KR102492802B1

KR102492802B1 - Apparatus for supplying gas

Info

Publication number: KR102492802B1
Application number: KR1020210002270A
Authority: KR
Inventors: 최형호; 김종규; 김현식; 변경섭; 안병준; 정병찬; 황범수; 이기문
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2020-02-27
Filing date: 2021-01-08
Publication date: 2023-01-31
Also published as: KR20210110179A

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 가스 공급 장치는 케비넷에 설치되는 마운트부와, 상기 마운트부에 승강 가능하게 설치되는 가스 공급부 및 가스 용기를 상기 가스 공급부에 고정시키기 위한 가스 용기 고정부를 포함하며, 상기 가스 공급부는 상기 마운트부에 설치되어 상기 가스 용기에 결합되는 CGA 체결 모듈을 포함하며,
상기 CGA 체결 모듈은 케이스와, 상기 케이스에 회전 가능하게 설치되는 엔드캡 하우징과, 상기 엔드캡 하우징에 이웃하여 배치되도록 상기 케이스에 설치되는 CGA 커넥터 하우징과, 상기 케이스의 센서 설치대에 설치되어 상기 CGA 커넥터 하우징의 하부에 배치되는 상기 가스켓 감지 센서 및 상기 엔드캡 하우징으로부터 이격 배치되며 상기 엔드캡 하우징과 상기 CGA 커넥터 하우징에 연결되는 동력전달부를 구비할 수 있다.A gas supply apparatus according to an embodiment of the present invention includes a mount part installed in a cabinet, a gas supply part movably installed in the mount part, and a gas container fixing part for fixing a gas container to the gas supply part, wherein the The gas supply unit includes a CGA fastening module installed in the mount unit and coupled to the gas container,
The CGA fastening module includes a case, an end cap housing rotatably installed in the case, a CGA connector housing installed in the case so as to be disposed adjacent to the end cap housing, and a sensor installation table installed in the case, so that the CGA The gasket detection sensor disposed under the connector housing and a power transmission unit spaced apart from the end cap housing and connected to the end cap housing and the CGA connector housing may be provided.

Description

Gas supply device {Apparatus for supplying gas}

본 발명은 가스 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas supply device.

일반적으로 반도체 제조공정에 사용되는 가스는 가스가 저장된 가스 용기로부터 가스배관을 거쳐 제조 설비로 공급된다. 가스가 소진되어 가스 용기를 교체하는 경우 가스 용기와 가스배관의 연결/분리, 가스배관 연결부의 개스킷 교체 및 가스 용기에 구비되는 밸브의 개폐로 이루어지는 일련의 교체작업이 발생하는데 (이하 가스 용기 교체작업이라 함), 상기 작업에서 공정가스는 인화성, 부식성 및 유독성 등의 성질을 가지고 있어 가스 유출 또는 잔여물과 접촉 시 작업자와 환경에 큰 피해를 가져올 수 있으므로 작업 시 상당한 주의와 안전 대책이 요구된다.In general, gas used in a semiconductor manufacturing process is supplied from a gas container in which the gas is stored to a manufacturing facility through a gas pipe. When the gas container is replaced because the gas is exhausted, a series of replacement operations consisting of connecting/disconnecting the gas container and the gas pipe, replacing the gasket of the gas pipe connection, and opening and closing the valve provided in the gas container occurs (hereafter, the gas container replacement operation ), process gas in the above operation has properties such as inflammability, corrosiveness, and toxicity, and when it comes into contact with gas leaks or residues, it can cause great damage to workers and the environment, so considerable caution and safety measures are required during operation.

본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 가스 용기가 자동으로 연결될 수 있는 가스 공급 장치를 제공하는 것이다.One of the technical problems to be achieved by the technical idea of the present invention is to provide a gas supply device to which a gas container can be automatically connected.

예시적인 실시예에 따른 가스 공급 장치는 케비넷에 설치되는 마운트부와, 상기 마운트부에 승강 가능하게 설치되는 가스 공급부 및 가스 용기를 상기 가스 공급부에 고정시키기 위한 가스 용기 고정부를 포함하며, 상기 가스 공급부는 상기 마운트부에 설치되어 상기 가스 용기에 결합되는 CGA 체결 모듈을 포함하며,A gas supply device according to an exemplary embodiment includes a mount part installed in a cabinet, a gas supply part movably installed on the mount part, and a gas container fixing part for fixing a gas container to the gas supply part, The supply unit includes a CGA fastening module installed in the mount unit and coupled to the gas container,

상기 CGA 체결 모듈은 케이스와, 상기 케이스에 회전 가능하게 설치되는 엔드캡 하우징과, 상기 엔드캡 하우징에 이웃하여 배치되도록 상기 케이스에 설치되는 CGA 커넥터 하우징과, 상기 케이스의 센서 설치대에 설치되어 상기 CGA 커넥터 하우징의 하부에 배치되는 상기 가스켓 감지 센서 및 상기 엔드캡 하우징으로부터 이격 배치되며 상기 엔드캡 하우징과 상기 CGA 커넥터 하우징에 연결되는 동력전달부를 구비할 수 있다.The CGA fastening module includes a case, an end cap housing rotatably installed in the case, a CGA connector housing installed in the case so as to be disposed adjacent to the end cap housing, and a sensor installation table installed in the case, so that the CGA The gasket detection sensor disposed under the connector housing and a power transmission unit spaced apart from the end cap housing and connected to the end cap housing and the CGA connector housing may be provided.

가스 용기가 자동으로 연결될 수 있는 가스 공급 장치를 제공할 수 있다.It is possible to provide a gas supply device to which a gas container can be automatically connected.

본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.The various beneficial advantages and effects of the present invention are not limited to the above, and will be more easily understood in the process of describing specific embodiments of the present invention.

도 1은 예시적인 실시예에 따른 마운트 부를 나타내는 사시도이다.
도 2는 예시적인 실시예에 따른 마운트 부를 나타내는 저면 사시도이다.
도 3은 예시적인 실시예에 따른 가스 용기 고정부를 나타내는 사시도이다.
도 4는 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈을 나타내는 사시도이다.
도 5는 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈을 나타내는 배면 사시도이다.
도 6은 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈용 구동부를 나타내는 사시도이다.
도 7은 예시적인 실시예에 따른 CGA 배관 고정 모듈을 나타내는 사시도이다.
도 8은 예시적인 실시예에 따른 CGA 배관을 나타내는 사시도이다.
도 9는 예시적인 실시예에 따른 가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈을 나타내는 개략 사시도이다.
도 10은 예시적인 실시예에 따른 가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈의 클러치 기어와 상하 이동 모듈을 나타내는 구성도이다.
도 11은 예시적인 실시예에 따른 가스 용기의 밸브 개폐 감지 모듈을 나타내는 사시도이다.
도 12는 예시적인 실시예에 따른 가스 용기의 밸브 개폐 감지 모듈을 나타내는 구성도이다.
도 13은 예시적인 실시예에 따른 가스켓 교체 모듈을 나타내는 개략 사시도이다.
도 14는 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서의 설치 상태를 나타내는 사시도이다.
도 15는 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서의 설치 위치를 설명하기 위한 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a mount unit according to an exemplary embodiment.
2 is a bottom perspective view illustrating a mount unit according to an exemplary embodiment.
3 is a perspective view illustrating a gas container fixing part according to an exemplary embodiment.
Fig. 4 is a perspective view showing a CGA fastening module according to an exemplary embodiment.
5 is a rear perspective view showing a CGA fastening module according to an exemplary embodiment.
6 is a perspective view illustrating a driving unit for a CGA fastening module according to an exemplary embodiment.
7 is a perspective view showing a CGA pipe fixing module according to an exemplary embodiment.
8 is a perspective view showing a CGA pipe according to an exemplary embodiment.
Fig. 9 is a schematic perspective view showing a valve rotation driving module of a gas container according to an exemplary embodiment.
Fig. 10 is a configuration diagram showing a clutch gear and a vertical movement module of a valve rotation driving module of a gas container according to an exemplary embodiment.
Fig. 11 is a perspective view illustrating a valve opening/closing detection module of a gas container according to an exemplary embodiment.
Fig. 12 is a block diagram showing a valve opening/closing detection module for a gas container according to an exemplary embodiment.
13 is a schematic perspective view illustrating a gasket replacement module according to an exemplary embodiment.
14 is a perspective view illustrating an installation state of a gasket detection sensor for a CGA fastening module according to an exemplary embodiment.
15 is a perspective view illustrating an installation position of a gasket detection sensor for a CGA fastening module according to an exemplary embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

마운트부mount part

도 1은 예시적인 실시예에 따른 마운트 부를 나타내는 사시도이고, 도 2는 예시적인 실시예에 따른 마운트 부를 나타내는 저면 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a mount unit according to an exemplary embodiment, and FIG. 2 is a bottom perspective view illustrating a mount unit according to an exemplary embodiment.

도 1을 참조하면, 마운트부(100)는 프레임(110), 스프링(120), 풀리(130), 와이어(140) 및 마그넷(150)을 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 1 , the mount unit 100 may include a frame 110, a spring 120, a pulley 130, a wire 140, and a magnet 150.

일예로서, 마운트부(100)는 가스 용기(미도시)가 수용되는 케비넷(미도시)에 고정 설치될 수 있다. 그리고, 마운트부(100)에는 가스 용기와 배관(미도시)을 자동 연결시키는 가스 공급부가 연결될 수 있다. 가스 공급부는 와이어(140)에 연결되어 마운트부(100)로부터 이격되거나 마운트부(100)에 접촉되어 고정될 수 있다.As an example, the mount unit 100 may be fixedly installed in a cabinet (not shown) in which a gas container (not shown) is accommodated. A gas supply unit for automatically connecting a gas container and a pipe (not shown) may be connected to the mount unit 100 . The gas supply unit may be connected to the wire 140 and spaced apart from the mount unit 100 or may be fixed in contact with the mount unit 100 .

