KR101426929B1 - Method and apparatus for floating substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기재 플로팅 장치는, 주행하는 기재의 폭방향 중앙 부분에 유체를 분사시킬 수 있는 다수의 수직 구멍들과, 기재의 양측 테두리 부분들로부터 중앙 부분으로 경사지게 유체를 분사시킬 수 있도록 그 양단 부근에 마련된 다수의 경사 구멍들이 형성된 본체를 구비한다. A substrate floating apparatus according to the present invention includes a plurality of vertical holes capable of injecting a fluid in a widthwise center portion of a running substrate and a plurality of vertical holes through which fluid can be injected at an angle from both side edge portions of the substrate to a central portion, And a main body having a plurality of inclined holes formed in the vicinity thereof.

Description

기재 플로팅 방법 및 장치{Method and apparatus for floating substrate}[0001] METHOD AND APPARATUS FOR FLATING SUBSTRATE [0002]

우선권preference

본 발명은, 그 전체 내용이 인용에 의해 본 명세서에 합체되는, 2011.10.20.자로 출원된 대한민국 특허출원 번호 제10-2011-0107641호의 '패터닝된 광학 필름 제조 장치 및 그 제조방법'의 우선권의 이익을 향유한다.
Priority is claimed on Korean Patent Application No. 10-2011-0107641 filed on October 20, 2011, entitled " Apparatus and Method for Producing Patterned Optical Film ", the entire contents of which are incorporated herein by reference. Enjoy profits.

본 발명은 기재 플로팅 방법 및 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게, 유체가 분사될 수 있는 다수의 구멍들이 형성된 본체로부터 기재(예를 들어, 필름, 금속 박, 직물, 종이 등과 같은 롤 필름, 또는 어느 정도의 길이를 가진 필름, 유리판 또는 금속판 등과 같은 롤 판재 또는 어느 정도의 길이를 가진 판재, 또는 어느 정도의 두께를 가진 다양한 산업용 쉬트 등과 같은 쉬트재 등)를 이격시켜 주행시킬 수 있는 기재 플로팅 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for floating a substrate, and more particularly, to a method and apparatus for floating a substrate from a body on which a plurality of holes through which a fluid can be injected are formed (for example, a film, a metal foil, a roll film such as a paper, A sheet material such as a film having a predetermined length, a roll plate such as a glass plate or a metal plate, a plate material having a certain length, a sheet material such as various industrial sheets having a certain thickness, etc.) ≪ / RTI >

일반적으로, 롤 형태의 필름, 판재, 쉬트 등과 같은 기재는 그 제조 과정 상 또는 최종 제품의 특성상 기재의 표면에 여러가지 형태의 코팅층 또는 도포층 등과 같은 첨가층이 부가되는 공정들이 있을 수 있으며, 어느 하나의 공정에서 다른 하나의 공정으로 기재를 이송시킬 때 그러한 첨가층을 보호할 필요가 있을 수 있다.In general, a substrate such as a roll-shaped film, a plate material, a sheet, or the like may have a process in which an additive layer such as various types of coating layers or coating layers are added on the surface of the substrate, It may be necessary to protect such an additive layer when transferring the substrate from one process to another.

기재에 공기 등과 같은 유체를 분사시켜 기재를 플로팅시키면서 이송시키는 장치들이 알려져 있다. 그런데, 종래의 이러한 장치들에 있어서, 유체 분사를 위한 본체는 표면에 원호형 또는 타원형 등과 같은 굴곡된 형태로 배치되지만 본체가 고정되어 있으므로, 기재를 플로팅시킬 필요가 없는 경우 기재를 이동시키는데 한계가 있었다. 또한, 종래의 장치들은 기재를 플로팅시킬 때, 기재의 폭방향 양측 가장자리 부분으로 유체가 배출됨으로써, 기재의 가장 자리 부분에서 부상력이 약해지기 때문에, 기재의 이동시 사행이 발생되는 등의 문제점이 있었다.
BACKGROUND ART [0002] Devices are known in which a fluid such as air is sprayed onto a substrate to transport the substrate while floating. However, in such conventional apparatuses, the main body for fluid injection is arranged on the surface in a curved shape such as an arcuate shape or an elliptical shape, but since the main body is fixed, there is a limit to move the base material there was. Further, in the conventional devices, when the substrate is floated, the fluid is discharged to both side edge portions in the width direction of the substrate, so that the levitation force is weakened at the edge portion of the substrate, .

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해서 제안된 것으로서, 예를 들어, 인쇄층, 코팅층, 배향층(막) 등과 같은 첨가층이 부가된 필름 형태의 기재가 공정과 공정 사이에서 이송되는 과정에서 첨가층이 손상되지 않도록 예를 들어, 공기와 같은 유체를 기재의 첨가층 방향으로 분사하여 기재를 플로팅시킴으로써, 기재의 첨가층을 보호할 수 있는 기재 플로팅 방법 및 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed in order to solve the above problems. For example, in the process of transferring a substrate in the form of a film to which an additive layer such as a print layer, a coating layer, an orientation layer Which can protect an addition layer of a substrate by spraying a fluid such as air in the direction of the additive layer of the substrate so as not to damage the substrate, thereby floating the substrate.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 기재를 플로팅시킬 필요가 없을 때, 기재가 장치의 본체에 접촉되어 이동되는 경우에도 본체를 회전시킴으로써 기재를 원할하게 이동시킬 수 있는 기재 플로팅 방법 및 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate floating method and apparatus capable of smoothly moving a substrate by rotating the substrate even when the substrate is moved in contact with the apparatus body when the substrate is not required to be floated, There is a purpose.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 기재를 플로팅시킬 때, 기재의 폭방향 양측 가장자리 부분으로 유체가 빠져나가는 것을 방지함으로써, 기재에 미치는 플토팅 력을 균일하게 유지시킬 수 있으므로, 기재의 안정된 이송을 가능하게 하는 기재 플로팅 방법 및 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
According to still another aspect of the present invention, when the substrate is floated, it is possible to prevent the fluid from escaping to both side edge portions in the width direction of the substrate, thereby uniformly maintaining the fluting force on the substrate. The present invention is directed to a method and apparatus for floating a substrate.

본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 방법 및 장치는 후술하는 바와 같은 패터닝된 위상차판을 제조하기 위한 롤 형태의 필름(기재)을 예로 들어 설명한다. 그러나, 이것은 예시적인 실시예에 불과하며, 본 발명의 기재 플로팅 방법 및 장치는, 예를 들어, 필름, 금속 박, 직물, 종이 등과 같은 롤 필름, 또는 어느 정도의 길이를 가진 필름, 유리판 또는 금속판 등과 같은 롤 판재 또는 어느 정도의 길이를 가진 판재, 또는 어느 정도의 두께를 가진 다양한 산업용 쉬트 등과 같은 쉬트재 등과 같은 경우에도 확장 적용될 수 있음을 당업자는 얼마든지 이해할 수 있을 것이다. A method and an apparatus for floating a substrate according to a preferred exemplary embodiment of the present invention will be described by taking as an example a film (substrate) in the form of a roll for producing a patterned retarder as described below. However, this is only an exemplary embodiment, and the method and apparatus for floating a substrate of the present invention can be applied to a substrate, such as a film, a metal foil, a cloth, a roll film such as paper, The present invention can be applied to a sheet material such as a sheet material having a certain length or a sheet material such as various industrial sheets having a certain thickness or the like.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치는, 주행하는 기재의 폭방향 중앙 부분에 유체를 분사시킬 수 있도록 본체에 마련된 다수의 수직 구멍들; 및 상기 기재의 양측 테두리 부분들로부터 상기 중앙 부분으로 경사지게 유체를 분사시킬 수 있도록 상기 본체의 양단 부근에 마련된 다수의 경사 구멍들을 구비한다. According to a preferred embodiment of the present invention, there is provided a substrate floating apparatus including: a plurality of vertical holes provided in a body for spraying a fluid to a widthwise center portion of a traveling substrate; And a plurality of inclined holes provided in the vicinity of both ends of the main body so as to inject the fluid inclined from the side edge portions of the base material to the center portion.

바람직하게, 상기 본체는 상기 수직 구멍들 및 상기 경사 구멍들에 연통될 수 있도록 적어도 하나의 끝단에 마련된 유체 유입구를 가지며 상기 기재의 폭보다 더 큰 길이를 가진 속이 빈 구멍 플레이트를 구비하고; 상기 수직 구멍들은: 상기 기재의 진행 방향에 대해 미리 결정된 제1 간격으로 상기 구멍 플레이트의 A 섹터의 길이 방향으로 나란하게 배치된 다수의 제1 구멍 라인들; 상기 제1 간격보다 더 좁은 제2 간격으로 상기 구멍 플레이트의 상기 A 섹터의 양측에 각각 구획되는 2개의 B 섹터들 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제2 구멍 라인들; 및 상기 제2 간격보다 더 좁은 제3 간격으로 상기 구멍 플레이트의 상기 B 섹터들의 양측에 각각 구획되는 2개의 C 섹터들 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제3 구멍 라인들을 구비한다. Preferably, the body has a hollow hole plate having a fluid inlet provided at the at least one end to be able to communicate with the vertical holes and the tapered holes and having a length greater than the width of the substrate; Wherein the vertical holes comprise: a plurality of first hole lines arranged in a longitudinal direction of the A sector of the hole plate at a first predetermined gap with respect to a traveling direction of the substrate; Second hole lines arranged in the longitudinal direction in each of two B sectors partitioned on both sides of the A sector of the hole plate at a second gap narrower than the first gap; And third hole lines arranged in a longitudinal direction in each of two C sectors each partitioned on both sides of the B sectors of the hole plate at a third gap narrower than the second gap.

바람직하게, 상기 A 섹터는 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 24° 각도에 걸쳐 구획되고, 상기 B 섹터들의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 56° 각도에 걸쳐 구획되고, 상기 C 섹터들 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 20° 각도에 걸쳐 구획된다. Preferably, the A sector is delimited at an angle of 24 degrees from the center of the cross-section circle of the hole plate, and each of the B sectors is delimited at an angle of 56 degrees from the center of the cross-section circle of the hole plate, Each of which is defined at an angle of 20 [deg.] From the center of the cross-section circle of the hole plate.

바람직하게, 상기 제1 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 8° 각도의 간격으로 배치되고, 상기 제2 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 4° 각도 간격으로 배치되고, 상기 제3 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 2° 각도 간격으로 배치된다. Preferably, each of the first hole lines is disposed at an 8-degree angle from the center of the cross-section circle of the hole plate, and each of the second hole lines extends from the center of the cross- And each of the third hole lines is disposed at an angle of 2 DEG from the center of the cross-section circle of the hole plate.

바람직하게, 상기 경사 구멍들 각각은 상기 수직 구멍들의 중심 축에 대해 30° 경사지게 형성된다.Preferably, each of the inclined holes is inclined by 30 DEG with respect to the central axis of the vertical holes.

바람직하게, 상기 경사 구멍들 각각은 상기 구멍 플레이트의 외면에 경사지게 인입 형성됨으로써 장변부와 단변부를 가진 일그러진 깔때기 형상의 경사 분출부, 및 상기 경사 분출부와 연통되며 상기 구멍 플레이트를 경사지게 관통하도록 형성된 경사 관통부를 구비한다. Preferably, each of the inclined holes has a sloped funnel-shaped inclined ejection portion having a long side portion and a short side portion formed by inclining the inclined hole to the outer surface of the hole plate, and a slope portion which is in communication with the sloped ejection portion and inclined And a penetrating portion.

바람직하게, 상기 경사 관통부의 직경은 1.0mm이고, 인접하는 경사 관통부들 사이의 간격은 3.03mm이다. Preferably, the diameter of the inclined perforations is 1.0 mm, and the interval between adjacent inclined perforations is 3.03 mm.

바람직하게, 상기 수직 구멍들 각각은, 상기 구멍 플레이트의 외면에 인입 형성된 깔때기 형상의 분출부, 및 상기 분출부와 연통되며 상기 구멍 플레이트를 관통하도록 형성된 관통부를 구비한다. Preferably, each of the vertical holes has a funnel-shaped ejection portion formed on an outer surface of the hole plate, and a penetrating portion communicating with the ejection portion and configured to penetrate the hole plate.

바람직하게, 상기 구멍 플레이트의 외표면의 상기 분출부의 직경은 2.0mm이고, 상기 관통부의 직경은 0.5mm이다.Preferably, the diameter of the spouting portion on the outer surface of the hole plate is 2.0 mm, and the diameter of the penetration portion is 0.5 mm.

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치는 상기 경사 구멍들로부터 상기 본체의 양단측에 더 가깝게 형성된 적어도 하나 또는 그 이상의 사이드 수직 구멍 라인들을 더 구비한다. Preferably, the substrate floating apparatus according to a preferred exemplary embodiment of the present invention further comprises at least one or more side vertical hole lines formed closer to both ends of the body from the tapered holes.

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치는 상기 수직 구멍들 및/또는 경사 구멍들로부터 분출되는 유체가 상기 기재의 길이 방향 양측 가장자리들 각각으로 유출되는 것을 방지하기 위해 상기 기재의 양측 가장 자리 각각을 막을 수 있도록 배치된 한 쌍의 사이드 플레이트들을 더 구비한다.Preferably, the substrate floating device according to the preferred exemplary embodiment of the present invention further comprises a substrate floating device for preventing fluid ejected from the vertical holes and / or tilted holes from flowing out to each longitudinally opposite side edge of the substrate, And a pair of side plates disposed so as to close the opposite side edges of the side plate.

바람직하게, 상기 사이드 플레이트들 각각은, 상기 본체의 외면과 동일한 프로파일을 가진 베이스부; 및 상기 베이스부로부터 연장 형성되며 상기 기재의 플로팅 높이보다 더 높은 차단 높이를 가진 사이드 플레이트 본체를 구비한다. Preferably, each of the side plates has a base portion having the same profile as the outer surface of the main body; And a side plate body extending from the base portion and having a blocking height higher than the floating height of the base.

