KR102477825B1 - camera shutter unit for apparatus for evaluating thermal characteristics and apparatus for evaluating thermal characteristics having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛을 제공한다. 상기 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛은 본체부의 내부 공간에 배치되며, 증착 재료가 수용되는 공간이 형성된 재료 저장부; 상기 본체부에 설치되며, 상기 재료 저장부를 일정의 가열 온도로 가열시키는 가열부; 상기 재료 저장부의 상부에서 수직한 방향을 따라 승강되되, 상기 재료 저장부의 상단부에 형성된 모니터링 홀을 통해 상기 재료 저장부의 공간으로 진입 가능한 모니터링 부; 및, 상기 모니터링 부의 진입 동작에 따라 상기 모니터링 홀을 개폐하는 셔터부를 포함한다. 또한 본 발명은 상기 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛을 갖는 열안정성 평가 장치도 제공한다.The present invention provides a camera shutter unit for a thermal stability evaluation device. The camera shutter unit for the thermal stability evaluation apparatus is disposed in the inner space of the main body and includes a material storage unit having a space in which a deposition material is accommodated; a heating unit installed in the main body and heating the material storage unit to a predetermined heating temperature; a monitoring unit capable of being elevated from the top of the material storage unit in a vertical direction and entering the space of the material storage unit through a monitoring hole formed at an upper end of the material storage unit; and a shutter unit opening and closing the monitoring hole according to an entry operation of the monitoring unit. In addition, the present invention also provides a thermal stability evaluation device having a camera shutter unit for the thermal stability evaluation device.

Description

열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛 및 이를 갖는 열안정성 평가 장치{camera shutter unit for apparatus for evaluating thermal characteristics and apparatus for evaluating thermal characteristics having the same}Camera shutter unit for thermal stability evaluation apparatus and thermal stability evaluation apparatus having the same {camera shutter unit for apparatus for evaluating thermal characteristics and apparatus for evaluating thermal characteristics having the same}

본 발명은 다수의 OLED용 재료 포집이 가능한 열안정성 평가 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a thermal stability evaluation device capable of collecting a plurality of OLED materials.

통상, OLED용 유기증착재료는 증착공정 시 증착원(evaporation) 내에서 장시간 동안 증착온도(0.03~0.3nm/s 정도의 박막 증착속도를 얻기 위한 재료의 기화온도)로 가열되는데 이 때 증착재료의 이성질체화, 상전이, 열분해 등의 물리, 화학적 경시 변화가 제조된 OLED 소자의 품질에 영향을 미칠 수 있다.In general, the organic vapor deposition material for OLED is heated to the deposition temperature (evaporation temperature of the material to obtain a thin film deposition rate of about 0.03 to 0.3 nm/s) for a long time in an evaporation source during the deposition process. Physical and chemical changes over time, such as isomerization, phase transition, and thermal decomposition, can affect the quality of manufactured OLED devices.

그리고 새로운 재료를 개발하는데 있어서 이들의 장시간 열안정성(long-term thermal stability)을 정확히 파악해야 한다.And in developing new materials, their long-term thermal stability must be accurately identified.

이러한 경우 열안정성 평가 대상인 증착 재료가 가열되는 동안에 발생되는 상태를 실시간으로 모니터링 함이 중요하다.In this case, it is important to monitor in real time the state generated while the evaporation material, which is the subject of thermal stability evaluation, is heated.

즉, 증착 재료가 가열되면서 증착 재료가 수용되는 공간에서의 기화 상태 및 증착 물질의 잔존량 및 증착 물질의 물리적인 상태를 모니링하면서 정상적으로 기화되는 지의 여부를 확인하여야 한다.That is, while the evaporation material is heated, it is necessary to check whether the evaporation material is normally vaporized while monitoring the evaporation state in the space where the evaporation material is accommodated, the remaining amount of the evaporation material, and the physical state of the evaporation material.

이에 따라 근래에 들어 평가 대상인 증착 물질이 가열되는 공간에 카메라 모듈을 직접적으로 진입시켜 증착 물질의 상태를 확인하는 기술이 개발이 요구된다.Accordingly, in recent years, it is required to develop a technology for checking the state of a deposition material by directly entering a camera module into a space where the deposition material to be evaluated is heated.

대한민국 등록특허 제10-1988394호Republic of Korea Patent Registration No. 10-1988394

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 제 1목적은 증착 물질이 가열되는 공간에 프로브 타입의 카메라를 진입시켜 가열 공간에서의 증착 물질의 물리적인 상태를 실시간으로 확인하도록 함과 아울러, 카메라가 증착 물질이 저장되는 공간으로 인입 및 인출되는 경우 해당 부분을 자동으로 개폐할 수 있는 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛 및 이를 갖는 열안정성 평가 장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, and a first object of the present invention is to check the physical state of the deposition material in the heating space in real time by entering a probe-type camera into the space where the deposition material is heated. In addition, it is to provide a camera shutter unit for a thermal stability evaluation device capable of automatically opening and closing the corresponding part when the camera is drawn in and out of a space where deposition materials are stored, and a thermal stability evaluation device having the same.

또한 본 발명의 제 2목적은 증착 물질이 가열되는 공간에 카메라 모듈이 인입 및 인출되는 과정에서 카메라의 선단부를 물리적으로 세정하여 카메라의 가시성을 확보하도록 하는 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛 및 이를 갖는 열안정성 평가 장치를 제공하는 것이다.In addition, a second object of the present invention is a camera shutter unit for a thermal stability evaluation device that secures the visibility of the camera by physically cleaning the front end of the camera while the camera module is drawn in and out of the space where the deposition material is heated, and having the same It is to provide a thermal stability evaluation device.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects and advantages of the present invention not mentioned above can be understood by the following description and will be more clearly understood by the examples of the present invention. It will also be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by means of the instrumentalities and combinations indicated in the claims.

상술한 과제를 달성하기 위해, 본 발명은 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a camera shutter unit for a thermal stability evaluation device.

상기 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛은 본체부의 내부 공간에 배치되며, 증착 재료가 수용되는 공간이 형성된 재료 저장부;The camera shutter unit for the thermal stability evaluation apparatus is disposed in the inner space of the main body and includes a material storage unit having a space in which a deposition material is accommodated;

상기 본체부에 설치되며, 상기 재료 저장부를 일정의 가열 온도로 가열시키는 가열부;a heating unit installed in the main body and heating the material storage unit to a predetermined heating temperature;

상기 재료 저장부의 상부에서 수직한 방향을 따라 승강되되, 상기 재료 저장부의 상단부에 형성된 모니터링 홀을 통해 상기 재료 저장부의 공간으로 진입 가능한 모니터링 부; 및,a monitoring unit capable of being elevated from the top of the material storage unit in a vertical direction and entering the space of the material storage unit through a monitoring hole formed at an upper end of the material storage unit; and,

상기 모니터링 부의 진입 동작에 따라 상기 모니터링 홀을 개폐하는 셔터부를 포함한다.and a shutter unit opening and closing the monitoring hole according to an entry operation of the monitoring unit.

