KR102503633B1 - Apparatus and method for dispensing materials - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 공급 관로가 형성된 바디부, 바디부의 하부에 장착되고, 토출 관로들이 형성된 노즐부, 바디부를 일 방향으로 관통하도록 설치되고, 공급 관로를 개폐시킬 수 있는 연결 관로가 형성된 로테이션 샤프트부를 포함하는 원료 토출 장치와, 이를 이용한 원료 토출 방법으로서, 액상의 원료를 원활하게 토출시킬 수 있는 원료 토출 장치 및 방법이 제시된다.The present invention includes a body portion having a supply pipe line, a nozzle portion mounted on a lower portion of the body portion and having discharge pipes formed therein, and a rotation shaft portion having a connection pipe capable of opening and closing the supply pipe line, which is installed to pass through the body portion in one direction. As a raw material ejection device and a raw material ejection method using the same, a raw material ejection device and method capable of smoothly ejecting a liquid raw material are proposed.
Description
본 발명은 원료 토출 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액상의 원료를 기판의 복수 위치에 원활하게 토출시킬 수 있는 원료 토출 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a raw material ejection device and method, and more particularly, to a raw material ejecting device and method capable of smoothly ejecting a liquid raw material to a plurality of positions on a substrate.
액정표시장치는 박막 트렌지스터 및 화소 전극이 형성된 하부 기판에 일정량의 액정을 적하하고, 컬러 필터 및 공통 전극이 형성된 상부 기판에 실런트를 도포한 후, 두 기판을 합착시키는 방식으로 제작된다. 이때, 하부 기판(이하, '기판'이라 한다)에 액정을 적하하는 수단으로 토출 장치를 사용한다.A liquid crystal display device is manufactured by dropping a certain amount of liquid crystal onto a lower substrate on which thin film transistors and pixel electrodes are formed, applying a sealant to an upper substrate on which a color filter and a common electrode are formed, and bonding the two substrates together. At this time, an ejection device is used as a means for dropping liquid crystal on the lower substrate (hereinafter, referred to as 'substrate').
예컨대 하기의 특허문헌 1에 미세한 사이즈로 액상물을 토출할 수 있는 토출 장치가 제시되어 있다. 토출 장치는 복수개의 노즐로 균일하게 액정을 공급하기 위하여, 노즐들과 연결된 바디부의 수용 공간들에 탄성 시트를 설치하고, 구 형상의 부재들로 탄성 시트를 압박하여 수용 공간들의 체적을 수축시켜, 수용 공간들 내의 액정을 노즐들로 이동시킨다.For example, in Patent Document 1 below, a discharge device capable of discharging liquid in a fine size is proposed. In order to uniformly supply liquid crystal to a plurality of nozzles, the discharge device installs elastic sheets in the accommodation spaces of the body connected to the nozzles, compresses the elastic sheets with spherical members to shrink the volume of the accommodation spaces, The liquid crystal in the receiving spaces is moved to the nozzles.
그런데, 상술한 바와 같이 액정을 이동시키는 경우, 노즐들의 내부에서 기포가 발생할 수 있고, 토출 체적(토출량)을 균일하게 하기 어렵다.However, when the liquid crystal is moved as described above, bubbles may be generated inside the nozzles, and it is difficult to make the discharge volume (discharge amount) uniform.
본 발명의 배경이 되는 기술은 하기의 특허문헌에 게재되어 있다.The background technology of the present invention is published in the following patent documents.
본 발명은 기포 발생을 억제 혹은 방지할 수 있는 원료 토출 장치 및 방법을 제공한다.The present invention provides a raw material discharging device and method capable of suppressing or preventing the generation of bubbles.
본 발명은 토출 체적을 균일하게 할 수 있는 원료 토출 장치 및 방법을 제공한다.The present invention provides a raw material discharge device and method capable of uniform discharge volume.
본 발명은 토출 시간을 줄일 수 있는 원료 토출 장치 및 방법을 제공한다.The present invention provides a raw material discharging device and method capable of reducing the discharging time.
본 발명의 실시 형태에 따른 원료 토출 장치는, 공급 관로가 형성된 바디부; 상기 바디부의 하부에 장착되고, 복수의 토출 관로가 형성된 노즐부; 및 상기 바디부를 관통하도록 설치되며, 상기 공급 관로와 중첩될 수 있고, 상기 공급 관로와 상기 복수의 토출 관로 사이를 개폐시킬 수 있도록, 토출 관로들이 형성된 영역을 커버할 수 있는 길이로 연장되는 연결 관로가 형성된 로테이션 샤프트부;를 포함한다.A raw material discharge device according to an embodiment of the present invention includes a body portion having a supply pipe; a nozzle unit mounted on a lower portion of the body unit and having a plurality of discharge channels; and a connecting pipe installed to pass through the body, overlapping the supply pipe, and extending to a length covering an area where the discharge pipes are formed so as to open and close between the supply pipe and the plurality of discharge pipes. It includes; a rotation shaft portion is formed.
상기 공급 관로는 상하 방향으로 상기 바디부를 관통하도록 형성되고, 상기 연결 관로는 상기 일 방향에 교차하는 방향으로 상기 로테이션 샤프트부를 관통하도록 형성될 수 있다.The supply conduit may be formed to pass through the body in a vertical direction, and the connection conduit may be formed to pass through the rotation shaft in a direction crossing the one direction.
상기 로테이션 샤프트부의 축 회전에 의해 상기 공급 관로와 상기 연결 관로가 상기 상하 방향으로 중첩되며 상호 연통될 수 있다.The supply conduit and the connection conduit may overlap in the vertical direction and communicate with each other by rotation of the axis of the rotation shaft part.
상기 연결 관로의 너비와 상기 공급 관로의 너비가 서로 같을 수 있다.A width of the connection pipe may be equal to a width of the supply pipe.
상기 토출 관로들은 상하 방향으로 상기 노즐부를 관통하도록 형성되며, 상기 일 방향으로 나열 배열되고, 상기 토출 관로들 중 양쪽 단부의 토출 관로들 간의 거리는 상기 공급 관로의 너비보다 작을 수 있다.The discharge conduits are formed to pass through the nozzle unit in a vertical direction, are arranged in one direction, and a distance between discharge conduits at both ends of the discharge conduits may be smaller than a width of the supply conduit.
상기 일 방향 및 상하 방향에 교차하는 타 방향으로 상기 공급 관로를 가로지르는 적어도 하나의 공급 격벽; 상기 일 방향 및 연결 관로의 관통 방향에 교차하는 방향으로 상기 연결 관로를 가로지르는 적어도 하나의 연결 격벽;을 포함할 수 있다.at least one supply barrier rib crossing the supply pipe in the other direction crossing the one direction and the vertical direction; It may include; at least one connection partition crossing the connection pipe in a direction crossing the one direction and the passage direction of the connection pipe.
상기 공급 격벽은 일 방향으로 이격된 복수 위치에서 상기 공급 관로의 내부를 복수 구간으로 구획하고, 상기 연결 격벽은 상기 공급 격벽과 상하 방향으로 정렬된 위치에서 상기 연결 관로의 내부를 복수 구간으로 구획할 수 있다.The supply bulkhead partitions the inside of the supply pipe into a plurality of sections at a plurality of positions spaced apart in one direction, and the connection partition divides the inside of the connection pipe into a plurality of sections at a position vertically aligned with the supply bulkhead. can
상기 바디부의 상부에 장착되고, 상기 공급 관로와 연통하는 버퍼 관로가 형성된 장착부; 상기 일 방향으로 이격되어 상기 장착부에 설치되고, 상기 버퍼 관로에 액상의 원료를 유입시킬 수 있는 공급부; 상기 버퍼 관로의 내부로 유입된 상기 원료의 높이를 감지하도록 상기 장착부에 설치되는 감지부;를 포함할 수 있다.a mounting portion mounted on an upper portion of the body portion and having a buffer pipe communicating with the supply pipe; a supply part spaced apart in the one direction and installed in the mounting part, and capable of introducing a liquid raw material into the buffer pipe; It may include; a sensing unit installed in the mounting part to detect the height of the raw material introduced into the inside of the buffer pipe.
