KR102477821B1 - 다수의 oled용 재료 포집이 가능한 열안정성 평가 장치 - Google Patents

다수의 oled용 재료 포집이 가능한 열안정성 평가 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치를 제공한다. 상기 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치는 내부 공간이 형성되는 본체부; 상기 본체부의 내부 공간의 하부에 배치되며, 증착 재료가 저장되며, 상단에 상기 증착 재료가 가열되어 외부로 유통되는 유통홀들이 형성된 재료 저장부; 상기 재료 저장부에 저장된 상기 증착 재료를 설정되는 가열 온도로 가열하는 가열부; 상기 재료 저장부의 상부에 배치되도록 상기 본체부의 내부 공간의 측벽에 설치되며, 유통되는 상기 증착 재료를 포집하는 포집부; 및, 상기 본체부에 설치되며, 상기 재료 저장부의 내부에 저장된 상기 증착 재료를 가시적으로 모니터링하는 모니터링 부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치.

Description

다수의 OLED용 재료 포집이 가능한 열안정성 평가 장치{Apparatus for evaluating thermal characteristics of OLED materials}
본 발명은 다수의 OLED용 재료 포집이 가능한 열안정성 평가 장치에 관한 것이다.
통상, OLED용 유기증착재료는 증착공정 시 증착원(evaporation) 내에서 장시간 동안 증착온도(0.03~0.3nm/s 정도의 박막 증착속도를 얻기 위한 재료의 기화온도)로 가열되는데 이 때 증착재료의 이성질체화, 상전이, 열분해 등의 물리, 화학적 경시 변화가 제조된 OLED 소자의 품질에 영향을 미칠 수 있다.
그리고 새로운 재료를 개발하는데 있어서 이들의 장시간 열안정성(long-term thermal stability)을 정확히 파악해야 한다.
이에 따라 다양한 증착 재료를 실제 증착 공정이 이루어지기 이전에 실제 증착 조건을 이루는 환경에서 하나의 장치 내에서 다양한 증착 재료에 대한 열안정성 평가를 진행할 수 있는 기술의 개발이 요구된다.
대한민국 등록특허 제10-1988394호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 제 1목적은 실제 증착 환경을 이루어 서로 다른 종류의 재료를 증착시킴과 아울러 증착되는 재료를 개별적으로 포집할 수 있는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 제 2목적은 증착 재료가 가열되는 과정에서 증착 재료의 가열 상태 및 재료의 잔존량을 실시간으로 모니터링할 수 있는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
상술한 과제를 달성하기 위해, 본 발명은 다수의 OLED용 재료 포집이 가능한 열안정성 평가 장치를 제공한다.
상기 다수의 OLED용 재료 포집이 가능한 열안정성 평가 장치는 내부 공간이 형성되는 본체부;
상기 본체부의 내부 공간의 하부에 배치되며, 증착 재료가 저장되며, 상단에 상기 증착 재료가 가열되어 외부로 유통되는 유통홀들이 형성된 재료 저장부;
상기 재료 저장부에 저장된 상기 증착 재료를 설정되는 가열 온도로 가열하는 가열부;
상기 재료 저장부의 상부에 배치되도록 상기 본체부의 내부 공간의 측벽에 설치되며, 유통되는 상기 증착 재료를 포집하는 포집부; 및,
상기 본체부에 설치되며, 상기 재료 저장부의 내부에 저장된 상기 증착 재료를 가시적으로 모니터링하는 모니터링 부;를 포함한다.
여기서 상기 재료 저장부는,
내부에 상기 증착 재료가 저장되는 저장 공간이 형성되는 저장부 몸체와,
상기 저장 공간과 연통되도록 상기 저장부 몸체의 상단에 상방으로 돌출되도록 형성되며, 상기 유통홀들을 형성하는 다수의 유통관을 구비하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 가열부는,
상기 재료 저장부의 측부 및 하부 둘레를 에워싸도록 배치되며, 내부에 가열 코일이 배치되는 코일 부재와,
상기 가열 코일로 일정의 전류를 제공하여, 상기 가열 코일을 가열시키는 전류 제공기를 구비하는 것이 바람직하다.
