KR102481186B1 - Load port and substrate conveying system having load port - Google Patents

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야스시 다니야마
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신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
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Abstract

회전 기구를 구비하는 로드 포트에 있어서, 용기의 전달 위치를, 회전 기구를 구비하지 않는 로드 포트에 맞춘 경우라도, 용기의 회전 시에 용기의 도어부 등에의 충돌을 피하는 것이다.
로드 포트(4)는 개구부(30)를 갖는 베이스(20)와, 베이스(20)에 설치되며, 개구부(30)를 개폐하는 도어부(21)와, 베이스(20)와 직교하는 전후 방향에 있어서, 베이스(20)로부터 전방으로 돌출 설치되며, 적재 트레이(23)를 지지하는 프레임(22)과, 적재 트레이(23)를 연직축 주위로 회전시키는 회전 기구(24)와, FOUP(300)가 OHT(400)에 의해 적재 트레이(23)에 적재된 후, 회전 기구(24)가 적재 트레이(23)를 회전시키기 전에 또는 한창 회전시키고 있는 중에, 도어부(21) 및 적재 트레이(23) 중 적어도 어느 한쪽을 다른 쪽으로부터 멀어지게 하는 이동 기구를 구비한다. FOUP(300)와 도어부(21) 등이 상대적으로 멀어지기 때문에, FOUP(300)가 회전 시에 도어부(21) 등에 충돌하는 것을 피할 수 있다.In a load port having a rotation mechanism, even when the delivery position of the container is matched to a load port without a rotation mechanism, collision with the door portion of the container or the like is avoided during rotation of the container.
The load port 4 includes a base 20 having an opening 30, a door part 21 installed on the base 20 and opening and closing the opening 30, and a forward and backward direction orthogonal to the base 20. In this, the frame 22 protrudes forward from the base 20 and supports the loading tray 23, the rotating mechanism 24 for rotating the loading tray 23 around the vertical axis, and the FOUP 300 After being loaded onto the loading tray 23 by the OHT 400, before the rotating mechanism 24 rotates the loading tray 23 or while rotating the loading tray 23, among the door part 21 and the loading tray 23 A moving mechanism for moving at least either one away from the other is provided. Since the FOUP 300 and the door unit 21 are relatively far apart, collision with the door unit 21 or the like during rotation of the FOUP 300 can be avoided.

Description

로드 포트 및 로드 포트를 구비하는 기판 반송 시스템 {LOAD PORT AND SUBSTRATE CONVEYING SYSTEM HAVING LOAD PORT}Substrate transfer system having a load port and a load port {LOAD PORT AND SUBSTRATE CONVEYING SYSTEM HAVING LOAD PORT}

본 발명은 기판을 수용하는 용기를 회전시키는 회전 기구를 구비하는 로드 포트 및 당해 로드 포트를 구비하는 기판 반송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a load port provided with a rotation mechanism for rotating a container accommodating a substrate, and a substrate transport system provided with the load port.

종래부터, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 수용하는 FOUP(Front-Opening Unified Pod) 등의 용기와, 기판을 반송하는 반송 수단이 설치된 반송실 사이에서 기판의 출납이 행해질 때에, 용기가 적재되는 로드 포트라는 장치가 알려져 있다. 또한, 로드 포트는, 상기 반송 수단 및 반송실과 함께, EFEM(Equipment Front End Module) 등의 기판 반송 시스템을 구성한다.Conventionally, when substrates are loaded and unloaded between a container such as a FOUP (Front-Opening Unified Pod) that accommodates substrates such as semiconductor wafers and a transfer room equipped with transport means for transporting substrates, a load port is used to load containers. device is known. In addition, the load port constitutes a substrate transport system such as an EFEM (Equipment Front End Module) together with the transport means and transport room.

통상, 상기의 용기는, 용기의 측면에 설치된 덮개와, 이 덮개를 개폐하기 위해 로드 포트에 설치된 도어가 정면 대향하는 상태에서 로드 포트에 적재되지만, 그와 같은 방향에서 용기가 적재되지 않는 경우가 있다. 예를 들어, 공장 내에서 용기를 보관하는 스토커가, 용기를 회전시키는 회전 기구를 구비하고 있지 않은 경우 등에, 용기가 통상과 반대 방향으로 된 상태에서 로드 포트에 적재될 수 있다. 이와 같은 경우에는, 용기의 덮개가 도어와 정면 대향하도록 용기를 회전시킬 필요가 있는데, 그를 위한 회전 수단을 구비한 로드 포트가 특허문헌 1∼3에 개시되어 있다.Usually, the above containers are loaded into the load port with a cover provided on the side of the container and a door provided on the load port for opening and closing the cover facing each other, but there is a case where the container is not loaded in such a direction. there is. For example, when a stocker that stores containers in a factory does not have a rotating mechanism for rotating containers, the containers can be loaded into the load port in a state opposite to the normal one. In such a case, it is necessary to rotate the container so that the cover of the container is directly opposed to the door. Patent Documents 1 to 3 disclose load ports equipped with rotation means for this purpose.

특허문헌 1에 기재된 로드 포트는, 용기가 적재되는 적재부와, 적재부를 이동시키는 이동 기구와, 이동 기구를 회전시키는 회전 기구를 구비한다. 적재부는, 포크부를 구비한 이동 탑재기(즉, 바닥 위를 주행하는 이동 탑재기)와의 사이에서 용기의 전달이 행해지는 전달 위치와, 용기의 덮개가 도어와 함께 개폐되는 도어 개폐 위치 사이에서 이동 가능하다. 회전 기구가 적재부와 함께 용기를 회전시킴으로써, 용기의 덮개와 도어가 정면 대향한다. 또한, 용기를 회전시키는 회전 위치는, 전달 위치와 도어 개폐 위치 사이에 있다.The load port described in Patent Literature 1 includes a loading portion on which containers are loaded, a moving mechanism for moving the loading portion, and a rotation mechanism for rotating the moving mechanism. The loading unit is movable between a transfer position in which the container is transferred between a mobile device having a fork unit (i.e., a mobile device that travels on the floor) and a door opening and closing position in which the lid of the container is opened and closed together with the door. . When the rotating mechanism rotates the container together with the mounting portion, the lid and door of the container face each other in front. Further, the rotational position for rotating the container is between the delivery position and the door opening/closing position.

특허문헌 2, 3에도 특허문헌 1과 마찬가지로, 용기를 회전시키는 회전 기구를 갖는 로드 포트가 개시되어 있지만, 특허문헌 2, 3에 기재된 로드 포트에서는, 용기를 회전시키는 회전 위치가, 로드 포트에 용기를 운반하는 장치 등과의 사이에서 용기가 전달되는 전달 위치와 동일하게 되어 있다.Patent Literatures 2 and 3 also disclose a load port having a rotating mechanism for rotating the container as in Patent Literature 1, but in the load ports described in Patent Literatures 2 and 3, the rotational position for rotating the container is fixed to the load port. It is the same as the delivery position where the container is delivered between the device carrying the container and the like.

한편, 반도체 공장 등의 공장 내에서 용기를 수송하는 수송 수단으로서, 미리 설치된 궤도를 따라서 주행하는 OHT(Overhead Hoist Transfer) 등의 무인 반송차가 알려져 있다. 그와 같은 수송 수단이 배치된 공장 내에서, 회전 기구를 구비하는 로드 포트와, 회전 기구를 구비하고 있지 않은 로드 포트(이하, 통상 로드 포트라 칭함)가 혼재되는 경우에, 반송 효율을 향상시키기 위해, 양쪽의 로드 포트에 있어서의 용기의 전달 위치를 수송 수단의 궤도를 따라서 배치하고 싶다는 요망이 있다. 또한, 수송 수단의 주행 궤도와, 전술한 반송실 내 로드 포트가 배치되어 있는 벽면의 거리는 규격에 의해 정해져 있고, 예를 들어 OHT의 경우, SEMI 규격에 의해, 기판의 크기에 상관없이 평면에서 보아 243㎜ 전후로 정해져 있다.On the other hand, as a transportation means for transporting containers in a factory such as a semiconductor factory, an unmanned guided vehicle such as an overhead hoist transfer (OHT) that runs along a pre-installed track is known. In the case where a load port with a rotation mechanism and a load port without a rotation mechanism (hereinafter, commonly referred to as a load port) are mixed in a factory where such a transport means is arranged, in order to improve the transport efficiency , there is a desire to arrange the delivery positions of containers in both load ports along the trajectory of the transportation means. In addition, the distance between the traveling track of the transportation means and the wall surface on which the load port is disposed in the transfer chamber is determined by the standard, and for example, in the case of OHT, according to the SEMI standard, regardless of the size of the substrate, when viewed from a plane, It is set around 243 mm.

일본 특허 공개 제2013-219159호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-219159 일본 특허 제4168724호 공보Japanese Patent No. 4168724 일본 특허 제4816637호 공보Japanese Patent No. 4816637

특허문헌 1∼3에 기재된 로드 포트와 같이, OHT 등의 무인 반송차에 의한 용기의 전달을 전제로 하고 있지 않고, 전달 위치를 도어 개폐 위치로부터 충분히 먼 위치로 할 수 있는 경우에는, 용기의 회전 위치를 전달 위치와 동일 또는 전달 위치보다도 도어 개폐 위치측에 설정할 수 있다. 그러나, 상술한 규격에 준거하여, 도어 개폐 위치에 가까운 위치에 전달 위치를 정하면, 이들 로드 포트에서는, 치수상, 회전 시에 용기가 도어나 그 주변의 벽면에 충돌해 버린다. 이 때문에, 이들 회전 기구를 구비하는 로드 포트에 있어서의 전달 위치와, 회전 기구를 구비하지 않는 로드 포트에 있어서의 전달 위치를, 동일한 수송 수단의 궤도를 따라서 배치할 수 없어, 용기의 수송 효율이 떨어진다는 문제가 있다.Like the load port described in Patent Literatures 1 to 3, when the delivery position is not premised on delivery of the container by an automated guided vehicle such as OHT, and the delivery position can be sufficiently far from the door opening/closing position, the container rotates. The position can be set the same as the delivery position or closer to the door opening/closing position than the delivery position. However, if the delivery position is determined at a position close to the door opening/closing position in accordance with the above-mentioned standard, in these load ports, due to dimensions, the container will collide with the door or the wall surface around it during rotation. For this reason, the delivery position in the load port with these rotation mechanisms and the delivery position in the load port without rotation mechanism cannot be arranged along the same trajectory of the transport means, and the transport efficiency of the container is improved. There is a problem with falling.

본 발명의 목적은, 회전 기구를 구비하는 로드 포트에 있어서, 수송 수단으로부터 적재부에 용기가 전달되는 전달 위치를, 회전 기구를 구비하지 않는 로드 포트에 있어서의 전달 위치와 동일한 수송 수단의 궤도를 따라서 배치한 경우라도, 용기의 회전 시에 용기의 도어 등에의 충돌을 피하는 것이다.An object of the present invention is to set a delivery position in which a container is transferred from a transport unit to a loading unit in a load port having a rotation mechanism and a trajectory of the transport unit identical to that in a load port without a rotation mechanism. Therefore, even in the case of arrangement, collision with the container door or the like is avoided when the container rotates.

