KR102474033B1 - 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 배관의 내부에 성형되는 불소수지층이 직선적으로 형성되어 유체의 흐름을 방해하는 공간적 요소가 형성되지 않아 고품질을 배관을 얻을 수 있도록 하는 반도체설비용배관 불소수지층 성형장치에 대한 것이다.

Description

반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치{Fluororesin layer forming equipment for piping for semiconductor equipment}
본 발명은 반도체설비용배관 불소수지층 성형장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 배관의 내부에 성형되는 불소수지층이 직선적으로 형성되어 유체의 흐름을 방해하는 공간적 요소가 형성되지 않아 고품질을 배관을 얻을 수 있도록 하는 반도체설비용배관 불소수지층 성형장치에 대한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정이나 LCD 제조공정에서는 클린룸(Clean Room) 구간 내의 공정 챔버에 다종 다양한 종류의 반응 가스를 일정한 품질 상태로 안정적이고 안전하게 공급하기 위한 각종 가스 공급 설비를 위한 가스배관이 필수적으로 설치된다.
통상적으로, 반도체 및 LCD 제조공정의 가스공급 설비를 통하여 공급되는 가스는 소위 "벌크 가스"라고 불리는 일반가스와, "프로세스 가스"라고 불리는 특수재료 가스 등이 있다.
예를 들면, 벌크 가스는 드라이 에어, 질소, 산소, 수소, 아르곤, 헬륨 등과 같이 비교적 대량으로 소비되는 일반 가스가 주종을 이루고 있으며, 프로세스 가스는 모노 실란, 포스핀, 삼불화질소, 암모니아 등과 같은 특수재료 가스가 주종을 이루고 있다.
특히, 프로세스 가스의 경우 미반응 가스와 부성(副成) 가스를 배출하게 되므로 유독성과 부식성 및 가연성 등이 매우 강하여 진공펌프 등과 같은 제해(除害)장치나 배기가스 처리장치(스크러버; scrubber)를 통해 무해화(無害化) 상태로 정화시켜 대기로 방출해야 한다.
따라서, 반도체 및 LCD 제조공정의 가스공급 설비는 프로세스 장치에까지 이르는 동안 가스의 고순도를 유지하면서 오염이나 누출을 방지할 수 있도록 충분한 청정도와 내식성 및 강도를 지닌 특수 배관 설비를 필요로 한다.
이러한 배관 설비는 품질, 안정성, 메인티넌스성, 경제성 등을 고려하여 선정하게 되는데, 통상 배기가스의 독성과 부식성 등으로 인하여 내식성이 뛰어난 스테인리스 파이프가 주로 이용되고 있다.
그런데, 반도체 및 LCD 제조공정의 프로세스 배기가스에는 반응생성물이나 더스트 등의 미립자가 다량 함유되어 있어서 배기가스가 진공펌프 또는 배기가스 처리장치로 이동되는 과정에서 외부 온도 변화 등에 의해 빠르게 파우더화 되면서 배관의 내부에 침적되거나 고착된다.
이러한 현상을 최대한 억제하기 위하여 특히 일반 가스에 비해 독성과 부식성 등이 강한 프로세스 가스의 배관은 스테인리스 파이프의 표면 보호를 위해 내주면에 예를 들어 테프론(Teflon)이라고 불리우는 '불소수지층'과 같은 특수 코팅층을 형성하여 사용하는 것이 일반적이다.
한편, 상기와 같이 내주면에 불소수지층이 코팅된 배관을 성형하여 제조하고자 할 경우에는, 불소수지분체를 배관의 내부에 침착한 상태에서 회전시켜 균일한 코팅두게를 형성함과 아울러, 소정의 온도로 열소성시켜 경화시키는 방식과, 불소수지로 이루어진 불소수지관을 배관의 내부에 고정하여 2중관 구조로 형성하는 방식이 적용될 수 있다.
대한민국등록특허 제10-1740901호
본 발명은 배관의 내부에 성형되는 불소수지층이 직선적으로 형성되어 유체의 흐름을 방해하는 공간적 요소가 형성되지 않아 고품질을 배관을 얻을 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 배관 내부를 코팅하기 위한 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치인 것을 특징으로 한다.