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치는 상기 기재의 폭에 맞도록 상기 사이드 플레이트들의 간격을 조절하기 위해, 상기 사이드 플레이트들을 상기 본체의 길이 방향으로 위치 이동시킬 수 있는 사이드 플레이트 액츄에이터를 더 구비한다. Preferably, the substrate floating apparatus according to a preferred exemplary embodiment of the present invention includes a side plate capable of positioning the side plates in the longitudinal direction of the main body so as to adjust the spacing of the side plates to fit the width of the substrate, And a plate actuator.

바람직하게, 각각의 사이드 플레이트는, 주행하는 상기 기재의 폭 변화에 적응할 수 있도록 상기 사이드 플레이트의 위치를 가변시킬 수 있는 사이드 플레이트 위치 조절부재를 더 구비한다. Preferably, each of the side plates further includes a side plate positioning member capable of varying the position of the side plate so as to adapt to the width variation of the traveling substrate.

바람직하게, 상기 사이드 플레이트 위치 조절부재는: 일단은 사이드 플레이트에 고정되고 타단은 조절 블록에 슬라이딩 결합되는 조절봉; 및 상기 사이드 플레이트를 상기 조절 블록의 반대 방향으로 바이어스시킬 수 있도록 상기 조절봉을 감싸도록 설치된 스프링을 구비한다. Preferably, the side plate positioning member includes: an adjusting rod having one end fixed to the side plate and the other end slidingly coupled to the adjusting block; And a spring installed to surround the adjusting rod so as to bias the side plate in a direction opposite to the adjusting block.

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치는 상기 본체로부터 상기 기재가 부상되는 '플로팅 구성'에서 상기 본체의 위치를 고정하고, 상기 기재가 상기 본체에 접촉되는 '접촉 구성'에서 상기 기재의 주행에 의해 상기 본체가 회전될 수 있도록 스토퍼 메커니즘을 더 구비한다. Preferably, the substrate floating apparatus according to the preferred exemplary embodiment of the present invention further comprises a 'contact structure' in which the position of the body is fixed in a 'floating configuration' in which the substrate floats from the body, And a stopper mechanism for allowing the main body to be rotated by traveling of the base material.

바람직하게, 상기 스토퍼 메커니즘은: 프레임의 고정축과 상기 본체 사이에 마련된 베어링; 상기 본체의 적어도 어느 하나의 끝단에 설치된 스토퍼 홈; 및 상기 스토퍼 홈에 선택적으로 삽입될 수 있도록 설치된 스토퍼 돌기를 구비한다. Preferably, the stopper mechanism includes: a bearing provided between a fixed shaft of the frame and the main body; A stopper groove provided at an end of at least one of the main bodies; And a stopper protrusion installed to be selectively inserted into the stopper groove.

바람직하게, 상기 기재는 상기 본체에 대향되는 면에 미리 결정된 패턴의 배향막이 형성된 필름을 포함한다. Preferably, the substrate includes a film on which a predetermined pattern of an orientation film is formed on a surface facing the body.

바람직하게, 상기 배향막이 형성된 필름은 패터닝된 광학 필터에 사용되는 위상차 필름이다. Preferably, the film on which the alignment film is formed is a retardation film used for a patterned optical filter.

바람직하게, 상기 수직 구멍들은 상기 본체의 길이 방향으로 다수의 라인들을 형성하고, 인접하는 라인들에 포함된 각각의 구멍은 상기 기재의 주행 방향에 대해 서로 지그재그로 배치되는 배향막이 형성된 필름은 패터닝된 광학 필터에 사용되는 위상차 필름이다. Preferably, the vertical holes form a plurality of lines in the longitudinal direction of the body, and each of the holes included in the adjacent lines is arranged in a zigzag manner with respect to the running direction of the substrate. It is a retardation film used in an optical filter.

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치는 상기 수직 구멍들과 미리 결정된 간격으로 배치되며, 상기 본체에 진입하기 전의 기재 및 상기 본체로부터 멀어지는 기재의 표면에 유체를 공급하기 위해 상기 본체와 이격되게 배치된 보조 유체 공급부재를 더 구비한다.Preferably, a substrate floating apparatus according to a preferred exemplary embodiment of the present invention is arranged at a predetermined distance from the vertical holes, and is adapted to supply fluid to a surface of the substrate prior to entering the body and a surface of the substrate away from the body And an auxiliary fluid supply member spaced apart from the main body.

바람직하게, 상기 보조 유체 공급부재는: 상기 본체로 진입되기 전의 상기 기재에 유체를 공급할 수 있는 다수의 입구 구멍들이 형성된 입구 플레이트; 및 상기 본체로부터 멀어지는 상기 기재에 유체를 공급할 수 있는 다수의 출구 구멍들이 형성된 출구 플레이트를 구비한다. Preferably, the auxiliary fluid supply member includes: an inlet plate having a plurality of inlet holes through which fluid can be supplied to the substrate before entering the body; And an outlet plate having a plurality of outlet holes through which fluid can be supplied to the substrate away from the body.

바람직하게, 상기 입구 플레이트와 상기 출구 플레이트는 그 내부가 밀폐되는 단일의 챔버를 형성하고; 상기 단일의 챔버는 내부 공간으로 공급되는 유체를 상기 입구 구멍들과 상기 출구 구멍들을 통해 공급할 수 있다. Preferably, the inlet plate and the outlet plate form a single chamber in which the interior thereof is sealed; The single chamber can supply fluid to be supplied to the inner space through the inlet holes and the outlet holes.

바람직하게, 상기 입구 구멍들과 상기 출구 구멍들은 상기 기재의 표면에 대해 상기 본체 방향으로 경사지게 형성된다. Preferably, the inlet openings and the outlet openings are formed obliquely toward the body with respect to the surface of the substrate.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 방법은, 주행하는 기재에 유체를 분사시켜 상기 기재를 플로팅시키기 위한 방법에 있어서, (a) 상기 기재의 폭 보다 더 큰 길이를 가진 본체의 중앙 부분에 마련된 다수의 수직 구멍들을 통해 상기 기재에 직각으로 유체를 분사시키는 단계; 및 (b) 상기 수직 구멍들 측으로 경사지도록 상기 본체의 양단에 형성된 다수의 경사 구멍들을 통해 상기 기재의 폭방향 측면에 경사지게 유체를 분사시키는 단계를 포함한다. According to a preferred embodiment of the present invention, there is provided a method for floating a base material by spraying a fluid onto a running base material, the method comprising the steps of: (a) Injecting a fluid at a right angle to the substrate through a plurality of vertical apertures provided in a central portion of the body having the apertures; And (b) injecting fluid at an angle to the widthwise side of the substrate through a plurality of inclined holes formed at both ends of the body so as to be inclined toward the vertical holes.

바람직하게, 상기 본체는 상기 수직 구멍들 및 상기 경사 구멍들에 연통될 수 있도록 적어도 하나의 끝단에 마련된 유체 유입구를 가지며 상기 기재의 폭보다 더 큰 길이를 가진 속이 빈 구멍 플레이트를 구비하고; 상기 수직 구멍들은: 상기 기재의 진행 방향에 대해 미리 결정된 제1 간격으로 상기 구멍 플레이트의 A 섹터의 길이 방향으로 나란하게 배치된 다수의 제1 구멍 라인들; 상기 제1 간격보다 더 좁은 제2 간격으로 상기 구멍 플레이트의 상기 A 섹터의 양측에 각각 구획되는 2개의 B 섹터들 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제2 구멍 라인들; 및 상기 제2 간격보다 더 좁은 제3 간격으로 상기 구멍 플레이트의 상기 B 섹터들의 양측에 각각 구획되는 2개의 C 섹터들 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제3 구멍 라인들을 구비한다. Preferably, the body has a hollow hole plate having a fluid inlet provided at the at least one end to be able to communicate with the vertical holes and the tapered holes and having a length greater than the width of the substrate; Wherein the vertical holes comprise: a plurality of first hole lines arranged in a longitudinal direction of the A sector of the hole plate at a first predetermined gap with respect to a traveling direction of the substrate; Second hole lines arranged in the longitudinal direction in each of two B sectors partitioned on both sides of the A sector of the hole plate at a second gap narrower than the first gap; And third hole lines arranged in a longitudinal direction in each of two C sectors each partitioned on both sides of the B sectors of the hole plate at a third gap narrower than the second gap.

바람직하게, 상기 A 섹터는 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 24° 각도에 걸쳐 구획되고, 상기 B 섹터들의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 56° 각도에 걸쳐 구획되고, 상기 C 섹터들 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 20° 각도에 걸쳐 구획된다. Preferably, the A sector is delimited at an angle of 24 degrees from the center of the cross-section circle of the hole plate, and each of the B sectors is delimited at an angle of 56 degrees from the center of the cross-section circle of the hole plate, Each of which is defined at an angle of 20 [deg.] From the center of the cross-section circle of the hole plate.

바람직하게, 상기 제1 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 8° 각도의 간격으로 배치되고, 상기 제2 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 4° 각도 간격으로 배치되고, 상기 제3 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 2° 각도 간격으로 배치된다. Preferably, each of the first hole lines is disposed at an 8-degree angle from the center of the cross-section circle of the hole plate, and each of the second hole lines extends from the center of the cross- And each of the third hole lines is disposed at an angle of 2 DEG from the center of the cross-section circle of the hole plate.

바람직하게, 상기 경사 구멍들 각각은 상기 수직 구멍들의 중심 축에 대해 30° 경사지게 형성된다. Preferably, each of the inclined holes is inclined by 30 DEG with respect to the central axis of the vertical holes.

바람직하게, 상기 경사 구멍들 각각은 상기 구멍 플레이트의 외면에 경사지게 인입 형성됨으로써 장변부와 단변부를 가진 일그러진 깔때기 형상의 경사 분출부, 및 상기 경사 분출부와 연통되며 상기 구멍 플레이트를 경사지게 관통하도록 형성된 경사 관통부를 구비한다. Preferably, each of the inclined holes has a sloped funnel-shaped inclined ejection portion having a long side portion and a short side portion formed by inclining the inclined hole to the outer surface of the hole plate, and a slope portion which is in communication with the sloped ejection portion and inclined And a penetrating portion.

바람직하게, 상기 경사 관통부의 직경은 1.0mm이고, 인접하는 경사 관통부들 사이의 간격은 3.03mm이다. Preferably, the diameter of the inclined perforations is 1.0 mm, and the interval between adjacent inclined perforations is 3.03 mm.

바람직하게, 상기 수직 구멍들 각각은, 상기 구멍 플레이트의 외면에 인입 형성된 깔때기 형상의 분출부, 및 상기 분출부와 연통되며 상기 구멍 플레이트를 관통하도록 형성된 관통부를 구비한다. Preferably, each of the vertical holes has a funnel-shaped ejection portion formed on an outer surface of the hole plate, and a penetrating portion communicating with the ejection portion and configured to penetrate the hole plate.

바람직하게, 상기 구멍 플레이트의 외표면의 상기 분출부의 직경은 2.0mm이고, 상기 관통부의 직경은 0.5mm이다. Preferably, the diameter of the spouting portion on the outer surface of the hole plate is 2.0 mm, and the diameter of the penetration portion is 0.5 mm.

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 방법은 상기 경사 구멍들로부터 상기 본체의 양단측에 더 가깝게 형성된 적어도 하나 또는 그 이상의 사이드 수직 구멍 라인들을 통해 상기 기재에 유체를 분사하는 단계를 더 포함한다.Preferably, the method of floating a substrate in accordance with a preferred exemplary embodiment of the present invention includes the steps of ejecting fluid through the at least one or more side vertical hole lines formed closer to both ends of the body from the tapered holes, .

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 방법은 상기 기재의 양측 가장 자리 각각을 막을 수 있도록 배치된 한 쌍의 사이드 플레이트들을 이용하여 상기 수직 구멍들 및/또는 경사 구멍들로부터 분출되는 유체가 상기 기재의 길이 방향 양측 가장자리들 각각으로 유출되는 것을 방지하는 단계를 더 포함한다.Preferably, the method of floating a substrate in accordance with a preferred exemplary embodiment of the present invention includes the steps of ejecting from the vertical holes and / or tapered holes using a pair of side plates arranged to block each side edge of the substrate, Thereby preventing the fluid to be discharged from each of the longitudinally opposite side edges of the base material.

바람직하게, 상기 사이드 플레이트들 각각은, 상기 본체의 외면과 동일한 프로파일을 가진 베이스부; 및 상기 베이스부로부터 연장 형성되며 상기 기재의 플로팅 높이보다 더 높은 차단 높이를 가진 사이드 플레이트 본체를 구비한다. Preferably, each of the side plates has a base portion having the same profile as the outer surface of the main body; And a side plate body extending from the base portion and having a blocking height higher than the floating height of the base.

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 방법은 상기 사이드 플레이트들을 상기 본체의 길이 방향으로 위치 이동시킬 수 있는 사이드 플레이트 액츄에이터를 이용하여 상기 기재의 폭에 맞도록 상기 사이드 플레이트들의 간격을 조절하는 단계를 더 포함한다. Preferably, the method of floating a substrate according to a preferred exemplary embodiment of the present invention further comprises the steps of: using a side plate actuator capable of positioning the side plates in the longitudinal direction of the main body, . ≪ / RTI >

바람직하게, 각각의 사이드 플레이트는, 주행하는 상기 기재의 폭 변화에 적응할 수 있도록 상기 사이드 플레이트의 위치를 가변시킬 수 있는 사이드 플레이트 위치 조절부재를 더 구비한다. Preferably, each of the side plates further includes a side plate positioning member capable of varying the position of the side plate so as to adapt to the width variation of the traveling substrate.

