KR102480169B1 - apparatus for transferring magazine of semiconductor - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 RFID가 탑재된 매거진 이송장치에 관한 것으로, 반도체 제조라인 내에서 매거진의 RFID를 확실하게 인식하고, 매거진을 안정적이고 신속하게 이송시킬 수 있는 RFID가 탑재된 매거진 이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a magazine transfer device equipped with an RFID, and more particularly, to a magazine transfer device equipped with an RFID capable of reliably recognizing the RFID of a magazine in a semiconductor manufacturing line and transferring the magazine stably and quickly.
매거진은 반도체 칩이 탑재된 트레이가 복수개 적층된 장치로, 반도체 제조라인 내에서 컨베이어 등을 통해 이송된다. 매거진에는 RFID가 탑재되어 공정관리 시스템에서 인식되는데, RFID가 인식된 매거진은 반도체 제조공정 중 필요한 공정으로 이송된다.The magazine is a device in which a plurality of trays on which semiconductor chips are mounted are stacked, and is transported through a conveyor or the like in a semiconductor manufacturing line. The magazine is loaded with RFID and recognized in the process management system, and the magazine with the RFID recognition is transferred to a necessary process during the semiconductor manufacturing process.
컨베이어에서 매거진을 이송 시, 매거진의 RFID를 인식하지 못하면 해당 매거진은 필요한 제조라인으로 이송되지 못하고 제조라인이 정지되기도 하므로, 반매거진의 RFID를 확실하게 인식하여야 한다. When conveying the magazine on the conveyor, if the RFID of the magazine is not recognized, the corresponding magazine cannot be transported to the required manufacturing line and the manufacturing line is stopped. Therefore, the RFID of the half-magazine must be reliably recognized.
또한, 컨베이어에 진동이 발생되면 반도체 매거진에 진동이 전달되어 반도체 칩이 트레이로부터 이탈되어 탈락되어 분실될 수도 있으므로, 컨베이어의 진동을 억제하여야 한다.In addition, when vibration is generated in the conveyor, the vibration is transmitted to the semiconductor magazine and semiconductor chips may be separated from the tray and lost. Therefore, the vibration of the conveyor should be suppressed.
또한, 컨베이어의 회전축이 정렬되지 못하는 경우 컨베이어를 감싸는 컨베이어 벨트에 진동이 크게 발생되므로, 컨베이어의 회전축을 안정적으로 정렬시켜야 할 필요성이 있다. In addition, since a large vibration occurs in the conveyor belt surrounding the conveyor when the rotation axis of the conveyor is not aligned, there is a need to stably align the rotation axis of the conveyor.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 반도체 제조라인 내에서 반도체 제조라인 내에서 매거진의 RFID를 확실하게 인식하고, 매거진을 안정적이고 신속하게 이송시킬 수 있는 RFID가 탑재된 매거진 이송장치를 제공하는데 있다.An object to be solved by the present invention is to provide a magazine transfer device equipped with an RFID capable of reliably recognizing the RFID of a magazine in a semiconductor manufacturing line and transferring the magazine stably and quickly.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치는, 상부에 RFID가 탑재되고 트레이가 복수개 적층된 매거진을 이송방향으로 이송하는 컨베이어 모듈; 상기 컨베이어 모듈의 양측에 수직하게 구비되고, 상기 이송방향의 전방에 배출부가 형성되고 상기 이송방향의 후방에 인입부가 형성되고, 상기 매거진의 측면을 외부로부터 차폐시키는 사이드 패널; 상기 컨베이어 모듈에 구비되고 상기 배출부에 배치되고, 상기 RFID를 인식하는 리더 모듈; 상기 컨베이어 모듈에 구비되고 상기 배출부에 배치되고, 상기 리더 모듈에서 상기 RFID를 인식 후 상기 매거진을 상기 컨베이어 모듈에서 배출 시 상기 배출부를 개방시키는 게이트 모듈; 및 상기 컨베이어 모듈의 일측에 구비되고, 상기 매거진의 인입 또는 배출을 감지하는 센서 모듈; 을 포함한다.An RFID-mounted magazine transfer device according to an embodiment of the present invention for solving the above problems includes a conveyor module for transferring a magazine in which an RFID is mounted and a plurality of trays are stacked in a transfer direction; side panels provided perpendicularly to both sides of the conveyor module, having a discharge portion formed in front of the conveying direction and an inlet portion formed at the rear in the conveying direction, and shielding side surfaces of the magazine from the outside; a reader module provided in the conveyor module, disposed in the discharge unit, and recognizing the RFID; a gate module provided in the conveyor module and disposed in the discharge unit, opening the discharge unit when the magazine is discharged from the conveyor module after the reader module recognizes the RFID; and a sensor module provided on one side of the conveyor module and detecting the inflow or outflow of the magazine. includes
또한, 상기 게이트 모듈은, 상기 컨베이어 모듈에 수직하게 구비되는 게이트 패널; 상기 게이트 패널에 구비되고, 상기 게이트 패널에 회동 가능하게 구비되는 구동 핸드; 및 상기 배출부에 배치되고, 상기 게이트 패널에 힌지 결합되고, 상기 구동 핸드에 연결되어 상기 구동 핸드의 작동 시 상기 배출부를 개방 또는 폐쇄시키는 게이트; 를 포함할 수 있다.In addition, the gate module may include a gate panel provided perpendicularly to the conveyor module; a driving hand provided on the gate panel and rotatably provided on the gate panel; and a gate disposed in the discharge unit, hinged to the gate panel, and connected to the driving hand to open or close the discharge unit when the driving hand is operated. can include
또한, 상기 리더 모듈은, 상기 컨베이어 모듈의 일측에 수직하게 구비되는 리더 패널; 및 상기 리더 패널의 상부에 구비되고, 상기 RFID에 대향되어 상기 RFID를 인식하는 RFID 리더; 를 포함할 수 있다.In addition, the reader module may include a reader panel provided vertically on one side of the conveyor module; and an RFID reader disposed above the reader panel and facing the RFID to recognize the RFID. can include
또한, 상기 사이드 패널의 단부에는 절곡부가 절곡되어 형성될 수 있다.In addition, a bent portion may be formed by bending at an end of the side panel.
