KR102478833B1 - Jig for processing susceptor shaft - Google Patents

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KR102478833B1
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susceptor shaft
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susceptor
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KR1020210128489A
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신동운
송주영
김현욱
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에스케이씨솔믹스 주식회사
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Abstract

A susceptor shaft processing jig for fixing a plurality of susceptor shaft arms of a susceptor shaft is disclosed. According to the present invention, a susceptor shaft fixing jig is provided to fix a susceptor shaft including a susceptor shaft body and a plurality of susceptor shaft arms coupled to the susceptor shaft body. The susceptor shaft fixing jig may comprise: an upper frame unit; a lower frame unit positioned in a lower portion of the upper frame unit; a connection frame unit provided to connect the upper frame unit and the lower frame unit; an upper clamp unit fixing the plurality of susceptor shaft arms and disposed on the upper frame unit; and a lower clamp unit fixing the susceptor shaft body and disposed on the lower frame unit.

Description

서셉터 샤프트 가공 지그{JIG FOR PROCESSING SUSCEPTOR SHAFT}Susceptor shaft processing jig {JIG FOR PROCESSING SUSCEPTOR SHAFT}

본 발명은 지그에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 서셉터 샤프트를 가공하는 경우에 사용되는 서셉터 샤프트 가공 지그에 관한 것이다.The present invention relates to jigs. In particular, the present invention relates to a susceptor shaft processing jig used when processing a susceptor shaft.

서셉터 샤프트는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 리프트와 함께 웨이퍼를 지지하여 승하강하며, 웨이퍼의 가공 공정에서 웨이퍼의 수평한 정도는 반도체 품질에 영향을 미치게 되므로, 서셉터 샤프트를 정밀하게 가공할 필요성이 있다.The susceptor shaft supports and moves the wafer along with the wafer lift in the semiconductor manufacturing process, and since the horizontality of the wafer in the wafer processing process affects the quality of the semiconductor, it is necessary to precisely process the susceptor shaft. .

서셉터 샤프트를 정밀하게 가공하기 위한 목적으로 서셉터 샤프트를 고정하는 지그가 요구되며, 특히 서셉터 샤프트의 서셉터 샤프트 바디와 서셉터 샤프트 암을 고정하는 지그의 개발이 요구된다.For the purpose of precisely processing the susceptor shaft, a jig for fixing the susceptor shaft is required, and in particular, the development of a jig for fixing the susceptor shaft body and susceptor shaft arm of the susceptor shaft is required.

공개특허 10-2005-0090789Patent Publication 10-2005-0090789

본 발명은 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다. The present invention aims to solve the foregoing and other problems.

본 발명은 서셉터 샤프트의 복수의 서셉터 샤프트 암을 고정하는 서셉터 샤프트 가공 지그를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a susceptor shaft processing jig for fixing a plurality of susceptor shaft arms of a susceptor shaft.

본 발명은 서셉터 샤프트의 서셉터 샤프트 바디를 고정하는 서셉터 샤프트 가공 지그를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a susceptor shaft processing jig for fixing a susceptor shaft body of a susceptor shaft.

본 발명은 특정 기하 공차를 만족하는 서셉터 샤프트를 제조할 수 있도록 서셉터 샤프트를 고정하는 서셉터 샤프트 가공 지그를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a susceptor shaft processing jig for fixing a susceptor shaft so that a susceptor shaft that satisfies a specific geometrical tolerance can be manufactured.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따르면, 서셉터 샤프트 바디 및 상기 서셉터 샤프트 바디에 결합된 복수의 서셉터 샤프트 암을 포함하는 서셉터 샤프트를 고정하도록 마련되는 서셉터 샤프트 가공 지그로서, 상부 프레임 유닛; 상기 상부 프레임 유닛의 아래에 위치하는 하부 프레임 유닛; 상기 상부 프레임 유닛과 상기 하부 프레임 유닛을 연결하도록 마련되는 연결 프레임 유닛; 상기 복수의 서셉터 샤프트 암을 고정시키며, 상기 상부 프레임 유닛에 배치되는 상부 클램프 유닛; 및 상기 서셉터 샤프트 바디를 고정시키며, 상기 하부 프레임 유닛에 배치되는 하부 클램프 유닛을 포함하는, 서셉터 샤프트 가공 지그가 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention to achieve the above or other object, the susceptor shaft processing provided to fix the susceptor shaft including a susceptor shaft body and a plurality of susceptor shaft arms coupled to the susceptor shaft body As the jig, an upper frame unit; a lower frame unit positioned under the upper frame unit; a connection frame unit provided to connect the upper frame unit and the lower frame unit; an upper clamp unit fixing the plurality of susceptor shaft arms and disposed on the upper frame unit; and a lower clamp unit fixing the susceptor shaft body and disposed on the lower frame unit, a susceptor shaft processing jig may be provided.

본 발명의 다른(another) 측면에 따르면, 상부 프레임 유닛; 상기 상부 프레임 유닛과 마주하며 이격 배치되는 하부 프레임 유닛; 및 상기 상부 프레임 유닛과 상기 하부 프레임 유닛을 연결하도록 마련되는, 연결 프레임 유닛을 포함하고, 상기 상부 프레임 유닛, 상기 하부 프레임 유닛 및 상기 연결 프레임 유닛 중 적어도 하나는 강자성 소재를 포함하는, 서셉터 샤프트 가공 지그가 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, an upper frame unit; a lower frame unit facing the upper frame unit and spaced apart; and a connection frame unit provided to connect the upper frame unit and the lower frame unit, wherein at least one of the upper frame unit, the lower frame unit, and the connection frame unit includes a ferromagnetic material. A processing jig may be provided.

본 발명에 따른 서셉터 샤프트 가공 지그의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.The effects of the susceptor shaft processing jig according to the present invention are described as follows.

본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 서셉터 샤프트의 서셉터 샤프트 암을 고정하는 서셉터 샤프트 가공 지그가 제공될 수 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, a susceptor shaft processing jig fixing a susceptor shaft arm of the susceptor shaft may be provided.

본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 서셉터 샤프트의 하부 서셉터 샤프트 바디를 고정하는 리프트 가공 지그가 제공될 수 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, a lift processing jig fixing the lower susceptor shaft body of the susceptor shaft may be provided.

본 발명의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 본 발명의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 본 발명의 바람직한 실시 예와 같은 특정 실시 예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.A further scope of the applicability of the present invention will become apparent from the detailed description that follows. However, since various changes and modifications within the spirit and scope of the present invention can be clearly understood by those skilled in the art, it should be understood that the detailed description and specific examples such as preferred embodiments of the present invention are given as examples only.

도 1a는 서셉터 샤프트가 웨이퍼 공정에 이용되는 모습을 나타낸 도면이다.
도 1b는 서셉터 샤프트를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터 샤프트 가공 지그를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 프레임 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 4는 상부 프레임 유닛에 상부 클램프 유닛이 결합된 모습을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임 바디를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 고정 모듈을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임 유닛을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연결 프레임 유닛을 나타낸 도면이다.
도 9는 서셉터 샤프트가 서셉터 샤프트 가공 지그에 고정된 모습을 나타낸 도면이다.1A is a view showing a state in which a susceptor shaft is used in a wafer process.
Figure 1b is a view showing a susceptor shaft.
2 is a perspective view showing a susceptor shaft processing jig according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing an upper frame unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a state in which an upper clamp unit is coupled to an upper frame unit.
5 is a view showing a lower frame body according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing a lower fixing module according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a lower frame unit according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing a connected frame unit according to an embodiment of the present invention.
9 is a view showing a state in which the susceptor shaft is fixed to the susceptor shaft processing jig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Hereinafter, the embodiments disclosed in this specification will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the same or similar elements are given the same reference numerals regardless of reference numerals, and redundant description thereof will be omitted. The suffixes "module" and "unit" for components used in the following description are given or used together in consideration of ease of writing the specification, and do not have meanings or roles that are distinct from each other by themselves. In addition, in describing the embodiments disclosed in this specification, if it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the gist of the embodiment disclosed in this specification, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the accompanying drawings are only for easy understanding of the embodiments disclosed in this specification, the technical idea disclosed in this specification is not limited by the accompanying drawings, and all changes included in the spirit and technical scope of the present invention , it should be understood to include equivalents or substitutes.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinal numbers, such as first and second, may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.It is understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may exist in the middle. It should be. On the other hand, when an element is referred to as “directly connected” or “directly connected” to another element, it should be understood that no other element exists in the middle.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In this application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타냈으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, the size of components may be exaggerated or reduced for convenience of explanation. For example, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to those shown.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.When an embodiment is otherwise implementable, a specific process sequence may be performed differently from the described sequence. For example, two processes described in succession may be performed substantially simultaneously, or may be performed in an order reverse to the order described.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.In the following embodiments, when it is assumed that films, regions, components, etc. are connected, not only are the films, regions, and components directly connected, but also other films, regions, and components are interposed between the films, regions, and components. This includes cases where it is connected indirectly. For example, when a film, region, component, etc. is electrically connected in this specification, not only is the film, region, component, etc. directly electrically connected, but another film, region, component, etc. is interposed therebetween. Including cases of indirect electrical connection.

