KR102464473B1 - Belt conveyor apparatus for transferring wafer container - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에 있어서, 하부 프레임, 하부 프레임의 양측단에 각각 설치되는 제1 측면 프레임 및 제2 측면 프레임을 포함하는 컨베이어 바디; 상기 제1 프레임의 내측면에 각각의 제1 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 각각의 제1 회동 중심축들이 동일 직선 상에 위치하도록 설치되고, 상기 각각의 제1 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n - 상기 n은 2 이상의 정수임 - 햇 타입 롤러; 상기 제2 프레임의 내측면에 각각의 제2 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 각각의 제2 회동 중심축들이 동일 직선 상에 위치하도록 설치되고, 상기 각각의 제2 일측단들에 햇들이 형성된 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러; 상기 제1 프레임의 내측면에 각각의 제3 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 각각의 제1 외주면들이 제1 크라운들로 형성되되, 각각의 상기 제1 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제1 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제1 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성된 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 제1_m - 상기 m은 2 이상의 정수임 - 크라운 타입 롤러; 상기 제2 프레임의 내측면에 각각의 제4 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 각각의 제2 외주면들이 제2 크라운들로 형성되되, 각각의 상기 제2 크라운의 최고점의 위치들이 각각의 상기 제2 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제2 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성된 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 제2_m 크라운 타입 롤러; 상기 제1_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제1_n 햇 타입 롤러와, 상기 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제1_m 크라운 타입 롤러에 결합된 제1 컨베이어 벨트; 및 상기 제2_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제2_n 햇 타입 롤러와, 상기 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제2_m 크라운 타입 롤러에 결합된 제2 컨베이어 벨트;를 포함하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.According to the present invention, there is provided a belt conveyor apparatus for transporting a wafer storage container, comprising: a conveyor body including a lower frame, a first side frame and a second side frame respectively installed at both ends of the lower frame; Each of the first side ends is rotatably coupled to the inner surface of the first frame, each of the first rotational central axes are installed to be located on the same straight line, and a hat (hat) on each of the first side ends ) 1_1 hat-type roller to 1_n-the n is an integer greater than or equal to 2 - a hat-type roller; Each of the second side ends is rotatably coupled to the inner surface of the second frame, each of the second rotational central axes are installed to be positioned on the same straight line, and hats are formed at each of the second side ends 2_1 hat-type rollers to 2_n hat-type rollers; Each of the third side ends is rotatably coupled to the inner surface of the first frame, and each of the first outer peripheral surfaces is formed of first crowns, wherein the positions of the highest points of each of the first crowns are respectively the second 1 first to 1_1 crown-type rollers to 1_m formed in respective regions away from the first frame at the widthwise center of the outer circumferential surfaces, where m is an integer of 2 or more- a crown-type roller; Each of the fourth side ends is rotatably coupled to the inner surface of the second frame, and each of the second outer peripheral surfaces is formed of second crowns, and the positions of the highest points of each of the second crowns are respectively the second crowns. 2nd 2_1 crown-type rollers to 2_m crown-type rollers formed in respective regions away from the second frame at the widthwise center of the outer peripheral surfaces; a first conveyor belt coupled to the first_1 hat-type rollers to the 1_n hat-type rollers and the first_1 crown-type rollers to the 1_m crown-type rollers; and a second conveyor belt coupled to the 2_1 hat-type rollers to the 2_n hat-type rollers, and the 2_1 crown-type rollers to the 2_m crown-type rollers.

Description

웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치{BELT CONVEYOR APPARATUS FOR TRANSFERRING WAFER CONTAINER}BELT CONVEYOR APPARATUS FOR TRANSFERRING WAFER CONTAINER

본 발명은 벨트 컨베이어 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체 제조 공정 중 웨이퍼를 보관하는 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에 대한 것이다.The present invention relates to a belt conveyor device, and more particularly, to a belt conveyor device for transporting a wafer storage container for storing wafers during a semiconductor manufacturing process.

일반적인 반도체 제조 공정에서, 단위 공정이 진행된 웨이퍼를 다음 단위 공정을 수행하는 설비로 반송할 경우에는 웨이퍼 보관 용기에 웨이퍼를 저장하고 OHT(Overhead Hoist Transfer)라는 운반수단을 이용한다.In a general semiconductor manufacturing process, when a wafer that has undergone a unit process is transported to a facility performing the next unit process, the wafer is stored in a wafer storage container and a transport means called overhead hoist transfer (OHT) is used.

그러나, OHT는 반도체 제조 공정이 수행되는 클린룸의 천장에 OHT의 운반수단을 안내하기 위한 레일을 설치하여야 하며, 레일은 설계가 복잡하고 설치에 많은 비용이 발생한다.However, in the OHT, a rail for guiding the transport means of the OHT must be installed on the ceiling of a clean room in which a semiconductor manufacturing process is performed, and the rail is complicated in design and expensive to install.

또한, OHT는 OHT의 운반수단 각각이 웨이퍼 보관 용기를 반송하게 되므로, 수많은 OHT의 운반수단이 레일을 왕복해야 하는 상황이 발생할 수도 있다.In addition, in the OHT, since each of the transport means of the OHT transports the wafer storage container, a situation may arise in which a number of transport means of the OHT have to reciprocate the rail.

따라서, OHT는 반송되는 수많은 웨이퍼 보관 용기의 위치 추적 및 OHT의 운반수단 중 어느 일개소에 고장이 발생하면 공정 자체가 원활하게 수행되지 못하는 문제점도 발생한다.Therefore, the OHT also has a problem that the process itself cannot be smoothly performed if a failure occurs in any one of the location tracking of many wafer storage containers being transported and the transport means of the OHT.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 최근에는 고장 발생시에 즉각적인 대응과 교체 및 수리가 가능하고 저비용으로 원활한 반도체 제작 공정의 수행이 가능하도록 하는 웨이퍼 보관 용기 반송용 벨트 컨베이어 장치가 이용되고 있으며, OHT가 웨이퍼 보관 용기를 벨트 컨베이어에 언로딩하면 벨트 컨베이어가 동작하여 웨이퍼 보관 용기를 적정 위치로 이동하게 하며, OHT가 적정 위치로 이동된 웨이퍼 보관 용기를 벨트 컨베이어 장치로부터 로딩하여 다음 공정을 진행하기 위한 위치로 웨이퍼 보관 용기를 이동한다.In order to solve this problem, in recent years, a belt conveyor device for wafer storage container transfer that enables immediate response, replacement and repair in the event of a failure and enables smooth semiconductor manufacturing process at low cost is being used. When the container is unloaded from the belt conveyor, the belt conveyor operates to move the wafer storage container to the proper position, and the wafer storage container with the OHT moved to the proper position is loaded from the belt conveyor device and the wafer is moved to the position for the next process. Move the storage container.

이와 같은 벨트 컨베이어 장치는 크게 벨트를 회전하기 위한 구동 롤러와, 웨이퍼 보관 용기를 지지하는 아이들 롤러로 이루어진다.Such a belt conveyor device largely includes a driving roller for rotating the belt, and an idle roller supporting the wafer storage container.

특히, 최근에는 구동 롤러에 의해 회전하는 벨트가 벨트 컨베이어 장치의 바디에 접촉되는 것을 방지하기 위하여 아이들 롤러에 햇(hat)을 형성하여 사용하고 있다.In particular, recently, in order to prevent the belt rotating by the driving roller from coming into contact with the body of the belt conveyor device, a hat is formed on the idle roller and used.