제1 발명의 로드 포트는, 기판을 수용하는 용기가 적재되는 적재부를 구비하고 있고, 상기 적재부가, 미리 설치된 궤도를 따라서 주행하고 상기 용기를 수송하는 수송 수단과의 사이에서 상기 용기를 전달 가능한 전달 위치에 있을 때에, 상기 용기를 상기 수송 수단과의 사이에서 전달하는 로드 포트이며, 기립 설치 배치되며, 개구부를 갖는 베이스와, 상기 베이스에 설치되며, 상기 개구부를 개폐하는 도어부와, 상기 베이스와 직교하는 전후 방향에 있어서, 상기 베이스로부터 전방으로 돌출 설치되며, 상기 적재부를 지지하는 프레임과, 상기 적재부를 연직축 주위로 회전시키는 회전 기구와, 상기 도어부를 후방으로 후퇴시키는 도어부 전후 이동 기구를 구비하고, 상기 도어부 전후 이동 기구는, 상기 용기가 상기 수송 수단에 의해 상기 적재부에 적재된 후에, 상기 회전 기구가 상기 적재부를 회전시키기 전에 또는 한창 회전시키고 있는 중에 상기 도어부를 후퇴시키는 것을 특징으로 하는 것이다. The load port of the first aspect of the invention includes a loading portion on which a container accommodating a substrate is loaded, and the loading portion travels along a pre-installed track and transfers the container between transport means for transporting the container. A load port for conveying the container to and from the transport means when in position, a base that is upright and arranged and has an opening, a door part installed on the base and opening and closing the opening, In the orthogonal front-and-back direction, a frame protruding forward from the base and supporting the loading part, a rotation mechanism for rotating the loading part around a vertical axis, and a door forward and backward movement mechanism for retracting the door part backward And, the forward and backward moving mechanism of the door part retracts the door part after the container is loaded into the loading part by the transport means, before the rotation mechanism rotates the loading part or while the loading part is in full swing. is to do

회전 기구를 구비하는 로드 포트에 있어서, 용기가 수송 수단에 의해 적재부에 적재된 후, 회전 기구가 적재부를 회전시키기 전에 또는 한창 회전시키고 있는 중에, 도어부와 적재부의 전후 방향의 거리가 상대적으로 멀어진다. 따라서, 회전 기구를 구비하는 로드 포트에 있어서, 수송 수단으로부터 적재부에 용기가 전달되는 전달 위치를, 회전 기구를 구비하지 않는 로드 포트에 있어서의 전달 위치와 동일한 수송 수단의 궤도를 따라서 배치한 경우라도, 용기의 회전 시에 용기가 도어부나 베이스에 충돌하는 것을 피할 수 있다.In the load port including the rotation mechanism, after the container is loaded on the loading unit by the transport means, before or while the rotation mechanism rotates the loading unit, the distance between the door unit and the loading unit in the front-back direction is relatively away Therefore, in a load port with a rotation mechanism, the delivery position where the container is transferred from the transport means to the loading unit is arranged along the same trajectory of the transport means as the delivery position in the load port without a rotation mechanism. Even if the container is rotated, it is possible to avoid collision of the container with the door part or the base.

제2 발명의 로드 포트는, 상기 적재부를 전후 방향으로 이동 가능한 적재부 이동 기구를 더 구비하고, 상기 적재부 이동 기구에 의해 상기 적재부를 회전 위치로 이동시키고, 또한 상기 도어부 전후 이동 기구가 상기 도어부를 후퇴시키며, 상기 회전 기구에 의해 상기 적재부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 것이다.The load port of the second aspect of the invention further includes a loading unit moving mechanism capable of moving the loading unit in the forward and backward directions, the loading unit moving mechanism moves the loading unit to a rotational position, and the door unit forward and backward moving mechanism moves the loading unit forward and backward. It is characterized in that the door part is retracted and the loading part is rotated by the rotation mechanism.

제3 발명의 로드 포트는, 상기 도어부는, 상기 개구부의 상측 부분을 폐색하는 상측 회동판과, 상기 개구부의 하측 부분을 폐색하는 하측 회동판과, 상기 상측 회동판과 상기 하측 회동판 사이에 위치하고, 상기 개구부를 후방으로부터 폐색하는 도어를 구비하고, 상기 도어는 후방으로 후퇴 가능하고, 상기 도어부 전후 이동 기구는, 상기 용기가 상기 수송 수단에 의해 상기 적재부에 적재된 후에, 상기 회전 기구가 상기 적재부를 회전시키기 전에 또는 한창 회전시키고 있는 중에, 상기 도어를 후방으로 후퇴시키고, 또한 상기 상측 회동판, 상기 하측 회동판을 후방으로 회동시키는 것을 특징으로 하는 것이다. In the load port of the third aspect of the present invention, the door portion is positioned between an upper pivot plate that closes the upper portion of the opening, a lower pivot plate that closes the lower portion of the opening, and the upper pivot plate and the lower pivot plate. , a door that closes the opening from the rear, the door is retractable rearward, and the door unit back-and-forth movement mechanism, after the container is loaded on the loading unit by the transport means, the rotating mechanism It is characterized in that the door is retracted backward, and the upper pivot plate and the lower pivot plate are pivoted rearward before or during rotation of the loading part.

제4 발명의 로드 포트는, 적재부 이동 기구는, 상기 회전 기구를 하방으로부터 지지하고, 또한 상기 전후 방향으로 이동 가능한 가동부를 갖고 있고, 상기 적재부는, 상기 회전 기구에 의해 하방으로부터 지지되고 있고, 상기 적재부에 적재된 상기 용기의 하면에 형성된 노즐 삽입구에 접속하는 접속 위치와, 상기 노즐 삽입구로부터 하방으로 이격되는 이격 위치와의 사이에서 승강 가능한, 가스의 주입 또는 배출용의 노즐이, 상기 가동부에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.In the load port of the fourth aspect of the present invention, the loading part moving mechanism has a movable part that supports the rotating mechanism from below and is movable in the forward and backward directions, and the loading part is supported from below by the rotating mechanism, A nozzle for injecting or discharging gas, which can move up and down between a connection position connected to a nozzle insertion port formed on the lower surface of the container loaded on the loading unit and a spaced position spaced downward from the nozzle insertion port, is provided on the movable unit. It is characterized in that it is supported on.

본 발명에 따르면, 회전 기구가 적재부 이동 기구의 가동부에 의해 지지되고, 적재부가 회전 기구에 지지되기 때문에, 적재부만이 회전 기구에 의해 회전하고, 이동 기구의 가동부의 상면에 설치된 가스 주입 또는 배출용의 노즐은 회전하지 않는다. 따라서, 노즐에 접속되는 가스의 주입 또는 배출용의 배관에 의해 회전 기구의 움직임을 방해받지 않고, 적재부를 회전시킬 수 있다.According to the present invention, since the rotating mechanism is supported by the movable part of the loading unit moving mechanism and the loading unit is supported by the rotating mechanism, only the loading unit is rotated by the rotating mechanism, and gas injection installed on the upper surface of the moving unit of the moving mechanism or The ejection nozzle does not rotate. Therefore, the loading part can be rotated without the movement of the rotation mechanism being hindered by the pipe for injecting or discharging gas connected to the nozzle.

제5 발명의 로드 포트는, 상기 적재부 이동 기구가, 상기 용기의 측면에 설치된 덮개가 상기 도어부와 함께 개폐되는 도어 개폐 위치로 상기 적재부를 이동시키기 전에 또는 한창 이동시키는 중에, 상기 노즐이 상기 접속 위치로 이동하고, 상기 노즐을 개재하여 상기 용기로의 가스의 주입 또는 배출이 개시되는 것을 특징으로 하는 것이다.In the load port of the fifth aspect of the present invention, before or during the movement of the loading part to a door opening/closing position in which the loading part moving mechanism opens and closes the cover provided on the side surface of the container together with the door part, the nozzle moves the It is characterized in that it moves to a connection position, and injection or discharge of gas into the container via the nozzle is started.

가스의 주입 또는 배출용의 노즐은, 가동부의 상면에 설치되어 있기 때문에, 적재부가 적재부 이동 기구에 의해 이동되고 있는 동안이라도, 노즐과 적재부의 전후 방향의 상대 위치는 변화되지 않는다. 그 때문에, 적재부를 도어 개폐 위치로 이동시키기 전에 또는 한창 이동시키는 중에, 용기에의 가스의 주입 또는 배출을 개시할 수 있다. 따라서, 적재부의 이동 완료 후에 가스의 주입 등을 시작하는 것보다도 빨리 가스의 주입 등을 완료시킬 수 있어, 도어부의 개폐까지의 시간을 단축할 수 있다.Since the nozzle for injecting or discharging gas is provided on the upper surface of the movable part, the relative position of the nozzle and the loading part in the front-back direction does not change even while the loading part is being moved by the loading part moving mechanism. Therefore, it is possible to start injecting or discharging gas into the container before or during the movement of the loading unit to the door opening/closing position. Therefore, the gas injection or the like can be completed sooner than the gas injection or the like is started after the movement of the loading unit is completed, and the time until opening and closing of the door unit can be shortened.

제6 발명의 기판 반송 시스템은, 제1 발명 또는 제2 발명에 기재된 로드 포트인 제1 로드 포트와, 상기 적재부를 구비하고 있고, 또한, 상기 회전 기구를 구비하고 있지 않은 제2 로드 포트와, 상기 기판을 상기 용기에 출납하는 반송 수단을 갖는 반송실을 구비하고, 상기 제1 로드 포트의 상기 적재부의 상기 전달 위치와, 상기 제2 로드 포트의 상기 적재부의 상기 전달 위치가, 상기 수송 수단의 상기 궤도를 따라서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.A substrate transport system of a sixth aspect of the invention includes a first load port that is the load port according to the first or second aspect of the invention, a second load port that includes the loading section and does not include the rotating mechanism; A transport chamber having transport means for loading and unloading the substrates into and out of the container is provided, wherein the delivery position of the loading section of the first load port and the delivery position of the loading section of the second load port are It is characterized in that it is arranged along the orbit.

회전 기구를 구비하는 제1 로드 포트 및 회전 기구를 구비하고 있지 않은 제2 로드 포트에 대하여, 각각의 로드 포트의 적재부가 취하는 전달 위치가, 동일한 수송 수단의 주행 궤도를 따라서 배치된다. 따라서, 각각의 로드 포트에 대하여, 동일한 수송 수단을 사용하여 용기의 전달을 행할 수 있다.For the first load port with a rotation mechanism and the second load port without a rotation mechanism, the delivery position taken by the loading section of each load port is arranged along the travel track of the same transport means. Accordingly, containers can be delivered to each load port using the same transportation means.

도 1의 (a)는 본 실시 형태에 관한 로드 포트를 포함하는 반도체 장치 및 그 주변의 개략적인 평면도, (b)는 동일하게 정면도.
도 2는 로드 포트의 사시도.
도 3은 로드 포트의 우측면도.
도 4는 적재 트레이의 위치를 도시하는 우측면도이며, (a)는 중간의 위치, (b)는 전방의 위치, (c)는 후방의 위치를 각각 도시하는 도면.
도 5는 노즐의 승강을 도시하는 우측면도이며, (a)는 노즐이 이격 위치에, (b)는 노즐이 접속 위치에 있는 상태를 각각 도시하는 도면.
도 6은 도 1의 (a)의 확대도.
도 7은 로드 포트의 동작의 흐름도.
도 8은 로드 포트의 동작을 도시하는 평면도.
도 9는 로드 포트의 동작을 도시하는 우측면도.
도 10은 변형예에 관한 로드 포트의 사시도.
도 11은 로드 포트의 우측면도.
도 12는 로드 포트의 동작을 도시하는 평면도.
도 13은 다른 변형예에 관한 EFEM의 평면도.Fig. 1 (a) is a schematic plan view of a semiconductor device including a load port according to the present embodiment and its periphery, and (b) is a front view.
2 is a perspective view of a load port;
Fig. 3 is a right side view of the load port;
Fig. 4 is a right side view showing the position of the stacking tray, wherein (a) is a middle position, (b) is a front position, and (c) is a view showing a rear position.
Fig. 5 is a right side view showing the elevation of the nozzle, wherein (a) is a view showing a state in which the nozzle is in a spaced position and (b) is a state in which the nozzle is in a connected position.
Figure 6 is an enlarged view of Figure 1 (a);
Fig. 7 is a flow chart of the operation of the load port;
Fig. 8 is a plan view showing the operation of the load port;
Fig. 9 is a right side view showing the operation of the load port;
Fig. 10 is a perspective view of a load port according to a modified example;
Fig. 11 is a right side view of the load port;
Fig. 12 is a plan view showing the operation of a load port;
Fig. 13 is a plan view of an EFEM according to another variant.