또한, 상기 컨베이어 모듈은, 외관을 형성하는 프레임; 상기 프레임에 구비되고 상기 인입부에 배치되어 상기 매거진이 인입되고, 중앙이 롤러 샤프트로 연결되는 투입롤러; 상기 프레임에 구비되고 상기 배출부에 배치되어 상기 매거진이 배출되고, 중앙이 분리된 배출롤러; 상기 투입롤러 및 상기 배출롤러의 외주면에 구비되어 상기 투입롤러와 상기배출롤러를 연동시키고, 중앙이 분리된 컨베이어 벨트; 상기 프레임에 구비되고 상기 투입롤러에 구동력을 전달하는 구동 유닛; 상기 프레임에 구비되고 상기 배출롤러의 회전축이 결합되어 상기 회전축을 상기 프레임에 수직하게 배치시키는 서포트 브라켓; 및 상기 서포트 브라켓에 결합되고 상기 프레임에 지지되어 상기 서포트 브라켓을 상기 프레임에 수평하게 배치시키는 서포트 볼트; 를 포함할 수 있다.In addition, the conveyor module, the frame forming the exterior; an input roller provided on the frame and disposed in the inlet portion to receive the magazine, and having a central portion connected to a roller shaft; a discharge roller provided in the frame and disposed in the discharge unit to discharge the magazine and having a separated center; a conveyor belt provided on outer circumferential surfaces of the input roller and the discharge roller to interlock the input roller and the discharge roller, and having a center separated; a driving unit provided on the frame and transmitting a driving force to the input roller; a support bracket provided on the frame and coupled to a rotating shaft of the discharge roller to vertically dispose the rotating shaft to the frame; and a support bolt coupled to the support bracket and supported by the frame to horizontally dispose the support bracket to the frame. can include
또한, 상기 서포트 브라켓은, 상기 배출롤러의 회전축의 상부에 개구되어 형성되는 상부 결합홀; 상기 배출롤러의 회전축의 하부에 개구되어 형성되는 하부 결합홀; 상기 상부 결합홀의 측면에 길게 개구되어 형성되는 상부 장공; 및 상기 하부 결합홀의 측면에 길게 개구되어 형성되는 하부 장공; 을 포함할 수 있다.In addition, the support bracket may include an upper coupling hole formed by opening an upper portion of the rotating shaft of the discharge roller; a lower coupling hole formed at a lower portion of the rotating shaft of the discharge roller; an upper long hole formed by being long open on the side of the upper coupling hole; and a lower elongated hole formed by being long opened on a side surface of the lower coupling hole. can include
또한, 상기 서포트 볼트는, 상기 상부 결합홀에 결합되는 상부 서포트 볼트; 및 상기 하부 결합홀에 결합되는 하부 서포트 볼트; 를 포함할 수 있다.In addition, the support bolt may include an upper support bolt coupled to the upper coupling hole; and a lower support bolt coupled to the lower coupling hole. can include
또한, 상기 구동 유닛은, 상기 프레임에 결합되고 내부에 수용공간이 형성되는 케이스; 상기 프레임에 결합되고 구동력을 제공하는 구동 모터; 및 상기 수용공간에 구비되고, 일단이 상기 투입롤러에 결합되고 타단이 상기 구동 모터에 결합되어, 상기 구동 모터의 구동력을 상기 투입롤러로 전달하는 풀리 유닛; 을 포함할 수 있다.In addition, the driving unit may include a case coupled to the frame and having an accommodation space formed therein; a driving motor coupled to the frame and providing a driving force; and a pulley unit provided in the accommodating space, having one end coupled to the input roller and the other end coupled to the driving motor to transfer the driving force of the driving motor to the input roller. can include
또한, 상기 센서 모듈은, 상기 컨베이어 모듈에 구비되고 상기 인입부에 대향되는 인입 센서 모듈; 및 상기 컨베이어 모듈에 구비되고 상기 배출부에 대향되는 배출 센서 모듈; 을 포함할 수 있다.In addition, the sensor module may include: an incoming sensor module provided on the conveyor module and facing the inlet portion; and a discharge sensor module provided on the conveyor module and opposed to the discharge unit. can include
또한, 상기 센서 모듈은, 상기 컨베이어 모듈의 측면에 구비되고, 상기 매거진의 이송방향으로 구비되는 센서 레일; 상기 센서 레일에 상기 매거진의 이송방향으로 슬라이딩 가능하게 구비되는 전방 센서 브라켓; 상기 센서 레일에 상기 매거진의 이송방향으로 슬라이딩 가능하게 구비되고, 상기 전방 센서 브라켓의 후방에 구비되는 후방 센서 브라켓; 상기 전방 센서 브라켓에 고정되어 상기 전방 센서 브라켓을 따라 슬라이딩되는 전방 감지센서; 및 상기 후방 센서 브라켓에 고정되어 상기 후방 센서 브라켓을 따라 슬라이딩되는 후방 감지센서; 를 포함할 수 있다. In addition, the sensor module may include a sensor rail provided on a side surface of the conveyor module and provided in a transport direction of the magazine; a front sensor bracket slidably provided on the sensor rail in the transport direction of the magazine; a rear sensor bracket slidably provided on the sensor rail in a transport direction of the magazine and provided behind the front sensor bracket; a front detection sensor fixed to the front sensor bracket and sliding along the front sensor bracket; and a rear detection sensor fixed to the rear sensor bracket and sliding along the rear sensor bracket. can include
본 발명의 일 실시예에 의한 RFID가 탑재된 매거진 이송장치에 따르면, 리더 모듈(20)이 매거진(M)의 RFID(R)를 확실하게 인식하고, 공정관리 시스템에서 해당 매거진(M)의 제조정보가 완전히 인식된 경우에만 게이트 모듈(30)이 개방되어, 컨베이어 모듈(50)에서 매거진(M)을 배출시키므로, RFID의 미인식 또는 불완전인식에 따른 제조라인이 정지되지 않으며, 매거진이 반도체 제조공정 중 필요한 목표 대상 공정 및/또는 목표 공정 장치로 정확하게 이송된다. According to the RFID-mounted magazine transfer device according to an embodiment of the present invention, the
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치의 좌측 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치의 우측사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치의 평면도이다.
도 5 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 모듈(30)의 동작도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈(50)의 측면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈(50)의 평면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 배출롤러(55)의 정면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 브라켓(56)에 작용하는 장력 및 모멘트를 도시한 도면이다.1 is a left perspective view of a magazine transfer device equipped with an RFID according to an embodiment of the present invention.
2 is a right perspective view of a magazine transfer device equipped with an RFID according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view of a magazine transfer device equipped with an RFID according to an embodiment of the present invention.