프레임(110)은 대략 사각형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 또한, 프레임(110)의 저면 양단부에는 스프링(120)이 설치되는 설치구(112)가 구비될 수 있다. 한편, 설치구(112)는 적어도 하나의 스프링(120)이 수용될 수 있는 크기를 가지며, 일예로서, 프레임(110)의 양단부에 각각 4개의 설치구(112)가 구비될 수 있다. 그리고, 프레임(110)에는 마그넷(150)이 설치되는 복수개의 장착홀(114)이 구비될 수 있다. 또한, 프레임(110)에는 풀리(130)의 설치를 위한 장착구(116)가 구비될 수 있다.The frame 110 may have a substantially rectangular plate shape. In addition, mounting holes 112 in which springs 120 are installed may be provided at both ends of the lower surface of the frame 110 . On the other hand, the mounting hole 112 has a size that can accommodate at least one spring 120, for example, four mounting holes 112 may be provided at both ends of the frame 110, respectively. And, the frame 110 may be provided with a plurality of mounting holes 114 in which the magnet 150 is installed. In addition, a mounting hole 116 for installing the pulley 130 may be provided in the frame 110 .

스프링(120)은 상기한 프레임(110)의 설치구(112)에 설치되며, 와이어(140)의 일단이 스프링(120)에 연결된다. 이에 따라, 와이어(140)가 인출되는 경우 스프링(120)은 수축된다. 이후, 와이어(140)에 가해지는 인장력이 제거되는 경우 스프링(120)의 복원력에 의해 와이어(140)가 인입될 수 있다. 일예로서, 스프링(120)은 코일 스프링으로 이루어질 수 있으며, 스프링(120)은 정하중 스프링일 수 있다. 그리고, 스프링(120)은 일예로서, 프레임(110)의 하나의 설치구(112)에 두 개가 한 쌍을 이루도록 배치될 수 있다.The spring 120 is installed in the installation port 112 of the frame 110, and one end of the wire 140 is connected to the spring 120. Accordingly, when the wire 140 is pulled out, the spring 120 is contracted. Then, when the tensile force applied to the wire 140 is removed, the wire 140 may be pulled in by the restoring force of the spring 120 . As an example, the spring 120 may be made of a coil spring, and the spring 120 may be a static load spring. In addition, as an example, two springs 120 may be disposed in one installation hole 112 of the frame 110 to form a pair.

풀리(130)는 프레임(110)의 중앙부와 프레임(110)의 설치구(112)에 인접 배치되도록 복수개가 프레임(110)에 회전 가능하게 설치된다. 즉, 풀리(130)는 프레임(110)의 장착구(116)에 회전 가능하게 설치된다. 일예로서, 풀리(130)는 와이어(140)의 개수에 대응되는 개수가 프레임(110)에 설치될 수 있다. 그리고, 풀리(130)는 와이어(140)를 가이드하는 역할을 수행하는 동시에 와이어(140)의 방향을 전환하는 역할을 수행한다. 이를 위해, 풀리(130)는 하나의 장착구(116)에 복수개가 설치될 수 있다.A plurality of pulleys 130 are rotatably installed in the frame 110 so as to be disposed adjacent to the central portion of the frame 110 and the mounting hole 112 of the frame 110 . That is, the pulley 130 is rotatably installed in the mounting hole 116 of the frame 110 . As an example, the number of pulleys 130 corresponding to the number of wires 140 may be installed in the frame 110 . Then, the pulley 130 serves to guide the wire 140 and at the same time serves to change the direction of the wire 140. To this end, a plurality of pulleys 130 may be installed in one mounting hole 116 .

와이어(140)는 일단이 스프링(120)에 연결되고 타단은 가스 공급부(미도시)에 연결된다. 그리고, 와이어(140)는 풀리(130)에 의해 안내되면서 인출될 수 있다. 일예로서, 와이어(140)는 일예로서 8개가 구비될 수 있다.One end of the wire 140 is connected to the spring 120 and the other end is connected to a gas supply unit (not shown). Then, the wire 140 may be drawn out while being guided by the pulley 130 . As an example, eight wires 140 may be provided as an example.

마그넷(150)은 프레임(110)의 장착홀(114)에 설치될 수 있다. 마그넷(150)은 일예로서, 8개가 프레임(110)에 설치될 수 있다. 한편, 마그넷(150)은 가스 공급부가 상승하는 경우 가스 공급부가 자력에 의해 부착되도록 하여 가스 공급부가 고정되도록 하는 역할을 수행한다. 그리고, 마그넷(150)에 가스 공급부가 자력에 의해 고정되므로 작업자가 용이하게 가스 공급부를 마운트부(100)로부터 이격시킬 수 있다.The magnet 150 may be installed in the mounting hole 114 of the frame 110 . As an example, eight magnets 150 may be installed in the frame 110 . Meanwhile, the magnet 150 serves to fix the gas supply unit by attaching it by magnetic force when the gas supply unit rises. In addition, since the gas supply unit is fixed to the magnet 150 by magnetic force, the operator can easily separate the gas supply unit from the mount unit 100 .

상기한 바와 같이, 와이어(140)가 스프링(120)에 연결되므로 가스 공급부의 무게를 스프링(120)이 보상할 수 있다. 그리고, 와이어(140)가 풀리(130)에 의해 안내되므로 작업자가 안전하게 가스 공급부를 승하강시킬 수 있다. 또한, 마그넷(150)이 프레임(110)에 설치되므로 가스 공급부가 상승하는 경우 자력에 의해 가스 공급부를 고정시킬 수 있다.As described above, since the wire 140 is connected to the spring 120, the spring 120 can compensate for the weight of the gas supply unit. Also, since the wire 140 is guided by the pulley 130, the operator can safely move the gas supply unit up and down. In addition, since the magnet 150 is installed on the frame 110, when the gas supply unit rises, the gas supply unit can be fixed by magnetic force.

가스 용기 고정부Gas container fixing part

도 3은 예시적인 실시예에 따른 가스 용기 고정부를 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a gas container fixing part according to an exemplary embodiment.

**

도 3을 참조하면, 가스 용기 고정부(200)는 일예로서, 메인 플레이트(210), 위치 결정 핀(220), 스터드 볼트(230), 도어(240) 및 클램프 유닛(250)을 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 3 , the gas container fixing part 200 includes, for example, a main plate 210, a positioning pin 220, a stud bolt 230, a door 240, and a clamp unit 250. It can be.

한편, 가스 용기 고정부(200)를 가스 용기(10)에 고정시킨 경우 가스 용기(10)의 가스 밸브(12)가 메인 플레이트(210)의 상부에 배치된다. 그리고, 가스 용기 고정부(200)는 가스 공급부에 고정되어 가스 용기(10)가 틀어지거나 이동되지 못하도록 하는 역할을 수행한다. 즉, 가스 용기(10)에 가스 용기 고정부(200)를 설치한 후 가스 공급부를 작업자가 하강시켜 가스 용기 고정부(200)와 가스 공급부가 고정 결합되도록 한다.Meanwhile, when the gas container fixing part 200 is fixed to the gas container 10 , the gas valve 12 of the gas container 10 is disposed above the main plate 210 . Also, the gas container fixing part 200 is fixed to the gas supply unit and serves to prevent the gas container 10 from being twisted or moved. That is, after installing the gas container fixing part 200 to the gas container 10, the operator lowers the gas supply part so that the gas container fixing part 200 and the gas supply part are fixedly coupled.

메인 플레이트(210)에는 가스 용기(10)의 상단부가 입출되는 개구부(212)가 구비된다. 즉, 작업자는 도어(240)를 회전시켜 개구부(212)를 개방한 상태에서 가스 용기(10)의 상단부가 개구부(212)로 인입되도록 한다. 이후, 도어(240)를 회전시켜 개구부(212)를 폐쇄하여 가스 용기(10)가 고정되도록 한다. 한편, 메인 플레이트(210)의 저면 일측에는 클램프 유닛(250)이 설치되는 설치대(214)가 구비될 수 있다. 한편, 메인 플레이트(210)에는 도어(240)가 회전 가능하게 설치될 수 있도록 힌지(216)가 설치될 수 있다.The main plate 210 is provided with an opening 212 through which an upper end of the gas container 10 enters and exits. That is, the operator rotates the door 240 so that the upper end of the gas container 10 is drawn into the opening 212 while the opening 212 is open. Thereafter, the door 240 is rotated to close the opening 212 so that the gas container 10 is fixed. Meanwhile, a mounting table 214 on which the clamp unit 250 is installed may be provided on one side of the lower surface of the main plate 210 . Meanwhile, a hinge 216 may be installed on the main plate 210 so that the door 240 can be rotatably installed.

위치 결정 핀(220)은 메인 플레이트(210)의 상면에 복수개가 구비될 수 있다. 위치 결정 핀(220)은 상단부가 테이퍼 형상을 가질 수 있다. 즉, 가스 공급부가 하강하는 경우 위치 결정 핀(220)이 용이하게 가스 공급부에 결합될 수 있도록 위치 결정 핀(220)의 상단부가 테이퍼지게 형성되는 것이다.A plurality of positioning pins 220 may be provided on the upper surface of the main plate 210 . The positioning pin 220 may have a tapered upper end. That is, when the gas supply part descends, the upper end of the positioning pin 220 is tapered so that the positioning pin 220 can be easily coupled to the gas supply part.

스터드 볼트(230)는 메인 플레이트(210)의 상면에 고정 설치되며 복수개가 구비될 수 있다. 가스 공급부에 가스 용기 고정부(200)가 결합되는 경우 스터드 볼트(230)는 가스 공급부의 공압 액츄에이터에 연결되어 메인 플레이트(210)가 가스 공급부에 고정될 수 있도록 하는 역할을 수행한다. Stud bolts 230 are fixedly installed on the upper surface of the main plate 210 and may be provided in plurality. When the gas container fixing part 200 is coupled to the gas supply part, the stud bolt 230 is connected to the pneumatic actuator of the gas supply part and serves to fix the main plate 210 to the gas supply part.

도어(240)는 개구부(212)를 개폐하도록 메인 플레이트(210)에 회전 가능하도록 설치된다. 이를 위해, 도어(240)는 개구부(212)의 일단에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 한편 도어(240)의 일측에는 클램프 유닛(250)에 결합되는 걸림부(미도시)가 구비될 수 있다. 즉, 도어(240)가 개구부(212)를 폐쇄한 상태에서 걸림부가 클램프 유닛(250)에 걸림되어 도어(240)가 회전되지 않고 개구부(212)를 폐쇄한 상태를 유지할 수 있다.The door 240 is rotatably installed on the main plate 210 to open and close the opening 212 . To this end, the door 240 may have a shape corresponding to one end of the opening 212 . Meanwhile, a locking portion (not shown) coupled to the clamp unit 250 may be provided at one side of the door 240 . That is, in a state in which the door 240 closes the opening 212 , the locking portion may be caught by the clamp unit 250 so that the door 240 does not rotate and the opening 212 may remain closed.