다음에, 본 발명의 실시 형태에 대하여, 도 1∼도 8을 참조하면서 설명한다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 복수의 로드 포트(4, 5)가 나열되는 방향을 좌우 방향이라 한다. 또한, 좌우 방향과 직교하고, 로드 포트(4, 5)가 반송실(6)을 향하는 방향을 전후 방향이라 한다. 전후 방향에 있어서, 로드 포트(4, 5)측을 전방, 반송실(6)측을 후방이라 한다.Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 8 . In addition, as shown in FIG. 1, the direction in which the plurality of load ports 4 and 5 are arranged is referred to as the left-right direction. Further, a direction orthogonal to the left-right direction and in which the load ports 4 and 5 face the transfer chamber 6 is referred to as the front-back direction. In the front-back direction, the side of the load ports 4 and 5 is referred to as the front side, and the side of the transfer chamber 6 is referred to as the rear side.

(로드 포트를 포함하는 반도체 장치 및 주변의 개략 구성)(Schematic configuration of a semiconductor device including a load port and its surroundings)

도 1은 반도체 공장에 설치된 반도체 제조 장치(1) 및 그 주변의 개략도이다. 도 1의 (a)에 도시한 바와 같이, 반도체 제조 장치(1)는 웨이퍼 등의 기판을 처리하는 기판 처리 장치(2)와, 기판을 기판 처리 장치(2)와의 사이에서 전달하는 EFEM(3)(본 발명의 기판 반송 시스템)을 구비한다. 반도체 제조 장치(1)는 이하의 일련의 동작을 행한다. 먼저, EFEM(3)이, 기판을 수용하는 FOUP(300)(본 발명의 용기)를 후술하는 OHT(400)(본 발명의 수송 수단) 등으로부터 수취한다. 다음에, EFEM(3)은, FOUP(300)로부터 기판을 꺼내어, 기판 처리 장치(2)에 기판을 건네준다. 기판 처리 장치(2)는 EFEM(3)으로부터 수취한 기판의 처리를 행하고, 기판을 EFEM(3)으로 되돌린다. EFEM(3)은, 기판을 FOUP(300)로 되돌린다. 그 후, FOUP(300)는 OHT(400) 등에 의해 운반되어 간다.1 is a schematic diagram of a semiconductor manufacturing apparatus 1 installed in a semiconductor factory and its surroundings. As shown in FIG. 1 (a), the semiconductor manufacturing apparatus 1 includes a substrate processing apparatus 2 that processes a substrate such as a wafer, and an EFEM 3 that transfers the substrate between the substrate processing apparatus 2. ) (substrate transport system of the present invention). The semiconductor manufacturing apparatus 1 performs the following series of operations. First, the EFEM 3 receives the FOUP 300 (container of the present invention) accommodating the substrate from the OHT 400 (transportation means of the present invention) or the like described later. Next, the EFEM 3 takes out the substrate from the FOUP 300 and passes the substrate to the substrate processing apparatus 2 . The substrate processing apparatus 2 processes the substrate received from the EFEM 3 and returns the substrate to the EFEM 3. The EFEM 3 returns the substrate to the FOUP 300. After that, the FOUP 300 is carried by the OHT 400 or the like.

기판 처리 장치(2)는 도시하지 않은 기판 처리 기구와, 제어 장치(10)를 구비한다. 제어 장치(10)는 기판 처리 기구를 제어하여, 기판의 처리나 EFEM(3)과의 사이에서의 기판의 전달을 행하는 것 외에, 상위 컴퓨터인 호스트(200) 등과의 사이에서 통신을 행한다.The substrate processing apparatus 2 includes a substrate processing mechanism (not shown) and a control device 10 . The control device 10 controls the substrate processing mechanism to process substrates and transfer substrates to and from the EFEM 3, as well as to communicate with the host 200 or the like as a host computer.

EFEM(3)은, 1대의 로드 포트(4)(본 발명의 로드 포트 및 제1 로드 포트)와, 2대의 로드 포트(5)(본 발명의 제2 로드 포트)와, 반송실(6)과, 반송 로봇(7)(본 발명의 반송 수단)과, 제어 장치(11)를 구비한다. 또한, 로드 포트(4)와 로드 포트(5)의 큰 상위점은, 후술하는 회전 기구(24)의 유무이다. 즉, 로드 포트(4)는 회전 기구(24)를 구비하고, 로드 포트(5)는 회전 기구(24)를 구비하고 있지 않다.The EFEM 3 includes one load port 4 (the load port and the first load port of the present invention), two load ports 5 (the second load port of the present invention), and a transfer chamber 6 , a transport robot 7 (transport means of the present invention), and a control device 11. A major difference between the load port 4 and the load port 5 is the presence or absence of a rotation mechanism 24 described later. That is, the load port 4 has a rotation mechanism 24, and the load port 5 does not have a rotation mechanism 24.

로드 포트(4, 5)는, 각각의 후단부가, 후술하는 반송실(6)의 전방측의 격벽(8)을 따르도록, 좌우 방향으로 병설된다. 로드 포트(4, 5)에는, FOUP(300)가 적재된다. 또한, FOUP(300)는 OHT(400)에 의해 공장 내에서 수송된다. 도 1의 (a), (b)에 도시한 바와 같이, OHT(400)는 공장 내의 천장에 미리 설치된 레일(401)(본 발명의 궤도)을 따라서 주행하고, 상방으로부터 로드 포트(4, 5)에 액세스하는 무인 반송차이다. OHT(400)는, 호스트(200)로부터의 지령에 기초하여, FOUP(300)를 로드 포트(4) 또는 로드 포트(5)에 전달한다.The load ports 4 and 5 are juxtaposed in the left-right direction so that the rear ends of each follow a partition wall 8 on the front side of the transport chamber 6 described later. The FOUP 300 is loaded into the load ports 4 and 5. Also, the FOUP (300) is transported within the factory by the OHT (400). As shown in (a) and (b) of FIG. 1, the OHT 400 travels along a rail 401 (track of the present invention) pre-installed on the ceiling in the factory, and the load ports 4 and 5 from above. ) is an unmanned guided vehicle that accesses. The OHT 400 transfers the FOUP 300 to the load port 4 or the load port 5 based on a command from the host 200 .

반송실(6)은 격벽(8)에 의해 외부 공간으로부터 격리된 반송 공간(9)을 구성한다. 또한, 레일(401)과, 반송실(6)의 전방 격벽(8)의 전후 방향의 거리 L은, 예를 들어 SEMI 규격에 의해 정해지는 243㎜ 전후이다.The transfer room 6 constitutes a transfer space 9 isolated from the external space by a partition wall 8. In addition, the distance L of the front-back direction of the rail 401 and the front partition wall 8 of the transfer room 6 is around 243 mm determined by SEMI standard, for example.

반송 로봇(7)은 반송실(6) 내에 설치되며, 로드 포트(4, 5)에 적재된 FOUP(300)와 기판 처리 장치(2) 사이에서 기판의 전달을 한다. 제어 장치(11)는 반송 로봇(7)의 제어를 행하는 것 외에, 기판 처리 장치(2)의 제어 장치(10), 후술하는 로드 포트(4)의 제어 장치(29) 및 호스트(200) 등과의 사이에서 통신을 행한다.The transfer robot 7 is installed in the transfer room 6 and transfers substrates between the substrate processing apparatus 2 and the FOUP 300 loaded on the load ports 4 and 5 . In addition to controlling the transport robot 7, the control device 11 controls the control device 10 of the substrate processing apparatus 2, the controller 29 of the load port 4 described later, the host 200, and the like. communicate between

(로드 포트의 구성)(configuration of load port)

다음에, 로드 포트(4)의 구성에 대하여 설명한다. 또한, 도 2에 도시된 방향을 전후 좌우 상하 방향이라 한다.Next, the configuration of the load port 4 will be described. In addition, the directions shown in FIG. 2 are referred to as forward, backward, left, right, and up-down directions.

도 2, 도 3 및 도 5에 도시한 바와 같이, 로드 포트(4)는 베이스(20)와, 도어부(21)와, 프레임(22)과, 적재 트레이(23)(본 발명의 적재부)와, 회전 기구(24)와, 이동 기구(25)와, 질소 가스 퍼지 유닛(27)과, 제어 장치(29)(본 발명의 제어 수단) 등을 구비한다.As shown in FIGS. 2, 3 and 5, the load port 4 includes a base 20, a door part 21, a frame 22, and a loading tray 23 (the loading part of the present invention). ), a rotating mechanism 24, a moving mechanism 25, a nitrogen gas purging unit 27, a control device 29 (control means of the present invention), and the like.

베이스(20)는 정면에서 보아 대략 직사각 형상의 평판상의 부분이다. 베이스(20)는 반송실(6)의 격벽(8)의 일부를 구성하도록 기립 설치 배치된다. 또한, 베이스(20)의 상측 부분에는, 정면에서 보아 대략 직사각 형상의 개구부(30)가 형성되어 있다. 개구부(30)는 FOUP(300)의 측면에 설치된 덮개(301)가 전후로 통과할 수 있는 크기를 갖는다.The base 20 is a substantially rectangular flat plate-like portion when viewed from the front. The base 20 is placed upright to constitute a part of the partition wall 8 of the transport chamber 6. Further, an opening 30 having a substantially rectangular shape when viewed from the front is formed in the upper portion of the base 20 . The opening 30 has a size through which the cover 301 installed on the side of the FOUP 300 can pass back and forth.

도어부(21)는 도어(31)와, 도어 아암(32)을 갖는다. 도어(31)는, 대략 직사각 형상의 평판상의 부재이며, 개구부(30)를 후방으로부터 폐색할 수 있는 크기를 갖는다. 도어(31)는 FOUP(300)의 덮개(301)를 흡착하는 흡착부(33)와, 덮개(301)의 자물쇠를 개폐하는 래치 키(34)를 갖는다. 도어 아암(32)은 도어(31)의 후방부에 설치되며, 도어(31)를 하방으로부터 지지하는 부재이다. 또한, 도어 아암(32)은 도어 이동부(35)에 접속된다. 도어 이동부(35)는 베이스(20)의 후방에 설치되며, 도어(31) 및 도어 아암(32)을 전후 방향 및 상하 방향으로 이동시킨다.The door part 21 has a door 31 and a door arm 32 . The door 31 is a substantially rectangular flat plate member, and has a size capable of closing the opening 30 from the rear. The door 31 has an adsorption portion 33 that adsorbs the lid 301 of the FOUP 300 and a latch key 34 that opens and closes the lock of the lid 301 . The door arm 32 is installed at the rear of the door 31 and is a member that supports the door 31 from below. Also, the door arm 32 is connected to the door moving part 35 . The door moving unit 35 is installed at the rear of the base 20 and moves the door 31 and the door arm 32 forward and backward and up and down.

프레임(22)은 베이스(20)로부터 전방으로 돌출 설치된 부분이다. 프레임(22)은 평면에서 보아 대략 직사각 형상이며, FOUP(300)보다도 큰 면적을 갖는다. 또한, 프레임(22)의 전방면에는, 센서(26)(본 발명의 검지 수단)가 설치되어 있다. 센서(26)는 예를 들어 발광부와 수광부를 갖는 광학 센서이다. 발광부가, 프레임(22)의 전방에 광을 발하고, 프레임(22)의 전방에 장해물이 있는 경우, 장해물에 의해 반사된 광을 수광부가 검지하고, 검지 신호를 제어 장치(29)에 보낸다.The frame 22 is a part protruding forward from the base 20 . The frame 22 has a substantially rectangular shape in plan view and has a larger area than the FOUP 300 . In addition, a sensor 26 (detection means of the present invention) is provided on the front face of the frame 22 . The sensor 26 is, for example, an optical sensor having a light emitting unit and a light receiving unit. The light emitting unit emits light in front of the frame 22, and when there is an obstacle in front of the frame 22, the light receiving unit detects the light reflected by the obstacle and sends a detection signal to the control device 29.

