KR102465578B1 - The automatic opening device of chamber door - Google Patents

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KR102465578B1
KR102465578B1 KR1020220031217A KR20220031217A KR102465578B1 KR 102465578 B1 KR102465578 B1 KR 102465578B1 KR 1020220031217 A KR1020220031217 A KR 1020220031217A KR 20220031217 A KR20220031217 A KR 20220031217A KR 102465578 B1 KR102465578 B1 KR 102465578B1
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이기동
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와이투라인 주식회사
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Abstract

Provided is a chamber door automatic opening device, comprising: a door swing module located on one side of a chamber and adjusting rotation of a door at a predetermined angle; and a door locking module coupled to the other side of the door and chamber, bringing the door and the chamber into close contact with each other, and including a locking bracket protruding from the other end of the door in the direction of the other side, a locking bar positioned in contact with a protruding area of the locking bracket to fix the locking bracket, and a guide rail coupled with both ends of the locking bar and providing a movement path for the locking bar, wherein the locking bracket is released when the locking bar moves forward along the guide rail, thereby capable of minimizing use of space around the chamber and improving adhesion between the chamber and the door to secure airtightness of the chamber.

Description

챔버도어 자동 오픈 장치{The automatic opening device of chamber door}Chamber door automatic opening device {The automatic opening device of chamber door}

본 발명은 챔버도어 자동 오픈 장치에 관한 것으로, 주변 공간 사용을 최소화할 수 있으며 챔버와 도어의 밀착력을 더욱 향상시킬 수 있는 챔버도어 자동 오픈 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic chamber door opener, and more particularly, to an automatic chamber door opener capable of minimizing the use of surrounding space and further improving adhesion between a chamber and a door.

전기전자기기, 운송기기, 사물 인터넷 등의 급속한 발달로 인해 반도체소자의 응용분야는 더욱 넓어지고 있다. 디스플레이 패널의 고해상도화, 전기전자기기가 요구하는 빠른 응답속도는 반도체소자의 고집적화를 더욱 요구하고, 이는 반도체소자 제조 설비의 개발과 개선을 더욱 필요로 한다. Due to the rapid development of electrical and electronic devices, transportation devices, and the Internet of Things, the application fields of semiconductor devices are further expanding. The high resolution of display panels and the fast response speed required by electrical and electronic devices further require high integration of semiconductor devices, which further requires the development and improvement of semiconductor device manufacturing facilities.

디스플레이 패널이나 반도체소자 제조 산업은 물론, 다른 산업 분야에서도 기밀성이 요구되는 챔버가 필요한 경우가 있다. 챔버는 내부 수용 공간의 개폐를 위해 도어와 결합되는데, 도어와 챔버가 밀착되는 영역에는 기밀성 확보를 위해 기밀링이 구비되는 것이 일반적이다. 또한, 도어와 챔버의 밀폐력은 챔버의 기밀성에 큰 영향을 준다고 할 수 있다.There are cases in which a chamber requiring airtightness is required not only in the display panel or semiconductor device manufacturing industry, but also in other industries. The chamber is coupled with a door to open and close the inner accommodating space, and an airtight ring is generally provided in an area where the door and the chamber are in close contact to ensure airtightness. In addition, it can be said that the sealing force of the door and the chamber greatly affects the airtightness of the chamber.

챔버의 도어 개폐에 대하여 한국공개특허 제10-1998-0065413호에서는 '반도체장치 제조용 베이크설비의 공정챔버 도어개폐장치에 있어서, 공정챔버의 출입구 일측에 형성된 보스; 상기 보스의 중심으로 회전가능하게 관통되어 양단이 보스의 양쪽으로 노출된 회전축; 상기 공정챔버에 고정되어 회전축의 양단을 회전지지하는 베어링; 상기 회전축을 소정각도 정,역회전시키는 구동수단; 및 상기 회전축과 연동하도록 고정되어 공정챔버의 출입구를 개폐시키는 도어;를 포함하여 됨을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 베이크설비의 공정챔버 도어개폐장치'에 대한 기술을 공지한 바 있다.Regarding the opening and closing of the door of the chamber, Korean Patent Publication No. 10-1998-0065413 discloses 'a process chamber door opening and closing device of a baking facility for manufacturing a semiconductor device, comprising: a boss formed on one side of the entrance and exit of the process chamber; a rotating shaft rotatably penetrating through the center of the boss and having both ends exposed on both sides of the boss; a bearing fixed to the process chamber to support rotation of both ends of the rotating shaft; Driving means for forward and reverse rotation of the rotating shaft at a predetermined angle; and a door fixed to interlock with the rotating shaft to open and close the entrance and exit of the process chamber. A technology for a 'process chamber door opening and closing device of a baking facility for manufacturing a semiconductor device' has been disclosed.