상기 감지부는 정전용량 센서를 포함하고, 상기 버퍼 관로의 양측에 각각 위치할 수 있다.The sensing unit may include a capacitance sensor and may be located on both sides of the buffer pipe.
상기 연결 관로는 상기 로테이션 샤프트부를 관통하도록 형성되는 제1 관로 및 상기 제1 관로와 교차하는 방향에서 상기 로테이션 샤프트부를 관통하도록 형성되는 제2 관로를 포함할 수 있다.The connection conduit may include a first conduit formed to pass through the rotation shaft portion and a second conduit formed to pass through the rotation shaft portion in a direction crossing the first conduit.
상기 제1 관로와 상기 제2 관로는 연통되도록 형성되고, 상기 로테이션 샤프트부의 단면상에서 십자 형태로 형성될 수 있다.The first conduit and the second conduit may communicate with each other and may be formed in a cross shape on a cross section of the rotation shaft part.
본 발명의 실시 형태에 따른 원료 토출 방법은, 원료를 기판에 토출시키는 원료 토출 방법으로서, 공급 관로에 상기 원료를 유입시키는 과정; 연결 관로를 1차 축 회전시켜 상기 공급 관로를 개방시키는 과정; 상기 공급 관로 및 연결 관로를 통과한 원료를 복수의 토출 관로를 통하여 상기 기판에 토출하는 과정; 상기 연결 관로를 2차 축 회전시켜 상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정;을 포함한다.A raw material discharging method according to an embodiment of the present invention is a raw material discharging method for discharging a raw material to a substrate, comprising: introducing the raw material into a supply pipe; Opening the supply pipe by first rotating the connecting pipe; discharging the raw material passing through the supply conduit and the connection conduit to the substrate through a plurality of discharge conduits; and closing the supply pipe by rotating the connection pipe on a second axis.
상기 원료를 유입시키는 과정은, 상기 공급 관로의 상부에 연결된 버퍼 관로로 상기 원료를 1차 유입시키는 과정; 상하 방향으로 형성된 상기 공급 관로로 상기 원료를 2차 유입시키는 과정;을 포함할 수 있다.The process of introducing the raw material may include first introducing the raw material into a buffer pipe connected to an upper part of the supply pipe; It may include; a process of secondarily introducing the raw material into the supply pipe formed in the vertical direction.
상기 원료를 유입시키는 과정은, 상기 버퍼 관로로 1차 유입되는 상기 원료의 높이를 상기 버퍼 관로의 양측에서 감지하는 과정; 상기 감지 결과에 따라 상기 공급 관로의 개방 시점을 조절하는 과정;을 포함할 수 있다.The process of introducing the raw material may include: sensing a height of the raw material primarily introduced into the buffer pipe from both sides of the buffer pipe; The process of adjusting the opening time of the supply pipe according to the detection result; may include.
상기 공급 관로를 개방시키는 과정은, 일 방향에 교차하는 방향으로 형성된 상기 연결 관로를 일 방향 축을 중심으로 회전시키는 과정; 상기 연결 관로를 상기 공급 관로에 상기 상하 방향으로 중첩시켜 상호 연통시키는 과정;을 포함하고, 상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정은, 상기 연결 관로를 일 방향 축을 중심으로 회전시키는 과정; 상기 연결 관로와 상기 공급 관로를 교차시켜 상호 연통을 해제하는 과정;을 포함할 수 있다.The process of opening the supply conduit may include rotating the connection conduit formed in a direction crossing one direction about an axis in one direction; and overlapping the connection conduit with the supply conduit in the vertical direction to communicate with each other, wherein the closing of the supply conduit includes rotating the connection conduit about an axis in one direction; It may include; a process of disconnecting the mutual communication by crossing the connection pipe and the supply pipe.
상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정은, 상기 연결 관로에 원료를 저장하는 과정;을 포함하고, 상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정 이후에, 상기 공급 관로를 개방시키는 과정, 상기 원료를 토출하는 과정, 및 상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정을 순차적으로 반복 수행할 수 있다.The process of closing the supply pipe may include storing raw material in the connection pipe, and after closing the supply pipe, opening the supply pipe, discharging the raw material, and the The process of closing the supply pipe may be sequentially and repeatedly performed.
상기 연결 관로는 서로 교차 및 연통되도록 형성되는 제1 관로 및 제2 관로를 포함하고, 상기 원료를 저장하는 과정은, 상기 제1 관로 및 제2 관로에 원료를 저장할 수 있다.The connecting conduit includes a first conduit and a second conduit formed to cross and communicate with each other, and in the process of storing the raw material, the raw material may be stored in the first conduit and the second conduit.
본 발명의 실시 형태에 따르면, 밸브로서 슬롯 형상으로 연결 관로가 형성된 로테이션 샤프트부를 사용하여 노즐부의 토출 관로들에 액상의 원료 예컨대 액정을 공급함으로써, 액정에 기포가 발생하는 것을 억제 혹은 방지할 수 있고, 토출 관로들로부터 토출되는 액정의 토출 체적을 균일 및 동일하게 조절할 수 있다. 그리고 로테이션 샤프트부의 연결 관로에 액정을 저장함으로써, 밸브의 개방 후 토출 관로들에서 액정이 토출되기까지의 시간인 토출 시간을 줄일 수 있다. 즉, 밸브의 개폐 응답을 신속하게 할 수 있다. 이에, 기판상에 액정을 원활하게 토출시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, by supplying a liquid raw material, such as liquid crystal, to the discharge channels of the nozzle unit using a rotation shaft portion having a slot-shaped connection pipe as a valve, it is possible to suppress or prevent bubbles from forming in the liquid crystal, , it is possible to uniformly and equally adjust the discharge volume of the liquid crystal discharged from the discharge conduits. In addition, by storing the liquid crystal in the connection pipe of the rotation shaft part, the discharge time, which is the time until the liquid crystal is discharged from the discharge pipes after the opening of the valve, can be reduced. That is, the opening/closing response of the valve can be made promptly. Accordingly, the liquid crystal can be smoothly discharged onto the substrate.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 종단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 횡단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 부분 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 부분 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제1 변형 예에 따른 슬롯 형상의 연결 관로들이 형성된 로테이션 샤프트부의 사시도 및 횡단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 변형 예에 따른 원료 토출 장치의 종단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 작동도이다.1 is a schematic diagram of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention.
2 is a longitudinal cross-sectional view of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention.
4 is a partial perspective view of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention.
5 is a partially exploded perspective view of a raw material discharge device according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view and a cross-sectional view of a rotation shaft unit in which slot-shaped connecting pipes are formed according to a first modified example of the present invention.
7 is a longitudinal sectional view of a raw material discharging device according to a second modified example of the present invention.