여기서 상기 모니터링 부는,Here, the monitoring unit,

일정 길이를 갖는 승강봉과,An elevating rod having a certain length;

상기 승강봉의 하단에 형성되는 투명관과,A transparent tube formed at the lower end of the lift rod;

상기 투명관의 내부에 배치되는 카메라와,A camera disposed inside the transparent tube;

상기 본체부의 상단부에 설치되며, 상기 승강봉을 승강시키는 승강기를 구비하는 것이 바람직하다.It is preferable to have an elevator installed at an upper end of the main body and to elevate the elevating bar.

그리고 상기 재료 저장부는,And the material storage unit,

저장부 몸체와,a storage body;

상기 저장부 몸체의 상단에 결합되며, 상기 모니터링 홀이 형성된 커버를 구비하되,It is coupled to the upper end of the storage body and has a cover in which the monitoring hole is formed,

상기 셔터부는,The shutter part,

상기 모니터링 홀 주변 영역에 설치되는 것이 바람직하다.Preferably, it is installed in an area around the monitoring hole.

또한 상기 셔터부는,In addition, the shutter unit,

상기 모니터링 홀의 양측에 배치되도록 상기 커버의 저면에 서로 마주보도록 배치되고, 힌지단을 구비하여 회전 가능하게 배치되는 한 쌍의 개폐 부재와,a pair of opening/closing members disposed on both sides of the monitoring hole to face each other on the lower surface of the cover and rotatably disposed with hinged ends;

상기 한 쌍의 개폐 부재 각각의 상기 힌지단에 설치되는 토션 스프링을 구비하되,A torsion spring installed at the hinge end of each of the pair of opening and closing members,

상기 한 쌍의 개폐 부재의 선단은 서로 결합되는 단차를 형성하는 것이 바람직하다.It is preferable that the front ends of the pair of opening and closing members form a step coupled to each other.

또한 상기 투명관의 하단은,In addition, the lower end of the transparent tube,

반구 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.It is preferably formed in a hemispherical shape.

또한 상기 한 쌍의 개폐 부재의 상단면에는,In addition, on the upper surface of the pair of opening and closing members,

내열성을 갖는 세정 부재가 부착되는 것이 바람직하다.It is preferable to attach a cleaning member having heat resistance.

또한 상기 커버의 상단에는,In addition, at the top of the cover,

상기 모니터링 홀을 에워싸도록 상방으로 연장되는 연장관이 설치되고,An extension tube extending upward is installed to surround the monitoring hole,

상기 연장관은,The extension pipe,

상기 모니터링 홀의 둘레를 에워싸는 U형상의 제 1연장부와,A U-shaped first extension part surrounding the circumference of the monitoring hole;

상기 제 1연장부의 양단에 일단이 연결되는 ㄷ 형상의 제 2연장부를 구비하고,A c-shaped second extension having one end connected to both ends of the first extension,

상기 연장관의 상단에는 일단부가 상기 제 2연장부에 고정되며, 타단부가 휘어지는 내열성을 갖는 유연성 부재가 배치되는 것이 바람직하다.It is preferable that a flexible member having heat resistance having one end fixed to the second extension part and the other end bent is disposed at an upper end of the extension tube.

또한 상기 유연성 부재는,In addition, the flexible member,

상기 제 2연장부의 상단에 고정되는 제 1유연성 부재와,a first flexible member fixed to an upper end of the second extension part;

상기 제 1유연성 부재의 타단에 연결되며, 상기 제 1연장부의 상단에 위치되는 제 2유연성 부재를 구비하되,A second flexible member connected to the other end of the first flexible member and positioned at an upper end of the first extension part,

상기 모니터링 부가 하강되면, 상기 제 2유연성 부재는 하강되는 상기 투명관에 눌려 휘는 것이 바람직하다.When the monitoring unit descends, the second flexible member is preferably bent by being pressed by the descending transparent tube.

또한 상기 제 2유연성 부재의 상면에는,In addition, on the upper surface of the second flexible member,

일정의 거칠기가 형성되는 세정층이 더 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that a cleaning layer in which a certain roughness is formed is further formed.

다른 실시예에 있어서, 본 발명은 상술한 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛을 포함하는 열안정성 평가 장치도 제공한다.In another embodiment, the present invention also provides a thermal stability evaluation device including the above-described camera shutter unit for the thermal stability evaluation device.

이와 같이 본 발명은 증착 물질이 가열되는 공간에 프로브 타입의 카메라를 진입시켜 가열 공간에서의 증착 물질의 물리적인 상태를 실시간으로 확인하도록 함과 아울러, 카메라가 증착 물질이 저장되는 공간으로 인입 및 인출되는 경우 해당 부분을 자동으로 개폐할 수 있는 효과를 갖는다.As such, the present invention allows a probe-type camera to enter the space where the deposition material is heated to check the physical state of the deposition material in the heating space in real time, and the camera is drawn in and out of the space where the deposition material is stored. If it is, it has the effect of automatically opening and closing the corresponding part.

또한 본 발명은 증착 물질이 가열되는 공간에 카메라 모듈이 인입 및 인출되는 과정에서 카메라의 선단부를 물리적으로 세정하여 카메라의 가시성을 확보하도록 하는 효과를 갖는다.In addition, the present invention has an effect of securing the visibility of the camera by physically cleaning the front end of the camera while the camera module is drawn in and out of the space where the deposition material is heated.

상술한 효과들과 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the effects described above, specific effects of the present invention will be described together while explaining specific details for carrying out the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 열안정성 평가 장치의 내부를 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 모니터링 부가 설치된 상태의 열안정성 평가 장치의 내부를 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 재료 저장부의 구성의 예를 보여주는 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 모니터링 부를 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 모니터링 부가 가열부의 상부에 배치된 예를 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 셔터부의 구성을 보여주는 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 셔터부의 구성을 보여주는 저면 사시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 한 쌍의 개폐 부재를 보여주는 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 한 쌍의 개폐 부재의 동작을 보여주는 도면들이다.
도 10은 본 발명에 따른 커버의 상단에 연장관이 더 설치되는 예를 보여주는 사시도이다.
도 11은 투명관이 진입되는 상태에서의 연장관에 설치된 유연성 부재의 거동을 보여주는 사시도이다.
도 12는 본 발명에 따른 중량 측정부를 보여주는 사시도이다.
도 13은 본 발명에 따른 포집부가 배치된 구성을 보여주는 사시도이다.
도 14는 본 발명에 따른 포집부가 배치된 구성을 보여주는 다른 사시도이다.
도 15는 본 발명에 따른 고정판을 보여주는 사시도이다.
도 16은 본 발명에 따른 회전판을 보여주는 사시도이다.
도 17은 본 발명에 따른 고정판과 회전판의 결합 관계를 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view showing the inside of a thermal stability evaluation device according to the present invention.
2 is a perspective view showing the inside of a thermal stability evaluation device in a state in which a monitoring unit is installed according to the present invention.
3 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of a material storage unit according to the present invention.
4 is a perspective view showing a monitoring unit according to the present invention.
5 is a perspective view showing an example in which the monitoring unit is disposed above the heating unit according to the present invention.
6 is a perspective view showing the configuration of a shutter unit according to the present invention.
7 is a bottom perspective view showing the configuration of a shutter unit according to the present invention.
8 is a perspective view showing a pair of opening and closing members according to the present invention.
9 are views showing the operation of a pair of opening and closing members according to the present invention.
10 is a perspective view showing an example in which an extension tube is further installed at the top of the cover according to the present invention.
11 is a perspective view showing the behavior of a flexible member installed in an extension tube in a state in which a transparent tube enters.
12 is a perspective view showing a weight measuring unit according to the present invention.
13 is a perspective view showing a configuration in which the collecting unit is disposed according to the present invention.
14 is another perspective view showing a configuration in which the collecting unit is disposed according to the present invention.
15 is a perspective view showing a fixing plate according to the present invention.
16 is a perspective view showing a rotating plate according to the present invention.
17 is a perspective view showing a coupling relationship between a fixed plate and a rotating plate according to the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention.

