KR102467695B1 - Application nozzle head and liquid application apparatus having it - Google Patents

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KR102467695B1 KR1020180087111A KR20180087111A KR102467695B1 KR 102467695 B1 KR102467695 B1 KR 102467695B1 KR 1020180087111 A KR1020180087111 A KR 1020180087111A KR 20180087111 A KR20180087111 A KR 20180087111A KR 102467695 B1 KR102467695 B1 KR 102467695B1
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도루 나카가와
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파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 고점도 액체 재료의 도포를 고속이고 또한 안정적으로 제어할 수 있는, 변위 확대 기구 및 이를 구비하는 액체 도포 장치의 제공.
[해결 수단] 액체 재료를 토출하는 노즐구멍과, 상기 노즐구멍에 액체 재료를 공급하는 공급 유로와, 상기 공급 유로 내의 액체에 맞닿아 왕복하는 플런저와, 상기 플런저에 변위를 부여하는 변위 확대 기구와, 상기 변위 확대 기구에 변위를 부여하는 액추에이터를 포함하고, 상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉부 중 적어도 어느 하나가 곡면인 액체 도포 장치를 이용한다.
[Problem] Provision of a displacement expanding mechanism capable of controlling the application of a high-viscosity liquid material at high speed and stably, and a liquid application device having the same.
[Solution] A nozzle hole for discharging liquid material, a supply passage for supplying the liquid material to the nozzle hole, a plunger reciprocating in contact with the liquid in the supply passage, and a displacement expanding mechanism for imparting displacement to the plunger; , A liquid application device including an actuator for imparting displacement to the displacement expanding mechanism, wherein at least one of a contact portion between the displacement expanding mechanism and the actuator is a curved surface.

Figure 112018073968792-pat00005
Figure 112018073968792-pat00005

Description

도포 노즐 헤드 및 이를 구비하는 액체 도포 장치{APPLICATION NOZZLE HEAD AND LIQUID APPLICATION APPARATUS HAVING IT}Application nozzle head and liquid application device having the same {APPLICATION NOZZLE HEAD AND LIQUID APPLICATION APPARATUS HAVING IT}

본 발명은, 도포 노즐 헤드 및 이를 구비하는 액체 도포 장치에 관한 것이다. 특히, 고점도의 액체를 토출하는 도포 노즐 헤드 및 이를 구비하는 액체 도포 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an application nozzle head and a liquid application device having the same. In particular, it relates to an application nozzle head for discharging a high-viscosity liquid and a liquid application device having the same.

플런저의 왕복 동작에 의해 액체 재료를 토출하는 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에 나타내는 제트 타입의 액체 도포 장치이다.BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] A device for discharging liquid material by reciprocating motion of a plunger is known. For example, it is a jet-type liquid application device shown in Patent Document 1.

최근에는 생산성 향상의 관점에서 도포 작업의 고속성이 요구되고 있다. 이 타입의 액체 도포 장치에 있어서, 일정 시간 내의 토출 횟수를 더욱 증가시키는 요구가 높아지고 있다. 그 때문에, 액체 도포 장치의 플런저를 고속으로 왕복 동작시키는 것이 필요하게 된다.In recent years, high-speed application work has been required from the viewpoint of improving productivity. In this type of liquid application device, there is a growing demand for further increasing the number of discharges within a certain period of time. Therefore, it is necessary to reciprocate the plunger of the liquid application device at high speed.

플런저를 왕복 동작시키기 위한 구동원으로서는, 모터나 에어, 압전 소자 등의 액추에이터가 이용되는 경우가 많다. 압전 소자는 고속 동작이 가능하다. 그러나, 그 변위량은 작기 때문에, 변위 확대 기구와 조합하여 변위량을 크게 하여 이용되는 것이 일반적이다. 예를 들어, 특허문헌 2에 기재된 것이 알려져 있다.As a driving source for reciprocating the plunger, an actuator such as a motor, air, or a piezoelectric element is often used. Piezoelectric elements are capable of high-speed operation. However, since the amount of displacement is small, it is common to increase the amount of displacement in combination with a displacement magnifying mechanism. For example, what was described in patent document 2 is known.

이하, 그 변위 확대 기구와 압전 소자를 이용한 종래의 액체 도포 장치에 대해 도 1~도 4를 참조하면서 설명한다.Hereinafter, a conventional liquid application device using the displacement increasing mechanism and a piezoelectric element will be described with reference to FIGS. 1 to 4 .

종래의 액체 도포 장치의 정면도를 도 1에 나타낸다. 종래의 액체 도포 장치의 토출부의 단면도를 도 2에 나타낸다. 액체 도포 장치(1)는, 노즐구멍(60)으로부터 토출 액적(65)을 토출한다. 액체 도포 장치(1)는, 노즐구멍(60)과 연통하여 액체 재료가 공급되는 공급 유로(52)와, 끝단부가 공급 유로(52) 내를 왕복 동작하는 플런저(12a)와, 플런저(12a)를 왕복 동작시키는 액추에이터(2a)와, 변위 확대 기구(3a)를 구비한다.A front view of a conventional liquid application device is shown in FIG. 1 . A cross-sectional view of a discharge portion of a conventional liquid application device is shown in FIG. 2 . The liquid application device 1 ejects ejection liquid droplets 65 from a nozzle hole 60 . The liquid application device 1 includes a supply passage 52 communicating with a nozzle hole 60 and supplying a liquid material, a plunger 12a whose tip reciprocates in the supply passage 52, and a plunger 12a. and an actuator 2a for reciprocating, and a displacement increasing mechanism 3a.

액추에이터(2a)가 좌우 대칭으로 배치되고, 하부에 플런저(12a)가 연결되는 탄성 변형 가능한 U자형 부재(5, 6, 7, 8, 9)로 변위 확대 기구(3a)가 구성된다. 도 3에서, 플런저(12a)의 상승시 동작을 설명한다. 도 4에서, 플런저(12a)의 하강시 동작을 설명한다. 액추에이터(2)가 U자형 부재(5, 6, 7, 8, 9)의 양단부를 이격시키는 힘을 작용시킴으로써, 플런저(12)를 윗방향으로 이동시킨다. 반대로 액추에이터(2a)가 U자형 부재(5, 6, 7, 8, 9)의 양단부를 근접시키는 힘을 작용시킴으로써, 플런저(12a)를 아랫방향으로 이동시킨다.The actuator 2a is arranged symmetrically and the displacement increasing mechanism 3a is composed of elastically deformable U-shaped members 5, 6, 7, 8 and 9 to which the plunger 12a is connected to the lower portion. In Fig. 3, the operation when the plunger 12a rises is explained. In Fig. 4, the operation when the plunger 12a is lowered is explained. The actuator 2 moves the plunger 12 upward by applying a force to separate the ends of the U-shaped members 5, 6, 7, 8 and 9 apart. Conversely, the actuator 2a applies a force to bring both ends of the U-shaped members 5, 6, 7, 8, and 9 closer, thereby moving the plunger 12a downward.

