JP6982736B2 - Coating nozzle head and liquid coating device equipped with it - Google Patents
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 68
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 68
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 65
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 78
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims description 44
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 35
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 cemented carbide Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000009974 thixotropic effect Effects 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
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- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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Description
本発明は、塗布ノズルヘッドおよびそれを具備する液体塗布装置に関する。特に、高粘度の液体を吐出する塗布ノズルヘッドおよびそれを具備する液体塗布装置に関する。 The present invention relates to a coating nozzle head and a liquid coating device including the coating nozzle head. In particular, the present invention relates to a coating nozzle head for discharging a highly viscous liquid and a liquid coating apparatus including the coating nozzle head.
プランジャの往復動作によって、液体材料を吐出する装置が知られている。例えば、特許文献1に示すジェットタイプの液体塗布装置である。
A device for discharging a liquid material by a reciprocating operation of a plunger is known. For example, it is a jet type liquid coating device shown in
近年では、生産性向上の観点から塗布作業の高速性が求められている。このタイプの液体塗布装置において、一定時間内の吐出回数をさらに増加させる要求が高まっている。そのため、液体塗布装置のプランジャを高速に往復動作させることが必要となっている。 In recent years, high speed coating work has been required from the viewpoint of improving productivity. In this type of liquid coating apparatus, there is an increasing demand for further increasing the number of discharges within a certain period of time. Therefore, it is necessary to reciprocate the plunger of the liquid coating device at high speed.
プランジャを往復動作させるための駆動源としては、モータやエアー、圧電素子などのアクチュエータが用いられることが多い。圧電素子は、高速動作が可能である。しかし、その変位量は小さいため、変位拡大機構と組み合わせて変位量を大きくして用いられることが一般的である。例えば、特許文献2に記載のものが知られている。
Actuators such as motors, air, and piezoelectric elements are often used as the drive source for reciprocating the plunger. The piezoelectric element can operate at high speed. However, since the displacement amount is small, it is generally used by increasing the displacement amount in combination with the displacement expansion mechanism. For example, the one described in
以下、その変位拡大機構と圧電素子を用いた従来の液体塗布装置について、図1〜図4を参照しながら説明する。 Hereinafter, a conventional liquid coating device using the displacement expanding mechanism and the piezoelectric element will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
従来の液体塗布装置を正面図の図1に示す。 従来の液体塗布装置の吐出部の断面図を図2に示す。液体塗布装置1は、ノズル穴60から吐出液滴65を吐出する。液体塗布装置1は、ノズル穴60と連通し、液体材料が供給される供給流路52と、先端部が供給流路52内を往復動作するプランジャ12aと、プランジャ12aを往復動作させるアクチュエータ2aと、変位拡大機構3aと、を備える。
A conventional liquid coating device is shown in FIG. 1 of the front view. FIG. 2 shows a cross-sectional view of a discharge portion of a conventional liquid coating device. The
アクチュエータ2aが左右対称に配置され、下部にプランジャ12aが連結される弾性変形可能なU字状部材5,6,7,8,9で変位拡大機構3aが構成される。図3で、プランジャ12aの上昇時の動作を説明する。図4で、プランジャ12aの下降時の動作を説明する。アクチュエータ2が、U字状部材5,6,7,8,9の両端部を離間させる力を作用させることにより、プランジャ12を上方向に移動させる。逆に、アクチュエータ2aが、U字状部材5,6,7,8,9の両端部を近接させる力を作用させることにより、プランジャ12aを下方向に移動させる。このことを特徴とする。
The displacement expanding
高粘度液体材料を吐出させるためには、大きな変位量でプランジャ12を高速駆動する必要がある。
In order to discharge the high-viscosity liquid material, it is necessary to drive the
従来の変位拡大機構3aにおいては、U字状部材5,6,7,8,9を弾性変形させることでプランジャ12aを上下方向に往復動作させている。必要な変位量を確保するためにはU字状部材8,9の剛性を低くする必要がある。これに伴って固有振動数が低くなり、プランジャ12の変位応答速度を向上させることには限界がある。
In the conventional
したがって、アクチュエータ2の変位に対する変位拡大機構3aの変位拡大率を大きくすることで、プランジャ12aの変位量を大きくすることができるが、高速駆動との両立は困難である。
Therefore, the displacement amount of the
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、高速かつ安定的に高粘度液体材料の塗布を制御できる、変位拡大機構およびそれを具備する塗布ノズルヘッドおよびそれを具備する液体塗布装置を提供することを目的としている。 The present invention solves such a conventional problem, and is capable of controlling the coating of a high-viscosity liquid material at high speed and stably, a displacement expanding mechanism, a coating nozzle head provided with the mechanism, and a liquid coating provided with the same. The purpose is to provide the device.