도 1a를 참조하면, 챔버(50)에 서셉터(40)가 수용될 수 있다. 챔버(50)는, 상부 돔(51), 상부 라이너(52), 하부 라이너(55), 그리고 하부 돔(56)을 포함할 수 있다. 하부 돔(56)은 아래에서 위로 연장되어 형성될 수 있다. Referring to FIG. 1A , a susceptor 40 may be accommodated in a chamber 50 . The chamber 50 may include an upper dome 51 , an upper liner 52 , a lower liner 55 , and a lower dome 56 . The lower dome 56 may be formed extending from bottom to top.

하부 돔(56)은 내부에 공간을 형성할 수 있다. 하부 라이너(55)는, 하부 돔(56)의 상부에 결합될 수 있다. 하부 라이너(55)는 하부 돔(56)의 상부 둘레를 따라 하부 돔(56)에 결합될 수 있다. The lower dome 56 may form a space therein. The lower liner 55 may be coupled to an upper portion of the lower dome 56 . The lower liner 55 may be coupled to the lower dome 56 along an upper circumference of the lower dome 56 .

상부 라이너(52)는, 하부 라이너(55)의 상부에 결합될 수 있다. 상부 라이너(52)는, 하부 라이너(55)의 상부 둘레를 따라 하부 라이너(55)에 결합될 수 있다. The upper liner 52 may be coupled to an upper portion of the lower liner 55 . The upper liner 52 may be coupled to the lower liner 55 along an upper circumference of the lower liner 55 .

상부 돔(51)은, 상부 라이너(52)의 상단에 결합될 수 있다. 상부 돔(51)은, 챔버(50) 내부에 형성된 공간을 밀폐하거나 덮을 수 있다. 상부 돔(51)은, 상부 라이너(52)의 상단 둘레를 따라 상부 라이너(52)에 결합될 수 있다.The upper dome 51 may be coupled to an upper end of the upper liner 52 . The upper dome 51 may seal or cover a space formed inside the chamber 50 . The upper dome 51 may be coupled to the upper liner 52 along the upper circumference of the upper liner 52 .

프리 히팅 링(60, pre-heating ring)은, 챔버(50)의 내부에 위치할 수 있다. 예를 들어, 프리 히팅 링(60)은, 하부 라이너(55)에 안착될 수 있다. 프리 히팅 링(60)은 링(ring)의 형상을 형성할 수 있다. A pre-heating ring 60 may be located inside the chamber 50 . For example, the pre-heating ring 60 may be seated on the lower liner 55 . The pre-heating ring 60 may form a ring shape.

서셉터(40)는, 챔버(50)의 내부에 수용될 수 있다. 예를 들어, 서셉터(40)는, 챔버(50)의 하부 라이너(55)에 안착될 수 있다. 서셉터(40)는, 프리 히팅 링(60)에 의해 감싸질 수 있다. 서셉터(40)는 프리 히팅 링(60)과 이격될 수 있다. 서셉터(40)는, 프리 히팅 링(60)으로부터 열(heat)을 제공받을 수 있다.The susceptor 40 may be accommodated inside the chamber 50 . For example, the susceptor 40 may be seated on the lower liner 55 of the chamber 50 . The susceptor 40 may be wrapped by a pre-heating ring 60. The susceptor 40 may be spaced apart from the pre-heating ring 60. The susceptor 40 may receive heat from the pre-heating ring 60 .

서셉터(40)의 내부에 웨이퍼가 배치될 수 있다. 서셉터(40)는 함몰부를 형성할 수 있다. 서셉터(40)의 함몰부에 웨이퍼가 배치될 수 있다. 서셉터(40)의 함몰부 바닥면에는 삽입홀이 형성될 수 있다. 서셉터(40)의 바닥면에는 고정홈이 함몰되어 형성될 수 있다.A wafer may be disposed inside the susceptor 40 . The susceptor 40 may form a depression. A wafer may be disposed in the recessed portion of the susceptor 40 . An insertion hole may be formed on the bottom surface of the recessed portion of the susceptor 40 . A fixing groove may be recessed and formed on the bottom surface of the susceptor 40 .

웨이퍼 리프트(30)는 챔버(50)에 수용될 수 있다. 웨이퍼 리프트(30)는 서셉터(40)의 삽입홀에 삽입되어 서셉터(40)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼 리프트(40)의 상단에 리프트 핀(lift pin)이 결합되고, 리프트 핀이 서셉터(40)의 삽입홀에 삽입되어 웨이퍼를 지지할 수 있다. 웨이퍼 리프트(30)는 서셉터(40)를 직접적으로 승하강 시킬 수 있다.The wafer lift 30 may be accommodated in the chamber 50 . The wafer lift 30 may be inserted into the insertion hole of the susceptor 40 to support the susceptor 40 . For example, a lift pin may be coupled to an upper end of the wafer lift 40, and the lift pin may be inserted into an insertion hole of the susceptor 40 to support a wafer. The wafer lift 30 may directly move the susceptor 40 up and down.

서셉터 샤프트(20)는 챔버(50)에 수용될 수 있다. 예를 들어, 서셉터 샤프트(20)는, 웨이퍼 리프트(30)에 인접할 수 있다. 예를 들어, 서셉터 샤프트(20)는, 웨이퍼 리프트(30)와 유사한 형상을 형성할 수 있다. 서셉터 샤프트(20)는, 서셉터(40)의 고정홈에 결합되어 서셉터(40)를 지지할 수 있다. 서셉터 샤프트(20)는, 웨이퍼 리프트(30)와 별개로 승하강 이동할 수 있다. 서셉터 샤프트(20)는, 웨이퍼 리프트(30)와 일체로 회전 운동을 할 수 있다.The susceptor shaft 20 may be accommodated in the chamber 50 . For example, the susceptor shaft 20 may be adjacent to the wafer lift 30 . For example, the susceptor shaft 20 may have a shape similar to that of the wafer lift 30 . The susceptor shaft 20 may be coupled to the fixing groove of the susceptor 40 to support the susceptor 40 . The susceptor shaft 20 may move up and down separately from the wafer lift 30 . The susceptor shaft 20 can rotate integrally with the wafer lift 30 .

서셉터 샤프트(20)는, 서셉터(40)의 챔버(50) 내 위치 세팅시에, 주로 승하강할 수 있다. 반도체 공정 중 EPI 공정(증착 공정)시 웨이퍼 상에 도포 물질이 균일하게 도포될 수 있도록 회전운동을 할 수 있다.The susceptor shaft 20 can mainly move up and down when setting the position of the susceptor 40 in the chamber 50. During the EPI process (deposition process) of the semiconductor process, a rotational motion may be performed so that the coating material may be uniformly applied on the wafer.

도 1b는 서셉터 샤프트(20)를 나타낸 도면이다.Figure 1b is a view showing the susceptor shaft 20.

도 1b를 참조하면, 서셉터 샤프트(20)는 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)을 포함할 수 있다. 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)은 복수개로 제공될 수 있다. 예를 들어, 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)은, 제1 서셉터 샤프트 암(21), 제2 서셉터 샤프트 암(22), 그리고 제3 서셉터 샤프트 암(23)을 포함할 수 있다. 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)은 서셉터(40, 도 1a 참조)를 지지할 수 있다. Referring to FIG. 1B , the susceptor shaft 20 may include susceptor shaft arms 21, 22, and 23. A plurality of susceptor shaft arms 21, 22, and 23 may be provided. For example, the susceptor shaft arms 21, 22, and 23 may include a first susceptor shaft arm 21, a second susceptor shaft arm 22, and a third susceptor shaft arm 23. can The susceptor shaft arms 21, 22, and 23 may support the susceptor 40 (see FIG. 1A).