일본특허공개 평10-314640호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-314640 일본특허공개 2015-051399호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-051399

고점도 액체 재료를 토출시키기 위해서는, 큰 변위량으로 플런저(12)를 고속 구동할 필요가 있다.In order to discharge the high-viscosity liquid material, it is necessary to drive the plunger 12 at high speed with a large displacement.

종래의 변위 확대 기구(3a)에서는, U자형 부재(5, 6, 7, 8, 9)를 탄성 변형시킴으로써 플런저(12a)를 상하방향으로 왕복 동작시킨다. 필요한 변위량을 확보하기 위해서는 U자형 부재(8, 9)의 강성을 낮출 필요가 있다. 이에 따라 고유 진동수가 낮아지고, 플런저(12)의 변위 응답 속도를 향상시키는 것에는 한계가 있다.In the conventional displacement increasing mechanism 3a, the plunger 12a is reciprocated in the vertical direction by elastically deforming the U-shaped members 5, 6, 7, 8 and 9. In order to secure the necessary amount of displacement, it is necessary to lower the rigidity of the U-shaped members 8 and 9. Accordingly, the natural frequency is lowered, and there is a limit to improving the displacement response speed of the plunger 12.

따라서, 액추에이터(2)의 변위에 대한 변위 확대 기구(3a)의 변위 확대율을 크게 함으로써 플런저(12a)의 변위량을 크게 할 수 있지만, 고속 구동과의 양립은 어렵다.Accordingly, the amount of displacement of the plunger 12a can be increased by increasing the displacement expansion ratio of the displacement increasing mechanism 3a relative to the displacement of the actuator 2, but compatibility with high-speed driving is difficult.

본 발명은 이러한 종래의 과제를 해결하는 것으로, 고속이고 안정적으로 고점도 액체 재료의 도포를 제어할 수 있는, 변위 확대 기구 및 이를 구비하는 도포 노즐 헤드 및 이를 구비하는 액체 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.The present invention is to solve these conventional problems, and to provide a displacement expansion mechanism, an application nozzle head including the same, and a liquid application device including the same, which can control the application of a high-viscosity liquid material at high speed and stably. are doing

상기 목적을 달성하기 위해, 액체 재료를 토출하는 노즐구멍과, 상기 노즐구멍에 액체 재료를 공급하는 공급 유로와, 상기 공급 유로 내의 액체에 맞닿아 왕복하는 플런저와, 상기 플런저에 변위를 부여하는 변위 확대 기구와, 상기 변위 확대 기구에 변위를 부여하는 액추에이터를 포함하고, 상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉부 중 적어도 어느 하나가 곡면인 액체 도포 장치를 이용한다.To achieve the above object, a nozzle hole for discharging the liquid material, a supply passage for supplying the liquid material to the nozzle hole, a plunger reciprocating in contact with the liquid in the supply passage, and a displacement for imparting displacement to the plunger. A liquid application device comprising an enlargement mechanism and an actuator for imparting displacement to the displacement enlargement mechanism, wherein at least one of contact portions of the displacement enlargement mechanism and the actuator is a curved surface.

본 발명의 구성에 의하면, 전자 디바이스의 제조 등의 산업 용도에 있어서, 기능성 입자가 포함되는 고점도 액체 재료의 도포를 고속이고 안정적으로 제어할 수 있고, 필요한 개소에 최적의 양을 임의의 패턴으로 도포할 수 있다.According to the configuration of the present invention, in industrial applications such as manufacturing of electronic devices, it is possible to control the application of a high-viscosity liquid material containing functional particles at high speed and stably, and to apply an optimal amount to a required location in an arbitrary pattern. can do.

도 1은 종래의 액체 도포 장치의 정면도
도 2는 종래의 액체 도포 장치의 토출부의 단면도
도 3은 종래의 액체 도포 장치의 플런저 상승시의 동작 설명도
도 4는 종래의 액체 도포 장치의 플런저 하강시의 동작 설명도
도 5는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 6a는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6b는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6c는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6d는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6e는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6f는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 7은 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 8a는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 8b는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 8c는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 9a는 본 발명의 실시형태의 플런저 변위 거동도
도 9b는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 9c는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 9d는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
1 is a front view of a conventional liquid application device
Figure 2 is a cross-sectional view of the discharge portion of the conventional liquid application device
3 is an explanatory view of an operation when a plunger of a conventional liquid application device rises;
4 is an explanatory view of the operation of a conventional liquid application device when the plunger is lowered;
5 is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention
6A is a cross-sectional view of the plunger tip of an embodiment of the present invention.
6B is a cross-sectional view of the plunger tip of an embodiment of the present invention.
6C is a cross-sectional view of the plunger tip of an embodiment of the present invention.
6D is a cross-sectional view of the plunger tip of an embodiment of the present invention.
6E is a cross-sectional view of the plunger tip of an embodiment of the present invention.
6F is a cross-sectional view of the plunger tip of an embodiment of the present invention.
Fig. 7 is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention;
8A is a cross-sectional view of a liquid application device of an embodiment of the present invention;
8B is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention.
8C is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention.
9A is a plunger displacement behavior diagram of an embodiment of the present invention
9B is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention.
9C is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention.
9D is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention.

이하, 도면을 이용하여 실시형태를 설명한다. 설명은 하나의 예시이기 때문에, 본원발명은 하기 설명으로 한정되지 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment is described using drawings. Since the description is an example, the present invention is not limited to the following description.

<액체 도포 장치><Liquid application device>

<구성><Configuration>

도 5는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치(100)의 단면도로서, 기본 구성에 대해 이하에 설명한다.Fig. 5 is a cross-sectional view of the liquid application device 100 of the embodiment of the present invention, and the basic configuration will be described below.

액체 도포 장치(100)는, 노즐구멍(60)으로부터 액체 재료의 토출 액적(65)을 토출한다. 액체 도포 장치(100)는, 노즐구멍(60)과 연통하여 액체 재료가 공급되는 공급 유로(52)와, 끝단부가 공급 유로 내를 왕복 동작하는 플런저(12)와, 플런저(12)를 왕복 동작시키는 액추에이터(2)와, 변위 확대 기구(3)를 구비한다.The liquid application device 100 ejects ejection droplets 65 of the liquid material from the nozzle hole 60 . The liquid application device 100 includes a supply passage 52 communicating with the nozzle hole 60 and supplying the liquid material, a plunger 12 whose tip reciprocates in the supply passage, and the plunger 12 for reciprocating operation. It is provided with an actuator (2) and a displacement expansion mechanism (3).