클램프 유닛(250)은 메인 플레이트(210)의 설치대(214)에 구비될 수 있다. 일예로서, 클램프 유닛(250)은 손잡이(252)와, 손잡이(252)에 연결되는 연결부(254) 및 연결부(254)의 끝단에 구비되는 후크(256)를 구비할 수 있다. 손잡이(252)는 메인 플레이트(210)에 회전 가능하게 설치된다. 그리고, 손잡이(252)의 중앙부 측에 연결되는 연결부(254)는 손잡이(252)의 회전에 따라 이동될 수 있다. 또한, 후크(256)가 연결부(254)와 연동하여 이동되면서 도어(240)의 걸림부에 걸림되거나 걸림이 해제될 수 있다.The clamp unit 250 may be provided on the mounting base 214 of the main plate 210 . As an example, the clamp unit 250 may include a handle 252, a connection portion 254 connected to the handle 252, and a hook 256 provided at an end of the connection portion 254. The handle 252 is rotatably installed on the main plate 210 . In addition, the connecting portion 254 connected to the central portion of the handle 252 may be moved according to the rotation of the handle 252 . In addition, while the hook 256 is moved in association with the connecting portion 254 , the door 240 may be caught or released.

상기한 바와 같이, 메인 플레이트(210)에 회전 가능하게 설치되는 도어(240)를 통해 가스 용기(10)의 상단부를 고정시키며, 스터드 볼트(230)가 가스 공급부의 공압 액츄에이터(미도시)에 연결된다. 이에 따라, 가스 공급부에 가스 용기 고정부(200)가 설치되는 경우 가스 공급부의 작동 중 가스 용기가 회전되거나 이동되는 것을 방지할 수 있다.As described above, the upper end of the gas container 10 is fixed through the door 240 rotatably installed on the main plate 210, and the stud bolt 230 is connected to a pneumatic actuator (not shown) of the gas supply unit do. Accordingly, when the gas container fixing unit 200 is installed in the gas supply unit, it is possible to prevent the gas container from being rotated or moved during operation of the gas supply unit.

CGACGA 체결 모듈 fastening module

도 4는 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈을 나타내는 사시도이고, 도 5는 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈을 나타내는 배면 사시도이다.Fig. 4 is a perspective view showing a CGA fastening module according to an exemplary embodiment, and Fig. 5 is a rear perspective view showing a CGA fastening module according to an exemplary embodiment.

도 4 및 도 5를 참조하면, CGA 체결 모듈(300)은 일예로서, 케이스(310), 엔드캡 하우징(320), CGA 커넥터 하우징(330), 가스켓 감지 센서(340) 및 동력 전달부(350)를 포함하여 구성될 수 있다.4 and 5, the CGA fastening module 300 is, as an example, a case 310, an end cap housing 320, a CGA connector housing 330, a gasket detection sensor 340, and a power transmission unit 350. ).

케이스(310)는 내부 공간을 가지며, 일면에 엔드캡 하우징(320), CGA 커넥터 하우징(330)가 회전 가능하게 설치된다. 한편, 케이스(310)의 내부 공간에는 동력 전달부(350)로부터 전달받은 동력을 엔드캡 하우징(320), CGA 커넥터 하우징(330)로 전달하기 위한 동력전달부재(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 케이스(310)에는 가스 용기(미도시)에 연결되는 CGA 커넥터(360)가 관통되도록 설치될 수 있다. 한편, CGA 커넥터(360)의 일단은 CGA 커넥터 하우징(330)으로부터 돌출되도록 배치될 수 있다.The case 310 has an inner space, and an end cap housing 320 and a CGA connector housing 330 are rotatably installed on one surface. Meanwhile, a power transmission member (not shown) may be provided in the inner space of the case 310 to transmit power received from the power transmission unit 350 to the end cap housing 320 and the CGA connector housing 330. . In addition, a CGA connector 360 connected to a gas container (not shown) may be installed through the case 310 . Meanwhile, one end of the CGA connector 360 may be disposed to protrude from the CGA connector housing 330 .

엔드캡 하우징(320)은 케이스(310)의 일면에 회전 가능하게 설치된다. 한편, 엔드캡 하우징(320)은 회전하여 가스 용기(미도시)의 엔드캡(미도시)을 제거하거나 설치하는 역할을 수행한다. 이를 위해, 엔드캡 하우징(320)의 전면에는 엔드캡이 입출되는 입출홀(321)이 형성될 수 있다. 입출홀(321)은 엔드캡의 형상에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 한편, 엔드캡 하우징(320)은 동력 전달부(350)에 연결되어 회전될 수 있다.The end cap housing 320 is rotatably installed on one surface of the case 310 . Meanwhile, the end cap housing 320 serves to remove or install an end cap (not shown) of a gas container (not shown) by rotating. To this end, an entrance/exit hole 321 through which the end cap is moved in/out may be formed on the front surface of the end cap housing 320 . The entrance/exit hole 321 may have a shape corresponding to the shape of the end cap. Meanwhile, the end cap housing 320 may be connected to the power transmission unit 350 and rotated.

또한, 엔드캡 하우징(320)에는 제1 플렉시블 커플링(322)이 구비될 수 있다. 제1 플렉시블 커플링(322)은 가스 용기의 밸브 축과 엔드캡 하우징(320)이 오정렬된 경우, 즉 가스 용기의 밸브 축과 엔드캡 하우징(320)이 편심되거나 상호 기울어져서 배치되는 경우에도 엔드캡 하우징(320)의 입출홀(321)을 통해 엔드캡이 용이하게 입출될 수 있도록 틸팅될 수 있다. 이에 따라, 엔드캡이 엔드캡 하우징(320)에 결합될 때 나사산이 제대로 체결되지 않아 분리되지 않는 현상을 방지할 수 있다.In addition, a first flexible coupling 322 may be provided in the end cap housing 320 . The first flexible coupling 322 is end-to-end even when the valve axis of the gas container and the end cap housing 320 are misaligned, that is, even when the valve axis of the gas container and the end cap housing 320 are eccentric or inclined to each other. The end cap may be tilted so that the end cap can be easily moved in and out through the entry/exit hole 321 of the cap housing 320 . Accordingly, when the end cap is coupled to the end cap housing 320, it is possible to prevent a phenomenon in which the screw thread is not properly fastened and thus is not separated.

CGA 커넥터 하우징(330)은 엔드캡 하우징(320)에 이웃하여 배치되도록 케이스(310)의 일면에 회전 가능하게 설치된다. 한편, CGA 커넥터 하우징(330)은 회전하여 CGA 커넥터(360)를 가스 용기에 결합하는 역할을 수행한다. 또한, CGA 커넥터 하우징(330)도 동력 전달부(350)에 연결되어 회전될 수 있다.The CGA connector housing 330 is rotatably installed on one surface of the case 310 so as to be disposed adjacent to the end cap housing 320 . Meanwhile, the CGA connector housing 330 serves to couple the CGA connector 360 to the gas container by rotating. In addition, the CGA connector housing 330 may also be connected to the power transmission unit 350 and rotated.

그리고, CGA 커넥터 하우징(330)에는 제2 플렉시블 커플링(332)이 구비될 수 있다. 제2 플렉시블 커플링(332)은 가스 용기의 밸브 축과 CGA 커넥터 하우징(330)이 오정렬된 경우, 즉 가스 용기의 밸브 축과 CGA 커넥터 하우징(330)이 편심되거나 상호 기울어져서 배치되는 경우에도 CGA 커넥터(360)가 정확히 가스 용기에 결합되도록 틸팅될 수 있다. 이에 따라, CGA 커넥터(360)가 가스 용기에 결합될 때 나사산이 제대로 체결되지 않아 분리되지 않는 현상을 방지할 수 있다.And, the second flexible coupling 332 may be provided in the CGA connector housing 330 . The second flexible coupling 332 is CGA even when the valve axis of the gas container and the CGA connector housing 330 are misaligned, that is, when the valve axis of the gas container and the CGA connector housing 330 are eccentric or inclined to each other. Connector 360 may be tilted to properly engage the gas container. Accordingly, when the CGA connector 360 is coupled to the gas container, it is possible to prevent a phenomenon in which the screw thread is not properly fastened and thus is not separated.

한편, CGA 커넥터(360)의 끝단에는 가스 용기에 결합되기 전 가스켓(미도시)이 설치될 수 있다. 즉, CGA 커넥터(360)가 가스 용기에 연결된 상태에서 가스 용기로부터 가스가 누설되는 것을 방지하기 위한 가스켓이 CGA 커넥터(360)의 끝단에 구비될 수 있다.Meanwhile, a gasket (not shown) may be installed at an end of the CGA connector 360 before being coupled to the gas container. That is, a gasket for preventing leakage of gas from the gas container while the CGA connector 360 is connected to the gas container may be provided at an end of the CGA connector 360 .

가스켓 감지 센서(340)는 케이스(310)에 구비되는 센서 설치대(312)에 설치된다. 또한, 센서 설치대(312)는 CGA 커넥터 하우징(330)의 하부에 배치되도록 케이스(310)의 일면에 구비된다. 그리고, 가스켓 감지 센서(340)는 센서 설치대(312)의 끝단에 설치되어 CGA 커넥터 하우징(330)를 관통하도록 배치되는 CGA 커넥터(360)의 끝단에 가스켓(미도시)이 존재하는지 여부에 대하여 감지한다.The gasket detection sensor 340 is installed on a sensor mount 312 provided in the case 310 . In addition, the sensor mount 312 is provided on one side of the case 310 to be disposed under the CGA connector housing 330 . In addition, the gasket detection sensor 340 is installed at the end of the sensor mount 312 and detects whether a gasket (not shown) is present at the end of the CGA connector 360 disposed to penetrate the CGA connector housing 330. do.