일 실시예에서, 상기 성형장치는, 안착플레이트를 지지하도록 사각의 틀로 형성되는 장치프레임과, 구동고정베이스를 지지하도록 장치프레임 상면에 안착 형성되는 안착플레이트와, 구동고정베이스에 가해지는 하중을 지지하며, 진동을 감쇄시키기 위해 일측이 안착플레이트 상면 일측에 삽입 고정되고, 타측이 구동고정베이스 하면 일측에 삽입 고정되는 베이스안착스프링과, 안착플레이트와 일정 간격을 두고 베이스안착스프링에 의해 안착 형성되는 구동고정베이스와, 관지지판을 지지하도록 구동고정베이스 상부로 형성되는 지그안착프레임과, 배관을 고정하기 위해 지그안착프레임 상부 일측과 타측으로 각각 마주보도록 형성되는 관지지판과, 일측의 관지지판과 타측의 관지지판을 상호 고정시키기 위해 일측이 일측방향의 관지지판에 고정되고, 타측이 타측방향의 관지지판에 고정 형성되는 관고정바와, 일측으로 형성되는 관지지판 일측에 삽입 형성되는 완충고정판과, 배관의 일측을 지지하도록 완충고정판과 일정 간격을 두고 완충스프링에 의해 고정 형성되는 관고정지그와, 배관의 일측이 삽입될 수 있도록 관고정지그 일측면에 형성되는 고정지그홈과, 노즐홈과 코팅주입홀 측으로 코팅액을 주입하기 위한 주입관이 탈부착될 수 있도록 완충고정판 일측으로 형성되는 커넥터와, 주입되는 코팅액이 코팅주입홀 측으로 이동될 수 있도록 커넥터 내부로 형성되는 노즐홈과, 배관 내면 측으로 코팅액을 주입하기 위해 코팅노즐과, 노즐홈 측으로부터 이동되는 코팅액을 코팅노즐을 통해 배관 측으로 주입하기 위해 코팅노즐 내부로 형성되는 코팅주입홀과, 노즐홈으로부터 코팅주입홀 측으로 코팅액의 이동시 관고정지그와 완충고정판 사이의 간격에 따라 유동될 수 있도록 일측이 관고정지그 일측면에 부착되고, 타측이 완충고정판 일측면에 부착 형성되는 주름관과, 완충가이드바가 관통될 수 있도록 관지지판과 완충고정판에 각각 형성되는 바홈과, 관고정지그가 완충고정판 측으로 이동될 수 있도록 일측이 관고정지그 일측면에 고정되고, 바홈을 관통하도록 형성되는 완충가이드바와, 고정지그홈 측으로 배관 고정시 압축되고, 관고정지그를 배관 측으로 밀어주기 위해 이완되도록 완충가이드바 둘레로 형성되는 완충스프링과, 배관의 타측이 삽입될 수 있도록 관회전지그 일측면에 형성되는 관회전홈과, 배관의 타측을 지지하도록 타측으로 형성되는 관지지판 일측으로 형성되는 관회전지그와, 관회전지그의 회전시 관지지판 상에서 원활하게 회전될 수 있도록 관회전지그가 위치되는 관지지판 내부로 삽입 형성되는 지그베어링과, 타측의 지그회전기어와 맞물려 구동모터로부터 제공되는 회전동력을 제공받아 회전될 수 있도록 관회전지그 일측으로 형성되는 지그회전기어와, 축기어와 구동기어가 연결되도록 형성되며, 구동기어의 회전시 축기어가 동시에 회전될 수 있도록 형성되는 기어축과, 관지지판 하부 일측으로 형성되어 복수의 지그회전기어와 맞물리도록 기어축 일측으로 형성되는 축기어와, 기어축 타측으로 기어벨트에 의해 연결되어 모터기어 측으로부터 제공되는 회전동력에 의해 회전되도록 형성되는 구동기어와, 모터기어의 회전동력을 구동기어 측으로 제공하기 위해 모터기어와 구동기어 간의 연결 형성되는 기어벨트와, 구동모터로부터 생성되는 회전동력을 모터기어 측으로 제공하기 위해 구동모터 일측으로 형성되는 메인구동축과, 배관을 회전시키기 위한 회전동력을 생성하기 위해 모터지지대에 안착 형성되는 구동모터와, 구동모터로부터 제공받은 회전동력을 구동기어 측으로 제공하기 위해 메인구동축 일측으로 형성되는 모터기어와, 구동모터를 지지하기 위해 구동고정베이스 일측으로 형성되는 모터지지대로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또다른 일 실시예에서, 상기 성형장치는, 배관의 길이에 따라 일측의 관지지판을 타측으로 슬라이드 이동시켜 일측의 관지지판과 타측의 관지지판 사이의 거리를 가변하기 위한 관가변부를 더 포함하며, 상기 관가변부는, 안착대에 의해 지그안착프레임과 일정 높이를 두고 상측으로 형성되는 가변패널과, 가변이동부재가 관통되어 이동될 수 있도록 가변패널 상에 형성되는 슬라이드홈과, 가변바가 삽입될 수 있도록 일측으로 형성되는 관지지판 일측면으로 형성되는 고정바와, 가변스크류의 회전시 이동되는 가변이동부재에 의해 타측으로 형성되는 관지지판 이동시 고정바 