서셉터 샤프트(20)는 서셉터 샤프트 바디(24, 25)을 포함할 수 있다. 서셉터 샤프트 바디(24, 25)은 하부 서셉터 샤프트 바디(24)와 상부 서셉터 샤프트 바디(25)를 포함할 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24)와 상부 서셉터 샤프트 바디(25)는 일체로 형성될 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24)와 상부 서셉터 샤프트 바디(25)의 연결 지점으로부터, 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)이 연장되어 형성될 수 있다. The susceptor shaft 20 may include susceptor shaft bodies 24 and 25 . The susceptor shaft bodies 24 and 25 may include a lower susceptor shaft body 24 and an upper susceptor shaft body 25 . The lower susceptor shaft body 24 and the upper susceptor shaft body 25 may be integrally formed. Susceptor shaft arms 21, 22, and 23 may be formed by extending from a connection point between the lower susceptor shaft body 24 and the upper susceptor shaft body 25.

본 명세서에서 방향이 표시될 수 있다. 예를 들어, 전방(F, forward), 후방(B, backward), 좌측(L, left), 우측(R, right), 상방(U, upward), 그리고 하방(D, downward)이 정의될 수 있다. Directions may be indicated herein. For example, forward (F, backward), backward (B, backward), left (L, left), right (R, right), upward (U, upward), and downward (D, downward) can be defined. there is.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터 샤프트 가공 지그(10)를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a susceptor shaft processing jig 10 according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 서셉터 샤프트 가공 지그(10)는 상부 프레임 유닛(100)을 포함할 수 있다. 상부 프레임 유닛(100)은 서셉터 샤프트(20, 도 1b 참조)의 일부를 지지하거나 고정할 수 있다. 상부 프레임 유닛(100)은 서셉터 샤프트(20, 도 1b 참조)의 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23, 도 1b 참조)을 지지하거나 고정하거나 수용할 수 있다.Referring to FIG. 2 , the susceptor shaft processing jig 10 may include an upper frame unit 100 . The upper frame unit 100 may support or fix a part of the susceptor shaft 20 (see FIG. 1B). The upper frame unit 100 may support, fix, or accommodate the susceptor shaft arms 21, 22, and 23 (see FIG. 1B) of the susceptor shaft 20 (see FIG. 1B).

서셉터 샤프트 가공 지그(10)는 하부 프레임 유닛(200)을 포함할 수 있다. 하부 프레임 유닛(200)은 상부 프레임 유닛(100)의 아래에 위치할 수 있다. 하부 프레임 유닛(200)은 상부 프레임 유닛(100)과 이격될 수 있다.The susceptor shaft processing jig 10 may include the lower frame unit 200 . The lower frame unit 200 may be located below the upper frame unit 100 . The lower frame unit 200 may be spaced apart from the upper frame unit 100 .

서셉터 샤프트 가공 지그(10)는 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)을 포함할 수 있다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 상부 프레임 유닛(100)의 상면에 위치하거나 고정될 수 있다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 제1 클램프 유닛(400), 제2 클램프 유닛(500), 그리고 제3 클램프 유닛(600)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 제1 클램프 유닛(400), 제2 클램프 유닛(500), 그리고 제3 클램프 유닛(600) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23, 도 1b 참조)의 상단부를 고정시킬 수 있다.The susceptor shaft processing jig 10 may include upper clamp units 400 , 500 , and 600 . The upper clamp units 400 , 500 , and 600 may be located on or fixed to the upper surface of the upper frame unit 100 . A plurality of upper clamp units 400, 500, and 600 may be provided. For example, the upper clamp units 400 , 500 , and 600 may include a first clamp unit 400 , a second clamp unit 500 , and a third clamp unit 600 . For example, the upper clamp units 400 , 500 , and 600 may mean at least one of the first clamp unit 400 , the second clamp unit 500 , and the third clamp unit 600 . The upper clamp units 400, 500, and 600 may fix the upper ends of the susceptor shaft arms 21, 22, and 23 (see FIG. 1B).

웨이퍼 가공 지그(10)는 연결 프레임 유닛(300)을 포함할 수 있다. 연결 프레임 유닛(300)은, 상부 프레임 유닛(100)과 하부 프레임 유닛(200)을 연결시킬 수 있다. 예를 들어, 연결 프레임 유닛(300)은 상부 프레임 유닛(100)에 결합되거나 고정될 수 있다. 예를 들어, 연결 프레임 유닛(300)은 하부 프레임 유닛(200)에 결합되거나 고정될 수 있다. The wafer processing jig 10 may include a connection frame unit 300 . The connection frame unit 300 may connect the upper frame unit 100 and the lower frame unit 200 . For example, the connection frame unit 300 may be coupled to or fixed to the upper frame unit 100 . For example, the connection frame unit 300 may be coupled to or fixed to the lower frame unit 200 .

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 프레임 유닛(100)을 나타낸 사시도이다.3 is a perspective view showing an upper frame unit 100 according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 상부 프레임 유닛(100)은 상부 프레임 바디(110)를 포함할 수 있다. 상부 프레임 바디(110)는 상부 프레임 유닛(100)의 골격을 형성할 수 있다. 상부 프레임 바디(110)는, 예를 들어, 위를 향하는 상면(upper surface)과 아래를 향하는 하면(lower surface)을 각각 형성할 수 있다. 상부 프레임 바디(110)는 금속 재질을 포함하는 소재로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3 , the upper frame unit 100 may include an upper frame body 110 . The upper frame body 110 may form a skeleton of the upper frame unit 100 . The upper frame body 110 may form, for example, an upper surface facing upward and a lower surface facing downward. The upper frame body 110 may be formed of a material including a metal material.

상부 프레임 유닛(100)은 경사면(120)을 포함할 수 있다. 경사면(120)은, 상부 프레임 바디(110)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 경사면(120)은 상부 프레임 바디(110)의 상면에 형성될 수 있다. 경사면(120)은, 경사면(120)의 중심으로 갈수록 아래를 향하여 기울어진 형상을 형성할 수 있다.The upper frame unit 100 may include an inclined surface 120 . The inclined surface 120 may be formed on the upper frame body 110 . For example, the inclined surface 120 may be formed on the upper surface of the upper frame body 110 . The inclined surface 120 may form a shape inclined downward toward the center of the inclined surface 120 .

상부 프레임 유닛(100)은 고정 홈(130)을 포함할 수 있다. 고정 홈(130)은, 경사면(120)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 고정 홈(130)은 경사면(120)에서 함몰된 형상을 형성할 수 있다. The upper frame unit 100 may include a fixing groove 130 . The fixing groove 130 may be formed on the inclined surface 120 . For example, the fixing groove 130 may form a shape recessed in the inclined surface 120 .

고정 홈(130)은 상부 프레임 바디(110)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 고정 홈(130)은 상부 프레임 바디(110)의 상면에 형성될 수 있다. 예를 들어, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 형성된 고정 홈(130)은, 경사면(120)에 형성된 고정 홈(130)에서 연장되어 형성될 수 있다. 고정 홈(130)은 경사면(120)의 중심에서 반지름 방향(radial direction)으로 연장되어 형성될 수 있다. The fixing groove 130 may be formed in the upper frame body 110 . For example, the fixing groove 130 may be formed on the upper surface of the upper frame body 110 . For example, the fixing groove 130 formed on the upper surface of the upper frame body 110 may be formed to extend from the fixing groove 130 formed on the inclined surface 120 . The fixing groove 130 may be formed to extend in a radial direction from the center of the inclined surface 120 .

고정 홈(130)은 복수개로 제공될 수 있다. 예를 들어, 고정 홈(130)은, 제1 고정 홈(131), 제2 고정 홈(132), 그리고 제3 고정 홈(133)을 포함할 수 있다. 제1 고정 홈(131), 제2 고정 홈(132), 그리고 제3 고정 홈(133)은, 방위각 방향(azimuthal direction)으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 고정 홈(131), 제2 고정 홈(132), 그리고 제3 고정 홈(133)은, 방위각 방향으로 서로 동일한 간격을 두고 배치될 수 있다. 방위각 방향은, 상하 방향을 축으로 원주 방향을 의미할 수 있다.A plurality of fixing grooves 130 may be provided. For example, the fixing groove 130 may include a first fixing groove 131 , a second fixing groove 132 , and a third fixing groove 133 . The first fixing groove 131, the second fixing groove 132, and the third fixing groove 133 may be disposed in an azimuthal direction. For example, the first fixing groove 131 , the second fixing groove 132 , and the third fixing groove 133 may be disposed at equal intervals from each other in an azimuth direction. The azimuthal direction may refer to a circumferential direction with a vertical direction as an axis.

