KR102494336B1 - Printed circuit board and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 코어를 포함하고, 상기 코어는 제1 금속층; 및 상기 제1 금속층 내에 형성되는 방열금속을 포함한다.A printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes a core, and the core includes a first metal layer; and a heat dissipation metal formed in the first metal layer.
Description
본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board and a manufacturing method thereof.
기술의 발전에 따라 전자 기기는 소형화 및 경량화를 추구하고 있으며, 이에 따라 정해진 인쇄회로기판 면적에 탑재되는 전자 부품들의 수는 증가하고 있으며 배선의 폭, 배선간 거리 또한 줄어들고 있다.With the development of technology, electronic devices are pursuing miniaturization and light weight, and accordingly, the number of electronic components mounted on a predetermined printed circuit board area is increasing, and the width of wiring and the distance between wiring are also decreasing.
전자 부품들의 수가 증가함에 따라 발열 문제가 발생하므로, 방열 특성이 향상된 인쇄회로기판의 개발이 계속되고 있다. As the number of electronic components increases, heat generation problems occur, and thus, development of printed circuit boards with improved heat dissipation characteristics continues.
본 발명의 목적은 방열특성이 향상된 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a printed circuit board with improved heat dissipation characteristics and a manufacturing method thereof.
본 발명의 일 측면에 따르면, 코어를 포함하는 인쇄회로기판에 있어서, 상기 코어는 제1 금속층; 및 상기 제1 금속층 내에 형성되는 방열금속을 포함한다.According to one aspect of the present invention, in a printed circuit board including a core, the core includes a first metal layer; and a heat dissipation metal formed in the first metal layer.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 캐리어 상에 방열금속 및 관통비아를 형성하는 단계; 상기 관통비아와 상기 방열금속 사이에 절연물질을 형성하는 단계; 상기 캐리어 상에 제1 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 캐리어를 제거하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, forming a heat dissipation metal and through-vias on a carrier; forming an insulating material between the through-via and the heat-dissipating metal; forming a first metal layer on the carrier; And there is provided a printed circuit board manufacturing method comprising the step of removing the carrier.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 도면.
도 2 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법을 나타낸 공정도.1 is a view showing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
2 to 13 are process charts showing a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
본 발명에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Embodiments of a printed circuit board and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals and Redundant descriptions will be omitted.
또한, 이하 사용되는 제1, 제2 등과 같은 용어는 동일 또는 상응하는 구성 요소들을 구별하기 위한 식별 기호에 불과하며, 동일 또는 상응하는 구성 요소들이 제1, 제2 등의 용어에 의하여 한정되는 것은 아니다.In addition, terms such as first and second used below are only identification symbols for distinguishing the same or corresponding components, and the same or corresponding components are not limited by terms such as first and second. no.
또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, coupling does not mean only the case of direct physical contact between each component in the contact relationship between each component, but another configuration intervenes between each component so that the component is in the other configuration. It should be used as a concept that encompasses even the case of contact with each other.