측으로 삽입될 수 있도록 타측으로 형성되는 관지지판 일측면에 형성되는 가변바와, 가변이동부재를 슬라이드홈을 따라 이동시키기 위해 스크류모터 일측으로 형성되는 가변스크류와, 타측으로 형성되는 관지지판을 일측으로 형성되는 관지지판 측으로 이동시키기 위해 일측이 가변스크류에 결합되고, 타측이 타측으로 형성되는 관지지판 하부에 연결 형성되는 가변이동부재와, 가변스크류를 회전시키기 위한 회전동력을 생성하기 위해 가변패널 하부 일측으로 형성되는 스크류모터와, 관고정지그와 관회전지그에 위치되는 배관의 길이를 감지하기 위해 일측으로 형성되는 관지지판 일측면에 형성되는 관길이감지센서와, 배관의 일측의 압착을 감지하도록 관회전홈 내면에 형성되는 밀착센서와, 배관의 타측의 압착을 감지하도록 고정지그홈 내면에 형성되는 압착센서로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 불소수지층이 직선적으로 형성되어, 직관의 내부에서 유체의 흐름을 방해하는 공간적 요소가 형성되지 않아 고품질의 반도체설비용 배관을 얻을 수 있는 효과를 가진다.
또한, 반도체설비용 배관의 내주면에 불소수지층을 성형하는 작업이 회전소성에 의해 이루어짐에 따라, 생산성이 증대되어 경제적인 이익이 구현되는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치에 대한 도면이다.
도 2는 도 1에 대한 상세도이다.
도 3은 본 발명 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치에 또다른 실시예인 관가변부를 적용한 도면이다.
도 4는 도 3에 대한상세도이다.
도 5는 본 발명 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치에 또다른 실시예인 베이스가변회전부를 적용한 도면이다.
도 6은 도 5에 대한상세도이다.
도 7은 본 발명 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치에 또다른 실시예인 건조및송풍부를 적용한 도면이다.
도 8은 도 7에 대한상세도이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치(100)에 대한 도면이며, 도 2는 도 1에 대한 상세도이다.
상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 성형장치(100)는 배관 내부를 코팅하기 위한 것을 특징으로 한다.
상기 성형장치(100)는 장치프레임(110), 안착플레이트(111), 베이스안착스프링(112), 구동고정베이스(113), 지그안착프레임(114), 관지지판(115), 관고정바(116), 완충고정판(117), 관고정지그(118), 고정지그홈(119), 커넥터(120), 노즐홈(121), 코팅노즐(122), 코팅주입홀(123), 주름관(124), 바홈(125), 완충가이드바(126), 완충스프링(127), 관회전홈(128), 관회전지그(129), 지그베어링(130), 지그회전기어(131), 기어축(132), 축기어(133), 구동기어(134), 기어벨트(135), 메인구동축(136), 구동모터(137), 모터지지대(139), 모터기어(138)로 이루어진다.
상기 장치프레임(110)은 안착플레이트(111)를 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 장치프레임(110)은 사각의 틀로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 안착플레이트(111)는 구동고정베이스(113)를 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 안착플레이트(111)는 장치프레임(110) 상면에 안착 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 베이스안착스프링(112)은 구동고정베이스(113)에 가해지는 하중을 지지하며, 진동을 감쇄시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 베이스안착스프링(112)은 일측이 안착플레이트(111) 상면 일측에 삽입 고정되고, 타측이 구동고정베이스(113) 하면 일측에 삽입 고정되는 것을 특징으로 한다.
