KR102474502B1 - Sheet lighting and manufacturing method of the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 시트 조명 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 안착전극이 형성된 타겟기판에 별도의 반도체 공정으로 형성된 마이크로 크기의 수직형 발광 다이오드를 부착시키는 방식으로 제조되는 시트 조명 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따른 시트 조명은 3차원 면광원으로 사용할 수 있으며, 구동전압이 낮아 감전 위험이 적고, 무게가 가벼워 별도의 복잡한 설치 구조가 필요없는 조명을 제공할 수 있게 되었다.
The present invention relates to sheet lighting and a manufacturing method thereof.
The present invention provides a sheet light manufactured by attaching micro-sized vertical light emitting diodes formed in a separate semiconductor process to a target substrate on which a seating electrode is formed and a method for manufacturing the same.
The sheet lighting according to the present invention can be used as a three-dimensional surface light source, has a low driving voltage, reduces the risk of electric shock, and is light in weight, making it possible to provide lighting that does not require a separate complicated installation structure.

Description

시트 조명 및 이의 제조방법{SHEET LIGHTING AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}Sheet lighting and its manufacturing method {SHEET LIGHTING AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}

본 발명은 시트 조명 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마이크로 사이즈의 수직형 발광다이오드(VLED; Vertical Light Emitting Diode)를 이용한 시트 조명 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a sheet light and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a sheet light using a micro-sized vertical light emitting diode (VLED) and a method for manufacturing the same.

화합물 반도체의 특성을 이용하여 전기적 신호를 빛으로 변환시키는 화합물 반도체 발광소자 즉, LED(Light Emitting Diode) 또는 레이저 다이오드(Laser Diode, LD)와 같은 발광소자들은 조명, 광통신, 다중통신 등의 응용분야에서 많이 연구되고 실용화되어가고 있는 추세이다.Compound semiconductor light-emitting devices that convert electrical signals into light using the characteristics of compound semiconductors, that is, light-emitting devices such as LED (Light Emitting Diode) or Laser Diode (LD), are used in lighting, optical communication, and multiple communication applications. It is a trend that is being researched and put to practical use in

일반적으로 발광소자들은 기판 위에 수직 구조로 성장되거나 증착된다. 특히 절연체 사파이어 기판을 사용하고 그 위에 반도체 발광층으로서 각각 다른 영역의 반도체층과 활성영역인 활성층이 증착된 구조의 발광소자는 소자 상부에 모든 전극을 형성하여 플립칩이나 와이어본딩 방식으로 결합하거나 본딩금속층으로 전도성 웨이퍼 기판과 결합한 수직형 발광다이오드를 구성한다.In general, light emitting devices are grown or deposited in a vertical structure on a substrate. In particular, a light emitting device having a structure in which an insulator sapphire substrate is used and a semiconductor layer in different regions as a semiconductor light emitting layer and an active layer, which is an active region, are deposited thereon, all electrodes are formed on the upper part of the device and combined by a flip chip or wire bonding method, or a bonding metal layer It constitutes a vertical light emitting diode combined with a conductive wafer substrate.

도 1 내지 도 5에 도시된 단면도는 종래 수직형 발광다이오드의 제조방법을 단계별로 도시한 것이다. 먼저, 도 1에서 사파이어 기판(100)상에 버퍼층(103), 질화갈륨(GaN)계 반도체로 된 n형 반도체층(105), 활성층(107), 및 질화갈륨(GaN)계 반도체로 된 p형 반도체층(109)을 순차적으로 형성한다. 이후 발광 구조물이 개별 소자영역을 갖도록 에칭을 통하여 트렌치부(115)를 형성하고, p형 반도체층(109)상에 p형 전극(111) 및 반사막을 형성한다(도 2). 도 2에서 발광 구조물의 측면에 SiO2, Si3N4 와 같은 절연체 물질을 이용하여 보호박막층(113)을 형성한다. 보호박막층(113)의 경우 상기 발광 구조물의 측면으로의 전류 흐름을 차단하여 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.Cross-sectional views shown in FIGS. 1 to 5 show a conventional method of manufacturing a vertical light emitting diode step by step. First, in FIG. 1, a buffer layer 103 is formed on a sapphire substrate 100, an n-type semiconductor layer 105 made of gallium nitride (GaN)-based semiconductor, an active layer 107, and p made of gallium nitride (GaN)-based semiconductor. The mold semiconductor layer 109 is sequentially formed. Thereafter, a trench portion 115 is formed through etching so that the light emitting structure has an individual device region, and a p-type electrode 111 and a reflective film are formed on the p-type semiconductor layer 109 (FIG. 2). In FIG. 2, a protective thin film layer 113 is formed on the side of the light emitting structure using an insulator material such as SiO2 or Si3N4. In the case of the protective thin film layer 113, it is possible to improve the electrical characteristics of the device by blocking the flow of current to the side of the light emitting structure.

실리콘(Si), 갈륨비소(GaAs), 실리콘카바이드(SiC) 등과 같은 도전성 기판(120)을 p형 전극 및 반사막(109) 상에 접합 또는 증착한다(도 3). 이후에 레이저를 이용하여 사파이어 기판(100)을 제거한 뒤(lift off) 제거된 사파이어 기판면의 n형 반도체층(105) 표면이 드러나도록 에칭을 실시한다(도 4). 다음으로 n형 반도체층(105) 상에 n형 전극(미 도시)을 형성하고 개별된 칩으로 분리하면 도 5와 같은 다수의 수직형 발광 다이오드(150)가 동시에 얻어지게 된다.A conductive substrate 120 such as silicon (Si), gallium arsenide (GaAs), or silicon carbide (SiC) is bonded or deposited on the p-type electrode and the reflective film 109 (FIG. 3). Thereafter, the sapphire substrate 100 is lifted off using a laser, and etching is performed to expose the surface of the n-type semiconductor layer 105 on the surface of the removed sapphire substrate (FIG. 4). Next, when an n-type electrode (not shown) is formed on the n-type semiconductor layer 105 and separated into individual chips, a plurality of vertical light emitting diodes 150 as shown in FIG. 5 are simultaneously obtained.

지금까지 설명은 n형 전극이 상부에 형성되는 일명 n탑(n top) 발광 다이오드를 형성하는 과정에 대해 설명하였으며, 이와 대비되는 p탑 발광 다이오드도 유사한 공정으로 쉽게 형성할 수 있음은 물론이다.In the above description, the process of forming a so-called n-top light emitting diode having an n-type electrode formed thereon has been described, and it goes without saying that a p-top light emitting diode in contrast thereto can be easily formed through a similar process.

도 6은 종래 수직형 발광 다이오드를 이용하는 엘이디 발광 소자의 단면도이다. 엘이디 발광소자(190)는 캐버티(159)가 형성되는 기판(157)을 구비하고, 캐버티(159) 바닥면에 p형 연결전극(151)과 n형 연결전극(153)을 형성하고, 수직형 발광 다이오드(150)의 도전성 기판(120)과 p형 연결전극(151)이 맞닿도록 본딩하고, n형전극은 본딩 와이어(161)를 이용하여 n형 연결전극(153)과 본딩하고, 캐버티(159)는 통상 투명 수지(155)로 채우면 엘이디 발광 소자(190)가 구성된다.6 is a cross-sectional view of an LED light emitting device using a conventional vertical light emitting diode. The LED light emitting device 190 includes a substrate 157 on which a cavity 159 is formed, and a p-type connection electrode 151 and an n-type connection electrode 153 are formed on the bottom surface of the cavity 159, The conductive substrate 120 of the vertical light emitting diode 150 is bonded so that the p-type connection electrode 151 is in contact with each other, and the n-type electrode is bonded to the n-type connection electrode 153 using a bonding wire 161, When the cavity 159 is filled with a conventional transparent resin 155, the LED light emitting element 190 is formed.

이렇게 구성된 엘이디 발광 소자(190)는 가스를 이용하여 발광되는 종래 형광등을 포함한 가스등보다 수명이 길고 발광 효율이 뛰어나 점점 가스등을 대체하고 있다. 하지만 이러한 엘이디 발광 소자(190)는 딱딱한 기판상에 실장되고 상당한 두께를 가지므로 입체적인 형상이나 다양한 형상으로 사용하기에는 한계가 있었다.The LED light emitting device 190 configured as described above has a longer lifespan and excellent luminous efficiency than gas lamps including conventional fluorescent lamps that emit light using gas, and is gradually replacing gas lamps. However, since this LED light emitting element 190 is mounted on a hard substrate and has a considerable thickness, there is a limit to use it in a three-dimensional shape or various shapes.

대한민국공개특허 제2007-0079957호 (2007.08.08. 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 2007-0079957 (2007.08.08. Publication) 대한민국공개특허 제2013-0069351호 (2013.06.26. 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 2013-0069351 (2013.06.26. Publication)

본 발명은 상기와 같은 한계를 해결하고자 하는 것으로서, 수 ~ 수백 마이크로 크기의 수직형 발광 다이오드를 이용하는 시트 조명 및 이의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.The present invention is to solve the above limitations, and to provide a sheet lighting using vertical light emitting diodes having a size of several to hundreds of microns and a manufacturing method thereof.