바람직하게, 상기 사이드 플레이트 위치 조절부재는: 일단은 사이드 플레이트에 고정되고 타단은 조절 블록에 슬라이딩 결합되는 조절봉; 및 상기 사이드 플레이트를 상기 조절 블록의 반대 방향으로 바이어스시킬 수 있도록 상기 조절봉을 감싸도록 설치된 스프링을 구비한다. Preferably, the side plate positioning member includes: an adjusting rod having one end fixed to the side plate and the other end slidingly coupled to the adjusting block; And a spring installed to surround the adjusting rod so as to bias the side plate in a direction opposite to the adjusting block.

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 방법은 상기 본체가 선택적으로 회전되는 것을 허용하는 스토퍼 메커니즘을 이용하여, 상기 본체로부터 상기 기재가 부상되는 '플로팅 구성'에서 상기 본체의 위치를 고정하고, 상기 기재가 상기 본체에 접촉되는 '접촉 구성'에서 상기 본체가 상기 기재에 접촉되어 회전되는 것을 허용하는 단계를 더 포함한다. Preferably, the method of floating a substrate according to a preferred exemplary embodiment of the present invention further comprises a step of moving the substrate in a " floating configuration " in which the substrate is lifted from the main body by using a stopper mechanism that allows the main body to be selectively rotated, And allowing the body to rotate in contact with the substrate in a " contact configuration " where the substrate contacts the body.

바람직하게, 상기 스토퍼 메커니즘은: 프레임의 고정축과 상기 본체 사이에 마련된 베어링; 상기 본체의 적어도 어느 하나의 끝단에 설치된 스토퍼 홈; 및 상기 스토퍼 홈에 선택적으로 삽입될 수 있도록 설치된 스토퍼 돌기를 구비한다. Preferably, the stopper mechanism includes: a bearing provided between a fixed shaft of the frame and the main body; A stopper groove provided at an end of at least one of the main bodies; And a stopper protrusion installed to be selectively inserted into the stopper groove.

바람직하게, 상기 기재는 상기 본체에 대향되는 면에 미리 결정된 패턴의 배향막이 형성된 필름을 포함한다. Preferably, the substrate includes a film on which a predetermined pattern of an orientation film is formed on a surface facing the body.

바람직하게, 상기 배향막이 형성된 필름은 패터닝된 광학 필터에 사용되는 위상차 필름이다. Preferably, the film on which the alignment film is formed is a retardation film used for a patterned optical filter.

바람직하게, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 방법은 보조 유체 공급부재를 이용하여 상기 본체에 진입하기 전의 기재 및 상기 본체로부터 멀어지는 기재의 표면에 유체를 추가적으로 공급하는 단계를 더 포함한다. Preferably, the method of substrate floatation according to a preferred exemplary embodiment of the present invention further comprises the step of additionally supplying fluid to the surface of the substrate away from the substrate and away from the body using an auxiliary fluid supply member before entering the body .

바람직하게, 상기 보조 유체 공급부재는: 상기 본체로 진입되기 전의 상기 기재에 유체를 공급할 수 있는 다수의 입구 구멍들이 형성된 입구 플레이트; 및 상기 본체로부터 멀어지는 상기 기재에 유체를 공급할 수 있는 다수의 출구 구멍들이 형성된 출구 플레이트를 구비한다. Preferably, the auxiliary fluid supply member includes: an inlet plate having a plurality of inlet holes through which fluid can be supplied to the substrate before entering the body; And an outlet plate having a plurality of outlet holes through which fluid can be supplied to the substrate away from the body.

바람직하게, 상기 입구 플레이트와 상기 출구 플레이트는 그 내부가 밀폐되는 단일의 챔버를 형성하고; 상기 단일의 챔버는 내부 공간으로 공급되는 유체를 상기 입구 구멍들과 상기 출구 구멍들을 통해 공급할 수 있다. Preferably, the inlet plate and the outlet plate form a single chamber in which the interior thereof is sealed; The single chamber can supply fluid to be supplied to the inner space through the inlet holes and the outlet holes.

바람직하게, 상기 입구 구멍들과 상기 출구 구멍들은 상기 기재의 표면에 대해 상기 본체 방향으로 경사지게 형성된다. Preferably, the inlet openings and the outlet openings are formed obliquely toward the body with respect to the surface of the substrate.

상기 (a) 단계와 상기 (b) 단계는 동시에 이루어진다. The steps (a) and (b) are performed simultaneously.

본 발명에 따르면 전술한 방법들에 의해 제조된 위상차 필름을 청구한다.According to the present invention, a retardation film produced by the above-described methods is claimed.

본 발명에 따른 기재 플로팅 방법 및 장치는 다음과 같은 효과를 가진다.The substrate floating method and apparatus according to the present invention have the following effects.

첫째, 예를 들어, 필름과 같은 기재가 인쇄, 코팅 공정에서 도막 손상을 유발하는 롤과의 접촉을 방지할 수 있다.First, for example, a substrate such as a film can prevent contact with a roll that causes film damage in the printing and coating processes.

둘째, 기재의 폭 방향의 양측 가장자리 부위에서 그 폭방향 중앙측으로 사선으로 배치된 경사 구멍들을 이용하여 유체를 분사시킴으로써, 본체와 기재의 양측 가장 자리 사이의 공간으로 유체가 빠져나가는 것을 방지할 수 있으므로, 기재의 안정된 플로팅 및 이송을 가능하게 한다.Secondly, since the fluid is injected by using the oblique holes arranged obliquely to the center side in the width direction at the side edge portions in the width direction of the base material, the fluid can be prevented from escaping into the space between the main body and the edges of both sides of the base material , Thereby enabling stable floating and transfer of the substrate.

셋째, 기재의 양측 가장자리 부위에 근접되게 설치된 댐 형태의 사이드 플레이트들을 이용함으로써, 유체가 기재의 양측 가장자리와 본체 사이의 틈새로 배출될 수 있는 가능성을 차단시킴으로써 안정된 기재의 부상 및 이송이 가능하다.Third, the use of side plates in the form of dams provided close to both edge portions of the base material makes it possible to lift and transport the base material by blocking the possibility that the fluid can be discharged into the gap between both side edges of the base material and the main body.

넷째, 본체의 표면에 마련된 서로 다른 패턴들의 구멍들의 패턴들 및 치수들을 이용함으로써, 장치를 통한 기재의 이송의 안정성을 담보할 수 있게 된다.Fourth, by using the patterns and the dimensions of the holes of the different patterns provided on the surface of the body, it is possible to secure the stability of transferring the substrate through the apparatus.

다섯째, 보조 유체 공급부재를 설치함으로써, 본체로 진입하기 전의 기재 및 본체로부터 벗어나는 기재의 표면에 부가적인 유체를 공급할 수 있으므로, 기재의 사행 등의 불안정한 주행을 방지할 수 있다. Fifth, by providing the auxiliary fluid supply member, it is possible to supply additional fluid to the surface of the base material that deviates from the base material and the main body before entering the main body, thereby preventing unstable running such as skewing of the base material.

본 발명은 아래 도면들에 의해 구체적으로 설명될 것이지만, 이러한 도면은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예를 나타낸 것이므로 본 발명의 기술사상이 그 도면에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 방법 및 장치가 채용된 패터닝된 광학필름 제조 시스템의 일 예를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치의 동작 원리를 설명하는 개략도이다.
도 3은 도 2의 기재 플로팅 장치의 동작 원리를 설명하는 부분 발췌 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치의 동작 원리를 설명하는 부분 발췌 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치의 구성을 개략적으로 도시한 정면 구성도이다.
도 6은 도 5의 측면 구성도이다.
도 7은 도 5의 본체 부위를 발췌 도시한 단면도이다.
도 8은 도 7의 구멍 플레이트가 본체 프레임에 설치되기 전의 수직 구멍들과 경사 구멍들의 패턴을 보여주는 평면도이다.
도 9는 도 7의 본체의 표면에 형성된 구멍들의 배치 각도를 보여주는 측단면도이다.
도 10은 도 8의 부분 확대도이다.
도 11은 도 7의 "A" 부위의 확대도이다.
도 12는 도 7의 "B" 부위의 확대도이다.
도 13은 도 7의 "C" 부위의 확대도이다.
도 14는 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치의 부분 발췌 확대 단면도이다.
도 15는 도 5의 및 도 6의 보조 유체 공급부재를 설명하기 위한 측단면도이다.
The present invention will be described in detail with reference to the following drawings, which illustrate preferred exemplary embodiments of the present invention, and thus the technical idea of the present invention should not be construed as being limited to those drawings.
1 is a schematic view showing an example of a patterned optical film production system employing a method and apparatus for floating a substrate according to a preferred exemplary embodiment of the present invention.
2 is a schematic view for explaining the operation principle of the substrate floating apparatus according to a preferred exemplary embodiment of the present invention.
3 is a partial exploded perspective view for explaining the operation principle of the substrate floating apparatus of FIG.
4 is a partial exploded perspective view illustrating the operation principle of the substrate floating apparatus according to another preferred exemplary embodiment of the present invention.
Fig. 5 is a front structural view schematically showing a configuration of a substrate floating apparatus according to another preferred exemplary embodiment of the present invention.
Fig. 6 is a side view of the configuration of Fig. 5. Fig.
FIG. 7 is a cross-sectional view of the body portion of FIG.
8 is a plan view showing a pattern of the vertical holes and the oblique holes before the hole plate of FIG. 7 is installed in the body frame.
9 is a side sectional view showing an arrangement angle of the holes formed in the surface of the body of Fig. 7;
10 is a partially enlarged view of Fig.
11 is an enlarged view of the "A"
12 is an enlarged view of the "B"
13 is an enlarged view of the "C"
14 is a partial cutaway enlarged cross-sectional view of a substrate floating apparatus according to another preferred exemplary embodiment of the present invention.
Fig. 15 is a side sectional view for explaining the auxiliary fluid supply member of Fig. 5 and Fig. 6;

이하, 첨부된 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예들과 도면들에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 예시적 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately It should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined. Therefore, the embodiments shown in the present specification and the configurations shown in the drawings are only the most preferred exemplary embodiments of the present invention, and are not intended to represent all of the technical ideas of the present invention. It should be understood that various equivalents and modifications are possible.

도 1은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 방법 및 장치가 채용된 패터닝된 광학필름 제조 시스템의 일 예를 개략적으로 도시한 구성도이다.1 is a schematic view showing an example of a patterned optical film production system employing a method and apparatus for floating a substrate according to a preferred exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 패터닝된 광학필름 제조 시스템(1)은, 예를 들어, 기재(3) 상에 배향막(5)을 소정 패턴으로 인쇄하기 위한 제1 코터(coater)(7)와 배향막(5)을 건조시키기 위한 제1 건조기(9)를 포함하는 제1 유니트(11), 배향막(5)이 형성된 기재(3) 상에 위상차층을 형성하는 액정 물질(13)을 소정의 패턴으로 인쇄하기 위한 제2 코터(15)와 이를 건조하기 위한 제2 건조기(17)를 포함하는 제2 유니트(19), 제1 유니트(11)와 제2 유니트(19) 사이에서 배향막(5)이 형성된 기재(3)를 플로팅 이송시키기 위해 2개 또는 그 이상의 개수의 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치들(100)를 포함하는 제3 유니트(21)를 구비한다. 1, a patterned optical film production system 1 includes a first coater 7 for printing an alignment film 5 in a predetermined pattern on a base material 3, A first unit 11 including a first drier 9 for drying the liquid crystal material 13 and a liquid crystal material 13 forming a retardation layer on the substrate 3 on which the alignment layer 5 is formed is printed in a predetermined pattern A second unit 19 including a second dryer 15 for drying the second coater 15 and a second dryer 17 for drying the second coater 15; And a third unit 21 comprising two or more of the substrate floating devices 100 according to a preferred exemplary embodiment of the present invention for floating transfer of the substrate 3.

보다 구체적으로, 제1 유니트(11)는 언와인더(2)에 감겨진 기재(3)를 주행시켜 제1 코터(7)에 의해 기재(3)에 배향막(5)을 인쇄하고, 제1 건조기(9)에서 건조시키고 제1 UV 건조기(4)에서 추가적으로 배향막(5)을 건조시킨다. 제2 유니트(19)는 배향막(5)이 형성된 기재(3)의 표면에 제2 코터(15)에 의해 액정 물질(13)을 인쇄한 후 그것을 제2 건조기(17)에서 건조시킨 후 제2 UV 건조기(14)에 의해 추가적으로 건조시킨 후 최종적으로 와인더(18)를 이용하여 액정 물질(5)이 도포된 기재(3)를 권취시킨다. 제3 유니트(21)는 제1 유니트(11)에 의해 배향막(5)이 형성된 기재(3)를 제2 유니트(19)로 이송시키는 과정에서 기재(3)의 배향막(5)이 손상되지 않도록 기재(3)를 플로팅 이동시키기 위한 것이다. More specifically, the first unit 11 runs the base material 3 wound around the unwinder 2, prints the alignment film 5 on the base material 3 with the first coater 7, Dried in the dryer 9 and further dried in the first UV drier 4 in the orientation film 5. The second unit 19 prints the liquid crystal material 13 on the surface of the base material 3 on which the alignment film 5 is formed by the second coater 15 and then dries it in the second dryer 17, After drying by the UV drier 14, the base material 3 coated with the liquid crystal material 5 is finally wound up using the winder 18. The third unit 21 is arranged such that the alignment film 5 of the substrate 3 is not damaged during the process of transferring the substrate 3 having the alignment film 5 formed thereon to the second unit 19 by the first unit 11 To move the substrate 3 in a floating manner.