이하, 각 구성요소의 특징에 대해 설명한다.Hereinafter, the characteristics of each component will be described.

<노즐구멍(60)><Nozzle hole (60)>

노즐구멍(60)은, 초경합금이나 스텐레스, 알루미늄, 티탄 등의 금속에 설치된 관통공이다. 재질은 금속뿐만 아니라 세라믹이나 PEEK 등의 수지 재료로도 상관없다. 그러나, 액체 재료가 토출될 때에, 함유 입자 재료로 마모되거나 액체 재료에 침식·용출되는 일이 없는 재료의 선정이 필요하다.The nozzle hole 60 is a through hole provided in a metal such as cemented carbide, stainless steel, aluminum, or titanium. The material may be not only metal but also ceramic or resin materials such as PEEK. However, when the liquid material is discharged, it is necessary to select a material that is not abraded by the containing particulate material or eroded/eluted by the liquid material.

또한, 토출 액적 크기에 따라, 노즐 내경은 Φ0.05mm~0.5mm의 범위에서 선정된다. 액체 재료의 점도나 틱소트로피, 표면 장력, 노즐면과의 접촉각 등의 물성에 따라, 노즐 길이는 0.05mm~5mm의 범위에서 선정된다.In addition, according to the size of the ejected droplet, the inner diameter of the nozzle is selected in the range of Φ 0.05 mm to 0.5 mm. Depending on physical properties such as viscosity of the liquid material, thixotropy, surface tension, and contact angle with the nozzle surface, the nozzle length is selected in the range of 0.05 mm to 5 mm.

도 5에서는, 간략화를 위해 공급 유로(52)와 노즐구멍(60)이 일체 구조로 하여 도시하고 있다. 그러나, 제작상 용이성 및 유지보수성 향상을 위해 노즐구멍(60)을 별도의 부품으로서 별도 제작하여 조립해도 된다.In FIG. 5, the supply flow path 52 and the nozzle hole 60 are shown as an integral structure for simplification. However, for ease of manufacture and improved maintenance, the nozzle hole 60 may be separately manufactured and assembled as a separate part.

<공급 유로(52)><Supply flow path 52>

공급 유로(52)는, 노즐구멍(60)과 동일한 재료를 이용할 수 있다. 공급 유로(52)의 단면은, Φ0.5~10mm 정도의 원형상으로도, 동일한 정도의 단면적의 직사각형상으로도 상관없다. 가공성이나 기포 고임 방지의 관점에서 원형상이 바람직하다.The same material as the nozzle hole 60 can be used for the supply passage 52 . The cross section of the supply passage 52 may be a circular shape of about Φ 0.5 to 10 mm or a rectangular shape of the same cross-sectional area. A circular shape is preferable from the viewpoints of workability and prevention of bubble pooling.

공급 유로(52)는, 액체 재료를 공급하는 탱크(도시생략)와 노즐구멍(60)을 연통시킨다. 공급 유로(52)는, 탱크에 충전된 액체 재료를 노즐구멍(60)까지 공급하는 기능을 담당하고 있다.The supply passage 52 communicates the nozzle hole 60 with a tank (not shown) for supplying the liquid material. The supply flow passage 52 plays a function of supplying the liquid material filled in the tank to the nozzle hole 60 .

<플런저(12)><Plunger (12)>

플런저(12)는, 가이드(110) 및 시일재(104)의 구멍을 통해 이동한다. 이에 따라, 액체 재료를 공급 유로(52) 내의 노즐구멍(60)으로부터 밀어낸다. 플런저(12)에는, 노즐구멍(60)과 동일한 재료를 이용할 수 있다. 그러나, 플런저(12)의 재질은, 가이드(110)나 시일재(104), 액체 재료에 포함되는 입자 재료로 마모 열화되거나, 액체 재료에 침식·용해되는 일이 없는 소재를 선정할 필요가 있다. 또한, 플런저(12)를 고속 구동시키기 위해서는, 비중이 작은 소재를 선정하는 것이 바람직하다. 나아가 플런저(12) 자신의 부피를 최소한으로 저감시켜 경량화를 행하는 것이 바람직하다.The plunger 12 moves through the hole of the guide 110 and the sealing material 104 . In this way, the liquid material is pushed out of the nozzle hole 60 in the supply passage 52 . For the plunger 12, the same material as for the nozzle hole 60 can be used. However, as for the material of the plunger 12, it is necessary to select a material that is not abraded and degraded by particles contained in the guide 110, the sealant 104, and the liquid material, or corroded or dissolved in the liquid material. . In addition, in order to drive the plunger 12 at high speed, it is preferable to select a material having a low specific gravity. Furthermore, it is preferable to reduce the weight by reducing the volume of the plunger 12 itself to a minimum.

플런저(12)는, 액추에이터(2)의 구동 에너지를 액체 재료의 토출 에너지로 변환하는 기능을 담당하고 있다. 플런저(12)가 노즐구멍(60) 근방에서 왕복 운동함으로써, 노즐구멍(60) 근방의 액체 재료에 압력을 인가하여 노즐구멍(60)으로부터 액체 재료의 토출 액적(65)을 토출시킨다.The plunger 12 serves a function of converting the drive energy of the actuator 2 into discharge energy of the liquid material. When the plunger 12 reciprocates in the vicinity of the nozzle hole 60, a pressure is applied to the liquid material near the nozzle hole 60, and the discharge liquid droplets 65 of the liquid material are discharged from the nozzle hole 60.

플런저(12)의 끝단 형상은, 도 5에 기재된 바와 같은 평탄 형상으로도 상관없지만, 도 6a~도 6f에 기재된 바와 같은 볼록 형상으로도 상관없다.The tip shape of the plunger 12 may be a flat shape as described in FIG. 5 or a convex shape as described in FIGS. 6A to 6F.

<가이드(110)><Guide (110)>

가이드(110)는, 플런저(12)를 똑바로 상하로 이동시키는 것이다. 가이드(110)는 관통공을 가지며, 그 관통공을 플런저(12)가 상하한다.The guide 110 moves the plunger 12 straight up and down. The guide 110 has a through hole, and the plunger 12 moves up and down the through hole.

<액추에이터(2)><Actuator (2)>

액추에이터(2)는, 플런저(12)를 왕복 운동시키기 위한 구동원으로서 이용되고, 모터나 에어, 압전 소자 등이 이용되는 경우가 많다.The actuator 2 is used as a driving source for reciprocating the plunger 12, and a motor, air, piezoelectric element or the like is often used.