본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.This invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments set forth herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.

이하에서 기재의 "상부 (또는 하부)" 또는 기재의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 구비 또는 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 기재의 상면 (또는 하면)에 접하여 구비 또는 배치되는 것을 의미한다.Hereinafter, the provision or arrangement of an arbitrary element on the "upper (or lower)" or "upper (or lower)" of the base material means that the arbitrary element is provided or disposed in contact with the upper (or lower) surface of the base material. means that

또한, 상기 기재와 기재 상에 (또는 하에) 구비 또는 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성을 포함하지 않는 것으로 한정하는 것은 아니다.In addition, it is not limited to not including other components between the substrate and any components provided or disposed on (or under) the substrate.

다음은 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛 및 이를 갖는 열안정성 평가 장치를 설명한다.Next, a camera shutter unit for a thermal stability evaluation apparatus and a thermal stability evaluation apparatus having the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

여기서 본 발명에 따른 카메라 셔터 유닛은 상기의 열안정성 평가 장치에 포함되는 구성으로서 상기 열안정성 평가 장치를 설명함에 포함하여 설명하기로 한다.Here, the camera shutter unit according to the present invention will be described, including the description of the thermal stability evaluation device as a component included in the thermal stability evaluation device.

도 1은 본 발명에 따른 열안정성 평가 장치의 내부를 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 모니터링 부가 설치된 상태의 열안정성 평가 장치의 내부를 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view showing the inside of a thermal stability evaluation device according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing the inside of the thermal stability evaluation device in a state in which a monitoring unit is installed according to the present invention.

도 1 및 도 2를 참조 하면, 본 발명에 따른 열안정성 평가 장치는 본체부(100)와, 재료 저장부(200)와, 가열부(300)와, 포집부(400)와, 모니터링 부(500)로 구성된다.1 and 2, the thermal stability evaluation apparatus according to the present invention includes a body part 100, a material storage part 200, a heating part 300, a collecting part 400, and a monitoring part ( 500).

상기 각 구성을 설명한다.Each of the above configurations will be described.

본체부(100)Body part (100)

본 발명에 따른 본체부(100)는 내부 공간이 형성된 박스 형상으로 형성된다. 상기 본체부(100)의 내부에는 진공이 형성되는 것이 좋다. 상기 본체부(100)는 내열성을 갖는 재질로 형성된다.The body portion 100 according to the present invention is formed in a box shape with an internal space formed therein. It is preferable that a vacuum is formed inside the body part 100 . The body part 100 is formed of a material having heat resistance.

상기 본체부(100)는 도어(미도시)를 갖는다. 상기 도어는 회전식 또는 슬라이딩 방식의 개폐 구조를 가질 수 있다.The body part 100 has a door (not shown). The door may have a rotational or sliding opening and closing structure.

재료 저장부(200)Material storage unit 200

도 3은 본 발명에 따른 재료 저장부의 구성의 예를 보여주는 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of a material storage unit according to the present invention.

도 3을 참조 하면, 본 발명에 따른 재료 저장부(200)는 상기 본체부(200)의 내부 공간의 바닥에 배치된다.Referring to FIG. 3 , the material storage unit 200 according to the present invention is disposed on the bottom of the inner space of the body unit 200.

상기 재료 저장부(200)는 내부에 저장 공간이 형성된다.The material storage unit 200 has a storage space formed therein.

상기 재료 저장부(200)는 저장부 몸체(210)와 다수의 유통관(220)을 갖는다.The material storage unit 200 has a storage unit body 210 and a plurality of distribution pipes 220.

상기 저장부 몸체(210)의 내부에는 상기의 저장 공간이 형성된다. 상기 저장 공간에는 평가 대상인 소정의 증착 물질이 일정량 저장된다.The storage space is formed inside the storage body 210 . A certain amount of a predetermined deposition material to be evaluated is stored in the storage space.

여기서 상기 저장부 몸체(210)의 상단은 커버(211)를 구비하여, 커버(211)의 개폐를 통해 저장 공간을 개폐할 수 있다. 상기 커버(211)는 별도의 잠금 장치를 통해 폐쇄 상태가 유지될 수 있다.Here, the top of the storage body 210 is provided with a cover 211, the storage space can be opened and closed by opening and closing the cover 211. The cover 211 may be maintained in a closed state through a separate locking device.

상기 다수의 유통관(220)은 상기 저장부 몸체(210)의 상단에 형성되며, 서로 일정 간격을 이루어 상방을 따라 돌출되도록 형성된다.The plurality of distribution tubes 220 are formed at an upper end of the storage body 210, and are formed to protrude upward along a predetermined distance from each other.

상기 다수의 유통관(210)은 원통 형상의 관 또는 다각 형상의 관으로 형성될 수 있다.The plurality of distribution tubes 210 may be formed as cylindrical tubes or polygonal tubes.

상기 다수의 유통관(210)은 저장부 몸체(210)의 상단부에 형성된 유통홀들(210a) 각각과 연결된다. 상기 유통홀들(210a)은 저장 공간과 연통된다.The plurality of distribution pipes 210 are connected to each of the distribution holes 210a formed at the upper end of the storage body 210 . The distribution holes 210a communicate with the storage space.

상기 다수의 유통홀(210a)은 하단에서 상단을 따라 점진적으로 벌어지는 형상으로 형성될 수도 있다.The plurality of distribution holes 210a may be formed in a shape gradually widening from the bottom to the top.

상기 다수의 유통관(220) 각각의 내주에는 증착 물질이 증착되지 않는 슬립층이 더 코팅될 수도 있다.A slip layer on which no deposition material is deposited may be further coated on the inner circumference of each of the plurality of distribution pipes 220 .

또한 상기 저장부 몸체(210)의 상단에는 상기 다수의 유통관(220)과 이격되는 위치에 모니터링 관(230)이 돌출 형성된다. In addition, a monitoring pipe 230 is protruded from the upper end of the storage body 210 at a position spaced apart from the plurality of distribution pipes 220 .