적재 트레이(23)는 평면에서 보아 대략 직사각 형상의 부재이며, FOUP(300)가 안정적으로 적재될 수 있는 면적을 갖는다. 적재 트레이(23)는 후술하는 바와 같이, 회전 기구(24) 및 이동 기구(25)를 통해 프레임(22)에 하방으로부터 지지된다.The loading tray 23 is a substantially rectangular member when viewed from a plan view, and has an area in which the FOUP 300 can be stably loaded. The stacking tray 23 is supported by the frame 22 from below through a rotating mechanism 24 and a moving mechanism 25, as will be described later.

적재 트레이(23)의 상면에는, 3개의 위치 결정 핀(36, 37, 38)이 설치되어 있다. 위치 결정 핀(36, 37, 38)은, 후술하는 정규의 방향으로 FOUP(300)가 적재된 경우에, FOUP(300)의 저면에 설치된 도시하지 않은 3개의 구멍과 걸림 결합하도록 배치되어 있다. 또한, 도 2 및 도 3에 있어서의 적재 트레이(23)의 방향은, FOUP(300)의 덮개(301)와 도어(31)가 정면 대향하는 상태에 있어서의 방향이다. 즉, 위치 결정 핀(36)과 위치 결정 핀(37)의 전후 방향의 위치가 대략 동등하고, 위치 결정 핀(38)이 위치 결정 핀(36, 37)보다도 전방에 위치할 때, FOUP(300)의 덮개(301)와 도어(31)가 정면 대향한다. 적재 트레이(23)의 상기의 방향을, 정규의 방향이라 칭한다.On the upper surface of the loading tray 23, three positioning pins 36, 37 and 38 are provided. The positioning pins 36, 37, and 38 are arranged so as to engage with three not-illustrated holes provided on the bottom surface of the FOUP 300 when the FOUP 300 is loaded in a normal direction described later. The direction of the loading tray 23 in FIGS. 2 and 3 is the direction in a state where the cover 301 of the FOUP 300 and the door 31 face each other. That is, when the positions of the positioning pins 36 and 37 in the front-rear direction are substantially equal, and the positioning pins 38 are positioned ahead of the positioning pins 36 and 37, the FOUP 300 ) of the cover 301 and the door 31 face each other. The above direction of the loading tray 23 is referred to as a normal direction.

또한, 적재 트레이(23)에는, 적재 트레이(23)의 상면으로부터 하면에 걸쳐 관통하는, 2개의 노즐 통과 구멍(39, 40)이 형성되어 있다. 이들 노즐 통과 구멍(39, 40)은, 적재 트레이(23)가 정규의 방향에 있을 때에, 후술하는 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)을 각각 통과시킬 수 있도록 배치되어 있다.In addition, the loading tray 23 is formed with two nozzle passage holes 39 and 40 penetrating from the upper surface to the lower surface of the loading tray 23 . These nozzle passing holes 39 and 40 are arranged so that an injection nozzle 55 and an ejection nozzle 56 described later can respectively pass through when the loading tray 23 is in the normal direction.

도 3에 도시한 바와 같이, 회전 기구(24)는 모터(41)와, 샤프트(42)를 갖는다. 모터(41)에는, 예를 들어 회전식의 에어 모터 등이 사용된다. 모터(41)는 후술하는 이동 기구(25)의 가동부(47)에 지지된다. 샤프트(42)는 모터(41)의 상부 및 적재 트레이(23)의 하부에, 연직 방향으로 연장되도록 설치되며, 적재 트레이(23)를 하방으로부터 지지함과 함께 모터(41)의 회전 동력을 적재 트레이(23)에 전달한다. 상기의 구성을 갖는 회전 기구(24)의 모터(41)가 샤프트(42)를 회전시킴으로써, 적재 트레이(23)는 연직축 주위로 회전한다.As shown in FIG. 3 , the rotating mechanism 24 has a motor 41 and a shaft 42 . For the motor 41, a rotary air motor or the like is used, for example. The motor 41 is supported by a movable part 47 of a moving mechanism 25 described later. The shaft 42 is installed to extend in the vertical direction at the top of the motor 41 and the bottom of the loading tray 23, supports the loading tray 23 from below and loads the rotational power of the motor 41. It is delivered to the tray 23. When the motor 41 of the rotating mechanism 24 having the above structure rotates the shaft 42, the loading tray 23 rotates around the vertical axis.

도 2∼도 4에 도시한 바와 같이, 이동 기구(25)는 실린더(45)와, 전동부(46)와, 가동부(47)와, 슬라이드 레일(48)과, 레일 블록(49)을 갖는다. 실린더(45)에는, 예를 들어 실린더(45)를 구성하는 로드(50)가 3종류의 위치를 취할 수 있는 3 포지션 에어 실린더가 사용된다. 실린더(45)는 로드(50)가 전후 방향으로 이동하도록 프레임(22) 내에 설치된다. 전동부(46)는 로드(50)의 단부 및 가동부(47)의 하부에 설치되며, 실린더(45)의 동력을 가동부(47)에 전달하도록 설치된다. 가동부(47)는 전동부(46)의 상부에 접속되며, 전후 방향으로 이동하도록 설치된다. 또한, 가동부(47)는 회전 기구(24)의 모터(41)를 하방으로부터 지지한다. 슬라이드 레일(48)은 가동부(47)의 하부에 전후 방향을 따라서 설치된다. 레일 블록(49)은 프레임(22)의 상면에 고정되며, 슬라이드 레일(48)을 하방으로부터 전후 이동 가능하게 지지한다.As shown in Figs. 2 to 4, the moving mechanism 25 includes a cylinder 45, a transmission part 46, a movable part 47, a slide rail 48, and a rail block 49. . As the cylinder 45, for example, a three-position air cylinder in which the rod 50 constituting the cylinder 45 can take three types of positions is used. The cylinder 45 is installed in the frame 22 so that the rod 50 moves in the forward and backward directions. The transmission part 46 is installed at the end of the rod 50 and the lower part of the movable part 47, and is installed to transmit the power of the cylinder 45 to the movable part 47. The movable part 47 is connected to the top of the transmission part 46 and is installed to move in the forward and backward directions. Moreover, the movable part 47 supports the motor 41 of the rotation mechanism 24 from below. The slide rail 48 is installed below the movable part 47 along the front-back direction. The rail block 49 is fixed to the upper surface of the frame 22 and supports the slide rail 48 so as to be movable back and forth from below.

상기의 구성을 갖는 이동 기구(25)의 실린더(45)가 로드(50)를 전후 방향으로 움직이게 함으로써, 적재 트레이(23)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 전후 방향에 있어서 3개의 위치의 사이에서 이동 가능해진다. 로드 포트(4)가 도 1에 도시한 바와 같이 배치되어 있는 상태에서, 도 4의 (a)에 도시한 바와 같이, 적재 트레이(23)가 전후 방향에 있어서 중간의 위치에 있을 때, 적재 트레이(23)는 레일(401)의 바로 아래에 위치한다. 즉, 적재 트레이(23)는 OHT(400)에 의해 FOUP(300)를 전달받을 수 있다. 적재 트레이(23)의 상기의 위치를, 전달 위치라 칭한다.When the cylinder 45 of the moving mechanism 25 having the above configuration moves the rod 50 in the forward and backward directions, the loading tray 23, as shown in FIG. 4, has three positions in the forward and backward directions. can be moved between When the load port 4 is arranged as shown in Fig. 1 and the load tray 23 is at an intermediate position in the front-back direction as shown in Fig. 4 (a), the load tray (23) is located directly under the rail (401). That is, the loading tray 23 may receive the FOUP 300 by the OHT 400 . The above position of the loading tray 23 is referred to as a delivery position.

또한, 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 적재 트레이(23)가 전달 위치보다도 전방에 있을 때, 후술하는 바와 같이, 적재 트레이(23)는 회전 기구(24)에 의해 회전시켜진다. 이 전방의 위치를 회전 위치라 칭한다. 또한, 도 4의 (c)에 도시한 바와 같이, 적재 트레이(23)가 전달 위치보다도 후방에 있을 때, 적재 트레이(23) 상의 FOUP(300)의 덮개(301)가 도어부(21)에 근접하고, 덮개(301)가 도어부(21)와 함께 개폐된다. 이 후방의 위치를 도어 개폐 위치라 칭한다.In addition, as shown in (b) of FIG. 4 , when the loading tray 23 is forward of the delivery position, the loading tray 23 is rotated by the rotating mechanism 24 as will be described later. This forward position is called a rotational position. Further, as shown in (c) of FIG. 4 , when the loading tray 23 is rearward than the transfer position, the cover 301 of the FOUP 300 on the loading tray 23 is attached to the door 21. Close, and the cover 301 is opened and closed together with the door part 21 . This rear position is called a door opening/closing position.

또한, 로드 포트(4)는, 도 5에 도시한 바와 같이, FOUP(300) 내에 질소 가스의 주입 및 배출을 행하는 질소 가스 퍼지 유닛(27)을 구비한다. 질소 가스 퍼지 유닛(27)은 질소 가스를 공급하는 가스 공급 수단(51)과, FOUP(300) 내에 미리 채워져 있는 에어를 배출하는 배기 수단(52)과, 배관(53, 54)과, 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)(본 발명의 노즐)과, 모터(57, 58)를 갖는다.Also, as shown in FIG. 5 , the load port 4 includes a nitrogen gas purge unit 27 that injects and discharges nitrogen gas into the FOUP 300 . The nitrogen gas purge unit 27 includes a gas supply means 51 for supplying nitrogen gas, an exhaust means 52 for discharging air previously filled in the FOUP 300, pipes 53 and 54, and injection nozzles. 55 and discharge nozzle 56 (nozzle of the present invention), and motors 57 and 58.

주입 노즐(55)은 이동 기구(25)의 가동부(47)의 상면으로부터 상향으로 돌출되도록 설치되며, 적재 트레이(23)가 정규의 방향에 있을 때에 노즐 통과 구멍(39)을 통과할 수 있도록 배치되어 있다. 주입 노즐(55)은 배관(53)에 접속되고, 또한 모터(57)에 의해 승강 가능하게 되어 있다. 배관(53)은 가스 공급 수단(51)에 연결되어 있다. 마찬가지로, 배출 노즐(56)은 적재 트레이(23)가 정규의 방향에 있을 때에 노즐 통과 구멍(40)을 통과할 수 있도록 배치되고, 배관(54)에 접속되며, 또한, 모터(58)에 의해 승강 가능하게 되어 있다. 배관(54)은 배기 수단(52)에 연결되어 있다.The injection nozzle 55 is installed so as to protrude upward from the upper surface of the movable part 47 of the moving mechanism 25, and is arranged so that it can pass through the nozzle passage hole 39 when the loading tray 23 is in the normal direction. has been The injection nozzle 55 is connected to a pipe 53 and is capable of being moved up and down by a motor 57 . The pipe 53 is connected to the gas supply means 51. Similarly, the discharge nozzle 56 is arranged so as to be able to pass through the nozzle passage hole 40 when the loading tray 23 is in the normal direction, is connected to the pipe 54, and is also driven by the motor 58. Elevation is possible. A pipe 54 is connected to an exhaust means 52 .