동력 전달부(350)는 엔드캡 하우징(320)에 이웃하여 배치되도록 케이스(310)에 설치될 수 있다. 한편, 동력 전달부(350)는 케이스(310)의 내부에 배치되는 동력전달부재(미도시)에 연결되어 엔드캡 하우징(320), CGA 커넥터 하우징(330)에 동력을 전달한다. 또한, 동력 전달부(350)의 내부면에는 동력전달축(미도시)에 연결되는 기어(352)가 형성될 수 있다.The power transmission unit 350 may be installed in the case 310 so as to be disposed adjacent to the end cap housing 320 . Meanwhile, the power transmission unit 350 is connected to a power transmission member (not shown) disposed inside the case 310 to transmit power to the end cap housing 320 and the CGA connector housing 330 . In addition, a gear 352 connected to a power transmission shaft (not shown) may be formed on an inner surface of the power transmission unit 350 .

상기한 바와 같이, 엔드캡 하우징(320), CGA 커넥터 하우징(330)에 제1,2 플렉시블 커플링(322,332)에 구비되므로 작업자의 숙련 정도와 조립 정도에 따라 발생할 수 있는 편심 및 편각을 보상하여 엔드캡을 용이하게 가스 용기로부터 분리시킬 수 있으며 CGA 커넥터(360)가 가스 용기에 정확하게 체결할 수 있다.As described above, since the first and second flexible couplings 322 and 332 are provided in the end cap housing 320 and the CGA connector housing 330, eccentricity and declination that may occur depending on the level of skill and assembly of the operator are compensated for. The end cap can be easily detached from the gas container and the CGA connector 360 can be accurately fastened to the gas container.

또한, 가스켓 감시 센서(340)를 통해 가스켓이 CGA 커넥터(360)에 구비되는지를 감지함으로써 가스켓 미삽입으로 인한 가스누출을 방지할 수 있다.In addition, by detecting whether a gasket is provided in the CGA connector 360 through the gasket monitoring sensor 340, gas leakage due to gasket not being inserted can be prevented.

CGACGA 체결 모듈용 구동부 Driving unit for fastening module

도 6은 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈용 구동부를 나타내는 사시도이다.6 is a perspective view illustrating a driving unit for a CGA fastening module according to an exemplary embodiment.

도 6을 참조하면, CGA 체결 모듈용 구동부(400)는 일예로서, 본체(410), 공압 액츄에이터(420), 동력 전달부(430), 토크 리미터(440), 벨트(450) 및 화이버 센서(460)를 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 6, the drive unit 400 for the CGA fastening module is, as an example, a body 410, a pneumatic actuator 420, a power transmission unit 430, a torque limiter 440, a belt 450, and a fiber sensor ( 460) may be configured.

본체(410)에는 CGA 체결 모듈(300, 도 4 및 도 5 참조)이 설치되는 CGA 체결 모듈 체결부(412), CGA 체결 모듈 체결부(412)로부터 상부로 연장 형성되며 내부 공간을 가지는 연장부(414) 및 구동부 설치부(416)를 구비할 수 있다. 한편, CGA 체결 모듈 체결부(412)에는 CGA 체결 모듈(300)의 동력 전달부(350, 도 5 참조)와 결합되는 동력전달축(412a)이 구비될 수 있다. 동력전달축(412a)에는 공압 액츄에이터(420)가 연결될 수 있다. 연장부(414)에는 복수개의 동력전달부재(미도시)가 설치될 수 있으며, 동력전달부재를 통해 동력전달축(412a)에 동력을 전달하여 동력전달축(412a)이 회전될 수 있다. 한편, 구동부 설치부(416)에는 공압 액츄에이터(420), 동력 전달부(430), 토크 리미터(440)가 설치될 수 있다.In the main body 410, the CGA fastening module fastening part 412 in which the CGA fastening module (300, see FIGS. 4 and 5) is installed, and an extension part extending upward from the CGA fastening module fastening part 412 and having an internal space. 414 and a driving unit installation unit 416 may be provided. Meanwhile, a power transmission shaft 412a coupled to the power transmission unit 350 (see FIG. 5 ) of the CGA fastening module 300 may be provided in the CGA fastening module fastening part 412 . A pneumatic actuator 420 may be connected to the power transmission shaft 412a. A plurality of power transmission members (not shown) may be installed in the extension part 414, and the power transmission shaft 412a may be rotated by transmitting power to the power transmission shaft 412a through the power transmission member. Meanwhile, a pneumatic actuator 420, a power transmission unit 430, and a torque limiter 440 may be installed in the driving unit installation unit 416.

공압 액츄에이터(420)는 구동부 설치부(416)의 일면에 설치된다. 일예로서, 공압 액츄에이터(420)는 회전력을 발생시킬 수 있다. 한편, 구동원으로 공압 액츄에이터(420)를 사용하는 이유는 인화성 특성을 갖는 가스 용기에 대해 서보 모터와 스텝 모터와 같은 전기 액츄에이터를 사용할 경우 화재와 폭발 등의 위험성을 갖기 때문이다.The pneumatic actuator 420 is installed on one side of the drive unit installation unit 416. As an example, the pneumatic actuator 420 may generate rotational force. On the other hand, the reason why the pneumatic actuator 420 is used as a driving source is that when an electric actuator such as a servo motor and a step motor is used for a gas container having inflammable characteristics, there is a risk of fire or explosion.

동력 전달부(430)는 공압 액츄에이터(420)에 연결되어 공압 액츄에이터(420)에 의해 회전된다. 그리고, 동력 전달부(430)에는 공압 액츄에이터(420)로부터 전달되는 회전력을 토크 리미터(440)로 전달하는 벨트(450)가 설치될 수 있다. 이를 위해 동력 전달부(430)에는 벨트 설치홈(432)가 구비될 수 있다.The power transmission unit 430 is connected to the pneumatic actuator 420 and is rotated by the pneumatic actuator 420 . In addition, a belt 450 that transmits rotational force transmitted from the pneumatic actuator 420 to the torque limiter 440 may be installed in the power transmission unit 430 . To this end, a belt installation groove 432 may be provided in the power transmission unit 430 .

토크 리미터(440)는 벨트(450)를 통해 동력 전달부(430)에 연결되며, 구동부 설치부(416)에 회전 가능하게 설치될 수 있다. 한편, 토크 리미터(440)는 기준 토크 이상의 토크를 전달 받는 경우 기구적 변화를 통해서 동력 전달을 해제한다. 한편, 토크 리미터(440)에는 기준 토크 이상의 토크를 전달 받는 경우 기구적 변화가 이루어지는 변형부(미도시)가 구비될 수 있다.The torque limiter 440 is connected to the power transmission unit 430 through a belt 450 and may be rotatably installed in the driving unit installation unit 416 . Meanwhile, the torque limiter 440 releases the power transmission through a mechanical change when receiving a torque equal to or greater than the reference torque. Meanwhile, the torque limiter 440 may include a transforming unit (not shown) in which a mechanical change is made when receiving a torque equal to or greater than the reference torque.

벨트(450)는 동력 전달부(430)와 토크 리미터(440)를 연결한다. 다만, 본 실시예에서는 벨트(450)를 통해 동력 전달부(430)와 토크 리미터(440)를 연결하는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며 동력 전달부(430)와 토크 리미터(440)는 체인 등으로 연결될 수도 있다.The belt 450 connects the power transmission unit 430 and the torque limiter 440 . However, in this embodiment, a case in which the power transmission unit 430 and the torque limiter 440 are connected through a belt 450 is described as an example, but is not limited thereto, and the power transmission unit 430 and the torque limiter 440 are not limited thereto. ) may be connected by a chain or the like.

화이버 센서(460)는 구동부 설치부(416)에 설치되어 토크 리미터(440)의 변형부의 변형을 감지한다. 그리고, 화이버 센서(460)에 의해 토크 리미터(440)의 변형부의 변형이 감지되면 화이버 센서(460)로부터의 신호에 의해 공압 액츄에이터(420)의 작동이 정지될 수 있다. 이에 따라, 기준 토크 이상의 토크가 제공되는 경우 공압 액츄에이터(420)가 정지되어 더 이상 토크가 전달되지 않을 수 있다.The fiber sensor 460 is installed on the drive unit installation unit 416 to detect deformation of the deformation unit of the torque limiter 440 . In addition, when deformation of the deformable part of the torque limiter 440 is detected by the fiber sensor 460, the operation of the pneumatic actuator 420 may be stopped by a signal from the fiber sensor 460. Accordingly, when a torque equal to or greater than the reference torque is provided, the pneumatic actuator 420 may be stopped and no more torque may be transmitted.

상기한 바와 같이, 토크 리미터(440)를 통해 기준 토크 이상의 토크가 제공되는 경우 동력 전달을 해제하여 공압 액츄에이터가 제한된 토크 범위 내에서 동작하여 원활하게 CGA 체결 모듈(300)이 작동할 수 있다. 이에 따라, 작업자의 안전을 확보하는 동시에 안정적으로 가스를 공급할 수 있다.As described above, when a torque equal to or greater than the reference torque is provided through the torque limiter 440, the power transmission is released so that the pneumatic actuator operates within the limited torque range so that the CGA fastening module 300 can operate smoothly. Accordingly, it is possible to stably supply gas while ensuring the safety of the operator.

CGACGA 배관 고정 모듈 Piping fixing module

도 7은 예시적인 실시예에 따른 CGA 배관 고정 모듈을 나타내는 사시도이다.7 is a perspective view showing a CGA pipe fixing module according to an exemplary embodiment.

도 7을 참조하면, CGA 배관 고정 모듈(500)은 고정부 하우징(510), LM 가이드(520) 및 탄성체(530)를 구비할 수 있다. Referring to FIG. 7 , the CGA pipe fixing module 500 may include a fixing part housing 510 , an LM guide 520 and an elastic body 530 .

고정부 하우징(510)은 LM 가이드(520)에 이동 가능하게 설치된다. 한편, 고정부 하우징(510)에는 CGA 커넥터(360)가 통과되는 관통홀(512)이 구비될 수 있다. 관통홀(512)은 CGA 배관(502) 보다 큰 직경을 가질 수 있다. 일예로서, 고정부 하우징(510)은 메인 바디부(514)와, 메인 바디부(514)로부터 연장 형성되는 연장부(516)를 구비할 수 있다. 연장부(516)는 LM 가이드(520)에 슬라이딩 이동 가능하게 설치될 수 있다. 그리고, 메인 바디부(514)는 LM 가이드(520)보다 큰 크기를 가지며, 이에 따라 고정부 하우징(510)의 메인 바디부(514)는 LM 가이드(520)에 의해 이동이 제한될 수 있다.The fixing part housing 510 is movably installed on the LM guide 520. Meanwhile, a through hole 512 through which the CGA connector 360 passes may be provided in the fixing part housing 510 . The through hole 512 may have a larger diameter than the CGA pipe 502 . As an example, the fixing part housing 510 may include a main body part 514 and an extension part 516 extending from the main body part 514 . The extension part 516 may be slidably installed on the LM guide 520 . Also, the main body portion 514 has a larger size than the LM guide 520, and accordingly, the movement of the main body portion 514 of the fixing unit housing 510 can be limited by the LM guide 520.