본 발명의 상기 목적은 전기적으로 상호 이격되도록 구비되는 복수 개 안착전극 및 이웃하는 상기 안착전극 사이를 전기적으로 연결하는 복수 개 수평전극을 구비하는 타겟기판과, 안착전극에 부착되며, 타겟기판의 제조와 분리된 공정에 의해 제조되며, p형 전극부터 n형 전극 사이의 높이가 수백 마이크로미터 이하인 적어도 하나의 마이크로 수직형 발광 다이오드와, 수직형 발광 다이오드의 p형 전극과 n형 전극 중에서 상부에 위치하는 전극과 접촉되는 제1투명전극층 및 연결전극과 상기 제1투명전극층 사이에 적층되는 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 조명에 의해 달성 가능하다.The above object of the present invention is to manufacture a target substrate having a plurality of seating electrodes provided to be electrically spaced apart from each other and a plurality of horizontal electrodes electrically connecting the neighboring seating electrodes, attached to the seating electrode, and the target substrate At least one micro-vertical light emitting diode manufactured by a process separate from the p-type electrode and having a height between the n-type electrode and the p-type electrode of several hundred micrometers or less, and located at the top of the p-type electrode and the n-type electrode of the vertical light emitting diode It is possible to achieve by sheet lighting, characterized in that it comprises a first transparent electrode layer in contact with the electrode and an insulating layer laminated between the connection electrode and the first transparent electrode layer.

본 발명의 또 다른 목적은 전기적으로 상호 이격되도록 구비되는 복수 개 안착전극 및 이웃하는 상기 안착전극 사이를 전기적으로 연결하는 복수 개 수평전극을 구비하는 타겟기판을 준비하는 제1단계와, p형 전극부터 n형 전극 사이의 높이가 수백 마이크로미터 이하인 마이크로 수직형 발광 다이오드를 제조하는 제2단계와, 제2단계에서 제조된 마이크로 수직형 발광 다이오드를 각각의 안착전극에 적어도 하나씩 안착시키는 제3단계와, 수평연결전극, 안착전극 및 마이크로 수직형 발광 다이오드를 덮는 제1절연층을 형성하고, 마이크로 수직형 발광 다이오드를 구성하는 p형 전극 또는 n형 전극 중에서 상부에 위치하는 전극이 노출되도록 제1절연층을 성형하는 제4단계와, 제1절연층 상부에 증착되는 제1투명도전층을 형성하는 제5단계를 포함하고, 상기 제1단계와 상기 제2단계는 순서와 무관하게 수행되는 것을 특징으로 하는 시트 조명 제조 방법에 의해 달성 가능하다.Another object of the present invention is a first step of preparing a target substrate having a plurality of seating electrodes provided to be electrically spaced apart from each other and a plurality of horizontal electrodes electrically connecting the adjacent seating electrodes, and a p-type electrode A second step of manufacturing micro vertical light emitting diodes having a height between the n-type electrodes of several hundred micrometers or less, and a third step of seating at least one micro vertical light emitting diode manufactured in the second step on each seating electrode; , Forming a first insulating layer covering the horizontal connection electrode, the seating electrode, and the micro-vertical light emitting diode, and exposing the upper electrode among the p-type electrode or the n-type electrode constituting the micro-vertical light emitting diode. A fourth step of forming a layer and a fifth step of forming a first transparent conductive layer deposited on the first insulating layer, characterized in that the first step and the second step are performed regardless of order. It is possible to achieve by the sheet lighting manufacturing method to.

본 발명의 또 다른 목적은 전기적으로 상호 이격되도록 구비되는 복수 개 안착전극 및 이웃하는 상기 안착전극 사이를 전기적으로 연결하는 복수 개 수평전극을 구비하는 타겟기판을 준비하는 제a단계와, 연결전극 상부에 제1절연층을 형성하는 제b단계와, p형 전극부터 n형 전극 사이의 높이가 수백 마이크로미터 이하인 마이크로 수직형 발광 다이오드를 제조하는 제c단계와, 제c단계에서 제조된 상기 마이크로 수직형 발광 다이오드를 상기 각각의 안착전극에 적어도 하나씩 안착시키는 제d단계와, 제1절연층 및 마이크로 수직형 발광 다이오드를 상부에 제1투명도전층을 형성하는 제e단계를 포함하고, 제c단계는 제c단계 이전 단계의 어느 단계와 순서에 무관하게 수행되는 것을 특징으로 하는 시트 조명 제조 방법에 의해 달성 가능하다.Another object of the present invention is a step a of preparing a target substrate having a plurality of seating electrodes provided to be electrically spaced apart from each other and a plurality of horizontal electrodes electrically connecting the adjacent seating electrodes, and an upper portion of the connecting electrode The b-th step of forming a first insulating layer, the c-th step of manufacturing a micro-vertical light emitting diode having a height between the p-type electrode and the n-type electrode of several hundred micrometers or less, and the micro-vertical light-emitting diode manufactured in the c-th step. A d step of seating at least one type light emitting diode on each of the seating electrodes, and an e step of forming a first insulating layer and a first transparent conductive layer on top of the micro vertical type light emitting diode, It is achievable by a sheet lighting manufacturing method characterized in that it is performed regardless of any step and sequence of the step before step c.

본 발명에 따라 제작되는 시트 조명은 전체 두께가 25㎛ 이상이며 수㎜이하로 구성할 수 있으며 플렉서블 기판 위에 형성할 수 있으므로 3차원 조명 제작이 가능하고, 다양한 형상으로 절단하여 사용할 수 있게 되었다. 따라서 조명 디자인의 입장에서는 설계가 자유로워 다양한 형상의 입체 조명을 제작할 수 있게 되었다.The sheet lighting manufactured according to the present invention has a total thickness of 25 μm or more and can be configured to be less than several mm, and can be formed on a flexible substrate, so that three-dimensional lighting can be manufactured and can be cut into various shapes and used. Therefore, from the point of view of lighting design, it is possible to produce three-dimensional lighting in various shapes with freedom in design.

본 발명에 따른 시트 조명은 퀀텀닷 시트 또는 형광체 시트를 사용하지 않을 경우에는 종래 도광판을 사용하는 엘이디 조명, OLED 조명과 대비하면 1㎜ 이하의 베젤을 갖도록 형성할 수 있는 장점이 있다.The sheet lighting according to the present invention has the advantage of being able to be formed to have a bezel of 1 mm or less in contrast to LED lighting and OLED lighting using a conventional light guide plate when a quantum dot sheet or a phosphor sheet is not used.

본 발명의 시트 조명은 수평연결전극이나 안착전극을 제외한 나머지 구성을 투명 재질로 형성할 수 있고, 수평연결전극이나 안착전극이 조명의 전체 부분 중에서 차지하는 면적이 작으므로 투과 조명으로 형성할 수 있다. 또한 안착전극에 구비되는 수직형 발광 다이오드를 p탑 및 n탑을 모두 안착시켜 사용할 경우에는 양면 조명으로도 사용할 수 있다.The seat lighting of the present invention can be formed of a transparent material except for the horizontal connection electrode or the seating electrode, and since the area occupied by the horizontal connection electrode or the seating electrode is small among the total parts of the lighting, it can be formed by transmission lighting. In addition, when the vertical type light emitting diode provided on the seating electrode is used with both the p-top and n-top mounted, it can be used as double-sided lighting.

본 발명에 따른 시트 조명은 종래 조명과 비교할 때 단위 면적당 무게가 작아서 별도의 복잡한 구조물 없이도 천정 등에 쉽게 설치할 수 있는 이점이 있다. 타겟기판으로 PI(PolyImid) 기판을 사용할 경우 PI 기판 대비 대략 20% 정도의 단위면적당 무게만 증가하도록 전체 조명을 구성할 수 있는 이점이 있다.The seat lighting according to the present invention has a small weight per unit area compared to conventional lighting, and thus has the advantage of being easily installed on a ceiling or the like without a separate complicated structure. When using a PI (PolyImid) substrate as a target substrate, there is an advantage in that the entire lighting can be configured such that the weight per unit area increases by approximately 20% compared to the PI substrate.

또한 본 발명에 따른 시트 조명은 종래 알려진 수직형 발광 다이오드를 이용하여 간단한 구조로 구성함으로써 제작 단가를 저렴하게 유지할 수 있으므로 시트 조명으로 보편적으로 사용할 수 있도록 대중화에 기여할 수 있게 되었다. 마지막으로 본 발명에 따른 시트 조명은 저전압으로 구동되는 마이크로 발광 다이오드를 사용하므로 전체 구동 전압을 낮게 유지할 수 있으므로 구동에 인한 감전 등으로부터 자유로운 조명을 제작할 수 있게 되었다.In addition, since the sheet lighting according to the present invention is configured with a simple structure using conventionally known vertical light emitting diodes, the manufacturing cost can be kept low, so that it can be used universally as a sheet lighting, contributing to popularization. Finally, since the seat lighting according to the present invention uses a micro light emitting diode driven at a low voltage, it is possible to maintain a low overall driving voltage, so that it is possible to manufacture lighting free from electric shock due to driving.