인쇄회로기판printed circuit board
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 도면이다.1 is a diagram showing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 코어를 포함하고, 코어는 제1 금속층(120) 및 방열금속(110)을 포함한다. 방열금속(110)은 제1 금속층(120) 내에 형성된다. 즉, 제1 금속층(120)은 방열금속(110)을 둘러싸도록 형성된다.Referring to FIG. 1 , a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes a core, and the core includes a
제1 금속층(120)은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 티타늄(Ti), 하프늄(Hf), 아연(Zn), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo) 등을 포함할 수 있다. 또한, 금속층(120)은 인바(Invar), 코바(Kovar)와 같은 합금일 수 있다.The
제1 금속층(120)은 코어의 강성을 향상시키기 위하여 인바로 형성될 수 있다.The
방열금속(110)은 코어의 방열 특성을 향상시킨다. 방열금속(110)은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 티타늄(Ti), 하프늄(Hf), 아연(Zn), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo) 등을 포함할 수 있다.The
방열금속(110)은 방열 특성이 우수해지도록, 열전도율이 높은 구리로 형성될 수 있다.The
제1 금속층(120)과 방열금속(110)은 금속 재질의 시드층(M) 상에 전해도금으로 형성될 수 있다. 인쇄회로기판의 최종 제품에서 시드층(M)은 적어도 일부가 남게 되고, 도 1에서는 시드층(M)을 M으로 표기하였다.The
인쇄회로기판의 코어는 제2 금속층(130)을 더 포함할 수 있다.The core of the printed circuit board may further include a
제2 금속층(130)은 제1 금속층(120) 및 방열금속(110) 상에 적층될 수 있다. 또한, 제2 금속층(130)은 시드층(M) 상에도 형성될 수 있다. 제2 금속층(130)은 후술하게 될 절연층(150)과 제1 금속층(120) 간의 밀착력을 향상시키기 위해 형성된다.The
예를 들어, 제1 금속층(120)이 인바 재질인 경우, 인바는 절연층(150)과의 밀착력이 떨어지므로, 인바 상에 절연층(150)과 밀착력이 좋은 구리 재질의 제2 금속층(130)을 형성한다.For example, when the
제2 금속층(130)은 방열금속(110)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 제2 금속층(130)은 상술한 바와 같이, 구리를 포함할 수 있으나, 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 티타늄(Ti), 하프늄(Hf), 아연(Zn), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo) 등을 포함하며, 이러한 금속으로 제한되지 않는다.The
제2 금속층(130) 상에는 절연층(150)이 형성된다. An
절연층(150)은 수지재일 수 있다. 즉, 절연층(150)은 에폭시 수지와 같은 열경화성 수지, 폴리이미드(PI)와 같은 열가소성 수지를 포함할 수 있다. The
또한 절연층(150)은 상기 수지에 보강재를 더 포함할 수 있다. 상기 보강재는 예를 들어, 패브릭(fabric) 보강재, 무기 필러 등 일 수 있다. 상기 패브릭(fabric) 보강재는 유리 섬유일 수 있으며, 유리 섬유가 수지에 함침되어 프리프레그(PPG)로 형성될 수 있다. 이러한 보강재는 절연층(150)에 강성을 부여한다.In addition, the
코어 상에는 회로(C)가 형성되고, 절연층(150)은 금속재질의 코어와 회로(C)를 절연시킨다.A circuit (C) is formed on the core, and the
한편, 인쇄회로기판은 코어를 관통하는 관통비아(210)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the printed circuit board may further include through-
관통비아(210)는 방열금속(110)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 코어가 제1 금속층(120)과 방열비아이 두 종류 금속으로 이루어지는 반면, 관통비아(210)는 한 종류의 금속으로 이루어진다. 한편, 관통비아(210)는 신호 전달용 비아이다. The through-
관통비아(210)의 두께는 코어의 두께와 일치할 수 있다. 특히, 코어가 제2 금속층(130)을 포함하는 경우에, 관통비아(210)의 상하면은 코어의 상하면과 각각 일치할 수 있다.The thickness of the through-