그러나, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치의 고속 회전에 의해 벨트가 아이들 롤러의 햇과의 마찰이 발생하며, 벨트와 햇과의 마찰에 의해 파티클이 발생되는 문제점이 있다.However, due to the high-speed rotation of the belt conveyor device for transporting the wafer storage container, friction between the belt and the hat of the idle roller occurs, and particles are generated by friction between the belt and the hat.

따라서, 종래 벨트 컨베이어 장치가 가지는 문제점과 한계를 극복하여, 벨트와 햇과의 접촉에 의한 마모를 방지할 수 있는 새로운 구조의 벨트 컨베이어 장치가 필요한 실정이다.Therefore, there is a need for a belt conveyor device having a new structure capable of overcoming the problems and limitations of the conventional belt conveyor device and preventing wear due to contact between the belt and the hat.

본 발명은, 벨트와 햇들에 접촉에 의한 마모를 방지하여 웨이퍼 보관 용기의 반송 과정에서 파티클의 발생을 방지하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to prevent abrasion caused by contact with a belt and hats to prevent particles from being generated during a transfer process of a wafer storage container.

또한, 본 발명은, 크라운 타입 롤러들을 사용하여 컨베이어 벨트 장치에서 벨트가 햇들에 접촉되는 것을 방지할 수 있도록 하는 것을 다른 목적으로 한다.Another object of the present invention is to be able to prevent the belt from contacting the hats in a conveyor belt apparatus using crown-type rollers.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하고, 후술하는 본 발명의 특징적인 효과를 실현하기 위한, 본 발명의 특징적인 구성은 하기와 같다.In order to achieve the object of the present invention as described above and to realize the characteristic effects of the present invention to be described later, the characteristic configuration of the present invention is as follows.

본 발명의 일 태양에 따르면, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에 있어서, 하부 프레임, 상기 하부 프레임의 양측단에 각각 설치되는 제1 측면 프레임 및 제2 측면 프레임을 포함하는 컨베이어 바디; 상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제1 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제1 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 상기 각각의 제1 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n - 상기 n은 2 이상의 정수임 - 햇 타입 롤러와, 상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제2 회동 중심축들이 상기 제1 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제2 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제1_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제1_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제1 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제1 크라운들로 형성된 제1_1 크라운 타입 롤러와 제1_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제1 아이들 롤러들; 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제3 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제3 일측단들이 회동 가능하게 결합되며 상기 각각의 제3 일측단들에 햇들이 형성된 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러와, 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제4 회동 중심축들이 상기 제3 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제4 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제2_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제2_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제2 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제2 크라운들로 형성된 제2_1 크라운 타입 롤러와 제2_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제2 아이들 롤러들; 상기 제1 측면 프레임의 내측면과 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 양측단이 각각 회동 가능하게 설치된 구동 롤러; 상기 구동 롤러의 일측단 영역과 상기 제1 아이들 롤러들에 결합된 제1 컨베이어 벨트; 및 상기 구동 롤러의 타측단 영역과 상기 제2 아이들 롤러들에 결합된 제2 컨베이어 벨트;를 포함하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a belt conveyor device for transporting a wafer storage container, the conveyor body including a lower frame, a first side frame and a second side frame installed at both ends of the lower frame, respectively; Each of the first side ends are rotatably coupled to the inner surface of the first side frame so that each of the first rotational central axes are positioned on the same straight line, and hats are provided at each of the first side ends Formed 1_1 hat-type roller to 1_n - where n is an integer of 2 or more - The hat-type roller and each second rotational central axis on the inner surface of the first side frame are on the same straight line formed by the first rotational central axis Each second one end is rotatably coupled to be positioned at the first crown, each installed on the outside of the 1_1 hat-type roller to the 1_n hat-type roller, the curvature shape of each of the first outer peripheral surfaces is asymmetrical first idle rollers including first_1 crown-type rollers and first_2 crown-type rollers formed of ; 2_1 hats each of which third side ends are rotatably coupled to the inner surface of the second side frame so that each of the third rotational central axes are positioned on the same straight line, and hats are formed on each of the third side ends Type rollers to 2_n hat-type rollers, and each of the fourth central axes of rotation on the inner surface of the second side frame are positioned on the same straight line formed by the third central axis of rotation, each of the fourth ends can be rotated 2_1 crown-type roller and 2_2 crown formed by second crowns coupled to each other and installed on the outside of the 2_1 hat-type roller to the 2_n hat-type roller, each of which has an asymmetrical curvature shape of the second outer circumferential surfaces second idle rollers including a type roller; a driving roller having both ends rotatably installed on the inner surface of the first side frame and the inner surface of the second side frame; a first conveyor belt coupled to one end region of the driving roller and the first idle rollers; and a second conveyor belt coupled to the other end region of the driving roller and the second idle rollers.

일례로서, 각각의 상기 제1 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제1 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제1 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성되고, 각각의 상기 제2 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제2 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성된 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.As an example, the positions of the highest points of each of the first crowns are formed in respective regions away from the first side frame at the widthwise center of each of the first outer circumferential surfaces, and the positions of the highest points of each of the second crowns There is provided a belt conveyor device in which is formed in respective regions away from the second side frame at the widthwise center of each of the second outer circumferential surfaces.

일례로서, 상기 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제1_n 크라운 타입 롤러의 상기 제1 외주면들은 각각, 제1 일측단들로부터의 일정 영역인 제1 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제1 영역을 제외한 나머지 영역인 제2 영역에서 제1 곡률 형상을 가지되, 상기 제1 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제1 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되고, 상기 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제2_n 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 외주면들은 각각, 제2 일측단들로부터의 일정 영역인 제3 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제3 영역을 제외한 나머지 영역인 제4 영역에서 제2 곡률 형상을 가지되, 상기 제2 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.As an example, the first outer peripheral surfaces of the first_1 crown-type roller to the first_n crown-type roller have a linear shape without curvature in a first area that is a predetermined area from the first one end, respectively, and the first area Doedoe having a first curvature shape in a second region that is a region remaining except for, at least a portion of the first curvature shape is symmetrical about the highest point of the first crowns, and the 2_1 crown type roller to the 2_n crown type Each of the second outer peripheral surfaces of the rollers has a linear shape with no curvature in the third area, which is a predetermined area from the second one end, and has a second curvature shape in the fourth area, which is the remaining area except for the third area. However, at least a portion of the second curvature shape is provided with a belt conveyor device that is symmetrical about the highest point of the second crowns.

일례로서, 상기 제1 크라운들의 상기 제1 외주면들은 제3 곡률 형상을 가지되, 상기 제3 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제1 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제1 크라운 타입 롤러들의 상기 제1 일측단들의 지름이 제1 타측단들의 지름보다 작고, 상기 제2 크라운들의 상기 제2 외주면들은 제4 곡률 형상을 가지되, 상기 제4 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제2 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 일측단들의 지름이 제2 타측단들의 지름보다 작은 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.As an example, the first outer peripheral surfaces of the first crowns have a third curvature shape, at least a portion of the third curvature shape is symmetrical about the highest point of the first crowns, The diameter of the first one end is smaller than the diameter of the first other end, and the second outer peripheral surfaces of the second crowns have a fourth curvature shape, wherein at least a portion of the fourth curvature shape is the highest point of the second crowns. There is provided a belt conveyor device symmetrical to the center, wherein the diameter of the second one end of the second crown-type rollers is smaller than the diameter of the second other end.