상기 구동고정베이스(113)는 안착플레이트(111)와 일정 간격을 두고 베이스안착스프링(112)에 의해 안착 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 지그안착프레임(114)은 관지지판(115)을 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 지그안착프레임(114)은 구동고정베이스(113) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 관지지판(115)은 배관을 고정하기 위해 형성되는 것으로, 상기 관지지판(115)은 지그안착프레임(114) 상부 일측과 타측으로 각각 마주보도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 관고정바(116)는 일측의 관지지판(115)과 타측의 관지지판(115)을 상호 고정시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 관고정바(116)는 일측이 일측방향의 관지지판(115)에 고정되고, 타측이 타측방향의 관지지판(115)에 고정 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 완충고정판(117)은 일측으로 형성되는 관지지판(115) 일측에 삽입 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 관고정지그(118)는 배관의 일측을 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 관고정지그(118)는 완충고정판(117)과 일정 간격을 두고 완충스프링(127)에 의해 고정 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 고정지그홈(119)은 배관의 일측이 삽입될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 고정지그홈(119)은 관고정지그(118) 일측면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 커넥터(120)는 노즐홈(121)과 코팅주입홀(123) 측으로 코팅액을 주입하기 위한 주입관이 탈부착될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 커넥터(120)는 완충고정판(117) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 노즐홈(121)은 주입되는 코팅액이 코팅주입홀(123) 측으로 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 노즐홈(121)은 커넥터(120) 내부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 코팅노즐(122)은 배관 내면 측으로 코팅액을 주입하기 위해 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 코팅주입홀(123)은 노즐홈(121) 측으로부터 이동되는 코팅액을 코팅노즐(122)을 통해 배관 측으로 주입하기 위해 형성되는 것으로, 상기 코팅주입홀(123)은 코팅노즐(122) 내부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 주름관(124)은 노즐홈(121)으로부터 코팅주입홀(123) 측으로 코팅액의 이동시 관고정지그(118)와 완충고정판(117) 사이의 간격에 따라 유동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 주름관(124)은 일측이 관고정지그(118) 일측면에 부착되고, 타측이 완충고정판(117) 일측면에 부착 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 바홈(125)은 완충가이드바(126)가 관통될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 바홈(125)은 관지지판(115)과 완충고정판(117)에 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 완충가이드바(126)는 관고정지그(118)가 완충고정판(117) 측으로 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 완충가이드바(126)는 일측이 관고정지그(118) 일측면에 고정되고, 바홈(125)을 관통하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 완충스프링(127)은 고정지그홈(119) 측으로 배관 고정시 압축되고, 관고정지그(118)를 배관 측으로 밀어주기 위해 이완되도록 형성되는 것으로, 상기 완충스프링(127)은 완충가이드바(126) 둘레로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 관회전홈(128)은 배관의 타측이 삽입될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 관회전홈(128)은 관회전지그(129) 일측면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 관회전지그(129)는 배관의 타측을 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 관회전지그(129)는 타측으로 형성되는 관지지판(115) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 지그베어링(130)은 관회전지그(129)의 회전시 관지지판(115) 상에서 원활하게 회전될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 지그베어링(130)은 관회전지그(129)가 위치되는 관지지판(115) 내부로 삽입 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 지그회전기어(131)는 타측의 지그회전기어(131)와 맞물려 구동모터(137)로부터 제공되는 회전동력을 제공받아 회전될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 지그회전기어(131)는 관회전지그(129) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 기어축(132)은 축기어(133)와 구동기어(134)가 연결되도록 형성되며, 구동기어(134)의 회전시 축기어(133)가 동시에 회전될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 축기어(133)는 관지지판(115) 하부 일측으로 형성되어 복수의 지그회전기어(131)와 맞물리도록 형성되는 것으로, 상기 축기어(133)는 기어축(132) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 구동기어(134)는 기어축(132) 타측으로 기어벨트(135)에 의해 연결되어 모터기어(138) 측으로부터 제공되는 회전동력에 의해 회전되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 기어벨트(135)는 모터기어(138)의 회전동력을 구동기어(134) 측으로 제공하기 위해 형성되는 것으로, 상기 기어벨트(135)는 모터기어(138)와 구동기어(134) 간의 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 메인구동축(136)은 구동모터(137)로부터 생성되는 회전동력을 모터기어(138) 측으로 제공하기 위해 형성되는 것으로, 상기 메인구동축(136)은 구동모터(137) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 구동모터(137)는 배관을 회전시키기 위한 회전동력을 생성하기 위해 형성되는 것으로, 상기 구동모터(137)는 모터지지대(139)에 안착 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 모터지지대(139)는 구동모터(137)를 지지하기 위해 형성되는 것으로, 상기 모터지지대(139)는 구동고정베이스(113) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 모터기어(138)는 구동모터(137)로부터 제공받은 회전동력을 구동기어(134) 측으로 제공하기 위해 형성되는 것으로, 상기 모터기어(138)는 메인구동축(136) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
도 3은 본 발명 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치(100)에 또다른 실시예인 관가변부(200)를 적용한 도면이며, 도 4는 도 3에 대한상세도이다.