다른 바람직한 실시예에 있어서, 패터닝된 광학필터는 기재(3)에 소정 패턴으로 배향막(5)을 인쇄한 후, 이 배향막(5)을 러빙 처리 또는 광 배향 처리한 후에 그 위에 액정 물질(13)을 형성하거나, 기재(3) 상에 전면적으로 배향막(5)을 인쇄한 후에 이 배향막(5)을 마스크 등을 이용하여 소정의 패턴으로 배향 처리한 후에, 그 위에 액정 물질(13)을 형성시킬 수도 있다. In another preferred embodiment, the patterned optical filter is formed by printing an alignment film 5 in a predetermined pattern on a substrate 3, then rubbing or photo-aligning the alignment film 5, Or the orientation film 5 is entirely printed on the base material 3 and then the alignment film 5 is aligned in a predetermined pattern using a mask or the like and then a liquid crystal material 13 is formed thereon It is possible.

또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 패터닝된 광학필터는 기재(3) 상에 전면적으로 배향막(5)을 인쇄하고, 전면적으로 배향 처리한 후에, 액정 물질(13)을 소정의 패턴으로 인쇄하는 방법으로 제조될 수도 있다.According to another preferred embodiment, the patterned optical filter is produced by printing the alignment film 5 on the entire surface of the substrate 3, aligning the entire surface, and then printing the liquid crystal material 13 in a predetermined pattern .

도 2는 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치의 동작 원리를 설명하는 개략도이고, 도 3은 도 2의 기재 플로팅 장치의 동작 원리를 설명하는 부분 발췌 사시도이다.FIG. 2 is a schematic view for explaining the operation principle of the substrate floating apparatus according to a preferred exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a partial explanatory perspective view for explaining the operation principle of the substrate floating apparatus of FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(100)는 다수의 수직 구멍들(102)과 다수의 경사 구멍들(104)이 마련되고 속이 빈 원통형 본체(110)를 구비한다. 수직 구멍들(102)과 경사 구멍들(104)은 속이 빈 본체(110)의 표면을 관통하여 형성되고, 본체(110)의 어느 양단에 마련된 유체 유입구(미도시)와 연통된다. 유체 유입구는 미도시된 유체 공급원으로부터 유체를 공급받을 수 있음을 당업자는 충분히 이해할 것이다. 즉, 유체 공급원은 예를 들어, 소정 압력의 압축 공기를 본체(110)의 유체 유입구를 통해 본체(110) 내부로 공급할 수 있고, 유체 유입구를 통해 유입된 유체는 수직 구멍들(102)과 경사 구멍들(104)을 통해 소정 압력으로 기재(3)의 표면으로 분출시킨다. 수직 구멍들(102)과 경사 구멍들(104)은 기재(3)와 본체(110)의 표면과의 접촉을 방지할 수 있는 적정한 수로 형성되고, 구멍들(102)(104)을 통해 분출되는 유체는 기재와 본체(110)와 접촉을 방지할 수 있는 정도의 압력을 가지는 것이 바람직하다. 2 and 3, a substrate floating apparatus 100 according to a preferred exemplary embodiment of the present invention includes a plurality of vertical holes 102 and a plurality of inclined holes 104, (110). The vertical holes 102 and the inclined holes 104 are formed through the surface of the hollow main body 110 and communicate with a fluid inlet (not shown) provided at either end of the main body 110. It will be appreciated by those skilled in the art that fluid inlets may receive fluid from a fluid source not shown. That is, the fluid source can supply compressed air at a predetermined pressure, for example, through the fluid inlet of the main body 110 to the inside of the main body 110, and the fluid introduced through the fluid inlet is supplied to the vertical holes 102, And is ejected through the holes 104 to the surface of the substrate 3 at a predetermined pressure. The vertical holes 102 and the inclined holes 104 are formed in an appropriate number to prevent contact between the substrate 3 and the surface of the main body 110 and are ejected through the holes 102 and 104 The fluid preferably has a pressure sufficient to prevent contact with the substrate and the body 110.

도 3에 도시된 기재 플로팅 장치(100)의 본체(110)는 원통형 본체의 최상단에 형성된 수직 구멍들(102)과 경사 구멍들(104)이 형성된 것을 도시하고 있지만, 도 2에 도시되고 아래에서 더욱 상세히 설명되는 바와 같이, 본체(110)의 원형 단면의 거의 절반 이상의 각도(대략 200°)에 걸쳐 수직 구멍들(102)과 경사 구멍들(104)이 분포된다. The body 110 of the substrate floating apparatus 100 shown in Fig. 3 shows the formation of the vertical holes 102 and the tapered holes 104 formed at the upper end of the cylindrical body, As will be described in greater detail, vertical holes 102 and tapered holes 104 are distributed over an angle of approximately half or more of the circular cross-section of body 110 (approximately 200 degrees).

도 2에 도시된 바와 같이, 예를 들어, 본체(110)의 좌측으로부터 진입되는 기재(3)는 본체(110)에 마련된 수직 및 경사 구멍들(102)(104)에 의해 본체(110)로부터 소정 간격 이격 부상되어 본체(110)의 우측으로 방향이 전환되어 이동할 수 있다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(100)는 기재(3)의 폭 방향의 중앙 대부분의 위치에 상응하도록 본체(110)에 마련된 수직 구멍들(102)에 의해 기재(3)를 본체(110)로부터 부상시킨다. 한편, 기재(3)의 양측 가장자리에 상응하는 위치의 본체(110)의 양단측에 마련된 경사 구멍들(104)은 기재(3)의 폭 방향 중앙을 향해 유체를 분사하도록 구성된다. 이러한 경사 구멍들(104)은 수직 구멍들(102)에 의해 분사되는 유체가 기재(3)의 양측 가장자리와 본체(110) 사이에 형성된 공간으로 유체가 배출됨으로써 기재(3)의 양측 가장자리 부분에 부상력이 저하됨으로써 기재(3)의 주행에 영향을 미치는 것을 방지하는 기능을 가진다. 또한, 본체(110)의 표면에 형성되는 구멍들(102)(104)은 각각 직경이 1mm 이하이고, 본체(110)의 표면의 1cm2 당 1개 이상이 형성되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 구멍들(102)(104)의 이러한 분포는 기재(3)와 본체(110)의 접촉 면적 내에 힘을 분산시킴으로써 유체 분사시 발생할 수 있는 기재(3)의 진동을 최소화할 수 있기 때문이다.2, for example, the base material 3 entering from the left side of the main body 110 is separated from the main body 110 by the vertical and inclined holes 102 (104) provided in the main body 110 And can be shifted to the right side of the main body 110 and can be moved. 3, the substrate floating apparatus 100 according to the preferred embodiment of the present invention includes vertical holes (not shown) provided in the main body 110 so as to correspond to most positions in the widthwise center of the substrate 3 102 to float the base material 3 from the main body 110. On the other hand, the inclined holes 104 provided at both ends of the main body 110 at positions corresponding to both side edges of the base material 3 are configured to inject fluid toward the widthwise center of the base material 3. The inclined holes 104 are formed in such a manner that the fluid ejected by the vertical holes 102 is discharged to the space formed between the both side edges of the substrate 3 and the main body 110, And has a function of preventing the floating force from being deteriorated and influencing the travel of the base material 3. [ The holes 102 and 104 formed on the surface of the main body 110 have a diameter of 1 mm or less and a diameter of 1 cm 2 It is preferable that one or more of them are formed. This is because this distribution of the holes 102 and 104 can minimize the vibrations of the substrate 3 that may occur during fluid injection by distributing the force within the contact area of the substrate 3 and the body 110 .

도 2를 참조하면, 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(100)는 본체(110)의 하부 즉, 입력부(106)와 출력부(108)에 추가적인 유체를 공급하기 위한 보조 유체 공급부재(120)를 더 구비한다. 보조 유체 공급부재(120)는 단면이 원형인 본체(110)에 구멍들(102)(104)이 마련된 경우, 기재(3)의 부상력이 특정 부위의 공기 압력에 의존함으로써, 유체가 이동하는 면적이 넓어져 압력 저하가 구조적으로 발생하게 되는 입력부(106)와 출력부(108) 부분의 기재(3)의 부상력을 상승시키기 위한 것이다. 즉, 보조 유체 공급부재(120)는 입력부(106)와 출력부(108) 부분을 일정한 길이의 직선 구간으로 형성함으로써, 전술한 이유에 따른 압력 저하를 막을 수 있게 된다. 따라서, 본 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(100)는 보조 유체 공급부재(120)에 형성된 보조 구멍들(122)를 통해 분출되는 유체에 의해 부상될 수 있으므로, 입력부(106)와 출력부(108)에서 기재(3)를 안정되게 부상될 수 있다. 2, a substrate floating apparatus 100 according to another preferred exemplary embodiment of the present invention includes a lower portion of a body 110, that is, an auxiliary for supplying additional fluid to an input portion 106 and an output portion 108, And further includes a fluid supply member 120. When the holes 102 and 104 are provided in the main body 110 having a circular cross section, the lifting force of the base material 3 depends on the air pressure at a specific portion, So as to increase the lifting force of the base material 3 at the input portion 106 and the output portion 108 where the area is widened and the pressure drop occurs structurally. That is, the auxiliary fluid supply member 120 can prevent pressure drop due to the above-described reason by forming the input section 106 and the output section 108 in a linear section having a constant length. Therefore, the substrate floating apparatus 100 according to the present embodiment can be lifted by the fluid ejected through the auxiliary holes 122 formed in the auxiliary fluid supply member 120, so that the input unit 106 and the output unit 108 The substrate 3 can be stably lifted.

도 4는 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치의 동작 원리를 설명하는 부분 발췌 사시도이다. 4 is a partial exploded perspective view illustrating the operation principle of the substrate floating apparatus according to another preferred exemplary embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 플로팅 장치(100)는 기재(3)의 양측 가장자리 부분으로 빠져나갈 수 있는 유체를 차단하기 위해 본체의 양단에 설치된 댐 형태의 사이드 플레이트(130)를 더 구비한다. 사이드 플레이트(130)는 기재(3)와 본체(110)의 외면 사이의 간격보다 더 큰 높이를 가지며, 본체(110)의 원형 단면과 실질적으로 동일한 형상의 베이스부(132)를 가진다. 사이드 플레이트(130)는 기재(3)의 양측 가장자리의 끝단으로부터 대략 1mm 간격을 유지할 수 있도록 설치되는 것이 바람직하다. 사이드 플레이트(130)는 본체(110)의 길이 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 이것은 장치(100)에 사용되는 기재(3)의 폭에 맞도록 사이드 플레이트(130)의 위치를 조절하기 위함이다. 사이드 플레이트(130)의 다른 변형예들에 대해서는 후술하도록 한다.4, the floatation apparatus 100 according to the present embodiment further includes a dam-shaped side plate 130 provided at both ends of the body for blocking fluid that can escape to both side edges of the base material 3 Respectively. The side plate 130 has a base portion 132 having a height that is greater than the distance between the substrate 3 and the outer surface of the main body 110 and has substantially the same shape as the circular cross section of the main body 110. It is preferable that the side plates 130 are installed so as to be spaced apart from the ends of both side edges of the substrate 3 by approximately 1 mm. The side plate 130 is installed to be movable in the longitudinal direction of the main body 110. This is to adjust the position of the side plate 130 to match the width of the substrate 3 used in the apparatus 100. Other modifications of the side plate 130 will be described later.

도 5는 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치의 구성을 개략적으로 도시한 정면 구성도이고, 도 6은 도 5의 측면 구성도이다. 도 1 내지 도 4에서 설명된 구성요소와 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호를 부여하였다.Fig. 5 is a front structural view schematically showing the construction of a substrate floating apparatus according to another preferred embodiment of the present invention, and Fig. 6 is a side structural view of Fig. The same components as those described in Figs. 1 to 4 are given the same reference numerals.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(200)는 베이스 프레임(202)의 양단에 각각 설치된 한 쌍의 사이드 프레임들(206), 각각의 사이드 프레임(206)에 고정되며 외부에 설치된 유체 공급원(미도시)과 연통될 수 있는 유체 경로(201)가 마련된 고정축(204), 베어링(203)에 의해 고정축(204)에 대해 회전 가능하게 설치되고 그 표면을 관통하는 다수의 수직 구멍들(102)과 다수의 경사 구멍들(104)이 형성되고 기재(3)의 폭 보다 더 긴 길이를 가지며 유체 경로(201)를 통해 유체를 공급받아 구멍들(102)(104)을 통해 유체를 분출시킬 수 있는 속이 빈 원통 구조를 가진 구멍 플레이트(210)를 포함하는 본체(110), 본체(110)의 회전을 선택적으로 허용할 수 있도록 사이드 프레임(206)과 본체(110)에 마련된 스토퍼 메커니즘(220), 기재(3)의 양측 가장자리의 끝단을 통해 유체가 배출되는 것을 방지하기 위해 본체(110)의 양단 부근에 위치된 한 쌍의 사이드 플레이트들(130), 및 본체(110)에 진입하기 전의 입력부(106)와 본체(110)로부터 멀어지는 출력부(108)에서 기재(3)의 표면에 유체를 공급하기 위해 본체(110)의 하부에 배치된 보조 유체 공급부재(120)를 구비한다. 5 and 6, the substrate floating apparatus 200 according to the present embodiment includes a pair of side frames 206 provided at both ends of a base frame 202, a plurality of side frames 206 fixed to the respective side frames 206 A fixed shaft 204 provided with a fluid path 201 which can communicate with a fluid supply source (not shown) provided outside, and a bearing 203 which is rotatably installed with respect to the fixed shaft 204, A plurality of vertical holes 102 and a plurality of inclined holes 104 are formed and a length longer than the width of the substrate 3 is provided and the fluid is supplied through the fluid path 201 to form the holes 102 A body 110 including a hole plate 210 having a hollow cylindrical structure capable of ejecting fluid through a body 104 and a side frame 206 and a body 110, a stopper mechanism 220 provided at the ends of both side edges of the base material 3, A pair of side plates 130 positioned near both ends of the main body 110 to prevent the fluid from being discharged from the main body 110 and an input unit 106 before entering the main body 110 and an output And an auxiliary fluid supply member 120 disposed at a lower portion of the main body 110 for supplying fluid to the surface of the base material 3 at the portion 108. [

각각의 사이드 프레임(206)은 베이스 프레임(202)에 실질적으로 수직으로 설치되고, 상응하는 고정축(204)을 고정하기 위한 고정축 삽입홈(205)이 형성되고, 고정축 삽입홈(205)에 삽입된 고정축(204)을 고정하기 위한 고정축 결합부재(207)를 구비한다.Each of the side frames 206 is provided substantially perpendicular to the base frame 202 and has a fixed shaft insertion groove 205 for fixing the corresponding fixed shaft 204, And a fixed shaft coupling member 207 for fixing the fixed shaft 204 inserted into the fixed shaft coupling member 207.

