1 true KR102512127B1 (ko) 2023-03-22

Family

ID=62455501

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020197037721A KR102512127B1 (ko) 2017-06-23 2018-05-30 저항성 입자 센서

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11486844B2 (ko)
EP (1) EP3642595B1 (ko)
KR (1) KR102512127B1 (ko)
DE (1) DE102017210625A1 (ko)
ES (1) ES2921933T3 (ko)
WO (1) WO2018233994A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7021229B2 (ja) * 2016-12-30 2022-02-16 ローズマウント インコーポレイテッド 調節可能なばねが装備された温度センサ用アダプタ

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4903110A (en) 1987-06-15 1990-02-20 Nec Corporation Single plate capacitor having an electrode structure of high adhesion
US20100123213A1 (en) * 2008-11-17 2010-05-20 Shuxian Chen Metal-insulator-metal capacitors
US20110283773A1 (en) * 2010-05-24 2011-11-24 Denso Corporation Particulate matter detection sensor and particulate matter detection sensor unit
US20150168285A1 (en) 2013-11-13 2015-06-18 Stoneridge,Inc. Soot sensor system
US20160017830A1 (en) 2013-03-06 2016-01-21 Heraeus Sensor Technology Gmbh Method for producing a soot sensor with a laser beam

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6150824A (en) * 1997-10-30 2000-11-21 Xerox Corporation Contactless system for detecting subtle surface potential charge patterns
DE10133384A1 (de) 2001-07-10 2003-01-30 Bosch Gmbh Robert Sensor zur Detektion von Teilchen und Verfahren zu dessen Funktionskontrolle
US7115969B1 (en) * 2002-09-13 2006-10-03 Xsilogy, Inc. Fixed parallel plate MEMS capacitor microsensor and microsensor array and method of making same
EP1872115A1 (de) * 2005-04-20 2008-01-02 Heraeus Sensor Technology Gmbh Russsensor
US20080241004A1 (en) * 2007-02-15 2008-10-02 Jayne Michael E Plasma actuated electronic catalytic converter
DE102007013522A1 (de) * 2007-03-21 2008-09-25 Robert Bosch Gmbh Sensorelement eines Gassensors
US7609068B2 (en) * 2007-10-04 2009-10-27 Delphi Technologies, Inc. System and method for particulate sensor diagnostic
DE102009028239A1 (de) * 2009-08-05 2011-02-10 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Eigendiagnose eines Partikelsensors
DE102009028283B4 (de) 2009-08-06 2023-07-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Eigendiagnose eines Partikelsensors
JP5201194B2 (ja) 2010-10-28 2013-06-05 株式会社デンソー 粒子状物質検出装置及び粒子状物質検出素子の製造方法
US8928338B2 (en) 2010-11-17 2015-01-06 Delphi Technologies, Inc. Self diagnostics of a particulate matter sensor
WO2012162685A1 (en) * 2011-05-26 2012-11-29 Stoneridge, Inc. Soot sensor system
US8671736B2 (en) * 2011-05-26 2014-03-18 Emisense Technologies, Llc Agglomeration and charge loss sensor for measuring particulate matter
FR2978493B1 (fr) * 2011-07-28 2013-09-06 Electricfil Automotive Procede et dispositif de mesure de la concentration de suies dans un gaz d'echappement, notamment d'un moteur a combustion interne

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4903110A (en) 1987-06-15 1990-02-20 Nec Corporation Single plate capacitor having an electrode structure of high adhesion
US20100123213A1 (en) * 2008-11-17 2010-05-20 Shuxian Chen Metal-insulator-metal capacitors
US20110283773A1 (en) * 2010-05-24 2011-11-24 Denso Corporation Particulate matter detection sensor and particulate matter detection sensor unit
US20160017830A1 (en) 2013-03-06 2016-01-21 Heraeus Sensor Technology Gmbh Method for producing a soot sensor with a laser beam
US20150168285A1 (en) 2013-11-13 2015-06-18 Stoneridge,Inc. Soot sensor system

Also Published As

Publication number Publication date
ES2921933T3 (es) 2022-09-02
US11486844B2 (en) 2022-11-01
KR20200018470A (ko) 2020-02-19
WO2018233994A1 (de) 2018-12-27
EP3642595B1 (de) 2022-05-11
EP3642595A1 (de) 2020-04-29
US20200173947A1 (en) 2020-06-04
DE102017210625A1 (de) 2018-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105074421B (zh) 利用激光束制造碳烟传感器的方法
US8402813B2 (en) Sensor element of a gas sensor
US9933352B2 (en) Sensor for detecting particles
US8161796B2 (en) Particulate matter sensor with an insulating air gap
JPH052101B2 (ko)
KR102512127B1 (ko) 저항성 입자 센서
JP5092872B2 (ja) 面状温度検出センサ
JP6970108B2 (ja) 導電性及び／又は分極性粒子を検出するセンサ、センサシステム、センサを作動させる方法、このタイプのセンサを製造する方法及びこのタイプのセンサの使用
JP2019507880A5 (ko)
CN108204863A (zh) 高温排气传感器
KR101221619B1 (ko) 정전용량을 이용한 파이프 내부에 고착된 파우더 두께 검사 장치
JP2017528719A (ja) 高感度素子を備える計測プローブ
JP6745354B2 (ja) 粒子状物質センサー
KR101558373B1 (ko) 입자상 물질을 센싱하는 센서유닛
KR20200074018A (ko) 가열식 담배용 히터 및 이것을 구비한 가열식 담배 장치
US9176093B2 (en) Gas sensor
JP7009510B2 (ja) 抵抗式の粒子センサ
KR101991265B1 (ko) 입자상 물질 센서
US10012578B2 (en) Particulate matter sensor
CN110618066A (zh) 阻抗式颗粒传感器
KR20210146927A (ko) 가스의 적어도 하나의 특성을 검출하기 위한 가스 센서
CN109891211B (zh) 用于感测测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器元件
JPH09273957A (ja) レベル計測装置
JP2009300341A (ja) ガスセンサ及びガスセンサの被水検知方法
KR101761185B1 (ko) 입자상 물질 센서

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right