상기의 기술은 에어실린더가 도어의 힌지에 구비되는 것으로, 기밀링의 탄성에 의해 도어의 힌지 반대편 영역을 가압해주는 힘은 한계가 있다고 볼 수 있으며, 이는 챔버의 기밀성에 영향을 준다고 할 수 있다.In the above technology, the air cylinder is provided on the hinge of the door, and it can be seen that the force for pressing the area opposite the hinge of the door by the elasticity of the airtight ring has a limit, which can affect the airtightness of the chamber.

따라서, 도어를 자동으로 열거나 닫는 장치에 있어서, 도어와 챔버의 밀착력과 기밀성을 향상시킬 수 있는 챔버 도어의 오픈 장치에 대한 개발이 필요하다. Therefore, in a device that automatically opens or closes a door, it is necessary to develop a chamber door opening device capable of improving adhesion and airtightness between the door and the chamber.

한국공개특허 제10-1998-0065413호(공개일:1998년 10월 15일)Korean Patent Publication No. 10-1998-0065413 (published on October 15, 1998) 한국공개특허 제10-2012-0044058호(공개일:2012년 05월 07일)Korean Patent Publication No. 10-2012-0044058 (published on May 07, 2012) 한국등록특허 제10-1480725호(등록일:2015년 01월 05일)Korean Patent Registration No. 10-1480725 (registration date: January 05, 2015)

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 챔버 주변의 공간 사용을 최소화하며 챔버와 도어의 밀착력을 향상시켜, 챔버의 기밀성을 확보할 수 있는 챔버도어 자동 오픈 장치를 제공하는 것에 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an automatic opening device for a chamber door capable of securing airtightness of a chamber by minimizing the use of space around the chamber and improving adhesion between the chamber and the door.

본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited to the above-mentioned object, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

상기의 문제를 해결하기 위하여 본 발명은 챔버의 일측부에 위치하며 소정의 각도로 도어의 회전을 조절하는 도어 스윙 모듈; 및 상기 도어 및 챔버의 타측부에 결합되고 도어와 챔버를 밀착시키며, 상기 도어의 타단부로부터 타측 방향으로 돌출된 잠금브라켓과, 상기 잠금브라켓의 돌출된 영역에 맞닿아 위치하여 잠금브라켓을 고정하는 잠금바와, 상기 잠금바의 양단부가 결합되고 잠금바의 이동경로를 제공하는 가이드 레일을 구비하는 도어 잠금 모듈;을 포함하고, 상기 잠금바가 상기 가이드 레일을 따라 전방으로 이동하면 상기 잠금브라켓은 고정 해제되는 것을 특징으로 하는 챔버도어 자동 오픈 장치를 제공할 수 있다.In order to solve the above problem, the present invention is located on one side of the chamber and the door swing module for adjusting the rotation of the door at a predetermined angle; And a locking bracket coupled to the other side of the door and the chamber and closely contacting the door and the chamber, protruding from the other end of the door to the other side, and abutting the protruding area of the locking bracket to fix the locking bracket A door locking module having a locking bar and guide rails coupled to both ends of the locking bar and providing a movement path for the locking bar, and when the locking bar moves forward along the guide rail, the locking bracket is released. It is possible to provide an automatic opening device for the chamber door, characterized in that.

상기 잠금브라켓은, 상기 도어의 타단부에 결합되는 지지판과, 지지판으로부터 타측 방향으로 향하여 수직으로 절곡된 절곡편을 포함하고, 상기 잠금바는, 상기 절곡편을 가압하도록 위치하여 상기 잠금브라켓을 고정할 수 있다.The locking bracket includes a support plate coupled to the other end of the door and a bent piece vertically bent from the support plate toward the other side, and the locking bar is positioned to press the bent piece to fix the lock bracket. can do.

상기 가이드 레일은, 잠금바의 전후이동을 위한 후방의 직선부와 좌우이동을 위한 전방의 곡선부를 포함하며 상기 이동경로를 형성하는 가이드홈과, 상기 가이드홈이 위치하고 소정의 간격으로 이격된 한 쌍의 가이드판을 포함하는 것일 수 있다.The guide rail includes a rear straight portion for forward and backward movement of the locking bar and a front curved portion for left and right movement of the locking bar and includes a guide groove forming the movement path, and a pair of guide grooves located and spaced apart at a predetermined interval. It may include a guide plate of.

상기 도어 잠금 모듈은, 상기 잠금바의 중심에 실린더 로드의 단부가 결합되고 상기 이동경로를 따라 상기 잠금바를 이동시키는 제1 구동실린더를 포함하는 것일 수 있다.The door locking module may include a first driving cylinder having an end of a cylinder rod coupled to a center of the locking bar and moving the locking bar along the moving path.

상기 도어 스윙 모듈은, 상기 도어에 마련된 힌지에 실린더 로드 단부가 결합되는 제2 구동 실린더를 포함하는 것일 수 있다.The door swing module may include a second driving cylinder having an end portion of a cylinder rod coupled to a hinge provided in the door.