上記目的を達成するために、液体材料を吐出するノズル穴と、上記ノズル穴に液体材料を供給する供給流路と、上記供給流路内の液体に当接して往復プランジャと、上記プランジャに変位を与える変位拡大機構と、上記変位拡大機構に変位を与えるアクチュエータと、を含み、上記変位拡大機構と上記アクチュエータとの接触部の少なくともいずれかが曲面である液体塗布装置を用いる。 In order to achieve the above object, the nozzle hole for discharging the liquid material, the supply flow path for supplying the liquid material to the nozzle hole, the reciprocating plunger that abuts on the liquid in the supply flow path, and the displacement to the plunger. A liquid coating device is used that includes a displacement expanding mechanism that imparts a displacement and an actuator that imparts a displacement to the displacement expanding mechanism, and at least one of the contact portions between the displacement expanding mechanism and the actuator is a curved surface.
本発明の構成によれば、電子デバイスの製造などの産業用途において、機能性粒子が含まれる高粘度液体材料の塗布を高速かつ安定的に制御することができ、必要な箇所に最適な量を任意パターンで塗布することができる。 According to the configuration of the present invention, in industrial applications such as manufacturing of electronic devices, it is possible to control the application of a high-viscosity liquid material containing functional particles at high speed and stably, and the optimum amount can be applied to a required place. It can be applied in any pattern.
以下、図面を用いて、実施の形態を説明する。説明は、1つの例示であるため、本願発明は、下記説明で限定されない。
<液体塗布装置>
<構成>
図5は、本発明の実施の形態の液体塗布装置100の断面図であり、基本構成について以下に説明する。
Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. Since the description is an example, the invention of the present application is not limited to the following description.
<Liquid coating device>
<Structure>
FIG. 5 is a cross-sectional view of the
液体塗布装置100は、ノズル穴60から液体材料の吐出液滴65を吐出する。液体塗布装置100は、ノズル穴60と連通し、液体材料が供給される供給流路52と、先端部が供給流路内を往復動作するプランジャ12と、プランジャ12を往復動作させるアクチュエータ2と、変位拡大機構3と、を備える。
The
以下に、各構成要素の特徴について説明する。 The features of each component will be described below.
<ノズル穴60>
ノズル穴60は、超硬合金やステンレス、アルミニウム、チタンなどの金属に設けられた貫通穴である。材質は、金属だけでなく、セラミックやPEEKなどの樹脂材料でも構わない。しかし、液体材料が吐出される際に、含有粒子材料で磨耗したり、液体材料に侵食・溶出されたりすることのない材料の選定が必要である。
<
The
また、吐出液滴サイズに応じて、ノズル内径は、Φ0.05mm〜0.5mmの範囲から選定される。液体材料の粘度やチキソ性、表面張力、ノズル面との接触角などの物性に応じて、ノズル長さは0.05mm〜5mmの範囲から選定される。 Further, the inner diameter of the nozzle is selected from the range of Φ0.05 mm to 0.5 mm according to the size of the discharged droplet. The nozzle length is selected from the range of 0.05 mm to 5 mm according to physical properties such as viscosity, thixotropic property, surface tension, and contact angle with the nozzle surface of the liquid material.