4 is a plan view of a magazine transfer device equipped with an RFID according to an embodiment of the present invention.
5 and 6 are operation diagrams of the
8 is a side view of a
9 is a plan view of a
10 is a front view of the
11 is a view showing tension and moment acting on the
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention, and methods of achieving them, will become clear with reference to the detailed description of the following embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, and only these embodiments make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to completely inform the person who has the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numbers designate like elements throughout the specification.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 도면부호는 동일한 부재를 나타낸다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. Like reference numerals in each drawing indicate like members.
이하, 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치에 대하여 설명한다. Hereinafter, an RFID-mounted magazine transfer device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 6 .
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치의 좌측 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치의 우측사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치의 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치의 평면도이고, 도 5 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 모듈(30)의 동작도이다.1 is a left perspective view of a magazine transfer device equipped with an RFID according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a right perspective view of a magazine transfer device equipped with an RFID according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is a front view of a magazine transfer device equipped with an RFID according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a plan view of a magazine transfer device equipped with an RFID according to an embodiment of the present invention, and FIGS. It is an operation diagram of the
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 RFID가 탑재된 매거진 이송장치는, 상부에 RFID(R)가 탑재되고 트레이가 복수개 적층된 매거진(M)을 이송방향으로 이송하는 컨베이어 모듈(50), 상기 컨베이어 모듈(50)의 양측에 수직하게 구비되고, 상기 이송방향의 전방에 배출부(12)가 형성되고 상기 이송방향의 후방에 인입부(11)가 형성되고, 상기 매거진(M)의 측면을 외부로부터 차폐시키는 사이드 패널(10), 상기 컨베이어 모듈(50)에 구비되고 상기 배출부(12)에 배치되고, 상기 RFID(R)를 인식하는 리더 모듈(20), 상기 컨베이어 모듈(50)에 구비되고 상기 배출부(12)에 배치되고, 상기 리더 모듈(20)에서 상기 RFID(R)를 인식 후 상기 매거진(M)을 상기 컨베이어 모듈(50)에서 배출 시 상기 배출부(12)를 개방시키는 게이트 모듈(30), 및 상기 컨베이어 모듈(50)의 일측에 구비되고, 상기 매거진(M)의 인입 또는 배출을 감지하는 센서 모듈(40)을 포함한다. Referring to FIGS. 1 to 6, the RFID-mounted magazine transfer device according to an embodiment of the present invention transfers a magazine M in which an RFID(R) is mounted and a plurality of trays are stacked in the transfer direction. The
매거진(M)은 반도체 칩이 복수개 수용된 트레이가 적층된다. 매거진(M) 내부에는 트레이가 복수개 적층될 수 있다.In the magazine M, trays accommodating a plurality of semiconductor chips are stacked. A plurality of trays may be stacked inside the magazine M.
매거진(M)에는 RFID(R)가 구비된다. 매거진(M)의 상부에 RFID(R)가 탑재된다. RFID(R)에는 트레이에 수용된 반도체 칩의 현재 공정 상태, 목표 대상 공정, 목표 공정 장치 등(이하, '제조정보')가 기록되어 있다. The magazine (M) is provided with an RFID (R). An RFID(R) is mounted on the upper part of the magazine(M). In the RFID(R), the current process state of the semiconductor chip accommodated in the tray, a target target process, a target process device, etc. (hereinafter referred to as 'manufacturing information') are recorded.
RFID(R)는 반도체 제조라인 내의 공정관리 시스템에서 인식될 수 있다. RFID(R)가 인식된 매거진(M)은 공정관리 시스템에 의해 반도체 제조공정 중 필요한 목표 대상 공정 및/또는 목표 공정 장치로 이송된다. RFID(R) can be recognized by a process management system in a semiconductor manufacturing line. The RFID(R)-recognized magazine M is transferred to a required target process and/or target process device during the semiconductor manufacturing process by the process management system.