<변위 확대 기구(3)><Displacement expansion mechanism (3)>

변위 확대 기구(3)는, 플런저(12)와 같이 내마모성과 경량성이 양립될 수 있는 소재를 선정하는 것이 바람직하고, 지점부(101)와 레버(102)로 구성된다.The displacement increasing mechanism 3 is preferably selected from a material that can achieve both abrasion resistance and light weight, such as the plunger 12, and is composed of a support portion 101 and a lever 102.

변위 확대 기구(3)는, 플런저(12)의 변위량을 액추에이터(2)의 변위량보다 확대하는 기능을 담당하고 있다. 보다 작은 액추에이터(2)를 이용하여 플런저(12)를 보다 크게 왕복 운동시킴으로써, 점성이 높은 액체 재료나 큰 입자를 포함한 액체 재료를 노즐구멍(60)으로부터 토출시킬 수 있다.The displacement magnifying mechanism 3 is in charge of a function of enlarging the displacement amount of the plunger 12 more than the displacement amount of the actuator 2 . By reciprocating the plunger 12 with a larger size using the smaller actuator 2, a highly viscous liquid material or a liquid material containing large particles can be ejected from the nozzle hole 60.

도 5에서는, 하우징(30)에 맞닿은 지점부(101) 상에 레버(102)가 설치되고, 플런저(12)는 탄성체(103)의 인장력에 의해 레버(102) 끝단부에 맞닿은 상태로 유지된다. 이 탄성체(103)가 플런저(12)와 하우징(30)의 사이에 설치되어 압축력에 의해 유지되어도 상관없다.5, the lever 102 is installed on the support portion 101 that comes into contact with the housing 30, and the plunger 12 is maintained in contact with the end of the lever 102 by the tensile force of the elastic body 103. . It does not matter if this elastic body 103 is installed between the plunger 12 and the housing 30 and is held by the compressive force.

탄성체(103)는 스프링코일 스프링으로도, 판스프링으로도 상관없다. 스프링 상수는 0.1~10N/mm의 범위에서 선정되는 것이 바람직하다. 스프링 상수가 너무 작으면, 고유 진동수가 낮아져서 고속 구동할 수 없게 되고, 스프링 상수가 너무 크면, 액추에이터 변위량에 따른 스프링력의 변화가 커서 구동이 불안정해지기 때문이다.The elastic body 103 may be either a spring coil spring or a leaf spring. The spring constant is preferably selected in the range of 0.1 to 10 N/mm. If the spring constant is too small, the natural frequency is low, making it impossible to drive at high speed, and if the spring constant is too large, the change in spring force according to the displacement of the actuator is large, resulting in unstable driving.

<레버(102)와 액추에이터(2)의 접촉부><Contact between lever 102 and actuator 2>

레버(102)와 액추에이터(2)의 접촉부 중 적어도 어느 하나가 곡면으로 하는 구성을 취한다. 이에 따라, 레버(102)의 상면을 액추에이터(2)가 맞닿아 변위를 인가할 수 있다. 레버(102)가 지점부(101) 둘레로 회전한다. 이 회전으로, 레버(102)의 끝단에 설치된 플런저(12)는, 액추에이터(2)의 변위에 따라 상하로 왕복 동작하는 것이 가능해진다.At least one of the contact portions of the lever 102 and the actuator 2 is configured as a curved surface. Accordingly, the actuator 2 may contact the upper surface of the lever 102 to apply displacement. The lever 102 rotates around the fulcrum 101 . With this rotation, the plunger 12 provided at the tip of the lever 102 can reciprocate up and down according to the displacement of the actuator 2.

또한, 레버(102)와 액추에이터(2)의 접촉부의 슬라이딩 저항을 저감하기 위해, 접촉면 중 적어도 어느 하나가 요철 형상을 가져도 된다. 즉, 오목 형상과 볼록 형상이 어느 쪽에 있어도 된다.Moreover, in order to reduce the sliding resistance of the contact part of the lever 102 and the actuator 2, at least any one of contact surfaces may have a concavo-convex shape. That is, either concave shape or convex shape may exist.

<지점부(101)와 레버(102)의 접촉면><Contact surface between fulcrum 101 and lever 102>

지점부(101)는, 원기둥 형상이다. 레버(102)의 끝단부는, 볼록 곡면으로 플런저(12)의 플랜지 평면의 작용점(109)에 접촉한다. 또한, 레버(102)의 지점부(101)와 접촉하는 부분은, 맞닿는 지점부(101)의 곡률 반경에 비해 동등 이상의 곡률 반경의 오목 곡면인 것이 바람직하다. 이들은 일체가 된 부품 구성으로 해도 상관없다. 또, 오목부, 볼록부는 반대의 관계로도 된다.The fulcrum portion 101 has a cylindrical shape. The tip of the lever 102 contacts the working point 109 of the flange plane of the plunger 12 with a convex curved surface. Further, it is preferable that the portion of the lever 102 in contact with the fulcrum portion 101 is a concave curved surface having a radius of curvature equal to or greater than the radius of curvature of the fulcrum portion 101 in contact. It does not matter even if these are integral component configurations. Moreover, a concave part and a convex part may have an opposite relationship.

여기서, 레버(102)의 지점부(101) 둘레의 회전 중심을 지점(107)으로 하고, 레버(102)와 액추에이터(2)의 접촉면을 역점(108)으로 하며, 레버(102)가 플런저(12)를 누르는 점을 작용점(109)으로 한다.Here, the center of rotation around the support portion 101 of the lever 102 is the support point 107, the contact surface between the lever 102 and the actuator 2 is the power point 108, and the lever 102 is the plunger ( 12) is taken as the action point 109.

도 5에 기재된 바와 같이, 지점(107)과 역점(108)과 작용점(109)은 동일 직선 상에는 존재하지 않고 삼각형을 구성한다.As described in Fig. 5, the point 107, the force point 108, and the point of action 109 do not lie on the same straight line and form a triangle.

도 5에서는, 액추에이터(2) 및 플런저(12)는 레버(102)의 회전 중심이 되는 지점(107)에 대해 동일한 방향에 위치하고 있지만, 각각 다른 방향에 위치해도 상관없다.In Fig. 5, the actuator 2 and the plunger 12 are located in the same direction with respect to the point 107 serving as the center of rotation of the lever 102, but they may be located in different directions.

지점(107)부터 역점(108)까지의 거리(L1)를, 지점(107)부터 작용점(109)까지의 거리(L2)에 비해 작게 하는 것이 중요하다. 이에 따라, 액추에이터(2)의 변위에 비해 플런저(12)의 변위를 보다 크게 확대하는 것이 가능해진다.It is important to keep the distance L1 from the point 107 to the power point 108 smaller than the distance L2 from the point 107 to the point of action 109. Accordingly, it becomes possible to enlarge the displacement of the plunger 12 larger than the displacement of the actuator 2.