각각의 고정축(204)은 내부에 유체 경로(201)가 마련되며, 전술한 바와 같이 사이드 프레임(206)의 고정축 삽입홈(205)을 관통하도록 배치된다. 따라서, 고정축(204)의 일단은 유체 공급원과 연통되고, 고정축(204)의 타단은 베어링(203)에 의해 본체(110)의 끝단에 연결된다. Each fixed shaft 204 is provided with a fluid path 201 therein and is arranged to pass through the fixed shaft insertion groove 205 of the side frame 206 as described above. One end of the fixed shaft 204 is in communication with the fluid supply source and the other end of the fixed shaft 204 is connected to the end of the main body 110 by the bearing 203.

본체(110)는 베어링(203)에 의해 각각의 고정축(204)이 삽입될 수 있는 한 쌍의 원통형 본체 프레임들(211), 각각의 본체 프레임(211)의 외주면에 고정되며 다수의 수직 구멍들(102)과 경사 구멍들(104)이 형성된 구멍 플레이트(210)를 구비한다. 본체(110)는 베어링(203)에 의해 필요에 따라 고정축(204)에 대해 회전될 수 있는 구조이다. 본체(110)의 '회전 구성'과 '비회전 구성'에 대해서는 후술하도록 한다. 따라서, 속이 빈 본체 프레임(211)은 고정축(204)이 삽입되어 결합됨으로써 유체 유입구를 형성할 수 있다.The main body 110 has a pair of cylindrical main body frames 211 into which the respective fixing shafts 204 can be inserted by the bearings 203 and a plurality of vertical holes 214 fixed to the outer peripheral surfaces of the respective main body frames 211, And a hole plate 210 in which the holes 102 and the inclined holes 104 are formed. The main body 110 is a structure that can be rotated with respect to the fixed shaft 204 as required by the bearing 203. [ The 'rotation configuration' and the 'non-rotation configuration' of the main body 110 will be described later. Accordingly, the hollow body frame 211 can form a fluid inlet by inserting and fixing the fixed shaft 204. [

도 7은 도 5의 본체 부위를 발췌 도시한 단면도이고, 도 8은 도 7의 구멍 플레이트가 본체 프레임에 설치되기 전의 수직 구멍들과 경사 구멍들의 패턴을 보여주는 평면도이고, 도 9는 도 7의 본체의 표면에 형성된 구멍들의 배치 각도를 보여주는 측단면도이고, 도 10은 도 8의 부분 확대도이고, 도 11은 도 7의 "A" 부위의 확대도이고, 도 12는 도 7의 "B" 부위의 확대도이고, 도 13은 도 7의 "C" 부위의 확대도이다.8 is a plan view showing a pattern of the vertical holes and the oblique holes before the hole plate of FIG. 7 is installed in the main body frame, FIG. 9 is a plan view of the main body of FIG. 7, FIG. 10 is a partially enlarged view of FIG. 8, FIG. 11 is an enlarged view of the "A" portion of FIG. 7, and FIG. 12 is a cross- Fig. 13 is an enlarged view of a portion "C" in Fig.

도 7 내지 도 13을 참조하면, 다수의 수직 구멍들(102)은 본체(110)의 양단 끝 부분들을 제외한 대부분의 길이 방향 표면에 마련되고, 주행하는 기재(3)의 폭방향 중앙 부분으로 유체를 분사시킬 수 있다. 다수의 경사 구멍들(104)은 기재(3)의 폭 방향의 양측 테두리 부분들로부터 중앙 부분으로 경사지게 유체를 분사시킬 수 있다. 7 to 13, a plurality of vertical holes 102 are provided on most of the longitudinal surfaces except for both end portions of the body 110, . The plurality of inclined holes 104 can inject fluid at an angle from both side edge portions in the width direction of the substrate 3 to the central portion.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 수직 구멍들(102)은 기재(3)의 진행 방향에 대해 미리 결정된 제1 간격(H1)으로 본체(110)의 구멍 플레이트(210)의 A 섹터(212)의 길이 방향으로 나란하게 배치된 다수의 제1 구멍 라인들(213)과, 제1 간격(H1)보다 더 좁은 제1 간격(H2)으로 구멍 플레이트(210)의 A 섹터(212)의 양측에 각각 구획되는 2개의 B 섹터들(214) 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제2 구멍 라인들(215), 및 제2 간격(H2)보다 더 좁은 제3 간격(H3)으로 구멍 플레이트(210)의 B 섹터들(214)의 양측에 각각 구획되는 2개의 C 섹터들(216) 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제3 구멍 라인들(217)을 구비한다. 9 and 10, the vertical holes 102 are formed in the A sector (not shown) of the hole plate 210 of the body 110 at a predetermined first interval H1 with respect to the traveling direction of the substrate 3 212 of the hole plate 210 in a first interval H2 that is narrower than the first interval H1 and a plurality of second hole lines 213 arranged in parallel to the longitudinal direction of the A plate 212, The second hole lines 215 arranged in parallel in the longitudinal direction in each of the two B sectors 214 partitioned on both sides and the third gap H3 narrower than the second gap H2, And third hole lines 217 arranged in parallel in the longitudinal direction in each of the two C sectors 216 partitioned on both sides of the B sectors 214 of the first and second C sectors 210 of the first and second C sectors.

A 섹터(212)는 입력부(106)와 출력부(108)의 대략 중앙 부분으로써, 본체(110)가 사이드 프레임(206)에 위치 고정될 경우 최상부를 점유하며 단면원의 중심으로부터 대략 24° 각도에 걸쳐 구획된다. The A sector 212 is a substantially central portion of the input portion 106 and the output portion 108 and occupies the uppermost portion when the main body 110 is fixed to the side frame 206, Respectively.

각각의 B 섹터(214)는 A 섹터(212)를 중심으로 좌,우 대칭으로 배치되며 본체(110)의 단면원의 중심으로부터 대략 56° 각도에 걸쳐 각각 구획된다. Each B sector 214 is disposed left and right symmetrically about A sector 212 and is divided at an angle of approximately 56 degrees from the center of the cross-section circle of body 110, respectively.

각각의 C 섹터(216)는 A 섹터(212)를 중심으로 좌,우 대칭으로 배치되며 입력부(106)와 출력부(108)의 위치를 점유하게 되며, 본체(110)의 단면원의 중심으로부터 대략 20° 각도에 걸쳐 각각 구획된다. Each of the C sectors 216 is arranged symmetrically with respect to the A sector 212 and occupies the positions of the input unit 106 and the output unit 108. The C sectors 216 Are each divided over an angle of about 20 degrees.

각각의 제1 구멍 라인(213)은 본체(110)의 단면원의 중심으로부터 서로 대략 8° 각도의 간격으로 이격되게 배치되고, 각각의 제2 구멍 라인(215)은 본체(110)의 단면원의 중심으로부터 서로 대략 4° 각도 간격으로 배치되고, 각각의 제3 구멍 라인(217)은 본체(110)의 단면원의 중심으로부터 서로 대략 2° 각도 간격으로 배치된다. Each first hole line 213 is spaced apart from the center of the cross-section circle of the main body 110 by an angle of about 8 degrees, and each second hole line 215 is spaced from the center of the cross- And each third hole line 217 is disposed at an angle of about 2 degrees from the center of the cross-section circle of the main body 110. [

본 실시예에서, 본체(110)에 형성되는 수직 구멍들(102)을 전술한 바와 같이, A 내지 C 섹터들(212)(214)(216)로 구분하고, 각각의 섹터에서 제1 내지 제3 구멍 라인들(213)(215)(217)로 구획시킨 이유는, 기재(3)가 입력부(106)로부터 출력부(108)까지 주행할 때 수직 구멍들(102)로부터 분출되는 유체의 압력 분포가 균일하게 유지시킴으로써 기재(3)를 안정되게 이송시키기 위함이다. 따라서, 입력부(106)와 출력부(108)를 형성하는 C 섹터(216)의 경우는 상대적으로 B 및 C 섹터들(214)(216) 보다 더 높은 압력이 작용하도록 설계하였다. In the present embodiment, the vertical holes 102 formed in the main body 110 are divided into the A to C sectors 212, 214 and 216 as described above, The reason for partitioning the three hole lines 213, 215 and 217 is that the pressure of the fluid ejected from the vertical holes 102 when the base material 3 travels from the input section 106 to the output section 108 So that the base material 3 can be stably transported by keeping the distribution uniform. Thus, in the case of the C sector 216 forming the input 106 and output 108, it is designed to operate at a higher pressure than the B and C sectors 214 and 216 relatively.

도 7 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(200)는 각각의 C 섹터(216)의 외측에 D 섹터(218)가 마련되고, D 섹터(218)에도 제4 구멍 라인들(219)이 형성된 것으로 도시되었지만, 이러한 D 섹터(218)의 제4 구멍 라인들(219)은 후술하는 보조 유체 공급부재(120)에 의해 막히게 된다.7 and 10, the substrate floating apparatus 200 according to the present embodiment is provided with a D sector 218 on the outside of each C sector 216 and a D sector 218 on the D sector 218, The fourth hole lines 219 of this D sector 218 are clogged by the auxiliary fluid supply member 120, which will be described later, although the hole lines 219 are shown as being formed.

도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 각각의 수직 구멍(102)은 본체(110)의 구멍 플레이트(210)의 외면으로부터 내면까지 소정 깊이 인입 형성된 깔때기 형상의 분출부(102a)와, 분출부(102a)와 연통될 수 있도록 구멍 플레이트(210)를 관통하여 형성된 관통부(102b)를 구비한다. 분출부(102a)의 직경은 대략 2.0mm이고, 관통부의 직경은 대략 0.5mm이다.11 and 12, each of the vertical holes 102 has a funnel-shaped spout portion 102a formed at a predetermined depth from the outer surface to the inner surface of the hole plate 210 of the main body 110, (102b) formed to penetrate through the hole plate (210) so as to communicate with the hole (102a). The diameter of the spout portion 102a is approximately 2.0 mm, and the diameter of the penetration portion is approximately 0.5 mm.

도 10, 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 본체(110)의 양단 부위에 마련된 다수의 경사 구멍들(104)은 수직 구멍들(102)의 중심 축에 대해 본체(110)의 중앙을 향하여 대략 30° 경사지게 형성된다. 이러한 경사 구멍들(104)은 수직 구멍들(102)로부터 분출된 유체가 본체(110)의 양단 방향으로 배출되는 것을 방지하기 위한 것이다. 즉, 경사 구멍들(104)로부터 분출되는 유체는 수직 구멍들(102)을 통해 분출되어 본체(110)의 양단 방향으로 이동하는 유체를 막는 기능을 가진다. 또한, 각각의 경사 구멍(104)은 구멍 플레이트(210)의 외면으로부터 내면으로 경사지게 인입 형성됨으로써 장변부와 단변부를 가진 일그러진 깔때기 형상의 경사 분출부(104a), 및 경사 분출부(104a)와 연통되며 구멍 플레이트(210)를 경사지게 관통하는 경사 관통부(104b)를 구비한다. 경사 관통부(104b)의 직경은 대략 1.0mm이고, 인접하는 경사 관통부들(104b) 사이의 간격은 대략 3.03mm이다. 10, 12 and 13, a plurality of inclined holes 104 provided at both end portions of the main body 110 are arranged at the center of the main body 110 with respect to the central axis of the vertical holes 102 RTI ID = 0.0 > 30. ≪ / RTI > These inclined holes 104 are for preventing the fluid ejected from the vertical holes 102 from being discharged toward both ends of the main body 110. In other words, the fluid ejected from the inclined holes 104 has a function of blocking the fluid that is ejected through the vertical holes 102 and moves in both ends of the main body 110. Each of the inclined holes 104 is formed by a sloped funnel-shaped inclined ejection portion 104a having a long side portion and a short side portion formed by inclined entrance from the outer surface of the hole plate 210 to the inner surface, And an inclined penetration portion 104b penetrating through the hole plate 210 in an inclined manner. The diameter of the inclined penetrating portion 104b is approximately 1.0 mm, and the interval between adjacent inclined penetrating portions 104b is approximately 3.03 mm.

도 7, 도 8, 도 10, 및 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(200)는 경사 구멍들(104)로부터 본체(110)의 양단측에 더 가깝게 형성된 2개의 사이드 수직 구멍 라인들(109)을 더 구비한다. 이러한 각각의 사이드 수직 구멍 라인(109)은 전술한 수직 구멍들(102)과 동일한 크기 및 패턴을 가지지만 A 내지 C 섹터들(212)(214)(216)과 같은 구분은 존재하지 않는다. 또한, 사이드 수직 구멍 라인(109)은 주행되는 기재(3)의 사이즈 변화에 대응하여 본체(110)의 길이를 다변화시키기 위한 것이다. 따라서, 실제 사용시, 사이드 수직 구멍 라인들은 막아서 사용할 수 있음을 당업자는 이해할 것이다.7, 8, 10, and 13, a substrate floating apparatus 200 according to a preferred exemplary embodiment of the present invention is disposed on both ends of the main body 110 from the inclined holes 104 And further includes two side vertical hole lines 109 formed closer to each other. Each of these side vertical hole lines 109 has the same size and pattern as the vertical holes 102 described above, but there is no such division as the A to C sectors 212, 214, The side vertical hole line 109 is for diversifying the length of the main body 110 in accordance with the size change of the substrate 3 to be driven. Thus, it will be appreciated by those skilled in the art that, in actual use, the side vertical hole lines can be used in blocking.