가열부(300)Heating unit 300

도 3을 참조 하면, 본 발명에 따른 가열부(300)는 상기 재료 저장부(200)의 측부 및 하부 둘레를 에워싸도록 배치되며, 내부에 가열 코일(311)이 배치되는 코일 부재(310)와, 상기 가열 코일(311)로 일정의 전류를 제공하여, 상기 가열 코일(311)을 가열시키는 전류 제공기(320)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the heating unit 300 according to the present invention is disposed to surround the side and lower circumferences of the material storage unit 200, and the coil member 310 in which the heating coil 311 is disposed and a current provider 320 for providing a constant current to the heating coil 311 to heat the heating coil 311 .

상기 전류 제공기(320)는 제어부(600)의 제어에 따라 구동된다.The current provider 320 is driven under the control of the control unit 600 .

상기 가열 코일(311)은 제공 받는 전류에 따라 가열된다. 이에 저장부 몸체(210)는 가열되고, 저장부 몸체(210)의 저장 공간에 저장된 증착 재료는 가열된다.The heating coil 311 is heated according to the current provided. Accordingly, the storage body 210 is heated, and the deposition material stored in the storage space of the storage body 210 is heated.

상기 저장부 몸체(210)는 저장 공간에서의 온도를 측정하여, 이를 제어부(600)로 전송하는 온도 센서(610)를 구비할 수 있다.The storage body 210 may include a temperature sensor 610 that measures the temperature in the storage space and transmits it to the controller 600 .

이에 제어부(600)는 설정된 가열 온도를 이루도록 가열부(300)를 구동시켜 상기 증착 재료가 기화되도록 할 수 있다.Accordingly, the control unit 600 may vaporize the deposition material by driving the heating unit 300 to achieve a set heating temperature.

또한 상기 재료 저장부(200)는 냉각부(240)를 갖는다.In addition, the material storage unit 200 has a cooling unit 240 .

냉각부(240)Cooling unit 240

도 3을 참조 하면 본 발명에 따른 냉각부(240)는 냉각수 순환 유로(241a)가 형성되는 냉각 부재(241)와, 상기 냉각 부재(241)와 연결되어 일정의 냉각 온도를 이루는 냉각수를 상기 냉각수 순환 유로(241a)를 통해 순환시키는 냉각수 공급기(242)를 갖는다.Referring to FIG. 3 , the cooling unit 240 according to the present invention supplies a cooling member 241 in which a cooling water circulation passage 241a is formed, and cooling water connected to the cooling member 241 to achieve a predetermined cooling temperature. It has a cooling water supply 242 that circulates through the circulation passage 241a.

상기 냉각수 공급기(242)는 제어부(600)의 제어에 의해 구동된다.The cooling water supply 242 is driven by the control of the controller 600 .

여기서 상기 냉각 부재(241)는 상기 코일 부재(310)의 둘레를 에워싸도록 배치된다.Here, the cooling member 241 is disposed to surround the circumference of the coil member 310 .

이에 따라 저장부 몸체(210)는 일정의 냉각 온도를 이루는 냉각수 순환에 의해 일정의 온도로 냉각이 이루어질 수 있다.Accordingly, the storage body 210 may be cooled to a constant temperature by circulating cooling water to achieve a constant cooling temperature.

상기 제어부(600)는 후술되는 중량 측정부(700)에 의해 증착 물질의 중량이 기준 중량에 이르는 경우, 상기 가열부(200)의 구동을 중지하고, 상기 냉각부(240)를 구동시킬 수도 있다.The control unit 600 may stop driving the heating unit 200 and drive the cooling unit 240 when the weight of the deposition material reaches the standard weight by the weight measurement unit 700 described later. .

모니터링 부(500)Monitoring unit 500

도 4는 본 발명에 따른 모니터링 부를 보여주는 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 모니터링 부가 가열부의 상부에 배치된 예를 보여주는 사시도이다.4 is a perspective view showing a monitoring unit according to the present invention, and FIG. 5 is a perspective view showing an example of the monitoring unit disposed above the heating unit according to the present invention.

도 4 및 도 5를 참조 하면, 본 발명에 따른 모니터링 부(500)는 하단이 상기 모니터링 관(230)의 상부에 위치되도록 세워져 배치되는 승강봉(510)과, 상기 승강봉(510)의 하단에 설치되는 카메라(520)와, 상기 승강봉(510)을 승강시키는 승강기(530)로 구성된다. 상기 승강봉(510)의 하단에는 끝단이 둥근 투명관(511)이 형성된다. 상기 카메라(520)는 상기 투명관(511)의 내부에 배치된다.Referring to FIGS. 4 and 5, the monitoring unit 500 according to the present invention includes a lifting rod 510 erected and disposed so that the lower end is located above the monitoring pipe 230, and the lower end of the lifting rod 510. It is composed of a camera 520 installed in and an elevator 530 that lifts the lift bar 510. A transparent tube 511 having a round end is formed at the lower end of the elevating rod 510 . The camera 520 is disposed inside the transparent tube 511 .

상기 승강봉(510)과 상기 투명관(511)의 사이에는 걸림 부재(540)가 설치된다. 상기 걸림 부재(540)는 모니터링 홀(231) 또는 모니터링 관(230) 또는 후술되는 연장부의 상단에 걸리는 스토퍼 역할을 하는 부재이다.A locking member 540 is installed between the lift bar 510 and the transparent tube 511 . The hooking member 540 is a member serving as a stopper caught on the upper end of the monitoring hole 231 or the monitoring tube 230 or an extension to be described later.

상기 승강봉(510)은 스테인레스 재질로 형성된다.The elevating bar 510 is made of stainless material.

상기 승강기(530)의 구동에 의해 상기 승강봉(510)은 하강되고, 상기 카메라(520)는 상기 승강봉(510)의 하단에 설치된 상태로 저장부 몸체(210)에 형성된 모니터링 홀(231)을 통해 상기 저장부 몸체(210)의 저장 공간에 삽입이 가능할 수 있다.The lift bar 510 is lowered by the operation of the elevator 530, and the monitoring hole 231 formed in the storage body 210 with the camera 520 installed at the lower end of the lift bar 510 It may be possible to insert into the storage space of the storage body 210 through.

상기 승강기(530)는 상기 승강봉(510)을 승강시킬 수 있는 승강 실린더를 포함한 다른 장치도 채택이 가능할 수 있다.The elevator 530 may also adopt other devices including an elevator cylinder capable of moving the elevator bar 510 up and down.

상기 승강기(530)는 제어부(600)의 제어에 의해 상기 승강봉(510)을 승강시킨다.The elevator 530 lifts the elevator bar 510 under the control of the control unit 600 .

상기 저장부 몸체(210)의 상단에는 상기 모니터링 홀(231)과 연결되어 상방을 따라 연장되는 모니터링 관(230)이 돌출되어 형성된다.A monitoring tube 230 protrudes from the upper end of the storage body 210 and is connected to the monitoring hole 231 and extends upward.