또한 상기 재료 저장부는 냉각부를 구비하되,
상기 냉각부는,
냉각수 순환 유로가 형성되는 냉각 부재와,
상기 냉각 부재와 연결되어 일정의 냉각 온도를 이루는 냉각수를 상기 냉각수 순환 유로를 통해 순환시키는 냉각수 공급기를 구비하되,
상기 냉각 부재는,
상기 코일 부재의 둘레를 에워싸도록 배치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 본체부는,
상기 재료 저장부에 저장되는 상기 증착 재료의 중량을 측정하는 중량 측정부를 구비하되,
상기 중량 측정부는,
상기 저장부 몸체의 하단에 연결되어, 상기 증착 재료의 중량을 측정하는 로드셀인 것이 바람직하다.
또한 상기 포집부는,
상기 재료 저장부의 상부에 배치되도록 상기 본체부의 내부 공간의 측벽에 고정되며, 상기 재료 저장부의 상부에 위치되도록 돌출되며, 포집 안내홀이 형성된 고정판과,
상기 고정판에 회전 중심을 이루어 회전 가능하게 배치되고, 원주를 따라 일정 간격을 이루어 형성되고, 회전됨에 따라 순차적으로 상기 포집 안내홀과 위치가 일치되는 다수의 안착홀을 갖는 회전판과,
상기 다수의 안착홀에 안착되며, 내부에 증착면이 형성되는 다수의 포집 부재들과,
상기 회전판을 회전시키는 회전기를 구비하되,
상기 회전기는,
상기 다수의 안착홀이 순차적으로 상기 포집 안내홀과 위치가 일치되도록 상기 회전판을 회전시키는 것이 바람직하다.
또한 상기 다수의 포집 부재는,
투명의 재질로 형성되며, 상단에서 하방을 따라 점진적으로 확장되고, 내측에 상기 증착면이 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 포집부는,
포집 안내부를 더 구비하되,
상기 포집 안내부는,
고정 부재와, 포집 안내판을 구비하고,
상기 고정 부재의 하단은 상기 저장부 몸체의 측부에 고정되어 세워져 설치되고,
상기 포집 안내판의 일단은 상기 고정 부재의 상단에 고정되며, 상기 포집 안내홀이 상기 유통홀들에 노출되도록 타단이 상기 회전판의 저면을 따라 비스듬하게 배치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 고정 부재는,
다단의 파이프로 구성되어 승강 위치가 가변적으로 조절 가능한 것이 바람직하다.
또한 상기 모니터링 부는,
하단이 상기 유통홀 중 어느 하나의 상부에 위치되도록 세워져 배치되는 승강봉과,
상기 승강봉의 하단에 설치되는 카메라와,
상기 승강봉을 승강시키는 승강기를 구비하되,
상기 승강기의 구동에 의해 상기 승강봉은 하강되고, 상기 카메라는 상기 승강봉의 하단에 설치된 상태로 상기 유통홀을 통해 상기 저장부 몸체의 저장 공간에 삽입이 가능한 것이 바람직하다.
이와 같이 본 발명은 실제 증착 환경을 이루어 서로 다른 종류의 재료를 증착시킴과 아울러 증착되는 재료를 개별적으로 포집할 수 있는 효과를 갖는다.
또한 본 발명은 증착 재료가 가열되는 과정에서 증착 재료의 가열 상태 및 재료의 잔존량을 실시간으로 모니터링할 수 있는 효과를 갖는다.
상술한 효과들과 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 본 발명에 따른 열안정성 평가 장치의 내부를 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 모니터링 부가 설치된 상태의 열안정성 평가 장치의 내부를 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 재료 저장부의 구성의 예를 보여주는 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 중량 측정부를 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 포집부가 배치된 구성을 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 포집부가 배치된 구성을 보여주는 다른 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 고정판을 보여주는 사시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 회전판을 보여주는 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 고정판과 회전판의 결합 관계를 보여주는 사시도이다.
도 10은 본 발명에 따른 모니터링 부를 보여주는 사시도이다.
도 11은 본 발명에 따른 모니터링 부가 가열부의 상부에 배치된 예를 보여주는 사시도이다.
도 12는 본 발명에 따른 고정 부재가 승강 가능한 예를 보여주는 도면이다.
도 13은 본 발명에 따른 포집 안내판의 경사각이 조절 가능한 예를 보여주는 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
이하에서 기재의 "상부 (또는 하부)" 또는 기재의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 구비 또는 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 기재의 상면 (또는 하면)에 접하여 구비 또는 배치되는 것을 의미한다.