図5においては、簡略化のため、供給流路52とノズル穴60が一体構造として図示している。しかし、製作上およびメンテナンス性向上のため、ノズル穴60を別部品として別途作製し、組み付けてもよい。
In FIG. 5, for simplification, the
<供給流路52>
供給流路52は、ノズル穴60と同様の材料を用いることができる。供給流路52の断面は、Φ0.5〜10mm程度の円形状でも、同程度の断面積の矩形状でも構わない。加工性や気泡溜り防止の観点から、円形状が好ましい。
<
The same material as the
供給流路52は、液体材料を供給するタンク(図示せず)と、ノズル穴60とを連通させる。 供給流路52は、タンクに充填された液体材料を、ノズル穴60まで供給する機能を担っている。
The
<プランジャ12>
プランジャ12は、ガイド110およびシール材104の孔を介して、移動する。このことによって、液体材料を供給流路52内のノズル穴60から押し出す。プランジャ12には、ノズル穴60と同様の材料を用いることができる。しかし、プランジャ12の材質は、ガイド110やシール材104、液体材料に含まれる粒子材料で摩耗劣化したり、液体材料に侵食・溶解されたりすることのない素材を選定する必要がある。また、プランジャ12を高速駆動させるためには、比重の小さな素材を選定することが好ましい。さらに、プランジャ12自身の体積を最小限に低減させて軽量化を行うことが好ましい。
<Plunger 12>
The
プランジャ12は、アクチュエータ2の駆動エネルギを液体材料の吐出エネルギに変換する機能を担っている。プランジャ12がノズル穴60近傍で往復運動することによって、ノズル穴60近傍の液体材料に圧力を印加して、ノズル穴60から液体材料の吐出液滴65を吐出させる。
プランジャ12の先端形状は、図5に記載のような平坦形状でも構わないが、図6A〜図6Fに記載のような凸形状でもあっても構わない。
<ガイド110>
ガイド110は、プランジャ12を真っ直ぐ上下で移動させるものである。ガイド110は、貫通穴を有し、その貫通穴をプランジャ12が上下する。
The
The tip shape of the
<Guide 110>
The
<アクチュエータ2>
アクチュエータ2は、プランジャ12を往復運動させるための駆動源として用いられ、モータやエアー、圧電素子などが用いられることが多い。
<
The
<変位拡大機構3>
変位拡大機構3は、プランジャ12と同様に、耐摩耗性と軽量性が両立できる素材を選定することが望ましく、支点部101とレバー102で構成される。
<
As with the
変位拡大機構3は、プランジャ12の変位量をアクチュエータ2の変位量よりも拡大する機能を担っている。より小さなアクチュエータ2を用いて、プランジャ12をより大きく往復運動させることによって、粘性の高い液体材料や、大きな粒子を含む液体材料をノズル穴60から吐出させることができる。
The
図5においては、ハウジング30に当接された支点部101の上に、レバー102が設置され、プランジャ12は弾性体103の引張力によって、レバー102先端部に当接した状態で保持される。この弾性体103がプランジャ12とハウジング30の間に設置され、圧縮力によって保持されても構わない。
In FIG. 5, the
弾性体103は、スプリングコイルバネでも、板バネでも構わない。バネ定数は0.1〜10N/mmの範囲から選定されることが望ましい。バネ定数が小さすぎると、固有振動数が低くなって高速駆動できなくなり、バネ定数が大きすぎると、アクチュエータ変位量によるバネ力の変化が大きく駆動が不安定になるためである。
The
<レバー102とアクチュエータ2との接触部>
レバー102とアクチュエータ2との接触部の少なくともいずれかが曲面とする構成をとる。このことによって、レバー102の上面をアクチュエータ2が当接して変位を印加することができる。レバー102が支点部101回りに回転する。この回転で、レバー102の先端に設置されたプランジャ12は、アクチュエータ2の変位によって上下に往復動作することが可能となる。
<Contact portion between
At least one of the contact portions between the
また、レバー102とアクチュエータ2との接触部の摺動抵抗を低減するため、接触面の少なくともいずれかが凹凸形状を有してもよい。つまり、凹形状と凸形状とがどちらにあってもよい。
凹凸を形成する
<支点部101とレバー102の接触面>
支点部101は、円柱形状である。レバー102先端部は、凸曲面でプランジャ12のフランジ平面の作用点109に接触する。また、レバー102の支点部101と接触する部分は、当接する支点部101の曲率半径に比べて同等以上の曲率半径の凹曲面であることが好ましい。これらは一体となった部品構成としても構わない。なお、凹部、凸部は、逆の関係でもよい。
Further, in order to reduce the sliding resistance of the contact portion between the
Forming unevenness <Contact surface between
The
ここで、レバー102の支点部101周りの回転中心を支点107とし、レバー102とアクチュエータ2の接触面を力点108とし、レバー102がプランジャ12を押す点を作用点109とする。
Here, the center of rotation around the
図5に記載のように、支点107と力点108と作用点109は、同一直線上には存在せず、三角形を構成する。
As shown in FIG. 5, the
図5では、アクチュエータ2およびプランジャ12はレバー102回転中心となる支点107に対して同じ方向に位置しているが、それぞれ異なる方向に位置しても構わない。
In FIG. 5, the