컨베이어 모듈(50)은 매거진(M)을 이송방향으로 이송한다. 여기서, 도 1에 화살표 방향으로 도시된 것과 같이 매거진(M)이 이송되는 방향을 이송방향으로 정의한다. 컨베이어 모듈(50)은 매거진(M)을 이송받은 후 반도체 칩의 제조정보에 따라, 공정관리 시스템에 의해 필요한 목표 대상 공정 장치로 매거진(M)을 배출시킨다. The
사이드 패널(10)은 컨베이어 모듈(50)의 양측에 수직하게 구비된다. 사이드 패널(10)은 컨베이어 모듈(50)의 이송방향의 양 측면에 한쌍이 구비된다. 이때, 사이드 패널(10)은 사이드 패널(10)을 컨베이어 모듈(50)에 지지시키는 서포트 패널(14)을 더 포함할 수 있다. The
사이드 패널(10)은 이송방향의 전방에 배출부(12)가 형성된다. 여기서, 전방은 이송방향을 기준으로 앞방향으로 정의한다. 배출부(12)는 개구되어 형성된다. 컨베이어 모듈(50)은 배출부(12)로 매거진(M)을 배출시킨다. The
사이드 패널(10)은 이송방향의 후방에 인입부(11)가 형성된다. 여기서, 후방은 이송방향을 기준으로 뒷방향으로 정의한다. 인입부(11)는 개구되어 형성된다. 컨베이어 모듈(50)은 인입부(11)로 매거진(M)을 이송받는다.The
사이드 패널(10)은 매거진(M)의 측면을 외부로부터 차폐시킨다. 이 경우, 사이드 패널(10)은 매거진(M)의 측면을 외부로부터 차폐시켜, 매거진(M) 내의 반도체 칩에 외부에서 이물질이 침투하는 것을 방지한다. The
사이드 패널(10)의 단부에는 절곡부(13)가 절곡되어 형성될 수 있다. 절곡부(13)는 배출부(12) 및 인입부(11)를 형성할 수 있다. 절곡부(13)는 매거진(M)이 컨베이어 모듈(50)에 배출 및/또는 인입될 때 매거진(M)이 사이드 패널(10)에 간섭되지 않도록, 배출부(12) 및/또는 인입부(11)의 폭을 증가시킨다.A
리더 모듈(20)은 컨베이어 모듈(50)에 구비된다. 리더 모듈(20)은 배출부(12)에 배치될 수 있다. The
리더 모듈(20)은 매거진(M)의 RFID(R)를 인식한다. 리더 모듈(20)은 RFID(R)를 인식하여, 제조정보를 공정관리 시스템으로 전송한다. 공정관리 시스템은 리더 모듈(20)에서 전송된 제조정보를 인식한다. 이에 따라, 공정관리 시스템에서 RFID(R)가 인식된 매거진(M)은 반도체 제조공정 중 필요한 목표 대상 공정 및/또는 목표 공정 장치로 이송될 수 있게 된다. The
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 리더 모듈(20)은 상기 컨베이어 모듈(50)의 일측에 수직하게 구비되는 리더 패널(21), 및 상기 리더 패널(21)의 상부에 구비되고, 상기 RFID(R)에 대향되어 상기 RFID(R)를 인식하는 RFID 리더(22)를 포함한다. Here, the
리더 패널(21)은 컨베이어 모듈(50)의 일측에 수직하게 구비된다. 리더 패널(21)은 배출부(12)에 배치될 수 있다. 리더 패널(21)은 사이드 패널(10)과 함께 매거진(M)의 측면을 차폐할 수 있다. The
RFID 리더(22)는 리더 패널(21)의 상부에 구비된다. RFID 리더(22)는 리더 패널(21)에 수직하게 배치된다. RFID 리더(22)는 매거진(M)의 RFID(R)에 대향되게 배치된다. 이에 따라, RFID(R)에 대향된 RFID 리더(22)가 매거진(M)의 RFID(R)를 정확하게 인식할 수 있으므로, 공정관리 시스템에서 해당 RFID(R)의 제조정보를 정확하게 인식할 수 있게 된다. The
게이트 모듈(30)은 컨베이어 모듈(50)에 구비된다. 게이트 모듈(30)은 배출부(12)에 배치될 수 있다. 게이트 모듈(30)은 배출부(12)를 개방 및/또는 폐쇄할 수 있다. The
리더 모듈(20)에서 RFID(R)를 인식 후 공정관리 시스템에서 RFID(R)의 제조정보를 인식하면, 컨베이어 모듈(50)은 매기전을 배출부(12)로 배출시킬 수 있다. After recognizing the RFID(R) in the
이때, 게이트 모듈(30)은 매거진(M)을 컨베이어 모듈(50)에서 배출 시 배출부(12)를 개방시킨다. 즉, 게이트 모듈(30)은 공정관리 시스템에서 매거진(M)의 제조정보가 인식된 후, 매거진(M)을 컨베이어 모듈(50)에서 배출 시 배출부(12)를 개방시킨다.At this time, the
이에 따라, 공정관리 시스템에서 해당 매거진(M)의 제조정보가 완전히 인식된 경우에만 게이트 모듈(30)이 개방되어, 컨베이어 모듈(50)에서 매거진(M)을 배출시킬 수 있게 된다. Accordingly, the
센서 모듈(40)은 컨베이어 모듈(50)의 일측에 구비된다. 센서 모듈(40)은 컨베이어 모듈(50)의 측면에 구비될 수 있다. The
센서 모듈(40)은 컨베이어 모듈(50)에 복수개 구비될 수 있다. 이 경우, 센서 모듈(40)은 배출부(12) 및 인입부(11)에 각각 구비될 수 있다. 또한, 센서 모듈(40)은 컨베이어 모듈(50)에 이송방향을 기준으로 대칭되게 구비될 수 있다. A plurality of
센서 모듈(40)은 매거진(M)의 인입 또는 배출을 감지한다. 인입부(11)에 구비된 센서 모듈(40)은 매거진(M)의 인입을 감지할 수 있다. 배출부(12)에 구비된 센서 모듈(40)은 매거진(M)의 배출을 감지할 수 있다. The
센서 모듈(40)이 매거진(M)의 인입 또는 배출을 감지하면, 공정관리 시스템에서 컨베이어 모듈(50)에 매거진(M)이 인입 또는 배출되는 상태정보를 획득하게 된다. 이 경우, 공정관리 시스템이 매거진(M)의 인입 및 배출에 따라 컨베이어 모듈(50)의 동작을 제어할 수 있게 된다. When the
이하, 도 5 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 모듈(30)에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the
본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 모듈(30)은, 상기 컨베이어 모듈(50)에 수직하게 구비되는 게이트 패널(31), 상기 게이트 패널(31)에 구비되고, 상기 게이트 패널(31)에 회동 가능하게 구비되는 구동 핸드(32), 및 상기 배출부(12)에 배치되고, 상기 게이트 패널(31)에 힌지 결합되고, 상기 구동 핸드(32)에 연결되어 상기 구동 핸드(32)의 작동 시 상기 배출부(12)를 개방 또는 폐쇄시키는 게이트(33)를 포함한다.The
게이트 패널(31)은 컨베이어 모듈(50)에 수직하게 구비된다. 게이트 패널(31)은 사이드 패널(10)에 이격되게 배치될 수 있다. 게이트 패널(31)은 리더 모듈(20)에 인접되어 배치될 수 있다. The
구동 핸드(32)는 게이트 패널(31)에 구비된다. 게이트 패널(31)은 이송방향에 수평하게 배치될 수 있다. 구동 핸드(32)는 구동부(미도시)로부터 구동력을 전달받아 작동될 수 있다.The driving
구동 핸드(32)는 서보 실린더 또는 유압 실린더로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다. 이 경우, 구동 핸드(32)는 길이가 변화되어 압축 또는 연장될 수 있다. The driving