도 14는 본 발명의 다른 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치의 부분 발췌 확대 단면도이다. 도 5 내지 도 13에서 설명된 구성요소와 동일한 구성요소는 동일한 기능을 가진 동일 부재이다.14 is a partial cutaway enlarged cross-sectional view of a substrate floating apparatus according to another preferred exemplary embodiment of the present invention. The same components as those described in Figs. 5 to 13 are the same member having the same function.

도 14를 참조하면, 본 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(200)는 수직 구멍들(102) 및/또는 경사 구멍들(104)로부터 분출되는 유체가 기재(3)의 길이 방향 양측 가장자리로 유출되는 것을 방지하기 위해 기재(3)의 양측 가장자리 각각을 막을 수 있도록 배치된 한 쌍의 사이드 플레이트들(130), 사용되는 기재(3)의 폭에 맞도록 사이드 플레이트들(130)의 간격을 서로 조절하기 위해, 사이드 플레이트들(130)을 본체(110)의 길이 방향으로 이동시킬 수 있는 사이드 플레이트 액츄에이터(240), 및 주행하는 기재(3)의 가장자리의 울퉁불퉁한 모서리의 형태에 적응할 수 있고, 기재(3)가 사이드 플레이트(130)에 접촉될 경우 사이드 플레이트(130)의 위치를 가변시킬 수 있는 사이드 플레이트 위치 조절부재(250)를 더 구비한다. 14, the substrate floating apparatus 200 according to the present embodiment is configured such that the fluid ejected from the vertical holes 102 and / or the inclined holes 104 flows out to both longitudinal edges of the substrate 3 A pair of side plates 130 disposed so as to cover each side edge of the base material 3 to prevent the side plates 130 from contacting each other, Side plate actuators 240 that can move the side plates 130 in the longitudinal direction of the main body 110 and the shapes of the rugged edges of the edges of the running substrate 3, And a side plate position adjusting member 250 which can change the position of the side plate 130 when the side plate 130 contacts the side plate 130. [

각각의 사이드 플레이트(130)는 본체의 원호와 실질적으로 동일한 형상의 반원을 가진 베이스부(132), 및 베이스부(132)로부터 연장 형성되며 기재(3)의 플로팅 높이보다 더 높은 차단 높이를 가진 사이드 플레이트 본체(110)를 구비한다. 즉, 사이드 플레이트(130)는 기재의 양측 끝단으로부터 대략 1mm간격을 유지하도록 배치됨으로써, 수직 구멍들(102) 및 경사 구멍들(104)로부터 분출되는 유체가 기재(3)의 폭 방향 양측 가장자리의 틈새로 배출되는 것을 방지함으로써 플로팅 힘의 손실을 방지하고 보다 안정적으로 기재(3)를 주행시키는 기능을 담당한다.Each side plate 130 has a base portion 132 having a semicircle of substantially the same shape as the arc of the main body and a base portion 132 extending from the base portion 132 and having a blocking height higher than the floating height of the base material 3 And a side plate body (110). That is, the side plate 130 is arranged to be spaced apart from the opposite ends of the substrate by approximately 1 mm, so that the fluid ejected from the vertical holes 102 and the inclined holes 104 is formed on the both side edges of the base 3 in the width direction Thereby preventing loss of the floating force and more stably driving the base material 3.

사이드 플레이트 액츄에이터(240)는 유압 또는 공압 실린더에 의해 작동되며, 본체(110)에 대한 사이드 플레이트(130)의 위치를 사용되는 기재(3)의 폭에 맞게 적절하게 조절하기 위한 것이다. The side plate actuator 240 is operated by a hydraulic or pneumatic cylinder and is for appropriately adjusting the position of the side plate 130 with respect to the main body 110 to match the width of the base material 3 used.

사이드 플레이트 위치 조절부재(250)는, 그 일단이 사이드 플레이트(130)에 고정되고 타단이 조절 블록(254)에 슬라이딩 결합되는 조절봉(252), 및 사이드 플레이트(130)를 조절 블록(254)의 반대 방향으로 바이어스시킬 수 있도록 조절봉(252)을 감싸도록 설치된 스프링(256)을 구비한다. 전술한 바와 같이, 기재(3)가 주행 중에 기재(3)의 양측 가장자리의 울퉁불퉁한 측면에 사이드 플레이트(130)에 접촉되는 경우에, 사이드 플레이트(130)는 조절봉(252)에 설치된 스프링(256)의 장력을 극복하여 본체(110)의 끝단 측으로 어느 정도 이동됨으로써 사이드 플레이트(130)와 기재(3) 사이에 발생될 수도 있는 접촉 저항을 감소시킨다.The side plate positioning member 250 includes an adjusting rod 252 having one end fixed to the side plate 130 and the other end slidingly coupled to the adjusting block 254 and the adjusting plate 254, And a spring 256 installed to surround the adjusting rod 252 so as to be biased in a direction opposite to the direction in which the adjusting rod 252 is biased. As described above, when the substrate 3 is brought into contact with the side plates 130 on the rugged side surfaces of both side edges of the base material 3 during traveling, the side plates 130 are urged by a spring (not shown) 256) to some extent toward the end side of the main body 110, thereby reducing the contact resistance which may be generated between the side plate 130 and the base material 3. [

도 5 및 도 14를 참조하면, 전술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(200)는 본체(110)의 회전을 선택적으로 허용할 수 있도록 사이드 프레임(206)과 본체(110)에 마련된 스토퍼 메커니즘(220)을 구비한다.5 and 14, as described above, the substrate floating apparatus 200 according to the present embodiment includes a side frame 206 and a body 110, which can be selectively rotated, And a stopper mechanism 220 provided.

즉, 스토퍼 메커니즘(220)에 의해 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 따른 기재 플로팅 장치(200)는 본체(110)로부터 기재(3)가 부상되는 '플로팅 구성'에서 본체(110)의 위치가 고정되고, 기재(3)가 본체(110)에 접촉되는 '접촉 구성'에서 기재(3)의 주행에 의해 본체(110)가 회전될 수 있다. '플로팅 구성'은 기재(3)를 플로팅시키는 작동 구성이고, '접촉 구성'은 장치(200)의 수리 또는 점검, 설정을 위해 임시적으로 기재(3)를 플로팅시키지 않고 주행시킬 필요가 있는 '비작동 구성'이다.That is, the substrate floating apparatus 200 according to a preferred exemplary embodiment of the present invention is configured such that the position of the main body 110 in the 'floating configuration' in which the substrate 3 is lifted from the main body 110 And the main body 110 can be rotated by traveling of the base material 3 in a " contact configuration " in which the base material 3 contacts the main body 110. [ The 'floating configuration' is an operational configuration for floating the substrate 3, and the 'contact configuration' is a 'non-contact configuration' that is required to be run without temporarily floating the substrate 3 for repair, Operating configuration '.

스토퍼 메커니즘(220)은, 전술한 바와 같이, 사이드 프레임(206)의 고정축(204)과 본체(110) 사이에 마련된 베어링(203) 이외에, 본체(110)의 양단에 각각 설치된 스토퍼 홈(262), 스토퍼 홈(262)에 선택적으로 삽입될 수 있도록 설치된 스토퍼 돌기(224), 및 스토퍼 돌기(224)를 구동시킬 수 있는 스토퍼 이동부재(224)를 구비한다. The stopper mechanism 220 includes stopper grooves 262 provided at both ends of the main body 110 in addition to the bearings 203 provided between the fixed shaft 204 and the main body 110 of the side frame 206 as described above A stopper protrusion 224 provided so as to be selectively inserted into the stopper groove 262 and a stopper moving member 224 capable of driving the stopper protrusion 224.

스토퍼 홈(262)은 본체 프레임(211)에 일체로 형성될 수도 있지만, 본 실시예에서는 홈(262)이 형성된 스토퍼 링(260)이 본체 프레임(211)에 결합된 구성이다. 이를 위해, 스토퍼 링(260)은 고정축(204)이 끼워질 수 있는 구멍이 마련되고, 본체 프레임(211)의 외측에 결합된다.The stopper groove 262 may be formed integrally with the body frame 211. In this embodiment, the stopper ring 260 having the groove 262 is coupled to the body frame 211. [ To this end, the stopper ring 260 is provided with an opening into which the fixing shaft 204 can be fitted, and is coupled to the outside of the main body frame 211.

스토퍼 돌기(224)는 스토퍼 홈(262)의 인입된 곳에 안착될 수 있는 구조를 가진다.The stopper protrusion 224 has a structure that can be seated at a position where the stopper groove 262 is drawn.

스토퍼 이동부재(224)는 사이드 프레임(206)에 마련된 가이드 레일(226), 가이드 레일(226)에 슬라이딩 가능하게 결합되며 스토퍼 돌기(224)가 설치된 이동 블록(227), 및 이동 블록(227)을 스토퍼 홈(262) 방향으로 바이어스시킬 수 있는 제2 스프링(228)을 구비한다. The stopper moving member 224 includes a guide rail 226 provided on the side frame 206, a moving block 227 slidably coupled to the guide rail 226 and provided with a stopper projection 224, And a second spring 228 biasing the stopper groove 262 in the direction of the stopper groove 262.

스토퍼 메커니즘은 전자적 장비, 유압 또는 공압 실린더에 의해 선택적으로 이동되게 구성될 수 있음은 당업자가 충분히 이해할 것이다.It will be appreciated by those skilled in the art that the stopper mechanism may be configured to be selectively moved by electronic equipment, hydraulic or pneumatic cylinders.

도 15는 도 5의 및 도 6의 보조 유체 공급부재를 설명하기 위한 측단면도이다.Fig. 15 is a side sectional view for explaining the auxiliary fluid supply member of Fig. 5 and Fig. 6;

도 15를 참조하면, 보조 유체 공급부재(120)는 기재(3)가 본체(110)에 진입하기 전의 입력부(106)와 본체(110)로부터 멀어지는 출력부(108) 부근에서 기재(3)의 표면에 유체를 추가적으로 공급시킴으로써, 기재(3)의 안정된 주행을 보장하기 위한 것이다. Referring to Figure 15, the auxiliary fluid supply member 120 includes an input portion 106 before the substrate 3 enters the main body 110, and an output portion 108 away from the main body 110, So as to ensure stable running of the base material 3 by additionally supplying fluid to the surface.

보조 유체 공급부재(120)는, 본체(110)로 진입되기 전의 입력부(106)에 배치되고 다수의 입구 구멍들(122)이 형성된 입구 플레이트(124), 및 본체(110)로부터 멀어지는 출력부(108)에 배치되고 다수의 출구 구멍들(122)이 형성된 출구 플레이트(126)를 구비한다. 입구 플레이트(124)와 출구 플레이트(126)는 각각 별도로 구성되어 유체를 공급받을 수 있도록 구성될 수도 있다. 그러나, 본 실시예에서, 입구 플레이트(124)와 출구 플레이트(126)는 그 내부가 밀폐되고 본체(110)의 하면의 반원호 모양을 가진 상부 플레이트(128)와 베이스 프레임(202)에 고정될 수 있는 바닥 플레이트(121)와 함께 단일의 챔버(123)를 형성한다. 이러한 단일의 챔버(123)는 내부 공간으로 공급되는 유체를 입구 구멍들(122)과 출구 구멍들(122)을 통해 공급시킬 수 있는 구조를 가진다. 즉, 입구 플레이트(124)와 출구 플레이트(126)가 형성하는 단일의 챔버(123)는 전술한 유체 공급원과 연통된다. 또한, 입구 구멍들(122)과 출구 구멍들(122)은 기재(3)의 표면에 대해 본체(110) 방향으로 경사지게 형성된다. The auxiliary fluid supply member 120 includes an inlet plate 124 disposed at the input 106 prior to entry into the body 110 and having a plurality of inlet holes 122 formed thereon, 108 and has an exit plate 126 in which a plurality of exit holes 122 are formed. The inlet plate 124 and the outlet plate 126 may be separately configured and configured to be supplied with the fluid. In this embodiment, however, the inlet plate 124 and the outlet plate 126 are fixed to the base frame 202 and the upper plate 128, the interior of which is sealed and has a semi- And forms a single chamber 123 together with the bottom plate 121 which can be used. The single chamber 123 has a structure capable of supplying fluid supplied to the inner space through the inlet holes 122 and the outlet holes 122. That is, the single chamber 123 formed by the inlet plate 124 and the outlet plate 126 communicates with the aforementioned fluid supply source. In addition, the inlet holes 122 and the outlet holes 122 are formed to be inclined in the direction of the body 110 with respect to the surface of the substrate 3.

전술한 바와 같은 본 발명의 바람직한 예시적 실시예들에 따른 기재 플로팅 장치들(100)(200)에 있어서, 본체(110)와 기재(3)는 서로 접촉하지 않기 때문에 기재(3)의 주행시, 기재(3)의 좌우 이동성이 증가하여 기재(3)가 좌우로 흔들리는 사행 현상이 발생할 수 있다. 이러한 사행 현상을 방지하기 위해서 본체(110)의 입력부(106)와 출력부(108) 부근에 각각 백업 가이드 롤(back up guide roll)(미도시)을 설치할 수도 있다. 백업 가이드 롤은 그 표면에 요철이 형성되어 있기 때문에 마찰력이 크고, 이에 따라 기재(3)의 사행 현상이 방지된다.
The main body 110 and the substrate 3 are not in contact with each other in the substrate floating apparatuses 100 and 200 according to the preferred exemplary embodiments of the present invention as described above, The mobility of the base material 3 in the left and right directions is increased, and a meandering phenomenon in which the base material 3 is shaken from side to side may occur. In order to prevent such a meandering phenomenon, a back up guide roll (not shown) may be provided in the vicinity of the input unit 106 and the output unit 108 of the main body 110, respectively. Since the back-up guide roll has irregularities formed on the surface thereof, the frictional force is large, and thus the meandering phenomenon of the base material 3 is prevented.