支点107から力点108までの距離L1を、支点107から作用点109までの距離L2に比べて小さくすることが重要である。これによって、アクチュエータ2の変位に比べて、プランジャ12の変位をより大きく拡大することが可能となる。
It is important that the distance L1 from the
なお、アクチュエータ2が圧電素子の場合は、引張力による圧電素子の破壊を防止するため、弾性体103によって圧縮荷重の予圧を与えることも可能である。その結果、アクチュエータ2の駆動信頼性を向上させることができる。
When the
<塗布動作>
次に、液体材料の塗布動作について、以下に説明する。
(1)液体材料の供給
液体材料が充填される供給流路52内をプランジャ12の先端が上方向に移動する際にノズル穴60近傍に液体材料が供給される。供給流路52に直結する液体材料の供給のタンク(図示せず)に対して、0.1〜500kPa程度の背圧をかけることによって、液体材料の供給速度を高めて、より短い吐出間隔で高粘度材料を塗布することが可能となる。背圧が高いほど液体材料の供給速度は大きくなる一方、粒子含有ペースト材料の場合には固形分と液体成分が分離してしまうことが問題となるため、背圧は300kPa程度以下であることが好ましい。また、背圧が300kPa以下であっても、ノズル穴60から液体材料が染み出た状態になると、ノズル穴60内の気液界面(メニスカス面)が不安定となり、安定な液滴吐出ができなくなる場合があるため、液体材料と吐出条件に応じた背圧設定が不可欠である。
<Applying operation>
Next, the coating operation of the liquid material will be described below.
(1) Supply of Liquid Material When the tip of the
(2)液体の吐出
プランジャ12がノズル穴60に近接する下方向に移動する際に、ノズル穴60近傍の液体圧力が上昇して液体材料の吐出液滴65が吐出される。ここで、プランジャ12の上下運動中においてもノズル穴60近傍の液体圧力が低下しないように、プランジャ12とハウジング30に密着してシール材104が設置される。プランジャ12の下方向への移動速度が速いほどノズル圧力を急速に上昇させることができる。このため、ノズル穴60から先頭で飛び出す液体材料の吐出速度を上昇させることができる。さらに、ノズル穴60から先頭の液体材料が飛び出し始めた後にプランジャ12を上方向に速く移動させることによって、後続する液体材料の吐出速度を急速に低下させることもできる。これによって、高粘度の液体材料でも吐出液滴の糸曳きを短くすることが可能となり、より微量な吐出液滴65を安定して吐出させることができる。
(2) Liquid Discharge When the
図5においては、プランジャ12先端が供給流路52内の液体材料に接液して上下動作する構成となっているが、図7に示すように、プランジャ12先端が直接的に液体材料に接液せず、ダイアフラム105面を上下動作させる構成とすることも可能である。
In FIG. 5, the tip of the
図7は、図5の液体塗布装置100の変形例の断面図である。ダイアフラム105上面に、プランジャ12が位置する。プランジャ12は、ダイアフラム105を押し引きする。
FIG. 7 is a cross-sectional view of a modified example of the
<変位拡大機構3の変形例1>
続いて、変位拡大機構3の変形例について、以下に説明する。
<Modification example 1 of
Subsequently, a modification of the
図8Aは前述の液体塗布装置100と同じ基本構成である。比較するために表示した。ここで、アクチュエータ2のレバー102と当接しない側の面を図8Bに示すように、曲面の軸受106を設置しても構わない。
FIG. 8A has the same basic configuration as the
このような構成にすることにより、アクチュエータ2に短軸方向(図8Aでは左右方向)の力が作用することがなくなり、駆動信頼性を向上させることができる。
With such a configuration, the force in the short axis direction (left-right direction in FIG. 8A) does not act on the
<変位拡大機構3の変形例2>
また、変位拡大機構3において、プランジャ12の変位応答速度を向上させ、長期連続駆動信頼性を確保するためには、アクチュエータ2やレバー102および支点部101、プランジャ12の摺動部の駆動抵抗を低減させることが必要である。
<Deformation example 2 of
Further, in the
そこで、図8Cに示すように、アクチュエータ2とレバー102が当接する面と、レバー102と支点部101が当接する面が、アクチュエータ2の長軸方向から見て重ならないようにすることによって、レバー102が駆動する際に受ける反力を低減させることができ、余分な摺動抵抗を抑制することが可能となる。つまり、図8Cの点線内に、レバー102と支点部101とが当接する面が含まれないようにする。
Therefore, as shown in FIG. 8C, the surface on which the
さらに、摺動面のいずれか、あるいは両方に0.1μm以上の凹凸や溝を形成することによって、接触面積を低減して摺動抵抗を低減することも併せて可能である。 Further, it is also possible to reduce the contact area and reduce the sliding resistance by forming irregularities or grooves of 0.1 μm or more on either or both of the sliding surfaces.