본 발명의 실시예에 따른 챔버도어 자동 오픈 장치는 도어 스윙 모듈과 도어 잠금 모듈을 구비함으로써, 챔버 주변의 공간 사용을 최소화하며 챔버와 도어의 밀착력을 향상시킬 수 있으며, 그로 인해 챔버의 기밀성을 확보할 수 있는 장점이 있다.The chamber door automatic opening device according to an embodiment of the present invention includes a door swing module and a door lock module, thereby minimizing the use of space around the chamber and improving the adhesion between the chamber and the door, thereby securing the confidentiality of the chamber. There are advantages to doing so.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 챔버도어 자동 오픈 장치가 결합된 챔버의 도어 잠금 상태를 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 챔버도어 자동 오픈 장치가 결합된 챔버의 도어가 일부 오픈된 상태를 나타낸 사시도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 도어 잠금 모듈이 도어를 잠근 상태를 나타낸 사시도,
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 도어 잠금 모듈의 도어 개방 작동 과정을 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 도어가 일부 오픈된 상태의 도어 스윙 모듈을 나타낸 사시도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 챔버가 개방된 상태의 도어 스윙 모듈을 나타낸 사시도이다. 1 is a perspective view showing a door lock state of a chamber to which an automatic chamber door opening device according to an embodiment of the present invention is coupled;
2 is a perspective view showing a partially opened state of a door of a chamber to which an automatic chamber door opening device according to an embodiment of the present invention is coupled;
3 is a perspective view showing a state in which the door lock module locks the door according to an embodiment of the present invention;
4 and 5 are perspective views showing a door opening operation process of a door lock module according to an embodiment of the present invention;
6 is a perspective view showing a door swing module in a state in which a door is partially opened according to an embodiment of the present invention;
7 is a perspective view illustrating a door swing module in a state in which a chamber is opened according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments introduced below are provided as examples to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the present invention may be embodied in other forms without being limited to the embodiments described below. Also, in the drawings, the lengths and thicknesses of layers and regions may be exaggerated for convenience. Like reference numbers indicate like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 챔버도어 자동 오픈 장치가 결합된 챔버의 도어 잠금 상태를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 챔버도어 자동 오픈 장치가 결합된 챔버의 도어가 일부 오픈된 상태를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 도어 잠금 모듈이 도어를 잠근 상태를 나타낸 사시도이고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 도어 잠금 모듈의 도어 개방 작동 과정을 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 도어가 일부 오픈된 상태의 도어 스윙 모듈을 나타낸 사시도이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 챔버가 개방된 상태의 도어 스윙 모듈을 나타낸 사시도이다. 1 is a perspective view showing a locked state of the door of a chamber to which an automatic chamber door opening device according to an embodiment of the present invention is coupled, and FIG. Figure 3 is a perspective view showing a partially opened state, Figure 3 is a perspective view showing a state in which the door lock module according to the embodiment of the present invention locks the door, Figures 4 and 5 are the door of the door lock module according to the embodiment of the present invention Figure 6 is a perspective view showing an opening operation process, Figure 6 is a perspective view showing a door swing module in a state in which the door is partially opened according to an embodiment of the present invention, Figure 7 is a door in a state in which the chamber is opened according to an embodiment of the present invention It is a perspective view showing the swing module.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 챔버도어 자동 오픈 장치(10)는 챔버(30)의 일측부에 위치하며 소정의 각도로 도어(20)의 회전을 조절하는 도어 스윙 모듈(200); 및 상기 도어(20) 및 챔버(30)의 타측부에 결합되고 도어(20)와 챔버(30)를 밀착시키며, 상기 도어(20)의 타단부로부터 타측 방향으로 돌출된 잠금브라켓(110)과, 상기 잠금브라켓(110)의 돌출된 영역에 맞닿아 위치하여 잠금브라켓(110)을 고정하는 잠금바(120)와, 상기 잠금바(120)의 양단부가 결합되고 잠금바(120)의 이동경로를 제공하는 가이드 레일(130)을 구비하는 도어 잠금 모듈(100);을 포함하고, 상기 잠금바(120)가 상기 가이드 레일(130)을 따라 전방으로 이동하면 상기 잠금브라켓은 고정 해제되는 것일 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 챔버도어 자동 오픈 장치(10)는 도어 스윙 모듈(200)과 도어 잠금 모듈(100)을 구비함으로써, 챔버 주변의 공간 사용을 최소화하며 자동으로 동작하여 챔버(30)와 도어(20)의 밀착력을 향상시킬 수 있으며, 그로 인해 챔버(30)의 기밀성을 확보할 수 있는 장점이 있다.1 to 7, the chamber door automatic opening device 10 according to an embodiment of the present invention is located on one side of the chamber 30 and swings the door 20 to adjust the rotation of the door 20 at a predetermined angle. module 200; and a locking bracket 110 that is coupled to the other side of the door 20 and the chamber 30, brings the door 20 and the chamber 30 into close contact, and protrudes from the other end of the door 20 toward the other side. The locking bar 120 positioned in contact with the protruding area of the locking bracket 110 to fix the locking bracket 110 and both ends of the locking bar 120 are coupled and the movement path of the locking bar 120 The door locking module 100 having a guide rail 130 providing a; includes, and when the locking bar 120 moves forward along the guide rail 130, the locking bracket may be released. have. Therefore, the chamber door automatic opening device 10 according to an embodiment of the present invention includes a door swing module 200 and a door locking module 100, thereby minimizing the use of space around the chamber and operating automatically to keep the chamber 30 ) and the door 20 can improve adhesion, thereby securing the airtightness of the chamber 30.