또한, 상기 기재와 기재 상에 (또는 하에) 구비 또는 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성을 포함하지 않는 것으로 한정하는 것은 아니다.
다음은 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다수의 OLED용 재료 포집이 가능한 열안정성 평가 장치를 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 열안정성 평가 장치의 내부를 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 모니터링 부가 설치된 상태의 열안정성 평가 장치의 내부를 보여주는 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조 하면, 본 발명에 따른 열안정성 평가 장치는 본체부(100)와, 재료 저장부(200)와, 가열부(300)와, 포집부(400)와, 모니터링 부(500)로 구성된다.
상기 각 구성을 설명한다.
본체부(100)
본 발명에 따른 본체부(100)는 내부 공간이 형성된 박스 형상으로 형성된다. 상기 본체부(100)의 내부에는 진공이 형성되는 것이 좋다. 상기 본체부(100)는 내열성을 갖는 재질로 형성된다.
상기 본체부(100)는 도어(미도시)를 갖는다. 상기 도어는 회전식 또는 슬라이딩 방식의 개폐 구조를 가질 수 있다.
재료 저장부(200)
도 3은 본 발명에 따른 재료 저장부의 구성의 예를 보여주는 단면도이다.
도 3을 참조 하면, 본 발명에 따른 재료 저장부(200)는 상기 본체부(200)의 내부 공간의 바닥에 배치된다.
상기 재료 저장부(200)는 내부에 저장 공간이 형성된다.
상기 재료 저장부(200)는 저장부 몸체(210)와 다수의 유통관(220)을 갖는다.
상기 저장부 몸체(210)의 내부에는 상기의 저장 공간이 형성된다. 상기 저장 공간에는 평가 대상인 소정의 증착 물질이 일정량 저장된다.
여기서 상기 저장부 몸체(210)의 상단은 커버(211)를 구비하여, 커버(211)의 개폐를 통해 저장 공간을 개폐할 수 있다. 상기 커버(211)는 별도의 잠금 장치를 통해 폐쇄 상태가 유지될 수 있다.
상기 다수의 유통관(220)은 상기 저장부 몸체(210)의 상단에 형성되며, 서로 일정 간격을 이루어 상방을 따라 돌출되도록 형성된다.
상기 다수의 유통관(210)은 원통 형상의 관 또는 다각 형상의 관으로 형성될 수 있다.
상기 다수의 유통관(210)은 저장부 몸체(210)의 상단부에 형성된 유통홀들(210a) 각각과 연결된다. 상기 유통홀들(210a)은 저장 공간과 연통된다.
상기 다수의 유통홀(210a)은 하단에서 상단을 따라 점진적으로 벌어지는 형상으로 형성될 수도 있다.
상기 다수의 유통관(220) 각각의 내주에는 증착 물질이 증착되지 않는 슬립층이 더 코팅될 수도 있다.
또한 상기 저장부 몸체(210)의 상단에는 상기 다수의 유통관(220)과 이격되는 위치에 모니터링 관(230)이 돌출 형성된다. 상기 모니터링 관(230)의 구성은 후술한다.
가열부(300)
도 3을 참조 하면, 본 발명에 따른 가열부(300)는 상기 재료 저장부(200)의 측부 및 하부 둘레를 에워싸도록 배치되며, 내부에 가열 코일(311)이 배치되는 코일 부재(310)와, 상기 가열 코일(311)로 일정의 전류를 제공하여, 상기 가열 코일(311)을 가열시키는 전류 제공기(320)를 포함한다.
상기 전류 제공기(320)는 제어부(600)의 제어에 따라 구동된다.
상기 가열 코일(311)은 제공 받는 전류에 따라 가열된다. 이에 저장부 몸체(210)는 가열되고, 저장부 몸체(210)의 저장 공간에 저장된 증착 재료는 가열된다.
상기 저장부 몸체(210)는 저장 공간에서의 온도를 측정하여, 이를 제어부(600)로 전송하는 온도 센서(610)를 구비할 수 있다.
이에 제어부(600)는 설정된 가열 온도를 이루도록 가열부(300)를 구동시켜 상기 증착 재료가 기화되도록 할 수 있다.