구동 핸드(32)는 게이트 패널(31)에 회동 가능하게 구비된다. 구동 핸드(32)는 게이트 패널(31)에 힌지 결합될 수 있다. 이때, 구동 핸드(32)와 게이트 패널(31) 사이에는 패널 브라켓(34)이 게재될 수 있다. 이 경우, 패널 브라켓(34)은 게이트 패널(31)에 고정되고, 구동 핸드(32)는 패널 브라켓(34)에 힌지 결합될 수 있다.The driving
게이트(33)는 배출부(12)에 배치된다. 게이트(33)는 게이트 패널(31)에 힌지 결합된다. 게이트(33)는 구동 핸드(32)에 연결될 수 있다. 이때, 구동 핸드(32)와 게이트(33) 사이에는 게이트 브라켓(35)이 게재될 수 있다. 이 경우, 구동 핸드(32)는 게이트 브라켓(35)에 고정되고, 게이트(33)는 게이트 브라켓(35)에 힌지 결합될 수 있다. A
게이트(33)는 구동 핸드(32)의 작동 시 배출부(12)를 개방 또는 폐쇄시킬 수 있다. 즉, 도 5 내지 도 6과 같이, 배출부(12)를 개방시키는 경우, 구동 핸드(32)가 압축되어 게이트(33)를 끌어당긴다. 이 경우, 게이트 패널(31)에 힌지 결합된 게이트(33)가 게이트 패널(31) 쪽으로 회전되어, 배출부(12)가 개방된다.The
반대로, 도 1 내지 도 4와 같이, 배출부(12)를 폐쇄시키는 경우, 구동 핸드(32)가 연장되어 게이트(33)를 밀어 낸다. 이 경우, 게이트 패널(31)에 힌지 결합된 게이트(33)가 게이트 패널(31)의 반대쪽으로 회전되어, 배출부(12)가 폐쇄된다.Conversely, as shown in FIGS. 1 to 4 , when the
이하, 도 7 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈(50) 및 센서 모듈(40)에 대하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, the
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈(50)의 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈(50)의 측면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈(50)의 평면도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 배출롤러(55)의 정면도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 브라켓(56)에 작용하는 힘들을 도시한 도면이다.7 is a perspective view of a
도 7 내지 도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈(50)은, 외관을 형성하는 프레임(51), 상기 프레임(51)에 구비되고 상기 인입부(11)에 배치되고 상기 매거진(M)이 인입되고, 중앙이 롤러 샤프트(53)로 연결되는 투입롤러(52), 상기 프레임(51)에 구비되고 상기 배출부(12)에 배치되고 상기 매거진(M)이 배출되고, 중앙이 분리된 배출롤러(55), 상기 투입롤러(52) 및 상기 배출롤러(55)의 외주면에 구비되어 상기 투입롤러(52)와 상기 배출롤러(55)를 연동시키고, 중앙이 분리된 컨베이어 벨트(54), 상기 프레임(51)에 구비되고 상기 투입롤러(52)에 구동력을 전달하는 구동 유닛(58), 상기 프레임(51)에 구비되고 상기 배출롤러(55)의 회전축(556)이 결합되어 상기 회전축(556)을 상기 프레임(51)에 수직하게 배치시키는 서포트 브라켓(56), 및 상기 서포트 브라켓(56)에 결합되고 상기 프레임(51)에 지지되어 상기 서포트 브라켓(56)을 상기 프레임(51)에 수평하게 배치시키는 서포트 볼트(57)를 포함한다. 7 to 11, the
프레임(51)은 외관을 형성한다. 프레임(51)에는 상술한 게이트 모듈(30), 리더 모듈(20) 및 사이드 패널(10)이 구비될 수 있다. The
투입롤러(52)는 프레임(51)에 구비된다. 투입롤러(52)는 프레임(51)에 회전된다. 투입롤러(52)는 인입부(11)에 배치되어 투입롤러(52)로 매거진(M)이 인입된다.The feeding
투입롤러(52)는 프레임(51)의 양측에 각각 이격되어 구비될 수 있다. 이 경우, 투입롤러(52)는 일측 투입롤러(521) 및 일측 투입롤러(521)에 이격되게 배치되는 타측 투입롤러(522)로 실시될 수 있다. The
투입롤러(52)는 중앙이 원주 형상의 롤러 샤프트(53)로 연결된다. 이 경우, 일측 투입롤러(521)는 타측 투입롤러(522)와 롤러 샤프트(53)로 연결되어 롤러 샤프트(53)와 함께 일체로 회전될 수 있다.The
배출롤러(55)는 프레임(51)에 구비된다. 배출롤러(55)는 프레임(51)에 회전된다. 배출롤러(55)는 배출부(12)에 배치되어 배출롤러(55)로 매거진(M)이 배출된다.The
배출롤러(55)는 프레임(51)의 양측에 각각 이격되어 구비될 수 있다. 배출롤러(55)는 중앙이 분리될 수 있다. 이 경우, 배출롤러(55)는 일측 배출롤러(551) 및 일측 배출롤러(551)에 이격되게 배치되는 타측 배출롤러(552)로 실시될 수 있다. The
컨베이어 벨트(54)는 투입롤러(52) 및 배출롤러(55)의 외주면에 구비된다. 컨베이어 벨트(54)는 투입롤러(52)와 배출롤러(55)를 연동시킨다. 투입롤러(52)가 회전되면 컨베이어 벨트(54)가 회전되어 배출롤러(55)를 회전시키고, 배출롤러(55)가 회전되면 컨베이어 벨트(54)가 회전되어 투입롤러(52)를 회전시킬 수 있다. The
컨베이어 벨트(54)는 중앙이 분리될 수 있다. 이 경우, 컨베이어 벨트(54)는 일측 투입롤러(521) 및 일측 배출롤러(551)를 연결시키는 일측 컨베이어 벨트(541)로 실시될 수 있다. 또한, 컨베이어 벨트(54)는 타측 투입롤러(522) 및 타측 배출롤러(552)를 연결시키는 타측 컨베이어 벨트(542)로 실시될 수 있다.
컨베이어 벨트(54)의 중앙이 분리되면, 컨베이어 벨트(54)의 회전 시 매거진(M)으로 전달되는 진동이 저감된다. 즉, 컨베이어 벨트(54)가 물체를 이송시킬 때 컨베이어 벨트(54)와 물체의 접촉되는 면적이 클수록 컨베이어 벨트(54)의 진동이 물체로 잘 전달된다. 본 발명의 경우, 컨베이어 벨트(54)의 중앙을 분리시켜 매거진(M)과 컨베이어 벨트(54)의 접촉되는 면적을 최소화시켜, 매거진(M)으로 전달되는 진동을 저감시킨다.When the center of the
구동 유닛(58)은 프레임(51)에 구비된다. 구동 유닛(58)은 투입롤러(52)에 구동력을 전달한다. 이 경우, 구동력에 의해 투입롤러(52)가 회전될 수 있다. 실시예에 따라, 구동 유닛(58)은 배출롤러(55)에 구동력을 전달할 수도 있다.The
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 유닛(58)은, 상기 프레임(51)에 결합되고 내부에 수용공간이 형성되는 케이스(581), 상기 프레임(51)에 결합되고 구동력을 제공하는 구동 모터(582), 및 상기 수용공간에 구비되고, 일단이 상기 투입롤러(52)에 결합되고 타단이 상기 구동 모터(582)에 결합되어, 상기 구동 모터(582)의 구동력을 상기 투입롤러(52)로 전달하는 풀리 유닛(583)을 포함한다.Here, the driving
케이스(581)는 외관을 형성한다. 케이스(581)는 프레임(51)에 결합된다. 케이스(581)는 내부에 수용공간이 형성된다. 수용공간에는 풀리 유닛(583)이 배치될 수 있다.