도 5의 (a)에 도시한 바와 같이, 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)이 가장 하강하였을 때는, 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)의 상단이 적재 트레이(23)보다도 하방으로 이격된 위치(이격 위치)에 있다. 또한, 도 5의 (b)에 도시한 바와 같이, 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)이 가장 상승하였을 때는, 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)의 상단부가 FOUP(300)의 저면의 노즐 삽입구(302, 303)에 각각 접속되는 위치(접속 위치)에 있다.As shown in (a) of FIG. 5 , when the injection nozzles 55 and the discharge nozzles 56 descend the most, the upper ends of the injection nozzles 55 and the discharge nozzles 56 are lower than the loading tray 23. is in a spaced position (separated position). In addition, as shown in (b) of FIG. 5, when the injection nozzle 55 and the discharge nozzle 56 are most elevated, the upper ends of the injection nozzle 55 and the discharge nozzle 56 are at the top of the FOUP 300. It exists in the position (connection position) respectively connected to the nozzle insertion ports 302 and 303 on the bottom surface.

제어 장치(29)는 CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등을 구비한다. 제어 장치(29)는 ROM에 저장된 프로그램에 따라서, CPU에 의해, 로드 포트(4)의 각 기구를 제어하는 것 외에, EFEM(3)의 제어 장치(11)나 호스트(200) 등과의 사이에서 통신을 행한다.The control device 29 includes a CPU (Central Processing Unit), ROM (Read Only Memory), RAM (Random Access Memory), and the like. The control device 29 controls each mechanism of the load port 4 by the CPU according to a program stored in the ROM, as well as between the control device 11 of the EFEM 3 and the host 200, etc. communicate

다음에, 로드 포트(5)에 대하여 설명한다. 로드 포트(5)의 구성은, 로드 포트(4)의 구성과 대략 마찬가지이지만, 전술한 바와 같이, 회전 기구(24)를 구비하고 있지 않다는 점에서 로드 포트(4)의 구성과 상이하다. 즉, 로드 포트(5)에 있어서, FOUP(300)는, 덮개(301)가 도어(31)와 정면 대향하는 상태에서 적재 트레이(23)에 적재된다. 또한, 로드 포트(5)의 적재 트레이(23)는 이동 기구(25)에 직접적으로 지지되어 있다. 또한, 로드 포트(5)의 적재 트레이(23)는 회전 위치로는 이동하지 않고, 전달 위치와 도어 개폐 위치 사이에서 이동시켜진다. 로드 포트(4)와 로드 포트(5)에 있어서, 적재 트레이(23)의 전달 위치 및 도어 개폐 위치의 전후 방향의 위치는 동일하다.Next, the load port 5 will be described. The configuration of the load port 5 is substantially the same as that of the load port 4, but it differs from the configuration of the load port 4 in that the rotation mechanism 24 is not provided as described above. That is, in the load port 5, the FOUP 300 is loaded onto the loading tray 23 with the lid 301 facing the door 31 in front. In addition, the loading tray 23 of the load port 5 is directly supported by the moving mechanism 25 . Also, the loading tray 23 of the load port 5 does not move to the rotational position, but is moved between the delivery position and the door opening/closing position. In the load port 4 and the load port 5, the delivery position of the loading tray 23 and the forward/backward position of the door opening/closing position are the same.

(로드 포트의 동작 스텝)(Operation step of load port)

다음에, 도 6에 도시한 바와 같이, EFEM(3)에 설치된 로드 포트(4)의 동작 스텝에 대하여, 도 6∼도 9를 사용하여 설명한다.Next, as shown in FIG. 6, operation steps of the load port 4 installed in the EFEM 3 will be described using FIGS. 6 to 9.

도 7은 로드 포트(4)의 동작의 흐름도이다. 먼저, 적재 트레이(23) 상에 FOUP(300)가 적재되어 있지 않은 상태에서, 로드 포트(4)의 제어 장치(29)는 호스트(200)와 통신하여, OHT(400)에 의해 수송되어 오는 FOUP(300)의 정보를 취득한다(S101). 또한, 이 FOUP(300)의 정보에는, 적재 트레이(23)에 적재될 때의 FOUP(300)의 방향에 관한 정보가 포함된다. FOUP(300)의 덮개(301)가 로드 포트(4)의 도어(31)에 정면 대향하는 방향에서 적재되는 경우에는, 정규의 방향이라는 취지의 정보가, 덮개(301)가 정규의 방향과 반대의 방향에서 적재되는 경우에는, 반대 방향이라는 취지의 정보가, 각각 호스트(200)로부터 보내져 온다.7 is a flow chart of the operation of the load port 4. First, in a state in which the FOUP 300 is not loaded on the loading tray 23, the control device 29 of the load port 4 communicates with the host 200, Information of the FOUP 300 is acquired (S101). In addition, the information of this FOUP 300 includes information about the direction of the FOUP 300 when it is loaded on the stacking tray 23 . When the cover 301 of the FOUP 300 is loaded in a direction directly facing the door 31 of the load port 4, information to the effect of the normal direction indicates that the cover 301 is in the opposite direction to the normal direction. When loading in the opposite direction, information to the effect of the opposite direction is sent from the host 200, respectively.

다음에, 제어 장치(29)는 호스트(200)로부터 수취한 정보에 기초하여, FOUP(300)가 적재 트레이(23)에 적재되는 방향이 정규의 방향인지 반대 방향인지를 판정한다(S102). 먼저, FOUP(300)가 반대 방향에서 적재 트레이(23)에 적재되는 경우에 대하여 설명한다.Next, based on the information received from the host 200, the control device 29 determines whether the direction in which the FOUP 300 is loaded on the stacking tray 23 is the normal direction or the opposite direction (S102). First, a case in which the FOUP 300 is loaded on the stacking tray 23 in the opposite direction will be described.

제어 장치(29)는 적재 트레이(23)가 정규의 방향으로 배치되어 있는 경우, 회전 기구(24)의 모터(41)를 구동하여, 반대 방향의 FOUP(300)가 적재되도록 적재 트레이(23)를 회전시킨다. 적재 트레이(23)가 처음부터 반대 방향으로 배치되어 있는 경우에는, 제어 장치(29)는 적재 트레이(23)를 회전시키지 않는다. 또한, 제어 장치(29)는 적재 트레이(23)가 전달 위치 이외의 위치에 있는 경우, 이동 기구(25)의 실린더(45)를 동작시켜, 적재 트레이(23)를 전달 위치로 이동시킨다. 적재 트레이(23)가 처음부터 전달 위치에 있는 경우에는, 제어 장치(29)는 적재 트레이(23)를 이동시키지 않는다. 즉, 제어 장치(29)는 적재 트레이(23)가 도 8의 (a)에 도시한 바와 같은 위치 및 방향에 있는 상태에서 대기한다(S103).The control device 29 drives the motor 41 of the rotating mechanism 24 when the stacking tray 23 is arranged in the normal direction, so that the stacking tray 23 loads the FOUP 300 in the opposite direction. rotate When the stacking tray 23 is disposed in the opposite direction from the beginning, the control device 29 does not rotate the stacking tray 23 . Further, when the loading tray 23 is in a position other than the delivery position, the control device 29 operates the cylinder 45 of the moving mechanism 25 to move the loading tray 23 to the delivery position. When the stack tray 23 is initially in the transfer position, the control device 29 does not move the stack tray 23 . That is, the control device 29 stands by with the loading tray 23 in the position and direction as shown in Fig. 8(a) (S103).

이때, 도 6에 도시한 바와 같이, 로드 포트(4)의 적재 트레이(23)는 평면에서 보아 레일(401)을 따라서 배치되어 있어, FOUP(300)가 OHT(400)에 의해 적재될 수 있다. 또한, 마찬가지로, 로드 포트(5)에 있어서의 적재 트레이의 전달 위치도, 평면에서 보아 레일(401)을 따라서 배치되어 있다.At this time, as shown in FIG. 6, the loading tray 23 of the load port 4 is arranged along the rail 401 in plan view, so that the FOUP 300 can be loaded by the OHT 400 . Similarly, the delivery position of the loading tray in the load port 5 is also arranged along the rail 401 in plan view.

다음에, 도 8의 (b) 및 도 9의 (a)에 도시한 바와 같이, FOUP(300)가 OHT(400)에 의해 적재 트레이(23)에 적재된다(S104). 그 후, 도 8의 (c)에 도시한 바와 같이, 제어 장치(29)는 이동 기구(25)의 실린더(45)를 동작시켜, 적재 트레이(23)를 전달 위치보다도 전방의 회전 위치로 이동시켜, 적재 트레이(23)를 도어(31)로부터 멀어지게 한다(S105). 도 8의 (c) 및 도 9의 (b)에 도시한 바와 같이, 적재 트레이(23)가 회전 위치에 있는 상태에서는, 적재 트레이(23)는 프레임(22)보다도 전방으로 돌출되어 있다.Next, as shown in (b) of FIG. 8 and (a) of FIG. 9, the FOUP 300 is loaded onto the loading tray 23 by the OHT 400 (S104). After that, as shown in (c) of FIG. 8 , the control device 29 operates the cylinder 45 of the moving mechanism 25 to move the loading tray 23 to a forward rotational position from the transfer position. to move the loading tray 23 away from the door 31 (S105). As shown in FIG. 8(c) and FIG. 9(b) , when the loading tray 23 is in the rotational position, the loading tray 23 protrudes forward from the frame 22 .

또한, 도시하지 않지만, 프레임(22)의 전방에 장해물이 있는 경우, 센서(26)가 미리 장해물을 검지하여, 제어 장치(29)에 검지 신호를 보낸다. 검지 신호를 수취한 제어 장치(29)는 예를 들어 실린더(45)에의 제어 신호를 발하지 않는 등, 적재 트레이(23)의 회전 위치로의 이동을 규제한다. 따라서, 사람 등이 근처를 통행할 때에, 적재 트레이(23)나 FOUP(300)가 프레임(22)보다도 전방으로 튀어나오는 것을 방지할 수 있어, 안전성을 확보할 수 있다.In addition, although not shown, when there is an obstacle in front of the frame 22, the sensor 26 detects the obstacle in advance and sends a detection signal to the control device 29. Upon receiving the detection signal, the control device 29 regulates the movement of the loading tray 23 to the rotational position, for example by not issuing a control signal to the cylinder 45 . Therefore, when a person or the like passes nearby, it is possible to prevent the loading tray 23 or the FOUP 300 from protruding forward from the frame 22, and safety can be ensured.

다음에, 도 8의 (d), (e) 및 도 9의 (c)에 도시한 바와 같이, 제어 장치(29)는 회전 기구(24)의 모터(41)를 구동하여, 적재 트레이를 180° 회전시킨다(S106). 여기서, 적재 트레이(23)가 전달 위치에 있는 상태에서 FOUP(300)가 회전하면, FOUP(300)는 로드 포트(4)의 도어(31) 혹은 베이스(20)에 충돌해 버리지만, 적재 트레이(23)가 전달 위치보다도 전방의 회전 위치에 있을 때에 FOUP(300)가 회전하기 때문에, FOUP(300)는, 도어(31)나 베이스(20)에 충돌하지 않고 회전한다. 즉, 로드 포트(4)에 있어서, 적재 트레이(23)의 전달 위치를, 로드 포트(5)에 있어서의 적재 트레이(23)의 전달 위치와 동일한 OHT(400)의 레일(401)을 따라서 배치한 경우라도, FOUP(300)가 회전 시에 도어(31)나 베이스(20)에 충돌하는 것을 피할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 후술하는 변형예에서 나타내는 바와 같이 도어부(21a)를 후퇴시키는 경우에 비해, 로드 포트(4)측의 공기가 개구부(30)를 통해 반송 공간(9)에 들어가기 어렵기 때문에, 반송 공간(9)의 오염의 우려가 적다.Next, as shown in (d), (e) and (c) of FIG. 8 , the controller 29 drives the motor 41 of the rotating mechanism 24 to move the stacking tray 180 degrees. Rotate ° (S106). Here, when the FOUP 300 rotates while the loading tray 23 is in the transfer position, the FOUP 300 collides with the door 31 of the load port 4 or the base 20, but the loading tray Since the FOUP 300 rotates when the FOUP 23 is at a rotational position forward of the delivery position, the FOUP 300 rotates without colliding with the door 31 or the base 20 . That is, in the load port 4, the delivery position of the loading tray 23 is arranged along the rail 401 of the OHT 400, which is the same as the delivery position of the loading tray 23 in the load port 5. Even in this case, it is possible to avoid colliding with the door 31 or the base 20 when the FOUP 300 rotates. In addition, in this embodiment, as will be described later in the modified example, compared to the case where the door portion 21a is retracted, the air on the load port 4 side is less likely to enter the transport space 9 through the opening 30. Therefore, there is little concern about contamination of the transport space 9.