또한 상기 재료 저장부(200)는 냉각부(240)를 갖는다.
냉각부(240)
도 3을 참조 하면 본 발명에 따른 냉각부(240)는 냉각수 순환 유로(241a)가 형성되는 냉각 부재(241)와, 상기 냉각 부재(241)와 연결되어 일정의 냉각 온도를 이루는 냉각수를 상기 냉각수 순환 유로(241a)를 통해 순환시키는 냉각수 공급기(242)를 갖는다.
상기 냉각수 공급기(242)는 제어부(600)의 제어에 의해 구동된다.
여기서 상기 냉각 부재(241)는 상기 코일 부재(310)의 둘레를 에워싸도록 배치된다.
이에 따라 저장부 몸체(210)는 일정의 냉각 온도를 이루는 냉각수 순환에 의해 일정의 온도로 냉각이 이루어질 수 있다.
상기 제어부(600)는 후술되는 중량 측정부(700)에 의해 증착 물질의 중량이 기준 중량에 이르는 경우, 상기 가열부(200)의 구동을 중지하고, 상기 냉각부(240)를 구동시킬 수도 있다.
중량 측정부(700)
도 4는 본 발명에 따른 중량 측정부를 보여주는 사시도이다.
도 1 내지 도 4를 참조 하면, 상기 본체부(100)에는 상기 재료 저장부(200)에 저장되는 상기 증착 재료의 중량을 측정하는 중량 측정부(700)가 설치된다.
상기 중량 측정부(700)는 상기 저장부 몸체(210)의 하단에 연결되어, 상기 증착 재료의 중량을 측정하는 로드셀(730)을 포함한다.
저장부 몸체(210)의 하부에 위치되는 본체부(100)의 바닥에는 홀(101)이 형성된다.
상기 홀(101)의 측부에는 로드셀(730)이 배치된다. 상기 로드셀(730)은 제어부(600)와 전기적으로 연결된다.
상기 저장부 몸체(210)는 하방으로 연장되는 4개의 지지대들(710)을 구비한다.
상기 지지대들(710)의 상단은 저장부 몸체(210)의 하단 모서리에 연결된다.
상기 지지대들(710)은 상술한 냉각부(240) 및 가열부(200)를 관통하여 설치된다. 즉 상기 냉각부(240) 및 상기 가열부(200)에는 상기 지지대들(710)이 관통되는 관통홀이 형성되는 것이 좋다.
상기 지지대들(710)의 하단은 하나의 지지판(720)에 고정된다.
상기 지지판(720)은 상술한 로드셀(730)의 상단에 고정된다.
이에 따라 상기 로드셀(730)은 상기 저장부 몸체(210)에 저장된 증착 물질의 중량을 측정할 수 있다.
이때, 상기 제어부(600)에는 상기 저장부 몸체(210)의 중량에 대하여 영점 조절이 이루어지도록 설정된다.
포집부(400)
도 5는 본 발명에 따른 포집부가 배치된 구성을 보여주는 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 포집부가 배치된 구성을 보여주는 다른 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 고정판을 보여주는 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 회전판을 보여주는 사시도이고, 도 9는 본 발명에 따른 고정판과 회전판의 결합 관계를 보여주는 사시도이다.
도 5 내지 도 9를 참조 하면, 본 발명에 따른 포집부(400)는 상기 재료 저장부(200)의 상부에 배치되도록 상기 본체부(100)의 내부 공간의 측벽에 고정되며, 상기 재료 저장부(200)의 상부에 위치되도록 돌출되며, 포집 안내홀(411)이 형성된 고정판(410)과, 상기 고정판(410)에 회전 중심을 이루어 회전 가능하게 배치되고, 원주를 따라 일정 간격을 이루어 형성되고, 회전됨에 따라 순차적으로 상기 포집 안내홀(411)과 위치가 일치되는 다수의 안착홀(421)을 갖는 회전판(420)과, 상기 다수의 안착홀(421)에 안착되며, 내부에 증착면이 형성되는 다수의 포집 부재들(430)과, 상기 회전판(420)을 회전시키는 회전기(440)로 구성된다.
상기 회전기(440)는 모터축(441)과, 상기 모터축(441)을 회전시키는 모터(442)를 갖는다. 상기 모터(442)는 제어부(600)의 제어에 의해 상기 모터축(441)을 회전시킨다.