상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 관가변부(200)는 성형장치(100)에 더 포함하는 구성으로, 상기 관가변부(200)는 배관의 길이에 따라 일측의 관지지판(115)을 타측으로 슬라이드 이동시켜 일측의 관지지판(115)과 타측의 관지지판(115) 사이의 거리를 가변하기 위한 것을 특징으로 한다.
상기 관가변부(200)는 가변패널(210), 슬라이드홈(211), 고정바(212), 가변바(213), 가변스크류(214), 가변이동부재(215), 스크류모터(216), 관길이감지센서(217), 밀착센서(218), 압착센서(219)로 이루어진다.
상기 가변패널(210)은 안착대에 의해 지그안착프레임(114)과 일정 높이를 두고 상측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 슬라이드홈(211)은 가변이동부재(215)가 관통되어 이동될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 슬라이드홈(211)은 가변패널(210) 상에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 고정바(212)는 가변바(213)가 삽입될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 고정바(212)는 일측으로 형성되는 관지지판(115) 일측면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 가변바(213)는 가변스크류(214)의 회전시 이동되는 가변이동부재(215)에 의해 타측으로 형성되는 관지지판(115) 이동시 고정바(212) 측으로 삽입될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 가변바(213)는 타측으로 형성되는 관지지판(115) 일측면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 가변스크류(214)는 가변이동부재(215)를 슬라이드홈(211)을 따라 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 가변스크류(214)는 스크류모터(216) 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 가변이동부재(215)는 타측으로 형성되는 관지지판(115)을 일측으로 형성되는 관지지판(115) 측으로 이동시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 가변이동부재(215)는 일측이 가변스크류(214)에 결합되고, 타측이 타측으로 형성되는 관지지판(115) 하부에 연결 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 스크류모터(216)는 가변스크류(214)를 회전시키기 위한 회전동력을 생성하기 위해 형성되는 것으로, 상기 스크류모터(216)는 가변패널(210) 하부 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 관길이감지센서(217)는 관고정지그(118)와 관회전지그(129)에 위치되는 배관의 길이를 감지하기 위해 형성되는 것으로, 상기 관길이감지센서(217)는 일측으로 형성되는 관지지판(115) 일측면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 밀착센서(218)는 배관의 일측의 압착을 감지하도록 형성되는 것으로, 상기 밀착센서(218)는 관회전홈(128) 내면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 압착센서(219)는 배관의 타측의 압착을 감지하도록 형성되는 것으로, 상기 압착센서(219)는 고정지그홈(119) 내면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
도 5는 본 발명 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치(100)에 또다른 실시예인 베이스가변회전부(300)를 적용한 도면이며, 도 6은 도 5에 대한상세도이다.
상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 베이스가변회전부(300)는 성형장치(100)에 더 포함하는 구성으로, 상기 베이스가변회전부(300)는 배관 내부의 코팅액 주입시 코팅액이 배관 내면 전체에 펼쳐지도록 하여 코팅이 이루어질 수 있도록 회전되는 배관의 일측과 타측을 각각 다른 방향으로 승하강시키기 위한 것을 특징으로 한다.
상기 베이스가변회전부(300)는 중앙지지축(310), 지지축힌지(311), 지지축고정부재(312), 제1승하강실린더(313), 제2승하강실린더(314), 실린더축힌지(315), 축힌지고정부재(316), 제1높낮이센서(317), 제2높낮이센서(318), 수평센서(319)로 이루어진다.