8 is an operation diagram of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 본 발명의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 도면은 과장될 수 있고, 도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, and will be implemented in a variety of different forms. Only the embodiments of the present invention are provided to complete the disclosure of the present invention and to fully inform those skilled in the art of the scope of the invention. In order to explain an embodiment of the present invention, the drawings may be exaggerated, and the same reference numerals in the drawings refer to the same elements.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 개략도이다. 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 종단면도이다. 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 횡단면도이다. 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 부분 사시도이다. 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 부분 분해 사시도이다.1 is a schematic diagram of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention. 2 is a longitudinal cross-sectional view of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention. 4 is a partial perspective view of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention. 5 is a partially exploded perspective view of a raw material discharge device according to an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치를 상세하게 설명한다.A raw material discharging device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 5 .
본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치는, 공급 관로(110)가 형성된 바디부(100), 바디부(100)의 하부에 장착되고, 복수의 토출 관로(210)가 형성된 노즐부(200), 및 바디부(100)를 관통하도록 설치되며, 공급 관로(110)와 중첩될 수 있고, 공급 관로(110)와 복수의 토출 관로(210) 사이를 개폐시킬 수 있도록, 토출 관로(210)들이 형성된 영역을 커버할 수 있는 길이로 연장되는 연결 관로(310)가 형성된 로테이션 샤프트부를 포함한다. 또한, 원료 토출 장치는, 바디부(100)의 상부에 장착되고, 공급 관로(110)와 연통하는 버퍼 관로(410)가 형성된 장착부(400) 및 일 방향으로 이격되어 장착부(400)에 설치되고, 버퍼 관로(410)에 액상의 원료를 유입시킬 수 있는 공급부(500)를 더 포함할 수 있다.A raw material discharge device according to an embodiment of the present invention includes a
여기서, 바디부(100)는 일 방향(Y축 방향)으로 연장되는 슬롯 형상의 공급 관로(110)가 형성된 바디부(100)일 수 있다. 노즐부(200)는 바디부(100)의 하부에 장착되고, 공급 관로(110)와 연통하는 홀 형상의 토출 관로(210)들이 형성된 노즐부(200)일 수 있다. 로테이션 샤프트부(300)는 바디부(100)를 일 방향으로 관통하도록 설치되고, 공급 관로(110)와 중첩되며, 공급 관로(110)를 개폐시킬 수 있는 슬롯 형상의 연결 관로(310)가 형성된 로테이션 샤프트부(300)일 수 있다.Here, the
장착부(400)는 바디부(100)의 상부에 장착되고, 공급 관로(110)와 연통하는 슬롯 형상의 버퍼 관로(410)가 형성된 장착부(400)일 수 있다. 그리고 공급부(500)는 일 방향으로 이격되어 장착부(400)에 설치되고, 버퍼 관로(410)에 액상의 원료를 유입시킬 수 있는 공급부(500)일 수 있다.The
원료는 액정을 포함할 수 있다. 물론, 원료는 액정에 한정하는 것이 아니고, 다양한 물질의 적용이 가능하다. 한편, 원료 토출 장치는 원료 대신에 다양한 물질 예컨대 액상물을 토출하는 장치로도 사용될 수도 있다. 즉, 원료 토출 장치는 원료 외에도 다양한 물질을 토출할 수 있다.The raw material may include a liquid crystal. Of course, the raw material is not limited to liquid crystal, and various materials can be applied. Meanwhile, the raw material discharging device may also be used as a device for discharging various substances, for example, liquid materials instead of raw materials. That is, the raw material discharging device may discharge various materials other than the raw material.
바디부(100)는 기판(미도시)이 안착되는 스테이지(미도시)의 상측으로 이격되어 배치될 수 있다. 기판은 예컨대 박막 트렌지스터 및 화소 전극이 형성된 기판일 수 있다. 물론, 기판은 상술한 바에 한정하지 아니하며, 다양한 기판이 적용 가능하다. 또한, 원료 토출 장치는 기판 외에도 다양한 처리물에 각종 물질을 토출시킬 수 있다.The
바디부(100)는 수평 이동부(미도시)에 지지되고, 수평 이동부에 의하여 수평 이동할 수 있다. 수평 이동은 일 방향 이동과 타 방향(X축 방향) 이동을 포함할 수 있다. 한편, 수평 이동부의 설치 구조 및 작동 방식은 특별히 한정하지 않는다.The
일 방향을 좌우 방향이라고 지칭할 수도 있고, 타 방향을 전후 방향이라 지칭할 수도 있다. 일 방향과 타 방향을 통칭하여 수평 방향이라고 할 수도 있다. 물론, 방향의 정의는 다양할 수 있다. 예컨대 일 방향을 제1축 방향이라 하고, 타 방향을 제2축 방향이라 할 수 있다. 이때, 상하 방향을 제3축 방향이라 할 수 있다.One direction may be referred to as a left-right direction, and the other direction may be referred to as a front-back direction. One direction and the other direction may be collectively referred to as a horizontal direction. Of course, the definition of direction can vary. For example, one direction may be referred to as a first axis direction, and the other direction may be referred to as a second axis direction. In this case, the vertical direction may be referred to as the third axis direction.