加えて、接触界面の摺動抵抗を低減させるため、固体潤滑剤やグリスを塗布、成膜することがより好ましい。 In addition, in order to reduce the sliding resistance of the contact interface, it is more preferable to apply a solid lubricant or grease to form a film.
<変位拡大機構3の変形例3>
図9Aに、プランジャ12の変位と時間との関係を示す。理想的に理想曲線のように、プランジャ12が変位することが理想である。しかし、実際は、時間の応答遅れが発生し、実変位曲線で、プランジャ12が変位する。特に、粘性の高い液体材料を吐出させる場合には、実変位曲線となる。これは、プランジャ12に大きな変位を付与する場合に、プランジャ12の駆動抵抗が大きくなるため顕著に発生する。
<Deformation example 3 of
FIG. 9A shows the relationship between the displacement of the
この主な要因は次の2つである。
(1)プランジャ12の先端がノズル穴60に近接するほど、プランジャ12の先端のノズル穴60近傍の圧力が高くなるためである。
(2)アクチュエータ2単体の変位や変位拡大倍率が大きくなるに伴って、弾性体103による引張力および圧縮力が大きくなるためである。
There are two main factors for this.
(1) The closer the tip of the
(2) This is because the tensile force and the compressive force of the
この対策として、実施の形態としては、図9Bに示すように、アクチュエータ2とレバー102が当接する面が、曲率半径の異なる曲面で構成されることが好ましい。図9Bは、液体塗布装置100の変形例の断面図である。
アクチュエータ2のレバー102と当接する面において、レバー102側の当接面を凸曲面とする場合、レバー102側の面の曲率半径を、アクチュエータ2側の面の曲率半径より小さくする構成とすることが好ましい。一方、レバー102側の当接面を凹曲面とする場合、レバー102側の面の曲率半径を、アクチュエータ2側の面の曲率半径より大きくする構成とすることが好ましい。
As a countermeasure for this, as shown in FIG. 9B, it is preferable that the surface on which the
When the contact surface on the
図9Cは、液体塗布装置100の変形例の断面図で、プランジャ12の下降開始時の液体塗布装置100の断面図である。図9Dは、液体塗布装置100の変形例の断面図で、プランジャ12の下降終了時の液体塗布装置100の断面図である。図9Cに示すように、プランジャ12の下降開始時にはアクチュエータ2がレバー102を押す力点と支点107の距離(矢印)は比較的短くなり、変位拡大がより大きくなるため、変位応答の立ち上りをより高速化することが可能となる。また、図9Dに示すように、プランジャ12の下降終了時にはアクチュエータ2がレバー102を押す力点と支点107の距離(矢印)は比較的長くなり、変位拡大がより小さくなるため、プランジャ12の押荷重をより大きな力にすることができ、プランジャ12の駆動抵抗に負けることなく、変位応答をより高速化することが可能となる。
FIG. 9C is a cross-sectional view of a modified example of the
この場合、プランジャ12が下方向に移動する際に、矢印の長さが変化することで、変位拡大機構3の変位拡大倍率を徐々に小さく変化させることができる。
In this case, when the
<変位拡大機構3の変形例4>
また、高粘度液体材料を微量吐出させるためには、比較的小さな変位量を大きな力でプランジャ12を高速駆動させることが重要である。そのためには、変位拡大機構3の変位拡大倍率を必要最小限に小さく抑えて、レバー102の質量を最小限に低減させて軽量化する必要がある。
<Modification example 4 of
Further, in order to discharge a small amount of the high-viscosity liquid material, it is important to drive the
しかしながら、アクチュエータ2と弾性体103とが干渉しないような構成にしなければならず、設計範囲が制限される。これは、弾性体103がプランジャ12とハウジング30の間に設置され、圧縮力によって保持される場合でも同様である。
However, the structure must be such that the
この対策の実施の形態として、液体塗布装置100の変形例の断面図を図10に示す。図10に示すように、プランジャ12の変位方向に対して、アクチュエータ2の変位方向が傾きθを有する構成とする。この傾きθは、1度〜90度の範囲から選定されることが多く、10〜60度の範囲で最も効果的である。なお、図10は、プランジャ12の稼働前の状態である。
プランジャ12が、稼働する時点で、アクチュエータ2の変位方向は、プランジャ12の変位方向に対して、傾いている。
As an embodiment of this measure, FIG. 10 shows a cross-sectional view of a modified example of the
When the
このような構成にすることにより、アクチュエータ2とレバー102が当接する面と、レバー102と支点部101が当接する面が、アクチュエータ2の長軸方向から見て重ならないようにしながらも、アクチュエータ2の変位方向に直交する方向の、支点107と力点108間の距離をより小さく設定できる。