관통비아(210)의 측면과 코어 사이에는 절연물질(140)이 형성된다. 관통비아(210)와 코어 모두 전도성이기 때문에, 불필요한 쇼트를 방지하기 위하여, 그 사이에 절연물질(140)이 요구된다.An
절연물질(140)은 감광성일 수 있다. 즉, 절연물질(140)은 PID라고 불리는 물질일 수 있다. 감광성이란 빛에 반응하는 특성을 의미한다. 감광성 절연물질(140)은 포토 리소 공정이 가능한 자재이므로, 감광성 절연물질(140) 자체에 포토 리소 공정을 행할 수 있고, 별도의 포토 레지스트(R)가 요구되지 않는다. 따라서, 인쇄회로기판 제조 공정이 간단해진다.The
절연물질(140)은 관통비아(210)의 측면과 방열금속(110) 측면 사이에 형성될 수 있다. 즉, 관통비아(210)와 방열금속(110)은 절연물질(140)이 개재되도록 서로 인접하게 위치할 수 있다.The
도 1에 도시된 바와 같이, 감광성 절연물질(140)의 두께는 코어의 두께보다 작다. 특히, 코어가 제2 금속층(130)을 포함하는 경우, 감광성 절연물질(140)의 두께는 코어의 두께보다 작다.As shown in FIG. 1, the thickness of the photosensitive
관통비아(210)와 방열금속(110) 사이에는 이격 공간이 마련되고, 절연물질(140)은 상기 이격 공간 내에 위치하는데, 절연물질(140)은 이격 공간 전체를 충진하는 것이 아니라 일부만을 충진한다.A separation space is provided between the through-
절연물질(140)로 채워지지 않은 이격 공간의 나머지는 상술한 절연층(150)이 충진한다. 즉, 절연물질(140)과 절연층(150)은 이격 공간 내에서 서로 접촉된다.The above-described
절연물질(140) 두께와 코어 두께의 차이는 제2 금속층(130) 및 시드층(M)의 두께와 동일할 수 있다.A difference between the thickness of the
절연층(150) 내에는 연결비아(220)가 형성된다. 연결비아(220)는 관통비아(210)와 연결된다. 절연층(150) 상에는 회로(C)가 형성되며, 연결비아(220) 상에도 회로(C)가 위치할 수 있다. 연결비아(220) 상에 형성된 회로(C)에는 솔더볼이 형성되고, 솔더볼을 통하여 인쇄회로기판이 외부기기와 접속될 수 있다.A connection via 220 is formed in the insulating
인쇄회로기판 제조방법Printed circuit board manufacturing method
도 2 내지 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법을 나타낸 공정도이다.2 to 13 are process charts showing a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 캐리어 상에 방열금속(110)과 관통비아(210)가 형성된다.Referring to FIG. 2 , a
캐리어는 절연재(P) 및 상기 절연재(P) 상에 적층된 두 층의 금속재로 구성될 수 있다. 도 2에는 두 층의 금속재 중 하나만 도시되어 있고, 상기 금속재는 시드층(M)이라고 명명하고 M으로 표기하였다. The carrier may be composed of an insulating material (P) and two layers of metal material laminated on the insulating material (P). In FIG. 2 , only one of the two layers of metal materials is shown, and the metal material is named a seed layer (M) and denoted by M.
캐리어의 절연재(P)는 프리프레그(PPG) 또는 빌드업 필름(build up film)일 수 있다. 프리프레그에는 유리섬유(glass cloth)와 같은 보강재가 포함될 수 있다. 빌드업 필름은 실리카와 같은 필러(filler)가 충진된 수지재일 수 있으며, ABF(Ajinomoto Build-up Film) 등이 사용될 수 있다.The insulating material P of the carrier may be a prepreg (PPG) or a build up film. The prepreg may include a reinforcing material such as glass cloth. The build-up film may be a resin material filled with a filler such as silica, and ABF (Ajinomoto Build-up Film) or the like may be used.
캐리어와 시드층(M) 전체의 두께는 약 0.1mm일 수 있다.A total thickness of the carrier and the seed layer M may be about 0.1 mm.
도 3을 참조하면, 캐리어 상에 포토 레지스트(R)가 형성된다. 포토 레지스트(R)의 두께는 약 75um일 수 있다.Referring to FIG. 3 , a photoresist R is formed on the carrier. A thickness of the photoresist R may be about 75 um.