바디부(100)는 예컨대 일 방향으로 연장된 각기둥 형태일 수 있다. 물론, 바디부(100)의 형태는 다양할 수 있다. 바디부(100)는 상부에 플랜지가 형성될 수 있다. 바디부(100)에는 공급 관로(110)가 형성될 수 있다.The
공급 관로(110)는 일 방향으로 연장된 슬롯 형상일 수 있다. 공급 관로(110)는 상하 방향(Z축 방향)으로 바디부(100)를 관통하도록 형성될 수 있다. 공급 관로(110)는 상부에서 하부로 갈수록 타 방향 폭('두께'라고도 한다)이 좁아질 수 있다. 공급 관로(110)의 형상은 다양할 수 있다.The
공급 관로(110)의 상측 입구는 바디부(100)의 상면에 위치하고, 하측 출구는 바디부(100)의 하면에 위치할 수 있다. 한편, 바디부(100)는 상면에 실링홈(140)이 형성될 수 있다. 실링홈(140)은 공급 관로(110)의 상측 입구를 둘러감아 링 형상으로 형성될 수 있다. 실링홈(140)에 실링(130)이 구비될 수 있다. 실링(130)은 바디부(100)의 상면과 장착부(400)의 하면 사이를 밀봉시키는 역할을 한다.The upper inlet of the
공급 관로(110)는 원료를 하방으로 통과시킬 수 있다. 공급 관로(110)를 통과한 원료는 노즐부(200)를 통하여 기판에 액적의 형태로 토출될 수 있다.The
노즐부(200)는 일 방향으로 연장된 바 혹은 플레이트 형상일 수 있다. 노즐부(200)는 바디부(100)의 하부에 장착될 수 있다. 더욱 구체적으로, 바디부(100)는 하면에 일 방향으로 오목홈이 형성될 수 있다. 이때, 노즐부(200)는 오목홈에 삽입될 수 있다. 즉, 바디부(100)의 하면에 노즐부(200)가 장착될 수 있다.The
노즐부(200)의 일 방향 너비('길이'라고도 한다)는 바디부(100)의 일 방향 너비와 같을 수 있고, 타 방향 폭은 바디부(100)의 타 방향 폭보다 작을 수 있다. 물론, 이 같은 크기 관계는 실시 예의 설명을 위한 일 예시일 뿐이다. 즉, 상술한 크기 관계는 다양하게 변경될 수 있다. 한편, 노즐부(200)와 오목홈의 접촉면에는 실링(미도시)이 구비될 수 있다.The width (also referred to as 'length') of the
토출 관로(210)들은 홀 형상으로 형성될 수 있다. 토출 관로(210)들은 상하 방향으로 노즐부(200)를 관통하도록 형성될 수 있다. 이때, 토출 관로(210)들은 일 방향으로 배열될 수 있다. 토출 관로(210)들은 공급 관로(110)의 하측 출구에 연통할 수 있다. 이때, 하나의 공급 관로(110)가 복수개의 토출 관로(210)에 대응할 수 있다. 즉, 복수개의 토출 관로(210)는 하나의 공급 관로(110)로부터 원료를 공급받을 수 있다.The
토출 관로(210)들 중 양측 단부의 토출 관로들 예컨대 최외각에 배열된 토출 관로들 간의 최대 거리는 공급 관로(110)의 일 방향 너비보다 작을 수 있다. 이때, 최외각 토출 관로들은 노즐부(200)의 일 방향의 양측 가장자리에 가장 가깝게 위치하는 각각의 토출 관로들을 지칭한다.Among the
최외각 토출 관로들은 공급 관로(210)의 일 방향의 양측 가장자리에서 일 방향의 중심을 향하는 방향으로 각각 소정 길이만큼 이격된 위치에 배열될 수 있다. 따라서, 최외각 토출 관로들과 그 내측의 토출 관로들이 같은 속도로 낙하되는 원료를 공급받을 수 있다. 공급 관로(110)를 통과한 원료는 토출 관로(210)들을 통과하여 액적의 형태로 기판에 토출될 수 있다. 이때, 원료의 토출을 단속하도록 바디부(100)에 밸브가 구비될 수 있다.The outermost discharge conduits may be arranged at positions spaced apart from each other by a predetermined length in a direction from both edges of one direction of the
본 발명의 실시 예에서는 슬롯 형상으로 연결 관로(310)가 형성된 로테이션 샤프트부(300)를 상술한 밸브로 사용할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예에서는 원료에 기포가 발생하는 것을 억제 혹은 방지할 수 있고, 원료의 토출 체적을 균일 및 동일하게 조절할 수 있고, 연결 관로(310)에 저장되는 원료를 토출 관로(210)에 빠르게 공급시켜 토출 시간을 줄일 수 있다.In an embodiment of the present invention, the
로테이션 샤프트부(300)를 로테이션 샤프트 밸브라고 지칭할 수도 있고, 간단히 밸브라고 지칭할 수도 있다.The
로테이션 샤프트부(300)는 일 방향으로 연장된 원통 형상일 수 있다. 로테이션 샤프트부(300)는 노즐부(200)의 상측에서 바디부(100)의 하부를 일 방향으로 관통하도록 설치될 수 있다. 더욱 구체적으로, 바디부(100)의 하부를 일 방향으로 관통하여 밸브 장착홀(150)이 형성될 수 있다. 그리고 밸브 장착홀(150)에 로테이션 샤프트부(300)가 일 방향 축을 중심으로 축 회전(θ)이 가능하게 삽입될 수 있다. 로테이션 샤프트부(300)의 외주면과 밸브 장착홀(150)의 내주면 사이에 실링(미도시)이 구비될 수 있다.The
로테이션 샤프트부(300)는 일 방향의 일단부가 바디부(100)의 외측으로 돌출될 수 있다. 로테이션 샤프트부(300)의 돌출부(즉, 일단부)에 모터(미도시)가 연결될 수 있고, 모터에 의해 일 방향으로의 축 회전이 정밀하게 제어될 수 있다.One end of the
로테이션 샤프트부(300)는 공급 관로(110)와 중첩될 수 있다. 즉, 로테이션 샤프트부(300)는 공급 관로(110)의 하부를 일 방향으로 가로지르도록 배치될 수 있다. 이때, 로테이션 샤프트부(300)의 일 방향 너비는 공급 관로(110)의 일 방향 너비보다 클 수 있다.The
로테이션 샤프트부(300)에는 공급 관로(110)를 개폐시킬 수 있는 슬롯 형상의 연결 관로(310)가 형성될 수 있다. 이때, 연결 관로(310)는 공급 관로(110)와 토출 관로(210)들의 사이를 개폐시킬 수 있도록 토출 관로(210)들이 형성된 영역을 커버할 수 있는 길이로 연장될 수 있다.A slot-shaped
즉, 연결 관로(310)는 공급 관로(110)가 연장된 방향과 같은 방향인 일 방향으로 연장될 수 있다. 그리고 연결 관로(310)의 일 방향 너비와 공급 관로(110)의 일 방향 너비가 서로 같을 수 있다. 원료는 공급 관로(110)의 상부를 통과하여 연결 관로(310)로 유입되고, 공급 관로(110)의 하부를 거쳐서 토출 관로(210)들에 공급될 수 있다. 이처럼 하나의 연결 관로(310)가 토출 관로(210)들에 대응함에 따라 토출 관로(210)들이 하나의 연결 관로(310)를 통과한 원료를 공급받을 수 있다. 이에, 토출 관로(310)들에서 토출되는 원료의 토출량을 균일하게 조절할 수 있고, 동일하게 조절할 수 있다.That is, the
연결 관로(310)는 일 방향에 교차하는 방향으로 로테이션 샤프트부(300)를 관통하도록 형성될 수 있다. 이때, 일 방향에 교차하는 방향은 상하 방향 및 타 방향을 포함할 수 있다. 또한, 일 방향에 교차하는 방향은 상하 방향 또는 타 방향과 소정 각도를 이루며 일 방향에 교차하는 다양한 방향을 더 포함할 수 있다. 로테이션 샤프트부(300)의 축 회전 각도에 따라 연결 관로(310)가 관통된 방향이 달라질 수 있다. 예컨대 로테이션 샤프트부(300)의 축 회전 각도에 따라 연결 관로(310)의 관통 방향이 상하 방향이 될 수도 있고, 타 방향이 될 수도 있고, 상하 방향 또는 타 방향과 소정 각도를 이루면서 일 방향에 교차하는 소정의 방향이 될 수도 있다. 즉, 연결 관로(310)는 일 방향에 교차하는 방향들 중 선택된 어느 한 방향으로 로테이션 샤프트부(300)를 관통하도록 형성될 수 있다.The
한편, 연결 관로(310)는 관통 방향의 일측에서 타측으로 갈수록, 일 방향 및 관통 방향에 교차하는 방향으로의 간격이 좁아질 수 있다. 더욱 구체적으로 설명하면, 연결 관로(310)의 관통 방향이 상하 방향일 때, 연결 관로(310)는 상측 단부에서 하측 단부로 갈수록 타 방향 폭이 좁아질 수 있다.Meanwhile, the