상세히 설명하면, 상기 도어(20) 및 챔버(30)의 타측부에 결합되고 도어(20)와 챔버(30)를 밀착시키는 도어 잠금 모듈(100)은 도어의 힌지(22, 24)가 위치하는 영역과 대향되는 영역, 즉, 도어가 열리기 시작하는 영역에 구비된다. 이는 도어 스윙 모듈(200)과 도어 잠금 모듈(100)이 서로의 구동력을 보완하며 상호 작용을 하며 작동하기 위함으로, 하기의 챔버도어 자동 오픈 장치(10)의 작동 과정에서 상세히 설명한다.In detail, the door lock module 100 coupled to the other side of the door 20 and the chamber 30 and bringing the door 20 and the chamber 30 into close contact is where the hinges 22 and 24 of the door are located It is provided in an area opposite to the area, that is, an area where the door starts to open. This is to operate while the door swing module 200 and the door lock module 100 complement each other's driving force and interact with each other.

도어 잠금 모듈(100)은 잠금브라켓(110), 잠금바(120) 및 가이드 레일(130)을 포함하며, 상기 잠금바(120)를 구동하는 제1 구동실린더(140)를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 잠금바(120) 및 제1 구동실린더(140)를 커버하는 제1 커버부재(160)가 포함되어 외부로부터 상기 구성들을 보호할 수 있다.The door locking module 100 includes a locking bracket 110, a locking bar 120, and a guide rail 130, and may further include a first driving cylinder 140 that drives the locking bar 120. . In addition, a first cover member 160 covering the locking bar 120 and the first driving cylinder 140 may be included to protect the components from the outside.

상기 도어(20)의 타단부로부터 타측 방향으로 돌출된 잠금브라켓(110)은 상기 도어(20)의 타단부에 결합되는 지지판(111)과, 상기 지지판(111)으로부터 타측 방향으로 향하여 수직으로 절곡된 절곡편(113)을 포함하고, 상기 잠금바(120)는, 상기 절곡편(113)을 가압하도록 위치하여 상기 잠금브라켓(110)을 고정할 수 있다. 도 3과 같이, 잠금바(120)는 잠금브라켓(110)의 돌출된 영역 즉, 절곡편(113)의 전방 외측면에 맞닿도록 위치함으로써 절곡편(113)은 도어(20)로부터 챔버(30)를 향한 방향으로 힘을 받게 될 수 있다. 따라서, 지지판(111)과 결합된 도어(20) 또한 챔버(30)를 향한 방향으로 힘을 받게 되어 도어(20)와 챔버(30)는 더욱 밀착될 수 있다. The locking bracket 110 protruding in the other direction from the other end of the door 20 is bent vertically toward the other direction from the supporting plate 111 coupled to the other end of the door 20 and the supporting plate 111. It includes a bent piece 113, and the locking bar 120 is positioned to press the bent piece 113 to fix the locking bracket 110. As shown in FIG. 3, the locking bar 120 is positioned so as to come into contact with the protruding area of the locking bracket 110, that is, the front outer surface of the bent piece 113, so that the bent piece 113 can move from the door 20 to the chamber 30. ) can be applied in the direction of Accordingly, the door 20 coupled to the support plate 111 also receives force in a direction toward the chamber 30, so that the door 20 and the chamber 30 may be brought into closer contact.