도 1 내지 도 5는 종래 수직형 발광다이오드의 제조 공정도.
도 6은 종래 수직형 발광 다이오드를 이용하는 엘이디 발광 소자의 단면도.
도 7 내지 도 10은 본 발명에 따른 일 실시예의 수직형 발광 다이오드의 제조 공정 및 이송기판으로 이송하는 과정을 설명하는 공정도.
도 11은 본 발명에 따른 일 실시예의 시트 조명을 평면 방향에서 바라본 일부 투시도 및 본 발명에 따른 일 실시예의 수직형 발광 다이오드 단면도.
도 12는 본 발명에 따른 일 실시예의 시트 조명 단면도.
도 13은 본 발명에 따른 일 실시예의 시트 조명 단면도.
도 14는 본 발명에 따른 일 실시예의 시트 조명 단면도.
도 15 내지 도 19는 본 발명에 따른 일 실시예의 시트 조명의 제작 공정 단면도.
도 20은 이송기판 상면에서 레이저가 조사되는 과정을 설명하는 본 발명의 제작 공정도.
도 21는 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 시트 조명의 단면도.
도 22는 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 시트 조명의 단면도.
도 23 내지 도 25는 도 21에 제시된 시트 조명의 제조 공정도.
1 to 5 are manufacturing process diagrams of a conventional vertical type light emitting diode.
6 is a cross-sectional view of an LED light emitting device using a conventional vertical light emitting diode.
7 to 10 are process diagrams illustrating a process of manufacturing a vertical light emitting diode according to an embodiment of the present invention and transferring it to a transfer substrate.
11 is a partial perspective view of a seat light of an embodiment according to the present invention viewed from a planar direction and a cross-sectional view of a vertical light emitting diode of an embodiment according to the present invention.
12 is a cross-sectional view of a seat lighting according to an embodiment of the present invention.
13 is a cross-sectional view of a seat lighting according to an embodiment of the present invention.
14 is a cross-sectional view of a seat lighting according to an embodiment of the present invention.
15 to 19 are cross-sectional views of a manufacturing process of a seat lighting according to an embodiment of the present invention.
20 is a manufacturing process diagram of the present invention explaining the process of irradiating a laser on the upper surface of the transfer substrate.
21 is a cross-sectional view of another embodiment of a seat light according to the present invention.
22 is a cross-sectional view of another embodiment of a seat light according to the present invention.
23 to 25 are manufacturing process diagrams of the seat lighting shown in FIG. 21 .

본 발명에서 사용하는 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in the present invention are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, terms such as "include" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded.

또한, 본 명세서에서, "~ 상에 또는 ~ 상부에" 라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다. 또한, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에 또는 상부에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 상에 또는 상부에" 접촉하여 있거나 간격을 두고 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.Also, in the present specification, "on ~ or ~ on top" means located above or below the target part, and does not necessarily mean located on the upper side relative to the direction of gravity. Further, when a part such as a region, plate, etc. is said to be "on or over" another part, this is not only when it is in contact with or spaced "directly on or above" the other part, but also when another part is in the middle thereof. Including if there is

또한, 본 명세서에서, 일 구성요소가 다른 구성요소와 "연결된다" 거나 "접속된다" 등으로 언급된 때에는, 상기 일 구성요소가 상기 다른 구성요소와 직접 연결되거나 또는 직접 접속될 수도 있지만, 특별히 반대되는 기재가 존재하지 않는 이상, 중간에 또 다른 구성요소를 매개하여 연결되거나 또는 접속될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in this specification, when one component is referred to as “connected” or “connected” to another component, the one component may be directly connected or directly connected to the other component, but in particular Unless otherwise described, it should be understood that they may be connected or connected via another component in the middle.

또한, 본 명세서에서, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Also, in this specification, terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another.

이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예, 장점 및 특징에 대하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments, advantages and characteristics of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저 수직형 발광 다이오드 형성공정에 대해 설명하기로 한다. 일부 공정이 종래 수직형 발광 다이오드의 제조 공정과 유사하다. 도 1에 도시된 바와 같이 사파이어 기판(100)상에 버퍼층(103), 질화갈륨(GaN)계 반도체로 된 n형 반도체층(105), 활성층(107), 및 질화갈륨(GaN)계 반도체로 된 p형 반도체층(109)을 순차적으로 형성한다. 이후 발광 구조물이 개별 소자영역을 갖도록 에칭을 통하여 트렌치부(115)를 형성하고, p형 반도체층(109)상에 p형 전극(111)을 형성한다(도 2와 유사). 본 발명에 따른 수직형 발광 다이오드는 p형 전극(111)을 도전성 투명 전극을 사용하여 형성하며, 반사막을 형성하지 않는 점에서 종래 수직형 발광 다이오드와 구조상 차이가 있다. 본 발명에 따른 수직형 발광 다이오드는 도 2에 도시된 바와 같이 발광 구조물의 측면에 SiO2, Si3N4 와 같은 절연체 물질을 이용하여 보호박막층(113)을 형성한다. 이러한 보호박막층(113)은 본 발명의 수직형 발광 다이오드에는 반드시 구비될 필요가 없으므로 생략할 수도 있다.First, a vertical type light emitting diode formation process will be described. Some processes are similar to manufacturing processes of conventional vertical type light emitting diodes. As shown in FIG. 1, a buffer layer 103 on a sapphire substrate 100, an n-type semiconductor layer 105 made of gallium nitride (GaN)-based semiconductor, an active layer 107, and a gallium nitride (GaN)-based semiconductor The p-type semiconductor layer 109 is sequentially formed. Thereafter, a trench portion 115 is formed through etching so that the light emitting structure has an individual device region, and a p-type electrode 111 is formed on the p-type semiconductor layer 109 (similar to FIG. 2). The vertical light emitting diode according to the present invention is structurally different from conventional vertical light emitting diodes in that the p-type electrode 111 is formed using a conductive transparent electrode and no reflective film is formed. As shown in FIG. 2, the vertical light emitting diode according to the present invention forms a protective thin film layer 113 on the side of the light emitting structure using an insulator material such as SiO2 or Si3N4. Such a protective thin film layer 113 may be omitted since it is not necessarily provided in the vertical type light emitting diode of the present invention.

일면에 분리층(210)을 도포한 이송기판(200)을 준비하고, 도 7에 도시된 바와 같이 사파이어 기판(100) 상에 성장된 수직형 다이오드 상부에 분리층(210)을 접촉시킨다(도 7). 분리층(210)은 접착물질 또는 점착물질로 구성되며, 레이저가 조사될 경우 레이저를 흡수하여 팽창하면서 박리성을 가지는 유기 물질로 형성하였다. 분리층(210)을 형성하는 대표적인 물질로는 포토레지스터 형성 물질 및 폴리이미드 등이 있다.Prepare a transfer substrate 200 coated with a separation layer 210 on one surface, and contact the separation layer 210 on top of a vertical diode grown on a sapphire substrate 100 as shown in FIG. 7). The separation layer 210 is composed of an adhesive material or an adhesive material, and is formed of an organic material having peelability while expanding by absorbing laser when irradiated with laser. Representative materials for forming the separation layer 210 include a photoresist forming material and polyimide.

종래와 동일한 방식으로 엑시머 레이저를 조사하여 사파이어 기판(100)을 리프트오프(laser lift off)시킨다(도 8). 이후, 수직형 발광 다이오드와 접촉하지 않는 분리층(210)을 제거한다(도 9). 이러한 분리층(210)의 일부 제거는 O2 플라즈마를 사용하거나 습식 에칭(wet etching) 또는 RIE(Reactive Ion Etcher)공정 등을 이용하여 수행할 수 있다.The sapphire substrate 100 is lifted off by irradiating an excimer laser in the same manner as in the prior art (FIG. 8). Thereafter, the separation layer 210 not in contact with the vertical light emitting diode is removed (FIG. 9). Partial removal of the separation layer 210 may be performed using O2 plasma, wet etching, or a reactive ion etcher (RIE) process.

사파이어 기판(100)이 리프트오프되고 노출되는 n형 반도체층(105)상에는 n형 전극(117)을 패턴 형성한다. 이때 n형 전극(117)은 투명한 시트 조명 또는 양방향 발광 시트 조명으로 제작할 필요가 없을 경우에는 불투명 도전성 전극으로 형성하고, 반사층을 함께 형성하여도 무방하다. 도 9와 도 10에서 수행되는 공정은 순서에 무관하게 수행될 수 있음은 물론이다.An n-type electrode 117 is patterned on the n-type semiconductor layer 105 exposed after the sapphire substrate 100 is lifted off. In this case, the n-type electrode 117 may be formed of an opaque conductive electrode and a reflective layer together if it is not necessary to manufacture a transparent sheet light or a bidirectional light emitting sheet light. It goes without saying that the processes performed in FIGS. 9 and 10 may be performed in any order.

도 11은 본 발명에 따른 일 실시예의 시트 조명을 평면 방향에서 바라본 일부 투시도 및 본 발명에 따른 일 실시예의 수직형 발광 다이오드 단면도이다. 도 11(a)는 시트 조명을 도시한 것이며, 도 11(b)는 시트 조명에 실장되는 본 발명의 수직형 발광 다이오드(160)의 단면을 도시한 것이다. 실질적으로 시트 조명을 평면에서 바라보면 내부 전극이나 본 발명의 수직형 발광 다이오드가 보이지 않는 경우가 있으나 도 11에서는 설명의 편의상 도시하였다.11 is a partial perspective view of a seat light of an embodiment according to the present invention viewed from a planar direction and a cross-sectional view of a vertical light emitting diode of an embodiment according to the present invention. FIG. 11(a) shows a seat light, and FIG. 11(b) shows a cross-section of a vertical light emitting diode 160 of the present invention mounted on a seat light. In practice, when viewing the sheet lighting from a plane, the internal electrodes or the vertical type light emitting diode of the present invention may not be visible, but FIG. 11 shows them for convenience of description.

본 발명에 따른 시트 조명(300)은 균일한 간격을 가지며 반복적인 패턴으로 구성되는 안착전극(310)과, 안착전극(310)을 서로 전기적으로 연결하는 배선으로 기능하는 수평연결전극(350)으로 구성된다. 각각의 안착전극(310) 상에는 본 발명의 수직형 발광 다이오드(160)가 적어도 한 개 이상 구비되는 것을 특징으로 한다. 도 11(a)에서는 개별적인 안착전극(310)에 한 개에서부터 세 개까지 본 발명 수직형 발광 다이오드(160)가 구비되어 있음을 알 수 있다.Seat lighting 300 according to the present invention is composed of a seating electrode 310 having a uniform interval and composed of a repetitive pattern, and a horizontal connection electrode 350 functioning as a wire electrically connecting the seating electrode 310 to each other. It consists of It is characterized in that at least one vertical light emitting diode 160 of the present invention is provided on each seating electrode 310 . In FIG. 11 (a), it can be seen that one to three vertical light emitting diodes 160 of the present invention are provided in the individual seating electrodes 310.