With such a configuration, the surface on which the
その上、アクチュエータ2と弾性体103との物理的距離が大きくなるため、レバー102の長さを短縮することができる。
Moreover, since the physical distance between the
そのため、レバー102を軽量化することができ、レバー102とプランジャ12などの可動部の慣性モーメントを50%〜90%程度小さくすることが可能となる。
Therefore, the weight of the
所定トルクを作用させた場合、変位加速度は慣性モーメントに反比例するため、プランジャ12の変位加速度を2倍〜10倍程度まで大きくすることが可能となり、高粘度液体材料を微量吐出するのに有用である。
When a predetermined torque is applied, the displacement acceleration is inversely proportional to the moment of inertia, so the displacement acceleration of the
また、図10では、アクチュエータ2およびプランジャ12はレバー102回転中心となる支点に対して同じ方向に位置しているが、それぞれ異なる方向に位置しても構わない。
Further, in FIG. 10, the
本発明の液体塗布装置は、機能性粒子が含まれる液体材料の塗布を高速、かつ、安定的に制御することができる。また、本発明の液体塗布装置は、非接触で必要な箇所に最適な量を任意のパターンで高速に塗布することが可能である。 The liquid coating apparatus of the present invention can control the coating of a liquid material containing functional particles at high speed and stably. Further, the liquid coating apparatus of the present invention can apply an optimum amount to a required portion in a non-contact manner at high speed with an arbitrary pattern.
本願発明の液体塗布装置は、長期連続駆動が不可欠となる電子デバイス製造などの産業用途で用いることが可能である。また、本願発明の液体塗布装置は、
凹凸面や曲面などの立体構造物への3D塗布や、多品種少量の電子デバイス製造における生産性向上などの目的で、任意パターン塗布するための変位拡大機構およびそれを具備する液体塗布装置として好ましく用いられる。
The liquid coating apparatus of the present invention can be used in industrial applications such as manufacturing electronic devices in which long-term continuous driving is indispensable. Further, the liquid coating apparatus of the present invention is
It is preferable as a displacement expansion mechanism for coating arbitrary patterns and a liquid coating device equipped with it for the purpose of 3D coating on three-dimensional structures such as uneven surfaces and curved surfaces, and improving productivity in manufacturing high-mix low-volume electronic devices. Used.
1 液体塗布装置
2、2a アクチュエータ
3、3a 変位拡大機構
5 字状部材
8 字状部材
12、12a プランジャ
30 ハウジング
52 供給流路
60 ノズル穴
65 吐出液滴
100 液体塗布装置
101 支点部
102 レバー
103 弾性体
104 シール材
105 ダイアフラム
106 軸受
107 支点
108 力点
109 作用点
110 ガイド
1
Claims (11)
前記ノズル穴に液体材料を供給する供給流路と、
前記供給流路内の液体に当接して往復するプランジャと、
前記プランジャに変位を与える変位拡大機構と、
前記変位拡大機構に変位を与えるアクチュエータと、を含み、
前記変位拡大機構は、レバー部と支柱部とを有し、
前記変位拡大機構と前記アクチュエータとの接触部の少なくともいずれかが曲面であり、
前記支柱部周りの回転中心となる支点と、前記レバー部と前記アクチュエータの接触面である力点との距離が変化する液体塗布装置。 Nozzle holes for discharging liquid materials and
A supply flow path for supplying a liquid material to the nozzle hole,
A plunger that reciprocates in contact with the liquid in the supply flow path,
A displacement expansion mechanism that gives displacement to the plunger,
Including an actuator that imparts a displacement to the displacement expansion mechanism.