구동 모터(582)는 프레임(51)에 결합된다. 구동 모터(582)는 구동력을 제공한다. A
풀리 유닛(583)은 수용 공간에 구비된다. 풀리 유닛(583)은 일단이 투입롤러(52)에 결합된다. 풀리 유닛(583)은 타단이 구동 모터(582)에 결합된다. 풀리 유닛(583)은 구동 모터(582)의 구동력을 투입롤러(52)로 전달한다. 이에 따라, 구동 모터(582)의 구동력이 풀리 유닛(583)을 통해 투입롤러(52)로 전달되어, 투입롤러(52)가 회전된다. The
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 풀리 유닛(583)은, 상기 구동 모터(582)에 연결되는 구동 풀리(5831), 상기 투입롤러(52)에 결합되는 전달 풀리(5832), 및 상기 구동 풀리(5831) 및 상기 전달 풀리(5832)를 연결시키는 풀리 벨트(5833)를 포함할 수 있다. Here, the
서포트 브라켓(56)은 프레임(51)에 구비된다. 서포트 브라켓(56)은 배출롤러(55)에 결합된다. 이때, 배출롤러(55)는 상술한 것과 같이, 중앙이 분리된다. 이 경우, 상술한 것과 같이, 일측 배출롤러(551) 및 타측 배출롤러(552)로 실시될 수 있다. 서포트 브라켓(56)은 일측 배출롤러(551) 및 타측 배출롤러(552)에 각각 결합될 수 있다.The
서포트 브라켓(56)에는 배출롤러(55)의 회전축(556)이 결합된다. 여기서, 컨베이어 벨트(54)가 배출롤러(55)에 장력을 인가할 수 있다. 컨베이어 벨트(54)는 중앙이 분리되게 실시되어, 각각의 컨베이어 벨트(54)가 일측 배출롤러(551) 및 타측 배출롤러(552)에 각각 장력을 부여할 수 있다. 이 경우, 컨베이어 벨트(54)에 인가된 장력에 의해 배출롤러(55)의 회전축(556)에 모멘트가 발생할 수 있다.The
이때, 서포트 브라켓(56)이 배출롤러(55)의 회전축(556)을 지지하여, 배출롤러(55)의 회전축(556)을 프레임(51)에 수직하게 배치시킨다. 즉, 도 11과 같이, 컨베이어 벨트(54)에 인가되는 장력으로 인해 발생한 모멘트에 의해 배출롤러(55)의 회전축(556)이 휘어지거나 굽혀지지 않도록, 서포트 브라켓(56)이 배출롤러(55)의 회전축(556)을 지지한다. At this time, the
서포트 볼트(57)는 서포트 브라켓(56)에 결합된다. 서포트 브라켓(56)에 결합된 서포트 볼트(57)는 단부가 프레임(51)에 지지된다. The
서포트 볼트(57)는 서포트 브라켓(56)을 프레임(51)에 수평하게 배치시킨다. 여기서, 상술한 것과 같이, 컨베이어 벨트(54)에 인가된 장력에 의해 배출롤러(55)의 회전축(556)에 모멘트가 발생할 수 있다. 이때, 서포트 볼트(57)가 서포트 브라켓(56)을 프레임(51)에 수평하게 배치시켜, 서포트 브라켓(56)이 배출롤러(55)의 회전축(556)을 프레임(51)에 수직하게 배치시키므로, 배출롤러(55)의 회전축(556)이 휘어지거나 굽혀지지 않게 된다. The
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 브라켓(56)은 상기 배출롤러(55)의 회전축(556)의 상부에 개구되어 형성되는 상부 결합홀(561), 상기 배출롤러(55)의 회전축(556)의 하부에 개구되어 형성되는 하부 결합홀(562), 상기 상부 결합홀(561)의 측면에 길게 개구되어 형성되는 상부 장공(563), 및 상기 하부 결합홀(562)의 측면에 길게 개구되어 형성되는 하부 장공(564)을 포함한다.Here, the
서포트 브라켓(56)에는 상부 결합홀(561) 및 하부 결합홀(562)이 개구되어 형성된다. 상부 결합홀(561)은 배출롤러(55)의 회전축(556)의 상부에 개구되어 형성된다. 하부 결합홀(562)은 배출롤러(55)의 회전축(556)의 하부에 개구되어 형성된다. 상부 결합홀(561) 및 하부 결합홀(562)은 회전축(556)을 기준으로 대칭되는 위치에 형성된다.An
서포트 브라켓(56)에는 상부 장공(563) 및 하부 장공(564)이 개구되어 형성된다. 상부 장공(563)은 상부 결합홀(561)의 측면에 길게 개구되어 형성된다. 하부 장공(564)은 하부 결합홀(562)의 측면에 길게 개구되어 형성된다.An upper
상부 장공(563) 및 하부 장공(564)에는 장공 볼트(565)가 결합될 수 있다. 장공 볼트(565)가 상부 장공(563) 및 하부 장공(564)에 결합되면, 이송방향에 대해 서포트 브라켓(56)의 결합위치가 정해진다.