또한, 회전 기구(24)는 이동 기구(25)의 가동부(47)에 의해 지지되고, 적재 트레이(23)는 회전 기구(24)에 의해 지지되기 때문에, 회전 기구(24)에 의해 회전하는 것은 적재 트레이(23) 및 FOUP(300)만이다. 즉, 가동부(47)의 상면에 설치된 전술한 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)은 회전하지 않는다. 따라서, 적재 트레이(23)는 배관(53, 54)에 의해 회전 기구(24)의 움직임을 방해받지 않고 회전할 수 있다.In addition, since the rotating mechanism 24 is supported by the movable part 47 of the moving mechanism 25 and the loading tray 23 is supported by the rotating mechanism 24, it is not rotated by the rotating mechanism 24. It is only the stacking tray 23 and the FOUP 300. That is, the aforementioned injection nozzle 55 and discharge nozzle 56 installed on the upper surface of the movable part 47 do not rotate. Accordingly, the loading tray 23 can rotate without being hindered by the movement of the rotating mechanism 24 by the pipes 53 and 54 .

다음에, 제어 장치(29)는 질소 가스 퍼지 유닛(27)의 모터(57, 58)를 구동하여, 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)을 접속 위치까지 상승시켜 FOUP(300)의 저부의 노즐 삽입구(302, 303)에 접속시킨다. 그리고, 제어 장치(29)는 가스 공급 수단(51) 및 배기 수단(52)을 제어하여, 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)을 통해, FOUP(300)에의 질소 가스의 주입 및 에어의 배출을 개시한다(S107). 또한, 도 9의 (a), (b)에 도시한 바와 같이, 적재 트레이(23)가 반대 방향으로 배치되어 있는 상태에서는, 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)의 전후 방향의 위치와 노즐 통과 구멍(39, 40)의 전후 방향의 위치가 일치하지 않기 때문에, 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)을 FOUP(300)에 접속시킬 수는 없다. 도 9의 (c)에 도시한 바와 같이, 적재 트레이(23)가 정규의 방향으로 배치됨으로써, 비로소 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)의 FOUP(300)에의 접속이 가능해진다.Next, the control device 29 drives the motors 57 and 58 of the nitrogen gas purging unit 27 to raise the injection nozzle 55 and the discharge nozzle 56 to the connecting position to remove the bottom of the FOUP 300. It is connected to the nozzle insertion ports 302 and 303 of Then, the control device 29 controls the gas supply means 51 and the exhaust means 52 to inject nitrogen gas into the FOUP 300 and air through the injection nozzle 55 and the discharge nozzle 56. Discharge is started (S107). Further, as shown in (a) and (b) of FIG. 9 , in a state where the stacking trays 23 are arranged in opposite directions, the positions of the injection nozzles 55 and the discharge nozzles 56 in the front-back direction and Since the front-back positions of the nozzle passage holes 39 and 40 do not match, the injection nozzle 55 and the discharge nozzle 56 cannot be connected to the FOUP 300. As shown in (c) of FIG. 9 , connection of the injection nozzle 55 and the discharge nozzle 56 to the FOUP 300 becomes possible only when the loading tray 23 is disposed in the normal direction.

다음에, 도 8의 (f)에 도시한 바와 같이, 제어 장치(29)는 실린더(45)를 동작시켜, 적재 트레이(23)를 후방의 도어 개폐 위치로 이동시킨다(S108). 그리고, 제어 장치(29)는 가스 공급 수단(51) 및 배기 수단(52)의 동작을 멈추고, 모터(57, 58)를 구동하여 주입 노즐(55) 및 배출 노즐(56)을 이격 위치까지 하강시킨다(S109). 또한, 가스의 주입 및 배출은, 적재 트레이(23)가 도어 개폐 위치로 이동하는 것보다도 전에 개시되기 때문에, 적재 트레이(23)의 이동 완료 후에 질소 가스의 주입 등을 시작하는 것보다도 빨리 질소 가스의 주입 등을 완료시킬 수 있어, 후술하는 도어 개폐 동작까지의 시간을 단축할 수 있다.Next, as shown in Fig. 8(f), the control device 29 operates the cylinder 45 to move the loading tray 23 to the rear door opening and closing position (S108). Then, the control device 29 stops the operation of the gas supply means 51 and the exhaust means 52 and drives the motors 57 and 58 to lower the injection nozzle 55 and the discharge nozzle 56 to the separated positions. It is done (S109). In addition, since the injection and discharge of gas is started before the loading tray 23 moves to the door opening and closing position, it is earlier than the injection of nitrogen gas or the like starting after the movement of the loading tray 23 is completed. injection can be completed, and the time until the door opening/closing operation described later can be shortened.

다음에, 로드 포트(4)는 도어 개폐 동작을 행한다(S110). 즉, 제어 장치(29)는 도어(31)의 래치 키(34)에 의해 FOUP(300)의 덮개(301)를 개정하고, 도어(31)의 흡착부(33)에 덮개(301)를 흡착시켜 보유 지지한다. 그리고, 제어 장치(29)는 도어 이동부(35)를 동작시켜, 도어(31) 및 덮개(301)를 후방으로 이동시켜, 도어(31) 및 덮개(301)를 하강시킨다. 그 후, EFEM(3)의 제어 장치(11)가 반송 로봇(7)을 동작시켜, FOUP(300) 내로부터 기판을 꺼내어 기판 처리 장치(2)에 건네주고, 처리가 완료된 기판을 기판 처리 장치(2)로부터 수취하여 FOUP(300) 내로 되돌린다. 필요한 모든 기판 처리가 종료된 후, 제어 장치(29)는 도어 이동부(35)를 동작시켜 도어(31) 및 덮개(301)를 상승, 전진시켜, 덮개(301)를 FOUP(300)로 되돌리고, 래치 키(34)에 의해 덮개(301)를 시정하고, 흡착부(33)에의 덮개(301)의 흡착을 해제한다.Next, the load port 4 performs a door opening and closing operation (S110). That is, the control device 29 unlocks the cover 301 of the FOUP 300 by the latch key 34 of the door 31, and adsorbs the cover 301 to the suction part 33 of the door 31. hold and support Then, the control device 29 operates the door moving unit 35 to move the door 31 and the lid 301 backward to lower the door 31 and the lid 301 . Thereafter, the control unit 11 of the EFEM 3 operates the transfer robot 7 to take out the substrate from the inside of the FOUP 300 and pass it to the substrate processing apparatus 2, and the processed substrate is transferred to the substrate processing apparatus. It is received from (2) and returned to the FOUP 300. After all required substrate processing is completed, the control device 29 operates the door moving unit 35 to raise and advance the door 31 and the lid 301, and return the lid 301 to the FOUP 300. , the lid 301 is locked by the latch key 34, and adsorption of the lid 301 to the adsorbing portion 33 is released.

그 후, 제어 장치(29)는 호스트(200)에 기판 처리가 종료되었다는 취지의 정보를 보낸다. 또한, 제어 장치(29)는 호스트(200)로부터의 지령에 따라서, FOUP(300)의 이동 및 회전의 제어를 행한다. 즉, FOUP(300)가 정규의 방향인 채로 OHT(400)에 의해 수송되어 가는 경우, 제어 장치(29)는 이동 기구(25)를 제어하여 적재 트레이(23)를 그대로의 방향에서 전달 위치로 이동시킨다. 또한, FOUP(300)가 반대 방향에서 OHT(400)에 의해 수송되어 가는 경우, 제어 장치(29)는 이동 기구(25)에 의해 적재 트레이(23)를 일단 회전 위치로 이동시킨다. 그리고, 제어 장치(29)는 회전 기구(24)에 의해 적재 트레이(23)를 반전시킨 후, 이동 기구(25)를 제어하여, 적재 트레이(23)를 전달 위치로 이동시킨다. 마지막으로, 호스트(200)로부터 지시를 받은 OHT(400)에 의해, FOUP(300)가 수송되어 간다(S111).After that, the control device 29 sends information indicating that the substrate processing has ended to the host 200 . In addition, the control device 29 controls the movement and rotation of the FOUP 300 according to commands from the host 200 . That is, when the FOUP 300 is being transported by the OHT 400 in the normal direction, the control device 29 controls the moving mechanism 25 to move the loading tray 23 from the original direction to the delivery position. move Further, when the FOUP 300 is being transported by the OHT 400 in the opposite direction, the control device 29 temporarily moves the loading tray 23 by the moving mechanism 25 to the rotational position. Then, after the control device 29 reverses the loading tray 23 by the rotation mechanism 24, it controls the moving mechanism 25 to move the loading tray 23 to the transfer position. Finally, the FOUP 300 is transported by the OHT 400 receiving the instruction from the host 200 (S111).

스텝 S102로 되돌아가서, FOUP(300)가 정규의 방향에서 적재되는 경우에 대하여 설명한다. 제어 장치(29)는 적재 트레이(23)가 반대 방향으로 배치되어 있는 경우, 회전 기구(24)에 의해 적재 트레이(23)를 정규의 방향(도 2 참조)으로 회전시킨다. 또한, 제어 장치(29)는 적재 트레이(23)가 전달 위치 이외에 배치되어 있는 경우, 이동 기구(25)에 의해 적재 트레이(23)를 전달 위치로 이동시킨다. 즉, 제어 장치(29)는 적재 트레이(23)가 정규의 방향 또한 전달 위치에 있는 상태에서 대기한다(S121). FOUP(300)는, OHT(400)에 의해, 정규의 방향에서 적재 트레이(23)에 적재된다(S122). 이 경우, 제어 장치(29)는 적재 트레이(23)의 회전 위치로의 이동 및 적재 트레이(23)의 회전을 행하지 않고, 스텝 S107의 가스 주입 및 에어의 배출을 개시한다. 이후, 제어 장치(29)는 FOUP(300)가 반대 방향으로 적재된 경우와 마찬가지의 동작을 행한다.Returning to step S102, the case where the FOUP 300 is loaded in the normal direction will be described. The control device 29 rotates the loading tray 23 in the normal direction (see Fig. 2) by means of the rotating mechanism 24 when the loading tray 23 is disposed in the opposite direction. Further, the control device 29 moves the loading tray 23 to the delivery position by means of the moving mechanism 25 when the loading tray 23 is disposed outside the delivery position. That is, the control device 29 stands by with the loading tray 23 in the normal direction and in the delivery position (S121). The FOUP 300 is loaded onto the loading tray 23 in the normal direction by the OHT 400 (S122). In this case, the control device 29 does not move the loading tray 23 to the rotational position and rotate the loading tray 23, but starts gas injection and air discharge in step S107. Thereafter, the control device 29 performs the same operation as when the FOUP 300 is loaded in the opposite direction.