여기서, 연결 관로(310)가 간격이 넓은 일측이 간격이 좁은 타측보다 높이가 높도록 하여 상하 방향으로 정렬될 때, 공급 관로(110)의 내벽과 연결 관로(310)의 내벽은 매끄럽게 연결될 수 있고, 공급 관로(110)의 내벽과 연결 관로(310)의 내벽 사이에 단차가 발생하지 않는다.Here, when the connecting
연결 관로(310)는 일 방향 축을 중심으로 회전하며 공급 관로(110)를 개폐시키고, 토출 관로(210)들은 공급 관로(110)로부터 액상의 원료를 공급받아 하측으로 토출시킬 수 있다. 이를 아래에서 더욱 구체적으로 설명한다.The
로테이션 샤프트부(300)의 축 회전에 의해 공급 관로(110)와 연결 관로(310)가 상하 방향으로 중첩되며 상호 연통될 수 있다. 한편, 이 때의 축 회전을 1차 축 회전이라고 한다. 즉, 공급 관로(110)와 연결 관로(310)를 상하 방향으로 중첩시키도록 로테이션 샤프트부(300)가 소정의 회전 방향으로 축 회전할 때, 이러한 축 회전을 축 회전을 1차 축 회전이라고 한다. 또한, 이 때의 공급 관로(110)와 연결 관로(310)의 연통 상태를 밸브개방(열림) 상태라고 한다.The
반면, 로테이션 샤프트부(300)의 축 회전에 의해 공급 관로(110)와 연결 관로(310)가 소정 각도를 이루면서 교차할 수 있고, 상호 연통이 해제될 수 있다. 이 때의 축 회전을 2차 축 회전이라 한다. 즉, 공급 관로(110)와 연결 관로(310)가 소정 각도로 교차하도록 로테이션 샤프트부(300)가 소정의 회전 방향으로 축 회전할 때, 이러한 축 회전을 축 회전을 2차 축 회전이라고 한다. 그리고 이 때의 공급 관로(110)와 연결 관로(310)의 연통 해제 상태를 밸브폐쇄(닫힘) 상태라고 한다.On the other hand, the
즉, 로테이션 샤프트부(300)의 1차 및 2차 축 회전에 의해 공급 관로(110)가 개방 및 폐쇄될 수 있다. 공급 관로(110)가 연결 관로(310)에 의해 개방되면, 원료가 토출 관로(210)들로 공급될 수 있다. 또한, 공급 관로(110)가 폐쇄되면, 원료가 토출 관로(210)들로 공급되지 않는다. 이때, 연결 관로(310)에는 원료가 저장될 수 있다. 이후, 공급 관로(110)가 연결 관로(310)에 의해 개방되면, 연결 관로(310)에 저장된 원료가 우선적으로 토출 관로(210)들로 공급되고, 그리고 공급 관로(110)를 통과한 원료가 연결 관로(310)를 통과하여 토출 관로(210)들로 공급될 수 있다.That is, the
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치는 공급 격벽(120) 및 연결 격벽(320)을 더 구비할 수 있다. 상세하게는, 공급 격벽(120) 및 연결 격벽(320)은 공급 관로(110) 및 연결 관로(310)의 내측에 각각 구비될 수 있고, 원료의 타 방향의 흐름을 억제시키면서, 원료의 상하 방향의 흐름을 안정화시키는 역할을 한다.Meanwhile, the raw material discharge device according to the embodiment of the present invention may further include a
공급 격벽(120)은 일 방향 및 상하 방향에 교차하는 방향인 타 방향으로 공급 관로(110)를 가로지르도록 공급 관로(110)의 내부에 형성될 수 있다. 여기서, 공급 격벽(120)은 적어도 하나 이상 형성될 수 있다. 본 발명의 실시 예에서는 두 개의 공급 격벽을 예시한다. 공급 격벽(120)은 일 방향으로 이격된 복수 위치에서 공급 관로(110)의 내부를 복수 구간으로 구획할 수 있다. 복수 구간의 일 방향 너비는 다양할 수 있고, 서로 동일할 수도 있다. 공급 격벽(120)은 상부와 하부의 일 방향의 너비가 서로 상이할 수 있다. 예컨대 공급 격벽(120)은 상부의 일 방향의 너비가 더 넓고, 하부의 일 방향의 너비가 더 좁을 수 있다. 이때, 공급 격벽(120)은 상부면이 상측으로 볼록할 수 있고, 하부면이 평평할 수 있다. 즉, 공급 격벽(120)은 예컨대 일 방향의 단면 형태가 대칭형의 에어포일 형태일 수 있다.The
연결 격벽(320)은 일 방향 및 연결 관로(310)의 관통 방향에 교차하는 방향으로 연결 관로(310)를 가로지르도록 연결 관로(310)의 내부에 적어도 하나 이상 형성될 수 있다. 예컨대 연결 격벽(320)은 공급 격벽(120)의 개수와 같은 개수일 수 있다. 연결 격벽(320)은 공급 격벽(120)과 상하 방향으로 정렬된 위치에서 연결 관로(320)의 내부를 복수 구간으로 구획할 수 있다. 즉, 연결 격벽(320)은 공급 격벽(120)의 직하에 각기 형성되어 연결 관로(320)의 내부를 복수 구간으로 구획할 수 있다. 연결 격벽(320)은 상부의 일 방향의 너비가 하부의 일 방향의 너비보다 더 넓을 수 있다. 이때, 연결 격벽(320)은 일 방향의 단면 형태가 사다리꼴 형태일 수 있다. 로테이션 샤프트부(300)의 1차 축 회전 시 공급 격벽(120)과 연결 격벽은 상하 방향으로 연결될 수 있다.At least one
장착부(400)는 일 방향으로 연장된 블록 형상일 수 있다. 장착부(400)는 바디부(100)의 상부에 장착될 수 있다. 더욱 구체적으로, 장착부(400)는 바디부(100)의 상면에 장착될 수 있다. 장착부(400)는 바디부(100)와 공급부(500) 예컨대 원료 공급 포트를 연결시키는 역할을 한다.The mounting
장착부(400)에는 공급 관로(110)와 연통하는 슬롯 형상의 버퍼 관로(410)가 형성될 수 있다. 이때, 버퍼 관로(410)는 장착부(400)의 하부면을 상측으로 관통하도록 형성될 수 있고, 일 방향으로 연장될 수 있다. 버퍼 관로(410)는 장착부(400)의 하부에 형성될 수 있다. 버퍼 관로(410)와 공급 관로(110)는 상하 방향으로 정렬되어 상호 연통할 수 있다. 버퍼 관로(410)의 일 방향 너비는 공급 관로(110)의 일 방향 너비와 같을 수 있다. 버퍼 관로(410)의 형상은 슬롯 형상 외에도 다양할 수 있다.A slot-shaped
공급부(500)는 복수개 구비되며, 일 방향으로 각기 이격되고, 장착부(400)의 상부를 관통하도록 설치될 수 있다. 공급부(500)는 버퍼 관로(410)에 원료를 유입시키는 역할을 한다. 이를 위해, 공급부(500)를 상하 방향으로 관통하도록 유입 관로(520)가 형성될 수 있다. 유입 관로(520)의 상단은 원료 공급관(미도시)에 연결될 수 있고, 원료 공급관은 원료 공급원에 연결될 수 있다. 원료 공급원은 에어 가압 방식으로 원료 공급관에 원료를 공급할 수 있다. 원료는 에어 가압에 의해 원료 공급관에서 유입 관로(520)로 공급될 수 있다. 유입 관로(520)의 하단은 버퍼 관로(410)에 연결될 수 있다. 유입 관로(520)를 통과한 원료는 버퍼 관로(410)에 수용될 수 있다.A plurality of
한편, 공급부(500)의 하부 외주면에는 나사산(510)이 형성될 수 있다. 공급부(500)는 나사산(510)을 통하여 장착부(400)에 나사 결합될 수 있다. 공급부(500)와 장착부(400)의 결합을 지지하도록, 공급부(500)의 하부 외주면의 상측에 결합 부재(530) 예컨대 볼트가 구비될 수 있다.Meanwhile, a
도 6의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제1 변형 예에 따른 로테이션 샤프트부의 사시도 및 횡단면도이다. 도 6을 참조하여, 본 발명의 제1 변형 예에 따른 원료 토출 장치를 상세하게 설명한다.6 (a) and (b) are perspective and cross-sectional views of a rotation shaft part according to a first modified example of the present invention. Referring to Fig. 6, a raw material discharging device according to a first modified example of the present invention will be described in detail.