서셉터 샤프트 암(21, 22, 23, 도 1b 참조)은, 고정 홈(130)에 고정되거나 수용되거나 결합될 수 있다. 예를 들어 제1 서셉터 샤프트 암(21, 도 1b 참조)은 제1 고정 홈(131)에 고정되거나 수용되거나 결합될 수 있다. 예를 들어 제2 서셉터 샤프트 암(22, 도 1b 참조)은 제2 고정 홈(132)에 고정되거나 수용되거나 결합될 수 있다. 예를 들어 제3 서셉터 샤프트 암(23, 도 1b 참조)은 제3 고정 홈(133)에 고정되거나 수용되거나 결합될 수 있다. The susceptor shaft arms 21, 22, and 23 (see FIG. 1B) may be fixed, accommodated, or coupled to the fixing groove 130. For example, the first susceptor shaft arm 21 (see FIG. 1B ) may be fixed to, accommodated in, or coupled to the first fixing groove 131 . For example, the second susceptor shaft arm 22 (see FIG. 1B ) may be fixed to, accommodated in, or coupled to the second fixing groove 132 . For example, the third susceptor shaft arm 23 (see FIG. 1B ) may be fixed to, accommodated in, or coupled to the third fixing groove 133 .

상부 프레임 유닛(100)은 상부 홀(140)을 포함할 수 있다. 상부 홀(140)은 경사면(120)에 형성될 수 있다. 상부 홀(140)은 경사면(120)의 중심부에 형성될 수 있다. 상부 홀(140)은 경사면(120)을 상하 방향으로 관통하여 형성될 수 있다. 서셉터 샤프트 바디(24, 25, 도 1b 참조)는 상부 홀(140)에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상부 홀(140)의 길이 방향은, 상하 방향일 수 있다. 상부 홀(140)의 길이 방향은, 상부 홀(140)이 관통되는 방향을 의미할 수 있다.The upper frame unit 100 may include an upper hole 140 . The upper hole 140 may be formed on the inclined surface 120 . The upper hole 140 may be formed at the center of the inclined surface 120 . The upper hole 140 may be formed by penetrating the inclined surface 120 in the vertical direction. The susceptor shaft bodies 24 and 25 (see FIG. 1B) may be located in the upper hole 140. For example, the longitudinal direction of the upper hole 140 may be a vertical direction. The longitudinal direction of the upper hole 140 may mean a direction through which the upper hole 140 passes.

도 4는 상부 프레임 유닛(100)에 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)이 결합된 모습을 나타낸 도면이다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은 상부 프레임 유닛(100)에 결합되거나 고정될 수 있다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)는, 예를 들어, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 위치할 수 있다.4 is a view showing a state in which the upper clamp units 400, 500, and 600 are coupled to the upper frame unit 100. The upper clamp units 400 , 500 , and 600 may be coupled to or fixed to the upper frame unit 100 . The upper clamp units 400 , 500 , and 600 may be located on the upper surface of the upper frame body 110 , for example.

상부 클램프 유닛(400, 500, 600)의 위치는, 고정 홈(130)의 위치에 대응될 수 있다. 예를 들어, 제1 클램프 유닛(400)은 제1 고정 홈(131)에 인접할 수 있다. 예를 들어, 제1 클램프 유닛(400)은 제1 고정 홈(131)의 연장된 방향에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제2 클램프 유닛(500)은 제2 고정 홈(132)에 인접할 수 있다. 예를 들어, 제2 클램프 유닛(500)은 제2 고정 홈(132)의 연장된 방향에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제3 클램프 유닛(600)은 제3 고정 홈(133)에 인접할 수 있다. 예를 들어, 제3 클램프 유닛(600)은 제3 고정 홈(133)의 연장된 방향에 위치할 수 있다.Positions of the upper clamp units 400 , 500 , and 600 may correspond to positions of the fixing grooves 130 . For example, the first clamp unit 400 may be adjacent to the first fixing groove 131 . For example, the first clamp unit 400 may be located in an extended direction of the first fixing groove 131 . For example, the second clamp unit 500 may be adjacent to the second fixing groove 132 . For example, the second clamp unit 500 may be located in an extended direction of the second fixing groove 132 . For example, the third clamp unit 600 may be adjacent to the third fixing groove 133 . For example, the third clamp unit 600 may be located in an extended direction of the third fixing groove 133 .

제1 클램프 유닛(400)은, 제1-1 클램프 모듈(410)과 제1-2 클램프 모듈(420)을 포함할 수 있다. 제1-1 클램프 모듈(410)은, 제1-1 클램프 바디(411)와 제1-1 클램프 핀(412)을 포함할 수 있다. 제1-2 클램프 모듈(420)은, 제1-2 클램프 바디(421)와 제1-2 클램프 핀(422)을 포함할 수 있다. The first clamp unit 400 may include a 1-1 clamp module 410 and a 1-2 clamp module 420 . The 1-1 clamp module 410 may include a 1-1 clamp body 411 and a 1-1 clamp pin 412 . The 1-2 clamp module 420 may include a 1-2 clamp body 421 and a 1-2 clamp pin 422 .

제1 클램프 바디(411, 412)는, 제1-1 클램프 바디(411)와 제1-2 클램프 바디(421) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제1 클램프 바디(411, 412)는, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 고정되거나 결합될 수 있다. 제1-1 클램프 바디(411)와 제1-2 클램프 바디(421)는, 제1 고정 홈(131)이 연장된 가상의 선(virtual line)을 사이에 두고 배치될 수 있다.The first clamp bodies 411 and 412 may mean at least one of the 1-1 clamp body 411 and the 1-2 clamp body 421 . The first clamp bodies 411 and 412 may be fixed to or coupled to the upper surface of the upper frame body 110 . The 1-1st clamp body 411 and the 1-2nd clamp body 421 may be disposed with a virtual line between which the first fixing groove 131 extends.

제1 클램프 핀(412, 422)는, 제1-1 클램프 핀(412)과 제1-2 클램프 핀(422) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제1 클램프 핀(412, 422)은, 제1 클램프 바디(411, 412)에 나사 결합될 수 있다. The first clamp pins 412 and 422 may mean at least one of the 1-1 clamp pin 412 and the 1-2 clamp pin 422 . The first clamp pins 412 and 422 may be screwed to the first clamp bodies 411 and 412 .

예를 들어, 제1-1 클램프 핀(412)은 제1-1 클램프 바디(411)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1-1 클램프 핀(412)은 제1-2 클램프 모듈(420)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제1-2 클램프 핀(422)은 제1-2 클램프 바디(421)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1-2 클램프 핀(422)은 제1-1 클램프 모듈(410)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제1 서셉터 샤프트 암(21, 도 1b 참조)은, 제1-1 클램프 핀(412)과 제1-2 클램프 핀(422) 사이에 고정될 수 있다.For example, the 1-1 clamp pin 412 may be screwed to and moved to the 1-1 clamp body 411 . For example, the 1-1 clamp pin 412 may be closer to or farther from the 1-2 clamp module 420 . For example, the 1-2nd clamp pin 422 may be movable by being screwed to the 1-2nd clamp body 421 . For example, the 1-2 clamp pin 422 may move closer or farther toward the 1-1 clamp module 410 . For example, the first susceptor shaft arm 21 (see FIG. 1B ) may be fixed between the 1-1 clamp pin 412 and the 1-2 clamp pin 422 .

제2 클램프 유닛(500)은, 제2-1 클램프 모듈(510)과 제2-2 클램프 모듈(520)을 포함할 수 있다. 제2-1 클램프 모듈(510)은, 제2-1 클램프 바디(511)와 제2-1 클램프 핀(512)을 포함할 수 있다. 제2-2 클램프 모듈(520)은, 제2-2 클램프 바디(521)와 제2-2 클램프 핀(522)을 포함할 수 있다. The second clamp unit 500 may include a 2-1 clamp module 510 and a 2-2 clamp module 520 . The 2-1 clamp module 510 may include a 2-1 clamp body 511 and a 2-1 clamp pin 512 . The 2-2 clamp module 520 may include a 2-2 clamp body 521 and a 2-2 clamp pin 522 .