이에 승강기(530)가 승강봉(510)을 하강시키면, 승강봉(510)의 하단에 설치된 카메라(520)는 모니터링 관(230) 및 모니터링 홀(231)을 통해 저장부 몸체(210)의 저장 공간에 노출된다.Accordingly, when the elevator 530 lowers the elevator rod 510, the camera 520 installed at the lower end of the elevator rod 510 stores the storage body 210 through the monitoring tube 230 and the monitoring hole 231. exposed to space.

그리고 상기 카메라(520)는 상기 저장 공간에 저장된 증착 물질의 양 및 기화시 증착 물질의 기화 상태를 가시적으로 촬상하여 이를 제어부(600)로 전송하여 실시간으로 모니터링이 이루어지도록 할 수 있다.In addition, the camera 520 visually captures an image of the amount of the deposition material stored in the storage space and the vaporization state of the deposition material upon vaporization, and transmits the image to the controller 600 so that monitoring can be performed in real time.

또한 상기 승강봉(510)의 하단은 둥근 형상으로 형성되며, 카메라(520)는 상기 둥근 형상을 이루는 하단 내부에 설치되고, 상기 승강봉(510)의 둥근 하단은 투명한 재질로 형성되는 것이 좋다.In addition, the lower end of the lift bar 510 is formed in a round shape, the camera 520 is installed inside the lower end forming the round shape, and the round lower end of the lift bar 510 is preferably formed of a transparent material.

셔터부(800)Shutter unit 800

도 6은 본 발명에 따른 셔터부의 구성을 보여주는 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 셔터부의 구성을 보여주는 저면 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 한 쌍의 개폐 부재를 보여주는 사시도이다.Figure 6 is a perspective view showing the configuration of the shutter unit according to the present invention, Figure 7 is a bottom perspective view showing the configuration of the shutter unit according to the present invention, Figure 8 is a perspective view showing a pair of opening and closing members according to the present invention.

도 6 및 도 7을 참조 하면, 본 발명에 따른 셔터부(800)는 모니터링 홀(231) 주변 영역에 설치된다.Referring to FIGS. 6 and 7 , the shutter unit 800 according to the present invention is installed in an area around the monitoring hole 231 .

상기 셔터부(800)는 상기 모니터링 홀(231)의 양측에 배치되도록 상기 커버(211)의 저면에 서로 마주보도록 배치되고, 힌지단(811)을 구비하여 회전 가능하게 배치되는 한 쌍의 개폐 부재(810)와, 상기 한 쌍의 개폐 부재(810) 각각의 상기 힌지단(811)에 설치되는 토션 스프링(820)을 갖는다.The shutter unit 800 is disposed facing each other on the bottom surface of the cover 211 so as to be disposed on both sides of the monitoring hole 231, and has a hinge end 811 and is rotatably disposed. A pair of opening and closing members 810, and a torsion spring 820 installed at the hinge end 811 of each of the pair of opening and closing members 810.

상기 한 쌍의 개폐 부재(810)의 선단은 서로 결합되는 단차(812)를 형성한다. 어느 하나의 개폐 부재(810)는 단차(812)를 이루도록 단면이 ㄴ 형상으로 형성되고, 마주보는 다른 하나의 개폐 부재(810)는 평면일 이루는 판 상으로 형성된다.The front ends of the pair of opening and closing members 810 form a step 812 coupled to each other. One opening/closing member 810 is formed in an L-shaped cross section to form a step 812, and the other opening/closing member 810 facing each other is formed on a flat plate.

상기 투명관(511)의 하단은 반구 형상으로 형성된다.The lower end of the transparent tube 511 is formed in a hemispherical shape.

또한 상기 한 쌍의 개폐 부재(810)의 상단면에는 내열성을 갖는 세정 부재(812)가 부착될 수도 있다.In addition, a cleaning member 812 having heat resistance may be attached to the top surface of the pair of opening and closing members 810 .

도 9는 본 발명에 따른 한 쌍의 개폐 부재의 동작을 보여주는 도면들이다.9 are views showing the operation of a pair of opening and closing members according to the present invention.

도 9를 참조 하면, 한 쌍의 개폐 부재(810)는 서로 결합되어 막힌 상태를 이룬다.Referring to FIG. 9 , a pair of opening and closing members 810 are coupled to each other to form a closed state.

승강기(530)의 구동에 의해 승강봉(510)이 하강되면, 승강봉(510)의 하단에 형성된 투명관(511)의 하단은 한 쌍의 개폐 부재(810)의 결합 부분의 상면을 누른다.When the lift bar 510 is lowered by the driving of the elevator 530, the lower end of the transparent tube 511 formed at the lower end of the lift bar 510 presses the upper surface of the coupling portion of the pair of opening and closing members 810.

이에 따라 한 쌍의 개폐 부재(810) 각각은 각각의 힌지단(811)을 통해 하방으로 회전된다. 이때 각각의 토션 스프링(820)을 통해 원상태로 복귀되려는 탄성력을 갖는다.Accordingly, each of the pair of opening and closing members 810 is rotated downward through each hinge end 811 . At this time, it has an elastic force to return to its original state through each torsion spring 820.

따라서 투명관(811)은 저장부 몸체(210)의 내부에 위치되고, 투명관(511)의 내부에 배치된 카메라(520)는 저장부 몸체(210)의 내부에 수용되어 가열을 통해 기화되는 증착 재료의 물리적인 상태 및 잔존량들을 촬상하도록 할 수 있다.Therefore, the transparent tube 811 is located inside the storage body 210, and the camera 520 disposed inside the transparent tube 511 is accommodated inside the storage body 210 and vaporized through heating. It is possible to image the physical state and remaining amount of the deposition material.

역으로 승강봉(510)이 원위치로 상승되면, 한 쌍의 개폐 부재(810)는 토션 스프링(820)을 통해 원위치로 회전되고, 이에 따라 한 쌍의 개폐 부재(810)는 서로 결합되어 모니터링 홀(231)을 폐쇄한다.Conversely, when the elevating bar 510 is raised to the original position, the pair of opening and closing members 810 are rotated to the original position through the torsion spring 820, and accordingly, the pair of opening and closing members 810 are coupled to each other through the monitoring hole. Close (231).

도 10은 본 발명에 따른 커버의 상단에 연장관이 더 설치되는 예를 보여주는 사시도이고, 도 11은 투명관이 진입되는 상태에서의 연장관에 설치된 유연성 부재의 거동을 보여주는 사시도이다.10 is a perspective view showing an example in which an extension pipe is further installed on top of the cover according to the present invention, and FIG. 11 is a perspective view showing the behavior of a flexible member installed in the extension pipe in a state in which the transparent pipe enters.

도 10 및 도 11을 참조 하면, 상기 커버(211)의 상단에는 상기 모니터링 홀(231) 및 모니터링 관(230)을 에워싸도록 상방으로 연장되는 연장관(240)이 설치된다.10 and 11, an extension pipe 240 extending upward to surround the monitoring hole 231 and the monitoring pipe 230 is installed at an upper end of the cover 211.