완성된 시트 조명의 전체 높이(두께)는 제1절연층, 제1투명전극층 및 제2투명전극층 등의 두께를 조절하여 다양한 높이로 제작 가능하며 대략 25㎛ 이상이며 수㎜이하로 형성할 수 있다.The total height (thickness) of the completed sheet lighting can be produced in various heights by adjusting the thickness of the first insulating layer, the first transparent electrode layer, and the second transparent electrode layer, and can be formed to be approximately 25 μm or more and several mm or less. .

도 11(b)에는 본 발명의 수직형 발광 다이오드(160)의 단면도가 도시되어 있다. n형 전극(117) 상에 n형 반도체층(105), 활성층(107), p형 반도체층(109) 및 p형 전극(111)이 구비된다. 선택적으로 수평방향의 전류 흐름을 최소화하기 위해 보호박막층(113)을 더 형성될 수도 있다. 본 발명의 수직형 발광 다이오드(160)는 수~수백 마이크로의 높이를 갖는 마이크로 엘이디를 사용하였으며, 이러한 높이를 갖는 수직형 발광 다이오드를 이용하여 시트 조명을 형성할 수 있게 되었다.11(b) shows a cross-sectional view of the vertical type light emitting diode 160 of the present invention. On the n-type electrode 117, an n-type semiconductor layer 105, an active layer 107, a p-type semiconductor layer 109, and a p-type electrode 111 are provided. Optionally, a protective film layer 113 may be further formed to minimize the current flow in the horizontal direction. The vertical light emitting diode 160 of the present invention uses a micro LED having a height of several to hundreds of microns, and sheet lighting can be formed using the vertical light emitting diode having such a height.

본 발명의 시트 조명은 다음과 같은 기하학적 특성을 가지며 이러한 특성은 종래 기술에서는 제시되지 않은 것이다.The seat lighting of the present invention has the following geometrical characteristics, which have not been presented in the prior art.

기하학적 특성 1: Geometrical Characteristics 1 :

안착전극의 직경은 수직형 발광 다이오드(160)의 다이(n형 전극)의 직경보다 크게 형성하여야 한다. 여기서 수직형 발광 다이오드(160)의 다이직경이란 수직형 발광 다이오드(160)가 안착전극(310)에 정상적으로 안착되었을 때 차지하는 면적의 가장 큰 직경을 의미한다. 본 발명은 하나의 안착전극에는 적어도 한 개 이상의 수직형 발광 다이오드(160)가 실장되어야 한다. 보다 바람직하게는 하나의 안착전극에는 적어도 두 개 이상의 수직형 발광 다이오드(160)를 실장하는 것이 좋다. 그 이유는 하나의 수직형 발광 다이오드(160)가 고장이 나서 동작을 하지 않더라도 나머지 남아있는 수직형 발광 다이오드(160)가 발광되도록 하기 위함이다.The diameter of the seating electrode should be larger than the diameter of the die (n-type electrode) of the vertical light emitting diode 160 . Here, the die diameter of the vertical light emitting diode 160 means the largest diameter of the area occupied when the vertical light emitting diode 160 is normally seated on the seating electrode 310 . In the present invention, at least one vertical light emitting diode 160 should be mounted on one seating electrode. More preferably, at least two or more vertical light emitting diodes 160 are mounted on one seating electrode. The reason for this is to allow the remaining vertical light emitting diodes 160 to emit light even if one vertical light emitting diode 160 fails and does not operate.

기하학적 특성 2: Geometrical Characteristic 2 :

수평연결전극의 폭은 수직형 발광 다이오드의 다이 직경보다 작아야 한다. 수직형 발광 다이오드(160)가 수평연결전극(350) 상에 안착될 경우 발광되지 않도록 하기 위한 구성이다.The width of the horizontal connection electrode should be smaller than the die diameter of the vertical light emitting diode. This configuration prevents light emission when the vertical light emitting diode 160 is seated on the horizontal connection electrode 350 .

기하학적 특성 3: Geometrical Characteristic 3 :

이웃하는 안착전극 중심 사이의 이격 거리는 제2도전층의 상단부터 안착전극에 정상적으로 안착된 수직형 발광 다이오드의 상면까지의 수직 거리보다 크게 형성하여야 한다. 이는 면광원 구성하는 기본적인 구조에 관한 한정이다. 이웃하는 안착전극의 중심과 중심 사이의 이격 거리는 도 11에서 'P'로 표시하였다. 제2도전층의 상단부터 안착전극에 정상적으로 안착된 수직형 발광 다이오드의 상면까지의 수직 거리는 도 12에서 'v'로 나타내었다.The separation distance between the centers of adjacent seating electrodes should be greater than the vertical distance from the top of the second conductive layer to the upper surface of the vertical light emitting diode normally seated on the seating electrode. This is a limitation on the basic structure constituting the surface light source. The distance between the centers of adjacent seating electrodes is indicated by 'P' in FIG. 11 . The vertical distance from the top of the second conductive layer to the top of the vertical light emitting diode normally seated on the seating electrode is indicated by 'v' in FIG. 12 .

도 12는 도 11의 A-A' 방향의 단면도이다. 타켓기판(301)상에 안착전극(310)과 수평연결전극(350)이 형성되고, 안착전극(310) 상부에 본 발명 수직형 발광 다이오드(160)가 p형 전극(111)만이 노출되도록 제1절연층(302)에 둘러쌓인 채로 구비된다. 제1절연층(302) 상부에는 제1투명전극층(303), 제2투명전극층(305)이 순서대로 적층된다.FIG. 12 is a cross-sectional view in the direction A-A' of FIG. 11 . The seating electrode 310 and the horizontal connection electrode 350 are formed on the target substrate 301, and the vertical light emitting diode 160 of the present invention is formed on the seating electrode 310 so that only the p-type electrode 111 is exposed. 1 is provided while being surrounded by the insulating layer 302. A first transparent electrode layer 303 and a second transparent electrode layer 305 are sequentially stacked on the first insulating layer 302 .

제1투명전극층(303)은 투명이면서 점착 또는 접착 성능을 갖는 폴리머 물질과 도전성 재료가 혼합된 물질로 형성된다. 도전성 재료의 예로는 도전성 나노 파티클, 나노 와이어, 나노 메탈 와이어, 도전성 유기재료, 카본 나노 튜브, 카본 블랙, 그래핀, 메탈 그리드 와이어 등을 들 수 있다. 도전성을 가지며 폴리머에 혼합되어 점착 또는 접착성의 특성을 가지는 물질이면 제1투명전극층(303)을 형성할 수 있다. 제1투명전극층(303)은 적절한 증착공정을 이용하여 원하는 두께 d1으로 형성될 수 있다. 제1투명전극층(303)의 두께 d1에 대한 대표적인 범위는 수 ㎛ ~ 수 ㎜ 일 수 있다.The first transparent electrode layer 303 is formed of a material in which a transparent polymer material having adhesion or adhesive properties and a conductive material are mixed. Examples of the conductive material include conductive nanoparticles, nanowires, nanometal wires, conductive organic materials, carbon nanotubes, carbon black, graphene, and metal grid wires. The first transparent electrode layer 303 may be formed if the material has conductivity and is mixed with a polymer to have adhesion or adhesive properties. The first transparent electrode layer 303 may be formed to a desired thickness d1 using an appropriate deposition process. A typical range for the thickness d1 of the first transparent electrode layer 303 is several μm to may be several millimeters.

유사한 물질과 공법으로 제2투명전극층(305)도 원하는 두께 d2로 형성될 수 있다. 제2투명전극층(305)의 두께 d2에 대한 대표적인 범위는 수 ㎛ ~ 수 ㎜ 일 수 있다. 제1투명전극층(303) 및 제2투명전극층(305)은, ITO 또는 기타 투명 도전막으로 이루어질 수 있다. 후술하는 바와 같이 본 발명의 시트 조명은 제1투명전극층(303)과 제2투명전극층(305)을 모두 구비할 필요는 없으며, 하나의 투명전극층만으로 형성하여도 무방한다. 제1투명전극층(303) 및 제2투명전극층(305)을 위한 기타 적절한 증착공정은, 화학 기상증착(CVD), 플라즈마강화 화학 기상증착(PECVD), 물리 기상증착(PVD), 증착(evaporation), 및 플라즈마 스프레이(plasma spray)를 포함한다.The second transparent electrode layer 305 may also be formed to a desired thickness d2 using a similar material and method. A typical range for the thickness d2 of the second transparent electrode layer 305 may be several μm to several mm. The first transparent electrode layer 303 and the second transparent electrode layer 305 may be made of ITO or other transparent conductive films. As will be described later, the sheet lighting of the present invention does not need to include both the first transparent electrode layer 303 and the second transparent electrode layer 305, and may be formed with only one transparent electrode layer. Other suitable deposition processes for the first transparent electrode layer 303 and the second transparent electrode layer 305 include chemical vapor deposition (CVD), plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), physical vapor deposition (PVD), and evaporation. , and plasma spray.