제2 클램프 바디(511, 512)는, 제2-1 클램프 바디(511)와 제2-2 클램프 바디(521) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제2 클램프 바디(511, 512)는, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 고정되거나 결합될 수 있다. 제2-1 클램프 바디(511)와 제2-2 클램프 바디(521)는, 제2 고정 홈(132)이 연장된 가상의 선(virtual line)을 사이에 두고 배치될 수 있다.The second clamp bodies 511 and 512 may refer to at least one of the 2-1 clamp body 511 and the 2-2 clamp body 521 . The second clamp bodies 511 and 512 may be fixed to or coupled to the upper surface of the upper frame body 110 . The 2-1 clamp body 511 and the 2-2 clamp body 521 may be disposed with a virtual line between which the second fixing groove 132 extends.

제2 클램프 핀(512, 522)는, 제2-1 클램프 핀(512)과 제2-2 클램프 핀(522) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제2 클램프 핀(512, 522)은, 제2 클램프 바디(511, 512)에 나사 결합될 수 있다. The second clamp pins 512 and 522 may mean at least one of the 2-1 clamp pin 512 and the 2-2 clamp pin 522 . The second clamp pins 512 and 522 may be screwed to the second clamp bodies 511 and 512 .

예를 들어, 제2-1 클램프 핀(512)은 제2-1 클램프 바디(511)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제2-1 클램프 핀(512)은 제2-2 클램프 모듈(520)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제2-2 클램프 핀(522)은 제2-2 클램프 바디(521)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제2-2 클램프 핀(522)은 제2-1 클램프 모듈(510)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제2 서셉터 샤프트 암(22, 도 1b 참조)은, 제2-1 클램프 핀(512)과 제2-2 클램프 핀(522) 사이에 고정될 수 있다.For example, the 2-1 clamp pin 512 may be screwed to and moved to the 2-1 clamp body 511 . For example, the 2-1 clamp pin 512 may move toward or away from the 2-2 clamp module 520 . For example, the 2-2 clamp pin 522 may be screwed to and moved to the 2-2 clamp body 521 . For example, the 2-2nd clamp pin 522 may be closer to or farther from the 2-1st clamp module 510 . For example, the second susceptor shaft arm 22 (see FIG. 1B ) may be fixed between the 2-1 clamp pin 512 and the 2-2 clamp pin 522 .

제3 클램프 유닛(600)은, 제3-1 클램프 모듈(610)과 제3-2 클램프 모듈(620)을 포함할 수 있다. 제3-1 클램프 모듈(610)은, 제3-1 클램프 바디(611)와 제3-1 클램프 핀(612)을 포함할 수 있다. 제3-2 클램프 모듈(620)은, 제3-2 클램프 바디(621)와 제3-2 클램프 핀(622)을 포함할 수 있다. The third clamp unit 600 may include a 3-1 clamp module 610 and a 3-2 clamp module 620 . The 3-1 clamp module 610 may include a 3-1 clamp body 611 and a 3-1 clamp pin 612 . The 3-2 clamp module 620 may include a 3-2 clamp body 621 and a 3-2 clamp pin 622 .

제3 클램프 바디(611, 612)는, 제3-1 클램프 바디(611)와 제3-2 클램프 바디(621) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제3 클램프 바디(611, 612)는, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 고정되거나 결합될 수 있다. 제3-1 클램프 바디(611)와 제3-2 클램프 바디(621)는, 제3 고정 홈(133)이 연장된 가상의 선(virtual line)을 사이에 두고 배치될 수 있다.The third clamp bodies 611 and 612 may mean at least one of the 3-1 clamp body 611 and the 3-2 clamp body 621 . The third clamp bodies 611 and 612 may be fixed to or coupled to the upper surface of the upper frame body 110 . The 3-1 clamp body 611 and the 3-2 clamp body 621 may be disposed with a virtual line between which the third fixing groove 133 extends.

제3 클램프 핀(612, 622)는, 제3-1 클램프 핀(612)과 제3-2 클램프 핀(622) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제3 클램프 핀(612, 622)은, 제3 클램프 바디(611, 612)에 나사 결합될 수 있다. The third clamp pins 612 and 622 may mean at least one of the 3-1 clamp pin 612 and the 3-2 clamp pin 622 . The third clamp pins 612 and 622 may be screwed to the third clamp bodies 611 and 612 .

예를 들어, 제3-1 클램프 핀(612)은 제3-1 클램프 바디(611)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제3-1 클램프 핀(612)은 제3-2 클램프 모듈(620)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제3-2 클램프 핀(622)은 제3-2 클램프 바디(621)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제3-2 클램프 핀(622)은 제3-1 클램프 모듈(610)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제3 서셉터 샤프트 암(23, 도 1b 참조)은, 제3-1 클램프 핀(612)과 제3-2 클램프 핀(622) 사이에 고정될 수 있다.For example, the 3-1 clamp pin 612 may be moved by being screwed to the 3-1 clamp body 611 . For example, the 3-1 clamp pin 612 may move toward or away from the 3-2 clamp module 620 . For example, the 3-2 clamp pin 622 may be screwed to and moved to the 3-2 clamp body 621 . For example, the 3-2 clamp pin 622 may move closer or farther toward the 3-1 clamp module 610 . For example, the third susceptor shaft arm 23 (see FIG. 1B ) may be fixed between the 3-1 clamp pin 612 and the 3-2 clamp pin 622 .

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임 바디(210)를 나타낸 도면이다.5 is a view showing a lower frame body 210 according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 하부 프레임 유닛(200)은 하부 프레임 바디(210)를 포함할 수 있다. 하부 프레임 바디(210)는 하부 프레임 유닛(200)의 골격을 형성할 수 있다. 하부 프레임 바디(210)는 상면(upper surface)과 하면(lower surface)을 형성할 수 있다. 하부 프레임 바디(210)의 상면은, 상부 프레임 유닛(100)을 마주할 수 있다. 하부 프레임 바디(210)의 하면은, 하부 프레임 바디(210)의 상면의 맞은편에 위치할 수 있다.Referring to FIG. 5 , the lower frame unit 200 may include a lower frame body 210 . The lower frame body 210 may form a skeleton of the lower frame unit 200 . The lower frame body 210 may form an upper surface and a lower surface. An upper surface of the lower frame body 210 may face the upper frame unit 100 . The lower surface of the lower frame body 210 may be positioned opposite the upper surface of the lower frame body 210 .

하부 프레임 유닛(200)은 하부 홀(240)을 포함할 수 있다. 하부 홀(240)은 하부 프레임 바디(210)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 하부 홀(240)은, 하부 프레임 바디(210)의 상면과 하면에 연결될 수 있다. 예를 들어, 하부 홀(240)의 길이 방향은, 상하 방향일 수 있다. 하부 홀(240)의 길이 방향은, 하부 홀(240)이 관통되는 방향을 의미할 수 있다. 하부 홀(240)은 상부 홀(140)의 아래에 위치할 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24, 도 1b 참조)는 하부 홀(240)에 위치할 수 있다.The lower frame unit 200 may include a lower hole 240 . The lower hole 240 may be formed in the lower frame body 210 . For example, the lower hole 240 may be connected to upper and lower surfaces of the lower frame body 210 . For example, the longitudinal direction of the lower hole 240 may be a vertical direction. The longitudinal direction of the lower hole 240 may mean a direction through which the lower hole 240 passes. The lower hole 240 may be located below the upper hole 140 . The lower susceptor shaft body 24 (see FIG. 1B) may be located in the lower hole 240.

하부 홀(240)은, 서셉터 샤프트 바디(24, 25, 도 1b 참조)가 관통 결합되도록 하부 프레임 바디(210)에 형성될 수 있다. 하부 홀(240)은, 하부 고정 모듈(220)과 하부 클램프 모듈(230)의 사이에 위치할 수 있다.The lower hole 240 may be formed in the lower frame body 210 so that the susceptor shaft bodies 24 and 25 (see FIG. 1B) are through-coupled. The lower hole 240 may be located between the lower fixing module 220 and the lower clamp module 230 .

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 고정 모듈(220)을 나타낸 도면이다.6 is a view showing a lower fixing module 220 according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 하부 프레임 유닛(200, 도 2 참조)은 하부 고정 모듈(220)을 포함할 수 있다. 하부 고정 모듈(220)은 하부 프레임 바디(210, 도 5 참조)의 상면에 위치하거나 고정될 수 있다. 하부 고정 모듈(220)은, 하부 프레임 바디(210)와 상부 프레임 바디(110)의 사이에 위치할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the lower frame unit 200 (see FIG. 2 ) may include a lower fixing module 220 . The lower fixing module 220 may be located or fixed to the upper surface of the lower frame body 210 (see FIG. 5). The lower fixing module 220 may be located between the lower frame body 210 and the upper frame body 110 .