The displacement expansion mechanism has a lever portion and a strut portion, and has a lever portion and a strut portion.
At least one of the contact portions between the displacement expansion mechanism and the actuator is a curved surface .
A liquid coating device that changes the distance between a fulcrum that is the center of rotation around the strut portion and a force point that is a contact surface between the lever portion and the actuator.
前記アクチュエータの他端には、軸受けがあり、前記他端と前記軸受けとの接触部分の曲率は同じである請求項1記載の液体塗布装置。The liquid coating device according to claim 1, wherein the other end of the actuator has a bearing, and the curvature of the contact portion between the other end and the bearing is the same.
前記レバー部と前記プランジャの接触面である作用点が、
同一直線上に存在しない位置関係を有する請求項1から4のいずれかに1項に記載の液体塗布装置。 A fulcrum that is the center of rotation around the fulcrum portion of the lever portion, and a force point that is a contact surface between the lever portion and the actuator.
The point of action that is the contact surface between the lever and the plunger is
The liquid coating apparatus according to any one of claims 1 to 4, which has a positional relationship that does not exist on the same straight line.
前記変位拡大機構の側の前記接触面の曲率半径と、
前記アクチュエータの側の前記接触面の曲率半径と、が異なる、請求項1から6のいずれかに記載の液体塗布装置。 At the contact surface between the displacement expansion mechanism and the actuator,
The radius of curvature of the contact surface on the side of the displacement expansion mechanism,
The liquid coating device according to any one of claims 1 to 6, wherein the radius of curvature of the contact surface on the actuator side is different from that of the contact surface.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/041,123 US10913088B2 (en) | 2017-08-08 | 2018-07-20 | Coating nozzle head, and liquid-applying apparatus including the same |
CN201810822944.5A CN109382237B (en) | 2017-08-08 | 2018-07-24 | Coating nozzle head and liquid coating apparatus having the same |
KR1020180087111A KR102467695B1 (en) | 2017-08-08 | 2018-07-26 | Application nozzle head and liquid application apparatus having it |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017153364 | 2017-08-08 | ||
JP2017153364 | 2017-08-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019030865A JP2019030865A (en) | 2019-02-28 |
JP6982736B2 true JP6982736B2 (en) | 2021-12-17 |
Family
ID=65522771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018088999A Active JP6982736B2 (en) | 2017-08-08 | 2018-05-07 | Coating nozzle head and liquid coating device equipped with it |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6982736B2 (en) |
KR (1) | KR102467695B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7424626B2 (en) * | 2020-06-23 | 2024-01-30 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | Liquid material discharge device and liquid material application device |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4022166A (en) * | 1975-04-03 | 1977-05-10 | Teledyne Industries, Inc. | Piezoelectric fuel injector valve |
JP3904668B2 (en) | 1997-05-19 | 2007-04-11 | 松下電器産業株式会社 | Method and apparatus for applying adhesive |
US7694855B2 (en) * | 2004-04-23 | 2010-04-13 | Nordson Corporation | Dispenser having a pivoting actuator assembly |
DE102011108799A1 (en) * | 2011-07-29 | 2013-01-31 | Vermes Microdispensing GmbH | Dosing system and dosing process |
JP6168932B2 (en) | 2013-09-09 | 2017-07-26 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | Droplet discharge device |
US11536259B2 (en) * | 2016-01-16 | 2022-12-27 | Musashi Engineering, Inc. | Liquid material ejection device |
-
2018
- 2018-05-07 JP JP2018088999A patent/JP6982736B2/en active Active
- 2018-07-26 KR KR1020180087111A patent/KR102467695B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102467695B1 (en) | 2022-11-17 |
JP2019030865A (en) | 2019-02-28 |
KR20190016437A (en) | 2019-02-18 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
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|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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