포토 레지스트(R)는 감광성이며, 포토 리소 공정을 행하기 위하여 요구되는 것이다. 포토 레지스트(R)는 캐리어 전면(全面)에 적층된 후에 마스크(mask)를 이용하여 부분적으로 노광된다. 포토 레지스트(R)는 노광 후 현상되면, 마스크에 대응하여 잔류하게 된다. 즉, 포토 레지스트(R)에는 부분적으로 개구영역이 형성된다.The photoresist R is photosensitive and is required to perform a photolithography process. After the photoresist R is deposited on the entire surface of the carrier, it is partially exposed using a mask. When the photoresist R is developed after exposure, it remains corresponding to the mask. That is, an opening region is partially formed in the photoresist R.
한편, 도면에는 캐리어의 일면에만 공정이 이루어지지만, 캐리어의 양면 모두에 공정이 동시에 이루어질 수 있다. 캐리어의 양면에 공정이 이루어지면, 동시에 두 개의 인쇄회로기판이 제조될 수 있다.Meanwhile, although the process is performed on only one side of the carrier in the drawing, the process may be performed on both sides of the carrier at the same time. When the process is performed on both sides of the carrier, two printed circuit boards can be manufactured at the same time.
도 4를 참조하면, 상기 개구영역에 도금층이 형성된다. 해당 도금층은 관통비아(210) 및 방열금속(110)이다. 여기서, 방열금속(110)의 일부는 관통비아(210)를 둘러싼다. Referring to FIG. 4 , a plating layer is formed in the opening area. The plating layer is through via 210 and
도금층의 두께는 약 50um 이상일 수 있다.The plating layer may have a thickness of about 50 um or more.
관통비아(210)와 방열금속(110)은 시드층(M)을 기반으로 전해도금될 수 있다. 전해도금되면, 관통비아(210)와 방열금속(110)의 도금층이 시드층(M)으로부터 수직으로 성장한다. 도금층의 두께에는 제한이 없으나 포토 레지스트(R) 두께 이하일 수 있다.The through-via 210 and the
시드층(M)은 구리일 수 있으며, 도금층 역시 구리일 수 있다. 특히, 방열금속(110)은 열전도율이 좋은 구리일 수 있다. 본 단계에서 중요한 특징은 관통비아(210)가 도금으로 형성된다는 점이다. 또한, 관통비아(210)가 방열금속(110)과 동일한 공정으로 동시에 형성된다는 점이다.The seed layer M may be copper, and the plating layer may also be copper. In particular, the
도 5를 참조하면, 도금층 형성 후에 포토 레지스트(R)가 제거된다. 포토 레지스트(R) 제거는 박리 방법으로 이루어질 수 있다. 즉, 인쇄회로기판이 박리액에 침지되면 박리액에 반응하는 포토 레지스트(R)가 제거될 수 있다. 포토 레지스트(R)가 제거되면 캐리어 상에는 도금층, 즉, 방열금속(110)과 관통비아(210)만 남는다.Referring to FIG. 5 , the photoresist R is removed after forming the plating layer. The photoresist R may be removed by a peeling method. That is, when the printed circuit board is immersed in the stripper, the photoresist R reacting to the stripper may be removed. When the photoresist R is removed, only the plating layer, that is, the heat-dissipating
도 6을 참조하면, 캐리어 상에 감광성 절연물질(140)이 형성된다. 감광성 절연물질(140)은 캐리어 상에 도포될 수 있다. 도포된 감광성 절연물질(140)은 경화될 수 있다. 감광성 절연물질(140)은 방열금속(110)과 관통비아(210)를 모두 커버한다. 감광성 절연물질(140)은 방열금속(110)과 관통비아(210)의 높이 이상으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 6 , a photosensitive