하부 고정 모듈(220)은 하부 고정 모듈 전면(221)을 포함할 수 있다. 하부 고정 모듈 전면(221)은, 하부 고정 모듈(220)의 전면(front surface)을 형성할 수 있다. 하부 고정 모듈 전면(221)은, 전방을 향할 수 있다.The lower fixing module 220 may include a lower fixing module front surface 221 . The front surface of the lower fixing module 221 may form a front surface of the lower fixing module 220 . The front surface 221 of the lower fixing module may face forward.

하부 고정 모듈 전면(221)은, 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)과 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)을 포함할 수 있다. 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)과 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)은, 서로 이격될 수 있다. 예를 들어, 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)과 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)은, 좌우 방향으로 이격될 수 있다.The lower fixed module front surface 221 may include a first lower fixed module front surface 2211 and a second lower fixed module front surface 2212 . The first lower fixed module front surface 2211 and the second lower fixed module front surface 2212 may be spaced apart from each other. For example, the first lower fixed module front surface 2211 and the second lower fixed module front surface 2212 may be spaced apart from each other in the left and right directions.

하부 고정 모듈(220)은 하부 고정 모듈 함몰면(222)을 포함할 수 있다. 하부 고정 모듈 함몰면(222)은, 하부 고정 모듈 전면(221)에서 뒤로 함몰되어 형성될 수 있다. 하부 고정 모듈 함몰면(222)은, 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)과 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)을 포함할 수 있다. The lower fixing module 220 may include a lower fixing module recessed surface 222 . The lower fixing module recessed surface 222 may be formed by being recessed backward from the front surface 221 of the lower fixing module. The lower fixed module recessed surface 222 may include a first lower fixed module recessed surface 2221 and a second lower fixed module recessed surface 2222 .

제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)은, 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)에 연결될 수 있다. 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)은, 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)과 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)의 사이에 위치할 수 있다. 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)은, 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)에 연결될 수 있다.The first lower fixed module concave surface 2221 may be connected to the first lower fixed module front surface 2211 . The first lower fixed module recessed surface 2221 may be positioned between the first lower fixed module front surface 2211 and the second lower fixed module recessed surface 2222 . The first lower fixed module recessed surface 2221 may be connected to the second lower fixed module recessed surface 2222 .

제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)은, 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)에 연결될 수 있다. 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)은, 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)과 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)의 사이에 위치할 수 있다. 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)은, 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)에 연결될 수 있다.The second lower fixed module concave surface 2222 may be connected to the second lower fixed module front surface 2212 . The second lower fixed module recessed surface 2222 may be positioned between the second lower fixed module front surface 2212 and the first lower fixed module recessed surface 2221 . The second lower fixed module recessed surface 2222 may be connected to the first lower fixed module recessed surface 2221 .

제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)과 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)의 사이에 하부 고정 홈(223)이 형성될 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24, 도 1b 참조)는 하부 고정 홈(223)에 위치할 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24, 도 1b 참조)은, 예를 들어, 하부 고정 모듈 함몰면(222)에 지지될 수 있다. 하부 고정 모듈(220)이 하부 프레임 바디(210, 도 5 참조)에 결합되거나 고정되면, 하부 고정 홈(223)은 하부 홀(240, 도 5 참조)에 연결되거나 연통될 수 있다.A lower fixing groove 223 may be formed between the first lower fixing module recessed surface 2221 and the second lower fixing module recessed surface 2222 . The lower susceptor shaft body 24 (see FIG. 1B) may be located in the lower fixing groove 223. The lower susceptor shaft body 24 (see FIG. 1B) may be supported on the lower fixing module recessed surface 222, for example. When the lower fixing module 220 is coupled or fixed to the lower frame body 210 (see FIG. 5), the lower fixing groove 223 may be connected to or communicate with the lower hole 240 (see FIG. 5).

하부 고정 홈(223)은 노치(notch) 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 하부 고정 홈(223)의 폭은, 함몰된 방향으로 갈수록 좁아질 수 있다. 하부 고정 홈(223)은, 하부 클램프 모듈(230)과 마주하는 하부 고정 모듈(220)의 일 면에서 함몰되어 형성될 수 있다.The lower fixing groove 223 may be formed in a notch shape. For example, the width of the lower fixing groove 223 may become narrower in the recessed direction. The lower fixing groove 223 may be formed by being recessed on one side of the lower fixing module 220 facing the lower clamp module 230 .

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임 유닛(200)을 나타낸 도면이다. 7 is a view showing a lower frame unit 200 according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 하부 프레임 유닛(200)은 하부 클램프 모듈(230)을 포함할 수 있다. 하부 클램프 모듈(230)은 하부 프레임 바디(210)의 일면(a surface)에 위치할 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 모듈(230)은 하부 프레임 바디(210)의 상면에 위치할 수 있다. 하부 클램프 모듈(230)은, "제4 클램프 모듈"이라 칭할 수 있다. 하부 클램프 모듈(230)은, 하부 고정 모듈(220)의 앞에 위치할 수 있다. 하부 클램프 유닛(220, 230)은, 하부 고정 모듈(220)과 하부 클램프 모듈(230) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 유닛(220, 230)은, 하부 고정 모듈(220)과 하부 클램프 모듈(230)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7 , the lower frame unit 200 may include a lower clamp module 230 . The lower clamp module 230 may be located on a surface of the lower frame body 210 . For example, the lower clamp module 230 may be located on the upper surface of the lower frame body 210 . The lower clamp module 230 may be referred to as a “fourth clamp module”. The lower clamp module 230 may be located in front of the lower fixing module 220 . The lower clamp units 220 and 230 may refer to at least one of the lower fixing module 220 and the lower clamp module 230 . For example, the lower clamp units 220 and 230 may include a lower fixing module 220 and a lower clamp module 230 .

하부 클램프 모듈(230)은 하부 클램프 바디(231)를 포함할 수 있다. 하부 클램프 바디(231)는 하부 클램프 바디(210)의 상면에 위치할 수 있다. 하부 클램프 바디(231)는 하부 클램프 바디(210)에 고정될 수 있다. 하부 클램프 바디(231)는, 하부 고정 모듈(220)의 앞에 위치하되 하부 고정 모듈(220)에 이격될 수 있다. 하부 클램프 바디(231)는, 하부 홀(240)의 앞에 위치할 수 있다.The lower clamp module 230 may include a lower clamp body 231 . The lower clamp body 231 may be located on an upper surface of the lower clamp body 210 . The lower clamp body 231 may be fixed to the lower clamp body 210 . The lower clamp body 231 is positioned in front of the lower fixing module 220 but may be spaced apart from the lower fixing module 220 . The lower clamp body 231 may be located in front of the lower hole 240 .

하부 클램프 모듈(230)은 하부 클램프 핀(232)을 포함할 수 있다. 하부 클램프 핀(232)은 하부 클램프 바디(231)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 핀(232)은 하부 클램프 바디(231)에 나사 결합될 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 핀(232)은 하부 클램프 바디(231)에서 전후 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 핀(232)은, 하부 고정 모듈(220)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 하부 클램프 핀(232)과 하부 고정 모듈 함몰면(222, 도 6 참조)은, 하부 서셉터 샤프트 바디(24, 도 1b 참조)를 고정할 수 있다.The lower clamp module 230 may include a lower clamp pin 232 . The lower clamp pin 232 may be coupled to the lower clamp body 231 . For example, the lower clamp pin 232 may be screwed to the lower clamp body 231 . For example, the lower clamp pin 232 may move forward and backward in the lower clamp body 231 . For example, the lower clamp pin 232 may be closer to or farther from the lower fixing module 220 . The lower clamp pin 232 and the lower fixing module recessed surface 222 (see FIG. 6) may fix the lower susceptor shaft body 24 (see FIG. 1B).