상기 모터축(441)은 본체부(100)의 상단에서 내부 공간으로 일정 길이 세워져 연장된다.
상기 모터축(441)의 하단은 상술한 회전판(420)의 중심에 연결된다.
상기 모터축(441)의 회전에 따라 상기 회전판(420)은 회전된다.
이에 상기 회전기(440)는 상기 다수의 안착홀(421)이 순차적으로 상기 포집 안내홀(411)과 위치가 일치되도록 상기 회전판(420)을 회전시킬 수 있다.
또한 상기 다수의 포집 부재(430)는 투명의 재질로 형성되며, 상단에서 하방을 따라 점진적으로 확장되고, 내측에 상기 증착면이 형성된다.
상기 다수의 포집 부재(430) 각각은 꼬깔 형상으로 형성된다. 각각의 포집 부재(430)의 상단 꼭지점에는 일정 길이의 로드(431)가 형성된다. 상기 로드(431)는 그립 역할을 할 수 있다.
상기 다수의 포집 부재(430) 각각의 하단은 원형의 테두리를 형성하며, 상기의 안착홀(421)의 둘레에 형성되는 단턱에 안착된다.
또한, 본 발명에 따른 포집부(400)는 포집 안내부(450)를 더 구비한다.
상기 포집 안내부(450)는 고정 부재(451)와, 포집 안내판(452)을 구비한다.
상기 고정 부재(451)의 하단은 상기 저장부 몸체(210)의 측부에 고정되어 세워져 설치된다. 상기 고정 부재(451)는 판 상으로 형성된다.
상기 포집 안내판(452)의 일단은 상기 고정 부재(451)의 상단에 고정되며, 상기 포집 안내홀(411)이 상기 유통홀들(210a)에 노출되도록 타단이 상기 회전판(420)의 저면을 따라 비스듬하게 배치된다.
이에 상기 고정 부재(451)는 세워져 설치됨으로써 상기 포집 안내판(452)은 상기 고정 부재(451)의 상단에 고정되어 일정 각도로 경사진 상태로 배치된다.
상기 포집 안내판(452)은 상기 고정판(410)의 하부에 배치되며, 그 상단은 상술한 포집 안내홀(411)이 저장부 몸체(210)의 상부에 노출될 수 있도록 배치된다.
또한 상기 저장부 몸체(210)의 상단에는 판 상의 보조 고정 부재(454)가 세워져 설치된다.
상기 보조 고정 부재(454)는 판 상으로 형성된다.
상기 보조 고정 부재(454)의 하단은 다수의 유통관(220)이 상기 고정판(410)의 포집 안내홀(411)에 노출되도록 구획하는 역할을 한다.
이에 따라 상기 다수의 유통관(220)은 상기 고정 부재(451)와 상기 보조 고정 부재(454)의 사이 공간을 통해 상기 포집 안내홀(411)에 노출된다.
모니터링 부(500)
도 10은 본 발명에 따른 모니터링 부를 보여주는 사시도이고, 도 11은 본 발명에 따른 모니터링 부가 가열부의 상부에 배치된 예를 보여주는 사시도이다.
도 10 및 도 11을 참조 하면, 본 발명에 따른 모니터링 부(500)는 하단이 상기 모니터링 관(230)의 상부에 위치되도록 세워져 배치되는 승강봉(510)과, 상기 승강봉(510)의 하단에 설치되는 카메라(520)와, 상기 승강봉(510)을 승강시키는 승강기(530)로 구성된다. 상기 승강봉(510)의 하단에는 끝단이 둥근 투명의 석영관(511)이 형성된다. 상기 카메라(520)는 상기 석영관(511)의 내부에 배치된다.
상기 승강봉(510)과 상기 석영관(511)의 사이에는 걸림 부재(540)가 설치된다.
상기 승강기(530)의 구동에 의해 상기 승강봉(510)은 하강되고, 상기 카메라(520)는 상기 승강봉(510)의 하단에 설치된 상태로 저장부 몸체(210)에 형성된 모니터링 홀(231)을 통해 상기 저장부 몸체(210)의 저장 공간에 삽입이 가능할 수 있다.
상기 승강기(530)는 상기 승강봉(510)을 승강시킬 수 있는 승강 실린더를 포함한 다른 장치도 채택이 가능할 수 있다.