일례로서, 상기 구동 롤러는, 상기 제1 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 형성된 상기 제1 측면 프레임의 제1 롤러 영역과, 상기 제2 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 형성된 상기 제2 측면 프레임의 제2 롤러 영역 각각에 상기 양측단이 회동 가능하게 설치된 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.As an example, the driving roller may include a first roller area of the first side frame formed by projecting upper surfaces and lower surfaces of each of the first idle rollers, and projecting upper surfaces and lower surfaces of each of the second idle rollers There is provided a belt conveyor device in which the both ends are rotatably installed in each of the second roller regions of the second side frame formed as a result.

일례로서, 상기 컨베이어 바디에 설치되어 상기 구동 롤러를 상기 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시키는 구동 모터;를 더 포함하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.As an example, there is provided a belt conveyor apparatus further comprising a; a drive motor installed on the conveyor body to rotate the drive roller to correspond to the conveyance direction of the wafer storage container.

일례로서, 상기 구동 롤러는, 그 내부에 구동 모터와 감속기를 내장한 모터 롤러인 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.As an example, the drive roller is provided with a belt conveyor device, characterized in that the motor roller and the drive motor and the speed reducer built therein.

일례로서, 상기 제1 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 상기 제1 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제1 텐션 롤러; 및 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 상기 제2 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제2 텐션 롤러;를 더 포함하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.As an example, at least one first tension roller that is rotatably coupled to the inner surface of the first side frame and adjusts the tension of the first conveyor belt; and at least one second tension roller that is rotatably coupled to the inner surface of the second side frame and adjusts the tension of the second conveyor belt.

일례로서, 상기 제1 텐션 롤러는, 제3 외주면이 제3 크라운으로 형성되되, 상기 제3 크라운의 최고점의 위치가 상기 제3 외주면의 폭방향 중심에서 상기 제1 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제3 크라운 타입 롤러이며, 상기 제2 텐션 롤러는, 제4 외주면이 제4 크라운으로 형성되되, 상기 제4 크라운의 최고점의 위치가 상기 제4 외주면의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제4 크라운 타입 롤러인 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.As an example, in the first tension roller, the third outer circumferential surface is formed as a third crown, and the position of the highest point of the third crown is formed in a region away from the first side frame from the center of the width direction of the third outer circumferential surface. A three-crown type roller, wherein the second tension roller has a fourth outer circumferential surface formed as a fourth crown, wherein the position of the highest point of the fourth crown is a region away from the second side frame from the widthwise center of the fourth outer circumferential surface There is provided a belt conveyor device, characterized in that the fourth crown type roller formed on the.

일례로서, 상기 제1 아이들 롤러들, 상기 제2 아이들 롤러들, 및 상기 구동 롤러 중 적어도 일부는, 상기 제1 컨베이어 벨트 및 상기 제2 컨베이어 벨트와 접촉되는 부분의 마찰력을 증대시키기 위한 소정의 코팅이 되어 있는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.As an example, at least some of the first idle rollers, the second idle rollers, and the driving roller may be coated with a predetermined coating for increasing a friction force of a portion in contact with the first conveyor belt and the second conveyor belt A belt conveyor device having this structure is provided.

본 발명은, 벨트와 햇들에 접촉에 의한 마모를 방지하여 웨이퍼 보관 용기의 반송 과정에서 파티클의 발생을 방지하는 효과가 있다.The present invention has an effect of preventing the generation of particles in the process of conveying the wafer storage container by preventing wear due to contact with the belt and the hats.

또한, 본 발명은, 크라운 타입 롤러들을 사용하여 컨베이어 벨트 장치에서 벨트가 햇들에 접촉되는 것을 방지하는 효과가 있다.In addition, the present invention has an effect of preventing the belt from contacting the hats in the conveyor belt apparatus using the crown type rollers.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치의 제1 측면 프레임의 내측면을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치의 크라운 타입 롤러의 형상을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에서 크라운 타입 롤러의 최고점의 위치 변경에 의한 제1 컨베이어 벨트의 위치 변경을 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating a belt conveyor device for transporting a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram schematically illustrating an inner surface of a first side frame of a belt conveyor apparatus for conveying a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram schematically illustrating a shape of a crown-type roller of a belt conveyor apparatus for conveying a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.
4 is a view schematically showing a change in the position of the first conveyor belt by changing the position of the highest point of the crown-type roller in the belt conveyor apparatus for transporting the wafer storage container according to an embodiment of the present invention.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0012] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0014] DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [0016] Reference is made to the accompanying drawings, which show by way of illustration specific embodiments in which the present invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the present invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different but need not be mutually exclusive. For example, certain shapes, structures, and characteristics described herein with respect to one embodiment may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention.

또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.In addition, it should be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Accordingly, the detailed description set forth below is not intended to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention, if properly described, is limited only by the appended claims, along with all scope equivalents to those claimed. Like reference numerals in the drawings refer to the same or similar functions throughout the various aspects.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art can easily practice the present invention.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a diagram schematically showing a belt conveyor apparatus 100 for transporting a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)는, 하부 프레임(130)과 하부 프레임(130)의 양측단에 각각 설치되는 제1 측면 프레임(110) 및 제2 측면 프레임(120)을 포함하는 컨베이어 바디를 포함할 수 있다. 제1 측면 프레임(110)의 구체적인 구성은 아래에서 도 2를 참조하여 설명하도록 한다.Referring to FIG. 1 , a belt conveyor device 100 for transporting a wafer storage container includes a lower frame 130 and a first side frame 110 and a second side frame installed at both ends of the lower frame 130 , respectively. It may include a conveyor body including a frame 120 . A detailed configuration of the first side frame 110 will be described with reference to FIG. 2 below.

참고로, 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)과 대향되는 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 설치된 구성요소들은 도 1 내지 도 4의 도면에는 도시되어 있지 않으나, 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 설치된 구성요소들과 같은 종류의 구성요소들이 서로 대응되도록 설치될 수 있다. 그리고, 아래에서는, 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 설치된 구성요소들을 기준으로 설명하고, 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 설치된 구성요소들은 별도의 설명이 없을 수 있으나, 그런 경우에도 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 설치된 구성요소들에는 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 설치된 구성요소들에 대한 설명과 유사한 내용이 적용될 수 있다.For reference, the components installed on the inner surface 300 of the second side frame 120 opposite to the inner surface 200 of the first side frame 110 are not shown in the drawings of FIGS. 1 to 4, Components of the same type as those installed on the inner surface 200 of the first side frame 110 may be installed to correspond to each other. And, in the following, the components installed on the inner surface 200 of the first side frame 110 will be described as a reference, and the components installed on the inner surface 300 of the second side frame 120 will be described separately. Although there may not be, even in such a case, the components installed on the inner surface 300 of the second side frame 120 are similar to the description of the components installed on the inner surface 200 of the first side frame 110 . This can be applied.