LM 가이드(520)는 고정부 하우징(510)을 안내하는 역할을 수행한다. 즉, 고정부 하우징(510)은 LM 가이드(520)를 따라 이동된다. 한편, 고정부 하우징(510)은 CGA 커넥터(360)에 가스켓(미도시)을 설치하기 위하여 전진하여야 하는 경우 고정부 하우징(510)은 LM 가이드(520)를 따라 이동된다. 이후, 가스 용기에 CGA 커넥터(360)가 체결되는 경우 고정부 하우징(510)은 LM 가이드(520)를 따라 이동되어 후퇴한다.The LM guide 520 serves to guide the fixing unit housing 510 . That is, the fixing part housing 510 moves along the LM guide 520. Meanwhile, when the fixing part housing 510 needs to move forward to install a gasket (not shown) on the CGA connector 360, the fixing part housing 510 moves along the LM guide 520. Then, when the CGA connector 360 is fastened to the gas container, the fixing part housing 510 moves along the LM guide 520 and retreats.

탄성체(530)는 고정부 하우징(510)의 관통홀(512) 내에 고정 설치된다. 한편, 탄성체(530)에는 CGA 배관(502)이 관통될 수 있다. 즉, CGA 배관(502)은 탄성체(530)에 고정 설치된다. 이와 같이, CGA 배관(502)은 탄성체(530)에 고정 설치되므로 CGA 배관(502)의 자유도를 확보할 수 있다. 이를 통해서, CGA 커넥터(360)가 가스 용기에 체결되는 경우 발생되는 스트로크에 의해서 CGA 배관(502)이 변형되는 것을 탄성체(530)의 복원력으로 상쇄할 수 있다.The elastic body 530 is fixedly installed in the through hole 512 of the fixing part housing 510 . Meanwhile, the CGA pipe 502 may pass through the elastic body 530 . That is, the CGA pipe 502 is fixed to the elastic body 530. In this way, since the CGA pipe 502 is fixed to the elastic body 530, the degree of freedom of the CGA pipe 502 can be secured. Through this, the deformation of the CGA pipe 502 due to the stroke generated when the CGA connector 360 is fastened to the gas container can be offset by the restoring force of the elastic body 530 .

상기한 바와 같이, 탄성체(530)를 통해 CGA 배관(502)이 변형되는 것을 방지할 수 있다.As described above, it is possible to prevent the CGA pipe 502 from being deformed through the elastic body 530 .

CGACGA 배관 plumbing

도 8은 예시적인 실시예에 따른 CGA 배관을 나타내는 사시도이다.8 is a perspective view showing a CGA pipe according to an exemplary embodiment.

도 8을 참조하면, CGA 배관(600)은 제1 CGA 배관(610), 코일부(620), 나선부(630) 및 제2 CGA 배관(640)을 포함한다.Referring to FIG. 8 , the CGA pipe 600 includes a first CGA pipe 610 , a coil part 620 , a spiral part 630 and a second CGA pipe 640 .

제1 CGA 배관(610)은 일단이 코일부(620)에 연결된다. 일예로서, 제1 CGA 배관(610)은 구부러진 형상을 가질 수 있다. 즉, 제1 CGA 배관(610)은 Z축 방향에서 Y축 방향으로 구부러진 형상을 가진다.One end of the first CGA pipe 610 is connected to the coil unit 620 . As an example, the first CGA pipe 610 may have a bent shape. That is, the first CGA pipe 610 has a shape bent from the Z-axis direction to the Y-axis direction.

코일부(620)는 Z축 방향으로 배치될 수 있다. 그리고, 코일부(620)의 일단은 Y축 방향으로 배치되는 제1 CGA 배관(610)에 연결될 수 있다. 그리고, 코일부(620)의 타단은 나선부(630)에 연결될 수 있다. 이와 같이, 코일부(620)가 Z축 방향으로 배치되므로 가스 공급부(미도시)가 승강하더라도 코일부(620)가 압축되거나 신장되면서 코일부(620)가 영구 변형되는 것을 방지할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 코일부(620)가 원형의 코일 형상을 가지는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며 코일부(620)의 형상은 다각형 코일 형상, 타원형 코일 형상 등 다양하게 변경 가능하다.The coil unit 620 may be disposed in the Z-axis direction. Also, one end of the coil unit 620 may be connected to the first CGA pipe 610 disposed in the Y-axis direction. Also, the other end of the coil part 620 may be connected to the spiral part 630 . As such, since the coil unit 620 is disposed in the Z-axis direction, permanent deformation of the coil unit 620 can be prevented as the coil unit 620 is compressed or expanded even when the gas supply unit (not shown) moves up and down. Meanwhile, in this embodiment, the case where the coil unit 620 has a circular coil shape is described as an example, but it is not limited thereto and the shape of the coil unit 620 can be changed in various ways, such as a polygonal coil shape or an elliptical coil shape. do.

나선부(630)는 XY 평면 내에 배치될 수 있으며, 사각형 나선 형상을 가질 수 있다. 한편, 나선부(630)는 일단이 코일부(620)에 연결되며 타단이 제2 CGA 배관(640)에 연결될 수 있다. 한편, 나선부(630)는 브라켓(602)에 일부분이 고정될 수 있다. 브라켓(602)은 가스 공급부에 고정 설치될 수 있다. 이와 같이, 나선부(630)가 브라켓(602)에 고정되므로 자중에 의하여 CGA 배관(600)이 변형되는 것을 방지할 수 있다.The spiral portion 630 may be disposed in the XY plane and may have a rectangular spiral shape. Meanwhile, the spiral part 630 may have one end connected to the coil part 620 and the other end connected to the second CGA pipe 640 . Meanwhile, a portion of the spiral portion 630 may be fixed to the bracket 602 . The bracket 602 may be fixed to the gas supply unit. In this way, since the spiral portion 630 is fixed to the bracket 602, it is possible to prevent the CGA pipe 600 from being deformed by its own weight.

한편, 나선부(630)가 사각형 나선 형상을 가지므로, 제2 CGA 배관(640)에 연결되는 CGA 커넥터(360)를 가스 용기에 체결 작업을 하는 경우 X축 방향으로 신장되거나 압축되면서 나선부(630)가 영구 변형되는 것을 방지할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 나선부(630)가 사각형의 나선 형상을 가지는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며 나선부(630)의 형상은 사각형을 제외한 다각형 나선 형상, 원형의 나선 형상, 타원형의 나선 형상 등 다양하게 변경 가능하다.On the other hand, since the spiral portion 630 has a rectangular spiral shape, when the CGA connector 360 connected to the second CGA pipe 640 is fastened to the gas container, the spiral portion ( 630) can be prevented from being permanently deformed. On the other hand, in this embodiment, the case where the spiral portion 630 has a rectangular spiral shape is described as an example, but it is not limited thereto, and the shape of the spiral portion 630 is a polygonal spiral shape excluding a square, a circular spiral shape, It can be changed in various ways, such as an elliptical spiral shape.

제2 CGA 배관(640)은 나선부(630)에 일단이 연결되며 X축 방향으로 배치될 수 있다.The second CGA pipe 640 has one end connected to the spiral portion 630 and may be disposed in the X-axis direction.

상기한 바와 같이, 코일부(620)와 나선부(630)를 통해 CGA 배관(600)이 Z축 방향과 X 축 방향으로의 영구 변형되는 것을 방지할 수 있다.As described above, permanent deformation of the CGA pipe 600 in the Z-axis direction and the X-axis direction can be prevented through the coil part 620 and the spiral part 630.

가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈Valve rotation drive module of gas cylinder

도 9는 예시적인 실시예에 따른 가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈을 나타내는 개략 사시도이고, 도 10은 예시적인 실시예에 따른 가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈의 클러치 기어와 상하 이동 모듈을 나타내는 구성도이다.Fig. 9 is a schematic perspective view showing a valve rotation driving module of a gas container according to an exemplary embodiment, and Fig. 10 is a configuration diagram showing a clutch gear and a vertical movement module of the valve rotation driving module of a gas container according to an exemplary embodiment. .

도 9 및 도 10을 참조하면, 가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈(700)은 액츄에이터(710), 메인 기어 축(720), 메인 동력 전달 기어(730), 클러치 기어(740), 상하 이동 유닛(750), 복수개의 종동 기어(760), 스프링 유닛(770) 및 밸브 핸들(780)을 포함하여 구성될 수 있다.9 and 10, the valve rotation driving module 700 of the gas container includes an actuator 710, a main gear shaft 720, a main power transmission gear 730, a clutch gear 740, and a vertical movement unit ( 750), a plurality of driven gears 760, a spring unit 770, and a valve handle 780.

액츄에이터(710)는 구동력을 발생시키고 메인 동력 전달 기어(730)에 연결된다. 액츄에이터(710)는 공압 액츄에이터일 수 있다. 한편, 액츄에이터(710)는 메인 프레임(702)에 고정 설치될 수 있다.The actuator 710 generates a driving force and is connected to the main power transmission gear 730 . Actuator 710 may be a pneumatic actuator. Meanwhile, the actuator 710 may be fixedly installed on the main frame 702 .

메인 기어 축(720)에는 메인 동력 전달 기어(730)와 클러치 기어(740) 및 상하 이동 유닛(750)이 설치되며, 클러치 기어(740)와 상하 이동 유닛(750)은 메인 기어 축(720)에 승강 가능하게 설치될 수 있다. 즉, 메인 기어 축(720)은 클러치 기어(740)의 승강 시 클러치 기어(740)와 상하 이동 유닛(750)의 승강 경로를 제공하는 역할을 수행할 수 있다. A main power transmission gear 730, a clutch gear 740, and a vertical movement unit 750 are installed on the main gear shaft 720, and the clutch gear 740 and the vertical movement unit 750 are the main gear shaft 720 It can be installed in an elevating manner. That is, the main gear shaft 720 may serve to provide an elevation path between the clutch gear 740 and the vertical movement unit 750 when the clutch gear 740 moves up and down.