본 단계에서, 감광성 절연물질(140)은 패터닝된다. 상술한 바와 같이, 감광성 절연물질(140)을 이용하면, 별도의 레지스트(R)가 요구되지 않는다. 감광성 절연물질(140)에 직접적으로 포토 리소 공정을 시행할 수 있다. 즉, 마스크(mask)를 감광성 절연물질(140) 상에 위치시키고, 선택적으로 노광 및 현상하게 되면, 원하는 부분에 대해서만 감광성 절연물질(140)이 남게된다.In this step, the photosensitive insulating
본 발명에서 '원하는 부분'은 관통비아(210)와 방열금속(110)의 사이이다. 감광성 절연물질(140)은 관통비아(210)와 코어를 절연시키는 기능을 한다. 다만, 인쇄회로기판 제조 단계에서, 제1 금속층(120)보다 방열금속(110)이 먼저 형성되기 때문에, 코어와 관통비아(210)를 절연시키기 위해서는 방열금속(110)과 관통비아(210)가 절연되는 것이 바람직하다.In the present invention, the 'desired portion' is between the through-via 210 and the
이 때문에, 방열금속(110)의 일부는 관통비아(210)와 인접하게 형성된다.For this reason, a part of the
한편, 포토 레지스트(R)는 스트립 기판 레벨에서 유닛 간 경계부에 형성될 수도 있다. 또한, 감광성 절연물질(140)이 상기 경계부 상에 형성될 수 있다. 이 경우, 유닛 별로 절단하는 공정에서, 경계부 상에는 금속부분이 거의 존재하지 않기 때문에, 금속부분을 에칭할 필요가 없어진다. Meanwhile, the photoresist R may be formed at the boundary between units at the strip substrate level. In addition, a photosensitive
기존에, 유닛 별로 절단 시, 제1 금속층(120)과 제2 금속층(130)의 에칭을 하는 경우, 서로 간의 에칭율(etching rate)이 다르기 때문에 제어가 어려웠으나, 본 발명에서는 에칭을 하지 않기 때문에, 상술한 문제는 발생하지 않는다.In the past, when cutting unit by unit, when etching the
도 7을 참조하면, 관통비아(210)와 방열금속(110) 사이에 한하여 감광성 절연물질(140)이 잔존하는 결과가 도시되어 있다. 한편, 관통비아(210)와 방열금속(110) 사이를 제외한 나머지 영역의 감광성 절연물질(140)은 제거되고, 그 자리에 제1 금속층(120)이 형성된다. 즉, 캐리어 상에, 관통비아(210)와 방열금속(110)이 형성되고, 그 다음으로 절연물질(140)이 형성되고, 나머지 영역 전체에 제1 금속층(120)이 형성된다.Referring to FIG. 7 , a result in which the photosensitive insulating
제1 금속층(120)이 형성된 후에, 관통비아(210), 방열금속(110), 제1 금속층(120)의 상면은 연마되어 상면이 평평하게 되도록 할 수 있다. 또한, 관통비아(210), 방열금속(110), 제1 금속층(120)의 높이를 원하는 높이로 만들기 위하여, 그 상면을 연마할 수 있다.After the
제1 금속층(120) 역시 시드층(M)을 기반으로 전해도금된다. 제1 금속층(120)은 시드층(M)으로부터 인쇄회로기판의 수직 방향으로 도금층이 성장하여 형성된다. The
도 8을 참조하면, 캐리어가 제거된다. 다만, 시드층(M)은 인쇄회로기판에 잔류한다. 구체적으로 설명하면, 캐리어의 두 개의 금속재 사이가 분리되면서, 하나의 금속재는 절연재(P)와 함께 떨어져 나가고, 다른 하나의 금속재, 즉, 시드층(M)만 잔류한다. Referring to Figure 8, the carrier is removed. However, the seed layer (M) remains on the printed circuit board. Specifically, as the two metal materials of the carrier are separated, one metal material is separated along with the insulating material (P), and the other metal material, that is, only the seed layer (M) remains.
도 9를 참조하면, 시드층(M)의 일부가 제거된다. 여기서, 시드층(M)은 에칭으로 제거된다. 시드층(M)이 제거된 영역은 도 9에서 E로 표기하였다. Referring to FIG. 9 , a portion of the seed layer M is removed. Here, the seed layer M is removed by etching. The region from which the seed layer M was removed is indicated as E in FIG. 9 .