이상과 같이, 로드 포트(4)는 적재 트레이(23)가 평면에서 보아 레일(401)을 따라서 전달 위치를 취하는 경우라도, FOUP(300)의 회전 시에 FOUP(300)가 도어(31)나 베이스(20)에 충돌하는 것을 피할 수 있다. 그 때문에, EFEM(3)에 있어서, 로드 포트(4)의 적재 트레이(23)의 전달 위치와, 회전 기구(24)를 갖지 않는 로드 포트(5)의 적재 트레이(23)의 전달 위치가, 동일한 레일(401)을 따라서 배치된다. 따라서, 각각의 로드 포트(4, 5)에 대하여 동일한 OHT(400)를 사용하여 FOUP(300)의 전달을 행할 수 있다.As described above, even when the load port 4 takes the delivery position along the rail 401 when the loading tray 23 is viewed from a plan view, the FOUP 300 moves against the door 31 or the door 31 when the FOUP 300 rotates. It can avoid colliding with the base 20. Therefore, in the EFEM 3, the delivery position of the load tray 23 of the load port 4 and the delivery position of the load tray 23 of the load port 5 without the rotation mechanism 24 are They are arranged along the same rails 401. Therefore, the FOUP 300 can be delivered using the same OHT 400 for each of the load ports 4 and 5.

또한, 로드 포트(4)의 적재 트레이(23)가 회전 위치에 있는 상태에서는, 적재 트레이(23)는 프레임(22)보다도 전방으로 돌출되어 있다. 즉, 프레임(22)은 전후 방향에 있어서 회전 위치까지 돌출되어 있을 필요는 없어, 프레임(22)의 전후 방향의 크기가 콤팩트해진다. 따라서, 로드 포트(4)의 설치 면적을, 로드 포트(5)와 동일 정도로 작게 할 수 있다.Further, when the loading tray 23 of the load port 4 is in the rotational position, the loading tray 23 protrudes forward from the frame 22 . That is, the frame 22 does not need to protrude to the rotational position in the front-back direction, and the size of the frame 22 in the front-back direction becomes compact. Therefore, the installation area of the load port 4 can be made as small as that of the load port 5.

다음에, 상기 실시 형태에 변경을 가한 변형예에 대하여 설명한다. 단, 상기 실시 형태와 마찬가지의 구성을 갖는 것에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 적절히 그 설명을 생략한다.Next, a modified example in which a change is added to the above embodiment will be described. However, the same code|symbol is attached|subjected about the thing which has the same structure as the said embodiment, and the description is abbreviate|omitted suitably.

(1) 도 10∼도 12에 도시한 바와 같이, 로드 포트(4a)는 도어부(21a)를 적재 트레이(23)로부터 멀어지게 하는 이동 기구(60)를 구비하고 있어도 된다. 이하, 구체적으로 설명한다.(1) As shown in FIGS. 10 to 12 , the load port 4a may include a moving mechanism 60 that moves the door portion 21a away from the loading tray 23 . Hereinafter, it demonstrates concretely.

도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 도어부(21a)는 회동판(61, 62)을 더 갖는다. 베이스(20a)의 개구부(30a)는 도어부(21a)의 도어(31a)보다도 상하 방향으로 넓고, 개구부(30a)의 상측 부분이 회동판(61)에 의해, 하측 부분이 회동판(62)에 의해, 각각 폐색된다. 회동판(61, 62)은, 좌우 방향을 축으로 하여 각각 회동 가능하게 지지된다. 회동판(61)은 상측 부분이, 회동판(62)은 하측 부분이, 각각 베이스(20a)에 지지된다.As shown in Figs. 10 and 11, the door part 21a further has pivoting plates 61 and 62. The opening 30a of the base 20a is wider in the vertical direction than the door 31a of the door portion 21a, and the upper portion of the opening 30a is formed by the rotating plate 61 and the lower portion is formed by the rotating plate 62. By , each is blocked. Rotating plates 61 and 62 are supported so as to be rotatable, respectively, with the left-right direction as an axis. The upper portion of the rotating plate 61 and the lower portion of the rotating plate 62 are supported by the base 20a, respectively.

이동 기구(60)는 도어부(21a)의 도어 아암(32a)을 전후 방향 및 상하 방향으로 이동시키는 도어 이동부(35a)와, 회동판(61)에 접속되는 모터(63)와, 회동판(62)에 접속되는 모터(64)를 갖는다. 모터(63, 64)는, 회동판(61, 62)을, 개구부(30a)를 폐색하는 폐지 위치(도 10의 (a))와, 개구부(30a)를 개방하는 개방 위치(도 10의 (b)) 사이에서, 각각 회동시킨다. 도 10의 (b)에 도시한 바와 같이, 회동판(61, 62)은 후방으로 회동함으로써 개방 위치로 이동한다.The moving mechanism 60 includes a door moving part 35a for moving the door arm 32a of the door part 21a in the front-back and up-down directions, a motor 63 connected to the rotating plate 61, and a rotating plate. It has a motor (64) connected to (62). The motors 63 and 64 move the pivoting plates 61 and 62 to a closed position in which the opening 30a is closed (Fig. 10(a)) and an open position in which the opening 30a is opened (Fig. 10((a))). b)), rotate each. As shown in Fig. 10(b), the pivoting plates 61 and 62 move to the open position by pivoting backward.

도 12는 FOUP(300)가 반대 방향으로 적재된 경우의 로드 포트(4a)의 동작을 도시하는 평면도이다. 먼저, 제어 장치(29)가 적재 트레이(23)를 반대 방향, 또한, 전달 위치에서 대기시키고(도 12의 (a)), FOUP(300)가 반대 방향에서 적재 트레이(23)에 적재되는(도 12의 (b)) 부분까지는, 상기 실시 형태와 마찬가지이다.Fig. 12 is a plan view showing the operation of the load port 4a when the FOUP 300 is loaded in the opposite direction. First, the control device 29 waits for the loading tray 23 in the opposite direction and at the transfer position (Fig. 12(a)), and the FOUP 300 is loaded on the loading tray 23 in the opposite direction ( Up to part (b) of FIG. 12 is the same as in the above embodiment.

다음에, 제어 장치(29)는, 도 12의 (c)에 도시한 바와 같이, 이동 기구(60)를 제어하여 도어(31a)를 후퇴시키고, 또한, 회동판(61, 62)을 후방으로 회동시킨다. 즉, 이 변형예에서는, 회동판(61, 62)을 후방으로 회동시킴으로써, 도어부(21a)를 적재 트레이(23)로부터 상대적으로 멀어지게 하고 있다. 다음에, 제어 장치(29)는, 도 12의 (d), (e)에 도시한 바와 같이, 회전 기구(24)를 제어하여, 적재 트레이(23)를 회전시킨다. 이 변형예에서는, 적재 트레이(23)가 전달 위치로부터 이동하지 않고 회전하지만, 도 12의 (d)에 도시한 바와 같이, FOUP(300)의 회전 시에 FOUP(300)가 도어(31a)나 베이스(20a)에 충돌하는 것을 피할 수 있다. 또한, 제어 장치(29)는 이동 기구(25a)를 제어하여 적재 트레이(23)를 회전 위치로 이동시키고, 또한, 이동 기구(60)을 제어하여 도어(31a)의 후퇴 등을 시켜도 된다.Next, as shown in Fig. 12(c), the control device 29 controls the moving mechanism 60 to cause the door 31a to be moved backward, and also to move the pivoting plates 61 and 62 backward. rotate That is, in this modified example, the door portion 21a is relatively moved away from the loading tray 23 by rotating the pivoting plates 61 and 62 backward. Next, as shown in (d) and (e) of FIG. 12 , the control device 29 controls the rotation mechanism 24 to rotate the loading tray 23 . In this modified example, the loading tray 23 rotates without moving from the delivery position, but as shown in FIG. It is possible to avoid colliding with the base 20a. In addition, the control device 29 may control the movement mechanism 25a to move the stacking tray 23 to the rotational position, and further control the movement mechanism 60 to cause the door 31a to be retracted.

적재 트레이(23)의 회전이 완료된 후, 제어 장치(29)는, 도 12의 (f)에 도시한 바와 같이, 이동 기구(60)를 제어하여, 도어(31a)를 전진시켜, 회동판(61, 62)을 폐지 위치로 이동시킨다. 또한, 제어 장치(29)는 이동 기구(25a)를 제어하여, 적재 트레이(23)를 도어 개폐 위치로 이동시킨다. 이후의 로드 포트(4a)의 동작은 전술한 실시 형태와 마찬가지이다.After the rotation of the loading tray 23 is completed, the control device 29 controls the moving mechanism 60 to advance the door 31a as shown in FIG. 61, 62) are moved to the closing position. In addition, the control device 29 controls the moving mechanism 25a to move the stacking tray 23 to the door opening and closing position. The operation of the load port 4a thereafter is the same as that of the above-described embodiment.

(2) 회전 기구(24)가 적재 트레이(23)를 회전시키는 각도는 180°로 한정되지 않고, 예를 들어 90° 회전시키는 구성이어도 된다. 도 13에 도시한 EFEM(3b)에서는, 2대의 로드 포트(5)가 반송실(6b)의 전방의 벽면을 따라서 설치되어 있는 것에 반해, 로드 포트(4)는 반송실(6b)의 좌측의 벽면을 따라서 설치되어 있다. 이와 같은 경우, 로드 포트(4)가 적재 트레이(23)를 정규의 방향으로부터 90° 회전시킨 상태에서 대기함으로써, OHT(400)와의 사이에서 FOUP(300)의 전달이 가능해진다. 그리고, FOUP(300)가 OHT(400)에 의해 적재 트레이(23)에 적재된 후, 제어 장치(29)는 이동 기구(25)에 의해 적재 트레이(23)를 회전 위치로 이동시키고, 회전 기구(24)에 의해 적재 트레이(23)를 90° 회전시킨다. (2) The angle at which the rotation mechanism 24 rotates the loading tray 23 is not limited to 180°, and may be configured to rotate 90°, for example. In the EFEM 3b shown in FIG. 13, two load ports 5 are installed along the front wall of the transfer chamber 6b, whereas the load ports 4 are on the left side of the transfer chamber 6b. It is installed along the wall. In this case, the FOUP 300 can be transferred between the OHT 400 and the OHT 400 by waiting in the state where the load port 4 rotates the loading tray 23 by 90° from the normal direction. Then, after the FOUP 300 is loaded on the loading tray 23 by the OHT 400, the control device 29 moves the loading tray 23 to the rotational position by the moving mechanism 25, and the rotating mechanism The loading tray 23 is rotated by 90° by (24).

(3) 로드 포트(4)의 다른 구성도 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 로드 포트(4)가 질소 가스 퍼지 유닛(27)을 구비하고 있지 않고, 가스의 주입 및 배출의 동작 스텝이 없어도 된다. 또한, 프레임(22)의 전후 방향의 크기를, 적재 트레이(23)가 회전 위치에 있을 때라도 프레임(22)으로부터 전방으로 돌출되지 않을 정도로 크게 해도 된다. 또한, FOUP(300)가 적재되는 적재부는, 적재 트레이(23)에 한정되지 않는다. 예를 들어, 전술한 특허문헌 2(일본 특허 제4168724호 공보)에 기재된 바와 같은 평면에서 보아 삼각 형상의 것이어도 되고, FOUP(300)가 적재되는 것이면 된다.(3) Other configurations of the load port 4 can also be appropriately changed. For example, the load port 4 does not include the nitrogen gas purging unit 27, and operation steps of gas injection and discharge may not be required. Further, the size of the frame 22 in the front-back direction may be increased to such an extent that it does not project forward from the frame 22 even when the loading tray 23 is in the rotational position. Also, the loading unit on which the FOUP 300 is loaded is not limited to the loading tray 23 . For example, it may be triangular in planar view as described in Patent Document 2 (Japanese Patent No. 4168724) described above, or it may be one on which the FOUP 300 is stacked.