메인 동력 전달 기어(730)는 메인 기어 축(720)에 설치되며, 액츄에이터(710)에 연결될 수 있다. 즉, 메인 동력 전달 기어(730)는 액츄에이터(710)에 연결되어 액츄에이터(710)의 작동 시 메인 동력 전달 기어(730)가 메인 기어 축(720)을 중심으로 회전된다.The main power transmission gear 730 is installed on the main gear shaft 720 and may be connected to the actuator 710 . That is, the main power transmission gear 730 is connected to the actuator 710, and when the actuator 710 operates, the main power transmission gear 730 is rotated about the main gear shaft 720.

클러치 기어(740)는 상기한 바와 같이, 메인 기어 축(720)에 승강 가능하게 설치된다. 한편, 클러치 기어(740)는 상승하여 메인 동력 전달 기어(730)에 결합되는 경우 복수개의 종동 기어(760) 중 하나에 연결된다. 이러한 경우, 메인 동력 전달 기어(730)로부터 전달되는 구동력이 클러치 기어(740)를 매개로 하여 복수개의 종동 기어(760)로 전달될 수 있다. 그리고, 클러치 기어(740)가 하강하여 메인 동력 전달 기어(730)로부터 분리되는 경우 종동 기어(760)로부터 클러치 기어(740)가 분리되면서 메인 동력 전달 기어(730)로부터 전달되는 동력이 복수개의 종동 기어(760)로 전달되지 않을 수 있다.As described above, the clutch gear 740 is mounted on the main gear shaft 720 so as to be able to move up and down. Meanwhile, when the clutch gear 740 is raised and coupled to the main power transmission gear 730, it is connected to one of the plurality of driven gears 760. In this case, the driving force transmitted from the main power transmission gear 730 may be transmitted to the plurality of driven gears 760 via the clutch gear 740 . And, when the clutch gear 740 descends and is separated from the main power transmission gear 730, the clutch gear 740 is separated from the driven gear 760 and the power transmitted from the main power transmission gear 730 is transferred to the plurality of driven gears. It may not be transmitted to the gear 760.

상하 이동 유닛(750)은 메인 기어 축(720)에 승강 가능하게 설치되며 클러치 기어(740)를 승강시키는 역할을 수행한다. 일예로서, 상하 이동 유닛(750)은 결합핀(752a)을 가지는 고리부재(752)와, 고리부재(752)에 연결되는 연결부재(754)를 구비할 수 있다. 한편, 고리부재(752)와 연결부재(754)는 메인 기어 축(720)에 승강 가능하게 설치될 수 있다.The up and down movement unit 750 is installed to be able to move up and down on the main gear shaft 720 and serves to move the clutch gear 740 up and down. As an example, the vertical movement unit 750 may include a ring member 752 having a coupling pin 752a and a connecting member 754 connected to the ring member 752. Meanwhile, the ring member 752 and the connecting member 754 may be installed on the main gear shaft 720 so as to be able to move up and down.

한편, 고리부재(752)의 결합핀(752a)은 클러치 기어(740)에 결합되어 클러치 기어(740)의 상승 시 클러치 기어(740)를 메인 동력 전달 기어(730)에 연결시킨다.Meanwhile, the coupling pin 752a of the ring member 752 is coupled to the clutch gear 740 to connect the clutch gear 740 to the main power transmission gear 730 when the clutch gear 740 rises.

그리고, 연결부재(754)는 도시되지 않은 구동원에 연결되어 연결부재(754)의 승강을 위한 구동력을 클러치 기어(740)로 전달하는 역할을 수행한다.Also, the connecting member 754 is connected to a drive source (not shown) and serves to transmit driving force for lifting the connecting member 754 to the clutch gear 740 .

종동 기어(760)는 구동력을 밸브 핸들(780)로 전달하는 역할을 수행한다. 종동 기어(760)는 복수개가 구비되며, 복수개의 종동 기어(760) 중 어느 하나가 클러치 기어(740)에 연결되거나 클러치 기어(740)로부터 이격된다.The driven gear 760 serves to transmit driving force to the valve handle 780 . A plurality of driven gears 760 are provided, and any one of the plurality of driven gears 760 is connected to the clutch gear 740 or spaced apart from the clutch gear 740 .

스프링 유닛(770)은 밸브 핸들(780)에 연결되며, 밸브 핸들(780)이 회전되어 밸브 핸들(780)이 가스 용기를 개방하는 경우 일예로서, 테엽으로 이루어지는 스프링(미도시)이 압축된 상태를 유지한다. 이후, 클러치 기어(740)와 종동 기어(760)의 연결이 해제된 경우 스프링 유닛(770)의 스프링 복원력에 의해 밸브 핸들(780)이 가스 용기를 폐쇄한다. The spring unit 770 is connected to the valve handle 780, and as an example when the valve handle 780 opens the gas container by rotating the valve handle 780, a spring (not shown) made of a ring is compressed. keep Then, when the connection between the clutch gear 740 and the driven gear 760 is released, the valve handle 780 closes the gas container by the spring restoring force of the spring unit 770 .

밸브 핸들(780)은 스프링 유닛(770) 및 복수개의 종동 기어(760) 중 하나에에 연결되어 가스 용기의 밸브를 회전시키는 역할을 수행한다.The valve handle 780 is connected to one of the spring unit 770 and a plurality of driven gears 760 to rotate the valve of the gas container.

상기한 바와 같이, 클러치 기어(740)를 통해 가스 용기의 밸브를 열 경우 액츄에이터(710)로부터의 동력을 밸브 핸들에 전달하고, 가스 용기의 밸브를 잠글 경우 액츄에이터(710)로부터의 동력을 차단하고 스프링 유닛(770)의 스프링의 복원력을 사용한다. 이를 통해 비상 상황 시 동력이 차단된 상황에서도 가스 용기의 밸브를 잠글 수 있다.As described above, when the valve of the gas container is opened through the clutch gear 740, the power from the actuator 710 is transmitted to the valve handle, and when the valve of the gas container is closed, the power from the actuator 710 is cut off. The restoring force of the spring of the spring unit 770 is used. This makes it possible to close the valve of the gas cylinder even when the power is cut off in an emergency.

나아가, 종래의 기술은 구동기의 동력을 차단할 수 없어 구동기의 부하로 동력 손실이 발생하며, 이로 인하여 가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈의 사이즈가 커지는 단점이 있었다. 하지만, 클러치 기어(740)를 통해 액츄에이터(710)의 부하를 제거할 수 있으므로 동력 손실을 줄일 수 있다.Furthermore, the prior art has a disadvantage in that the power of the actuator cannot be cut off, resulting in power loss due to the load of the actuator, which increases the size of the valve rotation driving module of the gas container. However, since the load of the actuator 710 can be removed through the clutch gear 740, power loss can be reduced.

가스 용기의 밸브 개폐 감지 모듈Valve open/close detection module for gas cylinders

도 11은 예시적인 실시예에 따른 가스 용기의 밸브 개폐 감지 모듈을 나타내는 사시도이고, 도 12는 예시적인 실시예에 따른 가스 용기의 밸브 개폐 감지 모듈을 나타내는 구성도이다.Fig. 11 is a perspective view showing a valve opening/closing detection module of a gas container according to an exemplary embodiment, and Fig. 12 is a configuration diagram illustrating a valve opening/closing detection module of a gas container according to an exemplary embodiment.

도 11 및 도 12를 참조하면, 가스 용기의 밸브 개폐 감지 모듈(800)은 상기한 가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈(700, 도 9 참조)에 연결되도록 메인 프레임(702, 도 9 참조)에 설치될 수 있다.11 and 12, the valve opening/closing detection module 800 of the gas container is installed on the main frame 702 (see Fig. 9) to be connected to the valve rotation driving module 700 (see Fig. 9) of the gas container. It can be.

가스 용기의 밸브 개폐 감지 모듈(800)은 브라켓(810), 회전부재(820), 제1 화이버 센서(830), 제2 화이버 센서(840)를 포함하여 구성될 수 있다.The valve opening/closing detection module 800 of the gas container may include a bracket 810, a rotating member 820, a first fiber sensor 830, and a second fiber sensor 840.

브라켓(810)은 내부 공간을 가지며, 메인 프레임(702)의 저면에 고정 설치된다. 일예로서, 브라켓(810)은 일측이 개방된 원통 형상을 가질 수 있다. 즉, 브라켓(810)의 내부 공간에 회전부재(820), 제1,2 화이버 센서(830,840)가 배치될 수 있다.The bracket 810 has an inner space and is fixedly installed on the lower surface of the main frame 702 . As an example, the bracket 810 may have a cylindrical shape with one side open. That is, the rotating member 820 and the first and second fiber sensors 830 and 840 may be disposed in the inner space of the bracket 810 .

회전부재(820)는 상기한 가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈(700)의 복수개의 종동 기어(760, 도 9 참조) 중 어느 하나에 연결되어 회전된다. 즉, 회전부재(820)는 복수개의 종동 기어(760) 중 어느 하나에 설치되는 축(미도시)에 결합되어 축과 함께 회전된다. 이를 위해 회전부재(820)의 상면에는 축 연결부(821)가 구비될 수 있다.The rotating member 820 is rotated while being connected to one of the plurality of driven gears 760 (see FIG. 9) of the valve rotation driving module 700 of the gas container. That is, the rotating member 820 is coupled to a shaft (not shown) installed on any one of the plurality of driven gears 760 and rotates together with the shaft. To this end, a shaft connecting portion 821 may be provided on the upper surface of the rotating member 820 .

그리고, 회전부재(820)의 저면에는 복수개의 회전 각도 감지홀(822)이 상호 이격 배치될 수 있다. 회전 각도 감지홀(822)은 회전부재(820)의 저면 가장자리에 배치될 수 있다.In addition, a plurality of rotation angle detection holes 822 may be spaced apart from each other on the bottom surface of the rotating member 820 . The rotation angle detection hole 822 may be disposed at an edge of the bottom surface of the rotation member 820 .