상기 승강기(530)는 제어부(600)의 제어에 의해 상기 승강봉(510)을 승강시킨다.
상기 저장부 몸체(210)의 상단에는 상기 모니터링 홀(231)과 연결되어 상방을 따라 연장되는 모니터링 관(230)이 돌출되어 형성된다.
이에 승강기(530)가 승강봉(510)을 하강시키면, 승강봉(510)의 하단에 설치된 카메라(520)는 모니터링 관(230) 및 모니터링 홀(231)을 통해 저장부 몸체(210)의 저장 공간에 노출된다.
그리고 상기 카메라(520)는 상기 저장 공간에 저장된 증착 물질의 양 및 기화시 증착 물질의 기화 상태를 가시적으로 촬상하여 이를 제어부(600)로 전송하여 실시간으로 모니터링이 이루어지도록 할 수 있다.
또한 상기 승강봉(510)의 하단은 둥근 형상으로 형성되며, 카메라(520)는 상기 둥근 형상을 이루는 하단 내부에 설치되고, 상기 승강봉(510)의 둥근 하단은 투명한 재질로 형성되는 것이 좋다.
더하여 도면에 도시되지는 않았지만, 상기 모니터링 관에는 승강봉이 인입 및 인출시 상기 모니터링 홀을 개폐하는 개폐 도어 또는 밸브가 설치될 수도 있다.
도 12는 본 발명에 따른 고정 부재가 승강 가능한 예를 보여주는 도면이다.
도 12를 참조 하여 본 발명에 따른 고정 부재가 높이 조절이 가능한 예를 설명한다.
도 12를 참조 하면, 본 발명에 따른 저장부 몸체(210)의 상단에는 슬라이딩 홈(251)이 형성된 지지 부재(250)가 설치된다.
상기 슬라이딩 홈(251)에는 고정 부재(451)의 하단부가 삽입될 수 있다.
상기 고정 부재(451)의 일측에는 기어이(451a)가 형성된다.
상기 지지 부재(250)에는 상기 기어이(451a)와 기어 방식으로 치합되는 기어(252)가 설치된다. 상기 기어(252)의 중심은 기어 모터(253)의 회전축(253a)과 연결된다. 상기 기어 모터(253)는 제어부(600)의 제어에 따라 회전축(253a)을 정역방을 따라 회전시킨다.
상기 기어(252)가 정역 방향을 따라 회전됨에 따라, 상기 고정 부재(451)는 슬라이딩 홈에 삽입된 상태로 승강되어 승강 위치가 조절될 수 있다.
이에, 고정 부재(451)의 상단에 고정된 포집 안내판(452)의 승강 위치 역시 조절될 수 있다.
도 13은 본 발명에 따른 포집 안내판의 경사각이 조절 가능한 예를 보여주는 도면이다.
도 13을 참조 하면, 고정 부재(451)의 상단과 포집 안내판(452)의 하단은 서로 힌지축(H)을 통해 연결된다.
상기 힌지축(H)은 제 1회전 모터(453)의 제 1회전축(453a)에 연결된다. 상기 제 1회전 모터(453)는 제어부(600)의 제어에 따라 제 1회전축(453a)을 회전시킨다.
이에 상기 포집 안내판(452)은 제 1회전축(453a)의 회전에 따라 회전된다. 따라서 상기 포집 안내판(452)의 경사각을 가변적으로 조절이 가능할 수도 있다.
상기의 구성 및 작용을 통해 본 발명은 실제 증착 환경을 이루어 서로 다른 종류의 재료를 증착시킴과 아울러 증착되는 재료를 개별적으로 포집할 수 있는 효과를 갖는다.