또, 액추에이터(2)가 압전 소자인 경우는, 인장력에 의한 압전 소자의 파괴를 방지하기 위해, 탄성체(103)에 의해 압축 하중의 예압을 부여하는 것도 가능하다. 그 결과, 액추에이터(2)의 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, when the actuator 2 is a piezoelectric element, it is also possible to apply a preload of a compressive load by means of the elastic body 103 in order to prevent the piezoelectric element from being destroyed by a tensile force. As a result, the driving reliability of the actuator 2 can be improved.

<도포 동작><Applying operation>

다음에, 액체 재료의 도포 동작에 대해 이하에 설명한다.Next, the application operation of the liquid material will be described below.

(1) 액체 재료의 공급(1) Supply of liquid material

액체 재료가 충전되는 공급 유로(52) 내를 플런저(12)의 끝단이 윗방향으로 이동할 때에 노즐구멍(60) 근방에 액체 재료가 공급된다. 공급 유로(52)에 직결하는 액체 재료의 공급 탱크(도시생략)에 대해 0.1~500kPa 정도의 배압을 걸어, 액체 재료의 공급 속도를 높이고 보다 짧은 토출 간격으로 고점도 재료를 도포하는 것이 가능해진다. 배압이 높을수록 액체 재료의 공급 속도는 커지는 반면, 입자 함유 페이스트 재료의 경우에는 고형분과 액체 성분이 분리되어 버리는 것이 문제가 되기 때문에, 배압은 300kPa 정도 이하인 것이 바람직하다. 또한, 배압이 300kPa 이하이어도 노즐구멍(60)으로부터 액체 재료가 스며나온 상태가 되면, 노즐구멍(60) 내의 기액 계면(메니스커스면)이 불안정해지고, 안정된 액적 토출이 불가능해지는 경우가 있기 때문에, 액체 재료와 토출 조건에 따른 배압 설정이 불가결하다.When the tip of the plunger 12 moves upward in the supply passage 52 filled with the liquid material, the liquid material is supplied near the nozzle hole 60 . By applying a back pressure of about 0.1 to 500 kPa to a liquid material supply tank (not shown) directly connected to the supply flow path 52, the supply speed of the liquid material is increased and the high viscosity material can be applied at a shorter discharge interval. The higher the back pressure, the higher the supply rate of the liquid material. However, in the case of a particle-containing paste material, separation of the solid and liquid components becomes a problem, so the back pressure is preferably about 300 kPa or less. In addition, even if the back pressure is 300 kPa or less, if the liquid material exudes from the nozzle hole 60, the gas-liquid interface (meniscus surface) in the nozzle hole 60 may become unstable and stable droplet discharge may not be possible. , it is indispensable to set the back pressure according to the liquid material and discharge conditions.

(2) 액체의 토출(2) liquid discharge

플런저(12)가 노즐구멍(60)에 근접하는 아랫방향으로 이동할 때에, 노즐구멍(60) 근방의 액체 압력이 상승하여 액체 재료의 토출 액적(65)이 토출된다. 여기서, 플런저(12)의 상하 운동 중에서도 노즐구멍(60) 근방의 액체 압력이 저하되지 않도록, 플런저(12)와 하우징(30)에 밀착하여 시일재(104)가 설치된다. 플런저(12)의 아랫방향으로의 이동 속도가 빠를수록 노즐 압력을 급속하게 상승시킬 수 있다. 이 때문에, 노즐구멍(60)으로부터 선두로 튀어나오는 액체 재료의 토출 속도를 상승시킬 수 있다. 나아가 노즐구멍(60)으로부터 선두의 액체 재료가 튀어나오기 시작한 후에 플런저(12)를 윗방향으로 빠르게 이동시킴으로써, 후속하는 액체 재료의 토출 속도를 급속하게 저하시킬 수도 있다. 이에 따라, 고점도의 액체 재료로도 토출 액적이 실처럼 늘어나는 것을 짧게 하는 것이 가능해지고, 보다 미량의 토출 액적(65)을 안정적으로 토출시킬 수 있다.When the plunger 12 moves downward closer to the nozzle hole 60, the liquid pressure in the vicinity of the nozzle hole 60 rises and ejection droplets 65 of the liquid material are ejected. Here, the sealant 104 is installed in close contact with the plunger 12 and the housing 30 so that the liquid pressure in the vicinity of the nozzle hole 60 does not decrease even during the vertical movement of the plunger 12 . The faster the downward moving speed of the plunger 12 is, the faster the nozzle pressure can be increased. For this reason, the discharge speed of the liquid material protruding from the nozzle hole 60 at the head can be increased. Furthermore, by rapidly moving the plunger 12 upward after the first liquid material starts to protrude from the nozzle hole 60, the ejection speed of the succeeding liquid material can be rapidly reduced. Accordingly, even with a high-viscosity liquid material, it is possible to shorten the elongation of the ejected liquid droplet like a thread, and a smaller amount of the ejected liquid droplet 65 can be stably ejected.

도 5에서는, 플런저(12)의 끝단이 공급 유로(52) 내의 액체 재료에 접액하여 상하 동작하는 구성으로 되어 있지만, 도 7에 도시된 바와 같이 플런저(12)의 끝단이 직접적으로 액체 재료에 접액하지 않고 다이어프램(105)면을 상하 동작시키는 구성으로 하는 것도 가능하다.In FIG. 5, the tip of the plunger 12 contacts the liquid material in the supply passage 52 and moves up and down. However, as shown in FIG. 7, the tip of the plunger 12 directly contacts the liquid material. It is also possible to adopt a configuration in which the surface of the diaphragm 105 is moved up and down without being moved.

도 7은, 도 5의 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도이다. 다이어프램(105)의 상면에 플런저(12)가 위치한다. 플런저(12)는, 다이어프램(105)을 밀고 당긴다.FIG. 7 is a cross-sectional view of a modified example of the liquid applying device 100 of FIG. 5 . The plunger 12 is located on the upper surface of the diaphragm 105. The plunger 12 pushes and pulls the diaphragm 105.

<변위 확대 기구(3)의 변형예 1><Modified Example 1 of Displacement Expanding Mechanism 3>

이어서, 변위 확대 기구(3)의 변형예에 대해 이하에 설명한다.Next, a modified example of the displacement increasing mechanism 3 will be described below.