한편, 회전부재(820)의 저면에는 상기 회전 각도 감지홀(822)의 내측에 배치되는 대략 고리 형상의 회전수 감지홀(824)이 구비된다. 회전수 감지홀(824)은 회전부재(820)의 지지부(825)에 의해 연결되지 않고 완전한 고리 형상을 가지지 않는 것이다.On the other hand, a rotation speed sensing hole 824 having a substantially annular shape disposed inside the rotation angle sensing hole 822 is provided on the bottom surface of the rotating member 820 . The rotation speed detection hole 824 is not connected by the support part 825 of the rotation member 820 and does not have a complete ring shape.

제1 화이버 센서(830)는 상기한 회전수 감지홀(824)을 감지하도록 브라켓(810)에 설치된다. 즉, 제1 화이버 센서(830)는 회전수 감지홀(824)에 대향 배치되도록 브라켓(810)에 설치된다. 그리고, 제1 화이버 센서(830)는 회전부재(820)의 지지부(825)는 감지하여 회전부재(820)의 회전수를 감지하는 것이다. 즉, 지지부(825)를 제1 화이버 센서(830)가 감지하는 횟수에 따라 회전부재(820)의 회전수를 감지할 수 있는 것이다.The first fiber sensor 830 is installed on the bracket 810 to detect the rotation speed detection hole 824. That is, the first fiber sensor 830 is installed on the bracket 810 so as to face the rotation speed sensing hole 824 . And, the first fiber sensor 830 is to detect the number of revolutions of the rotating member 820 by detecting the support portion 825 of the rotating member 820. That is, the number of rotations of the rotating member 820 can be detected according to the number of times the first fiber sensor 830 detects the support part 825 .

제2 화이버 센서(840)는 상기한 회전 각도 감지홀(822)을 감지하도록 브라켓(810)에 설치된다. 다시 말해, 제2 화이버 센서(840)는 회전 각도 감지홀(822)에 대향 배치되도록 브라켓(810)에 설치된다. 그리고, 제2 화이버 센서(840)는 복수개가 상호 이격 배치되는 회전 각도 감지홀(822)을 감지하여 회전부재(820)의 회전 각도를 감지하는 것이다. 즉, 제2 화이버 센서(840)가 동일한 간격을 가지도록 배치되는 복수개의 회전 각도 감지홀(822)의 감지 횟수에 따라 회전부재(820)의 회전 각도를 감지할 수 있는 것이다.The second fiber sensor 840 is installed on the bracket 810 to detect the rotation angle sensing hole 822 described above. In other words, the second fiber sensor 840 is installed on the bracket 810 so as to face the rotation angle sensing hole 822 . In addition, the second fiber sensor 840 senses the rotation angle of the rotation member 820 by sensing rotation angle detection holes 822 in which a plurality of them are spaced apart from each other. That is, the second fiber sensor 840 can detect the rotation angle of the rotation member 820 according to the number of detections of the plurality of rotation angle detection holes 822 disposed at equal intervals.

한편, 제1,2 화이버 센서(830,840)은 수광량의 변화를 통해서 회전수 및 회전 각도를 감지한다. 다만, 이에 한정되지 않으며 센서의 종류는 변경 가능할 것이다.On the other hand, the first and second fiber sensors 830 and 840 detect the rotation number and rotation angle through a change in the amount of light received. However, it is not limited thereto and the type of sensor may be changed.

상기한 바와 같이, 제1,2 화이버 센서(830,840)를 통해 밸브 핸들(780, 도 9 참조)의 회전각 및 회전수를 감지할 수 있다. 즉, 제1,2 화이버 센서(830,840)를 통해 회전부재(820)의 회전각 및 회전수를 감지하여 밸브 핸들(780)의 회전각 및 회전수를 감지할 수 있다.As described above, the rotation angle and number of rotations of the valve handle 780 (see FIG. 9) may be sensed through the first and second fiber sensors 830 and 840. That is, the rotation angle and rotation number of the valve handle 780 may be sensed by detecting the rotation angle and rotation number of the rotating member 820 through the first and second fiber sensors 830 and 840 .

가스켓gasket 교체 모듈 replacement module

도 13은 예시적인 실시예에 따른 가스켓 교체 모듈을 나타내는 개략 사시도이다.13 is a schematic perspective view illustrating a gasket replacement module according to an exemplary embodiment.

도 13을 참조하면, 가스켓 교체 모듈(900)은 일예로서, 본체(910), 전후진 액츄에이터(920), 가스켓 교체 유닛(930), 가스켓 매거진(940) 및 가스켓 제거 박스(950)를 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 13, the gasket replacement module 900 includes, for example, a main body 910, a forward/backward actuator 920, a gasket replacement unit 930, a gasket magazine 940, and a gasket removal box 950. can be configured.

본체(910)는 가스켓 교체 모듈(900)의 외형을 형성하며, 플레이트 형상을 가지는 상판(912)과, 상판(912)의 일끝단으로부터 연장되는 측면판(914)을 구비할 수 있다. 한편, 상판(912)의 상면에는 전후진 액츄에이터(920)가 설치되며, 상판(912)의 하면에는 가스켓 교체 유닛(930)이 이동 가능하게 설치된다. 또한, 측면판(914)의 일면에는 가스켓 교체 유닛(930)에 대향 배치되도록 가스켓 매거진(940)이 설치되며, 가스켓 매거진(940)의 하부에 배치되도록 가스켓 제거 박스(950)가 측면판(914)에 설치된다.The main body 910 forms the outer shape of the gasket replacement module 900 and may include a top plate 912 having a plate shape and a side plate 914 extending from one end of the top plate 912 . Meanwhile, forward/reverse actuators 920 are installed on the top surface of the top plate 912, and gasket replacement units 930 are movably installed on the bottom surface of the top plate 912. In addition, a gasket magazine 940 is installed on one surface of the side plate 914 to face the gasket replacement unit 930, and a gasket removal box 950 is installed below the gasket magazine 940 to face the side plate 914. ) is installed in

전후진 액츄에이터(920)는 본체(910)의 상판(912) 상면에 고정 설치된다. 그리고, 전후진 액츄에이터(920)는 가스켓 교체 유닛(930)에 연결되어 가스켓 교체 유닛(930)이 전후진하도록 한다. 즉, 가스켓 교체 유닛(930)이 가스켓 매거진(940)으로부터 가스켓(미도시)을 집고자 하는 경우 가스켓 교체 유닛(930)은 전후진 액츄에이터(920)에 의해 전진한다. 이후, 가스켓 교체 유닛(930)에 의해 가스켓이 집어진 후 가스켓 교체 유닛(930)은 전후진 액츄에이터(920)에 의해 후진한다. 일예로서, 전후진 액츄에이터(920)는 실린더로 이루어질 수 있으며, 전후진 액츄에이터(920)의 로드가 가스켓 교체 유닛(930)에 연결될 수 있다.The forward and backward actuators 920 are fixedly installed on the upper surface of the upper plate 912 of the main body 910 . Further, the forward/reverse actuator 920 is connected to the gasket replacement unit 930 so that the gasket replacement unit 930 moves forward and backward. That is, when the gasket replacement unit 930 wants to pick up a gasket (not shown) from the gasket magazine 940 , the gasket replacement unit 930 moves forward by the forward/reverse actuator 920 . Thereafter, after the gasket is picked up by the gasket replacement unit 930 , the gasket replacement unit 930 moves backward by the forward/reverse actuator 920 . As an example, the forward/reverse actuator 920 may be formed of a cylinder, and a rod of the forward/reverse actuator 920 may be connected to the gasket replacement unit 930 .

가스켓 교체 유닛(930)은 본체(910)의 상판(912) 저면에 이동 가능하게 설치된다. 일예로서, 가스켓 교체 유닛(930)은 케이스(931), 가스켓 그리퍼(932), CGA 플러그(933) 및 위상 변화 액츄에이터(934)를 구비할 수 있다.The gasket replacement unit 930 is movably installed on the lower surface of the upper plate 912 of the main body 910 . As an example, the gasket replacement unit 930 may include a case 931 , a gasket gripper 932 , a CGA plug 933 and a phase change actuator 934 .

케이스(931)는 전후진 액츄에이터(920)에 연결되도록 본체(910)에 설치될 수 있다. 한편, 케이스(931)는 내부 공간을 가지는 사각형 박스 형상을 가질 수 있으며, 가스켓 그리퍼(932), CGA 플러그(933)를 구동시키는 각종 구성이 케이스(931)의 내부 공간에 배치될 수 있다.The case 931 may be installed on the main body 910 so as to be connected to the forward/reverse actuator 920 . Meanwhile, the case 931 may have a rectangular box shape having an inner space, and various components for driving the gasket gripper 932 and the CGA plug 933 may be disposed in the inner space of the case 931 .

가스켓 그리퍼(932)는 케이스(931)의 전면에 배치되도록 케이스(931)에 설치된다. 한편, 가스켓 그리퍼(932)는 CGA 플러그(933)와 위치 변경이 가능하도록 케이스(931)에 설치된다. 그리고, 가스켓 그리퍼(932)는 케이스(931)가 전진하여 가스켓 매거진(940)으로 진입하는 경우 가스켓을 집어서 가스켓을 인출한다. 이후, 케이스(931)가 후진하여 가스켓 매거진(940)으로부터 가스켓 그리퍼(932)가 인출되며, 이후 180도 회전되어 CGA 플러그(933)와 위치를 변경한다. 이를 위해, 가스켓 그리퍼(932)는 위상 변화 액츄에이터(934)에 연결된다. 일예로서, 가스켓 그리퍼(932)는 케이스(931)에 구비되는 설치판(미도시)에 설치되며, 설치판이 위상 변화 액츄에이터(934)에 연결되어 회전될 수 있다.The gasket gripper 932 is installed on the case 931 so as to be disposed on the front side of the case 931 . On the other hand, the gasket gripper 932 is installed in the case 931 so that the location of the CGA plug 933 can be changed. Also, when the case 931 advances and enters the gasket magazine 940, the gasket gripper 932 picks up the gasket and takes out the gasket. Thereafter, the case 931 moves backward and the gasket gripper 932 is withdrawn from the gasket magazine 940, and then rotated 180 degrees to change position with the CGA plug 933. To this end, the gasket gripper 932 is connected to the phase change actuator 934. As an example, the gasket gripper 932 may be installed on an installation plate (not shown) provided in the case 931, and the installation plate may be connected to the phase change actuator 934 and rotated.