본 발명의 제1변형 예에 따르면, 로테이션 샤프트부(300A)는 연결 관로의 형태가 상술한 실시 예의 로테이션 샤프트부(300)와 다를 수 있다. 예컨대 본 발명의 제1 변형 예에 따른 연결 관로는 일 방향에 교차하면서 상호 교차하는 복수의 방향으로 로테이션 샤프트부(300A)를 관통하도록 형성될 수 있다.According to the first modified example of the present invention, the shape of the connection pipe of the
즉, 연결 관로는 일 방향에 교차하는 방향으로 로테이션 샤프트부(300)를 관통하도록 형성되는 제 1관로(310), 일 방향 및 제1 관로(310)의 관통 방향과 교차하는 방향에서 로테이션 샤프트부(300)를 관통하도록 형성되는 제2 관로(330)를 포함할 수 있다. 제1 관로(310) 및 제2 관로(330)는 로테이션 사프트부(300A)의 중심부에서 서로 연통되도록 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 관로(310) 및 제2 관로(330)는 로테이션 샤프트부(300A)의 단면상에서 십자 형태로 형성되도록 상호 직교할 수 있다.That is, the connection conduit is a
제1 관로(310)와 제2 관로(330)의 내부에 원료를 저장함에 따라 더 많은 원료를 저장할 수 있고, 또한, 로테이션 샤프트부(300A)의 회전 각도를 실시 예의 경우보다 절반으로 줄여도 공급 관로(110)와 연결 관로의 연결이 가능하기 때문에, 밸브개방 상태와 밸브폐쇄 상태의 전환이 실시 예보다 빠를 수 있다. 또한, 원료의 토출 속도가 서로 다르도록, 제1 관로(310)의 간격과 제2 관로(330)의 간격의 크기를 서로 다르게 형성할 수도 있고, 또한, 제1 관로(310)의 내벽과 제2 관로(330)의 내벽의 기울기를 서로 다르게 할 수도 있다.As the raw material is stored inside the
도 7은 본 발명의 제2 변형 예에 따른 원료 토출 장치의 종단면도이다. 도 7을 참조하여, 본 발명의 제2 변형 예에 따른 원료 토출 장치를 상세하게 설명한다.7 is a longitudinal sectional view of a raw material discharging device according to a second modified example of the present invention. Referring to Fig. 7, a raw material discharging device according to a second modified example of the present invention will be described in detail.
본 발명의 제2변형 예에 따른 원료 토출 장치는 감지부(600)를 더 포함할 수 있다. 감지부(600)는 버퍼 관로(410)의 내부로 유입된 원료의 높이를 감지하도록 장착부(400)에 설치될 수 있다. 감지부(600)는 정전용량 센서를 포함할 수 있다. 물론, 감지부(600)는 버퍼 관로(410)의 내부의 원료 높이를 감지할 수 있는 센서이면 다양한 센서가 채용되어도 무방하다. 정전용량 센서는 버퍼 관로(410)의 일 방향의 양측에 각각 위치하도록 장착부(400)의 측벽에 설치될 수 있다.The raw material discharging device according to the second modified example of the present invention may further include a
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 장치의 작동도이다. 도 8의 (a)는 로테이션 샤프트부의 밸브폐쇄(닫힘) 상태를 보여주는 작동도이고, 또한, 도 8의 (b)는 로테이션 샤프트부의 밸브개방(열림) 상태를 보여주는 작동도이다.8 is an operation diagram of a raw material discharging device according to an embodiment of the present invention. Figure 8 (a) is an operation diagram showing a valve closed (closed) state of the rotation shaft, and also, Figure 8 (b) is an operation diagram showing a valve open (open) state of the rotation shaft.
도 1 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 방법을 상세하게 설명한다.Referring to FIGS. 1 to 8 , a raw material discharging method according to an embodiment of the present invention will be described in detail.
본 발명의 실시 예에 따른 원료 토출 방법은, 원료를 기판에 토출시키는 원료 토출 방법으로서, 공급 관로에 원료를 유입시키는 과정, 연결 관로를 1차 축 회전시켜 공급 관로를 개방시키는 과정, 공급 관로 및 연결 관로를 통과한 원료를 복수의 토출 관로들을 통하여 기판에 토출하는 과정, 연결 관로를 2차 축 회전시켜 공급 관로를 폐쇄하는 과정을 포함한다.A raw material discharge method according to an embodiment of the present invention is a raw material discharge method for discharging the raw material to a substrate, the process of introducing the raw material into the supply pipe, the process of opening the supply pipe by first rotating the connection pipe, the supply pipe and The process of discharging the raw material passing through the connection pipe to the substrate through the plurality of discharge pipes, and the process of closing the supply pipe by rotating the connection pipe on a second axis.
여기서, 원료는 액상의 원료로서, 액정을 포함할 수 있다. 물론, 원료 토출 방법은 원료 외에도 다양한 물질을 토출시키는 것에 사용될 수 있다.Here, the raw material is a liquid raw material and may include a liquid crystal. Of course, the raw material discharge method may be used to discharge various materials other than the raw material.
우선, 원료 토출 장치의 하측에 배치된 스테이지(미도시)에 기판(미도시)을 안착시킨다.First, a substrate (not shown) is placed on a stage (not shown) disposed below the raw material discharge device.
이후, 공급 관로(110)에 원료(L)를 유입시키는 과정을 수행한다. 즉, 일 방향으로 연장된 슬롯 형상의 공급 관로(110)에 원료(L)를 유입시킨다. 공급부(500)를 통하여 장착부(400)의 버퍼 관로(410)측으로 원료를 가압 공급한다. 그리고 일 방향으로 연장되며 공급 관로(110)의 상부에 연결된 슬롯 형상의 버퍼 관로(410)로 원료(L)를 1차 유입시킨다. 그리고 상하 방향으로 형성된 공급 관로(110)로 원료(L)를 2차 유입시킨다. 로테이션 샤프트부(300)는 밸브폐쇄 상태를 유지한다. 원료(L)는 공급 관로(110)의 상부 및 버퍼 관로(410)에 수용될 수 있다.Thereafter, a process of introducing the raw material L into the
이어서, 원료(L)를 2차 유입시키는 과정 중에 감지부(600)를 이용하여 버퍼 관로(410)로 1차 유입되는 원료(L)의 높이를 버퍼 관로(410)의 양측에서 감지한다. 그리고 감지부(600)의 감지 결과에 따라 공급 관로(110)의 개방 시점을 조절한다.Subsequently, during the process of secondarily introducing the raw material L, the
즉, 감지부(600)로 버퍼 관로(410) 내의 원료 높이를 감지하여, 소정의 높이를 만족하면, 로테이션 샤프트부(300)를 밸브개방 상태로 전환시킬 수 있다. 한편, 감지부(600)에서 원료 높이를 감지하여, 감지된 원료 높이가 일 방향으로 불균일한 경우, 원료 공급원에서 각 공급부(500)로의 원료 공급을 조절하여 원료 높이가 일 방향으로 균일하도록 제어할 수 있다.That is, the height of the raw material in the
이후, 연결 관로(310)를 1차 축 회전시켜 공급 관로(110)를 개방시키는 과정을 수행한다. 즉, 공급 관로(110)를 일 방향으로 가로지르도록 배치된 슬롯 형상의 연결 관로(310)를 1차 축 회전시켜 공급 관로(110)를 개방시킨다. 구체적으로, 일 방향에 교차하는 방향으로 형성된 연결 관로(310)를 일 방향 축을 중심으로 1차 축 회전시킨다. 그리고 연결 관로(310)를 공급 관로(110)에 상하 방향으로 중첩시켜 상호 연통시킨다.Thereafter, a process of opening the
이후, 공급 관로(110) 및 연결 관로(310)를 통과한 원료(L)를 복수개의 토출 관로(210)를 통하여 기판에 토출하는 과정을 수행한다. 즉, 공급 관로(110)의 하부에 연결된 홀 형상의 토출 관로(210)들을 통하여 기판에 원료(L)를 액적(L')의 형태로 토출한다.Thereafter, a process of discharging the raw material (L) passing through the
이후, 연결 관로(310)를 2차 축 회전시켜 공급 관로를 폐쇄하는 과정을 수행한다. 즉, 연결 관로(310)를 일 방향 축을 중심으로 회전시키고, 연결 관로(310)와 공급 관로(110)를 교차시켜 상호 연통을 해제한다.Thereafter, a process of closing the supply pipe by rotating the