상기 도어 잠금 모듈(100)은, 상기 잠금바(120)의 중심에 실린더 로드(141)의 단부가 결합되고 이동경로를 따라 상기 잠금바(120)를 이동시키는 제1 구동실린더(140)를 포함하는 것일 수 있다. 따라서 제1 구동실린더(140)의 실린더 로드(141)가 수축되는 방향으로 잠금바(120)를 잡아당기면 그 힘이 잠금브라켓(110)으로 전달되어 도어(20)와 챔버(30)는 밀착될 수 있다. 이 경우, 상기 제1 구동실린더(140)로 가해지는 힘은 챔버(30)의 기밀링(32)의 노후 정도에 따라 조절될 수 있다. 상기 기밀링(32)은 도어(20)와 맞닿는 면으로부터 일부 돌출되도록 매립되어 구비될 수 있으며, 예로써, 내열성이 있는 실리콘 패킹 소재로 마련될 수 있다.The door lock module 100 includes a first driving cylinder 140 in which an end of a cylinder rod 141 is coupled to the center of the lock bar 120 and moves the lock bar 120 along a movement path. it may be Therefore, when the locking bar 120 is pulled in the direction in which the cylinder rod 141 of the first driving cylinder 140 contracts, the force is transmitted to the locking bracket 110 so that the door 20 and the chamber 30 come into close contact. can In this case, the force applied to the first driving cylinder 140 may be adjusted according to the degree of aging of the sealing ring 32 of the chamber 30 . The airtight ring 32 may be provided so as to partially protrude from a surface in contact with the door 20, and may be provided with, for example, a heat-resistant silicon packing material.

제1 구동실린더(140)로부터 잠금브라켓(110) 또는 잠금바(120)를 향해 과한 힘이 가해지지 않도록, 도어 잠금 모듈(100)은 상기 잠금브라켓(110)의 절곡편(113) 후방 외측부에 절곡편(113)에 대향하는 플레이트 형상으로 스토퍼 부재(150)가 위치할 수 있다. 또한, 상기 잠금바(120)는, 절곡편(113)을 가압하도록 위치하여 상기 잠금브라켓(110)을 고정함과 동시에, 스토퍼 부재(150)의 위치를 조절하며 밀착정도를 조절할 수 있으므로, 기밀링(32)의 시간에 따른 경화로 인해 발생할 수 있는 챔버의 공기 누설을 보완할 수 있는 효과가 있다.To prevent excessive force from being applied from the first drive cylinder 140 toward the locking bracket 110 or the locking bar 120, the door locking module 100 is placed on the rear outer portion of the bent piece 113 of the locking bracket 110. The stopper member 150 may be positioned in a plate shape facing the bent piece 113 . In addition, the locking bar 120 is positioned to press the bent piece 113 to fix the locking bracket 110, and at the same time adjust the position of the stopper member 150 to adjust the degree of close contact. There is an effect of compensating for air leakage in the chamber that may occur due to the curing of the milling 32 over time.

상기와 같이 잠금브라켓(110)을 고정하는 잠금바(120)는 가이드 레일(130)을 따라 전방으로 이동할 수 있으며, 그로 인해 상기 잠금브라켓(110)은 고정 해제될 수 있고 잠금브라켓(110)은 이동가능할 수 있다. As described above, the locking bar 120 for fixing the locking bracket 110 can move forward along the guide rail 130, so that the locking bracket 110 can be released and the locking bracket 110 can move forward. may be movable.

상기 잠금바(120)의 양단부가 결합되고 잠금바(120)의 이동경로를 제공하는 가이드 레일(130)은, 잠금바(120)의 전후이동을 위한 후방의 직선부와 좌우이동을 위한 전방의 곡선부를 포함하며 상기 이동경로를 형성하는 가이드홈(133)과, 상기 가이드홈(133)이 위치하고 소정의 간격으로 이격된 한 쌍의 가이드판(131)을 포함하는 것일 수 있다. 즉, 상기 가이드 홈(133)을 따라 잠금바(120)가 이동가능하도록 가이드판(131) 사이에 잠금바(120)의 중심영역이 위치할 수 있다.Both ends of the locking bar 120 are coupled and the guide rail 130, which provides a movement path for the locking bar 120, has a rear straight portion for forward and backward movement of the locking bar 120 and a front for left and right movement of the locking bar 120. It may include a guide groove 133 including a curved portion and forming the movement path, and a pair of guide plates 131 in which the guide groove 133 is located and spaced apart at a predetermined interval. That is, the central region of the locking bar 120 may be positioned between the guide plates 131 so that the locking bar 120 is movable along the guide groove 133 .