즉, 장공 볼트(565)로 서포트 브라켓(56)이 프레임(51)에 결합되는 결합위치를 정할 수 있게 되므로, 배출롤러(55)의 위치를 이송방향에 대해 정밀하게 조절할 수 있게 된다.That is, since the coupling position where the
서포트 볼트(57)는 상부 결합홀(561) 및 하부 결합홀(562)에 각각 결합될 수 있다. 여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 볼트(57)는 상부 결합홀(561)에 결합되는 상부 서포트 볼트(571) 및 하부 결합홀(562)에 결합되는 하부 서포트 볼트(572)를 포함한다.The
상부 서포트 볼트(571)는 배출롤러(55)의 회전축(556)의 상부에 위치한 상부 결합홀(561)에 결합되므로, 서포트 브라켓(56)의 상부를 지지한다. 하부 서포트 볼트(572)는 배출롤러(55)의 회전축(556)의 하부에 위치한 하부 결합홀(562)에 결합되므로, 서포트 브라켓(56)의 하부를 지지한다.The
상부 서포트 볼트(571) 및 하부 서포트 볼트(572)가 회전축(556)을 기준으로 상부 및 하부를 동시에 지지하므로, 배출롤러(55)의 회전축(556)이 휘어지지 않게 된다.Since the
한편, 상술한 것과 같이, 센서 모듈(40)은 컨베이어 모듈(50)에 복수개 구비될 수 있다. 센서 모듈(40)은 컨베이어 모듈(50)의 이송방향을 중심으로 대칭되는 위치에 각각 구비될 수도 있다. 또한, 센서 모듈(40)은 배출부(12) 및 인입부(11)에 각각 구비될 수 있다.Meanwhile, as described above, a plurality of
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 모듈(40)은, 상기 컨베이어 모듈(50)에 구비되고 상기 인입부(11)에 대향되는 인입 센서 모듈(41), 및 상기 컨베이어 모듈(50)에 구비되고 상기 배출부(12)에 대향되는 배출 센서 모듈(42)을 포함한다.Here, the
인입 센서 모듈(41)은 컨베이어 모듈(50)에 구비된다. 인입 센서 모듈(41)은 프레임(51)에 구비될 수 있다. 인입 센서 모듈(41)은 컨베이어 모듈(50)의 이송방향을 중심으로 대칭되는 위치에 한 쌍이 구비될 수도 있다. The
인입 센서 모듈(41)은 인입부(11)에 대향된다. 이 경우, 프레임(51)에는 인입 센서 모듈(41)에 대응되는 슬릿(slit)(511)이 개구되어 형성될 수 있다. 인입 센서 모듈(41)은 슬릿(511)을 통해 매거진(M)의 인입을 감지할 수 있다.The
배출 센서 모듈(42)은 컨베이어 모듈(50)에 구비된다. 배출 센서 모듈(42)은 프레임(51)에 구비될 수 있다. 배출 센서 모듈(42)은 컨베이어 모듈(50)의 이송방향을 중심으로 대칭되는 위치에 한 쌍이 구비될 수도 있다. The
배출 센서 모듈(42)은 배출부(12)에 대향된다. 이 경우, 프레임(51)에는 배출 센서 모듈(42)에 대응되는 슬릿(511)(slit)이 개구되어 형성될 수 있다. 배출 센서 모듈(42)은 슬릿(511)을 통해 매거진(M)의 배출을 감지할 수 있다.The
인입 센서 모듈(41)이 매거진(M)의 인입을 감지하거나 배출 센서 모듈(42)이 매거진(M)의 배출을 감지하면, 공정관리 시스템에서 컨베이어 모듈(50)에 매거진(M)이 인입 또는 배출되는 정보를 획득하게 된다. 이 경우, 공정관리 시스템이 매거진(M)의 인입 및 배출에 따라 컨베이어 모듈(50)의 동작을 제어할 수 있게 된다. When the
한편, 인입 센서 모듈(41) 또는 배출 센서 모듈(42)은 다양하게 실시될 수 있다. 이하에서, 센서 모듈(40)은 인입 센서 모듈(41)인 것으로 설명하나, 배출 센서 모듈(42)에 적용될 수 있다. Meanwhile, the
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 모듈(40)은, 상기 컨베이어 모듈(50)의 측면에 구비되고, 상기 매거진(M)의 이송방향으로 구비되는 센서 레일(411), 상기 센서 레일(411)에 상기 매거진(M)의 이송방향으로 슬라이딩 가능하게 구비되는 전방 센서 브라켓(412), 상기 센서 레일(411)에 상기 매거진(M)의 이송방향으로 슬라이딩 가능하게 구비되고,상기 전방 센서 브라켓(412)의 후방에 구비되는 후방 센서 브라켓(413), 상기 전방 센서 브라켓(412)에 고정되어 상기 전방 센서 브라켓(412)을 따라 슬라이딩되는 전방 감지센서(414), 및 상기 후방 센서 브라켓(413)에 고정되어 상기 후방 센서 브라켓(413)을 따라 슬라이딩되는 후방 감지센서(415)를 포함한다.Here, the
센서 레일(411)은 컨베이어 모듈(50)의 측면에 구비된다. 센서 레일(411)은 프레임(51)에 구비될 수 있다. 센서 레일(411)은 매거진(M)의 이송방향으로 구비된다. 센서 레일(411)은 이송방향에 수평하게 구비될 수 있다.The
전방 센서 브라켓(412)은 센서 레일(411)에 구비된다. 전방 센서 브라켓(412)은 센서 레일(411)에 매거진(M)의 이송방향으로 슬라이딩 가능하게 구비된다. 이 경우, 전방 센서 브라켓(412)은 센서 레일(411)에 이송방향을 따라 슬라이딩될 수 있다.The
후방 센서 브라켓(413)은 센서 레일(411)에 구비된다. 후방 센서 브라켓(413)은 센서 레일(411)에 매거진(M)의 이송방향으로 슬라이딩 가능하게 구비된다. 후방 센서 브라켓(413)은 전방 센서 브라켓(412)의 후방에 구비된다. 이 경우, 후방 센서 브라켓(413)은 센서 레일(411)에 이송방향을 따라 슬라이딩될 수 있다.The
전방 감지센서(414)는 전방 센서 브라켓(412)에 고정된다. 전방 감지센서(414)는 전방 센서 브라켓(412)을 따라 슬라이딩된다. 이 경우, 전방 감지센서(414)는 이송방향을 따라 슬라이딩될 수 있다. 이에 따라, 전방 감지센서(414)의 위치를 이송방향을 따라 조절하여, 전방 감지센서(414)가 매거진(M)을 감지할 수 있는 적합한 위치에 배치시킬 수 있게 된다. The
전방 감지센서(414)는 프레임(51)에 형성된 슬릿(511)에 대향되게 배치될 수 있다. 전방 감지센서(414)는 슬릿(511)을 통해 컨베이어 벨트(54)에 위치한 매거진(M)을 감지할 수 있다. 전방 감지센서(414)는 레이저 센서로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다. The
후방 감지센서(415)는 후방 센서 브라켓(413)에 고정된다. 후방 감지센서(415)는 후방 센서 브라켓(413)을 따라 슬라이딩된다. 이 경우, 후방 감지센서(415)는 이송방향을 따라 슬라이딩될 수 있다. 이에 따라, 후방 감지센서(415)의 위치를 이송방향을 따라 조절하여, 후방 감지센서(415)가 매거진(M)을 감지할 수 있는 적합한 위치에 배치시킬 수 있게 된다. The
후방 감지센서(415)는 프레임(51)에 형성된 슬릿(511)에 대향되게 배치될 수 있다. 후방 감지센서(415)는 슬릿(511)을 통해 컨베이어 벨트(54)에 위치한 매거진(M)을 감지할 수 있다. 후방 감지센서(415)는 레이저 센서로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다. The
전방 감지센서(414) 및 후방 감지센서(415)는 매거진(M)의 이송여부를 감지한다. 이송방향으로 기준으로, 후방 감지센서(415)는 센서 모듈(40)로 매거진(M)의 진입 여부를 감지한다. 전방 감지센서(414)는 후방 감지센서(415)가 매거진(M)의 진입 여부를 감지한 후 센서 모듈(40)에서 매거진(M)의 통과 여부를 감지한다. The
즉, 1차적으로 후방 감지센서(415)에서 매거진(M)이 진입을 감지하고, 2차적으로 전방 감지센서(414)에서 매거진(M)의 통과를 감지하면, 해당 센서 모듈(40)에 대한 매거진(M)의 인입 또는 배출을 감지하게 된다. That is, when the magazine (M) is primarily detected by the rear sensor (415) and the passage of the magazine (M) is detected by the front sensor (414), the sensor module (40) The incoming or outgoing of the magazine (M) is sensed.