이러한 과정을 수행하는 중에, 연결 관로(310)에 원료(L)를 저장하는 과정을 수행할 수 있다. 이때, 제1 변형 예에 따른 원료 토출 장치를 이용하여 이러한 과정을 수행할 때, 연결 관로가 서로 교차 및 연통되도록 형성되는 제1 관로(310) 및 제2 관로(330)를 포함함에 따라, 십자 형태로 서로 교차하는 제1 관로(310) 및 제2 관로(330)에 원료를 저장할 수 있다. 물론, 실시 예의 경우에는, 하나의 연결 관로(310)에 원료(L)를 저장할 수 있다.During this process, a process of storing the raw material L in the connecting
공급 관로(110)를 폐쇄한 이후에, 공급 관로(110)를 개방시키는 과정, 원료를 토출하는 과정 및 공급 관로(110)를 폐쇄하는 과정을 순차적으로 반복 수행하며 기판상의 원하는 영역에 원료를 적하시킬 수 있다.After closing the
본 발명의 실시 형태에 따르면, 원료에 기포가 발생하는 것을 억제 혹은 방지할 수 있고, 원료의 토출 체적을 균일 및 동일하게 조절할 수 있고, 원료의 토출 시간을 줄일 수 있다. 이에, 기판상에 액정을 원활하게 토출시킬 수 있다.According to the embodiment of the present invention, it is possible to suppress or prevent the generation of bubbles in the raw material, to uniformly and equally adjust the discharge volume of the raw material, and to reduce the time required to discharge the raw material. Accordingly, the liquid crystal can be smoothly discharged onto the substrate.
본 발명의 상기 실시 예는 본 발명의 설명을 위한 것이고, 본 발명의 제한을 위한 것이 아니다. 본 발명의 상기 실시 예에 개시된 구성과 방식은 서로 결합하거나 교차하여 다양한 형태로 변형될 것이고, 이 같은 변형 예들도 본 발명의 범주로 볼 수 있음을 주지해야 한다. 즉, 본 발명은 청구범위 및 이와 균등한 기술적 사상의 범위 내에서 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 발명이 해당하는 기술 분야에서의 업자는 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.The above embodiments of the present invention are for explanation of the present invention and are not intended to limit the present invention. It should be noted that the configurations and methods disclosed in the above embodiments of the present invention may be modified in various forms by combining or crossing each other, and such modified examples may also be considered within the scope of the present invention. That is, the present invention will be implemented in a variety of different forms within the scope of the claims and equivalent technical ideas, and various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention by those skilled in the art to which the present invention pertains. will be able to understand
100: 바디부 110: 공급 관로
200: 노즐부 210: 토출 관로
300: 로테이션 샤프트부 310: 연결 관로
400: 장착부 410: 버퍼 관로
500: 공급부 520: 유입 관로100: body part 110: supply pipe
200: nozzle part 210: discharge pipe
300: rotation shaft part 310: connection pipe
400: mounting part 410: buffer pipe
500: supply unit 520: inlet pipe
Claims (17)
상기 바디부의 하부에 장착되고, 복수의 토출 관로가 형성된 노즐부;
상기 바디부를 일 방향으로 관통하도록 설치되며, 상기 공급 관로와 중첩될 수 있고, 상기 공급 관로와 상기 복수의 토출 관로 사이를 개폐시킬 수 있도록, 토출 관로들이 형성된 영역을 커버할 수 있는 길이로 연장되는 연결 관로가 형성된 로테이션 샤프트부;
상기 바디부의 상부에 장착되고, 상기 공급 관로와 연통하는 버퍼 관로가 형성된 장착부;
상기 일 방향으로 이격되어 상기 장착부에 설치되고, 상기 버퍼 관로에 액상의 원료를 유입시킬 수 있는 공급부; 및
상기 버퍼 관로의 내부로 유입된 상기 원료의 높이를 감지하도록 상기 장착부에 설치되는 감지부;를 포함하는 원료 토출 장치.A body portion in which a supply pipe is formed;
a nozzle unit mounted on a lower portion of the body unit and having a plurality of discharge channels;
It is installed to pass through the body in one direction, overlaps with the supply pipe, and extends to a length capable of covering the area where the discharge pipes are formed so as to open and close between the supply pipe and the plurality of discharge pipes. a rotation shaft portion having a connection pipe;
a mounting portion mounted on an upper portion of the body portion and having a buffer pipe communicating with the supply pipe;
a supply part spaced apart in the one direction and installed in the mounting part, and capable of introducing a liquid raw material into the buffer pipe; and
Raw material discharge device comprising a; sensing unit installed in the mounting portion to detect the height of the raw material introduced into the buffer pipe.
상기 공급 관로는 상하 방향으로 상기 바디부를 관통하도록 형성되고,
상기 연결 관로는 상기 일 방향에 교차하는 방향으로 상기 로테이션 샤프트부를 관통하도록 형성되는 원료 토출 장치.The method of claim 1,
The supply pipe is formed to pass through the body in a vertical direction,
The connecting pipe is formed to pass through the rotation shaft in a direction crossing the one direction.
상기 로테이션 샤프트부의 축 회전에 의해 상기 공급 관로와 상기 연결 관로가 상기 상하 방향으로 중첩되며 상호 연통되는 원료 토출 장치.The method of claim 2,
The raw material discharging device in which the supply pipe and the connection pipe overlap in the vertical direction and communicate with each other by rotation of the axis of the rotation shaft part.
상기 연결 관로의 너비와 상기 공급 관로의 너비가 서로 같은 원료 토출 장치.The method of claim 1,
A raw material discharge device in which the width of the connection pipe and the width of the supply pipe are equal to each other.
상기 토출 관로들은 상하 방향으로 상기 노즐부를 관통하도록 형성되며, 상기 일 방향으로 나열 배열되고,
상기 토출 관로들 중 양쪽 단부의 토출 관로들 간의 거리는 상기 공급 관로의 너비보다 작은 원료 토출 장치.The method of claim 4,
The discharge conduits are formed to pass through the nozzle unit in a vertical direction and are arranged in one direction,
A raw material discharging device wherein a distance between the discharge conduits at both ends of the discharge conduits is smaller than a width of the supply conduit.
상기 일 방향 및 상하 방향에 교차하는 타 방향으로 상기 공급 관로를 가로지르는 적어도 하나의 공급 격벽;
상기 일 방향 및 연결 관로의 관통 방향에 교차하는 방향으로 상기 연결 관로를 가로지르는 적어도 하나의 연결 격벽;을 포함하는 원료 토출 장치.The method of claim 2,
at least one supply barrier rib crossing the supply pipe in the other direction crossing the one direction and the vertical direction;
Raw material discharge device comprising a; at least one connection partition crossing the connection pipe in a direction crossing the one direction and the passage direction of the connection pipe.