챔버(30)의 개방이 필요한 경우, 제1 구동실린더(140)의 실린더 로드(141)는 연장되고 실린더 로드(141)의 단부에 결합된 잠금바(120)는 가이드홈(133)의 직선부를 따라 전방으로 이동한 후 가이드홈(133)의 곡선부를 따라 타측을 향한 방향으로 이동할 수 있다. 그로 인해 잠금브라켓(110)의 절곡편(113)이 빠져나올 수 있는 공간이 마련되어 도 5와 같이 챔버(30)는 개방될 수 있다. 따라서 가이드 레일(130)로 인해 잠금바(120)의 이동경로에 따라 상기 실린더 로드(141)의 이동 범위는 전후뿐 만이 아니라 소정의 거리로 좌우까지 이동가능하도록 유도될 수 있다. 따라서, 별도의 추가 장치가 필요 없이 잠금바(120)는 전후좌우 이동될 수 있으므로 도어 잠금 모듈(100)은 슬림한 구조를 구현할 수 있다.When opening of the chamber 30 is required, the cylinder rod 141 of the first drive cylinder 140 is extended, and the locking bar 120 coupled to the end of the cylinder rod 141 extends the straight portion of the guide groove 133. After moving forward along the guide groove 133, it can move in a direction toward the other side along the curved portion. As a result, a space through which the bent piece 113 of the locking bracket 110 can come out is provided, and the chamber 30 can be opened as shown in FIG. 5 . Accordingly, the movement range of the cylinder rod 141 according to the movement path of the locking bar 120 due to the guide rail 130 can be induced to be movable to left and right by a predetermined distance as well as forward and backward. Therefore, since the locking bar 120 can be moved forward and backward and left and right without the need for a separate additional device, the door lock module 100 can implement a slim structure.

챔버(30)의 일측부에 위치하며 소정의 각도로 도어(20)의 회전을 조절하는 도어 스윙 모듈(200)은 상기 도어(20)에 마련된 힌지(22)에 실린더 로드(211) 단부가 결합되는 제2 구동 실린더(200)를 포함하는 것일 수 있다. 도어(20)가 닫혀있는 경우 제2 구동 실린더(200)의 실린더 로드(211)는 최장 연장이 된 상태라 할 수 있으며, 도어(20)가 열리는 각도에 따라 실린더 로드(211)는 수축이 되며 도 7과 같이 챔버(30) 내부가 전부 개방이 되는 경우 상기 실린더 로드(211)는 최단 길이로 위치할 수 있다. 또한, 도어 스윙 모듈(200)은 제2 구동 실린더(200)를 수용하는 제2 커버부재(220)를 더 포함할 수 있다.The door swing module 200, which is located on one side of the chamber 30 and controls the rotation of the door 20 at a predetermined angle, has an end of the cylinder rod 211 coupled to the hinge 22 provided on the door 20. It may include a second driving cylinder 200 to be. When the door 20 is closed, the cylinder rod 211 of the second driving cylinder 200 can be said to be in the longest extended state, and the cylinder rod 211 contracts according to the angle at which the door 20 is opened. As shown in FIG. 7 , when the inside of the chamber 30 is fully opened, the cylinder rod 211 may be located at the shortest length. In addition, the door swing module 200 may further include a second cover member 220 accommodating the second driving cylinder 200 .

예로써, 도어(20)의 개폐를 위한 제1 구동실린더(140) 및 제2 구동실린더(210)의 작동은 챔버(30)에 마련된 제어장치의 제어 프로그램에 기입력된 전기적 신호에 의해 자동으로 구현될 수 있으며, 제1 구동실린더(140) 또는 제2 구동실린더(210)는 공압실린더로 구비될 수 있다. For example, the operation of the first drive cylinder 140 and the second drive cylinder 210 for opening and closing the door 20 is automatically performed by an electrical signal previously input to a control program of a control device provided in the chamber 30. It may be implemented, and the first drive cylinder 140 or the second drive cylinder 210 may be provided as a pneumatic cylinder.

도어 스윙 모듈(200)과 도어 잠금 모듈(100)을 통한 상기 챔버도어 자동 오픈 장치(10)의 작동 과정을 설명하면 다음과 같다.The operation process of the chamber door automatic opening device 10 through the door swing module 200 and the door lock module 100 will be described as follows.

챔버(30) 내부에서 소정의 공정이 종료되거나 챔버(30) 내부로 시료를 적재하려는 경우, 제어프로그램에 기입력된 전기적 신호 또는 작업자로부터 입력된 신호에 의해 제1 구동실린더(140)가 구동하며 실린더 로드(141)는 연장될 수 있다. 실린더 로드(141)의 연장으로 잠금바(120)는 가이드홈(133)의 직선부를 따라 전방으로 이동한 후 곡선부를 따라 타측 방향으로 이동할 수 있다(도 4). 잠금바(120)의 이동으로, 잠금브라켓(110)의 절곡편(113)이 이동할 수 있는 공간이 마련되고, 그와 동시에 또는 그 후 제2 구동실린더(210)가 구동할 수 있다. 제2 구동실린더(210)의 실린더 로드(211)는 수축하게 되고, 상기 실린더 로드(211)에 힌지(22)가 결합된 도어(20)는 잠금브라켓(110)이 잠금바(120)로부터 구속이 해제된 상태이므로, 힌지(22)에 가해지는 제2 구동실린더(210)의 힘에 의해 도어(20)는 자동으로 회전을 하게 되어 챔버(30)를 개방시킬 수 있다.When a predetermined process inside the chamber 30 is finished or a sample is to be loaded into the chamber 30, the first drive cylinder 140 is driven by an electrical signal previously input to the control program or a signal input from an operator, Cylinder rod 141 may be extended. Due to the extension of the cylinder rod 141, the locking bar 120 may move forward along the straight portion of the guide groove 133 and then move in the other direction along the curved portion (FIG. 4). As the locking bar 120 moves, a space in which the bent piece 113 of the locking bracket 110 can move is provided, and at the same time or after that, the second driving cylinder 210 can be driven. The cylinder rod 211 of the second driving cylinder 210 contracts, and the door 20 to which the hinge 22 is coupled to the cylinder rod 211 is restrained by the locking bracket 110 from the locking bar 120. Since the door 20 is released, the door 20 is automatically rotated by the force of the second driving cylinder 210 applied to the hinge 22, so that the chamber 30 can be opened.