도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)의 제1 측면 프레임(110)의 내측면을 개략적으로 나타내는 도면이다.FIG. 2 is a diagram schematically illustrating an inner surface of a first side frame 110 of a belt conveyor apparatus 100 for transporting a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 컨베이어 장치(100)는 제1 프레임(110)의 내측면(200)에 각각의 제1 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제1 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 상기 각각의 제1 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제1_1 햇 타입 롤러(210_(1_1)) 내지 제1_7 햇 타입 롤러(210_(1_7))를 포함할 수 있다. 도 2의 예시에서, 햇 타입 롤러들은 총 7개 설치되어 있지만, 설치되는 햇 타입 롤러들의 개수는 이에 제한되지 않으며, n개의 햇 타입 롤러들이 설치될 수 있을 것이다. 여기서, n은 2 이상의 정수일 수 있다.Referring to FIG. 2 , the conveyor device 100 is rotatably coupled to each of the first side ends so that each of the first pivotal axes is positioned on the same straight line on the inner surface 200 of the first frame 110 . and 1_1 hat-type rollers 210_(1_1) to 1_7-th hat-type rollers 210_(1_7) having hats formed on each of the first side ends. In the example of FIG. 2 , a total of 7 hat-type rollers are installed, but the number of installed hat-type rollers is not limited thereto, and n hat-type rollers may be installed. Here, n may be an integer of 2 or more.

또한, 컨베이어 장치(100)는, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제1 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제1 크라운들로 형성된 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))를 포함할 수 있다.In addition, the conveyor device 100 is installed on the outside of the 1_1 hat-type roller to the 1_n hat-type roller, respectively, and the first crown type rollers ( 220_(1_1)) and a first_2 crown type roller 220_(1_2).

이때, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러의 제1 회동 중심축들 및 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))의 제2 회동 중심축들은 동일 직선상에 위치할 수 있으며, 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))는 동일 직선상의 양끝단에 위치할 수 있을 것이다.In this case, the first central axes of rotation of the 1_1 hat-type roller to the 1_n-th hat-type roller and the second central axes of rotation of the 1_1 crown-type roller 220_(1_1) and the 1_2 crown-type roller 220_(1_2)) They may be positioned on the same straight line, and the first_1 crown-type roller 220_(1_1) and the first_2 crown-type roller 220_(1_2) may be positioned at both ends on the same straight line.

여기서, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러, 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))는 제1 아이들 롤러들로 작용할 수 있다.Here, the 1_1 hat-type roller to the 1_n hat-type roller, the 1_1 crown type roller 220_(1_1), and the 1_2 crown type roller 220_(1_2) may act as first idle rollers.

그리고, 햇 타입 롤러들의 햇들의 형태는 모자와 같은 형태일 수 있다. 이때, 햇들의 직경은 햇 타입 롤러들의 타측단의 직경보다 클 수 있다. 햇들은 햇 타입 롤러들에 일체로 형성되거나, 햇 타입 롤러들과 분리되어 따로 형성된 후 햇 타입 롤러들에 결합될 수도 있을 것이다.And, the shape of the hats of the hat-type rollers may be a hat-like shape. In this case, the diameter of the hats may be larger than the diameter of the other end of the hat-type rollers. The hats may be integrally formed on the hat-type rollers, or may be formed separately from the hat-type rollers and then coupled to the hat-type rollers.

또한, 컨베이어 장치(100)는 제2 측면 프레임의 내측면(200)에 각각의 제3 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제3 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 상기 각각의 제3 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러를 포함할 수 있다.In addition, the conveyor apparatus 100 is rotatably coupled to each of the third side ends so that each of the third rotational central axes are positioned on the same straight line on the inner surface 200 of the second side frame, and each of the first 3 It may include a 2_1 hat-type roller to a 2_n-th hat-type roller in which hats are formed at one end.

또한, 컨베이어 장치(100)는, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제2 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제2 크라운들로 형성된 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러를 포함할 수 있다.In addition, the conveyor device 100 is installed on the outside of the 2_1 hat-type roller to the 2_n-th hat-type roller, respectively, a second crown-type roller formed of second crowns in which the curvature shape of each of the second outer peripheral surfaces is asymmetrical; It may include a 2_2 crown type roller.

이때, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러의 제3 회동 중심축들 및 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러의 제4 회동 중심축들은 동일 직선상에 위치할 수 있으며, 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러는 동일 직선상의 양끝단에 위치할 수 있을 것이다.At this time, the third central axes of rotation of the 2_1 hat-type roller to the 2_n hat-type roller and the fourth central axes of rotation of the 2_1 crown-type roller and the 2_2 crown-type roller may be located on the same straight line, and the 2_1 The crown-type roller and the second_2 crown-type roller may be positioned at both ends on the same straight line.

여기서, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러, 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러는 제2 아이들 롤러들로 작용할 수 있다.Here, the 2_1 hat-type roller to the 2_n hat-type roller, the 2_1 crown type roller, and the 2_2 crown type roller may act as second idle rollers.

다음으로, 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))의 제1 크라운들의 형상에 대해, 도 3을 참조하여 설명하도록 한다.Next, the shapes of the first crowns of the first_1 crown-type roller 220_(1_1) and the first_2 crown-type roller 220_(1_2) will be described with reference to FIG. 3 .

도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)의 크라운 타입 롤러의 형상을 개략적으로 나타내는 도면이다.3 is a view schematically showing the shape of a crown-type roller of the belt conveyor apparatus 100 for transporting a wafer storage container according to an embodiment of the present invention.

도 3의 (a) 및 (b)는, 각각 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 설치되는 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 제1_n 크라운 타입 롤러들 중 어느 하나를 도시한 것이다. 편의상, '크라운 타입 롤러'로 지칭하도록 한다. 여기서, 도 3의 (a)에 도시된 크라운 타입 롤러 및 도 3의 (b)에 도시된 크라운 타입 롤러 각각의 제1 크라운들 및 제1 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 제1 외주면들의 폭방향 중심에서 제1 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성될 수 있다.3 (a) and (b) show any one of 1_1 crown type rollers to 1_n crown type rollers installed on the inner surface 200 of the first side frame 110, respectively. For convenience, it will be referred to as a 'crown type roller'. Here, the positions of the first crowns and the highest points of the first crowns of the crown type roller shown in (a) of FIG. 3 and the crown type roller shown in FIG. It may be formed in respective regions away from the first side frame from the center.

먼저, 도 3의 (a)를 참조하면, 도 3의 (a)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 외주면은 제1 일측단들로부터의 일정 영역인 제1 영역(d1)에서 곡률이 없는 직선 형상을 가질 수 있다. 여기서, 도 3의 (a)에 도시된 크라운 타입 롤러는 제1 영역(d1)을 제외한 나머지 영역인 제2 영역(d2)에서 제1 곡률 형상을 가질 수 있다. 이때, 제1 곡률 형상의 적어도 일부는 제2 영역(d2)에서 크라운 타입 롤러의 제1 크라운의 최고점(212_a)을 중심으로 대칭일 수 있다. 즉, 제2 영역 전체에서는 제1 크라운의 최고점(212_a)를 중심으로 대칭일 수도 있지만, 제1 영역(d1)과 제2 영역(d2)을 포함하는 크라운 타입 롤러의 전체 외주면에서는 제1 크라운의 곡률 형상이 대칭이 아닐 수도 있을 것이다. 또한, 위에서 설명된 것과 같이, 도 3의 (a)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 크라운의 최고점(212_a)은 제1 외주면의 폭방향 중심(211_a)에서 제1 측면 프레임(110)에서 멀어지는 영역에 형성될 수 있다.First, referring to FIG. 3A, the first outer peripheral surface of the crown-type roller shown in FIG. may have a shape. Here, the crown-type roller shown in (a) of FIG. 3 may have a first curvature shape in the second area d2 that is the remaining area except for the first area d1. In this case, at least a portion of the first curvature shape may be symmetrical about the highest point 212_a of the first crown of the crown-type roller in the second region d2 . That is, in the entire second region, it may be symmetrical about the highest point 212_a of the first crown, but on the entire outer circumferential surface of the crown-type roller including the first region d1 and the second region d2, the The curvature shape may not be symmetrical. In addition, as described above, the highest point 212_a of the first crown of the crown-type roller shown in FIG. may be formed in the region.