제2투명전극층(305)의 상부에는 광변환층(307)이 형성된다. 안착전극(310)에 한가지 단색광을 조사하는 마이크로 수직형 발광 다이오드(160)를 이용하면, 시트 조명은 한가지 단색광만을 조사할 수 있게 된다. 이러한 구성일 경우, 화이트 색상 또는 기타 다른 색상을 구현하기 위해 광변환층(307)을 구비할 수 있다. 광변환층(307)은 하부에서 입사되는 단색광을 다른 단색광 또는 다색광으로 변환하여 출력하는 층으로서, 퀀텀닷(Quantum Dot), 형광체 또는 컬러필터 등으로 구현할 수 있다. 광변환층(307) 상부에는 확산시트가 구비될 수 있다. 확산시트로는 창호지를 사용하여도 좋다.A light conversion layer 307 is formed on top of the second transparent electrode layer 305 . If the micro vertical type light emitting diode 160 radiates one monochromatic light to the seating electrode 310, the sheet illumination can emit only one monochromatic light. In this configuration, a light conversion layer 307 may be provided to implement white color or other colors. The light conversion layer 307 is a layer that converts monochromatic light incident from below into another monochromatic light or multi-color light and outputs the light, and may be implemented with a quantum dot, phosphor, or color filter. A diffusion sheet may be provided on the light conversion layer 307 . Window paper may be used as the diffusion sheet.

타겟기판(301)은 유리, 금속호일, 직물, 유연한(Flexible) 합성수지 기판, PCB(Printed Circuit Board) 또는 FPCB(Flexible Printed Circuit Board) 등으로 구현할 수 있다. 타켓기판(301)으로 PCB 또는 FPCB를 사용할 경우, 안착전극(310)과 수평연결전극(350)은 패턴 인쇄할 수 있으므로 별도 형성공정을 수행하지 않아도 된다. 다만, 제1절연층(302), 제1투명전극층(303) 및 제2투명전극층(305)을 적층하는데 고온공정이 필요할 경우에는 타겟기판(301)은 내열성 기판으로 사용하여야 하며, 내열성 기판을 형성하는 수지의 예로서 폴리이미드 등을 사용하여 구현할 수 있음은 물론이다.The target substrate 301 may be implemented with glass, metal foil, fabric, a flexible synthetic resin substrate, a printed circuit board (PCB), or a flexible printed circuit board (FPCB). When a PCB or FPCB is used as the target substrate 301, the seating electrode 310 and the horizontal connection electrode 350 can be pattern-printed, so a separate forming process is not required. However, when a high-temperature process is required to laminate the first insulating layer 302, the first transparent electrode layer 303, and the second transparent electrode layer 305, the target substrate 301 must be used as a heat-resistant substrate, and the heat-resistant substrate As an example of the resin to be formed, it is of course possible to implement using polyimide or the like.

도 13은 본 발명에 따른 일 실시예의 시트 조명 단면도이다. 도 12에 제시된 시트 조명과의 차이점은 보호박막층(113)을 사용하지 않는 수직형 발광 다이오드(160)를 사용하고, 수평연결전극(350)을 두 가지 도전물질로 형성한 시트 조명의 단면도를 도시한 것이다. 도 13에서는 수직형 발광 다이오드(160) 외부를 제1절연층으로 둘러싸게 형성하여 보호박막층(113)을 제거하였다. 또한, 도 13에서는 양측에 구비되는 제1수평연결전극(350a)과, 가운데에는 이를 상호 연결하는 제2수평연결전극(350b)으로 구성된 수평연결전극(350)으로 형성한 예를 도시하였다.13 is a cross-sectional view of a seat lighting according to an embodiment of the present invention. The difference from the sheet lighting shown in FIG. 12 is a cross-sectional view of a sheet lighting in which a vertical light emitting diode 160 without using a protective thin film layer 113 is used and a horizontal connection electrode 350 is formed of two conductive materials. it did In FIG. 13 , the protective thin film layer 113 is removed by forming the vertical light emitting diode 160 to surround the outside with the first insulating layer. In addition, FIG. 13 shows an example formed of a horizontal connection electrode 350 composed of first horizontal connection electrodes 350a provided on both sides and a second horizontal connection electrode 350b interconnecting them in the middle.

도 14는 본 발명에 따른 일 실시예의 시트 조명 단면도이다. 도 13에 제시된 시트 조명과의 차이점은 (1) 색변환층(307) 및 확산시트(309)를 제거하고, 투명한 보호필름(311)을 적층하였으며, (2) 제1투명전극층(303) 상부에 구비되었던 제2투명전극층 형성공정을 생략하였으며, (3) 수평연결전극(350)을 2층으로 형성되는 두 개의 수평연결전극으로 형성한 것이다. 도 14에 제시된 구조에서는 수평연결전극(350)을 형성함에 있어, 아래층 중앙부분이 분리되도록 형성되는 제1수평연결전극(350a)을 형성하고, 그 사이에 제2절연층(304)을 형성하고, 제2절연층(304) 상부에 제1수평연결전극(350a)를 상호 연결하는 제2수평연결전극(350b)을 형성하는 구조를 제시한 것이다.14 is a cross-sectional view of a seat lighting according to an embodiment of the present invention. The difference from the sheet lighting shown in FIG. 13 is that (1) the color conversion layer 307 and the diffusion sheet 309 are removed and a transparent protective film 311 is laminated, and (2) the top of the first transparent electrode layer 303. The process of forming the second transparent electrode layer, which was provided in , was omitted, and (3) the horizontal connection electrode 350 was formed as two horizontal connection electrodes formed in two layers. In the structure shown in FIG. 14, in forming the horizontal connection electrode 350, the first horizontal connection electrode 350a is formed so that the central portion of the lower layer is separated, and the second insulating layer 304 is formed therebetween. , A structure for forming the second horizontal connection electrode 350b interconnecting the first horizontal connection electrode 350a on the second insulating layer 304 is suggested.

도 14에 도시된 바와 같이 제2투명금속층(305) 상부에 적층되는 필름(박막)의 구성은 필요에 따라 다양한 조합으로 구현할 수 있다. 예를 들어, 삼원색(R, G, B) 발광 다이오드를 사용하여 시트 조명을 구성할 경우에는 색변환층(307)이 필요하지 않으므로 생략할 수 있음은 물론이다. 또한, 시트 조명을 구성하는 최외각층으로는 파손방지 및 방열 기능을 갖는 보호필름을 적층할 수도 있음은 물론이다.As shown in FIG. 14 , the composition of the film (thin film) stacked on the second transparent metal layer 305 may be implemented in various combinations as needed. For example, in the case of constructing sheet lighting using three primary color (R, G, and B) light emitting diodes, the color conversion layer 307 is unnecessary and can be omitted, of course. In addition, of course, a protective film having damage prevention and heat dissipation functions may be laminated as the outermost layer constituting the sheet lighting.

이하, 본 발명에 따른 시트 조명을 제조하는 공정에 대해 설명하기로 한다. 도 15 내지 도 19는 본 발명에 따른 타겟기판을 제조하는 공정을 도시한 단면도이다. 도 8 내지 도 10에 제시된 공정에 따라 수직형 발광 다이오드(160)가 부착된 이송기판(200)을 상부에 위치시키고, 하부에는 안착전극(310)과 수평연결전극(350)을 구비하는 타겟기판(301)을 준비한다(도 15). 타겟기판(301)에 구비되는 안착전극(310)과 수평연결전극(350)은 필요에 따라 투명 또는 불투명 전극으로 형성할 수 있다. 이후 안착전극(310) 상부에 위치하는 수직형 발광 다이오드(160)에 레이저(500)를 조사한다. 레이저(500)는 수직형 발광 다이오드(160)이 부착된 이송기판(200)의 상부에서 조사되고, 분리층(210)은 레이저에서 방사되는 에너지를 흡수하여 팽창하고 이에 부착된 수직형 발광 다이오드(160)가 떨어져서 안착전극(310)상에 놓여지게 된다(도 16).Hereinafter, a process for manufacturing a seat light according to the present invention will be described. 15 to 19 are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing a target substrate according to the present invention. According to the process shown in FIGS. 8 to 10, the transfer substrate 200 to which the vertical light emitting diode 160 is attached is positioned on the upper side, and the target substrate having the seating electrode 310 and the horizontal connection electrode 350 on the lower side. 301 is prepared (FIG. 15). The seating electrode 310 and the horizontal connection electrode 350 provided on the target substrate 301 may be formed as transparent or opaque electrodes, if necessary. Thereafter, the laser 500 is irradiated to the vertical light emitting diode 160 positioned above the seating electrode 310 . The laser 500 is irradiated from the top of the transfer substrate 200 to which the vertical light emitting diodes 160 are attached, and the separation layer 210 absorbs energy emitted from the laser and expands, and the vertical light emitting diodes attached thereto ( 160) is separated and placed on the seating electrode 310 (FIG. 16).