CGA 플러그(933)는 가스켓 그리퍼(932)와 이웃하여 배치되도록 케이스(931)에 설치된다. 한편, CGA 플러그(933)도 위상 변화 액츄에이터(934)에 연결된다. 일예로서, CGA 플러그(933)도 케이스(931)에 구비되는 설치판(미도시)에 설치되며, 설치판이 위상 변화 액츄에이터(934)에 연결되어 회전됨으로써 가스켓 그리퍼(932)와 위치 변경이 가능할 수 있다. 그리고, CGA 플러그(933)는 CGA 배관(미도시)가 가스 용기(미도시)로부터 분리되는 경우 CGA 배관(미도시) 내 잔존하는 가스가 누출되지 않도록 CGA 배관에 설치된다.The CGA plug 933 is installed in the case 931 so as to be disposed adjacent to the gasket gripper 932 . Meanwhile, the CGA plug 933 is also connected to the phase change actuator 934. As an example, the CGA plug 933 is also installed on a mounting plate (not shown) provided in the case 931, and the mounting plate is connected to the phase change actuator 934 and rotated so that the gasket gripper 932 and the position can be changed. there is. And, the CGA plug 933 is installed in the CGA pipe (not shown) so that gas remaining in the CGA pipe (not shown) does not leak when the CGA pipe (not shown) is separated from the gas container (not shown).

가스켓 매거진(940)은 가스켓 그리퍼(932)에 대향 배치되도록 본체(910)의 측면판(914)에 설치된다. 한편, 가스켓 매거진(940)에는 복수개의 가스켓이 보관될 수 있다. The gasket magazine 940 is installed on the side plate 914 of the main body 910 so as to face the gasket gripper 932 . Meanwhile, a plurality of gaskets may be stored in the gasket magazine 940 .

가스켓 제거 박스(950)는 가스켓 매거진(940)의 하부에 배치되도록 본체(910)의 측면판(914)에 설치된다. 가스켓 그리퍼(932)은 사용한 가스켓을 가스켓 제거 박스(950)에 저장한다.The gasket removal box 950 is installed on the side plate 914 of the body 910 to be disposed under the gasket magazine 940 . The gasket gripper 932 stores used gaskets in the gasket removal box 950 .

상기한 바와 같이, 전후진 액츄에이터(920)를 통해 가스켓 교체 유닛(930)이 전후진되며, 가스켓 그리퍼(932)와 CGA 플러그(933)가 상호 위치 변경이 가능하도록 케이스(931)에 설치되므로 협소한 공간 내에서도 가스켓 그리퍼(932)와 CGA 플러그(933)의 동작이 원활하게 이루어질 수 있다.As described above, the gasket replacement unit 930 moves forward and backward through the forward and backward actuator 920, and since the gasket gripper 932 and the CGA plug 933 are installed in the case 931 so as to be mutually changeable, it is narrow. Even within one space, the gasket gripper 932 and the CGA plug 933 can smoothly operate.

CGACGA 체결 모듈용 for fastening modules 가스켓gasket 감지 센서 detection sensor

도 14는 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서의 설치 상태를 나타내는 사시도이고, 도 15는 예시적인 실시예에 따른 CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서의 설치 위치를 설명하기 위한 사시도이다.14 is a perspective view illustrating an installation state of a gasket detection sensor for a CGA fastening module according to an exemplary embodiment, and FIG. 15 is a perspective view illustrating an installation position of a gasket detection sensor for a CGA fastening module according to an exemplary embodiment.

도 14 및 도 15를 참조하면, CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)는 CGA 체결 모듈(300)의 케이스(310)에 설치된다. 일예로서, CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)는 케이스(310)에 구비되는 센서 설치대(312)에 설치된다. 그리고, CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)는 CGA 커넥터 하우징(330)을 관통하여 배치되는 CGA 커넥터(360)의 끝단에 설치되는 가스켓을 감지하는 역할을 수행한다. 한편, 가스켓은 CGA 커넥터(360)의 중심으로부터 돌출되는 글랜드 코(362)에 설치된다. Referring to FIGS. 14 and 15 , the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module is installed in the case 310 of the CGA fastening module 300 . As an example, the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module is installed on the sensor mount 312 provided in the case 310 . In addition, the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module serves to detect a gasket installed at the end of the CGA connector 360 disposed through the CGA connector housing 330 . Meanwhile, the gasket is installed on the gland nose 362 protruding from the center of the CGA connector 360.

그런데, 글랜드 코(362)에는 곡면이 구비되므로 CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)로 센싱할 경우 CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)로의 수광량이 높다. 이에 따라, CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)가 CGA 커넥터(360) 중심에 위치하여 글랜드 코(362) 부분을 센싱할 경우 가스켓의 유무를 분별하는데 어려움이 있다. 이를 해결하기 위하여, CGA 커넥터(360)의 중심으로부터 편심되도록 CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)가 배치된다. 따라서, CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)가 글랜드 코(362)를 센싱하지 않기 때문에 가스켓의 유무에 따라서 수광량의 차이가 크게 발생하여 정확하게 가스켓 유무를 검출할 수 있다.However, since the gland nose 362 is provided with a curved surface, the amount of light received by the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module is high when sensing with the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module. Accordingly, when the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module is located at the center of the CGA connector 360 and senses the gland nose 362, it is difficult to discriminate whether or not there is a gasket. To solve this problem, the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module is disposed so as to be eccentric from the center of the CGA connector 360 . Therefore, since the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module does not sense the gland nose 362, a large difference in received light amount occurs depending on whether or not the gasket is present, so that the presence or absence of the gasket can be accurately detected.

추가적으로, 가스켓의 공차에 의하여 CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)가 가스켓을 검출하는데 어려움을 겪는 경우가 발생될 수 있다. 이 경우, CGA 체결 모듈용 구동부(400, 도 6 참조)의 공압 액츄에이터(420)를 통하여 CGA 커넥터(360)를 회전하여 가스켓의 위치를 조정 후에 CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서(1000)가 가스켓을 검출할 수 있다.Additionally, the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module may have difficulty in detecting the gasket due to the gasket tolerance. In this case, after adjusting the position of the gasket by rotating the CGA connector 360 through the pneumatic actuator 420 of the drive unit for the CGA fastening module (400, see FIG. 6), the gasket detection sensor 1000 for the CGA fastening module removes the gasket. can be detected.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible without departing from the technical spirit of the present invention described in the claims. It will be obvious to those skilled in the art.

100 : 마운트부
200 : 가스 용기 고정부
300 : CGA 체결 모듈
400 : CGA 체결 모듈용 구동부
500 : CGA 배관 고정 모듈
600 : CGA 배관
700 : 가스 용기의 밸브 회전 구동 모듈
800 : 가스 용기의 밸브 개폐 감지 모듈
900 : 가스켓 교체 모듈
1000 : CGA 체결 모듈용 가스켓 감지 센서100: mount part
200: gas container fixing part
300: CGA fastening module
400: driving unit for CGA fastening module
500: CGA pipe fixing module
600: CGA piping
700: valve rotation driving module of gas container
800: valve opening and closing detection module of gas container
900: gasket replacement module
1000: gasket detection sensor for CGA fastening module

Claims

Mount part installed in the cabinet;
a gas supply unit installed in the mounting unit so as to be able to move up and down; and
a gas container fixing part for fixing the gas container to the gas supply unit;
Including,
The gas supply unit includes a CGA fastening module installed in the mount unit and connected to the gas container,
The CGA fastening module
case;
an end cap housing rotatably installed in the case;
a CGA connector housing installed in the case to be disposed adjacent to the end cap housing;
a gasket detection sensor installed on the sensor mount of the case and disposed under the CGA connector housing; and
a power transmission unit spaced apart from the end cap housing and connected to the end cap housing and the CGA connector housing;
Provided with,
the mount part
A frame having a plate shape and having a plurality of mounting holes;
a spring installed in an installation provided in the frame;
A plurality of pulleys rotatably installed in the frame so as to be disposed adjacent to the installation hole;
a wire having one end connected to the spring and the other end connected to the gas supply unit; and
A magnet installed in the mounting hole of the frame;
Gas supply device comprising a.

According to claim 1,
The gas supply device of claim 1 , wherein the end cap housing includes an entry/exit hole disposed on a front side of the gas container through which the end cap of the gas container enters and exits, and a first flexible coupling for tilting a front end of the end cap housing.

According to claim 1,
The gas supply device of claim 1 , wherein a CGA connector is installed through the CGA connector housing, and a second flexible coupling for tilting the front end of the CGA connector housing is provided.

According to claim 3,
The gasket detection sensor detects whether or not a gasket is present at an end of the CGA connector.

According to claim 1,
The gas supply unit further includes a valve rotation driving module of a gas container disposed adjacent to the CGA fastening module,
The valve rotation driving module of the gas container is
an actuator that generates a driving force;
a main gear shaft connected to the actuator;
a main power transmission gear installed on the main gear shaft;
a clutch gear coupled to or separated from the main power transmission gear;
an up-and-down movement unit installed on the main gear shaft to elevate the clutch gear; and
a plurality of driven gears connected to the main power transmission gear;
a spring unit connected to any one of the plurality of driven gears; and
a valve handle connected to the spring unit and rotating the valve of the gas container;
A gas supply device comprising a.

According to claim 5,
The vertical movement unit includes a ring member having a coupling pin and a connecting member connected to the ring member,
The connecting member is connected to a driving source and is installed to be able to move up and down on the main power shaft.

According to claim 1,
The gas supply unit further includes a gasket replacement module,
The gasket replacement module
A body having a top plate having a plate shape and a side plate extending from one end of the top plate;
forward and backward actuators fixedly installed on the upper surface of the upper plate;
a gasket exchange unit that is connected to the forward and backward actuator and moves forward and backward;
a gasket magazine installed on the side plate to face the gasket replacement unit; and
a gasket removal box installed on the side plate to be disposed under the gasket magazine;
A gas supply device comprising a.

The method of claim 7, wherein the gasket replacement unit
a case installed on the lower surface of the upper plate;
a gasket gripper installed on the case to be disposed on the front surface of the case;
a CGA plug installed in the case to be disposed adjacent to the gasket gripper; and
a phase change actuator connected to the gasket gripper and the CGA plug;
A gas supply device comprising a.

delete

According to claim 1,
The pulley is installed in a mounting hole disposed on a lower surface of the frame to change the direction of the wire and guide the wire.