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연결 프레임 유닛(300)을 나타낸 도면이다.8 is a view showing a connection frame unit 300 according to an embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 연결 프레임 유닛(300)은, 주 연결 프레임(310)을 포함할 수 있다. 주 연결 프레임(310)은, 상부 프레임 유닛(100, 도 2 참조)의 후단부와 하부 프레임 유닛(200, 도 2 참조)의 후단부 중 적어도 하나에 연결될 수 있다. 예를 들어, 주 연결 프레임(310)의 상단부는, 상부 프레임 유닛(100, 도 2 참조)에 연결되거나 결합될 수 있다. 예를 들어, 주 연결 프레임(310)의 하단부는, 하부 프레임 유닛(200)에 연결되거나 결합될 수 있다. 주 연결 프레임(310)은, 상부 프레임 유닛(100, 도 2 참조)의 뒤에 위치할 수 있다. 주 연결 프레임(310)은, 하부 프레임 유닛(200, 도 2 참조)의 뒤에 위치할 수 있다. 주 연결 프레임(310)은, 강자성 소재를 포함하는 재료로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 8 , the connection frame unit 300 may include a main connection frame 310 . The main connection frame 310 may be connected to at least one of the rear end of the upper frame unit 100 (see FIG. 2) and the rear end of the lower frame unit 200 (see FIG. 2). For example, the upper end of the main connection frame 310 may be connected to or coupled to the upper frame unit 100 (see FIG. 2). For example, the lower end of the main connection frame 310 may be connected to or coupled to the lower frame unit 200 . The main connection frame 310 may be located behind the upper frame unit 100 (see FIG. 2). The main connecting frame 310 may be located behind the lower frame unit 200 (see FIG. 2). The main connecting frame 310 may be formed of a material including a ferromagnetic material.

연결 프레임 유닛(300)은, 상부 연결 프레임(320)을 포함할 수 있다. 상부 연결 프레임(320)의 일측은, 상부 프레임 유닛(100, 도 2 참조)에 결합될 수 있다. 상부 연결 프레임(320)의 타측은, 주 연결 프레임(310)에 결합될 수 있다. 상부 연결 프레임(320)은, 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 상부 연결 프레임(320)은, 제1 상부 연결 프레임(321)과 제2 상부 연결 프레임(322)을 포함할 수 있다.The connection frame unit 300 may include an upper connection frame 320 . One side of the upper connection frame 320 may be coupled to the upper frame unit 100 (see FIG. 2). The other side of the upper connection frame 320 may be coupled to the main connection frame 310 . The upper connection frame 320 may be provided in plurality. For example, the upper connection frame 320 may include a first upper connection frame 321 and a second upper connection frame 322 .

연결 프레임 유닛(300)은, 하부 연결 프레임(330)을 포함할 수 있다. 하부 연결 프레임(330)의 일측은, 하부 프레임 유닛(200, 도 2 참조)에 결합될 수 있다. 하부 연결 프레임(330)의 타측은, 주 연결 프레임(310)에 결합될 수 있다. 하부 연결 프레임(330)은, 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 하부 연결 프레임(330)은, 제1 하부 연결 프레임(331)과 제2 하부 연결 프레임(332)을 포함할 수 있다.The connection frame unit 300 may include a lower connection frame 330 . One side of the lower connection frame 330 may be coupled to the lower frame unit 200 (see FIG. 2). The other side of the lower connection frame 330 may be coupled to the main connection frame 310 . The lower connection frame 330 may be provided in plurality. For example, the lower connection frame 330 may include a first lower connection frame 331 and a second lower connection frame 332 .

도 9는 서셉터 샤프트(20)가 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 고정된 모습을 나타낸 도면이다.9 is a view showing a state in which the susceptor shaft 20 is fixed to the susceptor shaft processing jig 10.

도 1 내지 도 9를 참조하면, 서셉터 샤프트(20)는 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 고정될 수 있다. 서셉터 샤프트(20)가 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 고정된 상태에서, 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)의 단부 또는/및 상부 서셉터 샤프트 바디(25)의 단부가 용이하게 가공될 수 있다.1 to 9 , the susceptor shaft 20 may be fixed to the susceptor shaft processing jig 10. In a state where the susceptor shaft 20 is fixed to the susceptor shaft processing jig 10, the ends of the susceptor shaft arms 21, 22, 23 or/and the end of the upper susceptor shaft body 25 are easily can be processed.

복수의 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 상부 홀(140)의 외부에 위치하며, 상부 홀(140)을 중심으로 방위각 방향으로 배치될 수 있다. 고정 홈(130)은 상부 홀(140)에 연결되거나 연통될 수 있다. 고정 홈(130)은, 상부 홀(140)에서 연장되어 경사면(120)을 가로질러 상부 프레임 바디(110)에 이어질 수 있다. 방위각 방향은, 상하 방향을 축으로 원주 방향을 의미할 수 있다.The plurality of upper clamp units 400 , 500 , and 600 are located outside the upper hole 140 and may be disposed in an azimuthal direction around the upper hole 140 . The fixing groove 130 may be connected to or communicate with the upper hole 140 . The fixing groove 130 may extend from the upper hole 140 to cross the inclined surface 120 and lead to the upper frame body 110 . The azimuthal direction may refer to a circumferential direction with a vertical direction as an axis.

상부 프레임 유닛(100), 하부 프레임 유닛(200), 그리고 연결 프레임 유닛(300) 중 적어도 하나는, 강자성 소재를 포함하는 재료로 형성될 수 있다.At least one of the upper frame unit 100, the lower frame unit 200, and the connection frame unit 300 may be formed of a material including a ferromagnetic material.

하부 고정 모듈(220)의 하부 고정 모듈 전면(221)은 하부 클램프 모듈(230)을 마주할 수 있다. 하부 클램프 모듈(230)은, 하부 홀(240)을 기준으로 하부 고정 모듈(220)의 맞은편에 위치할 수 있다.The lower fixing module front surface 221 of the lower fixing module 220 may face the lower clamp module 230 . The lower clamp module 230 may be positioned opposite the lower fixing module 220 based on the lower hole 240 .

서셉터 샤프트(20)는 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터 샤프트 가공 지그(10)를 이용하여 공작 기계에 의해 가공될 수 있다. The susceptor shaft 20 may be processed by a machine tool using the susceptor shaft processing jig 10 according to an embodiment of the present invention.

서셉터 샤프트(20)가 가공되기 전(前)에, 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 자력(magnetic force)을 가하여 서셉터 샤프트 가공 지그(10)를 공작 기계에 마운트(mount)시킬 수 있다. 공작 기계는, 예를 들어, MCT일 수 있다. Before the susceptor shaft 20 is processed, a magnetic force may be applied to the susceptor shaft processing jig 10 to mount the susceptor shaft processing jig 10 on a machine tool. . The machine tool may be, for example, an MCT.

공작 기계에 샤프트 가공 지그(10)가 마운트된 이후, 서셉터 샤프트(20)는 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 고정될 수 있다. 이후, 공작 기계는 서셉터 샤프트(20)를 가공할 수 있다. 공작 기계는, 서셉터 샤프트(20)의 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)과 서셉터 샤프트 바디(24, 25)를 특정 기하 공차(직각도, 평면도)를 만족하도록 가공할 수 있다.After the shaft processing jig 10 is mounted on the machine tool, the susceptor shaft 20 may be fixed to the susceptor shaft processing jig 10 . After that, the machine tool may process the susceptor shaft 20 . The machine tool may process the susceptor shaft arms 21 , 22 , and 23 and the susceptor shaft bodies 24 and 25 of the susceptor shaft 20 to satisfy a specific geometrical tolerance (perpendicularity, flatness).

공작 기계에 의해 서셉터 샤프트(20)의 가공이 완료되면, 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 가해진 자력을 해제하여, 서셉터 샤프트 가공 지그(10)를 공작 기계에서 분리시킬 수 있다.When the machining of the susceptor shaft 20 is completed by the machine tool, the magnetic force applied to the susceptor shaft machining jig 10 may be released to separate the susceptor shaft machining jig 10 from the machine tool.

앞에서 설명된 본 발명의 어떤 실시예 또는 다른 실시예들은 서로 배타적이거나 구별되는 것은 아니다. 앞서 설명된 본 발명의 어떤 실시예들 또는 다른 실시예들은 각각의 구성 또는 기능이 병용되거나 조합될 수 있다. Any or other embodiments of the present invention described above are not mutually exclusive or distinct from each other. Certain or other embodiments of the present invention described above may be used in combination or combination of respective components or functions.

본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다. 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니 되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.It is apparent to those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit and essential characteristics of the present invention. The above detailed description should not be construed as limiting in all respects and should be considered illustrative. The scope of the present invention should be determined by reasonable interpretation of the appended claims, and all changes within the equivalent scope of the present invention are included in the scope of the present invention.