시드층(M) 제거 시, 인쇄회로기판에는 에칭 레지스트(R)가 형성된다. 즉, 에칭하려는 영역(E) 외의 영역에 대해서는 에칭에 대한 보호가 필요하므로, 해당 영역에 한해 에칭 레지스트(R)가 형성된다. 에칭 레지스트(R)의 두게는 25um 이하일 수 있다.When the seed layer M is removed, an etching resist R is formed on the printed circuit board. That is, since protection against etching is required for an area other than the area E to be etched, the etching resist R is formed only in the corresponding area. A thickness of the etching resist R may be 25 μm or less.
에칭 레지스트(R)가 부착된 인쇄회로기판은 에칭액에 침지되고, 에칭액에 반응하는 시드층(M)은 제거된다.The printed circuit board to which the etching resist R is attached is immersed in an etchant, and the seed layer M reacting to the etchant is removed.
도 10을 참조하면, 시드층(M) 에칭이 완료되면, 에칭 레지스트(R)가 제거된다. 에칭 레지스트(R)의 제거는 박리 방법으로 이루어질 수 있다. 즉, 에칭 레지스트(R)가 형성된 인쇄회로기판이 박리액에 침지되면 박리액에 반응하는 에칭 레지스트(R)가 제거된다. 에칭 레지스트(R)가 제거되면, 감광성 절연물질(140)이 노출된다.Referring to FIG. 10 , when the etching of the seed layer M is completed, the etching resist R is removed. Removal of the etching resist R may be performed by a peeling method. That is, when the printed circuit board on which the etching resist R is formed is immersed in the stripping solution, the etching resist R reacting to the stripping solution is removed. When the etching resist R is removed, the photosensitive insulating
도 11을 참조하면, 제1 금속층(120) 상에 제2 금속층(130)이 형성된다. 또한, 시드층(M) 상에 제2 금속층(130)이 형성된다. 제2 금속층(130)은 감광성 절연물질(140)을 커버하지 않는다. Referring to FIG. 11 , a
제2 금속층(130)은 구리일 수 있으며, 그 두께는 5um일 수 있다.The
또한, 제2 금속층(130) 상에 절연층(150)이 형성된다. 절연층(150)은 프리프레그 또는 빌드업 필름일 수 있다. 절연층(150)의 두께는 20~25um일 수 있다.In addition, an insulating
제2 금속층(130)은 절연층(150)과 제1 금속층(120)의 밀착력을 확보한다.The
도 12를 참조하면, 절연층(150) 내에 비아홀(VH)이 형성된다. 비아홀(VH)은 레이저 드릴 등으로 형성될 수 있다. 비아홀(VH)이 레이저 드릴로 형성되는 경우, 도 12에 도시된 것과 같이 테이퍼진 형상이 만들어질 수 있다. 레이저 드릴은 CO2 레이저일 수 있다. Referring to FIG. 12 , via holes VH are formed in the insulating
비아홀(VH)은 관통비아(210)에 대응하여 형성된다. 한편, 비아홀(VH)은 절연층(150)만을 관통하며, 관통비아(210)까지 관통하지는 않는다. 비아홀(VH)이 레이저 드릴로 형성되면, 레이저는 절연층(150)만 제거할 수 있기 때문에, 절연층(150)만 관통하도록 제어가 가능하다.The via hole VH is formed to correspond to the through via 210 . Meanwhile, the via hole VH penetrates only the insulating
도 13을 참조하면, 비아홀(VH) 내에 전도성 물질이 충진되어 연결비아(220)가 형성된다. 연결비아(220)는 관통비아(210)와 접촉하며, 관통비아(210)와 회로(C)를 전기적으로 연결시킨다. 연결비아(220) 및 관통비아(210)는 신호 전달 비아가 된다. Referring to FIG. 13 , a conductive material is filled in the via hole VH to form a connection via 220 . The connection via 220 contacts the through via 210 and electrically connects the through via 210 and the circuit C. The connection via 220 and the through via 210 become signal transmission vias.