시료의 적재가 완료되거나 소정의 공정을 시작하기 위해 다시 챔버(30)를 닫으려는 경우, 상기의 전기적 신호 또는 입력된 신호에 의해 제2 구동실린더(210)가 구동하며 그와 연결된 실린더 로드(211)는 연장될 수 있다. 도어(20)의 힌지(22)에 결합된 제2 구동실린더(210)의 실린더 로드(211) 연장으로 인해, 도어(20)의 타단부는 챔버(30)를 향하도록 하는 힘을 받게 되고, 도어(20)가 회전하여 도 4와 같이 잠금브라켓(110)과 잠금바(120)가 위치할 수 있다. 이후, 제1 구동실린더(140)가 구동하여 실린더 로드(141)는 길이가 축소되며, 그로 인해 잠금바(120)는 가이드홈(133)의 곡선부를 따라 일측 방향으로 이동한 후, 직선부를 따라 후방으로 이동하여 도 3과 같이 위치할 수 있다. 따라서 잠금바(120)는 잠금브라켓(110)의 절곡편(113)을 고정시키며 도어(20)와 챔버(30)를 밀착시킬 수 있다.When the loading of the sample is completed or the chamber 30 is to be closed again to start a predetermined process, the second drive cylinder 210 is driven by the above electrical signal or input signal, and the cylinder rod 211 connected thereto ) can be extended. Due to the extension of the cylinder rod 211 of the second drive cylinder 210 coupled to the hinge 22 of the door 20, the other end of the door 20 receives a force directed toward the chamber 30, As the door 20 rotates, the locking bracket 110 and the locking bar 120 may be positioned as shown in FIG. 4 . After that, the first driving cylinder 140 is driven to reduce the length of the cylinder rod 141, and as a result, the locking bar 120 moves in one direction along the curved portion of the guide groove 133, and then along the straight portion. It can be moved to the rear and positioned as shown in FIG. 3 . Therefore, the locking bar 120 fixes the bent piece 113 of the locking bracket 110 and can bring the door 20 and the chamber 30 into close contact.

상기에 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 챔버도어 자동 오픈 장치(10)는 도어 스윙 모듈(200)과 도어 잠금 모듈(100)을 구비함으로써, 챔버(30) 주변의 공간 사용을 최소화하며 자동으로 챔버(30)와 도어(20)의 밀착력을 향상시킬 수 있으며, 그로 인해 챔버(30)의 기밀성을 확보할 수 있는 장점이 있다.As described above, the chamber door automatic opening device 10 according to the embodiment of the present invention includes the door swing module 200 and the door lock module 100, thereby minimizing the use of space around the chamber 30 and It is possible to automatically improve the adhesion between the chamber 30 and the door 20, thereby securing the airtightness of the chamber 30.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will variously modify and change the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that it can be done.

10; 챔버도어 자동 오픈 장치
20; 도어
22, 24; 힌지
30; 챔버
100; 도어 잠금 모듈
110; 잠금브라켓
111; 지지판
113; 절곡편
120; 잠금바
130; 가이드 레일
131; 가이드판
133; 가이드홈
140; 제1 구동실린더
141; 제1 구동실린더의 실린더로드
150; 스토퍼 부재
160; 제1 커버부재
200; 도어 스윙 모듈
210; 제2 구동실린더
211; 제2 구동실린더의 실린더 로드
220; 제 2 커버부재10; Chamber door automatic opening device
20; door
22, 24; hinge
30; chamber
100; door lock module
110; locking bracket
111; support plate
113; bend
120; lock bar
130; guide rail
131; guide plate
133; guide home
140; 1st drive cylinder
141; Cylinder rod of the first drive cylinder
150; no stopper
160; First cover member
200; door swing module
210; 2nd drive cylinder
211; Cylinder rod of the second drive cylinder
220; 2nd cover member

Claims (5)