다음으로, 도 3의 (b)를 참조하면, 도 3의 (b)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 크라운의 제1 외주면은 제3 곡률 형상을 가질 수 있다. 여기서, 제3 곡률 형상의 적어도 일부는 제1 크라운의 최고점(212_b)을 중심으로 대칭이며, 제1 크라운 타입 롤러들의 상기 제1 일측단들의 지름이 제1 타측단들의 지름보다 작을 수 있다. 따라서, 도 3의 (b)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 외주면은 그 전체가 곡률 형상을 가지며, 일측단의 지름과 타측단의 지름이 다를 수 있다. 또한, 위에서 설명된 것과 같이, 도 3의 (b)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 크라운의 최고점(212_b)은 제1 외주면의 폭방향 중심(211_b)에서 제1 측면 프레임(110)에서 멀어지는 영역에 형성될 수 있다.Next, referring to FIG. 3B , the first outer circumferential surface of the first crown of the crown-type roller shown in FIG. 3B may have a third curvature shape. Here, at least a portion of the third curvature shape may be symmetrical about the highest point 212_b of the first crown, and the diameters of the first end ends of the first crown-type rollers may be smaller than the diameters of the first other ends. Accordingly, the entire first outer peripheral surface of the crown-type roller shown in (b) of FIG. 3 has a curvature shape, and the diameter of one end and the diameter of the other end may be different. In addition, as described above, the highest point 212_b of the first crown of the crown-type roller shown in FIG. may be formed in the region.

또한, 각각 제2 측면 프레임의 내측면에 설치되는 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 제2_n 크라운 타입 롤러도 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 제1_n 크라운 타입 롤러들과 동일한 형상을 가질 수 있으며, 그 설치되는 방향이 서로 반대가 되도록 할 수 있다.In addition, the 2_1 crown type roller to the 2_n crown type roller respectively installed on the inner surface of the second side frame may have the same shape as the 1_1 crown type roller to the 1_n crown type roller, and the installation direction thereof is can be opposite to each other.

즉, 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 제2_n 크라운 타입 롤러의 제2 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제2 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성될 수 있다.That is, the positions of the highest points of the second crowns of the 2_1 crown type roller to the 2_n crown type roller may be formed in respective regions away from the second side frame from the widthwise center of each of the second outer peripheral surfaces.

그리고, 제2 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 외주면들은 제2 일측단들로부터의 일정 영역인 제3 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제3 영역을 제외한 나머지 영역인 제4 영역에서 제2 곡률 형상을 가지되, 상기 제2 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭될 수 있다.In addition, the second outer peripheral surfaces of the second crown-type rollers have a linear shape without curvature in a third area, which is a predetermined area from the second one end, and have a second shape in a fourth area other than the third area. Doedoe having a curvature shape, at least a portion of the second curvature shape may be symmetrical about the highest point of the second crowns.

또한, 상기 제2 크라운들의 상기 제2 외주면들은 제4 곡률 형상을 가지되, 상기 제4 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제2 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 일측단들의 지름이 제2 타측단들의 지름보다 작을 수 있다.In addition, the second outer peripheral surfaces of the second crowns have a fourth curvature shape, at least a portion of the fourth curvature shape is symmetrical about the highest point of the second crowns, 2 A diameter of one end may be smaller than a diameter of the second other end.

다음으로, 다시 도 2를 참조하면, 벨트 컨베이어 장치(100)는 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)과 상기 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 양측단이 각각 회동 가능하게 설치된 구동 롤러(410)를 포함할 수 있다.Next, referring back to FIG. 2 , the belt conveyor apparatus 100 has both ends on the inner surface 200 of the first side frame 110 and the inner surface 300 of the second side frame 120 , respectively. It may include a driving roller 410 rotatably installed.

이때, 구동 롤러(410)는 제1 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 형성된 제1 롤러 영역과, 제2 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 형성된 제2 롤러 영역 각각에 양측단이 회동 가능하게 설치될 수 있다.At this time, the driving roller 410 includes the first roller area formed on the inner surface 200 of the first side frame 110 by projecting the upper and lower surfaces of each of the first idle rollers, and the second idle rollers respectively. Both ends may be rotatably installed in each of the second roller areas formed on the inner surface 300 of the second side frame 120 by projecting the upper and lower surfaces.

또한, 벨트 컨베이어 장치(100)는 컨베이어 바디에 설치되어 구동 롤러(410)를 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시킬 수 있다.In addition, the belt conveyor apparatus 100 may be installed on the conveyor body to rotate the driving roller 410 to correspond to the conveyance direction of the wafer storage container.

이와는 달리, 벨트 컨베이어(100)는 구동 롤러(410)를 내부에 구동 모터와 감속기를 내정한 모터 롤러로 형성할 수 있다.Alternatively, the belt conveyor 100 may form the driving roller 410 as a motor roller having a driving motor and a speed reducer installed therein.

또한, 벨트 컨베이어 장치(100)는 구동 롤러(410)의 일측단 영역과 제1 아이들 롤러들에 결합된 제1 컨베이어 벨트(240)와, 구동 롤러의 타측단 영역과 제2 아이들 롤러들에 결합된 제2 컨베이어 벨트를 포함할 수 있다.In addition, the belt conveyor apparatus 100 includes a first conveyor belt 240 coupled to one end region of the driving roller 410 and the first idle rollers, and the other end region of the driving roller and the second idle rollers. It may include a second conveyor belt.

즉, 제1 컨베이어 벨트(240)는 구동 롤러(410)의 일측단 영역, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러, 및 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))에 결합되고, 구동 모터(411)가 회전하여 구동 롤러(410)를 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시킬 때, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러, 및 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))와 함께 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전할 수 있을 것이다.That is, the first conveyor belt 240 includes an area at one end of the driving roller 410 , 1_1 hat-type rollers to 1_n hat-type rollers, and 1_1 crown type rollers 220_(1_1)) and 1_2 crown type rollers. When coupled to 220_(1_2), the driving motor 411 rotates to rotate the driving roller 410 to correspond to the conveying direction of the wafer storage container, 1_1 hat-type rollers to 1_n hat-type rollers, and The first_1 crown-type roller 220_(1_1) and the first_2 crown-type roller 220_(1_2) may be rotated to correspond to the transfer direction of the wafer storage container.

그리고, 제2 컨베이어 벨트는 구동 롤러(410)의 타측단 영역, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러, 및 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러에 결합되고, 구동 모터(411)가 회전하여 구동 롤러(410)를 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시킬 때, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러, 및 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러와 함께 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전할 수 있을 것이다.And, the second conveyor belt is coupled to the other end region of the driving roller 410, the 2_1 hat-type roller to the 2_n hat-type roller, and the 2_1 crown type roller and the 2_2 crown type roller, and the driving motor 411 When is rotated to rotate the driving roller 410 to correspond to the conveying direction of the wafer storage container, the 2_1 hat-type roller to the 2_n hat-type roller, and the 2_1 crown type roller and the 2_2 crown type roller together with the wafer storage It may be rotated to correspond to the conveying direction of the container.