전도성 물질 충진은 도금법으로 행해질 수 있다. 이 경우, 비아홀(VH) 내에 무전해도금층이 먼저 형성된 이후에 무전해도금층 상에 전해도금층이 형성되어 비아홀(VH)이 필 도금될 수 있다. Filling the conductive material may be performed by a plating method. In this case, after the electroless plating layer is first formed in the via hole VH, the electroplating layer is formed on the electroless plating layer to perform peel plating on the via hole VH.
한편, 연결비아(220) 형성 시, 회로(C)가 동시에 형성될 수 있다. 회로(C)는 Additive, Subtractive, Semi-Additive 등의 방법으로 형성될 수 있으나, 이러한 방법으로 제한되는 것은 아니다. 회로(C)는 구리 등의 금속으로 형성될 수 있다.Meanwhile, when the connection via 220 is formed, the circuit C may be simultaneously formed. The circuit (C) may be formed by methods such as additive, subtractive, semi-additive, etc., but is not limited to these methods. The circuit (C) may be formed of a metal such as copper.
이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.In the above, one embodiment of the present invention has been described, but those skilled in the art can add, change, delete, or add components within the scope not departing from the spirit of the present invention described in the claims. The present invention can be variously modified and changed by the like, and this will also be said to be included within the scope of the present invention.
110: 방열금속
120: 제1 금속층
130: 제2 금속층
140: 절연물질
150: 절연층
210: 관통비아
220: 연결비아110: heat dissipation metal
120: first metal layer
130: second metal layer
140: insulating material
150: insulating layer
210: through via
220: connection via
Claims (17)
상기 코어는
방열금속;
상기 방열금속의 측면의 적어도 일부를 덮는 제1 금속층; 및
상기 방열금속 및 상기 제1 금속층과 밀착하며 상기 방열금속 및 상기 제1 금속층 상에 배치되는 제2 금속층;을 포함하며,
상기 관통비아는 상기 방열금속 및 상기 제1 금속층과 접촉하지 않으며,
상기 관통비아의 측면과 상기 방열금속의 측면 사이에 감광성 절연물질이 배치되는, 인쇄회로기판.
It includes a core and a through-via penetrating the core,
the core
radiant metal;
a first metal layer covering at least a portion of a side surface of the heat dissipating metal; and
A second metal layer in close contact with the heat dissipation metal and the first metal layer and disposed on the heat dissipation metal and the first metal layer;
The through-via does not contact the heat dissipation metal and the first metal layer;
A photosensitive insulating material is disposed between a side surface of the through-via and a side surface of the heat-dissipating metal.
상기 제2 금속층과 상기 방열금속은 동일한 금속으로 형성되는 인쇄회로기판.
According to claim 1,
The second metal layer and the heat dissipation metal are formed of the same metal.
상기 관통비아는 상기 방열금속과 동일한 금속으로 형성되는 인쇄회로기판.
According to claim 1,
The through-via is formed of the same metal as the heat dissipation metal.
상기 감광성 절연물질은 상기 관통비아 측면과 상기 코어 사이에 배치되는 인쇄회로기판.
According to claim 5,
The photosensitive insulating material is disposed between the through-via side and the core.
상기 감광성 절연물질의 두께는 상기 코어의 두께보다 작은 인쇄회로기판.
According to claim 6,
The thickness of the photosensitive insulating material is smaller than the thickness of the core printed circuit board.
상기 코어 상에 적층되는 절연층을 더 포함하는 인쇄회로기판.
According to claim 1,
A printed circuit board further comprising an insulating layer laminated on the core.