상기 연장관(240)은 상기 모니터링 홀(231)의 둘레를 에워싸는 U형상의 제 1연장부(241)와, 상기 제 1연장부(241)의 양단에 일단이 연결되는 ㄷ 형상의 제 2연장부(242)를 갖는다.The extension tube 240 includes a U-shaped first extension portion 241 surrounding the monitoring hole 231 and a C-shaped second extension portion having one end connected to both ends of the first extension portion 241. (242).

상기 연장관(240)의 상단에는 일단부가 상기 제 2연장부(242)에 고정되며, 타단부가 휘어지는 내열성을 갖는 유연성 부재(250)가 배치된다.A flexible member 250 having heat resistance, one end of which is fixed to the second extension part 242 and the other end of which is bent, is disposed at an upper end of the extension pipe 240 .

또한 상기 유연성 부재(250)는 상기 제 2연장부(242)의 상단에 고정되는 제 1유연성 부재(251)와, 상기 제 1유연성 부재(251)의 타단에 연결되며, 상기 제 1연장부(241)의 상단에 위치되는 제 2유연성 부재(252)로 형성된다.In addition, the flexible member 250 is connected to the first flexible member 251 fixed to the upper end of the second extension part 242 and the other end of the first flexible member 251, and the first extension part ( 241) is formed of a second flexible member 252 positioned at the upper end.

상기 모니터링 부(500)가 하강되면, 상기 제 2유연성 부재(252)는 하강되는 상기 투명관(511)에 눌려 휠 수 있다.When the monitoring unit 500 descends, the second flexible member 252 may be bent by being pressed by the descending transparent tube 511 .

이를 통해 본 발명에서는 유연성 부재(250)를 개폐 수단의 역할을 할 수 있도록 모너터링 홀(231)의 상부에 배치되도록 하여 2중의 개폐 역할을 하도록 할 수 있다.Through this, in the present invention, the flexible member 250 can be disposed above the monitoring hole 231 so that it can serve as an opening and closing means, so that it can play a double opening and closing role.

또한 상기 제 2유연성 부재(252)의 상면에는 일정의 거칠기가 형성되는 세정층(미도시)이 더 형성될 수 있다.In addition, a cleaning layer (not shown) having a certain roughness may be further formed on the upper surface of the second flexible member 252 .

이에 따라 투명관(511)이 저장부 몸체(210)의 내부에 진입되기 이전에 투명관(511)의 하단이 세정층에 의해 크리닝 되도록 하여 실제 저장부 몸체(210)의 내부에 투명관(511)이 투입되어 그 내부에 장착된 카메라(520)를 통해 증착 물질의 상태를 촬상하는 경우 가시성을 용이하게 확보하도록 할 수 있다.Accordingly, before the transparent tube 511 enters the inside of the storage body 210, the lower end of the transparent tube 511 is cleaned by the cleaning layer, so that the transparent tube 511 is inside the actual storage body 210 ) is input to easily secure visibility when the state of the deposition material is captured through the camera 520 mounted therein.

상기의 구성 및 작용에 따라 본 발명은 증착 물질이 가열되는 공간에 프로브 타입의 카메라를 진입시켜 가열 공간에서의 증착 물질의 물리적인 상태를 실시간으로 확인하도록 함과 아울러, 카메라가 증착 물질이 저장되는 공간으로 인입 및 인출되는 경우 해당 부분을 자동으로 개폐할 수 있다.According to the above configuration and operation, the present invention allows a probe-type camera to enter the space where the deposition material is heated to check the physical state of the deposition material in the heating space in real time, and the camera stores the deposition material. When it is drawn in and out of the space, the corresponding part can be opened and closed automatically.

또한 본 발명은 증착 물질이 가열되는 공간에 카메라 모듈이 인입 및 인출되는 과정에서 카메라의 선단부를 물리적으로 세정하여 카메라의 가시성을 확보하도록 할 수 있다.In addition, the present invention can secure the visibility of the camera by physically cleaning the front end of the camera while the camera module is drawn in and out of the space where the deposition material is heated.

다음은 상기와 같이 구성되는 열안정성 평가 장치에 포함되는 다른 구성을 더 설명한다.Next, other configurations included in the thermal stability evaluation device configured as described above will be further described.

중량 측정부(700)Weight measuring unit 700

도 12는 본 발명에 따른 중량 측정부를 보여주는 사시도이다.12 is a perspective view showing a weight measuring unit according to the present invention.

도 1 내지 도 12를 참조 하면, 상기 본체부(100)에는 상기 재료 저장부(200)에 저장되는 상기 증착 재료의 중량을 측정하는 중량 측정부(700)가 설치된다.Referring to FIGS. 1 to 12 , a weight measurement unit 700 for measuring the weight of the deposition material stored in the material storage unit 200 is installed in the main body 100 .

상기 중량 측정부(700)는 상기 저장부 몸체(210)의 하단에 연결되어, 상기 증착 재료의 중량을 측정하는 로드셀(730)을 포함한다.The weight measurement unit 700 includes a load cell 730 connected to the lower end of the storage unit body 210 to measure the weight of the deposition material.

저장부 몸체(210)의 하부에 위치되는 본체부(100)의 바닥에는 홀(101)이 형성된다.A hole 101 is formed at the bottom of the main body 100 located below the storage body 210 .

상기 홀(101)의 측부에는 로드셀(730)이 배치된다. 상기 로드셀(730)은 제어부(600)와 전기적으로 연결된다.A load cell 730 is disposed on the side of the hole 101 . The load cell 730 is electrically connected to the controller 600.

상기 저장부 몸체(210)는 하방으로 연장되는 4개의 지지대들(710)을 구비한다.The storage body 210 includes four supports 710 extending downward.

상기 지지대들(710)의 상단은 저장부 몸체(210)의 하단 모서리에 연결된다.Upper ends of the supports 710 are connected to lower edges of the storage body 210 .

상기 지지대들(710)은 상술한 냉각부(240) 및 가열부(200)를 관통하여 설치된다. 즉 상기 냉각부(240) 및 상기 가열부(200)에는 상기 지지대들(710)이 관통되는 관통홀이 형성되는 것이 좋다.The supports 710 are installed through the cooling unit 240 and the heating unit 200 described above. That is, it is preferable that through-holes through which the supports 710 pass through are formed in the cooling part 240 and the heating part 200 .

상기 지지대들(710)의 하단은 하나의 지지판(720)에 고정된다.Lower ends of the supports 710 are fixed to one support plate 720 .

상기 지지판(720)은 상술한 로드셀(730)의 상단에 고정된다.The support plate 720 is fixed to the top of the load cell 730 described above.

이에 따라 상기 로드셀(730)은 상기 저장부 몸체(210)에 저장된 증착 물질의 중량을 측정할 수 있다.Accordingly, the load cell 730 may measure the weight of the deposition material stored in the storage body 210 .

이때, 상기 제어부(600)에는 상기 저장부 몸체(210)의 중량에 대하여 영점 조절이 이루어지도록 설정된다.At this time, the control unit 600 is set to perform zero point adjustment for the weight of the storage unit body 210 .