바람직하게는 조사되는 레이저(500)가 수직형 발광 다이오드(160)와 이송기판(200)의 경계에 위치하는 분리층(210)에만 조사되도록 하는 것이 바람직하나 정확하게 해당 위치를 조사하지 않고 주변에 조사되는 경우가 발생하게 된다. 도 20은 레이저 조사에서 초점이 일치하지 않는 경우를 설명하는 도면이다. (A) 도면은 이송기판(200)에 세 개의 수직형 발광 다이오드(160)가 부착되어 있고, 이송기판(200) 상부에서 레이저(200)가 조사되는 경우를 단면으로 도시한 것이며, (B) 도면은 (A) 도면을 평면상태로 도시한 것이다. (B) 도면에서 실선의 원(210a, 210b, 210c)은 각각의 수직형 발광 다이오드(160)와 이송기판(200) 사이에 개재되는 분리층(210a, 210b, 210c)을 도시한 것이며, 파선의 원(500a, 500b, 500c)은 조사되는 레이저 광원을 도시한 것이다. (a)에 도시된 바와 같이 레이저 광원(500a)이 정확하게 분리층(210a)에 포커싱될 경우에는 이에 부착된 수직형 발광 다이오드가 수직 하강하면서 n형 전극(117)이 안착전극 표면에 정상적으로 안착될 가능성이 높다. 이에 비해 (b) 또는 (c)에 도시된 바와 같이 레이저 광(500b, 500c)이 분리층(210b, 210c)에 정확하게 포커싱되지 못하고, 좌측이나 우측으로 포커싱이 어긋날 경우에는 이에 부착된 수직형 발광 다이오드는 수직 방향으로 하강하지 않고 기울어진 상태로 안착전극에 도달될 소지가 있다. 이러한 문제를 해결하려면 n형 전극(117)을 다른 소자에 비해 무겁게 형성하고 도 15의 상태에서 n형 전극(117)과 분리층(210) 사이 간격을 가능하게 좁게 유지하는 것이다.Preferably, the irradiated laser 500 is preferably irradiated only to the separation layer 210 located at the boundary between the vertical light emitting diode 160 and the transfer substrate 200, but it is irradiated to the surroundings without accurately irradiating the corresponding location. case will happen. 20 is a view for explaining a case where the focus is not coincided in laser irradiation. (A) is a cross-sectional view of a case in which three vertical light emitting diodes 160 are attached to the transfer substrate 200 and the laser 200 is irradiated from the top of the transfer substrate 200, (B) The drawing (A) shows the drawing in a planar state. (B) In the drawing, the solid line circles 210a, 210b, and 210c show the separation layers 210a, 210b, and 210c interposed between the respective vertical light emitting diodes 160 and the transfer substrate 200, and the broken lines The circles 500a, 500b, and 500c in show the irradiated laser light source. As shown in (a), when the laser light source 500a is precisely focused on the separation layer 210a, the n-type electrode 117 is normally seated on the surface of the seating electrode while the vertical light emitting diode attached thereto vertically descends. Chances are high. In contrast, as shown in (b) or (c), when the laser beams 500b and 500c are not accurately focused on the separation layers 210b and 210c, and the focusing is misaligned to the left or right, the vertical light emission attached thereto The diode may reach the seating electrode in a tilted state without descending in the vertical direction. To solve this problem, the n-type electrode 117 is formed to be heavier than other elements, and the distance between the n-type electrode 117 and the separation layer 210 is kept as narrow as possible in the state of FIG. 15 .

또한, 도 10과는 달리 도 9에 도시된 바와 같이 수직형 발광 다이오드와 접촉하지 않는 분리층(210)을 제거하지 않을 경우, 해당 분리층(210)이 레이저에 의해 비산되면서 수직형 발광 다이오드가 안착되어야 하는 전극에 달라붙어 불량을 발생시키는 원인이 됨을 확인하였다. 특히 이러한 문제는 도 20의 (b) 및 (c)에 도시된 바와 같이 레이저가 정확하게 분리층에 포커싱되지 않을 경우에 주로 발생하였다. 따라서 도 9에 도시된 바와 같이 수직형 발광 다이오드와 접촉되지 않고 남아있는 영역의 분리층(210)은 제거되어야 하는 것이다.In addition, unlike FIG. 10, as shown in FIG. 9, when the separation layer 210 not in contact with the vertical light emitting diode is not removed, the separation layer 210 is scattered by the laser and the vertical light emitting diode It was confirmed that it stuck to the electrode to be seated and caused a defect. In particular, this problem mainly occurred when the laser was not accurately focused on the separation layer, as shown in (b) and (c) of FIG. 20 . Therefore, as shown in FIG. 9 , the separation layer 210 in the remaining area not in contact with the vertical light emitting diode should be removed.

다시 조명 시트 제조 공정을 설명하기로 한다. 도 17에 도시된 바와 같이 수직형 발광 다이오드(160)가 안착된 상태에서 안착전극(310), 수평연결전극(350) 및 수직형 발광 다이오드(160) 상부에 제1절연층(302)을 증착 형성하고, 제1절연층(302)을 p형 전극 부분이 노출될 때까지 성형한다. 제1절연층(302)으로는 네가티브형 감광성 절연막을 사용하였다. 네가티브형 감광성 절연막으로 제1절연층(302)을 형성하면 타겟기판(301) 하면에서 광을 조사하여 셀프 얼라인 방식으로 제1절연층(302)을 p형 전극부분만 노출되도록 노광할 수 있게 된다.Again, the manufacturing process of the lighting sheet will be described. As shown in FIG. 17, in a state where the vertical light emitting diode 160 is seated, a first insulating layer 302 is deposited on the seating electrode 310, the horizontal connection electrode 350, and the vertical light emitting diode 160. and forming the first insulating layer 302 until the p-type electrode portion is exposed. As the first insulating layer 302, a negative photosensitive insulating film was used. When the first insulating layer 302 is formed as a negative photosensitive insulating film, light is irradiated from the lower surface of the target substrate 301 so that the first insulating layer 302 can be exposed in a self-aligned manner so that only the p-type electrode portion is exposed. do.

네가티브형 감광성 절연막을 형성하는 네가티브형 감광성 수지 조성물의 대표적인 예로는 바인더 수지 5∼40 중량부, 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 다기능 모노머 2∼50 중량부, 광개시제 0.005∼20 중량부 및 에폭시기 또는 아민기를 갖는 실리콘계 화합물 0.0001∼3 중량부를 포함한다(한국공개특허 제2005-0071885호). 또 다른 네가티브형 감광성 수지 조성물로는 (1) 카복실기 함유 불포화 단량체와 이 단량체와 공중합 가능한 다른 불포화 단량체와의 공중합체, (2) 중합성 불포화 화합물, 및 (3) 하기 화학식 1의 광중합 개시제를 포함하는 조성물을 사용할 수 있다(한국공개특허 제2013-0110439호).Representative examples of the negative photosensitive resin composition forming the negative photosensitive insulating film include 5 to 40 parts by weight of a binder resin, 2 to 50 parts by weight of a multifunctional monomer having an ethylenically unsaturated bond, 0.005 to 20 parts by weight of a photoinitiator, and an epoxy group or an amine group. Contains 0.0001 to 3 parts by weight of a silicon-based compound (Korean Patent Publication No. 2005-0071885). Another negative photosensitive resin composition includes (1) a copolymer of a carboxyl group-containing unsaturated monomer and another unsaturated monomer copolymerizable with the monomer, (2) a polymerizable unsaturated compound, and (3) a photopolymerization initiator represented by the following formula (1) A composition containing may be used (Korean Patent Publication No. 2013-0110439).

Figure 112016074468011-pat00001
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제1절연층(302)을 N-type 감광성 절연막 물질로 형성하는 과정을 설명하였으나 제1절연층(302)은 P-type 감광성 절연막 물질로 형성할 수 있음은 물론이다.Although the process of forming the first insulating layer 302 with an N-type photosensitive insulating film material has been described, the first insulating layer 302 can be formed with a P-type photosensitive insulating film material.

P-type 감광성 절연막은 P-type 감광성 수지를 노광함으로써 형성되는데 P-type 감광성 수지의 예로는 알칼리 가용성 수지와 1,2-퀴논디아자이드 화합물을 들 수 있다.A P-type photosensitive insulating film is formed by exposing a P-type photosensitive resin, and examples of the P-type photosensitive resin include an alkali-soluble resin and a 1,2-quinonediazide compound.

이후, 제1투명전극층(303)과 제2투명전극층(305)을 순서대로 적층 형성하고(도 18, 도 19), 제2투명금속층(305) 상부에 필요한 박막층을 적층하면 도 12, 도 13 또는 도 14의 시트 조명이 완성된다.Thereafter, the first transparent electrode layer 303 and the second transparent electrode layer 305 are sequentially laminated (FIGS. 18 and 19), and the necessary thin film layer is laminated on top of the second transparent metal layer 305, as shown in FIGS. 12 and 13 Alternatively, the seat lighting of FIG. 14 is completed.