상기 관통비아와 상기 방열금속 사이에 감광성 절연물질을 형성하는 단계;
상기 캐리어 상에 제1 금속층을 형성하는 단계;
상기 캐리어를 제거하는 단계;
상기 시드층 중 상기 감광성 절연물질에 대응되는 부분을 제거하는 단계; 및
상기 시드층 및 상기 제1 금속층 상에 제2 금속층을 적층하는 단계;를 포함하며,
상기 제1 금속층은 상기 방열금속의 측면의 적어도 일부를 덮으며,
상기 제2 금속층은 상기 방열금속 및 상기 제1 금속층과 밀착하며,
상기 관통비아는 상기 방열금속 및 상기 제1 금속층과 접촉하지 않으며,
상기 관통비아의 측면과 상기 방열금속의 측면 사이에 상기 감광성 절연물질이 배치되며,
상기 관통비아와 상기 방열금속 사이에 감광성 절연물질을 형성하는 단계에서,
상기 캐리어 상에 상기 감광성 절연물질을 형성하고,
상기 관통비아와 상기 방열금속 사이를 제외한 영역 상의 감광성 절연물질을 제거하는 인쇄회로기판 제조방법.
forming a heat dissipation metal and through-vias on the carrier on which the seed layer is formed;
forming a photosensitive insulating material between the through-via and the heat-dissipating metal;
forming a first metal layer on the carrier;
removing the carrier;
removing a portion of the seed layer corresponding to the photosensitive insulating material; and
Stacking a second metal layer on the seed layer and the first metal layer; includes,
The first metal layer covers at least a portion of a side surface of the heat dissipating metal,
The second metal layer is in close contact with the heat dissipation metal and the first metal layer,
The through-via does not contact the heat dissipation metal and the first metal layer;
The photosensitive insulating material is disposed between a side surface of the through-via and a side surface of the heat-dissipating metal;
In the step of forming a photosensitive insulating material between the through via and the heat dissipation metal,
Forming the photosensitive insulating material on the carrier;
A method of manufacturing a printed circuit board comprising removing a photosensitive insulating material on a region other than between the through-via and the heat-dissipating metal.
상기 방열금속 및 관통비아를 형성하는 단계에서,
상기 방열금속 및 상기 관통비아는 도금으로 형성되는 인쇄회로기판 제조방법.According to claim 10,
In the step of forming the heat dissipation metal and through-vias,
The heat-dissipating metal and the through-via are formed by plating.
상기 방열금속 및 상기 관통비아는 상기 시드층 상에 전해도금되는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 12,
The heat dissipation metal and the through-via are electrolytically plated on the seed layer.
상기 제2 금속층을 적층하는 단계 이후에,
상기 제2 금속층 상에 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 10,
After the step of laminating the second metal layer,
The method of manufacturing a printed circuit board further comprising forming an insulating layer on the second metal layer.
상기 코어는
방열금속;
상기 방열금속의 측면의 적어도 일부를 덮는 제1 금속층; 및
상기 방열금속 및 상기 제1 금속층과 밀착하며 상기 방열금속 및 상기 제1 금속층 상에 배치되는 제2 금속층;을 포함하며,
상기 관통비아는 상기 방열금속과 동일한 금속으로 형성되고,
상기 관통비아의 측면과 상기 코어 사이에는 감광성 절연물질이 형성되고,
상기 감광성 절연물질의 두께는 상기 코어의 두께보다 작으며,
상기 관통비아는 상기 방열금속 및 상기 제1 금속층과 접촉하지 않는, 인쇄 회로 기판.
It includes a core and a through-via penetrating the core,
the core
radiant metal;
a first metal layer covering at least a portion of a side surface of the heat dissipating metal; and
A second metal layer in close contact with the heat dissipation metal and the first metal layer and disposed on the heat dissipation metal and the first metal layer;
The through-via is formed of the same metal as the heat dissipation metal,
A photosensitive insulating material is formed between a side surface of the through-via and the core;
The thickness of the photosensitive insulating material is smaller than the thickness of the core,
The through-via does not contact the heat dissipation metal and the first metal layer.
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