1…시스템 3…기재
5…배향막 7…제1 코터(coater)
9…제1 건조기 11…제1 유니트
13…액정 물질 15…제2 코터
17…제2 건조기 19…제2 유니트
21…제3 유니트 100,200…기재 플로팅 장치
102…수직 구멍 104…경사 구멍
106…입력부 108…출력부
110…본체 120…보조 유체 공급부재
122…보조 구멍 130…사이드 플레이트
132…베이스부 201…유체 경로
202…베이스 프레임 203…베어링
204…고정축 206…사이드 프레임
210…구멍 플레이트 211…본체 프레임
212…A 섹터 213…제1 구멍 라인
214…B 섹터 215…제2 구멍 라인
216…C 섹터 217…제3 구멍 라인
220…스토퍼 메커니즘 224…스토퍼 돌기
226…가이드 레일 227…이동 블록
228…제2 스프링 240…사이드 플레이트 액츄에이터
250…사이드 플레이트 위치 조절부재 252…조절봉
254…조절 블록 256…스프링
260…스토퍼 링 262…스토퍼 홈
One… System 3 ... materials
5 ... Orientation film 7 ... The first coater
9 ... The first drier 11 ... The first unit
13 ... Liquid crystal material 15 ... The second coater
17 ... The second dryer 19 ... The second unit
21 ... The third unit 100, 200 ... Base Floating Device
102 ... Vertical hole 104 ... Inclined hole
106 ... The input unit 108 ... Output portion
110 ... Body 120 ... Auxiliary fluid supply member
122 ... Auxiliary hole 130 ... Side plate
132 ... The base portion 201 ... Fluid path
202 ... Base frame 203 ... bearing
204 ... Fixed shaft 206 ... Side frame
210 ... Hole plate 211 ... Body frame
212 ... A sector 213 ... The first hole line
214 ... B sector 215 ... The second hole line
216 ... C sector 217 ... Third hole line
220 ... Stopper mechanism 224 ... Stopper projection
226 ... Guide rail 227 ... Moving block
228 ... The second spring 240 ... Side plate actuator
250 ... Side plate position adjustment member 252 ... Adjustable rod
254 ... Adjustment block 256 ... spring
260 ... Stopper ring 262 ... Stopper home

Claims (63)