상기 공급 격벽은 일 방향으로 이격된 복수 위치에서 상기 공급 관로의 내부를 복수 구간으로 구획하고,
상기 연결 격벽은 상기 공급 격벽과 상하 방향으로 정렬된 위치에서 상기 연결 관로의 내부를 복수 구간으로 구획하는 원료 토출 장치.The method of claim 6,
The supply bulkhead divides the inside of the supply pipe into a plurality of sections at a plurality of positions spaced apart in one direction,
The connection partition wall divides the inside of the connection pipe into a plurality of sections at a position aligned with the supply partition wall in the vertical direction.
상기 감지부는 정전용량 센서를 포함하고, 상기 버퍼 관로의 양측에 각각 위치하는 원료 토출 장치.The method of claim 1,
The sensing unit includes a capacitance sensor and is positioned on both sides of the buffer pipe, respectively.
상기 바디부의 하부에 장착되고, 복수의 토출 관로가 형성된 노즐부; 및
상기 바디부를 일 방향으로 관통하도록 설치되며, 상기 공급 관로와 중첩될 수 있고, 상기 공급 관로와 상기 복수의 토출 관로 사이를 개폐시킬 수 있도록, 토출 관로들이 형성된 영역을 커버할 수 있는 길이로 연장되는 연결 관로가 형성된 로테이션 샤프트부;를 포함하고,
상기 공급 관로는 상하 방향으로 상기 바디부를 관통하도록 형성되고,
상기 연결 관로는 상기 일 방향에 교차하는 방향으로 상기 로테이션 샤프트부를 관통하도록 형성되며,
상기 연결 관로는 상기 로테이션 샤프트부를 관통하도록 형성되는 제1 관로 및 상기 제1 관로와 교차하는 방향에서 상기 로테이션 샤프트부를 관통하도록 형성되는 제2 관로를 포함하는 원료 토출 장치.A body portion in which a supply pipe is formed;
a nozzle unit mounted on a lower portion of the body unit and having a plurality of discharge channels; and
It is installed to pass through the body in one direction, overlaps with the supply pipe, and extends to a length capable of covering the area where the discharge pipes are formed so as to open and close between the supply pipe and the plurality of discharge pipes. Including; a rotation shaft portion in which a connection pipe is formed;
The supply pipe is formed to pass through the body in a vertical direction,
The connecting conduit is formed to pass through the rotation shaft in a direction crossing the one direction,
The connecting conduit includes a first conduit formed to pass through the rotation shaft portion and a second conduit formed to pass through the rotation shaft portion in a direction crossing the first conduit.
상기 제1 관로와 상기 제2 관로는 연통되도록 형성되고, 상기 로테이션 샤프트부의 단면상에서 십자 형태로 형성되는 원료 토출 장치.The method of claim 10,
The first conduit and the second conduit are formed to communicate with each other and are formed in a cross shape on the cross section of the rotation shaft part.
공급 관로에 상기 원료를 유입시키는 과정;
연결 관로를 1차 축 회전시켜 상기 공급 관로를 개방시키는 과정;
상기 공급 관로 및 연결 관로를 통과한 원료를 복수의 토출 관로를 통하여 상기 기판에 토출하는 과정;
상기 연결 관로를 2차 축 회전시켜 상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정;을 포함하고,
상기 원료를 유입시키는 과정은,
상기 공급 관로의 상부에 연결된 버퍼 관로로 상기 원료를 1차 유입시키는 과정;
상하 방향으로 형성된 상기 공급 관로로 상기 원료를 2차 유입시키는 과정;
상기 버퍼 관로로 1차 유입되는 상기 원료의 높이를 상기 버퍼 관로의 양측에서 감지하는 과정;
상기 감지 결과에 따라 상기 공급 관로의 개방 시점을 조절하는 과정;을 포함하는 원료 토출 방법.As a raw material discharge method for discharging the raw material to a substrate,
The process of introducing the raw material into the supply pipe;
Opening the supply pipe by first rotating the connecting pipe;
discharging the raw material passing through the supply conduit and the connection conduit to the substrate through a plurality of discharge conduits;
Including; closing the supply pipe by rotating the connection pipe on the second axis;
The process of introducing the raw material,
first introducing the raw material into a buffer pipe connected to an upper part of the supply pipe;
Secondary inflow of the raw material into the supply pipe formed in the vertical direction;
detecting the height of the raw material primarily introduced into the buffer pipe from both sides of the buffer pipe;
Controlling the opening time of the supply pipe according to the detection result; raw material discharge method comprising a.
상기 공급 관로를 개방시키는 과정은,
일 방향에 교차하는 방향으로 형성된 상기 연결 관로를 일 방향 축을 중심으로 회전시키는 과정;
상기 연결 관로를 상기 공급 관로에 상기 상하 방향으로 중첩시켜 상호 연통시키는 과정;을 포함하고,
상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정은,
상기 연결 관로를 일 방향 축을 중심으로 회전시키는 과정;
상기 연결 관로와 상기 공급 관로를 교차시켜 상호 연통을 해제하는 과정;을 포함하는 원료 토출 방법.The method of claim 12,
The process of opening the supply pipe,
rotating the connection pipe formed in a direction crossing one direction about an axis in one direction;
Including; overlapping the connection pipe in the vertical direction with the supply pipe to communicate with each other;
The process of closing the supply pipe,
Rotating the connecting pipe around an axis in one direction;
Raw material discharge method comprising the; step of intersecting the connection pipe and the supply pipe to release mutual communication.
상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정은,
상기 연결 관로에 원료를 저장하는 과정;을 포함하고,
상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정 이후에,
상기 공급 관로를 개방시키는 과정, 상기 원료를 토출하는 과정, 및 상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정을 순차적으로 반복 수행하는 원료 토출 방법.The method of claim 15
The process of closing the supply pipe,
Including; storing raw materials in the connection pipe;
After the process of closing the supply pipe,
A raw material discharge method for sequentially and repeatedly performing the process of opening the supply pipe, the process of discharging the raw material, and the process of closing the supply pipe.
공급 관로에 상기 원료를 유입시키는 과정;
연결 관로를 1차 축 회전시켜 상기 공급 관로를 개방시키는 과정;
상기 공급 관로 및 연결 관로를 통과한 원료를 복수의 토출 관로를 통하여 상기 기판에 토출하는 과정;
상기 연결 관로를 2차 축 회전시켜 상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정;을 포함하고,
상기 공급 관로를 폐쇄하는 과정은,
상기 연결 관로에 원료를 저장하는 과정;을 포함하고,
상기 연결 관로는 서로 교차 및 연통되도록 형성되는 제1 관로 및 제2 관로를 포함하고,
상기 원료를 저장하는 과정은,
상기 제1 관로 및 제2 관로에 원료를 저장하는 원료 토출 방법.As a raw material discharge method for discharging the raw material to a substrate,
The process of introducing the raw material into the supply pipe;
Opening the supply pipe by first rotating the connecting pipe;
discharging the raw material passing through the supply conduit and the connection conduit to the substrate through a plurality of discharge conduits;
Including; closing the supply pipe by rotating the connection pipe on the second axis;
The process of closing the supply pipe,
Including; storing raw materials in the connection pipe;
The connecting conduit includes a first conduit and a second conduit formed to cross and communicate with each other,
The process of storing the raw material,
A raw material discharge method for storing raw materials in the first conduit and the second conduit.
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