또한 본 발명은 증착 재료가 가열되는 과정에서 증착 재료의 가열 상태 및 재료의 잔존량을 실시간으로 모니터링할 수 있는 효과를 갖는다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
100 : 본체부
200 : 재료 저장부
300 : 가열부
400 : 포집부
500 : 모니터링 부
600 : 제어부
700 : 중량 측정부

Claims (10)

  1. 내부 공간이 형성되는 본체부;
    상기 본체부의 내부 공간의 하부에 배치되며, 증착 재료가 저장되며, 상단에 상기 증착 재료가 가열되어 외부로 유통되는 유통홀들이 형성된 재료 저장부;
    상기 재료 저장부에 저장된 상기 증착 재료를 설정되는 가열 온도로 가열하는 가열부;
    상기 재료 저장부의 상부에 배치되도록 상기 본체부의 내부 공간의 측벽에 설치되며, 유통되는 상기 증착 재료를 포집하는 포집부; 및,
    상기 본체부에 설치되며, 상기 재료 저장부의 내부에 저장된 상기 증착 재료를 가시적으로 모니터링하는 모니터링 부;
    를 포함하되,
    상기 재료 저장부는,
    내부에 상기 증착 재료가 저장되는 저장 공간이 형성되는 저장부 몸체와,
    상기 저장 공간과 연통되도록 상기 저장부 몸체의 상단에 상방으로 돌출되도록 형성되며, 상기 유통홀들을 형성하는 다수의 유통관을 구비하고,
    상기 포집부는,
    상기 재료 저장부의 상부에 배치되도록 상기 본체부의 내부 공간의 측벽에 고정되며, 상기 재료 저장부의 상부에 위치되도록 돌출되며, 포집 안내홀이 형성된 고정판과,
    상기 고정판에 회전 중심을 이루어 회전 가능하게 배치되고, 원주를 따라 일정 간격을 이루어 형성되고, 회전됨에 따라 순차적으로 상기 포집 안내홀과 위치가 일치되는 다수의 안착홀을 갖는 회전판과,
    상기 다수의 안착홀에 안착되며, 내부에 증착면이 형성되는 다수의 포집 부재들과,
    상기 회전판을 회전시키는 회전기를 구비하되,
    상기 회전기는,
    상기 다수의 안착홀이 순차적으로 상기 포집 안내홀과 위치가 일치되도록 상기 회전판을 회전시키는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 가열부는,
    상기 재료 저장부의 측부 및 하부 둘레를 에워싸도록 배치되며, 내부에 가열 코일이 배치되는 코일 부재와,
    상기 가열 코일로 일정의 전류를 제공하여, 상기 가열 코일을 가열시키는 전류 제공기를 구비하는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 재료 저장부는 냉각부를 구비하되,
    상기 냉각부는,
    냉각수 순환 유로가 형성되는 냉각 부재와,
    상기 냉각 부재와 연결되어 일정의 냉각 온도를 이루는 냉각수를 상기 냉각수 순환 유로를 통해 순환시키는 냉각수 공급기를 구비하되,
    상기 냉각 부재는,
    상기 코일 부재의 둘레를 에워싸도록 배치되는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 본체부는,
    상기 재료 저장부에 저장되는 상기 증착 재료의 중량을 측정하는 중량 측정부를 구비하되,
    상기 중량 측정부는,
    상기 저장부 몸체의 하단에 연결되어, 상기 증착 재료의 중량을 측정하는 로드셀인 것을 특징으로 하는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치.
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 다수의 포집 부재는,
    투명의 재질로 형성되며, 상단에서 하방을 따라 점진적으로 확장되고, 내측에 상기 증착면이 형성되는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 포집부는,
    포집 안내부를 더 구비하되,
    상기 포집 안내부는,
    고정 부재와, 포집 안내판을 구비하고,
    상기 고정 부재의 하단은 상기 저장부 몸체의 측부에 고정되어 세워져 설치되고,
    상기 포집 안내판의 일단은 상기 고정 부재의 상단에 고정되며, 상기 포집 안내홀이 상기 유통홀들에 노출되도록 타단이 상기 회전판의 저면을 따라 비스듬하게 배치되는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 고정 부재는,
    다단의 파이프로 구성되어 승강 위치가 가변적으로 조절 가능한 것을 특징으로 하는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 모니터링 부는,
    하단이 상기 유통홀 중 어느 하나의 상부에 위치되도록 세워져 배치되는 승강봉과,
    상기 승강봉의 하단에 설치되는 카메라와,
    상기 승강봉을 승강시키는 승강기를 구비하되,
    상기 승강기의 구동에 의해 상기 승강봉은 하강되고, 상기 카메라는 상기 승강봉의 하단에 설치된 상태로 상기 유통홀을 통해 상기 저장부 몸체의 저장 공간에 삽입이 가능한 것을 특징으로 하는 OLED용 재료용 열안정성 평가 장치.
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