포집부(400)Collecting unit (400)

도 13은 본 발명에 따른 포집부가 배치된 구성을 보여주는 사시도이고, 도 14는 본 발명에 따른 포집부가 배치된 구성을 보여주는 다른 사시도이고, 도 15는 본 발명에 따른 고정판을 보여주는 사시도이고, 도 16은 본 발명에 따른 회전판을 보여주는 사시도이고, 도 17은 본 발명에 따른 고정판과 회전판의 결합 관계를 보여주는 사시도이다.13 is a perspective view showing a configuration in which the collecting unit is disposed according to the present invention, FIG. 14 is another perspective view showing a configuration in which the collecting unit is disposed according to the present invention, and FIG. 15 is a perspective view showing a fixing plate according to the present invention, and FIG. is a perspective view showing a rotary plate according to the present invention, and FIG. 17 is a perspective view showing a coupling relationship between a fixed plate and a rotary plate according to the present invention.

도 13 내지 도 17을 참조 하면, 본 발명에 따른 포집부(400)는 상기 재료 저장부(200)의 상부에 배치되도록 상기 본체부(100)의 내부 공간의 측벽에 고정되며, 상기 재료 저장부(200)의 상부에 위치되도록 돌출되며, 포집 안내홀(411)이 형성된 고정판(410)과, 상기 고정판(410)에 회전 중심을 이루어 회전 가능하게 배치되고, 원주를 따라 일정 간격을 이루어 형성되고, 회전됨에 따라 순차적으로 상기 포집 안내홀(411)과 위치가 일치되는 다수의 안착홀(421)을 갖는 회전판(420)과, 상기 다수의 안착홀(421)에 안착되며, 내부에 증착면이 형성되는 다수의 포집 부재들(430)과, 상기 회전판(420)을 회전시키는 회전기(440)로 구성된다.13 to 17, the collecting unit 400 according to the present invention is fixed to the side wall of the inner space of the main body 100 so as to be disposed above the material storage unit 200, the material storage unit A fixing plate 410 protrudes to be located on the upper part of the 200 and has a collection guide hole 411 formed thereon, and is rotatably arranged at the center of rotation on the fixing plate 410, formed at regular intervals along the circumference, As it is rotated, the rotating plate 420 having a plurality of seating holes 421 sequentially matched in position with the collection guide holes 411 is seated on the plurality of seating holes 421, and the deposition surface is formed therein. It is composed of a plurality of collecting members 430 formed and a rotator 440 rotating the rotating plate 420 .

상기 회전기(440)는 모터축(441)과, 상기 모터축(441)을 회전시키는 모터(442)를 갖는다. 상기 모터(442)는 제어부(600)의 제어에 의해 상기 모터축(441)을 회전시킨다.The rotating machine 440 has a motor shaft 441 and a motor 442 rotating the motor shaft 441 . The motor 442 rotates the motor shaft 441 under the control of the control unit 600 .

상기 모터축(441)은 본체부(100)의 상단에서 내부 공간으로 일정 길이 세워져 연장된다.The motor shaft 441 is erected at a certain length and extends from the upper end of the main body 100 to the inner space.

상기 모터축(441)의 하단은 상술한 회전판(420)의 중심에 연결된다.The lower end of the motor shaft 441 is connected to the center of the rotating plate 420 described above.

상기 모터축(441)의 회전에 따라 상기 회전판(420)은 회전된다.As the motor shaft 441 rotates, the rotating plate 420 rotates.

이에 상기 회전기(440)는 상기 다수의 안착홀(421)이 순차적으로 상기 포집 안내홀(411)과 위치가 일치되도록 상기 회전판(420)을 회전시킬 수 있다.Accordingly, the rotator 440 may rotate the rotating plate 420 so that the plurality of seating holes 421 are sequentially aligned with the collection guide holes 411 .

또한 상기 다수의 포집 부재(430)는 투명의 재질로 형성되며, 상단에서 하방을 따라 점진적으로 확장되고, 내측에 상기 증착면이 형성된다.In addition, the plurality of collecting members 430 are formed of a transparent material, gradually expand from the top to the bottom, and the deposition surface is formed on the inside.

상기 다수의 포집 부재(430) 각각은 꼬깔 형상으로 형성된다. 각각의 포집 부재(430)의 상단 꼭지점에는 일정 길이의 로드(431)가 형성된다. 상기 로드(431)는 그립 역할을 할 수 있다.Each of the plurality of collecting members 430 is formed in a cone shape. A rod 431 having a certain length is formed at the top vertex of each collecting member 430 . The rod 431 may serve as a grip.

상기 다수의 포집 부재(430) 각각의 하단은 원형의 테두리를 형성하며, 상기의 안착홀(421)의 둘레에 형성되는 단턱에 안착된다.The lower end of each of the plurality of collecting members 430 forms a circular rim and is seated on a step formed around the seating hole 421 .

또한, 본 발명에 따른 포집부(400)는 포집 안내부(450)를 더 구비한다.In addition, the collecting unit 400 according to the present invention further includes a collecting guide unit 450 .

상기 포집 안내부(450)는 고정 부재(451)와, 포집 안내판(452)을 구비한다.The collecting guide part 450 includes a fixing member 451 and a collecting guide plate 452 .

상기 고정 부재(451)의 하단은 상기 저장부 몸체(210)의 측부에 고정되어 세워져 설치된다. 상기 고정 부재(451)는 판 상으로 형성된다.The lower end of the fixing member 451 is fixed to the side of the storage body 210 and installed. The fixing member 451 is formed in a plate shape.

상기 포집 안내판(452)의 일단은 상기 고정 부재(451)의 상단에 고정되며, 상기 포집 안내홀(411)이 상기 유통홀들(210a)에 노출되도록 타단이 상기 회전판(420)의 저면을 따라 비스듬하게 배치된다.One end of the collecting guide plate 452 is fixed to an upper end of the fixing member 451, and the other end is along the bottom surface of the rotating plate 420 so that the collecting guide hole 411 is exposed to the distribution holes 210a. placed obliquely

이에 상기 고정 부재(451)는 세워져 설치됨으로써 상기 포집 안내판(452)은 상기 고정 부재(451)의 상단에 고정되어 일정 각도로 경사진 상태로 배치된다.Accordingly, since the fixing member 451 is erected and installed, the collecting guide plate 452 is fixed to an upper end of the fixing member 451 and is disposed inclined at a predetermined angle.

상기 포집 안내판(452)은 상기 고정판(410)의 하부에 배치되며, 그 상단은 상술한 포집 안내홀(411)이 저장부 몸체(210)의 상부에 노출될 수 있도록 배치된다.The collection guide plate 452 is disposed below the fixing plate 410, and its upper end is disposed so that the above-described collection guide hole 411 can be exposed to the upper portion of the storage body 210.

또한 상기 저장부 몸체(210)의 상단에는 판 상의 보조 고정 부재(454)가 세워져 설치된다.In addition, a plate-shaped auxiliary fixing member 454 is erected and installed at the upper end of the storage body 210 .