회전 기구(24)의 구성은 본 실시 형태의 것에 한정되지 않고, 적재 트레이(23)를 연직축 주위로 회전시킬 수 있으면 된다. 또한, 이동 기구(25)의 구성도 본 실시 형태의 것에 한정되지 않고, 적재 트레이(23)를 3개의 위치의 사이에서 전후 방향으로 이동시킬 수 있으면 된다. 센서(26)는 예를 들어 초음파 검지기 등이어도 된다.The configuration of the rotation mechanism 24 is not limited to that of the present embodiment, as long as it can rotate the loading tray 23 around the vertical axis. Further, the configuration of the moving mechanism 25 is not limited to that of the present embodiment, as long as it can move the stacking tray 23 in the front-rear direction between three positions. The sensor 26 may be, for example, an ultrasonic detector or the like.

(4) 이동 기구(25)가 적재 트레이(23)를 회전 위치로 이동시키는 것보다도 전에, 회전 기구(24)가 적재 트레이(23)를 회전시키기 시작해도 된다. 즉, FOUP(300)가 도어(31)나 베이스(20)에 충돌하지 않는 타이밍에서, 회전 기구(24)가 적재 트레이(23)를 한창 회전시키고 있는 중에, 이동 기구(25)가 적재 트레이(23)를 전방으로 이동시켜도 된다.(4) The rotating mechanism 24 may start to rotate the loading tray 23 before the moving mechanism 25 moves the loading tray 23 to the rotational position. That is, while the rotating mechanism 24 is rotating the loading tray 23 at the full timing at which the FOUP 300 does not collide with the door 31 or the base 20, the moving mechanism 25 moves the loading tray ( 23) may be moved forward.

(5) 로드 포트(4)의 제어 장치(29)는 반드시 로드 포트(4) 내에 조립되어 있지는 않아도 되고, 기판 처리 장치(2)의 제어 장치(10) 혹은 EFEM(3)의 제어 장치(11)가 로드 포트(4)의 제어에 겸용되어도 된다.(5) The control device 29 of the load port 4 is not necessarily assembled in the load port 4, and the control device 10 of the substrate processing apparatus 2 or the control device 11 of the EFEM 3 ) may also be used for control of the load port 4.

(6) 그 밖의 구성도 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, EFEM(3)에 있어서, 로드 포트(4, 5)의 대수는 3대에 한정되지 않는다. 또한, 로드 포트(5)를 모두 로드 포트(4)로 치환해도 된다. FOUP(300)에 주입되는 가스는, 질소 이외의 불활성 가스여도 된다. 기판이 수용되는 용기는, FOUP(300)에 한정되지 않고, 예를 들어 공장 간에서 기판을 수송하기 위한 FOSB(Front Opening Shipping Box) 등이어도 된다. 로드 포트(4, 5)와, 반송실(6)을 구비하는 반송 시스템은, EFEM(3)에 한정되지 않고, 예를 들어 복수의 용기 간에서 기판의 출납을 행하는 소터 등이어도 된다. 기판을 반송하는 반송 수단은, 반송 로봇(7)에 한정되지 않는다. 용기를 수송하는 수송 수단은, OHT(400)에 한정되지 않고, 미리 설치된 궤도를 따라서 용기를 수송하는 것이면 된다. 상기 궤도와, 반송실(6)의 전방의 격벽(8)의 전후 방향의 거리 L은 243㎜ 전후로 한정되지 않는다.(6) Other configurations can also be appropriately changed. For example, in the EFEM 3, the number of load ports 4 and 5 is not limited to three. In addition, all of the load ports 5 may be replaced with the load ports 4. The gas injected into the FOUP 300 may be an inert gas other than nitrogen. The container in which the substrate is accommodated is not limited to the FOUP 300 and may be, for example, a Front Opening Shipping Box (FOSB) for transporting the substrate between factories. The transport system provided with the load ports 4 and 5 and the transport chamber 6 is not limited to the EFEM 3, and may be, for example, a sorter for loading and unloading substrates between a plurality of containers. The conveying means for conveying the substrate is not limited to the conveying robot 7 . The transport means for transporting the container is not limited to the OHT 400, and any container may be transported along a pre-installed track. The distance L between the track and the partition wall 8 in front of the transport chamber 6 in the front-back direction is not limited to around 243 mm.

3, 3b : EFEM
4, 4a, 5 : 로드 포트
6, 6b : 반송실
7 : 반송 로봇
10, 11, 29 : 제어 장치
20, 20a : 베이스
21, 21a : 도어부
22 : 프레임
23 : 적재 트레이
24 : 회전 기구
25 : 이동 기구
26 : 센서
29 : 제어 장치
30, 30a : 개구부
31, 31a : 도어
39, 40 : 노즐 통과 구멍
47 : 가동부
55 : 주입 노즐
56 : 배출 노즐
60 : 이동 기구
300 : FOUP
400 : OHT
401 : 레일3, 3b: EFEM
4, 4a, 5: load port
6, 6b: return room
7: Transfer robot
10, 11, 29: control device
20, 20a: base
21, 21a: door part
22: frame
23: loading tray
24: rotation mechanism
25: moving mechanism
26: sensor
29: control device
30, 30a: opening
31, 31a: door
39, 40: Nozzle passage hole
47: moving part
55: injection nozzle
56: discharge nozzle
60: moving mechanism
300: FOUP
400: OHT
401: rail

Claims (6)

기판을 수용하는 용기가 적재되는 적재부를 구비하고 있고, 상기 적재부가, 미리 설치된 궤도를 따라서 주행하고 상기 용기를 수송하는 수송 수단과의 사이에서 상기 용기를 전달 가능한 전달 위치에 있을 때에, 상기 용기를 상기 수송 수단과의 사이에서 전달하는 로드 포트이며,
기립 설치 배치되며, 개구부를 갖는 베이스와,
상기 베이스에 설치되며, 상기 개구부를 개폐하는 도어부와,
상기 베이스와 직교하는 전후 방향에 있어서, 상기 베이스로부터 전방으로 돌출 설치되며, 상기 적재부를 지지하는 프레임과,
상기 적재부를 연직축 주위로 회전시키는 회전 기구와,
상기 도어부를 후방으로 후퇴시키는 도어부 전후 이동 기구를 구비하고,
상기 도어부 전후 이동 기구는, 상기 용기가 상기 수송 수단에 의해 상기 적재부에 적재된 후에,
상기 회전 기구가 상기 적재부를 회전시키기 전에 또는 한창 회전시키고 있는 중에 상기 도어부를 후퇴시키는 것을 특징으로 하는 로드 포트.When a container accommodating a substrate has a loading portion on which it is loaded, and the loading portion travels along a pre-installed track and is in a delivery position capable of delivering the container between transport means for transporting the container, the container It is a load port that transmits between the transport means,
A base arranged for upright installation and having an opening;
a door part installed on the base and opening and closing the opening;
In the front and rear direction orthogonal to the base, a frame protruding forward from the base and supporting the loading part;
A rotation mechanism for rotating the loading unit around a vertical axis;
A door portion forward and backward movement mechanism for retracting the door portion backward;
The door unit back and forth moving mechanism, after the container is loaded on the loading unit by the transport means,
The load port characterized in that the door part is retracted before the rotating mechanism rotates the loading part or while the loading part is rotating. 제1항에 있어서,
상기 적재부를 전후 방향으로 이동 가능한 적재부 이동 기구를 더 구비하고,
상기 적재부 이동 기구에 의해 상기 적재부를 회전 위치로 이동시키고, 또한 상기 도어부 전후 이동 기구가 상기 도어부를 후퇴시키며, 상기 회전 기구에 의해 상기 적재부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 로드 포트.According to claim 1,
Further comprising a loading unit moving mechanism capable of moving the loading unit in the forward and backward directions,
The load port characterized by moving the loading part to a rotational position by the loading part moving mechanism, retracting the door part by the door part back-and-forth movement mechanism, and rotating the loading part by the rotating mechanism. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 도어부는,
상기 개구부의 상측 부분을 폐색하는 상측 회동판과, 상기 개구부의 하측 부분을 폐색하는 하측 회동판과, 상기 상측 회동판과 상기 하측 회동판 사이에 위치하고, 상기 개구부를 후방으로부터 폐색하는 도어를 구비하고,
상기 도어는 후방으로 후퇴 가능하고,
상기 도어부 전후 이동 기구는, 상기 용기가 상기 수송 수단에 의해 상기 적재부에 적재된 후에, 상기 회전 기구가 상기 적재부를 회전시키기 전에 또는 한창 회전시키고 있는 중에, 상기 도어를 후방으로 후퇴시키고, 또한 상기 상측 회동판, 상기 하측 회동판을 후방으로 회동시키는 것을 특징으로 하는 로드 포트.According to claim 1 or 2,
the door part,
An upper pivoting plate that closes the upper part of the opening, a lower pivoting plate that closes the lower part of the opening, and a door located between the upper and lower pivoting plates and closing the opening from the rear; ,
The door is retractable to the rear,
The door part back-and-forth moving mechanism moves the door backward after the container is loaded on the loading part by the transport means, before or while the rotation mechanism rotates the loading part, and A load port characterized in that the upper rotation plate and the lower rotation plate are rotated backward. 제2항에 있어서,
상기 적재부 이동 기구는, 상기 회전 기구를 하방으로부터 지지하고, 또한 상기 전후 방향으로 이동 가능한 가동부를 갖고 있고,
상기 적재부는, 상기 회전 기구에 의해 하방으로부터 지지되고 있고,
상기 적재부에 적재된 상기 용기의 하면에 형성된 노즐 삽입구에 접속하는 접속 위치와, 상기 노즐 삽입구로부터 하방으로 이격되는 이격 위치와의 사이에서 승강 가능한, 가스의 주입 또는 배출용의 노즐이, 상기 가동부에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 로드 포트.According to claim 2,
The loading part moving mechanism has a movable part that supports the rotation mechanism from below and is movable in the forward and backward direction,
The loading part is supported from below by the rotation mechanism,
A nozzle for injecting or discharging gas, which can move up and down between a connection position connected to a nozzle insertion port formed on the lower surface of the container loaded on the loading unit and a spaced position spaced downward from the nozzle insertion port, is provided on the movable unit. A load port characterized in that supported by. 제4항에 있어서,
상기 적재부 이동 기구가, 상기 용기의 측면에 설치된 덮개가 상기 도어부와 함께 개폐되는 도어 개폐 위치로 상기 적재부를 이동시키기 전에 또는 한창 이동시키는 중에, 상기 노즐이 상기 접속 위치로 이동하고, 상기 노즐을 개재하여 상기 용기로의 가스의 주입 또는 배출이 개시되는 것을 특징으로 하는 로드 포트.According to claim 4,
The nozzle is moved to the connection position before or during the movement of the loading part moving mechanism to a door opening and closing position in which the cover provided on the side of the container is opened and closed together with the door part, and the nozzle is moved to the connecting position. The load port characterized in that the injection or discharge of the gas into the container is started via the. 제1항 또는 제2항에 기재된 로드 포트인 제1 로드 포트와,
상기 적재부를 구비하고 있고, 또한 상기 회전 기구를 구비하고 있지 않은 제2 로드 포트와,
상기 기판을 상기 용기에 출납하는 반송 수단을 갖는 반송실을 구비하고,
상기 제1 로드 포트의 상기 적재부의 상기 전달 위치와, 상기 제2 로드 포트의 상기 적재부의 상기 전달 위치가 상기 수송 수단의 상기 궤도를 따라서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템. A first load port that is the load port according to claim 1 or 2;
a second load port provided with the loading portion and not provided with the rotation mechanism;
a conveyance room having conveyance means for loading and unloading the substrate into and from the container;
The transfer position of the loading part of the first load port and the transfer position of the loading part of the second load port are arranged along the track of the transport means.
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