10: 서셉터 샤프트 가공 지그 100: 상부 프레임 유닛
200: 하부 프레임 유닛 300: 연결 프레임 유닛
400: 제1 클램프 유닛 500: 제2 클램프 유닛
600: 제3 클램프 유닛10: susceptor shaft processing jig 100: upper frame unit
200: lower frame unit 300: connection frame unit
400: first clamp unit 500: second clamp unit
600: third clamp unit

Claims (12)

서셉터 샤프트 바디 및 상기 서셉터 샤프트 바디에 결합된 복수의 서셉터 샤프트 암을 포함하는 서셉터 샤프트를 고정하도록 마련되는 서셉터 샤프트 가공 지그로서,
상부 프레임 유닛;
상기 상부 프레임 유닛의 아래에 위치하는 하부 프레임 유닛;
상기 상부 프레임 유닛과 상기 하부 프레임 유닛을 연결하도록 마련되는 연결 프레임 유닛;
상기 복수의 서셉터 샤프트 암을 고정시키며, 상기 상부 프레임 유닛에 배치되는 상부 클램프 유닛; 및
상기 서셉터 샤프트 바디를 고정시키며, 상기 하부 프레임 유닛에 배치되는 하부 클램프 유닛을 포함하는,
서셉터 샤프트 가공 지그.A susceptor shaft processing jig provided to fix a susceptor shaft including a susceptor shaft body and a plurality of susceptor shaft arms coupled to the susceptor shaft body,
upper frame unit;
a lower frame unit positioned under the upper frame unit;
a connection frame unit provided to connect the upper frame unit and the lower frame unit;
an upper clamp unit fixing the plurality of susceptor shaft arms and disposed on the upper frame unit; and
Fixing the susceptor shaft body and including a lower clamp unit disposed on the lower frame unit,
Susceptor shaft machining jig. 제1항에 있어서,
상기 상부 프레임 유닛은,
상기 상부 클램프 유닛이 배치되는 상면(上面)을 형성하는 상부 프레임 바디;
상기 상부 프레임 바디에 상하 방향으로 관통되어 형성되는 상부 홀; 및
상기 상부 프레임 바디의 상면에 함몰되어 형성되고, 상기 복수의 서셉터 샤프트 암이 안착되는, 고정 홈을 포함하는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 1,
The upper frame unit,
an upper frame body forming an upper surface on which the upper clamp unit is disposed;
an upper hole formed through the upper frame body in a vertical direction; and
It is formed by being depressed on the upper surface of the upper frame body and includes a fixing groove in which the plurality of susceptor shaft arms are seated.
Susceptor shaft machining jig. 제2항에 있어서,
상기 상부 프레임 유닛은,
상기 상부 프레임 바디의 상면에 형성되며, 상기 상부 홀을 향할수록 하향 경사지는 경사면을 더 포함하는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 2,
The upper frame unit,
Formed on the upper surface of the upper frame body, further comprising an inclined surface inclined downward toward the upper hole,
Susceptor shaft machining jig. 제3항에 있어서,
상기 고정 홈은,
상기 경사면에 복수 개로 형성되며 서로 이격되어 배치되는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 3,
The fixing groove,
Formed in plurality on the inclined surface and disposed spaced apart from each other,
Susceptor shaft machining jig. 제3항에 있어서,
상기 상부 클램프 유닛은,
상기 상부 홀의 외측에 위치하며, 상기 상부 홀의 둘레를 따라 이격되어 배치되는 복수의 상부 클램프 유닛을 포함하는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 3,
The upper clamp unit,
Located outside the upper hole, including a plurality of upper clamp units disposed spaced apart along the circumference of the upper hole,
Susceptor shaft machining jig. 제1항에 있어서,
상기 상부 클램프 유닛은,
서로 마주하며 이격되어 배치되는 제1 클램프 모듈 및 제2 클램프 모듈을 포함하고,
상기 제1 클램프 모듈 및 상기 제2 클램프 모듈 각각은,
상부 클램프 바디; 및
상기 상부 클램프 바디에 이동 가능하게 결합하여, 상기 제1 클램프 모듈과 상기 제2 클램프 모듈의 사이에 배치되는 상기 복수의 서셉터 샤프트 암을 가압하여 고정시키는, 상부 클램프 핀을 포함하는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 1,
The upper clamp unit,
Including a first clamp module and a second clamp module facing each other and spaced apart,
Each of the first clamp module and the second clamp module,
upper clamp body; and
Including an upper clamp pin movably coupled to the upper clamp body and pressurizing and fixing the plurality of susceptor shaft arms disposed between the first clamp module and the second clamp module,
Susceptor shaft machining jig. 제1항에 있어서,
상기 하부 클램프 유닛은,
서로 마주하며 이격 배치되는 하부 고정 모듈과 하부 클램프 모듈을 포함하고,
상기 하부 클램프 모듈은,
하부 클램프 바디; 및
상기 하부 클램프 바디에 이동 가능하게 결합되어, 상기 하부 고정 모듈 및 상기 하부 클램프 모듈 사이에 배치되는 상기 서셉터 샤프트 바디를 가압하여 고정시키는, 하부 클램프 핀을 포함하는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 1,
The lower clamp unit,
Including a lower fixing module and a lower clamp module facing each other and spaced apart,
The lower clamp module,
lower clamp body; and
Including a lower clamp pin movably coupled to the lower clamp body and pressurizing and fixing the susceptor shaft body disposed between the lower fixing module and the lower clamp module,
Susceptor shaft machining jig. 제7항에 있어서,
상기 하부 고정 모듈은,
상기 서셉터 샤프트 바디가 결합될 수 있도록, 상기 하부 클램프 모듈과 마주하는 일 면에 함몰되어 형성되는, 하부 고정 홈을 포함하고,
상기 하부 고정 홈은,
함몰된 방향으로 갈수록 좁아지는 폭을 가지는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 7,
The lower fixing module,
And a lower fixing groove formed by being recessed on one surface facing the lower clamp module so that the susceptor shaft body can be coupled thereto,
The lower fixing groove,
With a width that becomes narrower in the depressed direction,
Susceptor shaft machining jig. 제7항에 있어서,
상기 상부 프레임 유닛은,
상기 상부 클램프 유닛이 배치되는 상면을 형성하는 상부 프레임 바디; 및
상기 상부 프레임 바디에 상하 방향으로 관통되어 형성되는 상부 홀을 포함하고,
상기 하부 프레임 유닛은,
상기 하부 고정 모듈 및 상기 하부 클램프 모듈이 배치되는 하부 프레임 바디; 및
상기 서셉터 샤프트 바디가 관통 결합되도록 상기 하부 프레임 바디에 형성되고, 상기 상부 홀에 대응되도록 상기 하부 고정 모듈 및 상기 하부 클램프 모듈 사이에 위치하는 하부 홀을 포함하는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 7,
The upper frame unit,
an upper frame body forming an upper surface on which the upper clamp unit is disposed; and
And an upper hole formed through the upper frame body in a vertical direction,
The lower frame unit,
a lower frame body in which the lower fixing module and the lower clamp module are disposed; and
A lower hole formed in the lower frame body so that the susceptor shaft body is through-coupled and located between the lower fixing module and the lower clamp module to correspond to the upper hole,
Susceptor shaft machining jig. 제1항에 있어서,
상기 상부 프레임 유닛, 상기 하부 프레임 유닛 및 상기 연결 프레임 유닛 중 적어도 하나는 강자성 소재로 형성되는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 1,
At least one of the upper frame unit, the lower frame unit, and the connection frame unit is formed of a ferromagnetic material,
Susceptor shaft machining jig. 상부 프레임 유닛;
상기 상부 프레임 유닛과 마주하며 이격 배치되는 하부 프레임 유닛; 및
상기 상부 프레임 유닛과 상기 하부 프레임 유닛을 연결하도록 마련되는, 연결 프레임 유닛을 포함하고,
상기 상부 프레임 유닛, 상기 하부 프레임 유닛 및 상기 연결 프레임 유닛 중 적어도 하나는 강자성 소재를 포함하는,
서셉터 샤프트 가공 지그.upper frame unit;
a lower frame unit facing the upper frame unit and spaced apart; and
A connection frame unit provided to connect the upper frame unit and the lower frame unit,
At least one of the upper frame unit, the lower frame unit, and the connection frame unit includes a ferromagnetic material,
Susceptor shaft machining jig. 제11항에 있어서,
상기 연결 프레임 유닛은,
상기 상부 프레임 유닛의 후단부 및 상기 하부 프레임 유닛의 후단부 중 적어도 하나에 연결되는 주 연결 프레임을 포함하고,
상기 주 연결 프레임은 강자성을 가지는 소재를 포함하는,
서셉터 샤프트 가공 지그.According to claim 11,
The connection frame unit,
A main connecting frame connected to at least one of a rear end of the upper frame unit and a rear end of the lower frame unit,
The main connecting frame includes a material having ferromagnetism,
Susceptor shaft machining jig.
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