곡면 주행하는 필름 기재의 폭방향 중앙 부분에 유체를 분사시킬 수 있는 다수의 수직 구멍들과, 상기 필름 기재의 양측 테두리 부분들로부터 상기 중앙 부분으로 경사지게 유체를 분사시킬 수 있도록 그 양단 부근에 마련된 다수의 경사 구멍들이 형성된 곡면부가 상기 곡면 주행하는 필름 기재에 대향하도록 구비된 본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
A plurality of vertical holes capable of ejecting a fluid to a widthwise central portion of the film base running on a curved surface and a plurality of vertical holes provided near both ends of the film base so as to inject fluid from both side edge portions of the film base to the central portion And a curved surface portion formed with inclined holes of the curved surface facing the curved surface film base.
청구항 1에 있어서,
상기 본체는 상기 수직 구멍들 및 상기 경사 구멍들에 연통될 수 있도록 적어도 하나의 끝단에 마련된 유체 유입구를 가지며 상기 필름 기재의 폭보다 더 큰 길이를 가진 속이 빈 구멍 플레이트를 구비하고;
상기 수직 구멍들은:
상기 필름 기재의 진행 방향에 대해 미리 결정된 제1 간격으로 상기 구멍 플레이트의 A 섹터의 길이 방향으로 나란하게 배치된 다수의 제1 구멍 라인들;
상기 제1 간격보다 더 좁은 제2 간격으로 상기 구멍 플레이트의 상기 A 섹터의 양측에 각각 구획되는 2개의 B 섹터들 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제2 구멍 라인들; 및
상기 제2 간격보다 더 좁은 제3 간격으로 상기 구멍 플레이트의 상기 B 섹터들의 양측에 각각 구획되는 2개의 C 섹터들 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제3 구멍 라인들을 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
The body having a hollow hole plate having a fluid inlet provided at the at least one end to be able to communicate with the vertical holes and the tapered holes and having a length greater than the width of the film substrate;
The vertical holes include:
A plurality of first hole lines arranged in a longitudinal direction of the A sector of the hole plate at a first predetermined gap with respect to a traveling direction of the film substrate;
Second hole lines arranged in the longitudinal direction in each of two B sectors partitioned on both sides of the A sector of the hole plate at a second gap narrower than the first gap; And
And third hole lines arranged in the longitudinal direction in each of the two C sectors partitioned on both sides of the B sectors of the hole plate at a third spacing narrower than the second spacing. A substrate floating device.
청구항 2에 있어서,
상기 A 섹터는 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 24° 각도에 걸쳐 구획되고, 상기 B 섹터들의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 56° 각도에 걸쳐 구획되고, 상기 C 섹터들 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 20° 각도에 걸쳐 구획되는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method of claim 2,
Wherein the A sector is delimited by an angle of 24 degrees from the center of the cross-section circle of the hole plate, each of the B sectors being delimited by an angle of 56 degrees from the center of the cross-section circle of the hole plate, Sectional area of the hole plate is 20 degrees from the center of the cross-section circle of the hole plate.
청구항 2에 있어서,
상기 제1 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 8° 각도의 간격으로 배치되고, 상기 제2 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 4° 각도 간격으로 배치되고, 상기 제3 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 2° 각도 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method of claim 2,
Wherein each of the first hole lines is disposed at an 8 degree angle from the center of the cross-section circle of the hole plate, and each of the second hole lines is disposed at an angle of 4 degrees from the center of the cross- , And each of the third hole lines is disposed at an angle of 2 [deg.] From the center of the cross-section circle of the hole plate.
청구항 1에 있어서,
상기 경사 구멍들 각각은 상기 수직 구멍들의 중심 축에 대해 30° 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
Wherein each of the inclined holes is formed to be inclined by 30 DEG with respect to the central axis of the vertical holes.
청구항 1에 있어서,
상기 경사 구멍들 각각은 상기 구멍 플레이트의 외면에 경사지게 인입 형성됨으로써 장변부와 단변부를 가진 일그러진 깔때기 형상의 경사 분출부, 및 상기 경사 분출부와 연통되며 상기 구멍 플레이트를 경사지게 관통하도록 형성된 경사 관통부를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
Each of the inclined holes has a sloped funnel-shaped inclined ejection portion having a long side portion and a short side portion formed by slanting in an outer surface of the hole plate, and an inclined penetration portion communicating with the inclined ejection portion and formed to penetrate the hole plate in an inclined manner Wherein the film-based floating apparatus is a film-based apparatus.
청구항 6에 있어서,
상기 경사 관통부의 직경은 1.0mm이고, 인접하는 경사 관통부들 사이의 간격은 3.03mm인 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method of claim 6,
Wherein the diameter of the inclined penetrating portion is 1.0 mm and the interval between adjacent inclined penetrating portions is 3.03 mm.
청구항 1에 있어서,
상기 수직 구멍들 각각은, 상기 구멍 플레이트의 외면에 인입 형성된 깔때기 형상의 분출부, 및 상기 분출부와 연통되며 상기 구멍 플레이트를 관통하도록 형성된 관통부를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
Wherein each of the vertical holes has a funnel-shaped ejection portion formed on an outer surface of the hole plate and a penetration portion communicating with the ejection portion and penetrating through the hole plate.
청구항 8에 있어서,
상기 구멍 플레이트의 외표면의 상기 분출부의 직경은 2.0mm이고, 상기 관통부의 직경은 0.5mm인 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method of claim 8,
Wherein the diameter of the spouting portion on the outer surface of the hole plate is 2.0 mm and the diameter of the penetrating portion is 0.5 mm.
청구항 1에 있어서,
상기 경사 구멍들로부터 상기 본체의 양단측에 더 가깝게 형성된 적어도 하나 또는 그 이상의 사이드 수직 구멍 라인들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising at least one or more side vertical hole lines formed closer to both ends of the main body from the inclined holes.
청구항 1에 있어서,
상기 수직 구멍들 및/또는 경사 구멍들로부터 분출되는 유체가 상기 필름 기재의 길이 방향 양측 가장자리들 각각으로 유출되는 것을 방지하기 위해 상기 필름 기재의 양측 가장 자리 각각을 막을 수 있도록 배치된 한 쌍의 사이드 플레이트들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
And a pair of side plates disposed so as to close each side edge of the film substrate so as to prevent the fluid ejected from the vertical holes and / or the sloped holes from flowing out to the longitudinally opposite side edges of the film substrate, And a plurality of plates are further provided.
청구항 11에 있어서,
상기 사이드 플레이트들 각각은, 상기 본체의 외면과 동일한 프로파일을 가진 베이스부; 및 상기 베이스부로부터 연장 형성되며 상기 필름 기재의 플로팅 높이보다 더 높은 차단 높이를 가진 사이드 플레이트 본체를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method of claim 11,
Each of the side plates has a base portion having the same profile as an outer surface of the main body; And a side plate body extending from the base portion and having a blocking height higher than a floating height of the film base.
청구항 11에 있어서,
상기 필름 기재의 폭에 맞도록 상기 사이드 플레이트들의 간격을 조절하기 위해, 상기 사이드 플레이트들을 상기 본체의 길이 방향으로 위치 이동시킬 수 있는 사이드 플레이트 액츄에이터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method of claim 11,
Further comprising a side plate actuator capable of positioning the side plates in the longitudinal direction of the main body so as to adjust the spacing of the side plates to fit the width of the film base.
청구항 11에 있어서,
각각의 사이드 플레이트는, 주행하는 상기 필름 기재의 폭 변화에 적응할 수 있도록 상기 사이드 플레이트의 위치를 가변시킬 수 있는 사이드 플레이트 위치 조절부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method of claim 11,
Wherein each of the side plates further comprises a side plate position adjusting member capable of varying a position of the side plate so as to adapt to a change in width of the film base running.
청구항 14에 있어서,
상기 사이드 플레이트 위치 조절부재는:
일단은 사이드 플레이트에 고정되고 타단은 조절 블록에 슬라이딩 결합되는 조절봉; 및
상기 사이드 플레이트를 상기 조절 블록의 반대 방향으로 바이어스시킬 수 있도록 상기 조절봉을 감싸도록 설치된 스프링을 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
15. The method of claim 14,
The side plate positioning member comprises:
An adjustment rod having one end fixed to the side plate and the other end slidingly coupled to the adjustment block; And
And a spring installed to surround the adjustment rod so as to bias the side plate in a direction opposite to the adjustment block.
청구항 1에 있어서,
상기 본체로부터 상기 필름 기재가 부상되는 '플로팅 구성'에서 상기 본체의 위치를 고정하고, 상기 필름 기재가 상기 본체에 접촉되는 '접촉 구성'에서 상기 필름 기재의 주행에 의해 상기 본체가 회전될 수 있도록 스토퍼 메커니즘을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
The position of the main body is fixed in a 'floating configuration' in which the film base is lifted from the main body, and the main body is rotated by the traveling of the film base in a 'contact configuration' Further comprising a stopper mechanism.
청구항 16에 있어서,
상기 스토퍼 메커니즘은:
프레임의 고정축과 상기 본체 사이에 마련된 베어링;
상기 본체의 적어도 어느 하나의 끝단에 설치된 스토퍼 홈; 및
상기 스토퍼 홈에 선택적으로 삽입될 수 있도록 설치된 스토퍼 돌기를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
18. The method of claim 16,
The stopper mechanism comprises:
A bearing provided between a fixed shaft of the frame and the main body;
A stopper groove provided at an end of at least one of the main bodies; And
And a stopper protrusion provided so as to be selectively inserted into the stopper groove.
청구항 1에 있어서,
상기 필름 기재는 상기 본체에 대향되는 면에 미리 결정된 패턴의 배향막이 형성된 필름인 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the film substrate is a film in which an alignment film of a predetermined pattern is formed on a surface facing the main body.
청구항 18에 있어서,
상기 배향막이 형성된 필름은 패터닝된 광학 필터에 사용되는 위상차 필름인 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
19. The method of claim 18,
Wherein the film on which the alignment film is formed is a retardation film used in a patterned optical filter.
청구항 1에 있어서,
상기 필름 기재는, 주행 방향에 대해 배향막이 서로 지그재그로 배치된 위상차 필름인 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the film base material is a phase difference film in which orientation films are arranged in a staggered arrangement with respect to a running direction.
청구항 1에 있어서,
상기 수직 구멍들과 미리 결정된 간격으로 배치되며, 상기 본체에 진입하기 전의 필름 기재 및 상기 본체로부터 멀어지는 필름 기재의 표면에 유체를 공급하기 위해 상기 본체와 이격되게 배치된 보조 유체 공급부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising an auxiliary fluid supply member disposed at a predetermined interval from the vertical holes, the auxiliary fluid supply member being spaced apart from the main body to supply fluid to the surface of the film base material and the film base material away from the main body before entering the main body Wherein the film-based floating apparatus is a film-based apparatus.
청구항 21에 있어서,
상기 보조 유체 공급부재는:
상기 본체로 진입되기 전의 상기 필름 기재에 유체를 공급할 수 있는 다수의 입구 구멍들이 형성된 입구 플레이트; 및
상기 본체로부터 멀어지는 상기 필름 기재에 유체를 공급할 수 있는 다수의 출구 구멍들이 형성된 출구 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
23. The method of claim 21,
Wherein the auxiliary fluid supply member comprises:
An inlet plate having a plurality of inlet holes through which fluid can be supplied to the film substrate before entering the body; And
And an exit plate having a plurality of exit holes through which fluid can be supplied to the film base material away from the main body.
청구항 22에 있어서,
상기 입구 플레이트와 상기 출구 플레이트는 그 내부가 밀폐되는 단일의 챔버를 형성하고;
상기 단일의 챔버는 내부 공간으로 공급되는 유체를 상기 입구 구멍들과 상기 출구 구멍들을 통해 공급할 수 있는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
23. The method of claim 22,
The inlet plate and the outlet plate forming a single chamber in which the interior thereof is sealed;
Wherein the single chamber is capable of supplying fluid supplied to the inner space through the inlet holes and the outlet holes.
청구항 22에 있어서,
상기 입구 구멍들과 상기 출구 구멍들은 상기 필름 기재의 표면에 대해 상기 본체 방향으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 장치.
23. The method of claim 22,
Wherein the inlet holes and the outlet holes are formed to be inclined toward the body with respect to the surface of the film substrate.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 곡면 주행하는 필름 기재에 유체를 분사시켜 상기 필름 기재를 플로팅시키기 위한 방법에 있어서,
(a) 곡면 주행하는 필름 기재의 폭방향 중앙 부분에 유체를 분사시킬 수 있는 다수의 수직 구멍들과, 상기 필름 기재의 양측 테두리 부분들로부터 상기 중앙 부분으로 경사지게 유체를 분사시킬 수 있도록 그 양단 부근에 마련된 다수의 경사 구멍들이 형성된 곡면부가 상기 곡면 주행하는 필름 기재에 대향하도록 구비된 본체를 제공하는 단계;
(b) 상기 본체의 상기 곡면부 위로 상기 필름 기재를 주행시키는 단계; 및
(c) 상기 다수의 수직 구멍들과 상기 다수의 경사 구멍들을 통해 상기 곡면부 위로 주행하는 상기 필름 기재를 향해 유체를 분사시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
A method for floating a film substrate by spraying a fluid onto a curved film substrate,
(a) a plurality of vertical holes capable of jetting a fluid to a widthwise central portion of a curved film base material, and a plurality of vertical holes formed in the vicinity of both ends of the film base material so as to inject the fluid obliquely from the opposite side edge portions Providing a main body provided with a curved surface portion having a plurality of inclined holes formed therein so as to face the curved film base material;
(b) running the film substrate over the curved surface portion of the main body; And
(c) injecting a fluid toward the film base running on the curved portion through the plurality of vertical holes and the plurality of inclined holes.
청구항 39에 있어서,
상기 본체는 상기 수직 구멍들 및 상기 경사 구멍들에 연통될 수 있도록 적어도 하나의 끝단에 마련된 유체 유입구를 가지며 상기 필름 기재의 폭보다 더 큰 길이를 가진 속이 빈 구멍 플레이트를 구비하고;
상기 수직 구멍들은:
상기 필름 기재의 진행 방향에 대해 미리 결정된 제1 간격으로 상기 구멍 플레이트의 A 섹터의 길이 방향으로 나란하게 배치된 다수의 제1 구멍 라인들;
상기 제1 간격보다 더 좁은 제2 간격으로 상기 구멍 플레이트의 상기 A 섹터의 양측에 각각 구획되는 2개의 B 섹터들 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제2 구멍 라인들; 및
상기 제2 간격보다 더 좁은 제3 간격으로 상기 구멍 플레이트의 상기 B 섹터들의 양측에 각각 구획되는 2개의 C 섹터들 각각에서 길이 방향으로 나란하게 배치된 제3 구멍 라인들을 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
The body having a hollow hole plate having a fluid inlet provided at the at least one end to be able to communicate with the vertical holes and the tapered holes and having a length greater than the width of the film substrate;
The vertical holes include:
A plurality of first hole lines arranged in a longitudinal direction of the A sector of the hole plate at a first predetermined gap with respect to a traveling direction of the film substrate;
Second hole lines arranged in the longitudinal direction in each of two B sectors partitioned on both sides of the A sector of the hole plate at a second gap narrower than the first gap; And
And third hole lines arranged in the longitudinal direction in each of the two C sectors partitioned on both sides of the B sectors of the hole plate at a third spacing narrower than the second spacing. / RTI >
청구항 40에 있어서,
상기 A 섹터는 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 24° 각도에 걸쳐 구획되고, 상기 B 섹터들의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 56° 각도에 걸쳐 구획되고, 상기 C 섹터들 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 20° 각도에 걸쳐 구획되는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
41. The method of claim 40,
Wherein the A sector is delimited by an angle of 24 degrees from the center of the cross-section circle of the hole plate, each of the B sectors being delimited by an angle of 56 degrees from the center of the cross-section circle of the hole plate, Wherein the hole is divided at an angle of 20 占 from the center of the cross-section circle of the hole plate.
청구항 40에 있어서,
상기 제1 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 8° 각도의 간격으로 배치되고, 상기 제2 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 4° 각도 간격으로 배치되고, 상기 제3 구멍 라인의 각각은 상기 구멍 플레이트의 단면원의 중심으로부터 2° 각도 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
41. The method of claim 40,
Wherein each of the first hole lines is disposed at an 8 degree angle from the center of the cross-section circle of the hole plate, and each of the second hole lines is disposed at an angle of 4 degrees from the center of the cross- , And each of the third hole lines is disposed at an angle of 2 DEG from the center of the cross-section circle of the hole plate.
청구항 39에 있어서,
상기 경사 구멍들 각각은 상기 수직 구멍들의 중심 축에 대해 30° 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
Wherein each of the inclined holes is formed to be inclined by 30 DEG with respect to the central axis of the vertical holes.
청구항 39에 있어서,
상기 경사 구멍들 각각은 상기 구멍 플레이트의 외면에 경사지게 인입 형성됨으로써 장변부와 단변부를 가진 일그러진 깔때기 형상의 경사 분출부, 및 상기 경사 분출부와 연통되며 상기 구멍 플레이트를 경사지게 관통하도록 형성된 경사 관통부를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
Each of the inclined holes has a sloped funnel-shaped inclined ejection portion having a long side portion and a short side portion formed by slanting in an outer surface of the hole plate, and an inclined penetration portion communicating with the inclined ejection portion and formed to penetrate the hole plate in an inclined manner Wherein the film is formed on the substrate.
청구항 44에 있어서,
상기 경사 관통부의 직경은 1.0mm이고, 인접하는 경사 관통부들 사이의 간격은 3.03mm인 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
45. The method of claim 44,
Wherein the diameter of the inclined penetrating portion is 1.0 mm and the interval between adjacent inclined penetrating portions is 3.03 mm.
청구항 39에 있어서,
상기 수직 구멍들 각각은, 상기 구멍 플레이트의 외면에 인입 형성된 깔때기 형상의 분출부, 및 상기 분출부와 연통되며 상기 구멍 플레이트를 관통하도록 형성된 관통부를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
Wherein each of the vertical holes has a funnel-shaped ejection portion formed on an outer surface of the hole plate and a penetration portion communicating with the ejection portion and penetrating through the hole plate.
청구항 46에 있어서,
상기 구멍 플레이트의 외표면의 상기 분출부의 직경은 2.0mm이고, 상기 관통부의 직경은 0.5mm인 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
47. The method of claim 46,
Wherein the diameter of the ejecting portion on the outer surface of the hole plate is 2.0 mm and the diameter of the penetrating portion is 0.5 mm.
청구항 39에 있어서,
상기 경사 구멍들로부터 상기 본체의 양단측에 더 가깝게 형성된 적어도 하나 또는 그 이상의 사이드 수직 구멍 라인들을 통해 상기 필름 기재에 유체를 분사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
Further comprising ejecting fluid to the film substrate through at least one or more side vertical hole lines formed closer to both ends of the body from the tapered holes.
청구항 39에 있어서,
상기 필름 기재의 양측 가장 자리 각각을 막을 수 있도록 배치된 한 쌍의 사이드 플레이트들을 이용하여 상기 수직 구멍들 및/또는 경사 구멍들로부터 분출되는 유체가 상기 필름 기재의 길이 방향 양측 가장자리들 각각으로 유출되는 것을 방지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
A pair of side plates arranged so as to cover both side edges of the film substrate are used to allow fluid ejected from the vertical holes and / or tapered holes to flow out to the longitudinally opposite side edges of the film substrate Wherein the method further comprises the step of:
청구항 49에 있어서,
상기 사이드 플레이트들 각각은, 상기 본체의 외면과 동일한 프로파일을 가진 베이스부; 및 상기 베이스부로부터 연장 형성되며 상기 필름 기재의 플로팅 높이보다 더 높은 차단 높이를 가진 사이드 플레이트 본체를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
55. The method of claim 49,
Each of the side plates has a base portion having the same profile as an outer surface of the main body; And a side plate body extending from the base portion and having a blocking height higher than a floating height of the film base.
청구항 49에 있어서,
상기 사이드 플레이트들을 상기 본체의 길이 방향으로 위치 이동시킬 수 있는 사이드 플레이트 액츄에이터를 이용하여 상기 필름 기재의 폭에 맞도록 상기 사이드 플레이트들의 간격을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
55. The method of claim 49,
Further comprising the step of adjusting the distance between the side plates so as to match the width of the film substrate using a side plate actuator capable of moving the side plates in the lengthwise direction of the main body .
청구항 50에 있어서,
각각의 사이드 플레이트는, 주행하는 상기 필름 기재의 폭 변화에 적응할 수 있도록 상기 사이드 플레이트의 위치를 가변시킬 수 있는 사이드 플레이트 위치 조절부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
52. The method of claim 50,
Wherein each of the side plates further comprises a side plate position adjusting member capable of varying a position of the side plate so as to adapt to a width change of the traveling film base material.
청구항 52에 있어서,
상기 사이드 플레이트 위치 조절부재는:
일단은 사이드 플레이트에 고정되고 타단은 조절 블록에 슬라이딩 결합되는 조절봉; 및
상기 사이드 플레이트를 상기 조절 블록의 반대 방향으로 바이어스시킬 수 있도록 상기 조절봉을 감싸도록 설치된 스프링을 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
53. The method of claim 52,
The side plate positioning member comprises:
An adjustment rod having one end fixed to the side plate and the other end slidingly coupled to the adjustment block; And
And a spring installed to surround the adjusting rod so as to bias the side plate in a direction opposite to the adjusting block.
청구항 39에 있어서,
상기 본체가 선택적으로 회전되는 것을 허용하는 스토퍼 메커니즘을 이용하여, 상기 본체로부터 상기 필름 기재가 부상되는 '플로팅 구성'에서 상기 본체의 위치를 고정하고, 상기 필름 기재가 상기 본체에 접촉되는 '접촉 구성'에서 상기 본체가 상기 필름 기재에 접촉되어 회전되는 것을 허용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
The position of the main body is fixed in a " floating configuration " in which the film base is lifted from the main body by using a stopper mechanism that allows the main body to be selectively rotated, ≪ / RTI > further comprising the step of allowing said body to contact and rotate with said film substrate.
청구항 54에 있어서,
상기 스토퍼 메커니즘은:
프레임의 고정축과 상기 본체 사이에 마련된 베어링;
상기 본체의 적어도 어느 하나의 끝단에 설치된 스토퍼 홈; 및
상기 스토퍼 홈에 선택적으로 삽입될 수 있도록 설치된 스토퍼 돌기를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
55. The method of claim 54,
The stopper mechanism comprises:
A bearing provided between a fixed shaft of the frame and the main body;
A stopper groove provided at an end of at least one of the main bodies; And
And a stopper protrusion provided so as to be selectively inserted into the stopper groove.
청구항 39에 있어서,
상기 필름 기재는 상기 본체에 대향되는 면에 미리 결정된 패턴의 배향막이 형성된 필름인 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
Wherein the film substrate is a film in which an alignment film of a predetermined pattern is formed on a surface facing the main body.
청구항 56에 있어서,
상기 배향막이 형성된 필름은 패터닝된 광학 필터에 사용되는 위상차 필름인 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
56. The method of claim 56,
Wherein the film on which the alignment film is formed is a retardation film used for a patterned optical filter.
청구항 39에 있어서,
보조 유체 공급부재를 이용하여 상기 본체에 진입하기 전의 필름 기재 및 상기 본체로부터 멀어지는 필름 기재의 표면에 유체를 추가적으로 공급하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
Further comprising the step of additionally supplying a fluid to the surface of the film base material away from the film base material before entering the main body by using the auxiliary fluid supply member.
청구항 58에 있어서,
상기 보조 유체 공급부재는:
상기 본체로 진입되기 전의 상기 필름 기재에 유체를 공급할 수 있는 다수의 입구 구멍들이 형성된 입구 플레이트; 및
상기 본체로부터 멀어지는 상기 필름 기재에 유체를 공급할 수 있는 다수의 출구 구멍들이 형성된 출구 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
64. The method of claim 58,
Wherein the auxiliary fluid supply member comprises:
An inlet plate having a plurality of inlet holes through which fluid can be supplied to the film substrate before entering the body; And
And an exit plate having a plurality of exit holes through which fluid can be supplied to the film substrate away from the body.
청구항 59에 있어서,
상기 입구 플레이트와 상기 출구 플레이트는 내부가 밀폐되는 단일의 챔버를 형성하고;
상기 단일의 챔버는 내부 공간으로 공급되는 유체를 상기 입구 구멍들과 상기 출구 구멍들을 통해 공급할 수 있는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
55. The method of claim 59,
Wherein the inlet plate and the outlet plate form a single chamber in which the interior is sealed;
Wherein the single chamber is capable of supplying fluid supplied to the inner space through the inlet holes and the outlet holes.
청구항 59에 있어서,
상기 입구 구멍들과 상기 출구 구멍들은 상기 필름 기재의 표면에 대해 상기 본체 방향으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
55. The method of claim 59,
Wherein the inlet holes and the outlet holes are inclined toward the body with respect to the surface of the film substrate.
청구항 39에 있어서,
상기 (a) 단계와 상기 (b) 단계는 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 필름 기재 플로팅 방법.
42. The method of claim 39,
Wherein the step (a) and the step (b) are simultaneously performed.
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