본원 발명자가 도 14에 제시된 시트 조명을 제작하고 사용하던 중 정전기(ESD: Electro Static Discharge) 등에 의해 시트 조명을 구성하는 일부 수직형 발광 다이오드가 고장나는 경우가 발생하고, 고장난 다이오드에 상당한 누설전류가 발생되어 시트 조명으로 사용할 수 없는 현상이 간혹 발생하였다. 따라서 본 발명에서는 이러한 정전기 등에 의해서 과도 전류가 발생할 경우 해당되는 안착 전극(정확하게는 고장난 수직형 발광 다이오드)으로 공급되는 전원을 차단할 필요가 있었다. 이러한 문제는 두 가지 방식으로 해결할 수 있었다. 첫 번째 방식은 제1투명전극층(303)을 두께를 얇게 형성하고 녹는 점이 낮은 금속으로 형성하는 것이다. 녹는 점이 낮은 금속의 대표적인 예는 퓨즈(fuse)를 형성하는 금속을 들 수 있다. 고장난 다이오드로 과도한 전류가 흐르면 열이 발생하고, 발생된 열로 인해 상부에 있는 제1투명전극층(303)을 녹이는 방식을 이용하는 것이다. 따라서 제1투명전극층(303)은 제2투명전극층(305)보다 얇게 형성하고 녹는 점도 낮은 재질로 형성하는 것이 좋다. 두번째 방식은 수평연결전극(350)을 녹는 점이 낮은 금속으로 형성하는 것이다. 수평연결전극(350)은 일반적으로 불투명한 전극으로 형성하므로 퓨즈를 형성하는 물질을 그대로 이용하여도 무방하다. 유사한 원리로 고장된 수직형 발광 다이오드가 위치하는 안착 전극(310)으로 흐르는 전류를 차단하는 원리이다. 도 13 또는 도 14에 도시된 바와 같이 수평연결전극(350)을 제1수평연결전극(350a)과 제2수평연결전극(350b)으로 시트 조명을 형성하는 경우에는 제2수평연결전극(350b)을 퓨즈(fuse)를 형성하는 물질로 형성하는 것이 좋다. 즉, 이 경우 제2수평연결전극(350b)을 형성하는 재질은 제1수평연결전극(350a)을 형성하는 재질보다 큰 저항을 갖는 재질로 구현하여야 한다.While the inventor of the present invention manufactures and uses the seat lighting shown in FIG. 14, some vertical light emitting diodes constituting the seat lighting are broken due to static electricity (ESD: Electro Static Discharge), etc., and a significant leakage current occurs in the broken diode. Occasionally, a phenomenon that could not be used as a seat lighting occurred. Therefore, in the present invention, it is necessary to cut off the power supplied to the corresponding seating electrode (to be precise, the malfunctioning vertical light emitting diode) when excessive current is generated due to such static electricity. This problem could be solved in two ways. A first method is to form the first transparent electrode layer 303 with a thin metal having a low melting point. A typical example of a metal with a low melting point is a metal that forms a fuse. Heat is generated when excessive current flows through the failed diode, and the generated heat melts the first transparent electrode layer 303 at the top. Therefore, it is preferable to form the first transparent electrode layer 303 thinner than the second transparent electrode layer 305 and to form a material with a low melting point. The second method is to form the horizontal connection electrode 350 with a metal with a low melting point. Since the horizontal connection electrode 350 is generally formed as an opaque electrode, a material forming a fuse may be used as it is. A similar principle is to block the current flowing to the seating electrode 310 where the faulty vertical light emitting diode is located. As shown in FIG. 13 or 14, when the horizontal connection electrode 350 is formed with the first horizontal connection electrode 350a and the second horizontal connection electrode 350b to form a seat light, the second horizontal connection electrode 350b It is preferable to form a material that forms a fuse. That is, in this case, the material forming the second horizontal connection electrode 350b should be implemented with a material having greater resistance than the material forming the first horizontal connection electrode 350a.

본 발명의 시트 조명은 타겟기판과 제2투명금속층 상부에 적층되는 필름 등을 투명하게 형성할 경우, 스위치를 켜지 않은 상태에서 투명하게 보이도록 형성할 수 있다. 이 경우에는 안착전극과 수평연결전극도 투명한 재질로 구현하는 것이 좋다. 이러한 투명 시트 조명의 경우에는 제2투명금속층 상부에 적층되는 적어도 하나의 층(필름)을 반반사층으로 형성하면 상하면으로 광을 모두 조사하는 양방향 조명을 사용할 수 있다.In the sheet lighting of the present invention, when the film or the like stacked on the target substrate and the second transparent metal layer is formed transparently, it can be formed to look transparent even when the switch is not turned on. In this case, it is better to implement the seating electrode and the horizontal connection electrode with a transparent material. In the case of such transparent sheet lighting, when at least one layer (film) stacked on the second transparent metal layer is formed as a semi-reflective layer, bi-directional lighting that emits light to both upper and lower surfaces can be used.

도 21는 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 시트 조명의 단면도이다. 타켓기판(301)상에 안착전극(310)과 수평연결전극(350)이 형성되고, 안착전극(310)은 노출되도록 수평연결전극(350) 상부에 제1절연층(302)이 성형 형성되고, 안착전극(310) 상부에는 본 발명 수직형 발광 다이오드(160)가 적어도 하나 구비되며, 제1절연층(302) 및 수직형 발광 다이오드(160) 상부에 제1투명전극층(303)이 적층되며, 제1투명전극층(303) 상부에 보호필름(311)이 구비된다. 도 21에 제시된 시트 조명은 안착전극(310)과 제1투명전극층(303)의 사이공간(320)이 빈 공간으로 비워지는 구성을 갖는다. 해당 사이공간(320)은 필요시 별도의 제3절연물질로 충진될 수 있음을 물론이다. 도 21에 제시된 시트 조명에서 안착전극(310)에 안착되는 수직형 발광 다이오드(160)의 최상단 높이는 제1절연층(302)의 상단보다 높게 형성하였음을 알 수 있다. 이 경우 제1투명도전층(303)은 탄성이 있는 투명 도전층으로 형성하는 것이 좋다. 구체적으로는 투명 도전층을 형성하는 폴리머를 탄성을 제공하는 점착 또는 접착성 재료를 사용하면 된다.21 is a cross-sectional view of another embodiment of a seat light according to the present invention. A seating electrode 310 and a horizontal connection electrode 350 are formed on a target substrate 301, and a first insulating layer 302 is formed on top of the horizontal connection electrode 350 so that the seating electrode 310 is exposed. , At least one vertical light emitting diode 160 of the present invention is provided above the seating electrode 310, and the first insulating layer 302 and the first transparent electrode layer 303 are stacked on top of the vertical light emitting diode 160, , A protective film 311 is provided on the first transparent electrode layer 303 . The seat lighting shown in FIG. 21 has a configuration in which the space 320 between the seating electrode 310 and the first transparent electrode layer 303 is emptied into an empty space. Of course, the interspace 320 may be filled with a separate third insulating material if necessary. It can be seen that in the sheet lighting shown in FIG. 21 , the height of the top of the vertical light emitting diode 160 seated on the seating electrode 310 is higher than that of the top of the first insulating layer 302 . In this case, the first transparent conductive layer 303 is preferably formed of a transparent conductive layer having elasticity. Specifically, an adhesive or adhesive material that provides elasticity to the polymer forming the transparent conductive layer may be used.

도 22는 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 시트 조명의 단면도이다. 도 22에 제시된 시트 조명은 도 21에 제시된 시트 조명의 구조와 비교할 때, 안착전극(310)에 안착되는 수직형 발광 다이오드(160)의 최상단 높이가 제1절연층(302)의 상단보다 낮게 형성한 점에 있어서 차이가 있다.22 is a cross-sectional view of another embodiment of a seat light according to the present invention. Compared to the structure of the seat lighting shown in FIG. 22, the seat lighting shown in FIG. 21, the uppermost height of the vertical light emitting diode 160 seated on the seating electrode 310 is lower than the top of the first insulating layer 302. There is a difference in one point.

도 21 또는 도 22에 제시된 시트 조명은 상술한 바와 같이 제2투명도전층을 더 구비할 수도 있으며, 투명도전층 상부에 적층되는 필름을 다양햐게 조합할 수 있음은 물론이다. 도 21 또는 도 22에 제시된 시트 조명은 타겟기판과 보호필름(311) 부분을 별도의 공정으로 형성한 후, 합체하여 형성할 수도 있다. 이러한 공정에 대해 도 23 내지 도 25를 이용하여 간략하게 설명하기로 한다.The sheet lighting shown in FIG. 21 or 22 may further include a second transparent conductive layer as described above, and various combinations of films stacked on top of the transparent conductive layer are of course possible. The sheet lighting shown in FIG. 21 or 22 may be formed by forming the target substrate and the protective film 311 in a separate process and then combining them. This process will be briefly described using FIGS. 23 to 25 .

도 23에 도시된 바와 같이, 타겟기판(200) 상부에 안착전극(310)과 수평연결전극(350)을 형성하고, 안착전극(310) 상부만이 노출되도록 제1절연층(302)을 증착한 후 성형한다. 다음으로 안착전극(310) 상부에 수직형 발광 다이오드(160)를 적어도 하나씩 구비시킨다(도 24). 도 23 및 도 24와는 별도의 공정으로 보호필름(311)을 준비하고, 상부에 제1투명도전층(303)을 형성한다(도 25). 이후 분리된 각 공정으로 형성된 도 24와 도 25에 제시된 타켓기판과 보호필름을 합착시키면 시트 조명의 제조가 완료된다.As shown in FIG. 23, the seating electrode 310 and the horizontal connection electrode 350 are formed on the top of the target substrate 200, and the first insulating layer 302 is deposited so that only the top of the seating electrode 310 is exposed. molded after Next, at least one vertical light emitting diode 160 is provided on the seating electrode 310 (FIG. 24). A protective film 311 is prepared in a process separate from that of FIGS. 23 and 24, and a first transparent conductive layer 303 is formed thereon (FIG. 25). Then, when the protective film and the target substrate shown in FIGS. 24 and 25 formed by each separate process are bonded together, the manufacturing of the sheet lighting is completed.

도 21 및 도 22에 제시된 시트 조명은 합착 공정에 의해서 제조 가능함을 설명하였다. 물론 도 21 및 도 22에 제시된 시트 조명은 합착공정으로 형성하는 대신에 도 24에 제시된 공정을 완성한 후, 그 상부에 제1투명도전층(303), 보호필름(311)을 차례로 적층하여 형성할 수 있음도 물론이다.It has been described that the sheet lighting shown in FIGS. 21 and 22 can be manufactured by a bonding process. Of course, the sheet lighting shown in FIGS. 21 and 22 can be formed by sequentially stacking the first transparent conductive layer 303 and the protective film 311 thereon after completing the process shown in FIG. 24 instead of forming by the bonding process. Of course there is.