챔버의 일측부에 위치하며 소정의 각도로 도어의 회전을 조절하는 도어 스윙 모듈; 및
상기 도어 및 챔버의 타측부에 결합되고 도어와 챔버를 밀착시키며, 상기 도어의 타단부로부터 타측 방향으로 돌출된 잠금브라켓과, 상기 잠금브라켓의 돌출된 영역에 맞닿아 위치하여 잠금브라켓을 고정하는 잠금바와, 상기 잠금바의 양단부가 결합되고 잠금바의 이동경로를 제공하는 가이드 레일을 구비하는 도어 잠금 모듈;을 포함하고,
상기 도어 잠금모듈은, 상기 잠금브라켓의 돌출된 영역 후방 외측부에 위치하는 플레이트 형상의 스토퍼 부재와, 상기 잠금바의 중심에 실린더 로드의 단부가 결합되고 상기 이동경로를 따라 상기 잠금바를 이동시키는 제1 구동실린더를 포함하고,
상기 잠금바가 상기 가이드 레일을 따라 전방으로 이동하면 상기 잠금브라켓은 고정 해제되는 것을 특징으로 하는 챔버도어 자동 오픈 장치.
a door swing module located on one side of the chamber and adjusting the rotation of the door at a predetermined angle; and
A locking bracket coupled to the other side of the door and the chamber, bringing the door and the chamber into close contact, and protruding from the other end of the door toward the other side, and a lock positioned in contact with the protruding area of the locking bracket to fix the locking bracket. A door locking module including a bar and guide rails coupled to both ends of the locking bar and providing a movement path for the locking bar;
The door locking module includes a plate-shaped stopper member positioned at the rear and outer portion of the protruding area of the locking bracket, and an end of a cylinder rod coupled to the center of the locking bar and moving the locking bar along the movement path. including a drive cylinder;
The chamber door automatic opening device, characterized in that the locking bracket is released when the locking bar moves forward along the guide rail.
 제1항에 있어서,
상기 잠금브라켓은, 상기 도어의 타단부에 결합되는 지지판과, 지지판으로부터 타측 방향으로 향하여 수직으로 절곡된 절곡편을 포함하고,
상기 잠금바는, 상기 절곡편을 가압하도록 위치하여 상기 잠금브라켓을 고정하는 것을 특징으로 하는 챔버도어 자동 오픈 장치.
According to claim 1,
The locking bracket includes a support plate coupled to the other end of the door and a bent piece bent vertically from the support plate toward the other side,
The locking bar is positioned to press the bent piece to fix the locking bracket.
 제1항에 있어서,
상기 가이드 레일은, 잠금바의 전후이동을 위한 후방의 직선부와 좌우이동을 위한 전방의 곡선부를 포함하며 상기 이동경로를 형성하는 가이드홈과, 상기 가이드홈이 위치하고 소정의 간격으로 이격된 한 쌍의 가이드판을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버도어 자동 오픈 장치.
According to claim 1,
The guide rail includes a rear straight portion for forward and backward movement of the locking bar and a front curved portion for left and right movement of the locking bar and includes a guide groove forming the movement path, and a pair of guide grooves located and spaced apart at a predetermined interval. Chamber door automatic opening device characterized in that it comprises a guide plate of.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 도어 스윙 모듈은, 상기 도어에 마련된 힌지에 실린더 로드 단부가 결합되는 제2 구동 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버도어 자동 오픈 장치.According to claim 1,
The door swing module includes a second driving cylinder to which an end of the cylinder rod is coupled to a hinge provided on the door.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980065413A (en) 1997-01-09 1998-10-15 김광호 Process chamber door opening and closing device of baking equipment for semiconductor device manufacturing
JP2006028917A (en) * 2004-07-16 2006-02-02 Nifco Inc Pull-in lock mechanism in stop position of opening/closing operation body
KR20120044058A (en) 2010-10-27 2012-05-07 이명수 Door opening and shuting device for chamber
KR101437387B1 (en) * 2013-09-24 2014-09-05 신용수 Door opening and closing structure of compressing apparatus for recyclable materials
KR101480725B1 (en) 2012-12-21 2015-01-09 주식회사 선익시스템 A Sliding Door Apparatus

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980065413A (en) 1997-01-09 1998-10-15 김광호 Process chamber door opening and closing device of baking equipment for semiconductor device manufacturing
KR100238944B1 (en) * 1997-01-09 2000-01-15 윤종용 Door opening apparatus of process chamber in baking system for fabricating semiconductor device
JP2006028917A (en) * 2004-07-16 2006-02-02 Nifco Inc Pull-in lock mechanism in stop position of opening/closing operation body
KR20120044058A (en) 2010-10-27 2012-05-07 이명수 Door opening and shuting device for chamber
KR101480725B1 (en) 2012-12-21 2015-01-09 주식회사 선익시스템 A Sliding Door Apparatus
KR101437387B1 (en) * 2013-09-24 2014-09-05 신용수 Door opening and closing structure of compressing apparatus for recyclable materials

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