상기 중앙지지축(310)은 지그안착프레임(114)의 회전을 고정하며, 지그안착프레임(114)을 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 중앙지지축(310)은 구동고정베이스(113) 상부 중앙으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 지지축힌지(311)는 중앙지지축(310) 상부가 지그안착프레임(114) 하부 중앙에 형성되는 지지축고정부재(312)와 연결되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 지지축고정부재(312)는 중앙지지축(310)이 지지축힌지(311)에 의해 고정되도록 형성되는 것으로, 상기 지지축고정부재(312)는 지그안착프레임(114) 하부 중앙으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1승하강실린더(313)는 지그안착프레임(114)의 일측을 승하강시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 제1승하강실린더(313)는 구동고정베이스(113) 상부 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2승하강실린더(314)는 지그안착프레임(114)의 타측을 승하강시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 제2승하강실린더(314)는 구동고정베이스(113) 상부 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 실린더축힌지(315)는 지그안착프레임(114) 하부 양측으로 각각 형성되는 축힌지고정부재(316)에 실린더의 축이 연결되도록 형성되는 것으로, 상기 실린더축힌지(315)는 제1승하강실린더(313)의 실린더축과 제2승하강실린더(314)의 실린더축에 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 축힌지고정부재(316)는 실린더축힌지(315)가 결합될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 축힌지고정부재(316)는 지그안착프레임(114) 하부 양측으로 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1높낮이센서(317)는 제1승하강실린더(313)의 구동시 제1승하강실린더(313) 측의 지그안착프레임(114)과 구동고정베이스(113) 간의 높낮이를 감지하기 위해 형성되는 것으로, 상기 제1높낮이센서(317)는 지그안착프레임(114) 하부 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2높낮이센서(318)는 제2승하강실린더(314)의 구동시 제2승하강실린더(314) 측의 지그안착프레임(114)과 구동고정베이스(113) 간의 높낮이를 감지하기 위해 형성되는 것으로, 상기 제2높낮이센서(318)는 지그안착프레임(114) 하부 타측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 수평센서(319)는 지그안착프레임(114)의 수평을 감지하기 위해 형성되는 것으로, 상기 수평센서(319)는 지그안착프레임(114) 일측면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
도 7은 본 발명 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치(100)에 또다른 실시예인 건조및송풍부(400)를 적용한 도면이며, 도 8은 도 7에 대한상세도이다.
상기 도면에서 보는 바와 같이, 상기 건조및송풍부(400)는 성형장치(100)에 더 포함하는 구성으로, 상기 건조및송풍부(400)는 코팅 중인 배관 측으로 열풍을 제공하며, 코팅 중에 발생되는 코팅액 냄새를 흡입하여 외부로 배출시키기 위한 것을 특징으로 한다.
상기 건조및송풍부(400)는 프레임지지대(410), 개폐프레임(411), 개폐힌지(412), 개폐덮개(413), 회전감지센서(414), 흡입팬(415), 탈취필터(416), 건조팬(417), 작동램프(418)로 이루어진다.
상기 프레임지지대(410)는 지그안착프레임(114) 일측으로 고정 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 개폐프레임(411)은 개폐되는 개폐덮개(413)를 지지하도록 형성되는 것으로, 상기 개폐프레임(411)은 프레임지지대(410) 상부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 개폐힌지(412)는 개폐덮개(413)가 개폐프레임(411) 상에서 회전 개폐될 수 있도록 형성되는 것으로, 상기 개폐힌지(412)는 개폐프레임(411)과 개폐덮개(413) 사이에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 개폐덮개(413)는 배관 코팅시 배관을 감싸도록 형성되는 것으로, 상기 개폐덮개(413)는 개폐프레임(411) 일측으로 개폐힌지(412)에 의해 결합 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 회전감지센서(414)는 