지금까지 설명 상으로는 본 발명의 시트 조명은 p탑 수직형 발광 다이오드를 이용하여 구현하는 구조로 설명하였다. 당연한 것이나 본 발명의 시트 조명은 n탑 수직형 발광 다이오드를 이용하여서도 구현할 수 있음은 물론이다.In the description so far, the sheet lighting of the present invention has been described as a structure implemented using a p-top vertical light emitting diode. Of course, the sheet lighting of the present invention can be implemented using n-top vertical light emitting diodes.

또한, 안착전극에 안착되는 수직형 발광 다이오드는 도 12 내지 도 13에 도시된 바와 같이 반드시 n형 전극이 안착 전극과 접촉하도록 형성할 필요는 없다. 예를 들어 하나의 안착전극에 총 5개의 마이크로 수직형 발광 다이오드가 안착되고, 5개 중에서 2개는 n형 전극이 안착전극과 접촉되고, 나머지 3개는 p형 전극이 안착전극과 접촉되도록 설치하여도 무방하다. 이 경우에는 시분할 방식으로 상방향으로 조사와 하방향 조사를 순차적으로 점등되는 양면 발광 시트 조명으로도 구현 가능하다. 이러한 양면 발광 시트 조명은 시분할 방식으로 양 전극에 +, - 전위를 번갈아 가면서 조사하는 구동 방식으로 구현이 가능하며, PWM 구동 방식으로 용이하게 구현할 수 있다.In addition, as shown in FIGS. 12 and 13 , the vertical type light emitting diode seated on the seating electrode does not necessarily need to be formed such that the n-type electrode contacts the seating electrode. For example, a total of 5 micro-vertical light emitting diodes are placed on one seating electrode, 2 out of 5 have n-type electrodes in contact with the seating electrode, and the remaining 3 have p-type electrodes in contact with the seating electrode. It is free to do In this case, it is also possible to implement double-sided light-emitting sheet lighting in which upward and downward irradiation are sequentially turned on in a time-division manner. Such double-sided light-emitting sheet lighting can be implemented in a driving method in which + and - potentials are alternately radiated to both electrodes in a time-division manner, and can be easily implemented in a PWM driving method.

상기에서 본 발명의 바람직한 실시예가 특정 용어들을 사용하여 설명 및 도시되었지만 그러한 용어는 오로지 본 발명을 명확히 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명의 실시예 및 기술된 용어는 다음의 청구범위의 기술적 사상 및 범위로부터 이탈되지 않고서 여러 가지 변경 및 변화가 가해질 수 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같이 변형된 실시예들은 본 발명의 사상 및 범위로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명의 청구범위 안에 속한다고 해야 할 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described and illustrated using specific terms above, such terms are only used to clearly explain the present invention, and the embodiments and described terms of the present invention are the technical spirit and scope of the following claims. It is obvious that various changes and changes can be made without departing from the above. Such modified embodiments should not be individually understood from the spirit and scope of the present invention, and should be said to fall within the scope of the claims of the present invention.

100: 사파이어 기판 103: 버퍼층
105: n형 반도체층 107: 활성층
109: p형 반도체층 111: p형 전극
113: 보호박막층
115: 트렌치부 117: n형 전극
150: 종래 수직형 발광 다이오드 151: p형 연결전극
153: n형 연결전극 155: 투명한 수지
157: 기판 159: 캐버티
160: 본 발명 수직형 발광 다이오드
161: 본딩 와이어 190: 엘이디 발광소자
200: 이송기판 210, 210a, 210b, 210c: 분리층
300: 시트 조명 301: 타켓 기판
302: 제1절연층 303: 제1투명전극층
304: 제2절연층 305: 제2투명전극층
310: 안착전극
350: 수평연결전극 350a: 제1수평연결전극
350b: 제2수평연결전극 500, 500a, 500b, 500c: 레이저광
100: sapphire substrate 103: buffer layer
105: n-type semiconductor layer 107: active layer
109: p-type semiconductor layer 111: p-type electrode
113: protective film layer
115: trench portion 117: n-type electrode
150: conventional vertical light emitting diode 151: p-type connection electrode
153: n-type connection electrode 155: transparent resin
157 substrate 159 cavity
160: vertical type light emitting diode of the present invention
161: bonding wire 190: LED light emitting element
200: transfer substrate 210, 210a, 210b, 210c: separation layer
300: seat lighting 301: target substrate
302: first insulating layer 303: first transparent electrode layer
304: second insulating layer 305: second transparent electrode layer
310: seating electrode
350: horizontal connection electrode 350a: first horizontal connection electrode
350b: second horizontal connection electrode 500, 500a, 500b, 500c: laser light

Claims (5)

마이크로 수직형 발광 다이오드의 p형 전극과 n형 전극 중 하나의 전극이 점착된 이송기판으로부터 상기 마이크로 수직형 발광 다이오드를 전사받아 제작되는 시트 조명으로서,
전기적으로 상호 이격되도록 형성되는 복수 개 안착전극 및 이웃하는 상기 안착전극을 전기적으로 연결하는 복수 개 수평연결전극을 구비하는 타겟기판과,
- 상기 이송기판과 점착되는 상기 마이크로 수직형 발광 다이오드의 p형 전극과 n형 전극 중 하나의 전극은 상기 하나의 전극 면적만큼 패턴 형성되는 분리층을 통하여 상기 이송기판과 점착됨 -
- 상기 수평연결전극에 의해 상기 복수 개 안착전극에는 동일 전위가 인가됨 -
상기 안착전극 상에 고정 설치되는 상기 마이크로 수직형 발광 다이오드와,
- 상기 마이크로 수직형 발광 다이오드는 상기 타겟기판의 제조와 분리된 공정에 의해 제조되며, p형 전극부터 n형 전극 사이의 높이가 수백 마이크로미터 이하임 -
상기 마이크로 수직형 발광 다이오드의 p형 전극과 n형 전극 중에서 상기 안착전극에 부착되지 않은 나머지 전극과 접촉되도록 형성되는 투명전극층 및
상기 수평연결전극과 상기 투명전극층 사이에 적층되는 절연층을 포함하고,
평면상에서 보았을 때 상기 안착전극은 두 개 이상의 상기 마이크로 수직형 발광 다이오드가 안착될 수 있는 면적으로 구비되는 것을 특징으로 하는 시트 조명.
A sheet light manufactured by transferring the micro vertical light emitting diode from a transfer substrate to which one of the p-type electrode and the n-type electrode of the micro vertical light emitting diode is attached,
A target substrate having a plurality of seating electrodes formed to be electrically spaced apart from each other and a plurality of horizontal connection electrodes electrically connecting the adjacent seating electrodes;
- One of the p-type electrode and the n-type electrode of the micro vertical type light emitting diode attached to the transfer substrate is adhered to the transfer substrate through a separation layer patterned as much as the area of the one electrode -
- The same potential is applied to the plurality of seating electrodes by the horizontal connection electrode -
The micro vertical type light emitting diode fixedly installed on the seating electrode;
- The micro vertical light emitting diode is manufactured by a process separate from the manufacturing of the target substrate, and the height between the p-type electrode and the n-type electrode is less than several hundred micrometers -
A transparent electrode layer formed to contact the remaining electrodes not attached to the seating electrode among the p-type electrode and the n-type electrode of the micro-vertical light emitting diode, and
Including an insulating layer laminated between the horizontal connection electrode and the transparent electrode layer,
Seat lighting, characterized in that when viewed from a plane, the seating electrode is provided with an area in which two or more micro-vertical light emitting diodes can be seated.
제1항에 있어서,
상기 안착전극의 상부면은 상기 수평연결전극의 상부면보다 높게 형성되며,평면에서 보았을 때 상기 수평연결전극의 폭은 상기 마이크로 수직형 발광 다이오드의 다이 직경보다 작게 형성되는 것
- 상기 마이크로 수직형 발광 다이오드의 다이 직경은 상기 마이크로 수직형 발광 다이오드가 상기 안착전극에 안착되는 면적에서 측정되는 최대 직경을 의미함 -
을 특징으로 하는 시트 조명.
According to claim 1,
An upper surface of the seating electrode is formed higher than an upper surface of the horizontal connection electrode, and a width of the horizontal connection electrode when viewed from a plane is smaller than a die diameter of the micro vertical light emitting diode.
- The die diameter of the micro vertical light emitting diode means the maximum diameter measured in the area where the micro vertical light emitting diode is seated on the seating electrode -
Seat lighting characterized by.
제1항에 있어서,
이웃하는 상기 안착전극의 중심 사이의 수평거리(p)는 상기 투명전극층의 높이(v)보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 시트 조명.
According to claim 1,
Sheet lighting, characterized in that the horizontal distance (p) between the centers of the adjacent seating electrode is formed larger than the height (v) of the transparent electrode layer.
제3항에 있어서,
상기 수평연결전극은 상기 안착전극과 접촉되도록 형성되는 제1수평연결전극과 이웃하는 상기 제1수평연결전극과 접촉되도록 형성되는 제2수평연결전극으로 형성되며, 상기 제2수평연결전극은 상기 제1수평연결전극보다 더 큰 저항을 갖는 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 시트 조명.
According to claim 3,
The horizontal connection electrode is formed of a first horizontal connection electrode formed to contact the seating electrode and a second horizontal connection electrode formed to contact the adjacent first horizontal connection electrode, and the second horizontal connection electrode is formed to be in contact with the first horizontal connection electrode. 1 sheet lighting, characterized in that formed of a material having a greater resistance than the horizontal connection electrode.
제1항에 있어서,
상기 분리층은 접착물질 또는 점착물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 시트 조명.
According to claim 1,
Sheet lighting, characterized in that the separation layer is made of an adhesive material or adhesive material.
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