도 8a는 전술한 액체 도포 장치(100)와 동일한 기본 구성이다. 비교하기 위해 표시하였다. 여기서, 액추에이터(2)의 레버(102)와 맞닿지 않는 측의 면을 도 8b에 도시된 바와 같이, 곡면의 베어링(106)을 설치해도 상관없다.8A shows the same basic configuration as the liquid application device 100 described above. Marked for comparison. Here, as shown in Fig. 8B, a curved bearing 106 may be provided on the side of the actuator 2 that does not come into contact with the lever 102.

이러한 구성으로 함으로써, 액추에이터(2)에 단축 방향(도 8a에서는 좌우 방향)의 힘이 작용하는 일이 없어지고 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있다.By adopting such a configuration, the force in the short axis direction (left and right direction in Fig. 8A) does not act on the actuator 2, and driving reliability can be improved.

<변위 확대 기구(3)의 변형예 2><Modified Example 2 of Displacement Expanding Mechanism 3>

또한, 변위 확대 기구(3)에 있어서, 플런저(12)의 변위 응답 속도를 향상시키고 장기간 연속적으로 구동하기 위해서는, 액추에이터(2)나 레버(102) 및 지점부(101), 플런저(12)의 슬라이딩부의 구동 저항을 저감시키는 것이 필요하다.In addition, in the displacement increasing mechanism 3, in order to improve the displacement response speed of the plunger 12 and continuously drive it for a long period of time, the actuator 2, the lever 102, the support portion 101, and the plunger 12 It is necessary to reduce the driving resistance of the sliding portion.

그래서, 도 8c에 도시된 바와 같이, 액추에이터(2)와 레버(102)가 맞닿는 면과, 레버(102)와 지점부(101)가 맞닿는 면이 액추에이터(2)의 장축 방향에서 보아 겹치지 않도록 함으로써, 레버(102)가 구동할 때에 받는 반력을 저감시킬 수 있고, 여분의 슬라이딩 저항을 억제하는 것이 가능해진다. 즉, 도 8c의 점선 내에 레버(102)와 지점부(101)가 맞닿는 면이 포함되지 않도록 한다.So, as shown in FIG. 8C, the contact surface of the actuator 2 and the lever 102 and the contact surface of the lever 102 and the fulcrum 101 do not overlap when viewed from the long axis direction of the actuator 2 , the reaction force received when the lever 102 is driven can be reduced, and it becomes possible to suppress excessive sliding resistance. That is, the surface where the lever 102 and the fulcrum portion 101 come into contact with each other is not included in the dotted line in FIG. 8C.

나아가 슬라이딩면 중 어느 하나 혹은 양쪽에 0.1μm 이상의 요철이나 홈을 형성함으로써, 접촉 면적을 저감하여 슬라이딩 저항을 저감하는 것도 아울러 가능하다.Furthermore, it is also possible to reduce the sliding resistance by reducing the contact area by forming irregularities or grooves of 0.1 μm or more on one or both of the sliding surfaces.

덧붙여, 접촉 계면의 슬라이딩 저항을 저감시키기 위해, 고체 윤활제나 그리스를 도포, 성막하는 것이 보다 바람직하다.In addition, in order to reduce the sliding resistance of the contact interface, it is more preferable to apply and form a solid lubricant or grease.

<변위 확대 기구(3)의 변형예 3><Modified Example 3 of Displacement Expanding Mechanism 3>

도 9a에 플런저(12)의 변위와 시간의 관계를 나타낸다. 이상적으로 이상 곡선과 같이, 플런저(12)가 변위하는 것이 이상이다. 그러나, 실제는 시간의 응답 지연이 발생하고, 실변위 곡선으로 플런저(12)가 변위한다. 특히, 점성이 높은 액체 재료를 토출시키는 경우에는 실변위 곡선이 된다. 이는, 플런저(12)에 큰 변위를 부여하는 경우에 플런저(12)의 구동 저항이 커지기 때문에 현저하게 발생한다.9A shows the relationship between the displacement of the plunger 12 and time. Ideally, it is ideal that the plunger 12 displaces like the ideal curve. However, in reality, a response delay of time occurs, and the plunger 12 is displaced according to the actual displacement curve. In particular, when a highly viscous liquid material is discharged, an actual displacement curve is obtained. This remarkably occurs because the driving resistance of the plunger 12 increases when a large displacement is applied to the plunger 12 .

이 주요 요인은 다음 2가지이다.These two main factors are:

(1) 플런저(12)의 끝단이 노즐구멍(60)에 근접할수록, 플런저(12)의 끝단의 노즐구멍(60) 근방의 압력이 높아지기 때문이다.(1) This is because the pressure near the nozzle hole 60 at the tip of the plunger 12 increases as the tip of the plunger 12 approaches the nozzle hole 60.

(2) 액추에이터(2) 단체(單體)의 변위나 변위 확대 배율이 커짐에 따라, 탄성체(103)에 의한 인장력 및 압축력이 커지기 때문이다.(2) This is because the tensile force and compressive force by the elastic body 103 increase as the displacement of the actuator 2 alone or the displacement expansion magnification increases.

이 대책으로서, 실시형태로서는, 도 9b에 도시된 바와 같이, 액추에이터(2)와 레버(102)가 맞닿는 면이 곡률 반경이 다른 곡면으로 구성되는 것이 바람직하다. 도 9b는, 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도이다.As a countermeasure for this, as an embodiment, as shown in Fig. 9B, it is preferable that the surface where the actuator 2 and the lever 102 abut are constituted by curved surfaces having different radii of curvature. 9B is a cross-sectional view of a modified example of the liquid application device 100.

액추에이터(2)의 레버(102)와 맞닿는 면에 있어서, 레버(102) 측의 맞닿음면을 볼록 곡면으로 하는 경우, 레버(102) 측의 면의 곡률 반경을 액추에이터(2) 측의 면의 곡률 반경보다 작게 하는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 한편, 레버(102) 측의 맞닿음면을 오목 곡면으로 하는 경우, 레버(102) 측의 면의 곡률 반경을 액추에이터(2) 측의 면의 곡률 반경보다 크게 하는 구성으로 하는 것이 바람직하다.In the case where the contact surface on the lever 102 side is a convex curved surface in the surface of the actuator 2 in contact with the lever 102, the radius of curvature of the surface on the actuator 2 side is It is preferable to set it as the structure made smaller than the radius of curvature. On the other hand, when the abutting surface on the lever 102 side is a concave curved surface, it is preferable to make the radius of curvature of the surface on the lever 102 side larger than the radius of curvature of the surface on the actuator 2 side.