실시예에 따라, 센서 모듈(40)이 인입 센서 모듈(41)인 경우, 1차적으로 후방 감지센서(415)가 매거진(M)이 진입을 감지하고, 2차적으로 전방 감지센서(414)가 매거진(M)의 통과를 감지하면, 매거진(M)이 컨베이어 벨트(54)로 인입된 것을 감지한다. According to the embodiment, when the
실시예에 따라, 센서 모듈(40)이 배출 센서 모듈(42)인 경우, 1차적으로 후방 감지센서(415)가 매거진(M)이 진입을 감지하고, 2차적으로 전방 감지센서(414)가 매거진(M)의 통과를 감지하면, 매거진(M)이 컨베이어 벨트(54)에서 배출된 것을 감지한다. According to the embodiment, when the
이상, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.As described above, those skilled in the art to which the present invention pertains will be able to understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential characteristics thereof. Therefore, the embodiments described above should be understood as illustrative in all respects and not limiting.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the claims to be described later rather than the detailed description above, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts thereof are included in the scope of the present invention. should be interpreted
10 : 사이드 패널 20 : 리더 모듈
30 : 게이트 모듈 40 : 센서 모듈10: side panel 20: reader module
30: gate module 40: sensor module
Claims (2)
상기 리더 모듈은, 상기 컨베이어 모듈의 일측에 수직하게 구비되는 리더 패널; 및 상기 리더 패널의 상부에 구비되고, 상기 RFID에 대향되어 상기 RFID를 인식하는 RFID 리더; 를 포함하고,
상기 컨베이어 모듈은, 외관을 형성하는 프레임; 상기 프레임에 구비되고 상기 인입부에 배치되어 상기 매거진이 인입되고, 중앙이 롤러 샤프트로 연결되는 투입롤러; 상기 프레임에 구비되고 상기 배출부에 배치되어 상기 매거진이 배출되고, 중앙이 분리된 배출롤러; 상기 투입롤러 및 상기 배출롤러의 외주면에 구비되어 상기 투입롤러와 상기배출롤러를 연동시키고, 중앙이 분리된 컨베이어 벨트; 상기 프레임에 구비되고 상기 투입롤러에 구동력을 전달하는 구동 유닛; 상기 프레임에 구비되고 상기 배출롤러의 회전축이 결합되어 상기 회전축을 상기 프레임에 수직하게 배치시키는 서포트 브라켓; 및 상기 서포트 브라켓에 결합되고 상기 프레임에 지지되어 상기 서포트 브라켓을 상기 프레임에 수평하게 배치시키는 서포트 볼트; 를 포함하는 매거진 이송장치.A conveyor module for transporting a magazine in which an RFID is mounted on the top and a plurality of trays are stacked in a transport direction; side panels provided perpendicularly to both sides of the conveyor module, having a discharge portion formed in front of the conveying direction and an inlet portion formed at the rear in the conveying direction, and shielding side surfaces of the magazine from the outside; a reader module provided in the conveyor module, disposed in the discharge unit, and recognizing the RFID; a gate module provided in the conveyor module and disposed in the discharge unit, opening the discharge unit when the magazine is discharged from the conveyor module after the reader module recognizes the RFID; and a sensor module provided on one side of the conveyor module and detecting the inflow or outflow of the magazine.
The reader module may include a reader panel provided vertically on one side of the conveyor module; and an RFID reader disposed above the reader panel and facing the RFID to recognize the RFID. including,
The conveyor module includes a frame forming an exterior; an input roller provided on the frame and disposed in the inlet portion to receive the magazine, and having a central portion connected to a roller shaft; a discharge roller provided in the frame and disposed in the discharge unit to discharge the magazine and having a separated center; a conveyor belt provided on outer circumferential surfaces of the input roller and the discharge roller to interlock the input roller and the discharge roller, and having a center separated; a driving unit provided on the frame and transmitting a driving force to the input roller; a support bracket provided on the frame and coupled with a rotational shaft of the discharge roller to vertically dispose the rotational shaft to the frame; and a support bolt coupled to the support bracket and supported by the frame to horizontally dispose the support bracket to the frame. Magazine transfer device comprising a.
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030020041A (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-08 | 주식회사 대우일렉트로닉스 | Cassette loading device of tape recorder |
JP2004277074A (en) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | Workpiece delivery method |
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KR20180061132A (en) * | 2018-05-30 | 2018-06-07 | 주식회사 유성소프트 | Rfid system using rfid sheild room |
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KR20030020041A (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-08 | 주식회사 대우일렉트로닉스 | Cassette loading device of tape recorder |
JP2004277074A (en) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | Workpiece delivery method |
KR20110017734A (en) | 2009-08-14 | 2011-02-22 | 주식회사 에스.제이테크 | Conveying apparatus for semi-conductor chip tray |
KR20180061132A (en) * | 2018-05-30 | 2018-06-07 | 주식회사 유성소프트 | Rfid system using rfid sheild room |
KR102304217B1 (en) * | 2021-03-05 | 2021-09-24 | 주식회사 엠플러스 | Single line magazine system for notching electrode loading and moving and electrode loading and moving method thereby |
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