코팅되는 배관의 회전을 감지하여 감지된 정보를 흡입팬(415)과 건조팬(417) 측으로 제공하도록 형성되는 것으로, 상기 회전감지센서(414)는 개폐덮개(413) 내면 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 흡입팬(415)은 건조팬(417)에 의해 발생되는 열기와, 배관코팅시 발생되는 냄새를 외부로 배출시키기 위해 형성되는 것으로, 상기 흡입팬(415)은 개폐덮개(413) 내면 중앙으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 탈취필터(416)는 흡입팬(415)을 통해 흡입된 공기를 필터링하기 위해 형성되는 것으로, 상기 탈취필터(416)는 흡입팬(415) 일측으로 개폐덮개(413)를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 건조팬(417)은 코팅되는 배관 측으로 설정되는 온도의 열기를 제공하기 위해 형성되는 것으로, 상기 건조팬(417)은 개폐덮개(413) 내면 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 작동램프(418)는 작동상태를 나타낸기 위한 것으로, 상기 작동램프(418)는 개폐덮개(413) 상부 일측으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 성형장치
110 : 장치프레임 111 : 안착플레이트
112 : 베이스안착스프링 113 : 구동고정베이스
114 : 지그안착프레임 115 : 관지지판
116 : 관고정바 117 : 완충고정판
118 : 관고정지그 119 : 고정지그홈
120 : 커넥터 121 : 노즐홈
122 : 코팅노즐 123 : 코팅주입홀
124 : 주름관 125 : 바홈
126 : 완충가이드바 127 : 완충스프링
128 : 관회전홈 129 : 관회전지그
130 : 지그베어링 131 : 지그회전기어
132 : 기어축 133 : 축기어
134 : 구동기어 135 : 기어벨트
136 : 메인구동축 137 : 구동모터
138 : 모터기어 139 : 모터지지대
200 : 관가변부 210 : 가변패널
211 : 슬라이드홈 212 : 고정바
213 : 가변바 214 : 가변스크류
215 : 가변이동부재 216 : 스크류모터
217 : 관길이감지센서 218 : 밀착센서
219 : 압착센서
300 : 베이스가변회전부 310 : 중앙지지축
311 : 지지축힌지 312 : 지지축고정부재
313 : 제1승하강실린더 314 : 제2승하강실린더
315 : 실린더축힌지 316 : 축힌지고정부재
317 : 제1높낮이센서 318 : 제2높낮이센서
319 : 수평센서
400 : 건조및송풍부 410 : 프레임지지대
411 : 개폐프레임 412 : 개폐힌지
413 : 개폐덮개 414 : 회전감지센서
415 : 흡입팬 416 : 탈취필터
417 : 건조팬 418 : 작동램프

Claims (3)

  1. 배관 내부를 코팅하기 위한 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치에 있어서,
    상기 성형장치는,
    안착플레이트를 지지하도록 사각의 틀로 형성되는 장치프레임과,
    구동고정베이스를 지지하도록 장치프레임 상면에 안착 형성되는 안착플레이트와,
    구동고정베이스에 가해지는 하중을 지지하며, 진동을 감쇄시키기 위해 일측이 안착플레이트 상면 일측에 삽입 고정되고, 타측이 구동고정베이스 하면 일측에 삽입 고정되는 베이스안착스프링과,
    안착플레이트와 일정 간격을 두고 베이스안착스프링에 의해 안착 형성되는 구동고정베이스와,
    관지지판을 지지하도록 구동고정베이스 상부로 형성되는 지그안착프레임과,
    배관을 고정하기 위해 지그안착프레임 상부 일측과 타측으로 각각 마주보도록 형성되는 관지지판과,
    일측의 관지지판과 타측의 관지지판을 상호 고정시키기 위해 일측이 일측방향의 관지지판에 고정되고, 타측이 타측방향의 관지지판에 고정 형성되는 관고정바와,
    일측으로 형성되는 관지지판 일측에 삽입 형성되는 완충고정판과,
    배관의 일측을 지지하도록 완충고정판과 일정 간격을 두고 완충스프링에 의해 고정 형성되는 관고정지그와,
    배관의 일측이 삽입될 수 있도록 관고정지그 일측면에 형성되는 고정지그홈과,
    노즐홈과 코팅주입홀 측으로 코팅액을 주입하기 위한 주입관이 탈부착될 수 있도록 완충고정판 일측으로 형성되는 커넥터와,
    주입되는 코팅액이 코팅주입홀 측으로 이동될 수 있도록 커넥터 내부로 형성되는 노즐홈과,
    배관 내면 측으로 코팅액을 주입하기 위해 코팅노즐과,
    노즐홈 측으로부터 이동되는 코팅액을 코팅노즐을 통해 배관 측으로 주입하기 위해 코팅노즐 내부로 형성되는 코팅주입홀과,
    노즐홈으로부터 코팅주입홀 측으로 코팅액의 이동시 관고정지그와 완충고정판 사이의 간격에 따라 유동될 수 있도록 일측이 관고정지그 일측면에 부착되고, 타측이 완충고정판 일측면에 부착 형성되는 주름관과,
    완충가이드바가 관통될 수 있도록 관지지판과 완충고정판에 각각 형성되는 바홈과,
    관고정지그가 완충고정판 측으로 이동될 수 있도록 일측이 관고정지그 일측면에 고정되고, 바홈을 관통하도록 형성되는 완충가이드바와,