또한, 벨트 컨베이어 장치(100)는 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 회동 가능하게 결합되며, 제1 컨베이어 벨트(240)의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제1 텐션 롤러를 더 포함할 수 있다. 이때, 적어도 하나의 제1 텐션 롤러는 제1 컨베이어 벨트(240)에 구동 롤러(410), 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러, 및 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))와 함께 결합될 수 있다. 도 2를 참조하면, 벨트 컨베이어 장치(100)는 제1_1 텐션 롤러(230_(1_1)) 및 제1_2 텐션 롤러(230_(1_2))를 가질 수 있고, 이는 제1 텐션 롤러에 포함된다.In addition, the belt conveyor apparatus 100 is rotatably coupled to the inner surface 200 of the first side frame 110 , and further includes at least one first tension roller for adjusting the tension of the first conveyor belt 240 . may include At this time, the at least one first tension roller is mounted on the first conveyor belt 240 with the driving roller 410 , the first_1 hat-type roller to the 1_n-th hat-type roller, and the first_1 crown-type roller 220_(1_1)) and the first It may be combined with the 1_2 crown type roller 220_(1_2). Referring to FIG. 2 , the belt conveyor apparatus 100 may have a first_1 tension roller 230_(1_1) and a first_2 tension roller 230_(1_2), which are included in the first tension roller.

여기서, 제1 텐션 롤러는, 제3 외주면이 제3 크라운으로 형성되되, 제3 크라운의 최고점의 위치가 제3 외주면의 폭방향 중심에서 제1 측면 프레임(110)에서 멀어지는 영역에 형성된 제3 크라운 타입 롤러일 수 있다. 이때, 제3 크라운 타입 롤러의 형태, 즉 제1 텐션 롤러의 형태는, 위에서 설명한 것과 같이 도 3의 (a) 또는 도 3의 (b)와 같은 형태일 수 있을 것이다.Here, in the first tension roller, the third outer circumferential surface is formed as a third crown, and the position of the highest point of the third crown is formed in an area away from the first side frame 110 from the widthwise center of the third outer circumferential surface. It may be a type roller. At this time, the shape of the third crown type roller, that is, the shape of the first tension roller, may be the same as that of FIG. 3 (a) or 3 (b) as described above.

그리고, 벨트 컨베이어 장치(100)는 제2 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 제2 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제2 텐션 롤러를 더 포함할 수 있다. 이때, 적어도 하나의 제2 텐션 롤러는 제2 컨베이어 벨트에 구동 롤러(410), 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러, 및 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러와 함께 결합될 수 있다.In addition, the belt conveyor apparatus 100 is rotatably coupled to the inner surface of the second side frame, and may further include at least one second tension roller for adjusting the tension of the second conveyor belt. In this case, the at least one second tension roller may be coupled with the driving roller 410 to the second conveyor belt, the 2_1 hat-type roller to the 2_n hat-type roller, and the 2_1 crown type roller and the 2_2 crown type roller. have.

여기서, 제2 텐션 롤러는, 제2 외주면이 제2 크라운으로 형성되되, 제2 크라운의 최고점의 위치가 제2 외주면의 폭방향 중심에서 제2 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제4 크라운 타입 롤러일 수 있다. 이때, 제4 크라운 타입 롤러의 형태, 즉 제2 텐션 롤러의 형태는, 제1 텐션 롤러와 같을 수 있으며, 설치 위치가 서로 반대가 되도록 할 수 있다.Here, the second tension roller is a fourth crown-type roller having a second outer circumferential surface formed as a second crown, and the position of the highest point of the second crown is formed in a region away from the second side frame from the widthwise center of the second outer circumferential surface. can In this case, the shape of the fourth crown-type roller, that is, the shape of the second tension roller, may be the same as that of the first tension roller, and the installation positions may be opposite to each other.

또한, 제1 아이들 롤러들, 제2 아이들 롤러들, 및 구동 롤러 중 적어도 일부는, 그 외주면의 적어도 일부에 제1 컨베이어 벨트 및 제2 컨베이어 벨트와 접촉되는 부분의 마찰력을 증대시키기 위한 소정의 코팅이 되어 있을 수 있다. 소정의 코팅에 따라 마찰력이 증대되면, 제1 컨베이어 벨트와 제2 컨베이어 벨트가 제1 아이들 롤러들, 제2 아이들 롤러들, 및 구동 롤러로부터 슬립되어 이탈되는 것을 방지할 수 있을 것이다.In addition, at least a portion of the first idle rollers, the second idle rollers, and the driving roller is coated on at least a portion of an outer peripheral surface thereof to increase frictional force of a portion in contact with the first conveyor belt and the second conveyor belt this may be If the frictional force is increased according to the predetermined coating, it may be possible to prevent the first conveyor belt and the second conveyor belt from slipping away from the first idle rollers, the second idle rollers, and the driving roller.

다음으로, 도 4를 참조하여 제1 컨베이어 벨트(240)의 위치 변경을 설명하도록 한다.Next, a change in the position of the first conveyor belt 240 will be described with reference to FIG. 4 .

도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)에서 크라운 타입 롤러의 최고점의 위치 변경에 의한 제1 컨베이어 벨트(240)의 위치 변경을 개략적으로 나타내는 도면이다.4 schematically illustrates a change in the position of the first conveyor belt 240 by changing the position of the highest point of the crown-type roller in the belt conveyor apparatus 100 for transporting a wafer storage container according to an embodiment of the present invention. It is a drawing showing

먼저, 도 4의 (a)를 참조하면, 컨베이어 장치(100)의 기존 크라운 타입 롤러(C)의 최고점이 기존 크라운 롤러(C)의 일측단과 타측단의 정 가운데에 있으므로, 제1 컨베이어 벨트(240)의 폭방향의 중심이 기존 크라운 롤러(C)의 중심에 위치한다. 이때, 컨베이어 벨트(240)는 햇 타입 롤러들의 햇들과 가까운 상태로 회전하게 되므로, 파티클이 생성될 수 있다.First, referring to Figure 4 (a), since the highest point of the existing crown type roller (C) of the conveyor device 100 is in the middle between one end and the other end of the existing crown roller (C), the first conveyor belt ( 240) is located at the center of the existing crown roller (C) in the width direction. At this time, since the conveyor belt 240 rotates in a state close to the hats of the hat-type rollers, particles may be generated.

반면에, 도 4의 오른쪽 도면을 참조하면, 컨베이어 장치(100)의 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1))의 최고점이 제1 일측단과 제1 타측단 중 제1 타측단에 더 가까이 있으므로, 위에서 설명한 것과 같이 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))의 제1 크라운들의 최고점들이 제1 타측단들에 더 가까운 위치에서 형성될 수 있다. 따라서, 제1 컨베이어 벨트(240)의 폭방향의 중심이 크라운 타입 롤러들의 타측단들에 더 가까운 곳에 위치될 수 있다. 그 결과로, 제1 컨베이어 벨트(240)의 위치가 제1_1 햇 타입 롤러(210_(1_1)) 내지 제1_7 햇 타입 롤러(210_(1_7))의 햇들과 더 멀리 위치하여 파티클의 생성을 방지할 수 있을 것이다.On the other hand, referring to the right drawing of FIG. 4, the highest point of the 1_1 crown type roller 220_(1_1) of the conveyor device 100 is closer to the first other end of the first one end and the first other end, As described above, the highest points of the first crowns of the first_1 crown-type roller 220_(1_1) and the first_2 crown-type roller 220_(1_2) may be formed at positions closer to the other first ends. Accordingly, the center of the first conveyor belt 240 in the width direction may be located closer to the other ends of the crown-type rollers. As a result, the position of the first conveyor belt 240 is located further away from the hats of the first_1 hat-type rollers 210_(1_1) to the first_7 hat-type rollers 210_(1_7) to prevent the generation of particles. will be able

또한, 제2 컨베이어 벨트의 위치 변경도 제1 컨베이어 벨트의 위치 변경을 설명한 내용으로부터 용이하게 이해할 수 있을 것이다.Also, the change in the position of the second conveyor belt may be easily understood from the description of the change in the position of the first conveyor belt.