도 9c는 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도로서, 플런저(12)의 하강 개시시의 액체 도포 장치(100)의 단면도이다. 도 9d는 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도로서, 플런저(12)의 하강 종료시의 액체 도포 장치(100)의 단면도이다. 도 9c에 도시된 바와 같이, 플런저(12)의 하강 개시시에는 액추에이터(2)가 레버(102)를 누르는 역점과 지점(107)의 거리(화살표)는 비교적 짧아지고 변위 확대가 보다 커지기 때문에, 변위 응답의 상승을 보다 고속화하는 것이 가능해진다. 또한, 도 9d에 도시된 바와 같이, 플런저(12)의 하강 종료시에는 액추에이터(2)가 레버(102)를 누르는 역점과 지점(107)의 거리(화살표)는 비교적 길어지고 변위 확대가 보다 작아지기 때문에, 플런저(12)의 압하중을 보다 큰 힘으로 할 수 있고, 플런저(12)의 구동 저항에 지지 않고 변위 응답을 보다 고속화하는 것이 가능해진다.FIG. 9C is a cross-sectional view of a modified example of the liquid applying device 100, which is a cross-sectional view of the liquid applying device 100 at the start of lowering of the plunger 12. As shown in FIG. 9D is a cross-sectional view of a modified example of the liquid applying device 100, which is a cross-sectional view of the liquid applying device 100 at the end of the lowering of the plunger 12. As shown in FIG. 9C, when the plunger 12 starts to descend, the distance (arrow) between the power point at which the actuator 2 presses the lever 102 and the point 107 becomes relatively short and the displacement expansion becomes larger. It becomes possible to speed up the rise of displacement response more. In addition, as shown in FIG. 9D, at the end of the descent of the plunger 12, the distance (arrow) between the power point at which the actuator 2 presses the lever 102 and the point 107 (arrow) becomes relatively long and the displacement expansion becomes smaller. For this reason, the pressing load of the plunger 12 can be made into a larger force, and it becomes possible to speed up the displacement response more without losing to the drive resistance of the plunger 12.

이 경우, 플런저(12)가 아랫방향으로 이동할 때에 화살표의 길이가 변화함으로써, 변위 확대 기구(3)의 변위 확대 배율을 천천히 작게 변화시킬 수 있다.In this case, the length of the arrow changes when the plunger 12 moves downward, so that the displacement enlargement magnification of the displacement enlargement mechanism 3 can be changed slowly and small.

<변위 확대 기구(3)의 변형예 4><Modified Example 4 of Displacement Expanding Mechanism 3>

또한, 고점도 액체 재료를 미량 토출시키기 위해서는, 비교적 작은 변위량을 큰 힘으로 플런저(12)를 고속 구동시키는 것이 중요하다. 이를 위해서는, 변위 확대 기구(3)의 변위 확대 배율을 필요 최소한으로 작게 억제하여 레버(102)의 질량을 최소한으로 저감시켜 경량화할 필요가 있다.Further, in order to eject a small amount of the high-viscosity liquid material, it is important to drive the plunger 12 at high speed with a relatively small displacement and a large force. To this end, it is necessary to reduce the weight of the lever 102 by reducing the mass of the lever 102 to a minimum by suppressing the displacement enlargement magnification of the displacement enlargement mechanism 3 to a minimum necessary.

그러나, 액추에이터(2)와 탄성체(103)가 간섭하지 않는 구성으로 해야만 하여 설계 범위가 제한된다. 이는, 탄성체(103)가 플런저(12)와 하우징(30)의 사이에 설치되어 압축력에 의해 유지되는 경우에서도 마찬가지이다.However, since the actuator 2 and the elastic body 103 do not interfere, the design range is limited. This is the same even when the elastic body 103 is installed between the plunger 12 and the housing 30 and is held by a compressive force.

이 대책의 실시형태로서, 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도를 도 10에 나타낸다. 도 10에 도시된 바와 같이, 플런저(12)의 변위 방향에 대해 액추에이터(2)의 변위 방향이 기울기(θ)를 갖는 구성으로 한다. 이 기울기(θ)는 1도~90도의 범위에서 선정되는 경우가 많고, 10~60도의 범위에서 가장 효과적이다. 또, 도 10은 플런저(12)의 가동 전 상태이다.As an embodiment of this countermeasure, a cross-sectional view of a modified example of the liquid application device 100 is shown in FIG. 10 . As shown in FIG. 10, the displacement direction of the actuator 2 has an inclination θ with respect to the displacement direction of the plunger 12. This inclination (θ) is often selected in the range of 1 degree to 90 degrees, and is most effective in the range of 10 to 60 degrees. 10 is a state before the plunger 12 is operated.

플런저(12)가 가동하는 시점에서, 액추에이터(2)의 변위 방향은 플런저(12)의 변위 방향에 대해 기울어져 있다.When the plunger 12 is actuated, the displacement direction of the actuator 2 is inclined with respect to the displacement direction of the plunger 12 .

이러한 구성으로 함으로써, 액추에이터(2)와 레버(102)가 맞닿는 면과, 레버(102)와 지점부(101)가 맞닿는 면이, 액추에이터(2)의 장축 방향에서 보아 겹치지 않도록 하면서도, 액추에이터(2)의 변위 방향에 직교하는 방향의, 지점(107)과 역점(108) 간의 거리를 보다 작게 설정할 수 있다.With this configuration, the actuator 2 and the lever 102 contact surface and the lever 102 and the support portion 101 contact surface do not overlap when viewed from the long axis direction of the actuator 2. The distance between the point 107 and the power point 108 in the direction orthogonal to the displacement direction of ) can be set smaller.

게다가 액추에이터(2)와 탄성체(103)의 물리적 거리가 커지기 때문에, 레버(102)의 길이를 단축할 수 있다.Furthermore, since the physical distance between the actuator 2 and the elastic body 103 is increased, the length of the lever 102 can be shortened.

그 때문에, 레버(102)를 경량화할 수 있고, 레버(102)와 플런저(12) 등의 가동부의 관성 모멘트를 50%~90% 정도 줄이는 것이 가능해진다.Therefore, the weight of the lever 102 can be reduced, and the moment of inertia of the movable parts such as the lever 102 and the plunger 12 can be reduced by about 50% to 90%.

소정 토크를 작용시킨 경우, 변위 가속도는 관성 모멘트에 반비례하기 때문에, 플런저(12)의 변위 가속도를 2배~10배 정도까지 크게 하는 것이 가능해지고, 고점도 액체 재료를 미량 토출하는 데에 유용하다.When a predetermined torque is applied, since the displacement acceleration is inversely proportional to the moment of inertia, it becomes possible to increase the displacement acceleration of the plunger 12 by a factor of 2 to 10 times, which is useful for discharging a small amount of a high-viscosity liquid material.

또한, 도 10에서는, 액추에이터(2) 및 플런저(12)는 레버(102)의 회전 중심이 되는 지점에 대해 동일한 방향에 위치하고 있지만, 각각 다른 방향에 위치해도 상관없다.In Fig. 10, the actuator 2 and the plunger 12 are located in the same direction with respect to the point serving as the center of rotation of the lever 102, but they may be located in different directions.