    고정지그홈 측으로 배관 고정시 압축되고, 관고정지그를 배관 측으로 밀어주기 위해 이완되도록 완충가이드바 둘레로 형성되는 완충스프링과,
    배관의 타측이 삽입될 수 있도록 관회전지그 일측면에 형성되는 관회전홈과,
    배관의 타측을 지지하도록 타측으로 형성되는 관지지판 일측으로 형성되는 관회전지그와,
    관회전지그의 회전시 관지지판 상에서 원활하게 회전될 수 있도록 관회전지그가 위치되는 관지지판 내부로 삽입 형성되는 지그베어링과,
    타측의 지그회전기어와 맞물려 구동모터로부터 제공되는 회전동력을 제공받아 회전될 수 있도록 관회전지그 일측으로 형성되는 지그회전기어와,
    축기어와 구동기어가 연결되도록 형성되며, 구동기어의 회전시 축기어가 동시에 회전될 수 있도록 형성되는 기어축과,
    관지지판 하부 일측으로 형성되어 복수의 지그회전기어와 맞물리도록 기어축 일측으로 형성되는 축기어와,
    기어축 타측으로 기어벨트에 의해 연결되어 모터기어 측으로부터 제공되는 회전동력에 의해 회전되도록 형성되는 구동기어와,
    모터기어의 회전동력을 구동기어 측으로 제공하기 위해 모터기어와 구동기어 간의 연결 형성되는 기어벨트와,
    구동모터로부터 생성되는 회전동력을 모터기어 측으로 제공하기 위해 구동모터 일측으로 형성되는 메인구동축과,
    배관을 회전시키기 위한 회전동력을 생성하기 위해 모터지지대에 안착 형성되는 구동모터와,
    구동모터로부터 제공받은 회전동력을 구동기어 측으로 제공하기 위해 메인구동축 일측으로 형성되는 모터기어와,
    구동모터를 지지하기 위해 구동고정베이스 일측으로 형성되는 모터지지대로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 성형장치는,
    배관의 길이에 따라 일측의 관지지판을 타측으로 슬라이드 이동시켜 일측의 관지지판과 타측의 관지지판 사이의 거리를 가변하기 위한 관가변부를 더 포함하며,
    상기 관가변부는,
    안착대에 의해 지그안착프레임과 일정 높이를 두고 상측으로 형성되는 가변패널과,
    가변이동부재가 관통되어 이동될 수 있도록 가변패널 상에 형성되는 슬라이드홈과,
    가변바가 삽입될 수 있도록 일측으로 형성되는 관지지판 일측면으로 형성되는 고정바와,
    가변스크류의 회전시 이동되는 가변이동부재에 의해 타측으로 형성되는 관지지판 이동시 고정바 측으로 삽입될 수 있도록 타측으로 형성되는 관지지판 일측면에 형성되는 가변바와,
    가변이동부재를 슬라이드홈을 따라 이동시키기 위해 스크류모터 일측으로 형성되는 가변스크류와,
    타측으로 형성되는 관지지판을 일측으로 형성되는 관지지판 측으로 이동시키기 위해 일측이 가변스크류에 결합되고, 타측이 타측으로 형성되는 관지지판 하부에 연결 형성되는 가변이동부재와,
    가변스크류를 회전시키기 위한 회전동력을 생성하기 위해 가변패널 하부 일측으로 형성되는 스크류모터와,
    관고정지그와 관회전지그에 위치되는 배관의 길이를 감지하기 위해 일측으로 형성되는 관지지판 일측면에 형성되는 관길이감지센서와,
    배관의 일측의 압착을 감지하도록 관회전홈 내면에 형성되는 밀착센서와,
    배관의 타측의 압착을 감지하도록 고정지그홈 내면에 형성되는 압착센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체설비용 배관 불소수지층 성형장치.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101470482B1 (ko) * 2013-05-02 2014-12-08 사단법인 전북대학교자동차부품금형기술혁신센터 스텐트의 이중 코팅장치
KR101672542B1 (ko) * 2016-02-17 2016-11-04 태영이노텍 주식회사 파이프 내부 코팅장치
KR101698166B1 (ko) * 2016-09-13 2017-01-25 주식회사 우진아이엔에스 반도체설비용 배관의 불소수지층 성형방법 및 그 성형장치
KR101740901B1 (ko) 2016-10-06 2017-06-22 주식회사 우진아이엔에스 반도체설비용 배관의 불소수지층 급속용융 소성방법
KR20190006261A (ko) * 2017-07-10 2019-01-18 일륭기공(주) 요크헤드와 샤프트 파이프의 마찰 용접 장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101470482B1 (ko) * 2013-05-02 2014-12-08 사단법인 전북대학교자동차부품금형기술혁신센터 스텐트의 이중 코팅장치
KR101672542B1 (ko) * 2016-02-17 2016-11-04 태영이노텍 주식회사 파이프 내부 코팅장치
KR101698166B1 (ko) * 2016-09-13 2017-01-25 주식회사 우진아이엔에스 반도체설비용 배관의 불소수지층 성형방법 및 그 성형장치
KR101740901B1 (ko) 2016-10-06 2017-06-22 주식회사 우진아이엔에스 반도체설비용 배관의 불소수지층 급속용융 소성방법
KR20190006261A (ko) * 2017-07-10 2019-01-18 일륭기공(주) 요크헤드와 샤프트 파이프의 마찰 용접 장치

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