이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.In the above, the present invention has been described with specific matters such as specific components and limited embodiments and drawings, but these are provided to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments. , those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can devise various modifications and variations from these descriptions.

따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, and not only the claims described below, but also all modifications equivalently or equivalently to the claims described below belong to the scope of the spirit of the present invention. will do it

100 : 벨트 컨베이어 장치 110 : 제1 측면 프레임
120 : 제2 측면 프레임 130 : 하부 프레임
200 : 제1 측면 프레임 내측면 300 : 제2측면 프레임 내측면
210_(1_1), 210_(1_2), ..., 210_(1_7) : 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_7 햇 타입 롤러
211_a : (a) 도면에서의 제1 외주면의 폭방향 중심
212_a : (a) 도면에서의 제1 크라운의 최고점
d1 : 제1 영역 d2 : 제2 영역
211_b : (b) 도면에서의 제1 외주면의 폭방향 중심
212_b : (b) 도면에서의 제1 크라운의 최고점
220_(1_1), 220_(1_2) : 제1_1 크라운 타입 롤러 및 제1_2 크라운 타입 롤러
230_(1_1) : 제1_1 텐션 롤러 230_(1_2) : 제1_2 텐션 롤러
240 : 제1 컨베이어 벨트 410 : 구동 롤러
411 : 구동 모터100: belt conveyor device 110: first side frame
120: second side frame 130: lower frame
200: first side frame inner surface 300: second side frame inner surface
210_(1_1), 210_(1_2), ..., 210_(1_7): 1_1 hat-type roller to 1_7 hat-type roller
211_a: (a) the width direction center of the first outer peripheral surface in the drawing
212_a: (a) the highest point of the first crown in the drawing
d1: first region d2: second region
211_b: (b) the center of the width direction of the first outer peripheral surface in the drawing
212_b: (b) the highest point of the first crown in the drawing
220_(1_1), 220_(1_2): 1_1 crown type roller and 1_2 crown type roller
230_(1_1): first_1 tension roller 230_(1_2): first_2 tension roller
240: first conveyor belt 410: driving roller
411: drive motor

Claims (10)

웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에 있어서,
하부 프레임, 상기 하부 프레임의 양측단에 각각 설치되는 제1 측면 프레임 및 제2 측면 프레임을 포함하는 컨베이어 바디;
상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제1 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제1 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 상기 각각의 제1 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n - 상기 n은 2 이상의 정수임 - 햇 타입 롤러와, 상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제2 회동 중심축들이 상기 제1 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제2 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제1_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제1_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제1 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제1 크라운들로 형성된 제1_1 크라운 타입 롤러와 제1_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제1 아이들 롤러들;
상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제3 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제3 일측단들이 회동 가능하게 결합되며 상기 각각의 제3 일측단들에 햇들이 형성된 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러와, 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제4 회동 중심축들이 상기 제3 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제4 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제2_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제2_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제2 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제2 크라운들로 형성된 제2_1 크라운 타입 롤러와 제2_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제2 아이들 롤러들;
상기 제1 측면 프레임의 내측면과 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 양측단이 각각 회동 가능하게 설치된 구동 롤러;
상기 구동 롤러의 일측단 영역과 상기 제1 아이들 롤러들에 결합된 제1 컨베이어 벨트; 및
상기 구동 롤러의 타측단 영역과 상기 제2 아이들 롤러들에 결합된 제2 컨베이어 벨트;
를 포함하되,
각각의 상기 제1 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제1 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제1 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성되고,
각각의 상기 제2 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제2 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성되며,
상기 제1 크라운들의 상기 제1 외주면들은 제3 곡률 형상을 가지되, 상기 제3 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제1 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제1 크라운 타입 롤러들의 상기 제1 일측단들의 지름이 제1 타측단들의 지름보다 작고,
상기 제2 크라운들의 상기 제2 외주면들은 제4 곡률 형상을 가지되, 상기 제4 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제2 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 일측단들의 지름이 제2 타측단들의 지름보다 작은 벨트 컨베이어 장치.A belt conveyor device for transporting a wafer storage container, comprising:
a conveyor body including a lower frame, a first side frame and a second side frame respectively installed at both ends of the lower frame;
Each of the first side ends are rotatably coupled to the inner surface of the first side frame so that each of the first rotational central axes are positioned on the same straight line, and hats are provided at each of the first side ends Formed 1_1 hat-type roller to 1_n - where n is an integer of 2 or more - The hat-type roller and each second rotational central axis on the inner surface of the first side frame are on the same straight line formed by the first rotational central axis Each second one end is rotatably coupled to be positioned at the first crown, each installed on the outside of the 1_1 hat-type roller to the 1_n hat-type roller, the curvature shape of each of the first outer peripheral surfaces is asymmetrical first idle rollers including a 1_1 crown-type roller and a 1_2 crown-type roller formed of ;
2_1 hats each of which third side ends are rotatably coupled to the inner surface of the second side frame so that each of the third rotational central axes are positioned on the same straight line, and hats are formed on each of the third side ends Type rollers to 2_n hat-type rollers, and each of the fourth central axes of rotation on the inner surface of the second side frame are positioned on the same straight line formed by the third central axis of rotation, each of the fourth ends can be rotated 2_1 crown-type roller and 2_2 crown formed by second crowns coupled to each other and installed on the outside of the 2_1 hat-type roller to the 2_n hat-type roller, each of which has an asymmetrical curvature shape of the second outer circumferential surfaces second idle rollers including a type roller;
a driving roller having both ends rotatably installed on the inner surface of the first side frame and the inner surface of the second side frame;
a first conveyor belt coupled to one end region of the driving roller and the first idle rollers; and
a second conveyor belt coupled to the other end region of the driving roller and the second idle rollers;
including,
Positions of the highest points of each of the first crowns are formed in respective regions away from the first side frame at the widthwise center of each of the first outer circumferential surfaces,
The positions of the highest points of each of the second crowns are formed in respective regions away from the second side frame at the widthwise center of each of the second outer peripheral surfaces,
The first outer peripheral surfaces of the first crowns have a third curvature shape, at least a portion of the third curvature shape is symmetrical about the highest point of the first crowns, and the first side of the first crown-type rollers The diameter of the steps is smaller than the diameter of the first other end,
The second outer peripheral surfaces of the second crowns have a fourth curvature shape, at least a portion of the fourth curvature shape is symmetrical about the highest point of the second crowns, and the second one side of the second crown-type rollers A belt conveyor device in which the diameter of the stages is smaller than the diameter of the second other end. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제1_2 크라운 타입 롤러의 상기 제1 외주면들은 각각, 제1 일측단들로부터의 일정 영역인 제1 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제1 영역을 제외한 나머지 영역인 제2 영역에서 제1 곡률 형상을 가지되, 상기 제1 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제1 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되고,
상기 제2_1크라운 타입 롤러 내지 상기 제2_2 크라운 타입 롤러의 상기 제2 외주면들은 각각, 제2 일측단들로부터의 일정 영역인 제3 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제3 영역을 제외한 나머지 영역인 제4 영역에서 제2 곡률 형상을 가지되, 상기 제2 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되는 벨트 컨베이어 장치.According to claim 1,
Each of the first outer peripheral surfaces of the 1_1 crown type roller to the 1_2 crown type roller has a linear shape without curvature in a first area that is a predetermined area from the first one end, and the rest except for the first area Doedoe having a first curvature shape in a second region that is a region, at least a portion of the first curvature shape is symmetrical about the highest point of the first crowns,
Each of the second outer peripheral surfaces of the 2_1 crown type roller to the 2_2 crown type roller has a straight shape without curvature in a third area that is a predetermined area from the second one end, and the rest except for the third area A belt conveyor device having a second curvature shape in a fourth region that is an area, wherein at least a portion of the second curvature shape is symmetrical about the highest point of the second crowns. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 구동 롤러는, 상기 제1 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 형성된 상기 제1 측면 프레임의 제1 롤러 영역과, 상기 제2 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 형성된 상기 제2 측면 프레임의 제2 롤러 영역 각각에 상기 양측단이 회동 가능하게 설치된 벨트 컨베이어 장치.According to claim 1,
The driving roller may include a first roller region of the first side frame formed by projecting upper surfaces and lower surfaces of each of the first idle rollers, and a first roller region formed by projecting upper surfaces and lower surfaces of each of the second idle rollers A belt conveyor device in which both ends are rotatably installed in each of the second roller areas of the second side frame. 제1항에 있어서,
상기 컨베이어 바디에 설치되어 상기 구동 롤러를 상기 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시키는 구동 모터;
를 더 포함하는 벨트 컨베이어 장치.According to claim 1,
a driving motor installed on the conveyor body to rotate the driving roller to correspond to a conveyance direction of the wafer storage container;
Belt conveyor device further comprising a. 제1항에 있어서,
상기 구동 롤러는, 그 내부에 구동 모터와 감속기를 내장한 모터 롤러인 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 장치.According to claim 1,
The drive roller is a belt conveyor device, characterized in that the motor roller with a built-in drive motor and a speed reducer therein. 삭제delete 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에 있어서,
하부 프레임, 상기 하부 프레임의 양측단에 각각 설치되는 제1 측면 프레임 및 제2 측면 프레임을 포함하는 컨베이어 바디;
상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제1 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제1 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 상기 각각의 제1 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n - 상기 n은 2 이상의 정수임 - 햇 타입 롤러와, 상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제2 회동 중심축들이 상기 제1 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제2 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제1_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제1_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제1 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제1 크라운들로 형성된 제1_1 크라운 타입 롤러와 제1_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제1 아이들 롤러들;
상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제3 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제3 일측단들이 회동 가능하게 결합되며 상기 각각의 제3 일측단들에 햇들이 형성된 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러와, 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제4 회동 중심축들이 상기 제3 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제4 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제2_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제2_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제2 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제2 크라운들로 형성된 제2_1 크라운 타입 롤러와 제2_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제2 아이들 롤러들;
상기 제1 측면 프레임의 내측면과 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 양측단이 각각 회동 가능하게 설치된 구동 롤러;
상기 구동 롤러의 일측단 영역과 상기 제1 아이들 롤러들에 결합된 제1 컨베이어 벨트; 및
상기 구동 롤러의 타측단 영역과 상기 제2 아이들 롤러들에 결합된 제2 컨베이어 벨트;
를 포함하되,
상기 제1 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 상기 제1 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제1 텐션 롤러; 및
상기 제2 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 상기 제2 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제2 텐션 롤러;
를 더 포함하고,
상기 제1 텐션 롤러는, 제3 외주면이 제3 크라운으로 형성되되, 상기 제3 크라운의 최고점의 위치가 상기 제3 외주면의 폭방향 중심에서 상기 제1 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제3 크라운 타입 롤러이며,
상기 제2 텐션 롤러는, 제4 외주면이 제4 크라운으로 형성되되, 상기 제4 크라운의 최고점의 위치가 상기 제4 외주면의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제4 크라운 타입 롤러인 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 장치.A belt conveyor device for transporting a wafer storage container, comprising:
a conveyor body including a lower frame, a first side frame and a second side frame respectively installed at both ends of the lower frame;
Each of the first side ends are rotatably coupled to the inner surface of the first side frame so that each of the first rotational central axes are positioned on the same straight line, and hats are provided at each of the first side ends Formed 1_1 hat-type roller to 1_n - where n is an integer of 2 or more - The hat-type roller and each second rotational central axis on the inner surface of the first side frame are on the same straight line formed by the first rotational central axis Each second one end is rotatably coupled to be positioned at the first crown, each installed on the outside of the 1_1 hat-type roller to the 1_n hat-type roller, the curvature shape of each of the first outer peripheral surfaces is asymmetrical first idle rollers including a 1_1 crown-type roller and a 1_2 crown-type roller formed of ;
2_1 hats each of which third side ends are rotatably coupled to the inner surface of the second side frame so that each of the third rotational central axes are positioned on the same straight line, and hats are formed on each of the third side ends Type rollers to 2_n hat-type rollers, and each of the fourth central axes of rotation on the inner surface of the second side frame are positioned on the same straight line formed by the third central axis of rotation, each of the fourth ends can be rotated 2_1 crown-type roller and 2_2 crown formed by second crowns coupled to each other and installed on the outside of the 2_1 hat-type roller to the 2_n hat-type roller, each of which has an asymmetrical curvature shape of the second outer circumferential surfaces second idle rollers including a type roller;
a driving roller having both ends rotatably installed on the inner surface of the first side frame and the inner surface of the second side frame;
a first conveyor belt coupled to one end region of the driving roller and the first idle rollers; and
a second conveyor belt coupled to the other end region of the driving roller and the second idle rollers;
including,
at least one first tension roller rotatably coupled to the inner surface of the first side frame and adjusting the tension of the first conveyor belt; and
at least one second tension roller rotatably coupled to the inner surface of the second side frame and adjusting the tension of the second conveyor belt;
further comprising,
The first tension roller is a third crown type in which a third outer circumferential surface is formed as a third crown, and the position of the highest point of the third crown is formed in a region away from the first side frame from the widthwise center of the third outer circumferential surface is a roller,
The second tension roller is a fourth crown type having a fourth outer circumferential surface formed as a fourth crown, wherein the position of the highest point of the fourth crown is formed in a region away from the second side frame from the widthwise center of the fourth outer circumferential surface A belt conveyor device, characterized in that it is a roller. 제1항에 있어서,
상기 제1 아이들 롤러들, 상기 제2 아이들 롤러들, 및 상기 구동 롤러 중 적어도 일부는, 상기 제1 컨베이어 벨트 및 상기 제2 컨베이어 벨트와 접촉되는 부분의 마찰력을 증대시키기 위한 소정의 코팅이 되어 있는 벨트 컨베이어 장치.According to claim 1,
At least some of the first idle rollers, the second idle rollers, and the driving roller are coated with a predetermined coating to increase friction between the first and second conveyor belts in contact with each other. belt conveyor device.
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