본 발명의 액체 도포 장치는, 기능성 입자가 포함되는 액체 재료의 도포를 고속이고 안정적으로 제어할 수 있다. 또한, 본 발명의 액체 도포 장치는, 비접촉으로 필요한 개소에 최적의 양을 임의의 패턴으로 고속으로 도포하는 것이 가능하다.The liquid application device of the present invention can control application of a liquid material containing functional particles at high speed and stably. In addition, the liquid application device of the present invention can apply an optimum amount to a required location in an arbitrary pattern at high speed without contact.

본원발명의 액체 도포 장치는, 장기간 연속적으로 구동이 불가결한 전자 디바이스의 제조에 이용할 수 있다. 또한, 본원발명의 액체 도포 장치는, 요철면이나 곡면 등의 입체 구조물에 대한 3D 도포나, 다품종 소량의 전자 디바이스 제조에서의 생산성 향상 등의 목적으로, 임의 패턴 도포하기 위한 변위 확대 기구 및 이를 구비하는 액체 도포 장치로서 바람직하게 이용된다.The liquid application device of the present invention can be used for manufacturing electronic devices indispensable for continuous long-term driving. In addition, the liquid application device of the present invention is provided with a displacement expansion mechanism for applying an arbitrary pattern for the purpose of 3D coating on a three-dimensional structure such as an uneven surface or a curved surface, or productivity improvement in manufacturing a variety of small quantities of electronic devices. It is preferably used as a liquid application device for

1: 액체 도포 장치 2, 2a: 액추에이터
3, 3a: 변위 확대 기구 5: 자형 부재
8: 자형 부재 12, 12a: 플런저
30: 하우징 52: 공급 유로
60: 노즐구멍 65: 토출 액적
100: 액체 도포 장치 101: 지점부
102: 레버 103: 탄성체
104: 시일재 105: 다이어프램
106: 베어링 107: 지점
108: 역점 109: 작용점
110: 가이드
1: liquid application device 2, 2a: actuator
3, 3a: displacement enlargement mechanism 5: female member
8: female member 12, 12a: plunger
30: housing 52: supply flow path
60: nozzle hole 65: discharge droplet
100: liquid application device 101: support portion
102: lever 103: elastic body
104: seal material 105: diaphragm
106: bearing 107: fulcrum
108: power point 109: action point
110: guide

Claims (11)

액체 재료를 토출하는 노즐구멍과,
상기 노즐구멍에 액체 재료를 공급하는 공급 유로와,
상기 공급 유로 내의 액체에 맞닿아 왕복하는 플런저와,
상기 플런저에 변위를 부여하는 변위 확대 기구와,
상기 변위 확대 기구에 변위를 부여하는 액추에이터를 포함하고,
상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉부 중 적어도 어느 하나가 곡면이고,
상기 변위 확대 기구는, 레버부와 지점부를 갖고,
상기 레버부가 상기 지점부 둘레로 회전할 때에, 상기 액추에이터가 상기 레버부를 누르는 역점과, 상기 레버부의 상기 지점부 둘레의 회전 중심인 지점과의 거리가 변화하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 액체 도포 장치.
a nozzle hole through which liquid material is discharged;
a supply passage for supplying a liquid material to the nozzle hole;
A plunger reciprocating in contact with the liquid in the supply passage;
a displacement increasing mechanism for imparting displacement to the plunger;
An actuator for imparting a displacement to the displacement magnifying mechanism;
At least one of the contact portions of the displacement expanding mechanism and the actuator is a curved surface;
The displacement expanding mechanism has a lever portion and a support portion,
and a distance between a power point at which the actuator presses the lever portion and a fulcrum that is a center of rotation of the lever portion around the fulcrum portion changes when the lever portion rotates around the fulcrum portion.
청구항 1에 있어서,
상기 플런저와 연결된 탄성체를 더 갖는, 액체 도포 장치.
The method of claim 1,
The liquid application device further has an elastic body connected with the plunger.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 지점부는 곡면을 갖는, 액체 도포 장치.
The method of claim 1,
The liquid application device, wherein the support portion has a curved surface.
청구항 1에 있어서,
상기 레버부의 상기 지점부 둘레의 회전 중심이 되는 지점과, 상기 레버부와 상기 액추에이터의 접촉면인 역점과,
상기 레버부와 상기 플런저의 접촉면인 작용점이,
동일 직선 상에 존재하지 않는, 액체 도포 장치.
The method of claim 1,
A point serving as a center of rotation around the fulcrum portion of the lever unit and a power point serving as a contact surface between the lever unit and the actuator;
The action point, which is the contact surface between the lever part and the plunger,
A liquid application device that does not exist on the same line.
청구항 1에 있어서,
상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉면 중 적어도 어느 하나가 요철 형상을 갖는, 액체 도포 장치.
The method of claim 1,
The liquid application device, wherein at least one of the contact surfaces of the displacement increasing mechanism and the actuator has a concavo-convex shape.
청구항 1에 있어서,
상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉면에 있어서,
상기 변위 확대 기구 측의 상기 접촉면의 곡률 반경과,
상기 액추에이터 측의 상기 접촉면의 곡률 반경이 다른, 액체 도포 장치.
The method of claim 1,
In the contact surface between the displacement expanding mechanism and the actuator,
a radius of curvature of the contact surface on the side of the displacement expanding mechanism;
The liquid application device, wherein the radii of curvature of the contact surface on the actuator side are different.
청구항 7에 있어서,
상기 변위 확대 기구 측의 상기 접촉면의 곡률 반경은, 상기 액추에이터 측의 상기 접촉면의 곡률 반경보다 작은, 액체 도포 장치.
The method of claim 7,
A radius of curvature of the contact surface on the displacement increasing mechanism side is smaller than a radius of curvature of the contact surface on the actuator side.
청구항 1에 있어서,
상기 플런저의 동작 위치에 따라, 상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉점 위치가 변화하는, 액체 도포 장치.
The method of claim 1,
The liquid application device according to the operating position of the plunger, the position of the contact point between the displacement increasing mechanism and the actuator changes.
청구항 1에 있어서,
상기 플런저의 변위 방향에 대해, 상기 액추에이터의 변위 방향이 기울기를 갖는, 액체 도포 장치.
The method of claim 1,
The liquid applying device, wherein a displacement direction of the actuator has an inclination with respect to a displacement direction of the plunger.
청구항 1에 있어서,
상기 액추에이터에 압전 소자를 이용하는, 액체 도포 장치.
The method of claim 1,
A liquid application device using a piezoelectric element for the actuator.
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