상기 보조 고정 부재(454)는 판 상으로 형성된다.The auxiliary fixing member 454 is formed in a plate shape.

상기 보조 고정 부재(454)의 하단은 다수의 유통관(220)이 상기 고정판(410)의 포집 안내홀(411)에 노출되도록 구획하는 역할을 한다.The lower end of the auxiliary fixing member 454 serves to divide the plurality of distribution pipes 220 to be exposed to the collection guide holes 411 of the fixing plate 410 .

이에 따라 상기 다수의 유통관(220)은 상기 고정 부재(451)와 상기 보조 고정 부재(454)의 사이 공간을 통해 상기 포집 안내홀(411)에 노출된다.Accordingly, the plurality of distribution pipes 220 are exposed to the collection guide hole 411 through a space between the fixing member 451 and the auxiliary fixing member 454 .

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다. The present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and various modifications can be made by anyone skilled in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes are within the scope of the claims.

100 : 본체부
200 : 재료 저장부
300 : 가열부
400 : 포집부
500 : 모니터링 부
600 : 제어부
700 : 중량 측정부100: body part
200: material storage unit
300: heating unit
400: collection unit
500: monitoring unit
600: control unit
700: weight measuring unit

Claims (10)

본체부의 내부 공간에 배치되며, 증착 재료가 수용되는 공간이 형성된 재료 저장부;
상기 본체부에 설치되며, 상기 재료 저장부를 일정의 가열 온도로 가열시키는 가열부;
상기 재료 저장부의 상부에서 수직한 방향을 따라 승강되되, 상기 재료 저장부의 상단부에 형성된 모니터링 홀을 통해 상기 재료 저장부의 공간으로 진입 가능한 모니터링 부; 및,
상기 모니터링 부의 진입 동작에 따라 상기 모니터링 홀을 개폐하는 셔터부를 포함하되,
상기 모니터링 부는, 일정 길이를 갖는 승강봉과, 상기 승강봉의 하단에 형성되는 투명관과, 상기 투명관의 내부에 배치되는 카메라와, 상기 본체부의 상단부에 설치되며, 상기 승강봉을 승강시키는 승강기를 구비하고,
상기 재료 저장부는, 저장부 몸체와, 상기 저장부 몸체의 상단에 결합되며, 상기 모니터링 홀이 형성된 커버를 구비하되,
상기 셔터부는, 상기 모니터링 홀 주변 영역에 설치되고,
상기 셔터부는,
상기 모니터링 홀의 양측에 배치되도록 상기 커버의 저면에 서로 마주보도록 배치되고, 힌지단을 구비하여 회전 가능하게 배치되는 한 쌍의 개폐 부재와,
상기 한 쌍의 개폐 부재 각각의 상기 힌지단에 설치되는 토션 스프링을 구비하되,
상기 한 쌍의 개폐 부재의 선단은 서로 결합되는 단차를 형성하는 것을 특징으로 하는 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛.
a material storage unit disposed in the inner space of the main body unit and having a space in which a deposition material is accommodated;
a heating unit installed in the main body and heating the material storage unit to a predetermined heating temperature;
a monitoring unit capable of being elevated from the top of the material storage unit in a vertical direction and entering the space of the material storage unit through a monitoring hole formed at an upper end of the material storage unit; and,
Including a shutter unit that opens and closes the monitoring hole according to the entry operation of the monitoring unit,
The monitoring unit includes an elevating bar having a certain length, a transparent tube formed at a lower end of the elevating bar, a camera disposed inside the transparent tube, and an elevator installed at an upper end of the main body to elevate the lifting bar. do,
The material storage unit includes a storage body and a cover coupled to an upper end of the storage body and having the monitoring hole formed therein,
The shutter unit is installed in an area around the monitoring hole,
The shutter part,
a pair of opening/closing members disposed on both sides of the monitoring hole to face each other on the lower surface of the cover and rotatably disposed with hinged ends;
A torsion spring installed at the hinge end of each of the pair of opening and closing members,
The camera shutter unit for the thermal stability evaluation device, characterized in that the front ends of the pair of opening and closing members form a step coupled to each other.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 투명관의 하단은,
반구 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛.
According to claim 1,
The lower end of the transparent tube,
A camera shutter unit for a thermal stability evaluation device, characterized in that formed in a hemispherical shape.
 제 5항에 있어서,
상기 한 쌍의 개폐 부재의 상단면에는,
내열성을 갖는 세정 부재가 부착되는 것을 특징으로 하는 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛.
According to claim 5,
On the top surface of the pair of opening and closing members,
A camera shutter unit for a thermal stability evaluation device, characterized in that a cleaning member having heat resistance is attached.
 제 1항에 있어서,
상기 커버의 상단에는,
상기 모니터링 홀을 에워싸도록 상방으로 연장되는 연장관이 설치되고,
상기 연장관은,
상기 모니터링 홀의 둘레를 에워싸는 U형상의 제 1연장부와,
상기 제 1연장부의 양단에 일단이 연결되는 ㄷ 형상의 제 2연장부를 구비하고,
상기 연장관의 상단에는 일단부가 상기 제 2연장부에 고정되며, 타단부가 휘어지는 내열성을 갖는 유연성 부재가 배치되는 것을 특징으로 하는 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛.
According to claim 1,
At the top of the cover,
An extension tube extending upward is installed to surround the monitoring hole,
The extension pipe,
A U-shaped first extension portion surrounding the circumference of the monitoring hole;
A c-shaped second extension having one end connected to both ends of the first extension,
A camera shutter unit for a thermal stability evaluation apparatus, characterized in that a flexible member having heat resistance having one end fixed to the second extension and the other end bent is disposed at the upper end of the extension tube.
 제 7항에 있어서,
상기 유연성 부재는,
상기 제 2연장부의 상단에 고정되는 제 1유연성 부재와,
상기 제 1유연성 부재의 타단에 연결되며, 상기 제 1연장부의 상단에 위치되는 제 2유연성 부재를 구비하되,
상기 모니터링 부가 하강되면, 상기 제 2유연성 부재는 하강되는 상기 투명관에 눌려 휘는 것을 특징으로 하는 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛.
According to claim 7,
The flexible member,
a first flexible member fixed to an upper end of the second extension part;
A second flexible member connected to the other end of the first flexible member and positioned at an upper end of the first extension part,
When the monitoring unit descends, the second flexible member is bent by being pressed by the descending transparent tube.
 제 8항에 있어서,
상기 제 2유연성 부재의 상면에는,
일정의 거칠기가 형성되는 세정층이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛.
According to claim 8,
On the upper surface of the second flexible member,
A camera shutter unit for a thermal stability evaluation device, characterized in that a cleaning layer in which a certain roughness is formed is further formed.
 제 1항, 제 5항 내지 제 9항 중 어느 한 항의 열안정성 평가 장치용 카메라 셔터 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 열안정성 평가 장치.
A thermal stability evaluation device comprising the camera shutter unit for the thermal stability evaluation device according to any one of claims 1 and 5 to 9.
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